на правах рукописи
Научный консультант:
доктор технических наук,
профессор В.В. Будилов
Уфа - 2015
2
ОГЛАВЛЕНИЕ стр.
СПИСОК ИСПОЛЬЗУЕМЫХ СОКРАЩЕНИЙ ................................................................ 7
ВВЕДЕНИЕ ............................................................................................................................... 8
1. АНАЛИЗ СТРУКТУРНО-ФАЗОВЫХ ПРЕВРАЩЕНИЙ И СВОЙСТВ
ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ КОНСТРУКЦИОННЫХ И ИНСТРУМЕНТАЛЬНЫХ
СТАЛЕЙ ПРИ ИОННОМ АЗОТИРОВАНИИ В ПЛАЗМЕ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА . 25
1.1 Азотирование в тлеющем разряде (ионное азотирование) .............................................. 25
1.2 Особенности структурно-фазовых превращений и свойств поверхностных слоев
конструкционных сталей при ионном азотировании в тлеющем разряде.......................... 38
1.3 Особенности структурно-фазовых превращений и свойств поверхностных слоев
инструментальных сталей при ионном азотировании в тлеющем разряде ........................ 44
1.4 Особенности структурно-фазовых превращений и свойств поверхностных слоев
конструкционных и инструментальных сталей при высокотемпературном ионном
азотировании..................................................................................................................................... 49
1.5 Особенности азотирования поверхностных слоев конструкционных и
инструментальных сталей ионными источниками и в тлеющем разряде низкого
давления............................................................................................................................................ 54
1.6 Анализ методов ускорения процесса ионного азотирования в тлеющем разряде низкого
давления ............................................................................................................................................. 60
1.7 Анализ методов локального модифицирования поверхностного слоя
конструкционных сталей ............................................................................................................... 68
1.8 Принципы управления диффузионным насыщением при азотировании в тлеющем
разряде низкого давления .............................................................................................................. 72
2. ОБЪЕКТ, МЕТОДЫ И МЕТОДИКИ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ
ИССЛЕДОВАНИЙ ................................................................................................................ 78
2.1 Объект исследований, механические свойства исследованных материалов ............... 78
2.2 Описание модернизированной установки ЭЛУ–5М для ионного азотирования в
тлеющем разряде ............................................................................................................................. 80
2.3 Методы структурных исследований ..................................................................................... 85
2.4. Метод определения микротвердости ................................................................................... 88
3
2.5. Методика определения износостойкости обработанных образцов………….91
2.6. Методика определения плотности ионного тока .............................................................. 90
2.7 Методика зондовых измерений.............................................................................................. 91
2.8 Методика определения хрупкости азотированного слоя ................................................. 96
3. РАЗРАБОТКА МЕТОДОВ ИНТЕНСИФИКАЦИИ ИОННОГО АЗОТИРОВАНИЯ
В ТЛЕЮЩЕМ РАЗРЯДЕ НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ ......................................................... 97
3.1 Ионное азотирование в тлеющем разряде низкого давления с полым катодом ......... 97
3.2 Вольт-амперные характеристики тлеющего разряда с полым катодом........................ 99
3.3 Распределение параметров плазмы в газоразрядном промежутке при ионном
азотировании в тлеющем разряде низкого давления с полым катодом ............................102
3.4 Экспериментальные результаты температурных зависимостей при ионном
азотировании в тлеющем разряде с полым катодом..............................................................104
3.5 Способы ускорения процесса ионного азотирования в тлеющем разряде низкого
давления с полым катодом...........................................................................................................106
3.6 Ионное азотирование в тлеющем разряде с магнитным полем ....................................108
3.7 Вольтамперные характеристики тлеющего разряда с магнитным полем. .................114
3.8 Распределение параметров плазмы в тлеющем разряде с магнитным полем ...........117
3.9 Способы ускорения процесса ионного азотирования в тлеющем разряде низкого
давления с магнитным полем......................................................................................................120
4. ИССЛЕДОВАНИЕ СТРУКТУРНО-ФАЗОВЫХ ПРЕВРАЩЕНИЙ И СВОЙСТВ
ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ КОНСТРУКЦИОННЫХ И ИНСТРУМЕНТАЛЬНЫХ
СТАЛЯХ, ПРОИСХОДЯЩИХ ПРИ ВОЗДЕЙСТВИИ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА
НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ С ПОЛЫМ КАТОДОМ ........................................................... 125
4.1 Исследование влияния азотирования, высокотемпературного азотирования и
комбинированной обработки в тлеющем разряде низкого давления с полым катодом на
структуру поверхностных слоев конструкционных и инструментальных сталей..........125
4.2 Исследование влияния азотирования, высокотемпературного азотирования и
комбинированной обработки в тлеющем разряде низкого давления с полым катодом на
фазовый состав поверхностных слоев конструкционных и инструментальных сталей130
4
4.3 Исследование влияния азотирования, высокотемпературного азотирования и
комбинированной обработки в тлеющем разряде низкого давления с полым катодом на
величину напряжений и средний размер кристаллитов поверхностных слоев
конструкционных и инструментальных сталей ......................................................................138
4.4 Экспериментальные результаты влияние состава рабочего газа и режимов ионного
азотирования, высокотемпературного азотирования и комбинированной обработки на
микротвердость поверхностных слоев конструкционных и инструментальных сталей153
4.5 Исследование влияния азотирования и высокотемпературного азотирования в
тлеющем разряде низкого давления с полым катодом на изменение микротвердости по
глубине поверхностного слоя конструкционных и инструментальных сталей ..............157
4.6 Исследование влияния высокотемпературного азотирования и комбинированной
обработки в тлеющем разряде низкого давления с полым катодом на износостойкость
поверхностного слоя стали 38Х2МЮА....................................................................................161
5. ИССЛЕДОВАНИЕ СТРУКТУРНО-ФАЗОВЫХ ПРЕВРАЩЕНИЙ И СВОЙСТВ
ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ КОНСТРУКЦИОННЫХ СТАЛЕЙ ПРИ
ЛОКАЛЬНОМ АЗОТИРОВАНИИ В ТЛЕЮЩЕМ РАЗРЯДЕ НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ
С ПОЛЫМ КАТОДОМ ....................................................................................................... 171
5.1 Исследование тепловых и диффузионных процессов при локальном азотировании в
тлеющем разряде низкого давления с полым катодом..........................................................171
5.2 Исследование влияния локального ионного азотирования в тлеющем разряде низкого
давления с полым катодом на структуру поверхностных слоев конструкционных сталей
16Х3НВФМБ-Ш и 38ХМЮА ....................................................................................................190
5.3 Исследование влияния локального ионного азотирования в тлеющем разряде низкого
давления с полым катодом на фазовый состав поверхностных слоев конструкционных
сталей 16Х3НВФМБ-Ш и 38ХМЮА .......................................................................................197
5.4 Исследование влияния локального ионного азотирования в тлеющем разряде низкого
давления с полым катодом на микротвердость поверхностных слоев конструкционных
сталей 16Х3НВФМБ-Ш и 38ХМЮА .......................................................................................202
5
5.4 Исследование влияния локального ионного азотирования в тлеющем разряде низкого
давления с полым катодом на износостойкость поверхностных слоев конструкционных
сталей 16Х3НВФМБ-Ш и 38ХМЮА .......................................................................................207
6. ИССЛЕДОВАНИЕ СТРУКТУРНО-ФАЗОВЫХ ПРЕВРАЩЕНИЙ И СВОЙСТВ
ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ ИНСТРУМЕНТАЛЬНЫХ СТАЛЕЙ,
ПРОИСХОДЯЩИХ ПРИ ВОЗДЕЙСТВИИ тлеющего разряда НИЗКОГО
ДАВЛЕНИЯ С МАГНИТНЫМ ПОЛЕМ ......................................................................... 217
6.1 Исследование влияния азотирования в тлеющем разряде низкого давления с
магнитным полем на структуру поверхностных слоев инструментальных сталей........217
6.2 Исследование влияния азотирования в тлеющем разряде низкого давления с
магнитным полем на фазовый состав поверхностных слоев инструментальных сталей229
6.3 Исследование влияния азотирования в тлеющем разряде низкого давления с магнитным
полем на микротвердость поверхностных слоев инструментальных сталей...................242
6.4 Исследование влияния ионного азотирования в тлеющем разряде низкого давления с
магнитным полем на толщину упрочненного слоя и температуру поверхности детали.245
7. РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ АЗОТИРОВАНИЯ
ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ ДЕТАЛЕЙ И ИНСТРУМЕНТА С
ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ............... 250
7.1 Особенности проектирования технологических процессов ионного азотирования в
тлеющем разряде низкого давления в условиях мелкосерийного и единичного
производства ...................................................................................................................................250
7.2 Технологический процесс высокотемпературного ионного азотирования в тлеющем
разряде низкого давления с полым катодом матриц холодновысадочного автомата ....257
7.3 Технологический процесс высокотемпературного ионного азотирования с
последующей светлой закалкой .................................................................................................261
7.4 Технологический процесс локального ионного азотирования в тлеющем разряде
низкого давления с полым катодом детали «шестерня».......................................................268
7.5 Технологический процесс ионного азотирования в тлеющем разряде низкого давления
с магнитным полем матриц холодновысадочного автомата................................................275
6
7.6 Технологический процесс комбинированной обработки включающий в себя ионное
азотирования в тлеющем разряде низкого давления с магнитным полем и последующее
нанесение покрытия TiN, TiAlN матриц холодновысадочного автомата.........................279
ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ И РЕЗУЛЬТАТЫ РАБОТЫ ........................................... 289
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ ........................................................ 295
ПРИЛОЖЕНИЯ .................................................................................................................... 319
7
СПИСОК ИСПОЛЬЗУЕМЫХ СОКРАЩЕНИЙ
а б
Рисунок 1.1. а) диаграмма состояния Fe-N, б) кристаллическое строение фаз
в системе Fe-N [176].
