Вы находитесь на странице: 1из 5

103

Контроль параметров ультразвуковых


систем микросварки соединений высокой плотности
И. Б. Петухов
ОАО «Планар-СО»,
Партизанский пр. 2, г. Минск, 220033, Республика Беларусь, e-mail: petuchov@kbtem.by

Предложены методики автоматизированного контроля амплитуды и импеданса ультра-


звуковых систем микросварки, использующие бесконтактные методы регистрации отражен-
ного луча лазера от движущейся поверхности, позволяющие оптимальным образом согласовать
элементы ультразвуковых систем в диапазоне частот 50–120 кГц и обеспечить высокое
качество и воспроизводимость свойств микросварных соединений высокой плотности (с шагом
до 90 мкм). Данные методики применимы как для оперативной, так и периодической диагно-
стики ультразвуковых сварочных систем оборудования присоединения выводов, поскольку не
требуют трудоемкой разборки сварочной головки и использования стендового оборудования.

Ключевые слова: ультразвуковые системы, микросварка, соединения высокой плотности.

УДК 621.396.6
ВВЕДЕНИЕ в процессе работы, например при изменении
статического усилия на УЗП. Поэтому для
Прогрессирующая микроминиатюризация поддержания частоты резонанса все современ-
электронных компонентов и создание функцио- ные УЗ генераторы содержат встроенную
нально сложных микроэлектронных устройств, в фазовую автоподстройку частоты (ФАПЧ) и
частности 3D-интегральных микросхем и много- устройства компенсации изменения входного
кристальных модулей, вызвали особые проблемы импеданса.
в области формирования микросварных соеди- Термозвуковая микросварка методом «шарик-
нений. Одна из основных задач микросварки при клин» в настоящее время является самым быст-
сборке данных изделий – обеспечение большого родействующим процессом присоединения про-
числа (от 100 до 1000) надежных проволочных волочных выводов к контактным площадкам
межсоединений с учетом разновысотности уров- интегральных схем, который обеспечивает высо-
ней микросварки между компонентами и умень- кую плотность соединений. До 95% изготавлива-
шения размеров контактных площадок активных емых в мире микросхем используют золотую
структур из-за высокой степени интеграции. Для проволоку для обеспечения надежных межсо-
обеспечения размеров микросварных соединений единений между кристаллом и выводной рамкой.
высокой плотности с размерами контактных Быстрое развитие технологии сверхбольших
площадок на кристалле от 55х55 до 65х65 мкм и интегральных схем и уменьшение размеров
с шагом между соседними контактными площад- контактных площадок потребовало использова-
ками 20–30 мкм необходимо использовать ние проводников диаметром менее 20 мкм и
проволоку малого диаметра (17–25 мкм), что соответственно высокой воспроизводимости
предъявляет особые требования к настройке образуемых шариков [2].
сборочного оборудования [1]. Для создания микросварных соединений
Уменьшение размеров контактных площадок высокой плотности в УЗС термозвуковой свар-
на кристаллах интегральных схем требует преци- кой применяют УЗ преобразователи повышенной
зионной работы ультразвуковых систем (УЗС) частоты (с частотой резонанса более 100 кГц),
микросварки, поскольку подводимые электри- что позволяет повысить производительность за
ческие колебания от генератора преобразуются счет сокращения времени сварки, а также
ультразвуковым преобразователем (УЗП) в уменьшить температуру зоны сварки. Возмож-
механические колебания на частоте резонанса ность снижения температуры зоны микросварки
УЗП и должны без потерь передаваться в зону особенно актуальна при сборке приборов на
сварки проволочных выводов. Поэтому требуют- полимерных носителях, например кредитных
ся точный контроль параметров УЗС микро- карт, SIM карт и т.п. Такие УЗП характеризуются
сварки и оптимальное согласование рабочего малыми амплитудами колебаний и повышенной
инструмента с УЗП, поскольку УЗП с инстру- чувствительностью к изменению нагрузки [3].
ментом представляет собой электромеханиче- Контактные измерители вибраций иногда
скую резонансную систему, параметры которой используют для настройки в резонансный режим
(частота и входной импеданс) могут изменяться работы УЗ систем микросварки. Однако такие
_____________________________________________________________________________________________
 Петухов И.Б., Электронная обработка материалов, 2017, 53(1), 103–107.
104

