Вы находитесь на странице: 1из 9

оптоэлектронные приборы

Научные цифровые камеры.


Устранения ограничений при использовании научной
КМОП-камеры (sCMOS)
Доктор К.Коатес, (Andor Technology); доктор Б. Фоулер, Fairchild Imaging; доктор Г. Холст, PCO AG

ПЗС-сенсоры, используемые в регистрационной научной аппаратуре, базируются на технологии,


разработанной в конце 60-х годов прошлого века. Производительность ПЗС-сенсоров раздвинула границы
в эффективности регистрации света и уменьшения шума, как от слабого сигнала, так и от усилителя
считывания. Однако, одним из недостатков ПЗС-сенсоров является тот факт, что матрица по существу
представляет собой устройство последовательного считывания, позволяя получать низкие шумы
за счет медленной скорости считывания. Но, когда появляется необходимость получить более высокие
скорости кадров, уменьшается разрешение и снижается динамический диапазон или увеличивается
шум считывания. Технология sCMOS-камеры уникальна тем, что позволяет преодолеть ряд ограничений,
оптимизируя производительность камеры.

Представителями научных цифровых камер Одним из  недостатков ПЗС-сенсоров является тот
являются: факт, что матрица является по  существу устрой-
• популярная ПЗС-камера (CCD); ством последовательного считывания, позволяя
• ПЗС-камера с электронным умножителем получать низкие шумы за счет медленной скорости
(EMCCD); считывания.
• научная КМОП-камера (sCMOS); КМОП- (CMOS  – Complementary Metal-Oxide
• ПЗС-камера с ЭОП (ICDD). Semiconductor) камеры могут достичь высокой
В первых трех видах камер используется крем- частоты кадров со  средней чувствительностью.
ниевый диодный фотодатчик (пиксел), соеди- В  КМОП-сенсорах каждый отдельный пиксел или
ненный с  участком накопления заряда, который, каждый столбец пикселовй имеет усилитель, свя-
в свою очередь, подключен к усилителю, считываю- занный с  ним. Ряд пикселов может считываться
щему количество накопленного заряда. Падающие параллельно строке, выбрав адрес регистра или
фотоны генерируют электронные заряды, которые отдельный пиксел с  помощью мультиплексора
накапливаются в  области хранения заряда. Если столбца. КМОП-камера по существу является устрой-
падающие фотоны обладают достаточной энергией ством параллельного считывания и, следовательно,
и  поглощаются в  обедненной области полупрово- позволяет достичь более высоких скоростей считы-
дника, то  происходит освобождение электрона, вания, что особенно актуально для обработки изо-
который может быть зафиксирован как заряд. бражений. Тем не менее, технология КМОП-сенсора
по-прежнему нуждается в  значительном развитии,
CCD-КАМЕРА чтобы конкурировать с  ПЗС-матрицами в  научных
В ПЗС- (CCD  – Charge-Coupled Device) сенсорах (при- применениях. Научные применения требуют полу-
бор с  зарядовой связью), как правило, используется чения высокой чувствительности и  скорости счи-
только один усилитель, расположенный в углу всей тывания при различных уровнях освещенности.
матрицы. Накапливаемый заряд, последовательно Данные свойства могут быть достигнуты при исполь-
переносится через параллельные регистры в линей- зовании EMCCD- (Electron Multiplying Charge-Coupled
ный последовательный регистр, а  затем на  выход- Device) камеры с электронным умножением.
ной узел, прилегающий к  считывающему усили-
телю (рис.1). EMCCD-камера
Технология ПЗС-сенсоров, разработанная EMCCD-камера имеет по  существу такую  же струк-
в  конце 60-х годов прошлого века, до  сих пор счи- туру, как ПЗС-сенсоры с добавлением очень важной
тается хорошо продуманной. Производительность особенности. Накапливаемый заряд переносится
ПЗС-сенсоров раздвинула границы в  эффективно- через параллельные регистры к линейному регистру,
сти регистрации света и  уменьшения шума как как и прежде, но теперь, перед тем как произвести
от слабого сигнала, так и от усилителя считывания. считывание заряда, происходит его усиление через

