Вы находитесь на странице: 1из 10

УДК 621.785.

532

УПРОЧНЕНИЕ ТИТАНОВЫХ СПЛАВОВ


ИОННО-ПЛАЗМЕННЫМ АЗОТИРОВАНИЕМ
В.А. Белоус, Г.И. Носов, И.О. Клименко
Национальный научный центр «Харьковский физико-технический институт»,
Харьков, Украина
E-mail: nosov@kipt.kharkov.ua
Приведены результаты анализа литературных источников по ионно-плазменному азотированию титано-
вых сплавов. Рассмотрено современное состояние работ по модификации свойств поверхности титановых
сплавов ионным азотированием, исследованию процессов азотирования и формирования упрочненных азо-
тированных слоев. Обсуждаются результаты, полученные разными методами ионного азотирования, и влия-
ние вида сплавов на свойства упрочненной поверхности. Показана роль температуры поверхности и состава
газовой среды в формировании структуры поверхностного слоя. Приведены основные результаты работ, в
которых использовались комбинированные методы упрочнения, включающие ионное азотирование с после-
дующим осаждением ионно-плазменных покрытий или ионной имплантацией.
ВВЕДЕНИЕ ридные покрытия, легированные одним или не-
Дальнейшее развитие современного турбострое- сколькими химическими элементами, дают возмож-
ния вызывает необходимость увеличения ресурса ность широкого изменения их структуры и свойств
работы их комплектующих. Это, в конечном счете, путем изменения размера зерен, дефектов решетки,
приведет к увеличению ресурса турбин в целом. фазового состава и морфологии поверхности через
Особое место среди входящих в состав турбин дета- управление параметрами процесса [16].
лей занимают лопатки. Среди них наиболее уязви- В последнее время большой интерес вызывает
мыми, с точки зрения надежности, являются лопат- использование для упрочнения титановых сплавов
ки последних ступеней, работающие в сложных тонких приповерхностных азотированных слоев,
условиях парокапельной смеси [1, 2]. Частично эта полученных вследствие химико-термической обра-
проблема решается вследствие различного рода ботки сплавов в присутствии азота. Достоинством
упрочнений поверхности стали, из которой изготов- азотирования является, прежде всего, отсутствие
лены лопатки. проблемы адгезии. К методам создания модифици-
В последнее время актуальным становится во- рованных поверхностных азотированных слоев в
прос замены стали на титановые сплавы. В частно- материале подложки, которые образуются за счет
сти, такой переход актуален для турбин АЭС. Пере- диффузии атомов азота, относятся: газовое азотиро-
ход на титановые сплавы в турбостроении связан с вание (ГА) [17, 18], ИА [8, 11] и ИИ [14, 15]. ГА пе-
их универсальным комплексом физико- реходных металлов осуществляется при высоких
механических свойств. Наиболее важными из них температурах и требует продолжительных выдер-
являются: жаропрочность, немагнитность, высокая жек, что является существенным недостатком этого
удельная прочность, высокая стойкость к коррозии метода. Важным преимуществом ИА перед ГА яв-
и сравнительно малый удельный вес [3]. ляется значительное уменьшение времени азотиро-
Однако вместе с положительными свойствами вания при прочих равных результатах. Ниже приво-
титановые сплавы имеют свойства, которые ограни- дится анализ работ, посвященных ИА титановых
чивают их применение в качестве конструкционных сплавов с помощью разных методов, таких как ИА в
материалов. Это, прежде всего, низкая твердость плазме тлеющего и дугового разрядов и комбиниро-
поверхности и низкая износоустойчивость. В связи с ванная ионная обработка титановых сплавов, вклю-
этим актуальной задачей является разработка новых чающая либо ИА с последующим осаждением
методов поверхностного упрочнения, которые поз- упрочняющих ионно-плазменных покрытий, либо
волят существенно повысить твердость и улучшить ИА с последующей ИИ.
коррозионные свойства поверхности. ИОННО-ПЛАЗМЕННОЕ АЗОТИРОВАНИЕ
Эффективным методом улучшения функцио- ТИТАНОВЫХ СПЛАВОВ
нальных свойств разных сплавов является модифи-
цирование их поверхности ионно-плазменной обра- Для удобства рассмотрения публикаций, посвя-
боткой, либо осаждением упрочняющих покрытий щенных ионно-плазменному азотированию титано-
вых сплавов, предложена классификация анализи-
[47], либо созданием модифицированных слоев в
руемых работ (рис. 1).
поверхности ионным азотированием (ИА) или ион-
Работы в этом направлении по способу реализа-
ной имплантацией (ИИ) [815].
ции процесса условно можно разделить на три
Вакуумно-дуговое осаждение защитных покры-
направления: ИА в тлеющем разряде, ИА в дуговом
тий нашло широкое промышленное применение для
разряде и комбинированная ионная обработка тита-
реализации метода модификации поверхностных
новых сплавов, которая также включает ИА. В свою
свойств материалов. Полученные синтезом из плаз-
очередь, работы по ИА в тлеющем разряде подраз-
мы титана в присутствии азота упрочняющие нит-

