Министерство науки и высшего образования Российской Федерации

Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение

высшего образования
«Московский государственный технический университет
имени Н.Э. Баумана
(национальный исследовательский университет)»
(МГТУ им. Н.Э. Баумана)

ФАКУЛЬТЕТ «МАШИНОСТРОИТЕЛЬНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ»

КАФЕДРА «ЭЛЕКТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ В МАШИНОСТРОЕНИИ»

ДОМАШНЯЯ РАБОТА
по дисциплине
«Прикладная электроника»
НА ТЕМУ:
«Электрические сигналы исполнительных
механизмов установки «Установка ионного
распыления»

Студенты МТ11-72Б, МТ11-74Б _________________ Евдокимов Д.С.

(Группа) (Подпись, дата) (И.О.Фамилия)

_________________ Лазутин А.А.

(Подпись, дата) (И.О.Фамилия)

_________________ Орлов В.А.

(Подпись, дата) (И.О.Фамилия)

_________________ Трушков А.А.

(Подпись, дата) (И.О.Фамилия)

_________________ Храмов А.А.

(Подпись, дата) (И.О.Фамилия)

_________________ Москалу А.В.

(Подпись, дата) (И.О.Фамилия)

Преподаватель _________________ Д.Д. Васильев______

(Подпись, дата) (И.О.Фамилия)

2020 г.
 Содержание
ВВЕДЕНИЕ .................................................................................................................. 3
1.Анализ исполнительных механизмов .................................................................... 5
1.1.Насос спиральный форвакуумный Agilent IDP-10 ......................................... 6
1.2 Вакуумный ТМН Agilent TV81M с контроллером Agilent V81 Navigator
969-8996..................................................................................................................... 7
1.3 Пневматический клапан между форвакуумным и высоковакуумным
насосом ...................................................................................................................... 7
1.4 Пневматический клапан между форвакуумным насосом и камерой VAT
серия 284 Pneumatic ................................................................................................. 8
1.5 Пневматический затвор VAT Серия 204 ......................................................... 9
1.6 Датчик давления (Пирани) на входе форвакуумного насоса Edwards
APG100 .................................................................................................................... 10
1.7 Датчик давления, устанавливаемый на камеру (датчик ионизации с
горячим катодом и терморезисторный датчик Пирани в едином корпусе)
Leybold IONIVAC ITR90 ....................................................................................... 11
1.8 Пневматический клапан напуска атмосферы в камеру VAT Серия 290 ... 12
1.9 Блок питания источника ионов ИВЭ-341S .................................................... 13
1.10 РРГ GM50A013501RMM020 ......................................................................... 15
1.11 Электромагнитные клапаны до и после РРГ VAT Серия 217 ................... 15
1.12 АС двигатель для вращения подложкодержателя LUYANG 2RK ........... 16
2.Перечечень электрических сигналов в системе .................................................. 17
3.Схема с сигналами.................................................................................................. 20
Заключение ................................................................................................................ 23
ВВЕДЕНИЕ

Современное оборудование, используемое для создания технологических

установок в сфере электронной промышленности имеет обширные
возможности для автоматизации. Это обеспечивается использованием
стандартизированных разъемов, протоколов передачи и подробного описания
сигналов в технической документации на устройство.
Логичным шагом при создании технологического оборудования является
разработка единой системы управления, позволяющей оператору установки
сконцентрироваться на контроле реализуемого технологического процесса, а не
на управлении отдельными элементами системы. По этой причине на этапе
разработки оборудования важно понимать, какие сигналы центральный блок
управления будет получать от элементов системы и какие сигналы будет
направлять им. Следующим за этим шагом является их формализация для
удобства пользования установки.
В данной работе представлен анализ элементов установки ионного
распыления, на основе которого возможно создание системы управления
данной установкой.
Цель работы: Произвести анализ электрических сигналов в установке
ионного распыления.
Задачи:
1. Выполнить анализ элементов системы и перечислить необходимые для
питания, управления и контроля сигналы.
2. Составить полный перечень сигналов в системе и отсортировать их по
типу.
3. Составить принципиальную схему установки с указанием всех
необходимых сигналов.
Перечень элементов установки представление в таблице 1.