102 фотоника № 4 / 58 / 2016 DOI:10.22184/1993-7296.2016.58.4.102.110


optoelectronic devices

регистр умножения (рис.2). Сигнал усиливается


выше шума считывания усилителя, что приводит ''Светочувствительный''
к  более высокой чувствительности по  сравнению параллельный регистр
сдвига
с  ПЗС-сенсорами. EMCCD-камеры используют ана-
логичные структуры, как и  CCD-камеры, и  так  же
ограничены в  получении минимального времени
''Буферный'' параллельный
экспозиции.
регистр сдвига

ICCD-камера Встроенный преобразователь


ICCD-(Intensified Charge-Coupled Device) камера заряда в напряжение

позволяет достичь сверхкороткого времени экспо- Выходной


сигнал
зиции. В электрооптическом преобразователе (ЭОП)
светочувствительная поверхность (фотокатод) захва- Регистр считывания
тывает падающие фотоны и  генерирует усилен-
ные электронные заряды. Фотокатод схож по  своей Рис.1. Принцип работы ПЗС-матрицы
природе со  светочувствительной областью фото-
электронного умножителя (ФЭУ), которые широко
используются в конфокальных микроскопах и спек- мическому диапазону, используются CCD-камеры.
трометрах. Фотокатод использует энергию падаю- ПЗС-камеры предлагают огромный выбор сенсоров,
щих фотонов для освобождения электронов. Осво- подходящих для применений, начиная от  астро-
божденные электроны ускоряются в  направлении номии до спектроскопии. ПЗС-технология является
электронного умножителя, состоящего из  ряда относительно новой, а  КМОП-технология еще нуж-
наклонных трубок, называемых микроканаль- дается в  значительном развитии, чтобы конкури-
ными пластинами. Под ускоряющим потенциалом ровать с  CCD-матрицами в  научных применениях.
высокого напряжения падающие электроны полу- ICCD-камера лучше всего подходит, когда требуется
чают энергию, достаточную, чтобы выбить допол- сочетать высокую чувствительность с  высокой ско-
нительные электроны и, следовательно, усилить ростью обработки изображения. Это особенно акту-
исходный сигнал. Этот сигнал может быть заре- ально в  таких применениях, как флуоресцентная
гистрирован несколькими способами  – непосред- микроскопия или сверхбыстрая спектроскопия.
ственным обнаружением с  использованием специ-
альной ПЗС-матрицы (CCD-матрица с  электронной sCMOS-камера
бомбардировкой) либо косвенно с  помощью люми- Гибридные сенсоры, которые сочетают в  себе ПЗС-
нофора и ПЗС-матрицы (рис.3). и  КМОП-технологии, обеспечивают высокую про-
ICCD-камера позволяет достичь короткого вре- изводительность, превосходящую традиционные
мени экспозиции при использовании импульсного ПЗС- и  КМОП-детекторы. Гибридные ПЗС/КМОП-
напряжения затвора между фотокатодом и  микро- устройства были разработаны для того, чтобы соот-
канальной пластинкой. Прикладывая небольшое ветствовать характеристикам изображения, полу-
положительное напряжение, электроны, испу- чаемого с  помощью ПЗС-матриц с  возможностями
скаемые фотокатодом, могут быть подавлены скорости считывания КМОП-матриц.
и, следовательно, не  обнаружены. При переклю-
чении напряжения на  отрицательную полярность Принцип работы sCMOS матрицы
электроны из  фотокатода ускоряются через зазор Для того чтобы одновременного свести к минимуму
к микроканальной пластинке, где они усиливаются шум считывания и  максимизировать динамиче-
и  регистрируются. Прикладывая соответствующий ский диапазон была разработана следующая схема
короткий импульс напряжения, усилитель может sCMOS (Scientific CMOS) сенсора. Сенсор имеет раз-
эффективно включаться и  выключаться в  наносе- двоенную схему считывания, в  которой верхняя
кундном режиме. ICCD-камера позволяет получать и  нижняя половинки сенсора считываются незави-
короткое время экспозиции или стробирование, что симо друг от друга. Каждый столбец в каждой поло-
находит свое применение в лазерно-искровой эмис- вине сенсора оснащен двумя усилителями и двумя
сионной спектроскопии или исследованиях процес- аналого-цифровыми преобразователями (АЦП), как
сов горения. показано на рис.4.
В большинстве научных применений, предъяв- Пара, состоящая из двух усилителей и двух АЦП,
ляющих требования к  чувствительности или дина- имеет независимые настройки усиления. Таким

