Вы находитесь на странице: 1из 7

АЗОТИРОВАНИЕ СТАЛЕЙ В ГАЗОВОМ ДУГОВОМ РАЗРЯДЕ НИЗКОГО

ДАВЛЕНИЯ
А.А. Андреев, В.М. Шулаев, Л.П. Саблев
Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”
Украина
Поступила в редакцию 01.08.2006
Исследованы физико-механические характеристики слоёв, азотированных в газовом дуговом
разряде в среде азота при давлении 0,665 Па. Показано, что этот процесс зависит только от
концентрации атомарного азота и температуры подложки, то есть азотирование имеет место
при бомбардировке как ионами, так и электронами. Скорость азотирования одинакова в обоих
случаях. Бомбардировка ионами или электронами является только удобным инструментом
для обеспечения необходимой температуры подложки. Чистота обработки поверхности после
азотирования при электронной бомбардировке не изменяется.
ВВЕДЕНИЕ необходимой температуры и в «плавающем»
Теоретические положения процесса азотиро- (отрицательном) потенциале, т.е. при отсутст-
вания к настоящему времени характеризу- вии распыления поверхности, поскольку ве-
ются двумя подходами. Первый из них сфор- личина плавающего потенциала значительно
мирован как учеными школы Лахтина Ю.М., ниже порога распыления железа [4]. Однако
так и учеными немецкой школы [1, 2]. Другой при этом имеет место бомбардировка ионами
принцип сформулирован Б.Н. Арзамасовым азота.
с сотрудниками [3]. В 1974 г. появилась статья [5], автор кото-
Обе модели основаны на движении поло- рой показал, что для процесса азотирования
жительных ионов от анода к катоду. И в пер- железа и стали в тлеющем разряде сущест-
вой, и во второй модели образующим началом венны только атомы азота и температура под-
является бомбардировка поверхности метал- ложки. Но эта статья осталась незамеченной.
ла положительными ионами азота. Это пред- В литературе до сих пор продолжают назы-
полагает только один вариант полярности: вать азотирование в тлеющем разряде “ион-
подложка может иметь только отрицательный ным”, а в зарубежной – “плазменным”, хотя
потенциал. последнее определение нельзя назвать одно-
Как бы существенно не отличались эти мо- значным, так как плазма при азотировании
дели, в них есть одно общее: они обе основа- может быть создана различными разрядами:
ны на движении положительных ионов в тлеющим, высокочастотным, дуговым с нака-
естественном направлении от анода к катоду. ливаемым катодом, дуговым с холодным ка-
Таким образом, и в первой, и во второй моде- тодом.
ли образующим началом является бомбарди- Позже, в 1982 г., появились сведения об
ровка поверхности металла положительными азотировании стали в тлеющем разряде в ат-
ионами активного компонента. Это предпола- мосфере аммиака (который легко разлагается
гает только один вариант полярности: деталь в разряде с образованием атомарного азота)
может служить только катодом. при положительном потенциале на образцах
При ионной бомбардировке происходит [10]. Однако эти исследования не получили
интенсивное распыление поверхности под- дальнейшего развития.
ложки, что часто требует последующей меха- Целью данной работы является исследо-
нической обработки (шлифования, полиро- вание физико-механических характеристик
вания). азотированных слоёв, полученных при поло-
Исследования азотирования в газовом ду- жительных и отрицательных потенциалах
говом разряде низкого давления (дуговой раз- подложки в газовом дуговом разряде низкого
ряд с накаливаемым катодом в качестве эмит- давления, в частности, для исключения рас-
тера электронов) показали, что азотирование пыления поверхности подложки.
подложек из армко-железа, хромистых сталей МЕТОДИКИ
и титана в смеси Ar-N, а также стали Р6М5 в Исследования проводили на установке “Бу-
азоте происходит в условиях поддержания их
лат-6”, в которой один из испарителей был

