Исследование структурно-фазовых превращений

ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ
УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ

«УФИМСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ АВИАЦИОННЫЙ
ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ»
на правах рукописи
РАМАЗАНОВ КАМИЛЬ НУРУЛЛАЕВИЧ
ИССЛЕДОВАНИЕ СТРУКТУРНО-ФАЗОВЫХ ПРЕВРАЩЕНИЙ И СВОЙСТВ

ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ СТАЛЕЙ ПРИ ИОННОМ АЗОТИРОВАНИИ
В ТЛЕЮЩЕМ РАЗРЯДЕ НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ
Специальность 05.16.01 “Металловедение и термическая

обработка металлов и сплавов”
Диссертация на соискание ученой степени

доктора технических наук
Научный консультант:
доктор технических наук,
профессор В.В. Будилов
Уфа - 2015
2
ОГЛАВЛЕНИЕ стр.
СПИСОК ИСПОЛЬЗУЕМЫХ СОКРАЩЕНИЙ ................................................................ 7
ВВЕДЕНИЕ ............................................................................................................................... 8
1. АНАЛИЗ СТРУКТУРНО-ФАЗОВЫХ ПРЕВРАЩЕНИЙ И СВОЙСТВ
ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ КОНСТРУКЦИОННЫХ И ИНСТРУМЕНТАЛЬНЫХ
СТАЛЕЙ ПРИ ИОННОМ АЗОТИРОВАНИИ В ПЛАЗМЕ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА . 25
1.1 Азотирование в тлеющем разряде (ионное азотирование) .............................................. 25
1.2 Особенности структурно-фазовых превращений и свойств поверхностных слоев
конструкционных сталей при ионном азотировании в тлеющем разряде.......................... 38
инструментальных сталей при ионном азотировании в тлеющем разряде ........................ 44
конструкционных и инструментальных сталей при высокотемпературном ионном
азотировании..................................................................................................................................... 49
1.5 Особенности азотирования поверхностных слоев конструкционных и
инструментальных сталей ионными источниками и в тлеющем разряде низкого
давления............................................................................................................................................ 54
1.6 Анализ методов ускорения процесса ионного азотирования в тлеющем разряде низкого
давления ............................................................................................................................................. 60
1.7 Анализ методов локального модифицирования поверхностного слоя
конструкционных сталей ............................................................................................................... 68
1.8 Принципы управления диффузионным насыщением при азотировании в тлеющем
разряде низкого давления .............................................................................................................. 72
2. ОБЪЕКТ, МЕТОДЫ И МЕТОДИКИ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ
ИССЛЕДОВАНИЙ ................................................................................................................ 78
2.1 Объект исследований, механические свойства исследованных материалов ............... 78
2.2 Описание модернизированной установки ЭЛУ–5М для ионного азотирования в
тлеющем разряде ............................................................................................................................. 80
2.3 Методы структурных исследований ..................................................................................... 85
2.4. Метод определения микротвердости ................................................................................... 88
3
2.5. Методика определения износостойкости обработанных образцов………….91
2.6. Методика определения плотности ионного тока .............................................................. 90
2.7 Методика зондовых измерений.............................................................................................. 91
2.8 Методика определения хрупкости азотированного слоя ................................................. 96
3. РАЗРАБОТКА МЕТОДОВ ИНТЕНСИФИКАЦИИ ИОННОГО АЗОТИРОВАНИЯ
В ТЛЕЮЩЕМ РАЗРЯДЕ НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ ......................................................... 97
3.1 Ионное азотирование в тлеющем разряде низкого давления с полым катодом ......... 97
3.2 Вольт-амперные характеристики тлеющего разряда с полым катодом........................ 99
3.3 Распределение параметров плазмы в газоразрядном промежутке при ионном
азотировании в тлеющем разряде низкого давления с полым катодом ............................102
3.4 Экспериментальные результаты температурных зависимостей при ионном
азотировании в тлеющем разряде с полым катодом..............................................................104
3.5 Способы ускорения процесса ионного азотирования в тлеющем разряде низкого
давления с полым катодом...........................................................................................................106
3.6 Ионное азотирование в тлеющем разряде с магнитным полем ....................................108
3.7 Вольтамперные характеристики тлеющего разряда с магнитным полем. .................114
3.8 Распределение параметров плазмы в тлеющем разряде с магнитным полем ...........117
3.9 Способы ускорения процесса ионного азотирования в тлеющем разряде низкого
давления с магнитным полем......................................................................................................120
4. ИССЛЕДОВАНИЕ СТРУКТУРНО-ФАЗОВЫХ ПРЕВРАЩЕНИЙ И СВОЙСТВ
ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ КОНСТРУКЦИОННЫХ И ИНСТРУМЕНТАЛЬНЫХ
СТАЛЯХ, ПРОИСХОДЯЩИХ ПРИ ВОЗДЕЙСТВИИ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА
НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ С ПОЛЫМ КАТОДОМ ........................................................... 125
4.1 Исследование влияния азотирования, высокотемпературного азотирования и
комбинированной обработки в тлеющем разряде низкого давления с полым катодом на
структуру поверхностных слоев конструкционных и инструментальных сталей..........125
фазовый состав поверхностных слоев конструкционных и инструментальных сталей130
4
величину напряжений и средний размер кристаллитов поверхностных слоев
конструкционных и инструментальных сталей ......................................................................138
4.4 Экспериментальные результаты влияние состава рабочего газа и режимов ионного
азотирования, высокотемпературного азотирования и комбинированной обработки на
микротвердость поверхностных слоев конструкционных и инструментальных сталей153
4.5 Исследование влияния азотирования и высокотемпературного азотирования в
тлеющем разряде низкого давления с полым катодом на изменение микротвердости по
глубине поверхностного слоя конструкционных и инструментальных сталей ..............157
4.6 Исследование влияния высокотемпературного азотирования и комбинированной
обработки в тлеющем разряде низкого давления с полым катодом на износостойкость
поверхностного слоя стали 38Х2МЮА....................................................................................161
ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ КОНСТРУКЦИОННЫХ СТАЛЕЙ ПРИ
ЛОКАЛЬНОМ АЗОТИРОВАНИИ В ТЛЕЮЩЕМ РАЗРЯДЕ НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ
С ПОЛЫМ КАТОДОМ ....................................................................................................... 171
5.1 Исследование тепловых и диффузионных процессов при локальном азотировании в
тлеющем разряде низкого давления с полым катодом..........................................................171
5.2 Исследование влияния локального ионного азотирования в тлеющем разряде низкого
давления с полым катодом на структуру поверхностных слоев конструкционных сталей
16Х3НВФМБ-Ш и 38ХМЮА ....................................................................................................190
давления с полым катодом на фазовый состав поверхностных слоев конструкционных
сталей 16Х3НВФМБ-Ш и 38ХМЮА .......................................................................................197
давления с полым катодом на микротвердость поверхностных слоев конструкционных
5
давления с полым катодом на износостойкость поверхностных слоев конструкционных
ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ ИНСТРУМЕНТАЛЬНЫХ СТАЛЕЙ,
ПРОИСХОДЯЩИХ ПРИ ВОЗДЕЙСТВИИ тлеющего разряда НИЗКОГО
ДАВЛЕНИЯ С МАГНИТНЫМ ПОЛЕМ ......................................................................... 217
6.1 Исследование влияния азотирования в тлеющем разряде низкого давления с
магнитным полем на структуру поверхностных слоев инструментальных сталей........217
6.2 Исследование влияния азотирования в тлеющем разряде низкого давления с
магнитным полем на фазовый состав поверхностных слоев инструментальных сталей229
6.3 Исследование влияния азотирования в тлеющем разряде низкого давления с магнитным
полем на микротвердость поверхностных слоев инструментальных сталей...................242
6.4 Исследование влияния ионного азотирования в тлеющем разряде низкого давления с
магнитным полем на толщину упрочненного слоя и температуру поверхности детали.245
7. РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ АЗОТИРОВАНИЯ
ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ ДЕТАЛЕЙ И ИНСТРУМЕНТА С
ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ............... 250
7.1 Особенности проектирования технологических процессов ионного азотирования в
тлеющем разряде низкого давления в условиях мелкосерийного и единичного
производства ...................................................................................................................................250
7.2 Технологический процесс высокотемпературного ионного азотирования в тлеющем
разряде низкого давления с полым катодом матриц холодновысадочного автомата ....257
7.3 Технологический процесс высокотемпературного ионного азотирования с
последующей светлой закалкой .................................................................................................261
7.4 Технологический процесс локального ионного азотирования в тлеющем разряде
низкого давления с полым катодом детали «шестерня».......................................................268
7.5 Технологический процесс ионного азотирования в тлеющем разряде низкого давления
с магнитным полем матриц холодновысадочного автомата................................................275
6
7.6 Технологический процесс комбинированной обработки включающий в себя ионное
азотирования в тлеющем разряде низкого давления с магнитным полем и последующее
нанесение покрытия TiN, TiAlN матриц холодновысадочного автомата.........................279
ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ И РЕЗУЛЬТАТЫ РАБОТЫ ........................................... 289
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ ........................................................ 295
ПРИЛОЖЕНИЯ .................................................................................................................... 319
7
СПИСОК ИСПОЛЬЗУЕМЫХ СОКРАЩЕНИЙ
ВИА – высокотемпературное ионное азотирование