Photonics № 4 / 58 / 2016 103


оптоэлектронные приборы

''Светочувствительный''
Конический волоконный
параллельный регистр
световод
сдвига Микроканальные
пластины ПЗС

Фотокатод
''Буферный'' параллельный
регистр сдвига

Встроенный преобразователь
заряда в напряжение
Выходной
сигнал

Регистр считывания Регистр умножения

Рис.2. Принцип работы EMCCD-камеры Входное


окно

Высоковольтный Люминесцентный
образом, окончательное изображение восстанавли- источник питания экран
вается путем комбинирования считывания пик-
села с  обоих каналов, с  канала высокого и  низкого Рис.3. Принцип работы ICCD-камеры
коэффициента усиления считывания для достиже-
ния широкого динамического диапазона внутри
кадра для маленького шага пиксела. шение, поле зрения, динамический диапазон или
Каждый пиксел имеет 5 транзисторов (дизайн увеличивается шум считывания.
"5Т›), позволяя использовать режим "кадрового В качестве иллюстрации рассмотрим одну
затвора", производить двойную коррелированную из  самых популярных, высокопроизводитель-
выборку (для уменьшения шума) и горизонтальный ных научных ПЗС-технологий, представленных
анти-блюминг (для уменьшения засветки). на  рынке  – построчную CCD-камеру. Эти устрой-
ства могут иметь скорость считывания в  20 Мп/с
Уникальные возможности со  среднеквадратичным шумом считывания от  5
sCMOS-камеры до  6 е-. На  этой скорости считывания 1,4 Мп сен-
Технология sCMOS-камеры уникальна тем, что сор может достигать 11 кадров в  секунду. Использо-
позволяет преодолеть ряд ограничений, оптимизи- вание микролинз гарантирует, что большинство
руя производительность камеры. падающих фотонов попадут на  активную область
сенсора, минуя построчную металлического обо-
Часть 1. Современные научные камеры: лочку, ограничивающую каждый пиксель, что при-
межстрочная CCD и EMCCD-камера ведет к  пиковой квантовой эффективности более
Многие научные применения требуют использова- чем в  60%. Высокая производительность в  соче-
ния сенсоров с большим разрешением в фокальной тании с  низкой стоимостью сделали построч-
плоскости, которые могут работать с очень высокой ную ПЗС-камеру очень популярным выбором для
чувствительностью и широким динамическим диа- таких применений, как флуоресцентная клеточ-
пазоном. Также необходимо, чтобы данные сен- ная микроскопия, визуализация люминесценции
соры имели высокую частоту кадров для захвата и  машинное зрение. Тем не  менее, даже значение
динамических событий с  высоким временным шума от  5 до  6 e – электрон слишком велико для
разрешением. большинства научных применений, использую-
Но существуют моменты, при которых опреде- щих низкий уровень освещенности. Например, при
ленные требования не  выполняются. К  примеру, визуализации динамики живых клеток существует
для достижения среднеквадратического шума CCD- необходимость ограничить поток света для флуорес-
камеры в  3 е– приходится жертвовать скоростью центного возбуждения. Кроме того, динамическая
частоты кадров, что особенно неудобно при исполь- визуализация требует использования более корот-
зовании камеры с  разрешением в  несколько мега- кого времени экспозиции, уменьшая количество
пикселов. И  наоборот, когда мы хотим получить падающих фотонов на кадр.
более высокие скорости кадров, уменьшается разре- Значение шума считывания становится доми-
нирующим параметром, определяющим предел

104 фотоника № 4 / 58 / 2016


optoelectronic devices

sCMOS Межстрочная ССD


Канал с низким АЦП
Шина коэффициентом усиления (11 бит) (шум 1,2 e–) (шум 6e–)
11
данных
ЗУ + 11
ЗУ
– 10 фотонов/
Аналоговые ЗУ 6,5 мкм
Цифровые ЗУ 11

ЗУ + 11
– ЗУ
Канал с высоким 32 фотонa/
коэффициентом усиления 11
6,5 мкм
Калибровочный Линейный Счетный
сигнал сигнал вход

