Исследование структурно-фазовых превращений

ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ
УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ

«УФИМСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ АВИАЦИОННЫЙ
ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ»
на правах рукописи
РАМАЗАНОВ КАМИЛЬ НУРУЛЛАЕВИЧ
ИССЛЕДОВАНИЕ СТРУКТУРНО-ФАЗОВЫХ ПРЕВРАЩЕНИЙ И СВОЙСТВ

ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ СТАЛЕЙ ПРИ ИОННОМ АЗОТИРОВАНИИ
В ТЛЕЮЩЕМ РАЗРЯДЕ НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ
Специальность 05.16.01 “Металловедение и термическая

обработка металлов и сплавов”
Диссертация на соискание ученой степени

доктора технических наук
Научный консультант:
доктор технических наук,
профессор В.В. Будилов
Уфа - 2015
2
ОГЛАВЛЕНИЕ стр.
СПИСОК ИСПОЛЬЗУЕМЫХ СОКРАЩЕНИЙ ................................................................ 7
ВВЕДЕНИЕ ............................................................................................................................... 8
1. АНАЛИЗ СТРУКТУРНО-ФАЗОВЫХ ПРЕВРАЩЕНИЙ И СВОЙСТВ
ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ КОНСТРУКЦИОННЫХ И ИНСТРУМЕНТАЛЬНЫХ
СТАЛЕЙ ПРИ ИОННОМ АЗОТИРОВАНИИ В ПЛАЗМЕ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА . 25
1.1 Азотирование в тлеющем разряде (ионное азотирование) .............................................. 25
1.2 Особенности структурно-фазовых превращений и свойств поверхностных слоев
конструкционных сталей при ионном азотировании в тлеющем разряде.......................... 38
инструментальных сталей при ионном азотировании в тлеющем разряде ........................ 44
конструкционных и инструментальных сталей при высокотемпературном ионном
азотировании..................................................................................................................................... 49
1.5 Особенности азотирования поверхностных слоев конструкционных и
инструментальных сталей ионными источниками и в тлеющем разряде низкого
давления............................................................................................................................................ 54
1.6 Анализ методов ускорения процесса ионного азотирования в тлеющем разряде низкого
давления ............................................................................................................................................. 60
1.7 Анализ методов локального модифицирования поверхностного слоя
конструкционных сталей ............................................................................................................... 68
1.8 Принципы управления диффузионным насыщением при азотировании в тлеющем
разряде низкого давления .............................................................................................................. 72
2. ОБЪЕКТ, МЕТОДЫ И МЕТОДИКИ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ
ИССЛЕДОВАНИЙ ................................................................................................................ 78
2.1 Объект исследований, механические свойства исследованных материалов ............... 78
2.2 Описание модернизированной установки ЭЛУ–5М для ионного азотирования в
тлеющем разряде ............................................................................................................................. 80
2.3 Методы структурных исследований ..................................................................................... 85
2.4. Метод определения микротвердости ................................................................................... 88
3
2.5. Методика определения износостойкости обработанных образцов………….91
2.6. Методика определения плотности ионного тока .............................................................. 90
2.7 Методика зондовых измерений.............................................................................................. 91
2.8 Методика определения хрупкости азотированного слоя ................................................. 96
3. РАЗРАБОТКА МЕТОДОВ ИНТЕНСИФИКАЦИИ ИОННОГО АЗОТИРОВАНИЯ
В ТЛЕЮЩЕМ РАЗРЯДЕ НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ ......................................................... 97
3.1 Ионное азотирование в тлеющем разряде низкого давления с полым катодом ......... 97
3.2 Вольт-амперные характеристики тлеющего разряда с полым катодом........................ 99
3.3 Распределение параметров плазмы в газоразрядном промежутке при ионном
азотировании в тлеющем разряде низкого давления с полым катодом ............................102
3.4 Экспериментальные результаты температурных зависимостей при ионном
азотировании в тлеющем разряде с полым катодом..............................................................104
3.5 Способы ускорения процесса ионного азотирования в тлеющем разряде низкого
давления с полым катодом...........................................................................................................106
3.6 Ионное азотирование в тлеющем разряде с магнитным полем ....................................108
3.7 Вольтамперные характеристики тлеющего разряда с магнитным полем. .................114
3.8 Распределение параметров плазмы в тлеющем разряде с магнитным полем ...........117
3.9 Способы ускорения процесса ионного азотирования в тлеющем разряде низкого
давления с магнитным полем......................................................................................................120
4. ИССЛЕДОВАНИЕ СТРУКТУРНО-ФАЗОВЫХ ПРЕВРАЩЕНИЙ И СВОЙСТВ
ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ КОНСТРУКЦИОННЫХ И ИНСТРУМЕНТАЛЬНЫХ
СТАЛЯХ, ПРОИСХОДЯЩИХ ПРИ ВОЗДЕЙСТВИИ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА
НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ С ПОЛЫМ КАТОДОМ ........................................................... 125
4.1 Исследование влияния азотирования, высокотемпературного азотирования и
комбинированной обработки в тлеющем разряде низкого давления с полым катодом на
структуру поверхностных слоев конструкционных и инструментальных сталей..........125
фазовый состав поверхностных слоев конструкционных и инструментальных сталей130
4
величину напряжений и средний размер кристаллитов поверхностных слоев
конструкционных и инструментальных сталей ......................................................................138
4.4 Экспериментальные результаты влияние состава рабочего газа и режимов ионного
азотирования, высокотемпературного азотирования и комбинированной обработки на
микротвердость поверхностных слоев конструкционных и инструментальных сталей153
4.5 Исследование влияния азотирования и высокотемпературного азотирования в
тлеющем разряде низкого давления с полым катодом на изменение микротвердости по
глубине поверхностного слоя конструкционных и инструментальных сталей ..............157
4.6 Исследование влияния высокотемпературного азотирования и комбинированной
обработки в тлеющем разряде низкого давления с полым катодом на износостойкость
поверхностного слоя стали 38Х2МЮА....................................................................................161
ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ КОНСТРУКЦИОННЫХ СТАЛЕЙ ПРИ
ЛОКАЛЬНОМ АЗОТИРОВАНИИ В ТЛЕЮЩЕМ РАЗРЯДЕ НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ
С ПОЛЫМ КАТОДОМ ....................................................................................................... 171
5.1 Исследование тепловых и диффузионных процессов при локальном азотировании в
тлеющем разряде низкого давления с полым катодом..........................................................171
5.2 Исследование влияния локального ионного азотирования в тлеющем разряде низкого
давления с полым катодом на структуру поверхностных слоев конструкционных сталей
16Х3НВФМБ-Ш и 38ХМЮА ....................................................................................................190
давления с полым катодом на фазовый состав поверхностных слоев конструкционных
сталей 16Х3НВФМБ-Ш и 38ХМЮА .......................................................................................197
давления с полым катодом на микротвердость поверхностных слоев конструкционных
5
давления с полым катодом на износостойкость поверхностных слоев конструкционных
ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ ИНСТРУМЕНТАЛЬНЫХ СТАЛЕЙ,
ПРОИСХОДЯЩИХ ПРИ ВОЗДЕЙСТВИИ тлеющего разряда НИЗКОГО
ДАВЛЕНИЯ С МАГНИТНЫМ ПОЛЕМ ......................................................................... 217
6.1 Исследование влияния азотирования в тлеющем разряде низкого давления с
магнитным полем на структуру поверхностных слоев инструментальных сталей........217
6.2 Исследование влияния азотирования в тлеющем разряде низкого давления с
магнитным полем на фазовый состав поверхностных слоев инструментальных сталей229
6.3 Исследование влияния азотирования в тлеющем разряде низкого давления с магнитным
полем на микротвердость поверхностных слоев инструментальных сталей...................242
6.4 Исследование влияния ионного азотирования в тлеющем разряде низкого давления с
магнитным полем на толщину упрочненного слоя и температуру поверхности детали.245
7. РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ АЗОТИРОВАНИЯ
ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ ДЕТАЛЕЙ И ИНСТРУМЕНТА С
ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ............... 250
7.1 Особенности проектирования технологических процессов ионного азотирования в
тлеющем разряде низкого давления в условиях мелкосерийного и единичного
производства ...................................................................................................................................250
7.2 Технологический процесс высокотемпературного ионного азотирования в тлеющем
разряде низкого давления с полым катодом матриц холодновысадочного автомата ....257
7.3 Технологический процесс высокотемпературного ионного азотирования с
последующей светлой закалкой .................................................................................................261
7.4 Технологический процесс локального ионного азотирования в тлеющем разряде
низкого давления с полым катодом детали «шестерня».......................................................268
7.5 Технологический процесс ионного азотирования в тлеющем разряде низкого давления
с магнитным полем матриц холодновысадочного автомата................................................275
6
7.6 Технологический процесс комбинированной обработки включающий в себя ионное
азотирования в тлеющем разряде низкого давления с магнитным полем и последующее
нанесение покрытия TiN, TiAlN матриц холодновысадочного автомата.........................279
ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ И РЕЗУЛЬТАТЫ РАБОТЫ ........................................... 289
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ ........................................................ 295
ПРИЛОЖЕНИЯ .................................................................................................................... 319
7
СПИСОК ИСПОЛЬЗУЕМЫХ СОКРАЩЕНИЙ
ВИА – высокотемпературное ионное азотирование

КО – комбинированная обработка, включающая высокотемпературное ионное
азотирование и последующую светлую закалку
ЛИА – локальное ионное азотирование
МП – магнитное поле
ПК – полый катод
СЗ – светлая закалка
ТП – технологический процесс
ТРНД – тлеющий разряд низкого давления
ХТО – химико-термическая обработка
8
ВВЕДЕНИЕ
Актуальность работы.
С ростом требований к качеству упрочненного поверхностного слоя,
показателям экономической эффективности процессов, подбору материалов в
зависимости от поверхностных свойств, а также вследствие увеличения объемной
доли сложнолегированных легкопассивирующихся сталей и сплавов в процессе
производства деталей и инструмента, становится актуальным применение
регулируемых, ресурсосберегающих вакуумных ионно-плазменных технологий в
многокомпонентных атмосферах.
Анализ современной литературы показал, что ионное азотирование является
одним из наиболее распространенных методов поверхностного упрочнения деталей и
инструмента, использование которого в промышленно развитых странах постоянно
расширяется. В последнее время в качестве перспективных рассматриваются методы
и способы ионного азотирования при низких (1 – 102 Па) давлениях, которые
позволяют не только избавиться от недостатков традиционных методов, но и
получить следующие преимущества: возможность регулирования параметров
обработки в широком интервале режимов и за счет этого – структуры, фазового
состава, твердости, износостойкости, шероховатости; высокую скорость насыщения;
получение диффузионных слоев заданного фазового состава и строения; высокий
класс чистоты поверхности; большую экономичность процесса за счет значительного
сокращения общего времени обработки; повышение коэффициента использования
электроэнергии; сокращение расхода насыщающих газов.
Однако при практической реализации ионного азотирования в тлеющем
разряде при низких давлениях возникает ряд проблем, таких как низкая плотность
ионного тока (0,1 – 1 мА/см2), высокие напряжения на обрабатываемых деталях
(0,5 – 2 кВ), невозможность нагрева поверхности до температур азотирования. Все
вышесказанное приводит к необходимости применения дополнительного нагрева
обрабатываемой поверхности с помощью различных методов (резистивные
нагреватели, дополнительные источники частиц и т.д.), что существенно
9
усложняет конструкцию установок, технологические процессы и практически
сводит на нет преимущества ионного азотирования при низких давлениях.
В работе предлагается принципиально новое направление по решению
указанной проблемы, заключающееся в создании вблизи обрабатываемой
поверхности плазмы с высокой плотностью заряженных частиц. Обоснованы и
разработаны способы азотирования, основанные на использовании тлеющего
разряда низкого давления с полым катодом и магнитным полем, которые позволят
в 3 – 5 раз увеличить плотность потока ионов, сократить в 2 – 3 раза время
азотирования и получить диффузионные слои заданного фазового состава с
высокой поверхностной микротвердостью и износостойкостью, тем самым
способствуя дальнейшему развитию технологий, направленных на улучшение
эксплуатационных свойств деталей и инструмента.
Интенсивное развитие отечественной металлургии и машиностроения
отразилось на производстве и использовании в больших объемах
инструментальных материалов со специальными свойствами. При этом повышение
надежности и долговечности инструментальной и технологической оснастки в
большинстве случаев связанно с использованием сложно- и высоколегированных
сталей, однако такой путь часто является недостаточно эффективным.
Альтернативой ему могут служить различные способы химико-термической
обработки инструмента, в частности ионное азотирование, применение которого
может существенно повысить надежность и долговечность инструмента.
При ионном азотировании конструкционных сталей зачастую применяется
защита припуском с целью удаления хрупких, легко выкрашивающихся фаз,
образующихся на поверхности материала. Это приводит к необходимости
азотирования поверхности деталей на большую глубину с учетом величины
припуска, составляющую 300-400 мкм, что ведет к увеличению длительности
процесса. Также следует отметить, что при эксплуатации деталей машиностроения
часто нагрузке подвергаются только отдельные участки ее поверхности, например,
контактная поверхность зубьев зубчатого колеса, место посадки подшипника на
валу и др. В таких случаях нет необходимости упрочнять всю поверхность детали,
10
а достаточно лишь обработать ее рабочую поверхность. Таким образом, одна из
задач диссертационной работы направленная на решение проблемы локального
ускорения процесса диффузионного насыщения конструкционных сталей при
ионном азотировании в тлеющем разряде низкого давления и создания при этом
поверхности не требующей последующей механической обработки, является
безусловно актуальной. Решение вышеизложенной проблемы позволит сократить
длительность процесса обработки и получать в мономатериале за один вакуумный
цикл различные по глубине диффузионные слои заданного фазового состава.
Причиной повышенного внимания к проблеме высокотемпературного
ионного азотирования (ВИА) и светлой закалки (СЗ) является уникальные свойства
поверхности изделия, которые формируются в результате обработки: высокая
твердость на поверхности, не изменяющаяся при нагреве до 500–600ºС, высокая
износостойкость, низкая склонность к задирам, высокий предел выносливости и
высокая кавитационная стойкость.
ВИА конструкционных и инструментальных материалов в литературе
уделяется большое внимание, однако не все аспекты такого упрочения изучены
достаточно полно. Весьма мало сведений о структуре и свойствах
конструкционных и инструментальных сталей, прошедших ВИА в тлеющем
разряде низкого давления (ТРНД), в том числе совмещенное со светлой закалкой,
причем экспериментальные данные недостаточно систематизированы и часто
весьма противоречивы.
Степень разработанности темы.
Основной вклад в разработку теоретических основ процесса азотирования в
начале 20 века внесли работы академика Чижевского Н.П. [266], которые
позволили сформулировать технологические рекомендации по созданию
промышленного процесса азотирования. Следующий этап развития процесса
азотирования связан с именем немецкого инженера Ад. Фри, который внедрил
процесс в производство и предложил специальные азотируемые стали (нитраллои),
имеющие после насыщения высокую поверхностную твердость [272].
Проблемами повышения эффективности процесса азотирования и
11
распространением его промышленности занимались ученые ведущих научных
школ Лахтина Ю.М., Арзамасова Б.Н., Кельбеля Й., Каплуна В.Г. и Пастуха И.М.
[23,52,54,138,139,169,170,175,210]. Их работы в значительной мере способствовали
формированию научных основ азотирования в тлеющем разряде, были созданы
модели и предложены описания физических процессов, протекающих при
азотировании, а также сформулированы теоретические основы проектирования
оборудования для реализации данного процесса.
Однако несмотря на все преимущества ионного азотирования, этот процесс
по-прежнему остается продолжительным. На момент постановки задач
диссертационной работы в литературе активно обсуждалась проблема ускорения
процесса диффузионного насыщения и сокращения длительности азотирования.
Так в работах Крейнделя Ю.Е., Лемешева Н.М., Слосмана А.И., Будилова В.В.,
Агзамова Р.Д. обосновано эффективность применения эффекта полого катода
(ЭПК) при ионном азотировании, который позволяет увеличить значение
поверхностной микротвердости и глубину азотированного слоя по сравнению с
обработкой в тлеющем разряде без ЭПК при равных параметрах процесса (время,
давление, температура) [84,156,159]. А разработанная Лопатиным И.В. разрядная
система двухступенчатого генератора плазмы на основе несамостоятельного
тлеющего разряда с полым катодом большой площади и внешней инжекцией
электронов, позволила увеличить микротвердость обрабатываемой поверхности
после азотирования в (4 – 8) раз при глубине обработки до 300 мкм за время (2 – 4)
часа, что в (2 - 3) раза быстрее, чем при традиционном азотировании в плазме
тлеющего разряда, горящего в диссоциированном аммиаке [181]. Шестопаловой
Л.П. предложено проводить ионное азотирование через нанооксидный барьер и
было доказано, что наличие на поверхности азотируемой стали оксида железа
интенсифицирует процесс ионизации аммиака, что позволяет сократить
длительность азотирования по сравнению с классическим азотированием [268]. В
работах Переваловой О.Б., Панина А.В., Синяковой Е.А. [215] было установлено,
что промежуточная ультразвуковая обработка способствует существенному
увеличению глубины азотированного слоя. Ускорение процесса при этом
12
объясняется увеличением плотности дислокаций, образованием большого
количества избыточных «деформационных» вакансий и увеличением
адсорбционной способности поверхности при взаимодействии
упругопластических деформаций ультразвуковых волн с кристаллической
решеткой обрабатываемого металла. По данным работ проведенными
Кибальниковой О.В., Махайловой А.М. и Баскаковым А.В. [142] перспективными
являются способы интенсификации ионного азотирования с помощью магнитного
поля. Согласно экспериментальным исследованиям кинетик диффузионного
азотирования сталей системы Fe-Ni-Cr в постоянном МП напряженностью 0,016 Тл
при 550 ºС, было установлено 1,5 кратное ускорение процесса и увеличение
толщины азотированного слоя с высокой микротвердостью.
Многочисленными экспериментами Арзамасова Б. Н., Михайлова И. А. и
Панайоти Т. А. [54,56,57] установлено, что зависимость толщины диффузионного
слоя от давления в газоразрядной камере имеет четко выраженный экстремальный
характер, при этом существует диапазон давления рабочего газа от 1 – 100 Па,
обеспечивающий наибольшую насыщающую способность, т.е. толщину слоя,
которое принято считать оптимальным. Однако применение самостоятельного
тлеющего разряда для азотирования при таких давлениях не эффективно, в виду
низкой плотности ионного тока. Одним из способов повышения которого, является
применение специальных источников ионов. Так в работах Коваля Н.Н., Щанина
П.М., Гончаренко И.М, Ахмадеева Ю.Х. [113,114,148,149] доказана эффективность
применения плазмы (с плотностью ионного тока в пределах от 5 до 15 мА/см2),
генерируемой несамостоятельным дуговым разрядом низкого давления с полым
или накаленным катодом для азотирования сталей и сплавов. При этом было
установлено, что при низких давлениях и отрицательных смещениях подложки ~
600 В на обрабатываемую поверхность поступают высокоэнергетичные ионы,
которые разрушают оксидные пленки и облегчают условия диффузии атомарного
азота вглубь подложки, и как следствие позволяют сократить время процесса в 3 –
4 раза. Однако основными недостатками таких систем являются: сложность
конструкции генератора, малое время непрерывной работы в случаи применения
13
накаленного катода, наличие отдельного источника питания для обеспечения
накала, необходимость в разработке специальных механизмов вращения деталей
относительно потока ионов, а также работа в условиях высокого вакуума, для
достижения которого требуется двухступенчатая откачка с применением
форвакуумных и турбомолекулярных насосов.
Впервые разработанные в настоящей диссертации способы азотирования
позволят генерировать ионные потоки непосредственно вблизи обрабатываемой
поверхности, сравнимые с плазмой, создаваемой специальными ионными
источниками, при отсутствии выше перечисленных недостатков данных
газоразрядных систем. А выполненные комплексные исследования взаимосвязи
структурно-фазовых превращений с механическими свойствами сталей при
воздействии таких потоков, позволят выработать научно-обоснованные критерии
для практической реализации качественно новых технологических процессов
ионного азотирования конструкционных и инструментальных сталей в тлеющем
разряде низкого давления с полым катодом и магнитным полем.
Целью работы является разработка и исследование методов ускорения
процесса ионного азотирования поверхности металлов и сплавов при низких
давлениях, исследование фазовых и структурных превращений при воздействии
плазмы повышенной плотности и разработка новых технологических процессов
азотирования в тлеющих разрядах низкого давления, что позволит повысить
технологические и эксплуатационные свойства, рационально использовать стали и
сплавы в изделиях новых типов машин.
Для достижения поставленной цели сформулированы и решены следующие
задачи:
1. Разработка и исследование способов ускорения процесса ионного
азотирования в тлеющем разряде низкого давления с полым катодом и
магнитным полем.
2. Исследование тепловых и диффузионных процессов азотирования в плазме
тлеющего разряда при низких давлениях с полым катодом.
14
3. Исследование влияния ионного азотирования, высокотемпературного ионного
азотирования и высокотемпературного ионного азотирования с последующей
светлой закалкой в тлеющем разряде низкого давления с полым катодом на фазовые
и структурные превращения в конструкционных и инструментальных сталях, а
также на изменение микротвердости и износостойкости поверхностного слоя.
4. Исследование влияния локального ионного азотирования в тлеющем разряде
низкого давления с полым катодом на фазовые и структурные превращения в
конструкционных сталях, а также на изменение микротвердости и износостойкости
поверхностного слоя.
5. Исследование влияние ионного азотирования в тлеющем разряде низкого
давления с магнитным полем на фазовые и структурные превращения в
инструментальных сталях, а также на изменение микротвердости
поверхностного слоя.
6. Разработка технологических процессов локального ионного азотирования,
высокотемпературного ионного азотирования и комбинированной обработки,
включающей высокотемпературное ионное азотирование и последующую
светлую закалку в тлеющем разряде низкого давления с полым катодом, а также
ионного азотирования инструментальных сталей в тлеющем разряде низкого
давления с магнитным полем.
Научная новизна. В настоящей работе впервые:
1. Показано, что плотность плазмы азота при ионном азотировании в
прикатодной области можно повысить с помощью полого катода, реализуемого
сетчатым экраном или наложением магнитного поля, силовые линии которого
параллельны обрабатываемой поверхности. Впервые исследованы способы локального
ионного азотирования, высокотемпературного ионного азотирования, в том числе
совмещенного со светлой закалкой в тлеющем разряде низкого давления с полым
катодом, а также ионного азотирования с магнитным полем.
2. Установлено, что в условиях высокотемпературного ионного азотирования
в тлеющем разряде низкого давления с полым катодом скорость роста
диффузионной зоны в 3 – 5 раз выше по сравнению с ионным азотированием при
15
температурах ниже точки А1 в системе железо – азот в тлеющем разряде с полым
катодом, вследствие роста диффузионной подвижности элементов при
температурах предпревращения ферритно-цементитной смеси в аустенит.
3. Установлено, что в отличие от ионного азотирования в тлеющем разряде
при температурах ниже точки А1 в системе железо – азот, при котором в сталях
30ХГСА, 38Х2МЮА и Х12 нитридная зона преимущественно состоит из ε-фазы
Fe2-3(N), а также нитридов легирующих элементов (CrN, Cr2N, (Fe, Cr)2-3N),
карбонитридных фаз (Fe(Мe)2-3(N,С), Fe(Мe)4(N,С), Cr(N,C), Cr2(N,C)) и α-фазы
насыщенной азотом, при ионном высокотемпературном ионном азотировании в
тлеющем разряде с полым катодом ε-фаза отсутствует, а нитридная зона
характеризуется большей однородностью и преимущественно состоит из γ'-фазы
Fe4(N), (Fe, Me)4N, нитридов легирующих элементов, карбонитридных фаз, а также
оксида (Fe, Me)3O4 с кристаллической решеткой шпинели.
4. Установлено, что высокий уровень упрочнения поверхности, достигаемый
в результате применения высокотемпературного ионного азотирования, в том
числе, совмещенного со светлой закалкой, в тлеющем разряде низкого давления с
полым катодом позволяет повысить износостойкость стали 38Х2МЮА в 12 и 30
раз соответственно по сравнению с исходным состоянием и в 2,5 и 6 раз
соответственно по сравнению с ионным азотированием при температурах ниже
точки А1 в системе железо – азот, вследствие целенаправленного формирования
заданного фазового состава и микротвердости.
5. Установлено, что в условиях локального ионного азотирования в тлеющем
разряде с полым катодом при давлении 60 Па, температуре поверхности материала
550°С и длительности обработки 12 ч скорость роста диффузионной зоны в 2-2,5
раза выше по сравнению с традиционным ионным азотированием, вследствие
увеличения концентрации заряженных частиц в зоне обработки. Установлено, что в
результате локального ионного азотирования в тлеющем разряде с полым катодом
на поверхности материала образуется две зоны с различной толщиной
азотированного слоя, вследствие различия скоростей диффузионного насыщения.
При этом переход между участками плавный, а максимальный размер переходной
16
зоны для сталей 16Х3НВФМБ-Ш и 38ХМЮА не превышает 3-х мм.
6. Установлено, что высокий уровень упрочнения поверхности, достигаемый
в результате применения тлеющего разряда с полым катодом при ионном
азотировании, позволяет повысить износостойкость стали 38ХМЮА в 1,6 раза по
сравнению с ионным азотированием без полого катода, и в 9 раз – по сравнению с
исходным состоянием, вследствие формирования в поверхностном слое материала
нитридного слоя состоящего из нитридов основного металла Fe4N и нитридов
хрома CrN, которые помимо значительного повышения твердости способствуют
также увеличению износостойкости.
7. Установлено, что при ионном азотировании в тлеющем разряде с
магнитным полем сталей Р6М5 и Х12 в смеси газов (N2 20% – Ar 75% – C2H2 5%)
упрочненный слой преимущественно состоит из α-Fe, насыщенного азотом, с
распределёнными нитридами и карбонитридами легирующих элементов (CrN,
Cr(С,N), (Fe, W)6(С,N)), что обеспечивает повышение микротвердости и исключает
формирование сплошного нитридного слоя на поверхности, толщина
диффузионной зоны в 1,5 раза больше, а характер распределения микротвердости по
глубине более плавный по сравнению с традиционным ионным азотированием при
прочих равных условиях.
Теоретическая значимость исследования определяется тем, что в
диссертации на основе метода конечных элементов разработаны модели
позволяющие получить распределения температурного поля по поверхности
детали при ионном азотировании в тлеющем разряде с полым катодом, расчетные
кривые нагрева и охлаждения, изменения концентрации насыщающего элемента по
глубине диффузионного слоя, а также расчетные картины распределения
магнитного поля над поверхностью катода и радиальное распределение индукции
магнитного поля в условиях ионного азотирования с магнитным полем. Результаты
моделирования вносят существенный вклад в понимание физических процессов в
тлеющих разрядах с полым катодом и магнитным полем, а также создают основу
для разработки новых способов азотирования, позволяя проводить
предварительные расчеты режимов обработки без дополнительных экспериментов.
17
Практическая значимость работы. Впервые разработанные способы
локального ионного азотирования (Патенты №2534906 и №2534907 от 10.12.2014),
высокотемпературного ионного азотирования (Патент № 2276201 от 10.05.2006),
светлой закалки (Патент № 2277592 от 10.06.2006, Патент № 2275433 от 27.04.2006)
и комбинированной обработки (Патент № 2324001 от 10.05.2008) стальных изделий
в тлеющем разряде с полым катодом, формируемым между деталью и экраном,
также способы ионного азотирования в тлеющем разряде с магнитным полем
(Патент №2409700 от 20.01.2011, Патент №2418095 от 10.05.2011) легли в основу
разработанных технологических процессов азотирования при низких давлениях,
позволяющих снизить себестоимость технологической операции азотирования за
счет уменьшения энергозатрат, сокращения длительности процесса обработки,
отсутствия необходимости в дорогостоящих защитных средах, простоты схемы
обработки, не требующих проектирования специальных сложных приспособлений,
а также сравнительно невысокой стоимости оборудования.
Зависимости температуры обрабатываемой поверхности от времени при
различных значениях рабочего давления при обработке в тлеющем разряде с полым
катодом, кривые охлаждения поверхности конструкционных и инструментальных
сталей в потоке различных газов и в масле, зависимости фазового состава от
температуры насыщения, а также кинетика роста диффузионного слоя для различных
сталей могут быть использованы при назначении технологических режимов
локального ионного азотирования, высокотемпературного азотирования, в том числе
совмещенного со светлой закалкой, в тлеющем разряде с полым катодом.
Зависимости температуры обрабатываемой поверхности от времени при
различных значениях давления рабочего газа при обработке в тлеющем разряде с
магнитным полем, кривые зажигания тлеющего разряда в магнитном поле, а также
зависимость фазового состава от температуры насыщения могут быть использованы
при назначении технологических режимов ионного азотирования деталей и
инструмента в тлеющем разряде с магнитным полем.
18
Разработан промышленный образец установки «ЭЛУ-5М» для проведения
процессов ионного азотирования в тлеющем разряде низкого давления с полым катодом
и магнитным полем в условиях единичного и мелкосерийного производства.
Разработан и рекомендован к внедрению типовой технологический процесс
локального ионного азотирования детали типа «шестерня» на ОАО “Уфимское
моторостроительное производственное объединение”.
Разработан и внедрен технологический процесс ионного азотирования в
тлеющем разряде низкого давления деталей типа «рычаг» на ООО Научно-
производственное объединение «ГЕОПРОМ», выполненные испытания показали,
что износостойкость поверхности деталей повысилась в 2 – 3 раза.
Разработан и внедрен в производство технологический процесс ионного
азотирования матриц холодновысадочного автомата для обрезки шести- и
четырехгранников болтов, применяемых в производстве автонормалей на заводе
«БелЗАН», г. Белебей, Башкортостан. Проведенные испытания показали, что стойкость
штамповой оснастки повысилась в 3,5 – 4 раза.
Методология и методы исследования.
Для изучения особенности структуры, фазового состава и свойств
поверхностных слоев исследуемых сталей после ионного азотирования в тлеющем
разряде низкого давления с полым катодом и магнитным полем в диссертационной
работе был применен комплекс методов исследований, включающий в себя
оптическую металлографию, растровую электронную микроскопию,
рентгеноструктурный анализ, зондовые измерения параметров тлеющего разряда с
полым катодом и магнитным полем, определения микротвердости и
износостойкости азотированного слоя.
Положения, выносимые на защиту:
1. Тлеющий разряд низкого давления с полым катодом и магнитным полем,
позволяющий генерировать ионные потоки, сравнимые с потоками, создаваемой
ионными источниками, непосредственно вблизи обрабатываемой поверхности за счет
удержания в прикатодной области высокой концентрации электронов, воздействие
которых приводит к активации поверхности, к радиационно-стимулированной
19
диффузии атомарного азота вглубь металла и к эффективному распылению
высокоазотистой ε-фазы на обрабатываемой поверхности.
2. Методика использования плазмы тлеющего разряда низкого давления с полым
катодом и магнитным полем, позволяющая получать высокую плотность ионов на
обрабатываемых поверхностях, как за счет электронов, осциллирующих в катодной
полости, образованной поверхностью металла и специального экрана в виде сетки, так и
за счет магнитного поля, эффективно удерживающего электроны в тороидальной области.
3. Экспериментально установленные зависимости структурно-фазового
состояния поверхности конструкционных и инструментальных сталей при ионном
азотировании в плазме тлеющего разряда низкого давления с полым катодом и
магнитным полем от химического состава и температурно-временных параметров
процесса обработки. В связи с этим, представлена возможность модифицирования
поверхности с образованием в диффузионном слое различных нитридных и
карбонитридных соединений основного металла и легирующих элементов типа ε и
γ'-фаз, а также оксинитридных соединений типа - (Fe, Me)3O4, различающихся
средними размерами кристаллитов, объемной долей, величиной остаточной
деформации и напряжений.
4. Экспериментально установленные зависимости поверхностной твердости и
износостойкости от параметров процесса и структурных изменений при ионном
азотирование в тлеющем разряде низкого давления с полым катодом и магнитным
полем. Высокие значения поверхностной твердости и износостойкости обусловлены
формированием нитридного слоя состоящего как из нитридов основного металла,
так и нитридов легирующих элементов, а также развитой диффузионной зоны,
состоящей из α-Fe – азотистого феррита с распределенными нитридными и
карбонитридными фазами.
5. Принципиально новые технологии ионного азотирования в тлеющем разряде
низкого давления с полым катодом и магнитным полем (ионное азотирование,
локальное ионное азотирование, высокотемпературное ионное азотирование и
комбинированная обработка, включающая высокотемпературное ионное азотирование
и последующую светлую закалку), позволяющие увеличить скорость
20
диффузионного насыщения поверхностного слоя конструкционных и
инструментальных сталей, как за счет осцилляции и удержания электронов вблизи
обрабатываемой поверхности, так и за счет активной генерации атомарного азота
вследствие интенсивной диссоциации молекул электронным ударом.
Разработанные технологии сокращают длительность процесса в 3-5 раз и снижают
технологическую себестоимость в 2-3 раза.
Степень достоверности результатов определяется применением комплекса
современных методов исследования, использованием сертифицированного
оборудования, соответствием экспериментальных результатов с данными других авторов.
Апробация результатов работы. Основные результаты работы
докладывались и обсуждались: на Всероссийской научно-технической конференции
«Теплофизика технологических процессов» (Рыбинск, 2004, 2006); Международной
конференции «Оборудование и технологии термической обработки металлов и
сплавов» (Харьков, 2004, 2007, 2008); Научно – технической конференции
«Вакуумная наука и техника» (Судак - Сочи, с 2004 по 2014 гг.); 7-й Международной
конференции «Вакуумные нанотехнологии и оборудование» (Харьков, 2006);
Международной конференции «Радиационная физика» (Севастополь, 2007);
Международной конференции «Газоразрядная плазма и ее технологические
применения» (Томск, с 2007 по 2015 гг.); Международной научно-технической
конференции «Молодежь в авиации: новые решения и передовые технологии»
(Запорожье, 2008); Международной научно-технической и образовательной
конференции «Образование и наука – производству» (г. Набережные Челны, 2010);
Международной научно-практической конференции «Ресурсосберегающие
технологии ремонта, восстановления и упрочнения деталей машин, механизмов,
оборудования, инструмента и технологической оснастки от нано- до макроуровня»
(Санкт-Петербург, 2010); Всероссийской школе-семинаре с международным
участием «Современное материаловедение: материалы и технологии новых
поколений» (Томск, 2014); Всероссийской конференции с международным участием
«Физика низкотемпературной плазмы» (Казань, 2014); International congress on
energy fluxes and radiation effects (Томск, 2014); Международном молодежном
21
форуме «Будущее авиации за молодой Россией» (г. Рыбинск, 2011); Международной
научно-технической конференции «Современные проблемы машиностроения» (г.
Томск, 2011); Conference of Young Scientists on Energy Issues (г. Каунас, 2012);
International Symposium on Discharges and Electrical Insulation in Vacuum (Tomsk 2012,
Mumbai 2014); VI Всероссийской конференции по испытаниям и исследованиям
свойств материалов «ТестМат» (ФГУП «ВИАМ», г. Москва, 2015), Региональных
научно-технических конференциях (Уфа, с 2004 по 2015 гг.).
Публикации: По теме диссертации опубликовано 46 научных работ, в том
числе коллективная монография, 25 статей в научных журналах, включенных в
перечень российских рецензируемых научных журналов и изданий для
опубликования основных научных результатов диссертаций, а также 8 статей в
международных научных изданиях индексируемых Web of Science, Scopus и 12
патентов РФ на изобретения.
Структура и объем работы: диссертация состоит из введения, 7 глав,
основных выводов и приложений, изложена на 332 страницах, содержит
183 рисунка, 24 таблицы и библиографический список из 273 наименований.
В первой главе проведен анализ процессов азотирования,
высокотемпературного ионного азотирования (ВИА) и комбинированной
обработки (КО), включающей ВИА с последующей светлой закалкой (СЗ) при
низких давлениях, обеспечивающих повышение эксплуатационных характеристик
поверхностей деталей машин и инструмента. Рассмотрены процессы,
происходящие при взаимодействие плазмы с поверхностью детали при
азотировании в тлеющем разряде, а также проанализированы модели процесса
азотирования в тлеющем разряде.
Анализируются основные существующие на сегодняшний день методы
локального поверхностного упрочнения, которые описываются в работах таких
ученых, как Малинов Л.С., Малинов В.Л., Харланова Е.Я., Грачев В.В., Сарычев
В.Д., Асташкевич Б.М., Воинов С.С., Дроздов Ю.Н., Тескер Е.И., Чукмасов С.Ф.,
Зиньковский А.А., Лахтин Ю.М., Коган Я.Д. и др.
22
Приводится обзор литературных источников, посвященных особенностям
ионного азотирования конструкционных сталей 16Х3НВФМБ-Ш и 38ХМЮА.
Рассматриваются способы ускорения процесса ионного азотирования. В
заключение отмечается, что наиболее эффективным способом является
использование тлеющего разряда с полым катодом (ПК), который позволяет
увеличить степень ионизации и как следствие увеличить градиент концентрации
насыщающего элемента, что сказывается на времени диффузионного насыщения
азотом обрабатываемой поверхности. Кроме того, описаны процессы,
протекающие в прикатодной области.
Также проведен анализ литературных источников, посвященных ионному
азотированию инструментальных сталей, в частности, особенностям ионного
азотирования штамповых и быстрорежущих сталей. Установлено, что наложение
магнитного поля (МП) позволяет увеличить степень ионизации и уменьшить временя
диффузионного насыщения обрабатываемой поверхности подложки азотом.
Во второй главе рассмотрены методики металлографического
исследования, определения микротвердости, рентгеноструктурного анализа,
зондовых измерений параметров тлеющего разряда в полости технологического
экрана, определения износостойкости поверхности и хрупкости азотированного
слоя. Приведена схема модернизированной установки ЭЛУ-5М для химико-
термической обработки в тлеющем разряде и показаны основные
модернизированные узлы.
Представлена методика и схема экспериментальной установки для
исследования влияния магнитного поля на вольтамперные и зондовые
характеристики тлеющего разряда. Рассмотрены методики определения
микротвердости, металлографического исследования азотированного слоя,
рентгеноструктурного анализа обработанных образцов, контроля температуры.
В третьей главе разработаны способы интенсификации процесса ионного
азотирования в ТРНД основанные на применении тлеющего разряда с ПК и МП.
23
Представлены экспериментальные исследования вольт-амперных
характеристик тлеющего разряда, зависимости температуры поверхности от
режимов обработки в тлеющем разряде с ПК и без него.
Представлены результаты экспериментов, целью которых было исследовать
влияние МП на вольтамперные характеристики тлеющего разряда.
Моделирование, методом конечных элементов, МП в прикатодной области и
зондовые измерения, позволили определить области с высокой концентрацией
заряженных частиц, где и были расположены образцы.
В четвертой главе представлены исследования влияния азотирования, ВИА
и КО в тлеющем разряде с ПК на структуру, фазовый состав, сингонию и период
кристаллической решетки, остаточную деформацию и величину напряжений,
область когерентного рассеяния и средний размер кристаллитов конструкционных
и инструментальных сталей.
Представлены исследования влияния азотирования, ВИА и КО в тлеющем
разряде с ПК на микротвердость поверхности и изменение микротвердости по
глубине слоя конструкционных и инструментальных сталей. А также исследование
влияния ВИА и КО в тлеющем разряде с ПК на износостойкость стали 38Х2МЮА.
В пятой главе представлены результаты исследования тепловых и
диффузионных процессов при локальном ионном азотировании (ЛИА) в тлеющем
разряде с ПК, а также параметров плазмы в полости технологического экрана.
Для теоретического описания отдельных этапов процесса ЛИА в тлеющем
разряде с ПК была разработана компьютерная модель в программе Comsol
Multipfysics, позволяющая проводить предварительные расчеты результатов
обработки, без дополнительных экспериментов.
Для определения кинетики роста упрочненной зоны при ЛИА в тлеющем
разряде с ПК, было исследовано влияние продолжительности обработки на
толщину диффузионной зоны образцов из сталей 16Х3НВФМБ-Ш и 38ХМЮА.
Представлены результаты исследования влияния ЛИА в тлеющем разряде с
ПК на структуру, фазовый состав, микротвердость и износостойкость
диффузионного слоя конструкционных сталей 16Х3НВФМБ-Ш и 38ХМЮА.
24
Приведен анализ микроструктур образцов из сталей 16Х3НВФМБ-Ш и
38ХМЮА после ЛИА в тлеющем разряде с ПК при Т=550°С, Р=60 Па, U=500В,
t=12 ч, h=5 мм.
Измерения микротвердости на поперечных шлифах, азотированных образцов
из конструкционных сталей 16Х3НВФМБ-Ш и 38ХМЮА позволили оценить
глубину диффузионного слоя, при ЛИА с ПК. Для определения износостойкости
образца из стали 38ХМЮА прошедшего ЛИА с ПК были проведены испытания на
трибометре Nanovea.
В шестой главе представлены результаты исследования влияния ионного
азотирования в тлеющем разряде с МП и без него на структуру, фазовый состав и
микротвердость инструментальных сталей Р6М5, Х12. Приводится количественный
анализ и анализ распределения карбидных частиц по размеру до азотирования и после
азотирования с магнитным полем и без магнитного поля стали Р6М5.
В седьмой главе представлены разработанные технологические процессы
ВИА и КО (ВИА с последующей светлой закалкой).
Для выбора режимов ЛИА представлена диаграмма области существования
ПК. По результатам экспериментальных исследований был разработан
технологический процесс (ТП) ЛИА в тлеющем разряде с ПК детали «шестерня».
Описана технология и обоснованы технологические режимы ионного
азотирования в тлеющем разряде с МП. Показаны преимущества использования МП
как инструмента ускорения процесса ионного азотирования. Представлены
зависимости температуры поверхности от режимов обработки. По результатам
экспериментальных исследований в рамках диссертационной работы был разработан
ТП ионного азотирования в тлеющем разряде с МП инструментальных сталей.
Приведены результаты производственных испытаний матриц
холодновысадочного автомата М15Б, после ионного азотирования в тлеющем
разряде с МП. Стойкость матриц повысилась в 3,5-4 раза.
25
1. АНАЛИЗ СТРУКТУРНО-ФАЗОВЫХ ПРЕВРАЩЕНИЙ И СВОЙСТВ
ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ КОНСТРУКЦИОННЫХ И
ИНСТРУМЕНТАЛЬНЫХ СТАЛЕЙ ПРИ ИОННОМ АЗОТИРОВАНИИ В
ПЛАЗМЕ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА
1.1 Азотирование в тлеющем разряде (ионное азотирование)
Ионное азотирование является одним из наиболее распространенных способов

поверхностного упрочнения деталей и инструмента, использование которого в
промышленно развитых странах постоянно расширяется. Данный способ обладает
целом рядом преимуществ по сравнению с традиционным газовым азотированием:
возможность регулирования параметров обработки в широком интервале режимов;
высокую скорость насыщения; получение диффузионных слоев заданного фазового
состава и строения; высокий класс чистоты поверхности; большую экономичность
процесса [54,65,169,176,210,222].
Механизм этого процесса можно понять на основе анализа диаграмм состояния
Fe-N (рис. 1.1), Fe-N-C (рис. 1.2). Эти диаграммы в удобной графической форме
показывают фазовый состав и структуру в зависимости от температуры и концентрации.
а б
Рисунок 1.1. а) диаграмма состояния Fe-N, б) кристаллическое строение фаз
в системе Fe-N [176].
26
В метастабильной системе железо-азот образуются следующие фазы (рис. 1.1),
а): α-фаза представляет собой азотистый феррит с ОЦК решеткой с периодами 0,286-
0,287 нм (рис. 1.1), б); γ-фаза (азотистый аустенит) имеет ГЦК решетку с
неупорядоченным расположением атомов азота в октаэдрических порах (рис. 1.1, б).
При температуре 590°С γ-фаза претерпевает эвтектоидный распад γ → α + γ' [175].
В условиях больших переохлаждений γ-фаза претерпевает мартенситное
превращение. Азотистый мартенсит (α'-фаза) (рис. 1.1, б) представляет собой
пересыщенный твердый раствор азота в α-Fe, образуется из γ-фазы в результате
закалки. При распаде (отпуске) α'-фазы сначала образуется метастабильная α"-фаза
(Fe16N2), а затем образуется нитрид Fe4N.
γ'-фаза соответствует твердому раствору на базе нитрида Fe4N. Зона
гомогенности (рис. 1.1, а) при 590°С лежит в пределах 5,30 – 5,75% N.
ε-фаза является твердым раствором на базе нитрида Fe2-3N, существует в
широком интервале концентраций 4,55 – 11,0% N (рис. 1.1, а). Основой ее
кристаллического строения является плотная гексагональная упаковка атомов
железа (рис. 1.1, б) [65, 165,175].
На рис. 1.2 приведена проекция диаграммы состояния Fe-N-С. Наибольшее
значение имеют гексагональный ε-карбонитрид Fe2-3(N,С) и карбонитридная γ'-фаза
Fe4(N,С), образующиеся при одновременной диффузии в железо (сталь) азота и углерода.
Рисунок 1.2. Диаграмма состояния Fe-N-С при различных температурах.

