Открыть Электронные книги
Категории
Открыть Аудиокниги
Категории
Открыть Журналы
Категории
Открыть Документы
Категории
ВЫПУСК 9
УДК 621.81
А.Е. КОВЕНСКИЙ
ОАО «Планар», г. Минск, Республика Беларусь
Ключевые слова: алмазный диск, аэростатические опоры, кристаллы, колебания, резание, электрошпиндель
Введение. Процесс разделения полупроводниковых ваний выбран типовой алмазный диск ДАР9-30.650С,
пластин на кристаллы по существу является финишным достаточно широко используемый в установках для
этапом изготовления кристаллов [1–6]. Вследствие этого разделения полупроводниковых пластин на кристаллы
стоимость полупроводниковых пластин может достигать «ЭМ-2165», выпускаемых ОАО «Планар».
нескольких тысяч, а иногда и десятков тысяч долларов. При исследованиях алмазный диск крепился
К одному из основных современных трендов в раз в шпинделе в соответствии со своим рабочим поло
витии микроэлектроники можно отнести уменьшение жением, после чего перемещением электрошпинделя
размеров кристаллов, типовая величина которых в бли создавалось осевое ступенчатое нагружение силой F,
жайшем будущем достигнет 1 мм, ширины паза и взаи изменяющейся от 0,06 до 0,24 Н с шагом 0,01 Н его
мосвязанной с этим толщины режущего алмазного диска режущей кромки. При этом одновременно преобразо
дефектной зоны прилегающих к пазу участков полупро вателем линейных перемещений ЛИР7 контролирова
водниковой пластины и ее толщины. лись перемещения его оси Ddi и режущей кромки Dki со
В совокупности это предопределяет важность опре стороны диска, обратной нагружаемой. Проводилось
деления осевой жесткости режущих алмазных дисков три аналогичных измерения, после чего определялись
и с ее использованием разработки динамической мо средние значения перемещений Ddсрi и Dkсрi и средние
дели осевых колебаний механической системы «стол квадратические отклонения для каждого уровня нагру
с разрезаемой полупроводниковой пластиной — алмаз жения. После этого по критерию Кокрена при наиболее
ный режущий диск — вал высокоскоростного электро широко используемой значимости a = 0,05 оценивалась
шпинделя на аэростатических опорах». однородность дисперсий и при подтверждении их од
Авторами [1–4] показано, что при разделении по нородности по разности перемещений Di = Dkсрi – Ddсрi
лупроводниковых пластин на кристаллы алмазными рассчитывалась деформация алмазного диска, а с ис
дисками возникают как вертикальные и продольные пользованием методик [7–9] определялись параметры
в направлении движения, так и поперечные колебания, уравнения регрессии:
воздействующие в осевом направлении на алмазный D = D0 + F/Cd, (1)
диск. Вместе с тем исследования, проводимые в этой
области [4–6], практически не затрагивают вопросы их
влияния на нагруженность алмазных дисков.
Целью исследований являлось определение осевой
жесткости режущих алмазных дисков для разделения
полупроводниковых пластин на кристаллы и ее зави
симость от величины деформации, пропорциональной
аплитуде осевых колебаний в системе «стол с разрезае
мой полупроводниковой пластиной — алмазный режу
щий диск — вал высокоскоростного электрошпинделя
на аэростатических опорах». а б
Методика исследований. Вид режущего алмазного Рисунок 1 — Режущий алмазный диск (а)
диска в оправке показан на рисунке 1 а. Для исследо и схема его осевого нагружения (б)
280
МАШИНОСТРОИТЕЛЬНЫЕ МАТЕРИАЛЫ И ТЕХНОЛОГИИ
где D0 — условная начальная деформация, мм; Cd — для смещения Dk кромки алмазного диска при осевом
жесткость алмазного диска, Н/мм; F, Cd — определя нагружении:
лись из зависимостей:
(7)
(2)
(4) Н. (9)
281
ISSN 2306-3084. АКТУАЛЬНЫЕ ВОПРОСЫ МАШИНОВЕДЕНИЯ. 2020. ВЫПУСК 9
282
МАШИНОСТРОИТЕЛЬНЫЕ МАТЕРИАЛЫ И ТЕХНОЛОГИИ
Список литературы
1. Ковенский, А.Е. Мониторинг и управление параметрами
колебаний высокоскоростного электрошпинделя на аэро
статических подшипниковых опорах / А.Е. Ковенский,
В.Л. Басинюк, А.А. Глазунова // Актуальные вопросы
машиноведения: сб. научн. тр. / Объедин. ин-т машино
строения НАН Беларуси; редкол.: С.Н.Поддубко [и др.]. —
2019. — Вып. 8. — С. 154–158.
