Открыть Электронные книги
Категории
Открыть Аудиокниги
Категории
Открыть Журналы
Категории
Открыть Документы
Категории
45 95 Па
40 1,25 10е2 Па
Скорость осаждения, нм/мин
35
30
25
20
15
10
0
0 5 10 15 20 25 30 35 40
Мощность, Вт
Температура, 0С
преломленияПоказатель
Состав
Скорость
Метод согласно травления в
оже- буферном
травителе, нм/с
анализу
Условия осаждения
Внутренние
Темпера-
Скорость
Давлени
Па
осаждения,
нм/мин
Н/м2
22 2,6
20 2,5
Показатель преломления
Скорость осаждения, нм/мин
18 2,4
16 2,3
14 2,2
12 2,1
10 2
8 1,9
30 40 50 60 70 80 90 100
Мощность, Вт
Таблица 5.