ISSN 1562-6016. ВАНТ. 2017. №5(111) 73


деляются на традиционное ИА в тлеющем разряде и Основное назначение азотирования титановых
ИА в тлеющем разряде с полым катодом (см. рис. 1). сплавов  получение твердого поверхностного слоя,
обладающего высокой износостойкостью при рабо-
те в условиях трения. При азотировании повышает-
ся также усталостная прочность и коррозионная
стойкость деталей.
На результаты азотирования существенное влия-
ние оказывают химический состав и структурные
особенности титановых сплавов, определяющие
характер взаимодействия титана с азотом [9, 10].
С помощью ионно-плазменного азотирования
возможно получение диффузионного слоя с разви-
той нитридной зоной, обеспечивающей высокую
сопротивляемость коррозии и прирабатываемость
трущихся поверхностей, для деталей, работающих
на износ, или диффузионного слоя без нитридной
зоны – для режущего, штампового инструмента или
деталей, работающих при высоких давлениях со
знакопеременными нагрузками [9].
ИА ТИТАНОВЫХ СПЛАВОВ
В ТЛЕЮЩЕМ РАЗРЯДЕ
ИА ТИТАНОВЫХ СПЛАВОВ
В ТРАДИЦИОННОМ ТЛЕЮЩЕМ РАЗРЯДЕ
Для уменьшения продолжительности азотирова-
ния, снижения температуры процесса, увеличения
поверхностной твердости, износоустойчивости и
коррозионной стойкости титановых сплавов наибо-
льшее распространение получило ИА в тлеющем
разряде [812, 1932], позволившее увеличить ско-
рость азотирования в 35 раз по сравнению с тради-
Рис. 1. Классификация работ, посвященных ционной технологией ГА.
ИА титановых сплавов Азотирование в тлеющем разряде обладает ря-
Работы по ИА в дуговом разряде разделены по дом преимуществ в сравнении с газовым: сравни-
использованию для реализации разряда холодного тельно низкой затратой энергии; большей энергией
или горячего катодов. Комбинированная ионная частиц, бомбардирующих поверхность, что обу-
обработка подразделена на ИА с последующим оса- словливает на порядок меньшую продолжитель-
ждением ионно-плазменных покрытий и ИА с по- ность технологического цикла, управляемость и
следующей ИИ. равномерность обработки материала.
Первые работы по ИА титановых сплавов в
ХИМИКО-ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА тлеющем разряде были связаны с использованием
ТИТАНОВЫХ СПЛАВОВ при проведении процесса довольно высоких темпе-
АЗОТИРОВАНИЕМ ратур и давлений азотосодержащих смесей.
Результаты, полученные в процессе ИА в тлею-
Для воздействия на свойства поверхности тита-
щем разряде сплавов титана, легированных разными
новых сплавов широко используется химико-
элементами, приведены в работах [9, 23]. Для срав-
термическая обработка в газовой среде – процесс
ГА [17, 18], осуществляемый при высоких темпера- нения проведено ИА - и (+)-сплавов. Из
турах (для титана реальная температура азотирова- -сплавов исследовали ВТ1-0, а из сплавов со
ния 850…1000 °С), вследствие чего изменяются структурой (+)  ВТ6, ВТ8. ИА образцов ВТ1-0
объемные характеристики и снижается конструкци- проводили при температурах ниже и выше темпера-
онная прочность материала через укрупнение струк- туры полиморфного превращения. Азотирование
турных составляющих. Процесс требует продолжи- при 800 оС показало, что возле поверхностного слоя
тельных выдержек (30…60 ч и выше). наблюдается тонкий (около 2 мкм) твердый слой
Дальнейшим развитием метода химико- нитрида титана, а за ним зона толщиной около
термической обработки титановых сплавов явилось 40 мкм с повышенной твердостью, которая соответ-
использование диффузионного насыщения азотом в ствует твердому раствору азота в -титане. После
плазме газовых разрядов (ИА), что позволило вме- азотирования при 950 оС наблюдается граница меж-
сте с большой скоростью насыщения сплавов ато- ду зоной -твердого раствора, в котором не прои-
мами азота получать целенаправленно контролиру- зошло превращение, и зоной -твердого раствора,
емую структуру поверхностного слоя при более который сформировался при охлаждении твердого
низкой температуре насыщения (чем при чисто ГА) раствора. Авторы делают вывод, что температура
и сохранении механических свойств материала.

74 ISSN 1562-6016. ВАНТ. 2017. №5(111)


азотирования существенно влияет на структуру и,
очевидно, будет влиять и на свойстве сплава.
На рис. 2 показаны зависимости микротвердости
сплава ВТ1-0 от глубины азотированного слоя и
температуры азотирования.

а б

Рис. 3. Влияние технологических параметров


азотирования на толщину диффузионной зоны
титанового сплава ВТ8 при концентрации
Ar 48%: hдиф = f(t,P) при Т = 620 оС (а);
hдиф = f(T,P) при τ = 130 мин [19] (б)
В работе показано, что для исследуемых титано-
вых сплавов толщина азотированного слоя возрас-
тала при увеличении времени диффузионного
насыщения по параболической зависимости и при
увеличении температуры процесса ИА, и уменьше-
Рис. 2. Зависимости микротвердости нии давления в вакуумной камере (см. рис. 3). Такое
от глубины азотированного слоя сплава ВТ1-0 влияние температуры азотирования и давления в
после обработки в среде азота при температурах: вакуумной камере на увеличение толщины азотиро-
1  800 и 2 – 950 °С [9] ванного слоя объясняется увеличением энергии ак-
тивации процесса диффузионного насыщения. Тол-
При азотировании сплава ВТ6 в среде азота в те- щина упрочненного слоя при азотировании в тлею-
чение 8 ч микротвердость возрастает от 240 (исход- щем разряде титановых сплавов зависит от азотного
ная) до 820 (600 °С), 1550 (800 °С) и 2100 HV потенциала в насыщающей газовой среде.
(1000 °С). При температуре азотирования 650 оС на
протяжении 8 ч в сплаве ВТ6 получена толщина ИА В ТЛЕЮЩЕМ РАЗРЯДЕ
С ПОЛЫМ КАТОДОМ
азотированного слоя 70 мкм, в сплавах ВТ9  150,
ВТ8  200 мкм. Износостойкость (+)-сплавов ти- В работах [12, 22, 30, 31] для интенсификации
тана после ИА выросла в несколько раз в сравнении процесса ИА в тлеющем разряде использовали эф-
с исходными неазотированными образцами. фект полого катода (ЭПК), что позволило увеличить
В работе [24] ИА сплавов TC4 и ТА7 (ВТ6 и скорость насыщения титановых сплавов азотом и
ВТ5-1) проводилось в течение 16 ч при 900 оС. По- проводить локальную обработку.
лучен азотированный слой, состоящий из нитридно- В работах [12, 2729, 31] для создания полого
го и диффузионного слоев с общей толщиной около катода на расстоянии 5...7 мм от обрабатываемой
100 мкм и поверхностной твердостью около поверхности устанавливался специальный экран в
1200 HV0,1. В 25 исследовалось ИА сплава Ti-6Al- виде сетки. Обрабатываемая деталь и экран находи-
4V. Условия эксперимента: газовая смесь  азот с лись под отрицательным потенциалом и образовы-
вали полость – полый катод (рис. 4).
добавкой аргона (концентрация 1:1), давление 
40 Па, температура  900 °C. Результаты показыва-
ют, что средние значения твердости и модуля упру-
гости для поверхности азотированного слоя состав-
ляют 17,36 и 328,81 ГПа, что примерно в 6 и 3 раза
выше, чем у исходного материала.
В работах [1921] авторы предлагают в качестве
альтернативы высокотемпературному азотированию
низкотемпературное (до 700 °С) азотирование в
тлеющем разряде в безводородных насыщающих
средах. ИА проводили в тлеющем разряде при таких
параметрах: температура – от 540 до 680 °С; давле-
ние в вакуумной камере – от 240 до 400 Па; содер- Рис. 4. Устройство для реализации способа
жание аргона в смеси с азотом (Ar в объемных про- азотирования в тлеющем разряде с ЭПК [12]
центах) от 25 до 95% и продолжительность диффуз-
ного насыщения τ = 6 ч. В тлеющем разряде с полым катодом в результа-
На рис. 3 приведены зависимости толщины диф- те осцилляции электронов внутри него удается
фузионной зоны от технологических параметров сформировать плазму с повышенной концентрацией
азотирования для титанового сплава ВТ8. заряженных частиц по сравнению с обычным тлею-
щим разрядом. Это позволило получать более высо-
кий ионный ток при азотировании, снизить мини-