КО – комбинированная обработка, включающая высокотемпературное ионное
азотирование и последующую светлую закалку
ЛИА – локальное ионное азотирование
МП – магнитное поле
ПК – полый катод
СЗ – светлая закалка
ТП – технологический процесс
ТРНД – тлеющий разряд низкого давления
ХТО – химико-термическая обработка
8
ВВЕДЕНИЕ
Актуальность работы.
С ростом требований к качеству упрочненного поверхностного слоя,
показателям экономической эффективности процессов, подбору материалов в
зависимости от поверхностных свойств, а также вследствие увеличения объемной
доли сложнолегированных легкопассивирующихся сталей и сплавов в процессе
производства деталей и инструмента, становится актуальным применение
регулируемых, ресурсосберегающих вакуумных ионно-плазменных технологий в
многокомпонентных атмосферах.
Анализ современной литературы показал, что ионное азотирование является
одним из наиболее распространенных методов поверхностного упрочнения деталей и
инструмента, использование которого в промышленно развитых странах постоянно
расширяется. В последнее время в качестве перспективных рассматриваются методы
и способы ионного азотирования при низких (1 – 102 Па) давлениях, которые
позволяют не только избавиться от недостатков традиционных методов, но и
получить следующие преимущества: возможность регулирования параметров
обработки в широком интервале режимов и за счет этого – структуры, фазового
состава, твердости, износостойкости, шероховатости; высокую скорость насыщения;
получение диффузионных слоев заданного фазового состава и строения; высокий
класс чистоты поверхности; большую экономичность процесса за счет значительного
сокращения общего времени обработки; повышение коэффициента использования
электроэнергии; сокращение расхода насыщающих газов.
Однако при практической реализации ионного азотирования в тлеющем
разряде при низких давлениях возникает ряд проблем, таких как низкая плотность
ионного тока (0,1 – 1 мА/см2), высокие напряжения на обрабатываемых деталях
(0,5 – 2 кВ), невозможность нагрева поверхности до температур азотирования. Все
вышесказанное приводит к необходимости применения дополнительного нагрева
обрабатываемой поверхности с помощью различных методов (резистивные
нагреватели, дополнительные источники частиц и т.д.), что существенно
9
усложняет конструкцию установок, технологические процессы и практически
сводит на нет преимущества ионного азотирования при низких давлениях.
В работе предлагается принципиально новое направление по решению
указанной проблемы, заключающееся в создании вблизи обрабатываемой
поверхности плазмы с высокой плотностью заряженных частиц. Обоснованы и
разработаны способы азотирования, основанные на использовании тлеющего
разряда низкого давления с полым катодом и магнитным полем, которые позволят
в 3 – 5 раз увеличить плотность потока ионов, сократить в 2 – 3 раза время
азотирования и получить диффузионные слои заданного фазового состава с
высокой поверхностной микротвердостью и износостойкостью, тем самым
способствуя дальнейшему развитию технологий, направленных на улучшение
эксплуатационных свойств деталей и инструмента.
Интенсивное развитие отечественной металлургии и машиностроения
отразилось на производстве и использовании в больших объемах
инструментальных материалов со специальными свойствами. При этом повышение
надежности и долговечности инструментальной и технологической оснастки в
большинстве случаев связанно с использованием сложно- и высоколегированных
сталей, однако такой путь часто является недостаточно эффективным.
Альтернативой ему могут служить различные способы химико-термической
обработки инструмента, в частности ионное азотирование, применение которого
может существенно повысить надежность и долговечность инструмента.
При ионном азотировании конструкционных сталей зачастую применяется
защита припуском с целью удаления хрупких, легко выкрашивающихся фаз,
образующихся на поверхности материала. Это приводит к необходимости
азотирования поверхности деталей на большую глубину с учетом величины
припуска, составляющую 300-400 мкм, что ведет к увеличению длительности
процесса. Также следует отметить, что при эксплуатации деталей машиностроения
часто нагрузке подвергаются только отдельные участки ее поверхности, например,
контактная поверхность зубьев зубчатого колеса, место посадки подшипника на
валу и др. В таких случаях нет необходимости упрочнять всю поверхность детали,
10
а достаточно лишь обработать ее рабочую поверхность. Таким образом, одна из
задач диссертационной работы направленная на решение проблемы локального
ускорения процесса диффузионного насыщения конструкционных сталей при
ионном азотировании в тлеющем разряде низкого давления и создания при этом
поверхности не требующей последующей механической обработки, является
безусловно актуальной. Решение вышеизложенной проблемы позволит сократить
длительность процесса обработки и получать в мономатериале за один вакуумный
цикл различные по глубине диффузионные слои заданного фазового состава.
Причиной повышенного внимания к проблеме высокотемпературного
ионного азотирования (ВИА) и светлой закалки (СЗ) является уникальные свойства
поверхности изделия, которые формируются в результате обработки: высокая
твердость на поверхности, не изменяющаяся при нагреве до 500–600ºС, высокая
износостойкость, низкая склонность к задирам, высокий предел выносливости и
высокая кавитационная стойкость.
ВИА конструкционных и инструментальных материалов в литературе
уделяется большое внимание, однако не все аспекты такого упрочения изучены
достаточно полно. Весьма мало сведений о структуре и свойствах
конструкционных и инструментальных сталей, прошедших ВИА в тлеющем
разряде низкого давления (ТРНД), в том числе совмещенное со светлой закалкой,
причем экспериментальные данные недостаточно систематизированы и часто
весьма противоречивы.
Степень разработанности темы.
Основной вклад в разработку теоретических основ процесса азотирования в
начале 20 века внесли работы академика Чижевского Н.П. [266], которые
позволили сформулировать технологические рекомендации по созданию
промышленного процесса азотирования. Следующий этап развития процесса
азотирования связан с именем немецкого инженера Ад. Фри, который внедрил
процесс в производство и предложил специальные азотируемые стали (нитраллои),
имеющие после насыщения высокую поверхностную твердость [272].
Проблемами повышения эффективности процесса азотирования и
11
распространением его промышленности занимались ученые ведущих научных
школ Лахтина Ю.М., Арзамасова Б.Н., Кельбеля Й., Каплуна В.Г. и Пастуха И.М.
[23,52,54,138,139,169,170,175,210]. Их работы в значительной мере способствовали
формированию научных основ азотирования в тлеющем разряде, были созданы
модели и предложены описания физических процессов, протекающих при
азотировании, а также сформулированы теоретические основы проектирования
оборудования для реализации данного процесса.
Однако несмотря на все преимущества ионного азотирования, этот процесс
по-прежнему остается продолжительным. На момент постановки задач
диссертационной работы в литературе активно обсуждалась проблема ускорения
процесса диффузионного насыщения и сокращения длительности азотирования.
Так в работах Крейнделя Ю.Е., Лемешева Н.М., Слосмана А.И., Будилова В.В.,
Агзамова Р.Д. обосновано эффективность применения эффекта полого катода
(ЭПК) при ионном азотировании, который позволяет увеличить значение
поверхностной микротвердости и глубину азотированного слоя по сравнению с
обработкой в тлеющем разряде без ЭПК при равных параметрах процесса (время,
давление, температура) [84,156,159]. А разработанная Лопатиным И.В. разрядная
система двухступенчатого генератора плазмы на основе несамостоятельного
тлеющего разряда с полым катодом большой площади и внешней инжекцией
электронов, позволила увеличить микротвердость обрабатываемой поверхности
после азотирования в (4 – 8) раз при глубине обработки до 300 мкм за время (2 – 4)
часа, что в (2 - 3) раза быстрее, чем при традиционном азотировании в плазме
тлеющего разряда, горящего в диссоциированном аммиаке [181]. Шестопаловой
Л.П. предложено проводить ионное азотирование через нанооксидный барьер и
было доказано, что наличие на поверхности азотируемой стали оксида железа
интенсифицирует процесс ионизации аммиака, что позволяет сократить
длительность азотирования по сравнению с классическим азотированием [268]. В
работах Переваловой О.Б., Панина А.В., Синяковой Е.А. [215] было установлено,
что промежуточная ультразвуковая обработка способствует существенному
увеличению глубины азотированного слоя. Ускорение процесса при этом
12
объясняется увеличением плотности дислокаций, образованием большого
количества избыточных «деформационных» вакансий и увеличением
адсорбционной способности поверхности при взаимодействии
упругопластических деформаций ультразвуковых волн с кристаллической
решеткой обрабатываемого металла. По данным работ проведенными
Кибальниковой О.В., Махайловой А.М. и Баскаковым А.В. [142] перспективными
являются способы интенсификации ионного азотирования с помощью магнитного
поля. Согласно экспериментальным исследованиям кинетик диффузионного
азотирования сталей системы Fe-Ni-Cr в постоянном МП напряженностью 0,016 Тл
при 550 ºС, было установлено 1,5 кратное ускорение процесса и увеличение
толщины азотированного слоя с высокой микротвердостью.
Многочисленными экспериментами Арзамасова Б. Н., Михайлова И. А. и
Панайоти Т. А. [54,56,57] установлено, что зависимость толщины диффузионного
слоя от давления в газоразрядной камере имеет четко выраженный экстремальный
характер, при этом существует диапазон давления рабочего газа от 1 – 100 Па,
обеспечивающий наибольшую насыщающую способность, т.е. толщину слоя,
которое принято считать оптимальным. Однако применение самостоятельного
тлеющего разряда для азотирования при таких давлениях не эффективно, в виду
низкой плотности ионного тока. Одним из способов повышения которого, является
применение специальных источников ионов. Так в работах Коваля Н.Н., Щанина
П.М., Гончаренко И.М, Ахмадеева Ю.Х. [113,114,148,149] доказана эффективность
применения плазмы (с плотностью ионного тока в пределах от 5 до 15 мА/см2),
генерируемой несамостоятельным дуговым разрядом низкого давления с полым
или накаленным катодом для азотирования сталей и сплавов. При этом было
установлено, что при низких давлениях и отрицательных смещениях подложки ~
600 В на обрабатываемую поверхность поступают высокоэнергетичные ионы,
которые разрушают оксидные пленки и облегчают условия диффузии атомарного
азота вглубь подложки, и как следствие позволяют сократить время процесса в 3 –
4 раза. Однако основными недостатками таких систем являются: сложность
конструкции генератора, малое время непрерывной работы в случаи применения
13
накаленного катода, наличие отдельного источника питания для обеспечения
накала, необходимость в разработке специальных механизмов вращения деталей
относительно потока ионов, а также работа в условиях высокого вакуума, для
достижения которого требуется двухступенчатая откачка с применением
форвакуумных и турбомолекулярных насосов.
Впервые разработанные в настоящей диссертации способы азотирования
позволят генерировать ионные потоки непосредственно вблизи обрабатываемой
поверхности, сравнимые с плазмой, создаваемой специальными ионными
источниками, при отсутствии выше перечисленных недостатков данных
газоразрядных систем. А выполненные комплексные исследования взаимосвязи
структурно-фазовых превращений с механическими свойствами сталей при
воздействии таких потоков, позволят выработать научно-обоснованные критерии
для практической реализации качественно новых технологических процессов
ионного азотирования конструкционных и инструментальных сталей в тлеющем
разряде низкого давления с полым катодом и магнитным полем.
Целью работы является разработка и исследование методов ускорения
процесса ионного азотирования поверхности металлов и сплавов при низких
давлениях, исследование фазовых и структурных превращений при воздействии
плазмы повышенной плотности и разработка новых технологических процессов
азотирования в тлеющих разрядах низкого давления, что позволит повысить
технологические и эксплуатационные свойства, рационально использовать стали и
сплавы в изделиях новых типов машин.
Для достижения поставленной цели сформулированы и решены следующие
задачи:
1. Разработка и исследование способов ускорения процесса ионного
азотирования в тлеющем разряде низкого давления с полым катодом и
магнитным полем.
2. Исследование тепловых и диффузионных процессов азотирования в плазме
тлеющего разряда при низких давлениях с полым катодом.
14
3. Исследование влияния ионного азотирования, высокотемпературного ионного
азотирования и высокотемпературного ионного азотирования с последующей
светлой закалкой в тлеющем разряде низкого давления с полым катодом на фазовые
и структурные превращения в конструкционных и инструментальных сталях, а
также на изменение микротвердости и износостойкости поверхностного слоя.
4. Исследование влияния локального ионного азотирования в тлеющем разряде
низкого давления с полым катодом на фазовые и структурные превращения в
конструкционных сталях, а также на изменение микротвердости и износостойкости
поверхностного слоя.
5. Исследование влияние ионного азотирования в тлеющем разряде низкого
давления с магнитным полем на фазовые и структурные превращения в
инструментальных сталях, а также на изменение микротвердости
поверхностного слоя.
6. Разработка технологических процессов локального ионного азотирования,
высокотемпературного ионного азотирования и комбинированной обработки,
включающей высокотемпературное ионное азотирование и последующую
светлую закалку в тлеющем разряде низкого давления с полым катодом, а также
ионного азотирования инструментальных сталей в тлеющем разряде низкого
давления с магнитным полем.
Научная новизна. В настоящей работе впервые:
1. Показано, что плотность плазмы азота при ионном азотировании в
прикатодной области можно повысить с помощью полого катода, реализуемого
сетчатым экраном или наложением магнитного поля, силовые линии которого
параллельны обрабатываемой поверхности. Впервые исследованы способы локального
ионного азотирования, высокотемпературного ионного азотирования, в том числе
совмещенного со светлой закалкой в тлеющем разряде низкого давления с полым
катодом, а также ионного азотирования с магнитным полем.
2. Установлено, что в условиях высокотемпературного ионного азотирования
в тлеющем разряде низкого давления с полым катодом скорость роста
диффузионной зоны в 3 – 5 раз выше по сравнению с ионным азотированием при
15
температурах ниже точки А1 в системе железо – азот в тлеющем разряде с полым
катодом, вследствие роста диффузионной подвижности элементов при
температурах предпревращения ферритно-цементитной смеси в аустенит.
3. Установлено, что в отличие от ионного азотирования в тлеющем разряде
при температурах ниже точки А1 в системе железо – азот, при котором в сталях
30ХГСА, 38Х2МЮА и Х12 нитридная зона преимущественно состоит из ε-фазы
Fe2-3(N), а также нитридов легирующих элементов (CrN, Cr2N, (Fe, Cr)2-3N),
карбонитридных фаз (Fe(Мe)2-3(N,С), Fe(Мe)4(N,С), Cr(N,C), Cr2(N,C)) и α-фазы
насыщенной азотом, при ионном высокотемпературном ионном азотировании в
тлеющем разряде с полым катодом ε-фаза отсутствует, а нитридная зона
характеризуется большей однородностью и преимущественно состоит из γ'-фазы
Fe4(N), (Fe, Me)4N, нитридов легирующих элементов, карбонитридных фаз, а также
оксида (Fe, Me)3O4 с кристаллической решеткой шпинели.
4. Установлено, что высокий уровень упрочнения поверхности, достигаемый
в результате применения высокотемпературного ионного азотирования, в том
числе, совмещенного со светлой закалкой, в тлеющем разряде низкого давления с
полым катодом позволяет повысить износостойкость стали 38Х2МЮА в 12 и 30
раз соответственно по сравнению с исходным состоянием и в 2,5 и 6 раз
соответственно по сравнению с ионным азотированием при температурах ниже
точки А1 в системе железо – азот, вследствие целенаправленного формирования
заданного фазового состава и микротвердости.
5. Установлено, что в условиях локального ионного азотирования в тлеющем
разряде с полым катодом при давлении 60 Па, температуре поверхности материала
550°С и длительности обработки 12 ч скорость роста диффузионной зоны в 2-2,5
раза выше по сравнению с традиционным ионным азотированием, вследствие
увеличения концентрации заряженных частиц в зоне обработки. Установлено, что в
результате локального ионного азотирования в тлеющем разряде с полым катодом
на поверхности материала образуется две зоны с различной толщиной
азотированного слоя, вследствие различия скоростей диффузионного насыщения.
При этом переход между участками плавный, а максимальный размер переходной
16
зоны для сталей 16Х3НВФМБ-Ш и 38ХМЮА не превышает 3-х мм.
6. Установлено, что высокий уровень упрочнения поверхности, достигаемый
в результате применения тлеющего разряда с полым катодом при ионном
азотировании, позволяет повысить износостойкость стали 38ХМЮА в 1,6 раза по
сравнению с ионным азотированием без полого катода, и в 9 раз – по сравнению с
исходным состоянием, вследствие формирования в поверхностном слое материала
нитридного слоя состоящего из нитридов основного металла Fe4N и нитридов
хрома CrN, которые помимо значительного повышения твердости способствуют
также увеличению износостойкости.
7. Установлено, что при ионном азотировании в тлеющем разряде с
магнитным полем сталей Р6М5 и Х12 в смеси газов (N2 20% – Ar 75% – C2H2 5%)
упрочненный слой преимущественно состоит из α-Fe, насыщенного азотом, с
распределёнными нитридами и карбонитридами легирующих элементов (CrN,
Cr(С,N), (Fe, W)6(С,N)), что обеспечивает повышение микротвердости и исключает
формирование сплошного нитридного слоя на поверхности, толщина
диффузионной зоны в 1,5 раза больше, а характер распределения микротвердости по
глубине более плавный по сравнению с традиционным ионным азотированием при
прочих равных условиях.
Теоретическая значимость исследования определяется тем, что в
диссертации на основе метода конечных элементов разработаны модели
позволяющие получить распределения температурного поля по поверхности
детали при ионном азотировании в тлеющем разряде с полым катодом, расчетные
кривые нагрева и охлаждения, изменения концентрации насыщающего элемента по
глубине диффузионного слоя, а также расчетные картины распределения
магнитного поля над поверхностью катода и радиальное распределение индукции
магнитного поля в условиях ионного азотирования с магнитным полем. Результаты
моделирования вносят существенный вклад в понимание физических процессов в
тлеющих разрядах с полым катодом и магнитным полем, а также создают основу
для разработки новых способов азотирования, позволяя проводить
предварительные расчеты режимов обработки без дополнительных экспериментов.
17
Практическая значимость работы. Впервые разработанные способы
локального ионного азотирования (Патенты №2534906 и №2534907 от 10.12.2014),
высокотемпературного ионного азотирования (Патент № 2276201 от 10.05.2006),
светлой закалки (Патент № 2277592 от 10.06.2006, Патент № 2275433 от 27.04.2006)
и комбинированной обработки (Патент № 2324001 от 10.05.2008) стальных изделий
в тлеющем разряде с полым катодом, формируемым между деталью и экраном,
также способы ионного азотирования в тлеющем разряде с магнитным полем
(Патент №2409700 от 20.01.2011, Патент №2418095 от 10.05.2011) легли в основу
разработанных технологических процессов азотирования при низких давлениях,
позволяющих снизить себестоимость технологической операции азотирования за
счет уменьшения энергозатрат, сокращения длительности процесса обработки,
отсутствия необходимости в дорогостоящих защитных средах, простоты схемы
обработки, не требующих проектирования специальных сложных приспособлений,
а также сравнительно невысокой стоимости оборудования.
Зависимости температуры обрабатываемой поверхности от времени при
различных значениях рабочего давления при обработке в тлеющем разряде с полым
катодом, кривые охлаждения поверхности конструкционных и инструментальных
сталей в потоке различных газов и в масле, зависимости фазового состава от
температуры насыщения, а также кинетика роста диффузионного слоя для различных
сталей могут быть использованы при назначении технологических режимов
локального ионного азотирования, высокотемпературного азотирования, в том числе
совмещенного со светлой закалкой, в тлеющем разряде с полым катодом.
Зависимости температуры обрабатываемой поверхности от времени при
различных значениях давления рабочего газа при обработке в тлеющем разряде с
магнитным полем, кривые зажигания тлеющего разряда в магнитном поле, а также
зависимость фазового состава от температуры насыщения могут быть использованы
при назначении технологических режимов ионного азотирования деталей и
инструмента в тлеющем разряде с магнитным полем.
18
Разработан промышленный образец установки «ЭЛУ-5М» для проведения
процессов ионного азотирования в тлеющем разряде низкого давления с полым катодом
и магнитным полем в условиях единичного и мелкосерийного производства.
Разработан и рекомендован к внедрению типовой технологический процесс
локального ионного азотирования детали типа «шестерня» на ОАО “Уфимское
моторостроительное производственное объединение”.
Разработан и внедрен технологический процесс ионного азотирования в
тлеющем разряде низкого давления деталей типа «рычаг» на ООО Научно-
производственное объединение «ГЕОПРОМ», выполненные испытания показали,
что износостойкость поверхности деталей повысилась в 2 – 3 раза.
Разработан и внедрен в производство технологический процесс ионного
азотирования матриц холодновысадочного автомата для обрезки шести- и
четырехгранников болтов, применяемых в производстве автонормалей на заводе
«БелЗАН», г. Белебей, Башкортостан. Проведенные испытания показали, что стойкость
штамповой оснастки повысилась в 3,5 – 4 раза.
Методология и методы исследования.
Для изучения особенности структуры, фазового состава и свойств
поверхностных слоев исследуемых сталей после ионного азотирования в тлеющем
разряде низкого давления с полым катодом и магнитным полем в диссертационной
работе был применен комплекс методов исследований, включающий в себя
оптическую металлографию, растровую электронную микроскопию,
рентгеноструктурный анализ, зондовые измерения параметров тлеющего разряда с
полым катодом и магнитным полем, определения микротвердости и
износостойкости азотированного слоя.
Положения, выносимые на защиту:
1. Тлеющий разряд низкого давления с полым катодом и магнитным полем,
позволяющий генерировать ионные потоки, сравнимые с потоками, создаваемой
ионными источниками, непосредственно вблизи обрабатываемой поверхности за счет
удержания в прикатодной области высокой концентрации электронов, воздействие
которых приводит к активации поверхности, к радиационно-стимулированной
19
диффузии атомарного азота вглубь металла и к эффективному распылению
высокоазотистой ε-фазы на обрабатываемой поверхности.
2. Методика использования плазмы тлеющего разряда низкого давления с полым
катодом и магнитным полем, позволяющая получать высокую плотность ионов на
обрабатываемых поверхностях, как за счет электронов, осциллирующих в катодной
полости, образованной поверхностью металла и специального экрана в виде сетки, так и
за счет магнитного поля, эффективно удерживающего электроны в тороидальной области.
3. Экспериментально установленные зависимости структурно-фазового
состояния поверхности конструкционных и инструментальных сталей при ионном
азотировании в плазме тлеющего разряда низкого давления с полым катодом и
магнитным полем от химического состава и температурно-временных параметров
процесса обработки. В связи с этим, представлена возможность модифицирования
поверхности с образованием в диффузионном слое различных нитридных и
карбонитридных соединений основного металла и легирующих элементов типа ε и
γ'-фаз, а также оксинитридных соединений типа - (Fe, Me)3O4, различающихся
средними размерами кристаллитов, объемной долей, величиной остаточной
деформации и напряжений.
4. Экспериментально установленные зависимости поверхностной твердости и
износостойкости от параметров процесса и структурных изменений при ионном
азотирование в тлеющем разряде низкого давления с полым катодом и магнитным
полем. Высокие значения поверхностной твердости и износостойкости обусловлены
формированием нитридного слоя состоящего как из нитридов основного металла,
так и нитридов легирующих элементов, а также развитой диффузионной зоны,
состоящей из α-Fe – азотистого феррита с распределенными нитридными и
карбонитридными фазами.
5. Принципиально новые технологии ионного азотирования в тлеющем разряде
низкого давления с полым катодом и магнитным полем (ионное азотирование,
локальное ионное азотирование, высокотемпературное ионное азотирование и
комбинированная обработка, включающая высокотемпературное ионное азотирование
и последующую светлую закалку), позволяющие увеличить скорость
20
диффузионного насыщения поверхностного слоя конструкционных и
инструментальных сталей, как за счет осцилляции и удержания электронов вблизи
обрабатываемой поверхности, так и за счет активной генерации атомарного азота
вследствие интенсивной диссоциации молекул электронным ударом.
Разработанные технологии сокращают длительность процесса в 3-5 раз и снижают
технологическую себестоимость в 2-3 раза.
Степень достоверности результатов определяется применением комплекса
современных методов исследования, использованием сертифицированного
оборудования, соответствием экспериментальных результатов с данными других авторов.
Апробация результатов работы. Основные результаты работы
докладывались и обсуждались: на Всероссийской научно-технической конференции
«Теплофизика технологических процессов» (Рыбинск, 2004, 2006); Международной
конференции «Оборудование и технологии термической обработки металлов и
сплавов» (Харьков, 2004, 2007, 2008); Научно – технической конференции
«Вакуумная наука и техника» (Судак - Сочи, с 2004 по 2014 гг.); 7-й Международной
конференции «Вакуумные нанотехнологии и оборудование» (Харьков, 2006);
Международной конференции «Радиационная физика» (Севастополь, 2007);
Международной конференции «Газоразрядная плазма и ее технологические
применения» (Томск, с 2007 по 2015 гг.); Международной научно-технической
конференции «Молодежь в авиации: новые решения и передовые технологии»
(Запорожье, 2008); Международной научно-технической и образовательной
конференции «Образование и наука – производству» (г. Набережные Челны, 2010);
Международной научно-практической конференции «Ресурсосберегающие
технологии ремонта, восстановления и упрочнения деталей машин, механизмов,
оборудования, инструмента и технологической оснастки от нано- до макроуровня»
(Санкт-Петербург, 2010); Всероссийской школе-семинаре с международным
участием «Современное материаловедение: материалы и технологии новых
поколений» (Томск, 2014); Всероссийской конференции с международным участием
«Физика низкотемпературной плазмы» (Казань, 2014); International congress on
energy fluxes and radiation effects (Томск, 2014); Международном молодежном
21
форуме «Будущее авиации за молодой Россией» (г. Рыбинск, 2011); Международной
научно-технической конференции «Современные проблемы машиностроения» (г.
Томск, 2011); Conference of Young Scientists on Energy Issues (г. Каунас, 2012);
International Symposium on Discharges and Electrical Insulation in Vacuum (Tomsk 2012,
Mumbai 2014); VI Всероссийской конференции по испытаниям и исследованиям
свойств материалов «ТестМат» (ФГУП «ВИАМ», г. Москва, 2015), Региональных
научно-технических конференциях (Уфа, с 2004 по 2015 гг.).
Публикации: По теме диссертации опубликовано 46 научных работ, в том
числе коллективная монография, 25 статей в научных журналах, включенных в
перечень российских рецензируемых научных журналов и изданий для
опубликования основных научных результатов диссертаций, а также 8 статей в
международных научных изданиях индексируемых Web of Science, Scopus и 12
патентов РФ на изобретения.
Структура и объем работы: диссертация состоит из введения, 7 глав,
основных выводов и приложений, изложена на 332 страницах, содержит
183 рисунка, 24 таблицы и библиографический список из 273 наименований.
В первой главе проведен анализ процессов азотирования,
высокотемпературного ионного азотирования (ВИА) и комбинированной
обработки (КО), включающей ВИА с последующей светлой закалкой (СЗ) при
низких давлениях, обеспечивающих повышение эксплуатационных характеристик
поверхностей деталей машин и инструмента. Рассмотрены процессы,
происходящие при взаимодействие плазмы с поверхностью детали при
азотировании в тлеющем разряде, а также проанализированы модели процесса
азотирования в тлеющем разряде.
Анализируются основные существующие на сегодняшний день методы
локального поверхностного упрочнения, которые описываются в работах таких
ученых, как Малинов Л.С., Малинов В.Л., Харланова Е.Я., Грачев В.В., Сарычев
В.Д., Асташкевич Б.М., Воинов С.С., Дроздов Ю.Н., Тескер Е.И., Чукмасов С.Ф.,
Зиньковский А.А., Лахтин Ю.М., Коган Я.Д. и др.
22
Приводится обзор литературных источников, посвященных особенностям
ионного азотирования конструкционных сталей 16Х3НВФМБ-Ш и 38ХМЮА.
Рассматриваются способы ускорения процесса ионного азотирования. В
заключение отмечается, что наиболее эффективным способом является
использование тлеющего разряда с полым катодом (ПК), который позволяет
увеличить степень ионизации и как следствие увеличить градиент концентрации
насыщающего элемента, что сказывается на времени диффузионного насыщения
азотом обрабатываемой поверхности. Кроме того, описаны процессы,
протекающие в прикатодной области.
Также проведен анализ литературных источников, посвященных ионному
азотированию инструментальных сталей, в частности, особенностям ионного
азотирования штамповых и быстрорежущих сталей. Установлено, что наложение
магнитного поля (МП) позволяет увеличить степень ионизации и уменьшить временя
диффузионного насыщения обрабатываемой поверхности подложки азотом.
Во второй главе рассмотрены методики металлографического
исследования, определения микротвердости, рентгеноструктурного анализа,
зондовых измерений параметров тлеющего разряда в полости технологического
экрана, определения износостойкости поверхности и хрупкости азотированного
слоя. Приведена схема модернизированной установки ЭЛУ-5М для химико-
термической обработки в тлеющем разряде и показаны основные
модернизированные узлы.
Представлена методика и схема экспериментальной установки для
исследования влияния магнитного поля на вольтамперные и зондовые
характеристики тлеющего разряда. Рассмотрены методики определения
микротвердости, металлографического исследования азотированного слоя,
рентгеноструктурного анализа обработанных образцов, контроля температуры.
В третьей главе разработаны способы интенсификации процесса ионного
азотирования в ТРНД основанные на применении тлеющего разряда с ПК и МП.
23
Представлены экспериментальные исследования вольт-амперных
характеристик тлеющего разряда, зависимости температуры поверхности от
режимов обработки в тлеющем разряде с ПК и без него.
Представлены результаты экспериментов, целью которых было исследовать
влияние МП на вольтамперные характеристики тлеющего разряда.
Моделирование, методом конечных элементов, МП в прикатодной области и
зондовые измерения, позволили определить области с высокой концентрацией
заряженных частиц, где и были расположены образцы.
В четвертой главе представлены исследования влияния азотирования, ВИА
и КО в тлеющем разряде с ПК на структуру, фазовый состав, сингонию и период
кристаллической решетки, остаточную деформацию и величину напряжений,
область когерентного рассеяния и средний размер кристаллитов конструкционных
и инструментальных сталей.
Представлены исследования влияния азотирования, ВИА и КО в тлеющем
разряде с ПК на микротвердость поверхности и изменение микротвердости по
глубине слоя конструкционных и инструментальных сталей. А также исследование
влияния ВИА и КО в тлеющем разряде с ПК на износостойкость стали 38Х2МЮА.
В пятой главе представлены результаты исследования тепловых и
диффузионных процессов при локальном ионном азотировании (ЛИА) в тлеющем
разряде с ПК, а также параметров плазмы в полости технологического экрана.
Для теоретического описания отдельных этапов процесса ЛИА в тлеющем
разряде с ПК была разработана компьютерная модель в программе Comsol
Multipfysics, позволяющая проводить предварительные расчеты результатов
обработки, без дополнительных экспериментов.
Для определения кинетики роста упрочненной зоны при ЛИА в тлеющем
разряде с ПК, было исследовано влияние продолжительности обработки на
толщину диффузионной зоны образцов из сталей 16Х3НВФМБ-Ш и 38ХМЮА.
Представлены результаты исследования влияния ЛИА в тлеющем разряде с
ПК на структуру, фазовый состав, микротвердость и износостойкость
диффузионного слоя конструкционных сталей 16Х3НВФМБ-Ш и 38ХМЮА.
24
Приведен анализ микроструктур образцов из сталей 16Х3НВФМБ-Ш и
38ХМЮА после ЛИА в тлеющем разряде с ПК при Т=550°С, Р=60 Па, U=500В,
t=12 ч, h=5 мм.
Измерения микротвердости на поперечных шлифах, азотированных образцов
из конструкционных сталей 16Х3НВФМБ-Ш и 38ХМЮА позволили оценить
глубину диффузионного слоя, при ЛИА с ПК. Для определения износостойкости
образца из стали 38ХМЮА прошедшего ЛИА с ПК были проведены испытания на
трибометре Nanovea.
В шестой главе представлены результаты исследования влияния ионного
азотирования в тлеющем разряде с МП и без него на структуру, фазовый состав и
микротвердость инструментальных сталей Р6М5, Х12. Приводится количественный
анализ и анализ распределения карбидных частиц по размеру до азотирования и после
азотирования с магнитным полем и без магнитного поля стали Р6М5.
В седьмой главе представлены разработанные технологические процессы
ВИА и КО (ВИА с последующей светлой закалкой).
Для выбора режимов ЛИА представлена диаграмма области существования
ПК. По результатам экспериментальных исследований был разработан
технологический процесс (ТП) ЛИА в тлеющем разряде с ПК детали «шестерня».
Описана технология и обоснованы технологические режимы ионного
азотирования в тлеющем разряде с МП. Показаны преимущества использования МП
как инструмента ускорения процесса ионного азотирования. Представлены
зависимости температуры поверхности от режимов обработки. По результатам
экспериментальных исследований в рамках диссертационной работы был разработан
ТП ионного азотирования в тлеющем разряде с МП инструментальных сталей.
Приведены результаты производственных испытаний матриц
холодновысадочного автомата М15Б, после ионного азотирования в тлеющем
разряде с МП. Стойкость матриц повысилась в 3,5-4 раза.
25
1. АНАЛИЗ СТРУКТУРНО-ФАЗОВЫХ ПРЕВРАЩЕНИЙ И СВОЙСТВ
ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ КОНСТРУКЦИОННЫХ И
ИНСТРУМЕНТАЛЬНЫХ СТАЛЕЙ ПРИ ИОННОМ АЗОТИРОВАНИИ В
ПЛАЗМЕ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА
1.1 Азотирование в тлеющем разряде (ионное азотирование)
Ионное азотирование является одним из наиболее распространенных способов