27
γ-фаза обычно является двойным твердым раствором внедрения азота и
углерода. Углерод оказывает влияние на растворимость азота в α-фазе. По данным
[176], углерод при прочих равных условиях уменьшает растворимость азота в
легированном феррите.
В тройной системе Fe-N-С образуется трехфазный эвтектоид Fe α + Fe3C +
Fe4N. Концентрация азота и углерода, обеспечивающая получение эвтектоидной
структуры, зависит от температуры эвтектоидного превращения [176].
При азотировании легирующие элементы стали изменяют растворимость
азота в α-фазе, растворяются в ε и γ'-фазах, а также образуют самостоятельные
нитриды. Переходные элементы вольфрам, молибден, хром, титан, ванадий и, в
меньшей степени, цирконий и ниобий, будучи растворены в феррите, повышают
растворимость азота в α-фазе [169,176].
Большинство нитридов переходных металлов относятся к фазам внедрения и
имеют значительную область гомогенности [65,165].
Карбиды и нитриды переходных металлов со сходными структурами и почти
одинаковыми размерами атомов внедрения обладают значительной взаимной
растворимостью. В легированных сталях могут образовываться твердые растворы
как на базе нитрида M(N,С), Ti(N,С), Zr(N,С) и т.д. или M2(N,С) (Mo2(N,С) и др.,
так и на базе карбида М(С,N) с близкими периодами решетки.
Процесс ионного азотирования широко применяют в России, Германии,
Швейцарии, Франции, США и других странах [1,4,5,21,22, 25,32,42,65,169,222].
Применение тлеющих и дуговых разрядов при ионном азотировании
позволило увеличить скорость насыщения по сравнению с печным (газовым)
азотированием, снизить деформации изделий в процессе обработки и обеспечить
высокий класс чистоты поверхности. Стало возможным азотировать
пассивирующиеся материалы без дополнительной депассивирующей обработки,
значительно сократилось общее время процесса за счет уменьшения времени
нагрева и охлаждения садки, а также исключения промежуточных
технологических операций по активации поверхности деталей, повысился
коэффициент использования электроэнергии, сократился расход насыщающих
28
газов, процесс стал отвечать требованиям по защите окружающей среды
[54,149,175,176,210].
Проведенный анализ литературы [54,65,110,175,210] позволил предложить
новую классификацию процессов азотирования металлов с применением
электрических разрядов в газах, в том числе с использованием тлеющего разряда
низкого давления (рис. 1.3).
Ионное азотирование на основе

электрического разряда в вакууме
Вид разряда Ионные источники
Несамостоятельный сильноточный разряд
Дуговой Полярность деталь-катод
Тлеющий Полярность деталь-анод
Состав газовой
среды Тлеющий разряд низкого Тлеющей разряд
давления (1 – 133 Па) (133 – 1330 Па)
Водородсодержащие среды Тлеющий разряд с полым катодом
Тлеющий разряд с магнитным полем
Смеси газовых компонентов Тлеющий разряд с косвенным нагревом

Химические соединения
Низкотемпературное азотирование
Аммиак
Высокотемпературное азотирование
Метан
Высокотемпературное азотирование с
Пропан последующей светлой закалкой
Карбораны Локальное ионное азотирование
Комбинированные смеси
Безводородные среды
Азотно-аргоновые среды
Аргоно-азотные среды
Рис 1.3. Классификация процессов азотирования металлов с применением

электрического разряда в газе.
29
Из предложенной на рис. 1.3 схемы следует, что применение различных
активных элементов газовой среды позволяет проводить все основные виды
обработки поверхности металлов, включая и создание комбинированных
поверхностных слоев.
По принципу действия газовых систем все установки условно можно разделить
на аммиачные и безаммиачные. Использование в качестве рабочего газа аммиака
прежде всего создает проблемы с точки зрения экологии, а также взрывоопасности.
Необходимо отметить, что главным недостатком применения аммиака в качестве
рабочей среды является факт водородного охрупчивания, хотя твердость поверхности
при прочих равных условиях всегда выше, чем при использовании безаммиачных
газов. Однако для обеспечения целого ряда эксплуатационных свойств существенным
являются не только высокие показатели твердости поверхностного слоя, но и
характеристики пластичности [208-210].
Весь дальнейший материал изложен применительно к технологическим
процессам азотирования в тлеющем разряде с безаммиачными газовыми средами.
С учетом получения регулируемого строения диффузионного слоя деталь
должна поступать на азотирование с окончательными размерами, так как
последующая шлифовка может снять нитридную зону [169,222].
Строение и свойства упрочненного слоя азотируемых деталей зависят от
следующих технологических факторов напряжения между электродами, состава
газовой среды, степени ее разрежения, рабочей температуры, длительности
процесса, взаимного расположения деталей и электродов [173].
Температура азотирования обычно составляет 470 – 580°С, напряжение 400
– 1100 В, разряжение 133 – 1330 Па. Рабочее давление лимитируется свойствами
тлеющего разряда при давлении ниже 133 Па энергия ионов недостаточна для
нагрева обрабатываемой детали до рабочей температуры, при давлении выше 1330
Па нарушается стабильность разряда, тлеющий разряд переходит в дуговой, что
сопровождается появлением на поверхности оплавленных микрократеров [54,175].
По мнению многих исследователей плотность ионного тока в больших
пределах (0,5 – 20 мА/см2) не оказывает влияния на процесс азотирования
30
[65,66,175]. Однако в работах [49,148,149,181,209,211,213] было отмечено влияние
плотности ионного тока на интенсивность азотирования, которое в первую очередь
может быть объяснено соотношением масс иона (или электрона при азотировании
с обратной полярностью) и частицы газа. При каждом столкновении частице на
поверхности передается очень малая доза энергии, для того чтобы ее
энергетический уровень повышался как результат накопления энергии, нужно
обеспечить частоту ударов, при которой период между столкновениями был бы
меньше времени диссипации энергии. И был сделан вывод о том, что увеличение
плотности ионного тока приводит к ускорению процесса азотирования.
Электрические и вакуумные параметры разряда при катодном распылении
гарантируют активацию поверхности и разрушение оксидных пленок, а во второй
стадии обеспечивают нагрев поверхности до температуры диффузии, активность
газовой фазы, поддержание градиента концентрации азота на поверхности и
регулирование процесса по фазовому составу диффузионного слоя.
Из анализа литературных данных [52,54,66,169,175,209,210] можно
выделить следующие модели процесса азотирования в тлеющем разряде:
- технологическая модель;
- модель Ю. М. Лахтина - Й. Кольбеля - Б. Эденхофера;
- модель Б. Н. Арзамасова;
- энергетическая модель И.М. Пастуха.
Технологическая модель представляет собой базу данных, состоящую из
результатов экспериментальных исследований школ Лахтина Ю.М и
Арзамасова Б.Н. [52,54,169,176]. Таблицы и номограммы, состоящие из
оптимальных значений технологических режимов (состав газовой среды, давление
в рабочей камере, температура обрабатываемой поверхности и плотность тока)
могут дополняться, изменяться и оптимизироваться по тем или иным критериям.
Недостатком данной модели является высокая трудоемкость и низкая
приспособленность к проектированию новых технологий, которые обеспечивали
бы требуемые конечные результаты при переменных исходных условиях, таких
31
как обрабатываемый материал, предыдущая термическая обработка и
эксплуатационные требования.
Согласно модели Лахтина Ю.М. - Кольбеля Й. - Эденхофера Б. на рис. 1.4
представлены определяющие процесс реакции [175,176].
Рисунок 1.4 Процессы на поверхности при ионном азотировании [175]:

I – катод(деталь); II – анод; III – изменение энергии ионов
Ускоренные ионы в области падения катодного потенциала, с относительно

высокой кинетической энергией бомбардируют поверхность детали. При этом до
90% энергии ионов превращается в тепловую и происходит разогрев поверхности до
требуемой температуры азотирования. Значительно меньшая часть кинетической
энергии ионов требуется для вырывания атомов из кристаллической решетки.
Испарению с поверхности могут подвергаться как металлические элементы,
например, железо, так и неметаллические, например, углерод, кислород, азот и др.
32
Азотирование в плазме тлеющего разряда характеризуется
комбинированным процессом испарения-осаждения. Азот в плазме находится в
атомарном состоянии и в этой форме химически активен. Перед поверхностью
катода происходит образование обогащенных азотом нитридов железа. Молекулы
FeN конденсируются на поверхности детали и диссоциируют, так как при
температурах азотирования не стойки и образуют нитриды железа низшего
порядка Fe2N, Fe3N и Fe4N. Выделяющийся при этом азот диффундирует в деталь
или, испаряясь, возвращается в плазму [175,176].
Необходимо отметить, что модель имеет несколько спорных моментов, к
примеру вероятность образования нитридов путем столкновения двух атомов азота
и железа в газовой среде, возможность которого отрицает Арзамасов Б.Н. [52,54].
Так как вновь образованная молекула нитрида обладает значительной энергией,
включающей помимо прочего и остаток кинетической энергии взаимного
столкновения за вычетом энергии образования, и если эта энергия не будет передана
третьей частице, то в следующем периоде колебаний молекула сразу же распадется.
Роль третьей частицы могут выполнять или непосредственно поверхность,
но для этого нитрид должен быть образован в результате столкновения с атомом
поверхности, или распыленные ее фрагменты, тогда столкновение, образующее
нитрид, может происходить и в газовой среде. Возможность распыления целого
фрагмента поверхности вполне вероятна в режиме очистки поверхности катодной
бомбардировкой [210].
В модели Арзамасова Б.Н. [52,54] исходным элементом, предопределяющим
все последующие процессы, служит бомбардирующая частица - положительный
ион. Модель процесса и энергетическая схема показана на рис. 1.5.
33
а) б)
Рисунок 1.5 а) модель процесса азотирования в тлеющем разряде по
Арзамасову Б.Н. б) энергетическая схема процесса по Арзамасову Б.Н. [54]
По мнению автора, при соударении с поверхностью положительный ион

азота может испытывать упругое или неупругое рассеяние в виде нейтральной
частицы или отрицательного иона. Одновременно происходит рассеяние с
изменением заряда частицы на противоположный. Важным моментом модели
Арзамасова Б.Н. является утверждение, что в зависимости от характера
столкновения бомбардирующие частицы могут отражаться от поверхности,
адсорбироваться ею, проникать в глубь, а в некоторых случаях, учитывая
непрерывное возмущение приповерхностных слоев металла под воздействием
падающего потока, снова выходить на поверхность. Одновременно могут
происходить процессы распыления поверхности в виде нейтральных атомов,
отрицательных ионов ее компонентов и электронов. Существенное значение
отводится адсорбционным процессам, в том числе обеим их составляющим -
хемосорбции и физической адсорбции, равно как и процессам распыления
адсорбционного монослоя. В то же время единственным источником атомарного
азота, проникающего под ударным воздействием падающего потока в
поверхность, а затем диффундирующего в глубь металла является поток
положительных ионов азота [54,210]. Столь исключительная роль атомарных
ионов существенно сужает технологические возможности азотирования в
34
тлеющем разряде. Прежде всего, с помощью такой модели невозможно объяснить
факт азотирования при обратной полярности [158,159].
Значимость потока быстрых нейтралов подтверждена как теоретически, так и
экспериментально, причем его интенсивность в некоторых газовых средах
сопоставима или даже превышает интенсивность потока заряженных частиц
[204,209,212], что в целом, увеличивает энергетическую мощность падающего потока.
Большинство вышеописанных процессов моделей Лахтина Ю.М. и
Арзамасова Б.Н. вошли в структуру энергетической модели Пастуха И.М. [210],
представленной на рис.1.6.
Рисунок 1.6 Энергетическая модель процесса азотирования в тлеющем разряде [210]
Ведущая роль в энергетической модели отводится адсорбционным

явлениям. По порядку величин период заполнения мест при давлении 0,8 Торр и
температуре 560°С для молекулярного и атомарного азота соответственно
35
составляет 2×10-6 …1×10-6 с, период бомбардировки одного места в монослое при
средней типовой плотности тока j = 15 А/м2 существенно больше и соответственно
составляет 0,076...0,304 с [210]. Приведенные данные свидетельствуют о весьма
вероятной сплошности адсорбционного монослоя.
Под ударным воздействием падающего потока поверхность может
распыляться как на отдельные, так и на фрагментарные частицы. В последнем
случае возможны процессы образования и преобразования нитридов. Падающий
поток стимулирует ионно-электронную эмиссию, нагрев поверхности и как
следствие - термоэлектронную эмиссию. В газовой среде возможны процессы
диссоциации молекул азота электронным ударом с последующей ионизацией
атомов азота. Другой вариант образования атомов азота состоит в рекомбинации
молекул непосредственно на поверхности с последующей их диссоциацией.
Наконец, третий путь образования атомарного азота состоит в ионизации молекул,
находящихся в адсорбционном слое, вследствие столкновения с ними частиц
падающего потока, последующей рекомбинации и диссоциации [208-212]. Следует
учесть, что расчеты [75] показывают - поверхность играет роль катализатора
диссоциативных процессов, при этом энергия диссоциации уменьшается
практически в 2,5 раза. Атомы азота могут принимать участие в реакциях
образования нитридов или диффундировать в глубь металла, создавая твердый
раствор. Этот процесс может сильно тормозиться вплоть до полного прекращения
в случае интенсивного образования в слоях, близлежащих к границе газ-
поверхность, нитридных пленок, особенно в случаях, когда поверхность содержит
сильные нитридообразующие элементы, а параметры технологического режима не
способствуют распылению поверхностных слоев.
Согласно модели [208-212] при модификации поверхности в тлеющем
разряде могут иметь место следующие процессы:
- адсорбция частиц газа на поверхности с формированием практически
сплошного слоя и частичная десорбция их в результате как теплового влияния, так
и бомбардировки частицами падающего потока;
36
- передача энергии от частиц падающего потока частицам поверхности с
нагреванием ее до рабочей температуры процесса, стимулирующим
термоэлектронную эмиссию;
- стимулирование ионно-электронной и ударно-электронной (от
нейтральных частиц падающего потока) эмиссий;
- распыление атомов и фрагментов поверхности с последующим осаждением
их под действием направленного движения потоков на поверхностях
обрабатываемых деталей, оборудования или удаление из разрядной камеры;
- столкновения атомарных ионов диффузантов с атомами поверхности или
атомами, которые входят в распыленные фрагменты поверхности, и последующее
образование диффундидов;
- столкновения молекулярных ионов с поверхностью и в зависимости от
энергетического уровня, возможными рекомбинацией или диссоциативной
рекомбинацией, образованием атомарных диффузантов и на их основе созданием
диффундидов или твердых растворов;
- ударная диссоциация или ионизация молекулярных частиц,
адсорбированных поверхностью, с последующей диссоциативной рекомбинацией,
образованием атомарных диффузантов и на их основе созданием диффундидов или
твердых растворов;
- преобразование диффундидов в направленииот низших к высшим по схеме
привлечения атомов матрицы;
- диффузия атомарных частиц и диффундидов в глубину поверхности;
- упругие столкновения заряженных частиц падающего потока с
поверхностью и отражение их в газовую среду, вторичная бомбардировка
поверхности, включая возможность вышеперечисленных процессов, характерных
для частиц определенного вида и энергии;
- ударная имплантация частиц газовой среды и проникновение их и частиц
компонентов поверхности под действием падающего потока в глубину
поверхностного слоя с образованием твердых растворов;
37
- резонансная перезарядка на металле с диссоциативной рекомбинацией
молекулярного иона диффузанта и созданием диффундида.
Основные положения энергетической модели сводятся к следующему [210]:
1. Существуют условия, определяемые как видом поверхности, так и
характеристиками технологического режима, при которых любые из отмеченных
выше процессов могут иметь место.
2. Вероятность того или иного процесса определяется сопоставлением и
соответствием энергетического спектра падающего потока энергетическим
характеристикам, в рамках которых он возможен.
3. В первую очередь проходят те процессы, которые в данных конкретных
условиях энергетически наиболее выгодны.
4. Существенна роль адсорбционных процессов через адсорбционный слой, падающий
поток в значительной мере воздействует на модифицируемую поверхность.
5. Основным источником генерации атомарного азота, концентрация которого
наиболее существенно влияет на интенсивность АТР, является процесс
диссоциации молекул электронным ударом или как результат рекомбинации
молекулярных ионов непосредственно на поверхности.
Принципы энергетической модели позволяют формулировать факторы
влияющие на процесс азотирования в тлеющем разряде, включая конечные
результаты, а также прогнозировать оптимальные характеристики
технологических режимов.
Анализ процессов взаимодействия плазмы с поверхностью показывает, что
для увеличения эффективности ионного азотирования необходимо увеличить
плотность ионного потока. Это возможно либо при использовании специальных
источников ионов (в этом случае область рабочего давления составляет не более
0,1 Па), либо используя различные способы для увеличения степени ионизации
вблизи обрабатываемой поверхности.
38
1.2 Особенности структурно-фазовых превращений и свойств
поверхностных слоев конструкционных сталей при ионном азотировании в
тлеющем разряде
Сталь перлитного класса 38ХМЮА (0,35-0,42%С, 1,35-1,65%Cr, 0,15-

0,25%Mo и 0,7-1,1%Al) была разработана в Советском Союзе в начале 30-х годов и
применяют если главными требованиями, предъявляемыми к азотированному
слою, являются высокие твердость и износостойкость. Сталь широко используют
для изготовления зубчатых колес, гильз цилиндров, червяков, шпинделей, втулок
и других деталей, упрочняемых азотированием. Предварительную термическую
обработку – закалку и отпуск проводят в заготовках, а для деталей малого сечения
- в прутках (до 50 мм). При проведении термической обработки стали 38ХМЮА
необходимо учитывать, что она склонна к обезуглероживанию. Вследствие этого
заготовки должны иметь достаточные припуски на обработку (2-3 мм), которые
гарантировали бы полное удаление обезуглероженного слоя. Наличие
обезуглероженного слоя недопустимо, так как он служит причиной «шелушения»
азотированной поверхности. Закалку проводят с 930-950°С в воде (для крупных
изделий) или масле. Температура отпуска должна на 50-100°С превышать
максимальную температуру ионного азотирования (обычно составляет 600-650°С).
Для деталей малой жесткости перед окончательной механической обработкой
проводят стабилизирующий отпуск в течение 3-10 ч при 550-600°С с последующим
медленным охлаждением. Сталь 38ХМЮА обеспечивает наибольшую твердость
азотированного слоя до HV 1100-1200. В случае ионного азотирования стали
38ХМЮА при температурах ниже эвтектоидной на поверхности диффузионного
слоя образуется ε-фаза, которая при охлаждении претерпевает распад с выделением
легированной γ'- фазы (Fe, М)4N. Непосредственно к слою сплошных нитридов,
выявляемых под микроскопом в виде белого нетравящегося слоя, прилегает
область, в которой рентгеновский анализ фиксирует трехфазное состояние ε+ γ'+α.
Одновременное присутствие ε- и α-фаз объясняется продвижением ε-фазы по
границам зерен. Основная часть слоя, выявляемая в виде более сильно травящейся
зоны, состоит из азотистой α-фазы, обедненной легирующими элементами,
39
карбидов M3C, избыточной γ'-фазы (Fe, М)4N и возможно сложного нитрида
легирующих элементов. Концентрация азота в α-фазе достигает 0,3-0,5% [169,176].
Температура и длительность азотирования влияют на толщину
азотированного слоя (рис. 1.7, а) и твердость (рис. 1.7, б) [169].
а) б)
Рисунок 1.7 - Влияние температуры и продолжительности азотирования на

твердость и глубину диффузионного слоя на стали 38ХМЮА [169]
Наивысшая твердость HV 1100-1200 достигается при температуре
азотирования 500-520°С. С повышением температуры твердость сильно снижается
и при 600°С составляет HV 750-800 [107-110,165,169].
Время ионного азотирования при низкой температуре (500…520°C)
практически не влияет на размер, форму и плотность распределения нитридной
фазы. При повышении температуры азотирования до 540°С, и особенно до 560°С,
увеличение времени азотирования оказывает заметное влияние на размер
нитридной фазы и на структуру матрицы. При увеличении времени азотирования
от 5 до 30 ч при температуре 560°С приводит к увеличению размеров выделений
нитридов легирующих элементов и плотности их распределения примерно в 2 раза.
Причем наиболее интенсивное изменение размеров и плотности распределения
нитридных фаз наблюдается в течение первых 20 ч (рис. 1.8). При дальнейшем
увеличении времени азотирования интенсивность изменений снижается [109,110].
40
Рисунок 1.8 - Изменение размера d, плотности распределения нитридов n в

диффузионном слое стали 38ХМЮА при 560°С (1, 2) [109]
Коэффициент трения азотированной стали 368ХМЮА снижается с 0,7 при
20°С до 0,1 при 600°С; износ незначителен и при 560°С составляет 1,7 мг/м·см2. В
результате азотирования значительно повышается задиростойкость как при
комнатной, так и при повышенных (400-500°С) температурах. Азотирование стали
38ХМЮА при условии удаления шлифованием с поверхности хрупкой ε-фазы
значительно повышает кавитационную стойкость [272].
Наличие в стали 38ХМЮА алюминия усложняет технологию производства
обработки и азотирования стали. Сталям с высоким содержанием алюминия
свойственны следующие дефекты металлургического характера: столбчатый
излом, загрязненность неметаллическими включениями, образование мелких
трещин и волосовин в прокате, развитие свищей в поковках и т.д. При горячей
механической обработке стали типа 38ХМЮА иногда проявляют склонность к
перегреву, вызывающему снижение сопротивления хрупкому разрушению.
Высокое качество азотированного слоя достигается в стали, не содержащей
доэвтектоидного феррита. При термической обработке стали типа 38ХМЮА
весьма чувствительны к изменению состава в пределах марки. В зависимости от
соотношения между содержанием углерода, хрома, молибдена и алюминия сталь
38ХМЮА обладает либо недостаточной закаливаемостью и прокаливаемостью,
либо проявляет склонность к образованию трещин при закалке в воде.
41
Обусловленные повышенным критическим интервалом высокие температуры
нагрева (950-975°С) при термической обработке вызывают интенсивное
обезуглероживание, а как следствие этого – увеличение припусков, удаляемых при
обработке резанием. Азотированный слой на стали 38ХМЮА, содержащей
алюминий на верхнем пределе, обладает большой хрупкостью [169,176].
Низкоуглеродистые стали мартенситного класса ВКС-5 (16Х3НВФМБ-Ш) и
ВКС-7 (16Х2Н3МФБАЮ-Ш) (табл. 1.1) широко применяются в основном как
цементуемые для изготовления деталей машин ответственного назначения,
например, высоконагруженных зубчатых колес. Наличие нитридообразующих
элементов позволяет применять их в качестве азотируемых главным образом для
повышения износостойкости деталей машин. В отличие от сталей перлитного
класса, эти стали в улучшенном состоянии имеют более высокий уровень
механических свойств. Например, у стали 16Х2Н3МФБАЮ-Ш после закалки и
высокого отпуска при температуре 600°С условный предел текучести
σ0,2=1000…1100 МПа, твердость составляет 35-40 НRСЭ [110].
Таблица 1.1 - Химический состав сталей
Концентрация элементов, %
Марка стали
C Cr Ni Mo V W Nb S P
16Х2Н3МФБАЮ-Ш 0,18 1,85 2,90 0,44 0,13 - 0,14 0,015 0,011
16Х3НВФМБ-Ш 0,16 2,78 1,26 0,46 0,45 1,22 0,18 0,010 0,025
В работе [110] образцы из стали 16Х2Н3МФБАЮ-Ш азотировали по

одноступенчатому при 460, 500, 540, 580°С и двухступенчатому режимам при
500°С+540°С в течение времени, обеспечивающем получение диффузионных
слоев, толщиной не менее 0,5 мм с минимальной толщиной нитридного слоя.
Установлено, что температура азотирования незначительно влияет на
микроструктуру диффузионного слоя. При всех исследуемых режимах
азотирования наблюдаются светлые прожилки, которые в отличие от стали
38ХМЮА не образуют сплошную сетку по границам бывших аустенитных зерен.
Так же для всех исследуемых режимов отмечалось плавное понижение твердости
по толщине слоя (рис. 1.9).
42
Рисунок 1.9 - Изменение микротвердости HV по толщине h азотированного

слоя стали 16Х2Н3МФБАЮ-Ш. Режимы ионного азотирования: 460°С, 80 ч (1);
500°С, 48 ч (2); 540 °С, 30 ч (3), 580°С, 20 ч (4); 500°С, 20 ч+540°С, 40 ч (5) [109,110]
Размер нитридных частиц незначительно изменяется по толщине слоя, а
плотность их распределения, как и твердость, уменьшаются с увеличением
расстояния от поверхности (рис. 1.10) [109,110].
Рисунок 1.10 - Зависимость микротвердости HV (1) и плотности

распределения нитридов n (2) от расстояния от поверхности h азотированного слоя
16Х2Н3МФБАБ-Ш. Режим азотирования: 540°С, 30 ч [109,110]
По результатам электронно-микроскопических и рентгеноструктурных
исследований, температура азотирования оказывает существенное влияние на
субструктуру азотированного слоя. С повышением температуры азотирования
43
размер нитридной фазы увеличивается, а плотность распределения выделившихся
частиц уменьшается. Для всех значений температуры азотирования наблюдается
равномерное хаотичное распределение частиц нитридов по объему зерна. При
более высокой температуре насыщения (580°С) происходит выстраивание
равноосных нитридных частиц в цепочки. Образование таких цепочек связано с
упругим взаимодействием решеток нитридов и матрицы, что согласуется с
результатами теоретических исследований [109,110].
Таким образом, в стали 16Х2Н3МФБАЮ-Ш мартенситного класса даже при
низкой температуре азотирования происходит преимущественно гетерогенное
зарождение нитридов легирующих элементов, некогерентных решетке матрицы. С
повышением температуры азотирования размер нитридных частиц увеличивается,
причем матричные выделения нитридов растут быстрее, чем выделения на
дефектах, что уменьшает разницу в их размерах и, тем самым, плотность
распределения этих частиц. Нитридные частицы на дефектах кристаллического
строения в меньшей степени, чем когерентные выделения, возмущают
кристаллическую решетку матрицы. Поэтому в азотированном слое стали можно
выделить две группы нитридов, различающихся по размерам в 2-4 раза: одну
группу составляют дисперсные когерентные частицы, образующиеся в матрице;
другую – более крупные некогерентные выделения, образующиеся на дефектах
кристаллического строения [109,110].
Образование крупных некогерентных нитридов на дефектах в стали
16Х2Н3МФБАЮ-Ш связано с особенностями ее структуры, сформировавшейся
при термической обработке перед азотированием. После улучшения сталь имеет
мартенситную структуру с высокой плотностью дислокаций, закрепленными
выделившимися в результате процесса вторичного твердения при отпуске
мелкодисперсными карбидными частицами [109,110].
Авторы [109,110] изучали структуру стали 16Х2Н3МФБАЮ-Ш при
азотировании (540°С, 24 ч) в насыщающей среде с различным содержанием
водорода. Исследования показали, что поверхностная твердость, ее распределение
по толщине слоя, и общая толщина практически не зависят от наличия водорода в
44
насыщающей среде. Состав среды также не вносит существенного различия в
микроструктуру слоя. Однако присутствие водорода способствует увеличению
концентрации атомарных ионов азота (N+), ответственных за процесс
азотирования, и как следствие более интенсивному образованию нитридов железа
на поверхности азотированного слоя [189]. Аналогично водород влияет на
структуру слоя и при азотировании стали 38ХМЮА, который после ионного
азотирования при температуре 560°С в течение 2 ч в среде чистого азота состоял
из смеси γ'-фазы и α-твердого раствора, а при добавлении водорода формировался
слой γ'-фазы, толщина которого увеличивалась до 12 мкм при повышении
содержания водорода до 10% (об.) [52].

поверхностных слоев инструментальных сталей при ионном азотировании в
тлеющем разряде
Развитию областей применения азотирования для поверхностного упрочнения

инструментальных сталей способствовали исследования Ю. М. Лахтина, Ю. А.
Геллера, Б. Н. Арзамасова, Б. Эйденхофера и др., которые в своих работах показали,
что инструментальные стали можно подвергать азотированию и получать при этом
высокую поверхностную твердость и износостойкость режущих и штамповых
инструментов [9-11,20,24,25,54,106,148,175].
Обычное газовое азотирование широко применяют для упрочнения
инструмента [150,169], однако более эффективным способом повышения стойкости
является ионное азотирование благодаря своим достоинствам и более широким
технологическим возможностям [54]. Важным преимуществом насыщения в
тлеющем разряде по сравнению с обычными процессами азотирования является
снижение температуры обработки до температур высокого отпуска,
обеспечивающего вторичное твердение [55]. Известно [119], что для инструмента
важно, чтобы высокая прочность азотированного слоя сочеталась с вязкостью,
достаточной для обеспечения высокого сопротивления хрупкому разрушению.
Слои, получаемые после ионного азотирования, в отличие от образуемых после
45
традиционных способов азотирования (газового и жидкостного), всегда отличаются
большей пластичностью, так как тлеющий разряд позволяет регулировать фазовый
состав и строение азотированного слоя, т.е. получать слой без хрупкой нитридной
зоны, состоящей из высокоазотистой ε-фазы, и без карбонитридной сетки в
диффузионной зоне, но с выделениями в объеме зерен высокодисперсных
нитридных фаз типа легированной γ`-фазы или специальных нитридов [150,169].
Следует отметить, что ионное азотирование позволяет сохранить
стабильность геометрических характеристик инструмента [106,118,119] и
обеспечивает управляемый процесс диффузионного насыщения инструментальных
сталей азотом, благодаря подавлению выделений высокоазотистых карбонитридных
фаз по границам зерен, которые в первую очередь становятся очагами
преждевременного усталостного разрушения [52,53,56].
По-мнению многих авторов [106,118,169,210] требования к
инструментальным сталям в зависимости от их назначения существенно
различаются, таким образом необходимо раскрыть особенности ионного
азотирования этих материалов, конкретизируя закономерности
структурообразования, механизмы обеспечения эксплуатационных характеристик
и технологические аспекты процесса насыщения.
Рассмотрим особенности ионного азотирования штамповых сталей.
Основные причины выхода из строя инструмента для холодной обработки
давлением – износ и смятие рабочих частей штампа, и хрупкое разрушение [54].
Причем хрупкое разрушение может быть не только следствием ударного
нагружения и воздействия опасных концентраторов напряжений, но и результатом
возрастания удельных нагрузок от смятия и износа рабочих поверхностей.
Известно [187,196,237,271], что азотирование, как метод поверхностного
упрочнения штамповых сталей, давно используют в отечественной промышленности для
повышения стойкости инструментов холодного деформирования. Однако обычные
способы азотирования [52,169], осуществляемые при 500–570 ºС, для многих из них
малоэффективны из-за значительного уменьшения предела прочности при сжатии. При
ионном же азотировании процессы диффузионного насыщения благодаря их
46
существенной интенсификации могут происходить при более низких температурах
(400 ºС и ниже) [86-88,91,149]. По данным [9-10], для инструментов, применяемых для
холодной обработки давлением стали и легких сплавов, когда рабочая температура не
превышает 250 ºС, предлагается ионное азотирование проводить при сравнительно низких
температурах (~450 ºС). Для инструмента из стали Х5МФ рекомендуется слой толщиной
до 0,3 мм с тонкой (4–8 мкм) нитридной зоной из γ`-фазы, а для инструмента из более
высокохромистой стали типа Х12 – только диффузионная зона толщиной 0,2 мм.
Для изготовления инструмента сложной формы, работающего в условиях
значительного износа, преимущественно используют высокохромистые стали
(Х12, Х12М, Х12Ф1). Эти стали по структуре после отжига относятся к
ледебуритному, а после нормализации – к мартенситному классу. Обработку на
вторичную твердость таких сталей осуществляют для повышения их
теплостойкости. Для этого повышают температуру закалки, что обеспечивает
невысокую твердость (48–54 HRC) из-за большого количества остаточного
аустенита (> 50%), а затем с целью повышения твердости (до 60–69 HRC)
осуществляют неоднократный отпуск при 500–550 ºС [132, 169, 179].
Известно [58, 260], что ионное азотирование позволяет сохранить высокую
прочность сердцевины высокохромистой стали. По данным работы [9], после
ионного азотирования пуансона пресса для выдавливания, осуществляемого при
470–490 ºС, не наблюдается разупрочнение сердцевины высокохромистой стали
(60–62 HRC). Полученный при этом твердый, но достаточно вязкий поверхностный
слой существенно повышает стойкость указанного инструмента, не схватываясь и
не привариваясь к обрабатываемой поверхности, что свидетельствует о весьма
высоком сопротивлении адгезионному изнашиванию.
По данным авторов [17], инструменты из высокохромистой стали после
ионного азотирования находят применение для таких процессов холодной
обработки давлением как гибка, обкатка, накатывание, штамповка и др. При этом
высокая стабильность формы и незначительный прирост размеров позволяют
использовать азотируемые штампы без последующей доработки, а толщина
диффузионного слоя составляет 0,2 – 0,1 мм без нитридной зоны.
47
Рассмотрим особенности ионного азотирования быстрорежущих сталей.
Основные свойства, которыми должен обладать материал для режущего
инструмента – износостойкость и теплостойкость [118,119]. Высокая теплостойкость
– важное свойство быстрорежущих сталей, от ее температурного уровня, в конечном
счете, зависит производительность резания. Они сочетают теплостойкость (600–640
ºС в зависимости от состава и способа обработки) с высокой твердостью (до 68–70
HRC), износостойкостью при повышенных температурах и повышенным
сопротивлением пластической деформации (прочностью). Известно [118], что при
повышении вторичной твердости и теплостойкости наблюдается снижение прочности
и вязкости. Следовательно, при назначении режима ионного азотирования
необходимо руководствоваться этими основополагающими подходами, исходя из
конкретных условий эксплуатации инструмента.
Быстрорежущие стали по структуре после отжига относятся к ледебуритному
классу, а после нормализации – к мартенситному. Для них характерна карбидная
неоднородность, особенно выраженная в сталях с повышенным содержанием
вольфрама, ванадия и кобальта. Общее количество карбидов в стали Р6М5 около
22% [119]. В основном это сложный карбид вольфрама переменного состава
(Fe,W)3C (Me6C), который растворяет в себе часть хрома и ванадия. Кроме того,
возможно присутствие небольшого количества карбида (Fe,Cr)23C6 и карбида MeC
(в сталях с ванадием). В карбидах содержится 80–95% вольфрама, почти весь
ванадий и 50% хрома, остальная часть которого находится в твердом растворе.
Качество инструмента в значительной мере определяется свойствами его
поверхностного слоя. Наиболее эффективный способ повышения стойкости
инструмента – химико-термическая обработка (ХТО), в результате которой
возрастают твердость, износостойкость, теплостойкость, а в ряде случаев
уменьшается коэффициент трения. По данным [106], традиционное азотирование
при 520 ºС в течение 6 ч. Позволяет получить на стали Р18 слой толщиной 0,04-0,05
мм с хрупкой нитридной зоной из ε-фазы. После азотирования сверл диаметром 8–
15 мм из стали Р9, Р12, Р18 при 510–520 ºС в течение 20 мин. Получается слой
толщиной 0,015–0,020 мм без ε-фазы, что обеспечивает повышение стойкости в 1,5–
48
2 раза. Причем указывается [250], что стойкость азотированных сверл на 25–30% выше,
чем цианированных. Для сравнения можно привести данные [55] по ионному
азотированию сверл из стали Р9К5 диаметром 8,4 мм. В результате получения слоя
толщиной 0,05 мм без ε-зоны после ионного азотирования при 550 ºС в течение 0,5 ч.
Стойкость сверл возросла в 3,7 раза. Эффективность ионного азотирования обусловлена
не только толщиной диффузионного слоя, но и его качеством, определяемым
структурой, отличающейся повышенной прочностью и вязкостью благодаря
особенностям формирования диффузионных слоев в условиях тлеющего разряда.
В работах [30,209,36-40,58,132] по ионному азотированию быстрорежущих
сталей указывается на большое упрочнение получаемых слоев при значительно
меньшем охрупчивании, чем после газового азотирования. Вязкость азотированного
слоя в этом случае обеспечивается небольшой гетерофазной диффузионной зоны (до
50 мкм) при полном подавлении образования зоны соединений.
По данным работы [11], резцы из быстрорежущей стали работают при
температурах 700 ºС, после ионного азотирования при температурах 480–520 ºС в
течение 30–60 мин. При этом поверхностная твердость повышается до 1000–1250 HV,
а твердость сердцевины остается неизменной. Кроме того, указывается, что режущие
инструменты, обработанные на толщину слоя около 0,1 мм с поверхностной
твердостью 1400–1800 HV, приобретают в 4 – 6 раз большую стойкость, что
объясняется повышением износостойкости и снижением коэффициента трения, а для
метчиков из стали Р6М5 число нарезок увеличивается на 400%.
Известны и другие положительные примеры эффективного использования
ионного азотирования для повышения работоспособности различных видов
инструментов из быстрорежущих сталей. В работе [260] приводятся данные о
повышении срока службы развертки шатуна из стали Р18 в 5 раз после ионного
азотирования при 500–520 ºС в течение 0,5 ч; слой имеет толщину 0,01–0,03 мм и
поверхностную твердость 1095 HV. Стойкость азотированных фрез в течение 0,5 ч,
повышается в 2–3 раза [15, 34, 59].
49
По данным [169, 67-69], толщина слоя для снятия стружки не должна
превышать 30 мкм, а для матриц из этих же сталей – 50-100 мкм; в этих случаях
рекомендуется твердость поверхности в пределах 1100–1170 HV.
Главным фактором оптимизации режимов ионного азотирования считают
толщину азотированного слоя, точнее диффузионной зоны. Во всех случаях
оправдало себя полное подавление образования нитридной зоны, в результате чего
достигается ограничение охрупчивания слоя при одновременном повышении его
теплостойкости. Так как вязкость слоя снижается с ростом его толщины, то для
таких инструментов, как штампы холодновысадочных автоматов, рекомендуется
толщину слоя ограничивать (не более 100 мкм) [17].

поверхностных слоев конструкционных и инструментальных сталей при
высокотемпературном ионном азотировании
Процесс высокотемпературного азотирования осуществляется в

азотосодержащей среде, в диапазоне температур от 600 до 1200 ºС, т.е выше
температуры эвтектоидного превращения А1 в системе Fe-N, когда в
диффузионном слое образуется γ-фаза [54,169,175].
В последние годы все шире применяется высокотемпературное
азотирование перлитных, ферритно-мартенситных, ферритных и аустенитных
сталей, сплавов никеля и тугоплавких металлов (Ti, Mo, V, Cr и т.д.). В результате
высокотемпературного азотирования в конструкционных сталях и сплавах
формируется структура, состоящая из дисперсных частиц нитридов,
распределенных в твердом растворе. Полученные таким образом тонкодисперсные
устойчивые нитридные частицы в сталях и сплавах обеспечивают высокие
эксплуатационные характеристики [163,178,179,216,217].
В результате такого вида упрочнения конструкционные и инструментальные
стали приобретают высокую твердость на поверхности, не изменяющуюся при
нагреве до 500 – 600 ºС, высокую износостойкость, низкую склонность к задирам,
50
высокий предел выносливости, высокую кавитационную стойкость, хорошую
сопротивляемость коррозию [163,178,179,216,217].
Впервые высокотемпературное газовое азотирование было применено как
антикоррозионное. Процесс насыщения проводился при 600 – 750°С в течении 2 –
3 ч. Было установлено, что чем выше температура, тем меньше должна быть
выдержка для получения на поверхности беспористой ε-фазы, обладающей
высокой коррозионной стойкостью [175].
Алюминий содержащие улучшаемые стали, например сталь 38Х2МЮА, а
также сложнолегированные конструкционные стали, такие как 13Х11Н2В2МФ-Ш
и 16Х3НВФМБ-Ш, применяемые для производства деталей, работающих в
условиях интенсивного изнашивания и контактных нагрузок, азотировались при
температуре 650 – 700°С в течение 3 – 4 ч (в зависимости от величины садки) и в
результате такой обработки полученный диффузионный слой обладал высокой
износостойкостью при эксплуатации [54,65,61,96].
В работах [58,60,176,179] было доказано, что перспективным является
процесс азотирования при 700°С в атмосфере аммиака или в смеси аммиака и
эндогаза (1:1) с последующей закалкой диффузионного слоя. Были исследованы
свойства и состав диффузионного слоя на стали 45Х после высокотемпературного
азотирования при 700°С в течение 3 – 6 ч и закалки. На поверхности стали была
выявлена карбонитридная ε-фаза [Fe2-3(NC)], далее распологалась γ-фаза и α-фаза,
пересыщенная азотом. Непосредственно после закалки в зоне высокого
содержания азота (1,5 – 2,0%) сохранилась не претерпевшая мартенситного
превращения карбонитридная γ-фаза (МН = 80 – 35°С, МК = 80 – 120°С), что
привело к снижению твердости этой зоны. Для получения полностью
мартенситной структуры (отпущенного мартенсита) в этой зоне было
рекомендовано провести обработку холодом или отпуск при 250 – 300°С.
В работах [163,179] было доказано, что после такой обработки полученный
диффузионный слой обладает высокой износостойкостью. После
высокотемпературного азотирования сопротивление усталости при изгибе
образцов без концентраторов напряжений на 60% больше, чем после нормализации
51
или улучшения, а при наличии концентраторов напряжений – более чем на 100%.
Было установлено, что сопротивление контактной усталости стали 45Х после
высокотемпературного азотирования, закалки и отпуска при 300°С в 2 раза выше,
чем после улучшения. Высокотемпературное азотирование по такому режиму
было рекомендовано для упрочнения- деталей из низко- и среднеуглеродистых
сталей, работающих в условиях трения скольжения при знакопеременных
нагрузках и в коррозионной среде: мелкомодульных шестерен (модуль 3 – 5),
валов, осей, втулок, толкателей и т.д.
Высокотемпературное азотирование широко применяется для повышения
эксплуатационных свойств инструментальных сталей, в особенности для
режущего (Р6М5, Р18, Р9, и др.) и штампового (Х12, Х12Ф1, Х6ВФ, и др.)
инструмента [54,65,176,222].
Обеспечивая важнейшее условие работоспособности любого инструмента –
высокую износостойкость его поверхности, режимы азотирования следует
выбирать и с учетом получения или сохранения других свойств материала.
Азотированный инструмент должен не только изначально обладать высокой
прочностью, но и сохранять ее при повышенных температурах, т.е. иметь
необходимую теплостойкость, которая определяется структурной стабильностью
как азотированною слоя, так и самого упрочняемого материала. Прочность же
сердцевины определяется температурой предшествующего азотированию
высокого отпуска, и важно после азотирования сохранить эту прочность [169,222].
Одним из методов повышения работоспособности штампов и литейных
пресс-форм из сталей (Х12, Х12М, Х12Ф1) является высокотемпературное
азотирование, а также высокотемпературное азотирование с последующей
закалкой [54,169].
Окисление многократно ускоряет процесс разрушения незащищенной
поверхности штампа для горячего деформирования [55,54,51]. Поэтому для
штампового инструмента необходимы материалы с высоким сопротивлением
окислению. Иногда с этой целью применяют оксидирование в качестве метода
повышения стойкости штампов для горячего деформирования. Известно, что в
52
результате высокотемпературного азотирования штамповых сталей (Х12, Х12М,
Х12Ф1) образуются оксиды (Fe, Me)3O4 с кристаллической решеткой шпинели, в
которой обычно содержатся легирующие элементы [55,54,51]. Оксинитридные
зоны более пластичны, чем оксидные пленки Fe2О3, и в то же время обладают
близкими к последним антиадгезионными свойствами. Формирование
оксинитридных покрытий, не склонных к схватыванию, очень важно для
работоспособности узла трения в начальный период износа, когда локальные
давления чрезвычайно велики и больше, чем при установившемся износе.
Ионное азотирование обеспечивает постоянство геометрических
характеристик инструмента при повышенных температурах, достаточный запас
прочности и вязкости (надежности), износостойкость при более высоких
температурах, стойкость к термической усталости.
Во всех опубликованных работах [53,55,51,172,173] по
высокотемпературному азотированию быстрорежущих сталей (Р6М5, Р18)
указывается на большее упрочнение получаемых слоев при значительно меньшем
охрупчивании, чем после обычного азотирования. Вязкость азотированного слоя в
этом случае обеспечивается структурными особенностями и небольшой толщиной
гетерофазной диффузионной зоны (до 50 мкм) при полном подавлении
образования зоны соединений.
В зарубежной литературе сообщаются только сведения о толщине слоя и
поверхностной твердости [10,23]. Резцы из быстрорежущей стали работают при
температурах до 700°С после ионного азотирования при температурах 620 – 650°С
в течение 60 – 90 мин. При этом поверхностная твердость повышается до 1000 –
1250 НV, а твердость сердцевины остается неизменной. Кроме того, указывается,
что режущие инструменты, обработанные на толщину слоя около 0,1 мм с
поверхностной твердостью 1400 – 1800 НV, приобретают в 4 – 6 раз большую
стойкость, что объясняется повышением износостойкости и снижением
коэффициента трения, а для метчиков из стали S6-5-2 (типа Р6М5) число нарезок
увеличивается на 400% [54].
53
Нами было предложено проводить высокотемпературное азотирование
конструкционных и инструментальных сталей плазмой тлеющего разряда при
температурах 700 – 720°С предпревращения ферритно-цементитной смеси в
аустенит (рис. 1.11), когда диффузионная подвижность элементов резко
возрастает, а время азотирования сокращается до 1-2 часов, а также
комбинированную обработку состоящую из высокотемпературного азотирования
и последующей светлой закалкой в условиях вакуума за один технологический
цикл [81,82,84,163,178,179].
Рисунок 1.11 Диаграммы состояния Fe-C и Fe-N (а) и схемы

высокотемпературного азотирования, светлой закалки и комбинированного метода
обработки (б) [163,178,179]
Нагрев до температур светлой закалки (790 – 950ºС) от температуры

азотирования проводится также плазмой тлеющего разряда, в той же камере и
атмосфере, что и высокотемпературное азотирование. Такой процесс более
технологичен, чем азотирование и последующая закалка с нагревом в другой печи.
54
1.5 Особенности азотирования поверхностных слоев конструкционных
и инструментальных сталей ионными источниками и в тлеющем разряде
низкого давления
Анализ методов ионного азотирования показал, что существует целый ряд

