ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ

ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ

"Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет
"ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина)"

На правах рукописи

Шалымов Егор Вадимович

ИССЛЕДОВАНИЕ МИКРООПТИЧЕСКОГО ГИРОСКОПА НА

ОСНОВЕ ПАССИВНЫХ КОЛЬЦЕВЫХ РЕЗОНАТОРОВ

Специальность: 05.11.07 – Оптические и оптико-электронные приборы и

комплексы

Диссертация на соискание ученой степени

кандидата технических наук

Научный руководитель:
д.ф.-м.н., доцент
Венедиктов В.Ю.

Санкт- Петербург
2016
 2

Оглавление
ВВЕДЕНИЕ .................................................................................................................. 4

Глава 1 АНАЛИЗ ПРИНЦИПОВ РАБОТЫ РАЗЛИЧНЫХ ТИПОВ

МИКРООПТИЧЕСКИХ ГИРОСКОПОВ И РАЗЛИЧНЫХ ТИПОВ ИХ
ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ......................................................................... 9

1.1 Эффект Саньяка .................................................................................................. 9

1.2 Схемы подключения чувствительного элемента микрооптического
гироскопа ................................................................................................................. 10
1.3 Типы чувствительных элементов пассивных микрооптических гироскопов 20
1.4 Выводы по главе 1 ............................................................................................. 38
Глава 2 РАЗРАБОТКА МИКРООПТИЧЕСКОГО ГИРОСКОПА,
ИСПОЛЬЗУЮЩЕГО СОВМЕСТНО АМПЛИТУДНУЮ И ФАЗОВУЮ
ХАРАКТЕРИСТИКИ ПАССИВНОГО КОЛЬЦЕВОГО РЕЗОНАТОРА ................ 41

2.1 Анализ характеристик пассивного кольцевого резонатора ............................ 41

2.2 Использование фазовой характеристики пассивного кольцевого резонатора
для измерения угловой скорости............................................................................ 47
2.3 Потенциальная точность микрооптического гироскопа с пассивным
кольцевым резонатором .......................................................................................... 54
2.4 Выводы по главе 2 ............................................................................................. 59
Глава 3 ИССЛЕДОВАНИЕ МИКРООПТИЧЕСКОГО ГИРОСКОПА,
ИСПОЛЬЗУЮЩЕГО СОВМЕСТНО АМПЛИТУДНУЮ И ФАЗОВУЮ
ХАРАКТЕРИСТИКУ ПАССИВНОГО КОЛЬЦЕВОГО РЕЗОНАТОРА ................ 61

3.1 Исследование влияния разности оптических длин путей опорных и

измерительных сигналов на характеристики микрооптического гироскопа ....... 61
3.2 Допустимая разность оптических длин путей измерительных и опорных
сигналов ................................................................................................................... 65
3.3 Оценка влияния внешних воздействий на пассивный кольцевой резонатор 72
3.4 Оценка параметров микрооптического гироскопа, необходимых для
достижения заданной точности. ............................................................................. 80
3.5 Выводы по главе 3 ............................................................................................. 84
 3

Глава 4 РАЗРАБОТКА И ИСЛЕДОВАНИЕ КОЛЬЦЕВОГО КОНФОКАЛЬНОГО

РЕЗОНАТОРА ............................................................................................................ 87

4.1 Анализ кольцевого конфокального резонатора и его спектра. ....................... 87

4.2 Кольцевой конфокальный резонатор как чувствительный элемент
микрооптического гироскопа ................................................................................. 95
4.3 Сравнение волноводного и конфокального пассивных кольцевых
резонаторов ........................................................................................................... 102
4.4 Выводы по главе 4. .......................................................................................... 106
ЗАКЛЮЧЕНИЕ ........................................................................................................ 109

Обозначения и сокращения ..................................................................................... 113

Список литературы .................................................................................................. 114

 4

ВВЕДЕНИЕ

Актуальность темы исследования. Развитие сравнительно дешевых и

миниатюрных (размером порядка нескольких сантиметров и меньше) гироскопов
для широкого диапазона применений - одна из важнейших задач в области
разработки приборов ориентации и навигации. На сегодняшний день эта ниша
занята различными видами микромеханических инерциальных датчиков угловой
скорости, которые обязаны своим появлением, в первую очередь, успехам в
развитии микроэлектромеханических технологий. Тем не менее,
чувствительность лучших микромеханических датчиков, по крайней мере, на два
порядка ниже чувствительности оптических. Кроме того, они чувствительны к
линейным ускорениям и различным видам механических воздействий (ударам,
вибрациям), что ограничивает возможную область их применения.

Лазерный и волоконно-оптический гироскопы (ЛГ и ВОГ, соответственно)

не имеют этих недостатков. Однако, они не могут использоваться в
навигационных системах для управления компактными портативными
подвижными объектами из-за их большого размера и веса. Еще одним
недостатком оптических гироскопов является их довольно высокая стоимость.
Поэтому, на сегодняшний день актуальной является миниатюризации оптических
инерциальных датчиков угловой скорости, т.е. разработка и исследование
микрооптических гироскопов (МОГ).

Развитие интегральной оптики создало базу для проведения работ,

направленных на существенное снижение стоимости и габаритов оптических
гироскопов. Размер оптического гироскопа ограничен размером его
чувствительного элемента. Существуют два основных пути снижения габаритов
оптических гироскопов: применение микрооптических активных резонаторов
(кольцевых лазеров) и микрооптических пассивных кольцевых резонаторов
(ПКР). Однако резкий рост зоны захвата активных резонаторов при снижении их
периметра препятствует созданию активных МОГ. Другим препятствием на пути
 5

к созданию МОГ с активным резонатором является большая ширина линии

усиления, приводящая к проблемам от которых сложно избавится при
миниатюрном исполнении резонатора: многомодовому режиму генерации,
неустойчивости двунаправленной генерации, нестабильность амплитуд
встречных волн и т.д. Поэтому наиболее интересным вариантом построения
оптического гироскопа, с точки зрения миниатюризации, является пассивный
МОГ.

Цель и основные задачи. Целью работы является разработка и

исследование МОГ, предназначенного для малогабаритных дешевых систем
ориентации и навигации широкого диапазона применений.
Цель работы достигается решением следующих задач:

 Анализ принципов работы различны типов пассивных МОГ и

различных типов их чувствительных элементов;
 Исследование характеристик чувствительного элемента МОГ;
 Разработка МОГ, использующего совместно амплитудную и фазовую
характеристики пассивного кольцевого резонатора (ПКР);
 Сравнение МОГ, использующего совместно амплитудную и фазовую
характеристики ПКР, с обычным резонаторным МОГ;
 Исследование влияния разности оптических длин путей опорных и
измерительных сигналов на характеристики МОГ;
 Оценка значений параметров МОГ, использующего совместно
амплитудную и фазовую характеристики ПКР, необходимых для
достижения заданной точности;
 Разработка кольцевого конфокального резонатора;
 Сравнение волноводного и конфокального ПКР;

Методы исследований. В работе используются методы математического и

имитационного моделирования, а также сравнительный и системный анализ,
которые базируются на: теории оптических волноводов, теории фотоэффекта,
 6

общей теории вероятностей и математической статистике, теории случайных

процессов и статистических методах их анализа, матричном исчислении.
Основные положения, выносимые на защиту. На защиту выносятся
следующие положения:
 Продемонстрировано, что применение методов измерения фазовой
характеристики для измерения угловой скорости пассивного
кольцевого резонатора снимает ограничения связанные с
зависимостью величины выходного сигнала от величины потерь в
резонаторе;
 Совместное использование в микрооптическом гироскопе
амплитудной и фазовой характеристик пассивного кольцевого
резонатора для определения его собственных частот, по сравнению с
использованием только амплитудной характеристики пассивного
кольцевого резонатора, позволяет повысить потенциальную точность
микрооптического гироскопа;
 Замена в микрооптическом гироскопе волноводного пассивного
кольцевого резонатора на эквивалентный ему по размеру пассивный
кольцевой конфокальный резонатор позволяет повысить
потенциальную точность микрооптического гироскопа.

Научная новизна работы. В процессе проведения работы получены

следующие научные результаты:

 Разработан принцип построения резонаторных МОГ, работающий с

совместным использованием амплитудной и фазовой характеристик
ПКР;
 Разработана методика оценки значений параметров МОГ,
использующего амплитудную и фазовую характеристики ПКР,
требуемые для достижения заданной потенциальной точности;
 Аналитически доказано существование кольцевых конфокальных
резонаторов;
 7

 Исследован спектр кольцевого конфокального резонатора.

Практическая значимость работы. Практическая значимость работы

обусловлена тем, что в процессе ее выполнения:

 Разработан способ измерения угловой скорости с совместным

использованием амплитудной и фазовой характеристик ПКР,
позволяющий повысить потенциальную точность МОГ;
 Оценены значения параметров МОГ, использующего амплитудную и
фазовую характеристики ПКР, необходимые для достижения
точности 1 °/ч;
 Разработан новый тип кольцевого резонатора – кольцевой
конфокальный резонатор, применение которого в качестве
чувствительного элемента МОГ позволяет повысить потенциальную
точность измерения угловой скорости.

Реализация и внедрение результатов. Результаты диссертационной

работы были использованы в гранте РНФ 14-19-00693 «Разработка
мультифизических технологий построения твердотельных волновых
микросенсоров для систем навигации и управления высокодинамичных объектов»
и в гос задании № 8.1068.2014/К. Также тема диссертационной работы тесно
связана с грантом по конкурсу «УМНИК» «Разработка микрооптического
гироскопа», и с ведущимися на кафедре ЛИНС Санкт-Петербургского
государственного электротехнического университета «ЛЭТИ» работами по
созданию МОГ.

Апробация. Основные результаты диссертационной работы докладывались

и обсуждались на следующих конференциях:
• Научно-техническая конференция профессорско-преподавательского
состава Санкт-Петербургского государственного электротехнического
университета «ЛЭТИ» им.В.И. Ульянова (Ленина) (2011-2015) , Санкт-
Петербург, Россия;
 8

• Международная конференция «Science and Progress» (2011, 2012 и 2014),

Петергоф, Россия;
• Международная научно–техническая конференция «ИННОВАТИКА 2013»
(2013), Сочи, Россия;
• Всероссийская научно-техническая конференция молодых ученых
«Навигация и управление движением» (2014, 2016), Санкт-Петербург,
Россия;
• Международная конференция «Оптика лазеров» (2014, 2016), Санкт-
Петербург, Россия;
• Международная конференция SPIE Photonics Asia (2014), Пекин, Китай;
• Международная конференция SPIE Photonics Europe (2014, 2016), Брюссель,
Бельгия;
• Международная конференция «IEEE NW Russia Young Researchers in
Electrical and Electronic Engineering Conference» (2015, 2016), Санкт-
Петербург, Россия;
• Международная конференция SPIE Optecs + Optoelectronics (2015), Прага,
Чехия;
• XXII Санкт-Петербургская международная конференция по
интегрированным навигационным системам (2015), Санкт-Петербург,
Россия;
• Международная конференция SPIE Security Defence «Electro Optical Remote
Sensing, Photonic Technologies, and Applications IX» (2015), Тулуза,
Франция.
 9

Глава 1 АНАЛИЗ ПРИНЦИПОВ РАБОТЫ РАЗЛИЧНЫХ ТИПОВ

МИКРООПТИЧЕСКИХ ГИРОСКОПОВ И РАЗЛИЧНЫХ ТИПОВ ИХ
ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ

1.1 Эффект Саньяка

Принцип работы всех известных на настоящее время оптических

гироскопов (ЛГ, ВОГ и МОГ) основан на эффекте Саньяка [1]. Этот эффект был
открыт в 1913 Жоржем Саньяком при проведении серии экспериментов
посвященных изучению "эфира". Ученый использовал интерферометр,
схематично изображенный на рисунке 1.1.

Рисунок 1.1. Схема интерферометра Саньяка.

В кольцевой интерферометр, состоящий из нескольких глухих зеркал и

светоделителя, вводилось излучение света от источника И. С помощью
светоделителя пучок света делился надвое. Свет обходил интерферометр по
взаимно противоположным направлениям, как показано на рисунке 1.1. Затем обе
части пучка объединялись светоделителем, интерферировали и направлялись на
фотопластинку ФП. Интерферометр был помещен на подвижное основание. От
 10

эксперимента к эксперименту Саньяк менял угловую скорость движения

интерферометра и с помощью фотопластинок записывал картины двулучевой
интерференции встречных волн (интерференционные полосы). При изучении
записанных интерференционных картин ученый обнаружил, что вращение
интерферометра приводит к сдвигу интерференционных полос. Это говорит о
том, что оптический путь проходимый встречными волнами зависит от угловой
скорости [1]:

4A
L  , (1.1)
c

где ΔL – разность оптических длин путей волн обходящих интерферометр по

взаимно противоположным направлениям (ЧС и ПЧС); A – площадь
интерферометра; c – скорость распространения света в вакууме; Ω – угловая
скорость движения основания установки.

1.2 Схемы подключения чувствительного элемента микрооптического гироскопа

Принцип работы каждого конкретного МОГ связан со схемой подключения

его чувствительного элемента. Все разработанные на сегодняшний день
пассивные МОГ можно разделить по схеме подключения чувствительного
элемента на два типа: резонаторные и интерферометрические МОГ [2].

1.2.1 Резонаторные микрооптические гироскопы

Большинство экспериментально реализованных прототипов МОГ относятся

к резонаторному типу [3]. В качестве чувствительного элемента этого типа МОГ
используются различные типы пассивных кольцевых резонаторов. Известно, что
спектр ПКР имеет экстремумы (провалы – при работе ПКР на отражение или
пики – при работе ПКР на пропускание) на резонансных (собственных) частотах и
аналогичен спектру интерферометра Фабри-Перо [4]. При вращении ПКР, за счет
 11

эффекта Саньяка его резонансные частоты сдвигаются. Направление сдвига для

противоположных направлений обхода резонатора различно и определяется
направлением вращения ПКР. Величина сдвига пропорциональна скорости
вращения.

Рисунок 1.2. Принцип работы резонаторного МОГ.

Рассмотрим подробнее принцип работы резонаторного МОГ. Как правило,

резонаторные МОГ реализуют в волноводном варианте (все оптические элементы
выполнены в виде одной или нескольких оптических интегральных схем) с ПКР
работающим на отражение (см. рисунок 1.2.). Излучение источника света 1
разделяется разветвителем 2 (обычно используется У-образный разветвитель) на
два канала. Так как ширина лини излучения источника света должна быть
значительно уже, чем ширина спектральной линии ПКР, то в качестве источника
света в резонаторном гироскопе используется лазер. Фазовые модуляторы 3 и 4
изменяют частоты проходящих через них волн и позволяют сканировать ПКР по
частоте. Оптическая система МОГ содержит три направленных ответвителя 7, 8 и
9. С помощью ответвителя 9, свет из обоих каналов вводится в ПКР 10 (например,
кольцевой волновод диаметром несколько сантиметров) во взаимно
противоположных направлениях (по и против часовой стрелки – ЧС и ПЧС,
соответственно). Через ответвители 7, 8 и 9 излучение из ПКР попадает на
фотоприёмники 5 и 6. Сигналы с обоих фотодетекторов передаются в
вычислительную систему 11[4].
 12

Когда ПКР неподвижен относительно инерциального пространства, его

собственные частоты для взаимно противоположных направлений его обхода
совпадают и интенсивность света на фотоприемниках 5 и 6 (I5 и I6
соответственно) в зависимости от частоты излучения меняется согласно графику
на рисунке 1.3 [4].

I5, I6

fm-1 fm fm+1 f
Рисунок 1.3. Зависимость интенсивности света от частоты на выходах неподвижного
относительно инерциального пространства ПКР.

При этом если частота лазерного излучения не равна собственной (резонансной)

частоте ПКР fm, то свет практически не поглощается резонатором и достигает
фотодетекторов. Если частота излучения совпадает с резонансной, то свет
задерживается в резонаторе и диссипирует в нем. Таким образом, минимумы
амплитудной характеристики ПКР (интенсивности на фотоприемниках)
соответствуют резонансным частотам ПКР fm. Собственные частоты
неподвижного ПКР описываются известной формулой [3]:

mc
fm  ,
nL

где m – продольный индекс моды (целое положительное число); c – скорость

распространения света в вакууме; n – коэффициент преломления; L – периметр
ПКР. При вращении МОГ в плоскости рис. 1.2. (ПЧ вокруг оси перпендикулярной
 13

плоскости ПКР), за счет эффекта Саньяка резонансные частоты ПКР сдвигаются в

противоположные стороны (см. рисунок 1.4).

I5, I6

I5
I6

fm,ПЧС – fm,ЧС

fm,ЧС fm,ПЧС f

Рисунок 1.4. Расщепление собственных частот ПКР при вращении.

Вызванная эффектом Саньяка, разность резонансных частот ПКР для

встречных направлений обхода резонатора определяется следующей формулой:

4A
f  f m,ПЧС  f m,ЧС  , (1.2)
mL
где f m,ЧС и f m,ПЧС – резонансные частоты ПКР при его обходе в направлениях по и
против часовой стрелки соответственно; A – площадь охватываемая контуром
ПКР; λm = с/fm – длина волны источника излучения 1; Ω – угловая скорость МОГ в
плоскости рисунка 1.2.

Вычислительная система 11 управляет модуляторами 3 и 4 и осуществляет

сканирование ПКР по частоте во взаимно противоположных направлениях. По
минимумам амплитудной характеристики ПКР (минимумам сигналов с
фотоприемников 5 и 6), вычислительная система определяет резонансные частоты
ПКР и с помощью фазовых модуляторов подстраивает под них частоты волн.
Угловая скорость вычисляется по выражению (1.2) исходя из разности
собственных частот ПКР для взаимно противоположных направлений его обхода.
 14

Стоит отметить что во всех известных резонаторных МОГ при измерении угловой
скорости используется только амплитудная характеристика ПКР (информация об
изменении фазы волны при прохождении ПКР не используется) [4].

В рассмотренной выше схеме резонаторного гироскопа, для ввода и вывода

излучения из пассивного кольцевого резонатора используется одна петля
оптической связи (один вспомогательный волновод, связанный с резонатором).
Существуют и другие конфигурации резонаторных МОГ на основе ПКР,
отличающиеся по способу ввода и вывода сигналов из резонатора. Однако,
практически во всех разработанных на сегодняшний день резонаторных МОГ для
ввода и вывода излучения из резонатора используется один (см. рисунок 1.5а)
или, значительно реже, два вспомогательных волновода (см. рисунок 1.5б, в).

Вход1 Выход1
Вход1 Выход1

Выход2 Вход2

ЧС ЧС
ПЧС ПЧС
Вход2 Выход2

а) б)

Вход1 Вход2

ЧС
ПЧС
Выход1 Выход2

в)

Рисунок 1.5. Конфигурации датчиков на основе пассивного кольцевого резонатора.

 15

Конфигурация, изображенная на рисунке 1.5б, представляет собой ПКР с

двумя петлями оптической связи между резонатором и вспомогательными
волноводами, одна из которых используется для ввода и вывода излучения
обходящего резонатор по часовой стрелке, а другая для ввода и вывода излучения
обходящего резонатор против часовой стрелки [5, 6]. Если в резонаторном МОГ
ПКР подключен как показано на рисунке 1.5а и б, то говорят что ПКР работает на
отражение, а соответствующие конфигурации МОГ называются отражающими.
Также существуют конфигурации, в которых одна петля оптической связи ПКР
используется для ввода излучения в резонатор, а другая для его вывода (см
рисунок 1.5в) [7]. Они называются пропускающими. Стоит отметить, что чаще
используются отражающие конфигурации МОГ. Это связано с тем, что
многолучевые интерферометры (в том числе и ПКР) работающие на отражение
более чувствительны к изменению оптической длины контура резонатора [8] (а
значит и к эффекту Саньяка) чем работающие на пропускание. Поэтому в
последующих главах будут рассматриваться только отражающие конфигурации
МОГ.

Помимо описанных выше, существует еще один отдельный подкласс

резонаторных МОГ – резонаторные МОГ с компенсацией потерь ПКР. Известно,
что чем больше добротность ПКР, тем выше чувствительность гироскопа на его
основе [1]. Добротность может быть повышена за счет компенсации потерь в
ПКР. При этом, так как поддерживается работа резонатора ниже порога генерации
(потери компенсируются, но генерации не наблюдается), он остается пассивным.
В одной из первых схем МОГ с компенсацией потерь ПКР, было предложено
симметрично разместить в волноводном кольцевом резонаторе два отдельных
полупроводниковых оптических усилителя У1 и У2 (см. рисунок 1.6) [9].
Применение полупроводниковых оптических усилителей позволяет
компенсировать потери резонатора и на несколько порядков повысить его
добротность [9]. Однако у такой схемы есть существенный недостаток. При
размещении в ПКР полупроводникового усилителя на его краях образуются
границы раздела сред, при попадании на которые часть излучения отражается
 16

обратно. В результате часть энергии волны обходящей ПКР по часовой стрелке

переходит к волне обходящей его против часовой стрелки, и наоборот. При
определении угловой скорости это вызывает дополнительную погрешность [1].

Вход1 Выход1
У1

ЧС ЧС

ПЧС ПЧС

Вход2 У2 Выход2

Рисунок 1.6. ПКР с интегрированными в него полупроводниковыми оптическими усилителями.

Рисунок 1.7. ПКР с равномерно распределенной компенсацией потерь.

Чтобы этого избежать используется другая конфигурация МОГ с компенсацией

потерь ПКР, в которой роль оптического усилителя играют атомы активного
вещества, имплантированные в резонатор. Теоретическое и экспериментальное
исследование такого резонатора приведено в [10]. Исследовался ПКР,
изготовленный из силикатного стекла легированного двумя процентами оксида
неодима. Волноводная структур ПКР состояла из замкнутого волновода
 17

оптически связанного с двумя вспомогательными волноводами, как показано на

рисунке 1.7. Через один вспомогательный волновод измерительный сигнал
вводился и выводился из ПКР, а через другой в ПКР водилось излучение накачки.
Резонатор был составлен из двух полуколец с радиусами R=8 мм, соединенных
прямыми отрезками волновода с длиной L около 3 мм. Резонатор работал на
длине волны 1,02 мкм. Для накачки использовался полупроводниковый лазер с
мощностью 150 мВт, работающий на длине волны 0,83 мкм. Благодаря такой
компенсации потерь, удалось повысить добротность резонатора более чем в 20
раз (без накачки 8,32×105 с накачкой 1,89×107) [10]. Стоит отметить, что
реализация компенсации потерь ПКР ведет к увеличению габаритов МОГ (т.к.
источник накачки занимает дополнительное место), энергопотребления и
усложняет конструкцию МОГ, что приводит к росту стоимости и снижению
надежности МОГ. А так как МОГ ориентированы на использование в
малогабаритных дешевых систем ориентации и навигации широкого диапазона
применений, то перечисленные выше недостатки существенны. Поэтому пока, с
практической точки зрения, резонаторные МОГ с компенсацией потерь ПКР не
представляют особого интереса. Однако в перспективе, при развитии технологий
интегральной оптики, недостатки этого типа МОГ могут быть сглажены и
применение компенсации потерь ПКР может стать оправданным.