поверхностного упрочнения деталей и инструмента, использование которого в
промышленно развитых странах постоянно расширяется. Данный способ обладает
целом рядом преимуществ по сравнению с традиционным газовым азотированием:
возможность регулирования параметров обработки в широком интервале режимов;
высокую скорость насыщения; получение диффузионных слоев заданного фазового
состава и строения; высокий класс чистоты поверхности; большую экономичность
процесса [54,65,169,176,210,222].
Механизм этого процесса можно понять на основе анализа диаграмм состояния
Fe-N (рис. 1.1), Fe-N-C (рис. 1.2). Эти диаграммы в удобной графической форме
показывают фазовый состав и структуру в зависимости от температуры и концентрации.
а б
Рисунок 1.1. а) диаграмма состояния Fe-N, б) кристаллическое строение фаз
в системе Fe-N [176].
26
В метастабильной системе железо-азот образуются следующие фазы (рис. 1.1),
а): α-фаза представляет собой азотистый феррит с ОЦК решеткой с периодами 0,286-
0,287 нм (рис. 1.1), б); γ-фаза (азотистый аустенит) имеет ГЦК решетку с
неупорядоченным расположением атомов азота в октаэдрических порах (рис. 1.1, б).
При температуре 590°С γ-фаза претерпевает эвтектоидный распад γ → α + γ' [175].
В условиях больших переохлаждений γ-фаза претерпевает мартенситное
превращение. Азотистый мартенсит (α'-фаза) (рис. 1.1, б) представляет собой
пересыщенный твердый раствор азота в α-Fe, образуется из γ-фазы в результате
закалки. При распаде (отпуске) α'-фазы сначала образуется метастабильная α"-фаза
(Fe16N2), а затем образуется нитрид Fe4N.
γ'-фаза соответствует твердому раствору на базе нитрида Fe4N. Зона
гомогенности (рис. 1.1, а) при 590°С лежит в пределах 5,30 – 5,75% N.
ε-фаза является твердым раствором на базе нитрида Fe2-3N, существует в
широком интервале концентраций 4,55 – 11,0% N (рис. 1.1, а). Основой ее
кристаллического строения является плотная гексагональная упаковка атомов
железа (рис. 1.1, б) [65, 165,175].
На рис. 1.2 приведена проекция диаграммы состояния Fe-N-С. Наибольшее
значение имеют гексагональный ε-карбонитрид Fe2-3(N,С) и карбонитридная γ'-фаза
Fe4(N,С), образующиеся при одновременной диффузии в железо (сталь) азота и углерода.
Рисунок 1.2. Диаграмма состояния Fe-N-С при различных температурах.

27
γ-фаза обычно является двойным твердым раствором внедрения азота и
углерода. Углерод оказывает влияние на растворимость азота в α-фазе. По данным
[176], углерод при прочих равных условиях уменьшает растворимость азота в
легированном феррите.
В тройной системе Fe-N-С образуется трехфазный эвтектоид Fe α + Fe3C +
Fe4N. Концентрация азота и углерода, обеспечивающая получение эвтектоидной
структуры, зависит от температуры эвтектоидного превращения [176].
При азотировании легирующие элементы стали изменяют растворимость
азота в α-фазе, растворяются в ε и γ'-фазах, а также образуют самостоятельные
нитриды. Переходные элементы вольфрам, молибден, хром, титан, ванадий и, в
меньшей степени, цирконий и ниобий, будучи растворены в феррите, повышают
растворимость азота в α-фазе [169,176].
Большинство нитридов переходных металлов относятся к фазам внедрения и
имеют значительную область гомогенности [65,165].
Карбиды и нитриды переходных металлов со сходными структурами и почти
одинаковыми размерами атомов внедрения обладают значительной взаимной
растворимостью. В легированных сталях могут образовываться твердые растворы
как на базе нитрида M(N,С), Ti(N,С), Zr(N,С) и т.д. или M2(N,С) (Mo2(N,С) и др.,
так и на базе карбида М(С,N) с близкими периодами решетки.
Процесс ионного азотирования широко применяют в России, Германии,
Швейцарии, Франции, США и других странах [1,4,5,21,22, 25,32,42,65,169,222].
Применение тлеющих и дуговых разрядов при ионном азотировании
позволило увеличить скорость насыщения по сравнению с печным (газовым)
азотированием, снизить деформации изделий в процессе обработки и обеспечить
высокий класс чистоты поверхности. Стало возможным азотировать
пассивирующиеся материалы без дополнительной депассивирующей обработки,
значительно сократилось общее время процесса за счет уменьшения времени
нагрева и охлаждения садки, а также исключения промежуточных
технологических операций по активации поверхности деталей, повысился
коэффициент использования электроэнергии, сократился расход насыщающих
28
газов, процесс стал отвечать требованиям по защите окружающей среды
[54,149,175,176,210].
Проведенный анализ литературы [54,65,110,175,210] позволил предложить
новую классификацию процессов азотирования металлов с применением
электрических разрядов в газах, в том числе с использованием тлеющего разряда
низкого давления (рис. 1.3).
Ионное азотирование на основе

электрического разряда в вакууме
Вид разряда Ионные источники
Несамостоятельный сильноточный разряд
Дуговой Полярность деталь-катод
Тлеющий Полярность деталь-анод
Состав газовой
среды Тлеющий разряд низкого Тлеющей разряд
давления (1 – 133 Па) (133 – 1330 Па)
Водородсодержащие среды Тлеющий разряд с полым катодом
Тлеющий разряд с магнитным полем
Смеси газовых компонентов Тлеющий разряд с косвенным нагревом

Химические соединения
Низкотемпературное азотирование
Аммиак
Высокотемпературное азотирование
Метан
Высокотемпературное азотирование с
Пропан последующей светлой закалкой
Карбораны Локальное ионное азотирование
Комбинированные смеси
Безводородные среды
Азотно-аргоновые среды
Аргоно-азотные среды
Рис 1.3. Классификация процессов азотирования металлов с применением

электрического разряда в газе.
29
Из предложенной на рис. 1.3 схемы следует, что применение различных
активных элементов газовой среды позволяет проводить все основные виды
обработки поверхности металлов, включая и создание комбинированных
поверхностных слоев.
По принципу действия газовых систем все установки условно можно разделить
на аммиачные и безаммиачные. Использование в качестве рабочего газа аммиака
прежде всего создает проблемы с точки зрения экологии, а также взрывоопасности.
Необходимо отметить, что главным недостатком применения аммиака в качестве
рабочей среды является факт водородного охрупчивания, хотя твердость поверхности
при прочих равных условиях всегда выше, чем при использовании безаммиачных
газов. Однако для обеспечения целого ряда эксплуатационных свойств существенным
являются не только высокие показатели твердости поверхностного слоя, но и
характеристики пластичности [208-210].
Весь дальнейший материал изложен применительно к технологическим
процессам азотирования в тлеющем разряде с безаммиачными газовыми средами.
С учетом получения регулируемого строения диффузионного слоя деталь
должна поступать на азотирование с окончательными размерами, так как
последующая шлифовка может снять нитридную зону [169,222].
Строение и свойства упрочненного слоя азотируемых деталей зависят от
следующих технологических факторов напряжения между электродами, состава
газовой среды, степени ее разрежения, рабочей температуры, длительности
процесса, взаимного расположения деталей и электродов [173].
Температура азотирования обычно составляет 470 – 580°С, напряжение 400
– 1100 В, разряжение 133 – 1330 Па. Рабочее давление лимитируется свойствами
тлеющего разряда при давлении ниже 133 Па энергия ионов недостаточна для
нагрева обрабатываемой детали до рабочей температуры, при давлении выше 1330
Па нарушается стабильность разряда, тлеющий разряд переходит в дуговой, что
сопровождается появлением на поверхности оплавленных микрократеров [54,175].
По мнению многих исследователей плотность ионного тока в больших
пределах (0,5 – 20 мА/см2) не оказывает влияния на процесс азотирования
30
[65,66,175]. Однако в работах [49,148,149,181,209,211,213] было отмечено влияние
плотности ионного тока на интенсивность азотирования, которое в первую очередь
может быть объяснено соотношением масс иона (или электрона при азотировании
с обратной полярностью) и частицы газа. При каждом столкновении частице на
поверхности передается очень малая доза энергии, для того чтобы ее
энергетический уровень повышался как результат накопления энергии, нужно
обеспечить частоту ударов, при которой период между столкновениями был бы
меньше времени диссипации энергии. И был сделан вывод о том, что увеличение
плотности ионного тока приводит к ускорению процесса азотирования.
Электрические и вакуумные параметры разряда при катодном распылении
гарантируют активацию поверхности и разрушение оксидных пленок, а во второй
стадии обеспечивают нагрев поверхности до температуры диффузии, активность
газовой фазы, поддержание градиента концентрации азота на поверхности и
регулирование процесса по фазовому составу диффузионного слоя.
Из анализа литературных данных [52,54,66,169,175,209,210] можно
выделить следующие модели процесса азотирования в тлеющем разряде:
- технологическая модель;
- модель Ю. М. Лахтина - Й. Кольбеля - Б. Эденхофера;
- модель Б. Н. Арзамасова;
- энергетическая модель И.М. Пастуха.
Технологическая модель представляет собой базу данных, состоящую из
результатов экспериментальных исследований школ Лахтина Ю.М и
Арзамасова Б.Н. [52,54,169,176]. Таблицы и номограммы, состоящие из
оптимальных значений технологических режимов (состав газовой среды, давление
в рабочей камере, температура обрабатываемой поверхности и плотность тока)
могут дополняться, изменяться и оптимизироваться по тем или иным критериям.
Недостатком данной модели является высокая трудоемкость и низкая
приспособленность к проектированию новых технологий, которые обеспечивали
бы требуемые конечные результаты при переменных исходных условиях, таких
31
как обрабатываемый материал, предыдущая термическая обработка и
эксплуатационные требования.
Согласно модели Лахтина Ю.М. - Кольбеля Й. - Эденхофера Б. на рис. 1.4
представлены определяющие процесс реакции [175,176].
Рисунок 1.4 Процессы на поверхности при ионном азотировании [175]:

I – катод(деталь); II – анод; III – изменение энергии ионов
Ускоренные ионы в области падения катодного потенциала, с относительно

высокой кинетической энергией бомбардируют поверхность детали. При этом до
90% энергии ионов превращается в тепловую и происходит разогрев поверхности до
требуемой температуры азотирования. Значительно меньшая часть кинетической
энергии ионов требуется для вырывания атомов из кристаллической решетки.
Испарению с поверхности могут подвергаться как металлические элементы,
например, железо, так и неметаллические, например, углерод, кислород, азот и др.
32
Азотирование в плазме тлеющего разряда характеризуется
комбинированным процессом испарения-осаждения. Азот в плазме находится в
атомарном состоянии и в этой форме химически активен. Перед поверхностью
катода происходит образование обогащенных азотом нитридов железа. Молекулы
FeN конденсируются на поверхности детали и диссоциируют, так как при
температурах азотирования не стойки и образуют нитриды железа низшего
порядка Fe2N, Fe3N и Fe4N. Выделяющийся при этом азот диффундирует в деталь
или, испаряясь, возвращается в плазму [175,176].
Необходимо отметить, что модель имеет несколько спорных моментов, к
примеру вероятность образования нитридов путем столкновения двух атомов азота
и железа в газовой среде, возможность которого отрицает Арзамасов Б.Н. [52,54].
Так как вновь образованная молекула нитрида обладает значительной энергией,
включающей помимо прочего и остаток кинетической энергии взаимного
столкновения за вычетом энергии образования, и если эта энергия не будет передана
третьей частице, то в следующем периоде колебаний молекула сразу же распадется.
Роль третьей частицы могут выполнять или непосредственно поверхность,
но для этого нитрид должен быть образован в результате столкновения с атомом
поверхности, или распыленные ее фрагменты, тогда столкновение, образующее
нитрид, может происходить и в газовой среде. Возможность распыления целого
фрагмента поверхности вполне вероятна в режиме очистки поверхности катодной
бомбардировкой [210].
В модели Арзамасова Б.Н. [52,54] исходным элементом, предопределяющим
все последующие процессы, служит бомбардирующая частица - положительный
ион. Модель процесса и энергетическая схема показана на рис. 1.5.
33
а) б)
Рисунок 1.5 а) модель процесса азотирования в тлеющем разряде по
Арзамасову Б.Н. б) энергетическая схема процесса по Арзамасову Б.Н. [54]
По мнению автора, при соударении с поверхностью положительный ион