ФІП ФИП PSE, 2006, т. 4, № 3 – 4, vol. 4, No. 3 – 4 191


АЗОТИРОВАНИЕ СТАЛЕЙ В ГАЗОВОМ ДУГОВОМ РАЗРЯДЕ НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ

закрыт экраном, непроницаемым для частиц


испаренного металла и пропускающим элект-
роны и частицы газа, т.е. созданы условия для
осуществления двухступенчатого разряда.
Это разряд, в котором положительный столб
дуги разделён на две ступени, первая из ко-
торых представляет собой вакуумную дугу с
холодным катодом, а вторая ступень – по-
ложительный столб дугового разряда в плаз-
ме рабочего газа низкого давления [6, 7]. Га-
зовая плазма этого разряда может быть испо-
льзована для целого ряда вакуумно-плазмен-
ных процессов, таких как: вакуумный про-
грев изделий электронами, азотирование,
плазмохимическая обработка, ионная очист-
ка поверхностей, предшествующая процессу
нанесения покрытия, и т.п. Двухступенчатый
вакуумно-дуговой разряд существует в диа-
пазоне давлений азота 0,01 ÷ 0,1 Па, т.е. при
давлениях на 2 ÷ 3 порядка более низких, чем
давление при тлеющем разряде.
Процессы азотирования изучались при
использовании режущих пластин из стали
Р6М5 (0,80 – 0,88 С; 3,8 – 4,4 Сr; 5,5 – 6,5 W; Рис. 1. Зависимость толщины и микротвёрдости азо-
1,7 – 2,1 V; 5,0 – 5,5 Mo) после стандартной тированного слоя Р6М5 от температуры при различ-
термообработки (HRC 63-65). Глубина азо- ных давлениях азота; время азотирования 40 мин.
тирования и фазовый состав определялись по
изменению микротвёрдости (прибор ПМТ-3,
нагрузка 50 и 100 г) и послойным рентгено-
графированием (ДРОН-3, излучение линий
NiKα и CuKα). Температуру подложки регули-
ровали электронагревателем, а также изме-
нением величины её потенциала.
РЕЗУЛЬТАТЫ ЭКСПЕРИМЕНТОВ
Проведены исследования процессов азотиро-
вания в газовой части двухступенчатого ваку-
умно-дугового разряда [8 – 10].
Эксперименты по определению зависимо-
сти толщины и микротвёрдости азотирован-
ного слоя от температуры показали следую-
щие результаты (рис. 1).
Напряжение на образцах было отрицатель- Рис. 2. Распределение микротвёрдости (H) по глубине
ным, и его величина регулировалась при под- (h) стали Р6М5 при различных температурах:
держании заданной температуры в пределах t = 40 мин; РN2 = 5⋅10–2 Па.
150 ÷ 200 В. Из графиков видно, что при про- чем азотированных при более низких темпе-
чих равных условиях с увеличением давления ратурах, за счёт распада ε-фазы, характеризу-
азота скорость азотирования снижается, а ющейся более высокой твёрдостью, чем твёр-
микротвёрдость возрастает. дый раствор азота в железе. Соответствую-
Характер распределения микротвёрдоcти щие изменения фазового состава поверхнос-
по толщине в зависимости от температуры ти стали приведены на рис. 3 и 4.
азотирования показан на рис. 2. Сравнительный анализ дифрактограмм
Видно, что микротвёрдость верхних слоёв, показывает, что азотирование при РN = 8⋅10–2 Па
полученных при температуре 570 °С, меньше,
192 ФІП ФИП PSE, 2006, т. 4, № 3 – 4, vol. 4, No. 3 – 4
А.А. АНДРЕЕВ, В.М. ШУЛАЕВ, Л.П. САБЛЕВ

По мере стравливания слоёв остаются низ-


шие нитриды и твёрдый раствор с различной
концентрацией азота. Дифракционный мак-
симум (110) смещается в сторону больших уг-
лов отражения (2θ) и приближается к значе-
нию, соответствующему исходному состоя-
нию Р6М5 на глубине ∼40 мкм.