ISSN 1562-6016. ВАНТ. 2017. №5(111) 75


мальное напряжение горения разряда и рабочее дав- повышалась с увеличением плотности ионного тока
ление. и напряжения горения разряда.
Условия азотирования – с проявлением ЭПК:
Р = 80 Па, ток разряда I = 1,5 А и напряжение разря-
да U = 600 В; без ЭПК: Р = 300 Па, ток разряда
I = 3 А и напряжение разряда U = 600 В.
Зависимости микротвердости титана ВТ1-0 от
глубины азотированного слоя при наличии и без

HV0 05, ГПа


ЭПК показаны на рис. 5.

, мкм
Рис. 6. Профили микротвердости титана
ВТ1-0 после азотирования в тлеющем РПК
при низких давлениях и температурах: 1, 2 – 750;
3, 4  550; 5, 6  450 °С. Кривые 1, 3, 5 – тыльная
и 2, 4, 6 – лицевая стороны образца [22]
Метод ИА в тлеющем разряде наиболее изучен,
Рис. 5. Изменение микротвердости по глубине широко применяется в промышленных условиях.
азотированного слоя: без ЭПК (○) Достигнуты большие глубины (до 200 мкм) и мик-
и с проявлением ЭПК (●) [12] ротвердости азотированных слоев (до 20 ГПа). Од-
нако существующие на сегодняшний день техноло-
Повышение микротвердости обусловлено обра- гические процессы ИА в тлеющем разряде прово-
зованием нитридов титана на поверхности образцов. дятся или при относительно высоких температурах
Микротвердость образцов после азотирования в (700…800 °С), или при большой продолжительно-
условиях проявления ЭПК в 1,6 раза выше, чем без сти процесса (6…10 ч) при 550…650 °С, что может
ЭПК. Использование тлеющего разряда с полым приводить к разупрочнению сердцевины деталей из
катодом позволило понизить рабочее давление от некоторых титановых сплавов. Возможности по по-
300 до 60 Па. вышению экономичности, интенсификации процес-
В работах [22, 26, 30] для снижения рабочего са азотирования в тлеющем разряде ограничены из-
давления и получения минимального напряжения за затруднений, связанных с дальнейшим снижени-
горения разряда при азотировании титановых спла- ем рабочего давления и ростом плотности тока, что
вов в тлеющем разряде с полым катодом использо- обусловлено условиями существования тлеющего
вали инжекцию быстрых электронов из плазмы до- разряда.
полнительного дугового разряда с холодным полым ИА В ДУГОВОМ РАЗРЯДЕ
катодом в плазму тлеющего разряда. Такая внешняя
инжекция заряженных частиц в полый катод позво- Использование для ИА плазмы дугового разряда,
ляет уйти в сторону более низких давлений при со- который характеризуется низким напряжением го-
хранении всех положительных качеств обычного рения, высокой плотностью плазмы (до 1018 м-3),
тлеющего разряда и реализовать режимы как само- высоким значением разрядного тока и широким
стоятельного, так и несамостоятельного тлеющего диапазоном давлений, при которых он стабильно
разряда с полым катодом. зажигается и горит, является одним из перспектив-
В [22] приведены результаты исследования азо- ных вариантов решения проблем, которые возника-
тирования титана ВТ1-0 при низких давлениях на ют при проведении процесса ИА в тлеющем разря-
протяжении 4,5 ч при температурах 450…750 °С в де. Метод ИА в плазме дуговых разрядов позволяет
плазме тлеющего разряда с полым катодом. В плаз- существенным образом снизить температуру и про-
ме с концентрацией n = 1010…1011 см-3 диффузион- должительность поверхностной обработки.
ное насыщение титана азотом происходило при ИА в плазме дуговых разрядов проводится или с
плотностях ионного тока на катоде 1,6…4,0 мА/см2. холодным катодом (двухступенчатый вакуумно-
Выявлено формирование градиентной структуры с дуговой разряд, реализуемый с помощью электроду-
высокой (14 ГПa) микротвердостью на поверхности гового испарителя [33, 34]), или с горячим тер-
(рис. 6). моэмиссионным катодом (с использованием источ-
Увеличение температуры от 450 до 750 °С при- ника газовой плазмы [13, 35]). Преимуществами ИА
водило к увеличению микротвердости в 2,2 раза. На в дуговом разряде перед традиционным ИА в тлею-
поверхности формировалась многослойная структу- щем разряде являются: более высокая концентрация
ра с высокой микротвердостью, состоящая из слоев заряженных частиц в плазме дугового разряда,
нитрида титана, диффузионного насыщения и тер- меньшее насыщение водородом азотированных де-
мического влияния, плавно переходящего в основ- талей, проведение процесса ИА в более чистых ва-
ной объем материала. Микротвердость поверхности куумных условиях при давлении азота на 12 по-
рядка ниже.