азота может испытывать упругое или неупругое рассеяние в виде нейтральной
частицы или отрицательного иона. Одновременно происходит рассеяние с
изменением заряда частицы на противоположный. Важным моментом модели
Арзамасова Б.Н. является утверждение, что в зависимости от характера
столкновения бомбардирующие частицы могут отражаться от поверхности,
адсорбироваться ею, проникать в глубь, а в некоторых случаях, учитывая
непрерывное возмущение приповерхностных слоев металла под воздействием
падающего потока, снова выходить на поверхность. Одновременно могут
происходить процессы распыления поверхности в виде нейтральных атомов,
отрицательных ионов ее компонентов и электронов. Существенное значение
отводится адсорбционным процессам, в том числе обеим их составляющим -
хемосорбции и физической адсорбции, равно как и процессам распыления
адсорбционного монослоя. В то же время единственным источником атомарного
азота, проникающего под ударным воздействием падающего потока в
поверхность, а затем диффундирующего в глубь металла является поток
положительных ионов азота [54,210]. Столь исключительная роль атомарных
ионов существенно сужает технологические возможности азотирования в
34
тлеющем разряде. Прежде всего, с помощью такой модели невозможно объяснить
факт азотирования при обратной полярности [158,159].
Значимость потока быстрых нейтралов подтверждена как теоретически, так и
экспериментально, причем его интенсивность в некоторых газовых средах
сопоставима или даже превышает интенсивность потока заряженных частиц
[204,209,212], что в целом, увеличивает энергетическую мощность падающего потока.
Большинство вышеописанных процессов моделей Лахтина Ю.М. и
Арзамасова Б.Н. вошли в структуру энергетической модели Пастуха И.М. [210],
представленной на рис.1.6.
Рисунок 1.6 Энергетическая модель процесса азотирования в тлеющем разряде [210]
Ведущая роль в энергетической модели отводится адсорбционным

явлениям. По порядку величин период заполнения мест при давлении 0,8 Торр и
температуре 560°С для молекулярного и атомарного азота соответственно
35
составляет 2×10-6 …1×10-6 с, период бомбардировки одного места в монослое при
средней типовой плотности тока j = 15 А/м2 существенно больше и соответственно
составляет 0,076...0,304 с [210]. Приведенные данные свидетельствуют о весьма
вероятной сплошности адсорбционного монослоя.
Под ударным воздействием падающего потока поверхность может
распыляться как на отдельные, так и на фрагментарные частицы. В последнем
случае возможны процессы образования и преобразования нитридов. Падающий
поток стимулирует ионно-электронную эмиссию, нагрев поверхности и как
следствие - термоэлектронную эмиссию. В газовой среде возможны процессы
диссоциации молекул азота электронным ударом с последующей ионизацией
атомов азота. Другой вариант образования атомов азота состоит в рекомбинации
молекул непосредственно на поверхности с последующей их диссоциацией.
Наконец, третий путь образования атомарного азота состоит в ионизации молекул,
находящихся в адсорбционном слое, вследствие столкновения с ними частиц
падающего потока, последующей рекомбинации и диссоциации [208-212]. Следует
учесть, что расчеты [75] показывают - поверхность играет роль катализатора
диссоциативных процессов, при этом энергия диссоциации уменьшается
практически в 2,5 раза. Атомы азота могут принимать участие в реакциях
образования нитридов или диффундировать в глубь металла, создавая твердый
раствор. Этот процесс может сильно тормозиться вплоть до полного прекращения
в случае интенсивного образования в слоях, близлежащих к границе газ-
поверхность, нитридных пленок, особенно в случаях, когда поверхность содержит
сильные нитридообразующие элементы, а параметры технологического режима не
способствуют распылению поверхностных слоев.
Согласно модели [208-212] при модификации поверхности в тлеющем
разряде могут иметь место следующие процессы:
- адсорбция частиц газа на поверхности с формированием практически
сплошного слоя и частичная десорбция их в результате как теплового влияния, так
и бомбардировки частицами падающего потока;
36
- передача энергии от частиц падающего потока частицам поверхности с
нагреванием ее до рабочей температуры процесса, стимулирующим
термоэлектронную эмиссию;
- стимулирование ионно-электронной и ударно-электронной (от
нейтральных частиц падающего потока) эмиссий;
- распыление атомов и фрагментов поверхности с последующим осаждением
их под действием направленного движения потоков на поверхностях
обрабатываемых деталей, оборудования или удаление из разрядной камеры;
- столкновения атомарных ионов диффузантов с атомами поверхности или
атомами, которые входят в распыленные фрагменты поверхности, и последующее
образование диффундидов;
- столкновения молекулярных ионов с поверхностью и в зависимости от
энергетического уровня, возможными рекомбинацией или диссоциативной
рекомбинацией, образованием атомарных диффузантов и на их основе созданием
диффундидов или твердых растворов;
- ударная диссоциация или ионизация молекулярных частиц,
адсорбированных поверхностью, с последующей диссоциативной рекомбинацией,
образованием атомарных диффузантов и на их основе созданием диффундидов или
твердых растворов;
- преобразование диффундидов в направленииот низших к высшим по схеме
привлечения атомов матрицы;
- диффузия атомарных частиц и диффундидов в глубину поверхности;
- упругие столкновения заряженных частиц падающего потока с
поверхностью и отражение их в газовую среду, вторичная бомбардировка
поверхности, включая возможность вышеперечисленных процессов, характерных
для частиц определенного вида и энергии;
- ударная имплантация частиц газовой среды и проникновение их и частиц
компонентов поверхности под действием падающего потока в глубину
поверхностного слоя с образованием твердых растворов;
37
- резонансная перезарядка на металле с диссоциативной рекомбинацией
молекулярного иона диффузанта и созданием диффундида.
Основные положения энергетической модели сводятся к следующему [210]:
1. Существуют условия, определяемые как видом поверхности, так и
характеристиками технологического режима, при которых любые из отмеченных
выше процессов могут иметь место.
2. Вероятность того или иного процесса определяется сопоставлением и
соответствием энергетического спектра падающего потока энергетическим
характеристикам, в рамках которых он возможен.
3. В первую очередь проходят те процессы, которые в данных конкретных
условиях энергетически наиболее выгодны.
4. Существенна роль адсорбционных процессов через адсорбционный слой, падающий
поток в значительной мере воздействует на модифицируемую поверхность.
5. Основным источником генерации атомарного азота, концентрация которого
наиболее существенно влияет на интенсивность АТР, является процесс
диссоциации молекул электронным ударом или как результат рекомбинации
молекулярных ионов непосредственно на поверхности.
Принципы энергетической модели позволяют формулировать факторы
влияющие на процесс азотирования в тлеющем разряде, включая конечные
результаты, а также прогнозировать оптимальные характеристики
технологических режимов.
Анализ процессов взаимодействия плазмы с поверхностью показывает, что
для увеличения эффективности ионного азотирования необходимо увеличить
плотность ионного потока. Это возможно либо при использовании специальных
источников ионов (в этом случае область рабочего давления составляет не более
0,1 Па), либо используя различные способы для увеличения степени ионизации
вблизи обрабатываемой поверхности.
38
1.2 Особенности структурно-фазовых превращений и свойств
поверхностных слоев конструкционных сталей при ионном азотировании в
тлеющем разряде
Сталь перлитного класса 38ХМЮА (0,35-0,42%С, 1,35-1,65%Cr, 0,15-

0,25%Mo и 0,7-1,1%Al) была разработана в Советском Союзе в начале 30-х годов и
применяют если главными требованиями, предъявляемыми к азотированному
слою, являются высокие твердость и износостойкость. Сталь широко используют
для изготовления зубчатых колес, гильз цилиндров, червяков, шпинделей, втулок
и других деталей, упрочняемых азотированием. Предварительную термическую
обработку – закалку и отпуск проводят в заготовках, а для деталей малого сечения
- в прутках (до 50 мм). При проведении термической обработки стали 38ХМЮА
необходимо учитывать, что она склонна к обезуглероживанию. Вследствие этого
заготовки должны иметь достаточные припуски на обработку (2-3 мм), которые
гарантировали бы полное удаление обезуглероженного слоя. Наличие
обезуглероженного слоя недопустимо, так как он служит причиной «шелушения»
азотированной поверхности. Закалку проводят с 930-950°С в воде (для крупных
изделий) или масле. Температура отпуска должна на 50-100°С превышать
максимальную температуру ионного азотирования (обычно составляет 600-650°С).
Для деталей малой жесткости перед окончательной механической обработкой
проводят стабилизирующий отпуск в течение 3-10 ч при 550-600°С с последующим
медленным охлаждением. Сталь 38ХМЮА обеспечивает наибольшую твердость
азотированного слоя до HV 1100-1200. В случае ионного азотирования стали
38ХМЮА при температурах ниже эвтектоидной на поверхности диффузионного
слоя образуется ε-фаза, которая при охлаждении претерпевает распад с выделением
легированной γ'- фазы (Fe, М)4N. Непосредственно к слою сплошных нитридов,
выявляемых под микроскопом в виде белого нетравящегося слоя, прилегает
область, в которой рентгеновский анализ фиксирует трехфазное состояние ε+ γ'+α.
Одновременное присутствие ε- и α-фаз объясняется продвижением ε-фазы по
границам зерен. Основная часть слоя, выявляемая в виде более сильно травящейся
зоны, состоит из азотистой α-фазы, обедненной легирующими элементами,
39
карбидов M3C, избыточной γ'-фазы (Fe, М)4N и возможно сложного нитрида
легирующих элементов. Концентрация азота в α-фазе достигает 0,3-0,5% [169,176].
Температура и длительность азотирования влияют на толщину
азотированного слоя (рис. 1.7, а) и твердость (рис. 1.7, б) [169].
а) б)
Рисунок 1.7 - Влияние температуры и продолжительности азотирования на

твердость и глубину диффузионного слоя на стали 38ХМЮА [169]
Наивысшая твердость HV 1100-1200 достигается при температуре
азотирования 500-520°С. С повышением температуры твердость сильно снижается
и при 600°С составляет HV 750-800 [107-110,165,169].
Время ионного азотирования при низкой температуре (500…520°C)
практически не влияет на размер, форму и плотность распределения нитридной
фазы. При повышении температуры азотирования до 540°С, и особенно до 560°С,
увеличение времени азотирования оказывает заметное влияние на размер
нитридной фазы и на структуру матрицы. При увеличении времени азотирования
от 5 до 30 ч при температуре 560°С приводит к увеличению размеров выделений
нитридов легирующих элементов и плотности их распределения примерно в 2 раза.
Причем наиболее интенсивное изменение размеров и плотности распределения
нитридных фаз наблюдается в течение первых 20 ч (рис. 1.8). При дальнейшем
увеличении времени азотирования интенсивность изменений снижается [109,110].
40
Рисунок 1.8 - Изменение размера d, плотности распределения нитридов n в

диффузионном слое стали 38ХМЮА при 560°С (1, 2) [109]
Коэффициент трения азотированной стали 368ХМЮА снижается с 0,7 при
20°С до 0,1 при 600°С; износ незначителен и при 560°С составляет 1,7 мг/м·см2. В
результате азотирования значительно повышается задиростойкость как при
комнатной, так и при повышенных (400-500°С) температурах. Азотирование стали
38ХМЮА при условии удаления шлифованием с поверхности хрупкой ε-фазы
значительно повышает кавитационную стойкость [272].
Наличие в стали 38ХМЮА алюминия усложняет технологию производства
обработки и азотирования стали. Сталям с высоким содержанием алюминия
свойственны следующие дефекты металлургического характера: столбчатый
излом, загрязненность неметаллическими включениями, образование мелких
трещин и волосовин в прокате, развитие свищей в поковках и т.д. При горячей
механической обработке стали типа 38ХМЮА иногда проявляют склонность к
перегреву, вызывающему снижение сопротивления хрупкому разрушению.
Высокое качество азотированного слоя достигается в стали, не содержащей
доэвтектоидного феррита. При термической обработке стали типа 38ХМЮА
весьма чувствительны к изменению состава в пределах марки. В зависимости от
соотношения между содержанием углерода, хрома, молибдена и алюминия сталь
38ХМЮА обладает либо недостаточной закаливаемостью и прокаливаемостью,
либо проявляет склонность к образованию трещин при закалке в воде.
41
Обусловленные повышенным критическим интервалом высокие температуры
нагрева (950-975°С) при термической обработке вызывают интенсивное
обезуглероживание, а как следствие этого – увеличение припусков, удаляемых при
обработке резанием. Азотированный слой на стали 38ХМЮА, содержащей
алюминий на верхнем пределе, обладает большой хрупкостью [169,176].
Низкоуглеродистые стали мартенситного класса ВКС-5 (16Х3НВФМБ-Ш) и
ВКС-7 (16Х2Н3МФБАЮ-Ш) (табл. 1.1) широко применяются в основном как
цементуемые для изготовления деталей машин ответственного назначения,
например, высоконагруженных зубчатых колес. Наличие нитридообразующих
элементов позволяет применять их в качестве азотируемых главным образом для
повышения износостойкости деталей машин. В отличие от сталей перлитного
класса, эти стали в улучшенном состоянии имеют более высокий уровень
механических свойств. Например, у стали 16Х2Н3МФБАЮ-Ш после закалки и
высокого отпуска при температуре 600°С условный предел текучести
σ0,2=1000…1100 МПа, твердость составляет 35-40 НRСЭ [110].
Таблица 1.1 - Химический состав сталей
Концентрация элементов, %
Марка стали
C Cr Ni Mo V W Nb S P
16Х2Н3МФБАЮ-Ш 0,18 1,85 2,90 0,44 0,13 - 0,14 0,015 0,011
16Х3НВФМБ-Ш 0,16 2,78 1,26 0,46 0,45 1,22 0,18 0,010 0,025
В работе [110] образцы из стали 16Х2Н3МФБАЮ-Ш азотировали по

одноступенчатому при 460, 500, 540, 580°С и двухступенчатому режимам при
500°С+540°С в течение времени, обеспечивающем получение диффузионных
слоев, толщиной не менее 0,5 мм с минимальной толщиной нитридного слоя.
Установлено, что температура азотирования незначительно влияет на
микроструктуру диффузионного слоя. При всех исследуемых режимах
азотирования наблюдаются светлые прожилки, которые в отличие от стали
38ХМЮА не образуют сплошную сетку по границам бывших аустенитных зерен.
Так же для всех исследуемых режимов отмечалось плавное понижение твердости
по толщине слоя (рис. 1.9).
42
Рисунок 1.9 - Изменение микротвердости HV по толщине h азотированного

слоя стали 16Х2Н3МФБАЮ-Ш. Режимы ионного азотирования: 460°С, 80 ч (1);
500°С, 48 ч (2); 540 °С, 30 ч (3), 580°С, 20 ч (4); 500°С, 20 ч+540°С, 40 ч (5) [109,110]
Размер нитридных частиц незначительно изменяется по толщине слоя, а
плотность их распределения, как и твердость, уменьшаются с увеличением
расстояния от поверхности (рис. 1.10) [109,110].
Рисунок 1.10 - Зависимость микротвердости HV (1) и плотности

распределения нитридов n (2) от расстояния от поверхности h азотированного слоя
16Х2Н3МФБАБ-Ш. Режим азотирования: 540°С, 30 ч [109,110]
По результатам электронно-микроскопических и рентгеноструктурных
исследований, температура азотирования оказывает существенное влияние на
субструктуру азотированного слоя. С повышением температуры азотирования
43
размер нитридной фазы увеличивается, а плотность распределения выделившихся
частиц уменьшается. Для всех значений температуры азотирования наблюдается
равномерное хаотичное распределение частиц нитридов по объему зерна. При
более высокой температуре насыщения (580°С) происходит выстраивание
равноосных нитридных частиц в цепочки. Образование таких цепочек связано с
упругим взаимодействием решеток нитридов и матрицы, что согласуется с
результатами теоретических исследований [109,110].
Таким образом, в стали 16Х2Н3МФБАЮ-Ш мартенситного класса даже при
низкой температуре азотирования происходит преимущественно гетерогенное
зарождение нитридов легирующих элементов, некогерентных решетке матрицы. С
повышением температуры азотирования размер нитридных частиц увеличивается,
причем матричные выделения нитридов растут быстрее, чем выделения на
дефектах, что уменьшает разницу в их размерах и, тем самым, плотность
распределения этих частиц. Нитридные частицы на дефектах кристаллического
строения в меньшей степени, чем когерентные выделения, возмущают
кристаллическую решетку матрицы. Поэтому в азотированном слое стали можно
выделить две группы нитридов, различающихся по размерам в 2-4 раза: одну
группу составляют дисперсные когерентные частицы, образующиеся в матрице;
другую – более крупные некогерентные выделения, образующиеся на дефектах
кристаллического строения [109,110].
Образование крупных некогерентных нитридов на дефектах в стали
16Х2Н3МФБАЮ-Ш связано с особенностями ее структуры, сформировавшейся
при термической обработке перед азотированием. После улучшения сталь имеет
мартенситную структуру с высокой плотностью дислокаций, закрепленными
выделившимися в результате процесса вторичного твердения при отпуске
мелкодисперсными карбидными частицами [109,110].
Авторы [109,110] изучали структуру стали 16Х2Н3МФБАЮ-Ш при
азотировании (540°С, 24 ч) в насыщающей среде с различным содержанием
водорода. Исследования показали, что поверхностная твердость, ее распределение
по толщине слоя, и общая толщина практически не зависят от наличия водорода в
44
насыщающей среде. Состав среды также не вносит существенного различия в
микроструктуру слоя. Однако присутствие водорода способствует увеличению
концентрации атомарных ионов азота (N+), ответственных за процесс
азотирования, и как следствие более интенсивному образованию нитридов железа
на поверхности азотированного слоя [189]. Аналогично водород влияет на
структуру слоя и при азотировании стали 38ХМЮА, который после ионного
азотирования при температуре 560°С в течение 2 ч в среде чистого азота состоял
из смеси γ'-фазы и α-твердого раствора, а при добавлении водорода формировался
слой γ'-фазы, толщина которого увеличивалась до 12 мкм при повышении
содержания водорода до 10% (об.) [52].