1.2.2 Интерференционный микрооптические гироскопы

Принцип работы интерференционного МОГ аналогичен обычному

(интерференционному) ВОГ, только вместо волоконной катушки используется
либо спиралевидная волноводная катушка (рисунок 1.8), либо ПКР, работающий
в режиме двухлучевого интерферометра (рисунок 1.9). Как и в ВОГ, излучение
заводится в двухлучевой интерферометр во взаимно противоположных
направлениях, обходит его, интерферирует на выходе и направляется на
фотоприемник. Зависимость разности фаз интерферирующих волн Δφ от скорости
 18

вращения Ω, обусловленная эффектом Саньяка, определяется следующим

выражением [11]:

L 4RL
  2  ,
 c

где ΔL – оптическая разность длин вызванная эффектом Саньяка (см. выражение

(1.1)); R – радиус двухлучевого интерферометра (витка спирали или ПКР); L –
длина волноводной катушки (или примет ПКР). Фотоприемник, расположенный
на выходе интерферометра, регистрирует результат двухлучевой интерференции:

I  2I 0 (1  cos ),

где I0 – интенсивность света обходящего двухлучевой интерферометр по одному

из встречных направлений. Таким образом, изменение угловой скорости приводит
к изменению интенсивности излучения на фотоприемнике. По показаниям
фотоприемника судят о величине Саньяковской разности фаз Δφ и угловой
скорости Ω.

Широкополосный
источник

Фазовый
модулятор

Фотоприемники

Рисунок 1.8. Интерференционный МОГ с спиралевидной волноводной катушкой.

В одном из подтипов интерференционного МОГ в качестве чувствительного

элемента используется спиралевидная волноводная катушка, концы которой
образуют направленный ответвитель. Катушка с ответвителем образуют
двухлучевой интерферометр. Такая взаимная конфигурация интерференционного
МОГ схематично изображена на рисунке 1.8. В таком МОГ, как и в ВОГ,
 19

используется широкополосный источник света для минимизации влияния

обратного рассеяния в спиралевидном волноводе на результаты измерений [11].
Один из фотоприемников расположен на входе интерферометра (напротив
источника света) и используется для контроля вводимой мощности излучения.
Второй фотоприемник используется для измерения сигнала с выхода
интерферометра. Фазовые модуляторы используются для создания взаимной
фазовой модуляции встречных волн и реализации замкнутой схема обработки
сигнала [11]. Описанная конфигурация интерференционного МОГ, относительно
недавно исследовалась в статье [12]. Анализировался спиралевидный резонатор с
длиной 10 м, шагом спирали 50 мкм и минимальным радиусом изгиба 1 мм.
Потенциальная точность такого гироскопа (площадью около 10 см2) составила 19
°/ч при потерях 1 дБ/м. Серьезным недостатком такой конфигурации МОГ
является дополнительные потери в ПКР которые связаны с пересечением витков
спирали одним из ее концов [12].

Рисунок 1.9. Интерференционный МОГ с ПКР.

Также известны интерферометрические конфигурации МОГ, в которых

вместо волноводной спиральной катушки используется кольцевой волновод
(ПКР) [13, 14]. Тем не менее, в данном случае кольцевой волновод используются
не как резонатор, а как линия задержки. Такая конфигурация интерференционного
МОГ схематично приведена на рисунке 1.9. В МОГ регистрируется результат
интерференции двух волн, обходящих замкнутый контур во взаимно
противоположных направлениях. Пучок от источника света ИС делится
направленным ответвителем НО1 на две части и проходит через модуляторы М1
 20

и М2, которые создают управляемый фазовый сдвиг между встречными волнами.

Излучение вводится в кольцевой волновод через направленный ответвитель НО2
в направлении по и против часовой стрелки. Обошедшие волновод сигналы
выводятся из него и направляются на фотоприемник ФП, который регистрирует
их двухлучевую интерференцию. Волновод в данном случае играет роль
многовитковой катушки, эквивалентное число витков которой N соответствует
числу обходов световой волной ПКР [13]. Число обходов определяется потерями
в волноводе и его периметром. Для того чтобы световые потоки, приходящие
после разного количества обходов, не взаимодействовали друг с другом (во
избежание многолучевой интерференции), используется импульсная фазовая
модуляция, причем ширина импульса выбирается равной времени обхода светом
контура, а период частоты повторения в N+1 раз больше [14]. Стоит отметить,
такая конфигурация менее чувствительна к изменению угловой скорости, чем
интерференционный МОГ со спиралевидной волноводной катушкой и
резонаторный МОГ [15]. Интерференционные конфигурации МОГ, в которых
вместо спиралевидной волноводной катушки используется замкнутый волновод,
иногда называют интерференционно-резонаторными, или возвратными МОГ [13].

1.3 Типы чувствительных элементов пассивных микрооптических гироскопов

Чувствительный элемент (обычно ПКР) является основой МОГ. Именно им

определяются технология изготовления всего прибора, потенциальная точность,
минимально возможные габариты и многие другие характеристики гироскопа.
Стоит отметить, что обычно при разработке МОГ в качестве чувствительного
элемента применяются волноводные ПКР. Чаще всего они изготавливаются из
планарных волноводов. Также они могут быть изготовлены из волокна или
фотонных кристаллов. При этом используются только одномодовые волноводы.
Как и во всех оптических гироскопических системах, использование
многомодовых волноводов невозможно из-за дисперсии мод. По той же причине
нельзя использовать обычные открытые резонаторы. Особняком стоят резонаторы
 21

МШГ, которые сравнительно недавно стали рассматриваться в качестве

чувствительных элементов МОГ.

1.3.1 Планарные пассивные кольцевые резонаторы

В настоящие время, при разработке и изготовлении, как отдельных

элементов, так и всего МОГ в целом чаще всего используются технологии
интегральной (планарной) оптики. Применение интегрально-оптических
технологий при изготовлении прибора дает целый рад преимуществ: на
интегральной схеме можно максимально компактно расположить все элементы
МОГ (все элементы МОГ могут быть размещены даже внутри ПКР), снизить
массу (при размещении на одной интегральной схеме все элементы могут иметь
один общий корпус), снизить энергопотребление, позволяет легко организовать
массовое производство МОГ, повысить надежность МОГ (т.к. весь МОГ может
быть изготовлен в виде единой жесткой структуры – интегральной схемы) и т.д.
[2].

1.3.1.1 Однокольцевые пассивные кольцевые резонаторы

Обычно в качестве сенсора МОГ используются одномодовые волноводные

планарные однокольцевые резонаторы. Однокольцевые резонаторы представляют
собой кольцевой волновод оптически связанный со вспомогательным
волноводом, используемым для ввода и вывода излучения. Они относительно
просты в изготовлении, обладают достаточной для МОГ добротностью, надежны
и процесс их изготовления хорошо отработан. Известно, что потенциальная
точность МОГ на основе ПКР пропорциональна произведению добротности ПКР
и его диаметра [1]. Для достижения потенциальной точности 10 °/ч и менее при
использовании ПКР с диаметром порядка нескольких сантиметров, необходимо
чтобы добротность ПКР была более 105. Современный технологический уровень
развития позволяет изготовить подходящие для МОГ (высокодобротные)
 22

однокольцевые ПКР из следующих материалов: кремния, кварца, нитрида

кремния, ниобата лития, фосфата индия и оптических полимеров [2].

Компактные высокодобротные ПКР можно получить в волноводах из

кварца выращенных на подложках из кремния (SOS структуры). При этом сначала
за счет термического выращивания на подложку наносят тонкий слой (толщиной
в несколько микрон) оксида кремния. Затем, при помощи плазмохимического
осаждения из газовой фазы наносят тонкий (толщиной в несколько микрон)
слаболегированный (например, оксидом германия или фосфором) слой кварца.
После этого при помощи ультрафиолетовой литографии наносят рисунок из
защитного покрытия и, за счет ионного травления, удаляют не защищенные
области структуры вплоть до подложки. Затем поверх всей структуры при
помощи плазмохимического осаждения из газовой фазы наносят защитный слой
оксида кремния. После нанесения каждого нового слоя структуру подвергают
тонкому отжигу. По такой технологии были построены ПКР с радиусом кольца 30
мм и потерями менее 0,85 дБ/м (что соответствует добротности 2,3×10 7) [16].
Потенциальная точность МОГ, использующего ПКР из кварца, составила 1,6 °/ч
[17]. Стоит отметить, что структуры, выполненные по описанной выше
технологии, характеризуются низкими потерями (высокой добротностью) только
при диаметрах ПКР порядка нескольких сантиметров. При диаметре менее 1 см
добротность резко падает.

Также высокодобротные ПКР могут быть изготовлены из нитрида кремния.

На подложку из кварца или кремния с помощью магнетронного напыления
наносят слой двуокиси кремния толщиной 10-15 мкм. Затем, при помощи
химического осаждения из газовой фазы при пониженном давлении, наносят
субмикронный (около 50 нм) стой нитрида кремния. После этого
фотолитографией наносится защитный рисунок и с помощью ионного или
плазменного травления снимают не защищенную часть субмикронного слоя. В
конце структуру покрывают защитным слоем двуокиси кремния толщиной в
несколько микрон [18]. По такой технологии были построены ПКР с радиусом
 23

кольца 9,8 мм и потерями менее 0,6 дБ/м (что соответствует добротности 5,5×10 7)
[19]. Кроме того, недавно было экспериментально продемонстрировано, что в
волноводах из нитрида кремния можно достичь потерь 0,1 дБ/м при радиусах
кривизны вплоть до 7 мм [20].

Более компактные высокодобротные ПКР можно получить в волноводах из

кремния на оптическом изоляторе (SIO структуры). Такие волноводы
изготавливают из заготовок, состоящих из кварцевой подложки и кремниевого
слоя толщиной несколько микрон. Толщину кремниевого слоя снижают до 1,33
мкм (до толщины обеспечивающей одномодовый режим), за счет окисления в
парах воды с последующим снятием оксида. При помощи фотолитографии на
волноводную структуру наносится защитный рисунок. Затем осуществляют
травление кремния до толщины около 1,1 мкм везде, кроме защищенной части
структуры (ее толщина остается 1,33 мкм). Для защиты от внешних воздействий
структуру покрывают термически выращенным слоем оксида кремния. По такой
технологии были построены ПКР с радиусом кольца 2,45 мм и потерями менее 2,7
дБ/м (что соответствует добротности 2,2×107) [21].

ПКР из ниобата лития при равных размерах уступают по добротности всем

рассмотренным выше материалам. Однако, их процесс изготовления значительно
проще и дешевле, а также позволяет легко вводить в волновод дополнительные
примеси (например, атомы активного вещества для обеспечения компенсации
потерь ПКР). Изготовление волноводных структур из ниобата лития начинается с
напыления на заготовку из ниобата лития титановой пленки толщиной несколько
десятков нанометров. Затем при помощи фотолитографии на волноводную
структуру наносится защитный рисунок. При помощи ионного травления
удаляется весь незащищенный фоторезистом слой титана. Затем образец
помещают в печь, где при температуре около 1020 °С в течении около 10 часов
происходит диффузия титана в подложку из ниобата лития. По такой технологии
были построены ПКР с радиусом кольца 30 мм и потерями менее 3,0 дБ/м (что
соответствует добротности 2,4×106) [22].
 24

Волноводные структуры на основе фосфата индия также позволяют

получить высокодобротные резонаторы. При использовании этого материала
можно относительно легко (по сравнению со структурами из кварца, кремния и
нитрида кремния) интегрировать на одной подложке все оптические и
оптоэлектронные компоненты МОГ [23-25]. При изготовлении высокодобротных
ПКР из этого материала сначала на подложке из фосфата индия выращивают (с
помощью MOVPE технологии) слой InGaAsP толщиной около 1,3 мкм (до
толщины обеспечивающей одномодовый режим). Затем при помощи литографии
на волноводную структуру наносится защитный рисунок и реактивным ионным
травлением снижают толщину InGaAsP слоя до 1 мкм везде, кроме защищенной
части. По такой технологии был построен ПКР с радиусом кольца 13 мм и
добротностью 0,97×106. Также было продемонстрировано, что использование
такого ПКР позволяет получить потенциальной точность МОГ 10 °/ч [26].

Самые простые и дешевые ПКР можно получить, используя оптические

полимеры [27, 28]. Потери в оптических полимерах выше, чем в рассмотренных
ранее материалах. Тем не менее, недавно был разработан полимерный ПКР с
диаметром 10 мм и добротностью около 105, использование которого в МОГ
позволяет получить потенциальную точность около 20 °/ч [29]. Волноводная
структура полимерного ПКР изготавливается на подложке из кремния. На
подложку наносится слой оптического полимера толщиной 15 мкм и показателем
преломления 1,45 внутри него, на расстоянии 5 мкм от подложки проходит
волновод из другого оптического полимера с поперечным сечением 5×5 мкм и
показателем преломления 1,46 [29].

1.3.1.2 Многокольцевые пассивные кольцевые резонаторы

В последнее время, микрооптические многокольцевые резонаторы все чаще

рассматривают в качестве чувствительного элемента МОГ [30-41]. При этом
различают две базовые структуры. Первая (рисунок 1.10а) представляет собой
цепочку оптически связанных резонаторов (далее цепочкообразный резонатор).
 25

Вторая (рисунок 1.10б) состоит из нескольких кольцевых резонаторов оптически

связанных с одним вспомогательным волноводом (далее бусообразный
резонатор).

Рисунок 1.10. Многокольцевые резонаторы. а – Цепочкообразный резонаторов,

б – бусообразный резонатор.

Как правило, цепочкообразные резонаторы составляют из массива

высокодобротных миниатюрных (диаметром от нескольких до десятков микрон)
ПКР. Соседние резонаторы массива туннельно связанны друг с другом, что
объединяет всю структуру в единый волновод (так называемый CROW). На
сегодняшний день возникает много споров относительно чувствительности
гироскопов на основе таких структур. Существует мнение, что их
чувствительность не превышает чувствительности МОГ на однокольцевом
резонаторе с той же что у цепочкообразного резонатора площадью [30, 31]. В
тоже время, есть работы, в которых не явно или явно говориться обратное [32-34].
Сравнение чувствительности МОГ на двух этих типах резонаторов осложняется
огромным многообразием цепочкообразных структур, многие из которых
разработаны специально для повышения чувствительности, например [34, 35].
 26

Известны различные конфигурации гироскопов на основе цепочкообразных

резонаторов. Часто в статьях исследуется простейшая конфигурация,
соответствующая рисунку 1.10а [32, 33, 37]. Так же большое внимание уделяется
структуре, состоящей из изогнутой дугой цепочки одинаковых ПКР (Рисунок
1.11). Коэффициенты связи между ПКР одинаковы. Вспомогательные волноводы,
оптически связанные с крайними резонаторами, оканчиваются направленным
ответвителем. Входной сигнал разделяется ответвителем на две волны,
обходящие резонатор по встречным направлениям. Возвратившись на
ответвитель, встречные волны интерферируют и направляются на выход
структуры [34]. Таким образом, используется интерферометрическая схема
подключения чувствительного элемента. Потенциальная точность гироскопа на
основе такой структуры, состоящей из девяти колец с радиусом 25 мкм, имеет
величину около 1 °/ч. Но для её достижения, добротность каждого кольцевого
резонатора должна быть порядка 107. Для микрооптических волноводных
кольцевых резонаторов с радиусом 25 мкм такое высокое значение добротности
пока достигнуто не было. Снижение добротности до 10 4-105 (типичной для таких
резонаторов) значительно снижает чувствительность датчика [38].

Рисунок 1.11. Схема изогнутого цепочкообразного резонатора.

Несколько отличается схема, рассмотренная в [36]. Одинаковые оптически

связанные кольцевые резонаторы в ней выстроены в прямую линию.
Коэффициенты связи между волноводами различны (принимают одно из двух
значений) и чередуются, начиная от центра, как показано на рисунке 1.12
 27

(темными прямоугольниками обозначена более сильная оптическая связь,

светлыми – менее). Теоретически, такое распределение коэффициентов связи, по
сравнению с равномерным, позволяет повысить потенциальную точность прибора
к вращению на несколько порядков. Авторы работы [36] отмечают, что, используя
их конфигурацию (цепочкообразный резонатор из 21 кольца с радиусами 50 мкм),
возможно получить МОГ с потенциальной точностью 0,002 °/ч.

Рисунок 1.12. Цепочкообразный резонатор с чередующимися значениями коэффициента

связи.

С точки зрения повышения чувствительности к вращению, интерес так же

представляют различные конфигурации цепочкообразных резонаторов,
составленные из ПКР разного размера (см. рисунок 1.13a,б) [35, 39]. При этом
рассматриваются конфигурации, состоящие из нечетного числа кольцевых
резонаторов (кольцевых волноводов), расположенных симметрично относительно
середины цепочкообразной структуры. Основное внимание уделяется
цепочкообразным структурам, в которых периметры двух любых соседних
кольцевых резонаторов различаются на целое число длин волн [35]. Было
аналитически показано, что такие конфигурации цепочкообразных резонаторов,
по сравнению со стандартной конфигурацией (рисунок 1.10а), позволяют
повысить чувствительность к вращению. Например, потенциальная точность
гироскопа с цепочкообразным резонатором из пяти кольцевых волноводов,
периметр которых отличается на одну длину волны, соответствует потенциальной
точности гироскопа с цепочкообразный резонатором стандартной структуры из 35
колец [35].
 28

Рисунок 1.13. Цепочкообразные резонаторы из кольцевых резонаторов, отличающихся друг от

друга на целое число длин волн. а – Периметр резонаторов равномерно уменьшается от центра
к периферии, б – периметр резонаторов равномерно растет от центра к периферии.

Тем не менее, несмотря на многообещающие теоретические результаты,

существует ряд проблем, связанных с реализацией на практике гироскопов на
цепочкообразных резонаторах. Дело в том, что при изготовлении таких структур
присутствуют случайные отклонения размеров кольцевых резонаторов, из
которых они состоят, и коэффициентов связи между ними. При этом случайные
отклонения коэффициентов связи в цепочкообразных структурах практически не
влияют на чувствительность к вращению [33]. С другой стороны, даже небольшие
колебания в размерах кольцевых резонаторов существенно снижают
чувствительность прибора [33, 35, 39].

Другой тип многокольцевых резонаторов (бусообразные резонаторы) не

столь чувствителен к колебаниям размеров составляющих его ПКР. Колебания
размеров кольцевых резонаторов, составляющих бусообразную структуру, в
пределах 0,1 мкм практически не влияют на чувствительность гироскопа [40].
Рассмотрим различные типы бусообразных резонаторов.

Первый тип бусообразных резонаторов предполагает, что каждая из

проходящих его встречных волн будет обходить часть составляющих его
кольцевых резонаторов по часовой стрелке, а часть - против часовой стрелки.
Такая конфигурация была теоретически рассмотрена в [41]. Бусообразная
 29

структура состояла из вспомогательного волновода, изогнутого в форме кольца, и

большого числа высокодобротных микрооптических кольцевых резонаторов,
расположенных с двух сторон от вспомогательного волновода (Рисунок 1.14а).
Для ввода и вывода сигнала использовались оба конца вспомогательного
волновода. В качестве составляющих структуру высокодобротных резонаторов
авторы предлагали использовать резонаторы МШГ [41].

Рисунок 1.14. Бусообразные резонаторы. а – Кольцевые резонаторы размещены по обоим

сторонам вспомогательного волновода, б – кольцевые резонаторы размещены с одной стороны
вспомогательного волновода.

Другой тип бусообразных резонаторов предполагает, что каждая из

проходящих его встречных волн будет обходить все составляющие его кольцевые
резонаторы в одном направлении. Соответствующая конфигурация
бусообразного резонатора была теоретически рассмотрена в [40]. В отличие от
предыдущей, в данной конфигурации все кольцевые резонаторы связаны только с
одной стороной вспомогательного волновода (Рисунок 1.14б). Стоит отметить,
что авторы [40] и [41] не приводят данных о потенциальной точности
разработанных ими структур.

Большинство наиболее перспективных конструкций многокольцевых

резонаторов на практике пока не реализованы. Но в последних теоретических
 30

работах показано, что гироскопы на основе таких резонаторов могут обладать

потенциальной точностью на несколько порядков выше, чем микромеханические
системы сравнимых размеров [32, 33].

1.3.1.3 Спиралевидные датчики

Еще одним перспективным типом чувствительного элемента МОГ является

спиралевидный волноводный резонатор. Идея использовать спиралевидную
волноводную катушку для создания дешевого и компактного гироскопа
подвилась относительно давно [1]. Однако, интерес к этому типу резонаторов
появился относительно недавно. Это связанно с тем, что изготовление
миниатюрной (с радиусом кривизна несколько миллиметров и менее)
спиралевидной волноводной катушки, обладающей низкими потерями на
распространение, представляет собой весьма сложную технологическую задачу и
возможно только с применением современных интегрально-оптических
технологий [42]. В течение нескольких последних лет, в качестве чувствительного
элемента МОГ, были рассмотрены две конфигурации спиралевидного датчика
[14, 42].

Первая, как видно из рисунка 1.8, представляет собой двухлучевой

интерферометр [14]. Концы спиралевидного волновода близко сведены (на
расстояние порядка длины волны) и, за счет эффекта оптического
туннелирования, образуют направленный ответвитель. Коэффициент связи между
концами спиралевидного волновода должен быть близок к 50%, так как иначе
резко снижается чувствительность структуры к вращению [14]. МОГ на основе
такой волноводной катушки представляет собой волноводную версию ВОГ и
относится к интерференционному типу (см. пункт 1.2.2). Современный уровень
развития интегральной оптики позволяет изготовить интерференционный МОГ на
волноводной катушке, занимающей на подложке менее 10 см 2, обладающий
потенциальной точностью 19 °/ч [14]. Стоит отметить, что площадь, занимаемую
катушкой, можно многократно уменьшить, соединив последовательно несколько
 31

спиралевидных волноводов и уложив их в столбик друг на друга. При этом слои

можно соединить при помощи направленных ответвителей, расположенных
вертикально [14]. Тем не менее, при реализации такой конструкции на практике
увеличиваются потери в резонаторе за счет потерь возникающих при переходе
света между соседними слоями (0.02дБ за один переход), что снижает
чувствительность прибора [14]. В будущем, при развитии интегрально-
оптических технологий, потери на переход между слоями могут быть
существенно снижены и использование многослойной топологии может стать
оправданным.

Направленные Вспомогательные
ответвители волноводы

Рисунок 1.15. Датчик на основе спиралевидного ПКР.

