Масс-спектрометрия вторичных ионов.

Масс-спектрометрия вторичных ионов (МСВИ) (англ. Secondary-Ion Mass Spectrometry,

SIMS) — метод получения ионов из низколетучих, полярных и термически нестойких соединений
в масс-спектрометрии.
Первоначально применялся для определения элементного состава низко-летучих веществ,
однако впоследствии стал использоваться как десорбционный метод мягкой ионизации
органических веществ. Используется для анализа состава твёрдых поверхностей и тонких плёнок.
МСВИ — самая чувствительная из техник анализа поверхностей, способная обнаружить
присутствие элемента в диапазоне 1 часть на миллиард.
Суть метода
Проба облучается сфокусированным пучком первичных ионов (например Xe+, Cs+, Ga+) с
энергией от 100 эВ до нескольких кэВ (большая энергия используется в методе FAB).
Образующийся в результате пучок вторичных ионов анализируется с помощью масс-спектрометра
для определения элементного, изотопного или молекулярного состава поверхности.
Выход вторичных ионов составляет 0,1-0,01 %.

ВИМС обладает рядом уникальных возможностей:

1. Анализу можно подвергать любые твердые вещества без какой-либо специальной
подготовки (металлы и сплавы,полупроводники, диэлектрики).
2. Регистрируются все элементы от водорода до трансурановых.
3. Идентификация изотопов не требует дополнительных усилий.
4. Чувствительность анализа на современных приборах составляет по концентрации ~ 1012
– 1016 атомов примеси в 1 см3 (~ 10-4 - 10-7%), по расходу вещества ~ 10-14 - 10-15 г (~ 10-6
монослоя).
5. Возможность проводить послойный анализ материалов свысокой разрешающей
способностью по глубине – порядка 30 -100 Å.
6. Идентифицируются не только отдельные элементы, но и их химические соединения.

В тоже время метод имеет и некоторые недостатки:

1. Трудность точного количественного определения элементного состава образца, связанная
с зависимостью вероятности ионизации частиц от их окружения.
2. Разрушающее воздействие пучка первичных ионов на исследуемый образец, и как
следствие, возникновения эффектов связанных с перемешиванием и сегрегацией элементов на
поверхности.

Требования к вакууму
Метод МСВИ требует создания условий высокого вакуума с давлениями ниже
10−4 Па (примерно 10−6 мбар или торр). Это необходимо, чтобы гарантировать, что вторичные
ионы не сталкиваются с молекулами окружающего газа на их пути к датчику (длина свободного
пробега), а также для предотвращения поверхностного загрязнения адсорбция частицами
окружающего газа во время измерения.

Измерительный прибор
Классический анализатор на основе МСВИ включает в себя 1) первичную ионную пушку,
производящую первичный ионный пучок, 2) коллиматор первичных ионов, ускоряющий и
сосредотачивающий луч на образце (в некоторых устройствах с возможностью отделить
первичные ионы специальным фильтром или создать пульсацию луча), 3) высоковакуумную
камеру, содержащую образец и ионную линзу для извлечения вторичных ионов, 4) массовый
анализатор, разделяющий ионы согласно их отношению заряда к массе, 5) устройства
детектирования ионов.

Различают статический и динамический режимы МСВИ.

Статический
Используется небольшой поток ионов на единицу поверхности (< 5нА/см²). Таким образом,
исследуемая поверхность остаётся практически невредимой.
 Применяется для исследования органических проб.
Динамический
Поток первичных ионов большой (порядка мкА/см²), поверхность исследуется
последовательно, со скоростью примерно 100 ангстрем в минуту.
Режим является деструктивным, и, следовательно, подходит больше для элементного
анализа.
Эрозия пробы позволяет получить профиль распределения веществ по глубине.

Процесс распыления
Схематически
процесс
распыления
показан на рис. 6-2.
Первичные ионы –
с энергией ~ 10
кэВ проникают на
глубину ~ 100 Å. В
процессе их
торможения в
решетке твердого
тела, вследствие парных взаимодействий, развиваются каскады последовательных
столкновений между атомами матрицы. Часть каскадов столкновений имеет вероятность
выйти на поверхность. Если энергия поверхностного атома матрицы в конце каскада
достаточна для его отрыва от поверхности, то происходит его эмиссия или, иначе говоря,
– распыление. Глубина, на которой находились распыленные частицы до их эмиссии,
называется глубиной выхода. Распределение числа распыленных атомов от
первоначальной глубины их залегания имеет характерный вид, изображенный на рис. 6-3.
Оно зависит от энергий и масс
бомбардирующих ионов и
атомов мишени. Толщина слоя, с
которого выбивается половина
от общего числа распыленных
частиц (h1/2), обычно находится в
пределах 5 - 20 Å и определяет
максимально возможное
разрешение по глубине.
Пороговая энергия
распыления лежит в диапазоне
20 – 40 эВ.
Коэфициенты

В процессе распыления кроме атомарных ионов, образуются и

молекулярные. Однако число последних обычно значительно
меньше, чем первых. На рис. 6-4 показаны характерные
распределения по
поступательной
кинетической
энергии для одно,
двух и трехатомных
ионов. Основное
отличие
распределения для
атомарных ионов от
распределения для
молекулярных ионов
состоит в том, что
молекулярные ионов
с энергией более 20 –
30 эВ практически
отсутствуют.
 Схема установки

Пример: МСВИ –анализ лазерной гетероструктуры

 времяпролетный масс-спектрометр вторичных ионов

Времяпролётный масс-анализатор — простейший вид масс-анализатора.

Во время-пролётном масс-анализаторе ионы вылетают из источника и попадают во время

пролетную трубу, где отсутствует электрическое поле (бесполевой промежуток). Пролетев
некоторое расстояние d , ионы регистрируются детектором ионов с плоской или почти плоской
регистрирующей поверхностью. В 1950—1970 годах, в качестве детектора ионов использовался
вторичный электронный умножитель «жалюзного типа» (Venetian blind), позже применялся
комбинированный детектор, использующий две или иногда три последовательно расположенных
микроканальных пластины (МКП).

Физический принцип работы время-пролётного масс-анализатора заключается в том, что разность

потенциалов U ускоряет ионы в источнике ионов до скорости v согласно уравнению:

При фиксированной длине бесполевого промежутка от источника ионов до детектора ионов

время полета ионов

тогда

Время-пролётный масс-анализатор является импульсным масс-анализатором, то есть

ионы поступают из источника ионов во время-пролетную часть не непрерывно, а порциями
через определенные интервалы времени. Такие масс-анализаторы совместимы
с ионизацией лазерной десорбцией при содействии матрицы (МАЛДИ), так как в данном
методе ионизации ионы также образуются не непрерывно, а при каждом импульсе лазера.