Рис. 3. Фрагменты дифрактограмм стали Р6М5, азоти-


рованной при различных температурах и РN= 5⋅10–2 Па:
1 – исходное состояние; 2 – 8 – обработка при темпе-
ратурах 350÷570°С; 2θ – углы отражения рентгеновских
лучей.
и температуре 350 °С в течение 40 мин при-
водит к заметным изменениям фазового и Рис. 4. Фрагменты дифрактограмм, снятых для азоти-
структурного состояний. Смещение диф- рованной стали Р6М5 на различной глубине: Нµ – мик-
ракционного максимума (110) α-Fe в область ротвёрдость; hi – толщина стравленного с поверхнос-
малых углов отражения (θ) свидетельствует ти cлоя.
об образовании твёрдого раствора азота в же- Временная зависимость изменения глуби-
лезе и появлении следов ε-фазы (Fe2-3N). Тен- ны слоя при давлении азота РN = 8⋅10-2 Па и
денция усиливается с повышением темпера- температуре 500 °С обнаруживает особен-
туры азотирования. Для образцов, азотиро- ности динамики этого процесса (рис. 5).
ванных в интервале температур 450 ÷ 500 °С Они состоят в том, что за первые 15 ÷
на глубине проникновения рентгеновских 20 мин достигаются максимальные значения
лучей, обнаруживается слой ε-фазы. При бо- микротвёрдости (∼12 ГПа) на глубине до 20
лее высоких температурах азотирования (550 ÷ 30 мкм с постепенным их уменьшением до
÷ 570 °С) нитридные фазы на поверхности исходной величины на глубине ∼70 мкм. В
не создаются в заметных количествах, и уве- дальнейшем с увеличением времени до
личение микротвёрдости обусловлено глав- 300 мин продвижение фронта насыщения
ным образом образованием твёрдого раствора азотом (увеличение микротвёрдости) в глу-
азота в железе. бину замедляется. При этом в интервале глу-
Послойный рентгеновский анализ даёт ти- бины 10 ÷ 50 мкм значение микротвёрдости
пичную картину изменения фазового состава ∼11,5 ГПа соответствует твёрдому раствору.
по глубине (рис. 4). В приповерхностной зоне Скорость азотирования на первоначальных
на глубине проникновения рентгеновских этапах составляет около 1 мкм/мин.
лучей (∼3 мкм) существует азотированный Сравнение характера распределения мик-
слой, состоящий из ε-(Fe2-3N)- и γ′-(Fe4N)-фаз. ротвёрдости по глубине для случаев азотиро-
ФІП ФИП PSE, 2006, т. 4, № 3 – 4, vol. 4, No. 3 – 4 193
АЗОТИРОВАНИЕ СТАЛЕЙ В ГАЗОВОМ ДУГОВОМ РАЗРЯДЕ НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ

нитридов в газовой среде, так как поверх-


ность, бомбардируемая электронами, не рас-
пыляется. Нет распыления подложки и при
плавающем потенциале. Совпадение данных
по азотированию при отрицательном и поло-
жительном потенциале на образце свидете-
льствует об отсутствии заметного вклада мо-
лекулярных и атомарных ионов в процесс азо-
тирования. Поэтому логично предположить,
что высокой активностью при насыщении
поверхности образцов азотом обладают ней-
тральные атомы.
Основными компонентами газового ваку-
Рис. 5. Распределение микротвёрдости по глубине умного дугового разряда являются ионы мо-
азотированного слоя в зависимости от времени обра- лекулярного азота N2+, нейтральные атомы
ботки при РN = 5⋅10–2 Па; Т = 500 °С; 10′ – 300′ – время азота N и возбужденные молекулы азота в
обработки в минутах.
различных метастабильных состояниях. Воз-
вания в режимах с положительным и отрица- бужденные молекулы азота при столкновении
тельным потенциалами на образцах свиде- с поверхностью образца теряют энергию воз-
тельствует об их идентичности (рис. 6). буждения (происходит дезактивация метаста-
бильного состояния), и в процессе азотирова-
ния эти молекулы не участвуют. Ионы моле-
кулярного азота N2+ обладают значительной
кинетической энергией в результате ускоре-
ния в электрическом поле разрядного проме-
жутка и принимают участие в нагреве под-
ложки и распылении её поверхности, увели-
чивая шероховатость.
Для того, чтобы переход молекул азота был
энергетически выгоден в диссоциативное
хемосорбированное состояние, необходимо
обеспечить выполнение соотношения:
Рис. 6. Распределение микротвёрдости по глубине азо- 1
тированного слоя в зависимости от времени и знака Qc > E d , где Qc – теплота хемосорбции;
потенциалов на образцах при РN = 5⋅10-2 Па; 500 °С; 2
(+) и (–) – положительное или отрицательное значение Ed – энергия диссоциации [12].
потенциала подложки в процессе обработки. Энергия диссоциации N2 на два атома азо-
та Ed = 941,6 кДж/моль; теплота хемосор-
ОБСУЖДЕНИЕ РЕЗУЛЬТАТОВ бции азота на железе Qc = 293 кДж/моль. Эта
Возможность азотирования в газовой части величина меньше половины энергии диссо-
двухступенчатого вакуумно-дугового разряда циации. Поэтому прямая реакция перехода
при отрицательном или положительном по- молекул азота после физической адсорбции
тенциале, приложенного к образцу, указывает с последующей диссоциацией на атомы, кото-
на существенное отличие от способа ионного рые затем хемосорбируются, невозможна.
азотирования в тлеющем разряде. Ключевая Особенности состояния газа в межэлект-
роль здесь, по-видимому, принадлежит ра- родном пространстве вакуумной дуги (на-
бочему газу азоту, который находится в воз- пример, газометаллическая плазма при испа-
буждённом состоянии. Сведения о состоянии рении титана) заключаются в том, что в диа-
азота в межэлектродной плазме вакуумной пазоне давлений 0,01 ÷ 1 Па концентрации
дуги при давлении 0,1 ÷ 1 Па были получены молекул азота и молекулярных ионов N2+
ранее [11]. близки по величине. Примерно такая же кон-
Факт азотирования при положительной центрация молекул азота в возбуждённом
полярности отрицает механизм образования преддиссоциативном состоянии А3Σи+, сече-