Рис.4. Принцип работы sCMOS-камеры

обнаружения и  серьезно ставящим под угрозу соот-


ношение сигнал-шум и, следовательно, способ- Рис.5. Сравнение чувствительности научных камер
ность различать тонкие структурные особенности Andor на диаграмме разрешения при низком светодиод-
ном освещении: sCMOS-матрица (шум считывания 1,
внутри клетки при очень низкой освещенности.
е – при скорости считывания 560 МГц) и межстрочная
Таким образом, построчные CCD-камеры ограни- CCD-матрица (шум считывания 5 е– при скорости
чены в  использовании, так как не  могут одновре- считывания 20 МГц)
менно поддерживать низкий уровень шума при
более высокой скорости считывания.
EMCCD-камера была введена на  рынок компа- изображение имеет сниженное отношение сигнал-
нией Andor в  2000  году и  представляет собой зна- шум, уменьшая в  два раза квантовую эффектив-
чительный шаг вперед в  решении проблемы одно- ность сенсора. Например, квантовая эффективность
временного получения низкого уровня шума при в  90% фактически имеет только 45%. Необходимо
высокой скорости считывания, как описано выше. также учитывать ограничения динамического диа-
EMCCD-камеры используют механизм усиления пазона. Можно достичь высокого значения дина-
на чипе, который называется "ударная ионизация", мического диапазона с пикселом большого размера
умножая фотоэлектроны, которые генерируются
кремниевым сенсором. Таким образом, сигнал
10 фотонов/6,5 мкм
от  одного фотона может быть усилен выше уровня
шума считывания, даже при высоких скоростях
считывания порядка мегагерц. Важно отметить,
что это позволяет EMCCD-сенсору регистрировать
одиночные фотоны при быстрой частоте кадров
(например, 34 кадра/сек при формате матрицы
512х512). Это свойство нашло свое применение
при визуализации одной молекулы при низком sCMOS (шум 1,2 е–) Межстрочная CCD EMCCD c обратной
освещении. (шум 5 е–) посветкой
(шум менее 1 е–)
Однако, несмотря на  высокую чувствительность
Рис.6. Сравнение чувствительности научных камер
в условиях очень низкой освещенности, существует
Andor на диаграмме разрешения при низком свето-
ряд недостатков технологии EMCCD. Механизм уси-
диодном освещении (10 фотонов на 6.5 мкм): sCMOS-
ления, необходимый для уменьшения эффектив- матрица (шум считывания 1,3 е – при скорости счи-
ного шума считывания до  <1e – также вызывает тывания 560 МГц), межстрочная ПЗС-матрица (шум
дополнительный источник шума, именуемый как считывания 5 е – при скорости считывания 20 МГц)
мультипликативный шум. Это значительно уве- и EMCCD камера с задней подсветкой (шум считыва-
личивает дробовой шум сигнала на  коэффициент ния <1 е-). Для получения эффективного шага пиксела
и приема освещения на площадь пиксела, размер пик-
1.41, что проявляется в  увеличении изменчивости
села sCMOS-матрицы и межстрочной CCD-матрицы
низкого светового сигнала от  пиксела к  пикселу был подогнан по размеру пиксела EMCCD-камеры
и от кадра к кадру. Суммарный эффект мультипли- за счет режима биннинга 2x2 и составил 13 мкм.
кативного шума проявляется в том, что полученное

Photonics № 4 / 58 / 2016 105


оптоэлектронные приборы

Таблица 1. Зависимость частоты кадров от размера


матрицы для кадрового и строкового режима чтения Межстрочная
sCMOS (шум 1,2e–) CCD (шум 5e–)
sCMOS-камеры.

Размер Строковый режим Кадровый режим


матрицы чтения (число чтения (число
(В x Ш) кадров в сек) кадров в сек)

2 560 × 2 160
100 50
(полный кадр)

2 064 × 2 048
104 52
(4 Мп)

1 392 × 1 040
204 100
(1,4 Мп)
Рис.8. Сравнение чувствительности научных камер
512 × 512 412 200 Andor при динамической визуализации живых клеток
при низкой освещенности на флуоресцентном микро-
128 × 128 1,616 711
скопе: sCMOS-матрица (шум считывания 1,3 е – при
скорости считывания 560 МГц) и межстрочная
(от  13 до  16  мкм), но  только при низких скоростях CCD-матрица (шум считывания 5 е – при скорости
считывания 20 МГц). В широкопольном флуоресцент-
считывания.
ном микроскопе для уменьшения интенсивности света
Таким образом, более высокий динамический относительно уровня шума считывания использова-
диапазон может быть достигнут только при более лись фильтры нейтральной плотности
низкой частоте кадров (или путем уменьшения раз-
мера матрицы) и  низком усилении. Применение
более высокого значения усиления электронного Дальнейшее увеличение разрешения приведет
умножителя негативно влияет на  динамический к значительному росту цены сенсора.
диапазон. Стоимость данной матрицы также явля-
ется ограничивающим фактором для ее использова- Часть 2. sCMOS-камера: устранение
ния. В  настоящее время самый большой коммерче- ограничений
ски доступный EMCCD-сенсор с  задней подсветкой Технология sCMOS основана на  новом поколе-
имеет разрешение 1024x1024 пикселов с  шагом пик- нии дизайна и  технологии КМОП-процесса.
села 13 мкм. Габаритный размер сенсора 13,3×13,3 мм.