методов основанных на применении электрических разрядов в газе, но по
параметрам (плотность ионного тока, напряжение, давление) и физическим
процессам протекающим в них, существенно отличаются друг от друга.
Проведем анализ на основе диаграммы давление – плотность тока (рис. 1.12).
J, мA/см2
4
103
5 3
102
10
2
10-1
1
10-2
10-3
10-3 10-2 10-1 1 10 102 103 104 105
Р, Па
Рисунок 1.12. Диаграмма давление  плотность потока:

1 - традиционное газовое азотирование; 2 - ионное азотирование в тлеющем
разряде; 3 - ионное азотирование в тлеющем разряде низкого давления;
4 - азотирование в несамостоятельных сильноточных диффузионных разрядах;
5 - азотирование ионными потоками, с помощью специальных ионных источников.
Область 1  область традиционного газового азотирования, характеризуемая

наличием слабых электростатических полей и очень низкой плотностью тока
55
(j=0,1-10 мкА/см2). Давление в вакуумной камере Р≈105 Па.
Область 2  область ионного азотирования в тлеющем разряде,
характеризуемая высоким напряжением (U=400-2000В) и низкой плотностью тока
(j=0,1-1 мА/см2). Давление в вакуумной камере Р=102-103 Па.
Область 3  область ионного азотирования в тлеющем разряде низкого
давления, характеризуемая относительно невысоким напряжением (U=200-500В) и
большей плотностью тока по сравнению с нормальным тлеющим разрядом
(j=1-10 мА/см2). Давление в вакуумной камере Р=10-102 Па.
Область 4  область азотирования несамостоятельными сильноточными
диффузионными разрядами, характеризуемая низким напряжением (U=20-100В) и
высокой плотностью тока (j = 0,2-2А/см2). Давление в вакуумной камере Р=1-10-1Па.
Область 5  область азотирования ионными потоками, с помощью специальных
ионных источников, характеризуемая низким напряжением (U=100-300В) и
плотностью тока (j = 1-100 мА/см2). Давление в вакуумной камере Р=10-3-10-1 Па.
Давление рабочего газа является важным управляющим фактором ионной
ХТО. Долгое время господствовало мнение [9-11,20-22], что изменение давления
от 133 до 2600 Па вообще не влияет на кинетику диффузионного насыщения в
условиях тлеющею разряда.
Ошибочность такого взгляда подтверждают результаты исследований,
проведенных в работах [52,57,173-175,202,203]. Многочисленными экспериментами
установлено, что зависимость толщины диффузионного слоя от давления в
газоразрядной камере имеет четко выраженный экстремальный характер.
Следовательно, практически для любого процесса ионной ХТО существует
некоторое давление рабочего газа, обеспечивающее его наибольшую насыщающую
способность, т.е. толщину слоя, которое принято считать оптимальным.
Экстремальный характер зависимостей [52,57,189,190] объясняется физико-
химическими процессами, протекающими в плазме тлеющего разряда. С одной
стороны, повышение общего давления газовой среды приводит к увеличению
количества активных ионов элемента, которые могут участвовать в процессе
адсорбции на поверхности металла и последующей диффузии, однако с другой – при
56
этом непрерывно снижается кинетическая энергия этих ионов из-за уменьшения
длины свободного пробега в результате возможного столкновения. Причем
некоторая часть этих ионов неизбежно соединяется в молекулы (рекомбинирует) и
не участвует в процессе последующего диффузионного насыщения.
На рисунке 1.13 показана зависимость толщины слоя, полученного на сталях
мартенситно-аустенитного класса 03Х12Н10МТ (а) и 06Х15Н6МВФБ (б) после
ионного азотирования при 560 °С, от давления полностью диссоциированного
аммиака [202]. В исследованных условиях общее давление рабочего газа,
обеспечивающего максимальную толщину слоя, составило 80 Па.
Продолжительность процесса не влияет на положение максимума, так как известно,
что временный фактор сказывается только на кинетике роста диффузионных слоев.
а) б)
Рисунок 1.13 - Влияние давления полностью диссоциированного аммиака на
толщину упрочненного слоя после ионного азотирования стали 03Х12Н10МТ (а) и
06Х15Н6МВФБ (б) после ионного азотирования при 560 °С в течении 2,5 ч (1) и 5ч (2)
Экстремальную зависимость толщины диффузионного слоя от общего

давления рабочей смеси можно заметить при азотировании не только стали, но и
других материалов, например титановых.
Влияние давления азота на толщину диффузионного слоя, полученного на
титане марки ВТ1-0, показано на рисунке 1.14. Оптимальное давление азота в этом
случае составило 80 Па. Это же значение давления остается и при разбавлении
азота аргоном (рис. 1.15, кривая 3). Также следует отметить, что смещение этого
57
давления при повышении температуры от 700 °С (см. рис 1.15) до 900 °С (см. рис.
1.14 и рис. 1.15) не наблюдается.
Рисунок 1.14 - Влияние давления азота на толщину диффузионной зоны

после азотирования титана ВТ 1-0 при 900 °С в течении 3 ч
Рисунок 1.15 - Влияние газовой среды на толщину диффузионного слоя после

ионного азотирования титана ВТ1-0 (1,2) и его сплава ВТ3-1 (3) при 700 °С в
течении 5 ч в азотной (1) и аргон-азотной плазме (2,3)
Согласно [203] азотирование титановых сплавов традиционными методами

не нашло большого применения из-за высокой длительности процесса (более 30 ч),
высоких температур процесса (≥950 °С). При этом толщина азотированного слоя не
58
превышает 0,1 мм. Создание максимальной насыщающей способности газовой
среды в плазме тлеющего разряда, то есть значения экстремума на кривых (1-3)
рис. 1.15, обеспечивает возможность не только проводить эффективное насыщение
азотом титановых сплавов при температурах отжига (800°С -900°С), но и при
температурах старения (500°С - 600°С) при сохранении высоких прочностных
свойств материала подложки.
Обработка титановых сплавов [203] при давлении максимального насыщения
обеспечивает не только получение глубоких азотированных слоев, но и более высокое
упрочнение диффузионной зоны за счет присутствия в ней большего количества (до
24 об.%) высокодисперсных (до 100 нм) частиц промежуточной ɛ-фазы (рис. 1.16).
а б
Рисунок 1.16 - Влияние температуры насыщения на объемную долю ɛ-фазы
и микротвердость диффузионной зоны на глубине 10 (1) и 20 мкм (2), при
азотировании в азоте (а) и смеси азот-аргон (б) в течении 3 ч при давлении
максимального насыщения.
Кроме того, повышение давления рабочей атмосферы уменьшает эффект

катодного распыления поверхностных слоев металла, что приводит к образованию
и росту зоны соединений, например, нитридного слоя на поверхности титана
[175,218], которая, как известно, оказывает барьерное действие на диффузионное
59
движение активного элемента в глубь металла. Все эти процессы приводят к тому,
что существует вполне определенное значение общего давления газовой среды в
рабочей камере, при котором образуется наибольшее количество активно
участвующих в процессе насыщения ионов, например азота, что соответствует
максимальной активности насыщающей среды и обеспечивает получение
диффузионной зоны наибольшей толщины.
При высоких давлениях в плазме (обычно более 400 Па) [54] благодаря
возрастанию количества столкновений увеличивается вероятность активизации
обмена энергией между электронами, ионами, атомами и молекулами, в результате
чего электронная температура уменьшается, а температура газа повышается, и
плазма становится изотермической, более стабильной, т.е. появляется опасность
перехода тлеющего разряда в дуговой.
В [19] также отмечают, что благодаря малому расходу реакционного газа из-
за низкого давления, практически отсутствует загрязнение, процесс отвечает
требованиям охраны труда.
В работах [113,148,149,181], выполненных в Институте сильноточной
электроники (г. Томск), доказана высокая эффективность применения плазменного
источника с комбинированным полым и накаленным катодами (ПИНК) на основе
несамостоятельного дугового разряда низкого давления в процессах азотирования
конструкционных и инструментальных сталей. Установлено, что по сравнению с
традиционно используемым для азотирования тлеющим разрядом, такие системы
имеют низкое напряжение горения, не требуют дополнительного использования
водорода и позволяют сократить время процесса в 4-6 раз при достижении тех же
значений твердости упрочненного диффузного слоя протяженностью 300-400 мкм.
По утверждению авторов, это связано с тем, что при низких давлениях и
отрицательных смещениях подложки ~600 В на обрабатываемую поверхность
поступают высокоэнергетичные ионы, которые разрушают оксидные пленки и
облегчают условия диффузии атомарного азота вглубь подложки. Наиболее
важным преимуществом ионного азотирования в плазме дугового разряда является
также возможность проведения процесса при низких температурах ~200–300°C,
60
что позволяет сохранить фазовый состав и высокую твердость сердцевины
закаленных на мартенсит сталей, имеющих низкую температуру отпуска [12,13],
что позволяет рассматривать такой метод в качестве новой технологии в
производстве значительной номенклатуры изделий в машиностроении.
Также установлено, что в плазме дуговых разрядов, горящих в аргон-азотной
и гелий-азотной смесях при низких давлениях, вследствие интенсивного
образования атомарного азота, происходит эффективное насыщение азотом
чистого титана при относительно низких <650°C температурах c образованием
слоев с высокой, достигающей 14 ГПа, твердостью и глубиной в несколько
десятков мкм [62,63].
1.6 Анализ методов ускорения процесса ионного азотирования в

тлеющем разряде низкого давления
Проведем анализ основных методов ускорения процесса ионного

азотирования в тлеющем разряде:
Рассмотрим ионное азотирование в тлеющем разряде с использованием
эффекта полого катода (ЭПК):
Применение ЭПК в тлеющем разряде позволяет увеличить плотность ионного
тока и за счет этого повысить скорость процессов испарения-конденсации при
азотировании, что приводит к увеличению скорости насыщения в 1,2–1,5 раза
[47,75,76,84,156,158].
ЭПК – явление, возникающее, когда обращенные друг к другу поверхности
отверстий, каналов или находящихся рядом деталей расположены так близко, что
негативные свечения соприкасаются и даже перекрываются (рис. 1.17). В этих
областях электроны захватываются и осциллируют, что приводит к
дополнительной ионизации и возбуждению атомов [19].
61
а) б)
Рисунок 1.17 - Схема возникновения эффекта полого катода (а) и изменение

интенсивности свечения тлеющего разряда между плоско-параллельными
электродами (б): 1 – перекрытие, 2 – негативное свечение, I1, I2 – интенсивности
негативного свечения, Ir – результирующая интенсивность свечения [19]
В работах [1,19] было предложено использовать эффект полого катода для

интенсификации нагрева при термической и химико-термической обработке. Так
же исследовано влияние давления и напряжения на положение разряда в
конусообразном зазоре (рис. 1.18).
Рисунок 1.18 - Влияние давления P и напряжения U на положение тлеющего

разряда в конусообразном зазоре (длина клина 300 мм, размер раскрытия 30 мм,
глубина 60 мм) [19]
62
Эксперименты показали, что с увеличением давления или напряжения ЭПК
проявляется в области с меньшей величиной зазора.
В работе Ю. Е. Крейнделя, Н. М. Лемешева, А. И. Слосмана исследован
эффект полого катода при ионном азотировании в тлеющем разряде деталей
имеющих полость [156,158,159].
На рис. 1.19 показаны зависимости глубины азотированного слоя стали
Х12Ф1 от средней плотности тока в разрядах с полым и плоским катодами при
одинаковой температуре и продолжительности процесса азотирования.
h*10-2, мм
6
5
4
неполый катод
3
полый катод
2
1
i, мА/мм2
0
0 0,1 0,2 0,3 0,4 0,5 0,6 0,7 0,8
Рисунок 1.19 - Зависимость толщины азотированного слоя от плотности тока
Из рис. 1.19 следует, что в условиях проявления ЭПК значение h оказывается

существенно выше, несмотря на более низкое напряжение горения разряда
[156,158,159].
Измерения микротвердости по глубине азотированного слоя показывают, что
в этом случае упрочненный слой получается в 1,5 – 2 раза быстрее, чем в случае
азотирования этой матрицы в отсутствие ЭПК. При этом азотирование внешней
поверхности матрицы происходит в существенно меньшей степени, чем
внутренней (рис. 1.20).
63
Рисунок 1.20 - Распределение твердости по глубине азотированного слоя

матрицы [156]
В работах Будилова В.В., Агзамова Р.Д. [46,47] доказано, что азотирование в
условиях проявления ЭПК приводит к увеличению карбонитридной зоны в 2-3 раза
и диффузионной зоны твердого раствора азота в -железе на 50–70% (рис. 1.21).
Рисунок 1.21 - Структура образцов из стали 38ХМЮА, обработанных

в тлеющем разряде (х50) [46]
Учеными из Томского института сильноточной электроники СО РАН были

приведены результаты исследования азотирования титана марки ВТ1-0 при низких
давлениях и низких температурах (≤ 550°С) в плазме тлеющего разряда с полым
катодом [62,63]. Анализ результатов показал, что насыщение титана азотом является
плазмохимическим процессом, в котором определяющую роль играет атомарный
азот, образующийся в результате диссоциации азота, при возбуждении электронных
состояний молекул электронами, осциллирующими в полом катоде, с последующим
распадом возбужденных молекул. На поверхности сплава формируется
64
многослойная структура с высокой микротвердостью (до 14ГПа), состоящая из слоя
нитрида титана, слоя диффузионного насыщения и слоя термического влияния,
плавно переходящего в основной объем материала (рис. 1.22).
Рисунок 1.22 - Структура поверхности разрушения титана марки ВТ1-0, до

(а) и после (b) азотирования при температуре 550°С в течение 4,5 ч в плазме
тлеющего разряда. I – нитридный слой, II – слой диффузионного насыщения
азотом, III – слой термического влияния [63]
Рассмотрим ионное азотирование через нанооксидный барьер:

Наличие на поверхности азотируемой стали оксида железа интенсифицирует
процесс ионизации аммиака, что позволяет сократить длительность азотирования
по сравнению с классическим азотированием [268].
В работе [268] установлено, что применительно к легированным сталям
существенными преимуществами обладает оксиазотирование, т.е. насыщение в
среде аммиака и кислородосодержащей среды (например, воздуха), в том числе
газоциклические процессы и процессы азотирования с предварительным
окислением. Шестопалова Л.П. [268] обнаружила, что различные способы
оксиазотирования наряду с упрочнением обеспечивают интенсификацию
процессов азотирования, что очень актуально для легированных сталей. При
оксиазотировании скорость диффузии азота в поверхностном слое резко
возрастает, что обусловливает получение большей глубины азотированного слоя и
обеспечивает получение развитой зоны внутреннего азотирования с возможностью
дисперсионного упрочнения. Увеличивается многообразие возможных фаз в
65
модифицированном слое, достигающееся путем контроля подачи газов.
Появляется возможность достижения заданных механических свойств за счет
целенаправленного регулирования фазового состава. Авторы указывают на то, что
обработка высокохромистых сталей в среде аммиака с добавками воздуха не
требует предварительной депассивации поверхности изделий. Схемы
формирования оксидной пленки показаны на рис. 1.23.
Рис. 1.23. Схемы формирования оксидной пленки на стали (а), упрочнённого слоя
под оксидной плёнкой (б), -фазы на поверхности высокохромистой стали (в) [268]
Рассмотрим азотирование в ультразвуковом поле:

В работах Переваловой О.Б., Панина А.В., Синяковой Е.А. было доказано,
что промежуточная ультразвуковая обработка способствует существенному
увеличению глубины азотированного слоя [215]. Ускорение процесса объясняется
увеличением плотности дислокаций, образованием большого количества
избыточных «деформационных» вакансий и увеличением адсорбционной
способности поверхности при взаимодействии упругопластических деформаций
ультразвуковых волн с кристаллической решеткой обрабатываемого металла.
Вследствие технических трудностей по созданию и выпуску мощной
ультразвуковой аппаратуры этот способ азотирования еще не получил
промышленного применения.
66
Применение ультразвуковых колебаний ускоряет процесс азотирования в
газовых и жидких средах. По данным [130], процесс протекает в 1,5 раза быстрее, по
данным [172], ускоряющее действие ультразвука меньше в 1,2-1,3 раза. При
азотировании ультразвуковые колебания передаются непосредственно на детали,
жесткосоединяемые с магнитострикционными вибраторами, а при насыщении в жид-
ких средах возможно также наложение колебаний на ванну через концентратор,
соединенный с вибратором [176]. Для создания колебаний могут применяться ламповые
генераторы с диапазоном частот 16 – 50 кГц.
Влияние упругих колебаний на диффузионные процессы, протекающие при ХТО,
определяется интенсивностью ультразвукового поля, характером распределения
упругих напряжений по объему обрабатываемого изделия, температурой и
продолжительностью процесса.
Рассмотрим ионное азотирование в тлеющем разряде с магнитным полем:
Плазма азота повышенной плотности формируется в тороидальной области
вращения электронов, которая создается скрещенными электрическим и
магнитным полями. При этом установлено, что за счет увеличения плотности
ионного тока увеличивается скорость диффузионных процессов, что приводит к
увеличению скорости азотирования в 2–2,5 раза [78,79,87,142]. Достоинством
данного метода азотирования является простота схемы обработки, не требующая
применения специального оборудования.
Модификация материала при этом происходит за счет увеличения числа актов
ионизации, ионного перемешивания, распыления, быстрого нагрева, осаждения
атомов или молекул, дефектообразования, химического взаимодействия,
радиационно-стимулированной диффузии. В результате, в обрабатываемом
материале могут происходить различные структурно-фазовые изменения,
например, диспергирование микроструктуры, образование ультрадисперсных фаз
(нитридов легирующих элементов), изменение параметров кристаллической
решетки, разворот кристаллографических плоскостей, образование или растворение
термодинамических нестабильных фаз, образование перенасыщенных твердых
67
растворов, упорядочение или разупорядочение кристаллической структуры,
формирование дислокационной субструктуры [78,79,87,142].
Согласно данным [142], экспериментальное исследование кинетики
диффузионного азотирования сталей системы Fe-Ni-Cr в постоянном магнитном
поле напряженностью 0,016 Тл при 550 ºС показало примерно 1,5 кратное
ускорение процесса рис. 1.24 и увеличение толщины азотированного слоя с
высокой микротвердостью.
Рис 1.24. Кинетика роста толщины азотированного слоя для сталей ЭИ-69
(1,2), ВНС-17 (3,4), 40ХН2МА (5,6) при Т=550°С. Азотирование проводилось без
(1,3,5) и при наложении магнитного поля индукцией 0,016 Тл (2,4,6)
Авторы утверждают, что ускорение азотирования сталей связанно с

генерацией дислокаций за счет магнитострикционного эффекта и облегчением
твердофазной диффузии нитридных анионов к зародышам нитридных фаз.
Магнитостимулированное увеличение коэффициентов диффузии коррелирует с
полученными из рентгенографических данных результатами по увеличению
плотности дислокаций. Повышение микротвердости азотированных слоев,
полученных в магнитном поле, объясняется появлением выделений нитридных
фаз, играющих роль препятствий для дислокационного скольжения.
Рассматривая результаты исследований в области химико-термической
обработки необходимо отметить, что подходы к решению проблемы интенсификации
структурно-фазового модифицирования поверхности металлов и сплавов в последние
годы существенно изменились. На первое место выходят вакуумные ионно-
68
плазменные методы химико-термической обработки. Однако, как показывает анализ
отечественных и зарубежных публикаций, большинство исследований в этой области
направлено на выявление закономерности изменения структурно-фазового и
химического состава сталей и сплавов, полученных методами, основанными на
длительном подводе к обрабатываемому объекту энергии и частиц.
1.7 Анализ методов локального модифицирования поверхностного слоя

конструкционных сталей
Известно, что износ и повреждение поверхности материала снижают

сопротивление усталости деталей и могут служить причиной их разрушения при весьма
низких напряжениях [71]. В настоящее время множество деталей машиностроения
работают в условиях локального износа, например, зубчатые колеса, места установки
подшипников на валах и др. В таких случаях нет необходимости упрочнять всю
поверхность детали, а достаточно лишь обработать участок, подверженный
интенсивному износу. Например, особенностью изнашивания зубчатых колес является
то, что в этот процесс вовлечены тонкие поверхностные слои, а износ развивается в
локальных зонах – контактных участках поверхности [131]. Это предопределяет
необходимость выполнения упрочняющей обработки таким образом, чтобы достигнуть
максимальной износостойкости именно в этих зонах, так как свойства материала за их
пределами не оказывают существенного влияния. Кроме того, применение локальных
методов поверхностной упрочняющей обработки обеспечивает возможность гибкого
изменения уровней формируемых характеристик материалов при переходе граничных
зон между участками рабочих поверхностей и остальных участков детали.
Местное (локальное) упрочнение служит для получения структуры
материала высокой твердости и прочности (мартенсита, карбидов, нитридов,
боридов и др.), обеспечивающих заданные свойства на заданном участке детали.
При этом на поверхности детали формируется неоднородная структура [183].
Часто термическая обработка не может обеспечить требуемые
характеристики поверхности детали (например, высокую износостойкость и др.). В
этом случае прибегают к методам химико-термической обработки. Из всего
69
многообразия методов химико-термической обработки, азотирование является
одним из наиболее распространенных методов структурно-фазового
модифицирования, использование которого в промышленно развитых странах
постоянно расширяется. Как показывает практика, применение азотирования
особенно эффективно для разнообразных деталей, где основной причиной
разрушения поверхностей является износ [109,110,233]. Нередко при азотировании
оказывается необходимым отдельные части изделия предохранить от насыщения
азотом. Наибольшее распространение получил метод гальванического покрытия
оловом мест, не подлежащих азотированию [54,169,187].
При ионном азотировании (в отличие от печного) удовлетворительная
защита от насыщения достигается путем экранирования поверхности за счет
специфических условий формирования диффузионного слоя. Так как в зазоре
менее 1 мм тлеющий разряд не образуется и не доступен для осаждения продуктов
реакций, достаточно применить негерметичные металлические или
диэлектрические экраны с шириной зазора на границе экранирования менее 1 мм.
Экранирование достигается применением вспомогательных средств и
упорядоченной загрузкой деталей в контейнер, при которой обрабатываемые
детали взаимно экранируют друг друга в защищаемых поверхностях [169,176].
Вспомогательными средствами являются штифты, винты, трубы, специально
экранирующие устройства в виде ящиков, колпаков, комплектных экранирующих систем.
Резьбы защищаются гайками и винтами, высверленные отверстия – пробками и т.д [176].
Достоинством такого метода защиты является многократность его использования
в серийном производстве. Гальванические покрытия применяют в тех случаях, когда
азотируются отдельные детали или мелкие серии, для которых экономически невыгодно
создавать специальные экранирующие приспособления [169].
Учеными из Воронежского государственного технического университета
был разработан способ локального поверхностного азотирования [258], сущность
которого заключается в размещении насыщающей накладки на выбранном участке
изделия и проведении диффузионного насыщения поверхности путем нагрева в
вакууме при контактном давлении. Накладку прессуют из порошка титана и
70
спекают с проведением последующей термообработки и объемного насыщения в
активной среде азота. Одним из недостатков данного способа является сложность
и дороговизна изготовления насыщающей накладки.
В Кубанском государственном технологическом университете был разработан
способ локального азотирования металлической детали в плазме тлеющего разряда
[72]. Вакуумная камера с размещенной в ней деталью герметизируется и в ней
создается вакуум с последующей заменой на атмосферу чистого азота (рис. 1.25). При
этом в вакуумной камере создается остаточное давление азота (1,3-0,13)·10-3 Па.
Возникновение и стабильное существование плазмы тлеющего разряда в атмосфере
чистого азота осуществляется с помощью высоковольтного источника питания и
потока электронов от вольфрамовой нити накала, которая нагревается до температуры
2000-2500°С. Применение индукционной катушки с током позволяет создать
электромагнитное поле, сжимающее потока электронов от вольфрамовой нити, и
образовать ограниченный объем плазмы тлеющего разряда в виде диска, с помощью
которого выполняется локальное азотирование детали, габариты которой
укладываются в размерах диска плазмы тлеющего разряда.
Рисунок 1.25 - Схема локального азотирования: 1 – высоковольтный ввод;

2 – уплотнительное устройство; 3 – обрабатываемая деталь; 4 – трубка для подачи азота;
5 – вакуумная камера; 6 – вольфрамовая нить накала; 7 – отверстия для подсоединения
насосов; 8 – высоковольтный ИП; 9 – охлаждаемые электроды; 10 – индукционная
катушка; 11 – область плазмы тлеющего разряда; 12 – низковольтный ИП [72]
71
Исследователи из Пермского научно-исследовательского технологического
института разработали способ азотирования внутренней поверхности труб в тлеющем
разряде и устройство для его осуществления [94-96]. Перед азотированием трубу
герметизируют, затем вакуумируют, зажигают в ней тлеющий разряд и проводят
катодную очистку внутренней поверхности трубы. Далее трубу нагревают до
температуры азотирования и проводят выдержку в течение 1-12 ч.
Таким образом, анализ литературы показывает, что те или иные методы
локального поверхностного модифицирования применяются в зависимости от
условий эксплуатации деталей и требований к их упрочненному слою.
Многообразие способов локального поверхностного модифицирования вызвано
сложностью геометрии и форм деталей и множеством конфигураций упрочняемых
поверхностей. Среди методов локального поверхностного модифицирования
выгодно отличается процесс ионного азотирования, который позволяет получать
модифицированные слои с высокими физико-механическими свойствами.
Локальные методы обработок так же позволяют получать на поверхности
материала точечные, линейчатые, сетчатые макронеоднородные структуры
[50,61,117,125,133,145,185,183,220]. В этом случае, локально-упрочненные участки
повторяются с одинаковым шагом и имеют определенную форму.
В работе [134] с целью повышения износостойкости деталей был разработан
способ частичной цементации в твердом карбюризаторе при 930-950°С в течение
2 часов через защитную маску, снабженную сетчатым узором с величиной ячеек 1-
2 мм и шириной прослоек 0,5-0,6 мм. Способ обеспечивает получение гетерогенности
в масштабах макроструктуры металла, благодаря которой достигается качественно
новый эффект – самопроизвольное возникновение и поддержание на трущейся
поверхности регулярного макрорельефа, отвечающего Шарпи. После обработки
твердость цементированных участков достигает HRC62-64, а вязких прослоек –
HRC25-30. При этом износостойкость деталей повышается в 8 раз.
Работа [194,231] посвящена созданию регулярной макронеоднородной
структуры ионным азотированием в тлеющем разряде с эффектом полого катода
конструкционной стали 13Х11Н2В2МФ-Ш. Анализ результатов показал, что
72
благодаря специальному экрану, формирующего неоднородную плазму, помимо
общего упрочнения поверхности происходит более высокое зонное упрочнение
(HV= 16700 МПа).
1.8 Принципы управления диффузионным насыщением при

азотировании в тлеющем разряде низкого давления
Ионно-плазменное структурно-фазовое модифицирование по сравнению с

традиционной ХТО имеет большие потенциальные возможности для управления
диффузионным насыщением, так как эта обработка — многофакторный процесс
[48,51,127,175].
Кроме обычных технологических факторов, влияющих на эффективность
ионно-плазменной ХТО: температуры и продолжительности насыщения, состава
газовой среды, она имеет ряд дополнительных: давление насыщающего газа,
электрические характеристики, межэлектродное расстояние, конфигурация
деталей и расположение их в садке. При этом следует иметь в виду, что
эффективность ионно-плазменной ХТО в условиях проведения ее в тлеющем
разряде в первую очередь определяется устойчивостью его существования.
Особенно необходимо полностью исключить переход аномального разряда в
дуговой, сопровождающийся резким снижением катодного падения потенциала.
Структура, фазовый состав и характеристики формирующегося в условиях
тлеющего разряда диффузионного слоя определяются целым рядом
технологических факторов. Управляя ими, можно регулировать не только структуру
диффузионного слоя, но и его толщину, которая также определяет комплекс
необходимых свойств детали с учетом конкретных условий ее эксплуатации.
Рассмотрим принципы управления скоростью диффузионного насыщения
при ионной обработке, обсуждая только общие закономерности
структурообразования, необходимые для изучения кинетики насыщения в целом.
Большинство из перечисленных выше факторов взаимосвязаны. Так, состав
газовой среды влияет на напряжение зажигания, а изменение напряжения и
плотности тока ограничивается температурой процесса, насыщения и давлением
73
газовой среды. В общем технологические факторы находятся между собой в
сложной и пока недостаточно изученной зависимости. Поэтому применяемые в
настоящее время технологические процессы ионной ХТО основаны на
эмпирических данных и экспериментальном подборе оптимальных режимов
диффузионного насыщения. Такое положение не позволяет в полной мере
обоснованно управлять процессами ионной ХТО. Однако накопленный
многолетний опыт [48,51,65,127,175] дает возможность сформулировать общие
принципы управления диффузионным насыщением в тлеющем разряде.
Начать следует с таких технологических факторов, как температура и
продолжительность насыщения, состав и давление газовой среды, которыми
относительно легко управлять в производственных условиях. При этом необходимо
иметь в виду, что температура насыщения и давление рабочего газа зависят от
электрических параметров, характеризующих специфику тлеющего разряда.
1. Температура и продолжительность насыщения.
Так как ионная ХТО – диффузионный процесс, то качественно влияние
температуры и продолжительности насышения на толщину получаемого слоя
подобно влиянию при обычной ХТО. Временная зависимость толщины
диффузионного слоя подчиняется параболическому закону [54,169,175]:
h  k  2 , (1.1)
а температурная — экспоненциальному [54,169,175]:
h  A  e  Q (2 RT ) (1.2)
Однако процессы диффузионного насыщения в условиях тлеющего разряда
существенно интенсифицируются. В настоящее время накоплен большой объем
экспериментальных зависимостей, связывающих толщину слоя с температурой и
продолжительностью насыщения для определенного состава газовой среды и его
разрежения.
2. Давление и состав рабочего газа.
Давление рабочего газа является важным управляющим фактором ионной
ХТО. Долгое время господствовало мнение [9–11,20,24,25], что изменение
74
давления от 133 до 2600 Па вообще не влияет на кинетику диффузионного
насыщения в условиях тлеющею разряда.
Ошибочность такого взгляда подтверждают результаты исследований,
проведенных в работах [112,175,215,218]. Многочисленными экспериментами
установлено, что зависимость толщины диффузионного слоя от давления в
газоразрядной камере имеет четко выраженный экстремальный характер.
Следовательно, практически для любого процесса ионной ХТО существует некоторое
давление рабочего газа, обеспечивающее его наибольшую насыщающую
способность, т.е. толщину слоя, которое принято считать оптимальным.
Экстремальный характер зависимостей [112,175,215,218,227] объясняется
физико-химическими процессами, протекающими в плазме тлеющего разряда. С
одной стороны, повышение общего давления газовой среды приводит к увеличению
количества активных ионов элемента, которые могут участвовать в процессе
адсорбции на поверхности металла и последующей диффузии, однако с другой – при
этом непрерывно снижается кинетическая энергия этих ионов из-за уменьшения
длины свободного пробега в результате возможного столкновения. Причем
некоторая часть этих ионов неизбежно соединяется в молекулы (рекомбинирует) и
не участвует в процессе последующего диффузионного насыщения.
Кроме того, повышение давления рабочей атмосферы уменьшает эффект
катодного распыления поверхностных слоев металла, что приводит к образованию
и росту зоны соединений, например, нитридного слоя на поверхности титана
[175,218], которая, как известно, оказывает барьерное действие на диффузионное
движение активного элемента в глубь металла. Все эти процессы приводят к тому,
что существует вполне определенное значение общего давления газовой среды в
рабочей камере, при котором образуется наибольшее количество активно
участвующих в процессе насыщения ионов, например азота, что соответствует
максимальной активности насыщающей среды и обеспечивает получение
диффузионной зоны наибольшей толщины.
По данным исследований [54,65,175], область оптимального давления для
обработки инструментальных и конструкционных сталей в тлеющем разряде при
75
температуре 550°С находится в диапазоне от 100 до 200 Па, а при температуре свыше
650°С область оптимального давления смещается в диапазон от 200 до 300 Па.
При высоких давлениях в плазме (обычно более 400 Па) [54,46] благодаря
возрастанию количества столкновений увеличивается вероятность активизации
обмена энергией между электронами, ионами, атомами и молекулами, в результате
чего электронная температура уменьшается, а температура газа повышается, и
плазма становится изотермической, более стабильной, т.е. появляется опасность
перехода тлеющего разряда в дуговой.
Ранее было отмечено, что без предварительной очистки поверхности
катодной бомбардировкой от окисных и иных пленок, препятствующих адсорбции
азота или другого элемента, способного образовывать диффундиды, ни о каком
последующем азотировании речи быть не может. Поэтому при азотировании в
тлеющем разряде необходимо исключить проникновение кислорода в рабочую
камеру (к примеру использование кислородных ловушек), а это влечет за собой
использование сложного оборудования и, как следствие, удорожания
себестоимости обработки, либо необходимо дезактивировать кислород в рабочей
камере, за счет использования небольшого количества водорода в насыщающей
атмосфере. По данным работ [46,54,175] достаточно 3 – 5% H2 в насыщающей среде
для дезактивации кислорода.
В результате многочисленных исследований [112,175,207,218] было доказано,
что азотирование в тлеющем разряде позволяет регулировать строение слоя при
разбавлении азотосодержащей среды аргоном и углеродсодержащими газами.
Получение диффузионного слоя на базе высокоазотистого твердого раствора без
поверхностной нитридной зоны достигается за счет разбавления насыщающей
атмосферы аргоном в режиме катодного распыления при давлении 30 – 50 Па.
Аргон, имеющий массу иона, превосходящую массу иона аммиака, активно
распыляет нитридную зону, образующуюся на поверхности изделия в процессе
азотирования. Введение аргона до 40% практически не влияет на толщину
структурных составляющих слоя, при введении аргона более 40% происходит
76
уменьшение поверхностной нитридной зоны и увеличение зоны внутреннего
азотирования [46,54,175].
По данным работ [112,175,201,207,218,253] регулирование нитридной зоны
по углероду достигается введением в азотную плазму углеродсодержащих газов.
Было доказано, что нитридная зона, имеющая карбонитридный характер,
превосходит по комплексу эксплуатационных свойств нитридную зону, имеющую
чисто нитридный характер.
Из приведенного анализа процессов азотирования следует:
1. Важную роль в процессе ионно-плазменного азотирования помимо
атомарного иона азота играют быстрые нейтральные частицы и электроны, а их
значительно меньшая масса в процессах энергопередачи может компенсироваться
частотой ударов по частицам газа, адсорбированным поверхностью, или частицам
самой поверхности.
2. Образование атомарного азота происходит в основном в результате
диссоциации молекул электронным ударом, а доля рекомбинации атомарных ионов
как следствие столкновения с электроном и доля диссоциативной рекомбинации
при столкновении молекулярных ионов с электроном существенно мала.
3. Азотирование в тлеющем разряде является следствием множества
элементарных процессов, причем в каждой конкретной ситуации скорость
некоторого элементарного процесса определяется распределением
энергетического спектра падающего потока.
Очевидная роль положительных ионов как интенсификатора процесса
объясняется тем, что они не только обеспечивают большую энергопередачу при
столкновении газовых компонентов с поверхностью, но и доставку дополнительно
к адсорбированным поверхностью частицам газа высокоактивных элементов,
которые модифицируют поверхность.
4. Важным фактором процесса азотирования в тлеющем разряде следует
считать адсорбционные явления, поскольку, находясь неподвижно на поверхности,
адсорбат при столкновении с частицами падающего потока в большей мере
77
склонен к высоким уровням энергопередачи, образованию нитридов и внедрению
в поверхность.
5. По результатам анализа многочисленных исследований азотирования в
тлеющем разряде в области влияния технологических параметров и режимов
обработки на качество и состав азотированного слоя, был выбран состав
насыщающего газа: N – 20%, Ar - 75%, C2H2 - 5%, а также диапазон рабочего
давления для азотирования при температуре T = 550°С равный Р = 10 – 200 Па.
6. Анализ процессов взаимодействия плазмы с поверхностью показывает, что
для увеличения эффективности ионного азотирования необходимо увеличить
плотность ионного потока. Это возможно либо при использовании специальных
источников ионов (в этом случае область рабочего давления составляет не более
1 Па), либо используя магнитное поле при азотировании в тлеющем разряде для
увеличения степени ионизации вблизи обрабатываемой поверхности.
78
2. ОБЪЕКТ, МЕТОДЫ И МЕТОДИКИ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ
ИССЛЕДОВАНИЙ
2.1 Объект исследований, механические свойства исследованных
материалов
Объектом исследований являются технологии ионно-плазменного

модифицирования поверхностей. В частности исследовалось влияние состава газов
и режимов ионного азотирования в тлеющем разряде с магнитным полем на
структуру, изменение фазового состава, сингонию и период кристаллической
решетки, остаточную деформацию и величину напряжений, область когерентного
рассеяния и средний размер кристаллитов, а также распределение микротвердости
по глубине упрочненного слоя и величину износа конструкционных и
инструментальных сталей.
В качестве материалов для исследования ионного азотирования были
выбраны конструкционные и инструментальные стали, составы которых
приведены в табл. 2.1.
Сталь 38Х2МЮА - хромалюминевая азотируемая сталь, применяется для
изготовления различных улучшаемых деталей: валов, зубчатых колес, шестерен.
Сталь 30ХГСА (ГОСТ 4543-71) - конструкционная легированная сталь,
применяется для изготовления различных улучшаемых деталей: валов, осей,
зубчатых колес, фланцев, корпусов обшивок, лопаток компрессорных машин,
рычагов, толкателей, ответственных сварных конструкций, работающих при
знакопеременных нагрузках.
Сталь 16Х3НВФМБ-Ш (ДИ39) - конструкционная легированная сталь,
применяется для изготовления нагруженных шестерней, валов, муфт, рессор,
работающих на износ в условиях контактных и изгибных нагрузок.
Сталь 13Х11Н2В2МФ-Ш (ЭИ-961Ш) (ГОСТ 5949-75) - конструкционная
легированная сталь, применяется для изготовления нагруженных шестерней,
валов, муфт, рессор, лопаток компрессорных машин работающих на износ в
условиях контактных и изгибных нагрузок.
79
Сталь ХВГ (ГОСТ 5950-2000) - инструментальная легированная сталь,
применяется для изготовления измерительного и режущего инструмента, для которого
повышенное коробление при закалке недопустимо, холодновысадочных матриц и
пуансонов, технологической оснастки.
Сталь 9ХС (ГОСТ 5950-2000) - инструментальная легированная сталь,
применяется для изготовления сверил, разверток, метчиков, плашек, фрез,
машинных штампелей. Ответственных деталей, материал которых должен
обладать повышенной износостойкостью, усталостной прочностью при изгибе,
кручении, контактном нагружении, а также упругими свойствами.
Сталь Х12 (ГОСТ 5950-2000) - инструментальная штамповая сталь,
применяется для изготовления холодных штампов высокой устойчивости против
истирания, не подвергающихся сильным ударам и толчкам; глазков для
калибрования пруткового металла под накатку резьбы, гибочных и формовочных
штампов, сложных секций кузовных штампов, матриц и пуансонов вырубных и
просечных штампов, работающих при повышенных температурах.
Сталь Р6М5 (ГОСТ 19265-73) - инструментальная быстрорежущая сталь,
применяется для изготовления всех видов режущего инструмента при обработке
углеродистых легированных конструкционных сталей; предпочтителен для
изготовления резьбонарезного инструмента, а также инструмента, работающего с
ударными нагрузками. А также молотовых штампов с массой падающих частей
свыше 3 т, прессовых штампов и штампов машинной скоростной штамповки при
горячем деформировании легких цветных сплавов, блоков матриц для вставок
горизонтально-ковочных машин.
Таблица 2.1 Химический состав сталей
Марка стали Содержание элементов, %
38Х2МЮА 0,35 - 0,42 С; 2 - 2,1 Cr; 0,15 - 0,25 Mo; 0,7 - 1,1 Al; 0,17 - 0,37 Si; 0,3
- 0,6 Mn; 0,25 Ni
30ХГСА 0,28 – 0,34 С; 0,9 – 1,2 Si; 0,8 – 1,1 Mn; до 0,3 Ni; до 0,025 S; до
0,025 P; 0.8 – 1,1 Cr; до 0,3 Cu
16Х3НВФМБ- 0,14 - 0,19 С; 0,6 - 0.9 Si; 0,4-0,7 Mn; 1,0-1,5 Ni; до 0.02 S; 0.03 P; 2,6-3,0
Ш (ДИ39) Cr; 0,4-0,6 Mo; 1,0 - 1,4 W; 0,35-0,55 V; 0,1 - 0,2 Nb; 0,01 - 0,05 Ce.
80
13Х11Н2В2МФ 0,1-0,16 С; 0,6 Si; 0,6 Mn; 1,5-1,8 Ni; до 0,025 S; до 0,03 P; 10,5-12,0
-Ш (ЭИ-961Ш) Cr; 0,35-0,5 Mo; 1,6-2,0 W; 0,18-0,3 V; до 0.3 Cu.
ХВГ 0,9 – 1,05 С; 0,1 – 0,4 Si; 0,8 – 1,1 Mn; до 0,35 Ni; до 0,03 S; до 0,03
P; 0,9 – 1,2 Cr; до 0,3 Mo; 1,2 – 1,6 W; до 0,3 Cu
9ХС 0,85 – 0,95 С; 1,2 – 1,6 Si; 0,3 – 0,6 Mn; до 0,35 Ni; до 0,03 S; до 0,03 P;
0,95 – 1,25 Cr; до 0,3 Mo; до 0,2 W; до 0,15 V; до 0,03 Ti; до 0,3 Cu
Х12 2 – 2,2 С; 0,1 – 0,4 Si; 0,15 – 0,45 Mn; до 0,35 Ni; до 0,03 S; до 0,03 P;
11,5 - 13 Cr; до 0,2 Mo; до 0,2 W; до 0,15 V; до 0,03 Ti; до 0,3 Cu
Р6М5 0,82 – 0,9 С; 0,5 Si; до 0,5 Mn; до 0,4 Ni; до 0,025 S; до 0,03 P; 3,8 –
4,4 Cr; 4,8 – 5,3 Mo; 5,5 – 6,5 W; 1,7 – 2,1 V; до 0,5 Cо
Все образцы из вышеперечисленных марок сталей прошли предварительную

термическую обработку – улучшение, состоящую из закалки (840 - 1200°С в
зависимости от марки стали) и высокотемпературного (высокого) отпуска (570 -
720°С). Высокий отпуск создает наилучшее соотношение прочности и вязкости стали.
Закалка с высоким отпуском (по сравнению с нормализацией или отжигом)
весьма сильно одновременно повышает временное сопротивление, предел
текучести, относительное сужение и особенно ударную вязкость. Улучшение
значительно повышает конструктивную прочность стали, уменьшая
чувствительность к концентраторам напряжений, увеличивая работу развития
трещин и снижая температуру порога хладноломкости. Однако износостойкость
улучшенной стали вследствие ее пониженной твердости не высокая.
2.2 Описание модернизированной установки ЭЛУ–5М для ионного

азотирования в тлеющем разряде
Электронно–лучевая установка (ЭЛУ–5) была переоборудована в установку для

проведения процессов термической и химико-термической обработок в плазме
тлеющего разряда низкого давления (рис. 2.1)
Модернизированная установка ЭЛУ–5М позволила проводить ионное
азотирование в тлеющем разряде с ПК и с МП при давлениях Р=1 – 200 Па,
напряжении U до 1000 В и током I до 40 А.
81
в)
а б
Рисунок 2.1. Модернизированная установка ЭЛУ–5М: а – общий вид
установки; б – диэлектрический стол.
Переоборудование включает в себя:

– установку натекателя, позволяющего производить дозированную подачу
рабочего газа в вакуумную камеру;
– изготовление и установку анода для реализации обработки тлеющим
разрядом с ПК и МП;
– установку и подключение импульсного источника питания с напряжением
до 1 кВ и силой тока до 40 А;
– изготовление и установку специальных вводов для исключения попадания
вакуумной камеры под потенциал катода;
– разработку, изготовление и установку специальных диэлектрических
экранов, необходимых для того, чтобы изолировать вводы электродов в вакуумной
камере и устранить зажигание разряда на ввод катода в вакуумную камеру;
– разработку и изготовление приспособлений, позволяющих размещать
магнитную систему и обрабатываемую деталь в вакуумной камере;
– оснащение вакуумной камеры (водоохлаждаемым) столом
(приспособлением), позволяющим размещать обрабатываемую деталь, экран, а
также подвод электропитания;
– разработка и подключение дистанционного пульта управления источником
питания, обеспечивающего плавную регулировку и контроль параметров разряда;
82
– установку и подключение термопары вместе с системой ввода–вывода
аналоговых и дискретных сигналов RealLab, а также инфракрасного термометра
«Термикс» для контроля и замера температуры.
Схема установки для химико–термической обработки в тлеющем разряде с
магнитным полем на базе установки ЭЛУ–5М представлена на рис. 2.2.
Рисунок 2.2. Схема проведения экспериментов 1 – ИП тлеющего разряда, 2 –

катод, 3 – магнетрон, 4 – анод, 5 – вакуумная камера, 6 –тороидальная область
яркого свечения, 7 – силовые линии МП, 8 – зонд, 9 – ИП зонда, 10 – образец вне
зоны действия МП, 11 – образец под действием МП.
Измерение напряжения горения разряда и тока разряда осуществлялось

