Технический университет Молдовы

Факультет Вычислительной техники, Информатики и Микроэлектроники

Отчет №2
Курс: Микро-наноэлектронные приборы

Тема: Исследование емкостных характеристик структур

полупроводник-полупроводник и металл-диэлектрик-
полупроводник.

Выполнила ст. гр. MN-192

Бабисанда Серафима

Проверил конф. др. Монайко Эдуард

Кишинев 2021
 Цель работы: Определение параметров структур полупроводник-полупроводник и металл-
диэлектрик-полупроводник методом измерения и обработки экспериментальных вольт-фарадных
характеристик.

U inv CB 1 1 Таблица 2.1 Данные

измерения диода
C B2 C B3
SR510 при обратной
0,000421 поляризации
0 7 5623320 1,33E+10
0,000363
0,2 9 7551546 2,08E+10
0,000317
0,4 7 9907534 3,12E+10
0,000285
0,6 6 12259806 4,29E+10
0,000262 Рис.2.1 Диод SR510
0,8 1 14556801 5,55E+10
0,000242
Таблица 2.2 Данные измерения диода SR510
1 9 16949035 6,98E+10 при прямой поляризации
0,000209
1,5 2 22849497 1,09E+11 U dir CD
0,000186
2 5 28750296 1,54E+11 0 0,000426
0,000169 0,2 0,000462
2,5 9 34642820 2,04E+11 0,4 0,000506
0,000157 0,6 0,000551
3 3 40414997 2,57E+11 0,8 0,000594
3,5 0,000147 46277014 3,15E+11 1 0,000638
0,000138 1,2 0,000681
4 7 51981293 3,75E+11 1,4 0,000723
0,000131 1,6 0,000766
4,5 6 57741521 4,39E+11 1,8 0,000807
0,000125 2 0,000851
5 6 63389996 5,05E+11 2,2 0,000893
0,000120 2,4 0,000935
5,5 4 68983786 5,73E+11 2,6 0,000976
0,000115 2,8 0,001015
6 5 74961114 6,49E+11 Рис. 2.2
0,000111
6,5 6 80291877 7,19E+11
7 0,000108 85733882 7,94E+11
0,000104
7,5 8 91049473 8,69E+11
0,000101
8 8 96494919 9,48E+11
0,000099
8,5 1 1,02E+08 1,03E+12
0,000096
9 6 1,07E+08 1,11E+12
0,000094
9,5 3 1,12E+08 1,19E+12
U inv CB 1 1 1
CB C B2 C B3
0 0,0000134 74626,87 5,57E+09 4,16E+14
0,2 0,0000114 87719,3 7,69E+09 6,75E+14
0,4 0,0000104 96153,85 9,25E+09 8,89E+14
Таблица 2.4 Данные измерения
0,6 0,0000096 104166,7 1,09E+10 1,13E+15 диода D220
0,8 0,0000091 109890,1 1,21E+10 1,33E+15 при
1 0,0000086 116279,1 1,35E+10 1,57E+15 обратной поляризации
1,5 0,0000077 129870,1 1,69E+10 2,19E+15
2 0,000007 142857,1 2,04E+10 2,92E+15
2,5 0,0000065 153846,2 2,37E+10 3,64E+15 Рис.2.6 Диод D220
3 0,0000061 163934,4 2,69E+10 4,41E+15
3,5 0,0000058 172413,8 2,97E+10 5,13E+15
4 0,0000055 181818,2 3,31E+10 6,01E+15
Таблица 2.4 Данные измерения
4,5 0,0000053 188679,2 3,56E+10 6,72E+15
5 0,0000051 196078,4 3,84E+10 7,54E+15 диода D220 при прямой
5,5 0,0000049 204081,6 4,16E+10 8,5E+15 поляризации
6 0,0000048 208333,3 4,34E+10 9,04E+15
U dir CD
6,5 0,0000046 217391,3 4,73E+10 1,03E+16
7 0,0000045 222222,2 4,94E+10 1,1E+16
0 1,38E-05
7,5 0,0000044 227272,7 5,17E+10 1,17E+16
0,2 2,14E-05
8 0,0000042 238095,2 5,67E+10 1,35E+16
0,4 4,36E-05
8,5 0,0000041 243902,4 5,95E+10 1,45E+16
0,6 0,000078
0,0000040
9 9 244498,8 5,98E+10 1,46E+16 0,8 0,000111
9,5 0,000004 250000 6,25E+10 1,56E+16 1 0,000146
1,2 0,000177
1,4 0,000206
1,6 0,000232
1,8 0,000256
2 0,000282
2,2 0,000305
2,4 0,000328
2,6 0,000349
2,8 0,000368
Рис.2.7

