Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение

высшего образования «Московский государственный технический университет имени Н.Э.

Баумана»
(национальный исследовательский университет)
(МГТУ им. Н.Э. Баумана)

Факультет Энергомашиностроение______________________

Кафедра ___________Плазменные энергетические установки_____________

Отчет по лабораторной работе

Студент _________________________________________________________
(фамилия, имя, отчество)

Группа __________________________________________________________

Название дисциплины _______Плазмодинамика_____________________________

Название лабораторной работы: “Кривые Пашена”.

Преподаватель _____________________ _____________

Фамилия И.О. подпись

Москва 2020
 СОДЕРЖАНИ

ВВЕДЕНИЕ..................................................................................................................3
ОСНОВНАЯ ЧАСТЬ...................................................................................................4
1 Теоретическая часть.................................................................................................4
1.1 Газовый разряд......................................................................................................4
1.2 Структура тлеющего разряда...............................................................................4
1.3 Энергетическая ионизация...................................................................................5
1.3.1 Коэффициент ионизации...................................................................................6
1.3.2 Эффективное сечение........................................................................................7
1.3.3 Сечение ионизации.............................................................................................8
1.4 Эмиссия с электродов...........................................................................................9
1.5 Кривые Пашена...................................................................................................11
2 Практическая часть................................................................................................13
2.1 Описание экспериментального стенда..............................................................13
2.2 Методика эксперимента......................................................................................14
2.3 Экспериментальные данные...............................................................................15
2.4 Построение кривых Пашена...............................................................................16
2.5 Тлеющий разряд между электродами в форме шаров.....................................18
ЗАКЛЮЧЕНИЕ.........................................................................................................19
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ................................................20

2
 ВВЕДЕНИЕ
В данной лабораторной работе рассматриваются: понятие кривых
Пашена, структура тлеющего разряда и процессы, протекающие на электродах.
Цель данной лабораторной работы – построить кривые Пашена тлеющего
разряда.
Задачами лабораторной работы были:
1) Познакомиться с понятием «кривые Пашена»;
2) Изучить структуру тлеющего разряда;
3) Изучить процессы, протекающие на электродах в тлеющем разряде;
4) Ознакомиться с экспериментальным стендом;
5) Получить экспериментальные данные;
6) Построить и проанализировать полученные кривые Пашена.
Оборудование: вакуумная камера, источник питания, 5 пар электродов с
разным межэлектродным расстоянием, вольтметр, вакуумметр, система подачи
газа, система контроля расхода газа, три ключа.

3
 ОСНОВНАЯ ЧАСТЬ
1 Теоретическая часть
1.1 Газовый разряд
Термином газовый разряд объединяются все явления, связанные с
прохождением электрического тока через газ [1]. Обычно он происходит между
проводящими электродами, создающими конфигурацию электрического поля,
однако наличие электродов не обязательно (высокочастотный, тороидальный
разряд).
При небольших напряжениях между холодными электродами и в
достаточно однородном электрическом поле основным типом разряда является
тлеющий разряд. Он характеризуется значительным (100 ‒ 300 В) катодным
падением потенциала [2].
В этом типе разряда катод испускает электроны под действием
заряженных частиц (ионов), а тепловые явления не играют роли в поддержании
разряда.
Электрический ток возникает вследствие направленного движения
электронов между электродами. Небольшое количество свободных электронов
присутствует в газе по причине естественной радиоактивности и космического
излучения. Но этого количества недостаточно для протекания тока. Разряд или
ток, возникающий при наличии дополнительного источника тока называют
несамостоятельным. Если разряд не нуждается в поддержании его зарядами, он
называется самостоятельным.
В самостоятельном разряде свободные электроны ускоряются
электрическим полем, достигают энергии ионизации и выбивают электроны из
атомов, которые повторяют этот цикл. Такой процесс называется электронной
лавиной.
1.2 Структура тлеющего разряда
В общем случае, тлеющий разряд можно разделить на 3 области:
прикатодная область, положительный столб, прианодная область.

