Вы находитесь на странице: 1из 9

УДК 621.396.

662

СОВРЕМЕННЫЕ ОПОРНЫЕ ГЕНЕРАТОРЫ ДЛЯ СИСТЕМ СИНТЕЗА


ЧАСТОТ И СИГНАЛОВ

А.И. Поликаровских

В статье рассматриваются современные опорные генераторы для систем синтеза частот и сигналов. Приведена
классификация современных опорных генераторов. Проанализированы основные классификационные требования к
таким генераторам. Рассмотрены стандарты частоты и времени, прецизионные кварцевые генераторы, генераторы
СВЧ, опорные генераторы на микроэлектромеханических резонаторах (MEMS). Определены области применения того
или другого вида резонаторов в качестве опорных генераторов для систем синтеза частот и сигналов

Ключевые слова: автогенератор, опорные генераторы, атомные стандарты, кварцевые резонаторы, МЭМС

Постановка задачи тономных генераторов u (t ) характеризуются


Прямые цифровые синтезаторы частоты средней частотой, формой колебания на протя-
играют важную роль в современных радиоэлек- жении его периода и флюктуациями текущей
тронных устройствах. Это обеспечивается мно- фазы. Стабильность частот таких генераторов
гими значительными преимуществами: скорость оценивается сравнением их сигналов с колеба-
перестройки синтезатора с частоты на частоту, ниями вторичных стандартов частоты. Почти
высокая разрешающая способность, широкая гармоническое колебание опорного автогенера-
синтезированная полоса частот. Многоуровне- тора можно записать в виде
вые DDS в силу своей, технологичности, надеж-
ности, возможности микроминиатюризации и
u (t ) = u 0 [1 + µ (t )] sin[2πf 0 t + ε (t ) + ϕ 0 ] , (1)
уникальности технических характеристик (не- где U 0 и f 0 - амплитуда и несущая частота
разрывность фазы во время переключения с ча- опорного сигнала, где µ (t ) и ε (t ) - его ампли-
стоты на частоту, возможность формирования
сигналов сложной формы, цифровое управление тудная и фазовые нестабильности, ϕ 0 - началь-
амплитудой, частотой и фазой выходного коле- ная фаза колебания. Непосредственно после
бания) на сегодня нашли применение в системах включения напряжений автогенераторов в пе-
связи. Особенно перспективным есть использо- ременные µ (t ) и ε (t ) входят регулярные со-
вания DDS в радиотехнических системах пере- ставляющие, которые определяют продолжи-
дачи информации с повышенной помехоустой- тельность установления амплитуды и выбег ча-
чивостью и защищенностью [1]. На сегодняш- стоты во время прогрева. В фиксированном
ний день ряд характеристик вычислительных температурном режиме процессы, которые вы-
синтезаторов частоты ниже, чем у синтезаторов зывают амплитудную и фазовые нестабильно-
на основе ФАПЧ. Такими параметрами являют- сти являются случайными. При продолжитель-
ся низкие показатели кратковременной фазовой ной работе возможен дрейф средней частоты,
стабильности (джиттера), существование в спек- который связан со старением стабилизирующе-
тре синтезированного сигнала гармонических го резонатора или деградацией вакуума в кол-
составляющих с высокими значениями ампли- бах атомных стандартов частоты. Относитель-
туд. Одним из направлений улучшения кратко- ное среднеквадратичное отклонение (ОСО) от
временной фазовой стабильности есть использо- частоты стандарта характеризуются
вания опорных генераторов с улучшенными ка- погрешностью установления частоты d уст . Для
чественными
Анализ исследований и публикаций генераторов с невысокой стабильностью значе-
Вопросом построения высокостабильных ния погрешности смеряется в сотых долях
опорных генераторов занимались много авто- (процентах). Для генераторов со средней ста-
ров и научных коллективов [2,3,4]. Такие гене- бильностью указывают миллионные доли -
раторы сильно различаются средней частотой, млн −1 (parts per million - ppm), в случае высо-
уровнями сигналов и относительной неста- кой стабильности – миллиардные (биллионные)
бильности частоты, которая может сменяться доли (parts per billion - ppb) [4].
−3 −15 Характер фазовых и амплитудных неста-
от 10 до 10 . Периодические колебания ав-
бильностей определяет спектральная плотность
мощности (СПМ) периодического колебания
Поликаровских Алексей Ильич – ХНУ, канд. техн. наук,
доцент, e-mail: polalexey@gmail.com
u (t ) на единичном сопротивлении, сосредото- Регулярный джиттер вызывается действу-
ченном вблизи частоты f 0 : ющими на сигнал процессами, которые проис-
ходят в системном оборудовании. Системный

