Вы находитесь на странице: 1из 16

УДК 621.

389
Методика определения технологических параметров электронных пучков
в сварочных электронных пушках
Гончаров А.Л., Слива А.П., Терентьев Е.В., Портнов М.А., Чулков И.С.
Национальный исследовательский университет «МЭИ»

Аннотация
Работа посвящена исследованию возможностей определения параметров
мощных технологических электронных пучков по изображению свечения пучка
на остаточных газах в вакуумной камере. Для получения изображения в
видимом диапазоне спектра использовали цифровую фотокамеру.
Установлено, что данный способ может быть использован для
определения положения фокальной плоскости пучка, а также выявления
особенностей распределения плотности мощности. Приведены результаты
измерения параметров пучка на электронно-лучевой установке с
энергетическим комплексом ЭЛА 40И.

Abstract
Work is devoted to exploring the parameters of high-power electron beam
technology glow in the image beam on the residual gases in the vacuum chamber
determining possibilities. Digital camera is used to make images in the visible
spectrum.
The method is established to be used to determine the position of the beam
focal plane, as well as to identify power density distribution characteristics.
The beam parameters for electron-beam apparatus with energy complex ELA 40I
with an
electron gun measurements results are shown.

Ключевые слова: электронно-лучевая пушка, электронный пучок,


фокусировка, диагностика, световое излучение

Электронно-лучевая сварка и смежные технологии «НИУ «МЭИ»/17-20.11.2015 333


А.Л. Гончаров, А.П. Слива, Е.В. Терентьев, М.А. Портнов, И.С. Чулков Методика определения технологических
параметров электронных пучков в сварочных электронных пушках

Keywords: electron beam gun, electron beam, focus position, diagnostics,


light emission.

Электронные пучки находят применение для обработки материалов в


различных отраслях промышленности. Широкое применение электронные
пучки получили при обработке металлических материалов в процессах сварки,
пайки, перфорации, термической обработки и модификации поверхности и др.
Для выбора режима обработки и управления технологическим процессом
необходимо определять параметры электронного пучка при заданном режиме
работы технологического оборудования. К основным параметрам электронного
пучка, применяемого для обработки металлов относятся энергетические
характеристики (энергия электронов, ток электронного пучка) и
геометрические параметры пучка (форма оси и огибающих линий, дистанция
фокусировки, угол сходимости и расходимости пучка и др.). Энергетические
характеристики пучка и их стабильность в стационарном режиме работы
электронной пушки зависят, главным образом, от режима работы и уровня
стабилизации выходных характеристик источников электропитания. Важным
параметром пучка, определяющим характер его воздействия на
обрабатываемый металл и качество обработки, является плотность мощности,
определяемая как энергия пучка, передаваемая в материал в единицу времени
на единице площади его поверхности. Для определения плотности мощности в
пучке используют величину средней или максимальной плотности мощности в
сечении пучка, а также закон распределения плотности мощности по сечению
[1, 2, 3].
Традиционно большое внимание вопросам диагностики электронных
пучков уделялось в области физики пучков заряженных частиц и физике
плазмы, ускорительной технике и радиоэлектронике. Известно большое число
способов и технических решений для определения параметров электронных
пучков, генерируемых в различных устройствах, начиная от вакуумного диода

Электронно-лучевая сварка и смежные технологии «НИУ «МЭИ»/17-20.11.2015 334


А.Л. Гончаров, А.П. Слива, Е.В. Терентьев, М.А. Портнов, И.С. Чулков Методика определения технологических
параметров электронных пучков в сварочных электронных пушках

и заканчивая ускорителями заряженных частиц.