26
В метастабильной системе железо-азот образуются следующие фазы (рис. 1.1),
а): α-фаза представляет собой азотистый феррит с ОЦК решеткой с периодами 0,286-
0,287 нм (рис. 1.1), б); γ-фаза (азотистый аустенит) имеет ГЦК решетку с
неупорядоченным расположением атомов азота в октаэдрических порах (рис. 1.1, б).
При температуре 590°С γ-фаза претерпевает эвтектоидный распад γ → α + γ' [175].
В условиях больших переохлаждений γ-фаза претерпевает мартенситное
превращение. Азотистый мартенсит (α'-фаза) (рис. 1.1, б) представляет собой
пересыщенный твердый раствор азота в α-Fe, образуется из γ-фазы в результате
закалки. При распаде (отпуске) α'-фазы сначала образуется метастабильная α"-фаза
(Fe16N2), а затем образуется нитрид Fe4N.
γ'-фаза соответствует твердому раствору на базе нитрида Fe4N. Зона
гомогенности (рис. 1.1, а) при 590°С лежит в пределах 5,30 – 5,75% N.
ε-фаза является твердым раствором на базе нитрида Fe2-3N, существует в
широком интервале концентраций 4,55 – 11,0% N (рис. 1.1, а). Основой ее
кристаллического строения является плотная гексагональная упаковка атомов
железа (рис. 1.1, б) [65, 165,175].
На рис. 1.2 приведена проекция диаграммы состояния Fe-N-С. Наибольшее
значение имеют гексагональный ε-карбонитрид Fe2-3(N,С) и карбонитридная γ'-фаза
Fe4(N,С), образующиеся при одновременной диффузии в железо (сталь) азота и углерода.
Состав газовой
среды Тлеющий разряд низкого Тлеющей разряд
давления (1 – 133 Па) (133 – 1330 Па)
Комбинированные смеси
Безводородные среды
Азотно-аргоновые среды
Аргоно-азотные среды
а) б)
Рисунок 1.5 а) модель процесса азотирования в тлеющем разряде по
Арзамасову Б.Н. б) энергетическая схема процесса по Арзамасову Б.Н. [54]
а) б)
J, мA/см2
4
103
5 3
102
10
2
10-1
1
10-2
10-3
10-3 10-2 10-1 1 10 102 103 104 105
Р, Па
а) б)
Рисунок 1.13 - Влияние давления полностью диссоциированного аммиака на
толщину упрочненного слоя после ионного азотирования стали 03Х12Н10МТ (а) и
06Х15Н6МВФБ (б) после ионного азотирования при 560 °С в течении 2,5 ч (1) и 5ч (2)
а б
Рисунок 1.16 - Влияние температуры насыщения на объемную долю ɛ-фазы
и микротвердость диффузионной зоны на глубине 10 (1) и 20 мкм (2), при
азотировании в азоте (а) и смеси азот-аргон (б) в течении 3 ч при давлении
максимального насыщения.
а) б)
Рис. 1.23. Схемы формирования оксидной пленки на стали (а), упрочнённого слоя
под оксидной плёнкой (б), -фазы на поверхности высокохромистой стали (в) [268]
Рис 1.24. Кинетика роста толщины азотированного слоя для сталей ЭИ-69
(1,2), ВНС-17 (3,4), 40ХН2МА (5,6) при Т=550°С. Азотирование проводилось без
(1,3,5) и при наложении магнитного поля индукцией 0,016 Тл (2,4,6)
h k 2 , (1.1)
а температурная — экспоненциальному [54,169,175]:
h A e Q (2 RT ) (1.2)
Однако процессы диффузионного насыщения в условиях тлеющего разряда
существенно интенсифицируются. В настоящее время накоплен большой объем
экспериментальных зависимостей, связывающих толщину слоя с температурой и
продолжительностью насыщения для определенного состава газовой среды и его
разрежения.
2. Давление и состав рабочего газа.
Давление рабочего газа является важным управляющим фактором ионной
ХТО. Долгое время господствовало мнение [9–11,20,24,25], что изменение
74
давления от 133 до 2600 Па вообще не влияет на кинетику диффузионного
насыщения в условиях тлеющею разряда.
Ошибочность такого взгляда подтверждают результаты исследований,
проведенных в работах [112,175,215,218]. Многочисленными экспериментами
установлено, что зависимость толщины диффузионного слоя от давления в
газоразрядной камере имеет четко выраженный экстремальный характер.
Следовательно, практически для любого процесса ионной ХТО существует некоторое
давление рабочего газа, обеспечивающее его наибольшую насыщающую
способность, т.е. толщину слоя, которое принято считать оптимальным.
Экстремальный характер зависимостей [112,175,215,218,227] объясняется
физико-химическими процессами, протекающими в плазме тлеющего разряда. С
одной стороны, повышение общего давления газовой среды приводит к увеличению
количества активных ионов элемента, которые могут участвовать в процессе
адсорбции на поверхности металла и последующей диффузии, однако с другой – при
этом непрерывно снижается кинетическая энергия этих ионов из-за уменьшения
длины свободного пробега в результате возможного столкновения. Причем
некоторая часть этих ионов неизбежно соединяется в молекулы (рекомбинирует) и
не участвует в процессе последующего диффузионного насыщения.
Кроме того, повышение давления рабочей атмосферы уменьшает эффект
катодного распыления поверхностных слоев металла, что приводит к образованию
и росту зоны соединений, например, нитридного слоя на поверхности титана
[175,218], которая, как известно, оказывает барьерное действие на диффузионное
движение активного элемента в глубь металла. Все эти процессы приводят к тому,
что существует вполне определенное значение общего давления газовой среды в
рабочей камере, при котором образуется наибольшее количество активно
участвующих в процессе насыщения ионов, например азота, что соответствует
максимальной активности насыщающей среды и обеспечивает получение
диффузионной зоны наибольшей толщины.