Рис.2.8

Рис.2.9
 Рис.2.10

Таблица 2.5 Данные измерения диода HER108 при обратной поляризации

U inv CB 1 1 1
CB C B2 C B3
0 0,0000196 51020,41 2,6E+09 1,33E+14
0,2 0,0000162 61728,4 3,81E+09 2,35E+14
0,4 0,0000144 69444,44 4,82E+09 3,35E+14
0,6 0,0000133 75187,97 5,65E+09 4,25E+14
0,8 0,0000125 80000 6,4E+09 5,12E+14
1 0,0000118 84745,76 7,18E+09 6,09E+14
1,5 0,0000106 94339,62 8,9E+09 8,4E+14
2 0,0000098 102040,8 1,04E+10 1,06E+15
2,5 0,0000092 108695,7 1,18E+10 1,28E+15
3 0,0000087 114942,5 1,32E+10 1,52E+15
3,5 0,0000083 120481,9 1,45E+10 1,75E+15
U dir CD
4 0,000008 125000 1,56E+10 1,95E+15
4,5 0,0000077 129870,1 1,69E+10 2,19E+15 0 2,08E-05
5 0,0000075 133333,3 1,78E+10 2,37E+15 0,2 8,62E-05
5,5 0,0000073 136986,3 1,88E+10 2,57E+15 0,4 0,000252
6 0,0000071 140845,1 1,98E+10 2,79E+15 0,6 0,000396
6,5 0,0000069 144927,5 2,1E+10 3,04E+15 0,8 0,000512
7 0,0000067 149253,7 2,23E+10 3,32E+15 1 0,000619
7,5 0,0000066 151515,2 2,3E+10 3,48E+15 1,2 0,00071
8 0,0000065 153846,2 2,37E+10 3,64E+15 1,4 0,000787
8,5 0,0000063 158730,2 2,52E+10 4E+15 1,6 0,000852
9 0,0000062 161290,3 2,6E+10 4,2E+15 1,8 0,000907
9,5 0,0000061 163934,4 2,69E+10 4,41E+15 2 0,000961
Таблица 2.6 Данные 2,2 0,001009
измерения диода 2,4 0,001055
HER108 при 2,6 0,001094
прямой поляризации 2,8 0,00109
U inv CB 1 1 1
CB C B2 C B3
0,000014
0 2 70422,54 4,96E+09 3,49E+14
0,000011
0,2 7 85470,09 7,31E+09 6,24E+14
0,000010
0,4 5 95238,1 9,07E+09 8,64E+14
0,000009
0,6 6 104166,7 1,09E+10 1,13E+15 Таблица 2.1 Данные
0,000009 измерения диода IN4007
0,8 1 109890,1 1,21E+10 1,33E+15 при обратной
0,000008 поляризации
1 6 116279,1 1,35E+10 1,57E+15
0,000007
1,5 7 129870,1 1,69E+10 2,19E+15
0,000007
2 2 138888,9 1,93E+10 2,68E+15
0,000006
2,5 7 149253,7 2,23E+10 3,32E+15
Таблица 2.1 Данные
0,000006 измерения диода IN4007
3 4 156250 2,44E+10 3,81E+15 при прямой поляризации
0,000006
3,5 1 163934,4 2,69E+10 4,41E+15
0,000005 U dir CD
4 9 169491,5 2,87E+10 4,87E+15
0,000005 0 0,000015
4,5 7 175438,6 3,08E+10 5,4E+15 0,2 0,0002858
0,000005 0,4 0,000547
5 5 181818,2 3,31E+10 6,01E+15 0,6 0,0009
0,000005 0,8 0,00115
5,5 3 188679,2 3,56E+10 6,72E+15 1 0,00139
0,000005 1,2 0,00165
6 2 192307,7 3,7E+10 7,11E+15 1,4 0,00191
0,000005 1,6 0,00217
6,5 1 196078,4 3,84E+10 7,54E+15 1,8 0,00241
7 0,000005 200000 4E+10 8E+15 2 0,002
0,000004 2,2 0,00289
7,5 9 204081,6 4,16E+10 8,5E+15 2,4 0,00311
0,000004 2,6 0,00332
8 8 208333,3 4,34E+10 9,04E+15 2,8 0,00351
0,000004 3 0,0037
8,5 7 212766 4,53E+10 9,63E+15
0,000004
9 6 217391,3 4,73E+10 1,03E+16
0,000004
9,5 5 222222,2 4,94E+10 1,1E+16