цифровым мультиметром MY – 68.
Контроль и снятие температурных зависимостей осуществлялось двумя
способами, с помощью “хромель–капелевой” термопары и оптическим пирометром.
При этом аналоговый сигнал с термопары поступал в систему ввода–вывода
аналоговых и дискретных сигналов серии RealLab (см. рис. 2.2).
В дальнейшем вся информация, поступающая с системы, обрабатывается на
компьютере с помощью программного обеспечения RLDataView. Затем данные
можно экспортировать в текстовый формат, что позволяет легко использовать
программы MatLab, MathCad и Excel для их математической обработки.
83
Импульсный источник питания тлеющего разряда
На рис. 2.3 приведена блок–схема источника питания тлеющего разряда.
Входная цепь коммутирует 3–фазное напряжение на блок выпрямителя источника,
запитывая блоки управления и систему охлаждения. Включение проходит в 2 этапа
для плавной зарядки входной емкости инвертора через сетевой фильтр и
выпрямитель. Инвертор представляет собой транзисторный мост, преобразующий
постоянное напряжение на входных емкостях в переменное синусоидальное. Это
напряжение передается через резонансную цепь на повышающий трансформатор,
который также выполняет функцию гальванической развязки между входом и
выходом источника. Выходной ключ передает энергию в выходную цепь, и служит
для защиты источника питания от короткого замыкания, а также для реализации
импульсного режима работы. Выходная цепь состоит из 2–х дросселей,
переключение между которыми позволяет менять выходную индуктивность, тем
самым адаптируя источник под нужный режим работы (постоянный или
импульсный).
~ 380
Выпрямите
Выходной
ВЧ транс-
Инвертор
Выходная
форматор
Тлеющий
Входная
разряд
цепь
ключ
В
цепь
ль
Плата управления
Плата контроллера
ВЧ трансформатор
Рис. 2.3. Блок-схема источника питания

магнетрона.
84
Работа всех блоков контролируется платой управления, от которой подаются
задающие импульсы на инвертор (с максимальной частотой равной частоте
резонансного контура) и выходной ключ. Кроме того, эта плата принимает и
преобразует сигнал обратной связи для осуществления стабилизации по току и
напряжению и сигнал защиты с выходного ключа для приостановки работы инвертора
и последующим выведением на панель индикации через плату контроллера.
Плата контроллера выдает сигналы для платы управления, обеспечивая
интерактивное управление источником при помощи пульта (повышение выходных
параметров, переключение режимов работы) и осуществляет индикацию. В
табл. 2.2 приведены технические параметры и характеристики источника питания
тлеющего разряда.
Таблица 2.2. Технические параметры и характеристики источника питания.
Параметр Значение
Входное напряжение 3–фазная сеть 380/220 В, 50 Гц
Максимальная мощность 40 кВт
Диапазон регулирования 65 ÷ 1000 В
выходного напряжения
Диапазон регулирования 1 ÷ 40 А
выходного тока
Амплитуда поджигающего 900 В
импульса
Постоянное Импульсно–периодическое с
Тип выходного напряжения регулируемой частотой и
скважностью
Диапазон регулирования – 5 – 50 кГц с шагом
частоты импульсов 1 кГц
Коэффициент заполнения – 10 – 80%
Режимы стабилизации Напряжения, тока
Точность стабилизации 3%
Время срабатывания Не более 0,3 мкс
дугозащиты
85
2.3 Методы структурных исследований
2.3.1. Метод оптической металлографии

Количественный и качественный анализ структуры сплавов проводили на
металлографическом микроскопе Zeiss Axiovert.
Исследуемую поверхность образцов подвергали механической шлифовке и
полировке на алмазных пастах с дисперсностью абразива от 14/7 до 1/0 мкм. Для
создания оптического контраста образцы химически травили ниталем [222] 5 мл
концентрированной азотной кислоты на 100 мл спирта и раствором пикриновой
кислоты 4 г. пикриновой кислоты на 100 мл спирта, в течение 20-30 с.
Размеры структурных элементов оценивали по методу случайных секущих
[102]. Средний размер зерна (d) определяли в соответствии с ГОСТ 21.073.3–75:
_
l
di  ,
m (2.1)
где l – длина секущей, мкм;
m – число точек пересечения секущей с границами зерен.
Абсолютную статистическую погрешность значений определяли как
  t    а ,
_
(2.2)
 
  а  – среднее квадратичное отклонение арифметической выборки;

_
где
 
t – нормированное отклонение, связанное с доверительной вероятностью Р.
n
a i
 а   К 1
 a 02 ,
n (2.3)
где n – число выборок;
ai – средние арифметические значения в каждой выборке;
a0– средняя арифметическая всех выборочных средних;
К– поправочный коэффициент, зависящий от объема выборки.
Удельный объем структурных составляющих ΣV рассчитывали по формуле
в соответствии с ГОСТ 21.073.3–75:
86
L
V  100%, (2.4)
L
где ΣL – общая длина секущей, мкм;
L – длина секущей, проходящей через данную структурную составляющую, мкм.
Определение характеристик микроструктуры проводили с вероятностью Р =
0.9, при этом абсолютная ошибка измерений не превышала 5 %.
2.3.2. Метод растровой электронной микроскопии

С помощью растрового электронного микроскопа JSM–6390
анализировали распределение нитридных включений в диффузионном слое,
оценивали однородность сформированной структуры, толщину нитридной зоны,
а также исследовали рельеф поверхности после ионного азотирования в
тлеющем разряде с полым катодом и магнитным полем.
Разрешающая способность РЭМ зависит от электронной яркости пушки и в
приборах рассматриваемого класса составляет 5–10 нм. Ускоряющее напряжение
регулируется в пределах от 1 до 30–50 кВ.
Высокая разрешающая способность РЭМ реализуется при формировании
изображения с использованием вторичных электронов. Она находится в обратной
зависимости от диаметра зоны, из которой эти электроны эмитируются. Размер
зоны зависит от диаметра зонда, свойств объекта, скорости электронов первичного
пучка и т. д. При большой глубине проникновения первичных электронов
вторичные процессы, развивающиеся во всех направлениях, увеличивают диаметр
зоны, и разрешающая способность падает. Величина сигнала зависит от
топографии образца, наличия локальных электрических и магнитных микрополей,
величины коэффициента вторичной электронной эмиссии, который, в свою
очередь, зависит от химического состава образца в данной точке.
Отражённые электроны улавливаются полупроводниковым детектором с p–n
– переходом. Контраст изображения обусловлен зависимостью коэффициента
отражения от угла падения первичного пучка в данной точке объекта и от атомного
номера вещества. Разрешение изображения, получаемого в "отражённых
87
электронах", ниже, чем получаемого с помощью вторичных электронов (иногда на
порядок величины). Из–за прямолинейности полёта электронов информация об
отдельных участках объекта, от которых прямого пути к детектору нет, теряется
(возникают тени). Для устранения потерь информации, а также для формирования
изображения рельефа образца, на которое не влияет его элементный состав, и
наоборот, для формирования картины распределения химических элементов в
объекте, на которую не влияет его рельеф, в РЭМ применяется детекторная система,
состоящая из нескольких размещённых вокруг объекта детекторов, сигналы которых
вычитаются один из другого или суммируются, а результирующий сигнал после
усиления подаётся на модулятор электронно–лучевой трубки.
2.3.3. Метод рентгеноструктурного анализа

Используемый в настоящей работе метод рентгеноструктурного анализа
позволил проанализировать следующие важные параметры структуры
исследуемых образцов: определение кристаллической структуры (типа
элементарной ячейки); точное определение параметров элементарной ячейки,
микронапряжений; определение фазового состава исследуемого материала;
определение параметров тонкой кристаллической структуры (микроискажений,
размеров областей когерентного рассеяния) [141,259].
Качественный и количественный фазовый анализ проводился
рентгеноструктурным методом сравнения относительной интегральной
интенсивности дифракционных линий и экспериментальных значений
межплоскостных расстояний с эталонными межплоскостными расстояниями.
Рентгеноструктурные исследования проводились на дифрактометре общего
назначения ДРОН–4–07 с фокусировкой гониометра по Бреггу–Брентано с
неподвижной рентгеновской трубкой и вращающимся образцом и счетчиком. А
также на рентгеновском дифрактометре фирмы Shimadzu XRD–6000, который
является компактным дифрактометром общего назначения с вертикальным
гониометром. Весь контроль за работой оборудования, включая проведение
измерения, осуществлялся с помощью компьютера.
88
Прецизионные дифрактометрические съемки проводили с шагом движения
счетчика в 0,02 градуса для областей интенсивной рентгеновской дифракции и 0,1
градуса для областей фона. Время накопления импульсов в одной точке составляло
соответственно 10 с и 5 с. Физические профили рентгеновских пиков получали
путём выделения из экспериментальных профилей соответствующих
инструментальных профилей с помощью гармонического анализа.
Следует отметить, что неточность количественного анализа зависит от
качественного фазового состава, стабильности работы дифрактометра (детектора),
количества определяемой фазы в образце. Обычно точность составляет 5–10 % от
определяемой величины, а путем многократных измерений интенсивности ее
можно довести до 1%.
2.4. Метод определения микротвердости

Поверхность образцов перед испытанием на твердость полировали на
алмазной пасте АСМ 1/0. Твердость в соответствии с ГОСТ 2999–75 по методу
Виккерса (Hv) определяли с помощью Buehler Omnimet Micromet – 5101 по 10
замеров в каждой области при нагрузке 0.5 Н и длительности выдержки под
нагрузкой 15 секунд [200]. В качестве индентора использовали четырехгранную
алмазную пирамидку.
Для получения достоверных результатов измерения твердости проводились на
каждом образце не менее десяти раз. Определение характеристик твердости проводили
с вероятностью Р = 0.9, при этом абсолютная ошибка измерений не превышала 10 %.
2.5. Методика определения износостойкости обработанных образцов

Определение износостойкости образцов прошедших азотирование, ВИА и
комбинированную обработку проводилось на установке High temperature tribometer
(CSM-instruments) (рис. 2.4) с использованием стандартной методики «шар по
диску» (рис. 2.5 а) (международный стандарт ASTM G 133 - 95; Standard test method
for linearly reciprocating ball-on-flat sliding wear).
89
Рисунок 2.4 Общий вид установки High temperature tribometer (CSM-instruments)
1) 2) 3)
а) б)
Рисунок 2.5 а) схема проведения эксперимента по определению
износостойкости на установке High temperature tribometer (CSM-instruments); б)
возможные варианты износа в системе «шар-диск»
Согласно стандартной методике «шар по диску» (рис. 2.5) (международный

стандарт ASTM G 133 - 95; Standard test method for linearly reciprocating ball-on-flat
sliding wear) с помощью программного обеспечения определяют количественно
износ, используя для расчетов изменения линейных размеров обоих образцов (шар
и диск) до и после теста. На рисунке 2.5а показаны параметры необходимые для
определения износа:
где F - сила (нагрузка) действующая на шар;
r – радиус шара;
R – радиус диска; w – скорость вращения диска.
90
На рисунке 2.4б также показаны три возможных варианта износа системы
«шар-диск»: 1) износ только шара; 2) износ только диска; 3) износ и шара и диска.
В установке для проведения испытаний на износостойкость, шарик радиусом
3 мм был прижат к поверхности образцов с усилием 5Н.
Износостойкость оценивалась по убыли массы (объема) образцов за время
испытаний.
2.6. Методика определения плотности ионного тока

Для измерения плотности ионного тока Ji и величины плавающего потенциала
Vfl использовался плоский зонд с охранным кольцом, изготовленный из нержавеющей
стали. Известно [249], что увеличение потенциала на зонде приводит к искажению
конфигурации слоя задерживающего потенциала, следствием этого является, в
частности, отсутствие тока насыщения – зонд работает не в одинаковых условиях. Этот
эффект может быть устранен с помощью охранного кольца рис. 2.6. Центральный
электрод зонда имел диаметр 11,8 мм и был окружен охранным кольцом, находящимся
под тем же потенциалом [29,31,33].
Измеренная плотность ионного тока использовалась также для определения

потока Fi ионов на подложку, который определялся по формуле:
Ii
Fi 
eS , (2.5)
где Ii – ионный ток насыщения на зонд;
S – площадь плоского зонда.
1 2
Рисунок 2.6. Схема зонда с охранным кольцом: 1 – охранное кольцо, 2 –

измерительный зонд, 3 – ИП
91
Охранное кольцо поддерживается под тем же потенциалам, что и зонд. Ток

измеряется только в цепи зонда.
2.7 Методика зондовых измерений
Для определения основных параметров плазмы тлеющего разряда –

температуры и концентрации заряженных частиц, потенциала пространства
использовался метод зондовых измерений.
Суть метода заключается в измерении тока заряженных частиц на малый
заряженный электрод, помещенный в плазму. Ток на зонд измеряется при
различных значениях приложенного напряжения. Полученная зависимость между
током и напряжением зонда носит название «характеристики» (рис. 2.7)
[128,137,262].
Рисунок 2.7 - Типичная зондовая характеристика и три ее области: I –

электронного тока насыщения; II – суммарного тока электронов и ионов; III –
ионного тока насыщения [128]
Из зондовой характеристики можно определить концентрацию заряженных
частиц, распределение электронов по скоростям и потенциал невозмущенной
плазмы в непосредственной близости от зонда. Диапазон давлений, в котором
может применяться зондовый метод охватывает свыше семи порядков (начиная
приблизительно с 10-5 тор). Диапазон измеряемых концентраций составляет восемь
порядков начиная с 106 см-3 [182,262].
92
В исследованиях в качестве заряженного электрода использовался
одиночный цилиндрический зонд Ленгмюра (рис. 2.8).
Рисунок 2.8 - Схема одиночного цилиндрического зонда Ленгмюра,

помещенного в плазму
Электрическая схема зондовых измерений в тлеющем разряде изображена на

рисунке 2.9 [152]. Она включает: измерительный зонд (З), опорный электрод,
замыкающий зондовую цепь (анод (А)), регулируемый источник напряжения
смещения зонда (ИП2), источник питания разряда (ИП1) и измерительные приборы
– микроамперметр (А) и вольтметр (V).
Рисунок 2.9 - Схема зондового измерения: К – катод, А – анод, З – одиночный

цилиндрический зонд, ИП1 – источник питания разряда, ИП2 – регулируемый
источник напряжения смещения зонда [152]
93
Определение параметров плазмы из экспериментальной ВАХ состоит из
нескольких последовательных этапов:
1. Определение потенциала пространства и выделение электронной и ионной
частей ВАХ.
2. Определение концентрации и температуры электронов (Те).
3. Определение концентрации ионов из ионной части ВАХ.
1. Непосредственно ВАХ зонда позволяет определить только плавающий
потенциал Vƒ. Нахождение других параметров требует выделения электронной и
ионной составляющих плазмы. Обработка экспериментальной ВАХ начинается с
определения потенциала пространства, потому что физически значимой и
входящей в теоретические выражения, связывающие параметры плазмы с током на
зонд, является разность потенциалов V=VР-VS. Для этого в области правее
плавающего потенциала строится ВАХ в полулогарифмическом масштабе.
Логарифм электронного тока от потенциала в тормозящем поле зонда описывается
прямолинейной зависимостью, поэтому начало отклонения от нее является
координатой положения потенциала пространства [128].
(2.6)
где - хаотический (тепловой) ток на зонд,
- средняя тепловая скорость электрона.

Найденное значение VS позволяет перейти от переменной VP к V и построить
ионную ветвь ВАХ до плавающего потенциала в обеих координатах I и V в
логарифмическом масштабе (рис. 2.10) [128,137].
94
Рисунок 2.10 - Аппроксимация ионного тока степенной функцией
Аппроксимация зондового тока при больших потенциалах прямой линией

позволяет легко экстраполировать его к потенциалу пространства. Электронная
ветвь ВАХ находится суммированием абсолютных значений экстраполированной
кривой I+(V) с кривой I(V) (рис. 2.7) [128,137].
Рисунок 2.11 - Выделение электронного тока [47]
2. Зависимость Ie(V) с логарифмическим масштабом по Ie в соответствии с

(2.1) является прямолинейной до потенциала пространства, наклон которой
(логарифмическая производная тока по потенциалу) и отражает величину
температуры (рис. 2.12) [128,137]:
(2.7)
95
Рисунок 2.12 - Определение Те из электронной ветви ВАХ [128]
После того, как температура электронов определена, концентрация ионов

находится из того же выражения (2.1). Удобнее определить n0 из тока при
потенциале пространства [128,137]:
(2.8)
Использование области электронного тока насыщения избегают, поскольку в
этом случае ток на зонд превосходит хаотический, и возмущение, которое вызывает
зонд, притягивающий электроны, может распространяться на большие расстояния.
Наличие прямолинейной зависимости I2(V) позволяет найти концентрацию
электронов без определения Те [128,137]:
(2.9)
3. Определение концентрации ионов из ионной части ВАХ
В качестве значения ионного тока насыщения I+∞ следует выбирать ток,
соответствующий началу «насыщения». Тогда из формулы Бома [128,137]:
(2.10)
где А – атомный вес иона.

96
2.8 Методика определения хрупкости азотированного слоя
Определение хрупкости азотированного слоя производится по виду

отпечатка алмазной пирамиды, полученного при измерении твердости на приборе
Виккерса, по виду отпечатка алмазного конуса прибора Рокквелла, по виду
поверхности цилиндрических образцов, подвергнутых сжатию по торцам, по виду
образцов, подвергнутых скручиванию, по числу выбоин после шлифования,
проведенного в стандартных условиях. На практике получил распространение
только первый из указанных методов. На рис. 2.13 представлена шкала хрупкости
диффузионного слоя в зависимости от характера отпечатка пирамиды прибора
Виккерса, разработанная в ВИАМ.
Рисунок 2.13 - Шкала хрупкости азотированного слоя [187]
Детали, на которых получаются отпечатки групп III и IV, бракуются.

Снижение хрупкости азотированного слоя таких деталей может быть произведено
путем нагрева их в течение 3-4 ч при 500-625°С в воздушной атмосфере.
97
3. РАЗРАБОТКА МЕТОДОВ ИНТЕНСИФИКАЦИИ ИОННОГО
АЗОТИРОВАНИЯ В ТЛЕЮЩЕМ РАЗРЯДЕ НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ
3.1 Ионное азотирование в тлеющем разряде низкого давления с полым
катодом
В данной работе предлагается использовать тлеющий разряд с полым

катодом (ПК) для высокотемпературного структурно-фазового модифицирования
поверхностей образцов из конструкционных и инструментальных сталей.
Известно [54,169,175], что рабочее давление лимитируется свойствами
тлеющего разряда при давлении ниже 133 Па (температура поверхности не
превышает 370°С) энергия ионов недостаточна для нагрева обрабатываемой детали
до рабочей температуры, а при давлении выше 1330 Па (температура поверхности
не превышает 600°С) нарушается стабильность разряда, тлеющий разряд
переходит в дуговой. Так как диапазон оптимального рабочего давления для
ионного азотирования при температуре T = 550°С составляет Р = 100 – 200 Па, а
при температуре T = 700°С Р = 200 – 300 Па, следовательно проведение процесса
ионного азотирования возможно либо при использовании специальных
сильноточных источников ионов, либо используя тлеющий разряд с ПК для
увеличения степени ионизации вблизи обрабатываемой поверхности.
Сущность способа [81-83] заключается в том, что с помощью специального
экрана, в виде сетки, между обрабатываемой поверхностью и экраном формируется
плазма с повышенной концентрацией заряженных частиц. Поверхность детали
непосредственно становится поверхностью ПК, что приводит к образованию
вблизи обрабатываемой поверхности структуры из плазмы и слоя
пространственного заряда между обрабатываемой поверхностью и границей
плазмы (рис. 3.1). В катодной полости, образованной поверхностью детали и
экраном, увеличивается генерация заряженных частиц осциллирующими
электронами, возрастает число ионов, бомбардирующих поверхность, и скорость
распыления обрабатываемой поверхности.
98
Плазма тлеющего разряда
Технологический экран
(сетка)
Плазма полого катода
Двойной электрический слой
Обрабатываемая поверхность
Рисунок 3.1. Схема образования разряда с ПК
При размере ячейки сетки а<акр прикатодные области перекрывают

расстояние между ячейками и отражают быстрые осциллирующие электроны, что
увеличивает концентрацию заряженных частиц вблизи обрабатываемой
поверхности и приводит к возрастанию количества ионов, бомбардирующих
распыляемую поверхность, и соответственно увеличивается количество
распыленных атомов и скорость распыления обрабатываемой поверхности детали.
Необходимым условием возникновения разряда с ПК является частичное или
полное перекрытие зон отрицательного свечения, т.е. расстояние между деталью и
сеткой h должно удовлетворять соотношению [80,91]:
h  2d к  2l c , (3.1)
где dк  ширина области отрицательного свечения.
Экран подбирается таким образом, чтобы исключить уход электронов из
полости, что приводит к интенсивной бомбардировке ионами газа обрабатываемой
поверхности.
Конфигурация экрана должна обладать: максимальной геометрической
прозрачностью, для минимального экранирования металлической плазмы и
минимального распыления сетки; малой проницаемостью для электронной
компоненты [80,91]:
S a2
D   max , (3.2)
S  a  b 2
99
aкр  2lc , (3.3)
где a  размер ячейки; b  расстояние между ячейками; lс  ширина

приэлектродного слоя.
Тлеющий разряд с ПК возможен лишь в том случае, если между потенциалом
на изделии, прозрачностью экрана, размерами ячейки сетки, давлением и
расстоянием между экраном и обрабатываемой поверхностью выполняется
определенное соотношение [80,91]:
3
o )
1 1
4
2
1 4
Ui 4
(3.4)
h ( ( ) [ ] ;
3 0,4 n e ek T e  (1 D)
1 1
a  (  ) (
4 2 1 4 3
) U c4 , (3.5)
3 0,4 n e ek T e
где Uс - потенциал на детали; Те - электронная температура; ni, ne -
концентрация частиц; D - прозрачность экрана; a - размер ячейки сетки;
h - расстояние между экраном и обрабатываемой поверхностью.
В диапазоне давлений Р=100  500 Па величина свободного пробега
электрона больше ширины темного катодного пространства. Таким образом,
электроны, вышедшие из катода, поступают в область отрицательного свечения с
энергией еU и производят ионизацию. Что позволяет проводить нагрев и
высокотемпературное структурно-фазовое модифицирование поверхности при
плотностях тока j = 10 – 20 мА/см2.
3.2 Вольт-амперные характеристики тлеющего разряда с полым

катодом
Для определения основных характеристик тлеющего разряда (напряжение

разряда, ток разряда) и температурных зависимостей был проведен ряд
экспериментов. Средняя относительная аппаратная погрешность при измерении тока
и напряжения не превышает 1%, а при измерении температуры не превышает 2%.
100
На рис. 3.2 представлены вольт-амперные характеристики тлеющего разряда
с ПК при различных расстояниях между обрабатываемой поверхностью и
технологическим экраном (сеткой).
I, мА
1300
1200
1100
1000
900
800 h = 6мм.
700 h = 8мм.
600
500 h = 10мм.
400
300
200 А
100
0
U, В
Рисунок 3.2 Вольт-амперные характеристики тлеющего разряда с ПК при

различных расстояниях между обрабатываемой поверхностью и технологическим
экраном (сеткой) (Р=60Па)
При определенных соотношениях между напряжением и расстоянием между

катодом и технологическим экраном, тлеющий разряд переходит в разряд с ПК, в
результате чего значительно увеличивается разрядный ток и понижается
напряжения. За начало данного перехода условно принималась точка А.
На рис. 3.3 приведены вольт-амперные характеристики тлеющего разряда без
ПК. Увеличение напряжения горения тлеющего разряда приводит к увеличению
тока разряда, что объясняется более высокой способностью электронов к
ионизации атомов газа, так как с увеличением напряжения горения разряда
электроны приобретают более высокую энергию, необходимую для ионизации
газа. С увеличением давления увеличивается число заряженных частиц
(положительных ионов), которые, ударяясь о поверхность катода, выбивают
большее количество электронов, в связи с чем ток разряда также увеличивается.
101
I, мА
1400
1200
1000
Р=50Па
800
Р=100Па
600 Р=200Па
Р=300Па
400
200
0
450 500 550 600 650 700 750 800 U, В
.
Рисунок 3.3. Вольт-амперные характеристики тлеющего разряда без ПК
При исследовании вольт-амперных характеристик тлеющего разряда с ПК

(рис. 3.4) установлено, что ток разряда в несколько раз больше тока разряда без ПК.
I, мА
1400
1200
1000
800 Р=100Па
600 Р=200Па
Р=300Па
400
200
0
300 350 400 450 500 550 U, В
Рисунок 3.4. Вольт-амперные характеристики тлеющего разряда с ПК (h = 6 мм)
Увеличение тока в разряде с ПК объясняется тем, что в катодной полости,

образованной поверхностью детали и технологическим экраном, увеличивается
генерация заряженных частиц осциллирующими электронами, возрастает число ионов,
бомбардирующих поверхность, и скорость распыления обрабатываемой поверхности.
102
3.3 Распределение параметров плазмы в газоразрядном промежутке при
ионном азотировании в тлеющем разряде низкого давления с полым катодом
С целью исследования параметров плазмы тлеющего разряда с ПК были

проведены зондовые измерения. Для определения параметров плазмы тлеющего
разряда (плавающего потенциала, концентрации ионов, температуры электронов)
использовался одиночный цилиндрический зонд Ленгмюра. Измерения проводились
при давлении 60 Па в среде Ar, расстояние между катодом и сеткой 5 мм.
После обработки ВАХ зонда были построены зависимости параметров
плазмы от расстояния над поверхностью катода. На рис. 3.5 изображено
распределение потенциала плазмы в полости технологического экрана в тлеющем
разряде с ПК. Начало координат соответствует поверхности катода, а значение
5 мм по оси X – поверхности сетки.
Рисунок 3.5 - Зависимость изменения потенциала плазмы в катодной полости
Известно [137, 152], что плавающий потенциал определяется энергией частиц

плазмы. Так как энергия электронов значительно превышает энергию ионов, на
значение плавающего потенциала влияет в основном энергия электронов, которая
падает при удалении от поверхности катода, так как электроны тратят энергию в
плазменных реакциях. Полученное распределение температуры электронов в разряде
с ПК свидетельствует о резком ее падении в области отрицательного свечения, так как
«горячие» электроны теряют энергию в процессах возбуждения и ионизации.
Ожидалось наблюдение падения температуры электронов в темном прикатодном
пространстве. Однако проведение зондовых измерений в точках, столь близких к
103
поверхности катода весьма затруднительно в связи с возможностью пробоя и
электрического контакта между зондом и электродом.
На рис. 3.6 показана зависимость изменения температуры электронов в
полости технологического экрана в тлеющем разряде с ПК.
Рисунок 3.6 - Зависимость изменения температуры электронов в катодной полости
На рис. 3.7 изображено распределение концентрации заряженных частиц в

полости технологического экрана при проявлении ПК.
Рисунок 3.7 - Зависимость изменения концентрации ионов рабочего газа в

полости технологического экрана при проявлении ПК
Анализ зависимости (рис. 3.7) показывает, что в тлеющем разряде с ПК

наблюдается пик концентрации насыщающего элемента в катодной полости,
104
вследствие осцилляции электронов и увеличения актов ионизации. Таким образом,
проведенные зондовые исследования показывают, что на участках проявления ПК
происходит увеличение актов ионизации и как следствие увеличение градиента
концентрации насыщающего элемента на поверхности материала, что приводит к
ускорению процесса диффузионного насыщения при ионном азотировании с ПК [89].
3.4 Экспериментальные результаты температурных зависимостей при

ионном азотировании в тлеющем разряде с полым катодом
Нагрев детали (катода) в тлеющем разряде зависит от целого ряда

параметров: давления в вакуумной камере, тока разряда, напряжения, подаваемого
на деталь, рода газа, массы садки и площади обрабатываемых поверхностей.
Эксперименты проводились на образцах из материалов ХВГ, 9ХС, Х12, Р6М5,
30ХГСА, 38Х2МЮА, 13Х11Н2В2МФ-Ш, 16Х3НВФМБ-Ш в качестве рабочего газа
использовалась смесь азота, аргона и ацетилена (N2 50%, Ar 45%, C2H2 5%).
Образцы подвергались: ВИА в тлеющем разряде с ПК, температура
поверхности обрабатываемых образцов составила Т=700°С. Обработка
проводилась в течении t=1час; КО, состоящей из ВИА и последующей светлой
закалке в тлеющем разряде с ПК, температура нагрева под закалку Т=850 - 1030°С.
Нагрев образца проводился в течении t=15 мин, с последующим охлаждением в
потоке охлаждающих газов, либо в масле.
На рис. 3.8 приведены зависимости температуры поверхности от времени при
различных давлениях как в условиях проявления так и без проявления ПК.
Анализ зависимостей температуры поверхности от времени показывает, что
применение ионного азотирования в тлеющем разряде с ПК позволяет увеличить
температуру и скорость нагрева поверхности по сравнению с ионным
азотированием в тлеющем разряде с плоским катодом, что объясняется более
высоким током тлеющего разряда с ПК.
105
Рисунок 3.8. Зависимости температуры поверхности от времени обработки

при постоянном напряжении U=500 В и различном давлении Р
На рис. 3.9 приведены зависимости температуры поверхности от времени при

различных давлениях в тлеющем разряде с ПК.
Рисунок 3.9. График зависимости температуры поверхности от времени

обработки при постоянном напряжении U=600 В и различном давлении Р
Анализ зависимостей температуры поверхности от времени показывает, что с

ростом давления в камере от 50 до 300 Па происходит увеличение скорости нагрева
поверхности. Это объясняется увеличением концентрации молекул и атомов
рабочего газа в вакуумной камере, что приводит к росту числа заряженных частиц
(положительных ионов), которые бомбардируя поверхность катода выбивают
большее количество электронов, в связи с чем ток разряда также увеличивается.
106
3.5 Способы ускорения процесса ионного азотирования в тлеющем
разряде низкого давления с полым катодом.
Строение и свойства упрочненного слоя деталей машиностроения зависят от

следующих технологических режимов ионного азотирования с ПК: напряжения
между электродами, состава газовой среды, степени ее разрежения, рабочей
температуры процесса, длительности процесса, расстояния между деталью и
технологическим экраном, а также взаимного расположения деталей и электродов.
Процесс ионного азотирования реализуется в две стадии – очистка поверхности
катодным распылением и диффузионное насыщение. На стадии диффузионного
насыщения электрические и вакуумные параметры разряда обеспечивают нагрев
поверхности до температуры диффузии, активность газовой фазы, поддержание
градиента концентрации азота на поверхности и регулирование процесса по фазовому
составу диффузионного слоя. Температура ионного азотирования конструкционных
определятся предшествующей термообработкой [54,175].
Для выбора оптимальных технологических параметров ионного
азотирования с ПК был проведен ряд экспериментов, направленных на
определение диапазонов давления и напряжения, при которых проявляется данный
эффект. На основании полученных данных была построена диаграмма,
изображенная на рис. 3.10.
Рисунок 3.10 - Диаграмма области существования тлеющего разряда с ПК

107
Из рис. 3.10 видно, что диапазон давлений, при которых возможна обработка в
тлеющем разряде с ПК, увеличивается с ростом напряжения горения разряда,
преимущественно за счет увеличения верхней границы [89]. Данный факт позволяет
выбирать режимы обработки таким образом, чтобы минимизировать расход
насыщающих газов. Для поддержания рабочей температуры детали 550 ºС в процессе
ионного азотирования с ПК давление в рабочей камере было выбрано 60 Па. При давлении
ниже 60 Па энергия ионов рабочего газа недостаточна для нагрева обрабатываемой детали
до рабочей температуры, при давлении выше 60 Па существует опасность перегрева
деталей и появлении на их поверхности оплавленных микрократеров.
В качестве рабочего газа была выбрана смесь аргона, азота и ацетилена (70%
Ar, 25% N2, 5% С2H2). Присутствие кислорода в вакуумной камере недопустимо,
так как при этом уменьшается активность рабочей атмосферы. Ацетилен вводится
в рабочую атмосферу для регулирования состава нитридной зоны по углероду.
При катодном распылении электрические и вакуумные параметры разряда
гарантируют активацию поверхности и разрушение оксидных пленок. Катодное
распыление проводится в течение 15 мин при напряжении 900 В и давлении 6-8 Па.
В процессе катодного распыления температура поверхности детали не превышает
250 ºС. Рабочие параметры процесса локального ионного азотирования: U=500 В,
P=60 Па. Время процесса азотирования выбирается в зависимости от необходимой
толщины диффузионного слоя.
В рамках диссертационной работы были разработаны новые способы
термической и химико-термической обработки, такие как локальное ионное
азотирование (ЛИА), высокотемпературное ионное азотирование (ВИА), светлая
закалка (СЗ) и комбинированная обработка (КО) (высокотемпературное азотирование
и последующая светлая закалка) в тлеющем разряде с ПК [81-83,89,90].
Данные способы могут быть использованы в машиностроении и других
областях промышленности, для упрочнения деталей и инструмента из
конструкционных сложнолегированных сталей, работающих при повышенных
температурах, высоких контактных напряжениях и в условиях повышенного износа.
108
Задачей, на решение которой были направлены предлагаемые способы,
является повышение производительности и интенсификация процесса азотирования,
повышение контактной долговечности и износостойкости упрочненного слоя, а также
расширение функциональных возможностей азотирования.
Задача решается за счет использования следующих способов обработки [81-
83, 89,90,232]:
1) ВИА стальных изделий, в тлеющем разряде с ПК, включающий
азотирование в тлеющем разряде, для осуществления которого проводят
вакуумный нагрев изделий в плазме азота повышенной плотности, формируемой
между деталью и экраном, при температурах 700 - 720ºС предпревращения
ферритно-цементитной смеси в аустенит, когда диффузионная подвижность
элементов резко возрастает, а время азотирования сокращается до 1 - 2 часов;
2) СЗ стальных изделий в тлеющем разряде с ПК, включающий вакуумный
нагрев в плазме повышенной плотности, формируемый между деталью и экраном,
отличающийся тем, что в процессе обработки осуществляют СЗ, состоящую из
вакуумного нагрева в плазме аргона повышенной плотности до температуры
закалки, и последующего охлаждения в потоке охлаждающих газов (либо в масле)
со скоростью, превышающей критическую скорость закалки сталей;
3) КО стальных изделий, включающий ВИА в тлеющем разряде, для
осуществления которого проводят вакуумный нагрев изделий в плазме азота повышенной
плотности, формируемой между деталью и экраном, при температурах 700 - 1000 ºС, а
затем осуществляют поверхностную закалку охлаждением в потоке газов (аргон, гелий),
либо в масле со скоростью, превышающей критическую скорость закалки стали
4) ЛИА стальных изделий в плазме тлеющего разряда с ПК, отличающийся
тем, что посредством технологических экранов в материале создаются участки с
разнородной структурой и с плавным переходом от одного вида к другому.
3.6 Ионное азотирование в тлеющем разряде с магнитным полем
В результате проведенного анализа литературных данных (см. раздел 1.3),

установлено, что ионное азотирование в тлеющем разряде является наиболее
109
эффективным среди прочих процессов азотирования инструмента. Одним из
наиболее важных преимуществ является возможность изменять и контролировать в
широком диапазоне параметры плазмы. Для достижения оптимальной структуры и
свойств нитридных и диффузионных слоев необходимо повышать плотность
ионного тока на подложку Ji и энергию бомбардирующих ионов Ei от единиц до
сотен эВ [249]. Поток ионов вблизи подложки ограничен плотностью плазмы. Задача
повышения плотности ионного тока может быть решена с помощью магнитного
поля (МП), за счет удержания им электронов в зоне обработки, которые в свою
очередь увеличивают число актов ионизации [160]. Однако на сегодняшний день
такие системы не получили широкого распространения из-за отсутствия
информации о влиянии МП на рабочие характеристики тлеющего разряда в области
давлений характерных для ионного азотирования. К сожалению, имеется небольшое
количество информации о пространственных распределениях параметров плазмы,
однако эти исследования проводились в области давлений менее 1 Па [249].
В данном разделе представлены результаты экспериментальных
исследований влияния МП в области давлений 10–80 Па. В целях изучения
процесса формирования и переноса носителей заряда в тлеющем разряде с МП
были проведены зондовые измерения характеристик плазмы, сняты вольтамперные
характеристики, смоделировано распределение МП в прикатодной области
методом конечных элементов, степень адекватности которой оценивали
сравнением с экспериментальными данными.
Создаваемое в пространстве над поверхностью катода МП рассчитывалось с
помощью программы ELCUT, а также экспериментально измерялось с помощью
тесламетра ЭМ4305, который имеет стандартную погрешность измерения  5 %.
Задачи магнитостатики решали в линейной постановке. Источником поля
служили постоянные магниты. При решении этих задач использовали уравнение
Пуассона для векторного магнитного потенциала A (B = rot A, B – вектор магнитной
индукции) [273,274]. В рассматриваемой задачи вектор индукции B всегда лежит в
плоскости модели, а вектор плотности тока j и векторный потенциал A
110
перпендикулярно к ней. Отличны от нуля только компоненты jz и Az. Для
плоскопараллельной задачи уравнение имеет вид:
𝜕 1 𝜕𝐴 𝜕 1 𝜕𝐴 𝜕𝐻𝑐𝑦 𝜕𝐻𝑐𝑥
( )+ ( ) = −𝑗 + ( − ), (3.6)
𝜕𝑥 𝜇𝑦 𝜕𝑥 𝜕𝑦 𝜇𝑥 𝜕𝑦 𝜕𝑥 𝜕𝑦
где μx и μy – компоненты тензора магнитной проницаемости;

Hcx и Hcy – составляющие коэрцитивной силы;
j – плотность тока.
Чтобы решить задачу, нам нужно было ассоциировать имена двух документов:
модели и физических свойств. Для большего удобства, в задаче были описаны два
документа свойств одновременно: один из них, называемый справочник свойств,
содержит свойства часто используемых материалов (библиотека материалов), а
другой документ содержит данные специфичные для данной задачи.
При постановке задачи использовали следующие возможности программы:
 Свойства сред: изотропные материалы с постоянной магнитной проницаемостью,
линейные и нелинейные постоянные магниты, изотропные ферромагнетики,
проводники с током. Кривые намагничивания ферромагнитных материалов.
 Источники поля: распределенные и сосредоточенные токи, однородное внешнее
поле и постоянные магниты.
 Граничные условия: заданное значение потенциала (условие Дирихле), заданные
значения касательной составляющей индукции (условие Неймана), условие
постоянства потенциала (нулевого потока) на поверхностях сверхпроводников.
 Результаты расчета: магнитный потенциал и индукция, напряженность МП, силы,
моменты, энергия МП, потокосцепления, собственные и взаимные индуктивности.
 Специальные возможности: интегральный калькулятор может вычислять
различные интегральные значения на определенных линиях и поверхностях.
Магнитные силы могут быть переданы в задачу расчета механических
напряжений в элементах конструкции (совмещенная магнитоупругая задача).
Использование гибкой архитектуры ELCUT позволило описать и решить
задачу моделирования МП в прикатодной области.
111
Последовательность шагов при решении задачи представлена на схеме (рис.3.11).
Создание новой, пустой задачи
Ввод параметров задачи
Задание геометрии, меток

объектов и построение сетки
Ввод данных о материалах и

граничных условиях
Решение задачи
Просмотр результатов и вычисление

интегральных величин
Рисунок 3.11. Алгоритм решения задачи
Так как расчетная модель была симметрична относительно оси Z, то на рис. 3.12
изображена только левая половина рассчитанной картины распределения МП над
поверхностью катода. Следует отметить, что вблизи катода и на оси системы
наложение дополнительного МП ведет, во-первых, к понижению потенциала плазмы
за счет магнитного удержания электронов, во-вторых, к образованию радиальной
потенциальной ямы для ионов, препятствующей их уходу в радиальном направлении.
Рисунок 3.12. Конфигурация МП над поверхностью катода

112
На рис. 3.13 представлено радиальное распределение индукции МП,
объясняющее характерное поведение тлеющего разряда с МП рис. 3.14. Область,
распространения электронов, с одной стороны ограничена относительно высоким
отрицательным потенциалом на подложке ( ̴ 400–500 В), а с другой – относительно
сильным МП. Таким образом, электроны вынуждены совершать осцилляции вдоль
силовых линий МП, что обеспечивает более эффективное использование их
энергии [3,6-8,16,26-28].
Рисунок 3.13. Радиальное распределение индукции МП на расстоянии 6 мм от

катода: 1 – измеренное с помощью тесламетра ЭМ4305 (экспериментальное);
2 – смоделированное с помощью ELCUT методом конечных элементов (расчетное)
Рисунок 3.14. Свечение прикатодной области тлеющего разряда с МП при

давлении 80 Па в смеси газов азота, аргона и ацетилена в массовом соотношении
(N2 75% + Ar 20% + C2H2 5%) при Uразр.= 420 В, Iразр.= 1,8 А
113
Электроны, покидающие магнитную ловушку у поверхности катода,
двигаются к аноду для того, чтобы сбалансировать поток ионов на катод и
поддерживать устойчивое горение разряда. В большинстве случаев
транспортировку электронов в объемной плазме описывают с помощью
классической модели диффузии, которая подразумевает наличие градиента
потенциала плазмы для поддержания баланса между потоками электронов и ионов
[249,264,265]. Тогда поток электронов в направлении, параллельном МП,
описывается выражением:
ne
ez    e ne E z  De , (3.7)
z
где μе и Dе – подвижность и коэффициент диффузии электронов;
ne – концентрация электронов;
Ez – аксиальное электрическое поле ( E z   V p z );
Vp – потенциал плазмы.
Помимо градиента потенциала и градиента концентрации электронов
существует еще одна сила, обуславливающая аксиальное движение электронов в
сторону подложки. Это аксиально – расходящееся МП. В таком поле на электроны
действует сила, описываемая выражением [95]:
1 2m v 2
Bz
Fz   e n
, (3.8)
Bz z
где vn – компонента скорости электрона, перпендикулярная МП;

Сила Fz – выталкивает электроны в область более слабого поля. Однако
электроны при этом не набирают энергию, потому что магнитное поле не
совершает работы. Наложение внешнего МП за счет уменьшения ларморовского
радиуса электронов, а, следовательно, более эффективного удержания электронов
в объеме, приводит к снижению потенциала плазмы в целом [35,41-44,249]. При
достаточной величине индукции МП перемещение электронов поперек силовых
линий поля на расстояние порядка ларморовского радиуса возможно лишь
благодаря их многократным упругим столкновениям. Поэтому для эффективного
удержания электронов и предотвращения их ухода на стенки камеры необходимо,
114
чтобы ларморовский радиус электронов был много меньше характерных размеров
камеры. В этом случае электроны оказываются "привязанными" к МП, а движение
ионов определяется электрическим полем, создаваемым локальным разделением
зарядов в плазме [60,111,223,224].
Таким образом, большое количество ионов в прикатодной области в
тлеющем разряде с МП вызвано необходимостью поддержания
квазинейтральности плазмы в условиях направленного движения электронов в
сторону анода, которое обусловлено градиентом потенциала и концентрации
электронов, а также аксиально – расходящимся МП.
3.7 Вольтамперные характеристики тлеющего разряда с магнитным

полем.
Одной из основных характеристик тлеющего разряда является

вольтамперная характеристика (ВАХ). Существенное влияние на нее оказывают
рабочее давление. Ток тлеющего разряда зависит от многих факторов, например от
рабочего напряжения, давления рабочего газа, индукции МП, конфигурации
магнитной системы [116, 160,244].
На рис. 3.15 представлены ВАХ разряда, полученные при различных
давлениях аргона в камере. С уменьшением давления ВАХ сдвигаются в область
больших рабочих напряжений, за счет уменьшения концентрации заряженных
частиц. Увеличение времени пребывания электронов в плазме тлеющего разряда
при размещении катода в МП способствует смещению ВАХ вверх (рис. 3.15). ВАХ
тлеющего разряда с МП, в отличие от традиционной схемы, имеет более крутой
подъем, что указывает на эффективность процессов ионизации.
115
Рисунок 3.15. ВАХ тлеющего разряда при различных давлениях, режим

импульсный 50 кГц, 80%, смесь N2 75% + Ar 20% + C2H2 5% : а – 100 Па (1 – в МП;
2 – без МП); б – 5 Па (1 – без МП; 2 – с МП) и 15 Па (3 – без МП; 4 – с МП)
В диапазоне давлений 5–15 Па исследовалось влияние МП на ВАХ тлеющего

разряда, в результате было установлено, что различие в разрядном токе при одном
и том же давлении в вакуумной камере наиболее заметно после приложения
некоторого порогового значения разносности потенциалов на электроды (400 В),
116
которое с увеличением давления смещается в область малых рабочих напряжений.
Подобное поведение разряда связанно с переходом его из нормального тлеющего
разряда в аномальный.
Величина разрядного тока зависит также от режима работы источника.
Разрядное напряжение в частотном режиме ниже, чем в постоянном при той же
средней мощности. Известно [77], что разряд постоянного тока основан на эмиссии
вторичных электронов с катода под действием ионной бомбардировки. Поэтому,
для поддержания разряда необходимы большие напряжения на катоде, так как
электронная эмиссия увеличивается почти линейно с увеличением энергии ионов.
С другой стороны, в частотном режиме плазма генерируется главным образом за
счет ионизации электронами, осциллирующими в объеме плазмы. Этот вид
ионизации является более эффективным по сравнению с ионизацией вторичными
электронами и приводит к более низким разрядным напряжениям (рис. 3.16).
Рисунок 3.16. ВАХ тлеющего разряда с МП при давлении 80 Па в смеси

N2 75% + Ar 20% + C2H2 5%: 1 – в импульсном режиме (50 кГц, 80%);
2 – в непрерывном режиме
Известно [54], что зависимость тока тлеющего разряда от давления,

характеризующая мощность разряда, является важным управляющим фактором
117
ионной ХТО. Анализ зависимости рис. 3.17 показывает, что использование МП
способствует увеличению тока разряда в 1,5 раза при давлении 44 Па, вследствие
увеличения числа активных ионов, участвующих в процессе адсорбции на
поверхности металла. При давлении в вакуумной камере 100 Па наложение МП
способствует увеличению тока разряда в 2 раза, однако следует отметить, что при
этом уменьшается кинетическая энергия активных ионов из-за уменьшения длины
свободного пробега в результате возможного столкновения.
Рисунок 3.17. Зависимость тока тлеющего разряда от давления в импульсном

режиме при разности потенциалов 400 В в смеси N2 75% + Ar 20% + C2H2 5% : (50 кГц,
80%): 1 – без МП; 2 – с МП.
3.8 Распределение параметров плазмы в тлеющем разряде с магнитным

полем
Результаты измерения плотности ионного тока насыщения на зонд и

радиального распределения плавающего потенциала, проводимого на различных
расстояниях от катода, приведены на рис. 3.18. Мощность разряда поддерживалась
постоянной и составляла 0,9 кВт. Электроны перемещаются совместно с ионами
из-за необходимости поддержания квазинейтральности плазмы [223,224].
Визуально увеличение тока в тлеющем разряде с МП сопровождается увеличением
светящейся области на катоде в виде тора (рис. 3.14).
118
Установлено, что наибольшие значения плавающего потенциала
наблюдаются вблизи катода – 6 мм над поверхностью. По мере удаления от катода
и оси системы значения плавающего потенциала уменьшаются до единиц вольт.
Плавающий потенциал определяется потоком ионов и электронов на зонд, который
в свою очередь зависит от плотности и энергии соответствующих частиц.
Поскольку плазма считается квазинейтральной, а подвижность электронов
значительно превышает подвижность ионов, то плавающий потенциал в основном
зависит от энергии электронов рис.3.18.
Рисунок 3.18 Радиальные распределения плавающего потенциала на разных

расстояниях от катода: 1 – L = 6 мм; 2 – L = 10 мм (PAr = 44 Па, Iр = 1,5 А, мощность
разряда – 0,9 кВт)
Так в работе [249] это было подтверждено измерением пространственных

распределений плавающего потенциала и температуры электронов
цилиндрическим Ленгмюровским зондом. Области с высокой температурой
электронов соответствуют областям с высоким плавающим потенциалом.
Максимальная температура электронов и концентрация заряженных частиц
(рис. 3.19) наблюдается вблизи магнитной ловушки у поверхности катода,
затем температура уменьшается по мере удаления от катода. Исходя из этого,
можно предположить, что в нашем случае температура электронов
максимальна вблизи катода и уменьшается в области слабого МП.
119
Рисунок 3.19. Радиальные распределения плотности ионного тока.

