Enseignante : Dr.I.

BOUSSOUAR 1ère MPC- 2019/2020 Microscopie optique et électronique

Module de découverte
2ème semestre 2019/2020
1ère année Master Pétrochimie

Module : Microscopie Optique et Electronique-MPC242

1ère année Master Pétrochimie

Dr. Imène BOUSSOUAR

Département Génie des Procédés
Université Ammar Thelidji de Laghouat

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I. Introduction

L’observation des particules de petites tailles (10 à 100 µm) nécessite l’utilisation des
microscopes. Les méthodes utilisées pour étudier les structures des particules sont :
La microscopie optique ou photonique et la microscopie électronique. Il existe trois types de
microscopes:
1. optique, 2. À particules chargées, électrons et ions, 3. À champ proche (scanning probe).

II. Les microscopes optiques (M.O)

II.1. Le microscope optique à fond clair
Principe : Le M.O utilise comme source lumineuse la lumière visible.
Il est équipé de trois systèmes de lentilles transparentes (verre) :
- Un objectif effectue le grossissement primaire et donne une image réelle.
- Un oculaire effectue le grossissement secondaire. Il permet à l’œil de former une
image virtuelle agrandie de l’image réelle formée par la lentille de l’objectif.
- un condenseur concentre la lumière sur l’objet

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Figure 1 : Schéma d’un microscope optique monoculaire

II.2. Le pouvoir séparateur ou limite de résolution

Est la plus petite distance séparant deux points voisins que l'on peut distinguer à l'aide du
microscope. La limite de détection D peut se calculer d’après la formule suivante :
D = 0,61 λ / n . sin α
D = pouvoir séparateur
λ = longueur d’onde du rayonnement utilisé
α= demi angle d’ouverture de l’objectif
n = indice de réfraction du milieu transparent qui sépare l’objet de l’objectif (l’air ou l’huile à
immersion).
II.3. Types de microscopes optiques
Il existe plusieurs types de microscopes ayant chacun des montages optiques spéciaux, ont été
mis au point pour permettre l’observation des cellules dans certaines conditions. Parmi ces
microscopes, nous avons :
➢ Microscope à contraste de phase
Ce type de microscope sert à observer des cellules vivantes, non colorées. Il permet de voir
les déplacements cellulaires (ex : suivre les étapes de la division cellulaire).
➢ Microscope à fond noir
MO à fond noir permet d’observer des cellules vivantes en action (déplacement, division,
phagocytose, etc.)
➢ Microscopie de fluorescence

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Ce type de microscope permet d’observer des éléments fluorescents dans une cellule. le plus
souvent utilisé pour détecter les protéines spécifiques ou d’autres molécules rendues
fluorescentes par couplage à un fluochrome.

➢ Microscope inversé
À l’inverse de la microscopie optique classique où la lumière arrive sur l’échantillon par le
bas et où l’observation se fait par le dessus, pour le microscope inversé, la source de lumière
est placée au-dessus de l’échantillon et les objectifs en dessous. Ce microscope est beaucoup
utilisé pour l’observation de cellules en culture in vitro.
➢ Microscope à lumière polarisée
Il permet d'étudier les composants cellulaires qui se caractérisent par la libération de la
lumière polarisée. Il est utilisé dans le domaine de l'observation pétrographique et
l'identification des minéraux dans les roches.

Tableau 1 : Les différents types des microscopes optiques

Les types Utilisés pour

Optique à fond clair L’observation des structures cellulaires internes

Optique è fond noir
Optique à fluorescence
Optique à contraste de phase
Optique confocal
Optique interférentiel
Optique polarisant
après coloration
L’observation d’échantillons non colorés et des
cellules vivantes et en déplacement
Le marquage fluorescent de structure et de
composés macromoléculaires.
La mise en évidence des différences d’indices de
réfraction et de contraste
La reconstitution d’images tridimensionnelles de
l’objet
Exploitation des interfaces de deux faisceaux
lumineux
Polarisation de la lumière traversant
l’échantillon

II.4. La différence entre la microscopie optique et électronique

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III. Les microscopes électroniques (ME)

Le principe de fonctionnement d'un microscope électronique ressemble un peu à celui d'un

microscope optique sauf que:
Les photons sont remplacés par des électrons.
Les lentilles de verre sont remplacées par des lentilles électromagnétiques.
La limite de résolution du ME est plus élevée à celle du MO. Elle est de 2 nm (c’est-à-dire
1000 fois plus élevé que le MO).
L’agrandissement du ME peut atteindre jusqu’à 500.000 contre 2000 pou un MO.
III.1. Microscope électronique à transmission(MET)