76 ISSN 1562-6016. ВАНТ. 2017. №5(111)


ИА В ДУГОВОМ РАЗРЯДЕ С ХОЛОДНЫМ вать независимое регулирование таких параметров
КАТОДОМ процесса ИА, как разрядный ток и потенциал под-
В работах [34, 36] описана методика ионно- ложки.
вакуумного азотирования титановых сплавов в пла- В работах [35, 37] проведены исследования по
зме дугового разряда с холодным катодом в моди- изучению влияния основных параметров процесса
фицированной установке «Булат». Данный метод низкотемпературного азотирования в плазме неса-
позволяет снизить температуру процесса ИА до мостоятельного дугового разряда низкого давления
500…600 °С и уменьшить продолжительность обра- на структуру и свойства поверхности титанового
ботки по сравнению с азотированием в тлеющем сплава ВТ1-0 в двух структурных состояниях: круп-
разряде. В отмеченных работах изложены экспери- нозернистом (КЗ) и субмикрокристаллическом
ментальные результаты, касающиеся структурно- (СМК). Азотирование проводилось при температуре
фазовых аспектов низкотемпературного ИА титано- < 500 °С в смеси газов  азот-аргон. В результате
вых сплавов, применяющихся для медицинских им- азотирования на образцах в СМК-состоянии полу-
плантантов. В частности, было установлено, что при чено большее увеличение микротвердости (4,8 ГПа),
азотировании титановых сплавов ВТ20 и ВТ6, со- чем на образцах в КЗ-состоянии (3,5 ГПа). Различ-
держащих 7…10% β-фазы, при ИАдостигается мак- ный характер воздействия ИА на свойства поверх-
симальная глубина диффузионного слоя. Авторы ностных слоев титанового сплава с различным раз-
объясняют это более высокой диффузионной под- мером зерен авторы объясняют тем, что, хотя со-
вижностью азота в β-фазе. Данная технология обес- гласно литературным данным [38] диффузия при
печивает не только формирование протяженной ИА носит объемный характер, однако измельчение
диффузионной зоны твердого раствора азота в ти- структуры материала приводит к росту протяженно-
тане, но и образование термодинамически устойчи- сти границ и усилению вклада зернограничной
вых поверхностных слоев δ-(TiN) и ε-(Ti2N)- диффузии, которая характеризуется более высокими
нитридов. Создание такой поверхностной градиент- скоростями [39]. Все это способствует формирова-
ной микроструктуры существенно увеличивает и нию более протяженной диффузионной зоны и
антикоррозионную стойкость поверхности, делая ее уменьшению толщины нитридного слоя в СМК-
практически инертной в биологических средах [36]. титане.
В работах [34, 36] также отмечено, что размер В работах [40, 41] изучалось влияние ионно-
структурных составляющих в двухфазных титано- плазменного азотирования в плазме несамостоя-
вых сплавах оказывает влияние на процесс азотиро- тельного дугового разряда на нанотвердость и мо-
вания: с повышением дисперсности α-фазы увели- дуль упругости титанового сплава ВТ1-0, измерен-
чивается протяженность диффузионной зоны с об- ное с помощью наноиндентора (Nanoindenter G200).
разованием α-твердого раствора (таблица) и умень- На рис. 7 показана зависимость нанотвердости по-
шается количество нитридных фаз на поверхности. верхности ВТ1-0 от глубины проникновения инден-
тора для исходного образца (1) и образцов после ИА
Влияние размера частиц α-фазы образцов при 500, 550 и 600 °С.
из сплава ВТ20 на глубину диффузионной зоны (h) 25
и микротвердость поверхности после ИА
при Т = 550 оС, t = 1 ч [36]
20
Нанотвердость, ГПа

Размер Н0,05, МПа Н0,05, МПа ВТ1-0


h,
частиц мкм
до азотиро- после азоти- 15 2
α-фазы, d вания рования 3

0,5…0,9 мкм 32 4300 6100 10


4
3…5 мкм 26 3400 5200
5
1

ИА В ДУГОВОМ РАЗРЯДЕ
ТЕРМОЭМИССИОННЫМ КАТОДОМ 0
0 1000 2000 3000
Наличие в плазменном потоке, генерируемом ду- Глубина, нм
говыми разрядами с холодным катодом, большого Рис. 7. Зависимости нанотвердости поверхности
количества микрокапель материала распыляемого ВТ1-0 от глубины проникновения индентора
катода накладывает некоторые ограничения на ис- для исходного образца (1) и образцов после ИА
пользование их в процессах модификации поверх- в течение 2 ч при температурах:
ности. Дуговые разряды с накаленным катодом поз- 500 (2); 550 (3); 600 °С (4) [41]
воляют получать относительно чистую (бескапель-
ную) газоразрядную плазму при азотировании. Та- Процесс ионно-плазменного азотирования про-
кие системы обеспечивают широкий диапазон регу- водили на установке типа «Булат-6» в азотной плаз-
лирования плотности плазмы. Диапазон рабочих ме, получаемой с помощью источника газовой
давлений таких систем находится в пределах плазмы (ИГП) [13], при отрицательном напряжении
0,01…5 Па. Наличие дополнительных регулировок на подложке 300…400 В. Вследствие бомбардиров-
(токов накала, анода и питания катушек соленоида ки ионами азота поверхность образцов нагревалась
для создания магнитного поля) позволяет обеспечи- до температуры диффузии, и производилось насы-