Другая конфигурация спиралевидного волноводного датчика представляет

собой пассивный кольцевой резонатор (см. Рисунок 1.15). Относительно недавно
вышла статья [42] посвященная экспериментальному исследованию МОГ на
основе спиралевидного ПКР. Исследовалась схема, состоящая из ПКР
(спиралевидного замкнутого волновода) и двух вспомогательных волноводов,
связанных с ним направленными ответвителями. Спираль была изготовлена из
одномодового (сечение 6мкм×6мкм) кремниевого волновода с примесью
германия (показатель преломления 1,457). Длина спиралевидного волновода
составляла 42 см. При этом он занимал на подложке участок площадью 20 см2.
Потери на распространение в спиралевидном волноводе составили 10 дБ/м. При
этом наблюдались дополнительные потери, связанные с пересечением спирали
(менее 0,01 дБ). Добротность описанного резонатора была экспериментально
 32

найдена и составила около 1,5×106. Потенциальной точность МОГ с

использованием такого ПКР равна 156 °/ч [42]. Стоит отметить, что
потенциальная точность МОГ использующего рассмотренный ПКР может быть
повышена до 10 °/ч, если снизить потери на распространение в спиралевидном
волноводе до 5 дБ/м (в настоящее время достижимо [21]) и потери ввода/вывода
до 1-2 дБ (типичное значение).

1.3.2. Волоконные ПКР

Классические волоконные резонаторы (многовитковая волоконная катушка)

не подходят в качестве чувствительного элемента МОГ. Это обусловлено резким
ростом потерь в таких резонаторах при уменьшении их диаметра до нескольких
см и ниже. Тем не менее, относительно недавно был разработан, изготовлен и
исследован компактный, высокодобротный волоконный ПКР [43]. Он
представляет собой миниатюрную версию волоконного резонатора, который был
разработан еще в 1982 и состоял из одного витка одномодового волокна
соединенного концами с направленным ответвителем (рисунок 1.16а) [44].
Отличие миниатюрной версии (рисунок 1.16б) заключается в том, что роль
направленного ответвителя выполняет область резонатора, на которой участки
волокна совмещаются. Так как петелька сворачивается на участке волокна, на
котором толщина оболочки предварительно снижена (либо за счет ее травления,
либо при вытягивании волокна), то при совмещении участков волокна
наблюдается нарушение эффекта полного внутреннего отражения и образуется
петля оптической связи (направленный ответвитель).
 33

Рисунок 1.16. Волоконный ПКР. а – Макроскопическое исполнение, б –

микроскопическое исполнение.

На сегодняшний день были получены микрооптические волоконные

резонаторы с радиусом около 0,5 мм и добротностью более 1×106 при диаметре
волокна (в области волоконной петли) порядка 1 мкм (рис. 1.17) [43, 45].

Рисунок 1.17. Фотография петлеобразного волоконного ПКР.

Метод производства таких резонаторов состоит из вытягивания

микроволокна и скручивания его в оптически связанную петельку. При
вытягивании микроволокна оно помещается внутрь сапфирового капилляра,
который нагревается пучком промышленного лазера (например СО2 лазера).
Сапфировый капилляр играет роль микроскопической печи, внутри которой
волокно вытягивается, пока его диаметр не достигнет требуемой величины
(порядка 1 мкм или менее) (рисунок 1.18а). Затем, при помощи нескольких
манипуляторов, полученное биконическое волокно скручивают в оптически
связанную петельку (рисунок 1.18б). Совместить концы петельки помогают
поверхностные силы (Ван-дер-Ваальсовые и электростатические) [43].
 34

Рисунок 1.18. Изготовление микрооптических петлеобразных волоконных ПКР. а –

Вытягивание волокна, б – скручивание петлеобразного резонатора.

После изготовления, для защиты от механических воздействий, такой

резонатор может быть покрыт полимером с низким показателем преломления
[46]. Стоит отметить, что по сравнению с волноводными ПКР, волоконные
петлеобразные резонаторы характеризуются низкими стоимостью изготовления и
трудоемкостью. Однако, такие ПКР пока на порядок уступают волноводным
резонаторам по максимально достижимой добротности.

1.3.4 Фотонно-кристаллические пассивные кольцевые резонаторы

Фотонные кристаллы – это материалы с упорядоченной структурой,

характеризующейся строго периодическим изменением показателя преломления в
масштабах сопоставимых с длинами волн в видимом и ближнем инфракрасном
диапазонах [47]. При этом, как показано на рисунке 1.19, различают фотонные
кристаллы с периодическим изменением показателя преломления среды в одном,
двух или трех измерениях (одномерные, духмерные и трехмерные фотонно-
кристаллические структуры, соответственно).
 35

Рисунок 1.19. Типы фотонных кристаллов.

Фотонные кристаллы, благодаря периодическому изменению коэффициента

преломления, позволяют получить разрешенные и запрещенные зоны для энергий
фотонов, аналогично полупроводниковым материалам, в которых наблюдаются
разрешенные и запрещенные зоны для энергий носителей заряда. Практически,
это значит, что если на фотонный кристалл падает фотон, обладающий энергией
(длиной волны, частотой), которая соответствует запрещенной зоне данного
фотонного кристалла, то он не может распространяться в фотонном кристалле и
отражается обратно. И наоборот, если на фотонный кристалл падает фотон,
обладающий энергией, которая соответствует разрешенной зоне данного
кристалла, то он может распространяться в кристалле. Любая неоднородность в
фотонном кристалле называется дефектом фотонного кристалла. В таких областях
сосредотачивается электромагнитное поле, что используется в микрорезонаторах
и волноводах построенных на основе фотонных кристаллов [48].

Высокодобротный фотонно-кристаллический ПКР может быть изготовлен

из различных видов одномерных фотонных кристаллов [49, 50]. Например, в
работе [49] рассматривается ПКР представляющий собой замкнутую кольцом
Бреговскую дифракционную решетку (рисунок 1.20). Также авторы [49]
аналитически показали, что при современном уровне развития интегральной
оптики возможно изготовить такие резонаторы с диаметром около 5 см и
добротностью более 109. Другой вид одномерных фотонных кристаллов, из
которых может быть изготовлен ПКР представляет собой замкнутый планарный
 36

полупроводниковый волновод, перфорированный одномерной периодической

системой отверстий (рисунок 1.20б) [50].

Рисунок 1.20. Фотонно-кристаллические одномерные ПКР. а – Замкнутая Бреговская

дифракционная решетка, б – ПКР из замкнутого перфорированного волновода.

Также, весьма перспективной для изготовления высокодобротных (>10 6)

микрооптических ПКР является фотонно-кристаллическая структура,
представляющая собой планарный полупроводниковый волновод,
перфорированный периодической двухмерной системой отверстий. Используя
такую структуру можно легко сформировать фотонно-кристаллический ПКР,
введя в структуру дефект в форме равностороннего шестиугольника (рисунок
1.21). Толщина и размер шестиугольника определяют состав собственных мод и
добротность резонатора [51].

Рисунок 1.21. Двухмерный фотонно-кристаллический ПКР.

 37

Несколько лет назад было опубликовано исследование о проявлении

эффекта Саньяка в фотонно-кристаллических резонаторах, в котором было
аналитически показано, что вращение фотонно-кристаллического резонатора
вызывает расщепление резонансных частот встречных волн. Там же была оценена
величина эффекта на конкретных примерах фотонных кристаллов [52]. Однако,
предельная чувствительность гироскопа, на рассмотренном авторами фотонно-
кристаллическом резонаторе, оказалась слишком маленькой для практической
демонстрации эффекта. Это связано с тем, что рассматривался фотонно-
кристаллический ПКР с радиусом около 0,93 мкм и добротностью порядка 104
[52]. На сегодняшний день разработаны фотонно-кристаллические ПКР с
добротностью более 106 [47-51]. Размер фотонно-кристаллического ПКР также
может быть увеличен. Однако технология изготовления волноводных фотонно-
кристаллических структур пока еще слабо развита и фотонно-кристаллические
ПКР могут рассматриваться как чувствительные элементы МОГ только в
перспективе.

1.3.5 Резонаторы мод шепчущей галереи

Феномен шепчущей галереи известен с давних времен. Он заключается в

том, что звук (шепот), произнесенный в помещениях иногда распространяется не
по кратчайшему пути, а вдоль вогнутых поверхностей (стен, куполов и т.д.). В
результате кажется, что «шепчет» вогнутая поверхность – галерея. Термин – мода
шепчущей галереи (МШГ) был впервые использован в 19 веке Рэлеем для
описания феномена шепчущей галереи под куполом собора Святого Павла в
Лондоне [53]. В начале 20-го века было доказано, что существуют и
электромагнитные МШГ. В последние годы оптические резонаторы МШГ
привлекают к себе непрерывно растущий интерес научного сообщества [54]. Они
представляют собой диэлектрические аксиально симметричные резонаторы с
гладкими краями, поддерживающие существование МШГ за счет полного
внутреннего отражения на поверхности резонатора. На сегодняшний день были
 38

разработаны различные типы таких резонаторов: шарообразные, дискообразные,

торообразные, бутылкообразные и т.д (см. рисунок 1.22) [55]. Повышенный
интерес к ним связан с их уникальными свойствами: сверхвысокой добротностью
(более 109), ограниченным числом собственных частот, небольшими габаритами
размерами (диаметр от нескольких сантиметров до десятков микрон). Эти
свойства позволяют использовать их в качестве чувствительных элементов
компактных высокоточных приборов, в частности, МОГ [56].

Рисунок 1.22. Оптические резонаторы МШГ: шарообразный (слева), бутылкообразный

(по центру), дискообразный (в верху справа) и торообразный (в низу справа).

Однако, в связи с их объемной (не плоской) структурой, их трудно

интегрировать с другими элементами МОГ (источником излучения,
фотоприемниками и т.д.) [18]. Кроме того резонаторы МШГ, как и
микромеханические гироскопы, чувствительны к различным внешним
воздействиям [54, 57-59]. Поэтому в рамках данной работы особого интереса
резонаторы МШГ не представляют.

1.4 Выводы по главе 1

Проанализированы принципы работы пассивных МОГ. В основе работы

всех типов МОГ лежит эффект Саньяка. Все разработанные на сегодняшний день
пассивные МОГ можно разделить по схеме подключения чувствительного
элемента на два типа: резонаторные и интерференционные МОГ. Анализ
принципов работы МОГ показал, что резонаторная схема подключения
чувствительного элемента проще, характеризуется большей потенциальной
 39

точностью и поэтому, по сравнению с интерференционной, более перспективна.

Угловая скорость в резонаторном МОГ определяется по разности собственных
частот ПКР для взаимно противоположных направлений его обхода. Во всех
известных на сегодняшний день резонаторных МОГ собственные частоты ПКР
измеряются по его амплитудной характеристике (по провалу или пику спектра
ПКР). При этом возможность использования фазовой характеристики для
измерения собственных частот ПКР не рассматривалась. Чтобы восполнить этот
пробел в следующей главе будет произведен анализ амплитудных и фазовых
характеристики ПКР, на основании которого будет рассмотрена возможность
применения фазовой характеристики ПКР для измерения угловой скорости, а
также возникающие при этом преимущества. В главе 1 показано, что отражающие
конфигурации МОГ проще и более чувствительны к вращению, чем
пропускающие конфигурации МОГ. Поэтому в последующих главах будут
рассматриваться только отражающие конфигурации МОГ.

Рассмотрена возможность компенсации потерь в ПКР. Компенсация потерь

позволяет увеличить добротность ПКР (а значит и потенциальную точность) на
несколько порядков. Однако, компенсация потерь в ПКР ведет к увеличению
габаритов МОГ, энергопотребления и усложняет конструкцию МОГ, что
приводит к росту стоимости и снижению надежности МОГ. Поэтому пока, с
практической точки зрения, МОГ с компенсацией потерь ПКР не представляют
особого интереса. Тем не менее в перспективе, при развитии технологий
интегральной оптики, недостатки этого типа МОГ могут быть сглажены и
применение компенсации потерь ПКР может стать оправданным.

Рассмотрены различные типы чувствительных элементов применяемых

пассивных в МОГ и проанализированы их достоинства и недостатки. Обычно при
разработке МОГ в качестве чувствительного элемента применяются одномодовые
волноводные планарные однокольцевые резонаторы. Они относительно просты в
изготовлении, обладают достаточной для МОГ добротностью, надежны и процесс
их изготовления хорошо отработан. Также ПКР могут быть изготовлены из
 40

волокна или фотонных кристаллов. Однако такие ПКР характеризуются меньшей

добротностью и МОГ на их основе менее точны. При этом во всех волноводных
ПКР используются только одномодовые волноводы. Как и во всех оптических
гироскопических системах, использование многомодовых волноводов
невозможно из-за дисперсии мод. По той же причине нельзя использовать
обычные открытые резонаторы. Однако, как будет продемонстрировано в главе 4,
некоторые типы открытых кольцевых резонаторов, характеризующиеся
вырожденным спектром, можно использовать в качестве чувствительных
элементов МОГ.
 41

Глава 2 РАЗРАБОТКА МИКРООПТИЧЕСКОГО ГИРОСКОПА,

ИСПОЛЬЗУЮЩЕГО СОВМЕСТНО АМПЛИТУДНУЮ И ФАЗОВУЮ
ХАРАКТЕРИСТИКИ ПАССИВНОГО КОЛЬЦЕВОГО РЕЗОНАТОРА

2.1 Анализ характеристик пассивного кольцевого резонатора

Рассмотрим подробнее ПКР используемый в большинстве МОГ и его

характеристики. В разрабатываемых на сегодняшний день МОГ обычно
применяются планарные ПКР с диаметром резонатора в несколько сантиметров и
менее. Они состоят из замкнутого волновода, играющего роль резонатора, и
вспомогательного волноводов, используемого для ввода и вывода излучения (см.
рисунок 2.1) [60]. На одном из участков волноводы подходят друг к другу на
расстояние порядка длины волны (отмечен на рисунке 2.1 пунктиром). В этой
области нарушается эффект полного внутреннего отражения и наблюдается
эффект оптического туннелирования. В результате свет может переходить из
одного волновода в другой (образуется оптическая петля связи).

Рисунок 2.1. Распространение излучения в волноводном ПКР.

Определим амплитудную и фазовую характеристики описанного элемента.

Для простоты рассмотрим случай, когда излучение заводится в ПКР только с
одного из входов (через один конец вспомогательного волновода). Пусть на вход
области вспомогательного волновода, оптически связанной с кольцевым
резонатором, приходит электромагнитная волна с напряженностью A0. При
прохождении этой области часть волны перейдет из вспомогательного волновода
 42

в кольцевой резонатор. Величина напряженности электрического поля этой части

волны равна A0 K c , где Kc – энергетический коэффициент связи
вспомогательного волновода с кольцевым. Часть исходной волны останется в
вспомогательном резонаторе. Величина ее напряженности равна A0 1  K c . При
прохождении света с напряженностью электрического поля B0 через область
кольцевого резонатора, оптически связанную с вспомогательным волноводом,
часть волны остается в резонаторе, а другая, переходит в вспомогательный
волновод. Величина напряженности поля части волны перешедшей в
вспомогательный волновод равна B0 K c . Величина напряженности поля части

волны оставшейся в резонаторе равна B0 1  K c . Учитывая, что при переходе

света из одного оптически связанного волновода, в другой наблюдается скачок
фазы π/2 [11], напряжённости электрического поля A0, A, B0 и B можно связать
между собой следующими выражениями:

A  A0 1  K c  jB0 K c ; (2.1)

B   jA0 K c  B0 1  K c ; (2.2)


B0  B exp( L  jL) , (2.3)
2

где L – периметр резонатора; 1  exp(L)  P – доля мощности теряемая волной

за один обход периметра резонатора; β – постоянная распространения. При
выводе выражений (2.1)-(2.3) потери во вспомогательном волноводе не
учитывались, так как они пренебрежимо малы по сравнению с потерями в
резонаторе (кольцевые волноводы с диаметром в несколько см и менее, как
правило, характеризуются большими излучательными потерями, обусловленными
изгибом волновода). Введем следующие обозначения:


x  exp(  L) ; (2.4)
2

y  1  Kc ; (2.5)
 43

2 2fNeff L
  L  N eff L  , (2.6)
 c

где δ – набег фазы при однократном обходе волной периметра резонатора; N eff –
эффективный показатель преломления замкнутого волновода; λ – длина волны
оптического излучения в вакууме; f – частота оптического излучения.

Используя выражения (2.1) – (2.6), определим отношение напряженности

электрического поля на выходе ПКР к его значению на входе.

Подставим в (2.2) параметр y из (2.5):

B   jA0 K c  B0 1  K c   jA0 1  y 2  B0 y . (2.7)

Преобразуем (2.7) используя выражение (2.3), (2.4) и (2.6):

B B
  j 1 y2  xy exp( j)
A0 A0

B  j 1 y2
 . (2.8)
A0 1  xy exp(  j)

Подставим в (2.1) параметр y из (2.5):

A  A0 1  K c  jB0 K c  A0 y  jB0 1  y 2 , (2.9)

Преобразуем (2.9) используя выражение (2.3), (2.4) и (2.6):

A B
y j x 1  y 2 exp( j) . (2.10)
A0 A0

Подставим выражение (2.9) в (2.10):

A  j 1 y2
 y j x 1  y 2 exp( j)
A0 1  xy exp(  j)

A y  x exp( j)
 (2.11)
A0 1  xy exp( j)
 44

Формулы для ПКР, приведенные выше, были получены с учётом того, что
свет заводится в чувствительный элемент через левый конец вспомогательного
волновода, а выводится через его правый конец (см. рисунок 2.1). Когда свет
поступает в резонатор через правый конец вспомогательного волновода, а
выводится через левый, все приведённые выше формулы останутся
справедливыми [61]. Легко видеть, что энергетический коэффициент передачи
рассматриваемого ПКР T (отношение интенсивности на выходе интерферометра к
интенсивности на входе) равен квадрату модуля выражения (2.11), а сдвиг фазы
волны при прохождении ПКР ΔΦ равен аргументу этого выражения. На основе
выражений (2.4)-(2.6) и (2.11) было произведено моделирование фазовых и
амплитудных характеристик ПКР в программной среде Matlab. Ниже приведены
графики характеристик ПКР при различных значениях коэффициента связи и
потерь.

Из графиков на рисунке 2.2 видно, что глубина и крутизна амплитудной

характеристики определяется коэффициентом связи между волноводами и
потерями в резонаторе. За исключением провалов на резонансных частотах,
коэффициент передачи ПКР постоянен во всем его рабочем спектральном
диапазоне. Провалы амплитудной характеристики соответствуют условию
резонанса, когда набег фазы δ = 2π·m (путь, по которому свет проходит в
резонаторе, кратен целому числу длин волн), где m – целое число. Как отмечалось
в Главе 1, при снижении уровня потерь в ПКР растет его добротность и
увеличивается потенциальная точность МОГ на его основе. Известно, что при
согласовании потерь и коэффициента связи глубина провала амплитудной
характеристики будет максимальна [62]. Однако, при фиксированном значении
коэффициента связи и снижении уровня потереть, глубина провалов будет
снижаться и при P = 0% амплитудная характеристика станет постоянной во всем
рабочем спектральном диапазоне (см. рисунок 2.1б). Таким образом, зависимость
глубины провала от величины потерь очевидно, что недостатком стандартного
резонаторного способа измерения угловой скорости (измерения по амплитудной
характеристике ПКР) является невозможность проведения измерений при
 45

отсутствии потерь. Стоит отметить, что у реальных кольцевых интерферометров

всегда присутствуют потери (P ˃ 0%). Тем не менее, как было показано в Главе 1,
в результате совершенствования интегрально-оптических технологий,
минимальный уровень потерь достижимый в кольцевых волноводах постоянно
снижается. Кроме того, потери в ПКР возможно полностью компенсировать,
реализовав усиление внутри кольцевого волновода (при работе оптического
усилителя ниже порога генерации).

fm-1 fm fm+1 f 3
δ, π·рад
а) P = 5%
T

fm-1 fm fm+1 f 3
δ, π·рад
б) Kс = 0,05

Рисунок 2.2. Коэффициент передачи (амплитудная характеристика) ПКР, рассчитанный для Р =

5% (а) и Кс = 0,05 (б). Линии 1, 2 и 3 соответствуют коэффициентам связи между кольцевым и
вспомогательным волноводам равным 0,01, 0,03 и 0,06 (а). Линии 1, 2 и 3 соответствуют
потерям в кольцевом волноводе равным 0%, 1% и 6% (б).
 46

ΔΦ, рад

2
1

fm-1 fm fm+1 f 3

δ, π·рад
а) P = 5%
ΔΦ, рад

1, 2

fm-1 fm fm+1 f
δ, π·рад
б) Kс = 0,05
Рисунок 2.3. Фазовый сдвиг испытываемый волной при прохождении (фазовая характеристика)
ПКР, рассчитанный для Р = 5% (а) и Кс = 0,05 (б). Линии 1, 2 и 3 соответствуют коэффициентам
связи между кольцевым и вспомогательным волноводам равным 0,01, 0,03 и 0,06 (а). Линии 1, 2
и 3 соответствуют потерям в кольцевом волноводе равным 0%, 1% и 6% (б).

Из графиков на рисунке 2.3 видно, что форма фазовой характеристики

определяется коэффициентом связи между волноводами и потерями в резонаторе.
Крутизна фазовой характеристики растет при снижении потерь в резонаторе (см.
рисунок 2.3б) и при росте коэффициента связи (см. рисунок 2.3а). Ясно, что при
росте потерь и снижении коэффициента связи, крутизна фазовой характеристики
будет уменьшаться и, в пределе, фазовый сдвиг, испытываемый волной при
прохождении ПКР, будет стремиться к нулю во всем спектральном диапазоне.
Отдельно стоит отметить, что с ростом коэффициента связи увеличивается
ширина пиков фазовой характеристики. Значительное увеличение коэффициента
связи (Kс = 0,9 и более) исказит характеристики приведенные на рисунке 2.3а
таким образом, что фазовая характеристика примет пилообразную форму. Т.е.
изменение фазы волны при проходе через ПКР будет иметь практически
 47

линейную зависимость от частоты излучения во всем спектральном диапазоне,

кроме резонансных частот, на которых будет наблюдаться скачкообразное
изменение фазовой характеристики. При изменении частоты излучения (при
изменении набега фазы за один обход резонатора δ), фазовый сдвиг
испытываемый волной при прохождении ПКР изменяется по периодическому
закону и колеблется в пределах интервала, ширина которого определяется
уровнем потерь и величиной коэффициента связи (максимальный интервал [-π;
π], рад). При резонансе (δ = 2π·m, где m – целое число) крутизна фазовой
характеристики максимальна, ΔΦ = 0. Вблизи резонансных частот она может
изменяться в интервале с шириной 2π рад. Характеристику, обладающую такими
свойствами, можно использовать в МОГ для определения резонансных частот и
измерения угловой скорости [63]. Стоит отметить, что даже при отсутствии (при
полной компенсации) потерь в ПКР наблюдаются характерные изменения
фазовой характеристики на резонансных частотах (см. рисунок 2.3б). Таким
образом, применение методов измерения фазовой характеристики для измерения
угловой скорости пассивного кольцевого резонатора должно снимать
ограничения связанные с зависимостью величины выходного сигнала от
величины потерь в резонаторе.

