УДК 621.396.

662

СОВРЕМЕННЫЕ ОПОРНЫЕ ГЕНЕРАТОРЫ ДЛЯ СИСТЕМ СИНТЕЗА

ЧАСТОТ И СИГНАЛОВ

А.И. Поликаровских

В статье рассматриваются современные опорные генераторы для систем синтеза частот и сигналов. Приведена
классификация современных опорных генераторов. Проанализированы основные классификационные требования к
таким генераторам. Рассмотрены стандарты частоты и времени, прецизионные кварцевые генераторы, генераторы
СВЧ, опорные генераторы на микроэлектромеханических резонаторах (MEMS). Определены области применения того
или другого вида резонаторов в качестве опорных генераторов для систем синтеза частот и сигналов

Ключевые слова: автогенератор, опорные генераторы, атомные стандарты, кварцевые резонаторы, МЭМС

Постановка задачи тономных генераторов u (t ) характеризуются

Прямые цифровые синтезаторы частоты
играют важную роль в современных радиоэлек-
тронных устройствах. Это обеспечивается мно-
гими значительными преимуществами: скорость
перестройки синтезатора с частоты на частоту,
высокая разрешающая способность, широкая
синтезированная полоса частот. Многоуровне-
вые DDS в силу своей, технологичности, надеж-
ности, возможности микроминиатюризации и
уникальности технических характеристик (не-
разрывность фазы во время переключения с ча-
стоты на частоту, возможность формирования
сигналов сложной формы, цифровое управление
амплитудой, частотой и фазой выходного коле-
бания) на сегодня нашли применение в системах
связи. Особенно перспективным есть использо-
вания DDS в радиотехнических системах пере-
дачи информации с повышенной помехоустой-
чивостью и защищенностью [1]. На сегодняш-
ний день ряд характеристик вычислительных
синтезаторов частоты ниже, чем у синтезаторов
на основе ФАПЧ. Такими параметрами являют-
ся низкие показатели кратковременной фазовой
стабильности (джиттера), существование в спек-
тре синтезированного сигнала гармонических
составляющих с высокими значениями ампли-
туд. Одним из направлений улучшения кратко-
временной фазовой стабильности есть использо-
вания опорных генераторов с улучшенными ка-
чественными
Анализ исследований и публикаций
Вопросом построения высокостабильных
опорных генераторов занимались много авто-
ров и научных коллективов [2,3,4]. Такие гене-
раторы сильно различаются средней частотой,
уровнями сигналов и относительной неста-
бильности частоты, которая может сменяться
−3 −15
от 10 до 10 . Периодические колебания ав-
Поликаровских Алексей Ильич – ХНУ, канд. техн. наук,
доцент, e-mail: polalexey@gmail.com
средней частотой, формой колебания на протя-
жении его периода и флюктуациями текущей
фазы. Стабильность частот таких генераторов
оценивается сравнением их сигналов с колеба-
ниями вторичных стандартов частоты. Почти
гармоническое колебание опорного автогенера-
тора можно записать в виде
u (t ) = u 0 [1 + µ (t )] sin[2πf 0 t + ε (t ) + ϕ 0 ] , (1)
где U 0 и f 0 - амплитуда и несущая частота
опорного сигнала, где µ (t ) и ε (t ) - его ампли-
тудная и фазовые нестабильности, ϕ 0 - началь-
ная фаза колебания. Непосредственно после
включения напряжений автогенераторов в пе-
ременные µ (t ) и ε (t ) входят регулярные со-
ставляющие, которые определяют продолжи-
тельность установления амплитуды и выбег ча-
стоты во время прогрева. В фиксированном
температурном режиме процессы, которые вы-
зывают амплитудную и фазовые нестабильно-
сти являются случайными. При продолжитель-
ной работе возможен дрейф средней частоты,
который связан со старением стабилизирующе-
го резонатора или деградацией вакуума в кол-
бах атомных стандартов частоты. Относитель-
ное среднеквадратичное отклонение (ОСО) от
частоты стандарта характеризуются
погрешностью установления частоты d уст . Для
генераторов с невысокой стабильностью значе-
ния погрешности смеряется в сотых долях
(процентах). Для генераторов со средней ста-
бильностью указывают миллионные доли -
млн −1 (parts per million - ppm), в случае высо-
кой стабильности – миллиардные (биллионные)
доли (parts per billion - ppb) [4].
Характер фазовых и амплитудных неста-