2. Некоторые особенности подшипниковых узлов прецизи
Рисунок 2 — Упругая деформация режущей кромки алмазного онных высокоскоростных электрошпинделей / В.Л. Ба
диска в направлении оси при приложении к ней силы F синюк [и др.] // Актуальные вопросы машиноведения:
( — экспериментально полученные точки) сб. науч. тр. / Объедин. ин-т машиностроения НАН Бела
° руси; редкол.: С.Н. Поддубко [и др.]. — 2017. — Вып. 6. —
С. 173–176.
ниже осевой жесткости скоростных электрошпинделей 3. Кузнецов, Н.К. Идентификация параметров и модели
рование динамики трехмассовой мехатронной системы /
с аэростатическими опорами. Н.К. Кузнецов, А.Ю. Перепелыгина, Р.В. Кононенко //
Заключение. В результате исследований осевой Вестн. ИрГТУ. — № 3. — 2010. — С. 6—11.
жесткости режущего алмазного диска для разделения 4. Иванов, В.И. Методы резки кремниевых приборных
полупроводниковых пластин на кристаллы установле пластин на чипы в производстве органических микро
дисплеев [Электронный ресурс] / В.И. Иванов // Науко
но, что она на порядок ниже осевой жесткости аэроста
ведение. — 2014. — Вып. 4. — С. 1–21. — Режим доступа:
тических опор высокоскоростных электрошпинделей https://naukovedenie.ru/PDF/87TVN414.pdf. — Дата досту
и ориентировочно ее величина может быть принята па: 19.06.2020.
2 Н/мм. Полученные данные могут быть использова 5. Махов, А.А. Динамическая модель шпинделя на аэро
ны для оценки влияния осевых колебаний стола и вала статических опорах / А.А. Махов, Г.Н. Позняк // Вестн.
РУДН. Сер.: Инженерные исследования. — 2004. —
высокоскоростного электрошпинделя на аэростати № 1(8). — С. 76–82.
ческих опорах и воздействия квазистатической осевой 6. Российские высокие технологии в производстве приборов
составляющей силы резания алмазным диском с режу микро- и оптоэлектроники / В.С. Кондратенко [и др.] //
щей кромкой толщиной 20…50 мкм на ресурс алмазного Интеграл. — 2008. — № 6(208). — С. 8–9.
7. Спиридонов, А.А. Планирование эксперимента при ис
диска и качество полученной полупроводниковой пла
следовании технологических процессов / А.А. Спиридо
стины, и вероятность возникновения сколов и разруше нов. — М.: Машиностроение, 1981. — 184 с.
ний алмазного диска. 8. Контроль состояния и диагностика машин. Общее руко
Полученные в результате исследований данные водство по организации контроля состояния и диагности
о жесткости алмазных дисков могут быть использованы рования: ГОСТ Р ИСО 17359-2009 / Межгосударственный
Совет по стандартизации, метрологии и сертификации. —
для разработки динамической модели осевых колеба М.: Стандартинформ, 2010. — 20 с.
ний механической системы «стол с разрезаемой полу 9. Никитин, Ю.Р. О построении системы диагностирования
проводниковой пластиной — алмазный режущий — вал станков с ЧПУ / Ю.Р. Никитин, И.В. Абрамов // Мехатрони
высокоскоростного электрошпинделя на аэростатиче ка, автоматизация и управление. — 2011. — № 4. — С. 32–35.
283