Расстояние от катода: 1 – L = 6 мм; 2 – L = 10 мм; 3 – L = 22 мм
В результате исследования зависимости напряжения зажигания тлеющего

разряда от давления в вакуумной камере, было установлено, что МП при давлении
P>20 Па практически не влияет на условия возникновения разряда рис.3.20.
с наложением магнитного поля

без магнитного поля
Рисунок 3.20 Зависимость напряжения зажигания тлеющего разряда от

давления в вакуумной камере (газ Ar, расстояние между электродами 300 мм)
120
3.9 Способы ускорения процесса ионного азотирования в тлеющем
разряде низкого давления с магнитным полем
В рамках диссертационной работы были разработаны новые способы

химико-термической обработки, такие как азотирование в тлеющем разряде с МП
[78,79, 201].
Данные способы могут быть использованы в машиностроении и других
областях промышленности, для азотирования деталей и инструмента из
сложнолегированных сталей, работающих при повышенных температурах,
высоких контактных напряжениях и в условиях повышенного износа [78,79, 201].
Задачей, на решение которой были направлены предлагаемые способы,
является повышение производительности и интенсификация процесса
азотирования, повышение контактной долговечности и износостойкости
упрочненного слоя, а также расширение функциональных возможностей данного
метода, за счет азотирования в тлеющем разряде с МП.
Задача решается за счет использования следующих способов обработки:
1) Способ обработки стальных изделий, включающий азотирование в
тлеющем разряде и закалку, для осуществления которого проводят вакуумный
нагрев изделий в плазме азота повышенной плотности, отличающийся тем, что
плазму азота повышенной плотности формируют в кольцевой области вращения
электронов, захваченных МП, силовые линии которого параллельны
обрабатываемой поверхности, при этом электронное облако максимально
локализовано у детали-катода [78].
2) Способ обработки стальных изделий, включающий азотирование в тлеющем
разряде, для осуществления которого проводят вакуумный нагрев изделий в плазме
азота повышенной плотности, отличающийся тем, что плазму азота повышенной
плотности формируют в тороидальной области вращения электронов, которую
создают скрещенными электрическим и магнитным полями [79].
3) Способ обработки стальных изделий, включающий азотирование в
тлеющем разряде, для осуществления которого проводят вакуумный нагрев
изделий в плазме азота повышенной плотности, отличающийся тем, что плазму
121
азота повышенной плотности формируют в прикатодной области пучком
сгенерированных и ускоренных вспомогательным анодом электронов, при этом
электроны, вылетающие из электронной пушки, направляют к положительно
заряженной пластине и к вспомогательному аноду, создавая электронный газовый
поток, который обеспечивает высокую скорость столкновений электронов с
нейтральными частицами и поддерживает существование плазмы, а скоростью
движения электронов управляют посредством вспомогательного анода,
подключенного к собственному источнику питания [201].
При выборе инструментальной стали для штампов холодного
деформирования, которую после изготовления инструмента предполагается
подвергать ионному азотированию, необходимо учитывать режим
предшествующей термической обработки, обеспечивающей вторичное твердение
этой стали. Как правило, для штампов холодного деформирования используют
стали, обрабатываемые на высокую твердость (60…69 HRC). К этим требования
подходят быстрорежущие стали, к примеру Р6М5. Обработку на вторичную
твердость такой стали осуществляют для повышении их теплостойкости. Для этого
повышают температуру закалки, что обеспечивает невысокую твердость (48-
54 HRC) из-за большого остаточного аустенита (до 50%), а затем с целью
повышения твердости (до 60…69 HRC) осуществляют неоднократный отпуск при
500…550ºС. Такую обработку применяют в основном для штампов, работающих
при повышенных ударных нагрузках [106]. В связи с этим ионное азотирование
весьма перспективно для повышения теплостойкости, сопротивлению термической
и термомеханической усталости.
Ионное азотирование позволяет сохранить высокую прочность сердцевины
быстрорежущей стали. Полученный при этом твердый, но достаточной вязкий
поверхностный слой существенно повышает стойкость указанного инструмента, не
схватываясь и не привариваясь к обрабатываемой поверхности, что
свидетельствует о весьма высоком сопротивлении адгезивному изнашиванию [54].
Обеспечивая важнейшее условие работоспособности инструмента - высокую
износостойкость его поверхности, режимы ионного азотирования следует
122
подбирать и с учетом сохранения других свойств материала. Азотированный
инструмент должен не только изначально обладать высокой прочностью, но и
сохранять ее при повышенных температурах, т.е. иметь необходимую
теплостойкость, которая определяется структурной стабильностью, как
азотированного слоя, так и самого упрочняемого материала. Прочность же
сердцевины определяется температурой предшествующего азотированию
высокого отпуска, и важно после азотирования сохранить эту прочность [169].
Таким образом, температура ионного азотирования будет определятся, как уже
отмечалось выше, предшествующей термообработкой и будет составлять ̴ 500ºС.
Исходя из необходимой температуры в 500ºС, можно подобрать необходимое давление
в вакуумной камере, согласно (рис. 5.1а) оно составляет порядка 40…50 Па. При этом
разность потенциалов будет составлять более 380 В (рис.5.1).
Известно [54], что величина диффузионного слоя, который обеспечивает
высокую стабильность формы и незначительный прирост размера инструмента, что
позволяет его использовать без последующей доработки, составляет порядка 100
мкм. В условиях ионного азотирования стали Р6М5 с наложением МП такой слой
можно получить за 4 часа (рис. 5.2). Традиционное азотирование обеспечивает
заданную толщину за время порядка 8-9 часов [175]. Таким образом, время ионного
азотирования стали Р6М5 в тлеющем разряде с МП, обеспечивающее необходимую
толщину упрочненного слоя, составляет 4 часа.
Выводы по главе
1. Разработаны способы высокотемпературного ионного азотирования,
светлой закалки и комбинированной обработки (высокотемпературного ионного
азотирования с последующей светлой закалкой) в плазме тлеющего разряда с ПК,
которые позволяют проводить фазовое модифицирование поверхности
конструкционных и инструментальных сталей. Для осуществления процесса
насыщения проводят нагрев изделий в плазме азота повышенной плотности,
формируемой между деталью и технологическим экраном, при температурах 700 -
720ºС предпревращения ферритно-цементитной смеси в аустенит, когда
123
диффузионная подвижность элементов резко возрастает, а время азотирования
сокращается до 1 - 2 часов
2. Установлено, что ток разряда при ионном азотировании в тлеющем разряде
с ПК в несколько раз больше тока тлеющего разряда без ПК. Применение разряда
с ПК при ионном азотировании позволяет увеличить температуру и скорость
нагрева поверхности по сравнению с ионным азотированием в тлеющем разряде с
плоским катодом.
3. Установлено, что для поддержания рабочей температуры детали 550 ºС в
процессе ионного азотирования с ПК давление в рабочей камере должно составлять
60 Па. При давлении ниже 60 Па энергия ионов рабочего газа недостаточна для
нагрева обрабатываемой детали до рабочей температуры, при давлении выше 60 Па
существует опасность перегрева деталей и появлении на их поверхности
оплавленных микрократеров.
4. Установлено, что в катодной полости наблюдается пик концентрации
насыщающего элемента в результате осцилляции электронов и увеличения актов
ионизации. Проведенные зондовые исследования показали, что на участках
проявления ПК происходит увеличение актов ионизации и как следствие
увеличение градиента концентрации насыщающего элемента на поверхности
материала, что приводит к ускорению процесса диффузионного насыщения при
ионном азотировании с ПК.
5. Разработаны способы ионного азотирования в плазме тлеющего разряда с МП,
которые позволяют проводить фазовое модифицирование поверхности
инструментальных сталей. Для осуществления ионного азотирования с МП проводят
нагрев изделий в плазме азота повышенной плотности, отличающиеся тем, что плазму
формируют в тороидальной области вращения электронов, которую создают
скрещенными электрическим и магнитным полями.
6. Получены пространственные распределения характеристик плазмы в тлеющем
разряде с МП. Показано, что для увеличения плотности плазмы в области катода
необходимо создать в пространстве над ним МП достаточной величины для эффективного
удержания электронов и предотвращения их ухода. При этом характеристики плазмы в
124
пространстве над катодом распределяются неравномерно и зависят от давления. Область
с наибольшей плотностью ионного тока находится на расстоянии 6 мм от поверхности
катода и 40 мм от оси магнитной системы при давлении в вакуумной камере 44 Па.
7. ВАХ тлеющего разряда с МП, в отличие от традиционной схемы, имеет
более крутой подъем, что указывает на эффективность процессов ионизации.
8. Установлено, что величина разрядного тока зависит также от режима
работы источника. Разрядное напряжение в частотном режиме ниже, чем в
постоянном при той же средней мощности, вследствие того, что в частотном
режиме плазма генерируется главным образом за счет ионизации
осциллирующими в объеме плазмы электронами. Этот вид ионизации является
более эффективным по сравнению с ионизацией вторичными электронами, что
приводит к более низким разрядным напряжениям.
9. В результате исследования зависимости напряжения зажигания тлеющего
разряда с МП от давления в вакуумной камере было установлено, что при высоких
давлениях 20 - 80 Па – МП не влияет на условия возникновения разряда.
125
4. ИССЛЕДОВАНИЕ СТРУКТУРНО-ФАЗОВЫХ ПРЕВРАЩЕНИЙ И
СВОЙСТВ ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ КОНСТРУКЦИОННЫХ И
ИНСТРУМЕНТАЛЬНЫХ СТАЛЯХ, ПРОИСХОДЯЩИХ ПРИ
ВОЗДЕЙСТВИИ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ С
ПОЛЫМ КАТОДОМ
4.1 Исследование влияния азотирования, высокотемпературного
азотирования и комбинированной обработки в тлеющем разряде низкого
давления с полым катодом на структуру поверхностных слоев
конструкционных и инструментальных сталей
Для выявления структуры азотированного слоя конструкционных и

инструментальных сталей были проведены микроструктурные исследования с
помощью светового микроскопа (СМ), а для более детального исследования
структуры образцов применялся растровый электронный микроскоп (РЭМ).
На рисунках 4.2 – 4.11 показана структура сталей 30ХГСА, 38Х2МЮА, Х12
подвергнутых азотированию, высокотемпературному ионному азотированию
(ВИА) и комбинированной обработке (КО) в тлеющем разряде с ПК.
Рисунок 4.2. 30ХГСА – Рисунок 4.3. 30ХГСА – ВИА в

азотирование в тлеющем разряде с тлеющем разряде с ПК при Т=700°С,
ПК при Т=550°С, t=3часа, Р=150 t=1час, Р=200 Па, I=0,5 А, U=450 В
Па, I=0,4 А, U=400 В
126
Рисунок 4.4. 30ХГСА - СЗ от Т=950°С, Р=200 Па, I=0,6 А, U=500 В
а) световой микроскоп х200 б) РЭМ х2500
Рисунок 4.5. 38Х2МЮА - азотирование в тлеющем разряде с ПК при

Т=550°С, t=3часа, Р=150 Па, I=0,4 А, U=400 В
Рисунок 4.6. 38Х2МЮА - ВИА в Рисунок 4.7. 38Х2МЮА – КО

тлеющем разряде с ПК при Режимы азотирования: Т=700°С,
Т=700°С, t=1час, Р=200 Па, I=0,5 t=1час, Р=200 Па, I=0,5 А, U=450 В
А, U=450 В Режимы светлой закалки: Т=930°С,
Р=200 Па, I=0,6 А, U=500В
127
а) РЭМ х1000 б) РЭМ х2500
в) РЭМ х17000
Рисунок 4.8. 38Х2МЮА – КО

Режимы азотирования: Т=700°С, t=1час, Р=200 Па, I=0,5 А, U=450 В
Режимы светлой закалки: Т=930°С, Р=200 Па, I=0,6 А, U=500В
Рисунок 4.9. Х12 - азотирование в Рисунок 4.10. Х12- ВИА в тлеющем

тлеющем разряде с ПК при разряде с ПК при Т=700°С, t=1час,
Т=550°С, t=3часа, Р=150 Па, Р=200 Па, I=0,5 А, U=450 В
I=0,4 А, U=400 В
128
а) РЭМ х1000 б) РЭМ х10000

Рисунок 4.11. Х12- ВИА в тлеющем разряде с ПК при Т=700°С,
t=1час, Р=200 Па, I=0,5 А, U=450 В
Анализ структуры сталей прошедших азотирование в тлеющем разряде с ПК при

Т=500°С (рис. 4.2, 4.5, 4.9) показывает наличие карбонитридной и нитридной зоны,
состоящей из нитридов основного металла и легирующих элементов (к примеру (Fe,
Cr)2-3N) и карбонитридных фаз (Fe(Мe)2-3(N,С), Fe(Мe)4(N,С)), а также α-фазу
насыщенную азотом. На рисунках видно, что структура карбонитридной и нитридной
зоны ультрамелкозернистая. Переход от азотированного слоя к нижележащим слоям
плавный, что является одним из основных требований к микроструктуре
азотированной стали. Толщина диффузионной зоны изменяется от 50 до 200 мкм.
Структура закаленной стали 30ХГСА – мартенсит, остаточный аустенит и
карбиды (рис. 4.4). Отсутствует игольчатость, которая служит признаком
перегрева. Наблюдаются светлые поля – смесь мартенсита и аустенита, эти участки
более легированы вследствие структурной неоднородности стали.
В отличии от светлой закалки в результате КО на поверхности сталей образуется
карбонитридная γ'-фаза (Fe(M)4(N,C) далее расположены г -фаза и α-фаза
пересыщенная азотом. Поверхностный слой с расположенной под ним развитой
мартенситной зоной, предотвращающей продавливание слоя γ'-фазы. Наряду с
частицами сферической формы γ'-фазы сложного состава в диффузионной зоне
присутствуют более мелкие частицы игольчатой формы, по видимому, специальных
карбидов легирующих элементов типа МеN. Морфологический тип мартенситных
кристаллов стали 38Х2МЮА - пакетный (рис.4.8), кристаллы пакетного мартенсита
имеют форму тонких (0,1 - 0,2 мкм) пластин (реек).
129
Сталь Х12 - в исходном состоянии состоит из ферритной основы и большого
количества карбидов (рис. 4.9). Феррит представляет собой твердый раствор хрома
в α-железе.
Карбидной фазой в азотированной стали Х12 (рис. 4.9), по данным
рентгеноструктурного анализа, является гексагональный карбид типа Сr7С3. (его
химический состав: 9,2% С, 47,8% Сr, 2,5% V и 40,5% Fe при периодах решетки а
= 14,010 Ǻ и с= 4,532 Ǻ).
Увеличение температуры обработки ведет к растворению хромистых
карбидов и уменьшению избыточных, не перешедших в раствор карбидов (рис.
4.11). Это приводит к изменению состава твердых растворов (аустенита,
мартенсита), фиксируемых к примеру в результате светлой закалки, т. е. приводит
к увеличению содержания в растворе хрома и углерода.
После ионного азотирования при 550°С на всех исследованных сплавах
получается упрочненный слой, состоящий из двух зон (рис. 4.2, 4.5, 4.9): зоны
соединений (белый слой, состоящий из субмикроскопических нитридов,
неразличимых при металлографическом анализе) и диффузионной зоны. После
насыщения при 700°С белый слой отсутствует и диффузионная зона характеризуется
большей однородностью (рис. 4.3, 4.6, 4.10). По данным рентгеноструктурного
анализа, на поверхности азотированной при 700°С стали присутствует γ'-фаза типа (Fe,
Me)4N, а на поверхности азотированной при температуре 550°С обнаружена помимо
γ'-фазы ε-фаза типа (Fe, Me)2-3N . В первом случае интенсивность рентгеновских
линий, соответствующих α-твердому раствору в несколько раз выше, чем во втором,
и превышает интенсивность линий, соответствующих γ'-фазе. Следовательно,
благодаря изменению технологических факторов насыщения (не только температуры,
но и давления) можно регулировать получаемые слои по строению и фазовому составу
и оптимизировать свойства азотируемых деталей и инструментов.
Инструменты для горячей обработки давлением и прессформы для литья под
давлением требуют получения азотированного слоя с тонкой поверхностной
нитридной зоной (состоящей из γ'-фазы), антиадгезионные и прочностные свойства
которой способствуют эксплуатационной надежности инструмента.
130
Как показали проведенные исследования, режимы ионного азотирования
оказывают существенное влияние на структуру исследуемых сталей. При заданной
толщине азотированного слоя (~0,1 мм) толщина нитридной зоны, глубина
залегания и максимальная толщина нитридных прожилок по границам зерен
увеличиваются с ростом температуры насыщения, вследствие термически и
радиационно-стимулированной диффузии атомарного азота вглубь металла.

давления с полым катодом на фазовый состав поверхностных слоев
Детальное исследование фазового состава поверхности и зоны внутреннего

азотирования проводили с использованием рентгеноструктурного анализа.
Эксперименты проводились на образцах из сталей 30ХГСА, 38Х2МЮА и
Х12 в качестве рабочего газа использовалась смесь азота, аргона и ацетилена (N2
50%, Ar 45%, C2H2 5%). Предварительная ионная чистка производилась при Р=50
Па, I=0,2 А, U=700 В, в процессе катодного распыления температура поверхности
не превышала Т=250°С. Время очистки составило 15 минут.
Образцы подвергались:
- ионному азотированию в тлеющем разряде с ПК, при Р=150 Па, I=0,4 А,
U=400 В, температура поверхности обрабатываемых образцов составила Т=550°С.
Обработка проводилась в течении t=3 часа.
- ВИА в тлеющем разряде с ПК, при Р=200 Па, I=0,5 А, U=450 В, температура
проводилась в течении t=1час.
- комбинированной обработке, состоящей из ВИА в тлеющем разряде с ПК и
последующей светлой закалке, за один технологический цикл, при Р=200 Па, I=0,6 А,
U=550 В, температура нагрева под закалку изменялась в диапазоне Т=940 - 1030°С.
Нагрев образца проводился в течении t=15 мин, с последующим охлаждением в масле.
На рис. 4.12 – 4.19 показаны дифрактограммы образцов, прошедших
131
высокотемпературное структурно-фазовое модифицирование в тлеющем разряде с ПК.
На поверхности образцов наблюдается несколько нитридных фаз, количество которых
значительно зависит от температуры азотирования и состава исследуемых сталей.
а)
Fe2-3N, Fe2-3(N,C)
Fe4N, Fe4(N,C)
Fe
Cr2N, Cr2(C,N)
Cr3(Cх,Ny)
б)
Рисунок 4.12. Дифрактограммы образца из стали 30ХГСА (а – в исходном
состоянии, б – после ионного азотирования в тлеющем разряде с ПК)
132
Fe
FeNi
а)
Fe3N, Fe3(N,C)
Fe2N, Fe2(N,C)
Fe
CrN, Cr(C,N)
Cr3С2
Fe4N, Fe4(N,C)
б)
Рисунок 4.13. Дифрактограммы образца из стали 38Х2МЮА (а – в исходном
133
Fe
Cr
(Cr,Fe) 7С3
а)
Cr2N, Cr2(C,N)
CrN, Cr(C,N)
Fe
Fe4N, Fe4(N,C)
Fe2-3N, Fe2-3(N,C)
Cr7С3
б)
Рисунок 4.14. Дифрактограммы образца из стали Х12 (а – в исходном
На дифрактограммах (рис. 4.12 - 4.14) поверхности образцов из сталей

30ХГСА, 38Х2МЮА и Х12 после ионного азотирования в тлеющем разряде с ПК
134
при температуре Т=550°С, обнаружены рефлексы ε-фазы Fe2-3(N), Fe2-3(N,C), γ'-
фазы Fe4N, Fe4(N,C), а также фазы состоящие из нитридов и карбонитридов хрома
(CrN, Cr(N,C), Cr2N, Cr2(N,C)). Легирующие элементы такие как Cr, Mn растворяясь
в γ'-фазе уменьшают в ней содержание азота и толщину. Вследствие обработки в
смеси азота, аргона и ацетилена (N2 50%, Ar 45%, C2H2 5%), на поверхности
выявлены рефлексы карбонитридов Fe4(N,C), Cr(N,C), Cr2(N,C), а также карбидов
хрома и железа (Cr7С3, (Cr,Fe)7С3, Cr3С2), что также свидетельствует о интенсивной
диффузии углерода из основы к поверхности и обогащения γ'-фазы углеродом.
Cr2N, Cr2(N,C)
Fe4N, Fe4(N,C)
Fe
Fe(Cr)3O4
CrN, Cr(C,N)
Рисунок 4.15. Дифрактограмма образца из стали 30ХГСА после ВИА в

тлеющем разряде с ПК
135
Cr2N, Cr2(N,C)
Fe4N, Fe4(N,C)
Fe
Fe3С, Fe3(CN)
Fe(Cr)3O4
Рисунок 4.16. Дифрактограмма образца из стали 38Х2МЮА после ВИА в

тлеющем разряде с ПК
Cr2N, Cr2(C,N)
CrN, Cr(C,N)
Fe
Fe4N, Fe4(N,C)
Cr3С2
Fe(Cr)3О4
Рисунок 4.17. Дифрактограмма образца из стали Х12 после ВИА в тлеющем

разряде с ПК
На дифрактограммах (рис. 4.15 - 4.17) поверхности образцов из сталей 30ХГСА,

38Х2МЮА и Х12 после ВИА в тлеющем разряде с ПК при температуре Т=700°С,
обнаружены рефлексы γ'-фазы Fe4N, Fe4(N,C), а также фазы состоящие из нитридов и
136
карбонитридов хрома (CrN, Cr(N,C), Cr2N, Cr2(N,C)). В смешанной азотно-углеродной
атмосфере при температурах свыше 650°С расширяется область гомогенности
карбонитридной γ'-фазы Fe4N, Fe4(N,C) и выклинивается область существования
нитридной и карбонитридной ε-фазы Fe2-3(N), Fe2-3(N,C), которая растворяя углерод,
переходит в карбонитрид Fe4(N,C). Из литературных данных [54,169] известно, что
присутствие ε -фазы повышает поверхностную хрупкость и снижает износостойкость,
а также обладает существенно низкой теплостойкостью по сравнению с γ'-фазой, что
к примеру не допустимо для инструмента горячего деформирования.
На дифрактограммах поверхности образцов после ВИА обнаружены также
рефлексы оксида (Fe, Me)3O4 с кристаллической решеткой шпинели, в которой
содержатся легирующие элементы. Из литературных данных [51,54,55] известно, что
оксинитридные зоны более пластичны, чем оксидные пленки Fe2О3, и в то же время
обладают близкими к последним антиадгезионными свойствами.
Поскольку сродство к кислороду у всех металлов без исключения больше
сродства к азоту или углероду, то неизбежны обменные реакции, т.е. кислород
частично заменит азот и углерод в диффузионном слое. И как следствие при этом
образуются оксидные структуры.
Формирование оксинитридных фаз, не склонных к схватыванию, очень важно
для работоспособности узла трения в начальный период износа, когда локальные
давления чрезвычайно велики и больше, чем при установившемся износе, а также
для инструмента работающего в условиях горячего деформирования деталей из
титановых сплавов и жаропрочных никелевых сплавов.
На дифрактограммах (рис. 4.18 - 4.19) поверхности образцов из сталей
30ХГСА, 38Х2МЮА и Х12 после ВИА в тлеющем разряде с ПК и последующей
светлой закалкой, обнаружены рефлексы γ'-фазы Fe4N, Fe4(N,C), а также фазы
состоящие из нитридов и карбонитридов хрома (Cr2N, Cr2(N,C)). Вследствие
нагрева в смеси азота, аргона и ацетилена (N2 50%, Ar 45%, C2H2 5%), на
поверхности выявлены рефлексы карбонитридов Fe4(N,C), Cr2(N,C) и карбидов
хрома (Cr3С2), а также рефлексы мартенсита (α-Fe(C)) и остаточного аустенита γ-
Fe(C), γ-Fe(N,C). Из литературных данных [51,54,55] известно, что диффузионный
137
слой с расположенной под ним развитой мартенситной зоной, предотвращающей
продавливание γ'-фазы, обладает высокой износостойкостью.
Fe4N, Fe4(N,C)
Cr2N, Cr2(N,C)
Fe
γ-Fe(C), γ-Fe(N,C)
α-Fe(C)
Рисунок 4.18. Дифрактограмма образца из стали 38Х2МЮА после ВИА в

тлеющем разряде с ПК и последующей светлой закалкой
Cr2N, Cr2(C,N)
γ-Fe(C), γ-Fe(N,C)
Fe
Fe4N, Fe4(N,C)
Cr3С2
FeCr
α-FeC
Рисунок 4.19. Дифрактограмма образца из стали Х12 после ВИА в тлеющем

разряде с ПК и последующей светлой закалкой
138
давления с полым катодом на величину напряжений и средний размер
кристаллитов поверхностных слоев конструкционных и инструментальных
сталей
Используемые в настоящей работе метод рентгеноструктурного анализа

также позволил проанализировать следующие важные параметры структуры
исследуемых образцов: определение кристаллической структуры (типа
элементарной ячейки); точное определение параметров элементарной ячейки,
микронапряжений; определение количественного фазового состава исследуемого
материала; определение параметров тонкой кристаллической структуры
(микроискажений, размеров областей когерентного рассеяния) и среднего размера
кристаллитов.
Данные приведены в таблицах 4.1 – 4.8.
139
Таблица 4.1. Х12 – ионное азотирование в тлеющем разряде с ПК, Т=550°С, t=3часа, Р=150 Па, I=0,4 А, U=400 В
Сингония и период Область

Объемная Остаточная Величина Средний размер
Фаза кристаллической когерентного
доля фазы, деформация, напряжения кристаллитов
(формула) решетки рассеяния
V, % ∆d/d σ, Па DHKL, мкм
a, b, c ОКР, нм
Cubic
α-Fe (исходн.) 3,048
a: 2,856
Cubic
α-Fe 36,76 3,8х10-3 22,5 7,6 х108 3,048
a:2,858
Cubic
CrN 14,11 2,2 х10-3 23,0 4,4 х108 0,378
a: 4,1588
Hexagonal
Fe3N a:4,6919 13,75 7,9 х10-3 19,1 15,8 х108 0,215
c:4,3670
Cubic
Fe4N a:3,770 11,84 8,2 х10-3 15,3 16,4 х108 0,195
Hexagonal
Cr7C3 a:14,010 13,44 1,9 х10-3 18,1 3,8 х108 1,271
c:4,532
140
Таблица 4.2. Х12- ВИА в тлеющем разряде с ПК при Т=700°С, t=1час, Р=200 Па, I=0,5 А, U=450 В

Cubic
α-Fe a:2,859 35,16 3,12х10-3 22,16 6,24 х108 3,048
Cubic
CrN 11,04 0,6 х10-3 22,51 1,2 х108 0,381
a: 4,1612
Trigonal
Cr2N a:4,752 12,13 1,7 х10-3 24,70 3,4 х108 0,393
c:4,429
Cubic
Fe4N a:3,800 14,21 7,5 х10-3 11,60 15 х108 0,204
Orthorhombic
a:5,5329
Cr3C2 17,45 2,8 х10-3 42,19 5,6 х108 1,103
b: 2,8290
c:11,4719
141
Таблица 4.3. Х12- КО: режимы ионного азотирования в тлеющем разряде с ПК: Т=700°С, t=1час, Р=200 Па, I=0,5
А,U=450В; режимы светлой закалки: Т=900°С, Р=200 Па, I=0,6 А, U=500В

Tetragonal
a:2,854
α-FeС 31,2 7,9х10-3 18,1 15,8 х108 0,843
c:2,983
Cubic
CrN 10,8 3,5 х10-3 24,3 7,0 х108 0,333
a: 4,1451
Trigonal
Cr2N a:4,734 13,1 4,8 х10-3 23,2 9,6 х108 0,351
c:4,411
Cubic
Fe4N a:3,750 11,5 8,5 х10-3 16,1 17 х108 0,121
Orthorhombic
a:5,5171
Cr3C2 23,3 3,1 х10-3 43,0 6,2 х108 1,731
b: 2,8014
c:11,4610
142
Таблица 4.4. 38Х2МЮА - ионное азотирование в тл. разряде с ПК, Т=550°С, t=3часа, Р=150 Па, I=0,4 А, U=400 В

Cubic
α-Fe (исходн.) 3,214
a: 2,8701
Cubic
α-Fe 32,82 3,6х10-3 20,4 7,2 х108 3,214
a:2,8716
Cubic
CrN 11,7 2,3 х10-3 21,75 4,6 х108 0,341
a: 4,1571
Trigonal
Fe2N a:4,787 13,4 3,7 х10-3 19,8 7,4 х108 0,194
c:4,418
Hexagonal
Fe3N a:4,6912 11,88 6,9 х10-3 20,8 13,8 х108 0,181
c:4,366
Cubic
Fe4N 10,1 7,2 х10-3 16,4 14,4 х108 0,174
a:3,768
143
Таблица 4.5. 38Х2МЮА ВИА в тлеющем разряде с ПК при Т=700°С, t=1час, Р=200 Па, I=0,5 А, U=450 В

Cubic
α-Fe a:2,8717 34,2 3,2х10-3 19,3 6,4 х108 3,214
Trigonal
Cr2N a:4,750 17,1 4,8 х10-3 22,4 9,6 х108 0,312
c:4,426
Cubic
Fe4N a:3,790 19,4 5,1 х10-3 15,4 10,2 х108 0,192
Orthorhombic
a:5,089
Fe3C b: 6,744 19,2 7,2 х10-3 21,5 14,4 х108 0,240
c:4,524
144
Таблица 4.6. 38Х2МЮА - КО: режимы ионного азотирования в тлеющем разряде с ПК: Т=700°С, t=1час, Р=200 Па,
I=0,5 А,U=450 В; режимы светлой закалки: Т=930°С, Р=200 Па, I=0,6 А, U=500В

Tetragonal
a:2,851
α-FeС 44,0 7,4х10-3 24,5 14,8 х108 0,712
c:2,981
Trigonal
Cr2N a:4,721 17,2 6,7 х10-3 23,8 13,4 х108 0,331
c:4,412
Cubic
Fe4N a:3,771 28,7 8,1 х10-3 16,2 16,2 х108 0,117
145
Таблица 4.7. 30ХГСА - ионное азотирование в тл. разряде с ПК при Т=550°С, t=3часа, Р=150 Па, I=0,4 А, U=400 В

Cubic
α-Fe (исходн.) a: 2,8603 3,121
Cubic
α-Fe a:2,8610 34,5 3,9х10-3 24,5 7,8 х108 3,121
Hexagonal
Fe3N a:4,6901 19,2 7,4 х10-3 12,4 14,8 х108 0,208
c:4,3668
Cubic
Fe4N a:3,790 15,5 6,7 х10-3 8,31 13,4 х108 0,194
Orthorhombic
a:5,5311
Cr3C2 10,7 5,4 х10-3 21,2 10,8 х108 1,811
b: 2,8284
c:11,4701
146
Таблица 4.8. 30ХГСА ВИА в тлеющем разряде с ПК при Т=700°С, t=1час, Р=200 Па, I=0,5 А, U=450 В

Cubic
α-Fe a:2,8612 33,8 3,2х10-3 20,3 6,4 х108 3,121
Cubic
CrN 11,8 3,3 х10-3 21,4 6,6 х108 0,332
a: 4,1660
Trigonal
Cr2N a:4,7500 18,4 4,9 х10-3 23,6 9,8 х108 0,311
c:4,4180
Cubic
Fe4N a:3,7690 15,9 5,9 х10-3 15 11,8 х108 0,195
147
Количественный фазовый анализ (табл. 4.1 – 4.8) основанный на том,

что интенсивность линий данной фазы пропорциональна объемной доле
данной фазы в смеси, показал (рис. 4.20), что объемная доля γ'-фазы с ростом
температуры возрастает, а ε-фазы сводиться к нулю. Объемная доля
карбидных и карбониитридных фаз в результате ВИА, существенно выше по
сравнению с ионным азотированием при Т=550°С.
а)
б)
Рисунок 4.20. Зависимости объемной доли фаз на поверхности образцов

от метода обработки: а) ионное азотирование с ПК при 550ºС, б) ВИА с ПК
при 700ºС.
148
По полученным данным о сингонии и периодах кристаллических

решеток приведенных в табл. 4.1 – 4.8 и с помощью программного
обеспечения FINDIT, разработанной в Национальном институте стандартов и
технологий (г. Карлсруэ, Германия) были получены пространственные
модели кристаллических решеток нитридных и карбидных фаз после ионного
азотирования в тлеющем разряде с ПК при Т=550°С и ВИА в тлеющем
разряде с ПК при Т=700°С (табл. 4.9).
149
Таблица 4.9. Пространственные модели кристаллических решеток.
Cubic Trigonal
CrN a: 4,1612 Cr2N a:4,752
c:4,429
Х12- ВИА в тлеющем разряде с ПК при Т=700°С, t=1час, Р=200 Па, U=450В
Trigonal Hexagonal
a:4,787 Fe3N a:4,6912
Fe2N
c:4,418 c:4,366
38Х2МЮА - ионное азотирование в тлеющем разряде с ПК при Т=550°С, t=3часа, Р=150 Па, I=0,4 А, U=400 В
150
Fe4N Cubic Orthorhombic

Cr3C2
a:3,790 a:5,5311
b: 2,8284
c:11,4701
30ХГСА - ионное азотирование в тлеющем разряде с ПК при Т=550°С, t=3часа, Р=150 Па, I=0,4 А, U=400 В
Ortho-
rhombic Hexagonal
a:5,089 a:14,010
Fe3C Cr7C3
b: 6,744 c:4,532
c:4,524
38Х2МЮА ВИА в тлеющем разряде с ПК при Т=700°С, Х12 – ионное азотирование в тлеющем разряде с ПК
t=1час, Р=200 Па, I=0,5 А, U=450 В при Т=550°С, t=3часа, Р=150 Па, I=0,4 А, U=400 В
151
Анализ кристаллической структуры поликристалла проводимый по

уширению дифракционных максимумов на дифрактограмме показал:
- азотистый мартенсит имеет тетрагональную объемно-центрированную
решетку (табл. 4.3, 4.6). Атомы азота в ней распределены по позициям,
отвечающим серединам ребер элементарной ячейки, и вызывают деформацию
кристаллической решетки железа. Тетрагональность азотистого мартенсита
при одинаковых атомарных соотношениях несколько меньше, чем
углеродистого мартенсита.
- γ'-фаза кристаллизуется в ГЦК решетке из атомов железа с упо-
рядоченным расположением атомов азота в центрах элементарных кубов (1/2,
1/2, 1/2) (табл. 4.1 – 4.9).
- основой кристаллического строения ε-фазы является плотная
гексагональная упаковка атомов железа (табл. 4.1, 4.4, 4.7, 4.9) Атомы азота
располагаются в порах, образующих подрешетку типа графита.
- ξ-фаза (Fe2N) имеет тригональную решетку с упорядоченно рас-
пределенными атомами азота. Кристаллическую структуру ξ-фазы можно
рассматривать как искаженную модификацию решетки ε-фазы
(псевдогексагональная) (табл. 4.4, 4.9).
При повышении концентрации углерода в стали параметры решеток ε и
γ'-фазы увеличиваются за счет замены части атомов азота (rN=0,071нм)
большими атомами углерода (rC=0,077нм).
Однако периоды решетки а и с изменяются неодинаково: наиболее
активно увеличивается значение а, благодаря чему отношение с/а для
карбонитридной ε-фазы уменьшается. Это может служить
рентгеноструктурным критерием для идентификации карбонитридной
природы ε-фазы.
Средний размер кристаллитов в направлении нормали к отражающей
плоскости (hkl) определялся по формуле Шерера, как видно из таблиц 4.1 – 4.8
исходный размер зерна α-Fe после традиционного и высокотемпературного
152
азотирования остается неизменным. Средний размер кристаллитов нитридных
фаз находиться в диапазоне от 0,1-0,3 мкм.
Дефекты кристаллической решетки (микроискажения) также приводят к
уширению дифракционного максимума, вызванного смещением атомов из
узлов кристаллической решетки. При хаотическом распределении дислокаций
смещение атома определяется суперпозицией смещений от каждой
дислокации, поэтому феноменологически результат действия
дислокационных полей можно рассматривать как локальное изменение
межплоскостного расстояния. Расстояния между плоскостями (hkl)
непрерывно меняется по всему объему кристалла от d0-Δdm до d0+Δdm, где d0 –
межплоскостное расстояние в идеальном кристалле, а Δdm – усредненное по
всему облучаемому объему максимальное изменение расстояния между
плоскостями (hkl). Величина Δdm/d0 – характеризует усредненное по кристаллу
максимальное значение однородной деформации микрообъемов и называется
микродеформацией решетки, которая позволяет определить величину
напряжений, вызванную упругой деформацией.
Величина напряжений нитридных фаз изменяется в диапазоне от 4,5 до
17×108 Па, было отмечено, что с ростом температуры азотирования величина
напряжений снижается, а в результате КО достигает своего максимального значения.
Образование азотисто-углеродистого аустенита в диффузионном слое
при совмещении азотирования со светлой закалкой задерживает начало
мартенситного превращения на поверхности по сравнению с сердцевиной. Это
приводит к увеличению остаточных напряжений сжатия в поверхностном слое
и как следствие этого, повышению предела выносливости.
В работах [169,170,175] было отмечено, что при одновременной диффузии
азота и углерода в стали увеличение параметров решетки ε и γ'-фазы менее
значительное по сравнению с насыщением стали только азотом. Поэтому
карбонитридные ε и γ'-фазы, полученные при одновременной диффузии в стали
азота и углерода, по сравнению с чисто азотистыми, менее хрупкие, обладают
повышенной твердостью (400 - 450HV) и высокой износостойкостью.
153
4.4 Экспериментальные результаты влияние состава рабочего газа
и режимов ионного азотирования, высокотемпературного азотирования
и комбинированной обработки на микротвердость поверхностных слоев
Для определения влияния режимов ионного азотирования, ВИА и КО на

микротвердость поверхности конструкционных и инструментальных сталей,
эксперименты проводились на образцах из материалов ХВГ, 9ХС, Х12, Р6М5,
30ХГСА, 38Х2МЮА, 13Х11Н2В2МФ-Ш, 16Х3НВФМБ-Ш в качестве
рабочего газа использовалась смесь азота, аргона и ацетилена (N2 50%, Ar 45%,
C2H2 5%).
- ионному азотированию в тлеющем разряде с ПК, температура
проводилась в течении t=3 часа;
- ВИА в тлеющем разряде с ПК, температура поверхности
обрабатываемых образцов составила Т=700°С. Обработка проводилась в
течении t=1час;
- КО, состоящей из ВИА и последующей светлой закалке в тлеющем
разряде с ПК, температура нагрева под закалку изменялась в диапазоне Т=850
- 1030°С, в зависимости от марки стали. Нагрев образца проводился в течении
t=15 мин, с последующим охлаждением в масле.
Результаты замеров микротвердости на поверхности образцов после
ионного азотирования, ВИА и комбинированной обработки, включающей
ВИА и последующую светлую закалку представлены на рис. 4.21. Средняя
относительная погрешность измерений при исследовании микротвердости
поверхностного слоя составила 4%.
154
Рисунок 4.21 Зависимости поверхностной микротвердости от способа

обработки.
В результате ионного азотирования при Т=550°С в тлеющем разряде с

ПК образцов из конструкционных и инструментальных сталей, произошло
значительное увеличение микротвердости в 3 - 5 раз. Вследствие образования
в поверхностной зоне азотирования нитридов и карбонитридов как основного
металла так и нитридообразующих легирующих элементов (Fe3N, Fe3(N,C),
Fe4N, Fe4(N,C), Cr2N, Cr2(C,N), CrN, Cr(C,N), Cr7С3 , Cr3С2) (см. гл.3). Более
высокие показатели поверхностной микротвердости отмечены на сталях с
высоким содержанием сильных нитридообразующих элементов (W, Mo, Cr,
V). Максимальное значение получено на образцах из стали 30ХГСА,
микротвердость поверхности составила 13800 МПа.
Результатом влияния процесса ВИА на конструкционные и
инструментальные стали стало увеличение микротвердости поверхности в 2,5 -
3 раза, вследствие образования в поверхностной зоне азотирования нитридов и
карбонитридов как основного металла так и нитридообразующих легирующих
элементов (Fe4N, Fe4(N,C), Cr2N, Cr2(C,N), CrN, Cr(C,N), Cr7С3 , Cr3С2) (см. гл.4.2).
155
Однако в отличии от азотирования при Т=550°С, в результате
высокотемпературного азотирования при Т=700°С поверхностная
микротвердость азотированного слоя ниже, вследствие образования на
поверхности γ'-фазы типа ((Fe, Me)4N, (Fe, Me)4 (N,С)), и выклинивания более
твердой высокоазотистой ε-фазы типа ((Fe, Me)2-3N, (Fe, Me)3 (N,С)) (см. гл.4.2).
Максимальная микротвердость при высокотемпературном
азотировании составила 8450 МПа для стали 13Х11Н2В2МФ-Ш, т.к. данный
материал содержит большое количество нитридообразующих легирующих
элементов (W, Mo, Cr, V).
Необходимо отметить, что в результате использования КО (ВИА и
последующая светлая закалка) достигается максимальная микротвердость на
поверхности всех образцов, вследствие образования в поверхностной зоне
азотирования помимо нитридов и карбонитридов как основного металла так и
нитридообразующих легирующих элементов (Fe4N, Fe4(N,C), Cr2N, Cr2(C,N),
CrN, Cr(C,N), Cr7С3 , Cr3С2), азотистого мартенсита (α-Fe(C)) и остаточного
аустенита γ-Fe(C), γ-Fe(N,C) (см. гл.4.2).
В работе также исследовалось влияние состава рабочих газов на
микротвердость поверхности образцов из стали 13Х11Н2В2МФ-Ш .
При проведении эксперимента в качестве рабочих газов использовались:
1) смесь азота с аргоном (N2 75%, Ar 25%);
2) смесь азота, аргона и ацетилена (N2 50%, Ar 45%, C2H2 5%).
Технологические режимы изменялись в следующих пределах:
- давление в камере Р = 50  300 Па;
- напряжение горение разряда U = 300  600 В;
- ток разряда I = 100  540 мА;
- плотность тока разряда j = 12  27 мА/см2
Температура обрабатываемых образцов составляла Т = 550С, а
длительность азотирования t = 3 часа.
Результаты замеров микротвердости с поверхности приведены в
таблице 4.10.
156
Таблица 4.10.Микротвердость с поверхности азотированных образцов
Плотность HV50, МПа
Давление
тока До После
Состав среды в камере,
разряда, азотирова азотирова
Р, Па
J, мА/см2 ния ния
23 300
N2 50% - Ar 50% 21 200 3730 3730
13,5 100
12,8 50
23 300 8920
N2 50% - Ar 45% - 21 200 9840
3730
C2H2 5% 13,5 100 8990
12,8 50 8240
В результате проведенных исследований было установлено, что

изменение технологических режимов в указанных диапазонах, при
азотировании в смеси азота с аргоном (N2 75%, Ar 25%) не эффективно для
стали 13Х11Н2В2МФ-Ш. Это объясняется тем, что при распылении
обрабатываемой поверхности происходит разрушение оксидной пленки и
диссоциация кислорода, который приводит к снижению активности атмосферы
и препятствует проникновению азота вглубь обрабатываемой поверхности. Для
дезактивации кислорода, при азотировании стали в тлеющем разряде,
необходимо наличие в рабочем газе небольшого количества водорода.
При азотировании в смеси азота, аргона и ацетилена в различных
соотношениях и на различных режимах наблюдается увеличение твердости на
поверхности до 10000 МПа. При этом максимальная поверхностная
микротвердость была получена при давлении Р = 200 Па.
Выполненные исследования также показали возможность проведения
процесса ионного азотирования в тлеющем разряде при рабочем давлении
Р = 50 Па. Поверхностная микротвердость азотированного слоя при давлении
Р = 50 Па составила 8240 МПа.
157
4.5 Исследование влияния азотирования и высокотемпературного
азотирования в тлеющем разряде низкого давления с полым катодом на
изменение микротвердости по глубине поверхностного слоя
В работе исследовалось влияние режимов азотирования и