бильностей определяет спектральная плотность
мощности (СПМ) периодического колебания
u (t ) на единичном сопротивлении, сосредото-
ченном вблизи частоты f 0 :
∞
S м ( f ) = 2∫ [u (t )] 2 cos 2πftdt . (2)
0
Тем не менее, более корректной характе-
ристикой колебаний автогенератора есть его
СПМ его фазовой нестабильности S ϕ (F ) , где
F = f − f 0 - отстройка от номинальной ча-
стоты. Фазовая нестабильность однозначно
определяется нестабильностью циклической
частоты колебания
1 dε (t )
∆f (t ) = ⋅ , (3)
2π dt
а спектральная плотность мощности отклоне-
ния фазы связана с СПМ частотных отклонений
соотношением
S f ( F ) = F 2 Sϕ ( F ) . (4)
На протяжении короткого времени воз-
можные изменения фазы, которые обусловлены
эффектом дрожания фронта сигнала (джитте-
ром). Джиттер вызывается амплитудным и фа-
зовым шумом, как внутреннего, так и внешнего
происхождения. Джиттер сигнала имеет разные
характеристики в зависимости от его причин и
источников. Джиттер разделяют на две основ-
ных категории: случайный (random jitter - RJ ) и
регулярный (deterministic jitter - DJ ) .
Случайный джиттер обусловленный шу-
мовыми процессами, которые происходят во
всех полупроводниках и компонентах. Предпо-
лагается, что этот джиттер подчиняется рас-
пределения Гаусса, и, как такой, никогда не
может достичь своего максимального значения
в заданный отрезок времени. Таким образом, он
характеризуется статистическими величинами:
средним значением и среднеквадратичным от-
клонением. Источниками случайного джиттера
являются:
- Тепловой шум (thermal noise) - связанный
с потоком электронов в проводниках и возрас-
тает с увеличением полосы пропускания, тем-
пературы и теплового сопротивления;
- Дробовой шум (shot noise) - шум элек-
тронов и дырок в полупроводниках, который
увеличивается в зависимости от тока смещения
и измеряемой полосы частот;
- Шум мерцания (flicker noise) - шум,
спектр которого обратно пропорциональный
частоте, т.н. розовый шум;
- Шум пульсаций напряжения питания;
- Шум внешних акустических влияний (микро-
фонный эффект);
Регулярный джиттер вызывается действу-
ющими на сигнал процессами, которые проис-
ходят в системном оборудовании. Системный
джиттер зависит от характеристик цифровой
системы. Примеры источников системного
джиттера:
- Перекрестные помехи от синтезирован-
ных сигналов ;
- Влияние дисперсии при распространении
сигнала;
- Несогласование сопротивлений.
Джиттер оценивается по значению
среднеквадратичного отклонения моментов пе-
рехода фазы через нуль и измеряют в пикосе-
кундах.
Общую оценку нестабильности частот
опорных генераторов удобно представлять в
виде среднеквадратичного отклонения частоты
за определенный промежуток времени. Кратко-
временная нестабильность частоты
δ к (T ) определяет относительное среднеквадра-
тичное отклонение (ОСО) за время T продол-
жительностью 1,10,100 или 1000 с. Этот пара-
метр определяет взнос в частотный шум таких
естественных процессов, как дробовой и тепло-
вые шумы автогенератора. Долгодействующая
нестабильность частоты δ д (T ) за время
T продолжительностью в сутки, месяц, год, 10
лет – характеризует эффект старения и дегра-
дации элементов.
Значение опорной частоты колебания
опорного генератора зависит от внешних де-
стабилизирующих факторов, главный из кото-
рых - температура окружающей среды. Темпе-
ратурный коэффициент отклонения частоты
(ТКО) смеряется при номинальной температуре
в относительных долях, отнесенных к 1°С.
Форма колебаний автогенераторов любой
конструкции не является абсолютно гармони-
ческой. Характеристика искажения формы гар-
монического колебания представляет собой
уровень мощности высших гармоник в
S м ( f ) на частотах 2 f 0 и 3 f 0 или мощность
всех паразитных спектральных компонент в
широкой полосе частот по отношению к мощ-
ности на опорной частоте.
Классификация опорных генераторов при-
ведена на рис.1.
Стандарты частоты и времени – высоко-
стабильные по частоте источники электромаг-
нитных сигналов (радиодиапазона или оптиче-