По данным исследований [54,65,175], область оптимального давления для
обработки инструментальных и конструкционных сталей в тлеющем разряде при
75
температуре 550°С находится в диапазоне от 100 до 200 Па, а при температуре свыше
650°С область оптимального давления смещается в диапазон от 200 до 300 Па.
При высоких давлениях в плазме (обычно более 400 Па) [54,46] благодаря
возрастанию количества столкновений увеличивается вероятность активизации
обмена энергией между электронами, ионами, атомами и молекулами, в результате
чего электронная температура уменьшается, а температура газа повышается, и
плазма становится изотермической, более стабильной, т.е. появляется опасность
перехода тлеющего разряда в дуговой.
Ранее было отмечено, что без предварительной очистки поверхности
катодной бомбардировкой от окисных и иных пленок, препятствующих адсорбции
азота или другого элемента, способного образовывать диффундиды, ни о каком
последующем азотировании речи быть не может. Поэтому при азотировании в
тлеющем разряде необходимо исключить проникновение кислорода в рабочую
камеру (к примеру использование кислородных ловушек), а это влечет за собой
использование сложного оборудования и, как следствие, удорожания
себестоимости обработки, либо необходимо дезактивировать кислород в рабочей
камере, за счет использования небольшого количества водорода в насыщающей
атмосфере. По данным работ [46,54,175] достаточно 3 – 5% H2 в насыщающей среде
для дезактивации кислорода.
В результате многочисленных исследований [112,175,207,218] было доказано,
что азотирование в тлеющем разряде позволяет регулировать строение слоя при
разбавлении азотосодержащей среды аргоном и углеродсодержащими газами.
Получение диффузионного слоя на базе высокоазотистого твердого раствора без
поверхностной нитридной зоны достигается за счет разбавления насыщающей
атмосферы аргоном в режиме катодного распыления при давлении 30 – 50 Па.
Аргон, имеющий массу иона, превосходящую массу иона аммиака, активно
распыляет нитридную зону, образующуюся на поверхности изделия в процессе
азотирования. Введение аргона до 40% практически не влияет на толщину
структурных составляющих слоя, при введении аргона более 40% происходит
76
уменьшение поверхностной нитридной зоны и увеличение зоны внутреннего
азотирования [46,54,175].
По данным работ [112,175,201,207,218,253] регулирование нитридной зоны
по углероду достигается введением в азотную плазму углеродсодержащих газов.
Было доказано, что нитридная зона, имеющая карбонитридный характер,
превосходит по комплексу эксплуатационных свойств нитридную зону, имеющую
чисто нитридный характер.
Из приведенного анализа процессов азотирования следует:
1. Важную роль в процессе ионно-плазменного азотирования помимо
атомарного иона азота играют быстрые нейтральные частицы и электроны, а их
значительно меньшая масса в процессах энергопередачи может компенсироваться
частотой ударов по частицам газа, адсорбированным поверхностью, или частицам
самой поверхности.
2. Образование атомарного азота происходит в основном в результате
диссоциации молекул электронным ударом, а доля рекомбинации атомарных ионов
как следствие столкновения с электроном и доля диссоциативной рекомбинации
при столкновении молекулярных ионов с электроном существенно мала.
3. Азотирование в тлеющем разряде является следствием множества
элементарных процессов, причем в каждой конкретной ситуации скорость
некоторого элементарного процесса определяется распределением
энергетического спектра падающего потока.
Очевидная роль положительных ионов как интенсификатора процесса
объясняется тем, что они не только обеспечивают большую энергопередачу при
столкновении газовых компонентов с поверхностью, но и доставку дополнительно
к адсорбированным поверхностью частицам газа высокоактивных элементов,
которые модифицируют поверхность.
4. Важным фактором процесса азотирования в тлеющем разряде следует
считать адсорбционные явления, поскольку, находясь неподвижно на поверхности,
адсорбат при столкновении с частицами падающего потока в большей мере
77
склонен к высоким уровням энергопередачи, образованию нитридов и внедрению
в поверхность.
5. По результатам анализа многочисленных исследований азотирования в
тлеющем разряде в области влияния технологических параметров и режимов
обработки на качество и состав азотированного слоя, был выбран состав
насыщающего газа: N – 20%, Ar - 75%, C2H2 - 5%, а также диапазон рабочего
давления для азотирования при температуре T = 550°С равный Р = 10 – 200 Па.
6. Анализ процессов взаимодействия плазмы с поверхностью показывает, что
для увеличения эффективности ионного азотирования необходимо увеличить
плотность ионного потока. Это возможно либо при использовании специальных
источников ионов (в этом случае область рабочего давления составляет не более
1 Па), либо используя магнитное поле при азотировании в тлеющем разряде для
увеличения степени ионизации вблизи обрабатываемой поверхности.
78
2. ОБЪЕКТ, МЕТОДЫ И МЕТОДИКИ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ
ИССЛЕДОВАНИЙ
2.1 Объект исследований, механические свойства исследованных
материалов
38Х2МЮА 0,35 - 0,42 С; 2 - 2,1 Cr; 0,15 - 0,25 Mo; 0,7 - 1,1 Al; 0,17 - 0,37 Si; 0,3
- 0,6 Mn; 0,25 Ni
30ХГСА 0,28 – 0,34 С; 0,9 – 1,2 Si; 0,8 – 1,1 Mn; до 0,3 Ni; до 0,025 S; до
0,025 P; 0.8 – 1,1 Cr; до 0,3 Cu
16Х3НВФМБ- 0,14 - 0,19 С; 0,6 - 0.9 Si; 0,4-0,7 Mn; 1,0-1,5 Ni; до 0.02 S; 0.03 P; 2,6-3,0
Ш (ДИ39) Cr; 0,4-0,6 Mo; 1,0 - 1,4 W; 0,35-0,55 V; 0,1 - 0,2 Nb; 0,01 - 0,05 Ce.
80
13Х11Н2В2МФ 0,1-0,16 С; 0,6 Si; 0,6 Mn; 1,5-1,8 Ni; до 0,025 S; до 0,03 P; 10,5-12,0
-Ш (ЭИ-961Ш) Cr; 0,35-0,5 Mo; 1,6-2,0 W; 0,18-0,3 V; до 0.3 Cu.
ХВГ 0,9 – 1,05 С; 0,1 – 0,4 Si; 0,8 – 1,1 Mn; до 0,35 Ni; до 0,03 S; до 0,03
P; 0,9 – 1,2 Cr; до 0,3 Mo; 1,2 – 1,6 W; до 0,3 Cu
9ХС 0,85 – 0,95 С; 1,2 – 1,6 Si; 0,3 – 0,6 Mn; до 0,35 Ni; до 0,03 S; до 0,03 P;
0,95 – 1,25 Cr; до 0,3 Mo; до 0,2 W; до 0,15 V; до 0,03 Ti; до 0,3 Cu
Х12 2 – 2,2 С; 0,1 – 0,4 Si; 0,15 – 0,45 Mn; до 0,35 Ni; до 0,03 S; до 0,03 P;
11,5 - 13 Cr; до 0,2 Mo; до 0,2 W; до 0,15 V; до 0,03 Ti; до 0,3 Cu
Р6М5 0,82 – 0,9 С; 0,5 Si; до 0,5 Mn; до 0,4 Ni; до 0,025 S; до 0,03 P; 3,8 –
4,4 Cr; 4,8 – 5,3 Mo; 5,5 – 6,5 W; 1,7 – 2,1 V; до 0,5 Cо
в)
а б
Рисунок 2.1. Модернизированная установка ЭЛУ–5М: а – общий вид
установки; б – диэлектрический стол.