поверхностных слоев инструментальных сталей при ионном азотировании в
тлеющем разряде
Развитию областей применения азотирования для поверхностного упрочнения

инструментальных сталей способствовали исследования Ю. М. Лахтина, Ю. А.
Геллера, Б. Н. Арзамасова, Б. Эйденхофера и др., которые в своих работах показали,
что инструментальные стали можно подвергать азотированию и получать при этом
высокую поверхностную твердость и износостойкость режущих и штамповых
инструментов [9-11,20,24,25,54,106,148,175].
Обычное газовое азотирование широко применяют для упрочнения
инструмента [150,169], однако более эффективным способом повышения стойкости
является ионное азотирование благодаря своим достоинствам и более широким
технологическим возможностям [54]. Важным преимуществом насыщения в
тлеющем разряде по сравнению с обычными процессами азотирования является
снижение температуры обработки до температур высокого отпуска,
обеспечивающего вторичное твердение [55]. Известно [119], что для инструмента
важно, чтобы высокая прочность азотированного слоя сочеталась с вязкостью,
достаточной для обеспечения высокого сопротивления хрупкому разрушению.
Слои, получаемые после ионного азотирования, в отличие от образуемых после
45
традиционных способов азотирования (газового и жидкостного), всегда отличаются
большей пластичностью, так как тлеющий разряд позволяет регулировать фазовый
состав и строение азотированного слоя, т.е. получать слой без хрупкой нитридной
зоны, состоящей из высокоазотистой ε-фазы, и без карбонитридной сетки в
диффузионной зоне, но с выделениями в объеме зерен высокодисперсных
нитридных фаз типа легированной γ`-фазы или специальных нитридов [150,169].
Следует отметить, что ионное азотирование позволяет сохранить
стабильность геометрических характеристик инструмента [106,118,119] и
обеспечивает управляемый процесс диффузионного насыщения инструментальных
сталей азотом, благодаря подавлению выделений высокоазотистых карбонитридных
фаз по границам зерен, которые в первую очередь становятся очагами
преждевременного усталостного разрушения [52,53,56].
По-мнению многих авторов [106,118,169,210] требования к
инструментальным сталям в зависимости от их назначения существенно
различаются, таким образом необходимо раскрыть особенности ионного
азотирования этих материалов, конкретизируя закономерности
структурообразования, механизмы обеспечения эксплуатационных характеристик
и технологические аспекты процесса насыщения.
Рассмотрим особенности ионного азотирования штамповых сталей.
Основные причины выхода из строя инструмента для холодной обработки
давлением – износ и смятие рабочих частей штампа, и хрупкое разрушение [54].
Причем хрупкое разрушение может быть не только следствием ударного
нагружения и воздействия опасных концентраторов напряжений, но и результатом
возрастания удельных нагрузок от смятия и износа рабочих поверхностей.
Известно [187,196,237,271], что азотирование, как метод поверхностного
упрочнения штамповых сталей, давно используют в отечественной промышленности для
повышения стойкости инструментов холодного деформирования. Однако обычные
способы азотирования [52,169], осуществляемые при 500–570 ºС, для многих из них
малоэффективны из-за значительного уменьшения предела прочности при сжатии. При
ионном же азотировании процессы диффузионного насыщения благодаря их
46
существенной интенсификации могут происходить при более низких температурах
(400 ºС и ниже) [86-88,91,149]. По данным [9-10], для инструментов, применяемых для
холодной обработки давлением стали и легких сплавов, когда рабочая температура не
превышает 250 ºС, предлагается ионное азотирование проводить при сравнительно низких
температурах (~450 ºС). Для инструмента из стали Х5МФ рекомендуется слой толщиной
до 0,3 мм с тонкой (4–8 мкм) нитридной зоной из γ`-фазы, а для инструмента из более
высокохромистой стали типа Х12 – только диффузионная зона толщиной 0,2 мм.
Для изготовления инструмента сложной формы, работающего в условиях
значительного износа, преимущественно используют высокохромистые стали
(Х12, Х12М, Х12Ф1). Эти стали по структуре после отжига относятся к
ледебуритному, а после нормализации – к мартенситному классу. Обработку на
вторичную твердость таких сталей осуществляют для повышения их
теплостойкости. Для этого повышают температуру закалки, что обеспечивает
невысокую твердость (48–54 HRC) из-за большого количества остаточного
аустенита (> 50%), а затем с целью повышения твердости (до 60–69 HRC)
осуществляют неоднократный отпуск при 500–550 ºС [132, 169, 179].
Известно [58, 260], что ионное азотирование позволяет сохранить высокую
прочность сердцевины высокохромистой стали. По данным работы [9], после
ионного азотирования пуансона пресса для выдавливания, осуществляемого при
470–490 ºС, не наблюдается разупрочнение сердцевины высокохромистой стали
(60–62 HRC). Полученный при этом твердый, но достаточно вязкий поверхностный
слой существенно повышает стойкость указанного инструмента, не схватываясь и
не привариваясь к обрабатываемой поверхности, что свидетельствует о весьма
высоком сопротивлении адгезионному изнашиванию.
По данным авторов [17], инструменты из высокохромистой стали после
ионного азотирования находят применение для таких процессов холодной
обработки давлением как гибка, обкатка, накатывание, штамповка и др. При этом
высокая стабильность формы и незначительный прирост размеров позволяют
использовать азотируемые штампы без последующей доработки, а толщина
диффузионного слоя составляет 0,2 – 0,1 мм без нитридной зоны.
47
Рассмотрим особенности ионного азотирования быстрорежущих сталей.
Основные свойства, которыми должен обладать материал для режущего
инструмента – износостойкость и теплостойкость [118,119]. Высокая теплостойкость
– важное свойство быстрорежущих сталей, от ее температурного уровня, в конечном
счете, зависит производительность резания. Они сочетают теплостойкость (600–640
ºС в зависимости от состава и способа обработки) с высокой твердостью (до 68–70
HRC), износостойкостью при повышенных температурах и повышенным
сопротивлением пластической деформации (прочностью). Известно [118], что при
повышении вторичной твердости и теплостойкости наблюдается снижение прочности
и вязкости. Следовательно, при назначении режима ионного азотирования
необходимо руководствоваться этими основополагающими подходами, исходя из
конкретных условий эксплуатации инструмента.
Быстрорежущие стали по структуре после отжига относятся к ледебуритному
классу, а после нормализации – к мартенситному. Для них характерна карбидная
неоднородность, особенно выраженная в сталях с повышенным содержанием
вольфрама, ванадия и кобальта. Общее количество карбидов в стали Р6М5 около
22% [119]. В основном это сложный карбид вольфрама переменного состава
(Fe,W)3C (Me6C), который растворяет в себе часть хрома и ванадия. Кроме того,
возможно присутствие небольшого количества карбида (Fe,Cr)23C6 и карбида MeC
(в сталях с ванадием). В карбидах содержится 80–95% вольфрама, почти весь
ванадий и 50% хрома, остальная часть которого находится в твердом растворе.
Качество инструмента в значительной мере определяется свойствами его
поверхностного слоя. Наиболее эффективный способ повышения стойкости
инструмента – химико-термическая обработка (ХТО), в результате которой
возрастают твердость, износостойкость, теплостойкость, а в ряде случаев
уменьшается коэффициент трения. По данным [106], традиционное азотирование
при 520 ºС в течение 6 ч. Позволяет получить на стали Р18 слой толщиной 0,04-0,05
мм с хрупкой нитридной зоной из ε-фазы. После азотирования сверл диаметром 8–
15 мм из стали Р9, Р12, Р18 при 510–520 ºС в течение 20 мин. Получается слой
толщиной 0,015–0,020 мм без ε-фазы, что обеспечивает повышение стойкости в 1,5–
48
2 раза. Причем указывается [250], что стойкость азотированных сверл на 25–30% выше,
чем цианированных. Для сравнения можно привести данные [55] по ионному
азотированию сверл из стали Р9К5 диаметром 8,4 мм. В результате получения слоя
толщиной 0,05 мм без ε-зоны после ионного азотирования при 550 ºС в течение 0,5 ч.
Стойкость сверл возросла в 3,7 раза. Эффективность ионного азотирования обусловлена
не только толщиной диффузионного слоя, но и его качеством, определяемым
структурой, отличающейся повышенной прочностью и вязкостью благодаря
особенностям формирования диффузионных слоев в условиях тлеющего разряда.
В работах [30,209,36-40,58,132] по ионному азотированию быстрорежущих
сталей указывается на большое упрочнение получаемых слоев при значительно
меньшем охрупчивании, чем после газового азотирования. Вязкость азотированного
слоя в этом случае обеспечивается небольшой гетерофазной диффузионной зоны (до
50 мкм) при полном подавлении образования зоны соединений.
По данным работы [11], резцы из быстрорежущей стали работают при
температурах 700 ºС, после ионного азотирования при температурах 480–520 ºС в
течение 30–60 мин. При этом поверхностная твердость повышается до 1000–1250 HV,
а твердость сердцевины остается неизменной. Кроме того, указывается, что режущие
инструменты, обработанные на толщину слоя около 0,1 мм с поверхностной
твердостью 1400–1800 HV, приобретают в 4 – 6 раз большую стойкость, что
объясняется повышением износостойкости и снижением коэффициента трения, а для
метчиков из стали Р6М5 число нарезок увеличивается на 400%.
Известны и другие положительные примеры эффективного использования
ионного азотирования для повышения работоспособности различных видов
инструментов из быстрорежущих сталей. В работе [260] приводятся данные о
повышении срока службы развертки шатуна из стали Р18 в 5 раз после ионного
азотирования при 500–520 ºС в течение 0,5 ч; слой имеет толщину 0,01–0,03 мм и
поверхностную твердость 1095 HV. Стойкость азотированных фрез в течение 0,5 ч,
повышается в 2–3 раза [15, 34, 59].
49
По данным [169, 67-69], толщина слоя для снятия стружки не должна
превышать 30 мкм, а для матриц из этих же сталей – 50-100 мкм; в этих случаях
рекомендуется твердость поверхности в пределах 1100–1170 HV.
Главным фактором оптимизации режимов ионного азотирования считают
толщину азотированного слоя, точнее диффузионной зоны. Во всех случаях
оправдало себя полное подавление образования нитридной зоны, в результате чего
достигается ограничение охрупчивания слоя при одновременном повышении его
теплостойкости. Так как вязкость слоя снижается с ростом его толщины, то для
таких инструментов, как штампы холодновысадочных автоматов, рекомендуется
толщину слоя ограничивать (не более 100 мкм) [17].

поверхностных слоев конструкционных и инструментальных сталей при
высокотемпературном ионном азотировании
Процесс высокотемпературного азотирования осуществляется в

азотосодержащей среде, в диапазоне температур от 600 до 1200 ºС, т.е выше
температуры эвтектоидного превращения А1 в системе Fe-N, когда в
диффузионном слое образуется γ-фаза [54,169,175].
В последние годы все шире применяется высокотемпературное
азотирование перлитных, ферритно-мартенситных, ферритных и аустенитных
сталей, сплавов никеля и тугоплавких металлов (Ti, Mo, V, Cr и т.д.). В результате
высокотемпературного азотирования в конструкционных сталях и сплавах
формируется структура, состоящая из дисперсных частиц нитридов,
распределенных в твердом растворе. Полученные таким образом тонкодисперсные
устойчивые нитридные частицы в сталях и сплавах обеспечивают высокие
эксплуатационные характеристики [163,178,179,216,217].
В результате такого вида упрочнения конструкционные и инструментальные
стали приобретают высокую твердость на поверхности, не изменяющуюся при
нагреве до 500 – 600 ºС, высокую износостойкость, низкую склонность к задирам,
50
высокий предел выносливости, высокую кавитационную стойкость, хорошую
сопротивляемость коррозию [163,178,179,216,217].
Впервые высокотемпературное газовое азотирование было применено как
антикоррозионное. Процесс насыщения проводился при 600 – 750°С в течении 2 –
3 ч. Было установлено, что чем выше температура, тем меньше должна быть
выдержка для получения на поверхности беспористой ε-фазы, обладающей
высокой коррозионной стойкостью [175].
Алюминий содержащие улучшаемые стали, например сталь 38Х2МЮА, а
также сложнолегированные конструкционные стали, такие как 13Х11Н2В2МФ-Ш
и 16Х3НВФМБ-Ш, применяемые для производства деталей, работающих в
условиях интенсивного изнашивания и контактных нагрузок, азотировались при
температуре 650 – 700°С в течение 3 – 4 ч (в зависимости от величины садки) и в
результате такой обработки полученный диффузионный слой обладал высокой
износостойкостью при эксплуатации [54,65,61,96].
В работах [58,60,176,179] было доказано, что перспективным является
процесс азотирования при 700°С в атмосфере аммиака или в смеси аммиака и
эндогаза (1:1) с последующей закалкой диффузионного слоя. Были исследованы
свойства и состав диффузионного слоя на стали 45Х после высокотемпературного
азотирования при 700°С в течение 3 – 6 ч и закалки. На поверхности стали была
выявлена карбонитридная ε-фаза [Fe2-3(NC)], далее распологалась γ-фаза и α-фаза,
пересыщенная азотом. Непосредственно после закалки в зоне высокого
содержания азота (1,5 – 2,0%) сохранилась не претерпевшая мартенситного
превращения карбонитридная γ-фаза (МН = 80 – 35°С, МК = 80 – 120°С), что
привело к снижению твердости этой зоны. Для получения полностью
мартенситной структуры (отпущенного мартенсита) в этой зоне было
рекомендовано провести обработку холодом или отпуск при 250 – 300°С.
В работах [163,179] было доказано, что после такой обработки полученный
диффузионный слой обладает высокой износостойкостью. После
высокотемпературного азотирования сопротивление усталости при изгибе
образцов без концентраторов напряжений на 60% больше, чем после нормализации
51
или улучшения, а при наличии концентраторов напряжений – более чем на 100%.
Было установлено, что сопротивление контактной усталости стали 45Х после
высокотемпературного азотирования, закалки и отпуска при 300°С в 2 раза выше,
чем после улучшения. Высокотемпературное азотирование по такому режиму
было рекомендовано для упрочнения- деталей из низко- и среднеуглеродистых
сталей, работающих в условиях трения скольжения при знакопеременных
нагрузках и в коррозионной среде: мелкомодульных шестерен (модуль 3 – 5),
валов, осей, втулок, толкателей и т.д.
Высокотемпературное азотирование широко применяется для повышения
эксплуатационных свойств инструментальных сталей, в особенности для
режущего (Р6М5, Р18, Р9, и др.) и штампового (Х12, Х12Ф1, Х6ВФ, и др.)
инструмента [54,65,176,222].
Обеспечивая важнейшее условие работоспособности любого инструмента –
высокую износостойкость его поверхности, режимы азотирования следует
выбирать и с учетом получения или сохранения других свойств материала.
Азотированный инструмент должен не только изначально обладать высокой
прочностью, но и сохранять ее при повышенных температурах, т.е. иметь
необходимую теплостойкость, которая определяется структурной стабильностью
как азотированною слоя, так и самого упрочняемого материала. Прочность же
сердцевины определяется температурой предшествующего азотированию
высокого отпуска, и важно после азотирования сохранить эту прочность [169,222].
Одним из методов повышения работоспособности штампов и литейных
пресс-форм из сталей (Х12, Х12М, Х12Ф1) является высокотемпературное
азотирование, а также высокотемпературное азотирование с последующей
закалкой [54,169].
Окисление многократно ускоряет процесс разрушения незащищенной
поверхности штампа для горячего деформирования [55,54,51]. Поэтому для
штампового инструмента необходимы материалы с высоким сопротивлением
окислению. Иногда с этой целью применяют оксидирование в качестве метода
повышения стойкости штампов для горячего деформирования. Известно, что в
52
результате высокотемпературного азотирования штамповых сталей (Х12, Х12М,
Х12Ф1) образуются оксиды (Fe, Me)3O4 с кристаллической решеткой шпинели, в
которой обычно содержатся легирующие элементы [55,54,51]. Оксинитридные
зоны более пластичны, чем оксидные пленки Fe2О3, и в то же время обладают
близкими к последним антиадгезионными свойствами. Формирование
оксинитридных покрытий, не склонных к схватыванию, очень важно для
работоспособности узла трения в начальный период износа, когда локальные
давления чрезвычайно велики и больше, чем при установившемся износе.
Ионное азотирование обеспечивает постоянство геометрических
характеристик инструмента при повышенных температурах, достаточный запас
прочности и вязкости (надежности), износостойкость при более высоких
температурах, стойкость к термической усталости.
Во всех опубликованных работах [53,55,51,172,173] по
высокотемпературному азотированию быстрорежущих сталей (Р6М5, Р18)
указывается на большее упрочнение получаемых слоев при значительно меньшем
охрупчивании, чем после обычного азотирования. Вязкость азотированного слоя в
этом случае обеспечивается структурными особенностями и небольшой толщиной
гетерофазной диффузионной зоны (до 50 мкм) при полном подавлении
образования зоны соединений.
В зарубежной литературе сообщаются только сведения о толщине слоя и
поверхностной твердости [10,23]. Резцы из быстрорежущей стали работают при
температурах до 700°С после ионного азотирования при температурах 620 – 650°С
в течение 60 – 90 мин. При этом поверхностная твердость повышается до 1000 –
1250 НV, а твердость сердцевины остается неизменной. Кроме того, указывается,
что режущие инструменты, обработанные на толщину слоя около 0,1 мм с
поверхностной твердостью 1400 – 1800 НV, приобретают в 4 – 6 раз большую
стойкость, что объясняется повышением износостойкости и снижением
коэффициента трения, а для метчиков из стали S6-5-2 (типа Р6М5) число нарезок
увеличивается на 400% [54].
53
Нами было предложено проводить высокотемпературное азотирование
конструкционных и инструментальных сталей плазмой тлеющего разряда при
температурах 700 – 720°С предпревращения ферритно-цементитной смеси в
аустенит (рис. 1.11), когда диффузионная подвижность элементов резко
возрастает, а время азотирования сокращается до 1-2 часов, а также
комбинированную обработку состоящую из высокотемпературного азотирования
и последующей светлой закалкой в условиях вакуума за один технологический
цикл [81,82,84,163,178,179].
Рисунок 1.11 Диаграммы состояния Fe-C и Fe-N (а) и схемы

высокотемпературного азотирования, светлой закалки и комбинированного метода
обработки (б) [163,178,179]
Нагрев до температур светлой закалки (790 – 950ºС) от температуры

азотирования проводится также плазмой тлеющего разряда, в той же камере и
атмосфере, что и высокотемпературное азотирование. Такой процесс более
технологичен, чем азотирование и последующая закалка с нагревом в другой печи.
54
1.5 Особенности азотирования поверхностных слоев конструкционных
и инструментальных сталей ионными источниками и в тлеющем разряде
низкого давления
Анализ методов ионного азотирования показал, что существует целый ряд

методов основанных на применении электрических разрядов в газе, но по
параметрам (плотность ионного тока, напряжение, давление) и физическим
процессам протекающим в них, существенно отличаются друг от друга.
Проведем анализ на основе диаграммы давление – плотность тока (рис. 1.12).
J, мA/см2
4
103
5 3
102
10
2
10-1
1
10-2
10-3
10-3 10-2 10-1 1 10 102 103 104 105
Р, Па
Рисунок 1.12. Диаграмма давление  плотность потока:

1 - традиционное газовое азотирование; 2 - ионное азотирование в тлеющем
разряде; 3 - ионное азотирование в тлеющем разряде низкого давления;
4 - азотирование в несамостоятельных сильноточных диффузионных разрядах;
5 - азотирование ионными потоками, с помощью специальных ионных источников.
Область 1  область традиционного газового азотирования, характеризуемая