джиттер зависит от характеристик цифровой
S м ( f ) = 2∫ [u (t )] 2 cos 2πftdt . (2) системы. Примеры источников системного
0
джиттера:
Тем не менее, более корректной характе- - Перекрестные помехи от синтезирован-
ристикой колебаний автогенератора есть его ных сигналов ;
СПМ его фазовой нестабильности S ϕ (F ) , где - Влияние дисперсии при распространении
F = f − f 0 - отстройка от номинальной ча- сигнала;
- Несогласование сопротивлений.
стоты. Фазовая нестабильность однозначно Джиттер оценивается по значению
определяется нестабильностью циклической среднеквадратичного отклонения моментов пе-
частоты колебания рехода фазы через нуль и измеряют в пикосе-
1 dε (t ) кундах.
∆f (t ) = ⋅ , (3)
2π dt Общую оценку нестабильности частот
а спектральная плотность мощности отклоне- опорных генераторов удобно представлять в
ния фазы связана с СПМ частотных отклонений виде среднеквадратичного отклонения частоты
соотношением за определенный промежуток времени. Кратко-
временная нестабильность частоты
S f ( F ) = F 2 Sϕ ( F ) . (4)
δ к (T ) определяет относительное среднеквадра-
На протяжении короткого времени воз-
можные изменения фазы, которые обусловлены тичное отклонение (ОСО) за время T продол-
эффектом дрожания фронта сигнала (джитте- жительностью 1,10,100 или 1000 с. Этот пара-
ром). Джиттер вызывается амплитудным и фа- метр определяет взнос в частотный шум таких
зовым шумом, как внутреннего, так и внешнего естественных процессов, как дробовой и тепло-
происхождения. Джиттер сигнала имеет разные вые шумы автогенератора. Долгодействующая
характеристики в зависимости от его причин и нестабильность частоты δ д (T ) за время
источников. Джиттер разделяют на две основ- T продолжительностью в сутки, месяц, год, 10
ных категории: случайный (random jitter - RJ ) и лет – характеризует эффект старения и дегра-
регулярный (deterministic jitter - DJ ) . дации элементов.
Случайный джиттер обусловленный шу- Значение опорной частоты колебания
мовыми процессами, которые происходят во опорного генератора зависит от внешних де-
всех полупроводниках и компонентах. Предпо- стабилизирующих факторов, главный из кото-
лагается, что этот джиттер подчиняется рас- рых - температура окружающей среды. Темпе-
пределения Гаусса, и, как такой, никогда не ратурный коэффициент отклонения частоты
может достичь своего максимального значения (ТКО) смеряется при номинальной температуре
в заданный отрезок времени. Таким образом, он в относительных долях, отнесенных к 1°С.
характеризуется статистическими величинами: Форма колебаний автогенераторов любой
средним значением и среднеквадратичным от- конструкции не является абсолютно гармони-
клонением. Источниками случайного джиттера ческой. Характеристика искажения формы гар-
являются: монического колебания представляет собой
- Тепловой шум (thermal noise) - связанный уровень мощности высших гармоник в
с потоком электронов в проводниках и возрас- S м ( f ) на частотах 2 f 0 и 3 f 0 или мощность
тает с увеличением полосы пропускания, тем-
пературы и теплового сопротивления; всех паразитных спектральных компонент в
- Дробовой шум (shot noise) - шум элек- широкой полосе частот по отношению к мощ-
тронов и дырок в полупроводниках, который ности на опорной частоте.
увеличивается в зависимости от тока смещения Классификация опорных генераторов при-
и измеряемой полосы частот; ведена на рис.1.
- Шум мерцания (flicker noise) - шум, Стандарты частоты и времени – высоко-
спектр которого обратно пропорциональный стабильные по частоте источники электромаг-
частоте, т.н. розовый шум; нитных сигналов (радиодиапазона или оптиче-
- Шум пульсаций напряжения питания; ских). Стандарты частоты используются в ка-
- Шум внешних акустических влияний (микро- честве вторичных или рабочих эталонов в мет-
фонный эффект); рологических измерениях, а также при произ-
водстве высокоточных средств измерений ча-
стоты и времени, в радионавигации, радио- налов в основном из-за своих масогабаритных
астрономии и в других сферах. и энергетических характеристик. В качестве
Квантовые стандарты частоты - устрой- исключения можно привести пример опорного
ства, в которых для точного измерения частоты цезиевого стандарта фирмы Simmetricom
колебаний или для генерирования колебаний с (США) Quantum SA.45s CSAC. Который пред-
довольно стабильной частотой используются ставляет собой квантовый стандарт частоты на
квантовые переходы частичек (атомов, моле- основе атомов цезия [4]. Внутреннее устрой-
кул, ионов) из одного энергетического состоя- ство которого приведено на рис.2.
ния в другое. Квантовые стандарты частоты Такой стандарт частоты и времени имеет
принято разделять на два класса. В активных выдающиеся характеристики для своего разме-
квантовых стандартах частоты, квантовые пе- ра. См. таблицу 1. Тем не менее, высокая стои-
реходы атомов и молекул непосредственно мость такого опорного генератора не дает воз-
приводят к излучению электромагнитных волн, можности использовать его в массовых синте-
частота которых служит стандартом или опор- заторах частоты. Применения ограничивается
ной частотой. Такие приборы называются так- специализированной аппаратурами научного и
же квантовыми генераторами. В пассивных военного назначения.
квантовых стандартах частоты, измеренная ча- Генераторы СВЧ используются в диапазо-
стота колебаний внешнего генератора сравни- нах частот от 300 МГц до 100 ГГц. Стабилиза-
вается с частотой колебаний, соответствующих ция их частоты генерации кварцевыми резона-
определенному квантовому переходу выбран- торами невозможная, поэтому или требования к
ных атомов, т.е. с частотой спектральной ли- стабильности частоты снижают, или применя-
нии. ют другие типы стабилизирующих резонато-
Стандарты можно классифицировать за ров, или используются средства фазовой син-
материалом рабочего тела квантовых генерато- хронизации частоты СВЧ - колебаний по эта-
ров (водороду, цезию, рубидию, кварцу). лонам частоты.
Качество опорных СВЧ - генераторов оце-
нивается дополнительными параметрами, кото-
рые характеризуют влияние фазы коэффициен-
та отражения от нагрузки и вариаций напряже-
ния питания на частоту.
Автогенераторы на ПАВ отличаются по-
вышенной до +10-+23дБмВт выходной мощно-
стью и малым уровнем фазовых шумов. Так
значение белого фазового шума генераторов
M-tron Industries чрезвычайно низкое -
175дБ/Гц при отстройке 100 кГц от частоты
2ГГц [5].