2.2 Использование фазовой характеристики пассивного кольцевого резонатора

для измерения угловой скорости

Резонаторный тип МОГ предполагает измерение угловой скорости по

разности собственных (резонансных) частот ПКР для взаимно противоположных
направлений его обхода. Во всех известных резонаторных МОГ, собственные
частоты ПКР определяются по провалам его амплитудной характеристики,
которая, в результате эффекта Саньяка, расщепляется при вращении МОГ (см.
рисунок 1.3) [3]. В то же время, происходит расщепление и фазовой
характеристики ПКР. На рисунке 2.4 приведены графики фазовых сдвигов
испытываемых волнами при прохождении ПКР по взаимно противоположным
 48

направлениям (ΔΦ1 – при обходе резонатора по часовой стрелке и ΔΦ2 – против).

Изображенное на рисунке 2.4 расщепление фазовых характеристик соответствует
вращению ПКР по часовой стрелке. Разность частот fm,ПЧС – fm,ПЧС
пропорциональна скорости вращения (см. выражение (1.2)).

ΔΦ1, ΔΦ2, рад

fm,ПЧС – fm,ЧС

ΔΦ1
ΔΦ 2

fm,ПЧ fm,ПЧС f
Рисунок 2.4. Расщепление фазовой характеристики ПКР.

Результаты анализа характеристик кольцевого интерферометра показывают,

что фазовая характеристика имеет отличительные особенности около
собственных частот резонатора [4]. Реализовать измерение фазы оптического
сигнала напрямую нельзя, однако информацию о фазе можно получить, как,
например, в волоконно-оптических гироскопах [11], из интерференционной
картины. При этом ясно, что возможны два варианта применения фазовой
характеристики ПКР в МОГ. Во-первых, можно использовать для определения
разности собственных частот ПКР (для измерения угловой скорости) только
фазовую характеристику. Этот вариант можно реализовать следующим образом:
свести сигналы с двух выходов ПКР на один фотоприемник (аналогично рисунку
1.8) и при этом использовать ПКР с высоким (близким к 1) коэффициентом связи
между вспомогательным волноводом и резонатором. Однако, в этом случае
чувствительный элемент фактически вырождается в интерферометр Саньяка и
поэтому с практической точки зрения первый вариант особого интереса не
 49

представляет. Во-вторых, можно использовать для определения разности

собственных частот ПКР совместно его фазовую и амплитудную характеристики.
Работы в этом направлении дали существенные положительные результаты. Как
будет показано далее, совместное использование амплитудной и фазовой
характеристик ПКР позволяет достичь некоторых преимуществ по сравнению с
подходом применяемым в обычных резонаторных МОГ.

Рассмотрим вариант реализации способа измерения угловой скорости с

использованием фазовой и амплитудной характеристик ПКР [64] на примере
устройства схематично изображенного на рисунке 2.5.

Рисунок 2.5. Функциональная схема МОГ, использующего фазовую и

амплитудную характеристики ПКР.

Устройство, схематичное изображенное на рисунке 2.5, состоит из: лазера 1,

оптических ответвителей 2, 5, 7 и 9, фазовых модуляторов 3 и 4, фотоприемников
6 и 8 и ПКР 10, соединенных между собой оптическими волноводами, и
вычислительной системы 11. Излучение лазера делится оптическим ответвителем
2 на две волны В1 и В2. Затем волны В1 и В2 проходят через фазовые
модуляторы 3 и 4 соответственно. Фазовые модуляторы изменяют частоту
проходящих через них волн. Управление фазовыми модуляторами
осуществляется вычислительной системой 11. В результате происходит
 50

сканирование ПКР по спектру. При этом частота излучения в каналах (В1 и В2)
меняется периодически (линейно, гармонически или согласно другому закону).
Полученные частотно-модулированные волны разделяются поровну при помощи
оптических ответвителей 7 и 5 соответственно. Волну В1 делят на две волны В11
и В12, а волну В2 делят на две волны В21 и В22. Опорные сигналы В12 и В22
направляются на фотоприемники 6 и 8 соответственно. Волны В11 и В21
направляются на ПКР 10, при прохождении которого изменяются параметры
(интенсивность и фаза) волн. Ввод энергии сигналов в резонатор и вывод
осуществляется с помощью одной и той же петли оптической связи. В
волноводном варианте исполнения ПКР, петля оптической связи представляет
собой направленный оптический ответвитель 9 с коэффициентом связи порядка
нескольких сотых. С выходов вспомогательного волновода сигналы
измерительной информации В11 и В21 через ответвители 5 и 7, соответственно,
направляются на фотоприемники 8 и 6, соответственно. Таким образом,
фотоприемник 8 регистрирует картину двулучевой интерференции волн В11 и
В12, а фотоприемник 6 волн В21 и В22.

Проанализируем сигналы приходящие на фотоприемники. Для этого

достаточно подробней рассмотреть изменение сигнала при прохождении одного
из каналов описанного выше МОГ (см. рисунок 2.6).

Рисунок 2.6. Один из каналов МОГ, использующего фазовую и амплитудную

характеристики ПКР.
 51

Пусть напряженность электрического поля волны В2 равна EВ2, тогда

напряженности волн В21 и В22 будут равны, соответственно:

EВ21  EВ21  exp( jl1 ) ,

EВ22  EВ22  exp( jl2 ) ,

где |EВ21| и |EВ22| – амплитуды напряженностей волн В21 и В22, соответственно; β

– постоянная распространения света в волноводе (будем считать, что постоянные
распространения для всех используемых волноводов равны); l1 и l2 – пути
пройденные волнами В21 и В22 соответственно. При прохождении ПКР
напряженность электрического поля меняется. Напряженность волны В21' на
выходе ПКР, согласно (2.11), будет определятся следующим выражением:


1  Kc  exp(  L  jL)
EВ21'  EВ21 2  EВ21' exp j  l1   ЧС ,

1  1  Kc  exp( L  jL)
2

где EВ21'  TЧС  EВ21 – амплитуда напряженности волны В21'; TЧС –

энергетический коэффициент передачи ПКР для волн обходящих ПКР по часовой
стрелке (амплитудная характеристика ПКР при обходе его по часовой стрелке);
ΔΦЧС – фазовый сдвиг испытываемый при прохождении ПКР волной обходящей
его по часовой стрелке (фазовая характеристика ПКР при обходе его по часовой
стрелке). Затем две когерентные монохроматические волны В22 и В21' сводятся
вместе и интерферируют. При этом интенсивность излучения на фотоприемнике
6 описывается известным выражением:

 2  EВ21'  EВ22  cosl2   ЧС  ,

2 2
I 6  EВ21'  EВ22 (2.12)

где Δl2 – разность длин путей опорного сигнала В22 и сигнала измерительной
информации В21'. Ранее отмечалось, что энергия волны В2 делится на В22 и В21
поровну, а значит EВ21  EВ22  0,5  EВ2 . Учитывая этот факт, можно
преобразовать выражение (2.12) следующим образом:
 52

 0,5  TЧС  EВ2  cosl2   ЧС 

2 2
I 6  0,25  (1  TЧС )  EВ2 (2.13)

Аналогично можно получить выражение для интенсивности излучения на

фотоприемнике 8:

I 8  0,25  (1  TПЧС )  EВ1  0,5  TПЧС  EВ1  cosl1   ПЧС  ,

2 2
(2.14)

где EВ1 – напряженность электрического поля волны В1; TПЧС – энергетический

коэффициент передачи ПКР для волн обходящих ПКР против часовой стрелки
(амплитудная характеристика ПКР при обходе его против часовой стрелки); Δl1 –
разность длин путей опорного сигнала и сигнала измерительной информации.
ΔΦПЧС – фазовый сдвиг испытываемый при прохождении ПКР волной обходящей
его против часовой стрелки (фазовая характеристика ПКР при обходе его против
часовой стрелки).
I6
1

f
0
fm-1,ЧС fm,ЧС fm+1,ЧС
I8
1

f
0
fm-1,ПЧС fm,ПЧС fm+1,ПЧС

Рисунок 2.7. Нормированная зависимость интенсивности излучения падающего на

фотоприемник 6 и 8 от его частоты при Kс = 0,05 и P = 0%.

Используя выражения (2.4)-(2.6), (2.11), (2.13) и (2.14) в программной среде

Matlab было произведено моделирование зависимостей интенсивностей на
 53

фотоприемниках 6 и 8 от частоты излучения. На рисунках 2.7 и 2.8 приведены

графики, иллюстрирующие результаты моделирования.

Когда разность оптических длин путей опорных сигналов и сигналов

измерительной информации пропорциональна целому числу длин волн λm, тогда
зависимость интенсивности оптического излучения, направленного на
фотоприемники 6 и 8, от его частоты соответствует графикам приведённым на
рисунке 2.7. Собственным частотам резонатора, для волн обходящих его по и
против часовой стрелки (fm,ЧС и fm,ПЧС соответственно), соответствуют минимумы
интенсивности оптического излучения. По минимумам сигналов с
фотоприемников вычислительная система 11 определяет собственные частоты, а
затем их разность Δf, пропорциональную угловой скорости. Стоит отметить, что
на рисунке 2.7 приведена нормированная интенсивность излучения на
фотоприемниках при отсутствии потерь в ПКР (при их полной компенсации). При
этом, в отличие от обычного резонаторного МОГ, на резонансных частотах
сохраняются провалы выходного сигнала. Таким образом, применение методов
измерения фазовой характеристики для измерения угловой скорости пассивного
кольцевого резонатора снимает ограничения связанные с зависимостью величины
выходного сигнала от величины потерь в резонаторе.

Рисунок 2.8. Относительная интенсивность излучения на фотоприемнике (коэффициент

передачи оптической системы T) при разности оптических длин опорного и измерительного
сигналов равной: λm·N - кривая 1, λm·(N+1/8) - кривая 2, λm·(N+1/4) - кривая 3.
 54

Когда разность оптических длин путей опорных сигналов и сигналов

измерительной информации не пропорциональна целому числу длин волн, форма
графика коэффициента передачи оптической системы изменяется (см. рисунок
2.8). Тем не менее, при любой разности оптических длин путей, сохраняется
возможность определения резонансных частот по характерным изменениям
интенсивности излучения, падающего на фотоприемники, вблизи собственных
частот резонатора [61].

2.3 Потенциальная точность микрооптического гироскопа с пассивным

кольцевым резонатором

Сравним по потенциальной точности разработанный МОГ (использующий

амплитудную и фазовую характеристики ПКР) с резонаторным (использующий
только амплитудную характеристику ПКР) МОГ (см. подпункт 1.2.1). При этом
под потенциальной точностью будем понимать предельную точность измерения
прибора, достижимую на современном этапе развития научных знаний, техники и
технологии. Т.е. потенциальная точность МОГ характеризует минимальную
величину угловой скорости, которая принципиально может быть измерена
данным типом МОГ. При этом потенциальная точность технически может быть
не реализована на данном этапе развития технологии производства (в том числе -
уникального) [65].

Известные на сегодняшний день выражения, описывающие потенциальную

точность МОГ, не подходят для МОГ использующего амплитудную и фазовую
характеристики ПКР. Получим выражение описывающее потенциальную
точность как МОГ, использующих только амплитудную характеристику ПКР, так
и МОГ, использующих совместно амплитудную и фазовую характеристики ПКР.
Так как рассматривается именно потенциальная точность, то можно считать, что в
МОГ исключено или сведено к минимуму влияние всех принципиально
устранимых источников шумов и нестабильностей (используется лазер с ультра
 55

низкими шумами, исключено влияние внешних источников помех и т.д.).

Точность оптоэлектронных систем часто ограничивает темновой ток
фотоприемников и их внутренние шумы. Однако, влияние темнового тока можно
исключить (теоретически полностью) при помощи модуляции светового потока с
последующим усилением переменного фототока, снимаемого с выхода
фотоприемника [66]. Тепловой шум фотоприемника – шум, вызываемый
хаотическим тепловым движением свободных электронов [66], при обычно
используемых в пассивных оптических гироскопах мощностях оптических
сигналов (десятые доли - единицы мВт), пренебрежимо мал по сравнению с
фотонным (дробовым) шумом [67]. Кроме того, влияние теплового шума может
быть практически исключено за счет охлаждения фотоприемника (при
рассмотрении потенциальной точности допустимо считать, что прибор работает
при температуре близкой к абсолютному нулю). Ясно, что при этом в МОГ все
равно будут присутствовать некоторые принципиально неустранимые шумы -
фотонный шум (дробовой шум). Фотонный шум обусловлен статистическими
флуктуациями числа фотонов в потоке воздействующего на фотоприемник
излучения, т. е. квантовой природой излучения. Фундаментальный,
принципиально неустранимый ни при какой рабочей температуре квантовый
предел оптоэлектронной системы задается именно фотонным шумом [66]. Таким
образом, потенциальная точность МОГ, как и других оптоэлектронных систем
определяется фотонным шумом [67, 68].

Рассмотрим подробнее фотонный шум МОГ. Известно, что если

фотоприемник принимает поток фотонов, то число обнаруживаемых фотонов N в
единицу времени – случайная величина, распределенная по закону Пуассона (в
случае использования лазерного источника излучения) [66]. Таким образом,
среднее число фотонов приходящих на фотоприемник МОГ за некоторое время τ
(время, соответствующее частоте обработки сигнала электрической схемой МОГ)
определяется известным выражением:
 56

I 
 N  вых , (2.15)
hf m

где Iвых=IвхT – интенсивность излучения на выходе одного из каналов оптической

части МОГ (интенсивность излучения падающего на один из фотоприемников);
T – коэффициент передачи оптической системы; Iвх – интенсивность излучения на
входе одного из каналов оптической системы;
-34
h =6,626·10 (Дж·с) – постоянная Планка; fm – частота излучения источника
света. Среднеквадратическое отклонение числа фотонов от среднего для
пуассоновского распределения равно [69]:

N   N  (2.16)

Используя (2.15) и (2.16), можно получить выражение, описывающее

мощность фотонного шума приходящего на фотодетектор МОГ:

  hf m I Thf
I ФШ  N  вх m (2.17)
 

Как было отмечено выше, потенциальная точность МОГ ограничена

фотонным шумом. Таким образом, выражение (2.17) соответствует
минимальному изменению интенсивности на фотоприемнике МОГ δIвых, которое
может быть потенциально зарегистрировано (δIвых=IФШ). Используя выражение
(2.17), можно определить минимальное изменение частоты мод ПКР (δfЧС и δfПЧС
для волн обходящих ПКР по и против часовой стрелки соответственно), которое
может быть потенциально зарегистрировано по изменению сигнала на
фотоприемниках:

1 1 hf m
f ПЧС  f ЧС  f  I вых  , (2.18)
 dI вых   1 dT  I вх
   
 df   T df 

dT
где – крутизна коэффициента передачи оптической системы. Как было
df
отмечено в Главе 1, угловая скорость в резонаторных МОГ вычисляется исходя из
 57

разности собственных частот ПКР для взаимно противоположных направлений

его обхода. При этом она определяется из выражения (1.2). Потенциальная
точность измерения угловой скорости МОГ равна:

сL
  ( f ПЧС  f ЧС ) , (2.19)
4 Af m

где c – скорость света в вакууме; L – периметр резонатора; A – площадь

резонатора; δ(fПЧС – fЧС) – потенциальная точность определения разности
собственных частот ПКР. Так как дисперсия суммы двух независимых случайных
величин равна сумме дисперсий этих величин [69], то:

( f ПЧС  f ЧС )  (f ПЧС ) 2  (f ЧС ) 2  f  2 (2.20)

Подставив в (2.19) выражения (2.20) и (2.18):

 
 
сL  2 
  (2.21)
4 Af m   1 dT  I вх 
   
  T df  hf m 

Последнее выражение соответствует минимальной угловой скорости,

которая потенциально может быть измерена МОГ на фоне фотонного шума
(потенциальной точности МОГ). Это выражение подходит как для резонаторного
гироскопа, использующего только амплитудную характеристику ПКР, так и для
МОГ, использующего совместно и амплитудную и фазовую характеристики ПКР
[68]. Сравним потенциальную точность этих двух типов МОГ. При сравнении
будем рассматривать конфигурацию МОГ, использующего амплитудную и
фазовую характеристики ПКР, с разностью оптических длин путей опорных
сигналов и сигналов измерительной информации пропорциональной целому
числу длин волн λm=с/f. Пусть оба МОГ собраны из одинаковых элементов
(отличаются только схемой подключения ПКР). Из выражения (2.21) видно, что
при использовании в обоих МОГ одинаковых элементов о потенциальной
точности можно судить по величине коэффициента передачи системы
 58

(коэффициента передачи одного из оптических каналов МОГ) и его крутизне. Чем

выше крутизна и ниже коэффициент передачи, тем выше точность. Используя
выражения (2.4)-(2.6), (2.11) и (2.13), было произведено моделирование двух
типов МОГ в программной среде Matlab. Для большей наглядности сравнения
точностей МОГ, ниже на рисунке 2.9 приведены графики коэффициентов
передачи и крутизны коэффициентов передачи МОГ.

Рисунок 2.9. Коэффициенты передачи оптических систем (а, б) и их нормированная крутизна (в,
г) при коэффициенте связи вспомогательного волновода с кольцевым резонатором Кс = 0,05 и
потерях мощности за один обход резонатора Р = 1% (а, в) и при Кс = 0,05, Р = 0,1% (б, г).
Линия I соответствует МОГ, который использует только амплитудную характеристику ПКР,
линия II соответствует МОГ, который использует совместно и фазовую и амплитудную
характеристики ПКР.

При низких потерях в ПКР крутизна коэффициента передачи МОГ

использующего совместно амплитудную и фазовую характеристики ПКР выше,
чем у обычного резонаторного МОГ (использующего только амплитудную
характеристику ПКР). При Кс = 0,05, P = 1% максимальная крутизна
коэффициента передачи МОГ использующего амплитудную и фазовую
 59

характеристики ПКР выше почти в 2 раза (см. рисунок 2.9в), а при снижении
потерь до P = 0,1% выше более чем в 13 раз (см. рисунок 2.9г). Кроме того, как
видно из сопоставления графиков на рисунках 2.9а и 2.9в (или рисунках 2.9б и
2.9г), при максимальном значении крутизны у МОГ использующего амплитудную
и фазовую характеристику ПКР наблюдается более низкое значение
коэффициента передачи, чем у обычного резонаторного МОГ. Таким образом,
совместное использование амплитудной и фазовой характеристик ПКР для
определения резонансных частот позволяет повысить потенциальную точность
МОГ.

2.4 Выводы по главе 2

Проанализированы амплитудные и фазовые характеристики ПКР при

различных значениях коэффициента связи между кольцевым и вспомогательным
волноводом ПКР и потерь мощности излучения за один обход резонатора.
Показано, что при снижении уровня потереть, глубина провалов амплитудной
характеристики будет снижаться и при отсутствии или полной компенсации
потерь амплитудная характеристика станет постоянной во всем рабочем
спектральном диапазоне. При этом обычный резонаторный МОГ (определяющий
собственные частоты ПКР по провалам амплитудной характеристики ПКР) не
может измерять угловую скорость. Также продемонстрировано, что фазовая
характеристика имеет отличительные особенности около собственных частот
резонатора, которые сохраняются даже при полной компенсации потерь.
Показано, что применение методов измерения фазовой характеристики для
измерения угловой скорости пассивного кольцевого резонатора снимает
ограничения связанные с зависимостью величины выходного сигнала от
величины потерь в резонаторе

Разработан новый способ измерения угловой скорости (новый тип

резонаторного МОГ), который предполагает совместное использованием фазовой
и амплитудной характеристик ПКР. На примере схемы МОГ реализующей этот
 60

способ доказано, что совместное использование фазовой и амплитудной

характеристик ПКР позволяет измерять угловую скорость даже при полной
компенсации потерь в ПКР. Получено выражение для потенциальной точности
подходящее как для МОГ использующих только амплитудную характеристику
ПКР, так и для МОГ использующих совместно амплитудную и фазовую
характеристики ПКР. Произведено сравнение потенциальных точностей этих двух
типов резонаторных МОГ. Показано, что совместное использование амплитудной
и фазовой характеристик ПКР для определения резонансных частот позволяет
повысить потенциальную точность МОГ. Стоит отметить, что если разность
оптических длин путей опорных сигналов и сигналов измерительной информации
у МОГ, использующего амплитудную и фазовую характеристику, не
пропорциональна целому числу длин волн, то форма графика коэффициента
передачи оптической системы изменяется (см. рисунок 2.8). При этом меняется
максимальная крутизна коэффициента передачи, а значит, изменяется и точность
МОГ. В связи с этим возникает задача исследования влияния разности оптических
длин путей опорных и измерительных сигналов на характеристики МОГ, которая
будет рассмотрена в следующей главе. Также в следующей главе будет
рассмотрено влияние внешних воздействий на параметры разработанного МОГ и
оценены значения параметров необходимые для достижения заданной
потенциальной точности.
 61

Глава 3 ИССЛЕДОВАНИЕ МИКРООПТИЧЕСКОГО ГИРОСКОПА,

ИСПОЛЬЗУЮЩЕГО СОВМЕСТНО АМПЛИТУДНУЮ И ФАЗОВУЮ
ХАРАКТЕРИСТИКУ ПАССИВНОГО КОЛЬЦЕВОГО РЕЗОНАТОРА

3.1 Исследование влияния разности оптических длин путей опорных и

измерительных сигналов на характеристики микрооптического гироскопа

Используя полученные ранее выражения (2.4)–(2.6), (2.11), (2.13), в

программной среде Matlab были рассчитаны энергетические коэффициенты
передачи оптической схемы МОГ и их крутизна при различных разностях
оптических длин путей. Ниже приведены их графики при разностях оптических
путей опорных сигналов и сигналов измерительной информации, взятых из
интервала от λm·N до λm·(N+1/2) с шагом (1/8)λm, где N – целое число. Чтобы
облегчить восприятие рисунка, графики при разностях оптических путей из
интервала от λm·(N+1/2) до λm·(N+1) не приведены, так как они аналогичны
графикам из интервала от λm·N до λm·(N+1/2).

Графики на рисунке 3.1 получены при моделировании микрооптического

гироскопа с коэффициентом связи между резонатором и вспомогательным
волноводом равным 0,02, потерями мощности излучения за один обход
резонатора равными 1% и радиусом резонатора 10 мм. Такие параметры
волноводного ПКР достижимы на практике [19-21]. В правой части рисунка 3.1
приведены участки графиков вблизи резонансных частот в увеличенном по оси
частот масштабе. Увеличенные участки графиков рисунка 3.1 расположены друг
под другом и приведены в одинаковом масштабе по оси частот.
 62

Рисунок 3.1. Коэффициенты передачи оптического канала МОГ (а) и модуль их нормированной
крутизны (б) при разности оптических длин путей опорных сигналов и сигналов измерительной
информации равной: λm·N – линия 1, λm·(N+1/8) – линия 2, λm·(N+1/4) – кривая 3, λm·(N+3/8) –

кривая 4, λm·(N+1/2) – кривая 5.