100

sCMOS Межстрочная CCD sCMOS/CCD слияние

10
Сигнал/шум

0,1
Межстрочная ССD
sCMOS

Рис.7. Сравнение чувствительности научных камер


0,01
Andor при визуализации клетки методом флуоресцен- 1 10 100 1 000
ции, используя вращающие диски на конфокальном Фотон/6,5 мкм
микроскопе (60-кратный иммерсионный объектив) при
времени экспозиции 100 мс и одинаковой мощности Рис.9. Сравнение соотношения сигнал-шум для научных
лазера: sCMOS-матрица (шум считывания 1,3 е – при камер Andor: sCMOS-матрица и межстрочная CCD-
скорости считывания 560 МГц) и межстрочная CCD- матрица. Поток фотонов (т. е. входная интенсив-
матрица (шум считывания 5 е– при скорости считы- ность света) представлен как отношение количества
вания 20 МГц). фотонов к размеру пиксела 6,5 мкм для каждого сенсора

106 фотоника № 4 / 58 / 2016


optoelectronic devices

Таблица 2. Сравнительные характеристики трех основных типов сенсоров: sCMOS, CCD и EMCCD

Параметры Neo sCMOS Межстрочная CCD EMCCD

Формат сенсора 5,5 Мп 1,4 to 4 Мп 0,25 до 1 Мп

Размер пикселя 6,5 мкм от 6,45 до 7.4 мкм от 8 до 16 мкм

1 e– при 30 кадр/с
Шум считывания 4—10 e- < 1e – (с усилением)
1,3 e – при 100 кадр/с

Стандартный режим:
Полная частота кадров >30 кадров/сек
от 3 до 16 кадр/с ~ 30 кадр/с
(макс.) Режим ускоренной обработки:
100 кадр/с

90% при задней подсветке


Квантовая эффективность 57% 60% 65% при технологии "virtual
phase"

8500:1
30000:1 ~ 3000:1
Динамический диапазон (при 30 кадр/с
(при 30 кадр/с) (при 11 кадр/с)
при низком усилении)

При усилении в 1.41 раз


Мультипликативный шум Отсутствует Отсутствует (фактически делит пополам
квантовую эффективность)

Этот тип устройства имеет расширенный набор пространственное разрешение. Таблица 1 пока-
функций, что делает его пригодным для коли- зывает зависимость частоты кадров от  размера
чественных научных измерений повышенной матрицы для кадрового и  строкового режимовчте-
точности. sCMOS-сенсор можно считать уни- ния sCMOS камеры
кальным прибором, который преодолевает Следует отметить, что каждое из  окон может
ограничения, обсуж даемые ранее, а  так же быть расширено до  полной ширины в  горизонталь-
устраняет недостатки производительности, ном направлении, и  по-прежнему поддерживать
которые традиционно были связаны с  обыч- ту  же указанную частоту кадров. Например, окна
ными КМОП-матрицами.
Сенсор sCMOS-матрицы с  разрешением 5,5 Мп
100
имеет большое поле зрения и  высокое разреше-
ние, не  ставя под угрозу шум считывания или sCMOS/CCD слияние

частоту кадров. Значение уровня шума считыва-


10
ния незначительно, даже по  сравнению с  самыми EMCCD/sCMOS пересечение
высокопроизводительными ПЗС-матрицами. Даже EMCCD/ССВ
Сигнал/шум