Рис. 1. Классификация опорных автогенераторов систем Рис. 2. Внутреннее строение стандарта частоты фирмы
синтеза частот Simmetricom на основе атомов цезия [4]
Применение диэлектрических резонаторов
Стандарты частоты и времени не находят разрешает увеличить выходную частоту до
широкого применения или занимают ограни- 30ГГц при стабильности 100-400 ppm. Фазовые
ченную нишу в системах синтеза частот и сиг- шумы вблизи опорной частоты генераторов
фиксированных частот с сапфировыми резона- использования их в системах синтеза частот и
торами на диапазон 8-10 ГГц и выходную мощ- сигналов, есть небольшой частотный диапазон.
ность +13дБмВт очень низкие. В генераторах Основная резонансная частота кварцевых резо-
серии DRO-1000-XX предусмотрен внутренний наторов не превышает 40 МГц. Лишь примене-
регулятор напряжения питания, средства сни- ние высших гармоник кварцевого резонатора
жения микрофонного эффекта, усилитель мощ- дает возможность повысить этот диапазон, од-
ности к уровню +13 к +25 дБмВт на частотах нако при этом снижается добротность резона-
до 26 ГГц [5]. Техника дисковых диэлектриче- тора, а следовательно возрастает частотная не-
ских резонаторов разрешает создавать СВЧ - стабильность синтезированных сигналов. Дру-
генераторы, которые превышают стабильность гой проблемой есть явление старения резона-
кварца и даже атомные устройства. Пока при- тора, которое наблюдается в первый год работы
менение этой техники сдерживается проблемой резонатора. Также для кварцевых резонаторов
повторяемости параметров от одного экземпля- является характерным сильная зависимость ре-
ра резонатора к другому и высокой стоимостью зонатора от температуры окружающей среды.
изготовления. В автогенераторах миллиметро- Для борьбы с этим явлением используют выс-
вого диапазона серии DRO-FT-10 используется шие механические гармоники для температур-
арсенид- галиевые полевые транзисторы с за- ной стабилизации основной частоты колебаний
твором Шотки (MESFET) или диоды Ганна. [3].
К опорным генераторам прилегает группа Встроенные цифровые или микропроцес-
электронных компонентов серии PLO, которая сорные схемы термокомпенсации обеспечива-
служит для переноса стабильности вверх по ча- ют прецизионную стабильность частоты в рас-
стоте: перемножители частоты высокой крат- ширенном интервале температур Такие схемы
ности и системы фазовой автоподстройки ча- MCXO – обеспечивают нестабильность часто-
стоты (PLL) [6]. В отличие от полномасштаб- ты на уровне 1·10-9 Фазовые шумы возле
ных синтезаторов сетки стабильных частот в опорной частоты для разных моделей кварце-
них отсутствуют средства организации мелкого вых резонаторов существенно отличаются, их
шага по частоте: необходимый номинал выход- уровень может быть существенно ниже, чем у
ной частоты задается в выходном генераторе с некоторых атомных стандартов.
кварцевым резонатором. Благодаря такому Применение кварцевых автогенераторов в
упрощению внутренней структуры собствен- качестве опорных для систем синтеза частот и
ный взнос этих компонентов в фазовые неста- сигналов является распространенной практикой
бильности небольшой. на сегодня. Это обеспечивается их тактико-
Для систем синтеза частот и сигналов, ко- техническими характеристиками и относитель-
торые массово используются в промышленно- но низкой стоимостью. Тем не менее, кон-
сти в диапазонах средних частот, в качестве ав- структивные ограничения кварцевых генерато-
тогенераторов, как правило, используются пре- ров, не дают возможности уменьшить стои-
цизионные кварцевые генераторы. Автогенера- мость, повысить технологичность, применить
торы на основе кварцевых резонаторов делятся групповые и интегральные методы изготовле-