Как было показано в главе 2, при разности оптических длин путей опорных
сигналов и сигналов измерительной информации равной λm·N, коэффициент
передачи оптического канала МОГ обладает провалами на собственных частотах
ПКР. При постепенном изменении разности оптических путей, провал постепенно
уменьшается, его минимум смещается относительно резонансной частоты и
рядом постепенно растет пик. При достижении разности оптических длин путей
опорных сигналов и сигналов измерительной информации величины равной
λm·(N+1/2), провал коэффициента передачи оптического канала МОГ полностью
исчезает. На собственных частотах ПКР наблюдается пик. Таким образом,
коэффициент передачи становится близок по форме к коэффициенту передачи
пассивного кольцевого резонатора, работающего на пропускание (ПКР с двумя
 63

петлями оптической связи между резонатором и вспомогательными

волноводами). Такая возможность преобразования формы выходной
характеристики оптической схемы МОГ интересна с точки зрения применения
полученных результатов при создании оптических модуляторов и управляемых
оптических фильтров. Однако, в контексте настоящей работы интерес
представляют коэффициенты передачи, позволяющие достичь большей
потенциальной точности. Из выражения (2.21) следует, что при оптимизации
разности оптических длин путей между сигналами измерительной информации и
опорными сигналами, с точки зрения потенциальной точности, необходимо
1 dT
стремиться к максимуму выражения . Видно, что из представленных на
T df
рисунке 3.1б графиков крутизны выходной характеристики, при выбранных
параметрах резонатора, наибольшая максимальная крутизна (а значит и большая
потенциальная точность) соответствует разности оптических длин равной
λm·(N+1/4) – линия 3. Однако, это только приблизительный результат, так как, не
были учтены некоторые факторы. Во-первых, на рисунке 3.1 представлены
графики не для всех разностей оптических путей, а только для нескольких,
отличающихся на (1/8)λm. Во-вторых, величина потенциальной точности зависит
и от значения коэффициента связи, а из рисунка 3.1а видно, что наибольшая
крутизна может не соответствовать наименьшему коэффициенту передачи.
В-третьих графики на рисунке 3.1 могут несколько измениться при других
параметрах прибора (например, при других значениях потерь в ПКР). Поэтому,
для определения оптимальной, с точки зрения потенциальной точности, разности
 1 dT 
оптических длин путей, была исследована зависимость параметра max 
 T df 
от разности оптических длин путей L при различных характеристиках резонатора.
 64

Рисунок 3.2. Зависимость нормированного значения параметра оптимизации от разности

оптических длин путей опорных сигналов и сигналов измерительной информации. Линия 1
соответствует Кс = 0,05 и Р = 0,4%, линия 2 соответствует Кс = 0,05 и Р = 1%, линия 3
соответствует Кс = 0,05 и Р = 4%.

Как видно из рисунка 3.2, при снижении уровня потерь (при стремлении
потерь к нулю) наибольшее значение параметра оптимизации (а значит и
потенциальной точности) приближается к разности оптических длин путей
равной λm·N. При росте уровня потерь наибольшее значение параметра
оптимизации стремится к разности оптических длин путей равной λm·(N+1/2). Тем
не менее, при низких потерях в ПКР (несколько процентов и менее) оптимальная
разность оптических длин путей между сигналами измерительной информации и
опорными сигналами лежит в интервалах [λm·N; λm·(N+1/4)] и [λm·(N+3/4);
λm·(N+1)]. Конкретное значение оптимальной разности оптических длин путей
выбирается в соответствии со значением потерь в ПКР.
 65

3.2 Допустимая разность оптических длин путей измерительных и опорных

сигналов

В связи с зависимостью крутизны коэффициента передачи оптического

канала МОГ от разности оптических длин путей опорных сигналов и сигналов
измерительной информации L (см. рисунок 3.1), возникает еще одна проблема.
Под воздействием внешних факторов различной физической природы (например,
температуры и внешних сил), разность оптических длин путей между сигналами
измерительной информации и опорными сигналами может изменяться. При этом
изменяется и крутизна коэффициента передачи. Так как изменение собственных
частот ПКР фиксируется по изменению коэффициента передачи оптического
канала МОГ, то значение крутизны коэффициента в рабочей точке входит в
состав масштабного коэффициента МОГ и ее изменение может привести к
снижению стабильности масштабного коэффициента МОГ. Ясно, что чем больше
разность оптических длин путей сигналов L, тем значительней ее изменение под
воздействием внешних факторов и выше нестабильность масштабного
коэффициента. Поэтому важно оценить допустимую разность оптических длин
путей. Т.е. такую разность при которой, возникающая под влиянием внешних
факторов, нестабильность масштабного коэффициента МОГ укладывается в
заданные пределы.

По своей сути МОГ ориентированы на нишу недорогих компактных

чувствительных элементов для инерциальных систем ориентации широкого
диапазона применений. При этом наибольший интерес представляют МОГ с
потенциальной точностью порядка нескольких °/ч и ниже и стабильностью
масштабного коэффициента соответствующей макроскопическим оптическим
гироскопам средней точности (около 10-3) [11]. Преобразуем (1.2) и определим
дифференциал угловой скорости:

сL сL сL df
d  d ( f ПЧС  f ЧС )  2df  2dT ,
4 Af m 4 Af m 4 Af m dT
 66

где df = 0,5·d(fПЧС – fЧС ) = dfПЧС = –dfЧС. Используя последнее выражение получим

масштабный коэффициент МОГ:

2dT 4 Af m  dT 
K МОГ     , (3.1)
d сL  df  раб

 dT 
где K МОГ – масштабный коэффициент МОГ;   – значение крутизны
 df  раб

коэффициента передачи оптического канала МОГ в рабочей точке. Из выражения

(3.1), видно что нестабильность масштабного коэффициента МОГ может быть
вызвана прежде всего нестабильностью радиуса ПКР (будет рассмотрена в пункте
3.3) и нестабильностью крутизны выходной характеристики.

Исходя из выше сказанного, при определении допустимой разности

оптических длин путей ограничим нестабильность крутизны коэффициента
передачи оптического канала МОГ, вызванную изменением разности оптических
длин путей (под влиянием внешних факторов), относительной величиной 5·10-4
(0,05%). Было вычислено, что относительное изменение крутизны коэффициента
передачи 5·10-4 соответствует изменению разности оптических длин путей
приблизительно равной 0,004·λ. Расчет производился в программной среде
Matlab, используя полученную пункте 2.3 зависимость крутизны коэффициента
передачи от разности оптических длин путей. При этом указанная характеристика
рассматривалась вблизи оптимальной разности оптических длин путей (см. пункт
пункте 3.1) при низких потерях в ПКР (относительные потери мощности
излучения за один обход ПКР равны нескольким процентам).

При оценке допустимой разности оптических длин путей между сигналами

измерительной информации и опорными сигналами рассматривались следующие
внешние воздействия, влияющие на ее значение:

 Изменение температуры волноводной структуры от 20 до 85°С (нагрев на

65°С). Такое воздействие соответствует изменению температуры от
 67

нормальной температуры [70] до верхнего значения индустриального

диапазона температур;

 Воздействие линейного ускорения амплитудой до  = 1000 м/с2,
направленного вдоль оси перпендикулярной волноводной структуре.

Изменение разности оптических длин путей в результате воздействия на

оптическую схему МОГ, указанных выше внешних факторов, моделировалось в
программной среде Matlab. Известно, что высокодобротные волноводные ПКР
для МОГ могут быть изготовлены из различных материалов: из кремния на
изоляторе (кремниевые волноводы), оксида кремния на кремнии (волноводы из
кварца), нитрида кремния, ниобата лития, фосфида индия и оптических
полимеров [2]. Поэтому при моделировании были рассмотрены волноводы из
различных материалов. Используемые при моделировании параметры этих
материалов приведены ниже в таблице 3.1.

Таблица 3.1 – характеристики материалов волноводов

Материал Si SiO2 InP Si3N4 Полимер* LiNbO3
Плотность, (г/см3) 2,33 2,65 4,81 3,10 1,17 4,69
Коэффициент Пуассона 0,266 0,080 0,360 0,230 0,320 0,250
Модуль Юнга (ГПа) 130,91 97,20 61,00 257,00 3,10 170,00
Температурный 2,55 7,10 4,76 3,30 70,00 2,00
коэффициент расширения,
×10-6 (1/К)
Показатель преломления 3,476 1,450 3,186 2,011 1,461 2,237
Теплопроводность, 126,0 10,7 67,0 62,8 19,0 5,6
Вт/(мК)
dn/dt, ×10-6 (1/К) 160,0 -5,5 4,8 3,4 -115,0 -0.9
*Оптический полимер, использованный в [27].

При моделировании нагрева волноводной структуры учитывалось

изменение разности оптических длин путей ΔL за счет линейного расширения
материала волновода и за счет изменения показателя преломления волновода.
 68

Изменение разности оптических длин, вызванное линейным расширением ΔL1,

вычислялось с использованием следующего известного выражения:

L1  L  t  1, (3.2)

где Δt = 65 °С – величина нагрева волновода; α1 – температурный коэффициент

линейного расширения материала волновода. Изменение разности оптических
длин, вызванное линейным изменением показателя преломления волновода ΔL2,
вычислялось с использованием следующего выражения:

L  t   2
L2  l  t   2  , (3.3)
n

где l = L/n – разность длин путей; n – показатель преломления материала при

температуре 20 °С; α2 = dn/dt – температурный коэффициент линейного
изменения показателя преломления. Общее изменение разности оптических длин
путей, вызванное изменением температуры, равно сумме выражений (3.2) и (3.3)
ΔL = ΔL1+ ΔL2. Используя выражения (3.2) и (3.3) в программной среде Matlab
были вычислены ограничения, накладываемые на разность оптических длин
путей опорных сигналов и сигналов измерительной информации L для различных
материалов волноводов, обусловленные влиянием температуры. Для
визуализации результатов вычислений, ниже приведены графики зависимости
изменения разности оптических длин ΔL при заданном температурном
воздействии от разности оптических длин L (см. рисунок 3.3).
 69

ΔL , ×10-3[λm] 3 4 5

1 6
2

ΔL = 0,004λm

L , [λm]

Рисунок 3.3. Зависимость изменения разности оптических длин после изменения температуры
от 20 до 85°С от разности оптических длин. Линия 1 соответствует кремниевым волноводам,
линия 2 соответствует волноводам из оптического полимера, линия 3 соответствует волноводам
из фосфида индия, линия 4 соответствует волноводам из нитрида кремния, линия 5
соответствует волноводам из кварца, линия 6 соответствует волноводам из ниобата лития.

Как было отмечено выше, для обеспечения требуемой стабильности

масштабного коэффициента МОГ, изменение разности оптических длин путей ΔL
не должно превышать 0,004λ. Учитывая этот факт, по зависимостям,
приведенным на рисунке 3.3, были определены наибольшие допустимые значения
разности оптических длин путей Lmax для волноводных структур выполненных из
различных материалов. Их значения сведены в таблицу 3.2.

Таблица 3.2 – наибольшие допустимые значения разности оптических длин путей,

обусловленные изменением температуры окружающей среды
Материал Si SiO2 InP Si3N4 Полимер* LiNbO3
Lmax, [λm] 1,27 18,61 9,82 12,33 7,06 38,52

*Оптический полимер, использованный в [27].

Как видно из таблицы 3.2, наибольшей чувствительностью к

температурным воздействиям обладают волноводы из кремния. Это объясняется
 70

их высоким (относительно других рассмотренных материалов) температурным

коэффициентом изменения показателя преломления. Также высокие
температурные коэффициенты изменения показателя преломления и линейного
расширения имеет оптический полимер. Однако у него эти коэффициенты имеют
противоположный знак (см. таблицу 3.1), в результате чего изменение разности
оптических длин, вызванное линейным расширением и вызванное изменением
показателя преломления, частично компенсирую друг друга.

Теперь рассмотрим влияние линейного ускорения. При моделировании

влияния линейного ускорения на разность оптических длин путей, будем считать,
что волноводы расположены в свободном пространстве (не связаны с
окружающей средой), т.е. их растяжение не ограничено окружающим материалом
волноводной структуры. При таком подходе влияние линейного ускорения
несколько завышено. Однако для поставленной задачи такой подход справедлив,
так как он позволяет оценить наибольшее допустимое значение разности
оптических длин путей опорных сигналов и сигналов измерительной
информации. Изменение разности оптических длин, вызванное влиянием
линейного ускорения ΔL, вычислялось с использованием следующего выражения:

Lh 
L  , (3.4)
E

где h – высота волноводной структуры; ρ – плотность материала волновода; μ –


коэффициент Пуассона;  – величина ускорения; E – модуль Юнга (модуль
продольной упругости). Используя выражение (3.4) в программной среде Matlab
были вычислены ограничения, накладываемые на разность оптических длин
путей опорных сигналов и сигналов измерительной информации L для различных
материалов волноводов, обусловленные влиянием линейного ускорения. Ниже
приведены графики зависимости изменения разности оптических длин ΔL при
заданном изменении линейного ускорения от разности оптических длин L (см.
рисунок 3.4).
 71

ΔL , ×10-3[λm]
1 2 3 4 5 6

ΔL = 0,004λm

L , ×105[λm]

Рисунок 3.4. Зависимость изменения разности оптических длин при воздействии линейного
ускорения с амплитудой 1000 м/с2 от разности оптических длин. Линия 1 соответствует
волноводам из оптического полимера, линия 2 соответствует волноводам из фосфида индия,
линия 3 соответствует волноводам из ниобата лития, линия 4 соответствует кремниевым
волноводам, линия 5 соответствует волноводам из нитрида кремния, линия 6 соответствует
волноводам из кварца.

Как было отмечено выше, для обеспечения требуемой стабильности

масштабного коэффициента МОГ, изменение разности оптических длин путей ΔL
не должно превышать 0,004λ. Учитывая этот факт, по зависимостям приведенным
на рисунке 3.4 были определены наибольшие допустимые значения разности
оптических длин путей Lmax для волноводных структур выполненных из
различных материалов. Их значения сведены в таблицу 3.3.

Таблица 3.3 – наибольшие допустимые значения разности оптических длин путей,

обусловленные влиянием линейного ускорения
Материал Si SiO2 InP Si3N4 Полимер* LiNbO3
Lmax, ×105[λm] 4,19 9,15 0,70 7,21 0,16 2,90

*Оптический полимер, использованный в [27].

 72

Как видно из таблицы 3.3, наибольшей чувствительностью к воздействию

линейных ускорений обладают волноводы из полимера. Это объясняется их
низким (относительно других рассмотренных материалов) модулем Юнга.
Сравнивая ограничения разности оптических путей Lmax вызванные
чувствительностью волноводов к ускорению (таблица 3.3) с вызванными
чувствительностью волноводов к изменению температуры (таблица 3.2), можно
сделать вывод, что влияние ускорения на нелинейность масштабного
коэффициента МОГ несущественно. Ясно, что даже при значительно более

высоких линейных ускорениях (при увеличении  на 1-3 порядка) их влиянием,
по сравнению с термическим воздействием, можно пренебречь. Таким образом,
допустимая разность оптических длин путей Lmax составляет несколько длин волн
(см. таблицу 3.2). Наименьшая допустимая разность оптических длин путей
1,27λm соответствуют волноводной структуре из кремниевых волноводов. При
использовании ПКР из кремниевых волноводов обычно работают на длинах волн
около 1,5 мкм. Ясно, что требуемая разность оптических путей, при современном
уровне развития интегральной оптики, может быть обеспечена.

3.3 Оценка влияния внешних воздействий на пассивный кольцевой резонатор

По своей сути МОГ ориентированы на применение в компактных

инерциальных системах ориентации и навигации, рассчитанных на работу при
различных внешних условиях. Внешние и внутренние воздействия способны
вызывать деформации в ПКР и напряжения в его волноводной структуре, которые
могут серьезно снизить чувствительность гироскопа и даже привести к его
поломке. Поэтому возникает задача оценки влияния внешних воздействий на
ПКР.

Известно, что высокодобротные волноводные ПКР для МОГ могут быть

изготовлены из различных материалов: из кремния на изоляторе (кремниевые
волноводы), оксида кремния на кремнии (волноводы из кварца), нитрида кремния,
 73

ниобата лития, фосфида индия и оптических полимеров [2]. Ясно, что каждый из
этих материалов по-разному реагирует на внешние воздействия (см. таблицу 3.1).
Поэтому важно рассмотреть влияние одних и тех же воздействий на одинаковые
по габаритом ПКР из этих материалов. Чтобы сэкономить затраты времени и
средств (чтобы не изготавливать 6 ПКР), использовались средства компьютерного
моделирования (программный пакет OOFELIE::Multiphysics). Используя входные
данные, приведенные в таблице 3.1, были построены и исследованы модели ПКР
из перечисленных выше материалов. При этом моделировались резонаторы с
радиусом 5 мм и высотой волноводной структуры (складывается из высоты
волновода, высоты защитного покрытия и т.д.) около 15 мкм. Подробнее
волноводные структуры ПКР из указанных материалов рассмотрены в пункте
Главе 1. Процесс моделирования рассмотрим на примере резонатора из ниобата
лития.

Внешний вид модели ПКР из ниобата лития, построенной с помощью

встроенного редактора геометрии OOFELIE::Multiphysics представлен на рисунке
3.5. Было задано абсолютно жесткое крепление волноводной структуры к
подложке. Чтобы сэкономить вычислительные ресурсы, моделировалась только
та часть волноводной структуры на которой расположен ПКР. Волноводы (из
ниобата лития с примесью титана) были заданы как двумерные объекты. Это
приближение допустимо, так как высота волноводов на порядок-два меньше
высоты всей структуры.

Рисунок 3.5. Внешний вид модели ПКР.

 74

Построенная модель была разбита сеткой конечных элементов со средним

шагом в горизонтальной плоскости 0,2 мм (рисунок 3.6). В качестве основных
конечных элементов были выбраны линейные гексаэдры. Разбиение модели на
конечные элементы было произведено в автоматическом режиме. Их общее число
составило около семидесяти тысяч.

Рисунок 3.6. Разбиение ПКР сеткой конечных элементов.

Исходя из внешних условий, в которых должен работать МОГ, были

выбраны следующие моделируемые воздействия:

 Воздействие центробежной силы. Моделировалось вращение ПКР с

постоянной угловой скоростью с амплитудой 10 рад/с. Вектор угловой
скорости был направлен перпендикулярно плоскости резонатора и
проходил через геометрический центр модели. Такая величина воздействия
выбрана, так как предполагается что МОГ будет работать в динамическом
диапазоне от 0 до 10 рад/с;

 Термическое воздействие. Моделировался равномерный нагрев

чувствительного элемента от 20 °С до 85 °С. Такое воздействие
соответствует изменению температуры от нормальной температуры [70] до
верхнего значения индустриального диапазона температур.
 75

Сначала рассмотрим воздействие центробежных сил. На рисунке 3.7

приведено распределение смещений точек ПКР относительно их первоначального
положения при вращении его вокруг перпендикулярной ему оси с угловой
скоростью 10 рад/с. Величина смешений обозначена цветом. Наиболее важные
участки структуры (волноводы) на рисунке 3.7 и далее показаны выпукло для
наглядности.

Рисунок 3.7. Смещения точек ПКР относительно их первоначального положения при

воздействии центробежных сил.

На рисунке 3.8 приведен график, демонстрирующий смещение точек кольца

резонатора (по оси абсцисс отложена дуговая координата) в горизонтальной
плоскости. Смещения точек кольца ΔR резонатора распределены по дуговой
координате σ неравномерно (имеются максимумы и минимумы). Это объясняется,
прежде всего, формой моделируемой волноводной структуры (горизонтальное
сечение – прямоугольное). Локальные изменения смещений вызваны конечным
размером элементов, на которые разбита модель. При снижении размера
элементов и увеличении их числа график, приведенный на рисунке 3.8 становится
более гладким. При моделируемом воздействии центробежных сил, усредненное
изменение радиуса ПКР составило 3,88·10-15 мм.
 76

На рисунке 3.9 приведено распределение внутренних напряжений в

волноводной структуре при воздействии на нее центробежных сил. Наибольшая
величина внутренних напряжений в волноводной структуре при этом достигает
E = 0,05 Па.

ΔR, мм

3,88·10-15 мм

σ, мм

Рисунок 3.8. Смещения точек кольца резонатора в горизонтальной плоскости при воздействии
центробежных сил.

Рисунок 3.9. Напряжения возникающие материале ПКР при воздействии центробежных сил.
 77

Теперь аналогичным образом рассмотрим термическое воздействие. На

рисунке 3.10 приведено распределение смещений точек ПКР относительно их
первоначального положения при равномерном нагреве чувствительного элемента
на 65 °С (с 20 до 85 °С). ПКР растянут вдоль вертикальной оси, чтобы изменения
величин смещений по вертикальной оси были заметнее. На рисунке 3.11 приведен
график, демонстрирующий смещение точек кольца резонатора, распределенных
по длине его окружности (по оси абсцисс отложена дуговая координата). При
моделируемом перепаде температур, усредненное изменение радиуса ПКР
составило 2,71·10-5 мм. Рисунок 3.12 иллюстрирует распределение внутренних
напряжений при нагреве ПКР. Наибольшая величина внутренних напряжений E =
256 МПа наблюдается непосредственно у нижней поверхности волноводной
структуры. Это связано с тем, что при моделировании было задано жесткое
крепление этой поверхности к основанию. На практике идеально жесткое
крепление невозможно, поэтому максимальная величина внутренних напряжений
будет несколько ниже. Однако для оценки влияния внешних воздействий на
характеристики МОГ такое приближение использовать допустимо (допустимо
несколько завысить влияние внешних воздействий).

Рисунок 3.10. Смещения точек ПКР относительно их первоначального положения

при термическом воздействии.
 78

ΔR, мм

2,71·10-5 мм

σ, мм

Рисунок 3.11. Смещения точек кольца резонатора в горизонтальной плоскости

при термическом воздействии

Рисунок 3.12. Напряжения возникающие материале ПКР при термическом воздействии.

Аналогично описанному выше, было произведено моделирование влияния

тех же воздействий на ПКР из других материалов. Данные полученные в
 79

результате моделирования сведены в таблице 3.4 (ΔR – изменение радиуса ПКР; E

– наибольшее внутреннее напряжение волноводной структуры).

Таблица 3.4 – результаты моделирования ПКР

Материал Вращение со скоростью 10 рад/с Изменение температуры с 20 до 85 °С
волноводов
ΔR, м E, Па ΔR, м E, Па
ПКР

Si 1,56·10-18 2,0·10-2 5,80·10-9 5,2·107

Si3N4 2,46·10-18 3,5·10-2 1,70·10-8 1,5·108

SiO2 2,59·10-18 3,6·10-2 4,05·10-8 3,6·108

InP 1,74·10-17 0,23 9,30·10-8 8,6·108

Полимер* 8,30·10-16 11 7,45·10-6 8,7·109

LiNbO3 3,88·10-18 5,2·10-2 2,71·10-8 2,5·108

*Оптический полимер, использованный в [27].