пересечение
ПЗС-матрицы с медленным сканированием не спо-
1
собны достичь такого низкого уровня шума. Тот
факт, что sCMOS сенсор достигает значения средне-
квадратичного шума считывания в  1 е– электрон
0,1 Межстрочная ССD
при считывании 5,5 Мп изображения со  скоро-
sCMOS
стью 30 кадров/с делает его поистине уникальным
ЕMCCD
на рынке. Кроме того, сенсор способен достигать 100
0,01
полных кадров в секунду со среднеквадратическим 1 10 100 1 000
шумом считывания в  1.3 е– электрон. Для сравне- Фотон/13 мкм
ния, самое низкое значение уровня шума построч-
ной ПЗС-камеры при считывании изображения Рис.10. Сравнение соотношение сигнал-шум для науч-
размером 1,4 Мп при скорости 16 кадров/с состав- ных камер Andor: sCMOS матрица, межстрочная CCD-
матрица и EMCCD-матрица с задней подсветкой.
ляет примерно 10 е-.
Для объективной оценки размер пиксела sCMOS- и CCD-
Можно получить большую скорость кадров матриц был подогнан под размер пиксела EMCCD-
посредством выбора определенной области, так что матрицы путем режима биннинга 2×2
при изменении поля зрения достигается высокое

Photonics № 4 / 58 / 2016 107


оптоэлектронные приборы

5,5 Мп sCMOS 5,5 Мп CMOS


1,3 Мп межстрочная
ПЗС
1,3 Мп межстрочная
CCD

Рис.11. Сравнение поля зрения научных камер Andor


(шаг пиксела составляет 6.5 мкм) при 60-кратном
увеличении и числовой апертуре 1,25: sCMOS-матрица
и межстрочная CCD-матрица с разрешением 5,5 и 1,4
Мп, соответственно. sCMOS-матрица демонстри-
рует широкое поле зрения при скорости 100 кадров/сек
и шуме считывания 1,3 е-

Рис.12. Сравнение поля зрения и разрешения научных


размером 1390×1024 и  2560×1024 пикселов поддержи- камер Andor (шаг пиксела составляет 6,5 мкм) при
вают 220 кадров в  секунду в  построчном режиме 100-кратном увеличении и числовой апертуре 1,45:
работы камеры. Это особенно важно для приложе- sCMOS матрица и межстрочная CCD-матрица с раз-
решением 5,5 и 1,4 Мп, соответственно
ний, где необходимо использовать длинную область
захвата.
Значение низкого уровня шумов считывания Очевидно, что по  большинству параметров
дополняется высоким динамическим диапазоном sCMOS матрицы имеют лучшие значения, это
30 000:1 при скорости 30 кадров в  секунду. Сравни- относится к шуму, скорости считывания, дина-
вая CCD-– или EMCCD-сенсоры можно сказать, что мическому диапазону и  соотношению поля зре-
для достижения высокого динамического диапа- ния к разрешению. Важно отметить, что эти
зона им приходится ограничивать скорость считы- преимущества выполняются без ограничений.
вания. Кроме того, структура sCMOS-сенсора при Преимущество по  уровню шума считывания
высоком динамическом диапазоне имеет большую остается у EMCCD-технологии, которая усиливает
емкость потенциальной ямы, несмотря на  малый входной сигнал над уровнем шума считывания
размер пиксела. Для сравнения, CCD-матрица с раз- и  делает его значение менее <1e-. Помимо этого,
решением в 1,4 Мп получает динамический диапа- sCMOS сенсоры имеют высокую квантовую эффек-
зон 1800:1 при 16 кадрах в секунду для аналогичного тивность (90%). EMCCD-технология, не имея таких
по размеру пиксела. высоких значений параметров, как у  sCMOS сен-
сора (разрешение, поле зрения, динамический
Часть 3. Сравнение sCMOS-камер диапазон и  частота кадров), тем не  менее позво-
с научными CCD- и EMCCD-камерами ляет регистрировать слабые сигналы.
Краткий сравнительный обзор sCMOS-сенсора при- Рис.  5–8 демонстрируют чувствительность
веден в  табл.2. В  табл.2 приведены сравнительные трех камер: sCMOS-камера с разрешением 5,5 Мп,
характеристики трех основных типов сенсоров: межстрочная ПЗС-камера с  разрешением 1,4 Мп
sCMOS, CCD-и EMCCD. Далее будут рассматрены два и  EMCCD-камера c задней подсветкой с  разреше-
вида сенсоров: CCD и  EMCCD, учитывая их попу- нием 1 Мп. Данные камеры имеют следующие
лярность использования в  научных применениях характеристики:
для обработки изображений. Межстрочные CCD- • sCMOS камера: скорость считывания 560 МГц,
матрицы, как правило, имеют разрешение от  1,4 100 кадров в секунду и шум считывания в 1,3 е-.
до  4 Мп. Сенсоры EMCCD-матрицы имеют разре- • CCD-камера, Andor Clara: скорость считыва-
шение 0,25 или 1 Мп со  скоростью до  30 кадров ния 20  МГц, 11 кадров в  сек и  шум считыва-
в секунду. ния в 5 е-.