4
 Прикатодная область тлеющего разряда имеет специфическую
плазменную структуру. Между катодом и положительным столбом
располагается 5 слоев (рисунок 1). Это:
1) астоново темное пространство;
2) катодное свечение;
3) круксово темное пространство;
4) отрицательное (или тлеющее) свечение;
5) фарадеево темное пространство.

Рисунок 1 – Структура тлеющего разряда [3]

Положительный столб тлеющего разряда, в случае, когда рабочим
веществом являются благородные газы, часто бывает слоистым. Эти слои
называются стратами.
Прианодные слои тлеющего разряда возникают при контакте
положительного столба с токоприемным металлическим анодом. В случае со
слаботочными разрядами, для прианодного слоя характерен переход
положительного столба в темное анодное пространство, а на самом аноде
образуется яркая пленка, покрывающая его. Сущность явления заключается в
том, что при подходе к аноду электроны набирают энергию, достаточную для
ионизации нейтралов.
1.3 Ударная ионизация
Столкновения атомных частиц могут иметь упругий и неупругий
характер. При упругом соударении меняются направления движения партнеров,
происходит обмен импульсом и кинетической энергией, но внутренние энергии
и состояния частиц остаются неизменными. При неупругом ударе внутренняя
энергия и состояние одной из частиц (реже – обеих) изменяются [4].

5
 К неупругим столкновениям так же можно отнести и такие столкновения,
которые сопровождаются не только превращением энергии, но и превращением
самих частиц (ионизация).
Ионизация – процесс образования ионов из нейтральных атомов. Она
бывает трех типов: ударная ионизация, фотоионизация и термоионизация.
Рассмотрим ударную ионизацию. Ударная ионизация – соударение
электрона с нейтральным атомом или молекулой. Если к промежутку между
электродами в газе приложено напряжение, то заряженные частицы, кроме
тепловой скорости, приобретают под действием электрического поля
направленную скорость, при этом кинетическая энергия частиц может быть
существенно больше тепловой энергии и достаточной для осуществления
ударной ионизации нейтральных частиц.
Положительно заряженный ион образуется, если электрод в молекуле
получает достаточную энергию (эта энергия называется энергией ионизации)
для преодоления потенциального барьера, равную потенциалу ионизации.
Потенциал ионизации – энергия, необходимая для отрыва электрона от
атома или иона [2]. Значения потенциала ионизации для некоторых газов
приведены в таблице 1.
Таблица 1 – Потенциалы ионизации атомов
Атомный Химический Потенциал
номер символ ионизации, эВ
5 B 8,296
22 Ti 6,830
56 Ba 5,210
60 Nd 6,310
69 Tm 6,140

1.3.1 Коэффициент ионизации

В постоянном поле электронная лавина развивается не только по
времени, но и в пространстве. Поэтому удобнее характеризовать скорость

6
ионизации не частотой, а ионизационным коэффициентом α, который
называется ионизационный коэффициент Таунсенда.
Путем многочисленных экспериментов, коэффициент Таунсенда был
измерен для многих газов (рисунок 2).

Рисунок 2 – Ионизационный коэффициент α в He и воздухе, как функция

отношения E/p [4].
При теоретических и численных исследованиях разрядов широко
пользуются удобной эмпирической формулой, предложенной Таунсендом:

α = A p exp ( −Bp
E )
. (1)

Постоянные A и B определяются путем аппроксимации

экспериментальных кривых.
1.3.2 Эффективное сечение
Эффективное сечение – мера вероятности индивидуального акта
определенного рода (ионизации). Эффективное сечение прямо
пропорционально размеру и энергии атома, и обратно пропорционально
концентрации атомов. Значения эффективного сечения для некоторых газов
даны в таблице 2.
Таблица 2 – Эффективное сечение газов
Газ σ, 10-15 см2
He 1,45

7
 Ne 3,93
Ar 4,02

Сечения взаимодействия бывают нескольких видов:

Сечение упругих столкновений - как правило, гораздо больше сечения
неупругих столкновений. Они зависят от скорости электрона и определяются
действием на электрон сложного силового поля атома.
Транспортное сечение – площадь поперечного сечения рассеивающего
центра, который полностью поглощает продольный импульс частиц.
Поляризационное сечение – сечение упругого рассеяния медленных
ионов с энергиями порядка тепловой.
Дифференциальное сечение равно отношению эффективного сечения к
элементу телесного угла.
Кулоновское сечение – сечение рассеивания нерелятивистских
заряженных частиц в телесный угол в кулоновском поле другой частицы.
Сечение ионизации – эффективная площадь поперечного сечения
нейтральной частицы, в которую должен попасть электрон, чтобы произошла
ионизация этой частицы.
1.3.3 Сечение ионизации
На рисунке 3 представлены измеренные на опыте сечения ионизации.

8
 Рисунок 3 - Вероятности и сечения ионизации атомов He, Ne, Ar и
молекул H, N2 электронным ударом в широком диапазоне энергии электронов.
Чаще всего электронов с большой энергией в газе бывает мало, поэтому
их роль в ионизации невелика. Вблизи порога сечения неплохо
аппроксимируются прямой:

σ =Ci ( ε −I ) , (2)

где ε – энергия электрона, эВ (ε ⩾ I);

C i – коэффициент пропорциональности, характеризующий наклон кривых

сечения ионизации (для аргона CiAr = 2×10-17), см2/эВ;

I – потенциал ионизации, эВ.

Иногда существенную роль играет ионизация возбужденных атомов,

составляющая заключительную часть ступенчатой ионизации (сначала
электроны возбуждают атомы, потом ионизируют их). Ее преимущество в том,
что в обоих актах ступенчатой ионизации могут участвовать более медленные
электроны, и сечения ионизации возбужденных атомов при небольшом
превышении ε над порогом значительно больше, чем невозбужденных.
1.4 Эмиссия с электродов
Как уже было сказано, основным источником зарядов для тлеющего
разряда является вторичная электронная эмиссия с холодного катода.
Эффективность этой эмиссии описывается коэффициентом вторичной ион-
электронной эмиссии βie.
Формула для расчета этого коэффициента:

n e ie
β ie= = ,
ni ii
(3)

где n e – количество эмитированных электронов, штук,

ni – количество падающих на катод ионов, штук,

i e –электронный ток, А,

i i – ионный ток, А.

9
 Ион-электронная эмиссия происходит по двум основным сценариям:
потенциальное и кинетическое вырывание электронов. Потенциальное
вырывание происходит при малых энергиях ионов. Механизм данного процесса
заключается в следующем: при приближении иона к катоду он искажает
потенциальный барьер, и электрон катода туннелирует на один из атомных
уровней. При релаксации атома выделившейся энергии хватает для вырывания
электрона в вакуум. Механизм кинетического вырывания основан на передаче
кинетической энергии иона атому катода, достаточной для вырывания
электрона. Обычные значения βie ~ 10-1 – 10-3 [4].
Кроме электрона, ион может выбить из катода нейтральный атом. Этот
процесс называется распыление. Распыление характеризуется коэффициентом
распыления S. Он зависит от энергии падающих частиц, их массы и от массы
материала мишени. Этот коэффициент можно рассчитать по формуле:

na
S=
ni
, (4)

где n a – число вылетевших атомов, шт,

ni – число упавших на катод ионов, шт.

Значения коэффициента распыления для трех материалов мишени

представлены в таблице 3.
Таблица 3 – Значение коэффициента распыления для разных материалов
Материал мишени S
Al 0,83
Fe 0,97
Cu 2,00

Рассмотрим простую модель распыления: при столкновении иона с

атомом кристаллической решетки катода, ион передает ему энергию и импульс.
Если энергия, полученная атомом, больше энергии связи и импульс направлен

10
от катода, то атом может вырваться с катода. Механизм распыления
представлен на рисунке 4.