ISSN 1562-6016. ВАНТ. 2017. №5(111) 77


щение поверхности азотом. Регулирование структу- В работе [44] исследованы способы формирова-
ры и фазового состава азотированного слоя прово- ния износостойких слоев на титановых сплавах раз-
дилось изменением рабочих режимов ИГП. Дли- личными методами азотирования, а также их соче-
тельность процесса азотирования при рабочей тем- танием. В качестве базового метода рассмотрено
пературе 500…600 °С составляла 2 ч. Как показали ГА, которое комбинировали с азотированием в тле-
результаты измерений, ИА титанового сплава ВТ1-0 ющем разряде (АТР), а также ИИ.
приводит к формированию на поверхности гради- Проанализированы фазовый состав нитридных
ентной по твердости структуры. Максимальная слоев и особенности газонасыщения. Изучены мик-
твердость азотированного слоя достигала 20 ГПа ротвердость и шероховатость поверхности, а также
(исходная твердость  3,2 ГПа). износостойкость покрытий. На рис. 8 показаны рас-
При этом увеличение температуры образцов в пределение и градиент микротвердости по сечению
процессе ИА от 500 до 600 °С приводило к возрас- упрочненноrо поверхностного слоя сплава ВТ6 по-
танию глубины азотированного слоя. В результате сле азотирования.
ИА возрастала стойкость сплава к корозии и кавита-
ционному износу.
КОМБИНИРОВАННАЯ ИОННО-
ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА
ТИТАНОВЫХ СПЛАВОВ
В последнее время интерес различных исследо-
вателей привлекает возможность модификации
свойств поверхности титановых сплавов использо-
ванием комбинаций различных методов ионно-
плазменной обработки, включающих ИА, осаждение
покрытий и ИИ. Такие комбинации различных ме- Рис. 8. Распределение и градиент микротвердо-
тодов обработки позволяют сочетать их достоинст- сти по сечению упрочненного поверхностного слоя
ва, повысить износостойкость и срок службы обра- сплава ВТ6 после азотирования:
ботанных изделий. Комбинированные методы обра- 1  ГА; 2  ГА+ИИ; 3  ГА+АТР [44]
ботки, включающие ИА и осаждение ионно-
плазменных покрытий, ранее успешно использова- В работе показано, что сочетание ГА с другими
лись для модификации свойств поверхности сталей способами азотирования позволяет повысить изно-
[33, 42]. состойкость титановых сплавов. Наиболее благо-
Так, в [33] рассмотрена вакуумно-дуговая моди- приятным сочетанием является последовательное
фикация поверхностей стальных изделий, которая проведение ГА и АТР, поскольку это не только эф-
заключалась в их азотировании в дуговом разряде фективнее повышает износостойкость нитридной
при положительном потенциале и дальнейшем оса- поверхности, но и в наибольшей степени способ-
ждении сверхтвердых покрытий с ИИ в процессе их ствует сохранению механических свойств титановой
нанесения. В [42] для повышения износостойкости матрицы. Авторы объясняют это тем, что последова-
стальных деталей паровых турбин использовали тельное проведение ГА и АТР позволяет формиро-
процесс, состоящий из ИА поверхности деталей с вать азотированный слой с нитридной пленкой на
последующим нанесением износостойкого нитрид- поверхности при плавном градиенте твердости по
ного покрытия МоN. Максимальная глубина упроч- сечению приповерхностных слоев (см. рис. 8), что
нения достигала 170...180 мкм, твердость нитридно- более благоприятно с точки зрения обеспечения вы-
го покрытия превысила твердость стальной основы соких трибологических свойств.
более чем на порядок величины. ФОРМИРОВАНИЕ ДИФФУЗИОННЫХ
В работе [43] рассмотрена возможность получе- СЛОЕВ ПРИ ИА ТИТАНОВЫХ СПЛАВОВ
ния вакуумно-плазменных нанослойных покрытий
для лопаток турбомашин из титановых сплавов сов- В результате анализа рассмотренной литературы
мещением процессов электродугового осаждения и можно отметить общие тенденции, характерные для
ИИ. Приводятся результаты исследования стойкости разных способов ИА титановых сплавов, проявля-
к капельно-ударной эрозии, солевой коррозии и га- ющиеся при формировании диффузионных слоев.
зоабразивной эрозии. На поверхности лопатки про- На формирование диффузионных слоев оказывают
водили вакуумно-плазменные осаждения выбранно- влияние химический состав, структура титановых
го металлического подслоя и нанослоев из нитридов сплавов, а также параметры ИА (температура, про-
или карбонитридов алюминия, или соединений ти- должительность процесса, давление, состав газовой
тана, циркония и алюминия с азотом. При этом по- смеси, концентрация газов).
сле осаждений подслоя и каждого нанослоя прово- Влияние химического состава и структуры тита-
дили его ИИ-обработку. Результаты экспериментов новых сплавов на формирование диффузионных
показали увеличение стойкости титановых лопаток слоев при азотировании связано с особенностями
после описанной обработки к солевой коррозии (до взаимодействия азота с α- и β-фазами, с влиянием
1,5 раза), капельно-ударной эрозии (до 2,1 раза) и фазового состава, степени легирования фаз, кинети-
газоабразивной эрозии (в 2,5 раза) по сравнению с ки фазовых превращений на диффузионную по-
покрытиями без обработки. движность азота [45, 46].

78 ISSN 1562-6016. ВАНТ. 2017. №5(111)


Химический состав титанового сплава определя- ной диффузионной подвижностью азота в твердом
ет количественное соотношение α- и β-фаз. Так, растворе и замедлением диффузии азота в нитрид-
увеличение в структуре титановых сплавов количе- ных фазах [8]. В этом случае увеличение эффектив-