Коллекторные (зондовые) методы определения параметров пучка
основаны на регистрации сигналов проходящего тока при осаждении части
пучка на специальном электроде-зонде при взаимном перемещении зонда и
пучка. Основными недостатками этой группы методов являются ограничения
по мощности и минимальным размерам поперечного сечения диагностируемого
пучка, связанные с ограниченной стойкостью материала и минимальными
размерами зонда.
Другая группа методов диагностики электронных пучков основана на
использовании излучения различной природы. В качестве излучения,
содержащего информацию о структуре релятвистского пучка может быть
использовано оптическое свечение люминофоров, синхротронное излучение,
рентгеновское излучение, оптическое переходное излучение, и др.
Технологические электронные пучки с энергиями от 30 до 150 кэВ
являются нерелятивистскими и стационарными, поэтому большинство из
перечисленных видов излучения не может быть использовано для их
диагностики. Применение люминофорных экранов практически исключается в
силу высоких уровней плотности мощности (до 109 Вт/см2) и малых
поперечных размеров (<1 мм в сфокусированном пучке).
Большинство технологических процессов проводятся в среднем вакууме,
при давлениях остаточных газов порядка 10-1-10-3Па, а в некоторых случаях и
при более высоких давлениях, поэтому наличие достаточного количества
частиц в пространстве дрейфа пучка приводит к генерации излучения за счет их
ионизации электронами пучка. Вместе с тем, по результатам ряда
исследований, степень ионизации газа при указанных давлениях остается не
значительной и в образованной слабоионизированной плазме отсутствует
возбуждение излучения вторичным частицами. При выполнении этих условий
можно предположить, что интенсивность свечения пучка в оптическом
диапазоне в какой-либо точке будет пропорциональна плотности тока пучка в
той же точке. Таким образом, регистрируя изображение свечения пучка,

Электронно-лучевая сварка и смежные технологии «НИУ «МЭИ»/17-20.11.2015 335


А.Л. Гончаров, А.П. Слива, Е.В. Терентьев, М.А. Портнов, И.С. Чулков Методика определения технологических
параметров электронных пучков в сварочных электронных пушках

проходящего в пространстве дрейфа в зону обработки в отсутствии


обрабатываемого изделия можно восстановить профиль пучка и определить его
геометрические параметры.
Методика эксперимента
Исследования проводили на технологической установке для
электроннолучевой сварки, оснащенной электронной пушкой с
термоэмиссионным катодом и энергоблоком инверторного типа ЭЛА 15И.
Электронная пушка выполнена по трехэлектродной схеме с косвенным
подогревом основного дискового катода из гексаборида лантана (рис. 1).
Для получения изображения использовали цифровую фотокамеру с
длиннофокусным объективом, расположенную вне вакуумной камеры.
Параметры фотосъемки подбирали опытным путем. Для предотвращения
засветки снимка световым излучением из зоны взаимодействия пучка с
материалом использовали мишень специальной конструкции. Фотосъемку
проводили при стационарных параметрах электронного пучка. Для определения
масштаба получаемого изображения производили съемку масштабной линейки
с ценой деления 0,5 мм в отсутствие электронного пучка, размещая ее в поле
зрения фотокамеры.

Рис. 1. Конструкция электронного генератора пушки


Полученные изображения пучка предварительно обрабатывали в
графическом редакторе, а также проводили математическую обработку

Электронно-лучевая сварка и смежные технологии «НИУ «МЭИ»/17-20.11.2015 336


А.Л. Гончаров, А.П. Слива, Е.В. Терентьев, М.А. Портнов, И.С. Чулков Методика определения технологических
параметров электронных пучков в сварочных электронных пушках

исходных изображений для количественного определения параметров пучка.


На рис. 2 приведены фотографии пучка после предварительной обработки, на
изображении скорректирована экспозиция изображения на 2,5 ступени для
улучшения визуального восприятия.

б
Рис. 2. Фотографии электронного пучка до (а) и после обработки (б), ток
пучка 10 мА, ток фокусировки 815 мА, ток бомбардировки 30 мА; направление
движения электронов- слева направо
Вместе с тем, количество света из каждой точки пучка, зафиксированное
сенсором, пропорционально числу актов взаимодействия падающего
(первичного) электронного пучка с ионами и атомами остаточных газов,
которое, в свою очередь, пропорционально плотности тока пучка в данной
точке пространства. Последнее предположение справедливо, когда плотность
распределения частиц остаточных газов в пространстве распространения пучка
остается равномерной.
Далее, каждое изображение пучка подвергалось математической
обработке в среде Mathcad. Идея такой обработки заключается в
предположении, что яркость пиксела на изображении, прямо пропорциональна
интенсивности светового излучения, падавшего на светочувствительный
элемент за время экспозиции. Данное утверждение правомерно при условии,
что характеристическая кривая сенсора представляется прямой линией.
Следует отметить, что получаемое изображение является интегральной
проекцией пучка на плоскость детектора (рис. 3). Таким образом, изображение
несет информацию о распределении плотности тока сразу во всех сечениях
пучка, параллельных плотности детектора.