наличием слабых электростатических полей и очень низкой плотностью тока
55
(j=0,1-10 мкА/см2). Давление в вакуумной камере Р≈105 Па.
Область 2  область ионного азотирования в тлеющем разряде,
характеризуемая высоким напряжением (U=400-2000В) и низкой плотностью тока
(j=0,1-1 мА/см2). Давление в вакуумной камере Р=102-103 Па.
Область 3  область ионного азотирования в тлеющем разряде низкого
давления, характеризуемая относительно невысоким напряжением (U=200-500В) и
большей плотностью тока по сравнению с нормальным тлеющим разрядом
(j=1-10 мА/см2). Давление в вакуумной камере Р=10-102 Па.
Область 4  область азотирования несамостоятельными сильноточными
диффузионными разрядами, характеризуемая низким напряжением (U=20-100В) и
высокой плотностью тока (j = 0,2-2А/см2). Давление в вакуумной камере Р=1-10-1Па.
Область 5  область азотирования ионными потоками, с помощью специальных
ионных источников, характеризуемая низким напряжением (U=100-300В) и
плотностью тока (j = 1-100 мА/см2). Давление в вакуумной камере Р=10-3-10-1 Па.
Давление рабочего газа является важным управляющим фактором ионной
ХТО. Долгое время господствовало мнение [9-11,20-22], что изменение давления
от 133 до 2600 Па вообще не влияет на кинетику диффузионного насыщения в
условиях тлеющею разряда.
Ошибочность такого взгляда подтверждают результаты исследований,
проведенных в работах [52,57,173-175,202,203]. Многочисленными экспериментами
установлено, что зависимость толщины диффузионного слоя от давления в
газоразрядной камере имеет четко выраженный экстремальный характер.
Следовательно, практически для любого процесса ионной ХТО существует
некоторое давление рабочего газа, обеспечивающее его наибольшую насыщающую
способность, т.е. толщину слоя, которое принято считать оптимальным.
Экстремальный характер зависимостей [52,57,189,190] объясняется физико-
химическими процессами, протекающими в плазме тлеющего разряда. С одной
стороны, повышение общего давления газовой среды приводит к увеличению
количества активных ионов элемента, которые могут участвовать в процессе
адсорбции на поверхности металла и последующей диффузии, однако с другой – при
56
этом непрерывно снижается кинетическая энергия этих ионов из-за уменьшения
длины свободного пробега в результате возможного столкновения. Причем
некоторая часть этих ионов неизбежно соединяется в молекулы (рекомбинирует) и
не участвует в процессе последующего диффузионного насыщения.
На рисунке 1.13 показана зависимость толщины слоя, полученного на сталях
мартенситно-аустенитного класса 03Х12Н10МТ (а) и 06Х15Н6МВФБ (б) после
ионного азотирования при 560 °С, от давления полностью диссоциированного
аммиака [202]. В исследованных условиях общее давление рабочего газа,
обеспечивающего максимальную толщину слоя, составило 80 Па.
Продолжительность процесса не влияет на положение максимума, так как известно,
что временный фактор сказывается только на кинетике роста диффузионных слоев.
а) б)
Рисунок 1.13 - Влияние давления полностью диссоциированного аммиака на
толщину упрочненного слоя после ионного азотирования стали 03Х12Н10МТ (а) и
06Х15Н6МВФБ (б) после ионного азотирования при 560 °С в течении 2,5 ч (1) и 5ч (2)
Экстремальную зависимость толщины диффузионного слоя от общего

давления рабочей смеси можно заметить при азотировании не только стали, но и
других материалов, например титановых.
Влияние давления азота на толщину диффузионного слоя, полученного на
титане марки ВТ1-0, показано на рисунке 1.14. Оптимальное давление азота в этом
случае составило 80 Па. Это же значение давления остается и при разбавлении
азота аргоном (рис. 1.15, кривая 3). Также следует отметить, что смещение этого
57
давления при повышении температуры от 700 °С (см. рис 1.15) до 900 °С (см. рис.
1.14 и рис. 1.15) не наблюдается.
Рисунок 1.14 - Влияние давления азота на толщину диффузионной зоны

после азотирования титана ВТ 1-0 при 900 °С в течении 3 ч
Рисунок 1.15 - Влияние газовой среды на толщину диффузионного слоя после

ионного азотирования титана ВТ1-0 (1,2) и его сплава ВТ3-1 (3) при 700 °С в
течении 5 ч в азотной (1) и аргон-азотной плазме (2,3)
Согласно [203] азотирование титановых сплавов традиционными методами

не нашло большого применения из-за высокой длительности процесса (более 30 ч),
высоких температур процесса (≥950 °С). При этом толщина азотированного слоя не
58
превышает 0,1 мм. Создание максимальной насыщающей способности газовой
среды в плазме тлеющего разряда, то есть значения экстремума на кривых (1-3)
рис. 1.15, обеспечивает возможность не только проводить эффективное насыщение
азотом титановых сплавов при температурах отжига (800°С -900°С), но и при
температурах старения (500°С - 600°С) при сохранении высоких прочностных
свойств материала подложки.
Обработка титановых сплавов [203] при давлении максимального насыщения
обеспечивает не только получение глубоких азотированных слоев, но и более высокое
упрочнение диффузионной зоны за счет присутствия в ней большего количества (до
24 об.%) высокодисперсных (до 100 нм) частиц промежуточной ɛ-фазы (рис. 1.16).
а б
Рисунок 1.16 - Влияние температуры насыщения на объемную долю ɛ-фазы
и микротвердость диффузионной зоны на глубине 10 (1) и 20 мкм (2), при
азотировании в азоте (а) и смеси азот-аргон (б) в течении 3 ч при давлении
максимального насыщения.
Кроме того, повышение давления рабочей атмосферы уменьшает эффект

катодного распыления поверхностных слоев металла, что приводит к образованию
и росту зоны соединений, например, нитридного слоя на поверхности титана
[175,218], которая, как известно, оказывает барьерное действие на диффузионное
59
движение активного элемента в глубь металла. Все эти процессы приводят к тому,
что существует вполне определенное значение общего давления газовой среды в
рабочей камере, при котором образуется наибольшее количество активно
участвующих в процессе насыщения ионов, например азота, что соответствует
максимальной активности насыщающей среды и обеспечивает получение
диффузионной зоны наибольшей толщины.
При высоких давлениях в плазме (обычно более 400 Па) [54] благодаря
возрастанию количества столкновений увеличивается вероятность активизации
обмена энергией между электронами, ионами, атомами и молекулами, в результате
чего электронная температура уменьшается, а температура газа повышается, и
плазма становится изотермической, более стабильной, т.е. появляется опасность
перехода тлеющего разряда в дуговой.
В [19] также отмечают, что благодаря малому расходу реакционного газа из-
за низкого давления, практически отсутствует загрязнение, процесс отвечает
требованиям охраны труда.
В работах [113,148,149,181], выполненных в Институте сильноточной
электроники (г. Томск), доказана высокая эффективность применения плазменного
источника с комбинированным полым и накаленным катодами (ПИНК) на основе
несамостоятельного дугового разряда низкого давления в процессах азотирования
конструкционных и инструментальных сталей. Установлено, что по сравнению с
традиционно используемым для азотирования тлеющим разрядом, такие системы
имеют низкое напряжение горения, не требуют дополнительного использования
водорода и позволяют сократить время процесса в 4-6 раз при достижении тех же
значений твердости упрочненного диффузного слоя протяженностью 300-400 мкм.
По утверждению авторов, это связано с тем, что при низких давлениях и
отрицательных смещениях подложки ~600 В на обрабатываемую поверхность
поступают высокоэнергетичные ионы, которые разрушают оксидные пленки и
облегчают условия диффузии атомарного азота вглубь подложки. Наиболее
важным преимуществом ионного азотирования в плазме дугового разряда является
также возможность проведения процесса при низких температурах ~200–300°C,
60
что позволяет сохранить фазовый состав и высокую твердость сердцевины
закаленных на мартенсит сталей, имеющих низкую температуру отпуска [12,13],
что позволяет рассматривать такой метод в качестве новой технологии в
производстве значительной номенклатуры изделий в машиностроении.
Также установлено, что в плазме дуговых разрядов, горящих в аргон-азотной
и гелий-азотной смесях при низких давлениях, вследствие интенсивного
образования атомарного азота, происходит эффективное насыщение азотом
чистого титана при относительно низких <650°C температурах c образованием
слоев с высокой, достигающей 14 ГПа, твердостью и глубиной в несколько
десятков мкм [62,63].
1.6 Анализ методов ускорения процесса ионного азотирования в

тлеющем разряде низкого давления
Проведем анализ основных методов ускорения процесса ионного

азотирования в тлеющем разряде:
Рассмотрим ионное азотирование в тлеющем разряде с использованием
эффекта полого катода (ЭПК):
Применение ЭПК в тлеющем разряде позволяет увеличить плотность ионного
тока и за счет этого повысить скорость процессов испарения-конденсации при
азотировании, что приводит к увеличению скорости насыщения в 1,2–1,5 раза
[47,75,76,84,156,158].
ЭПК – явление, возникающее, когда обращенные друг к другу поверхности
отверстий, каналов или находящихся рядом деталей расположены так близко, что
негативные свечения соприкасаются и даже перекрываются (рис. 1.17). В этих
областях электроны захватываются и осциллируют, что приводит к
дополнительной ионизации и возбуждению атомов [19].
61
а) б)
Рисунок 1.17 - Схема возникновения эффекта полого катода (а) и изменение

интенсивности свечения тлеющего разряда между плоско-параллельными
электродами (б): 1 – перекрытие, 2 – негативное свечение, I1, I2 – интенсивности
негативного свечения, Ir – результирующая интенсивность свечения [19]
В работах [1,19] было предложено использовать эффект полого катода для

интенсификации нагрева при термической и химико-термической обработке. Так
же исследовано влияние давления и напряжения на положение разряда в
конусообразном зазоре (рис. 1.18).
Рисунок 1.18 - Влияние давления P и напряжения U на положение тлеющего

разряда в конусообразном зазоре (длина клина 300 мм, размер раскрытия 30 мм,
глубина 60 мм) [19]
62
Эксперименты показали, что с увеличением давления или напряжения ЭПК
проявляется в области с меньшей величиной зазора.
В работе Ю. Е. Крейнделя, Н. М. Лемешева, А. И. Слосмана исследован
эффект полого катода при ионном азотировании в тлеющем разряде деталей
имеющих полость [156,158,159].
На рис. 1.19 показаны зависимости глубины азотированного слоя стали
Х12Ф1 от средней плотности тока в разрядах с полым и плоским катодами при
одинаковой температуре и продолжительности процесса азотирования.
h*10-2, мм
6
5
4
неполый катод
3
полый катод
2
1
i, мА/мм2
0
0 0,1 0,2 0,3 0,4 0,5 0,6 0,7 0,8
Рисунок 1.19 - Зависимость толщины азотированного слоя от плотности тока
Из рис. 1.19 следует, что в условиях проявления ЭПК значение h оказывается

существенно выше, несмотря на более низкое напряжение горения разряда
[156,158,159].
Измерения микротвердости по глубине азотированного слоя показывают, что
в этом случае упрочненный слой получается в 1,5 – 2 раза быстрее, чем в случае
азотирования этой матрицы в отсутствие ЭПК. При этом азотирование внешней
поверхности матрицы происходит в существенно меньшей степени, чем
внутренней (рис. 1.20).
63
Рисунок 1.20 - Распределение твердости по глубине азотированного слоя

матрицы [156]
В работах Будилова В.В., Агзамова Р.Д. [46,47] доказано, что азотирование в
условиях проявления ЭПК приводит к увеличению карбонитридной зоны в 2-3 раза
и диффузионной зоны твердого раствора азота в -железе на 50–70% (рис. 1.21).
Рисунок 1.21 - Структура образцов из стали 38ХМЮА, обработанных

в тлеющем разряде (х50) [46]
Учеными из Томского института сильноточной электроники СО РАН были

приведены результаты исследования азотирования титана марки ВТ1-0 при низких
давлениях и низких температурах (≤ 550°С) в плазме тлеющего разряда с полым
катодом [62,63]. Анализ результатов показал, что насыщение титана азотом является
плазмохимическим процессом, в котором определяющую роль играет атомарный
азот, образующийся в результате диссоциации азота, при возбуждении электронных
состояний молекул электронами, осциллирующими в полом катоде, с последующим
распадом возбужденных молекул. На поверхности сплава формируется
64
многослойная структура с высокой микротвердостью (до 14ГПа), состоящая из слоя
нитрида титана, слоя диффузионного насыщения и слоя термического влияния,
плавно переходящего в основной объем материала (рис. 1.22).
Рисунок 1.22 - Структура поверхности разрушения титана марки ВТ1-0, до

(а) и после (b) азотирования при температуре 550°С в течение 4,5 ч в плазме
тлеющего разряда. I – нитридный слой, II – слой диффузионного насыщения
азотом, III – слой термического влияния [63]
Рассмотрим ионное азотирование через нанооксидный барьер:

Наличие на поверхности азотируемой стали оксида железа интенсифицирует
процесс ионизации аммиака, что позволяет сократить длительность азотирования
по сравнению с классическим азотированием [268].
В работе [268] установлено, что применительно к легированным сталям
существенными преимуществами обладает оксиазотирование, т.е. насыщение в
среде аммиака и кислородосодержащей среды (например, воздуха), в том числе
газоциклические процессы и процессы азотирования с предварительным
окислением. Шестопалова Л.П. [268] обнаружила, что различные способы
оксиазотирования наряду с упрочнением обеспечивают интенсификацию
процессов азотирования, что очень актуально для легированных сталей. При
оксиазотировании скорость диффузии азота в поверхностном слое резко
возрастает, что обусловливает получение большей глубины азотированного слоя и
обеспечивает получение развитой зоны внутреннего азотирования с возможностью
дисперсионного упрочнения. Увеличивается многообразие возможных фаз в
65
модифицированном слое, достигающееся путем контроля подачи газов.
Появляется возможность достижения заданных механических свойств за счет
целенаправленного регулирования фазового состава. Авторы указывают на то, что
обработка высокохромистых сталей в среде аммиака с добавками воздуха не
требует предварительной депассивации поверхности изделий. Схемы
формирования оксидной пленки показаны на рис. 1.23.
Рис. 1.23. Схемы формирования оксидной пленки на стали (а), упрочнённого слоя
под оксидной плёнкой (б), -фазы на поверхности высокохромистой стали (в) [268]
Рассмотрим азотирование в ультразвуковом поле:

В работах Переваловой О.Б., Панина А.В., Синяковой Е.А. было доказано,
что промежуточная ультразвуковая обработка способствует существенному
увеличению глубины азотированного слоя [215]. Ускорение процесса объясняется
увеличением плотности дислокаций, образованием большого количества
избыточных «деформационных» вакансий и увеличением адсорбционной
способности поверхности при взаимодействии упругопластических деформаций
ультразвуковых волн с кристаллической решеткой обрабатываемого металла.
Вследствие технических трудностей по созданию и выпуску мощной
ультразвуковой аппаратуры этот способ азотирования еще не получил
промышленного применения.
66
Применение ультразвуковых колебаний ускоряет процесс азотирования в
газовых и жидких средах. По данным [130], процесс протекает в 1,5 раза быстрее, по
данным [172], ускоряющее действие ультразвука меньше в 1,2-1,3 раза. При
азотировании ультразвуковые колебания передаются непосредственно на детали,
жесткосоединяемые с магнитострикционными вибраторами, а при насыщении в жид-
ких средах возможно также наложение колебаний на ванну через концентратор,
соединенный с вибратором [176]. Для создания колебаний могут применяться ламповые
генераторы с диапазоном частот 16 – 50 кГц.
Влияние упругих колебаний на диффузионные процессы, протекающие при ХТО,
определяется интенсивностью ультразвукового поля, характером распределения
упругих напряжений по объему обрабатываемого изделия, температурой и
продолжительностью процесса.
Рассмотрим ионное азотирование в тлеющем разряде с магнитным полем:
Плазма азота повышенной плотности формируется в тороидальной области
вращения электронов, которая создается скрещенными электрическим и
магнитным полями. При этом установлено, что за счет увеличения плотности
ионного тока увеличивается скорость диффузионных процессов, что приводит к
увеличению скорости азотирования в 2–2,5 раза [78,79,87,142]. Достоинством
данного метода азотирования является простота схемы обработки, не требующая
применения специального оборудования.
Модификация материала при этом происходит за счет увеличения числа актов
ионизации, ионного перемешивания, распыления, быстрого нагрева, осаждения
атомов или молекул, дефектообразования, химического взаимодействия,
радиационно-стимулированной диффузии. В результате, в обрабатываемом
материале могут происходить различные структурно-фазовые изменения,
например, диспергирование микроструктуры, образование ультрадисперсных фаз
(нитридов легирующих элементов), изменение параметров кристаллической
решетки, разворот кристаллографических плоскостей, образование или растворение
термодинамических нестабильных фаз, образование перенасыщенных твердых
67
растворов, упорядочение или разупорядочение кристаллической структуры,
формирование дислокационной субструктуры [78,79,87,142].
Согласно данным [142], экспериментальное исследование кинетики
диффузионного азотирования сталей системы Fe-Ni-Cr в постоянном магнитном
поле напряженностью 0,016 Тл при 550 ºС показало примерно 1,5 кратное
ускорение процесса рис. 1.24 и увеличение толщины азотированного слоя с
высокой микротвердостью.
Рис 1.24. Кинетика роста толщины азотированного слоя для сталей ЭИ-69
(1,2), ВНС-17 (3,4), 40ХН2МА (5,6) при Т=550°С. Азотирование проводилось без
(1,3,5) и при наложении магнитного поля индукцией 0,016 Тл (2,4,6)
Авторы утверждают, что ускорение азотирования сталей связанно с

генерацией дислокаций за счет магнитострикционного эффекта и облегчением
твердофазной диффузии нитридных анионов к зародышам нитридных фаз.
Магнитостимулированное увеличение коэффициентов диффузии коррелирует с
полученными из рентгенографических данных результатами по увеличению
плотности дислокаций. Повышение микротвердости азотированных слоев,
полученных в магнитном поле, объясняется появлением выделений нитридных
фаз, играющих роль препятствий для дислокационного скольжения.
Рассматривая результаты исследований в области химико-термической
обработки необходимо отметить, что подходы к решению проблемы интенсификации
структурно-фазового модифицирования поверхности металлов и сплавов в последние
годы существенно изменились. На первое место выходят вакуумные ионно-
68
плазменные методы химико-термической обработки. Однако, как показывает анализ
отечественных и зарубежных публикаций, большинство исследований в этой области
направлено на выявление закономерности изменения структурно-фазового и
химического состава сталей и сплавов, полученных методами, основанными на
длительном подводе к обрабатываемому объекту энергии и частиц.
1.7 Анализ методов локального модифицирования поверхностного слоя

конструкционных сталей
Известно, что износ и повреждение поверхности материала снижают