ских). Стандарты частоты используются в ка-
честве вторичных или рабочих эталонов в мет-
рологических измерениях, а также при произ-
водстве высокоточных средств измерений ча-
стоты и времени, в радионавигации, радио-
астрономии и в других сферах.
Квантовые стандарты частоты - устрой-
ства, в которых для точного измерения частоты
колебаний или для генерирования колебаний с
довольно стабильной частотой используются
квантовые переходы частичек (атомов, моле-
кул, ионов) из одного энергетического состоя-
ния в другое. Квантовые стандарты частоты
принято разделять на два класса. В активных
квантовых стандартах частоты, квантовые пе-
реходы атомов и молекул непосредственно
приводят к излучению электромагнитных волн,
частота которых служит стандартом или опор-
ной частотой. Такие приборы называются так-
же квантовыми генераторами. В пассивных
квантовых стандартах частоты, измеренная ча-
стота колебаний внешнего генератора сравни-
вается с частотой колебаний, соответствующих
определенному квантовому переходу выбран-
ных атомов, т.е. с частотой спектральной ли-
нии.
Стандарты можно классифицировать за
материалом рабочего тела квантовых генерато-
ров (водороду, цезию, рубидию, кварцу).
Рис. 1. Классификация опорных автогенераторов систем
синтеза частот
Стандарты частоты и времени не находят
широкого применения или занимают ограни-
ченную нишу в системах синтеза частот и сиг-
налов в основном из-за своих масогабаритных
и энергетических характеристик. В качестве
исключения можно привести пример опорного
цезиевого стандарта фирмы Simmetricom
(США) Quantum SA.45s CSAC. Который пред-
ставляет собой квантовый стандарт частоты на
основе атомов цезия [4]. Внутреннее устрой-
ство которого приведено на рис.2.
Такой стандарт частоты и времени имеет
выдающиеся характеристики для своего разме-
ра. См. таблицу 1. Тем не менее, высокая стои-
мость такого опорного генератора не дает воз-
можности использовать его в массовых синте-
заторах частоты. Применения ограничивается
специализированной аппаратурами научного и
военного назначения.
Генераторы СВЧ используются в диапазо-
нах частот от 300 МГц до 100 ГГц. Стабилиза-
ция их частоты генерации кварцевыми резона-
торами невозможная, поэтому или требования к
стабильности частоты снижают, или применя-
ют другие типы стабилизирующих резонато-
ров, или используются средства фазовой син-
хронизации частоты СВЧ - колебаний по эта-
лонам частоты.
Качество опорных СВЧ - генераторов оце-
нивается дополнительными параметрами, кото-
рые характеризуют влияние фазы коэффициен-
та отражения от нагрузки и вариаций напряже-
ния питания на частоту.
Автогенераторы на ПАВ отличаются по-
вышенной до +10-+23дБмВт выходной мощно-
стью и малым уровнем фазовых шумов. Так
значение белого фазового шума генераторов
M-tron Industries чрезвычайно низкое -
175дБ/Гц при отстройке 100 кГц от частоты
2ГГц [5].
Рис. 2. Внутреннее строение стандарта частоты фирмы
Simmetricom на основе атомов цезия [4]
Применение диэлектрических резонаторов
разрешает увеличить выходную частоту до
30ГГц при стабильности 100-400 ppm. Фазовые
шумы вблизи опорной частоты генераторов
фиксированных частот с сапфировыми резона-
торами на диапазон 8-10 ГГц и выходную мощ-
ность +13дБмВт очень низкие. В генераторах
серии DRO-1000-XX предусмотрен внутренний
регулятор напряжения питания, средства сни-
жения микрофонного эффекта, усилитель мощ-
ности к уровню +13 к +25 дБмВт на частотах
до 26 ГГц [5]. Техника дисковых диэлектриче-
ских резонаторов разрешает создавать СВЧ -
генераторы, которые превышают стабильность
кварца и даже атомные устройства. Пока при-
менение этой техники сдерживается проблемой
повторяемости параметров от одного экземпля-
ра резонатора к другому и высокой стоимостью
изготовления. В автогенераторах миллиметро-
вого диапазона серии DRO-FT-10 используется
арсенид- галиевые полевые транзисторы с за-
твором Шотки (MESFET) или диоды Ганна.
К опорным генераторам прилегает группа
электронных компонентов серии PLO, которая
служит для переноса стабильности вверх по ча-