на большое количество групп: Обычные квар- ния резонаторов.
цевые генераторы (Crystal oscillator -XO); Ва- Интересной альтернативой кварцевым ре-
куумированные миниатюрные (Evacuated зонаторам в системах синтеза частот и сигналов
miniature - EMXO); прецизионные (Precision...- есть автогенераторы на MEMS резонаторах. В
PXO); Тактовые (Clock XO); термостабилизи- последние годы широкого распространения по-
рованные (Oven controlled ...-OCXO); термо- лучила принципиально новая технология реа-
компенстрованне (Temperature compensated...- лизации микроэлектромеханических резона-
TCXO); с цифровой компенсацией (Digitally торных устройств, которая является совместной
compensated... - DTCXO); с микропроцессорной со стандартной технологией изготовления ИС.
компенсацией (Microprocessor compensated... - Таким образом, потенциально, те устройства
MCXO); управляемые напряжением по частоте что на сегодняшний день изготовляются на
(Voltage controlled...-VCXO); синхронизирован- дискретных элементах, могут быть реализова-
ные по фазе (Phase locked...-PLO). ны как система на едином кристалле. Кроме то-
Автогенераторы на основе кварцевых ре- го, одновременно с микроминиатюризацией
зонаторов имеют широкоизвестный ряд пре- применения MEMS технологии открывает но-
имуществ перед другими типами автогенерато- вые возможности в разработке аппаратур связи
ров, тем не менее, они имеют целый ряд недо- и синтеза сигналов, коренным образом сменяя
статков. Важным недостатком с точки зрения ее архитектуру одновременно с улучшением
основных характеристик, таких как доброт- диапазоном и стабильностью. Резонансная ча-
ность, потребляемая мощность, уровень шумов, стота MEMS-резонатора зависит от свойств ма-
ширина полосы пропускания канала фильтра. териала структуры и ее геометрии. Различия в
Смотри таблицу сравнения 2. конструкции электромеханических преобразо-
На сегодняшний день достигнуты следу- вателей, конфигурации и размерах резонирую-
ющие параметры [2]: электромеханические ре- щего элемента разрешают варьировать основ-
зонаторы, которые работают в диапазоне ча- ные параметры эквивалентного колебательного
стот 8-1800 МГц с добротностью 20000...30000 контура. Таких как резонансная частота, доб-
соответственно; управляемые высокодоброт- ротность, эквивалентное последовательное со-
ные микроконденсаторы с добротностью не- противление и уровень фазовых шумов.
сколько тысяч в диапазоне частот единиц де- Преимуществами дисковых резонаторов
сятков мегагерц, а на частотах микроволнового является их высокая добротность. К недостат-
диапазона - несколько сотен (например, Q=500 кам таких резонаторов можно отнести значи-
на частоте 2ГГц); объемные катушки индук- тельную величину напряжения смещения - по-
тивности с Q>10 на частоте до нескольких ги- рядка 35..70В, и высокое эквивалентное сопро-
гагерц. тивление порядка 30 кОм. Перспективной об-
MEMS – резонаторы по типу и примене- ластью применения являются системы мобиль-
нию делятся (см.рис.1) на: (MO — Oscillator) со ной связи.
стабильностью 20-100 ppm, MEMS – резонато- Недостатком резонатора типа «балка с
ры с управлением напряжением (VCMO — фиксированным концом» есть значительное эк-
Voltage Controlled Oscillator) со стабильностью вивалентное сопротивление 4-8 кОм. Резонато-
<50 ppm, MEMS – резонаторы с температурной ры такого типа работают в диапазоне 5-17,5
компенсацией (TCMO – Temperature МГц и характеризуются низким уровнем ин-
Compensated Oscillator) со стабильностью 0.5-5 термодуляционных искажений.
ppm, MEMS – резонаторы с температурной Гребенчастый MEMS резонатор продоль-
компенсацией с управлением напряжением ных колебаний на сегодня является самым вы-
(VC-TCMO — Voltage Controlled TCMO) со сокодобротным среди MEMS-резонаторов, вы-