ства β-фазы до 30% приводит к увеличению в 1,4 ности ионного травления обрабатываемых поверх-
раза глубины азотированного слоя по сравнению с ностей в течение процесса азотирования, например
чистым титаном за счет более высокой скорости путем снижения давления рабочего газа, также
диффузии азота в β-фазе [47]. представляется целесообразным. Снижение давле-
Легирование титана α-стабилизаторами (напри- ния и переход катодного слоя в бесстолкновитель-
мер, алюминием) способствует ускорению диффу- ный режим приводят к увеличению энергии бом-
зии азота в глубь материала. В то же время легиро- бардирующих поверхность ионов, что согласно [48]
вание титана β-стабилизаторами (например, ванади- способствует генерации в приповерхностном слое
ем и молибденом) приводит к замедлению диффу- вакансий, ускоряющих диффузию атомов азота.
зии азота в титане [48]. Другим методом интенсификации процесса азо-
Размер структурных составляющих в двухфаз- тирования является увеличение концентрации азота
ных титановых сплавах оказывает влияние на про- в атомарном состоянии, что возможно как путем
цесс ИА: с повышением дисперсности α-фазы уве- повышения плотности ионного тока, так и формиро-
личивается протяженность диффузионной зоны с ванием плазмообразующей смеси азота с аргоном
образованием α-твердого раствора и уменьшается [19, 34]. Аргон, имеющий массу иона, которая пре-
количество нитридных фаз на поверхности [36]. восходит массу иона азота, активно распыляет нит-
Различный характер изменения структуры по- ридную зону, образующуюся на поверхности изде-
верхностных слоев титанового сплава с различным лия в процессе азотирования. Одновременно с этим
размером зерен после ИА отмечен в [37]. Авторы при упругом соударении ионов азота с атомами кри-
считают, что измельчение структуры материала сталлической решетки в тонком поверхностном слое
приводит к росту протяженности границ и усиле- металла возрастает плотность дефектов  дислока-
нию вклада зернограничной диффузии, которая ха- ций. Повышение плотности дислокаций увеличива-
рактеризуется более высокими скоростями [48, 49]. ет проводящую способность диффузионной зоны,
Глубина и поверхностная твердость азотирован- приводя к росту доли объемной диффузии. В отли-
ного слоя зависят от ряда факторов, из которых ос- чие от ГА при ИА роль граничной диффузии
новными являются температура ИА, продолжитель- уменьшается. На начальных стадиях процесса зна-
ность азотирования и состав титанового сплава. С чительная часть азота диффундирует не по грани-
повышением температуры азотирования быстрее цам, а по объему зерен, преимущественно по дисло-
протекает диффузия азота в титановый сплав и уве- кационным каналам [8].
личивается глубина азотированного слоя [19, 22]. На поверхности титановых сплавов вследствие
При высокой температуре ИА (выше температу- азотирования образуется тонкий твердый нитрид-
ры полиморфного превращения) в материале сплава ный слой  выделения нитридов Ti2N и TiN. Азот
происходят микроструктурные преобразования, и диффундирует по направлению к металлической
значительно уменьшаются характеристики прочно- подложке, образуя диффузионную зону, состоящую
сти и пластичности основы, что объясняется укруп- из твердого раствора внедрения азота в титане. Ва-
нением зерна. При этом достигается высокая твер- рьируя состав насыщающего газа, давление, темпе-
дость поверхности сплавов, однако резко уменьша- ратуру и время выдержки, можно получить слои
ются пластичность азотированных слоев и предел заданной структуры и фазового состава, обеспечи-
прочности при растяжении материала. вая строго заданные свойства титановых сплавов.
С увеличением продолжительности азотирова- При этом в зависимости от целей обработки в ре-
ния увеличивается глубина азотированного слоя. зультате ИА можно получить диффузионный слой с
Как отмечено в работе [19], для титановых сплавов развитой нитридной зоной, обеспечивающей высо-
толщина азотированного слоя возрастала при уве- кую сопротивляемость коррозии и прирабатывае-
личении времени диффузионного насыщения по мость трущихся поверхностей для деталей, работа-
параболической зависимости, увеличении темпера- ющих на износ. А можно получить диффузионный
туры процесса азотирования и уменьшении давле- слой без нитридной зоны для инструментов и дета-
ния в вакуумной камере. Такое влияние температу- лей, работающих при знакопеременных нагрузках в
ры азотирования и давления в вакуумной камере на условиях изнашивания при высоких давлениях
увеличение толщины азотированного слоя объясня- [9, 49, 50].
ется увеличением энергии активации процесса диф-
фузионного насыщения. ЗАКЛЮЧЕНИЕ
Ранее было показано [10], что для интенсифика- Анализ рассмотренной литературы по ИА тита-
ции азотирования сплавов необходимо удалять об- новых сплавов позволяет сделать такие выводы.
разующиеся на обрабатываемой поверхности слои 1. Методы ИА находят все более широкое при-
оксидов с помощью ионного травления. При обра- менение для модификации свойств титановых спла-
ботке химически активного титана образующийся вов. Потребность в этом растет в связи с постоянно
на поверхности слой нитрида титана также суще- расширяющимся применением титановых сплавов в
ственно препятствует проникновению азота в глубь самых разнообразных сферах  от медицинских им-
образца. Выявлена общая для всех переходных ме- плантантов до титановых лопаток турбин.
таллов закономерность, обусловленная максималь-