стоте: перемножители частоты высокой крат-
ности и системы фазовой автоподстройки ча-
стоты (PLL) [6]. В отличие от полномасштаб-
ных синтезаторов сетки стабильных частот в
них отсутствуют средства организации мелкого
шага по частоте: необходимый номинал выход-
ной частоты задается в выходном генераторе с
кварцевым резонатором. Благодаря такому
упрощению внутренней структуры собствен-
ный взнос этих компонентов в фазовые неста-
бильности небольшой.
Для систем синтеза частот и сигналов, ко-
торые массово используются в промышленно-
сти в диапазонах средних частот, в качестве ав-
тогенераторов, как правило, используются пре-
цизионные кварцевые генераторы. Автогенера-
торы на основе кварцевых резонаторов делятся
на большое количество групп: Обычные квар-
цевые генераторы (Crystal oscillator -XO); Ва-
куумированные миниатюрные (Evacuated
miniature - EMXO); прецизионные (Precision...-
PXO); Тактовые (Clock XO); термостабилизи-
рованные (Oven controlled ...-OCXO); термо-
компенстрованне (Temperature compensated...-
TCXO); с цифровой компенсацией (Digitally
compensated... - DTCXO); с микропроцессорной
компенсацией (Microprocessor compensated... -
MCXO); управляемые напряжением по частоте
(Voltage controlled...-VCXO); синхронизирован-
ные по фазе (Phase locked...-PLO).
Автогенераторы на основе кварцевых ре-
зонаторов имеют широкоизвестный ряд пре-
имуществ перед другими типами автогенерато-
ров, тем не менее, они имеют целый ряд недо-
статков. Важным недостатком с точки зрения
использования их в системах синтеза частот и
сигналов, есть небольшой частотный диапазон.
Основная резонансная частота кварцевых резо-
наторов не превышает 40 МГц. Лишь примене-
ние высших гармоник кварцевого резонатора
дает возможность повысить этот диапазон, од-
нако при этом снижается добротность резона-
тора, а следовательно возрастает частотная не-
стабильность синтезированных сигналов. Дру-
гой проблемой есть явление старения резона-
тора, которое наблюдается в первый год работы
резонатора. Также для кварцевых резонаторов
является характерным сильная зависимость ре-
зонатора от температуры окружающей среды.
Для борьбы с этим явлением используют выс-
шие механические гармоники для температур-
ной стабилизации основной частоты колебаний
[3].
Встроенные цифровые или микропроцес-
сорные схемы термокомпенсации обеспечива-
ют прецизионную стабильность частоты в рас-
ширенном интервале температур Такие схемы
MCXO – обеспечивают нестабильность часто-
ты на уровне 1·10-9 Фазовые шумы возле
опорной частоты для разных моделей кварце-
вых резонаторов существенно отличаются, их
уровень может быть существенно ниже, чем у
некоторых атомных стандартов.
Применение кварцевых автогенераторов в
качестве опорных для систем синтеза частот и
сигналов является распространенной практикой
на сегодня. Это обеспечивается их тактико-
техническими характеристиками и относитель-
но низкой стоимостью. Тем не менее, кон-
структивные ограничения кварцевых генерато-
ров, не дают возможности уменьшить стои-
мость, повысить технологичность, применить
групповые и интегральные методы изготовле-
ния резонаторов.
Интересной альтернативой кварцевым ре-
зонаторам в системах синтеза частот и сигналов
есть автогенераторы на MEMS резонаторах. В
последние годы широкого распространения по-
лучила принципиально новая технология реа-
лизации микроэлектромеханических резона-
торных устройств, которая является совместной
со стандартной технологией изготовления ИС.
Таким образом, потенциально, те устройства
что на сегодняшний день изготовляются на
дискретных элементах, могут быть реализова-
ны как система на едином кристалле. Кроме то-
го, одновременно с микроминиатюризацией
применения MEMS технологии открывает но-
вые возможности в разработке аппаратур связи
и синтеза сигналов, коренным образом сменяя
ее архитектуру одновременно с улучшением
основных характеристик, таких как доброт-
ность, потребляемая мощность, уровень шумов,
ширина полосы пропускания канала фильтра.
Смотри таблицу сравнения 2.