стабильностью 0.5-5 ppm, MEMS – резонаторы полненных из поликремния. Устройство ориен-
с расширением спектра (SSMO –Spread тировано на применение в автогенераторах с
Spectrum Oscillator) со стабильностью 20-100 возбуждением на частоте последовательного
ppm, MEMS – резонаторы с управлением вход- резонанса. Значение добротности таких резона-
ной частотой (FSMO – Frequency Select торов составляет Q = (50..500) ⋅ 103 . Уровень
Oscillator) со стабильностью 20-100 ppm, фазовых шумов составляет -168дБм/Гц при от-
MEMS – резонаторы с цифровым управлением стройке на 5кГц от опорной и мощностью
(DCMO – Digitally Controlled Oscillator) со ста- опорной не больше -14,5 дБм. Основным недо-
бильностью 0.5-100 ppm статком резонаторов такого типа является низ-
Микромеханические резонаторы по спосо-
кая резонансная частота f 0 = (15..100)кГц , ко-
бу реализации можно разделить на: резонаторы
с радиальной, продольной и поперечной вибра- торая ограничивает их область применения.
циями резонирующего элемента. В общем слу- Таким образом, существующие виды
чае микромеханический резонатор состоит из MEMS - резонаторов имеют следующие харак-
недвижимых управляющих электродов, на один теристики : добротность в диапазоне (1261 ...
с которых подается постоянное управляющее 500000), эквивалентное сопротивление ( 1 ...
напряжение, на другие переменный входной 500) ком,ТКЧ > (12,5×10-6 °С -1), напряжением
сигнал. При этом резонирующая часть и сиг- смещения VP - (5...70 )В, и применяются в ши-
нальные электроды образовывают емкостные роком диапазоне частот - (0,015-2000) МГц.
промежутки. Для функционирования устрой- Использование устройств термокомпенсации
ства на структуру подается постоянное управ- разрешает максимально приблизить величину
ляющее напряжение, а при действии на элек- ТКЧ MEMS - резонаторов к значению ТКЧ
троды переменного входного сигнала формиру- кварцевого резонатора АТ- среза, температур-
ется переменное во времени электростатиче- ный коэффициент которого (при температурах
ское поле, которое вызывает колебание по- (-73...+97) °С) находится в диапазоне (-2...2) ×
движной части конструкции. Топологий мик- 10-6 °С-1. Эквивалентное сопротивление
рорезонаторов, которые реализуются с помо- MEMS - резонаторов и нелинейность преобра-
щью MEMS-технологии, есть довольно много. зования значительно превышают аналогичные
Выбор топологии определяется частотным характеристики высокодобротных кварцевых
резонаторов, тем не менее, MEMS - устройства частоты и времени, прецизионные кварцевые
имеют значительно меньшие габариты и могут генераторы, генераторы СВЧ, опорные
быть реализованы на кристалле, который дела- генераторы на микроэлектромеханических
ет перспективным их применение в системах резонаторах (MEMS). Определены области
синтеза частот и сигналов, в частности, для со- применения того или другого вида резонаторов
здания MEMS - фильтров с высокой добротно- в качестве опорных генераторов для систем
стью Q, низким уровнем внесенных потерь, уз- синтеза частот и сигналов. Предложено новые
кой полосой пропуска канала и резким спадом структурные схемы построения прямых
АЧХ. синтезаторов частот с реализацией на
Технология изготовления MEMS резона- кристалле кремния в едином технологическом
торов позволяет создавать принципиально но- цикле.
вые структуры прямых синтезаторов частоты
на основе высокодобротных MEMS - резонато-
ров в качестве основного опорного генератора
и набора высокодобротных фильтров, рассчи-
танных для формирования набора необходи-
мых частот, смотри рис.3. Такой синтезатор
может быть реализован на одном кристалле
кремния, который даст возможность удешевить
производство синтезаторов.