Выпрямите
Выходной
ВЧ транс-
Инвертор
Выходная
форматор
Тлеющий
Входная
разряд
цепь
ключ
В
цепь
ль
Плата управления
Плата контроллера
ВЧ трансформатор
t а ,
_
(2.2)
a i
а К 1
a 02 ,
n (2.3)
где n – число выборок;
ai – средние арифметические значения в каждой выборке;
a0– средняя арифметическая всех выборочных средних;
К– поправочный коэффициент, зависящий от объема выборки.
Удельный объем структурных составляющих ΣV рассчитывали по формуле
в соответствии с ГОСТ 21.073.3–75:
86
L
V 100%, (2.4)
L
где ΣL – общая длина секущей, мкм;
L – длина секущей, проходящей через данную структурную составляющую, мкм.
Определение характеристик микроструктуры проводили с вероятностью Р =
0.9, при этом абсолютная ошибка измерений не превышала 5 %.
1) 2) 3)
а) б)
Рисунок 2.5 а) схема проведения эксперимента по определению
износостойкости на установке High temperature tribometer (CSM-instruments); б)
возможные варианты износа в системе «шар-диск»
1 2
(2.6)
(2.7)
95
(2.8)
Использование области электронного тока насыщения избегают, поскольку в
этом случае ток на зонд превосходит хаотический, и возмущение, которое вызывает
зонд, притягивающий электроны, может распространяться на большие расстояния.
Наличие прямолинейной зависимости I2(V) позволяет найти концентрацию
электронов без определения Те [128,137]:
(2.9)
3. Определение концентрации ионов из ионной части ВАХ
В качестве значения ионного тока насыщения I+∞ следует выбирать ток,
соответствующий началу «насыщения». Тогда из формулы Бома [128,137]:
(2.10)
Технологический экран
(сетка)
Плазма полого катода
Двойной электрический слой
Обрабатываемая поверхность
a ( ) (
4 2 1 4 3
) U c4 , (3.5)
3 0,4 n e ek T e
где Uс - потенциал на детали; Те - электронная температура; ni, ne -
концентрация частиц; D - прозрачность экрана; a - размер ячейки сетки;
h - расстояние между экраном и обрабатываемой поверхностью.
В диапазоне давлений Р=100 500 Па величина свободного пробега
электрона больше ширины темного катодного пространства. Таким образом,
электроны, вышедшие из катода, поступают в область отрицательного свечения с
энергией еU и производят ионизацию. Что позволяет проводить нагрев и
высокотемпературное структурно-фазовое модифицирование поверхности при
плотностях тока j = 10 – 20 мА/см2.
1200
1000
Р=50Па
800
Р=100Па
600 Р=200Па
Р=300Па
400
200
0
450 500 550 600 650 700 750 800 U, В
.
Рисунок 3.3. Вольт-амперные характеристики тлеющего разряда без ПК
1400
1200
1000
800 Р=100Па
600 Р=200Па
Р=300Па
400
200
0
300 350 400 450 500 550 U, В
𝜕 1 𝜕𝐴 𝜕 1 𝜕𝐴 𝜕𝐻𝑐𝑦 𝜕𝐻𝑐𝑥
( )+ ( ) = −𝑗 + ( − ), (3.6)
𝜕𝑥 𝜇𝑦 𝜕𝑥 𝜕𝑦 𝜇𝑥 𝜕𝑦 𝜕𝑥 𝜕𝑦
Решение задачи
Так как расчетная модель была симметрична относительно оси Z, то на рис. 3.12
изображена только левая половина рассчитанной картины распределения МП над
поверхностью катода. Следует отметить, что вблизи катода и на оси системы
наложение дополнительного МП ведет, во-первых, к понижению потенциала плазмы
за счет магнитного удержания электронов, во-вторых, к образованию радиальной
потенциальной ямы для ионов, препятствующей их уходу в радиальном направлении.
Выводы по главе
1. Разработаны способы высокотемпературного ионного азотирования,
светлой закалки и комбинированной обработки (высокотемпературного ионного
азотирования с последующей светлой закалкой) в плазме тлеющего разряда с ПК,
которые позволяют проводить фазовое модифицирование поверхности
конструкционных и инструментальных сталей. Для осуществления процесса
насыщения проводят нагрев изделий в плазме азота повышенной плотности,
формируемой между деталью и технологическим экраном, при температурах 700 -
720ºС предпревращения ферритно-цементитной смеси в аустенит, когда
123
диффузионная подвижность элементов резко возрастает, а время азотирования
сокращается до 1 - 2 часов
2. Установлено, что ток разряда при ионном азотировании в тлеющем разряде
с ПК в несколько раз больше тока тлеющего разряда без ПК. Применение разряда
с ПК при ионном азотировании позволяет увеличить температуру и скорость
нагрева поверхности по сравнению с ионным азотированием в тлеющем разряде с
плоским катодом.
3. Установлено, что для поддержания рабочей температуры детали 550 ºС в
процессе ионного азотирования с ПК давление в рабочей камере должно составлять
60 Па. При давлении ниже 60 Па энергия ионов рабочего газа недостаточна для
нагрева обрабатываемой детали до рабочей температуры, при давлении выше 60 Па
существует опасность перегрева деталей и появлении на их поверхности
оплавленных микрократеров.
4. Установлено, что в катодной полости наблюдается пик концентрации
насыщающего элемента в результате осцилляции электронов и увеличения актов
ионизации. Проведенные зондовые исследования показали, что на участках
проявления ПК происходит увеличение актов ионизации и как следствие
увеличение градиента концентрации насыщающего элемента на поверхности
материала, что приводит к ускорению процесса диффузионного насыщения при
ионном азотировании с ПК.
5. Разработаны способы ионного азотирования в плазме тлеющего разряда с МП,
которые позволяют проводить фазовое модифицирование поверхности
инструментальных сталей. Для осуществления ионного азотирования с МП проводят
нагрев изделий в плазме азота повышенной плотности, отличающиеся тем, что плазму
формируют в тороидальной области вращения электронов, которую создают
скрещенными электрическим и магнитным полями.
6. Получены пространственные распределения характеристик плазмы в тлеющем
разряде с МП. Показано, что для увеличения плотности плазмы в области катода
необходимо создать в пространстве над ним МП достаточной величины для эффективного
удержания электронов и предотвращения их ухода. При этом характеристики плазмы в
124
пространстве над катодом распределяются неравномерно и зависят от давления. Область
с наибольшей плотностью ионного тока находится на расстоянии 6 мм от поверхности
катода и 40 мм от оси магнитной системы при давлении в вакуумной камере 44 Па.
7. ВАХ тлеющего разряда с МП, в отличие от традиционной схемы, имеет
более крутой подъем, что указывает на эффективность процессов ионизации.
8. Установлено, что величина разрядного тока зависит также от режима
работы источника. Разрядное напряжение в частотном режиме ниже, чем в
постоянном при той же средней мощности, вследствие того, что в частотном
режиме плазма генерируется главным образом за счет ионизации
осциллирующими в объеме плазмы электронами. Этот вид ионизации является
более эффективным по сравнению с ионизацией вторичными электронами, что
приводит к более низким разрядным напряжениям.
9. В результате исследования зависимости напряжения зажигания тлеющего
разряда с МП от давления в вакуумной камере было установлено, что при высоких
давлениях 20 - 80 Па – МП не влияет на условия возникновения разряда.