Рисунок 4 – Механизм распыления атомов с поверхности [5]

1.5 Закон Пашена
Представим себе электрическую цепь, состоящую из источника питания,
двух электродов и пространства между ними, заполненное газом. Далее мы
будем поднимать напряжение между электродами до тех пор, пока не
произойдет электрический пробой. Напряжение Ut называется пробивающим
напряжением. Оно, вместе с полем пробоя Et, зависят от рода газа, материала
катода, давления и длины разрядного промежутка.
Запишем условие самостоятельности разряда:

γ ( e αd−1 ) =1 , αd=ln ( 1γ +1 ). (5)

где γ – количество вырванных с электрода электронов,

d – длина разрядного промежутка.

Чтобы определить зависимость, подставим выражение (1) в выражение

(5) и получим:

B ( pd ) E B A
Ut= , t= ,C=ln .
C+ ln ⁡( pd) p C+ ln ⁡( pd) 1
ln ⁡(1+ )
(6)
γ

Кривые Пашена для разных газов представлены на рисунке 5.

11
 Рисунок 5 – Потенциал зажигания в различных газах в широком диапазоне
значений pd (кривые Пашена) [4]
Кривые Пашена – экспериментальные зависимости Vt(pd). Наблюдая
кривые Пашена можно сделать вывод, что существует минимальное
напряжение пробоя разрядного промежутка.

12
 2 Практическая часть
2.1 Описание экспериментального стенда
В процессе работы на экспериментальном стенде были получены
тлеющие разряды, у которых были замерены напряжения пробоя.
Экспериментальный стенд, схема которого показана на рисунке 6, состоит из
нескольких конструктивных элементов: форвакуумный насос 1, затвор 4,
вакуумная камера 2 с электродами 3, в качестве источника питания
использовался источник постоянного напряжения 7. Для измерения показаний
использовались: вольтметр 5, вакуумметр 8 термопарный ВИТ-2. В качестве
рабочего тела в эксперименте использовался воздух и аргон.
Общий вид стенда представлен на рисунке 7.

1 – форвакуумный насос, 2 – вакуумная камера, 3 – электроды, 4 –затвор, 5 –

вольтметр, 6 – электрические ключи, 7 – источник напряжения, 8 – вакуумметр
термопарный, 9 –клапан напуска, 10 – заземление
Рисунок 6 – Схема экспериментального стенда

13
 Рисунок 7 – Общий вид стенда
Внутри вакуумной камеры располагались 4 трубки с разным
межэлектродным расстоянием (таблица 4).
Таблица 4 – Межэлектродное расстояние для трубок
d1, мм d2, мм d3, мм d4, мм
40 30 20 320

2.2 Методика эксперимента

В вакуумную камеру были помещены 5 пар электродов. 4 негерметичные
трубки, имеющие разные расстояния между электродами, и два шара.
В вакуумной камере, заполненной воздухом, с помощью форвакуумного
насоса давление снижалось до определенного значения. Затем ключ на 4 трубки
замыкался и на электроды подавалось напряжение.
Далее поднимали напряжение при постоянном давлении и наблюдали
электрический пробой в трубках, отмечая, при каких значениях напряжения и
давления, и в какой из трубок он происходил.
Ключ размыкался, снова снижали давление, и повторяли предыдущий
пункт.
После того, как данные были получены для трех давлений воздуха, газ в
вакуумной камере заменялся на аргон, и эксперимент повторялся.

14
 Рисунок 8 – Тлеющий разряд в трубках
2.3 Экспериментальные данные
После подачи на электроды напряжения и дальнейшем его увеличении,
мы наблюдали последовательные электрические пробои в трубках.
В итоге нами были получены следующие экспериментальные данные:
Для воздуха:
P1=1,5 ×10−1 мм . рт . ст .,

P2=1 ×10−1 мм . рт . ст .,

P3=8× 10−2 мм. рт . ст.;

В таблице 5 представлены значения напряжения пробоя при

определенных условиях для воздуха.
Таблица 5 – Экспериментальные значения напряжения пробоя для воздуха
d1 d2 d3 d4
P1 460 В 460 В 494 В 887 В
P2 518 В 518 В 655В 870 В
P3 621 В 621 В - 868 В