Рис. 4. Прямой синтезатор частоты на основе


набора высокодобротных MEMS резонаторе

Рис. 3. Прямой синтезатор частоты на основе MEMS Литература


резонатора и набора фильтров
1. Полікаровських О.І Архітектура прямого
Синтезатор также может быть реализован, цифрового синтезатора частоти для рішень цифро-
как набор высокодобротных MEMS - резонато- вого радіо/Полікаровських О.І. //Вісник Хмельниць-
ров изготовленных для синтеза заведомо рас- кого національного університету.-2012.Том.3.-
считанных частот (смотри рис.4). С.142-146
Тем не менее, второй вариант имеет боль- 2. Колпаков Ф.Ф. Микроэлектромеханиче-
шее время выхода на рабочий режим после ские устройства в радиотехнике и системах теле-
коммуникаций / Ф.Ф. Колпаков, Н.Г. Борзяк,
коммутации, но имеет безоговорочное пре-
В.И.Кортунов –Харків.-ХАІ.-2006.
имущество - более точного синтеза опорных 3. Підченко С.К, Моделювання термоком-
частот, который достигается точным расчетом пенсованого DDS в середовищі Matlab / Підченко
резонаторов и их изготовлением. С.К., Марков С.В., Лаба О.А., Акулінічєв А.А.//
Вимірювальна та обчислювальна техніка в техно-
Выводы логічних процесах.-2010.-№1.-С.77-80.
В работе рассмотрены основные 4. Symmetricom // Datasheet Quantum SA.45s
требования к опорным генераторам систем CSAC Chip Scale Atomic Clock– Режим доступу до
синтеза частот и сигналов. Рассмотрены журн.:http://www.symmetricom.com/resources/downlo
современные опорные генераторы для систем ad-library/documents/datasheets/quantum-sa45s-csac/
5. Белов Л.Компоненты генераторов ста-
синтеза частот и сигналов. Приведена их
бильной частоты. Генераторы, управляемые напря-
классификация. Рассмотрено основные жениемю.- Электроника: НТБ- 2004.- №1.- с.42;
классификационные требования к 6. Белов Л. Опорные генераторы.- Электро-
автогенераторам. Рассмотрены стандарты ника: НТБ - 2004.- №6.- с.38
Таблица 1
Сравнительные характеристики высокоточных опорных генераторов
Атомный стандарт
TCXO OCXO Атомный стандарт
CSAC
Объем 0,07 см3 52 см3 122 см3 16 см3
Мощность при 25 ºС 20 мВт 3 Вт 10 Вт 120 мВт
Задержка выхода на
731 мкс 69 мкс 1,7 мкс 2,3 мкс
режим
Начальная точность < 1 ⋅ 10 −6 < 1 ⋅ 10 −7 < 5 ⋅ 10 −11 < 5 ⋅ 10 −11
Температурный коэф-
фициент ± 3 ⋅10 −7 ± 3 ⋅10 −8 ± 3 ⋅10 −10 ± 1 ⋅10 −9
Стоимость низкая высокая высокая высокая