Электронно-лучевая сварка и смежные технологии «НИУ «МЭИ»/17-20.11.2015 337


А.Л. Гончаров, А.П. Слива, Е.В. Терентьев, М.А. Портнов, И.С. Чулков Методика определения технологических
параметров электронных пучков в сварочных электронных пушках

u(x)

i(x,y)

Плоскость сенсора
y x

Рис. 3. Схема формирования проекции трехмерного распределения на


плоской поверхности сенсора
Для восстановление информации о распределении плотности тока во всем
пучке j(x,y,z) или в каком либо его сечении j(x,y) при заданном z необходимо
решить задачу трех- или двухмерной томографической реконструкции [4, 5].
Для решения подобной задачи без введения априорных предположений о виде
восстанавливаемой функции необходимо получить хотя бы несколько проекций
объекта, однако даже по единственной проекции пучка оказалось возможным
определить ряд количественных характеристик пучка.
Однако если предположить, что пучок имеет аксиальную форму, т.е.
распределение интенсивности светового потока, пропорциональное плотности
тока j(r), в любом радиальном сечении одинаково и описывается функцией i(r),
то для восстановления неизвестной функции i(r) может быть использовано
обратное интегральное преобразование Абеля над функцией проекции
интегрального светового потока, регистрируемого сенсором u(x):

(1)
Для случая, когда распределение интенсивности в регистрируемой
проекции описывается законом нормального распределения

, (2)

Электронно-лучевая сварка и смежные технологии «НИУ «МЭИ»/17-20.11.2015 338


А.Л. Гончаров, А.П. Слива, Е.В. Терентьев, М.А. Портнов, И.С. Чулков Методика определения технологических
параметров электронных пучков в сварочных электронных пушках

несложно показать, что восстановленная функция распределения


интенсивности светового излучения в радиальном сечении пучка также
описывается законом нормального распределения. Восстановленная функция
аналитически описывается выражением:

(3)
Отличие функций проекции интенсивности и восстановленного профиля
интенсивности в радиальном сечении состоит в различных значениях
амплитуды распределения, которая для восстановленной функции оказывается
меньше, чем для проекции. Это объясняется тем, что проекция содержит сумму
сигналов интенсивностей из всех сечений параллельных плоскости проекции.
Отношение значений регистрируемой и восстановленной функций в
каждой точке для случая нормального распределения оказывается постоянным:

(4)
Это позволяет сделать вывод о том, что если на изображении проекции
пучка распределение яркости пикселя вдоль оси х описывается законом
нормального распределения, то значение яркости пикселя в каждой точке этого
распределения соответствует значению плотности тока первичного
электронного пучка с точностью до некоторого множителя k.
В случае если значение стандартного отклонения принять σ=1, то
значение множителя составит:

(5)

Результаты исследования
Установлено, что в области сходящегося пучка он имеет четкие границы
(рисунок 4), причем положение границы не зависит от величины экспозиции
при съемке, что указывает на действительное наличие границы, а не на
маскировку ее вследствие недостаточной экспозиции.

Электронно-лучевая сварка и смежные технологии «НИУ «МЭИ»/17-20.11.2015 339


А.Л. Гончаров, А.П. Слива, Е.В. Терентьев, М.А. Портнов, И.С. Чулков Методика определения технологических
параметров электронных пучков в сварочных электронных пушках

I, отн. ед. +1 EV
+0,5 EV
0 EV
-0,5 EV
-1 EV

Расстояние от края изображения, x, мм


а б
Рис. 4. Профили яркостей пучка (ток пучка 10 мА, ток фокусировки 815
мА, ток бомбардировки 30 мА) в сечении фокуса при различных значениях
смещения экспозиции (а); увеличенное изображение границы пучка (б)
Исследование изображений реальных пучков позволило выявить
некоторые их особенности. На рис. 5 показан результат разложения
изображения реального электронного пучка, приведенного на рис. 2 по каналам
в цветовом пространстве RGB. Из рисунка видно, что наиболее «сильным»
является синий канал, а изображение в этом канале обладает наибольшей
контрастностью, поэтому дальнейшие преобразования проводили над
изображением синего канала, рис. 5.