Dans le MET, les électrons traversent l’échantillon traité par des métaux lourds. Sur l’écran
du MET apparait une image claire et agrandie. L’image est due à l’absorption différentielle
des électrons par les différentes structures de l’échantillon.
Le MET se compose essentiellement de:
• Une source des électrons (fil métallique chauffé à un degré très élevé sous vide). Sous
vide, les électrons vont être accélérés en appliquant une différence de potentiel de10 à
100 Kv
• Espace tubulaire sous vide
• Des lentilles électromagnétiques (Bobines) permettent la diffraction du trajet des
électrons.

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Figure 2 : Schéma d’un microscope électronique à transmission

III.2.Microscope électronique à balayage(MEB)

Le MEB permet d'observer l’objet en trois dimensions (en pseudo 3D..). Il est utilisé dans
l’étude des surfaces des objets massifs après leur traitement par des substances métalliques
réfléchissantes telles que le platine, l’argent et l’or.
Le flux d’électrons balaye la surface de l’objet. Ce sont les électrons secondaires, renvoyés
par la surface métallique, qui sont utilisés pour fournir une image.

Figure 3 : Schéma d’un microscope électronique à balayage

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III.3.Informations caractéristiaques de TEM and BEM microscopie :

➢ Topographie: les caractéristiques de surface d'un objet ou son apparence, sa texture.

➢ Morphologie: la forme et la taille des particules constituant l'objet.
➢ Composition : les éléments et composés que l'objet est composé de et la quantité relative
d'entre eux.
➢ Information cristallographique : comment les atomes sont disposés dans le objet.

Microscope électronique à balayage Microscope électronique à transmission

(MEB) (MET)

• MET est basé sur les électrons transmis

• BEM est basé sur des électrons dispersés
• Dans MET, les électrons sont directement
• Les électrons dispersés dans MEB ont
produit l'image de l'échantillon après que dirigés vers l'échantillon.
• MET cherche à voir ce qui est à l'intérieur
le microscope a collecté et compté les
électrons dispersés. ou au-delà de la surface.
• MET affiche l'échantillon dans son
• MEB se concentre sur la surface de
l’échantillon et sa composition. ensemble.
• MET fournit une image en deux dimensions.
• MEB montre l'échantillon petit à petit
• MET a un grossissement de 50 millions
• MEB fournit une image en trois
• La résolution du MET est de 0,1 nanomètres
dimensions
• Le MEB n'offre qu'un grossissement
maximal de 2 millions.
• MEB a une résolution de 10 nanomètres

III.4.Quelle résolution pour le MEB et le MET

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III.5.Quelque images par le MEB et le MET

Figure 4 : Images MEB sur des nanostructures (nanotube de carbone et nanofils)

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Figure 5 : Images MET sur des nanostructures (nanoparticule et graphite)

IV. La Microscopie à Force Atomique

Le microscope à force atomique (AFM pour atomic force microscope) est un type
de microscope à sonde locale permettant de visualiser la topographie de la surface d'un
échantillon. Inventé en 1985, par Gerd Binnig, Calvin Quate et Christoph Gerber, ce type de
microscopie repose essentiellement sur l'analyse d'un objet point par point au moyen d'un
balayage via une sonde locale, assimilable à une pointe effilée. Ce mode d'observation permet
alors, de réaliser la cartographie locale des grandeurs physiques caractéristiques de l'objet
sondé (force, capacité, intensité de rayonnement, courant...), mais également de travailler dans
des environnements particuliers tels que les milieux sous vide, liquides ou ambiants.