Анализируя результаты, приведенные в таблице 3.4, можно заметить, что

при рассмотренных воздействиях, влияние центробежных сил на величину
радиуса резонатора на семь-восемь порядков меньше, чем влияние термического
воздействия. Стоит отметить, что динамический диапазон угловых скоростей
ограниченный 10 рад/с охватывает большую часть областей применения
гироскопов [71]. Ясно, что даже при более высоких скоростях вращения (100
рад/с) влиянием центробежных сил можно пренебречь. Рассмотренное
температурное воздействие соответствует изменению температуры от нормальной
температуры [70] до верхнего значения индустриального диапазона температур.
Результаты моделирования (см. таблицу 3.4) показывают, что относительное
изменение радиуса резонатора, вызванное влиянием температуры δR = ΔR/R, для
рассмотренных ПКР варьируются от 1,2·10-6 до 1,5·10-3 (минимальное для кварца,
а максимальное для полимера). Исходя из выражения (3.1) для масштабного
коэффициента МОГ, можно сделать вывод, что относительное изменение радиуса
ПКР вызывает аналогичную составляющую нестабильности масштабного
коэффициента. При этом нестабильность масштабного коэффициента, вызванная
 80

изменением радиуса ПКР, практически для всех рассмотренных материалов (для

всех кроме оптического полимера) не превышает допустимой величины (5·10-4).
Однако помимо изменения радиуса ПКР температурное воздействие приводит к
появлению высоких внутренних напряжений в волноводной структуре (в
зависимости от материала ПКР от 52 до 8700 МПа). При этом пределы прочности
некоторых из используемых в ПКР материалов могут быть превышены
(например, предел прочности, ниобата лития 114 МПа будет превышен, а кремния
7000 МПа - нет). Как было отмечено выше, при моделировании было задано
жесткое крепление волноводной структуры к нерастяжимому основанию. На
практике идеально жесткое крепление невозможно и материалы основания имеют
ненулевые коэффициенты расширения (не существует идеально жестких
материалов). Поэтому максимальная величина внутренних напряжений будет
несколько ниже. Однако на практике возможны и более жесткие, чем
рассмотренное выше, термические воздействия. Потому, чтобы не допустить
разрушения волноводной структуры, при конструировании МОГ работающих в
жестких условиях необходимо либо использовать в основании (подложке)
материалы с близкими к волноводной структуре коэффициентами расширения,
либо предусмотреть систему термокомпенсации.

3.4 Оценка параметров микрооптического гироскопа, необходимых для

достижения заданной точности.

По своей сути МОГ ориентированы на нишу недорогих компактных

чувствительных элементов для инерциальных систем ориентации широкого
диапазона применений. При этом наибольший интерес представляют МОГ с
потенциальной точностью порядка нескольких °/ч и ниже [3, 72]. В данной работе
было решено ограничиться исследованием МОГ, использующего амплитудную и
фазовую характеристики ПКР, с потенциальной точностью 1 °/ч. Выше было
получено выражение (2.21) для потенциальной точности МОГ. Анализируя это
выражения, можно заметить что потенциальная точность МОГ определяется
 81

различными параметрами. Ниже оценим величины параметров МОГ

необходимые для достижения заданной потенциальной точности (1 °/ч).

Как следует из (2.21) потенциальная точность растет при увеличении

размера (радиуса) ПКР, частоты используемого излучения, вводимой
интенсивности (мощности) излучения и крутизны коэффициента передачи
оптического канала МОГ в рабочей точке, а также при снижении частоты
обработки сигнала и величины коэффициента передачи оптического канала МОГ
в рабочей точке. При этом из (2.21) ясно, что рабочую точку стоит выбирать в
1 dT
соответствии с максимальным значением параметра . Значение
T df
 1 dT 
max  зависит от потерь энергии в ПКР и коэффициента связи
 T df 
вспомогательного волновода. Чем ниже потери, тем больше максимальное
значение параметра и выше потенциальная точность МОГ.

Ясно, что добиться требуемой потенциальной точности можно за счет

изменения даже только одного из описанных параметров. Например, за счет
увеличения вводимой мощности излучения. Однако ее неограниченное
увеличение на практике не представляется возможным. Кроме того при ее
увеличении во-первых растет потребляемая прибором мощность, во-вторых
приходится использовать более мощные модели лазеров, обладающие также
большими габаритами, что приводит к увеличению размеров МОГ и в итоге
прибор становится неконкурентоспособным. Таким образом, при оценке величин
параметров необходимо также учитывать, что значения некоторых из них
ограничены современным уровнем развития технологической базы и
потребностями рынка (например, нет смысла исследовать и разрабатывать
миниатюрный гироскоп с радиусом 1 м). Учитывая вышесказанное, задача по
оценке требуемых параметров МОГ является сложной задачей по оптимизации
параметров. При этом оценим значения только тех параметров, которые наиболее
влияют на выбор составных элементов МОГ и технологию их изготовления:
 82

потери мощности излучения за один обход резонатора P; коэффициент связи

между вспомогательным волноводом и резонатором K; радиус резонатора R;
вводимая интенсивность (мощность) излучения Iвх. При вычислениях длина
волны источника излучения принималась равной 1550 нм. Источники излучения с
такой длиной волны чаще всего используются в прототипах МОГ [2, 3, 72].
Частота обработки сигнала принималась равной 1 Гц. Используя полученные
ранее выражения (2.4)–(2.6), (2.11), (2.13) и (2.21), в программной среде Matlab
была получена зависимость потенциальной точности МОГ от величины
оцениваемых параметров. Исходя из анализа рынка гироскопов были, заданы
следующие ограничения: R ≤ 10 мм, Iвх ≤ 5 мВт. Современный уровень развития
интегральной оптики позволяет серийно изготавливать оптические ответвители с
минимальным отклонением коэффициента связи ΔK = ±0,003 [73], что
накладывает соответствующие ограничения на значение коэффициента связи ПКР
K. При радиусе ПКР от 7 до 10 мм наименьший уровень потерь за один обход
резонатора, равный 0,15 %, был достигнут в резонаторах из нитрида кремния [20].
Для определения значений коэффициента связи ПКР K и потерь за один обход
резонатора P, требуемых для достижения потенциальной точности 1 °/ч (область
допустимых значений заштрихована зелёным на рисунке 3.13), в программу были
подставлены указанные выше наибольшие допустимые значения радиуса
резонатора и вводимой интенсивности излучения. При учете указанных выше
ограничений уровня потерь и коэффициента связи область их допустимых
значений несколько сужается (область закрашенная зеленым). Таким образом,
величина потерь ограничена значениями 0,15% ˂ P ˂ 3,65%, а коэффициента
связи 0,003 ˂ K ˂ 0,136.
 83

Kc
P = 0,15%

ΔKc = ±0,003
δΩ > 1 °/ч

δΩ ≤ 1 °/ч

P, %

Рисунок 3.13. Область допустимых значений коэффициента связи ПКР и потерь за один
обход резонатора.

Затем были определены допустимые значения коэффициента связи и потерь

при которых потенциальная точность максимальна (т.е. те, при которых угловая
скорость, которая потенциально может быть измерена, минимальна). Они
соответствуют P = 0,15%, K = 0,003. Затем эти значения коэффициента связи и
потерь были подставлены программу, а радиус резонатора и вводимая
интенсивность излучения, поочередно рассматривались как переменные. Были
определены минимальные значения радиуса резонатора и вводимой
интенсивности излучения необходимые для достижения потенциальной точности
1 °/ч: R > 3 мм, Iвх > 0,01 мВт, соответственно. При вычислении минимально
допустимого значения радиуса кривизны учитывалось, что при снижении радиуса
кривизны ниже 7 мм, нижний уровень потерь изменяется c 0,15% на 1 %. Это
связано с тем, что при снижении радиуса ниже 7 мм наименьший уровень потерь
за один обход резонатора на рассматриваемой длине волны (1550 нм),
достижимый в резонаторах из нитрида кремния, начинает резко снижаться [19,
20]. Выгодней становится использовать резонаторы из кремния на изоляторе, у
которых вплоть до радиуса кривизны 2,45 мм уровень потерь составляет
 84

приблизительно 1 % (у них резкий рост потерь наблюдается при меньших

радиусах) [21].

3.5 Выводы по главе 3

Проанализирован энергетический коэффициент передачи оптической

схемы МОГ и его крутизна при различной разности оптических длин путей
опорных сигналов и сигналов измерительной информации. Показано, что при
низких потерях в ПКР (потери мощности излучения при однократном обходе
резонатора несколько процентов и менее) оптимальная, с точки зрения
потенциальной точности МОГ, разность оптических длин путей между сигналами
измерительной информации и опорными сигналами лежит в интервалах [λm·N;
λm·(N+1/4)] и [λm·(N+3/4); λm·(N+1)]. Конкретное значение оптимальной разности
оптических длин путей выбирается в соответствии со значением потерь в ПКР.

Было получено выражение масштабного коэффициента МОГ

использующего амплитудную и фазовую характеристику ПКР. Определено что на
стабильность масштабного коэффициента оказывает влияние относительное
изменение радиуса ПКР и крутизны коэффициенты передачи оптического канала
МОГ. Крутизна коэффициента передачи оптического канала МОГ зависит от
разности оптических длин путей опорных сигналов и сигналов измерительной
информации, которая может изменятся под воздействием внешних факторов
различной физической природы. Таким образом, чем больше разность оптических
длин, тем значительней ее изменение под воздействием внешних факторов,
больше относительное изменение крутизны коэффициента передачи оптического
канала МОГ и выше нестабильность масштабного коэффициента. Требуемое
значение стабильности масштабного коэффициента МОГ ограничивает
наибольшее допустимое значение разности оптических длин путей. Оценена
допустимая разность оптических длин путей для волноводных структур,
выполненных из различных материалов используемых в оптических схемах МОГ.
В зависимости от используемого материала волноводов она ограничена
 85

величиной от 1,27·λm (для кремниевых волноводов) до 38,52·λm (для волноводов

из ниобата лития).

Было показано, что внешние воздействия способны вызывать деформации

в ПКР и напряжения в его волноводной структуре. Влияние внешних
воздействий, а именно воздействия центробежной силы и изменения
температуры, на ПКР было оценено посредством компьютерного моделирования.
Результаты моделирования показали, что влияние центробежных сил на
параметры ПКР (по сравнению с влиянием термального воздействия)
пренебрежимо мало. Также было продемонстрировано, что относительное
изменение радиуса резонатора, вызванное влиянием температуры на ПКР из
рассмотренных материалов, варьируется от 1,2·10-6 до 1,5·10-3 (минимальное для
кварца, а максимальное для оптического полимера). Исходя из выражения (3.1)
для масштабного коэффициента МОГ, можно сделать вывод, что относительное
изменение радиуса ПКР вызывает аналогичную ему составляющую
нестабильности масштабного коэффициента. При этом нестабильность
масштабного коэффициента, вызванная изменением радиуса ПКР, практически
для всех рассмотренных материалов (для всех кроме оптического полимера) не
превышает допустимой величины.

Были оценены величины параметров МОГ необходимые для обеспечения

заданной потенциальной точности (1 °/ч) и достижимые при современном уровне
технологического развития. Их значения составили: коэффициент связи
вспомогательного волновода с резонатором 0,003-0,136; потери энергии
излучения за один обход резонатора 0,15-3,65 %; вводимая интенсивность
излучения (интенсивность излучения источника света) 0,01-5 мВт, радиус
резонатора 3-10 мм.

В главах 2 и 3 была разработана и исследована новая схема подключения

ПКР (новый тип резонаторного МОГ), позволяющая совместно использовать
фазовую и амплитудную характеристики ПКР для измерения угловой скорости.
Однако независимо от того какая схема подключения будет использоваться,
 86

характеристики МОГ будут завесить от применяемого в нем чувствительного

элемента. Поэтому важным аспектом разработки новых МОГ является разработка
и исследование перспективных типов чувствительных элементов, чему и будет
посвящена следующая глава.
 87

Глава 4 РАЗРАБОТКА И ИСЛЕДОВАНИЕ КОЛЬЦЕВОГО КОНФОКАЛЬНОГО

РЕЗОНАТОРА

4.1 Анализ кольцевого конфокального резонатора и его спектра.

В большинстве экспериментальных установок и прототипов МОГ

применяются планарные ПКР. Они состоят из замкнутого кольцом волновода,
играющего роль резонатора, и оптически связанного с ним вспомогательного
волновода, используемого для ввода и вывода излучения. При этом используются
только одномодовые волноводы, так как использование многомодовых
волноводов в этом случае невозможно из-за дисперсии мод [11]. По той же
причине нельзя использовать большинство открытых резонаторов. Тем не менее,
негативного влияния дисперсии мод можно избежать за счет вырождения спектра
резонатора (т.е. при совпадении частот мод резонатора). Такой прием
используется в хорошо известном линейном конфокальном резонаторе [74].
Классическая конфигурация конфокального резонатора схематично изображена
на рисунке 4.1.

Рисунок 4.1. Линейный конфокальный резонатор.

В первом приближении, линейный конфокальный резонатор может быть

получен с использованием пары одинаковых вогнутых сферических зеркал,
расположенных на одной оптической оси, при совмещении их фокальных точек
(F1 и F2). Так как фокус сферического зеркала радиусом R расположен на
 88

расстоянии R/2, то радиусы кривизны зеркал резонатора (R1 и R2) равны длине
резонатора L [74].

а)

б)

Рисунок 4.2. Спектр произвольного устойчивого резонатора (а) и линейного

конфокального резонатора (б).

Известно, что у произвольного устойчивого резонатора собственные

частоты различных мод не совпадают друг с другом, и его спектр имеет
гребенчатую структуру (см. рисунок 4.2а). Пусть отражающие поверхности
устойчивого линейного резонатора имеют одинаковый радиус кривизны, тогда
собственные частоты νqk его мод TEMqk определяются следующим выражением
[74]:

с  k 1  L
 q ,k  m  n  q  arccos1    , (4.1)
2L    R

где q – продольный индекс моды; k, m и n – поперечные индексы мод; c –скорость

света; R – радиус кривизны отражающих поверхностей. Если резонатор
конфокальный (R = L), то выражение 4.1 упрощается и частоты его мод равны:

c
 q,k  m n  2q  k  (4.2)
4L
 89

Из выражения (4.2) видно, что у линейного конфокального резонатора

частоты высших поперечных мод либо равны частоте одной из фундаментальных
поперечных мод либо располагаются посередине между ними [75]. Таким
образом, как показано на рисунке 4.2б, его спектр вырожден и имеет
эквидистантный характер. Благодаря этому линейный конфокальный резонатор
широко используется в измерительных интерферометрах и эталонах. В
конфокальном приборе не важно, является ли ось пучка идеально согласованной с
осью интерферометра, наклоненной или смещенной. Плоский фронт пучка может
быть плоским, сходиться или расходиться. Важно совпадает ли частота пучка с
величиной определенной выражением (4.2) или нет [75].

Если существует открытый кольцевой резонатор, обладающий теми же

свойствами, что и линейный конфокальный резонатор, то его можно использовать
в качестве чувствительного элемента пассивного оптического гироскопа. Ранее
исследований, касающихся кольцевого конфокального резонатора не
производилось и, как следствие, в литературе отсутствует анализ свойств такого
резонатора.
Рассмотрим макроразмерный кольцевой резонатор, содержащий p
перетяжек пучка. Пусть такой резонатор состоит из p одинаковых вогнутых
отражающих поверхностей и нескольких плоских. Так как резонатор
макроразмерный (расстояние между отражающими поверхностями составляет
десятки сантиметров), то при расчетах можно считать волновой фронт пучка
сферическим. Ограничимся рассмотрением плоских кольцевых резонаторов.
Спектр (собственные частоты) такого резонатора оценим с использованием
стандартных матричных методов. Кольцевой резонатор не является
осесимметричным, таким образом он должен характеризоваться двумя (ABCD)
матрицами М1 и М2, соответствующими лучам, распространяющимся в плоскости
резонатора и перпендикулярной резонатору плоскости [74, 76].

Рассматриваемый резонатор состоит из повторяющихся периодов, поэтому

достаточно ограничиться рассмотрением одного периода. Если использовать для
 90

расчета резонатора симметричный период, то можно получить следующее

выражение, описывающее его спектр [76]:

c p 1  A1  D1  p  1  A2  D2  1 
 nmq   q  n   arccos   m   arccos    ,
L 2  2  2  2  2  2  2 

Здесь c – скорость света; L – длина осевого контура резонатора; q – продольный

индекс моды; m и n – поперечные индексы мод; p – число перетяжек пучка за
один обход резонатора; A1,2 + D1,2 сумма элементов по главной диагонали
лучевых матриц периода резонатора M1,2 соответственно; ε – коэффициент,
равный единице только для нечетных по индексу n мод при нечетном количестве
отражающих поверхностей в резонаторе. В остальных случаях он равен нулю (для
всех оставшихся мод или при четном количестве отражающих поверхностей для
всех мод).

Из последнего выражения видно, что если резонатор будет содержать

четное число одинаковых отражающих поверхностей и A1,2 + D1,2 = 0, то
частотный интервал между соседними поперечными модами будет кратен
интервалу между соседними продольными модами. В этом случае вырожденный
спектр резонатора определятся следующим выражением:

c p 
 nmq   q  n  m  1 (4.3)
L 4 

Таким образом, получено выражение для спектра кольцевого

конфокального резонатора. Если сравнить его с выражением (4.2), определяющим
спектр линейного конфокального резонатора, то можно заметить, что спектр
кольцевого конфокального резонатора отличается зависимостью частотного
интервала между соседним поперечными модами от числа перетяжек пучка в
контуре резонатора p. Причем, если p=1, то расстояние между двумя любыми
соседними поперечными модами равно целому числу четвертей расстояний
между двумя соседними продольными фундаментальными модами и спектр
резонатора соответствует рис. 4.3а. При p=2, спектр аналогичен линейному
конфокальному резонатору (см. рисунок 4.3б) и спектральный интервал между
 91

соседними поперечными модами равен половине интервала между соседними

продольными фундаментальными модами. Также отдельно стоит рассмотреть
спектр кольцевого конфокального резонатора с p=4 (см. рисунок 4.3в). В этом
случае частота любой поперечной моды совпадает с частотой одной из
фундаментальных продольных мод. При этом спектр конфокального резонатора
эквивалентен спектру планарного ПКР, составленного из одномодовых
волноводов [77]. Из выражения (4.3), легко видеть, что при всех прочих (не
рассмотренных выше) значениях p, спектр кольцевого конфокального резонатора
будет повторять один из приведенных на рисунке 4.3 (например, при p=3 спектр
соответствует рисунку 4.3а).

а)

б)

в)

Рисунок 4.3. Частоты мод кольцевого конфокального резонатора при p=1 (а), p=2 (б) и p=4 (в).

Теперь вернемся к условию вырождения мод кольцевого резонатора A1,2 +

D1,2 = 0 и проанализируем для каких резонаторов оно выполняется. Для
наглядности рассмотрим это условие применительно к конкретному резонатору.
 92

Рисунок 4.4. Кольцевой четырехзеркальный резонатор.

Пусть имеется четырехзеркальный резонатор, отражающие поверхности

которого 1-4 расположены в вершинах квадрата с длиной стороны равной а (см.
рисунок 4.4). При этом пусть одно из зеркал (зеркало 2) имеет вогнутую форму а
остальные – плоские. Зеркала ориентированы таким образом, что их нормали
пересекаются в центре квадрата. Предположим сначала, что вогнутое зеркало
имеет сферическую форму с радиусом кривизны R1=R2=R (радиусы кривизны во
всех меридиональных сечениях одинаковы). Лучевые матрицы отдельных
элементов такого резонатора хорошо известны [74]. Перемножив матрицы
отдельных элементов рассмотренного резонатора, можно получить лучевые
матрицы симметричного периода резонатора в двух главных меридиональных
сечениях:

 4a 8a 2 
A B1  1  R cos( ) 4a  
R cos( )  ,
M1   1  (4.4)
C1 D1   2a 4a 

 R cos( ) 1
 R cos( ) 
 93

 4a cos( ) 8a 2 cos( ) 
A B2  1  4a  
M2   2   R R , (4.5)
C2 D2   2a cos( ) 4a cos( ) 
 1
 R R 

где М1 и М2 – лучевые матрицы резонатора для плоскости, в которой лежит

контур резонатора, и для плоскости перпендикулярной резонатору,
соответственно; A1,2, B1,2, C1,2 и D1,2 – элементы лучевых матриц; γ – угол падения
осевого луча на вогнутое зеркало. Используя выражения (4.4) и (4.5), можно
вычислить сумму элементов главной диагонали лучевых матриц резонатора:

 8a
 A1  D1  2 
R cos 
 (4.6)
 A2  D2  2  8a cos 
 R

Исходя из выражения (4.6), можно сделать вывод, что для вырождения мод
рассматриваемого резонатора, необходимо, чтобы одновременно выполнялись
следующие два условия:

 4a
 R
 cos  (4.7)

 R  4a cos 

Очевидно, что при использовании сферического зеркала условия (4.7)

невыполнимы. Однако, если заменить сферическое зеркало 2 торообразным
зеркалом с радиусами кривизны в плоскости резонатора и в перпендикулярной
резонатору плоскости равными, соответственно, R1=4a/cos(γ) и R2=4a·cos(γ) (см.
рисунок 4.5), то условия (4.7) будут выполнятся. При этом спектр резонатора,
изображенного на рисунке 4.4, вырожден, соответствует выражению (4.3) и
спектру на рисунке 4.3а.
 94

R1
R2

Рисунок 4.5. Торообразное зеркало 2.

Стоит отметить, что побочные фокусные расстояния вогнутого зеркала f1 и

f2 (побочная оптическая ось зеркала соответствует оптической оси резонатора),
соответствующие плоскости рассмотренного резонатора и ортогональной ей
плоскости определяются выражениями:

 R1 cos 
 f1  2
 R2
(4.8)
 f2 
 2 cos 

Подставив в выражения (4.8) радиусы кривизны торообразного зеркала, можно

получить: f1 = f2 = 2a. Таким образом, перетяжка пучка рассмотренного
резонатора лежит посередине резонаторного контура на зеркале 4. При взаимно
противоположных направлениях обхода резонатора, свет будет фокусироваться в
одной и той же точке. Фокусы оптической системы совпадают. Рассмотренный
резонатор соответствует названию "конфокальный" не только с точки зрения
свойств, но и с точки зрения этимологии.

Аналогично приведенному выше примеру, можно рассчитать конфокальные

резонаторы соответствующие и другим спектрам рисунка 4.3. Например, рисунок
4.3б соответствует конфокальному четырехзеркальному резонатору квадратной
 95

формы, содержащий плоские и одинаковые вогнутые торообразные зеркала (с

R1=2a/cos(γ) и R2=2a·cos(γ)), чередующиеся между собой. Его фокальные
расстояния f1 = f2 = a [78]. Таким образом, в первом приближении (если считать
фронт пучка сферическим), можно получить кольцевой конфокальный резонатор,
используя плоские и вогнутые торообразные отражающие поверхности с
определенными (обеспечивающими вырождение спектра) радиусами кривизны.
При этом количество используемых торообразных поверхностей будет
определять число перетяжек пучка в резонаторе и, как следствие, коэффициент
кратности расстояния между соседними поперечными модами к расстоянию
между соседними фундаментальными продольными модами [77].

