Для цитирования: Комаров К. А., Хромихин Д. А., Яковенко Н. Г.

Разработка стенда для индивидуальной калибровки

линейных приводов ног гексапода // Вопросы радиоэлектроники. 2017. № 7. С.

УДК 681.787:681.2.08:681.5

К. А. Комаров1, Д. А. Хромихин1, Н. Г. Яковенко1

1
Балтийский государственный технический университет «ВОЕНМЕХ» им. Д. Ф. Устинова

РАЗРАБОТКА СТЕНДА ДЛЯ ИНДИВИДУАЛЬНОЙ КАЛИБРОВКИ

ЛИНЕЙНЫХ ПРИВОДОВ НОГ ГЕКСАПОДА

В статье рассматриваются вопросы разработки стенда для проведения высокоточной

калибровки ног гексапода методами лазерной интерферометрии.

Ключевые слова: гексапод, стенд, высокоточная калибровка, лазер, интерферометр.

Введение

Методы высокоточной калибровки линейных приводов устройств параллельной

кинематики, предложенные в [1], получили развитие в виде стенда с размещенной на нем

измерительной системой, в основу которой положен интерферометр Майкельсона, с

применением современных элементов оптики, механики и программных средств.

Настоящая работа проведена в соответствии с постановлением Правительства РФ от

09.04.2010 № 218 (ПРОЕКТ 218) в рамках НИОКТР, выполняемой при финансовой

поддержке Министерства образования и науки РФ (договор от 01.12.2015 №

02.G25.31.0160). Работы выполняются в организации Головного исполнителя НИОКТР

ФГБОУ ВО БГТУ «ВОЕНМЕХ» им. Д. Ф. Устинова.

В результате проведенного моделирования методов прецизионных измерений с

получением интерферометрического изображения, после изучения конструкций и

принципов работы промышленных образцов интерферометров, применяемых для

высокоточного измерения перемещений, а также выявления ряда теоретических проблем,

связанных с моделированием и воплощением в жизнь некоторых сложных схем, было

принято решение о разработке стенда, реализующего классический метод Майкельсона

ввиду простоты и надежности схемы, зарекомендовавшей себя в течение многих лет в

науке и технике, а также в связи с универсальностью подобранных элементов,

позволяющих оперативно реконфигурировать классическую схему практически в любую

другую (Маха-Цандера, Фабри-Перо и т. д.) и их комбинации.

Разработка стенда

Для реализации интерферометра, с помощью которого будет осуществляться

индивидуальная калибровка линейных приводов (ног), лежащих в основе гексапода [2],

был разработан и изготовлен стенд, который представлен на рис. 1.

Основу стенда составляет оптическая система, собранная на стенде.

В процессе отработки конструкции интерферометра, представленного на рис. 1,

было принято решение применить в качестве основы специальную оптическую

монтажную плиту. ОМП представляет собой жесткую плиту, перфорированную

резьбовыми отверстиями по сетке с равномерным шагом, выполненную с соблюдением

жестких требований по шероховатости и уровню кривизны рабочей плоскости, что

обеспечивает качество монтажа навесных держателей оптических элементов, а

следовательно, точность геометрических настроек оптических путей, необходимую для

сведения опорного и измерительного плеча интерферометра в общий луч со

сформированной интерферограммой.
Рисунок 1. Внешний вид измерительной системы в процессе монтажа

В настоящее время оптическая измерительная система в составе измерительного и

испытательного стенда собрана, проведены тестовые включения и пробные измерения,

проводится юстировка оптико-механической части и отладка программного обеспечения,

предназначенного для обработки результатов измерений.

В качестве источника лазерного излучения был выбран и применен в реальной

конструкции гелий-неоновый лазер с излучением, стабилизированным методом

терморегулирования по заданному соотношению интенсивностей ортогонально

поляризованных мод. Лазер выполнен в виде моноблока, объединяющего излучатель,

источник питания и систему автоподстройки частоты излучения. Преимуществом такой

конструкции в данном типе лазеров – повышенная надежность благодаря отсутствию

высоковольтного кабеля, что делает разрабатываемый прибор безопасным и простым при

использовании его в научно-технических и учебных целях. Нестабильность частоты

уменьшена благодаря дополнительной защите излучателя от действия внешних

возмущающих факторов.