На сегодняшний день достигнуты следу-
ющие параметры [2]: электромеханические ре-
зонаторы, которые работают в диапазоне ча-
стот 8-1800 МГц с добротностью 20000...30000
соответственно; управляемые высокодоброт-
ные микроконденсаторы с добротностью не-
сколько тысяч в диапазоне частот единиц де-
сятков мегагерц, а на частотах микроволнового
диапазона - несколько сотен (например, Q=500
на частоте 2ГГц); объемные катушки индук-
тивности с Q>10 на частоте до нескольких ги-
гагерц.
MEMS – резонаторы по типу и примене-
нию делятся (см.рис.1) на: (MO — Oscillator) со
стабильностью 20-100 ppm, MEMS – резонато-
ры с управлением напряжением (VCMO —
Voltage Controlled Oscillator) со стабильностью
<50 ppm, MEMS – резонаторы с температурной
компенсацией (TCMO – Temperature
Compensated Oscillator) со стабильностью 0.5-5
ppm, MEMS – резонаторы с температурной
компенсацией с управлением напряжением
(VC-TCMO — Voltage Controlled TCMO) со
стабильностью 0.5-5 ppm, MEMS – резонаторы
с расширением спектра (SSMO –Spread
Spectrum Oscillator) со стабильностью 20-100
ppm, MEMS – резонаторы с управлением вход-
ной частотой (FSMO – Frequency Select
Oscillator) со стабильностью 20-100 ppm,
MEMS – резонаторы с цифровым управлением
(DCMO – Digitally Controlled Oscillator) со ста-
бильностью 0.5-100 ppm
Микромеханические резонаторы по спосо-
бу реализации можно разделить на: резонаторы
с радиальной, продольной и поперечной вибра-
циями резонирующего элемента. В общем слу-
чае микромеханический резонатор состоит из
недвижимых управляющих электродов, на один
с которых подается постоянное управляющее
напряжение, на другие переменный входной
сигнал. При этом резонирующая часть и сиг-
нальные электроды образовывают емкостные
промежутки. Для функционирования устрой-
ства на структуру подается постоянное управ-
ляющее напряжение, а при действии на элек-
троды переменного входного сигнала формиру-
ется переменное во времени электростатиче-
ское поле, которое вызывает колебание по-
движной части конструкции. Топологий мик-
рорезонаторов, которые реализуются с помо-
щью MEMS-технологии, есть довольно много.
Выбор топологии определяется частотным
диапазоном и стабильностью. Резонансная ча-
стота MEMS-резонатора зависит от свойств ма-
териала структуры и ее геометрии. Различия в
конструкции электромеханических преобразо-
вателей, конфигурации и размерах резонирую-
щего элемента разрешают варьировать основ-
ные параметры эквивалентного колебательного
контура. Таких как резонансная частота, доб-
ротность, эквивалентное последовательное со-
противление и уровень фазовых шумов.
Преимуществами дисковых резонаторов
является их высокая добротность. К недостат-
кам таких резонаторов можно отнести значи-
тельную величину напряжения смещения - по-
рядка 35..70В, и высокое эквивалентное сопро-
тивление порядка 30 кОм. Перспективной об-
ластью применения являются системы мобиль-
ной связи.
Недостатком резонатора типа «балка с
фиксированным концом» есть значительное эк-
вивалентное сопротивление 4-8 кОм. Резонато-
ры такого типа работают в диапазоне 5-17,5
МГц и характеризуются низким уровнем ин-
термодуляционных искажений.
Гребенчастый MEMS резонатор продоль-
ных колебаний на сегодня является самым вы-
сокодобротным среди MEMS-резонаторов, вы-
полненных из поликремния. Устройство ориен-
тировано на применение в автогенераторах с
возбуждением на частоте последовательного
резонанса. Значение добротности таких резона-
торов составляет Q = (50..500) ⋅ 103 . Уровень
фазовых шумов составляет -168дБм/Гц при от-
стройке на 5кГц от опорной и мощностью
опорной не больше -14,5 дБм. Основным недо-
статком резонаторов такого типа является низ-
кая резонансная частота f 0 = (15..100)кГц , ко-
торая ограничивает их область применения.
Таким образом, существующие виды
MEMS - резонаторов имеют следующие харак-
теристики : добротность в диапазоне (1261 ...
500000), эквивалентное сопротивление ( 1 ...
500) ком,ТКЧ > (12,5×10-6 °С -1), напряжением
смещения VP - (5...70 )В, и применяются в ши-