3
4
 1.Анализ исполнительных механизмов
В данном разделе представлены элементы системы анализируемой
установки с указанием всех сигналов, реализуемых в данных устройствах.

Таблицы 1—элементы установки ионного распыления

№ Тип ИМ Название ИМ Артикул Кол- Ссылка

во
1 Спиральный насос Agilent IDP-10 X3810-64000 1 Спецификация

2 Турбомолекулярный ТМН Agilent 969-8901 1 Спецификация

насос TV81M
3 Пневмоклапан VAT серия 245 24532-KE11 1 Спецификация
между ФВ и ВВ
насосами
4 Пневмоклапан VAT серия 284 28432-GE01 1 Спецификация
между ФВ насосом
и камерой
5 Пневматический VAT Серия 204 20438-PE14 1 Спецификация
затвор
6 Датчик Пирани на APG100 D02604000 1 Спецификация
входе ФВ насоса
7 Датчик давления на Leybold 230 250 1 Спецификация
камере IONIVAC
ITR90
8 Пневмоклапан VAT серия 290 29028-KE11 1 Спецификация
напуска атмосферы
в камеру
9 Блок питания ИВЭ-341S ИВЭ2.341.000S 1 Спецификация
ионного источника
10 РРГ РРГ GM50 GM50 1 Спецификация
A013501 A013501
RMM020 RMM020

11 Электромагнитные VAT Серия 217 21724-KAXX-000 1 Спецификация

клапаны до и после
ррг
12 АС двигатель для LUYANG 2RK 2RK6A-C 1 Спецификация
вращения
подложкодержателя
5
1.1.Насос спиральный форвакуумный Agilent IDP-10

Насос Agilent IDP-10 (Рис.1) входит в вакуумную откачную систему

установки ионного распыления. Наличие инвертора дает возможность
управлять работой электродвигателя спирального насоса Agilent , наличие
порта логического интерфейса позволяет регулировать частоту вращения вала.

Рисунок 1—форвакуумный спиральный насос Agilent IDP-10

Таблица 1—электрические сигналы форвакуумного спирального насоса

Edwards Agilent IPD-10
Наименование Обозначение Код Уровень Примечание
Питание NA u_NA Э 220-230 VAC Пиковый ток
10А
Скорость s_NA АУ 6.9-10В Диапазон
вращения NA регулировки
1350-1900
об/мин

6
1.2 Вакуумный ТМН Agilent TV81M с контроллером Agilent V81 Navigator 969-
8996
ТМН насос будет рассматривать вместе в комплектным
контроллером(рис.2) , т.к. контроль и управление насосом происходит с его
помощью. Контроллер Agilent V81 Navigator иммет набор коннекторов,
позволяющих осуществлять цифровой и аналоговый контроль и управление за
работой насоса, а также подключать внешнюю аппаратуру.
(а) (б)

Рисунок 2—(а)ТМН насос Agilent TV81M;(б) контроллер Agilent V81 Navigator

Таблица 2—электрические сигналы ТМН Agilent TV81M и контроллера Agilent

V81 Navigator 969-8996
Наименование Обозначен Код Уровень Примечание
ие
Питание du_cnt_NR Э 100-240В АС
контроллера 50-60 ГЦ
NR 130 Вт
RS-232 RS- Ц RS-232 TX 2 пин
232_NR RX 3 пин
Gnd 5 пин(dp-9)

1.3 Пневматический клапан между форвакуумным и высоковакуумным насосом

VAT серия 245 Pneumatic.

7
 Клапан должен удерживать перепад давлений от атмосферного до
давления на выходном патрубке ТМН. Выбераем клапан для среднего вакуума,
при этом в выключенном состоянии имеет состояние «открыт» , т.к основную
часть времени будет открыт для откачки ТМН.