приборы позволяют осуществлять лишь перио- АВТОМАТИЗАЦИЯ КОНТРОЛЯ


дический контроль амплитуды колебаний УЗ ПАРАМЕТРОВ УЗ СИСТЕМ МИКРОСВАРКИ
инструментов в процессе выполнения техноло-
гических операций, что затрудняет точную При формировании микросварных соедине-
настройку технологического оборудования, при- ний высокой плотности (с шагом до 90 мкм) с
водит к выполнению технологической операции использованием проволоки малого диаметра
при неоптимальных режимах и увеличивает (17–25 мкм) термозвуковой микросваркой раз-
процент дефектных изделий. Недостаток данного брос диаметров исходных шариков ± 2,5 мкм с
метода измерения вибраций – зависимость пока- учетом погрешности позиционирования свароч-
заний прибора от усилия нагружения щупа ной головки ± 4 мкм может привести к выходу
датчика [4]. сварного соединения за пределы контактной
Очень важным моментом настройки УЗ коле- площадки и повреждению топологии кристалла.
бательной системы микросварки является кор- Необходимо учитывать, что разброс по дефор-
ректная установка микроинструмента в зажиме – мации соединений шариком встык на кристалле
так называемый «вылет» инструмента. Необхо- сильно зависит от выбора геометрии рабочего
димо, чтобы собственные частоты продольных торца инструмента (рис. 1), поэтому необходимо
колебаний УЗ преобразователя и изгибных коле- не только правильно выбирать капилляр, но и
баний инструмента совпадали. В противном согласовывать инструмент с УЗ системой микро-
случае резонансная частота примет какое-то сварки [6].
промежуточное значение и в месте сопряжения
увеличится реакция нагрузки (за счет реактив-
ных составляющих), что может вызвать наруше-
ние согласования преобразователя с инструмен-
том и снижение амплитуды колебаний на рабо-
чем торце инструмента. Рост требований к про-
изводительности оборудования и уменьшение
размеров контактных площадок на кристаллах
требуют прецизионной работы УЗ системы и
тщательного согласования УЗП с УЗГ, поскольку
Рис. 1. Формирование микросварных соединений высокой
подводимые электрические колебания от УЗГ
плотности.
преобразуются УЗП в механические колебания.
В свою очередь, требуется согласование рабоче- Для исследования распределения амплитуды
го микроинструмента с УЗП. в УЗ системе микросварки применяют виброметр
Для исследования распределения амплитуды PSV-400 с контроллером OFV-5000, оснащенным
и частот колебаний вдоль УЗС микросварки аналоговым и цифровым декодерами скорости,
применяют бесконтактный виброметр PSV-400 измерительной головкой, состоящей из сенсора
компании Polytec [5], являющийся наиболее виброметра PSV-I-400, высокоточного сканера и
передовым средством для бесконтактных изме- цветной видеокамеры с возможностью автофо-
рений, визуализации и анализа колебаний раз- кусировки и 72-кратным увеличением. Для авто-
личных конструкций. «Сердцем» прибора явля- матической регистрации и записи данных
ется лазерный доплеровский виброметр – высо- виброметр соединен через блок коммутации и
коточный оптический датчик для определения кабель с персональным компьютером с операци-
виброскорости и амплитуды перемещения в онной системой Windows® XP. При скорости
заданной точке, принцип работы которого осно- сканирования до 30 точек/с диапазон сканирова-
ван на интерференции отраженного луча лазера ния составлял ± 20° по осям X, Y; угловое разре-
шение < 0,002°, угловая стабильность
от движущейся поверхности с опорным лучом.
< 0,01°/час.
Результатом интерференции двух лучей является
При отражении лазерного луча движущимся
изменение интенсивности излучения, фиксируе-
объектом происходит сдвиг частоты, величина
мого фотоприемником. Это дает возможность
которого определяется по формуле:
измерения частоты колебаний от 0 Гц до 24 МГц,
виброскорости от 0,02 мкм/с до 10 м/с и ампли- 2
f  ,
туды колебаний от 0,1 до 100 мкм. λ
Цель работы – разработка методики контроля где v – скорость объекта;  – длина излучаемой
параметров УЗ колебательных систем микро- волны.
сварки для формирования микросварных соеди- Для определения скорости объекта доплеров-
нений с высокой плотностью. ский сдвиг частоты с известной длиной волны
105

определяется с помощью лазерного интерферо- щью аналого-цифрового преобразователя и