Таблица 2
Сравнение параметров кварцевого резонатора с MEMS резонатором
Параметр Кварцевый кристаллический
резонатор MEMS резонатор
TCXO
Размер 2-5 мм 400 мкм
Частота 1-80 МГц 1-50 МГц
Добротность Q ( × 10 )
3
100-200 75-150
Возможность КМОП интеграции Невозможно возможно
Корпусирование Керамический или металлический корпус Возможный пластик
Старение
3-5 ppm 3 ppm
(за первый год)
Компенсированная температурная
1-10 ppm 1-10 ppm
стабильность
Стойкость к ударам и вибрациям низкая высокая
Стоимость высокая низкая

Таблица 3
Сравнительная таблица MEMS-резонаторов
Тип резонатора Материал Размеры Частота и Схематическое изображение
добротность

Длина бал-
Балка с фикси-
Поликремний ки-40 мкм,
рованным кон- 9,34 МГц / 3100
(толщина- 2мкм) ширина-
цом
8мкм

Моно- Длина бал-


Балка с фикси-
кристаллический ки-700
рованным кон- 3,2 МГц / 4500
кремний (тол- мкм, ши-
цом
щина- 20мкм) рина-6мкм

Резонатор с Длина бал-


Поликремний
концами, кото- ки-13 мкм,
(толщина- 92 МГц /7450
рые свободно ширина-
2,05мкм)
колеблются 6мкм
Продолжение табл. 3

Количество
Гребенчастый Моно-
гребенок -
MEMS резона- кристаллический
500, длина 32 кГц / 50000
тор продольных кремний (тол-
гребенки -
колебаний щина- 30мкм)
10 мкм

Квадратный
Моно-
MEMS-
кристаллический Длина сто- 2,18 МГц /
резонатор (объ-
кремний (тол- роны 2 мм 1160000
емной акусти-
щина- 25мкм)
ческой моды)

Квадратный
MEMS-
резонатор с де- Поликарбид Длина сто-
формациями кремния роны 35 173 МГц / 9300
(объемной (толщина- 2мкм) мкм
акустической
моды)

Чашеподобный
резонатор (объ- Радиус
Поликремний
емной диска-32 60 МГц /48000
(толщина- 3мкм)
акустической мкм
моды)

Диск с ради-
альным конту-
Радиус
ром Поликремний
диска 16,7 156 МГц / 9290
(объемной (толщина- 2мкм)
мкм
акустической
моды)

Диск с ради-
альным конту- Никель Радиус
ром (толщина- диска 15 11,6 МГц / 1651
(колебательный 2,05мкм) мкм
режим)

Квадратный ре-
Поликремний Длина сто-
зонатор (коле-
(толщина- роны 15 68 МГц /15000
бательный ре-
2,2мкм) мкм
жим)
Окончание табл. 3

Кольцо (охва-
Поликремний Радиус 11,8
тывающий 1.2 ГГц / 15000
(толщина- 2мкм) мкм
контур)

Квадратный ре-
Моно-
зонатор (коле- 0,8 на 0,6
кристаллический 5,1 МГц / 80000
бательный ре- мм
кремний
жим)

Длина бал-
Треугольная Моно- ки-100
балка (режим кристаллический мкм, ши- 20 МГц / 220000
скручивания) кремний рина 4,25
мкм

Хмельницкий национальный университет, Украина

MODERN REFERENCE OSCILLATOR FOR SYNTHESIS OF FREQUENCY


AND SIGNALS

A.I. Polikarovskykh

Modern reference oscillator frequency synthesis for systems and signals was considered. The classification of current
reference generator was considered. The basic requirements for classification excited oscillator. Considered standard frequency
and time precision crystal oscillators, generators, microwave , basic generators resonators microelectromechanical (MEMS).
Defined the scope of a particular type resonators as reference generators for frequency synthesis systems and signals

Key words: oscillator , reference oscillator , atomic standards, quartz resonators , MEMS