высокотемпературного азотирования на изменение микротвердости по
глубине слоя конструкционных и инструментальных.
Эксперименты проводились на образцах из материалов 30ХГСА,
38Х2МЮА и Х12 в качестве рабочего газа использовалась смесь азота, аргона
и ацетилена (N2 50%, Ar 45%, C2H2 5%).
- ионному азотированию в тлеющем разряде с ПК, при Р=150 Па, I=0,4
А, U=400 В, температура поверхности обрабатываемых образцов составила
Т=550°С. Обработка проводилась в течении t=3 часа.
- ВИА в тлеющем разряде с ПК, при Р=200 Па, I=0,5 А, U=450 В,
температура поверхности обрабатываемых образцов составила Т=700°С.
Обработка проводилась в течении t=1час.
На рис. 4.22 – 4.24 показано изменение микротвердости по глубине
азотированного слоя сталей 30ХГСА, Х12 и 38Х2МЮА, обработанных в
тлеющем разряде с полым катодом, при температуре 550°С для ионного
азотирования и при температуре 700°С для ВИА. Обработка проводилась в
смеси газов азота, ацетилена и аргона (N250%- Ar45%-C2H25%). Средняя
относительная погрешность измерений при исследовании микротвердости по
глубине азотированного слоя составила 4%.
158
14000
МПа
12000
50,
10000
Микротвердость HV
8000
6000
4000
2000
0
0 20 40 60 80 100 120 140 160 180 200 220 240
Расстояние от поверхности, мкм
- 30ХГСА - ионное азотирование при Т=550°С, t=3часа, Р=150 Па,

I=0,4 А, U=400 В
- 30ХГСА - ВИА при Т=700°С, t=1час, Р=200 Па, I=0,5 А, U=450 В
Рисунок 4.22 Изменение микротвердости по глубине азотированного

слоя после обработки в тлеющем разряде с ПК для стали 30ХГСА
12000
МПа
10000
50,
8000
6000
4000
2000
0
0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 110 120
- 38Х2МЮА - ионное азотирование при Т=550°С, t=3часа,

- 38Х2МЮА - ВИА при Т=700°С, t=1час
слоя после обработки в тлеющем разряде с ПК для стали 38Х2МЮА
159
12000
50, МПа
10000
8000
6000
4000
2000
0
0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 110 120
- Х12 - ионное традиционное азотирование при Т=550°С, t=3часа

- Х12 - ВИА при Т=700°С, t=1час
слоя после обработки в тлеющем разряде с ПК для стали Х12
Из рис. 4.22 – 4.24 следует, что в условиях ВИА значение глубины

азотированного слоя существенно выше, несмотря на незначительное
увеличение напряжения горения разряда. Увеличение глубины азотированного
слоя на образцах азотированных при температуре 700°С в тлеющем разряде с
ПК объясняется ростом диффузионной подвижности элементов при
температурах предпревращения ферритно-цементитной смеси в аустенит, а
также вследствие радиационно-стимулированной диффузии атомарного азота
вглубь металла в условиях проявления эффекта полого катода.
Анализ изменения микротвердости по глубине азотированного слоя
показал, что ионное азотирование обладает важным преимуществом перед
обычным газовым процессом в характере распределения микротвердости по
толщине слоя. При насыщении в азотной плазме не происходит резкого
понижения твердости непосредственно под нитридной зоной, характерное для
обычного насыщения в аммиаке, т.е. наблюдается более плавное снижение
твердости по толщине диффузионной зоны.
На рис. 4.25 показано изменение микротвердости по глубине
азотированного слоя сталей 30ХГСА, Х12 и 38Х2МЮА, обработанных в
тлеющем разряде с полым катодом, при температуре 550°С, а на рис. 4.26 для
160
тех же сталей, но при температуре 700°С. Средняя относительная погрешность
измерений при исследовании микротвердости по глубине азотированного слоя
составила 4%.
16000
МПа
14000
50,
12000
10000
8000
6000
4000
2000
0
0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 110 120 140 160
Х12 38ХМЮА 30ХГСА

слоя после обработки при температуре 550°С в тлеющем разряде с ПК для
сталей 30ХГСА, 38Х2МЮА и Х12
9000
8000
МПа
7000
6000
50,
5000
4000
3000
2000
1000
0
0 20 40 60 80 100 120 160 200 240
Х12 38ХМЮА 30ХГСА

слоя после обработки при температуре 700°С в тлеющем разряде с ПК для
сталей 30ХГСА, 38Х2МЮА и Х12
161
Из рис. 4.25 – 4.26 следует, что в условиях как ионного азотирования при
температуре 550°С, так и ВИА при температуре 700°С, минимальным
значением глубины азотированного слоя обладает образцы из стали Х12,
содержащей большее количество нитридообразующих элементов Cr 11,5 -
13%; Mn 0,15 - 0,45%; Mo до 0,2%; W до 0,2% и V до 0,15%, это объясняется
тем, что легирующие элементы (Mn, Cr, Mo, V, W ) образуют нитридный слой,
который обладает свойствами запирающего эффекта, существенно усложняя
проникновение азота из газовой среды в глубь металла.
Также необходимо отметить что распределение микротвердости по
глубине азотированного слоя для стали Х12 неравномерное в следствии
большего содержания углерода (С 2 - 2,2%) по сравнению со сталью 38ХМЮА
(С 0,3 - 0,4%) и 30ХГСА (С 0,28 - 0,3%). По данным исследований [107,215]
увеличение содержания углерода в стали резко повышает толщину
поверхностной пористой зоны ε-фазы, и одновременно препятствует
равномерному развитию внутренней зоны азотирования.
Распределение микротвердости по глубине азотированного слоя для
стали 38Х2МЮА более равномерное в следствии содержания Al и Si, которые
способствуют развитию γ' - фазы (Fe(M)4(N,C) в виде сплошного слоя или
пластин, расположенных по плоскостям скольжения и границам зерен на
значительную глубину.
4.6 Исследование влияния высокотемпературного азотирования и

комбинированной обработки в тлеющем разряде низкого давления с
полым катодом на износостойкость поверхностного слоя стали
38Х2МЮА
Основная цель азотирования деталей, работающих в условиях

интенсивного изнашивания и контактных нагрузок – повышение
износостойкости.
В связи с этим в работе проводили испытания на износостойкость в
сертифицированной лаборатории центра измерения свойств материала при
НИИ ЯФ (г.Томск).
Для определения износостойкости образцов из материала 38Х2МЮА
162
прошедших ВИА и комбинированную обработку использовалась методика
описанная в гл.2. Величина износостойкости оценивалась по количеству
металла, удаленного из испытуемого образца в процессе износа под нагрузкой.
Образец № 1 - в исходном состоянии (закалка + высокий отпуск),
образец № 2 – после ВИА при 700°С, t=1час, Р=200 Па, I=0,5 А, U=450 В,
образец №3 – после комбинированной обработки (ВИА при 700°С, t=1час,
Р=200 Па, I=0,5 А, U=450 В с последующей светлой закалкой, температура
нагрева под закалку Т=940°С, Р=200 Па, I=0,6 А, U=500 В, нагрев образца
проводился в течении t=15 мин, с последующим охлаждением в масле.
На рис. 4.27 – 4.28 показаны данные, полученные в процессе испытаний
образца №1 в исходном состоянии.
Рисунок 4.27 Зависимость коэффициента трения от продолжительности

изнашивания образца в исходном состоянии
163
Рисунок 4.28 Определение площади износа образца в исходном

состоянии
образца №2 прошедшего ВИА.

изнашивания образца после ВИА
164
Рисунок 4.30 Определение площади износа исходного образца после

ВИА при 700°С

образца №3 после КО.

изнашивания образца после КО.
165
Рисунок 4.32 Определение площади износа образца после КО.
На рис. 4.33 показана фотография сделанная световым микроскопом и

математическая модель характерного трека, оставленного шариком в процессе
испытания на изнашивание.
166
Рисунок 4.33 Фотография и математическая модель характерного трека

оставленного шариком в процессе испытания образца после ВИА
Результаты испытаний на износостойкость приведены в таблице 4.11.
Таблица 4.11. Результаты испытаний.
Время Износо
Объем
Нагруз- Число испы- Радиус Площадь стой-
Метод износа
ка циклов таний трека износа кость
обработки V, х10-
F, Н n t, R, мм S, мкм2 V/t,
3
мм3
х103с х10-6
Исходный
1073,25 15,03 14,45
образец
После ВИА 5 5000 1,04 2,23 91,375 1,3 1,25
После КО 34,825 0,46 0,45
На рис. 4.34 представлена сравнительная износостойкость поверхности

образцов №1,2,3 в зависимости от метода обработки.
167
Рисунок 4.34 - Сравнительная износостойкость поверхности образцов в

зависимости от метода обработки: а) в исходном состоянии (закалка + высокий
отпуск); б) ионное азотирование при 550°С [166,176]; в) ВИА при 700°С; г) КО
(ВИА при 700°С с последующей светлой закалкой от 940°С).
Из данных приведенных на рис. 4.26 - 4.34 и в табл. 4.11 видно, что ВИА
и КО значительно повышает износостойкость стали 38Х2МЮА. Так после
ВИА износостойкость увеличилась в 12 раз, а после КО в 30 раз по сравнению
с исходным состоянием, а также в 2,5 и в 6 раз соответственно по сравнению
с ионным азотированием при Т=550°С. В тоже время из литературных данных
[54,166,176,222] известно, что традиционное ионное азотирование (при 500 -
550°С) приводит к увеличению износостойкости деталей из материала
38Х2МЮА в 3 – 5 раз.
Среднее значение коэффициента трения в исходном состоянии составил
Ктр = 0,342, после ВИА – Ктр = 0,197, а после КО – Ктр = 0,166.
В условиях изнашивания при контактных нагрузках (5,0Н) без смазочного
материала высокую износостойкостью обладает образец с
ультрамелкозернистой структурой состоящей из нитридов основного металла и
легирующих элементов (к примеру (Fe, Cr)4N) и карбонитридных фаз
168
(Fe(Мe)4(N,С)) в поверхностном слое и с расположенной под ним развитой
мартенситной зоной (см. гл.4.2), предотвращающей продавливание слоя γ'-фазы.
Имеющийся в слое остаточный аустенит претерпевает под действием
нагрузок мартенситное превращение. Известно [169,176], что аустенит
оставшийся после непосредственной закалки, отличается от по своей природе
от аустенита, полученного после медленного охлаждения, способностью к
наклепу в процессе трения, вследствие чего сталь, обработанная по режиму,
включающему непосредственную закалку после высокотемпературного
азотирования, способна в большей степени сопротивляться износу.
Полученные экспериментальные результаты это полностью подтвердили.
1. В процессе ионного азотирования в тлеющем разряде с ПК
легированных сталей, содержащей элементы с различной активностью к азоту,
формируется неоднородная поверхностная зона азотирования, состоящая из
нитридов и карбонитридов как основного металла, так и нитридообразующих
легирующих элементов (Fe3N, Fe3(N,C), Fe4N, Fe4(N,C), Cr2N, Cr2(C,N), CrN,
Cr(C,N), Cr7С3 , Cr3С2).
2. Технологическим параметром, регулирующим реализацию
износостойкого структурно-фазового состояния, является не только давление
и состав насыщающей атмосферы, но и температура азотирования. С ростом
которой происходит увеличение толщины азотированного слоя, вследствие
термически и радиационно-стимулированной диффузии атомарного азота в
глубь металла, а также выклинивание области существования ε-фазы Fe2-
3(N,C), которая растворяя углерод, переходит в карбонитрид Fe4(N,C).
3. Установлено, что исходный размер зерна α-Fe после традиционного и
высокотемпературного азотирования остается неизменным.
Величина напряжений нитридных фаз изменяется в диапазоне от 4,5 до
17×108 Па, было отмечено, что с ростом температуры азотирования величина
169
напряжений снижается, а в результате КО достигает своего максимального
значения.
4. Разработанные способы азотирования, ВИА и КО, позволяют
проводить структурно-фазовое модифицирование конструкционных и
инструментальных сталей. При этом структурно-фазовое состояние будет
завесить от химического состава, плотности дефектов строения матрицы и
температурно-временных параметров процесса обработки. При изменении
этих параметров в диффузионном слое могут образовываться нитридные и
карбонитридные соединения основного металла и легирующих элементов
типа ε и γ'-фаз, а также оксинитридные соединения типа - (Fe, Me)3O4,
различающиеся размерами, формой и взаимодействием с кристаллической
решеткой матрицы.
5. В результате ионного азотирования при Т=550°С, образцов из
конструкционных и инструментальных сталей, произошло увеличение
микротвердости поверхности в 3 - 5 раз. Результатом влияния процесса ВИА
при Т=700°С на конструкционные и инструментальные стали стало
увеличение микротвердости поверхности в 2,5 - 3 раза. В отличие от ионного
азотирования при Т=550°С, в результате ВИА при Т=700°С поверхностная
микротвердость азотированного слоя ниже, вследствие образования на
поверхности γ'-фазы типа ((Fe, Me)4N, (Fe, Me)4 (N,С)), и выклинивания более
твердой высокоазотистой ε-фазы типа ((Fe, Me)2-3N, (Fe, Me)3 (N,С)).
Установлено, что в результате использования КО (ВИА и последующая
светлая закалка) достигается максимальная микротвердость на поверхности
всех образцов.
6. Установлено, что ионное азотирование в смеси азота с аргоном (N2
75%, Ar 25%) не эффективно для сталей, при ионном азотировании в смеси
азота, аргона и ацетилена в различных соотношениях и на различных режимах
наблюдается увеличение микротвердости на поверхности до 10000 МПа. При
этом максимальная поверхностная микротвердость была получена при
давлении Р = 200 Па.
170
При проведение процесса ВИА скорость роста диффузионной зоны
выше в 3-5 раз по сравнению с традиционным ионным азотированием, при
одновременном снижении поверхностной микротвердости на 20 - 30%, что
объясняется ростом диффузионной подвижности элементов при температурах
предпревращения ферритно-цементитной смеси в аустенит, а также
вследствие радиационно-стимулированной диффузии атомарного азота
вглубь металла в условиях проявления эффекта полого катода. Таким образом
ВИА приводит к интенсификации процесса насыщения и обеспечивает
высокую кинетическую эффективность процесса по сравнению с
традиционными методами азотирования.
7. В условиях изнашивания при контактных нагрузках (5,0 Н) без
смазочного материала максимальной износостойкостью обладает образец с
ультрамелкозернистой структурой состоящей из нитридов основного металла
и легирующих элементов (к примеру (Fe, Cr)4N) и карбонитридных фаз
(Fe(Мe)4(N,С)) в поверхностном слое и с расположенной под ним развитой
мартенситной зоной, предотвращающей продавливание слоя γ'-фазы.
8. Высокий уровень упрочнения поверхности, достигаемый в результате
применения ВИА и КО в тлеющем разряде с ПК, позволяет повысить
износостойкость стали 38Х2МЮА в 12 и 30 раз соответственно по сравнению
с исходным состоянием и в 2,5 и 6 раз соответственно по сравнению с
традиционным ионным азотированием при Т=500 - 550°С.
9. Предложенные способы ВИА и КО в тлеющем разряде с ПК, являются
эффективными способами поверхностного упрочнения конструкционных и
инструментальных сталей. При этом достигаются высокие значения
поверхностной твердости (до 10000 МПа) и износостойкости.
171
СВОЙСТВ ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ КОНСТРУКЦИОННЫХ
СТАЛЕЙ ПРИ ЛОКАЛЬНОМ АЗОТИРОВАНИИ В ТЛЕЮЩЕМ
РАЗРЯДЕ НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ С ПОЛЫМ КАТОДОМ
5.1 Исследование тепловых и диффузионных процессов при
локальном азотировании в тлеющем разряде низкого давления с полым
катодом
На сегодняшний день большинство машиностроительных предприятий

для увеличения износостойкости выпускаемых деталей применяют процесс
ионного азотирования в тлеющем разряде. Среди всего множества деталей
упрочнению часто подвергаются длинномерные, крупногабаритные детали,
работающие в условиях локального износа. В таких случаях целесообразно
использовать методы локального ионного азотирования [54,175,210].
Использование ПК при ионном азотировании позволяет проводить
локальное ускорение процесса диффузионного насыщения, что позволяет в
конечном итоге сократить время обработки. Одновременно с выигрышем во
времени упрощается и сам процесс обработки (см. гл.3-4).
Таким образом существует необходимость математического описания и
компьютерного моделирования отдельных этапов процесса локального
ионного азотирования (ЛИА), позволяющий более надежно управлять за
ходом процесса и проводить предварительные расчеты результатов обработки,
без дополнительных экспериментов.
В данной работе моделирование процессов при ЛИА проводилось с
помощью программного пакета COMSOL Multiphysics. Это интерактивная
среда моделирования для расчета большинства научных и инженерных задач
на основе дифференциальных уравнений в частных производных, решаемые
методом конечных элементов.
Известно [169,204], что при традиционном ионном азотировании нагрев
обрабатываемой детали происходит за счет бомбардировки поверхности
высокоэнергичными ионами рабочего газа. При этом температура и скорость
172
нагрева зависят от концентрации ионов насыщающего элемента ni в
прикатодной области (или плотности ионного тока ji) и от разности
потенциалов U между электродами.
При ЛИА с ПК происходит неравномерный нагрев обрабатываемой
детали. Это связано с тем, что в местах проявления ПК скорость нагрева и,
следовательно, температура поверхности выше, чем в остальных участках
детали, где ПК не проявляется [193]. При этом расчет времени нагрева
обрабатываемого участка детали до температуры диффузионного насыщения
осложняется в результате процесса переноса внутренней энергии от более
нагретых частей детали к менее нагретым. Известно [150], что температура
при азотировании играет большое значение в активации процесса диффузии
азота в металл и за формирование диффузионного слоя. Поэтому на
сегодняшний день проведение моделирования тепловых и диффузионных
процессов при ЛИА является актульной задачей. Получение более полного
представления о процессах, протекающих в поверхностном слое материала во
время обработки, даст возможность повышения эффективности азотирования
за счет назначения оптимальных технологических режимов.
С целью прогнозирования температуры поверхности детали и толщины
упрочненного слоя при ЛИА с ПК была разработана компьютерная модель,
позволяющая проводить предварительные расчеты результатов обработки, без
дополнительных экспериментов для деталей любых конфигураций. Для этого
необходимо загрузить в COMSOL Multiphysics объемную трехмерную модель
детали, выполненную в программе Solid Works и указать поверхности,
обрабатываемые с ПК и без него. Компьютерная модель объединяет в себе
описание тепловых и диффузионных процессов.
Для описания температурного поля в модели используется уравнение
теплопроводности [135]:
𝜕𝑇
𝜌∙𝐶 + ∇ ∙ (−𝑘∇𝑇) = 𝑄 (5.1)
𝜕𝑡
где 𝜌 - плотность материала, кг/м3;
173
C – удельная теплоемкость, Дж/(кг·К);
Т – температура, К;
t – время, с;
k – коэффициент теплопроводности, Вт/(м·К);
Q – удельный источник теплоты, Вт/м3.
Для стали 38ХМЮА удельная теплоемкость составляет 585 Дж/(кг·К), а
коэффициент теплопроводности - 24 Вт/(м·К).
Вектор теплового потока при передачи тепла теплопроводностью:
𝜕𝑇
𝜌∙𝐶 + ∇ ∙ (−𝑘∇𝑇) = 𝑄 (5.2)
𝜕𝑡
При моделировании используются два различных типа граничных
условий: типа Дирихле (граничные условия первого рода) и типа Неймана
(граничные условия второго рода). Условие границы типа Дирихле
используются, чтобы установить температуру на границе [119]:
𝑇 = 𝑇0 (5.3)
Условие типа Неймана используется, чтобы установить поток теплоты
на границе [119]:
−𝑛 ∙ 𝑞 = 𝑞0 (5.4)
где q – вектор потока теплоты;
n – нормальный вектор границы;
𝑞0 – внутренний поток теплоты, нормаль к границе.
Модуль передачи теплоты «Heat Transfer» в COMSOL Multiphysics
использует более общую формулировку уравнения (граничные условия
третьего рода):
−𝑛 ∙ 𝑞 = 𝑞0 + ℎ(𝑇𝑖𝑛𝑓 − 𝑇) (5.5)
где h – коэффициент теплоотдачи.
Эта формулировка позволяет явно определять поток теплоты через q0 и
коэффициент теплоотдачи h относительно искомой температуры Tinf.
При ЛИА, помимо нагрева детали тепловым потоком, происходит
одновременный отвод тепла от поверхности в окружающее пространство.
174
Отводом тепла конвекцией и теплопроводностью можно пренебречь,
вследствие низкого давления в вакууме (процесс ионного азотирования с ПК
проходит в интервале давлений 30-60 Па). Поэтому, единственным процессом
отвода тепла при локальной обработке в вакууме является излучение [119,135].
Рассмотрим точку x, которая расположена на непрозрачной поверхности
с коэффициентом теплового излучения облучаемого тела ε, коэффициентом
отражения ρ, с коэффициентом поглощения α и температурой T. Тело не
прозрачно. Это означает, что никакая энергия через тело излучением не
передается, что является истиной для большинства тел.
Полный излучающий поток теплоты, который достигает элементарной
поверхности x, называют падающим тепловым потоком G (рис. 5.1, а) [119].
а) б)
Рисунок 5.1 - Поступление тепловой энергии (а), отвод тепловой энергии (б)
Полный излучающий поток теплоты, который x отдает, называют

эффективным потоком J (рис. 3.1, б). Эффективный поток – сумма
отраженного излучения и собственного испускаемого излучения [119]:
𝐽 = 𝜌 ∙ 𝐺 + 𝜀 ∙ 𝜎 ∙ 𝑇4 (5.6)
Поглощенный телом поток теплоты [119]:
𝑞 =𝐺−𝐽 (5.7)
Подставляя (3.6) в (3.7) получаем следующее выражение для
поглощенного телом потока излучения [119]:
𝑞 = (1 − 𝜌) ∙ 𝐺 − 𝜀 ∙ 𝜎 ∙ 𝑇 4 (5.8)
175
Помимо предположения, что поверхность является непрозрачной, также
предполагаем, что поверхность является серой. Для серых поверхностей
можем принять следующее [119]:
1−𝜌=𝜀 (5.9)
Подставляем (3.9) в (3.8), убираем коэффициент отражения в уравнении
(3.8) и выражаем поглощенный внутрь тела поток излучения q [119]:
𝑞 = 𝜀 ∙ (𝐺 − 𝜎 ∙ 𝑇 4 ) (5.10)
Для расчета отвода тепловой энергии излучением от поверхности в
окружающее пространство принимаем следующие допущения:
1. Окружающая среда, видимая поверхностью, имеет постоянную
температуру Tamb.
2. Окружающая среда имеет свойства черного тела, то есть излучаемая
и поглощаемая способности тела равны 1, а коэффициент отражения - нулю.
Эти предположения позволяют выразить падающий тепловой поток на
поверхность как [119120]:
𝑞 = 𝜀 ∙ (𝐺 − 𝜎 ∙ 𝑇 4 ) (5.11)
Вставив (3.11) в уравнение (3.10), получим уравнение излучающего
потока теплоты от поверхности в окружающее пространство [119,135]:
4
𝑞 = 𝜀 ∙ 𝜎 ∙ (𝑇𝑎𝑚𝑏 − 𝑇4) (5.12)
В качестве детали для моделирования процесса нагрева при ЛИА с ПК
было выбрано зубчатое колесо (рис. 5.2). Выбор обоснован тем, что:
1. Этот тип деталей очень распространен в машиностроении и имеет
массовый характер производства.
2. Этот тип деталей работает в условиях локального износа (контактная
поверхность зубьев).
176
Рисунок 5.2 - Деталь для моделирования процесса нагрева при ЛИА
На рисунке 5.3 показа схема подвода (а) и отвода (б) тепловой энергии
для детали зубчатое колесо.
а) б)
Рисунок 5.3 - Схема подвода тепловой энергии от высокоэнергичных

ионов насыщающего элемента на поверхность детали (а) и схема отвода
тепловой энергии излучением от поверхности в окружающее пространство (б):
q1 – поток теплоты в тлеющем разряде в местах проявления ПК, q2 – поток
теплоты тлеющем разряде вне проявления ПК, q – поток теплоты от
поверхности детали в окружающее пространство
177
Тепловой поток в тлеющем разряде в местах проявления ПК можно
выразить как:
𝑞1 = 𝑗𝑖1 ∙ 𝑈 (5.13)
где 𝑗𝑖1 – плотность ионного тока под экраном для создания ПК, мА/см2;
U – разность потенциала между электродами, В.
Тепловой поток в тлеющем разряде вне проявления ПК:
𝑞2 = 𝑗𝑖2 ∙ 𝑈 (5.14)
где 𝑗𝑖2 - плотность ионного тока в прикатодной области, мА/см2.
Плотность тока в тлеющем разряде в прикатодной области при ионном
азотировании составляет 1-3 мА/см2. Доказано [46], что плотность тока в
тлеющем разряде при проявлении ПК больше в ~3 раза, чем в обычном
тлеющем разряде, и может достигать до 10 мА/см2.
Для объяснения причины интенсификации процесса ионного
азотирования с ПК рассмотрим процессы, происходящие на границе металл-газ.
Реакции металлов с газами можно разделить на два широких класса –
реакции, не приводящие к образованию химических соединений на
поверхности (физическая адсорбция), и реакции с образованием этих
соединений (хемосорбция) [145].
Трепнел [257] приводит следующие критерии отличия физической
адсорбции от химической:
1. Физическая адсорбция протекает при более низких температурах чем
хемосорбция и обусловлена слабыми Ван-дер-Ваальсовыми силами.
2. Хемосорбция в ряде случаев требует преодоления заметной энергии
активации. Физическая адсорбция, если и требует, то весьма небольшой энергии
активации, и поэтому обычно легко протекает при весьма низких температурах.
3. Хемосорбция всегда охватывает лишь один слой, так как после этого
не остается ненасыщенных связей на поверхности твердого тела. Для
физической адсорбции таких ограничений нет, так что при благоприятных
сочетаниях давления и температуры образуются адсорбированные слои
толщиной во много молекул, при этом первый слой молекул (частиц) газа
178
может быть связан с поверхностью хемосорбцией, а последующие слои
молекул (частиц) – силами физической адсорбции.
4. Хемосорбция обладает рядом специфических особенностей, которые
зависят, в частности, от чистоты поверхности адсорбента. Для начала
хемосорбции необходимо принять иногда чрезвычайные меры, чтобы получить
достаточно чистую поверхность, в частности, очистить ее от загрязнений,
обусловленных взаимодействием с атмосферой. Физическая адсорбция, напротив,
при подходящих температурах и давлениях происходит на всех поверхностях.
5. Физическая адсорбция, по сравнению с химической, всегда обратима.
На рис. 5.4 приведена зависимость изменения энергии двухатомного
газа при физической адсорбции и хемосорбции на поверхности металла [151].
Рисунок 5.4 - Изменение энергии двухатомного газа при физической

адсорбции и хемосорбции на поверхности металла
Потенциальная кривая Ph описывает физическую адсорбцию и

характеризуется широким потенциальным минимумом небольшой глубины,
̅ 𝑝ℎ - энтальпия. Потенциальная кривая c относится к химической
где ∆𝐻
адсорбции диссоциированного газа и характеризуется узким глубоким
минимумом, величина которого относительного нулевой линии определяет
̅ с (∆𝐻
величину энтальпии хемосорбции ∆𝐻 ̅ 𝐷 – энергия диссоциации молекулы
179
Г2 2Г). Для перехода газа из физически адсорбированного состояния в
химически адсорбированное надо преодолеть энергию активации Ес. Энергии
активации хемосорбции зависят от относительного расположения
потенциальных кривых Ph и c, в частности, Ec может меняться от нуля до
̅ 𝐷 . Если за хемосорбцией следует растворение газа в
энергии диссоциации∆𝐻
металле, то график надо дополнить кривой S, которая характеризует
потенциальную кривую для атома газа, растворяющегося по эндотермической
̅ 𝑠– энтальпия растворения, а 2Еp – энергия активации
реакции. Здесь∆𝐻
перехода атома газа из хемосорбированного состояния в растворенное [151].
Известно, что при адсорбции газов, т.е. концентрировании компонентов
газовой среды на поверхности, образовывается мономолекулярный
адсорбционный слой – монослой. Скорость поступления частиц в
адсорбированный слой определяется [207-210]:
1
𝑉адс = 3,51 ∙ 1022 𝑝/(𝑇𝑀)2 (5.15)
где p – давление в камере, Торр;

Т – температура поверхности, К;
M – молекулярная масса, г/моль.
Для молекулярного азота при температуре Т=293К и давлении р=1 Торр
скорость поступления частиц в адсорбированный слой составляет 𝑉адс = 3,88 ∙
1022 см-2с-1. Если же считать, что полностью сформированный монослой
включает 1015…2·1015 атом/см2, то при коэффициенте прилипания, равном
единице, время формирования монослоя по порядку величин составит 3·10-6 с
[204,206]. Таким образом можно считать, что адсорбированный монослой на
обрабатываемой поверхности формируется мгновенно.
Период бомбардировки 𝑡б одного места в монослое определяется [210]:
1
𝑡б = (5.16)
0,624 ∙ 1015 𝑑 2 𝑗
где d – диаметр частицы, м;
j – плотность тока, А/м2.
180
Энергия j-ой бомбардирующей частицы у поверхности катода (детали)
равна [116]:
𝑚𝑗 𝜗𝑗2
𝑄𝑗 = (5.17)
2
где mj – масса j-ой бомбардирующей частицы, кг;
𝜗𝑗 - скорость j-ой бомбардирующей частицы, м/с.
Суммарная энергия бомбардирующих частиц определяется как:
𝑚𝑗 𝜗𝑗2
∑𝑄 = ∑ (5.18)
2
𝑗
Примем, что заряженные частицы двигаются в постоянном

𝜕𝐻
электрическом поле H = const = 0 (и 𝜕𝑡
= 0), а так же что электрическое поле
постоянно во времени и потенциально: 𝐸 = −∇𝜑. В этом случае уравнение
движения примет вид [116]:
𝑑2𝑟 𝑞
𝑎≡ 2= 𝐸 (5.19)
𝑑𝑡 𝑚
где E - потенциал электрического поля, В;
r – радиус вектор, м;
q – заряд частицы, Кл.
Отсюда скорость движения в каждой точке определяется по абсолютной
величине только пройденной разностью потенциалов и не зависит от
конфигурации поля (от вида функции E(r)) [36]:
𝑑𝑟 2𝑞
𝜗≡| | = √𝜗12 + (𝜑 − 𝜑) (5.20)
𝑑𝑡 𝑚 1
где 𝜗1 – начальная скорость частицы, м/с;

𝜑1 − 𝜑– падение патенциала на расстоянии r, В:
𝜑1 − 𝜑 = 𝑈 (5.21)
𝑚𝜗2
Считаем, что начальная кинетическая энергия мала по сравнению с
2
положительной работой поля над движущейся частицей qU, тогда [116]:

181
2𝑞𝑈
𝜗≈√ (5.22)
𝑚
Моделирование диффузионных процессов в металле основывается на

уравнениях Фика. Первое уравнение (3.23) описывает удельный поток
диффундирующего элемента в металле. Знак «минус» означает, что поток
направлен из области с большей концентрацией в область с меньшей
концентрацией [73,129].
𝜕𝑐
𝐽 = −𝐷 (5.23)
𝜕𝑥
где D – коэффициент диффузии, м2/с;
с – концентрация насыщающего элемента, моль/м3;
х – координата, м.
На рисунке 5.5 показана схема распределения концентрации
насыщающего элемента на поверхности детали.
Рисунок 5.5 - Схема распределения концентрации насыщающего

элемента на поверхности детали
Второе уравнение Фика (3.24) описывает изменение концентрации

диффундирующего вещества с(х,τ) в пространстве и во времени. Это
182
уравнение непосредственно следует из уравнения баланса вещества при
диффузии и выражения для потока. Оба уравнения описывают одномерную
диффузию вдоль оси х [73,129].
∂c ∂2 c
=D 2 (5.24)
∂τ ∂x
где τ – время диффузионного насыщения, с;
Для трехмерной диффузии, уравнение диффузии (3.25) принимает вид
[73,129]:
𝜕𝑐
+ ∇ ∙ (−𝐷∇𝑐) = 0 (5.25)
𝜕𝑡
Модуль «Transport of Diluted Species» в COMSOL Multiphysics
использует граничные условия третьего рода:
(−𝐷∇𝑐) ∙ 𝑛 = 𝑘𝑚 (𝑐 − 𝑐1 ) (5.26)
где – коэффициент переноса массы, м/с.
Диффузия азота достаточно хорошо описывается теорией надбарьерных
перескоков Зинера. Используя уравнение Эйнштейна [151]:
𝐷 = 𝛼𝑎2 𝜏 −1 (5.27)
где 𝛼 – геометрический фактор;
a – параметр решетки;
𝜏- среднее время между двумя последовательными перескоками
внедренного атома.
Применяя для определения величины 𝜏 теорию скоростей реакций
Эйринга, можно получить выражение для коэффициента диффузии
внедренных атомов [151]:
𝐷 = 𝑃𝛼𝑎2 𝜈 exp(∆𝜌/𝑅)exp(𝑄/𝑅𝑇) (5.28)
или
𝐸𝑎
𝐷 = 𝐷0 exp (− ) (5.29)
𝑅𝑇
где P – число эквивалентных путей перемещения атома из положения
равновесия;
183
𝜈 - частота колебаний атома в положении равновесия вдоль направления
диффузии;
∆𝜌 - энтропия активации;
𝑄 – теплота активации;
R – универсальная газовая постоянная, Дж/К;
𝐸𝑎 – энергия активации, Дж;
Т – температура, K.
Коэффициент диффузии D определяется свойствами среды и типом
диффундирующих частиц.
Коэффициент диффузии азота в α – фазе [164,175]:
18600 𝐷𝑁
𝐷𝑁𝛼 = 6,6 ∙ 10−3 𝑒𝑥𝑝 (− ) 𝜂Л𝑖 (5.30)
𝑅𝑇
Влияние легирующих элементов на коэффициент диффузии азота
учитывается коэффициентом легирования (𝜂𝐷Л𝑁 ), при этом коэффициент
𝑖
диффузии азота при легировании одним элементом может быть представлен в

виде [164,175]:
𝐷
𝐷𝑁𝛼 = 𝜂Л𝑖𝑁 𝐷𝑁 (5.31)
где 𝜂𝐷Л𝑁 - коэффициент легирования

𝑖
𝐷𝑁 - коэффициент диффузии азота в чистом железе

При легировании несколькими элементами, коэффициент диффузии
ьазота записывается в виде [164,175]:
𝐷 𝐷 𝐷
𝐷𝑁𝛼 = 𝜂Л1𝑁 𝜂Л2𝑁 … 𝜂Л𝑛𝑁 𝐷𝑁 (5.32)
Коэффициент легирования, зависящий от химического состава стали,
определяется из выражений [164,175]:
Л
𝐷 𝐷𝑁𝑖
𝜂Л𝑖𝑁 = (5.33)
𝐷𝑁
или
Л
𝐷 𝐷𝑁𝑖
ln 𝜂Л𝑖𝑁 = ln (5.34)
𝐷𝑁
184
В зависимости от концентрации легирующих элементов [164,175]:
𝐷В(%Л)𝑛
ln 𝜂Л𝑖𝑁
= (5.35)
𝑇
где В – постоянный коэффициент.
В [164,175] приведены зависимости коэффициентов легирования 𝜂𝐷Л𝑁 от
𝑖
концентрации легирующих элементов (рис. 5.6).
а) б)
Рисунок 5.6 - Зависимость коэффициентов легирования от концентрации

легирующих элементов при t=550°C с учетом влияния (а) и без учета влияния
(б) легирующих элементов на растворимость азота в α – фазе
Так для стали 16Х3НВФМБ-Ш коэффициент легирования равен 0,135, а

для стали 38ХМЮА – 0,192.
В результате расчетов компьютерной модели было получено
распределение температурного поля в детали «зубчатое колесо» при ЛИА с
ПК. На рисунке 5.7 показано поверхностное распределение температуры
детали после 8 часов локальной обработки. При этом температура
поверхности зубьев составляла ~823 К (550°С).
185
Рисунок 5.7 - Поверхностное распределение температуры при ЛИА с ПК
Из рисунка 5.7 видно, что при установившемся режиме локальной

обработки, разность температуры между самыми горячими и холодными
участками детали составляет приблизительно 40 K.
На рисунке 5.8 изображены теоретические кривые 1, 2 изменения
температуры T зубчатого колеса в двух крайних точках А и В с течением времени
t при ЛИА с ПК. Для проверки адекватности модели была проведения серия
экспериментов по исследованию скорости нагрева детали (рис. 5.8, кривые 3, 4).
Рисунок 5.8 - График нагрева поверхности обрабатываемой детали в двух

крайних точках А и В при ЛИА с ПК: 1 – теоретическая кривая (участок проявления
ПК, точка А); 2 – теоретическая кривая (самый холодный участок детали, точка В); 3
– экспериментальная кривая (точка А); 4 – экспериментальная кривая (точка В)
186
Из графика (рис. 5.8) видно, что полученные в результате экспериментов
зависимости показали хорошее сходство с данными полученными в результате
моделирования. Анализ кривых показывает, что азотируемая поверхность
детали нагревается до температуры диффузионного насыщения примерно за
45 минут (скорость нагрева составляет 0,2 K/сек.) после чего температура
поверхности остается неизменной до конца обработки. Это связано с
установившимся равновесием между подводом тепловой энергии от
высокоэнергичных ионов и отводом тепловой энергии излучением от
поверхности в окружающее пространство. При этом температура самого
«холодного» участка детали составляет 783 K (510°С).
На рисунке 5.9 изображены теоретическая и экспериментальная кривые
охлаждения обрабатываемой поверхности детали (точка А). В этом случае
подвод тепловой энергии q1 и q2 прекращается и деталь остывает за счет отвода
тепловой энергии излучением от поверхности в окружающее пространство.
Рисунок 5.9 - График охлаждения обрабатываемой поверхности детали

(точка А): 1 – теоретическая кривая; 2 – экспериментальная кривая.
Из графика (рис. 5.9) видно, что обрабатываемая поверхность

охлаждается до температуры 523 K (250°С) за ~ 30 минут. График охлаждения
детали имеет практическое применение и позволяет выбрать время выдержки
садки после завершения процесса ЛИА с ПК для деталей любой сложности.
187
В результате расчетов модели была получена кривая изменения
концентрации насыщающего элемента по глубине диффузионного слоя
участка, азотированного с ПК (рис. 5.10).
Рисунок 5.10 - Расчетное изменение концентрации насыщающего

элемента по глубине диффузионного слоя на участке, азотированного с ПК
Анализ графика показывает, что глубина диффузионного слоя составляет

~ 200 мкм. Для проверки результатов расчета модели, был локально азотирован
образец в тлеющем разряде с ПК при Т=550°С, P=60 Па, U=500 В, t=8 ч.
На рисунке 5.11 показана фотография микроструктуры стали 38ХМЮА
после ЛИА с ПК.
Рисунок 5.11 - Фотография микроструктуры стали 38ХМЮА после ЛИА

с ПК: Т=550°С, P=60 Па, U=500 В, t=8 ч.
188
Исследование микроструктуры образца (рис. 5.11) после ЛИА с ПК показало
наличие темного диффузионного слоя толщина которого составляет ~ 220 мкм.
Для определения глубины упрочненного слоя были произведены
измерения микротвердости по глубине азотированного слоя на поперечном
шлифе данного образца (рис. 5.12).
Рисунок 5.12 - Изменение микротвердости по глубине азотированного

слоя для образца стали 38ХМЮА: Т=550°С, P=60 Па, U=500 В, t=8 ч.
Измерение микротвердости на поперечном шлифе данного образца

показало глубину упрочненного слоя ~ 220 мкм. Таким образом,
экспериментальные данные показали хорошее сходство с результатами расчетов.
На кинетику процесса диффузионного насыщения, физико-
механические характеристики и фазовый состав азотированного слоя в
тлеющем разряде влияет вид и состав газовой среды. В азотной плазме
присутствие кислорода недопустимо, так как при этом уменьшается
активность рабочей атмосферы, а водород незначительно влияет на рост слоя
[110]. В качестве рабочего газа для ЛИА с ПК использовалась смесь азота,
аргона и ацетилена (N2 70%, Ar 25%, C2H2 5%).
Время ЛИА с ПК выбирается в зависимости от необходимой толщины
диффузионного слоя. Известно, что при насыщении азотом формирование
189
упрочненного слоя подчиняется общему правилу, согласно которому
диффузия между компонентами приводит к образованию однофазных слоев,
соответствующих монофазным областям диаграммы состояния Me-N,
пересекаемой изотермой при температуре насыщения. Диффузионные слои
образуются в той же последовательности, что и однофазные области на
диаграмме состояния. При этом скорость роста каждой фазы зависит от
интенсивности диффузионных процессов как ниже, так и выше лежащей зоны.
Для определения кинетики роста упрочненной зоны при ЛИА с ПК было
исследовано влияние продолжительности обработки на толщину
диффузионной зоны (рис. 5.13, 5.14) [89].
Рисунок 5.13 - Кинетика роста упрочненной зоны для конструкционной

стали 16Х3НВФМБ-Ш при ЛИА с ПК (Т=550°С, Р=60 Па, U=500В)
190
Рисунок 5.14 - Кинетика роста упрочненной зоны для конструкционной

стали 38ХМЮА при ЛИА с ПК (Т=550°С, Р=60 Па, U=500В)
Результаты исследования показали, что процесс диффузионного

насыщения при ЛИА, как и любой диффузионный процесс, подчиняется
обратному параболическому закону. При этом скорость диффузионного
насыщения с течением времени уменьшается [89].
Из рис. 5.13, 5.14 видно, что при ЛИА с ПК стали 38ХМЮА в течение 12
ч толщина упрочненного слоя составила 230-250 мкм. За то же время в стали
16Х3НВФМБ-Ш образуется диффузионный слой толщиной 140-160 мкм.
5.2 Исследование влияния локального ионного азотирования в

тлеющем разряде низкого давления с полым катодом на структуру
поверхностных слоев конструкционных сталей 16Х3НВФМБ-Ш и
38ХМЮА
В данной работе для локального структурно-фазового модифицирования

поверхности образцов из конструкционных сталей 16Х3НМВФБ-Ш и
38Х2МЮА предлагается использовать ПК. Сущность способа заключается в
191
локальной интенсификации процесса ионного азотирования для участков
деталей наиболее подверженных износу. Известно, что азотирование может
быть интенсифицировано активизацией трех элементарных процессов,
ответственных за формирование диффузионного слоя:
1. образования активного азота в газовой фазе;
2. адсорбции атомов азота на металлической поверхности;
3. диффузии азота в металл.
В работах [46,84], доказано, что использование ПК при ионном
азотировании способствует увеличению концентрации как адсорбтива (активного
азота) в полости катода, так и адсорбата на поверхности обрабатываемого
материала. Повышенная концентрация активного азота связана увеличением
актов ионизации в плазме тлеющего разряда, вызванных осциллирующими
электронами в полости технологического экрана для создания ПК.
Таким образом, локальная интенсификация процесса насыщения
происходит вследствие ускорения диффузии активного азота в металле,
главной движущей силой которой является градиент концентрации
насыщающего элемента.
Для выявления структуры диффузионного слоя конструкционных
сталей были проведены исследования с помощью оптического микроскопа.
ЛИА подвергались образцы из сталей мартенситного (16Х3НВФМБ-Ш)
и перлитного (38ХМЮА) классов, применяемые для изготовления
высоконагруженных зубчатых колес, шестерней, валов и других деталей
авиастроения. На рис. 5.15 изображена исходная микроструктура стали
16Х3НВФМБ-Ш после закалки с 930°С и высокого отпуска при 600°С [90].
192
Рисунок 5.15 - Исходная микроструктура стали 16Х3НВФМБ-Ш после

закалки с 930°С и высокого отпуска при 600°С.
В результате отпуска сталей данного класса происходит диффузионное

перераспределение атомов углерода с образованием ферритно-цементитной
смеси, при этом карбиды как основного металла, так и легирующих элементов
выделяются в виде цепочек вдоль границ зерен [74,109].
На рис. 5.16 изображена исходная микроструктура стали 38ХМЮА
после закалки с 940°С и высокого отпуска при 600°С.
Рисунок 5.16 - Исходная микроструктура стали 38ХМЮА после закалки

с 940°С и высокого отпуска при 600°С
193
В результате улучшения в структуре стали 38ХМЮА наблюдается
троостит отпуска в виде темной игольчатой структуры на фоне светлых полей
мартенсита [74].
Максимально допустимая температура азотирования сталей не должна
превышать температуру отпуска и составляет 550°С. Чем выше температура
азотирования, тем ниже абсолютное значение предела выносливости. Это
связано с разупрочнением сердцевины и уменьшением остаточных
напряжений сжатия [169].
На рис. 5.17 - 5.18 показаны фотографии микроструктур образцов из
сталей 16Х3НВФМБ-Ш и 38ХМЮА после ЛИА с ПК. Локальное
азотирование проводили при Т=550°С, Р=60 Па, U=500В, t=12 ч, h=5 мм.
Рисунок 5.17 - ЛИА в тлеющем разряде с ПК стали 16Х3НВФМБ-Ш при

Т=550°С, Р=60 Па, U=500В, t=12 ч, h=5 мм: I –участок, азотированный с ПК;
II – участок, азотированный без ПК.
Исследование микроструктур образцов из сталей 16Х3НВФМБ-Ш и

38ХМЮА после ЛИА с ПК показало наличие 3-х темных диффузионных зон:
I – зона, находившаяся под влиянием ПК; II – зона не подверженная влиянию ПК.
194
Рисунок 5.18 - ЛИА в тлеющем разряде с ПК стали 38ХМЮА при Т=550°С,

Р=60 Па, U=500В, t=8 ч, h=5 мм: I – участок, азотированный с ПК; II – участок,
азотированный без ПК.
Из рис. 5.17 - 5.18 видно, что для конструкционных сталей 16Х3НВФМБ-Ш

и 38ХМЮА на участках ионного азотирования с ПК толщина темного сильно
травящегося слоя в 2-2,5 раза больше по сравнению с участками ионного
азотирования без ПК при температуре поверхности 550°С и длительности
процесса 12 ч. Такое увеличение диффузионного слоя на участках ионного
азотирования с ПК связано с увеличением градиента концентрации насыщающего
элемента в полости образуемой технологическим экраном-сеткой и катодом.
Максимальный размер переходной зоны для сталей 16Х3НВФМБ-Ш и
38ХМЮА достигал до 3-х мм. Переход от азотированного слоя с ПК к слою,
азотированного без ПК плавный, о чем свидетельствует постепенное
изменение толщины темной диффузионной зоны.
Анализ структуры локально азотированных участков с ПК показывает
наличие темной диффузионной зоны, размер которой меняется в зависимости
от технологических параметров тлеющего разряда. Диффузионная зона
представляет собой α-фазу – азотистый феррит с ОЦК решеткой, период
решетки меняется в зависимости от содержания азота [176]. Переход от
195
азотированного слоя к нижележащим слоям плавный, что является одним из
основных требований к микроструктуре стали [87,229].
В случае ЛИА с ПК стали 38ХМЮА основная часть азотированного слоя при
малом увеличении напоминает ориентированную по мартенситу сорбитовую
структуру, которая благодаря повышенному содержанию в ней азота травится в 5%
растворе азотной кислоты сильнее, чем сорбитовая структура сердцевины стали,
имеющая также мартенситовую ориентировку. При температуре азотирования ниже
эвтектоидной на поверхности диффузионного слоя образуется ε-фаза, имеющая
несомненно карбонитридную природу, поскольку процесс ЛИА проводили в среде
рабочего газа с 5% ацетилена, а также из-за большого содержания в стали 38ХМЮА
углерода. При охлаждении ε-фаза претерпевает распад с выделением легированной
γ'-фазы (Fe, M)4N. Непосредственно к слою сплошных нитридов, выявляемых под
микроскопом в виде белого нетравящегося слоя, прилегает область, в которой
рентгеновский анализ фиксирует трехфазное состояние ε+ γ'+ α. Одновременное
присутствие ε- и α-фаз объясняется продвижением ε-фазы по границам зерен [173].
Нитридные выделения на фотографиях микроструктуры наблюдаются в виде
прожилок, параллельных поверхности шлифа или в виде сетки по границам зерен,
вследствие продвижения высокоазотистых фаз по границам зерен стали,
легированной алюминием и хромом. При ЛИА с ПК ярко выраженная нитридная
сетка образуется только при длительности обработки от 20 ч (рис. 5.19).
Рисунок 5.19 - Микроструктура азотированного с ПК слоя стали

38ХМЮА при Т=550°С, Р=60 Па, U=500В, t=20 ч, h=5 мм
196
Некоторое отличие микроструктуры стали 16Х3НВФМБ-Ш
заключается в том, что в ней значительно менее развита зона с избыточными
нитридами - ε и γ’-фазой, отчего и хрупкость азотированного слоя такой стали
всегда меньше, чем азотированного слоя хромомолибденалюминиевой стали.
При травлении образцов из данной стали обычно применяется 5% раствор
азотной кислоты. Сердцевина стали травится тяжело. Азотированный же слой
выявляется в виде сильно травящегося темного слоя, состоящий из азотистой
α-фазы, обедненной легирующими элементами, карбидов М3С, избыточной γ'-
фазы (Fe, M)4N и сложного нитрида легирующих элементов. Концентрация
азота в α-фазе достигает 0,3-0,5% [173].
По данным [187] наиболее сильное выделение нитридов наблюдается на
углах и острых кромках деталей вследствие большой концентрации азота в
этих местах. Подобная нитридная сетка приводит к сильному охрупчиванию и
дальнейшему выкрашиванию острых кромок деталей. На рис. 5.20
изображены микроструктуры стали 16Х3НВФМБ-Ш на острых кромках
образцов после ионного азотирования с ПК.
а) б)
Рисунок 5.20 - Микроструктуры стали 16Х3НВФМБ-Ш на острых кромках
образцов после ионного азотирования с ПК при Т=550°С, Р=60 Па, U=500В,
h=5 мм: а – при длительности обработки 5 ч; б – при длительности обработки 3 ч
Анализ фотографий микроструктур после ионного азотирования с ПК

показал незначительное выделение нитридов на острых кромках образцов. Это
197
в первую очередь связано с активным распылением поверхности образца в
области проявления ПК и режимами обработки.