метра. Для измерения необходимо наличие двух микроконтроллера пиковое значение амплитуды
наложенных друг на друга пучков когерентного выводится на ЖК-дисплей. Синусоидальный
излучения с интенсивностью I1 и I2. Результиру- сигнал УЗ колебаний после низкочастотного
ющая интенсивность определяется с учетом фильтра выводится на осциллограф для наблю-
величины интерференционного члена по дения формы и амплитуды (рис. 4).
формуле:
I    I 1  I  2  2  I 1I 2  cos  2π  A 1    A 2  / λ,
   

где A1 = A(t) – движение объекта;


A2 = постоянная.
Для проведения экспериментальных исследо-
ваний распределения амплитуды УЗ колебаний
вдоль оси сварочного инструмента и проверки
оптимального согласования инструмента с вол-
новодом УЗС разработан и изготовлен стенд
контроля СКК-01, принцип работы которого
основан на контроле сигнала фотоприемника
лазерного полупроводникового излучателя, луч Рис. 3. Схема обработки сигнала фотоприемника стенда
которого наполовину перекрывается телом рабо- контроля колебаний.
чего инструмента (рис. 2). В стенде применен
метод прямого контроля амплитуды механиче-
ских колебаний, в отличие от сложных допле-
ровских интерферометров, измеряющих скорость
колебаний и математически пересчитывающих в
амплитуду. Дополнительным преимуществом
метода является его нечувствительность к отра-
жающим свойствам поверхности инструмента.

Рис. 4. Стенд контроля колебаний СКК-01.

Положение УЗП с рабочим инструментом


относительно луча регулируется микрометри-
ческим винтом, приводящим в движение каретку
Рис. 2. Принцип работы лазерной системы контроля УЗ с закрепленным УЗП, причем положение каретки
вибраций. и соответственно УЗП контролируется цифро-
вым штангенциркулем. Таким образом, сдвигая
В рабочем режиме вибрация рабочего
положение инструмента относительно лазерного
инструмента изменяет интенсивность лазерного
луча, можно контролировать распределения
луча, а фотоприемник регистрирует колебания
амплитуд колебаний вдоль оси инструмента.
УЗ частоты. Поскольку амплитуда колебаний
достаточно мала (0,1–1,0 мкм), то сигнал с РЕЗУЛЬТАТЫ ЭКСПЕРИМЕНТА
фотоприемника также мал и требует усиления и И ИХ ОБСУЖДЕНИЕ
фильтрации. Лазерный луч модулируется на
несущей частоте 1 МГц для исключения влияния Динамические характеристики УЗП с резо-
внешней засветки и помех. Сфокусированный нансной частотой в диапазоне 60–70 кГц прове-
луч лазерного излучателя, попадая на рабочий рялись на сканирующем лазерном виброметре
инструмент, модулируется по амплитуде на УЗ PSV-400 Polytec. Распределение амплитуды
частоте колебаний рабочего инструмента. колебания вдоль сварочного инструмента,
Сигнал колебаний инструмента с фотоприемника приведенное на рис. 5, показывает, что резо-
поступает на прецизионный демодулятор, кото- нансная частота системы составляет 66,2 кГц, а
рый выделяет полезный сигнал УЗ частоты и амплитуда колебаний инструмента – 0,25 мкм.
после фильтра низких частот с частотой среза Данная модель виброметра позволяет измерять
130 кГц поступает на пиковый детектор, выде- амплитуду колебания в диапазоне до 80 кГц, а
ляющий амплитудное значение (рис. 3). С помо- для более высокого диапазона используют
106

Рис. 5. Определение резонансной частоты колебаний в УЗ системе микросварки.

Рис. 6. Зависимости амплитуды колебаний рабочего инструмента от приложенной мощности и частоты УЗ.
1– 60 кГц и диаметр 2,0 мм; 2 – 95 кГц и диаметр 1,6 мм; 3 – 60 кГц и диаметр 1,6 мм.

Рис. 7. Распределение амплитуды колебаний вдоль оси инструмента.