Рисунок 3—Клапан VAT серия 245 Pneumatic

Таблица 3 –Электрические сигналы клапана VAT серии 245

Наименование Обозначение Код Уровень Примечание
Питание VP1 U_VP1 Э +24В, DC,
2.5 Вт
Индикатор C_VP1 ДК +5-50В
зыкрытия VP1 AC/DC, 5-
100 мА

1.4 Пневматический клапан между форвакуумным насосом и камерой VAT

серия 284 Pneumatic

Клапан предназначен для работы в условиях разницы давления от

атмосферного до высокого вакуума. Т.к. байпасная линия используется только
для достижения форвакуума, клапан в нормально закрыт.

8
 Рисунок 4—Клапан VAT серии 284 Pneumatic
Таблица 4 —Электрические сигналы клапана VAT серии
Наименование Обозначение Код Уровень Примечание
Питание VP2 U_VP2 Э +24В, DC 2.5 Вт
стандартное
значение
Индикатор C_VP2 ДК +5-50В
зыкрытия VP2 AC/DC, 5-
100 мА

1.5 Пневматический затвор VAT Серия 204

Затвор для работы в высоком вакууме с достаточным запасом по

давлению. Тип действия – пневматический. Нормальное положение –
открытый, т.к. установлен между откачиваемым объемом и ТМН и закрывается
только между циклами распыления для изоляции ТМН.

9
 Рисунок 5—Пневматический затвор VAT Серия 204

Таблица 5—электрические сигналы затвора VAT Серия 204

Наименование Обозначение Код Уровень Примечание

Питание VP3 U_ VP3 Э +24В DC 7,6 Вт
Индикатор C_ VP3 ДК 0.5 A/50 V
закрытия VP3 AC, 0.5 A/75
V DC, max.
10 W

1.6 Датчик давления (Пирани) на входе форвакуумного насоса Edwards APG100

Данный датчик давления предназначен для контроля форвакуумной

откачки, проверки герметичности магистралей и работоспособности
форвакуумного насоса. Выбираем датчик Edwards APG100 из расчета, что
рабочий диапазон соответствует давлению в точке установки в вакуумную
систему.

10
 Рисунок 6—вакууметр Edwards APG100

Таблица 6—Электрические сигналы вакууметра Edwards APG100

Наименование Обозначение Код Уровень Примечание
Питание PT U_ PT Э +15-30В DC 1 Вт
Контроль AC_ PT АК 1.9 – 9.1В
давления PT DC

1.7 Датчик давления, устанавливаемый на камеру (датчик ионизации с горячим

катодом и терморезисторный датчик Пирани в едином корпусе) Leybold
IONIVAC ITR90
Датчик Leybold IONIVAC ITR90 включают в себя датчик ионизации с горячим
катодом и терморезисторный датчик Пирани, объединённые в одном корпусе.
Данный датчик регистрирует давление во всем рабочем диапазоне установки.

11
 Рисунок 7— вакуумный датчик Leybold IONIVAC ITR90
Таблица 7 —электрические сигналы вакуумного датчика Leybold IONIVAC
ITR90
Наименование Обозначе Код Уровень Примечание
ние
Питание ITR U_PA Э 20-28В
16 Вт
DC
RS-232С RS- Ц RS-232C Пины 1-2
232C_PA

1.8 Пневматический клапан напуска атмосферы в камеру VAT Серия 290

Данный клапан должен выдерживать перепад давлений от атмосферного

до высокого вакуума. Выбираем клапан VAT серии 290 Pneumatic.