108 фотоника № 4 / 58 / 2016


optoelectronic devices

• EMCCD-камера, Andor iXon 888: скорость считы- показали, что значение уровня шума считывания
вания 10 МГц c 300 кратным коэффициентом уси- <1 е – и высокая квантовая эффективность приводят
ления, 9 кадров в сек и шум считывания в 0.15 е-. к высокому уровню контраста слабого сигнала.
Условия формирования изображения при низ- На рис.  7 и  8 показаны четкие различия в  кон-
кой освещенности были созданы с  помощью све- трастности слабых сигналов sCMOS и межстрочных
тонепроницаемой установки, оснащенной CCD-камер. Разница контраста изображения возни-
диффузным, с  переменной интенсивностью, свето- кает из-за разности шума считывания между двумя
диодным источником света с длиной волны 622 нм, технологиями. Чувствительность трех матриц
маской (состоящей как из  набора отверстий так можно сравнить графически, используя параметр
и из таблицы разрешения), а также с помощью кон- соотношения сигнал-шум, как показано на  рис.9
фокального вращающегося диска и  обычных широ- и  10. На  рис.  10 показано сравнение соотношения
копольных флуоресцентных микроскопов, визуали- сигнал-шум для трех матриц (sCMOS, CCD и EMCCD
зирующих фиксированные бычьи эпителиальные с задней подсветкой). Все три сенсора имеют одина-
клетки, меченные красителем BODIPY FL (макси- ковый размер пиксела 13  мкм. Есть два заметных
мальная длина волны излучения ~ 510нм). пересечения, где соотношение сигнал-шум EMCCD-
Светодиодная установка отлично подходит для матрицы пересекает обе кривые значений sCMOS
сравнения чувствительности при крайне низкой и CCD-матрицы, при потоках фотонов ~55 фотонов на
освещенности, используя два параметра низкой пиксел и ~225 фотонов на пиксел, соответственно.
интенсивности света: 10 фотонов/6,5  мкм и  32 фото- На рис.  11 и  12 показаны изображения от  широ-
нов/6,5  мкм. Превосходство соотношения сигнал- копольного флуоресцентного микроскопа при 60-
шум sCMOS камеры над оптимизированной CCD- и  100-кратном увеличении соответственно для 5,5
камерой проявляется в виде контраста сигнала над Мп sCMOS-матрицы и  1,4 Мп CCD-матрицы. Обе
шумом, что также способствует улучшению разре- матрицы имеют шаг пиксела ~ 6,5 мкм, что позво-
шающей способности. Тем не менее, сравнение двух ляет наблюдать тонкие внутриклеточные струк-
sCMOS- и CCD-камер, а также EMCCD-камеры (рис. 6) туры при большой освещенности, как показано
в  светонепроницаемой светодиодной установке на  рис.12. При низком освещении, как показано

Photonics № 4 / 58 / 2016 109


оптоэлектронные приборы

на  рис.5 и  6, высокий уровень шума считывания чительный прорыв. Мы с  уверенностью можем
CCD-матрицы влияет на  разрешение и  контраст утверждать, что следующий шаг развития сенсор-
изображения. Это основополагающий момент для ной технологии будет за  КМОП-сенсорами. Тех-
измерения живых клеток, требующий низкого нология sCMOS-матриц получила широкое при-
освещения. знание в  различных областях науки и  техники,
благодаря сочетанию следующих характери-
Заключение стик: чрезвычайно низкий уровень шума, высо-
После нескольких десятилетий развития тех- кая частота кадров, широкий динамический
нологии изготовления сенсоров для получения диапазон, высокая квантовая эффективность,
цифрового видеоизображения был достигнут зна- высокое разрешение и большое поле зрения. ■

ФУНДАМЕНТАЛЬНЫЕ ФУНДАМЕНТАЛЬНЫЕ
ПРОБЛЕМЫ ОПТО- ПРОБЛЕМЫ
И МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ ОПТИКИ–2016