(а) (б)
Рис. 8. Спектры колебаний торца инструмента при оптимальном согласовании и рассогласовании.
107

другой контроллер. С помощью подобной систе- ВЫВОДЫ


мы определяют не только распределение колеба-
ний вдоль оси инструмента, но и исследуют Разработанные методики автоматизированно-
спектр колебаний. го контроля амплитуды и импеданса УЗС микро-
Результаты измерения амплитуды колебаний сварки, использующие бесконтактные методы
микроинструмента от приложенной мощности регистрации отраженного луча лазера от движу-
ультразвука приведены на рис. 6. Амплитуда щейся поверхности, позволяют оптимальным
колебаний практически линейно растет с возрас- образом согласовать элементы УЗ систем в диа-
танием мощности ультразвука и достигает пазоне частот 50–120 кГц и обеспечить хорошее
максимума, который определяется частотой качество и воспроизводимость свойств микро-
колебаний и величиной диаметра инструмента. сварных соединений высокой плотности
Распределение амплитуды колебаний инстру- (с шагом до 90 мкм). Данные методики приме-
мента типа КУТ61-50-130-21 в УЗС с УЗП с нимы как для оперативной, так и периодической
частотой резонанса 94 кГц исследовалось на диагностики УЗ сварочных систем оборудования
лазерном стенде СКК-01. В инструменте на присоединения выводов, поскольку не требуют
частоте резонанса 94 кГц возникает стоячая трудоемкой разборки сварочной головки и
волна с четырьмя узловыми точками, при этом использования стендового оборудования.
амплитуда колебаний в рабочем торце увеличи-
ЛИТЕРАТУРА
вается в 1,8 раза (рис. 7).
Осциллографом фирмы Tektronix мод. 1. Integrated Interconnect Technologies for 3D Nano
TDS2024B с полосой пропускания 200 МГц Electronics Systems. Eds. M.S. Bakir, J.D. Meindl.
исследован спектр входных сигналов (рис. 8) с London: Artech House, 2009. 528 p.
помощью быстрого преобразования Фурье при 2. Harmann G.G. Wire Bonding in Microelectronics. NY:
оптимальном согласовании и рассогласовании McGraw Hill, 3-d edition, 2010. 432 p.
инструмента с преобразователем. При рассогла- 3. Zhong Z., Goh K.S. J Electron Manuf. 2001, 10(4),
совании инструмента с преобразователем, то 365–371.
есть при произвольном вылете инструмента, в 4. Ланин В.Л., Дежкунов Н.В., Томаль В.С. Техно-
спектре колебаний появляются гармоники логия и конструирование в электронной аппара-
(рис. 8б), расположенные в районе резонансной туре. 2008, (2), 51–55.
частоты, а выходной сигнал модулирован по 5. Defect Detection Testing with PSV-400 and PSV-400-
амплитуде. Подобные гармоники возникают 3D Scanning Vibrometers. http://www.polytec.com/
также при плохом прилегании поверхности us/applications/application-notes/general-vibrometry/
инструмента к поверхности установочного 6. Ланин В.Л., Петухов И.Б. Технология и конст-
отверстия инструмента в УЗП [7]. Из осцилло- руирование в электронной аппаратуре. 2014,
граммы следует, что частота резонанса равна (2–3), 48–53.
96 кГц вместо 94 кГц. Модуляция сигнала коле- 7. Or S.W., Chan H.L.W., Lo V.C., Yuen C.W. IEEE
баний торца инструмента означает сложный transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and
характер колебаний, который может привести к Frequency control. 1998, (6), 45–49.
дестабилизации сварочного процесса. Таким Поступила 04.11.15
образом, с помощью этого метода можно опре- Summary
делить оптимальное согласование с инструмен-
Techniques of the automated control of amplitude and
тами различной геометрии и длины.
impedance of ultrasonic systems (US) of microwelding
О качестве УЗ преобразователя можно судить
are offered as methods of registration of the reflected
по таким параметрам, как частота собственного beam of the laser which allow to coordinate in the
резонанса преобразователя, сопротивление optimum the image elements of US systems in a range of
преобразователя на резонансной частоте и форма frequencies of 50–120 kHz and to provide high quality
кривых модуля и фазы импеданса преобразова- and reproducibility of properties of the microwelded con-
теля. Современный УЗ пьезокерамический nections of high density (with a step up to 90 microns).
преобразователь характеризуется сопротивлени- The offered techniques are applicable for both operative
ем 10–30 Ом на резонансной частоте между 90 и and periodic diagnostics of US microwelding systems of
120 кГц. Низкое значение импеданса УЗП обес- the equipment of connecting terminals as they do not
печивает минимальное смещение узловых точек demand labour-consuming dismantling of the
на инструменте, что позволяет стабилизировать microwelding head and usage of the bench equipment.
сварочный процесс при формировании соедине- Keywords: ultrasonic systems, microwelding, high
ний высокой плотности. density connections.