Отличительная черта конструкции примененного в приборе лазера – наличие

жесткой механической привязки активных элементов к металлическим трубкам,

выступающим с обеих сторон металлического корпуса. Это обеспечивает высокую

пространственную стабильность выходного лазерного излучения. Таким образом, для

реализации центровки луча в пространстве при первичной настройке прибора и сведении

лучей была предложена и реализована оригинальная конструкция держателя,

представленная на рис. 2, пара которых обеспечивает фиксацию лазерной трубки во

фронтальной и тыловой ее частях, а также позволяет выполнять точную регулировку по

углам тангажа, рысканья и крена излучателя, что значительно упрощает процедуру

подготовки прибора к работе. За счет элементов сжатия-растяжения выполняется

демпфирование чувствительных к ударам и вибрациям стеклянных частей излучателя,

таких как гелий-неоновая газоразрядная трубка.

Рисунок 2. Держатель лазерной трубки

В результате проведенного анализа и учета сложностей, возникших при сборке и

первичной настройке конструкции, плоские зеркала (рефлекторы), использование которых

предполагала классическая схема интерферометра Майкельсона и предварительное

моделирование системы, были заменены на оптические триэдры, один из которых показан

на рис. 3, возвращающие луч в противоположном направлении и параллельно входящему

в него лучу, что облегчает тонкую настройку системы, а также исключает прямое

отражение луча, формирующего измерительное плечо интерферометра через

светоделительный элемент обратно в апертуру лазерного излучателя, что, как показала

практика, вызывает спонтанное срабатывание поднастройки параметров излучателя

вследствие попадания в оптический канал обратной связи постороннего излучения.

Рисунок 3. Триэдр, установленный на светоделительном элементе

Такая поднастройка, вызывающая хаотичное изменение параметров излучения,

негативно влияет на работу излучателя в частности и прибора в целом, исключая

возможность получения объективных данных измерений.

Применение в качестве держателя светоделительного элемента комбинации

подвижного столика и кинематического держателя, позволяющего выполнять точную

регулировку положения светоделителя, различных по угловым координатам, значительно

упростило сведение оптических путей лучей интерферометра.

В соответствии с классической моделью интерферометра Майкельсона, световая волна

от гелий-неонового лазера делится светоделительным кубиком на две волны, которые

распространяются в направлениях, перпендикулярных основаниям триэдров, лежащих в

основе опорного и измерительного плеч. Отраженные внутри триэдров волны, как

иллюстрирует рис. 4, возвращаются к светоделителю. Каждая из этих волн опять делится

по амплитуде, так что в выходной ветви интерферометра складываются две волны.

Результат интерференции этих волн попадает через объектив на ПЗС-матрицу,

сопряженную с персональным компьютером.

Рисунок 4. Схема оптических путей при использовании триэдров

Колебания, возбуждаемые этими волнами, будут усиливать друг друга, если

оптическая разность хода волн в плечах интерферометра равна целому числу длин волн, и

ослаблять друг друга, если разность хода равна нечетному числу длин полуволн. В первом

случае наблюдается максимум интерференции (светлые полосы), а во втором – минимум

интерференции (темные полосы) [3]. При сложении двух взаимно когерентных волн для

интенсивности результирующих колебаний можно получить формулу [3]

  1   2  2 1 2 cos(1,2 )
(1)

где 1   2 – интенсивности складываемых колебаний;

1,2
– разность фаз колебаний.