194 ФІП ФИП PSE, 2006, т. 4, № 3 – 4, vol. 4, No. 3 – 4


А.А. АНДРЕЕВ, В.М. ШУЛАЕВ, Л.П. САБЛЕВ

ние диссоциации которых намного больше,


чем сечение диссоциации основного состоя-
ния молекулы N2. При этом концентрация
атомарного азота на порядок ниже, однако её,
видимо, достаточно для обеспечения процес-
са азотирования ([11].
Соединения Fe-N обладают малой термо-
динамической прочностью. Например, энер-
гия образования молекулы Fe2N Gf = 21 кДж/
моль, температура распада 500 °С; для срав-
нения у молекулы CrN со-ответственно ∆Gf
= 94,3 кДж/моль и 1600 °С, а у молекулы
Mo2N – ∆Gf = 45,7 кДж/моль и 800 °С. По-
этому во время бомбардировки ускоренными
частицами одновременно c образованием
соединений Fe-N происходит их диссоциа-
ция, и, таким образом, усиливается генерация
атомарного азота. На поверхности подложки
образуется слой нитридов железа, соотноше-
ние ε- и γ′-фаз в котором зависит, в частности,
от парциального давления азота, температуры
Рис. 7. Диаграмма состояния Fe-N.
подложки и интенсивности бомбардировки
(плотности и энергии потока частиц). С уве- положительном потенциале на образце сви-
личением температуры подложки процесс детельствует об отсутствии заметного вклада
диссоциации соединений Fe-N усиливается, молекулярных ионов в процесс азотирования.
растёт доля γ′-фазы, которая, как и ε-фаза, Поэтому логично предположить, что высокой
исчезает по мере дальнейшего повышения активностью при насыщении поверхности
температуры. образцов азотом обладают только нейтраль-
На рис. 7 приведена диаграмма состояния ные атомы. В плазме вакуумно-дугового раз-
Fe-N, из которой, видно, что ε-фаза распада- ряда при давлении азотирования концентра-
ется при температуре около 500 °С, γ′-фаза – ция атомарного азота превышает 1010 см-3.
около 700 °С. Часть потока нейтральных атомов азота пос-
Главным достоинством азотирования при ле столкновения с поверхностью изделия пе-
положительном потенциале на подложке яв- реходит в хемосорбированное состояние. На-
ляется сохранение исходной чистоты её по- ходясь в этом состоянии, они могут перейти
верхности (поскольку электроны не распыля- в объем изделия либо мигрировать по поверх-
ют поверхность), в то время как при отрица- ности. Но если атом азота, мигрирующий по
тельном потенциале шероховатость поверх- поверхности, столкнется с другим хемосор-
ности существенно увеличивается из-за её бированным атомом, то энергетически выгод-
распыления ионной бомбардировкой. Поэто- на их ассоциация в молекулу и последующая
му после ионного азотирования требуется до- десорбция обратно в газовую фазу. Следова-
полнительная механическая обработка рабо- тельно, только та часть атомов азота, которая
чих поверхностей изделий. При электронном перешла в объем изделия, вносит свой вклад
азотировании шероховатость поверхностей в азотирование. Из полученных результатов
не изменяется, что, например, даёт возмож- видно, что газовый вакуумно-дуговой разряд
ность наносить затем упрочняющие покры- обеспечивает уже при малых давлениях чис-
тия в одной и той же вакуумной установке того азота (меньше 10-2 Па) достаточные кон-
единым технологическим процессом. центрации нейтральных атомов для протека-
Ионы молекулярного азота N2+ обладают ния интенсивного процесса азотирования.
значительной кинетической энергией в резу- Таким образом, согласно предлагаемой
льтате ускорения в электрическом поле раз- модели для азотирования в вакууме достаточ-
рядного промежутка. Однако совпадение дан- но в плазменном объёме присутствия атомар-
ных по азотированию при отрицательном и ного азота в необходимой концентрации и не-
ФІП ФИП PSE, 2006, т. 4, № 3 – 4, vol. 4, No. 3 – 4 195
АЗОТИРОВАНИЕ СТАЛЕЙ В ГАЗОВОМ ДУГОВОМ РАЗРЯДЕ НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ

обходимой температуры образца. Бомбарди- щих инструментов оптимальная толщина азо-