125
4. ИССЛЕДОВАНИЕ СТРУКТУРНО-ФАЗОВЫХ ПРЕВРАЩЕНИЙ И
СВОЙСТВ ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ КОНСТРУКЦИОННЫХ И
ИНСТРУМЕНТАЛЬНЫХ СТАЛЯХ, ПРОИСХОДЯЩИХ ПРИ
ВОЗДЕЙСТВИИ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ С
ПОЛЫМ КАТОДОМ
4.1 Исследование влияния азотирования, высокотемпературного
азотирования и комбинированной обработки в тлеющем разряде низкого
давления с полым катодом на структуру поверхностных слоев
конструкционных и инструментальных сталей
в) РЭМ х17000
а)
Fe2-3N, Fe2-3(N,C)
Fe4N, Fe4(N,C)
Fe
Cr2N, Cr2(C,N)
Cr3(Cх,Ny)
б)
Рисунок 4.12. Дифрактограммы образца из стали 30ХГСА (а – в исходном
состоянии, б – после ионного азотирования в тлеющем разряде с ПК)
132
Fe
FeNi
а)
Fe3N, Fe3(N,C)
Fe2N, Fe2(N,C)
Fe
CrN, Cr(C,N)
Cr3С2
Fe4N, Fe4(N,C)
б)
Рисунок 4.13. Дифрактограммы образца из стали 38Х2МЮА (а – в исходном
состоянии, б – после ионного азотирования в тлеющем разряде с ПК)
133
Fe
Cr
(Cr,Fe) 7С3
а)
Cr2N, Cr2(C,N)
CrN, Cr(C,N)
Fe
Fe4N, Fe4(N,C)
Fe2-3N, Fe2-3(N,C)
Cr7С3
б)
Рисунок 4.14. Дифрактограммы образца из стали Х12 (а – в исходном
состоянии, б – после ионного азотирования в тлеющем разряде с ПК)
Cr2N, Cr2(N,C)
Fe4N, Fe4(N,C)
Fe
Fe(Cr)3O4
CrN, Cr(C,N)
Cr2N, Cr2(N,C)
Fe4N, Fe4(N,C)
Fe
Fe3С, Fe3(CN)
Fe(Cr)3O4
Cr2N, Cr2(C,N)
CrN, Cr(C,N)
Fe
Fe4N, Fe4(N,C)
Cr3С2
Fe(Cr)3О4
Fe4N, Fe4(N,C)
Cr2N, Cr2(N,C)
Fe
γ-Fe(C), γ-Fe(N,C)
α-Fe(C)
Cr2N, Cr2(C,N)
γ-Fe(C), γ-Fe(N,C)
Fe
Fe4N, Fe4(N,C)
Cr3С2
FeCr
α-FeC
Таблица 4.1. Х12 – ионное азотирование в тлеющем разряде с ПК, Т=550°С, t=3часа, Р=150 Па, I=0,4 А, U=400 В
Cubic
α-Fe (исходн.) 3,048
a: 2,856
Cubic
α-Fe 36,76 3,8х10-3 22,5 7,6 х108 3,048
a:2,858
Cubic
CrN 14,11 2,2 х10-3 23,0 4,4 х108 0,378
a: 4,1588
Hexagonal
Fe3N a:4,6919 13,75 7,9 х10-3 19,1 15,8 х108 0,215
c:4,3670
Cubic
Fe4N a:3,770 11,84 8,2 х10-3 15,3 16,4 х108 0,195
Hexagonal
Cr7C3 a:14,010 13,44 1,9 х10-3 18,1 3,8 х108 1,271
c:4,532
140
Таблица 4.2. Х12- ВИА в тлеющем разряде с ПК при Т=700°С, t=1час, Р=200 Па, I=0,5 А, U=450 В
Cubic
α-Fe a:2,859 35,16 3,12х10-3 22,16 6,24 х108 3,048
Cubic
CrN 11,04 0,6 х10-3 22,51 1,2 х108 0,381
a: 4,1612
Trigonal
Cr2N a:4,752 12,13 1,7 х10-3 24,70 3,4 х108 0,393
c:4,429
Cubic
Fe4N a:3,800 14,21 7,5 х10-3 11,60 15 х108 0,204
Orthorhombic
a:5,5329
Cr3C2 17,45 2,8 х10-3 42,19 5,6 х108 1,103
b: 2,8290
c:11,4719
141
Таблица 4.3. Х12- КО: режимы ионного азотирования в тлеющем разряде с ПК: Т=700°С, t=1час, Р=200 Па, I=0,5
А,U=450В; режимы светлой закалки: Т=900°С, Р=200 Па, I=0,6 А, U=500В
Tetragonal
a:2,854
α-FeС 31,2 7,9х10-3 18,1 15,8 х108 0,843
c:2,983
Cubic
CrN 10,8 3,5 х10-3 24,3 7,0 х108 0,333
a: 4,1451
Trigonal
Cr2N a:4,734 13,1 4,8 х10-3 23,2 9,6 х108 0,351
c:4,411
Cubic
Fe4N a:3,750 11,5 8,5 х10-3 16,1 17 х108 0,121
Orthorhombic
a:5,5171
Cr3C2 23,3 3,1 х10-3 43,0 6,2 х108 1,731
b: 2,8014
c:11,4610
142
Таблица 4.4. 38Х2МЮА - ионное азотирование в тл. разряде с ПК, Т=550°С, t=3часа, Р=150 Па, I=0,4 А, U=400 В
Cubic
α-Fe (исходн.) 3,214
a: 2,8701
Cubic
α-Fe 32,82 3,6х10-3 20,4 7,2 х108 3,214
a:2,8716
Cubic
CrN 11,7 2,3 х10-3 21,75 4,6 х108 0,341
a: 4,1571
Trigonal
Fe2N a:4,787 13,4 3,7 х10-3 19,8 7,4 х108 0,194
c:4,418
Hexagonal
Fe3N a:4,6912 11,88 6,9 х10-3 20,8 13,8 х108 0,181
c:4,366
Cubic
Fe4N 10,1 7,2 х10-3 16,4 14,4 х108 0,174
a:3,768
143
Таблица 4.5. 38Х2МЮА ВИА в тлеющем разряде с ПК при Т=700°С, t=1час, Р=200 Па, I=0,5 А, U=450 В
Cubic
α-Fe a:2,8717 34,2 3,2х10-3 19,3 6,4 х108 3,214
Trigonal
Cr2N a:4,750 17,1 4,8 х10-3 22,4 9,6 х108 0,312
c:4,426
Cubic
Fe4N a:3,790 19,4 5,1 х10-3 15,4 10,2 х108 0,192
Orthorhombic
a:5,089
Fe3C b: 6,744 19,2 7,2 х10-3 21,5 14,4 х108 0,240
c:4,524
144
Таблица 4.6. 38Х2МЮА - КО: режимы ионного азотирования в тлеющем разряде с ПК: Т=700°С, t=1час, Р=200 Па,
I=0,5 А,U=450 В; режимы светлой закалки: Т=930°С, Р=200 Па, I=0,6 А, U=500В
Tetragonal
a:2,851
α-FeС 44,0 7,4х10-3 24,5 14,8 х108 0,712
c:2,981
Trigonal
Cr2N a:4,721 17,2 6,7 х10-3 23,8 13,4 х108 0,331
c:4,412
Cubic
Fe4N a:3,771 28,7 8,1 х10-3 16,2 16,2 х108 0,117
145
Таблица 4.7. 30ХГСА - ионное азотирование в тл. разряде с ПК при Т=550°С, t=3часа, Р=150 Па, I=0,4 А, U=400 В
Cubic
α-Fe (исходн.) a: 2,8603 3,121
Cubic
α-Fe a:2,8610 34,5 3,9х10-3 24,5 7,8 х108 3,121
Hexagonal
Fe3N a:4,6901 19,2 7,4 х10-3 12,4 14,8 х108 0,208
c:4,3668
Cubic
Fe4N a:3,790 15,5 6,7 х10-3 8,31 13,4 х108 0,194
Orthorhombic
a:5,5311
Cr3C2 10,7 5,4 х10-3 21,2 10,8 х108 1,811
b: 2,8284
c:11,4701
146
Таблица 4.8. 30ХГСА ВИА в тлеющем разряде с ПК при Т=700°С, t=1час, Р=200 Па, I=0,5 А, U=450 В
Cubic
α-Fe a:2,8612 33,8 3,2х10-3 20,3 6,4 х108 3,121
Cubic
CrN 11,8 3,3 х10-3 21,4 6,6 х108 0,332
a: 4,1660
Trigonal
Cr2N a:4,7500 18,4 4,9 х10-3 23,6 9,8 х108 0,311
c:4,4180
Cubic
Fe4N a:3,7690 15,9 5,9 х10-3 15 11,8 х108 0,195
147
а)
б)
Cubic Trigonal
CrN a: 4,1612 Cr2N a:4,752
c:4,429
Х12- ВИА в тлеющем разряде с ПК при Т=700°С, t=1час, Р=200 Па, U=450В
Trigonal Hexagonal
a:4,787 Fe3N a:4,6912
Fe2N
c:4,418 c:4,366
38Х2МЮА - ионное азотирование в тлеющем разряде с ПК при Т=550°С, t=3часа, Р=150 Па, I=0,4 А, U=400 В
150
30ХГСА - ионное азотирование в тлеющем разряде с ПК при Т=550°С, t=3часа, Р=150 Па, I=0,4 А, U=400 В
Ortho-
rhombic Hexagonal
a:5,089 a:14,010
Fe3C Cr7C3
b: 6,744 c:4,532
c:4,524
38Х2МЮА ВИА в тлеющем разряде с ПК при Т=700°С, Х12 – ионное азотирование в тлеющем разряде с ПК
t=1час, Р=200 Па, I=0,5 А, U=450 В при Т=550°С, t=3часа, Р=150 Па, I=0,4 А, U=400 В
151
МПа
12000
50,
10000
Микротвердость HV
8000
6000
4000
2000
0
0 20 40 60 80 100 120 140 160 180 200 220 240
10000
50,
Микротвердость HV
8000
6000
4000
2000
0
0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 110 120
50, МПа
10000
Микротвердость HV
8000
6000
4000
2000
0
0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 110 120
16000
МПа
14000
50,
12000
Микротвердость HV
10000
8000
6000
4000
2000
0