12
 Рисунок 8—Пневматический клапан для напуска атмосферы VAT Серия 290
Pneumatic

Таблица 8—Пневматический клапан VAT Серия 290 Pneumatic

Наименование Обозначение Код Уровень Примечание
Питание VP4 U_VP4 Э +24В, DC, 2.5
Вт
Индикатор C_VP4 ДК +5-50В
зыкрытия VP4 AC/DC, 5-100
мА

1.9 Блок питания источника ионов ИВЭ-341S

Основная область применения – в составе вакуумно-технологического

оборудования для обеспечения процесса нанесения покрытий и очистки
поверхностей. Блок питания «ИВЭ-341S» (Рис.1, 2) имеет положительную
полярность выходного напряжения и предназначен для питания
стабилизированным напряжением или током источников ионов типа «Радикал»
или им подобных, имеющих одну разрядно-ускоряющую ионно-оптическую

13
систему с заземлённым выходным электродом и потенциальным анодом. Блок
имеет оптоизолированный цифровой интерфейс «RS-485» внешнего
управления.
Блок - одноканальный источник вторичного электропитания,
выполненный на основе структуры с бестрансформаторным подключением к
питающей сети переменного тока. Функции преобразующего и
стабилизирующего органа выполняет высокочастотный конвертор модульного
типа (МК), работающий на частоте 3555кГц. Стабилизация осуществляется по
принципу широтно-импульсной модуляции.

Рисунок 9 – Вид спереди на блок «ИВЭ-341S»

Таблица 9 — сигналы блока питания источника ионов «ИВЭ-341S»

Наименование Обозначе Код Уровень Примечание
ние
Питание ИИ U_II Э 220В15% P не более
AC ,48-62 1200Вт
Гц.
RS-485 RS_485 Ц RS-485 Цепь, контакты:
Командно- А (DATA+),
информационн 19, 24;
ый код В (DATA-),
интерфейса, 10, 18;
«внешнее P1, 20, 23;
управление» P2, 8, 11;
Питание цепей:
6,12
ноль: 1,7, 13
14
 1.10 РРГ GM50A013501RMM020

Регулятор расхода газа GM50A013501RMM020 (рис.1) предназначен для

регулирования расхода газа в технологическом оборудовании. Управление
осуществляется аналоговым сигналом через разъем DP-15.

Рисунок 10—РРГ GM50A013501RMM020

Таблица 10—Электрические сигналы РРГ

Наименование Обозначе Код Уровень Примечание
ние
Питание РРГ U_RRG Э +15..24 B U±3%
DC,
до 4Вт

Управление AU_RRG АУ 0-5В DC 1-50 куб. См

потоком РРГ
Контроль AС_RRG АК 0-5В DC Пропорционален
потока РРГ расходу газа.

1.11 Электромагнитные клапаны до и после РРГ VAT Серия 217

15
 Клапаны предназначены изоляции рабочего объема камеры от баллона с
рабочим газом, а также РРГ от атмосферы для предотвращения попадания
атмосферных газов в рабочий объем при смене баллона.

Рисунок 11— Электромагнитный клапан VAT Серия 217

Таблица 11- Электрические сигналы электромагнитного клапана VAT Серия

217
Наименован Обозначение Код Уровень Примечание
ие
Питание VE1 U_VE1 Э +24В, DC,
2,5 Вт

1.12 АС двигатель для вращения подложкодержателя LUYANG 2RK

Для вращения подложкодержателя подойдет любой маломощный двигатель.

16
 Рисунок 12— Электродвигатель LUYANG 2RK
Таблица 12 –Электрические сигналы двигателя LUYANG 2RK
Наименование Обозначение Код Уровень Примечание
Питание RK U_RK Э 220В, АC
6Вт 50-60Гц

2.Перечечень электрических сигналов в системе

Перечень электрических и цифровых сигналов, а также сигналов аналогового и

дискретного контроля, управления установки ионного распыления
представлен в таблице 13.
Количество энергетических сигналов - 13 шт. Питание устройств постоянного
тока может осуществляться от одного блока питания на +24 B мощностью 100
Вт. Устройства, работающие от переменного тока можно питать от сети - 220В
АС, частоты 50Гц.
Количество сигналов аналогового управления – 2 шт., аналогового контроля - 2
шт,. Цифровых сигналов - 3 шт. Сигналов дискретного управления - 2 шт.

