UNIVERSIDAD NACIONAL DE SAN AGUSTÍN DE AREQUIPA

ESCUELA DE POSGRADO
UNIDAD DE POSGRADO DE LA FCNF

“Crecimiento y Caracterización de Películas

Delgadas de SnO2 Prístino y Dopado con Fe
al 1% y 5% Depositadas por la Técnica de
Pulverización Catódica para la Aplicación
como Sensor de Gas”
Tesis de Maestría presentada por: Yessy B. Guillen Baca

Asesor: Dr. David G. Pacheco Salazar

1
CARACTERIZACIÓN ESTRUCTURAL

MICROSCOPÍA ELECTRÓNICA
DE BARRIDO

2
 Caracterización de Microscopía
Electrónica de Barrido
SnO2:Fe(5%) – 2h SnO2:Fe(5%) – 3h

3
Medida de la sección transversal

1000

800
Tiempo de Espesor estimado
SnO2:Fe(5%) – 2h
Crecimiento (h) (nm)

Espesor (nm)
600

0.5 174
400
2 696
200
4 1392
0
dw/dt ~ (347.98±41.14) nm/h
0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0
Tiempo de deposición (h)

SnO2:Fe(5%) – 3h

4
CARACTERIZACIÓN ÓPTICA

ULTRAVIOLETA VISIBLE
(UV-Vis)

5
CARACTERIZACIÓN
MAGNÉTICA

6
Caracterización Magnética

7
 Caracterización Magnética

4 La pequeña recta que se

observa aproximadamente en
M (x10-4emu/cm2)

3 800 K es un indicativo que la

película podría haber alcanzado
la temperatura de Curie que
2 correspondería a la transición de
material ferromagnético a
1 material paramagnético
SnO2:Fe(5%)-4h
SnO2:Fe(1%)-4h
0
400 600 800
T (K)