ISSN 1562-6016. ВАНТ. 2017. №5(111) 79


2. Подавляющее число работ по ИА титановых ктивных защитных покрытий для лопаток послед-
сплавов связано с использованием тлеющего разря- них ступеней паровых турбин // Теплоэнергетика.
да. Этот метод хорошо изучен и находит широкое 1996, №12, с. 28-33.
применение в промышленных условиях. Получены 6. В.А. Білоус, В.М. Воєводін, В.М. Хороших,
большие глубины (до 200 мкм) и микротвердости Г.І. Носов, В.Г. Марінін, С.О. Леонов, В.Д. Овчаре-
азотированных слоев (до 20 ГПа). Перспективы да- нко, В.І. Коваленко, А.А. Комарь, А.С. Купрін,
льнейшего развития метода ионного АТР зависят от Л.О. Шпагіна. Створення экспериментального обла-
того, насколько успешно будут решены вопросы днання і основних технологічних прийомів отри-
дальнейшего снижения рабочего давления и увели- мання кавітаційно-стійких захисних покриттів на
чения разрядного тока. робочих поверхнях лопаток парових турбін з тита-
3. Среди рассмотренных публикаций мало работ нового сплаву ВТ6 з метою заміщення імпорту ана-
по азотированию титановых сплавов в плазме дуго- логічної продукції // Наука та инновации. 2016,
вых разрядов, но даже имеющиеся результаты гово- т. 12, №4, с. 29-39.
рят о перспективности этого направления. В пользу 7. J.A. Sue. Development of arc evaporation of
этого говорят такие обстоятельства: дуговые разря- non-stoichiometric titanium nitride coatings // Surface
ды непрерывного действия позволяют получать га- and Coating technology. 1993, v. 61, p. 115-120.
зоразрядную плазму с концентрацией до 10 18 м-3 (на 8. Ю.М. Лахтин, Я.Д. Коган, Г.И. Шпис,
12 порядка выше, чем в тлеющем разряде) в боль- З. Бемер. Теория и технология азотирования. М.:
ших объемах; рабочее давление при использовании «Металлургия», 1991, 320 с.
дуговых разрядов на 23 порядка ниже, чем в тле- 9. Т.А. Панайоти, Г.В. Соловьев. Структура, фа-
ющем разряде. Для развития и внедрения в широ- зовый состав и твердость азотированного титана //
кую практику этого метода необходимо проведение МиТОМ. 1992, №9, с. 34-39.
систематических исследований в этом направлении. 10. Б.Н. Арзамасов, А.Г. Братухин, Ю.С. Ели-
4. Мало изучены методы упрочнения титановых сеев, Т.А. Панайоти. Ионная химико-термическая
сплавов комбинированными способами такими, как, обработка сплавов. М.: Изд-во МГТУ им Н.Э. Бау-
например, ИА с последующим осаждением твердых мана, 1999, 400 с.
наноструктурных ионно-плазменных покрытий на 11. И.М. Пастух. Теория и практика безводоро-
основе нитридов, легированных разными элемента- дного азотирования в тлеющем разряде: Моногра-
ми. У таких комбинированных методов упрочнения фия. Харьков: ННЦ ХФТИ, 2006, 364 с.
имеется большая перспектива при условии, когда и 12. В.В. Будилов, Р.Д. Агзамов, К.Н. Рамазанов.
ИА, и ионно-плазменное осаждение покрытий будут Технология ионного азотирования в тлеющем РПК
реализовываться в одном технологическом объеме и // МиТОМ. 2007, №7, с. 25-29.
одном непрерывном технологическом цикле. 13. В.А. Белоус, Г.И. Носов. Ионное азотирова-
5. Несмотря на заметные успехи в получении ние сталей в дуговом разряде низкого давления //
практических результатов по упрочнению титано- Технология машиностроения. 2004, №3(27), с. 35-39.
вых сплавов ИА, до сих пор нет общепринятых мо- 14. Т.Д. Раджабов, А.С. Багдасаров. Изменение
делей, объясняющих механизм упрочнения поверх- поверхностной микротвердости и износостойкости
ности после ИА, роль атомарного азота, ионной и сплава титана в результате ионного азотирования //
электронной компонент в формировании нитридных Поверхность. Физика, химия, механика. 1986, №11,
и диффузионных слоев. Необходимы дальнейшие с. 104-111.
исследования, направленные на изучение взаимо- 15. С.Н. Братушка, С.В. Соколов. Влияние
связи свойств поверхности после ИА со структурой, плазменной обработки и ионной имплантации на
фазовым составом поверхности и влияние на них свойства и структурно-фазовые изменения в титано-
параметров ионного азотирования. вых сплавах // ФИП PSE. 2012, т. 10, №2, с. 4-27.
16. В.А. Белоус, В.В. Васильев, С.К. Голтвяни-
БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК ца, В.С. Голтвяница, Ю.А. Заднепровский, В.И. Ко-
1. Е.М. Сигал. Ранжирование отклонений от но- валенко, А.С. Куприн, Н.С. Ломино, А.А. Лучани-
рмальной работы оборудования АЭС по степени их нов, В.Г. Маринин, В.Д. Овчаренко, Е.Н. Решетняк,
влияния на коэффициент использования установ- В.Е. Стрельницкий, Г.Н. Толмачёва. Абразивная и
ленной мощности // Атомная энергия. 2002, т. 92, кавитационная стойкость TiN-покрытий, легирова-
в. 3, с. 181-188. ных Al, Si, Y // Вестник двигателестроения. 2012,
2. Б.М. Трояновский. Турбины для атомных №1(26), с. 201-211.
электростанций. М.: «Энергия», 1978, 232 с. 17. С. Малинов, А. Зечева, В. Ша. Связь микро-
3. С.Г. Глазунов, В.Н. Моисеев. Конструкцион- структуры и свойства промышленных титановых
ные титановые сплавы. М.: «Металлургия», 1974, сплавов с параметрами процесса азотирования из
368 с. газовой фазы // МиТОМ. 2004, №7, с. 21-28.
4. В.А. Рыженков, Г.В. Качалин, С.И. Погоре- 18. В.Г. Хижняк, М.М. Бобина, О.М. Соловар.
лов, О.В. Старикова, Б.Г. Тер-Арутюнов. Перспек- Зносостійкі покриття на основі азоту на сплаві ВТ9
тивы применения ионно-плазменных покрытий для // Problems of friction and wear. 2013, №1(60),
повышения износостойкости энергетического обо- p. 61-66.
рудования // НРЭ. 2004, №3, с. 16-26. 19. В.Г. Каплун, Н.С. Машовець, В. Яковлев.
5. В.Ф. Резинских, А.Ф. Богачев, А.Н. Лебедева, Підвищення трибологічних властивостей титану і
В.А. Рыженков, А.А. Бодров. Исследования перспе- його сплавів низькотемпературним азотуванням у