тлеющем разряде низкого давления с полым катодом на фазовый состав
38ХМЮА
Многочисленные исследования показывают, что при азотировании

легированных сталей образуются те же фазы, которые возникают при
насыщении железа азотом. Однако легирование изменяет состав фаз и
температурные границы их образования.
При температуре азотирования на легированном феррите (легированной
стали) новые фазы не только могут возникать слоями относительно друг друга,
но и образовывать многофазные диффузионные слои. Легирующие элементы
в процессе насыщения азотом образуют нитриды.
Детальное исследование фазового состава поверхности материала
образцов из конструкционных сталей 38ХМЮА и 16Х3НВФМБ-Ш проводили
с использованием рентгеноструктурного анализа.
ЛИА образцов проводилось при P=60Па и Т=550°С, в качестве рабочего
газа использовалась смесь азота, аргона и ацетилена (Ar 70%, N2 25%, C2H2
5%). Предварительная ионная очистка производилась при P=10 Па, при этом
температура поверхности не превышала T=250°С. Время очистки составило 15
минут. Ионное азотирование проводилось в течение t=12 часов.
На рис. 5.21 – 5.22 показаны дифрактограммы поверхности образцов из сталей
38ХМЮА и 16Х3НВФМБ-Ш в исходном состоянии после закалки и отпуска.
198
Рисунок 5.21 - Дифрактограмма поверхности образца из стали 38ХМЮА до

азотирования после закалки и отпуска
Рисунок 5.22 - Дифрактограмма поверхности образца из стали

16Х3НВФМБ-Ш до азотирования после закалки и отпуска
199
На дифрактограмме (рис. 5.21) поверхности стали 38ХМЮА после
термообработки обнаружены рефлексы Fe, твердых растворов Fe-Cr и Fe-Ni.
У стали 16Х3НВФМБ-Ш (рис. 5.22) обнаружены такие же рефлексы, как и у
стали 38ХМЮА, отличающиеся величиной интенсивности, а также
обнаружены рефлексы Cr.
На рис. 5.23 - 5.24 показаны дифрактограммы образца из стали
38ХМЮА после ЛИА с ПК.
Рисунок 5.23 - Дифрактограмма образца из стали 38ХМЮА на участке

ионного азотирования с ПК
Анализ дифрактограммы (рис. 4.10) поверхности образца из стали

38ХМЮА на участках ионного азотирования с ПК показал, наличие рефлексов
ε-фазы Fe2-3(N), Fe2-3(N, C), γ'-фазы Fe4N, Fe4(N, C), а также фазы состоящие из
нитридов и карбонитридов хрома CrN, Cr(C, N).
200
Рисунок 5.24 - Дифрактограмма образца из стали 38ХМЮА на участке

ионного азотирования
На дифрактограмме (рис. 5.24) поверхности образца из стали 38ХМЮА

на участках ионного азотирования без ПК также обнаружены рефлексы ε-фазы
Fe2-3(N), Fe2-3(N, C), γ'-фазы Fe4N, Fe4(N, C), фазы состоящие из нитридов и
карбонитридов хрома CrN, Cr(C, N), отличающиеся меньшей величиной
интенсивности, чем на участках ионного азотирования с ПК. Образование
карбонитридов как железа, так и легирующего элемента хрома при ЛИА с ПК
связано присутствием в смеси рабочего газа ацетилена (C2H2). Так в атмосфере
высокой науглероживающей способности нитрид γ', практически не
растворяющий углерод, растворяет углерод и превращается в карбонитрид
Fe3(N, C) [155]. Образованные карбонитриды Fe2-3(N, C) обладают хорошим
сопротивлением износу и меньшей хрупкостью, чем чистый цементит Fe3C
или нитриды Fe2-3N [234].
На рис. 5.25 - 5.26 показаны дифрактограммы образца из стали
16Х3НВФМБ-Ш после ЛИА с ПК
201
Рисунок 5.25 - Дифрактограмма образца из стали 16Х3НВФМБ-Ш на

участке ионного азотирования с ПК
Рисунок 5.26 - Дифрактограмма образца из стали 16Х3НВФМБ-Ш на

участке ионного азотирования без ПК
202
На дифрактограммах (рис. 5.25-5.26) поверхности образца из стали
16Х3НВФМБ-Ш после ЛИА с ПК обнаружены рефлексы ε-фазы Fe2-3(N), Fe2-
3(N, C), γ'-фазы Fe4N, Fe4(N, C), а также фазы состоящие из нитридов и
карбонитридов хрома (CrN, Cr(N,C), Cr2N, Cr2(N,C)). При этом на участках
ионного азотирования с ПК интенсивность линий ε-фазы, γ'-фазы, а также
нитридов и карбонитридов хрома, выше чем на участках ионного
азотирования без ПК, что указывает на увеличение объемной доли данных фаз
на поверхности стали. Из литературных данных известно [197], что
присутствие γ'-фазы Fe4N благоприятно сказывается на структуре слоя,
уменьшает поверхностную хрупкость и увеличивает износостйкость.
5.4 Исследование влияния локального ионного азотирования в тлеющем

разряде низкого давления с полым катодом на микротвердость
38ХМЮА
Микротвердость образцов из конструкционных сталей 16Х3НВФМБ-Ш

и 38ХМЮА, подвергнутых ЛИА, измеряли методом восстановленного
отпечатка.
Образцы подвергались ЛИА с ПК, в качестве рабочего газа
использовалась смесь азота, аргона и ацетилена (N2 70%, Ar 25%, C2H2 5%).
Значения поверхностной микротвердости сталей 16Х3НВФМБ-Ш и
38ХМЮА до и после ЛИА с ПК представлены в табл. 5.1. Режимы ионного
азотирования образцов из стали 16Х3НВФМБ-Ш и 38ХМЮА: Т=550±10°С,
t=12 ч, U=500В, I=0,8А, P=60 Па.
Высокая поверхностная твердость образцов из сталей 16Х3НВФМБ-Ш
и 38ХМЮА связана не только с процессами предвыделения и образования
нитридов при азотировании, но и с большой растворимостью азота в феррите,
легированном переходными металлами [109].
203
Таблица 5.1 - Микротвердость поверхности образцов
Марка Микротвердость Микротвердость Микротвердость

стали до азотирования, после азотирования после азотирования с
образцов HV100 без ПК, HV100 ПК, НV100
16Х3НВФМБ-
400±20 915±20 940±20
Ш
38ХМЮА 370±20 990±20 980±20
Результаты измерения (табл. 5.1) показывают, что ПК при ионном

азотировании не влияет на поверхностную микротвердость образцов из сталей
38ХМЮА и 16Х3НВФМБ-Ш при температуре процесса 550°С и длительности
обработки 12 ч.
Измерения микротвердости на поперечных шлифах азотированных
образцов из конструкционных сталей 16Х3НВФМБ-Ш и 38ХМЮА позволили
оценить глубину диффузионного слоя, при ЛИА с ПК.
На рис. 5.27 показаны распределения микротвердости по глубине
диффузионного слоя для стали 16Х3НВФМБ-Ш на участке I и II при
длительности обработки t=12 ч (а) и на участке I при различных значениях
времени (б) ЛИА с ПК.
Анализ кривых распределения микротвердости (рис. 5.27, а) показывает,
что на участке ионного азотирования с ПК толщина диффузионного слоя в 2
раза больше по сравнению с участком ионного азотирования без ПК при
температуре Т=550°С, длительности обработки t=12 ч и составляет 140 мкм.
204
а)
б)
Рисунок 5.27 - Распределение микротвердости по глубине

диффузионного слоя: а – на участке I (1) и II (2) при ЛИА с ПК при Т=550°С,
t=12 ч; б – на участке I при различных значениях времени ЛИА с ПК (1 – 1 ч,
2 – 3 ч, 3 – 5 ч, 4 – 8 ч, 5 – 12 ч) при Т=550°С, Р=60 Па, U=500В
205
На рис. 5.28 показаны распределения микротвердости по глубине
диффузионного слоя для стали 38ХМЮА на участке I и II при длительности
обработки t=12 ч (а) и на участке I при различных значениях времени (б) ЛИА с ПК.
а)
б)
Рисунок 5.28 - Распределение микротвердости по глубине

диффузионного слоя: а – на участке I (1) и II (2) при ЛИА с ПК при Т=550°С,
t=12 ч; б – на участке I при различных значениях времени ЛИА с ПК (1 – 1 ч,
2 – 2 ч, 3 – 4 ч, 4 – 6 ч, 5 – 8 ч, 6 – 12 ч) при Т=550°С, Р=60 Па, U=500В
206
Анализ кривых распределения микротвердости (рис. 5.28, а) показывает, что
ионное азотирование с ПК образцов из конструкционной стали 38ХМЮА
способствует увеличению толщины диффузионного слоя до 2,5 раз по сравнению
с ионным азотированием без ПК при температуре Т=550°С, длительности
обработки t=12 ч и составляет 240 мкм. При ЛИА максимальная микротвердость
наблюдается на расстоянии от поверхности ~40 мкм и составляет 997 HV100. Это
объясняется значительным увеличением физического уширения β и уменьшением
интенсивности I интерференционных линий α-фазы [109].
Анализ результатов измерения микротвердости по глубине диффузионного
слоя конструкционных сталей показывает, что продолжительность ионного
азотирования с ПК существенно влияет на микротвердость поверхности. Это
обусловлено коагуляцией нитридных и карбидных частиц, и разупрочнением
самого материала. С увеличением времени азотирования с ПК распределение
микротвердости по толщине диффузионного слоя становится более плавным, без
резких переходов к сердцевине. Падение величины микротвредости материала по
глубине диффузионного слоя связано с уменьшением концентрации
растворенного азота в α-фазе. Из рис. 5.28-5.29 видно, что азотирование при
Т=550°С практически не влияет на твердость сердцевины образцов.
С целью оценки влияния ЛИА с ПК на хрупкость диффузионной зоны
стали 38ХМЮА были исследованы отпечатки индентора на поперечных
прямых шлифах образца (рис. 5.30-5.31).
Рисунок 5.30 - Отпечатки микротвердости образца из стали 38ХМЮА,

прошедшего ЛИА с ПК (Т=550°С, P=60 Па, t=12 ч).
207
Согласно методике, приведенной в гл. 2, по отпечаткам микротвердости
можно оценить хрупкость диффузионного слоя (рис. 5.31).
а) б)
Рисунок 5.31 - Характеристика пластичности диффузионного слоя стали
38ХМЮА по отпечаткам алмазной пирамиды (Т=550°С, P=60 Па, t=12 ч):
расстояние до поверхности 25 мкм (а); сердцевина (б).
Анализ отпечатков индентора на поперечном шлифе образца показал,

что отпечаток индентора на расстоянии 25 мкм от поверхности, согласно
шкале хрупкости разработанного в ВИАМ, можно отнести II-ой группе –
«слегка хрупкий», а отпечаток сделанный в серцевине материала – к I-ой
группе – «нехрупкий». В обоих случаях приведенные выше отпечатки
соответствуют работоспособным пластичным диффузионным слоям.

тлеющем разряде низкого давления с полым катодом на износостойкость
38ХМЮА
Основная цель азотирования деталей, работающих в условиях

интенсивного изнашивания и контактных нагрузок – повышение
износостойкости.
208
Трибологические характеристики поверхности образцов из
конструкционной стали 38ХМЮА прошедших ЛИА с ПК исследовали с
использованием автоматизированной установки трения Nanovea по схеме
испытания «шарик-диск». Величина износостойкости оценивалась по
количеству металла, удаленного из испытуемого образца в процессе износа
под нагрузкой. В качестве контртела использовали шарик из стали ШХ15
диаметром 3 мм. Испытания проводили в режиме сухого трения при нагрузке
на держатель контртела 4 Н и радиусе вращения образца 2,5 мм. Поперечное
сечение дорожки износа образца после трибологических испытаний измеряли
с помощью прецизионного контактного профилометра. На основании этих
данных определяли среднее значение площади поперечного сечения.
Образец №1 – в исходном состоянии (закалка + высокий отпуск),
образец № 2 – участок ионного азотирования (зона II) при Т=550°С, P=60 Па,
t=12 ч., образец №3 – участок ионного азотирования с ПК (зона I) при
Т=550°С, P=60 Па, t=12 ч.
На рис. 5.32 показана фотография трека износа образца в исходном
состоянии после испытания на износ.
Рисунок 5.32 - Фотография трека износа образца в исходном состоянии
На рис. 5.33 - 5.34 изображены график изменения коэффициента трения

от продолжительности изнашивания и профилограмма поверхности после
испытания на износ образца в исходном состоянии.
209
Рисунок 5.33 - Изменение коэффициента трения от продолжительности

изнашивания образца в исходном состоянии
Рисунок 5.34 - Профилограмма поверхности образца №1 в исходном

состоянии после испытания на износ
Анализ изображений трека износа (рис. 5.32) показал, что основным

механизмом изнашивания является абразивное изнашивание со следами
пластического течения материала. Это подтверждается образованием на
поверхности трения характерных канавок и наплывов, возникающих при
пластическом оттеснении материала вследствие воздействия абразива. В
результате на диаграмме (рис. 5.33) наблюдается скачкообразное изменение
коэффициента трения. Исследование профилограммы поверхности образца
210
(рис. 5.34) показало, что максимальная глубина трека износа у образца в
исходном состоянии составила около 10 мкм, а ширина трека ~ 1,2 мм.
На рис. 5.35 показаны фотографии треков износа образцов после
ионного азотирования с ПК и без.
а) б)
Рисунок 5.35 - Фотографии треков износа образцов: а – образец № 2,
б – образец №3
Анализ фотографий треков износа (рис. 5.35) показал, что основным

механизмом изнашивания образцов после обработки является абразивное
изнашивание со следами микрорезания трущихся поверхностей. Появление
следов микрорезания связано с формированием на поверхности материала
тонкого слоя нитридов, а также выделением крупных нитридов железа по
границам зерен, которые становятся источником твердых абразивных частиц.
На рис. 5.36 - 5.39 изображены графики изменения коэффициента трения
от продолжительности изнашивания и профилограммы поверхностей
образцов на участках, азотированных с ПК и без него.
211

изнашивания образца на участке ионного азотирования
Рисунок 5.37 - Профилограмма поверхности образца № 2 после

испытания на износ

изнашивания образца на участке ионного азотирования с ПК
212
Рисунок 5.39 - Профилограмма поверхности образца № 3 после

испытания на износ
Из литературных данных известно [1,104], что на стадии приработки

коэффициент трения является нестабильным, и может происходить как резкое
повышение, так и снижение его значения. Приработка поверхности обычно
происходит за достаточно короткое время. Анализ результатов испытания
(рис. 5.36, 5.38) показал, что для образца №2 данный этап заканчивается через
~3 минуты, в то время для образца №3 этап приработки полностью
заканчивается через ~6 минут. Следующий этап является наиболее
продолжительным, он характеризуется нормальным износом и стабильным
коэффициентом трения. Среднее значение коэффициента трения на участках
ионного азотирования без ПК составил Ктр=1, а на участках ионного
азотирования с ПК Ктр=0,8.
Далее после этапа нормального износа следует стадия
катастрофического износа, при которой происходит резкое увеличение
значения коэффициента трения, однако при данных условиях
трибологических испытаний она не наступила для всех исследуемых образцов
после модифицирования поверхности. Исследование профилограмм
поверхности образцов (рис. 5.37, 5.39) показало, что максимальная глубина
трека износа у образца, азотированного без ПК составила около 2,5 мкм, а у
образца, азотированного с ПК – 1,5 мкм.
На рисунке 5.40 приведены увеличенные снимки треков износа образцов
из стали 16Х3НВФМБ-Ш после ионного азотирования с экраном и без.
213
а б
Рисунок 5.40 - Увеличенные снимки треков износа образцов из стали
16Х3НВФМБ-Ш: а – образец № 2, б – образец №3
Анализ фотографий треков износа образцов из стали 16Х3НВФМБ-Ш

после обработки (рисунок 5.40) показал, что основным механизмом
изнашивания, как и у стали 38ХМЮА является абразивное изнашивание со
следами микрорезания трущихся поверхностей.
На рисунках 5.41 - 5.44 изображены графики изменения коэффициента
трения от продолжительности изнашивания и профилограммы поверхностей
образцов из стали 16Х3НВФМБ-Ш на участках, азотированных с экраном и без.
Рисунок 5.41- Изменение коэффициента трения отпродолжительности

изнашивания образца из стали 16Х3НВФМБ-Шна участке ионного
азотирования без экрана
214
Рисунок 5.42 - Профилограмма поверхности образца № 2 из стали

16Х3НВФМБ-Ш после испытания на износ

изнашивания образца из стали 16Х3НВФМБ-Ш на участке ионного
азотирования с экраном
Рисунок 5.44 - Профилограмма поверхности образца № 3 из стали

16Х3НВФМБ-Ш после испытания на износ
Анализ результатов испытания (рисунки 5.41, 5.43) показал, что для
образца №2 из стали 16Х3НВФМБ-Ш этап приработки заканчивается через
215
~2 минуты, в то время для образца №3 этап приработки полностью
заканчивается через ~5 минут. Среднее значение коэффициента трения на
участках ионного азотирования сэкраном и без составил Ктр=0,6.
Исследование профилограмм поверхности образцов (рисунки 5.42, 5.44)
показало, что максимальная глубина трека износа у образца, азотированного без
экрана составила около 2 мкм, а у образца, азотированного с экраном – 1 мкм.
На рис. 5.45 изображена диаграмма относительный износ поверхности
образцов в зависимости от метода обработки.
Рисунок 5.45 - Относительный износ поверхности образцов в

зависимости от метода обработки
Из данных приведенных на рис. 5.45 видно, что ионное азотирование и

ионное азотирование с полым катодом значительно повышает износостойкость
сталей 38ХМЮА и 16Х3НВФМБ-Ш. Так, для стали 38ХМЮА на участках
ионного азотирования без экрана износостойкость увеличилась в 9 раз и на
участках ионного азотирования с экраном в 14 раз по сравнению с исходным
состоянием, а для стали 16Х3НВФМБ-Ш на участках ионного азотирования без
216
экрана износостойкость увеличилась в 7 раз и на участках ионного
азотирования с экраном в 12 раз по сравнению с исходным состоянием.
Такое улучшение износостойкости после обработки объясняется не
только формированием нитридного слоя состоящей из нитридов основного
металла Fe4N, но и образованием в нем нитрида хрома Cr4N, который как
известно, помимо значительного повышения твердости способствует также
увеличению износостойкости [54,175].
1. Установлено, что в результате ЛИА конструкционных сталей 38ХМЮА
и 16Х3НВФМБ-Ш образуется 2 зоны: 1 –находившаяся под технологическим
экраном; 2 – вне технологического экрана. При этом толщина диффузионного
слоя зоны, находившейся под экраном в 2-2,5 раза больше по сравнению с зоной,
находившейся вне экрана, а переход между этими зонами плавный. Увеличение
толщины слоя связано с тем, что в полости экрана складываются благоприятные
условия для сорбционных процессов, что приводит к формированию высокого
градиента концентрации насыщающего элемента.
2. Установлено, что ЛИА в тлеющем разряде с ПК не влияет на
поверхностную микротвердость образцов из сталей 38ХМЮА и
16Х3НВФМБ-Ш при температуре процесса 550°С и длительности
обработки12 ч по сравнению с традиционным ионным азотированием. При
этом микротвердость азотированных образцов до 2,5 раз выше по сравнению
с исходным состоянием (закалка + высокий отпуск).
3. Установлено, что ионное азотирование в тлеющем разряде с ПК при
температуре Т=550°С и длительности обработки t=12 ч так же, как и
традиционное ионное азотирование способствует повышению
износостойкости сталей 38ХМЮА и 16Х3НВФБМ-Ш. Так, для сталей на
участках ионного азотирования без экрана износостойкость увеличилась в 7-9
раз, а на участках ионного азотирования с полым катодом в 12-14 раз по
сравнению с исходным состоянием (закалка + высокий отпуск).
217
СВОЙСТВ ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ ИНСТРУМЕНТАЛЬНЫХ
СТАЛЕЙ, ПРОИСХОДЯЩИХ ПРИ ВОЗДЕЙСТВИИ тлеющего разряда
НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ С МАГНИТНЫМ ПОЛЕМ
6.1 Исследование влияния азотирования в тлеющем разряде
низкого давления с магнитным полем на структуру поверхностных слоев
инструментальных сталей
В данной работе предлагается использовать тлеющий разряд с

магнитным полем (МП) для структурно–фазового модифицирования
поверхностей образцов из инструментальных сталей Р6М5 и Х12.
Известно [54,175,210], что рабочее давление лимитируется свойствами
тлеющего разряда при давлении ниже 133 Па (температура поверхности не
превышает 370°С), энергия ионов недостаточна для нагрева обрабатываемой
детали до рабочей температуры, а при давлении выше 1330 Па (температура
поверхности не превышает 600°С) нарушается стабильность разряда,
тлеющий разряд переходит в дуговой. Так как диапазон оптимального
рабочего давления для ионного азотирования при температуре T = 550°С
составляет Р = 100 – 200 Па, следовательно проведение процесса ионного
азотирования возможно либо при использовании специальных сильноточных
источников ионов, либо используя МП для увеличения степени ионизации
вблизи обрабатываемой поверхности.
Сущность способа заключается в том, что наличие замкнутого МП у
катода позволяет локализовать плазму разряда в форме тора непосредственно в
прикатодной области. Подобное искажение плазмы объясняется тем, что
эмитированные с катода под действием ионной бомбардировки электроны
захватываются МП, им сообщается сложное циклоидальное движение по
замкнутым траекториям у поверхности мишени. Электроны оказываются как
бы в ловушке, создаваемой с одной стороны МП, возвращающим электроны на
катод, а с другой стороны – поверхностью катода, отталкивающей электроны.
Электроны циклируют в этой ловушке до тех пор, пока не произойдет
218
несколько ионизирующих столкновений с атомами рабочего газа, в результате
которых электрон потеряет полученную от электрического поля энергию [78].
В прикатодной области, в магнитной ловушке, увеличивается генерация
заряженных частиц осциллирующими электронами, возрастает число ионов,
бомбардирующих поверхность, и скорость распыления обрабатываемой
поверхности (см. гл.3).
Для выявления структуры азотированного слоя инструментальных
сталей были проведены микроструктурные исследования с помощью
оптического и растрового электронного микроскопа.
Поверхностная микротвердость после закалки с 1190 °С и 3-х кратного
отпуска 550 °С стали Р6М5 составляет 750 HV. При многократном отпуске из
остаточного аустенита выделяются дисперсные карбиды, легированность аустенита
уменьшается, и он претерпевает мартенситное превращение (рис. 6.1а). Светлые
поля, которые представляют собой остаточный аустенит практически, отсутствуют.
Средний размер зерна составляет ̴ 10 мкм. Основной карбидной фазой является
цементит Fe3C, частицы которого имеют глобулярную форму (рис.6.1б).
а) б)
Рисунок 6.1 – Исходная микроструктура стали Р6М5 после закалки с 1190

°С и 3-х кратного отпуска 550 °С (а – оптический снимок; б – РЭМ снимок)
Все высокохромистые штамповые стали содержат в среднем 12% Cr и

высокий процент углерода до 2,3 %. Это приводит к образованию большого
количества хромистых карбидов легированных железом (Cr,Fe)7C3 (рис.6.2).
219
Именно большое количество избыточной карбидной фазы и делает сталь
высоко износоустойчивой. По своей природе стали Х12 (рис.6.2) похожи на
быстрорежущие (рис. 6.1), так как в них совершаются те же превращения, что
и в быстрорежущих [106].
Рисунок 6.2 – Исходная микроструктура стали Х12 после закалки с

1170 °С и 3-х кратного отпуска 520 °С
Для быстрорежущей стали Р6М5 и стали Х12 большое значение имеет

распределение карбидной фазы. На фотографиях микроструктуры характер
распределения частиц неоднородный в виде полос толщиной 5–10 мкм (см.
рис. 6.1–6.8). Карбидная неоднородность заключается в неравномерном
распределении и неодинаковой форме расположения избыточных карбидов в
структуре. Выделяющиеся при отпуске карбиды Fe3С в стали Х12 более
равномерно распределяются в объеме зерна рис 6.2.
На рис. 6.3 – 6.8 показана структура сталей Р6М5 и Х12, подвергнутых
ионному азотированию в тлеющем разряде и ионному азотированию в тлеющем
разряде с МП. Анализ структуры сталей, прошедших азотирование в тлеющем
разряде, показывает наличие темной диффузионной зоны, размер которой
меняется в зависимости от технологических параметров тлеющего разряда.
220
Диффузионная зона представляет собой α-фазу – азотистый феррит с ОЦК
решеткой, период решетки меняется в зависимости от содержания азота табл. 6.1.
Переход от азотированного слоя к нижележащим слоям плавный, что является
одним из основных требований к микроструктуре азотированной стали.
Наложение МП, при ионном азотировании стали Р6М5 в тлеющем
разряде способствует увеличению толщины упрочненного слоя с 13 мкм до 84
мкм (в 6 раз) при давлении в вакуумной камере 44 Па (рис.6.3, 6.4), и с 55 мкм
до 84 мкм (в 1.5 раза) при температуре T=500 °С (рис.6.4, 6.5).
Рисунок 6.3 – Микроструктура стали Р6М5 после азотирования в

тлеющем разряде при Т=380°С, t=4 часа, Р=44 Па, U=600В
221

тлеющем разряде с МП при Т=500°С, t=4 часа, Р=44 Па, U=600В

тлеющем разряде при T=500ºC, t=4ч., P=120 Па, U=800 В
222
Анализ микроструктур стали Х12 после азотирования рис.6.6 - 6.8. также
показал наличие упрочненного слоя в виде темной травящейся зоны.
Наложение МП, при ионном азотировании в тлеющем разряде способствует
увеличению толщины упрочненного слоя с 16 мкм до 81 мкм (в 5 раз) при
одинаковом давлении в вакуумной камере 44 Па (рис.6.6,6.7), и с 54 мкм до
81 мкм (в 1.5 раза) при одинаковой температуре T=500 °С (рис.6.7,6.8). При
использовании МП складываются благоприятные условия для сорбционных
процессов, в результате которых обеспечивается высокая концентрация
диффундирующего элемента на поверхности катода, что приводит к
формированию высокого градиента концентрации. Проведенные зондовые
измерения (см. гл. 3.3.3), подтверждают формирование высокой концентрации
активного насыщающего элемента. Таким образом, интенсификация ионного
азотирования при наложении МП происходит вследствие ускорения диффузии
активного азота в металле, главной движущей силой, которой является градиент
концентраций насыщающего элемента.
Рисунок 6.6 – Микроструктура стали Х12 после азотирования в тлеющем

разряде при Т=380°С, t=4 часа, Р=44 Па, U=600В
223

разряде с МП при Т=500°С, t=4 часа, Р=44 Па, U=600В
На всех образцах из стали Х12, в темной диффузионной зоне,

наблюдаются продолговатые структурные элементы белого цвета длина до 30
мкм рис.6.6-6.8. По своему строению, предположительно, это карбид M7C3,
который может быть, как вторичным, выделяющийся из аустенита после
отпуска, так и эвтектическим, образующийся при затвердевании. Фактом в
пользу наличия данного карбида, является результаты рентгеноструктурного
анализа (см. гл. 6.2), который показал наличие пиков карбидной фазы
(Cr,Fe)7C3. Карбид имеет своеобразное скелетообразное строение. Видимые
пластинки представляют собой сечения дендритов.
Известно [104], что карбид (Cr,Fe)7C3 имеет сложную гексагональную
решетку табл.6.1, а его твердость составляет порядка 1600 НV, что
значительно больше, твердости цементита. Железо замещает в карбиде M7C3
до 50% Cr, что немного изменяет параметры решетки, повышает плотность и
снижает твердость. В присутствии карбида M7C3 значительно возрастает
износостойкость и снижается коэффициент трения [104].
224

разряде при T=500ºC, t=4ч., P=120 Па, U=800 В
Кроме азотистого мартенсита в диффузионной зоне сталей Р6М5 и Х12

должны присутствовать нитриды легирующих элементов, т.к. они имеют
большее химическое сродство к азоту, чем к углероду, особенно Cr [45].
Выделяющиеся в высокодисперсном виде нитриды CrN и карбонитриды
Cr(N,C) рис. 6.9-6.10 существенно повышают твердость после азотирования.
Наличие нитридов CrN и карбонитридов Cr(N,C) также подтверждается и
рентгеноструктурным анализом (см. гл.6.2).
Таким образом, упрочнение, получаемое при азотировании сталей Р6М5
и Х12, обусловлено образованием гетерофазной диффузионной зоны на базе
азотистого феррита с высокодисперсными частицами специального нитрида
активного нитридообразующего элемента Cr. Упрочненный слой
характеризующийся такой структурой, обеспечивает высокие
эксплуатационные свойства азотированного инструмента, из этих сталей [165].
225
CrN, Cr(N,C)
Рисунок 6.9 – Микроструктура стали Р6М5 после азотирования при

Т=500°С, t=4 часа, Р=80 Па, U=720В
CrN, Cr(N,C)

разряде с МП при Т=500°С, t=4 часа, Р=80 Па, U=720В
226
Карбиды являются обязательной структурной составляющей сталей,
всегда содержащих углерод. Химический состав стали определяет состав и
количество образующихся карбидов, а от размера и морфологии выделяющихся
карбидов зависят, в основном, механические свойства стали [106].
Механизм зарождения карбидов в сталях определяет не только
морфологию (размер, форму и характер распределения в матрице)
упрочняющих частиц, но и плотность их выделения и, следовательно, весь
комплекс свойств стали после азотирования. Проявление конкретного
механизма распада связано с действием двух взаимоисключающих факторов:
величиной пересыщения твердого раствора (определяемой составом стали,
температурой закалки и, в основном, температурой азотирования) и
диффузионной подвижностью атомов в ходе азотирования (контролируемой
также температурой и составом стали).
Количественный анализ карбидных частиц глобулярной формы (см. рис.
6.7–6.9) показал, что их количество до азотирования составляет 14,3 %, после
азотирования - 14 %. Таким образом можно утверждать, что количество
карбидной фазы после азотирования практически не изменилось рис. 6.12.
14,3 % 14 % 14 %
Рисунок 6.12 – Количество карбидной фазы по объему (точечный метод

по Глаголеву [54,118])
В результате анализа распределения карбидных частиц по размеру,

после закалки и отпуска (рис. 6.14) было установлено, что до 50 % из всего
227
объема карбидных частиц составляют частицы от 0,4 до 0,8 мкм. Заданная
тенденция сохраняется и после азотирования с МП и без него.
Таким образом, количественный анализ и анализ распределения
карбидных частиц по размерам показал, что азотирование при 500 ºС не
влияет на изменение размера (коагуляцию) частиц карбидной фазы стали
Р6М5. Указанная тенденция сохраняется и для стали Х12.
а б
в
Рисунок 6.13 – Фотографии микроструктур стали Р6М5 с контрастным
выделением карбидной фазы после:
а – закалки+отпуска; б – азотирование в тлеющем разряде с МП
(Т=500°С, t=4 часа, Р=44 Па, U=600В); в – азотирование в тлеющем разряде без
МП (Т=500°С, t=4 часа, Р=120Па, U=800В)
228
в
Рисунок 6.14 – Распределение карбидных частиц по размеру после:
а – закалки+отпуска; б – азотирование в тлеющем разряде с МП
(Т=500°С, t=4 часа, Р=44 Па, U=600В); в – азотирование в тлеющем разряде без
МП (Т=500°С, t=4 часа, Р=120Па, U=800В)
229
6.2 Исследование влияния азотирования в тлеющем разряде
низкого давления с магнитным полем на фазовый состав поверхностных
слоев инструментальных сталей
Детальное исследование фазового состава поверхности и зоны внутреннего

азотирования проводили с использованием рентгеноструктурного анализа.
Эксперименты проводились на образцах из сталей Р6М5 и Х12, в качестве
рабочего газа использовалась смесь азота, аргона и ацетилена (N2 70%, Ar 25%,
C2H2 5%). Предварительная ионная чистка производилась при Р=10 Па в процессе
катодного распыления, температура поверхности не превышала Т=250°С. Время
очистки составило 15 минут. Образцы подвергались ионному азотированию в
тлеющем разряде с МП, при Р=40–80 Па, температура поверхности составила
Т ≈ 500°С. Обработка проводилась в течение t = 4 часов.
На рис. 6.15 – 6.16 показаны дифрактограммы образцов, после
термообработки, в исходном состоянии перед азотированием. На
дифрактограмме (рис. 6.15) поверхности образца из стали Х12 после
термообработки обнаружены рефлексы карбидов (Сr, Fe)7С3, Fe3C.
На дифрактограмме (рис. 6.16) поверхности образца из стали Р6М5 после
термообработки, также обнаружены рефлексы карбидов (Сr, Fe)7С3, Fe3C,
(Fe, W)6С это объясняется тем, что сталь Р6М5 по своей природе похожа на
сталь Х12 и в ней совершаются те же превращения что и в штамповой [118,119].
Известно, что сильный карбидообразующий элемент Cr, образует
специальный карбид (Сr, Fe)7С3, который выделяется из мартенсита и
коагулирует при более высоких температурах, чем цементит Fe3C, так как для
этого требуется не только диффузия углерода, но и диффузия легирующих
элементов. Заметная коагуляция карбида (Сr, Fe)7С3 происходит при
температурах выше 600 °С. Таким образом, присутствие карбида (Сr, Fe)7С3
способствует повышению твердости стали при повышенных температурах [106].
На поверхности образцов наблюдается несколько нитридных фаз,
количество которых значительно зависит от режимов азотирования и состава
исследуемых сталей.
230
Counts
1200
X12
1000
- Fe
800 - (Cr, Fe)7C3

- Fe3C
600
400
200
0
40.0 50.0 60.0 70.0 80.0 90.0 100.0 110.0 120.0 130.0
2Theta
Рисунок 6.15 – Дифрактограмма образца из стали Х12 до азотирования

после закалки и отпуска
Counts
1200
P6M5
1000
- Fe
800 - (Cr, Fe)7C3
- Fe3C
600 - (W, Fe)6C
400
200
0
40.0 50.0 60.0 70.0 80.0 90.0 100.0 110.0 120.0 130.0
2Theta
Рисунок 6.16 – Дифрактограмма образца из стали Р6М5 до азотирования

после закалки и отпуска
231
Анализ дифрактограмм образцов из стали Х12 (рис. 6.15, 6.17а)
показывает, что азотирование при P=44 Па и U=580 В, приводит к заметным
изменениям фазового состава в приповерхностной области.
На поверхности образцов после ионного азотирования в тлеющем разряде
обнаружены рефлексы нитридов и карбонитридов легирующих элементов
(CrN, Cr(С,N)),а также карбидов ((Сr, Fe)7С3, Fe3C). Известно [106], что нитриды
железа обладают большей теплоемкостью по сравнению с железом, при этом
создаются благоприятные условия для предотвращения температурных
вспышек на поверхности инструмента. Высокая твердость поверхности
инструмента, не изменяющаяся при нагреве до 500°С, определяется наличием
нитридов и карбонитридов хрома (CrN, Cr(С,N)), а износостойкость и низкая
склонность к задирам – карбидами (Сr, Fe)7С3, Fe3C [88,238].
Дифрактограмма снятая с поверхности стали Х12 после ионного
азотирования, отличается размытием интерференционных максимумов,
вследствие формирования в приповерхностном слое нитридных и
карбонитридных фаз (рис. 6.17а).
Counts
1200
X12
1000
- Fe
800 - CrN, Cr(C,N)
- (Cr, Fe)7C3
- Fe3C
600
400
200
0
40 60 80 100 120
2Theta
а
232
Counts
1200
X12
1000
- Fe
800
- (Cr, Fe)7C3
- Fe3C
600
400
200
0
40 60 80 100 120
2Theta
б
Counts
1200
X12
1000
- Fe
800 - (Cr, Fe)7C3

- Fe3C
600
400
200
0
40 60 80 100 120
2Theta
в
Рисунок 6.17 – Дифрактограммы образцов из стали Х12 после ионного
азотирования в тлеющем разряде при Р=44 Па, t=4 часа, U=580 В:
а – с поверхности, б – на глубине 50 мкм, в – на глубине 100 мкм
233
Послойный рентгеноструктурный анализ дает типичную картину
изменения фазового состава по глубине (рис. 6.17). В приповерхностной зоне
(рис. 6.17а) существует азотированный слой, состоящий из α–фазы - азотистого
феррита с распределенными мелкодисперсными нитридными и
карбонитридными частицами (CrN, Cr(С,N)). Дифракционный максимум α–Fe
смещается в сторону больших углов отражения и приближается к значению,
соответствующему исходному состоянию на глубине 50 мкм (рис. 6.17б), а на
глубине 100 мкм фактически соответствует исходному состоянию (рис. 6.17в).
На поверхности образцов после ионного азотирования в тлеющем
разряде с МП и без него (рис.6.18,6.19) обнаружены рефлексы нитридов и
карбонитридов легирующих элементов (CrN, Cr(С,N), (Fe, W)6(С,N)),а также
карбидов ((Сr, Fe)7С3, Fe3C).
Сравнительный анализ дифрактограмм образцов из стали Р6М5 (рис. 6.18)
показывает, что азотирование при P=44 Па и U=580 В в МП приводит к
заметному снижению дифракционного максимума α–Fe, предположительно это
происходит вследствие формирования твердого раствора азота в железе с
большей концентрацией азота в нем [54]. В пользу этого свидетельствуют
результаты измерения микротвердости по глубине рис. 4.22.
Некоторое уширение в основании пиков α–Fe (рис.6.18-6.19) по
сравнению с исходным состоянием (рис.6.16), свидетельствует о формировании
в упрочненном слое остаточных сжимающих напряжений, которые нужно
связывать с относительно высокой концентрацией азота, вызывающего
искажение кристаллической решетки металла.
Основной карбидной фазой быстрорежущих сталей, является карбид
типа M6С. Карбид вторичного происхождения, выделившийся из аустенита.
Средний состав карбида отвечает формуле Fe3W3С и изменяется от Fe2W4С
до Fe4W2С. В стали Р6М5 часть карбидов, не растворяется до температур
начала расплавления стали, по этим причинам данный карбид эффективно
задерживает рост зерна. Карбонитридная фаза (Fe,W)6(С,N) образуются на
базе карбидной фазы путем замещения части атомов углерода азотом.
234
Counts
800
P6M5
700
- Fe
600 - (Cr, Fe)7C3
- CrN, Cr(C,N)
500 - Fe3C
- (Fe,W)6(C, N)
400
300
200
100
0
40 60 80 100 120
2Theta
Counts а
800
P6M5
700
- Fe
600 - (Cr, Fe)7C3
- CrN, Cr(C,N)
500 - Fe3C
- (Fe,W)6(C, N)
400
300
200
100
0
40 60 80 100 120
2Theta
б
Рисунок 6.18 – Дифрактограммы снятые с поверхности образцов из
стали Р6М5 P=44 Па, t=4 часа: a – азотирование в МП; б – азотирование вне МП
235
Counts
800
P6M5
700
- Fe
600 - (Cr, Fe)7C3
- CrN, Cr(C,N)
500 - Fe3C
- (Fe,W)6(C, N)
400
300
200
100
0
40 60 80 100 120
2Theta
а
Counts
800
P6M5
700
- Fe
- (Cr, Fe)7C3
600 - CrN, Cr(C,N)
- Fe3C
500 - (Fe,W)6(C, N)
400
300
200
100
0
40 60 80 100 120
2Theta
б
Рисунок 6.19 – Дифрактограммы снятые с поверхности образцов из

стали Р6М5 T=500°C, t=4 часа: a – азотирование в МП; б – азотирование вне МП
236
Твердость карбонитридной фазы немного больше чем карбидов. Также