роком диапазоне частот - (0,015-2000) МГц.
Использование устройств термокомпенсации
разрешает максимально приблизить величину
ТКЧ MEMS - резонаторов к значению ТКЧ
кварцевого резонатора АТ- среза, температур-
ный коэффициент которого (при температурах
(-73...+97) °С) находится в диапазоне (-2...2) ×
10-6 °С-1. Эквивалентное сопротивление
MEMS - резонаторов и нелинейность преобра-
зования значительно превышают аналогичные
характеристики высокодобротных кварцевых
резонаторов, тем не менее, MEMS - устройства
имеют значительно меньшие габариты и могут
быть реализованы на кристалле, который дела-
ет перспективным их применение в системах
синтеза частот и сигналов, в частности, для со-
здания MEMS - фильтров с высокой добротно-
стью Q, низким уровнем внесенных потерь, уз-
кой полосой пропуска канала и резким спадом
АЧХ.
Технология изготовления MEMS резона-
торов позволяет создавать принципиально но-
вые структуры прямых синтезаторов частоты
на основе высокодобротных MEMS - резонато-
ров в качестве основного опорного генератора
и набора высокодобротных фильтров, рассчи-
танных для формирования набора необходи-
мых частот, смотри рис.3. Такой синтезатор
может быть реализован на одном кристалле
кремния, который даст возможность удешевить
производство синтезаторов.
Рис. 3. Прямой синтезатор частоты на основе MEMS
резонатора и набора фильтров
Синтезатор также может быть реализован,
как набор высокодобротных MEMS - резонато-
ров изготовленных для синтеза заведомо рас-
считанных частот (смотри рис.4).
Тем не менее, второй вариант имеет боль-
шее время выхода на рабочий режим после
коммутации, но имеет безоговорочное пре-
имущество - более точного синтеза опорных
частот, который достигается точным расчетом
резонаторов и их изготовлением.
Выводы
В работе рассмотрены основные
требования к опорным генераторам систем
синтеза частот и сигналов. Рассмотрены
современные опорные генераторы для систем
синтеза частот и сигналов. Приведена их
классификация. Рассмотрено основные
классификационные требования к 6. Белов Л. Опорные генераторы.- Электро-
автогенераторам. Рассмотрены стандарты
частоты и времени, прецизионные кварцевые
генераторы, генераторы СВЧ, опорные
генераторы на микроэлектромеханических
резонаторах (MEMS). Определены области
применения того или другого вида резонаторов
в качестве опорных генераторов для систем
синтеза частот и сигналов. Предложено новые
структурные схемы построения прямых
синтезаторов частот с реализацией на
кристалле кремния в едином технологическом
цикле.
Рис. 4. Прямой синтезатор частоты на основе
набора высокодобротных MEMS резонаторе
Литература
1. Полікаровських О.І Архітектура прямого
цифрового синтезатора частоти для рішень цифро-
вого радіо/Полікаровських О.І. //Вісник Хмельниць-
кого національного університету.-2012.Том.3.-
С.142-146
2. Колпаков Ф.Ф. Микроэлектромеханиче-
ские устройства в радиотехнике и системах теле-
коммуникаций / Ф.Ф. Колпаков, Н.Г. Борзяк,
В.И.Кортунов –Харків.-ХАІ.-2006.
3. Підченко С.К, Моделювання термоком-
пенсованого DDS в середовищі Matlab / Підченко
С.К., Марков С.В., Лаба О.А., Акулінічєв А.А.//
Вимірювальна та обчислювальна техніка в техно-
логічних процесах.-2010.-№1.-С.77-80.
4. Symmetricom // Datasheet Quantum SA.45s
CSAC Chip Scale Atomic Clock– Режим доступу до
журн.:http://www.symmetricom.com/resources/downlo
ad-library/documents/datasheets/quantum-sa45s-csac/
5. Белов Л.Компоненты генераторов ста-
бильной частоты. Генераторы, управляемые напря-
жениемю.- Электроника: НТБ- 2004.- №1.- с.42;
ника: НТБ - 2004.- №6.- с.38
 Таблица 1
Сравнительные характеристики высокоточных опорных генераторов
Атомный стандарт
TCXO OCXO Атомный стандарт
CSAC
Объем 0,07 см3 52 см3 122 см3 16 см3
Мощность при 25 ºС 20 мВт 3 Вт 10 Вт 120 мВт
Задержка выхода на
731 мкс 69 мкс 1,7 мкс 2,3 мкс
режим
Начальная точность < 1 ⋅ 10 −6 < 1 ⋅ 10 −7 < 5 ⋅ 10 −11 < 5 ⋅ 10 −11
Температурный коэф-
фициент ± 3 ⋅10 −7 ± 3 ⋅10 −8 ± 3 ⋅10 −10 ± 1 ⋅10 −9
Стоимость низкая высокая высокая высокая