0
Смещение триэдра, установленного на торце испытываемого привода, на величину 2

сопровождается изменением интенсивности от максимума до минимума. Определяя число

0
таких осцилляций N, можно с точностью до 2 определить величину смещения зеркала,

используя формулу [2]

 0

2 (2)

 0 = 0,6329 мкм, длины волны

Для газового He-Ne лазера, выбранного и

установленного на стенд в качестве источника когерентного частотно-

стабилизированного излучения, расчетная точность измерения составляет ~ 0,3 мкм.

Для повышения автоматизации и точности расчетов была разработана начальная

версия расчетной программы в среде LabVIEW, показанная на рис. 5, позволяющая в

дальнейшем объединить в себе всю расчетную часть процесса проектирования и

отработки интерферометра, а также интерпретации полученных интерферограмм.

Рисунок 5. Окно расчетной программы

В качестве имитации работы разрабатываемого линейного привода, целью

отработки которого и было создание данной измерительной системы, а также для

предварительной юстировки, уточнения алгоритмов обработки и некоторых

коэффициентов, в оптомеханическую систему интерферометра введен линейный

моторизированный транслятор, показанный на рис. 6, совместно с управляющим

контроллером и специальным программным обеспечением обеспечивающий

высочайшую точность перемещений установленного на нем триэдра на субмикронном

уровне с контролем пройденного пути, осуществляемым за счет обратной связи по

положению, что позволяет считать указанное в задании перемещение выполненным

верно в пределах погрешностей, заявленных производителем. Такой транслятор

обеспечивает перемещение каретки с разрешением 0,156 мкм в режиме работы шагового

двигателя с дроблением шага в 8 раз. Такая заявленная точность является оптимальной

для разрабатываемой системы, так как практически совпадает с расчетной точностью

измерений перемещений, описанной выше.

Рисунок 6. Линейный транслятор

Обработка результатов измерений

С целью автоматизации выполняемых измерений, повышения их точности, а также

дальнейшей математической обработки была разработана система технического зрения

(рис. 7).
Рисунок 7. Окно программы системы технического зрения

Полученная круговая интерферограмма, представленная на рис. 8, вводится в

систему посредством камеры высокого разрешения. На полученном изображении

выбрана область, шириной не превышающая ширину темного кольца интерферограммы.

Рисунок 8. Интерферограмма

При осуществлении движения подвижного плеча, а следовательно, при

постоянном изменении интерференционной картины в выбранной области (рис. 9)

происходит постоянное изменение уровня освещенности и интенсивности цвета, в данном

случае – красной области спектра.

Рисунок 9. Темная и светлая полосы интерферограммы

В соответствии с разработанным алгоритмом, программа выполняет сравнение

интенсивности в выбранной области с заданным ранее в процессе отработки эталонным

значением, тем самым определяя прохождение темной или светлой полосы и представляя

их в бинарном виде – 1 или 0 соответственно. Далее программой выполняется подсчет

полученных бинарных значений, полученное число умножается на теоретически

полученный коэффициент и результат выводится в виде пройденного пути, измеряемого в

микронах, либо в любых других единицах на усмотрение пользователя программы.

Разработанный алгоритм, путем несложного реконфигурирования блок-схемы, а именно

введением не одной, а двух областей интереса и сравнения первого полученного значения

в каждой области при начале движения, позволяет получить также направление

перемещения.

Калибровка с целью подтверждения и уточнения таких характеристик

измерительной системы, как дискретность, повторяемость, накопленная погрешность и т.

д. возможна с помощью эталонного интерферометра промышленного образца,

отвечающего точностным требованиям, выполняющего одновременные с

разрабатываемым прибором измерения перемещения одной и той же оси, с последующим

сравнением результатов двух систем и предпочтением в сторону промышленной модели,

обеспечивающей характеристики, заявленные производителем в лабораторных условиях,

однако неспособной выполнить измерения в условиях и рамках поставленной задачи.

Основными физическими пределами, ограничивающими точность измерения

разработанной измерительной системы, являются погрешность счета изменений

интерференционной картины и относительная погрешность длины волны лазера [4].