возрастает количество упрочняющей фазы без заметного роста размеров ее
частиц, это дополнительно задерживает рост зерна. Следует отметить, что
присутствие карбонитридной фазы (Fe,W)6(С,N) усиливает эффект
дисперсионного твердения, что дополнительно повышает вторичную
твердость на несколько единиц по шкале Роквелла.
Об изменении фазового состава по глубине упрочненного слоя после
азотирования при температуре 500°C стали Р6М5 в тлеющем разряде с МП и
без него, свидетельствуют данные представленные на рис.6.20-6.21.
Послойный рентгеноструктурный анализ дает известную картину
изменения фазового состава по глубине (рис. 6.19-6.21). В приповерхностной
зоне (рис. 6.19) существует азотированный слой, состоящий из α–фазы -
азотистого феррита с распределенными мелкодисперсными нитридными и
карбонитридными частицами (CrN, Cr(С,N), (Fe,W)6(С,N)). На глубине 50
мкм образцов после ионного азотирования в тлеющем разряде с МП и без
него (рис.6.20) обнаружены рефлексы нитридов и карбонитридов
легирующих элементов (CrN, Cr(С,N), (Fe, W)6(С,N)), а также карбидов ((Сr,
Fe)7С3, Fe3C). Количество α–Fe, соответствующее интенсивности пиков,
увеличивается, и на глубине 100 мкм фактически соответствует исходному
состоянию (рис. 6.21), что согласуется с результатами оптической
металлографии (рис.6.4-6.5).
Учитывая погрешность рентгеноструктурного анализа, при содержании
фазы в объеме менее 5%, создаются условия, при которых регистрация этих фаз
не представляется возможной. Таким образом, в высоколегированной стали
Р6М5, возможно образование специальных нитридных и карбонитридных фаз
W, Cr, Mo, которые из-за их небольшого количества и дисперсности не могут
быть обнаружены [54].
237
Counts
800
P6M5
700
600
- Fe
500
- (Cr, Fe)7C3
400 - CrN, Cr(C,N)
- Fe3C
300 - (Fe,W)6(C, N)
200
100
0
40 60 80 100 120
2Theta
Counts а
800
P6M5
700
- Fe
- (Cr, Fe)7C3
600 - CrN, Cr(C,N)
- Fe3C
500 - (Fe,W)6(C, N)
400
300
200
100
0
40 60 80 100 120
2Theta
б
Рисунок 6.20 – Дифрактограммы образцов из стали Р6М5 снятые на глубине

50 мкм, T=500°C, t=4 часа: a – азотирование в МП; б – азотирование вне МП
238
Counts
1200
P6M5
1000
- Fe
800 - (Cr, Fe)7C3
- Fe3C
600 - (Fe,W)6C
400
200
0
40 60 80 100 120
2Theta
а
Counts
1200
P6M5
1000
- Fe
800 - (Cr, Fe)7C3
- Fe3C
600 - (Fe,W)6C
400
200
0
40 60 80 100 120
2Theta
б
Рисунок 6.21 – Дифрактограммы образцов из стали Р6М5 снятые на глубине

100 мкм, T=500°C, t=4 часа: a – азотирование в МП; б – азотирование вне МП
239
Таким образом, проведенные исследования методом
рентгеноструктурного анализа показали, что ионное азотирование в
тлеющем разряде сталей Р6М5 и Х12 приводит к существенному изменению
их фазового состава. Формируемый нитридный слой как основного
материала, так и легирующих элементов приводит к значительному
повышению эксплуатационных свойств [169].
Используемые в настоящей работе метод рентгеноструктурного анализа
позволил проанализировать кристаллическую структуру (тип элементарной
ячейки) и точное определение параметров элементарной ячейки.
Данные приведены в табл. 4.1.
240
Таблица 6.1. Формируемые при азотировании фазы

Сингония и
Объем Вид элеметарной Вид элеметарной Вид элеметарной
Фаза период Вид элеметарной
элементар- ячейки ячейки ячейки
(фор- кристалличес ячейки
нoй ячейки, направление по направление по направление по
мула) кой решетки изометрия
nm3 оси – а оси – b оси – с
a,b,c, nm
1 2 3 4 5 6 7
cubic
α–Fe 0.0235
a = 0.2482
cubic
Cr(С,N) 0.01786
a = 0.29338
(Fe,W)6(C,N)
cubic
a = 1.11 1.3676
241
продолжение табл. 6.1
1 2 3 4 5 6 7
hexagonal
a = 0.43751
Fe3С 0.08348
b = 0.46939
c = 0.46939
orthorhombic
a = 1.3805
(Cr,Fe)7C3 0.7424
b = 1.3805
c = 0.4498
6.3 Исследование влияния азотирования в тлеющем разряде низкого
давления с магнитным полем на микротвердость поверхностных слоев
инструментальных сталей
Для определения влияния режимов ионного азотирования на

микротвердость поверхности инструментальных сталей, эксперименты
проводились на образцах из материалов Х12, Р6М5.
Образцы подвергались ионному азотированию в тлеющем разряде с МП, в
качестве рабочего газа использовалась смесь азота, аргона и ацетилена (N2 50%,
Ar 45%, C2H2 5%), температура поверхности обрабатываемых образцов
составила Т=500°С. Обработка проводилась в течение t=4 ч.
Анализ результатов показал, что ионное азотирование ведет к
значительному увеличению микротвердости в 2–2,5 раза, что обусловлено
формированием в приповерхностном слое нитридных фаз с высоким
процентным содержанием азота.
Изменение поверхностной микротвердости стали Р6М5 и Х12 после ионного
азотирования с МП и без него представлено в табл. 6.2.
Таблица 6.2. – Микротвердость поверхности образцов

Марка Режимы ионного Микротвердость Микротвердость
стали азотирования до азотирования после
образцов t, C , ч U, B I, A Р, Па HV50 азотирования НV50
Р6М5 500 635 1520
500±20 4 0,3 120

Х12 510 695 1670
Исходное
500 695 695
состояние
Наибольшее значение микротвердости получено на стали Х12, так как в

ней содержится до 12% Cr, одного из сильнейших нитридообразующих
элементов. Следует отметить, что продолжительность насыщения существенно
влияет на микротвердость поверхности. Это обусловлено коагуляцией
243
нитридных частиц и разупрочнением самого материала, связанным с
коагуляцией карбидных частиц. Азотирование при 500°С практически не влияет
на твердость сердцевины рис. 6.22.
Рисунок 6.22 – Распределение микротвердости по толщине на образцах

из стали Р6М5 после ионного азотирования при 500°С:
а – в МП (P=44 Па); б – без МП (P=120 Па)
244
Изменение микротвердости по глубине диффузионной зоны показано на рис.6.22.
Видно преимущество ионного азотирования с МП перед традиционным процессом
ионного азотирования, в характере распределения микротвердости по глубине и в
толщине получаемого слоя. Наблюдается увеличение толщины упрочненного слоя
с ̴ 54 мкм до ̴ 84 мкм, примерно в 1,5 раза. На образцах расположенных в МП характер
распределения микротвердости по глубине более плавный.
Азотирование широко применяют для упрочнения штампового инструмента
благодаря своим достоинствам и более широким технологическим возможностям.
Для инструмента важно, чтобы высокая прочность азотированного слоя сочеталась
с вязкостью, достаточной для обеспечения высокого сопротивления хрупкому
разрушению, кроме того сохраняется стабильность геометрических характеристик
инструмента [106,118,119] и обеспечивается управляемый процесс диффузионного
насыщения инструментальных сталей азотом
В машиностроительных отраслях промышленности широко используется
инструмент из быстрорежущих сталей не только после азотирования, но также и
с различными вариантами износостойких покрытий на основе нитридов,
карбидов и карбонитридов тугоплавких металлов. Однако эти покрытия,
обладающие высокой микротвердостью и низким коэффициентом трения по
отношению к обрабатываемому, материалу, зачастую преждевременно
разрушаются, особенно под воздействием циклических термомеханических
нагрузок, что резко снижает эффект от применения инструмента с покрытием.
В большинстве случаев разрушение системы покрытие-подложка начинается
с пластической деформации подложки вблизи границы раздела. Формирование на
поверхности инструмента перед нанесением покрытия диффузионного слоя,
обладающего высокой твёрдостью и теплостойкостью, будет способствовать
повышению сопротивлению термомеханическим нагрузкам. Создание такого слоя
методом ионного азотирования в тлеющем разряде с МП с последующим
нанесением более твёрдого покрытия вакуумно-дуговым способом является одним
из вариантов комбинированной вакуумно-плазменной обработки и позволяет
получить слоистый композит с уникальной комбинацией свойств.
245
6.4 Исследование влияния ионного азотирования в тлеющем разряде
низкого давления с магнитным полем на толщину упрочненного слоя и
температуру поверхности детали
Нагрев детали (катода) в тлеющем разряде зависит от целого ряда параметров:

давления в вакуумной камере, тока разряда, напряжения, подаваемого на деталь,
рода газа, массы садки и площади обрабатываемых поверхностей [210].
Эксперименты проводились на образцах из материалов Х12, Р6М5, в
качестве рабочего газа использовалась смесь азота, аргона и ацетилена (N2 50%,
Ar 45%, C2H2 5%). Образцы подвергались ионному азотированию в тлеющем
разряде с МП. Обработка проводилась в течение t=4 ч.
На рис. 6.23 приведены зависимости изменения температуры поверхности
образцов от времени нагрева. Анализ зависимости изменения температуры
поверхности от времени нагрева показал, что использование МП позволяет
повысить температуру и скорость нагрева. При обработке в тлеющем разряде без
МП при давлении 44 Па максимальная температура соответствует 340ºС
(рис. 6.23,б). Использование МП позволяет повысить максимальную температуру
поверхности до 500 ºС при прочих одинаковых условиях, что объясняется
увеличением плотности тока тлеющего разряда.
а б
Рисунок 6.23 - Зависимость температуры поверхности от времени нагрева:
а) в тлеющем разряде с МП; б) в тлеющем разряде без МП (газ Ar, сталь Р6М5,
mобр.=50 г, U = 380 В, I = 1,3–2,5 А)
̴
̴
̴
̴
Рисунок 6.24 - Кинетика роста слоя при азотировании образцов из стали Р6М5 в тлеющем разряде с МП (P=44 Па,
U=550 В, I=0,8 А)
Рисунок 6.25 - Кинетика роста слоя при азотировании стали c содержанием
углерода 0,82 % [169]
Известно [169], что образующийся при азотировании сталей упроченный

слой состоит из зоны нитридов ε–фазы и диффузионного подслоя (твердый
раствор на базе α–фазы). При насыщении азотом формирование слоя
подчиняется общему правилу, согласно которому диффузия между
компонентами приводит к образованию однофазных слоев, соответствующих
монофазным областям диаграммы состояния Me-N, пересекаемой изотермой при
температуре насыщения. Диффузионные слои образуются в той же
последовательности, что и однофазные области на диаграмме состояния.
Скорость роста каждой фазы зависит от интенсивности диффузионных
процессов как ниже, так и выше лежащей зоны. Из приведенных данных (рис.6.24 –
6.25) наглядно видно, что использование МП позволяет ускорить процесс
азотирования, вследствие увеличения концентрации заряженных частиц в
прикатодной области (см. гл.3.3), что способствует росту градиента концентраций
атомарного иона азота и как следствие увеличению скорости диффузии.
1. В результате ионного азотирования в тлеющем разряде с МП при
Т=500°С, образцов из инструментальных сталей, произошло увеличение
248
микротвердости поверхности, что обусловлено формированием в
приповерхностном слое нитридных фаз с более высоким процентным
содержанием азота, вследствие расположения его в зоне повышенной
напряженности МП.
2. Экспериментально установлено, что ионное азотирование в тлеющем
разряде с МП инструментальных сталей Р6М5 и Х12 при давлении 44 Па в
течение 4 ч. приводит к образованию поверхностного модифицированного слоя,
состоящего из α-Fe - азотистого феррита, с распределенными нитридными и
карбидными фазами (CrN, Cr(С,N), (Fe, W)6(С,N)), обладающих повышенной
твердостью. Нитридная фаза CrN присутствует в упрочненном слое в виде
мелкодисперсных частиц.
3. В результате послойного рентгеноструктурного анализа установлено,
что на глубине 50 мкм образцов из стали Р6М5 после ионного азотирования в
тлеющем разряде с магнитным полем обнаружены рефлексы нитридов и
карбонитридов легирующих элементов (CrN, Cr(С,N), (Fe, W)6(С,N)), а также
карбидов ((Сr, Fe)7С3, Fe3C). Количество α–Fe, соответствующее интенсивности
пиков, увеличивается, и на глубине 100 мкм фактически соответствует
исходному состоянию.
4. Использование МП при азотировании в тлеющем разряде позволяет
увеличить толщину получаемых слоев в 5-6 раз при давлении 44 Па и в 1,5 раза
при температуре 500 ºС для стали Р6М5 и Х12, т.к. на поверхности катода
складываются благоприятные условия для сорбционных процессов, в
результате которых обеспечивается высокая концентрация диффундирующего
элемента, что приводит к формированию высокого градиента концентрации.
5. Предложенные методы ионного азотирования в тлеющем разряде с МП
являются эффективными способами поверхностного упрочнения
инструментальных сталей. При этом достигаются высокие значения
поверхностной твердости (до 1670 HV).
6. Разработанный технологический процесс ионного азотирования,
основанный на структурно-фазовом модифицировании в тлеющем разряде с МП,
249
который позволяет значительно сократить общее время обработки в 2-3 раза,
энергозатраты и расход насыщающих газов.
7. Установлено, что наложение МП при ионном азотировании приводит к
интенсификации процесса насыщения и обеспечивает высокую кинетическую
эффективность процесса по сравнению с традиционными методами
азотирования.
250
7. РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ АЗОТИРОВАНИЯ
ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ ДЕТАЛЕЙ И ИНСТРУМЕНТА С
ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ
7.1 Особенности проектирования технологических процессов ионного
азотирования в тлеющем разряде низкого давления в условиях
мелкосерийного и единичного производства
Ионное азотирование в тлеющем разряде низкого давления (ТРНД)

удовлетворяет практически всем критериям перспективных технологических
процессов (ТП) в условиях мелкосерийного и единичного производства:
- универсальность, т.е. возможность ионного азотирования большого количества
типоразмеров деталей с помощью идентичных ТП;
- высокая скорость ионного азотирования;
- высокая воспроизводимость технологических параметров (P, U, j, T, состав среды)
для различных типоразмеров деталей;
- возможность быстрой переналадки установки и приспособлений для различных
типоразмеров деталей;
- сокращение трудоемкости по сравнению с ионным азотированием на серийных
установках;
- практически полное отсутствие экологических проблем.
Всю работу по проектированию ТП ионного азотирования можно
разделить на последовательное решение задач:
- изучение и анализ рабочего чертежа детали;
- выбор способа ионного азотирования и разработка технических требований для
заготовки, получаемой на окончательной механической операции;
- выбор оборудования;
- выбор оснастки или разработка технического задания на проектирование
специальной оснастки;
- проектирование операций ТП ионного азотирования;
ТП ионного азотирования может включать в себя следующие основные этапы:
- предварительная подготовка поверхности;
251
- очистка и нагрев поверхности ионами;
- диффузионное насыщение азотом поверхностного слоя;
- термическая обработка (в случаи комбинированной обработки);
- охлаждение в вакууме.
Изучение чертежа детали является наиболее ответственным шагом в
проектировании ТП ионного азотирования. Вначале по геометрическим
проекциям и сечениям определяется конфигурация детали, выясняется форма
всех поверхностей, их пространственное и взаимное расположение. Особое
внимание необходимо обратить на расположение поверхностей, которые
подвергаются азотированию. Изучаются их размеры, взаимное расположение,
требуемая точность, заданная шероховатость, толщина слоя, его требуемые
физико-химические свойства.
Для проектирования ТП ионного азотирования важно изучение материала
детали, анализ требований по механическим свойствам и характера термической
обработки. Это служит основанием для назначения режимов азотирования, не
ухудшающих заданных физико-химических свойств материала детали. Так,
например, температура обрабатываемой поверхности при азотировании не
должна превышать температуру предыдущей термической обработки.
В рамках диссертационной работы проведена оценка норм штучного времени
по методике [251, 256].
Нормой времени называют регламентируемые затраты времени t,
необходимые для выполнения данной операции в нормальных
производственных условиях. Норма времени может быть установлена
расчетным, укрупненных нормативов, статистическим или опытным методами.
Норма времени, определяемая расчетом, ориентирована на передовую
технологию, исправное оборудование, нормальные условия и организацию труда
надлежащей квалификации. При определении нормы штучного времени (Tшт)
технологическую операцию расчленяют на элементы, составляющие ее
[251,256].
Норма штучного времени на обработку изделия определяется по формуле:
252
Тшт =То + Твсп + Тоб + Тд, мин (7.1)
где То – основное время, мин;
Т всп – вспомогательное время, мин;
Т об – время обслуживания рабочего места, мин;
Т д – дополнительное время, мин;
Основное время определяем по формуле:
t1  t 2  t 3  t 4
То  (7.2)
n
где t1 – время нагрева садки, мин;
t2 – время ионной очистки, мин;
t3 – время ионного азотирования, мин;
t4 – время охлаждения детали, мин;
n – количество деталей в одной садке, шт.
Специфика вакуумных установок такова, что требует разгона насосов перед
работой, т.е. выхода ее на рабочий режим вакуумной системы, тогда: [256]
t5  t6  t7  t8 t9  t10
Т всп   (7.3)
n1 n2
где t5 – сборка деталей в приспособление, мин;
t6 – загрузка деталей в вакуумную камеру, мин;
t7 – установка термопары в вакуумную камеру, мин;
t8 - выгрузка обработанных деталей, мин;
t9 – подготовка оснастки, оборудования, мин;
t10 – выход установки на рабочий режим (разгон насоса), мин;
n2 - количество деталей обработанных за один день, шт.
Время обслуживания рабочего места определяем из следующего соотношения:
t11 t12 t13
Т об    (7.4)
n3 n4 n5
где t11 – время очистки вакуумной камеры и оснастки, мин;
t12 – время обслуживания вакуумной системы, мин;
t13 – время замены элементов камеры, мин;
253
n3 - количество деталей обработанных за период от одной очистки вакуумной
камеры и оснастки до следующей, шт;
n4 - количество деталей обработанных за период от одного обслуживания
вакуумной системы до следующего, шт;
n5 - количество деталей обработанных за период от одной замены элементов
камеры до следующей, шт.
Дополнительное время выделяется на отдых и регламентируется условиями
работы, согласно литературе [251] Тдоп=7% от То.
Для оценки экономической эффективности применения вновь
разработанных ТП ионного азотирования в ТРНД, проведем расчет нормы
штучного времени на примере азотирования в тлеющем разряде с ПК детали
«шестерня» (см. раздел 7.4). В табл. 7.1 представлен перечень операций:
Таблица 7.1 – Перечень операций ТП ионного азотирования в тлеющем разряде

с ПК детали «шестерня»
Оп. Наименование операции Норма времени, мин
005 Поступление 30
010 Контроль входной 25
015 Обезжиривание 30
020 Подготовка 60
025 Сборка 45
030 Загрузка 20
035 Установка термопары 15
040 Ионное азотирование 1160
045 Выгрузка 20
050 Зачистка 35
055 Контроль выходной 300
060 Сдача 40
254
Основное время определяем по формуле (7.2) с учетом того, что время
нагрева садки t1=20 мин; время ионной очистки t2 =20 мин; время ионного
азотирования t3=1160 мин; время охлаждения детали t4=120 мин; количество
деталей в одной садке n=50 шт. Тогда:
20  20  1160  120
То   26,4 мин.
50
На основе данных приведенных в табл. 7.1 определим вспомогательное
время (Т всп):
45  20  15  20 60  40
Т всп    4 мин.
50 50
Время затрачиваемое на обслуживания рабочего места рассчитаем из
условия, что время очистки вакуумной камеры и оснастки t11=120 мин; время
обслуживания вакуумной системы t12=90 мин; время замены элементов камеры
t13=120 мин; количество деталей обработанных за период от одной очистки
вакуумной камеры и оснастки до следующей n3=500 шт; количество деталей
обработанных за период от одного обслуживания вакуумной системы до
следующего n4 =500 шт; количество деталей обработанных за период от одной
замены элементов камеры до следующей n5 =1000 шт. Тогда:
120 90 120
Т об    =0,54 мин.
500 500 1000
Дополнительное время выделяемое на отдых будет соответственно равно:
Тдоп = 0,07·26,4=1,85 мин.
Тогда норма штучного времени определится, как:
Тшт = 26,4+4+0,54+1,85=32,79 мин.
Для сравнения проведем расчет нормы штучного времени на ионное
азотирование детали «шестерня» применяемое на ОАО «УМПО», проводимое на
серийной установки ELTROPULS.
Технологический процесс ионного азотирования состоит из следующих
операций (табл. 7.2):
255
Таблица 7.2 – Технологический процесс ионного азотирования детали
«шестерня»
Оп. Наименование операции Норма времени, мин
005 Поступление 30
010 Контроль входной 25
015 Обезжиривание 30
025 Сборка 45
040 Ионное азотирование зубьев 1320
055 Сборка 45
070 Ионное азотирование шлицов 600
080 Зачистка 35
085 Контроль выходной 300
090 Сдача 40
Основное время определяем по формуле (7.2) с учетом того, что суммарное

время нагрева садки t1=40 мин; суммарное время ионной очистки t2 =40 мин;
суммарное время ионного азотирования зубьев и шлицов t3=1920 мин;
суммарное время охлаждения детали t4=240 мин; количество деталей в одной
садке n=50 шт. Тогда:
40  40  1920  240
То   44,8 мин.
50
256
На основе данных приведенных в табл. 7.2 определим вспомогательное
время (Т всп):
90  40  30  40 120  80
Т всп    8 мин.
50 50
Время затрачиваемое на обслуживания рабочего места рассчитаем из
условия, что время очистки вакуумной камеры и оснастки t11=120 мин; время
обслуживания вакуумной системы t12=90 мин; время замены элементов камеры
t13=120 мин; количество деталей обработанных за период от одной очистки
вакуумной камеры и оснастки до следующей n3=500 шт; количество деталей
обработанных за период от одного обслуживания вакуумной системы до
следующего n4 =500 шт; количество деталей обработанных за период от одной
замены элементов камеры до следующей n5 =1000 шт. Тогда:
120 90 120
Т об    =0,54 мин.
500 500 1000
Дополнительное время выделяемое на отдых будет соответственно равно:
Тдоп = 0,07·44,8=3,14 мин.
Тогда норма штучного времени определится, как:
Тшт = 44,8+8+0,54+3,14=56,48 мин.
Проведенный расчет нормы штучного времени Tшт для технологии ионного
азотирования детали «шестерня», проведенный для серийной установки ELTROPULS
(ОАО «УМПО») и опытной промышленной установки «ЭЛУ-5М» (лаборатории
«ПНИЛ технологий покрытий и специальных свойств поверхностей» кафедры
«Технология машиностроения») показал эффективность применения вновь
разработанного ТП ионного азотирования в тлеющем разряде с ПК.
С учетом указанных особенностей проектирования ТП ионного
азотирования в тлеющем разряде с ПК и с МП, в рамках диссертационной работы
было разработано более 10 технологий для различных деталей и инструмента в
условиях единичного и мелкосерийного производства (табл. 7.3). Некоторые из
которых подробно описаны в разделах 7.2 – 7.6.
257
Таблица 7.3 Перечень типовых ТП ионного азотирования в тлеющем разряде
с ПК и с МП.
Наименова- Материал Время Толщина Темпера Давле- Твердость
ние детали азоти- азотиро- тура ние, Па , HV100
рования ванного азотиро-
,ч слоя, мкм вания, °С
Шестерня 16Х3НВФ 20 250±10 550 60±5 940±20
МБ-Ш
Матрица Р6М5 4 100±10 500 40±5 1050±20
Пуансон Р6М5 4 100±10 500 40±5 1050±20
Рычаг 38ХМЮА 12 250±10 560 80±5 1100±20
Пуансон 4Х5МФС 6 100±10 550 60±5 920±20
Втулка 4Х5МФС 12 200±10 550 60±5 1000±20
съема
Втулка 08Х13 8 150±10 560 80±5 850±20
предохранит
ельная
Пуансон Х12 4 100±10 500 40±5 1150±20
Шпиндель 40Х 8 200±10 560 60±5 960±20
Вал 18ХГТ 12 250±10 560 60±5 880±20
Вставка 9ХС 8 200±10 540 60±5 1000±20
7.2 Технологический процесс высокотемпературного ионного

азотирования в тлеющем разряде низкого давления с полым катодом
матриц холодновысадочного автомата
Технологический процесс ВИА в тлеющем разряде с ПК включает в себя:

- предварительную подготовку обрабатываемых деталей;
- загрузку обрабатываемых деталей в камеру и откачку из камеры воздуха;
- чистку деталей и последующее ВИА в плазме тлеющего разряда с ПК;
- охлаждение обработанных деталей в вакууме [85].
Предварительная подготовка поверхности (химическая очистка) -
удаление с поверхности видимых слоев органических загрязнений: остатков
масел, смазочных материалов, отпечатков пальцев и жировых пятен.
Используются органические растворители: этиловый спирт, ацетон. В особо
ответственных случаях очистку проводят в ультразвуковых ваннах.
258
Ионная очистка и активирование на поверхности активных центров
адсорбции и адгезии тлеющем разрядом с ПК производиться с помощью катодного
распыления в течении 5 – 20 мин при напряжении 900 – 1100 В и давлении 20 –
30 Па. В процессе катодного распыления температура поверхности детали не
превышает 250°С. Рабочие параметры процесса при насыщении следующие:
напряжение 450 В, давление 200 Па. В процессе ВИА температура поверхности
детали составляет 700 - 720°С, насыщение проводиться в течении 1 часа.
Последовательность операций при проведении ТП следующая.
Азотируемые детали устанавливают в камеру, подключая к отрицательному
электроду, герметизируют камеру и откачивают воздух до давления 133 Па. После
эвакуации воздуха камеру продувают рабочим газом в течение 5 – 15 мин при
давлении ~ 1330 Па, затем откачивают камеру до давления 20 – 30 Па, подают на
электроды напряжение и возбуждают тлеющий разряд. При напряжении 900 –
1100 В на этой стадии осуществляется катодное распыление. После 5 – 20-
минутной обработки поверхности по режиму катодного распыления напряжение
понижают до рабочего, а давление повышают до 200 Па. При повышении давления
уменьшается протяженность катодного свечения, которое равномерно
распределяется по поверхности детали, повторяя ее контуры.
Рабочая температура процесса (700°С) достигается за 3 - 5 мин, скорость
нагрева определяется соотношением поверхности и массы деталей. После
изотермической выдержки детали охлаждаются до комнатной температуры под
вакуумом. При этом скорость охлаждения по сравнению с печным нагревом выше, так
как при ионной обработке нагреваются изделия, а нагрев стенок контейнера (рабочей
камеры) за счет теплоизлучения и конвекции в условиях разряжения незначителен.
Температурный режим регулируется с помощью термопары и оптического
пирометра, давление – прибором, работающим на принципе теплопроводности
отработанных газов. На этом же принципе основано управление составом
рабочего газа. Получаемые таким образом показания, а также электрические
параметры процесса позволяют автоматически регулировать температурный
режим, параметры электрического разряда, подвод газа.
259
В рамках диссертационной работы был разработан технологический
процесс ВИА в тлеющем разряде с ПК матриц № 1108-6004-9 и № 1108-6003
холодновысадочного автомата, из материала Р6М5 для обрезки шести- и
четырехгранников болтов, и пуансонов № 1135-6343-74, выполненных из
быстрорежущей стали Р6М5 для операции редуцирования стержневой части
болтов № 2110-8407038-10, применяемых в производстве автонормалей на
заводе БелЗАН (г. Белебей, РБ). А также были проведены исследования влияния
ВИА на стойкость штамповой оснастки.
Разработанная технология обеспечивает азотированный слой обладающий
высокой пластичностью и износостойкостью (см. гл. 4), в отличие от традиционных
технологий азотирования, характеризующихся высокой твердостью и хрупкостью
упрочненного слоя. Указанные свойства разработанной технологии позволяет
применить ее, к примеру для защиты штамповой оснастки.
Схема технологического процесса ВИА в тлеющем разряде с ПК поверхности
матриц и пуансонов холодновысадочного автомата представлена на рис. 7.1.
Предварительная Загрузка обрабатываемых

обработка. Промывка в деталей в камеру и откачка из
этиловом спирте, камеры воздуха до давления
ацетоне 133Па
Ионная очистка тлеющим разрядом с ПК в режиме катодного

распыления в течении 5-20 мин при напряжении 900-1100 В
в среде инертного газа аргона при давлении
20-30 Па, температура поверхности не превышает 250ºС.
Высокотемпературное азотирование в тлеющем разряде с ПК

в течении 1 часа при напряжении 450-500 В в смеси газов (N,
Ar, C2H2) при давлении 200 Па, температура поверхности не
превышает 720ºС.
Охлаждение деталей в вакууме в течении 1 часа
Рисунок 7.1 Технологический процесс ВИА в тлеющем разряде с ПК

матриц и пуансонов холодновысадочного автомата.
260
В рамках диссертационной работы было исследовано влияние ВИА в
тлеющем разряде с ПК на стойкость матриц и пуансонов, применяемых в
производстве автонормалей на заводе БелЗАН (г. Белебей, РБ).
На рис. 7.2 представлены фотографии микроструктуры азотированных
слоев поверхности матриц, до и после испытаний.
Рисунок 7.2 Микроструктура азотированного слоя поверхности матриц:

а – до испытания; б – после испытания
На фотографии (в соответствии с рисунком 7.2а) видно, что до начала

испытаний на поверхности матриц хорошо видна зона активного азотирования,
261
толщина слоя при этом составляла порядка 15 мкм. На фотографии (в
соответствии с рисунком 7.2б) можно видеть, что в процессе испытаний на
холодновысадочном автомате, произошел износ покрытия из композиции Ti-TiN
на поверхности матриц, при этом толщина остаточного покрытия составила
порядка ~ 1 мкм, а зона активного азотирования осталась без изменений.
В настоящее время проведенные производственные и эксплуатационные
испытания матриц и пуансонов показали:
- матрицы для обрезки шестигранников – стойкость серийных 15000
изделий, с многослойным покрытием и азотированным слоем 35000;
- матрицы для обрезки четырехгранников - стойкость серийных 9000
изделий, с многослойным покрытием и азотированным слоем 28000;
- пуансоны для операции редуцирования - стойкость серийных 50000
изделий, с многослойным покрытием и азотированным слоем 90000.
Таким образом выполненные испытания матриц и пуансонов для
холодновысадочного автомата показали экономическую эффективность и
целесообразность применения разработанной технологии ВИА матриц и
пуансонов, при этом стойкость штамповой оснастки повысилась в 2 – 3 раза.
7.3 Технологический процесс высокотемпературного ионного

азотирования с последующей светлой закалкой
Перспективным является процесс ВИА при 700°С в смеси азота, аргона и

ацетилена с невысоким углеродным потенциалом, с последующей закалкой
диффузионного слоя [85].
Технологический процесс комбинированной обработки (КО) – ВИА с
последующей светлой закалкой (СЗ) в тлеющем разряде с ПК включает в себя:
- предварительную подготовку обрабатываемых деталей;
- загрузку обрабатываемых деталей в камеру и откачку из камеры воздуха;
- чистку деталей и последующее ВИА в плазме тлеющего разряда с ПК;
- СЗ с нагревом от температуры азотирования и охлаждение обработанных
деталей в вакууме.
262
Предварительная подготовка поверхности (химическая очистка), ионная
очистка и активирование на поверхности активных центров адсорбции и адгезии,
последовательность операции при проведении процесса азотирования
аналогична и описана выше (см. разделе 7.2).
Нагрев под СЗ от температуры азотирования до 850 - 1050 °С проводится
в той же камере и атмосфере, что и азотирование. Такой процесс более
технологичен, чем азотирование и последующая СЗ с нагревом в другой камере.
Образование азотисто-углеродистого аустенита в диффузионном слое при
совмещении азотирования со СЗ задерживает начало мартенситного
превращения на поверхности по сравнению с сердцевиной. Это приводит к
увеличению остаточных напряжений сжатия в поверхностном слое и, как
следствие, к повышению износостойкости и предела выносливости. В условиях
изнашивания, при контактных нагрузках (5,0 Н) без смазочного материала,
максимальная износостойкость достигается на образцах после КО, с
ультрамелкозернистой структурой, состоящей из нитридов основного металла,
легирующих элементов (к примеру (Fe, Cr)4N) и карбонитридных фаз
(Fe(Мe)4(N,С)) в поверхностном слое, с расположенной под ним развитой
мартенситной зоной, предотвращающей продавливание слоя γ'-фазы (см. гл. 4).
Были проведены эксперименты по определению скорости охлаждения
поверхности образцов в вакууме.
На рис. 7.3 приведены зависимости температуры поверхности от времени
при охлаждении в струе газа (давление аргона 0,2 МПА и 2,5 МПа).
Анализ зависимостей температуры поверхности от давления (при
давлении охлаждающего газа 0,2 Мпа и 2,5 Мпа) показывает, что с ростом
давления в камере, происходит увеличение скорости охлаждения поверхности.
Необходимо отметить, что при охлаждении образцов потоком аргона с
давлением 0,2 МПа, скорость охлаждения составила Vохл ≤ 40С/сек. Данная
скорость является не достаточной для получения структуры мартенсита
большинства сталей и соответственно не достаточна для проведения процесса
светлой закалки.
263
Рисунок 7.3 График зависимости температуры поверхности от времени

(кривые охлаждения):
- при Р = 100 Па (при давлении аргона 0,2 МПа),
- при Р = 100 Па (при давлении аргона 2,5 МПа).
При охлаждении образцов потоком аргона с давлением 2,5 МПа, скорость

охлаждения составила Vохл ≈ 100С/сек. Для образцов из сталей ХВГ и 9ХС
содержащей высокий процент углерода (≥1%), критическая скорость охлаждения
400С/сек, которая приводит к закалке, в нашем случаи произошло увеличение
микротвердости в 2,5 раза (см. табл.7.4). Для сталей содержащих углерода менее
0,2% критическая скорость охлаждения составляет 1000С/сек. Таким образом
из за недостаточной скорости охлаждения образцов из сталей 13Х11Н2В2МФ-Ш
и 16Х3НВФМБ-Ш микротвердость понизилась с 3730 МПа до 2080 МПа и с 3350
МПа до 2120 МПа соответственно (см. табл.7.4). Для обеспечения скорости
охлаждения ≥1000С/сек, необходимо использовать в качестве охлаждающего
газа – гелий, масло либо дополнительное охлаждение оснастки.
264
Результаты замеров микротвердости на поверхности образцов после
плазменного нагрева с ПК и охлаждения в потоке аргона с давлением 2,5 МПа
представлены в таблице 7.4
Таблица 7.4. Результаты экспериментов
Исходная микро- Плазменный нагрев с ПК
Материал твердость, и охлаждение в потоке
МПа аргона, МПа
16Х3НВФМБ-Ш 3350 2120
13Х11Н2В2МФ-Ш 3730 2080
ХВГ 3450 4500
9ХС 2800 3900
Были проведены эксперименты по увеличению скорости охлаждения

поверхности образцов в вакууме.
На рис.7.4 приведены зависимости температуры поверхности от времени
при охлаждении в потоке аргона и в потоке гелия.
(а)
265
(б)
(кривые охлаждения) в потоке Ar (а) и в потоке Не (б):
- при Р = 100 Па (при давлении охлаждающего газа 0,2 МПа),
- при Р = 200 Па (при давлении охлаждающего газа 0,2 МПа),
- при Р = 300 Па (при давлении охлаждающего газа 0,2 МПа)
Анализ зависимостей температуры поверхности от давления (при

давлении охлаждающего газа 0,2 Мпа) показывает, что с ростом давления в
камере, происходит увеличение скорости охлаждения поверхности.
На рис. 7.5 приведена зависимость температуры поверхности от времени
при охлаждении в масле.

(кривая охлаждения) в масле
266
Необходимо отметить, что при охлаждении образцов потоком аргона с

давлением 0,2 МПа, скорость охлаждения составила Vохл ≤ 40С/сек, которая
является не достаточной для проведения процесса светлой закалки
инструментальных сталей.
При охлаждении образцов потоком гелия с давлением 0,2 МПа, скорость
охлаждения составила Vохл ≤ 200С/сек. Данная скорость также является не
достаточной для получения структуры мартенсита для инструментальных
сталей. При охлаждении образцов в вакуумном масле, скорость охлаждения
составила Vохл  400 С/сек, которая является достаточной для получения
структуры мартенсита, что позволило провести КО, включающую ВИА и
последующую СЗ за один технологический цикл.
Необходимо отметить, что в результате ВИА конструкционных и
инструментальных сталей микротвердость поверхности увеличилась в 2,5 - 3 раза,
а в результате использования КО (ВИА и последующая СЗ) достигается
максимальная микротвердость на поверхности всех образцов, вследствие
образования в поверхностной зоне азотирования помимо нитридов и
карбонитридов как основного металла так и нитридообразующих легирующих
элементов (Fe4N, Fe4(N,C), Cr2N, Cr2(C,N), CrN, Cr(C,N), Cr7С3 , Cr3С2), азотистого
мартенсита (α-Fe(C)) и остаточного аустенита γ-Fe(C), γ-Fe(N,C) (см. гл.4).
Схема технологического процесса КО поверхности представлена на рис. 7.6.
267
Рисунок 7.6 Технологический процесс КО.
Для получения полностью мартенситной структуры (отпущенного

мартенсита) необходима обработка холодом или отпуск при 250 - 300°С. По
данным работ [169,176], такая обработка способствует значительному повышению
твердости. При обработке холодом происходит частичный распад карбонитридной
γ'-фазы с образованием большого количества α"-фазы, что несколько повышает
твердость поверхностного слоя. В более глубоких слоях после отпуска твердость
возрастает до 265 - 380 НV за счет распада пересыщенного α-твердого раствора и
выделения дисперсных частиц γ'-фазы (или α "- фазы) .
В результате такого вида упрочнения на поверхности стали образуется
карбонитридная γ'-фаза (Fe(M)4(N,C) далее расположены γ -фаза и α-фаза
268
пересыщенная азотом, диффузионный слой с расположенной под ним развитой
мартенситной зоной, предотвращающей продавливание слоя γ'-фазы и обладает
высокой износостойкостью при эксплуатации без смазочного материала (см. гл. 4).
7.4 Технологический процесс локального ионного азотирования в

тлеющем разряде низкого давления с полым катодом детали «шестерня»
В настоящее время азотированию подвергаются множество деталей

машиностроения: шнеки, цилиндры, зубчатые колеса, ведущие шестерни, шейки
коленчатых валов, распределительные валы, корончатые и венцовые колеса,
шлицевые втулки, сухари, цапфы, оси, пальцы и др.
Однако, применяемая на промышленных предприятиях технология
ионного азотирования на сегодняшний день является несовершенной. Несмотря
на все преимущества ионного азотирования перед традиционными методами (см.
гл.1) это процесс по-прежнему остается продолжительным и энергозатратным.
Поэтому одна из важнейших проблем современного машиностроения является
ускорение процесса ионного азотирования.
Применение ПК для локального ионного азотирования (ЛИА) участков
поверхности деталей, подвергающихся интенсивному изнашиванию, позволит
существенно ускорить процесс диффузионного насыщения по сравнению с
обработкой в традиционном тлеющем разряде.
В рамках диссертационной работы был разработан ТП ЛИА в тлеющем
разряде с ПК детали «шестерня» из материала 16Х3НВФМБ-Ш,
изготавливаемой в ОАО «Уфимское моторостроительное производственное
объединение». Данная деталь входит в центральный конический привод и
служит для передачи крутящего момента от рессоры привода к откачивающему
масленому насосу (рис. 7.7).
269
Рисунок 7.7 - Фотография детали «шестерня»
ТП ЛИА в тлеющем разряде с ПК состоит из следующих основных этапов:

- предварительная подготовка оснастки и обрабатываемых деталей;
- сборка деталей в оснастку, загрузка в камеру и откачка воздуха;
- ионная очистка деталей и оснастки в режиме катодного распыления;
- ЛИА в тлеющем разряде с ПК.
Известно, что подготовка деталей перед операцией ионного азотирования
зависит от состояния поверхности поступающих для обработки деталей и
требований, предъявляемых к поверхности готовых изделий. Детали должны
поступать на азотирование с окончательными размерами, так как при
последующем шлифовании может быть снята нитридная зона. Допускается
после ЛИА незначительная полировка для получения блестящей поверхности.
Предварительная подготовка состоит из очистки электрокорундом и
обезжиривания. Поверхности оснастки перед ионным азотированием
обдуваются белым электрокорундом 25А 10 П (ГОСТ 28818-90) при давлении
0,08-0,1 МПа. Цвет оснастки после операции обдувки - матовый. Обезжиривание
и очистку поверхности деталей проводят в ультразвуковой ванне с целью
удаления видимых слоев органических загрязнений: остатков масел, смазочных
материалов, отпечатков пальцев и жировых пятен. Используются органические
растворители: бензин, нефрас или ацетон технический марки «Ч», «ХЧ», «ЧДА»
270
(ГОСТ 2603-79). Все последующие операции с обезжиренными деталями
производятся с хлопчатобумажными перчатками (ГОСТ 5007-87).
Оснастки изготавливается из материала - 12Х18Н10Т, при этом зазор
между деталью и приспособлением не должен превышать 0,2 мм. Разъемные
детали приспособлений должны также собираться без зазора (в линии разъема)
и стягиваться стопорными кольцами (рис. 7.8). Собранные в технологическую
оснастку детали располагаются в камере равномерно с целью выравнивания
температурного поля в процессе ЛИА с ПК. Расстояния между деталями должны
быть не менее 20 мм, а между деталями и корпусом камеры - не менее 60 мм.
Рисунок 7.8 - Деталь «шестерня», собранная в оснастку
Рисунок 7.9 - Сборочный чертеж

271
После загрузки деталей в камеру ее герметизируют и откачивают воздух
до давления 6-8 Па. Далее рабочую камеру продувают аргоном до 1330 Па.
Данная операция повторяется неоднократно с целью удаления остаточного
кислорода из рабочей камеры. Ионная очистка в тлеющем разряде в режиме
катодного распыления производится в течение 10-15 мин, при напряжении 900 В
и давлении 6-8 Па в среде аргона. В процессе катодного распыления температура
поверхности детали не должна превышать 250°С.
Процесс ЛИА в тлеющем разряде с ПК проводят при напряжен�

Язык

Добро пожаловать в Scribd!

Исследование структурно-фазовых превращений

Загружено:

Сведения о документе

Дата загрузки

Авторское право

Поделиться этим документом

Поделиться или встроить документ

Параметры публикации

Этот документ был вам полезен?

Это неприемлемый материал?

Описание:

Авторское право:

Исследование структурно-фазовых превращений

Загружено:

Описание:

Авторское право:

Похожие издания

ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ

УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ

РАМАЗАНОВ КАМИЛЬ НУРУЛЛАЕВИЧ

ИССЛЕДОВАНИЕ СТРУКТУРНО-ФАЗОВЫХ ПРЕВРАЩЕНИЙ И СВОЙСТВ

Специальность 05.16.01 “Металловедение и термическая

Диссертация на соискание ученой степени

ВИА – высокотемпературное ионное азотирование

Ионное азотирование является одним из наиболее распространенных способов

Рисунок 1.2. Диаграмма состояния Fe-N-С при различных температурах.

Ионное азотирование на основе

Вид разряда Ионные источники

Несамостоятельный сильноточный разряд

Дуговой Полярность деталь-катод

Тлеющий Полярность деталь-анод

Водородсодержащие среды Тлеющий разряд с полым катодом

Тлеющий разряд с магнитным полем

Смеси газовых компонентов Тлеющий разряд с косвенным нагревом

Карбораны Локальное ионное азотирование

Рис 1.3. Классификация процессов азотирования металлов с применением

Рисунок 1.4 Процессы на поверхности при ионном азотировании [175]:

Ускоренные ионы в области падения катодного потенциала, с относительно

По мнению автора, при соударении с поверхностью положительный ион

Рисунок 1.6 Энергетическая модель процесса азотирования в тлеющем разряде [210]

Ведущая роль в энергетической модели отводится адсорбционным

Сталь перлитного класса 38ХМЮА (0,35-0,42%С, 1,35-1,65%Cr, 0,15-

Рисунок 1.7 - Влияние температуры и продолжительности азотирования на

Рисунок 1.8 - Изменение размера d, плотности распределения нитридов n в

В работе [110] образцы из стали 16Х2Н3МФБАЮ-Ш азотировали по

Рисунок 1.9 - Изменение микротвердости HV по толщине h азотированного

Рисунок 1.10 - Зависимость микротвердости HV (1) и плотности

1.3 Особенности структурно-фазовых превращений и свойств

Развитию областей применения азотирования для поверхностного упрочнения

1.4 Особенности структурно-фазовых превращений и свойств

Процесс высокотемпературного азотирования осуществляется в

Рисунок 1.11 Диаграммы состояния Fe-C и Fe-N (а) и схемы

Нагрев до температур светлой закалки (790 – 950ºС) от температуры

Анализ методов ионного азотирования показал, что существует целый ряд

Рисунок 1.12. Диаграмма давление  плотность потока:

Область 1  область традиционного газового азотирования, характеризуемая

Экстремальную зависимость толщины диффузионного слоя от общего

Рисунок 1.14 - Влияние давления азота на толщину диффузионной зоны

Рисунок 1.15 - Влияние газовой среды на толщину диффузионного слоя после

Согласно [203] азотирование титановых сплавов традиционными методами

Кроме того, повышение давления рабочей атмосферы уменьшает эффект

1.6 Анализ методов ускорения процесса ионного азотирования в

Проведем анализ основных методов ускорения процесса ионного

Рисунок 1.17 - Схема возникновения эффекта полого катода (а) и изменение

В работах [1,19] было предложено использовать эффект полого катода для

Рисунок 1.18 - Влияние давления P и напряжения U на положение тлеющего

Рисунок 1.19 - Зависимость толщины азотированного слоя от плотности тока

Из рис. 1.19 следует, что в условиях проявления ЭПК значение h оказывается

Рисунок 1.20 - Распределение твердости по глубине азотированного слоя

Рисунок 1.21 - Структура образцов из стали 38ХМЮА, обработанных

Учеными из Томского института сильноточной электроники СО РАН были

Рисунок 1.22 - Структура поверхности разрушения титана марки ВТ1-0, до

Рассмотрим ионное азотирование через нанооксидный барьер:

Рассмотрим азотирование в ультразвуковом поле:

Авторы утверждают, что ускорение азотирования сталей связанно с

1.7 Анализ методов локального модифицирования поверхностного слоя

Известно, что износ и повреждение поверхности материала снижают

Рисунок 1.25 - Схема локального азотирования: 1 – высоковольтный ввод;