ровка ионами или электронами служит толь- тированного слоя может быть увеличена по
ко удобным инструментом для обеспечения сравнению с ионным азотированием в тлею-
необходимой температуры изделий. щем разряде, при котором оптимальная тол-
Основное отличие между процессами при щина составляет менее 30 мкм из-за большо-
положительном и отрицательном потенциа- го содержания ε-фазы.
лах заключается в том, что при ионной бом-
бардировке растравливаются образующиеся ВЫВОДЫ
на поверхности подложки различные плёнки, Предложена новая модель азотирования же-
в частности, из окислов хрома, (образующих- леза, в соответствии с которой этот процесс
ся из-за присутствия загрязнений остаточным зависит только от концентрации атомарного
кислородом и парами воды), которые препят- азота и температуры подложки, то есть азоти-
ствуют азотированию, в то время как при рование имеет место при бомбардировке как
электронной бомбардировке этого не проис- ионами, так и электронами. Показано, что
ходит. Например, сталь 30Х13 (с содержани- скорость азотирования одинаковая в обоих
ем Cr 12 ÷ 14%) не азотируется при электрон- случаях. Бомбардировка ионами или элект-
ной бомбардировке в атмосфере азота, тогда ронами является только удобным инструмен-
как сталь Р6М5 (с содержанием Cr 3,8 ÷ 4.4%) том для обеспечения необходимой темпера-
в этих же условиях азотируется хорошо. В туры подложки. Чистота обработки поверх-
плазме двухступенчатого разряда сталь ности после азотирования не изменяется, что
30Х13 хорошо азотируется в азоте или смесях дает возможность дальнейшего нанесения
N2 + Ar при отрицательном напряжении на покрытий в той же вакуумной камере единым
подложке. Подачей знакопеременных потен- технологическим процессом.
циалов на подложку и регулированием амп- Азотированные слои, полученные с помо-
литуды и длительности их импульсов можно щью двухступенчатого разряда, имеют значи-
обеспечить оптимальную скорость азотиро- тельно меньшее содержание нитридов желе-
вания и удовлетворительную чистоту поверх- за, чем полученные ионным азотированием
ности изделий. в тлеющем разряде. Метод позволяет полу-
Испытания точением пластин Р6М5, азо- чить слои, в которых отсутствуют нитриды
тированных в условиях с положительным и железа, а имеется только твердый раствор
отрицательным потенциалами с различной азота в нём, что очень важно при последую-
толщиной азотированных слоёв, свидетельст- щем нанесении покрытий. Условия существо-
вуют о том, что максимальной стойкостью об- вания двухступенчатого вакуумно-дугового
ладают пластины с толщиной азотированного разряда в интервале давлений 0,01 ÷ 10 Па
слоя ∼40 мкм (рис. 8), что, видимо, связано с позволяют в широких пределах изменять па-
хрупким разрушением режущей кромки при раметры процесса азотирования и при опре-
её дальнейшем увеличении. делённых температурах, давлениях и соста-
вах технологичеcких газов получать азотиро-
ванные слои требуемого состава.
Разработаны процессы азотирования ста-
льных изделий в вакуумно-дуговом двухсту-
пенчатом разряде низкого давления как с
электронной, так и с ионной бомбардиров-
кой. Твердость азотированных слоёв состав-
ляет 11 ÷ 14 ГПа.
Результаты сравнительных испытаний ре-
жущих инструментов из стали Р6М5, азоти-
Рис. 8. Зависимость стойкости пластин из стали Р6М5, рованных в плазме двухступенчатого разряда,
азотированных в режимах с положительным (+) и от- а также изучение характера распределения
рицательным (–) потенциалами, от времени азотиро- микротвёрдости по глубине свидетельствует
вания (толщины слоя). о равновысокой эффективности процессов
Таким образом, при азотировании в двух- азотирования, проводимых как в режиме с
ступенчатом вакуумно-дуговом разряде режу- отрицательным ускоряющим потенциалом