17
Таблица 13 – Электрические сигналы установки ионного распыления

Наименование Обозначение Код Уровень Примечание

Сигналы Э

Питание NA u_NA Э 200-240В Пиковый ток

10А
du_cnt_NR Э 100-240В АС
Питание 50-60 ГЦ 130 Вт
контроллера NR

U_VP1 Э +24В, DC, 2.5

Питание VP1 Вт

U_VP2 Э +24В, DC 2.5 Вт

Питание VP2 стандартное
значение
Питание VP3 U_ VP3 Э +24В DC 7,6 Вт
Питание PT U_ PT Э +15-30В DC 1 Вт

U_PA Э 20-28В 16 Вт
Питание ITR DC

U_VP4 Э +24В, DC, 2.5

Питание VP4 Вт

U_II Э 220В±15% AC P не более

Питание ИИ ,48-62 Гц. 1200Вт

U_RRG Э +15..24 B DC, U±3%

Питание РРГ до 4Вт

U_VE1 Э +24В, DC, 2,5

Питание VE1 Вт

U_VE1 Э +24В, DC, 2,5

Питание VE2 Вт

18
 U_RK Э 220В, АC 6Вт
Питание RK 50-60Гц

Сигналы АУ

Скорость s_NA АУ Питание PT U_ PT

вращения NA
Управление, AU_RRG АУ 0-5В DC 1-50 куб. См
контроль потока
РРГ
Сигналы АК

Контроль AC_ PT АК 1.9 – 9.1В DC

давления PT

Контроль потока AС_RRG АК 0-5В DC Пропорциона

РРГ лен расходу
газа.

Сигналы Ц

RS-232 RS-232_NR Ц RS-232 TX 2 пин

RX 3 пин
Gnd 5
пин(dp-9)
RS-232С RS-232C_PA Ц RS-232C Пины 1-2

RS-485 RS_485 Ц RS-485 Цепь,

Командно- контакты:
информационный А (DATA+),
код интерфейса, 19, 24;
«внешнее В (DATA-),
управление» 10, 18;
P1, 20, 23;
P2, 8, 11;
Питание
цепей: 6,12
ноль: 1,7, 13

19
 Сигналы ДК

Индикатор C_VP1 ДК +5-50В AC/DC,

зыкрытия VP1 5-100 мА
Индикатор C_VP2 ДК +5-50В AC/DC,
зыкрытия VP2 5-100 мА
Индикатор C_ VP3 ДК 0.5 A/50 V AC,
закрытия VP3 0.5 A/75 V DC,
max. 10 W

Индикатор O_VP4 ДК +5-50В AC/DC,

открытия VP4 5-100 мА

3.Схема с сигналами
Комплексная принципиальная схема установки ионного распыления
представлена на рисунке 13.

20
Рисунок 13 - Комплексная принципиальная схема установки ионного
распыления
Оборудование на схеме расшифровывается в таблице 14.

21
Таблица 14 – Перечень элементов установки ионного распыления

Обозначение Название ИМ Кол-во

NA Спиральный насос Agilent IDP-10 1

NR Турбомолекулярный насос ТМН 1
Agilent TV81M
VP4 Пневмоклапан между ФВ и ВВ 1
насосами VAT серия 245

VP3 Пневмоклапан между ФВ насосом и 1

камерой VAT серия 284

VP2 Пневматический затвор VAT Серия 1

204
PT Датчик Пирани на входе ФВ насоса 1
APG100
PA, PT Датчик давления на камере Leybold 1
IONIVAC ITR90
VP1 Пневмоклапан напуска атмосферы в 1
камеру VAT серия 290
PSIS Блок питания ионного источника 1
ИВЭ-341S
RRG РРГ GM50A 01350 1RMM020 1

VE1, VE2 Электромагнитные клапаны до и 1

после ррг VAT Серия 217
M АС двигатель для вращения 1
подложкодержателя LUYANG 2RK

22
Заключение

В результате выполнения задания была проанализирована установка

ионного распыления. Были выбраны конкретные модели оборудования и
составлен перечень сигналов.
Изучены технические характеристики элементов установки и принципы
управления ими.
Руководствуясь полученными данными, можно подобрать источники питания,
АЦП, ПЛК для элементов системы.

23