а б в г
Рис. 5. Изображение пучка (рис. 2) в разложении по каналам цветности: а – исходное
изображение; б – красный канал (Red); в – зеленый канал (Green); г – синий канал (Blue)

Электронно-лучевая сварка и смежные технологии «НИУ «МЭИ»/17-20.11.2015 340


А.Л. Гончаров, А.П. Слива, Е.В. Терентьев, М.А. Портнов, И.С. Чулков Методика определения технологических
параметров электронных пучков в сварочных электронных пушках

На рис. 5 намеренно изменены пропорции изображения путем изменения


масштаба по горизонтали. Это позволяет отчетливо выявлять область
минимального поперечного сечения пучка, а также особенности его строения. В
данном случае заметно смещение вправо области с высокой плотностью тока в
расходящейся части пучка, обусловленное нарушением юстировки оптической
системы.
Положение «фокальной» плоскости определяли по расстоянию от края
корпуса пушки до середины области с максимальной яркостью пучка. Для
определения положения области максимальной яркости проводили обработку
изображения в графическом редакторе. На рис. 6 показано исходное
изображения пучка и изображения после обработки, а также профили
распределения яркости пикселей в различных сечениях. На рисунке 6 показана
зависимость фокусного расстояния от тока фокусировки при постоянном
значении тока пучка.

Электронно-лучевая сварка и смежные технологии «НИУ «МЭИ»/17-20.11.2015 341


А.Л. Гончаров, А.П. Слива, Е.В. Терентьев, М.А. Портнов, И.С. Чулков Методика определения технологических
параметров электронных пучков в сварочных электронных пушках

Рис. 6. Фотография электронного пучка в исходном состоянии и после


обработки; профили интенсивности в различных сечениях пучка; ток пучка
Ib=50 мА
А.Л. Гончаров, А.П. Слива, Е.В. Терентьев, М.А. Портнов, И.С. Чулков Методика определения технологических
параметров электронных пучков в сварочных электронных пушках

Рис. 7. Зависимость расстояния фокусировки пучка от тока фокусировки


при токе пучка 50 мА (1) и 20 мА (2)
На рис. 8 показаны профили интегральной проекции интенсивности
излучения пучка, рассчитанные в различных сечениях для двух значений тока
бомбардировки дискового катода. Изображение было получено в сходящейся
части электронного пучка, ток пучка составлял 48 мА, ток фокусировки – 715
мА. Такой режим работы электронной пушки обеспечивал диаметр пучка
порядка 12 мм в области съемки.
При токе бомбардировки 30 мА пучок имеет отчетливый провал
плотности тока в центральной части, причем координата минимума плотности
тока смещена влево на величину около 1,5 мм. При увеличении тока до 46 мА
провал плотности тока в центральной части уменьшается, при этом
наблюдаются множественные локальные минимумы и максимумы плотности
тока.

Электронно-лучевая сварка и смежные технологии «НИУ «МЭИ»/17-20.11.2015 343


А.Л. Гончаров, А.П. Слива, Е.В. Терентьев, М.А. Портнов, И.С. Чулков Методика определения технологических
параметров электронных пучков в сварочных электронных пушках

I, отн. ед.

x, мм
а
I, отн. ед.

x, мм
б
Рис. 8. Профили интенсивности интегральной проекции пучков (фото
2101 и 2102) Ib=48 мА, If=715 мА (справа показано изображение пучка и
сечения, в которых строились профили): а – ток бомбардировки Ih=30 мА; б –
Ih=46 мА

Обсуждение результатов
Эффект влияния тока бомбардировки на распределение плотности

Электронно-лучевая сварка и смежные технологии «НИУ «МЭИ»/17-20.11.2015 344


А.Л. Гончаров, А.П. Слива, Е.В. Терентьев, М.А. Портнов, И.С. Чулков Методика определения технологических
параметров электронных пучков в сварочных электронных пушках

мощности может иметь следующие основные причины:


1. Влияние объемного пространственного заряда пучка; известно, что при
определенных условиях траектории приосевых электронов в области
катода могут отдаляться друг от друга под действием кулоновских сил
расталкивания. Однако при исследуемых токах пучка значение этого
эффекта незначительно.
2. Слишком близкое расположение кроссовера к катоду, вследствие чего
траектории электронов в области кроссовера сходятся и расходятся под
большими углами и в области анода в приосевой части пучка
наблюдается снижение плотности тока. Увеличение тока бомбардировки
увеличивает температуру основного катода, а также начальную скорость
электронов, что приводит к отдалению кроссовера и выравниванию
плотности тока по сечению.
3. Изменение плоской формы поверхности катода, например, вследствие
ионной бомбардировки. Вогнутая поверхность в центральной части
катода также изменяет угол сходимости и положение кроссовера,
приближая его к катоду, что также способствует появлению минимума
плотности тока в приосевой части пучка.
4. Вне зависимости от действительных причин появления провала в
центральной части пучка с практической точки зрения для получения
более равномерного распределения можно рекомендовать использовать
близкие к максимальным значения тока бомбардировке вне зависимости
от тока пучка. Для рассматриваемой пушки максимальное значение тока
бомбардировки составляет 50 мА.
5. В целом, предлагаемый способ оценки параметров электронных пучков
может использоваться для контроля работы технологического
оборудования, например, для оценки точности юстировки пушки, а также
состояния катода по характеру распределения плотности мощности.
Кроме того, полученные зависимость параметров пучка от режима
работы электронной пушки могут быть использованы при выборе
параметров технологического процесса для сокращения объема работ по

Электронно-лучевая сварка и смежные технологии «НИУ «МЭИ»/17-20.11.2015 345


А.Л. Гончаров, А.П. Слива, Е.В. Терентьев, М.А. Портнов, И.С. Чулков Методика определения технологических
параметров электронных пучков в сварочных электронных пушках

экспериментальной отработке режимов сварки. К преимуществам


способа относится возможность диагностирования пучков большой
мощности, в то время как зондовые методы имеют ограничение по
мощности пучка, связанные с опасностью разрушения зондов. На
настоящее время проведены эксперименты по диагностике пучков
мощностью до 6 кВт. В дальнейшем планируется продолжить
эксперименты для пучков мощностью до 30 кВт.
Выводы
1. Предложен метод оценки некоторых технологических параметров
электронного пучка (угол сходимости, дистанция фокусировки),
применяемого для целей сварки металлов, выполнены эксперименты по
диагностике пучка мощностью от 600 Вт до 6 кВт.
2. Установлено, что характер распределения плотности тока в пучке в
значительной мере зависит от режима нагрева основного катода, так,
например, при низких токах бомбардировки в центральной части пучка
наблюдается провал плотности тока при сохранении внешних контуров и
размеров пучка.
Литература
1. Зуев И.В., Рыкалин Н.Н., Углов А.А. Основы электронно-
лучевой обработки материалов, Москва, Машиностроение, 1978, 239 с.
2. Назаренко О.К., Кайдалов А.А., Ковбасенко С.Н. Электронно-
лучевая сварка, Киев, 1987, 256 с.
3. Trushnikov D.N., Belenkiy V.Y., Koleva E.G., Mladenov G.M.
Effect of beam deflection oscillations on the weld geometry // Journal of
Materials Processing Technology. 2013. Т. 213. № 9. С. 1623-1634.
4. Pikalov V.V., Nepomnyaschiy A.V. Iterative algorithm with
wavelet filtering in the problem of two-dimensional tomography,
Computational methods and programming, new computing technologies, 2003,
Vol. 4, № 1, pages 244-253.
5. T.A. Palmer, J.W. Elmer Improving process control in electron
beam welding using the enhanced modified faraday cup // Journal of

Электронно-лучевая сварка и смежные технологии «НИУ «МЭИ»/17-20.11.2015 346


А.Л. Гончаров, А.П. Слива, Е.В. Терентьев, М.А. Портнов, И.С. Чулков Методика определения технологических
параметров электронных пучков в сварочных электронных пушках

manufacturing science and engineering, 2008, Vol. 130/041008.

Электронно-лучевая сварка и смежные технологии «НИУ «МЭИ»/17-20.11.2015 347


А.Л. Гончаров, А.П. Слива, Е.В. Терентьев, М.А. Портнов, И.С. Чулков Методика определения технологических
параметров электронных пучков в сварочных электронных пушках

6.