4.2 Кольцевой конфокальный резонатор как чувствительный элемент

микрооптического гироскопа

Как отмечалось в Главе 1, в качестве чувствительных элементов МОГ

обычно используются резонаторы с диаметром от нескольких сантиметров до
нескольких миллиметров. При расчете миниатюрных конфокальных кольцевых
резонаторов нельзя использовать приближение из пункта 4.2 (считать фронт
пучка сферическим). Однако такие резонаторы можно описывать, используя
параболическое приближение (считать фронт пучка на вогнутых зеркалах
параболическим) [79]. Моды кольцевого плоского резонатора достаточно точно
описываются с помощью астигматичного Эрмит-Гауссова пучка (76):

Enm ( x, y, z)  A( x, y, z)  exp jx, y, z  

  z  z kx 2 z  z 2 ky 2  z  z1 
  1
 A( x, y, z )  exp j  1
   n  arctg   
  2  [z  z1   b1 ] 2  [ z  z 2   b2 ]
  2 2 2 2  2   1 
b

 1  z  z2  
  m  arctg    kz  0   ,
 2  b2  
 96

где n и m целые значения – поперечные индексы мод, A(x, y, z) – амплитуда

Гауссова пучка, φ(x, y, z) – фаза Гауссова пучка; z – координата по оптической оси
резонатора; x и y – поперечные координаты резонатора; z1,2 – расстояния от
начала координат до перетяжек в плоскостях xoz и yoz соответственно; b1,2 –
параметры конфокальности Гауссова пучка в тех же плоскостях; k – волновое
число и φ0 – начальная фаза Гауссова пучка.

Вырождение спектра резонатора требует, чтобы моды с одинаковой суммой

поперечных индексов имели одинаковую фазу, а значит: z1 = z2 = z0 и b1 = b2 = b.
Т.е. необходимо чтобы пучок не был астигматичным. Тогда выражение последнее
выражение можно переписать в виде:


   z  z0 kr2
Enm ( x, y, z )  A( x, y, z )  exp  j  
  2[ z  z0   b ]
2 2


 z  z0  
 n  m  1arctg    kz  0   , (4.9)
 b  

где r2 = x2 + y2. При расчете резонатора можно использовать свойства симметрии.

Пусть кольцевой резонатор состоит из p одинаковых сегментов с длиной l.
Однократный обход его пучком, описанным выражением (4.9), вызовет набег
фазы равный:

 
 
plkr 2  lb 
 pn  m  1arctg    kpl  '  2q, (4.10)
 l  2   
l
2
2
2   b 2  2  b 
 2     

где φ' – набег фазы за счет прохождения таких элементов, как вогнутые зеркала,
линзы и т.д., q – продольный целочисленный индекс моды. Используя выражение
(4.10) можно получить спектр миниатюрного кольцевого резонатора:
 97

   
   
c  p  lb  plkr 2
' 
 nmq  q  n  m  1arctg     ,
L 2  l 
2
2
l
2  2  
  2   b  4   b 
2
 
     2  
   

где L=p·l – длина всего осевого контура резонатора. Из последнего выражения

видно, что частотный интервал между соседними фундаментальными
продольными модами равен целому числу интервалов между соседними
поперечными модами при b=l/2. Т.е. перетяжки пучка должны располагаться на
контуре резонатора ровно посередине между соседними вогнутыми
отражающими поверхностями. При этом собственные частоты резонатора будут
определяться следующим образом:

c p pkr 2 ' 
 nmq  q  n  m  1   . (4.11)
L  4 2l 2 

Чтобы полученный спектр соответствовал спектру кольцевого конфокального

резонатора (выражению (4.3)) во всем сечении пучка, необходимо, чтобы
четвертый член выражения (4.11) компенсировал третий. Для этого необходимо
использовать в резонаторе фазовые компенсаторы (отражающие поверхности) с
параболическими сечениями.

Рассмотрим подробнее какой формы должны быть вогнутые поверхности

миниатюрного конфокального кольцевого резонатора. В качестве примера
возьмем резонатор аналогичный рассмотренному в пункте 4.2, а именно,
четырехзеркальный резонатор, отражающие поверхности 1-4 которого
расположены в вершинах квадрата с длиной стороны равной а (см. рисунок 4.4).
При этом пусть одно из зеркал (зеркало 2) имеет вогнутую параболическую
форму а остальные - плоские. Зеркала ориентированы таким образом, что их
нормали пересекаются в центре квадрата. Такой резонатор состоит из одного
сегмента (p=1) с длиной l=4а.
 98

Побочные фокусные расстояния параболического зеркала (побочная

оптическая ось зеркала соответствует оптической оси резонатора) в двух главных
меридиональных сечениях резонатора, равны:

 f1  F cos 

 f  F , (4.12)


2
cos 

где ϑ – угол падения осевого луча на параболическое зеркало; F – геометрический

фокус параболического зеркала. Известно, что при параболическом приближении,
волновой фронт Гауссова пучка описывается выражением:

r2
z  z0  , (4.13)
 b 2 

2 z0 
 z 0 


где z0 – значение z, при котором r = 0, т.е. в точке (0, z0) волновой фронт
пересекает оптическую ось резонатора. Пусть начало координаты z совпадает с
положением перетяжки пучка. Выше было показано, что для вырождения частот
поперечных мод необходимо, чтобы b=l/2. Тогда при z0 = l/2 = 2a свет достигает
параболического зеркала. Ясно, что для того чтобы перетяжки пучков обходящих
резонатор по взаимно противоположным направлениям располагались в одной и
той же точке (чтобы кольцевой резонатор был конфокальным), требуется чтобы
волновой фронт пучка совпадал с поверхностью вогнутого зеркала. Используя
выражения (4.12) и (4.13) можно получить:

 r2 r2
 z0   z0 
  2 4 f1  l
 z0  b  F 
 2
 z 0   2 cos 
  
 2 2
 . (4.14)
z  r
 z0 
r  l cos 
 0  F
 b 
2 4 f2  2
 2 z 0 
  z 0 
 
 99

Условия (4.14) не могут быть выполнены для осесимметричного

параболического зеркала, но могут быть выполнены для зеркала 2 с различными
значениями геометрических фокусов в двух главных меридиональных сечениях
равными: F1=l/[2cos(ϑ)]=2a/[cos(ϑ)] в плоскости контура резонатора и
F2=[l·cos(ϑ)]/2=2a·cos(ϑ) в ортогональной плоскости. Другими словами, в качестве
зеркала 2 должно использоваться астигматическое параболическое зеркало (см.
рисунок 4.6). Требуемая для вырождения спектра величина астигматизма
определяется углом падения осевого луча на параболическое зеркало ϑ.

2
F1 F2

Рисунок 4.6. Астигматическое параболическое зеркало 2.

Подставив набег фазы вносимый вогнутым зеркалом 2 в выражение (4.11),

можно получить спектр рассматриваемого резонатора:

c  1 kr 2 kr 2 
 nmq  q  n  m  1   . (4.15)
4a  4 8a 4f 

Из выражения (4.12) видно, что при указанных выше значениях геометрических

фокусов зеркала 2, побочные фокусные расстояния параболического зеркала в
 100

двух главных меридиональных сечениях резонатора, равны f1 = f2 = f = l/2 = 2a.

При этом третий и четвертый члены выражения (4.15) взаимно компенсируются:

c  1 
 nmq   q  n  m  1 .
4a  4 

Аналогично, рассмотренному выше резонатору, можно рассчитать

миниатюрные конфокальные резонаторы соответствующие и другим спектрам
рисунка 4.3. Например, спектру на рисунке 4.3б соответствует
четырехзеркальный кольцевой резонатор квадратной формы, содержащий два
плоских и два одинаковых вогнутых параболических астигматических зеркала на
противоположных вершинах квадрата с F1=l/[2cos(ϑ)]=a/cos(ϑ) и
F2=[l·cos(ϑ)]/2=a·cos(ϑ). В этом случае f = f1 = f2 = a [78]. Таким образом, можно
получить миниатюрный (расстояние между отражающими поверхностями от
нескольких сантиметров до нескольких миллиметров) кольцевой конфокальный
резонатор, используя плоские и вогнутые параболические астигматические
отражающие поверхности.

При практической реализации МОГ на кольцевом конфокальном

резонаторе, резонатор может быть выполнен на различной элементной базе. В
качестве его отражающих поверхностей могут быть использованы либо зеркала,
либо призмы полного внутреннего отражения. Оба варианта исполнения
отражающих поверхностей позволяют изготовлять кольцевые резонаторы с
уровнем суммарных потерь энергии (складываются из потерь, возникающих при
отражении, и из потерь, возникающих при прохождении через среду
находящуюся внутри резонатора) за один обход резонатора ниже 0,005 % [80]. В
первом случае используются зеркала. Они закрепляются на жестком каркасе из
термастабильного материала (сителл, церодур, инвар и т.д.). Все зеркала кроме
одного, используемого для ввода и вывода излучения, глухие. Свет между
зеркалами распространяется либо в вакууме, либо в газообразной среде. Это
позволяет практически избавиться от нелинейности среды, ее температурных
флуктуаций и других внутрирезонаторных эффектов. Тем не менее, при
 101

применении кольцевого конфокального резонатора в качестве чувствительного

элемента МОГ, предпочтительным является призменный вариант. В этом случае
на отражающих элементах резонатора не используются специальные
(отражающие и просветляющие) покрытия. Поэтому в призменном варианте
кольцевой конфокальный резонатор отличается большей стабильностью
эксплуатационных параметров и большей надежностью. Кроме того, призмы
полного внутреннего отражения, как правило, изготавливаются из материалов
устойчивых к электромагнитным и радиационным воздействиям. Также к
достоинствам призменной конструкции кольцевого резонатора можно отнести
низкую чувствительность к акустическим и механическим воздействиям (при
использование зеркал это обеспечить сложно). Таким образом, использование
призм полного внутреннего отражения вместо зеркал позволяет получить
подходящий для серийного и массового производства резонатор. Стоит отметить,
что призменный вариант исполнения имеет один серьезный недостаток. Как
правило, в кольцевых призменных резонаторах используется три или четыре
призмы полного внутреннего отражения. При прохождении луча сквозь каждую
преломляющую грань призмы, на границе раздела сред наблюдаются
значительные потери излучения (не весь свет проходит в призму, часть
рассеивается на грани, часть отражается обратно). Поэтому, для снижения потерь,
геометрию призменных резонаторов обычно выбирают такой, чтобы угол падения
на преломляющие грани призм был равен углу Брюстера. Это ограничение в
выборе геометрии резонатора совместно с условиями конфокальности кольцевого
резонатора на порядок усложняет расчет его конструкции и делает резонатор
более чувствительным к переюстировкам, возникающим при изменении
температуры и других внешних условий. Нивелировать данный недостаток
призменного варианта исполнения позволит применение полностью моноблочной
конструкции. При применении кольцевого конфокального резонатора в качестве
чувствительного элемента микрооптического гироскопа, можно изготавливать
резонатор из одной призмы. Роль отражающих поверхностей будут играть
различные грани одной и той же отражательной призмы. Ввод и вывод излучения
 102

из моноблока можно осуществлять за счет нарушения полного внутреннего

отражения от одной из плоских граней призмы. Стоит отметить, что все
выражения, полученные выше, были выведены для зеркальных резонаторов.
Однако, при замене в них длины осевого контура резонатора его оптической
длиной, они справедливы и для призменной конфигурации.

4.3 Сравнение волноводного и конфокального пассивных кольцевых резонаторов

Сравним кольцевой конфокальный резонатор с волноводным ПКР. Чтобы

сэкономить затраты времени и средств необходимых для изготовления образца
кольцевого конфокального резонатора и волноводного ПКР, как альтернатива
натурным испытаниям, было произведено компьютерное моделирование этих
резонаторов в программной среде Matlab. В основе компьютерных моделей лежат
выражения (2.4)-(2.6), (2.11) и (4.3). Моделирование производилось при длинах
волн около λ = 1550 нм. Источники излучения с такой длиной волны чаще всего
используются в МОГ (см. Главу 1).

Кольцевой конфокальный резонатор моделировался в призменном варианте.

В качестве материала призмы было выбрано кварцевое инфракрасное стекло
(КИ). Коэффициент преломления КИ на длине волны λ = 1550 нм составляет n =
1,44. Длина осевого контура резонатора была выбрана равной L = 3,14 см.
Моделировался моноблочный вариант исполнения кольцевого конфокального
резонатора с четырьмя отражающими поверхностями, три из которых - плоские, а
одна - вогнутая параболическая астигматическая поверхность. При
моделировании энергетический коэффициент пропускания грани призмы с
нарушенным полным внутреннем отражением (грани, через которую
осуществляется ввод и вывод излучения) был выбран равным 5×10-5. Уровень
суммарных потерь интенсивности излучения за один обход резонатора 0,005 %.
Все указанные значения параметров резонатора могут быть достигнуты на
современном уровне развития техники [80].
 103

Также для сравнения волноводного и конфокального ПКР использовалась

модель волноводного резонатора. Моделировался одномодовый волноводный
ПКР с периметром равным длине осевого контура конфокального резонатора L =
3,14 см (т.е. с радиусом R ≈ 5 мм). В качестве материала резонатора был выбран
кремний, обеспечивающий, при указанных размерах волноводного резонатора,
наименьшие потери [см. главу 1]. Коэффициент преломления волновода из
кремния на длине волны λ = 1550 нм составляет n = 3,48. При моделировании
планарного резонатора использовались следующие параметры: коэффициент
связи вспомогательного волновода с кольцевым 0,01, уровень суммарных потерь
интенсивности излучения за один обход резонатора 1%. Эти параметры
соответствуют лучшим образцам одномодовых планарных кольцевых
резонаторов. Стоит отметить, что высокие, по сравнению с открытым кольцевым
резонатором, потери компактного (диаметр несколько сантиметров и менее)
планарного резонатора объясняются резким ростом излучательных потерь при
снижении размера резонатора. Это происходит из-за роста кривизны кольцевого
волновода и нарушения эффекта полного внутреннего отражения от его стенок.
Снижение коэффициента связи между волноводами высокодобротного
кольцевого резонатора ниже одного процента, при современном уровне развития
интегральной оптики, также затруднено. Для визуализации результатов
моделирования резонаторов ниже приведены их спектры.
 104

Рисунок 4.7. Спектр кольцевого конфокального резонатора – линия 1 и планарного

одномодового резонатора – линия 2.

Сравним приведенные на рисунке 4.7 спектры эквивалентных по размеру

конфокального и одномодового волноводного кольцевых резонаторов. Как видно
из рисунка 4.7, интервал между частотами мод конфокального резонатора в
четыре раза меньше, чем у соответствующего ему одномодового волноводного
резонатора. Это объясняется тем, что расстояние между любыми двумя
соседними поперечными модами конфокального кольцевого резонатора с одним
вогнутым зеркалом равно целому числу четвертей расстояний между двумя
соседними продольными фундаментальными модами. Увеличить расстояние
между частотами мод кольцевого конфокального резонатора можно используя в
его конструкции большее число вогнутых параболических астигматических
отражающих поверхностей. Стоит отметить, что с практической точки зрения
наибольший интерес представляют кольцевые конфокальные резонаторы с одной
вогнутой параболической астигматической отражающей поверхностью, так как
изготовление каждой такой поверхности является не простой технологической
задачей. Так же анализируя графики на рисунка 4.7 можно заметить, что провалы
 105

в спектре кольцевого конфокального резонатора уже, чем у волноводного

одномодового резонатора. Для большей наглядности ниже приведен увеличенный
участок спектральной характеристики резонаторов (см. рисунок 4.8).

Рисунок 4.8. Увеличенный участок спектра кольцевого конфокального резонатора – линия 1 и

планарного одномодового резонатора – линия 2.

Как видно из рисунка 4.8, спектральная линия кольцевого конфокального

резонатора на несколько порядков уже соответствующего ему одномодового
волноводного резонатора. Соответственно, выше и максимальная крутизна
коэффициента передачи. В результате моделирования было получено, что
максимальная крутизна для кольцевого конфокального резонатора на три порядка
превосходит максимальную крутизну для эквивалентного ему по размеру
кольцевого одномодового волноводного резонатора. Как отмечалось в Главе 2
(выражение (2.21)), потенциальная точность МОГ на ПКР пропорциональна
максимальной крутизне коэффициента передачи оптической системы (чем выше
крутизна, тем больше потенциальная точность). Таким образом, использование
кольцевого конфокального резонатора вместо волноводного позволяет увеличить
потенциальную точность МОГ. Также стоит отметить, что добротность лучших
 106

кольцевых одномодовых волноводных резонаторов ограничена, на сегодняшний

день, значениями 106-107. Исходя из результатов моделирования, добротность
кольцевых конфокальных резонаторов может достигать 109-1010. Резонаторы с
такой добротностью принято называть сверх высокодобротными. Таким образом,
разработанные кольцевые конфокальные резонаторы могут явиться
альтернативой популярным в настоящее время резонаторам мод шепчущей
галереи. Стоит отметить, что недостатком кольцевого конфокального резонатора
является относительно сложная технология изготовления его параболической
астигматической отражающей поверхности. Получить такую форму поверхности
можно, например, с помощью технологии алмазного точения.

4.4 Выводы по главе 4.

Проанализирована возможность применения открытых кольцевых

резонаторов в МОГ. Показано, что негативного влияния дисперсии мод, которое
обычно не позволяет использовать открытые резонаторы в качестве
чувствительных элементов МОГ, можно избежать за счет вырождения спектра
резонатора (т.е. при совпадении частот мод резонатора). Указанным свойством
обладает конфокальный резонатор.

Продемонстрировано что у кольцевых резонаторов, также как и у

линейных, возможны конфокальные конфигурации. Проанализированы свойства
кольцевых конфокальных резонаторов и выведено выражение, описывающее их
спектр. Существенным отличием спектра кольцевого конфокального резонатора
от линейного является зависимость частотного интервала между соседним
поперечными модами от числа перетяжек пучка в контуре резонатора. Показано,
что в первом приближении можно получить кольцевой конфокальный резонатор,
используя четное число отражающих поверхностей: плоские и вогнутые
торообразные (хотя бы одна) с определенными (обеспечивающими вырождение
спектра) радиусами кривизны. При этом количество используемых торообразных
поверхностей будет определять число перетяжек пучка в резонаторе и, как
 107

следствие, коэффициент кратности расстояния между соседними поперечными

модами к расстоянию между соседними фундаментальными продольными
модами.

Рассмотрен миниатюрный кольцевой конфокальный резонатор (расстояние

между отражающими поверхностями от нескольких сантиметров до нескольких
миллиметров) и условия его конфокальности. Продемонстрировано, что
миниатюрный кольцевой конфокальный резонатор можно получить, используя
плоские и вогнутые параболические астигматические отражающие поверхности.
Требуемая величина астигматизма определяется углом падения осевого луча на
параболические зеркала. При практической реализации МОГ на кольцевом
конфокальном резонаторе, резонатор может быть выполнен на различной
элементной базе. В качестве его отражающих поверхностей могут быть
использованы либо зеркала, либо призмы полного внутреннего отражения.
Показано, что при применении кольцевого конфокального резонатора в качестве
чувствительного элемента МОГ, предпочтительней призменный моноблочный
вариант исполнения.

Произведено сравнение миниатюрного кольцевого конфокального

резонатора с эквивалентным ему по размеру волноводным ПКР. При малых
размерах резонатора (диаметр несколько сантиметров и менее), планарный
кольцевой резонатор характеризуется относительно большими потерями. При
уменьшении его диаметра растет кривизна кольцевого волновода, нарушается
условие полного внутреннего отражения в резонаторе и излучательные потери
растут экспоненциально. Потери кольцевого конфокального резонатора при
уменьшении его размера не увеличиваются. При диаметре резонатора в несколько
сантиметров, его потери ниже на 2-5 порядка (в зависимости от качества
исполнения отражающих поверхностей). Компьютерное моделирование
миниатюрного кольцевого конфокального резонатора с эквивалентным ему по
размеру волноводным ПКР показало, что максимальная крутизна коэффициента
передачи кольцевого резонатора на три порядка превосходит максимальную
 108

крутизну коэффициента передачи волноводного резонатора. Как отмечалось в

Главе 2, потенциальная точность МОГ на ПКР пропорциональна максимальной
крутизне коэффициента передачи оптической системы. Таким образом, показано,
что использование кольцевого конфокального резонатора вместо волноводного
позволяет увеличить потенциальную точность МОГ.
 109

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Проанализированы принципы работы пассивных МОГ. В основе работы

всех типов МОГ лежит эффект Саньяка. Все разработанные на сегодняшний день
пассивные МОГ можно разделить по схеме подключения чувствительного
элемента на два типа: резонаторные и интерференционные МОГ. При этом
резонаторная схема более перспективна. Угловая скорость в резонаторном МОГ
определяется по разности собственных частот ПКР для взаимно
противоположных направлений его обхода. Во всех известных на сегодняшний
день резонаторных МОГ собственные частоты ПКР измеряются по его
амплитудной характеристике. При этом возможность использования фазовой
характеристики для измерения собственных частот ПКР не рассматривалась.

Рассмотрены различные типы чувствительных элементов применяемых в

пассивных МОГ и проанализированы их достоинства и недостатки. Обычно при
разработке МОГ в качестве чувствительного элемента применяются одномодовые
волноводные планарные однокольцевые резонаторы. Они относительно просты в
изготовлении, обладают достаточной для МОГ добротностью, надежны и процесс
их изготовления хорошо отработан. При этом используются только одномодовые
волноводы.

Исследованы характеристики чувствительного элемента МОГ – ПКР.

Показано, что при снижении уровня потереть, глубина провалов амплитудной
характеристики ПКР будет снижаться и, при отсутствии или полной компенсации
потерь, амплитудная характеристика станет постоянной во всем рабочем
спектральном диапазоне. В этом случае обычный резонаторный МОГ
(определяющий собственные частоты ПКР по провалам амплитудной
характеристики ПКР) не может измерять угловую скорость. Также
продемонстрировано, что фазовая характеристика имеет отличительные
особенности около собственных частот резонатора. Разработан новый способ
измерения угловой скорости (новый тип резонаторного МОГ), который
 110

предполагает совместное использованием фазовой и амплитудной характеристик

ПКР. На примере схемы МОГ реализующей этот способ показано, что
применение методов измерения фазовой характеристики для измерения угловой
скорости пассивного кольцевого резонатора снимает ограничения связанные с
зависимостью величины выходного сигнала от величины потерь в резонаторе.
Получено выражение для потенциальной точности подходящее для всех типов
резонаторных МОГ. Показано, что совместное использование амплитудной и
фазовой характеристик ПКР позволяет повысить потенциальную точность МОГ.