0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 110 120 140 160
Расстояние от поверхности, мкм
9000
8000
МПа
7000
6000
50,
5000
Микротвердость HV
4000
3000
2000
1000
0
0 20 40 60 80 100 120 160 200 240
Расстояние от поверхности, мкм
Из данных приведенных на рис. 4.26 - 4.34 и в табл. 4.11 видно, что ВИА
и КО значительно повышает износостойкость стали 38Х2МЮА. Так после
ВИА износостойкость увеличилась в 12 раз, а после КО в 30 раз по сравнению
с исходным состоянием, а также в 2,5 и в 6 раз соответственно по сравнению
с ионным азотированием при Т=550°С. В тоже время из литературных данных
[54,166,176,222] известно, что традиционное ионное азотирование (при 500 -
550°С) приводит к увеличению износостойкости деталей из материала
38Х2МЮА в 3 – 5 раз.
Среднее значение коэффициента трения в исходном состоянии составил
Ктр = 0,342, после ВИА – Ктр = 0,197, а после КО – Ктр = 0,166.
В условиях изнашивания при контактных нагрузках (5,0Н) без смазочного
материала высокую износостойкостью обладает образец с
ультрамелкозернистой структурой состоящей из нитридов основного металла и
легирующих элементов (к примеру (Fe, Cr)4N) и карбонитридных фаз
168
(Fe(Мe)4(N,С)) в поверхностном слое и с расположенной под ним развитой
мартенситной зоной (см. гл.4.2), предотвращающей продавливание слоя γ'-фазы.
Имеющийся в слое остаточный аустенит претерпевает под действием
нагрузок мартенситное превращение. Известно [169,176], что аустенит
оставшийся после непосредственной закалки, отличается от по своей природе
от аустенита, полученного после медленного охлаждения, способностью к
наклепу в процессе трения, вследствие чего сталь, обработанная по режиму,
включающему непосредственную закалку после высокотемпературного
азотирования, способна в большей степени сопротивляться износу.
Полученные экспериментальные результаты это полностью подтвердили.
Выводы по главе
1. В процессе ионного азотирования в тлеющем разряде с ПК
легированных сталей, содержащей элементы с различной активностью к азоту,
формируется неоднородная поверхностная зона азотирования, состоящая из
нитридов и карбонитридов как основного металла, так и нитридообразующих
легирующих элементов (Fe3N, Fe3(N,C), Fe4N, Fe4(N,C), Cr2N, Cr2(C,N), CrN,
Cr(C,N), Cr7С3 , Cr3С2).
2. Технологическим параметром, регулирующим реализацию
износостойкого структурно-фазового состояния, является не только давление
и состав насыщающей атмосферы, но и температура азотирования. С ростом
которой происходит увеличение толщины азотированного слоя, вследствие
термически и радиационно-стимулированной диффузии атомарного азота в
глубь металла, а также выклинивание области существования ε-фазы Fe2-
3(N,C), которая растворяя углерод, переходит в карбонитрид Fe4(N,C).
3. Установлено, что исходный размер зерна α-Fe после традиционного и
высокотемпературного азотирования остается неизменным.
Величина напряжений нитридных фаз изменяется в диапазоне от 4,5 до
17×108 Па, было отмечено, что с ростом температуры азотирования величина
169
напряжений снижается, а в результате КО достигает своего максимального
значения.
4. Разработанные способы азотирования, ВИА и КО, позволяют
проводить структурно-фазовое модифицирование конструкционных и
инструментальных сталей. При этом структурно-фазовое состояние будет
завесить от химического состава, плотности дефектов строения матрицы и
температурно-временных параметров процесса обработки. При изменении
этих параметров в диффузионном слое могут образовываться нитридные и
карбонитридные соединения основного металла и легирующих элементов
типа ε и γ'-фаз, а также оксинитридные соединения типа - (Fe, Me)3O4,
различающиеся размерами, формой и взаимодействием с кристаллической
решеткой матрицы.
5. В результате ионного азотирования при Т=550°С, образцов из
конструкционных и инструментальных сталей, произошло увеличение
микротвердости поверхности в 3 - 5 раз. Результатом влияния процесса ВИА
при Т=700°С на конструкционные и инструментальные стали стало
увеличение микротвердости поверхности в 2,5 - 3 раза. В отличие от ионного
азотирования при Т=550°С, в результате ВИА при Т=700°С поверхностная
микротвердость азотированного слоя ниже, вследствие образования на
поверхности γ'-фазы типа ((Fe, Me)4N, (Fe, Me)4 (N,С)), и выклинивания более
твердой высокоазотистой ε-фазы типа ((Fe, Me)2-3N, (Fe, Me)3 (N,С)).
Установлено, что в результате использования КО (ВИА и последующая
светлая закалка) достигается максимальная микротвердость на поверхности
всех образцов.
6. Установлено, что ионное азотирование в смеси азота с аргоном (N2
75%, Ar 25%) не эффективно для сталей, при ионном азотировании в смеси
азота, аргона и ацетилена в различных соотношениях и на различных режимах
наблюдается увеличение микротвердости на поверхности до 10000 МПа. При
этом максимальная поверхностная микротвердость была получена при
давлении Р = 200 Па.
170
При проведение процесса ВИА скорость роста диффузионной зоны
выше в 3-5 раз по сравнению с традиционным ионным азотированием, при
одновременном снижении поверхностной микротвердости на 20 - 30%, что
объясняется ростом диффузионной подвижности элементов при температурах
предпревращения ферритно-цементитной смеси в аустенит, а также
вследствие радиационно-стимулированной диффузии атомарного азота
вглубь металла в условиях проявления эффекта полого катода. Таким образом
ВИА приводит к интенсификации процесса насыщения и обеспечивает
высокую кинетическую эффективность процесса по сравнению с
традиционными методами азотирования.
7. В условиях изнашивания при контактных нагрузках (5,0 Н) без
смазочного материала максимальной износостойкостью обладает образец с
ультрамелкозернистой структурой состоящей из нитридов основного металла
и легирующих элементов (к примеру (Fe, Cr)4N) и карбонитридных фаз
(Fe(Мe)4(N,С)) в поверхностном слое и с расположенной под ним развитой
мартенситной зоной, предотвращающей продавливание слоя γ'-фазы.