Таблица 2
Сравнение параметров кварцевого резонатора с MEMS резонатором
Параметр Кварцевый кристаллический
резонатор MEMS резонатор
TCXO
Размер 2-5 мм 400 мкм
Частота 1-80 МГц 1-50 МГц
Добротность Q ( × 10 )
3
100-200 75-150
Возможность КМОП интеграции Невозможно возможно
Корпусирование Керамический или металлический корпус Возможный пластик
Старение
3-5 ppm 3 ppm
(за первый год)
Компенсированная температурная
1-10 ppm 1-10 ppm
стабильность
Стойкость к ударам и вибрациям низкая высокая
Стоимость высокая низкая

Таблица 3
Сравнительная таблица MEMS-резонаторов
Тип резонатора Материал Размеры Частота и Схематическое изображение
добротность

Длина бал-
Балка с фикси-
Поликремний ки-40 мкм,
рованным кон- 9,34 МГц / 3100
(толщина- 2мкм) ширина-
цом
8мкм

Моно- Длина бал-

Балка с фикси-
кристаллический ки-700
рованным кон- 3,2 МГц / 4500
кремний (тол- мкм, ши-
цом
щина- 20мкм) рина-6мкм

Резонатор с Длина бал-

Поликремний
концами, кото- ки-13 мкм,
(толщина- 92 МГц /7450
рые свободно ширина-
2,05мкм)
колеблются 6мкм
 Продолжение табл. 3

Количество
Гребенчастый Моно-
гребенок -
MEMS резона- кристаллический
500, длина 32 кГц / 50000
тор продольных кремний (тол-
гребенки -
колебаний щина- 30мкм)
10 мкм

Квадратный
Моно-
MEMS-
кристаллический Длина сто- 2,18 МГц /
резонатор (объ-
кремний (тол- роны 2 мм 1160000
емной акусти-
щина- 25мкм)
ческой моды)

Квадратный
MEMS-
резонатор с де- Поликарбид Длина сто-
формациями кремния роны 35 173 МГц / 9300
(объемной (толщина- 2мкм) мкм
акустической
моды)

Чашеподобный
резонатор (объ- Радиус
Поликремний
емной диска-32 60 МГц /48000
(толщина- 3мкм)
акустической мкм
моды)

Диск с ради-
альным конту-
Радиус
ром Поликремний
диска 16,7 156 МГц / 9290
(объемной (толщина- 2мкм)
мкм
акустической
моды)

Диск с ради-
альным конту- Никель Радиус
ром (толщина- диска 15 11,6 МГц / 1651
(колебательный 2,05мкм) мкм
режим)

Квадратный ре-
Поликремний Длина сто-
зонатор (коле-
(толщина- роны 15 68 МГц /15000
бательный ре-
2,2мкм) мкм
жим)
 Окончание табл. 3

Кольцо (охва-
Поликремний Радиус 11,8
тывающий 1.2 ГГц / 15000
(толщина- 2мкм) мкм
контур)

Квадратный ре-
Моно-
зонатор (коле- 0,8 на 0,6
кристаллический 5,1 МГц / 80000
бательный ре- мм
кремний
жим)

Длина бал-
Треугольная Моно- ки-100
балка (режим кристаллический мкм, ши- 20 МГц / 220000
скручивания) кремний рина 4,25
мкм

Хмельницкий национальный университет, Украина

MODERN REFERENCE OSCILLATOR FOR SYNTHESIS OF FREQUENCY

AND SIGNALS

A.I. Polikarovskykh

Modern reference oscillator frequency synthesis for systems and signals was considered. The classification of current
reference generator was considered. The basic requirements for classification excited oscillator. Considered standard frequency
and time precision crystal oscillators, generators, microwave , basic generators resonators microelectromechanical (MEMS).
Defined the scope of a particular type resonators as reference generators for frequency synthesis systems and signals

Key words: oscillator , reference oscillator , atomic standards, quartz resonators , MEMS