При отработке конструкции и алгоритмов обработки информации, очевидно,

необходимо учесть такой немаловажный фактор, влияющий на погрешность длины волны

лазера, как показатель преломления в различных оптических средах, число которых в

данном случае будет составлять не менее трех – воздух, вакуум и оптическое стекло

смотрового окна термобарокамеры, через которое будет осуществляться измерение.

Принято считать относительную погрешность длины волны лазера в вакууме 10-10;

показатель преломления воздуха – 10-8; а физическими пределами точности измерения

длины – 0,01 мкм для больших расстояний и 1 нм – для малых. Основные факторы,

влияющие на нестабильность показателя преломления воздуха, – это температура,

влажность и давление. Применив современные цифровые датчики, включенные в

измерительную систему, и проведя ряд экспериментов с изменением давления и

температуры в термобарокамере, представляется возможным выполнить градуировку

датчиков с вводом их данных в математический комплекс измерительной системы,

вычисления показателя преломления каждой из участвующих в эксперименте сред и учета

вычисленных погрешностей при обработке результатов измерений.

Немаловажным является ожидаемая высокая повторяемость результатов

измерений за счет нечувствительности прибора к монтажу/демонтажу основных и

вспомогательных оптико-механических элементов. Такая нечувствительность возможна

благодаря относительной природы явления интерференции, а именно отсутствия базовой

или нулевой точки, являющейся началом отсчета при измерениях. Разработанная

измерительная система представляет собой некоторый аналог относительного

измерительного прибора, например, инкрементального оптического энкодера,

выполняющего приращение или декремент единицы измерения в соответствии со своей

дискретностью в зависимости от направления безотносительно начальной и конечной

точек пути. Такой принцип работы, в сравнении с абсолютным измерительным

прибором, индицирующим точное текущее положение измерительного элемента,

упрощает настройку, эксплуатацию и обслуживание устройства.

Выводы

Полученные в процессе проводимой в данный момент отработки и тарировки

измерительной системы результаты позволяют считать, что основная задача по

получению требуемой точности выполнена, однако следует учесть опыт предыдущих

поколений по разработке промышленных измерительных систем, а следовательно,

необходимо проведение ряда опытов по изменению температуры, давления окружающей

среды, а также выяснения устойчивости конструкции прибора к вибрационным

воздействиям при различных частотах, амплитудах и ускорениях, для дальнейшего

введения в систему датчиков измерения указанных величин и применения поправок на

них для повышения качества и достоверности измерений. Также возможна поверка

прибора силами специальных метрологических служб с помощью эталонного

интерферометра, что позволит подтвердить и уточнить полученные коэффициенты.

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

1. Индивидуальная калибровка высокоточных линейных приводов, предназначенных для

работы в условиях космического пространства / К. А. Комаров, Л. Б. Кочин, Д. А.

Хромихин, Н. Г. Яковенко. М.: Вопросы радиоэлектроники. 2016. № 8. С. 98–104.

2. Коротков Е. Б., Матвеев С. А., Яковенко Н. Г. Пути повышения качественных

показателей системы управления механизмом с параллельной структурой (гексапод,

трипод) на базе российских и мировых доступных электронных компонентов. М.:

Вопросы радиоэлектроники. 2016. № 8. С. 86.

3. Рябухо В. П., Лычагов В. В., Кальянов А. Л. Интерферометр Майкельсона с лазерным

источником света: руководство к лабораторной работе по курсу общей физики. Саратов:

ГОУ ВПО «Саратовский государственный университет им. Н. Г. Чернышевского». 2009. 4

c.

4. Принципы измерения расстояний и линейных перемещений [Электронный ресурс].

URL: http://www.e-ng.ru/fizika_referaty/principy_izmereniya_rasstoyanij_i.html (дата

обращения: 20.03.2017)

ИНФОРМАЦИЯ ОБ АВТОРАХ
Комаров Кирилл Аркадьевич, ведущий инженер, Балтийский государственный

технический университет «ВОЕНМЕХ» им. Д. Ф. Устинова, 190005, Санкт-Петербург, ул.