Азиатско-тихоокеанская конференция по теме мышленными объектами. Также будет уделено На конференции "Фундаментальные проблемы
"Фундаментальные проблемы опто – и микро- внимание технологиям разработки и создания оптики" ФПО–2016, которая состоится в Санкт-
электроники" пройдет в 11—13 октября 2016 года новых материалов и конструкций и новым Петербурге 17—21 октября 2016 года, предполага-
в Хабаровске. Она станет продолжением ранее принципам и методам обработки информации. ется организовать работу по секциям, отражаю-
начатых обсуждений последних достижений Среди организаторов конференции Дальнево- щим актуальные проблемы оптики:
в развитии оптоэлектронники, в области появ- сточный государственный университет путей ▪▪ оптика фемто- и аттосекундных импульсов,
ления новых электронных и микроэлектронных сообщения (ДВГУПС), Хабаровск. Председа- ▪▪ квантовая оптика и фундаментальная
систем, развития способов и устройств связи, тель оргкомитета академик РАН Ю.Н.Кульчин спектроскопия,
методов измерения и сенсорных систем и сетей, (Институт автоматики и процессов управле- ▪▪ когерентные процессы взаимодействия
их применений в науках о жизни, биомедицине, ния ДВО РАН, Владивосток). Сопредседатели: света с веществом,
социальном обеспечении, контроле за про- академик РАН О.Н.Крохин (ФИАН, Москва), ▪▪ новые принципы оптической передачи,
академик Китайской академии наук О.У. Цзинь- обработки и хранения информации,
пин (DLUT, Далянь), доктор Иеши Никава ▪▪ оптические материалы фотоники,
(Univ. Kokushikan, Токио, Япония) и д. ф.-м. н. ▪▪ оптика для биологии и медицины.
В.Криштоп (ДВГУПС, Хабаровск). Окончание Председатели конференции: академик РАН
регистрации на конференцию 20 сентября. Ж.И. Алферов и член – корреспондент РАН В.Н.
По материалам apcom2016.dvgups.ru Васильев (Университет ИТМО), председатель
программного комитета конференции: акаде-
мик РАН Е.Б. Александров (ФТИ).
СИСТЕМЫ НАБЛЮДЕНИЯ, МОНИТОРИНГА Организаторы конференции
И ДИСТАНЦИОННОГО ЗОНДИРОВАНИЯ ЗЕМЛИ ▪▪ Оптическое общество им. Д.С.Рождествен­
ского, Санкт-Петербург (ООР)
ХIII научно-техническая конференция "Системы ▪▪ фотоника, авиационные и специализирован- ▪▪ Университет ИТМО
наблюдения, мониторинга и дистанционного ные системы наблюдения. ▪▪ Московский государственный Университет
зондирования Земли" пройдет 12—18 сентября Программа конференции "СИСТЕМЫ ДЗЗ- им. М.В.Ломо­носова (МГУ)
2016 года в Сочи. Основные направления работы 2016" предполагает проведение пленарных ▪▪ Санкт-Петербургский государственный
конференции: и секционных заседаний, выступления со стен- Университет (СПбГУ)
▪▪ системы дистанционного зондирования довыми докладами, а также круглый стол ▪▪ НПК "Государственный оптический институт
Земли (ДЗЗ); по тематике конференции. Среди организато- им. С.И.Вавилова" (ГОИ)
▪▪ оптико-электронная аппаратура, устройства ров мероприятия ГК "РОСКОСМОС", МНТОРЭС ▪▪ Физико-технический институт
и датчики для систем наблюдения, монито- им.А.С.Попова, АО "РКЦ "ПРОГРЕСС", НПП им.А.Ф.Иоффе (ФТИ)
ринга и ДЗЗ; "ОПТЭКС", ОАО "РОССИЙСКИЕ КОСМИЧЕСКИЕ ▪▪ Открытое акционерное общество "ЛОМО"
▪▪ наземные средства и методы приема и обра- СИСТЕМЫ" и другие ведущие предприятия (ЛОМО)
ботки информации; отрасли. ▪▪ Поддержку проведению конференции
▪▪ фотоприемники и элементная база для оказывают общества SPIE, IEEE, OSA.
систем наблюдения и ДЗЗ; mntores.inlife.ru conf-bpo.ifmo.ru

110 фотоника № 4 / 58 / 2016