80 ISSN 1562-6016. ВАНТ. 2017. №5(111)


тліючому розряді // Машинознавство. 2010, 34. А.А. Ильин, С.В. Скворцова, Л.М. Петров,
№7(157), с. 43-47. Е.А. Лукина, А.А. Чернышева. Влияние фазового
20. В.Г. Каплун, Н.С. Машовец. Дослідження состава и структуры на взаимодействие титановых
зносостійкості титанового сплаву ВТ-8 після низь- сплавов с азотом при низкотемпературном ионном
котемпературного азотування в плазмі тліючого азотировании // Металлы. 2006, №5, с. 40-46.
розряду // Проблеми трибології. 2008, №4, с. 84-88. 35. Д.С. Вершинин, М.Ю. Смолякова. Низко-
21. В.Г. Каплун. Особенности формирования температурное азотирование титана в плазме неса-
диффузионного слоя при ионном азотировании в мостоятельного дугового разряда низкого давления
безводородных средах // ФИП. 2003, т. 1, №2, с. 141- // Физика и химия обработки материалов. 2011,
145. №5, с. 15-20.
22. Ю.Х Ахмадеев, И.М. Гончаренко, 36. А.М. Мамонов, В.С. Спектор, Е.А. Лукина,
Ю.Ф. Иванов, Н.Н. Коваль, П.М. Щанин. Азотиро- С.М. Сарычев. Применение вакуумного ионно-
вание технически чистого титана в тлеющем разряде плазменного азотирования для повышения износо-
с полым катодом // Письма в ЖТФ. 2005, т. 31, в. 13, стойкости медицинских имплантантов // Титан.
с. 24-30. 2010, №2, с. 23-30.
23. В.Н. Арзамасов, В.И. Громов, М.Д. Сосков. 37. М.Ю. Смолякова, Д.С. Вершинин. Исследо-
Влияние режимов ионного азотирования на струк- вание трибологических характеристик модифициро-
туру и свойства титановых сплавов // МиТОМ. 1996, ванных ионами азота слоев на титановом сплаве
№5, с. 26-28. ВТ16 // Вестник Тамбовского университета. 2012,
24. R. He, F. Sun, L. Wang, X. Tong, Microstruc- №4, т. 18, с. 89-94.
ture and wear resistance of ion-nitrided titanium alloy // 38. Ю.Р. Колобов, А.Г. Липницкий, М.Б. Ива-
Jinshu Rechuli/Heat Treatment of Metals. 2016, нов, Е.В. Голосов. Роль диффузионно-
v. 41(4), p. 25-29. контролируемых процессов в формировании струк-
25. L. Xiuyan, Y. Jiaorong, T. Bin. Study of the туры и свойств металлических наноматериалов //
ion nitrided layer on Ti-6Al-4V substrate // Advanced Композиты и наноструктуры. 2009, №2, с. 4-24.
Materials Research. 2009, v. 79-82, p. 695-698. 39. Т.А. Панайоти. Создание максимальной
26. И.В. Лопатин, Ю.Х. Ахмадеев. Азотирова- насыщающей способности газовой среды при ион-
ние образцов титановых сплавов в плазме тлеющего ном азотировании // Физика и химия обработки ма-
разряда с полым катодом // Научные ведомости териалов. 2003, №4, с. 70-78.
БелГУ. Серия: Математика. Физика. 2011, №5, 40. В.А. Белоус, Г.И. Носов, С.А. Леонов,
с. 180-186. В.М. Хороших, Г.Н. Толмачева, И.О. Клименко.
27. К.Н. Рамазанов, И.С. Рамазанов. Ионное Модифицирование поверхности сплавов Э110 и
азотирование титанового сплава ВТ6 в тлеющем ВТ1-0 облучением низкоэнергетическими ионами
разряде с эффектом полого катода // Вестник азота // Труды III Международной конференции
УГАТУ. 2014, т. 18, №2(63) с. 41-46. «Высокочистые материалы: получение, примене-
28. В.В. Будилов, К.Н. Рамазанов. Технология ния, свойства», 1518 сентября 2015 г., Харьков,
ионного азотирования деталей ГТД в тлеющем раз- Украина, с. 81.
ряде с полым катодом // Вестник УГАТУ. 2008, 41. В.А. Белоус, Г.И. Носов, И.О. Клименко,
т. 10, №1(26), с. 82-86. Г.Н. Толмачева, Л.О. Шпагина. Ионное азотирова-
29. И.В. Золотов, К.Н. Рамазанов. Влияние азо- ние титанового сплава ВТ1-0 в дуговом разряде с
тирования в тлеющем разряде с полым катодом на термоэмиссионным катодом // Труды 5 Междуна-
структуру и свойства поверхности титановых спла- родной конференции "HighMatTech", 05 – 08 октября
вов ВТ6 и ВТ3-1 // Вестник УГАТУ. 2016, т. 20, 2015 г., Киев, Украина, с. 75.
№2(72), с. 23-28. 42. В.А. Белоус, Н.С. Ломино, Ю.А. Заднепров-
30. Ю.Х. Ахмадеев, Ю.Ф. Иванов, Н.Н. Коваль. ский, И.Г. Ермоленко. Упрочнение поверхности
Азотирование титана ВТ1-0 в несамостоятельном деталей узла трения для блока парораспределения
тлеющем разряде низкого давления в различных турбин комбинированным методом обработки //
газовых средах // Поверхность. Рентгеновские, син- Труды 5 Международной конференции "HighMat-
хротронные и нейтронные исследования. 2008, №2, Tech", 05 – 08 октября 2015 г., Киев, Украина, с. 72.
с. 108-112. 43. А.М. Смыслов, А.Д. Мингажев, М.К. Смыс-
31. V.V. Budilov, K.N. Ramazanov, I.V. Zolotov, лова, К.С. Селиванов, А.А. Мингажева. Нанослой-
R.F. Khucnutdinov, S.V. Starovoitov. Ion nitriding of ное покрытие для лопаток турбомашин из титано-
titanium alloys with a hollow cathode effect application вых сплавов // Вестник УГАТУ. 2011, т. 15, №1(41),
// Journal of Engineering Science and Technology Re- с. 109-112.
view. 2015, v. 8, p. 22-24. 44. И.Н. Погрелюк, О.И. Яськив, В.Н. Федирко,
32. M. Ossowski, T. Borowski, M. Tarnowski, И.М. Пастух, Н.С. Машовец. Применение комбини-
T. Wierzchon. Cathodic cage plasma nitriding of рованных методов азотирования для формирования
Ti6Al4V alloy // Medziagotyra. 2016, v. 22(1), p. 25- износостойких покрытий на титановых сплавах //
30. Упрочняющие технологии и покрытия. 2007,
33. А.А. Андреев. Вакуумно-дуговое модифи- №7(31), с. 29-33.
цирование поверхности стальных изделий // Физи- 45. Т.А. Панайоти, Г.В. Соловьев. Особенности
ческая инженерия поверхности. 2007, №3-4, с. 140- диффузионных слоев при ионном азотировании α- и
148. (α+β)-титановых сплавов в интервале температур от

ISSN 1562-6016. ВАНТ. 2017. №5(111) 81


500 до 1000 °С // Металловедение и термическая 48. Z.X. Cao, N. Oecher // J. Vac. Sci. Technology.
обработка металлов. 1994, №5, с. 34-37. A. 2004. v. 22, p. 321-323.
46. А.А. Ильин. Механизм и кинетика фазовых 49. Д.П. Шашков. Влияние азотирования на ме-
и структурных превращений в титановых сплавах. ханические свойства и износостойкость титановых
М.: «Наука», 1994, 304 с. сплавов // МиТОМ. 2001, №6, с. 20-26.
47. А.А. Ильин, С.В. Скворцова, Е.А. Лукина, 50. J. Qian, K. Farokhzadeh, A. Edrisy. Ion nitrid-
В.Н. Карпов, О.А. Поляков. Низкотемпературное ing of a near-β titanium alloy. Microstructure and me-
ионное азотирование имплантантов из титанового chanical properties // Surface and Coatings Technology.
сплава ВТ20 в различных структурных состояниях // 2014, v. 258, p. 134-141.
Металлы. 2005, №2, с. 38-44.
Статья поступила в редакцию 28.07.2017 г.

ЗМІЦНЕННЯ ТИТАНОВИХ СПЛАВІВ ІОННО-ПЛАЗМОВИМ АЗОТУВАННЯМ


В.А. Білоус, Г.І. Носов, І.О. Клименко
Наведено результати аналізу літературних джерел з іонно-плазмового азотування титанових сплавів. Роз-
глянуто сучасний стан робіт з модифікації властивостей поверхні титанових сплавів іонним азотуванням, по
дослідженню процесів азотування і формування зміцнених азотованих шарів. Обговорюються результати,
що отримані різними методами іонного азотування, і вплив виду сплавів на властивості зміцненої поверхні.
Показано роль температури поверхні та складу газового середовища у формуванні структури поверхневого
шару. Наведено основні результати робіт, в яких використовувалися комбіновані методи зміцнення, що
включають іонне азотування з наступним осадженням іонно-плазмових покриттів або іонною імплантацією.

STRENGTHENING OF TITANIUM ALLOYS BY ION-PLASMA NITRIDING


V.A. Belous, G.I. Nosov, I.O. Klimenko
The results of an analysis of literature sources on ion-plasma nitriding of titanium alloys are presented. The cur-
rent state of work on the modification of the surface properties of titanium alloys by ion nitriding and on the re-
searching of processes of nitriding and the formation of hardened nitrided layers are considered. The results ob-
tained by different methods of ion nitriding and the influence of the type of alloys on the properties of the hardened
surface are discussed. The role of the surface temperature and composition of the gaseous environment in the for-
mation of the structure of the surface layer is shown. The main results of the work in which combined hardening
methods including ion nitriding with subsequent deposition of ion-plasma coatings or ion implantation are
presented.

82 ISSN 1562-6016. ВАНТ. 2017. №5(111)