1-я Красноармейская, д. 1, тел.: 8 (950) 024-05-73, e-mail: komakirill@yandex.ru.

Хромихин Дмитрий Андреевич, ведущий инженер, Балтийский государственный

технический университет «ВОЕНМЕХ» им. Д. Ф. Устинова, 190005, Санкт-Петербург, ул.

1-я Красноармейская, д. 1, тел.: 8 (921) 588-22-77, e-mail: xpom_1@mail.ru.

Яковенко Николай Григорьевич, к. т. н., доцент, ведущий научный сотрудник,

Балтийский государственный технический университет «ВОЕНМЕХ» им. Д. Ф. Устинова,

190005, Санкт-Петербург, ул. 1-я Красноармейская, д. 1, тел.: 8 (911) 211-49-61,

e-mail: yakovenko_ng@mail.ru.

For citation: Komarov K. A., Khromikhin D. A., Yakovenko N. G. Development of the testbench for individual calibration of the linear

drives of hexapod. Voprosy radioelektroniki, 2017, no. 7, pp.

K. A. Komarov, D. A. Khromikhin, N. G. Yakovenko

DEVELOPMENT OF THE TESTBENCH FOR INDIVIDUAL CALIBRATION OF THE

LINEAR DRIVES OF HEXAPOD

The article is explained some questions of development of the testbench for carrying out

calibration drivers of a hexapod with high-precision laser interferometry method.

Keywords: hexapod, testbench, high-precision calibration, laser, interferometer.

REFERENCES

1. Komarov K. A., Kochin L. B., Hromikhin D. A., Yakovenko N. G. Индивидуальная

калибровка высокоточных линейных приводов, предназначенных для высокоточных

линейных приводов, предназначенных для работы в условиях космического пространства.

Moscow, Voprosy radioelektroniki, 2016, no. 8, pp. 98–104 (In Russian).

2. Korotkov E. B., Matveev S. A., Yakovenko N. G. Пути повышения качественных

показателей системы управления механизмом с параллельной структурой (гексапод,

трипод) на базе российских и мировых доступных электронных компонентов. Moscow,

Voprosy radioelektroniki, 2016, no. 8, pp. 86 (In Russian).

3. Ryabukho V. P., Lychagov V. V., Kalyanov A. L. Interferometr Majkel'sona s lazernym

istochnikom sveta :rukovodstvo k laboratornoj rabote po kursu obshhej fiziki. Saratov: GOU

VPO «Saratovskij gosudarstvennyj universitet im. N. G. Chernyshevskogo». [Интерферометр

Майкельсона с лазерным источником света :руководство к лабораторной работе по курсу

общей физики]. Saratov: GOU VPO «Saratovskiy gosudarstvenny universitet im. N. G.

Chernyshevskogo», 2009, 4 p. (In Russian).

4. [Принципы измерения расстояний и линейных перемещений] (In Russ.) Available at:

http://www.e-ng.ru/fizika_referaty/principy_izmereniya_rasstoyanij_i.html (accessed

20.03.2017)

AUTHORS

Komarov Kirill, lead engineer, Baltic State Technical University «VOENMEH», 1, 1st

Krasnoarmeyskaya st., Saint-Petersburg, 190005, Russian Federation, tel.: +7 (981) 688-32-47,

e-mail: komakirill@yandex.ru.

Khromikhin Dmitriy, lead engineer, Baltic State Technical University «VOENMEH», 1, 1st

Krasnoarmeyskaya st., Saint-Petersburg, 190005, Russian Federation, tel.: +7 (921) 588-22-77,

e-mail: xpom_1@mail.ru.

Yakovenko Nikolay, PhD, associate professor, leading scientific employee, Baltic State

Technical University «VOENMEH», 1, 1st Krasnoarmeyskaya st., Saint-Petersburg, 190005,

Russian Federation, tel.: +7 (911) 211-49-61, e-mail: yakovenko_ng@mail.ru.