196 ФІП ФИП PSE, 2006, т. 4, № 3 – 4, vol. 4, No. 3 – 4


А.А. АНДРЕЕВ, В.М. ШУЛАЕВ, Л.П. САБЛЕВ

(ионная бомбардировка), так и с положитель- 7. Саблев Л.П., Ломино Н.С., Ступак Р.И., Анд-
ным (электронная бомбардировка). Послед- реев А.А., Чикрыжов А.М. Двухступенчатый
вакуумно-дуговой разряд: характеристики и
ний вариант обработки обеспечивает в отли- методы создания//6-я Межд. конф. “Обору-
чие от ионного азотирования полное исклю- дование и технологии термической обработки
чение эффектов распыления, травления по- металлов и сплавов”, Харьков. – 2005. – Ч. 2.
верхности подложки, изменения её исходной – С.159–169.
шероховатости, что, в свою очередь, даёт воз- 8. Саблев Л.П., Андреев А.А., Шулаев В.М.
можность последующего нанесения покры- Плазменное азотирование режущего инстру-
мента из быстрорежущей стали Р6М5//Сб.
тий без дополнительной механической обра- докл. Межд. конф. “Оборудование и техноло-
ботки. гии термической обработки металлов и спла-
ЛИТЕРАТУРА вов”.– Харьков. – ННЦ ХФТИ. – 2002.–
1. Лахтин Ю.М., Коган Я.Д., Шпис Г., Бемер З. С.133-137.
Теория и технология азотирования: Моног- 9. Андреев А.А., Саблев Л.П., Шулаев В.М. О
рафия. – М.: “Металлургия”, 1991.– 320 с. роли атомарного азота при химико-термичес-
2. Edenhofer B. Physikalishe und metallkundliche кой обработке сталей в газовом вакуумно-ду-
Vorgange beim Nitriren in Plasma einer Glim- говом разряде//Сб. докл. Межд. конф. “Обо-
mentladung//Harterei-Technishe Mitteilungen. – рудование и технологии термической обра-
1974. – Vol. Bd. 29, № 2. – P. 105-112. ботки металлов и сплавов”, Харьков, ННЦ
3. Арзамасов Б.Н., Братухин А.Г., Елисеев Ю.С., ХФТИ. – 2005. – Ч. 1. – С. 246-250.
Панайоти Т.А. Ионная химико-термическая 10. Андреев А.А., Кунченко В.В., Саблев Л.П.,
обработка сплавов: Монография.– М.: Изд. Ступак Р.И., Шулаев В.М. Азотирование стал-
МГТУ им Баумана, 1999. – 400 с. и в плазме модифицированного вакуумно-
4. Крейндель Ю.Е., Пономарёва Л.П., Поно- дугового разряда//Технология машинострое-
марёв В.П., Слосман А.И. Об азотировании ния. – 2002. – № 5. – С. 27-30.
анода в тлеющем разряде//Электронная об- 11. Ломино Н.С., Овчаренко В.Д., Полякова Г.Н.,
работка материалов. – 1983. – № 4 (118). – Андреев А.А., Шулаев В.М. Межэлектродная
С. 32-34. плазма вакуумной дуги в атмосфере азота//
5. Tibbets G.G. Role of nitrogen atoms in “ion-nit- Сб. докл. Межд. конф. “Вакуумные технолог-
riging”//Journal of Applied Physics. – 1974. – ии и системы”, Харьков. – 2002. – С. 202-222.
Vol. 45, No. 11. – P. 5072-5073. 12. Коган В.С., Сокол А.А., Шулаев В.М. Влия-
6. Sablev L.P., Andreev A.A., Grigoriev S.N., Metel ние вакуумных условий на формирование
A.S. Method and device for treatment of products структуры конденсатов. I. Взаимодействие
in gas-discharge plasma. Pat. USA 5.503.725, активных газов с металлическими плёнками:
1996. Обзор.– М.: ЦНИИатоминформ, 1987.

АЗОТУВАННЯ СТАЛЕЙ У ГАЗОВОМУ NITRIDING OF THE STEELS IN GAS


ДУГОВОМУ РОЗРЯДІ НИЗЬКОГО ТИСКУ ARC LOW PRESSURE DISCHARGE
А.А. Андрєєв, В.М. Шулаєв, Л.П. Саблєв А.А. Andreev, V.М. Shulayev, L.P. Sablev
Досліджено фізико-механічні характеристики Physical and mechanical properties of the layers
шарів, азотованих у газовому дуговому розряді в nitrided in the gas arc discharge in the nitrogen
середовищі азоту при тиску 0,665 Па. Показано, atmosphere under the pressure of 0,665 Pa are
що цей процес залежить тільки від концентрації investigated. It is shown that this process depends
атомарного азоту і температури підкладки, тобто only on the concentration of atomic nitrogen and
азотування має місце при бомбардуванні як іона- temperature of the substrate, i.e., nitration takes place
ми, так і електронами. Швидкість азотування од- during the bombing with both ions and electrons.
накова в обох випадках. Бомбардування іонами The speed of nitration is identical in both cases. The
або електронами є тільки зручним інструментом ion or electron bombardment is just a convenient
для забезпечення необхідної температури під- tool for achievening the necessary temperature of
кладки. Чистота обробки поверхні після азоту- the substrate. The clearance of surface treatment after
вання при електронному бомбардуванні не змі- nitration during the electron bombardment does not
нюється. change.

ФІП ФИП PSE, 2006, т. 4, № 3 – 4, vol. 4, No. 3 – 4 197