сопротивление усталости деталей и могут служить причиной их разрушения при весьма
низких напряжениях [71]. В настоящее время множество деталей машиностроения
работают в условиях локального износа, например, зубчатые колеса, места установки
подшипников на валах и др. В таких случаях нет необходимости упрочнять всю
поверхность детали, а достаточно лишь обработать участок, подверженный
интенсивному износу. Например, особенностью изнашивания зубчатых колес является
то, что в этот процесс вовлечены тонкие поверхностные слои, а износ развивается в
локальных зонах – контактных участках поверхности [131]. Это предопределяет
необходимость выполнения упрочняющей обработки таким образом, чтобы достигнуть
максимальной износостойкости именно в этих зонах, так как свойства материала за их
пределами не оказывают существенного влияния. Кроме того, применение локальных
методов поверхностной упрочняющей обработки обеспечивает возможность гибкого
изменения уровней формируемых характеристик материалов при переходе граничных
зон между участками рабочих поверхностей и остальных участков детали.
Местное (локальное) упрочнение служит для получения структуры
материала высокой твердости и прочности (мартенсита, карбидов, нитридов,
боридов и др.), обеспечивающих заданные свойства на заданном участке детали.
При этом на поверхности детали формируется неоднородная структура [183].
Часто термическая обработка не может обеспечить требуемые
характеристики поверхности детали (например, высокую износостойкость и др.). В
этом случае прибегают к методам химико-термической обработки. Из всего
69
многообразия методов химико-термической обработки, азотирование является
одним из наиболее распространенных методов структурно-фазового
модифицирования, использование которого в промышленно развитых странах
постоянно расширяется. Как показывает практика, применение азотирования
особенно эффективно для разнообразных деталей, где основной причиной
разрушения поверхностей является износ [109,110,233]. Нередко при азотировании
оказывается необходимым отдельные части изделия предохранить от насыщения
азотом. Наибольшее распространение получил метод гальванического покрытия
оловом мест, не подлежащих азотированию [54,169,187].
При ионном азотировании (в отличие от печного) удовлетворительная
защита от насыщения достигается путем экранирования поверхности за счет
специфических условий формирования диффузионного слоя. Так как в зазоре
менее 1 мм тлеющий разряд не образуется и не доступен для осаждения продуктов
реакций, достаточно применить негерметичные металлические или
диэлектрические экраны с шириной зазора на границе экранирования менее 1 мм.
Экранирование достигается применением вспомогательных средств и
упорядоченной загрузкой деталей в контейнер, при которой обрабатываемые
детали взаимно экранируют друг друга в защищаемых поверхностях [169,176].
Вспомогательными средствами являются штифты, винты, трубы, специально
экранирующие устройства в виде ящиков, колпаков, комплектных экранирующих систем.
Резьбы защищаются гайками и винтами, высверленные отверстия – пробками и т.д [176].
Достоинством такого метода защиты является многократность его использования
в серийном производстве. Гальванические покрытия применяют в тех случаях, когда
азотируются отдельные детали или мелкие серии, для которых экономически невыгодно
создавать специальные экранирующие приспособления [169].
Учеными из Воронежского государственного технического университета
был разработан способ локального поверхностного азотирования [258], сущность
которого заключается в размещении насыщающей накладки на выбранном участке
изделия и проведении диффузионного насыщения поверхности путем нагрева в
вакууме при контактном давлении. Накладку прессуют из порошка титана и
70
спекают с проведением последующей термообработки и объемного насыщения в
активной среде азота. Одним из недостатков данного способа является сложность
и дороговизна изготовления насыщающей накладки.
В Кубанском государственном технологическом университете был разработан
способ локального азотирования металлической детали в плазме тлеющего разряда
[72]. Вакуумная камера с размещенной в ней деталью герметизируется и в ней
создается вакуум с последующей заменой на атмосферу чистого азота (рис. 1.25). При
этом в вакуумной камере создается остаточное давление азота (1,3-0,13)·10-3 Па.
Возникновение и стабильное существование плазмы тлеющего разряда в атмосфере
чистого азота осуществляется с помощью высоковольтного источника питания и
потока электронов от вольфрамовой нити накала, которая нагревается до температуры
2000-2500°С. Применение индукционной катушки с током позволяет создать
электромагнитное поле, сжимающее потока электронов от вольфрамовой нити, и
образовать ограниченный объем плазмы тлеющего разряда в виде диска, с помощью
которого выполняется локальное азотирование детали, габариты которой
укладываются в размерах диска плазмы тлеющего разряда.
Рисунок 1.25 - Схема локального азотирования: 1 – высоковольтный ввод;

2 – уплотнительное устройство; 3 – обрабатываемая деталь; 4 – трубка для подачи азота;
5 – вакуумная камера; 6 – вольфрамовая нить накала; 7 – отверстия для подсоединения
насосов; 8 – высоковольтный ИП; 9 – охлаждаемые электроды; 10 – индукционная
катушка; 11 – область плазмы тлеющего разряда; 12 – низковольтный ИП [72]
71
Исследователи из Пермского научно-исследовательского технологического
института разработали способ азотирования внутренней поверхности труб в тлеющем
разряде и устройство для его осуществления [94-96]. Перед азотированием трубу
герметизируют, затем вакуумируют, зажигают в ней тлеющий разряд и проводят
катодную очистку внутренней поверхности трубы. Далее трубу нагревают до
температуры азотирования и проводят выдержку в течение 1-12 ч.
Таким образом, анализ литературы показывает, что те или иные методы
локального поверхностного модифицирования применяются в зависимости от
условий эксплуатации деталей и требований к их упрочненному слою.
Многообразие способов локального поверхностного модифицирования вызвано
сложностью геометрии и форм деталей и множеством конфигураций упрочняемых
поверхностей. Среди методов локального поверхностного модифицирования
выгодно отличается процесс ионного азотирования, который позволяет получать
модифицированные слои с высокими физико-механическими свойствами.
Локальные методы обработок так же позволяют получать на поверхности
материала точечные, линейчатые, сетчатые макронеоднородные структуры
[50,61,117,125,133,145,185,183,220]. В этом случае, локально-упрочненные участки
повторяются с одинаковым шагом и имеют определенную форму.
В работе [134] с целью повышения износостойкости деталей был разработан
способ частичной цементации в твердом карбюризаторе при 930-950°С в течение
2 часов через защитную маску, снабженную сетчатым узором с величиной ячеек 1-
2 мм и шириной прослоек 0,5-0,6 мм. Способ обеспечивает получение гетерогенности
в масштабах макроструктуры металла, благодаря которой достигается качественно
новый эффект – самопроизвольное возникновение и поддержание на трущейся
поверхности регулярного макрорельефа, отвечающего Шарпи. После обработки
твердость цементированных участков достигает HRC62-64, а вязких прослоек –
HRC25-30. При этом износостойкость деталей повышается в 8 раз.
Работа [194,231] посвящена созданию регулярной макронеоднородной
структуры ионным азотированием в тлеющем разряде с эффектом полого катода
конструкционной стали 13Х11Н2В2МФ-Ш. Анализ результатов показал, что
72
благодаря специальному экрану, формирующего неоднородную плазму, помимо
общего упрочнения поверхности происходит более высокое зонное упрочнение
(HV= 16700 МПа).
1.8 Принципы управления диффузионным насыщением при

азотировании в тлеющем разряде низкого давления
Ионно-плазменное структурно-фазовое модифицирование по сравнению с

традиционной ХТО имеет большие потенциальные возможности для управления
диффузионным насыщением, так как эта обработка — многофакторный процесс
[48,51,127,175].
Кроме обычных технологических факторов, влияющих на эффективность
ионно-плазменной ХТО: температуры и продолжительности насыщения, состава
газовой среды, она имеет ряд дополнительных: давление насыщающего газа,
электрические характеристики, межэлектродное расстояние, конфигурация
деталей и расположение их в садке. При этом следует иметь в виду, что
эффективность ионно-плазменной ХТО в условиях проведения ее в тлеющем
разряде в первую очередь определяется устойчивостью его существования.
Особенно необходимо полностью исключить переход аномального разряда в
дуговой, сопровождающийся резким снижением катодного падения потенциала.
Структура, фазовый состав и характеристики формирующегося в условиях
тлеющего разряда диффузионного слоя определяются целым рядом
технологических факторов. Управляя ими, можно регулировать не только структуру
диффузионного слоя, но и его толщину, которая также определяет комплекс
необходимых свойств детали с учетом конкретных условий ее эксплуатации.
Рассмотрим принципы управления скоростью диффузионного насыщения
при ионной обработке, обсуждая только общие закономерности
структурообразования, необходимые для изучения кинетики насыщения в целом.
Большинство из перечисленных выше факторов взаимосвязаны. Так, состав
газовой среды влияет на напряжение зажигания, а изменение напряжения и
плотности тока ограничивается температурой процесса, насыщения и давлением
73
газовой среды. В общем технологические факторы находятся между собой в
сложной и пока недостаточно изученной зависимости. Поэтому применяемые в
настоящее время технологические процессы ионной ХТО основаны на
эмпирических данных и экспериментальном подборе оптимальных режимов
диффузионного насыщения. Такое положение не позволяет в полной мере
обоснованно управлять процессами ионной ХТО. Однако накопленный
многолетний опыт [48,51,65,127,175] дает возможность сформулировать общие
принципы управления диффузионным насыщением в тлеющем разряде.
Начать следует с таких технологических факторов, как температура и
продолжительность насыщения, состав и давление газовой среды, которыми
относительно легко управлять в производственных условиях. При этом необходимо
иметь в виду, что температура насыщения и давление рабочего газа зависят от
электрических параметров, характеризующих специфику тлеющего разряда.
1. Температура и продолжительность насыщения.
Так как ионная ХТО – диффузионный процесс, то качественно влияние
температуры и продолжительности насышения на толщину получаемого слоя
подобно влиянию при обычной ХТО. Временная зависимость толщины
диффузионного слоя подчиняется параболическому закону [54,169,175]:
h  k  2 , (1.1)
а температурная — экспоненциальному [54,169,175]:
h  A  e  Q (2 RT ) (1.2)
Однако процессы диффузионного насыщения в условиях тлеющего разряда
существенно интенсифицируются. В настоящее время накоплен большой объем
экспериментальных зависимостей, связывающих толщину слоя с температурой и
продолжительностью насыщения для определенного состава газовой среды и его
разрежения.
2. Давление и состав рабочего газа.
Давление рабочего газа является важным управляющим фактором ионной
ХТО. Долгое время господствовало мнение [9–11,20,24,25], что изменение
74
давления от 133 до 2600 Па вообще не влияет на кинетику диффузионного
насыщения в условиях тлеющею разряда.
Ошибочность такого взгляда подтверждают результаты исследований,
проведенных в работах [112,175,215,218]. Многочисленными экспериментами
установлено, что зависимость толщины диффузионного слоя от давления в
газоразрядной камере имеет четко выраженный экстремальный характер.
Следовательно, практически для любого процесса ионной ХТО существует некоторое
давление рабочего газа, обеспечивающее его наибольшую насыщающую
способность, т.е. толщину слоя, которое принято считать оптимальным.
Экстремальный характер зависимостей [112,175,215,218,227] объясняется
физико-химическими процессами, протекающими в плазме тлеющего разряда. С
одной стороны, повышение общего давления газовой среды приводит к увеличению
количества активных ионов элемента, которые могут участвовать в процессе
адсорбции на поверхности металла и последующей диффузии, однако с другой – при
этом непрерывно снижается кинетическая энергия этих ионов из-за уменьшения
длины свободного пробега в результате возможного столкновения. Причем
некоторая часть этих ионов неизбежно соединяется в молекулы (рекомбинирует) и
не участвует в процессе последующего диффузионного насыщения.
Кроме того, повышение давления рабочей атмосферы уменьшает эффект
катодного распыления поверхностных слоев металла, что приводит к образованию
и росту зоны соединений, например, нитридного слоя на поверхности титана
[175,218], которая, как известно, оказывает барьерное действие на диффузионное
движение активного элемента в глубь металла. Все эти процессы приводят к тому,
что существует вполне определенное значение общего давления газовой среды в
рабочей камере, при котором образуется наибольшее количество активно
участвующих в процессе насыщения ионов, например азота, что соответствует
максимальной активности насыщающей среды и обеспечивает получение
диффузионной зоны наибольшей толщины.
По данным исследований [54,65,175], область оптимального давления для
обработки инструментальных и конструкционных сталей в тлеющем разряде при
75
температуре 550°С находится в диапазоне от 100 до 200 Па, а при температуре свыше
650°С область оптимального давления смещается в диапазон от 200 до 300 Па.
При высоких давлениях в плазме (обычно более 400 Па) [54,46] благодаря
возрастанию количества столкновений увеличивается вероятность активизации
обмена энергией между электронами, ионами, атомами и молекулами, в результате
чего электронная температура уменьшается, а температура газа повышается, и
плазма становится изотермической, более стабильной, т.е. появляется опасность
перехода тлеющего разряда в дуговой.
Ранее было отмечено, что без предварительной очистки поверхности
катодной бомбардировкой от окисных и иных пленок, препятствующих адсорбции
азота или другого элемента, способного образовывать диффундиды, ни о каком
последующем азотировании речи быть не может. Поэтому при азотировании в
тлеющем разряде необходимо исключить проникновение кислорода в рабочую
камеру (к примеру использование кислородных ловушек), а это влечет за собой
использование сложного оборудования и, как следствие, удорожания
себестоимости обработки, либо необходимо дезактивировать кислород в рабочей
камере, за счет использования небольшого количества водорода в насыщающей
атмосфере. По данным работ [46,54,175] достаточно 3 – 5% H2 в насыщающей среде
для дезактивации кислорода.
В результате многочисленных исследований [112,175,207,218] было доказано,
что азотирование в тлеющем разряде позволяет регулировать строение слоя при
разбавлении азотосодержащей среды аргоном и углеродсодержащими газами.
Получение диффузионного слоя на базе высокоазотистого твердого раствора без
поверхностной нитридной зоны достигается за счет разбавления насыщающей
атмосферы аргоном в режиме катодного распыления при давлении 30 – 50 Па.
Аргон, имеющий массу иона, превосходящую массу иона аммиака, активно
распыляет нитридную зону, образующуюся на поверхности изделия в процессе
азотирования. Введение аргона до 40% практически не влияет на толщину
структурных составляющих слоя, при введении аргона более 40% происходит
76
уменьшение поверхностной нитридной зоны и увеличение зоны внутреннего
азотирования [46,54,175].
По данным работ [112,175,201,207,218,253] регулирование нитридной зоны
по углероду достигается введением в азотную плазму углеродсодержащих газов.
Было доказано, что нитридная зона, имеющая карбонитридный характер,
превосходит по комплексу эксплуатационных свойств нитридную зону, имеющую
чисто нитридный характер.
Из приведенного анализа процессов азотирования следует:
1. Важную роль в процессе ионно-плазменного азотирования помимо
атомарного иона азота играют быстрые нейтральные частицы и электроны, а их
значительно меньшая масса в процессах энергопередачи может компенсироваться
частотой ударов по частицам газа, адсорбированным поверхностью, или частицам
самой поверхности.
2. Образование атомарного азота происходит в основном в результате
диссоциации молекул электронным ударом, а доля рекомбинации атомарных ионов
как следствие столкновения с электроном и доля диссоциативной рекомбинации
при столкновении молекулярных ионов с электроном существенно мала.
3. Азотирование в тлеющем разряде является следствием множества
элементарных процессов, причем в каждой конкретной ситуации скорость
некоторого элементарного процесса определяется распределением
энергетического спектра падающего потока.
Очевидная роль положительных ионов как интенсификатора процесса
объясняется тем, что они не только обеспечивают большую энергопередачу при
столкновении газовых компонентов с поверхностью, но и доставку дополнительно
к адсорбированным поверхностью частицам газа высокоактивных элементов,
которые модифицируют поверхность.
4. Важным фактором процесса азотирования в тлеющем разряде следует
считать адсорбционные явления, поскольку, находясь неподвижно на поверхности,
адсорбат при столкновении с частицами падающего потока в большей мере
77
склонен к высоким уровням энергопередачи, образованию нитридов и внедрению
в поверхность.
5. По результатам анализа многочисленных исследований азотирования в
тлеющем разряде в области влияния технологических параметров и режимов
обработки на качество и состав азотированного слоя, был выбран состав
насыщающего газа: N – 20%, Ar - 75%, C2H2 - 5%, а также диапазон рабочего
давления для азотирования при температуре T = 550°С равный Р = 10 – 200 Па.
6. Анализ процессов взаимодействия плазмы с поверхностью показывает, что
для увеличения эффективности ионного азотирования необходимо увеличить
плотность ионного потока. Это возможно либо при использовании специальных
источников ионов (в этом случае область рабочего давления составляет не более
1 Па), либо используя магнитное поле при азотировании в тлеющем разряде для
увеличения степени ионизации вблизи обрабатываемой поверхности.
78
2. ОБЪЕКТ, МЕТОДЫ И МЕТОДИКИ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ
ИССЛЕДОВАНИЙ
2.1 Объект исследований, механические свойства исследованных
материалов
Объектом исследований являются технологии ионно-плазменного