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Figure 6: Principe de fonctionnement d'un microscope à force atomique

IV.1. L'AFM est constitue de plusieurs éléments:

➢ Un support pour l'échantillon (socle), souvent fabrique en mica qui permet d'obtenir une
surface plane pour une bonne analyse. Cette surface de mica permet la fixation d'un
échantillon liquide. Ceci permet d'éviter que la pointe emporte une partie de l'échantillon à
analyser lors d'une mesure.
➢ Un levier (cantilever en anglais), fabrique généralement en silicium, qui se déplace au
dessus de l'échantillon a analyser. Il est souple et se déforme selon les forces de très faible
intensité qui lui sont appliquées par l'échantillon (interaction de type Van der Waals ou
électrostatiques).
➢ Un rayon laser envoyé sur l'extrémité du levier est réfléchi vers une photodiode qui
détecte la variation de flexion du levier. La position verticale de l'échantillon est changée
de façon à ce que les forces restent constantes pendant la mesure. La topographie de
l'échantillon peut ainsi être déterminée.
➢ La pointe est l'élément clé du microscope à force atomique. Fabriquée généralement en
silicium, cette dernière est attachée au levier. Sa taille varie selon les échantillons à
analyser. Elle peut être arrondie ou pyramidale.
➢ La dernière composante de l'AFM est le système de déplacement ou de balayage. Ce
dernier, permet le déplacement du support d'échantillon dans les directions x et y pour
sonder la surface. Ensuite, étant relie a la photodiode, il permet d'ajuster la hauteur z de
l'échantillon pour garder une valeur de force constante entre la pointe et l'échantillon.
Ces déplacements sont ainsi enregistres et transmis au système informatique pour permettre
une analyse et une représentation en trois dimensions de la surface analysée.

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Le microscope à force atomique, permet une visualisation de l'échantillon avec une résolution
de 10 nm en x et y. Selon z la résolution est d'environ 1 Ȧ.

IV.2.Le principe de fonctionnement d'un AFM:

La technique AFM exploite l'interaction (attraction/répulsion) entre les atomes de

l'apex nanométrique d'une pointe et les atomes surfaciques d'un échantillon. Elle permet
d'analyser des zones allant de quelques nanomètres à quelques microns de côtés et de mesurer
des forces de l'ordre du nanonewton.
Le microscope à force atomique permet donc de balayer la surface d'un échantillon grâce à
une pointe très fine, positionnée à l'extrémité libre d'un micro-levier flexible, pouvant se
déplacer dans toutes les directions de l'espace, grâce à un tube piézoélectrique.
L'analyse des flexions du micro-levier permet de déterminer l'exact parcours de la pointe,
ainsi que la mesure des forces d'interactions intervenant entre elle et l'échantillon. Capable de
définir la topographie de surface.
La microscopie à force atomique se décline sous trois modes principaux qui sont :
➢ Mode contact:
Dans le mode contact, le levier muni de la pointe détectrice appuie sur l'échantillon en analyse.
Une force répulsive entre la surface et la pointe se crée car il y a répulsion des électrons de
l'échantillon et de la pointe. Dans ce cas, l'interaction faible entre l'échantillon et la pointe est
maintenue constante en changeant la hauteur de l'échantillon dans l'appareil. La variation de la
hauteur donne la hauteur de la surface à l’ endroit étudie.
➢ Mode contact intermittent ou tapping
Dans ce mode, le levier est mis en oscillation a une fréquence donnée d'une centaine de
kilohertz (kHz) et a une amplitude fixe. Dans ce cas, l'échantillon exerce une force d'attraction
(type van der Waals) de courte portée sur le levier et la pointe. L'amplitude de l’oscillation
change. Elle est maintenue constante par déplacement de la hauteur z de l'échantillon.
➢ Mode non-contact
Ce mode est analogue au mode contact, mais en fixant la distance pointe-échantillon de 50 a
150 Ȧ. Dans ce cas, on utilise aussi les forces attractives exercées par l'échantillon sur
l'ensemble levier-pointe.

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IV. 3.Avantages et inconvénients de l'AFM

La technique d'imagerie par force atomique, permet de descendre au plus bas de l'échelle
d'observation actuellement réalisable. Cette technique comporte des avantages et des
inconvénients.
● L'AFM permet la visualisation en 3D de l'échantillon.
● Elle permet l'observation d'échantillons conducteurs ou non du courant électrique ainsi que
celle de surfaces molles (en mode tapping).
● Les conditions d'utilisation ne nécessitent pas un important temps de préparation.
● L'AFM peut fonctionner dans l'air contrairement a la STM qui doit fonctionner dans le vide.
● Cette technique permet aussi d'observer des échantillons et de suivre leur évolution au cours
du temps. C'est une méthode très utilisée en biologie.
Un inconvénient est que l'échantillon peut parfois être dégradé par la pointe d'analyse, surtout
en mode contact ou la pointe se désagrège assez rapidement.
● Les hauteurs déduites de l'analyse par le système de balayage peuvent parfois être faussées
(surtout en mode tapping) en fonction du type de pointe utilisée.
● Pour le mode non-contact, de nombreuses exigences sont requises pour éliminer toute
interférence dans l'analyse.
● Enfin, l'AFM, permet de descendre à très basse échelle, mais nécessite un temps d'analyse
plus long, non négligeable par rapport aux autres techniques de microscopie.