8. Высокий уровень упрочнения поверхности, достигаемый в результате
применения ВИА и КО в тлеющем разряде с ПК, позволяет повысить
износостойкость стали 38Х2МЮА в 12 и 30 раз соответственно по сравнению
с исходным состоянием и в 2,5 и 6 раз соответственно по сравнению с
традиционным ионным азотированием при Т=500 - 550°С.
9. Предложенные способы ВИА и КО в тлеющем разряде с ПК, являются
эффективными способами поверхностного упрочнения конструкционных и
инструментальных сталей. При этом достигаются высокие значения
поверхностной твердости (до 10000 МПа) и износостойкости.
171
5. ИССЛЕДОВАНИЕ СТРУКТУРНО-ФАЗОВЫХ ПРЕВРАЩЕНИЙ И
СВОЙСТВ ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ КОНСТРУКЦИОННЫХ
СТАЛЕЙ ПРИ ЛОКАЛЬНОМ АЗОТИРОВАНИИ В ТЛЕЮЩЕМ
РАЗРЯДЕ НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ С ПОЛЫМ КАТОДОМ
5.1 Исследование тепловых и диффузионных процессов при
локальном азотировании в тлеющем разряде низкого давления с полым
катодом
а) б)
Рисунок 5.1 - Поступление тепловой энергии (а), отвод тепловой энергии (б)
На рисунке 5.3 показа схема подвода (а) и отвода (б) тепловой энергии
для детали зубчатое колесо.
а) б)
𝑑𝑟 2𝑞
𝜗≡| | = √𝜗12 + (𝜑 − 𝜑) (5.20)
𝑑𝑡 𝑚 1
2𝑞𝑈
𝜗≈√ (5.22)
𝑚
а) б)
а) б)
Рисунок 5.20 - Микроструктуры стали 16Х3НВФМБ-Ш на острых кромках
образцов после ионного азотирования с ПК при Т=550°С, Р=60 Па, U=500В,
h=5 мм: а – при длительности обработки 5 ч; б – при длительности обработки 3 ч
16Х3НВФМБ-
400±20 915±20 940±20
Ш
а)
б)
а)
б)
а) б)
Рисунок 5.31 - Характеристика пластичности диффузионного слоя стали
38ХМЮА по отпечаткам алмазной пирамиды (Т=550°С, P=60 Па, t=12 ч):
расстояние до поверхности 25 мкм (а); сердцевина (б).
а) б)
Рисунок 5.35 - Фотографии треков износа образцов: а – образец № 2,
б – образец №3
а б
Рисунок 5.40 - Увеличенные снимки треков износа образцов из стали
16Х3НВФМБ-Ш: а – образец № 2, б – образец №3
Выводы по главе
1. Установлено, что в результате ЛИА конструкционных сталей 38ХМЮА
и 16Х3НВФМБ-Ш образуется 2 зоны: 1 –находившаяся под технологическим
экраном; 2 – вне технологического экрана. При этом толщина диффузионного
слоя зоны, находившейся под экраном в 2-2,5 раза больше по сравнению с зоной,
находившейся вне экрана, а переход между этими зонами плавный. Увеличение
толщины слоя связано с тем, что в полости экрана складываются благоприятные
условия для сорбционных процессов, что приводит к формированию высокого
градиента концентрации насыщающего элемента.
2. Установлено, что ЛИА в тлеющем разряде с ПК не влияет на
поверхностную микротвердость образцов из сталей 38ХМЮА и
16Х3НВФМБ-Ш при температуре процесса 550°С и длительности
обработки12 ч по сравнению с традиционным ионным азотированием. При
этом микротвердость азотированных образцов до 2,5 раз выше по сравнению
с исходным состоянием (закалка + высокий отпуск).
3. Установлено, что ионное азотирование в тлеющем разряде с ПК при
температуре Т=550°С и длительности обработки t=12 ч так же, как и
традиционное ионное азотирование способствует повышению
износостойкости сталей 38ХМЮА и 16Х3НВФБМ-Ш. Так, для сталей на
участках ионного азотирования без экрана износостойкость увеличилась в 7-9
раз, а на участках ионного азотирования с полым катодом в 12-14 раз по
сравнению с исходным состоянием (закалка + высокий отпуск).
217
6. ИССЛЕДОВАНИЕ СТРУКТУРНО-ФАЗОВЫХ ПРЕВРАЩЕНИЙ И
СВОЙСТВ ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ ИНСТРУМЕНТАЛЬНЫХ
СТАЛЕЙ, ПРОИСХОДЯЩИХ ПРИ ВОЗДЕЙСТВИИ тлеющего разряда
НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ С МАГНИТНЫМ ПОЛЕМ
6.1 Исследование влияния азотирования в тлеющем разряде
низкого давления с магнитным полем на структуру поверхностных слоев
инструментальных сталей
а) б)
CrN, Cr(N,C)
CrN, Cr(N,C)
14,3 % 14 % 14 %
а б
в
Рисунок 6.13 – Фотографии микроструктур стали Р6М5 с контрастным
выделением карбидной фазы после:
а – закалки+отпуска; б – азотирование в тлеющем разряде с МП
(Т=500°С, t=4 часа, Р=44 Па, U=600В); в – азотирование в тлеющем разряде без
МП (Т=500°С, t=4 часа, Р=120Па, U=800В)
228
в
Рисунок 6.14 – Распределение карбидных частиц по размеру после:
а – закалки+отпуска; б – азотирование в тлеющем разряде с МП
(Т=500°С, t=4 часа, Р=44 Па, U=600В); в – азотирование в тлеющем разряде без
МП (Т=500°С, t=4 часа, Р=120Па, U=800В)
229
6.2 Исследование влияния азотирования в тлеющем разряде
низкого давления с магнитным полем на фазовый состав поверхностных
слоев инструментальных сталей
1000
- Fe
400
200
0
40.0 50.0 60.0 70.0 80.0 90.0 100.0 110.0 120.0 130.0
2Theta
1000
- Fe
800 - (Cr, Fe)7C3
- Fe3C
600 - (W, Fe)6C
400
200
0
40.0 50.0 60.0 70.0 80.0 90.0 100.0 110.0 120.0 130.0
2Theta
1000
- Fe
800 - CrN, Cr(C,N)
- (Cr, Fe)7C3
- Fe3C
600
400
200
0
40 60 80 100 120
2Theta
а
232
Counts
1200
X12
1000
- Fe
800
- (Cr, Fe)7C3
- Fe3C
600
400
200
0
40 60 80 100 120
2Theta
б
Counts
1200
X12
1000
- Fe
400
200
0
40 60 80 100 120
2Theta
в
Рисунок 6.17 – Дифрактограммы образцов из стали Х12 после ионного
азотирования в тлеющем разряде при Р=44 Па, t=4 часа, U=580 В:
а – с поверхности, б – на глубине 50 мкм, в – на глубине 100 мкм
233
Послойный рентгеноструктурный анализ дает типичную картину
изменения фазового состава по глубине (рис. 6.17). В приповерхностной зоне
(рис. 6.17а) существует азотированный слой, состоящий из α–фазы - азотистого
феррита с распределенными мелкодисперсными нитридными и
карбонитридными частицами (CrN, Cr(С,N)). Дифракционный максимум α–Fe
смещается в сторону больших углов отражения и приближается к значению,
соответствующему исходному состоянию на глубине 50 мкм (рис. 6.17б), а на
глубине 100 мкм фактически соответствует исходному состоянию (рис. 6.17в).
На поверхности образцов после ионного азотирования в тлеющем
разряде с МП и без него (рис.6.18,6.19) обнаружены рефлексы нитридов и
карбонитридов легирующих элементов (CrN, Cr(С,N), (Fe, W)6(С,N)),а также
карбидов ((Сr, Fe)7С3, Fe3C).