модифицирования поверхностей. В частности исследовалось влияние состава газов
и режимов ионного азотирования в тлеющем разряде с магнитным полем на
структуру, изменение фазового состава, сингонию и период кристаллической
решетки, остаточную деформацию и величину напряжений, область когерентного
рассеяния и средний размер кристаллитов, а также распределение микротвердости
по глубине упрочненного слоя и величину износа конструкционных и
инструментальных сталей.
В качестве материалов для исследования ионного азотирования были
выбраны конструкционные и инструментальные стали, составы которых
приведены в табл. 2.1.
Сталь 38Х2МЮА - хромалюминевая азотируемая сталь, применяется для
изготовления различных улучшаемых деталей: валов, зубчатых колес, шестерен.
Сталь 30ХГСА (ГОСТ 4543-71) - конструкционная легированная сталь,
применяется для изготовления различных улучшаемых деталей: валов, осей,
зубчатых колес, фланцев, корпусов обшивок, лопаток компрессорных машин,
рычагов, толкателей, ответственных сварных конструкций, работающих при
знакопеременных нагрузках.
Сталь 16Х3НВФМБ-Ш (ДИ39) - конструкционная легированная сталь,
применяется для изготовления нагруженных шестерней, валов, муфт, рессор,
работающих на износ в условиях контактных и изгибных нагрузок.
Сталь 13Х11Н2В2МФ-Ш (ЭИ-961Ш) (ГОСТ 5949-75) - конструкционная
легированная сталь, применяется для изготовления нагруженных шестерней,
валов, муфт, рессор, лопаток компрессорных машин работающих на износ в
условиях контактных и изгибных нагрузок.
79
Сталь ХВГ (ГОСТ 5950-2000) - инструментальная легированная сталь,
применяется для изготовления измерительного и режущего инструмента, для которого
повышенное коробление при закалке недопустимо, холодновысадочных матриц и
пуансонов, технологической оснастки.
Сталь 9ХС (ГОСТ 5950-2000) - инструментальная легированная сталь,
применяется для изготовления сверил, разверток, метчиков, плашек, фрез,
машинных штампелей. Ответственных деталей, материал которых должен
обладать повышенной износостойкостью, усталостной прочностью при изгибе,
кручении, контактном нагружении, а также упругими свойствами.
Сталь Х12 (ГОСТ 5950-2000) - инструментальная штамповая сталь,
применяется для изготовления холодных штампов высокой устойчивости против
истирания, не подвергающихся сильным ударам и толчкам; глазков для
калибрования пруткового металла под накатку резьбы, гибочных и формовочных
штампов, сложных секций кузовных штампов, матриц и пуансонов вырубных и
просечных штампов, работающих при повышенных температурах.
Сталь Р6М5 (ГОСТ 19265-73) - инструментальная быстрорежущая сталь,
применяется для изготовления всех видов режущего инструмента при обработке
углеродистых легированных конструкционных сталей; предпочтителен для
изготовления резьбонарезного инструмента, а также инструмента, работающего с
ударными нагрузками. А также молотовых штампов с массой падающих частей
свыше 3 т, прессовых штампов и штампов машинной скоростной штамповки при
горячем деформировании легких цветных сплавов, блоков матриц для вставок
горизонтально-ковочных машин.
Таблица 2.1 Химический состав сталей
Марка стали Содержание элементов, %
38Х2МЮА 0,35 - 0,42 С; 2 - 2,1 Cr; 0,15 - 0,25 Mo; 0,7 - 1,1 Al; 0,17 - 0,37 Si; 0,3
- 0,6 Mn; 0,25 Ni
30ХГСА 0,28 – 0,34 С; 0,9 – 1,2 Si; 0,8 – 1,1 Mn; до 0,3 Ni; до 0,025 S; до
0,025 P; 0.8 – 1,1 Cr; до 0,3 Cu
16Х3НВФМБ- 0,14 - 0,19 С; 0,6 - 0.9 Si; 0,4-0,7 Mn; 1,0-1,5 Ni; до 0.02 S; 0.03 P; 2,6-3,0
Ш (ДИ39) Cr; 0,4-0,6 Mo; 1,0 - 1,4 W; 0,35-0,55 V; 0,1 - 0,2 Nb; 0,01 - 0,05 Ce.
80
13Х11Н2В2МФ 0,1-0,16 С; 0,6 Si; 0,6 Mn; 1,5-1,8 Ni; до 0,025 S; до 0,03 P; 10,5-12,0
-Ш (ЭИ-961Ш) Cr; 0,35-0,5 Mo; 1,6-2,0 W; 0,18-0,3 V; до 0.3 Cu.
ХВГ 0,9 – 1,05 С; 0,1 – 0,4 Si; 0,8 – 1,1 Mn; до 0,35 Ni; до 0,03 S; до 0,03
P; 0,9 – 1,2 Cr; до 0,3 Mo; 1,2 – 1,6 W; до 0,3 Cu
9ХС 0,85 – 0,95 С; 1,2 – 1,6 Si; 0,3 – 0,6 Mn; до 0,35 Ni; до 0,03 S; до 0,03 P;
0,95 – 1,25 Cr; до 0,3 Mo; до 0,2 W; до 0,15 V; до 0,03 Ti; до 0,3 Cu
Х12 2 – 2,2 С; 0,1 – 0,4 Si; 0,15 – 0,45 Mn; до 0,35 Ni; до 0,03 S; до 0,03 P;
11,5 - 13 Cr; до 0,2 Mo; до 0,2 W; до 0,15 V; до 0,03 Ti; до 0,3 Cu
Р6М5 0,82 – 0,9 С; 0,5 Si; до 0,5 Mn; до 0,4 Ni; до 0,025 S; до 0,03 P; 3,8 –
4,4 Cr; 4,8 – 5,3 Mo; 5,5 – 6,5 W; 1,7 – 2,1 V; до 0,5 Cо
Все образцы из вышеперечисленных марок сталей прошли предварительную

термическую обработку – улучшение, состоящую из закалки (840 - 1200°С в
зависимости от марки стали) и высокотемпературного (высокого) отпуска (570 -
720°С). Высокий отпуск создает наилучшее соотношение прочности и вязкости стали.
Закалка с высоким отпуском (по сравнению с нормализацией или отжигом)
весьма сильно одновременно повышает временное сопротивление, предел
текучести, относительное сужение и особенно ударную вязкость. Улучшение
значительно повышает конструктивную прочность стали, уменьшая
чувствительность к концентраторам напряжений, увеличивая работу развития
трещин и снижая температуру порога хладноломкости. Однако износостойкость
улучшенной стали вследствие ее пониженной твердости не высокая.
2.2 Описание модернизированной установки ЭЛУ–5М для ионного

азотирования в тлеющем разряде
Электронно–лучевая установка (ЭЛУ–5) была переоборудована в установку для

проведения процессов термической и химико-термической обработок в плазме
тлеющего разряда низкого давления (рис. 2.1)
Модернизированная установка ЭЛУ–5М позволила проводить ионное
азотирование в тлеющем разряде с ПК и с МП при давлениях Р=1 – 200 Па,
напряжении U до 1000 В и током I до 40 А.
81
в)
а б
Рисунок 2.1. Модернизированная установка ЭЛУ–5М: а – общий вид
установки; б – диэлектрический стол.
Переоборудование включает в себя:

– установку натекателя, позволяющего производить дозированную подачу
рабочего газа в вакуумную камеру;
– изготовление и установку анода для реализации обработки тлеющим
разрядом с ПК и МП;
– установку и подключение импульсного источника питания с напряжением
до 1 кВ и силой тока до 40 А;
– изготовление и установку специальных вводов для исключения попадания
вакуумной камеры под потенциал катода;
– разработку, изготовление и установку специальных диэлектрических
экранов, необходимых для того, чтобы изолировать вводы электродов в вакуумной
камере и устранить зажигание разряда на ввод катода в вакуумную камеру;
– разработку и изготовление приспособлений, позволяющих размещать
магнитную систему и обрабатываемую деталь в вакуумной камере;
– оснащение вакуумной камеры (водоохлаждаемым) столом
(приспособлением), позволяющим размещать обрабатываемую деталь, экран, а
также подвод электропитания;
– разработка и подключение дистанционного пульта управления источником
питания, обеспечивающего плавную регулировку и контроль параметров разряда;
82
– установку и подключение термопары вместе с системой ввода–вывода
аналоговых и дискретных сигналов RealLab, а также инфракрасного термометра
«Термикс» для контроля и замера температуры.
Схема установки для химико–термической обработки в тлеющем разряде с
магнитным полем на базе установки ЭЛУ–5М представлена на рис. 2.2.
Рисунок 2.2. Схема проведения экспериментов 1 – ИП тлеющего разряда, 2 –

катод, 3 – магнетрон, 4 – анод, 5 – вакуумная камера, 6 –тороидальная область
яркого свечения, 7 – силовые линии МП, 8 – зонд, 9 – ИП зонда, 10 – образец вне
зоны действия МП, 11 – образец под действием МП.
Измерение напряжения горения разряда и тока разряда осуществлялось

цифровым мультиметром MY – 68.
Контроль и снятие температурных зависимостей осуществлялось двумя
способами, с помощью “хромель–капелевой” термопары и оптическим пирометром.
При этом аналоговый сигнал с термопары поступал в систему ввода–вывода
аналоговых и дискретных сигналов серии RealLab (см. рис. 2.2).
В дальнейшем вся информация, поступающая с системы, обрабатывается на
компьютере с помощью программного обеспечения RLDataView. Затем данные
можно экспортировать в текстовый формат, что позволяет легко использовать
программы MatLab, MathCad и Excel для их математической обработки.
83
Импульсный источник питания тлеющего разряда
На рис. 2.3 приведена блок–схема источника питания тлеющего разряда.
Входная цепь коммутирует 3–фазное напряжение на блок выпрямителя источника,
запитывая блоки управления и систему охлаждения. Включение проходит в 2 этапа
для плавной зарядки входной емкости инвертора через сетевой фильтр и
выпрямитель. Инвертор представляет собой транзисторный мост, преобразующий
постоянное напряжение на входных емкостях в переменное синусоидальное. Это
напряжение передается через резонансную цепь на повышающий трансформатор,
который также выполняет функцию гальванической развязки между входом и
выходом источника. Выходной ключ передает энергию в выходную цепь, и служит
для защиты источника питания от короткого замыкания, а также для реализации
импульсного режима работы. Выходная цепь состоит из 2–х дросселей,
переключение между которыми позволяет менять выходную индуктивность, тем
самым адаптируя источник под нужный режим работы (постоянный или
импульсный).
~ 380
Выпрямите
Выходной
ВЧ транс-
Инвертор
Выходная
форматор
Тлеющий
Входная
разряд
цепь
ключ
В
цепь
ль
Плата управления
Плата контроллера
ВЧ трансформатор
Рис. 2.3. Блок-схема источника питания

магнетрона.
84
Работа всех блоков контролируется платой управления, от которой подаются
задающие импульсы на инвертор (с максимальной частотой равной частоте
резонансного контура) и выходной ключ. Кроме того, эта плата принимает и
преобразует сигнал обратной связи для осуществления стабилизации по току и
напряжению и сигнал защиты с выходного ключа для приостановки работы инвертора
и последующим выведением на панель индикации через плату контроллера.
Плата контроллера выдает сигналы для платы управления, обеспечивая
интерактивное управление источником при помощи пульта (повышение выходных
параметров, переключение режимов работы) и осуществляет индикацию. В
табл. 2.2 приведены технические параметры и характеристики источника питания
тлеющего разряда.
Таблица 2.2. Технические параметры и характеристики источника питания.
Параметр Значение
Входное напряжение 3–фазная сеть 380/220 В, 50 Гц
Максимальная мощность 40 кВт
Диапазон регулирования 65 ÷ 1000 В
выходного напряжения
Диапазон регулирования 1 ÷ 40 А
выходного тока
Амплитуда поджигающего 900 В
импульса
Постоянное Импульсно–периодическое с
Тип выходного напряжения регулируемой частотой и
скважностью
Диапазон регулирования – 5 – 50 кГц с шагом
частоты импульсов 1 кГц
Коэффициент заполнения – 10 – 80%
Режимы стабилизации Напряжения, тока
Точность стабилизации 3%
Время срабатывания Не более 0,3 мкс
дугозащиты
85
2.3 Методы структурных исследований
2.3.1. Метод оптической металлографии

Количественный и качественный анализ структуры сплавов проводили на
металлографическом микроскопе Zeiss Axiovert.
Исследуемую поверхность образцов подвергали механической шлифовке и
полировке на алмазных пастах с дисперсностью абразива от 14/7 до 1/0 мкм. Для
создания оптического контраста образцы химически травили ниталем [222] 5 мл
концентрированной азотной кислоты на 100 мл спирта и раствором пикриновой
кислоты 4 г. пикриновой кислоты на 100 мл спирта, в течение 20-30 с.
Размеры структурных элементов оценивали по методу случайных секущих
[102]. Средний размер зерна (d) определяли в соответствии с ГОСТ 21.073.3–75:
_
l
di  ,
m (2.1)
где l – длина секущей, мкм;
m – число точек пересечения секущей с границами зерен.
Абсолютную статистическую погрешность значений определяли как
  t    а ,
_
(2.2)
 
  а  – среднее квадратичное отклонение арифметической выборки;

_
где
 
t – нормированное отклонение, связанное с доверительной вероятностью Р.
n
a i
 а   К 1
 a 02 ,
n (2.3)
где n – число выборок;
ai – средние арифметические значения в каждой выборке;
a0– средняя арифметическая всех выборочных средних;
К– поправочный коэффициент, зависящий от объема выборки.
Удельный объем структурных составляющих ΣV рассчитывали по формуле
в соответствии с ГОСТ 21.073.3–75:
86
L
V  100%, (2.4)
L
где ΣL – общая длина секущей, мкм;
L – длина секущей, проходящей через данную структурную составляющую, мкм.
Определение характеристик микроструктуры проводили с вероятностью Р =
0.9, при этом абсолютная ошибка измерений не превышала 5 %.
2.3.2. Метод растровой электронной микроскопии

С помощью растрового электронного микроскопа JSM–6390
анализировали распределение нитридных включений в диффузионном слое,
оценивали однородность сформированной структуры, толщину нитридной зоны,
а также исследовали рельеф поверхности после ионного азотирования в
тлеющем разряде с полым катодом и магнитным полем.
Разрешающая способность РЭМ зависит от электронной яркости пушки и в
приборах рассматриваемого класса составляет 5–10 нм. Ускоряющее напряжение
регулируется в пределах от 1 до 30–50 кВ.
Высокая разрешающая способность РЭМ реализуется при формировании
изображения с использованием вторичных электронов. Она находится в обратной
зависимости от диаметра зоны, из которой эти электроны эмитируются. Размер
зоны зависит от диаметра зонда, свойств объекта, скорости электронов первичного
пучка и т. д. При большой глубине проникновения первичных электронов
вторичные процессы, развивающиеся во всех направлениях, увеличивают диаметр
зоны, и разрешающая способность падает. Величина сигнала зависит от
топографии образца, наличия локальных электрических и магнитных микрополей,
величины коэффициента вторичной электронной эмиссии, который, в свою
очередь, зависит от химического состава образца в данной точке.
Отражённые электроны улавливаются полупроводниковым детектором с p–n
– переходом. Контраст изображения обусловлен зависимостью коэффициента
отражения от угла падения первичного пучка в данной точке объекта и от атомного
номера вещества. Разрешение изображения, получаемого в "отражённых
87
электронах", ниже, чем получаемого с помощью вторичных электронов (иногда на
порядок величины). Из–за прямолинейности полёта электронов информация об
отдельных участках объекта, от которых прямого пути к детектору нет, теряется
(возникают тени). Для устранения потерь информации, а также для формирования
изображения рельефа образца, на которое не влияет его элементный состав, и
наоборот, для формирования картины распределения химических элементов в
объекте, на которую не влияет его рельеф, в РЭМ применяется детекторная система,
состоящая из нескольких размещённых вокруг объекта детекторов, сигналы которых
вычитаются один из другого или суммируются, а результирующий сигнал после
усиления подаётся на модулятор электронно–лучевой трубки.
2.3.3. Метод рентгеноструктурного анализа

Используемый в настоящей работе мет�

Язык

Исследование структурно-фазовых превращений

Загружено:

Сведения о документе

Авторское право

Поделиться этим документом

Поделиться или встроить документ

Параметры публикации

Этот документ был вам полезен?

Это неприемлемый материал?

Авторское право:

Исследование структурно-фазовых превращений

Загружено:

Авторское право:

ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ

УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ

РАМАЗАНОВ КАМИЛЬ НУРУЛЛАЕВИЧ

ИССЛЕДОВАНИЕ СТРУКТУРНО-ФАЗОВЫХ ПРЕВРАЩЕНИЙ И СВОЙСТВ

Специальность 05.16.01 “Металловедение и термическая

Диссертация на соискание ученой степени

ВИА – высокотемпературное ионное азотирование

Ионное азотирование является одним из наиболее распространенных способов

Рисунок 1.2. Диаграмма состояния Fe-N-С при различных температурах.

Ионное азотирование на основе

Вид разряда Ионные источники

Несамостоятельный сильноточный разряд

Дуговой Полярность деталь-катод

Тлеющий Полярность деталь-анод

Водородсодержащие среды Тлеющий разряд с полым катодом

Тлеющий разряд с магнитным полем

Смеси газовых компонентов Тлеющий разряд с косвенным нагревом

Карбораны Локальное ионное азотирование

Рис 1.3. Классификация процессов азотирования металлов с применением

Рисунок 1.4 Процессы на поверхности при ионном азотировании [175]:

Ускоренные ионы в области падения катодного потенциала, с относительно

По мнению автора, при соударении с поверхностью положительный ион

Рисунок 1.6 Энергетическая модель процесса азотирования в тлеющем разряде [210]

Ведущая роль в энергетической модели отводится адсорбционным

Сталь перлитного класса 38ХМЮА (0,35-0,42%С, 1,35-1,65%Cr, 0,15-

Рисунок 1.7 - Влияние температуры и продолжительности азотирования на

Рисунок 1.8 - Изменение размера d, плотности распределения нитридов n в

В работе [110] образцы из стали 16Х2Н3МФБАЮ-Ш азотировали по

Рисунок 1.9 - Изменение микротвердости HV по толщине h азотированного

Рисунок 1.10 - Зависимость микротвердости HV (1) и плотности

1.3 Особенности структурно-фазовых превращений и свойств

Развитию областей применения азотирования для поверхностного упрочнения

1.4 Особенности структурно-фазовых превращений и свойств

Процесс высокотемпературного азотирования осуществляется в

Рисунок 1.11 Диаграммы состояния Fe-C и Fe-N (а) и схемы

Нагрев до температур светлой закалки (790 – 950ºС) от температуры

Анализ методов ионного азотирования показал, что существует целый ряд

Рисунок 1.12. Диаграмма давление  плотность потока:

Область 1  область традиционного газового азотирования, характеризуемая

Экстремальную зависимость толщины диффузионного слоя от общего

Рисунок 1.14 - Влияние давления азота на толщину диффузионной зоны

Рисунок 1.15 - Влияние газовой среды на толщину диффузионного слоя после

Согласно [203] азотирование титановых сплавов традиционными методами

Кроме того, повышение давления рабочей атмосферы уменьшает эффект

1.6 Анализ методов ускорения процесса ионного азотирования в

Проведем анализ основных методов ускорения процесса ионного

Рисунок 1.17 - Схема возникновения эффекта полого катода (а) и изменение

В работах [1,19] было предложено использовать эффект полого катода для

Рисунок 1.18 - Влияние давления P и напряжения U на положение тлеющего

Рисунок 1.19 - Зависимость толщины азотированного слоя от плотности тока

Из рис. 1.19 следует, что в условиях проявления ЭПК значение h оказывается

Рисунок 1.20 - Распределение твердости по глубине азотированного слоя

Рисунок 1.21 - Структура образцов из стали 38ХМЮА, обработанных

Учеными из Томского института сильноточной электроники СО РАН были

Рисунок 1.22 - Структура поверхности разрушения титана марки ВТ1-0, до

Рассмотрим ионное азотирование через нанооксидный барьер:

Рассмотрим азотирование в ультразвуковом поле:

Авторы утверждают, что ускорение азотирования сталей связанно с

1.7 Анализ методов локального модифицирования поверхностного слоя

Известно, что износ и повреждение поверхности материала снижают

Рисунок 1.25 - Схема локального азотирования: 1 – высоковольтный ввод;

1.8 Принципы управления диффузионным насыщением при

Ионно-плазменное структурно-фазовое модифицирование по сравнению с

Объектом исследований являются технологии ионно-плазменного

Марка стали Содержание элементов, %

Все образцы из вышеперечисленных марок сталей прошли предварительную