IV.4. Exemples d’observation au microscope a force atomique

Un creux de profondeur 140 nm et de diamètre 1 μm est observe. Les bords de ce creux sont
couverts de protubérances de formes irrégulières. Ce creux est suffisamment grand pour dire
que l'image AFM obtenue décrit bien la surface de la structure et n'est pas un artefact de la
pointe.
✓ Evolution d'un échantillon au cours du temps.

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✓ Etude de la surface de structures organiques micrométriques.

✓ Plus basse échelle possible.
✓ Facilite vis-à-vis des autres types de microscopies.

V. La Microscopie à Effet Tunnel

V.1. La réalisation
Le microscope à effet tunnel (en anglais, scanning tunneling microscope, STM) est inventé en
1981 par des chercheurs d'IBM, Gerd Binnig et Heinrich Rohrer, qui reçurent le prix Nobel de
physique pour cette invention en 1986. C'est un microscope en champ proche qui utilise
un phénomène quantique, l'effet tunnel, pour déterminer la morphologie et la densité d'états

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électroniques de surfaces conductrices ou semi-conductrices avec une résolution spatiale

pouvant être égale ou inférieure à la taille des atomes.

V.2.Le principe de fonctionnement d'un STM:

Pour le STM, les pointes doivent être fines, propres et non oxydées. La pointe est constituée
d’un fil de platine-iridium qui a été coupe à la pince de manière à obtenir en son bout un
atome unique.

Dans le STM, une pointe conductrice très fine est approchée si prés de la surface d’un
échantillon que les électrons peuvent passer de l’un à l’autre par effet tunnel. Lorsqu’une
tension est appliquée entre la surface et la pointe, un courant d’électrons peut être détecté.

Une image c’est toujours une convolution entre la pointe et la surface, mais l’image STM
dépend aussi de sa structure électronique.
Distance pointe échantillon environ 1 nm + balayage au dessus de la surface ... pas simple !
Le système d’amortissement doit transformer une vibration de 1m d’amplitude en 1 pm à la
jonction STM (amortisseur + ressorts). Plus précisément, un phénomène quantique : l’effet
tunnel, onde progressive de part et d’autre de la barrière, onde évanescente dans la barrière.

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V.3. La théorie de l’effet tunnel (courant tunnel) :

La figure suivante est une représentation schématique de la surface, de la pointe et de

l’intervalle qui les sépare. Dans le STM, a la fois la pointe et la surface doivent entre
conductrices pour permettre le passage des électrons de l’un a l’autre, cela interdit son
utilisation sur des matériaux isolants. Dans ce microscope, le courant tunnel qui mesure et
compare `a une valeur de référence fixée dans la boucle d’asservissement. C’est l’atome qui
se trouve à l’extrémité de la pointe qui permet l’imagerie de la surface avec une résolution
atomique.

V.4. Les applications :

➢ La topographie :
- Observation topographique (mesure en x, y et z)
- Idéal pour étudier les modes de croissance
- On accède facilement au profil (contrairement aux MEB)

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- Des images en résolution atomique

- Des changements de phases deviennent observables
- Observation des interfaces plus complexes ... avec des molécules isolées ou auto-assemblées
sur les métaux
➢ La spectroscopie : Le STM en résolution atomique: topo et spectro à la fois

Figure 6: exemple du composé GaAs: Spectaculaire

➢ La nano-manipulation : La pointe, un instrument de précision pour la manipulation :

- En contrôlant la distance pointe-échantillon et la polarisation, on peut contrôler les
forces d’interactions.
- elles peuvent être attractives ou répulsives et on peut utiliser le courant d’électrons ou
le champ électrique pour agir sur la matière
- Nécessite de travailler à très basse température et sur métaux
- Les atomes sont déplacés un par un
- Modifications des propriétés électroniques de la surface, apparition d’ondes
stationnaires, nano-rails  confinement électronique.

Figure 7 :Le contrôle des forces et la manipulation du composé Fe/Cu

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