Сравнительный анализ дифрактограмм образцов из стали Р6М5 (рис. 6.18)
показывает, что азотирование при P=44 Па и U=580 В в МП приводит к
заметному снижению дифракционного максимума α–Fe, предположительно это
происходит вследствие формирования твердого раствора азота в железе с
большей концентрацией азота в нем [54]. В пользу этого свидетельствуют
результаты измерения микротвердости по глубине рис. 4.22.
Некоторое уширение в основании пиков α–Fe (рис.6.18-6.19) по
сравнению с исходным состоянием (рис.6.16), свидетельствует о формировании
в упрочненном слое остаточных сжимающих напряжений, которые нужно
связывать с относительно высокой концентрацией азота, вызывающего
искажение кристаллической решетки металла.
Основной карбидной фазой быстрорежущих сталей, является карбид
типа M6С. Карбид вторичного происхождения, выделившийся из аустенита.
Средний состав карбида отвечает формуле Fe3W3С и изменяется от Fe2W4С
до Fe4W2С. В стали Р6М5 часть карбидов, не растворяется до температур
начала расплавления стали, по этим причинам данный карбид эффективно
задерживает рост зерна. Карбонитридная фаза (Fe,W)6(С,N) образуются на
базе карбидной фазы путем замещения части атомов углерода азотом.
234
Counts
800
P6M5
700
- Fe
600 - (Cr, Fe)7C3
- CrN, Cr(C,N)
500 - Fe3C
- (Fe,W)6(C, N)
400
300
200
100
0
40 60 80 100 120
2Theta
Counts а
800
P6M5
700
- Fe
600 - (Cr, Fe)7C3
- CrN, Cr(C,N)
500 - Fe3C
- (Fe,W)6(C, N)
400
300
200
100
0
40 60 80 100 120
2Theta
б
Рисунок 6.18 – Дифрактограммы снятые с поверхности образцов из
стали Р6М5 P=44 Па, t=4 часа: a – азотирование в МП; б – азотирование вне МП
235
Counts
800
P6M5
700
- Fe
600 - (Cr, Fe)7C3
- CrN, Cr(C,N)
500 - Fe3C
- (Fe,W)6(C, N)
400
300
200
100
0
40 60 80 100 120
2Theta
а
Counts
800
P6M5
700
- Fe
- (Cr, Fe)7C3
600 - CrN, Cr(C,N)
- Fe3C
500 - (Fe,W)6(C, N)
400
300
200
100
0
40 60 80 100 120
2Theta
б
600
- Fe
500
- (Cr, Fe)7C3
400 - CrN, Cr(C,N)
- Fe3C
300 - (Fe,W)6(C, N)
200
100
0
40 60 80 100 120
2Theta
Counts а
800
P6M5
700
- Fe
- (Cr, Fe)7C3
600 - CrN, Cr(C,N)
- Fe3C
500 - (Fe,W)6(C, N)
400
300
200
100
0
40 60 80 100 120
2Theta
б
1000
- Fe
800 - (Cr, Fe)7C3
- Fe3C
600 - (Fe,W)6C
400
200
0
40 60 80 100 120
2Theta
а
Counts
1200
P6M5
1000
- Fe
800 - (Cr, Fe)7C3
- Fe3C
600 - (Fe,W)6C
400
200
0
40 60 80 100 120
2Theta
б
cubic
α–Fe 0.0235
a = 0.2482
cubic
Cr(С,N) 0.01786
a = 0.29338
(Fe,W)6(C,N)
cubic
a = 1.11 1.3676
241
1 2 3 4 5 6 7
hexagonal
a = 0.43751
Fe3С 0.08348
b = 0.46939
c = 0.46939
orthorhombic
a = 1.3805
(Cr,Fe)7C3 0.7424
b = 1.3805
c = 0.4498
6.3 Исследование влияния азотирования в тлеющем разряде низкого
давления с магнитным полем на микротвердость поверхностных слоев
инструментальных сталей
Исходное
500 695 695
состояние
а б
Рисунок 6.23 - Зависимость температуры поверхности от времени нагрева:
а) в тлеющем разряде с МП; б) в тлеющем разряде без МП (газ Ar, сталь Р6М5,
mобр.=50 г, U = 380 В, I = 1,3–2,5 А)
̴
̴
̴
̴
Рисунок 6.24 - Кинетика роста слоя при азотировании образцов из стали Р6М5 в тлеющем разряде с МП (P=44 Па,
U=550 В, I=0,8 А)
Рисунок 6.25 - Кинетика роста слоя при азотировании стали c содержанием
углерода 0,82 % [169]
Выводы по главе
1. В результате ионного азотирования в тлеющем разряде с МП при
Т=500°С, образцов из инструментальных сталей, произошло увеличение
248
микротвердости поверхности, что обусловлено формированием в
приповерхностном слое нитридных фаз с более высоким процентным
содержанием азота, вследствие расположения его в зоне повышенной
напряженности МП.
2. Экспериментально установлено, что ионное азотирование в тлеющем
разряде с МП инструментальных сталей Р6М5 и Х12 при давлении 44 Па в
течение 4 ч. приводит к образованию поверхностного модифицированного слоя,
состоящего из α-Fe - азотистого феррита, с распределенными нитридными и
карбидными фазами (CrN, Cr(С,N), (Fe, W)6(С,N)), обладающих повышенной
твердостью. Нитридная фаза CrN присутствует в упрочненном слое в виде
мелкодисперсных частиц.
3. В результате послойного рентгеноструктурного анализа установлено,
что на глубине 50 мкм образцов из стали Р6М5 после ионного азотирования в
тлеющем разряде с магнитным полем обнаружены рефлексы нитридов и
карбонитридов легирующих элементов (CrN, Cr(С,N), (Fe, W)6(С,N)), а также
карбидов ((Сr, Fe)7С3, Fe3C). Количество α–Fe, соответствующее интенсивности
пиков, увеличивается, и на глубине 100 мкм фактически соответствует
исходному состоянию.
4. Использование МП при азотировании в тлеющем разряде позволяет
увеличить толщину получаемых слоев в 5-6 раз при давлении 44 Па и в 1,5 раза
при температуре 500 ºС для стали Р6М5 и Х12, т.к. на поверхности катода
складываются благоприятные условия для сорбционных процессов, в
результате которых обеспечивается высокая концентрация диффундирующего
элемента, что приводит к формированию высокого градиента концентрации.
5. Предложенные методы ионного азотирования в тлеющем разряде с МП
являются эффективными способами поверхностного упрочнения
инструментальных сталей. При этом достигаются высокие значения
поверхностной твердости (до 1670 HV).
6. Разработанный технологический процесс ионного азотирования,
основанный на структурно-фазовом модифицировании в тлеющем разряде с МП,
249
который позволяет значительно сократить общее время обработки в 2-3 раза,
энергозатраты и расход насыщающих газов.
7. Установлено, что наложение МП при ионном азотировании приводит к
интенсификации процесса насыщения и обеспечивает высокую кинетическую
эффективность процесса по сравнению с традиционными методами
азотирования.
250
7. РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ АЗОТИРОВАНИЯ
ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ ДЕТАЛЕЙ И ИНСТРУМЕНТА С
ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ
7.1 Особенности проектирования технологических процессов ионного
азотирования в тлеющем разряде низкого давления в условиях
мелкосерийного и единичного производства
(а)
265
(б)
Рисунок 7.4 График зависимости температуры поверхности от времени
(кривые охлаждения) в потоке Ar (а) и в потоке Не (б):
- при Р = 100 Па (при давлении охлаждающего газа 0,2 МПа),
- при Р = 200 Па (при давлении охлаждающего газа 0,2 МПа),
- при Р = 300 Па (при давлении охлаждающего газа 0,2 МПа)