Проанализированы энергетический коэффициент передачи оптической

схемы разработанного МОГ и его крутизна при различной разности оптических
длин путей опорных сигналов и сигналов измерительной информации. Показано,
что оптимальная, с точки зрения потенциальной точности МОГ, разность
оптических длин путей между сигналами измерительной информации и
опорными сигналами лежит в интервалах [λm·N; λm·(N+1/4)] и [λm·(N+3/4);
λm·(N+1)] (конкретное значение определяется потерями ПКР). Определена
допустимая разность оптических длин путей опорных сигналов и сигналов
измерительной информации для волноводных структур, выполненных из
различных материалов используемых в оптических схемах МОГ. В зависимости
от используемого материала волноводов она ограничена величиной от 1,27·λm
(для кремниевых волноводов) до 38,52·λm (для волноводов из ниобата лития).

Получено выражение масштабного коэффициента МОГ использующего

амплитудную и фазовую характеристику ПКР. Оценена степень влияния внешних
воздействий, а именно, воздействия центробежной силы и изменения
температуры, на ПКР из различных материалов. Результаты моделирования
показали, что влияние центробежных сил на параметры ПКР пренебрежимо мало
(по сравнению с температурным воздействием). Было продемонстрировано, что
относительное изменение радиуса резонатора, вызванное влиянием температуры
на ПКР из рассмотренных материалов, варьируется от 1,2·10-6 до 1,5·10-3
(минимальное для кварца, а максимальное для оптического полимера). Показано,
 111

что нестабильность масштабного коэффициента МОГ, вызванная изменением

радиуса ПКР, практически для всех рассмотренных материалов (для всех кроме
оптического полимера) не превышает допустимой для МОГ величины.

Разработана методика оценки значений параметров МОГ, использующего

амплитудную и фазовую характеристики ПКР, требуемые для достижения
заданной потенциальной точности. Оценены величины параметров МОГ,
требуемые для обеспечения потенциальной точности 1 °/ч. Их значения
составили: коэффициент связи вспомогательного волновода с резонатором 0,003-
0,136; потери энергии излучения за один обход резонатора 0,15-3,65 %; вводимая
интенсивность излучения (интенсивность излучения источника света) 0,01-5 мВт,
радиус резонатора 3-10 мм.

Проанализирована возможность применения открытых кольцевых

резонаторов в МОГ. Показано, что негативного влияния дисперсии мод, которое
обычно не позволяет использовать открытые резонаторы в качестве
чувствительных элементов МОГ, можно избежать за счет вырождения спектра
резонатора. Указанным свойством обладает линейный конфокальный резонатор.
Продемонстрировано что у кольцевых резонаторов также возможны
конфокальные конфигурации. Проанализированы свойства кольцевых
конфокальных резонаторов и выведено выражение, описывающее их спектр.
Существенным отличием спектра кольцевого конфокального резонатора от
линейного является зависимость частотного интервала между соседним
поперечными модами от числа перетяжек пучка в контуре резонатора. Разработан
миниатюрный кольцевой конфокальный резонатор (расстояние между
отражающими поверхностями от нескольких сантиметров до нескольких
миллиметров) и выведены условия его конфокальности. Продемонстрировано,
что миниатюрный кольцевой конфокальный резонатор можно получить,
используя плоские и вогнутые параболические астигматические отражающие
поверхности. Требуемая величина астигматизма определяется углом падения
осевого луча на параболические зеркала. Показано, что при применении
 112

кольцевого конфокального резонатора в качестве чувствительного элемента МОГ,

предпочтительней призменный моноблочный вариант исполнения.
Продемонстрировано, что использование кольцевого конфокального резонатора
вместо волноводного позволяет повысить потенциальную точность МОГ.
 113

Обозначения и сокращения

ВОГ – волоконно-оптический гироскоп

ЛГ – лазерный гироскоп

МОГ – микрооптический гироскоп

МШГ – мода шепчущей галереи

ПКР – пассивный кольцевой резонатор

ПЧС – против часовой стрелки

ЧС – по часовой стрелки
 114

Список литературы

1. Боронахин, А.М. Оптические и микромеханические инерциальные приборы

/ А.М. Боронахин, Д.П. Лукьянов, Ю.Ф. Филатов. – СПб.: Элмор, 2008. –
400 с.
2. Filatov, Y.V. Microoptical gyros on the base of passive ring cavities / Y.V.
Filatov, E.V. Shalymov, V.Yu. Venediktov // Proc. of SPIE. – 2015. – № 9649. –
P. 96490Q.
3. Венедиктов, В.Ю. Микрооптические гироскопы на основе пассивных
кольцевых резонаторов / В.Ю. Венедиктовa, Ю.В. Филатов, Е.В. Шалымов
// Квант. электрон. – 2016. – № 5. – С. 437-446.
4. Filatov, Y.V. On the possibility of phase measurements in microoptical gyro / .V.
Filatov, E.V. Shalymov, V.Yu. Venediktov // Proc. of SPIE. – 2014. – № 9141, –
P. 91411B.
5. J.-R. Chevalier. Method for measuring angular rotation and sampling optical
gyroscope for carrying out this method / European Patent № 0744594. 1996.
6. L.K. Strandjord, M.K. Salit. Systems and methods for sideband heterodyning
detection / European Patent № 2813815. 2014.
7. Feng, L. Transmissive resonator optic gyro based on silica waveguide ring
resonator / L. Feng, J. Wang, Y. Zhi et al. // Optics Express. – 2014. – Vol. 22, №
22. – P. 27565-27575.
8. Троицкий, Ю.В. Оценка предельной чувствительности многолучевых
интерферометров для измерения перемещений / Ю.В. Троицкий // Квант.
электрон. – 1998. – № 1. – С. 89-92.
9. Ciminelli, C. A new integrated optical angular velocity sensor / C. Ciminelli, F.
Peluso, M.N. Armenise // Proc. of SPIE. – 2005. – № 5728, – P. 93–100.
10. Hsiao, H.-K. Planar glass waveguide ring resonators with gain / H.-K. Hsiao,
K.A. Winick // Optics Express. – 2007. – Vol. 15, № 1. – P. 17783-17797.
11. Филатов, Ю.В. Волоконно-оптический гироскоп: Учеб. пособие. / Ю.В.
Филатов. – СПб.: СП6ТЭТУ «ЛЭТИ», 2003. – 52 с.
 115

12. Srinivasan, S. Design of integrated hybrid silicon waveguide optical gyroscope /

S. Srinivasan, R. Moreira, D. Blumenthal et al. // Optics Express. – 2014. – Vol.
22, № 21. – P. 24988-24993.
13. Zhang, Y.S. Investigation of system configuration for micro optic gyros / Y.S.
Zhang, H.G. Ding // Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер.
«Приборостроение». – 2005. – №4. – С. 109-117.
14. R. Carroll. Resonant interferometer fiber optic gyroscope / United States Patent
№ 5420684. 1995.
15. Wei, W. Research on integrated optical gyroscope / W. Wei, X. Junlei, X. Yuxin
// Proc. of IEEE 2nd International Symposium on System and Control in
Aerospace and Astronautics (ISAACAA) . – 2008. – № 10478339, – P. 1–8.
16. Adar, Less than 1 dB per meter propagation loss of silica waveguides measured
using a ring resonator / R.R. Adar, M.R. Serbin, V. Mizrahi // J. Lightwave
Technol. – 1994. – Vol. 12, № 8. – P. 1369-1372.
17. Yu, H. SiO2 Waveguide resonator used in an integrated optical gyroscope / H.
Yu, C. Zhang, L. Feng, et al. // Chin. Phys. Lett. – 2009. – Vol. 26, № 5. – P.
054210.
18. Tien, M.-C. Ultra-high quality factor planar Si3N4 ring resonators on Si
substrates / M.-C. Tien, J.F. Bauters, M.J.R. Heck et al. // Optics Express. – 2011.
– Vol. 19, № 14. – P. 13551-13556.
19. Spencer, D.T. Integrated Si3N4/SiO2 ultra high Q ring resonators / D.T. Spencer,
Y. Tang, J. F. Bauters et al. // Proc. to the IEEE Photonics Conference (ICP). –
2012. – № 13149871, – P. 141–142.
20. Bauters, J.F. Planar waveguides with less than 0.1 dB/m propagation loss
fabricated with wafer bonding / J.F. Bauters, M.J.R. Heck, D.D. John et al. //
Optics Express. – 2011. – Vol. 19, № 24. – P. 24090-24101.
21. Biberman, A. Ultralow-loss silicon ring resonators / A. Biberman, M.J. Shaw, E.
Timurdogan et al. // Optic Lett. – 2012. – Vol. 37, № 20. – P. 4236-4238.
22. Vannahme, C. Integrated optical Ti:LiNbO3 ring resonator for rotation rate
sensing [Электронный ресурс] / C. Vannahme, H. Suche, S. Reza et al. // Proc.
 116

to the 13th European Conference on Integrated Optics . – 2007. – Режим

доступа: http://www.ecio-conference.org/wp-
content/uploads/2016/05/2007/2007_WE1.pdf, свободный.
23. Tolstikhin, V.I. 44-channel optical power monitor based on an echelle grating
demultiplexer and a waveguide photodetector array monolithically integrated on
an InP substrate / V. I. Tolstikhin, A. Densmore, Y. Logvin et al. // Proc. of the
Opt. Fibre Comm. Conf. - incudes post deadline papers. – 2003. – № 8037331, –
P. PD37.
24. Nicholes, S. The World’s First InP 8x8 Monolithic Tunable Optical Router
(MOTOR) Operating at 40 Gbps Line Rate per Port / S. Nicholes, M.L.
Mašanovic, B. Jevremovic et al. // Proc. of the Opt. Fibre Comm. - incudes post
deadline papers. Conf. – 2009. – № 10689872, – P. PDPB1.
25. Soares, F.M. Monolithic InP 100-Channel × 10-GHz Device for Optical Arbitrary
Waveform Generation / F.M. Soares, N.K. Fontaine, R.P. Scott et al. // IEEE
Photon. J. – 2011. – Vol. 3, № 6. – P. 975-985.
26. Ciminelli, C. High performance InP ring resonator for new generation
monolithically integrated optical gyroscopes / C. Ciminelli, F. Dell'Olio, M.N.
Armenise et al. // Optics Express. – 2013. – Vol. 21, № 1. – P. 556-564.
27. Eldada, L. Advances in polymer integrated optics / L. Eldada, L.W. Shacklette //
IEEE Journal on Selected Topics in Quantum Electronics. – 2000. – Vol. 6, № 1.
– P. 54-68.
28. Chen, J.-G. Low-loss planar optical waveguides fabricated from polycarbonate /
J.-G. Chen, T. Zhang, J.-S. Zhu et al. // Polymer Engineering and Science. –
2009. – Vol. 49, № 10. – P. 2015-2019.
29. Qian, G. Low-Loss Polymer-Based Ring Resonator for Resonant Integrated
Optical Gyroscopes / G. Qian, J. Tang, X.Y. Zhang et al. // Journal of
Nanomaterials. – 2014. – № 146510. – P. 1-6.
30. Terrel, M.A. Performance limitations of a coupled resonant optical waveguide
gyroscope / M.A. Terrel, M.J.F. Digonnet, S. Fan // J. Lightwave Technol. –
2009. – Vol. 27, № 1. – P. 47-54.
 117

31. Terrel, M.A. Performance comparison of slow-light coupled-resonator optical

gyroscopes / M.A. Terrel, M.J.F. Digonnet, S. Fan // Laser Photonics Rev. –
2009. – Vol. 3, № 5. – P. 452-464.
32. Kalantarov, D. Effect of resonator losses on the sensitivity of coupled resonator
optical waveguide gyroscopes / D. Kalantarov, C.P. Search // Opt. Lett. – 2014. –
Vol. 39, № 4. – P. 985-988.
33. Florio, F. Effect of Static Disorder on Sensitivity of Coupled Resonator Optical
Waveguide Gyroscopes / F. Florio, D. Kalantarov, C.P. Search // J. Lightwave
Technol. – 2014. – Vol. 32, № 21. – P. 4020-4028.
34. Scheuer, J. Sagnac effect in coupled-resonator slowlight waveguide structures / J.
Scheuer, A. Yariv // Phys. Rev. Lett. – 2006. – Vol. 96, № 053901. – P. 1-4.
35. Toland, J.R.E. Chirped area coupled resonator optical waveguide gyroscope /
J.R.E. Toland, Z.A. Kaston, C. Sorrentino et al. // Opt. Lett. – 2011. – Vol. 36, №
7. – P. 1221-1223.
36. Sorrentino, C. Ultra-sensitive chip scale Sagnac gyroscope based on periodically
modulated coupling of a coupled resonator optical waveguide / C. Sorrentino,
J.R.E. Toland, C.P. Search // Optics Express. – 2012. – Vol. 20, № 1. – P. 354-
363.
37. Peng, C. Optical gyroscope based on a coupled resonator with the all-optical
analogous property of electromagnetically induced transparency / C. Peng, Z. Li,
A. Xu / Optics Express. – 2007. – Vol. 15, № 7. – P. 3864-3875.
38. Armenise, M.N. Advances in Gyroscope Technologies / M.N. Armenise, C.
Ciminelli, F. Dell’Olio et al. – Springer, 2010. – 123 p.
39. Zhang, Y. A high sensitivity optical gyroscope based on slow light in coupled-
resonator-induced transparency / Y. Zhang, N. Wang, H. Tian et al. // Phys. Lett.
A. – 2008. – Vol. 372, № 36. – P. 5848-5852.
40. Tian, H. Rotation sensing based on a side-coupled spaced sequence of resonators
/ H. Tian, Y. Zhang, X. Zhang et al. // Optics Express. – 2011. – Vol. 19, № 10. –
P. 9185-9191.
 118

41. Matsko, A.B. Optical gyroscope with whispering gallery mode optical cavities /
A.B. Matsko, A.A. Savchenkov, V.S. Ilchenko et al. // Opt. Commun. – 2004. –
Vol. 233, № 1. – P. 107-112.
42. Ciminelli, High-Q spiral resonator for optical gyroscope applications: numerical
and experimental investigation / C.C. Ciminelli, F. Dell’Olio, M.N. Armenise //
IEEE Photon. J. – 2012. – Vol. 4, № 5. – P. 1844-1854.
43. Sumetsky, M. The microfiber loop resonator: theory, experiment, and application
/ M. Sumetsky, Y. Dulashko, J.M. Fini et al. // J. Lightwave Technol. – 2006. –
Vol. 24, № 1. – P. 242-250.
44. Stokes, L.F. All-single-mode fiber resonator / L.F. Stokes, M. Chodorow, H.J.
Shaw // Opt. Lett. – 1982. – Vol. 7, № 6. – P. 230-288.
45. Belal, M. Optical fibre microwire sensors / M. Belal, Z. Song, Y. Jung et al. //
Opt. Lett. – 2010. – Vol. 35, № 18. – P. 3045-3047.
46. Xu, F. An embedded optical nanowire loop resonator refractometric sensor / F.
Xu, V. Pruneri, V. Finazzi et al. // Optics Express. – 2008. – Vol. 16, № 2. – P.
1062-1067.
47. Joannopoulos, J.D. Robert D. Meade, Photonic Crystals: Molding the Flow of
Light / J.D. Joannopoulos, S.G. Johnson, J.N. Winn et al. – Princeton university
press, 2008. – 302 p.
48. Белотелов, В.И. Фотонные кристаллы и другие метаматериалы / В.И.
Белотелов, А.К. Звездин. – М.: Бюро Квантум, 2006. – 144 c.
49. C. Ciminelli, E.C. Campanella, M.N. Armenise. Optical rotation sensor as well as
method of manufacturing an optical rotation sensor / European Patent №
2917691. 2013.
50. Goldring, D. Highly dispersive micro-ring resonator based on one dimensional
photonic crystal waveguide design and analysis / D. Goldring, U. Levy, D.
Mendlovic // Optics Express. – 2007. – Vol. 15, № 6. – P. 3156-3168.
51. Zhang, High-quality-factor photonic crystal ring resonator / Y. Zhang, C. Zeng,
D. Li et al. // Opt. Lett. – 2014. – Vol. 39, № 5. – P. 59-60.
 119

52. Steinberg, B.Z. Splitting of microcavity degenerate modes in rotating photonic

crystals—the miniature optical gyroscopes / B.Z. Steinberg, A. Boag // J. Opt.
Soc. Am. B. – 2007. – Vol. 24, № 1. – P. 142-151.
53. Ораевский, А.Н. Волны шепчущей галереи / А.Н. Ораевский // Квант.
электрон. – 2002. – № 5. – С. 377-400.
54. Dmitrieva, A.D. Application of optical whispering gallery mode resonators for
rotation sensing / A.D. Dmitrieva, Yu.V. Filatov, E.V. Shalymov al. // Proc. of
SPIE. – 2016. – № 9899, – P. 98991L.
55. Vollmer, F. Label-free detection with high-Q microcavities: a review of
biosensing mechanisms for integrated devices / F. Vollmer, L. Yang //
Nanophotonics. – 2012. – Vol. 1, № 3. – P. 267-291.
56. Dmitriyeva, A.D. Whispering Gallery Mode Resonator as Sensing Element of
Microoptical Gyro / A.D. Dmitriyeva, Yu.V. Filatov, E.V. Shalymov et al. //
Proc. of the 2015 IEEE North West Russia Section Young Researchers in
Electrical and Electronic Engineering Conference. – 2016. – № 15919563, – P.
37-38.
57. Filatov, Y.V. The Influence of Rotation on the Parameters of the Whispering
Gallery Modes Resonator / Y.V. Filatov, E.V. Shalymov, V.Y. Venediktov //
Proc. of 17th International Conference «Laser Optics 2016». – 2016. – P. WeR4-
11.
58. Guan, G. Temperature Measurements Using a Microoptical Sensor Based on
Whispering Gallery Modes / G. Guan, S. Arnold, M.V. Otugen // AIAA Journal.
– 2006. – Vol. 44, № 10. – P. 2385-2389.
59. Ioppolo, T. Effect of acceleration on the morphology-dependent optical
resonances of spherical resonators / T. Ioppolo, V. Ötügen, D. Fourguette et al. //
Opt. Soc. Am. B. – 2011. – Vol. 28, № 2. – P. 225-227.
60. Шалымов, Е.В. Микрооптический гироскоп / Е.В. Шалымов // Навигация и
управление движением: Материалы ХVI конференции молодых ученых. –
2014.– С. 71-77.
 120

61. Венедиктов, В.Ю. О возможностях использования фазовой характеристики

кольцевого интерферометра в микрооптических гироскопах / В.Ю.
Венедиктов, Ю.В. Филатов, Е.В. Шалымов // Квант. электроника. – 2014. –
№ 12. – С. 1145-1150.
62. Алексеев, В.А. Чувствительность и разрешающая способность
интерферометра Фабри–Перо и спектроскопии оптического смешения / В.А.
Алексеев, Б.Я. Зельдович, И.И. Собельман // Квант. электрон. – 1975. – № 5.
– С. 1007-1018.
63. Венедиктов, В.Ю. Использование фазовой характеристики кольцевого
интерферометра в микрооптических гироскопах / В.Ю. Венедиктов, Ю.В.
Филатов, Е.В. Шалымов // Труды международной конференции и
Российской научной школы (Инноватика - 2013) . – 2013.– С. 117.
64. Е.В. Шалымов, Ю.В. Филатов, В.Ю. Венедиктов. Способ определения
угловой скорости / Патент Российской Федерации №2547888. 2015.
65. Балалаев, В.А. Потенциальная точность измерений: Учебн. пособие / В.А.
Балалаев, В.А. Слаев, А.И. Синяков. – СПб.: АНО НПО «Профессионал»,
2005. – 104 c.
66. Игнатов, А.Н. Оптоэлектроника и нанофотоника: Учебное пособие. / А.Н.
Игнатов. Игнатов А. Н. И 26 Оптоэлектроника и нанофотоника: Учебное
пособие. – СПб.: Изд-во «Лань», 2011. – 544 c.
67. Guillén-Torres, M.A. Ring Resonator Optical Gyroscopes—Parameter
Optimization and Robustness Analysis / M.A. Guillén-Torres, E. Cretu, N.A.F.
Jaeger et al. // J. Lightwave Technol. – 2012. – Vol. 30, № 12. – P. 1802-1817.
68. Venediktov, V.Y. Quantum noise limit of phase microoptical gyro sensitivity /
V.Y. Venediktov, Y.V. Filatov, E.V. Shalymov // Proc. of SPIE. – 2015. – №
9506, – P. 95061N.
69. Вентцель, Е.С. Теория вероятностей: Учеб. для вузов / Е.С. Вентцель. – 6-е
изд. стер. – М.: Высш. шк, 1999. – 576 c.
 121

70. ГОСТ 8.395-80 Государственная система обеспечения единства измерений.

Нормальные условия измерений при поверке. Общие требования. – М.:
ИПК Издательство стандартов, 2008. – 6 c.
71. Merlo, S. Fibre Gyroscope Principles [Электронный ресурс] / S. Merlo, M.
Norgia, S. Donati // Handbook of Optical Fibre Sensing Technology. – 2002. –
Режим доступа: http://www-3.unipv.it/donati/papers/2c.pdf, свободный.
72. Dell'Olio, F. Recent advances in miniaturized optical gyroscopes / F. Dell'Olio, T.
Tatoli, C. Ciminelli et al. // Journal of the European Optical Society - Rapid
Publications. – 2014. – Vol. 9, № 14013. – P. 1-14.
73. Оптические ответвители // 2A-systems.– Режим доступа: http://www.2a-
systems.ru/product_info.php/products_id/392, свободный. (Дата обращения:
20.05.2016).
74. Быков, В.П. Лазерные резонаторы / В.П. Быков, О.О. Силичев. – М.:
Физматлит, 2004. – 320 с.
75. Малютин, А.А. Вырожденные эллиптические моды конфокального
резонатора / А.А. Малютин // Квант. электрон. – 1997. – №8. – С. 736-740.
76. Ищенко, Е.Ф. Открытые оптические резонаторы: Некоторые вопросы
теории и расчета / Е.Ф. Ищенко. – М.: Сов. радио, 1980. – 208с
77. Filatov, Y.V. Frequency properties of the confocal ring cavity / Y.V. Filatov,
A.A. Sevryugin, E.V. Shalymov et al. // Optical Engineering. – 2015. – Vol. 54,
№ 4. – P. 044107.
78. Шалымов, Е.В. О вырождении поперечных мод в кольцевом конфокальном
резонаторе / Е.В. Шалымов // Известия СПбГЭТУ «ЛЭТИ» . – 2015. – №4. –
С. 64-68.
79. Хонина, С.Н. Исследование распространения Мод Гаусса-эрмита в
непараксиальной области свободного пространства, С.Н. Хонина, М.А.
Дроздов // Известия Самарского научного центра Российской академии
наук. – 2004. – №1. – С. 45-52.
 122

80. Курятов, В.Н. Поляризационные потери в кольцевом призменном

резонаторе / В.Н. Курятов, А.Л. Соколов // Квант. электрон. – 2000. – №2. –
С. 125-127.