Для аргона:
P1=1 ×10−1 мм . рт . ст. ,

P2=8 × 10−2 мм . рт . ст.,

P3=6 × 10−2 мм . рт . ст.;

15
 В таблице 6 представлены значения напряжения пробоя при
определенных условиях для воздуха.
Таблица 6 – Экспериментальные значения напряжения пробоя для аргона
d1 d2 d3 d4
P1 383 В 383 В 383 В 572 В
P2 365 В 365 В 512 В 653 В
P3 431 В 431 В 948 В 658 В

2.4 Построение кривых Пашена

Из-за недостаточного количества опытов, точек для построения гладких
кривых было недостаточно. Поэтому полученные точки на графике
аппроксимировали методом наименьших квадратов.
Функции с малым количеством экстремумов лучше всего соответствует
полиномиальная функция. Ее степень мы определили по количеству
экстремумов. Для кривой с одним экстремумом подойдет полиномиальная
функция второй степени вида:

f ( x )=a0 +a1 x+ a2 x 2 , (7)

где a – полиномиальные коэффициенты.

На рисунке 9 и 10 представлены построенные по экспериментальным
точкам кривые Пашена для воздуха и аргона соответственно.

16
 1000
900
800
700
600
U,В

500
400
300
200
100
0
0 5 10 15 20 25 30 35

p×d, мм.рт.ст.×мм

Рисунок 9 – График зависимости U(pd) для воздуха

700

600

500

400
U,В

300

200

100

0
0 5 10 15 20 25 30

p×d, мм.рт.ст.×мм

Рисунок 10 – График зависимости U(pd) для аргона

На основе экспериментальный данных были построены две кривые: для
воздуха и для аргона. Из-за большого отклонения напряжения пробоя (в два
раза, по сравнению с ближайшими значениями), некоторые точки не были
учтены.
На экспериментальных графиках мы можем увидеть, что существует
минимальное напряжение пробоя (отмечены квадратом на графике).
17
 Для воздуха U tmin ≈ 250 В.
Для аргона U tmin ≈ 225 В.
2.5 Тлеющий разряд между электродами в форме шаров
В этом эксперименте мы зажигали тлеющий разряд между двумя шарами,
помещенными в вакуумную камеру.
На шаре справа (катод) мы могли наблюдать отрицательное свечение и
положительный столб, а у поверхности анода – анодное свечение, возникающее
в месте контакта положительного столба тлеющего разряда с металлическим
анодом.
Наличие анодного пятна связано с анодным падением потенциала ∆ V A >0.
Механизм появления светящейся пленки понятен: подходя к аноду, электроны
набирают энергию, достаточную для ионизации нейтралов. В отличие от
свечения на катоде, на аноде оно неравномерно по площади электрода.
Сначала разряд зажигался в аргоне, потом в воздухе.
На рисунке 11 представлен тлеющий разряд между двумя шарами-
электродами.

Рисунок 11 – Тлеющий разряд между электродами в форме шаров

18
 ЗАКЛЮЧЕНИЕ
В ходе лабораторной работы познакомились с понятием кривых Пашена,
изучили структуру тлеющего разряда и процессы, протекающие на электродах.
Также мы ознакомились с экспериментальным стендом и получили
экспериментальные данные о напряжении пробоя в газе для воздуха и аргона.
Построили экспериментальные кривые Пашена и сделали вывод о
наличии минимального напряжения зажигания, равном 250 В для воздуха и
210 В для аргона. Наличие минимального напряжения пробоя может быть
связано с тем, что вследствие сложной структуры и механизма тлеющего
разряда, такие параметры как давление и межэлектродное расстояние, а также
их совокупность, имеют определенную конфигурацию, при которой зажигание
тлеющего разряда потребует минимума напряжения между электродами.

19
 СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ
1. Гутенберг Б. Физика земных недр. Пер с англ. М., Изд-во иностр.
Лит., 1963.
2. Таблицы физических величин. Справочник. Под ред. Акад. И. К.
Кикоина М., Атомиздат, 1976, 1008с.
3. Морозов А. И. Введение в плазмодинамику. – М.: ФИЗМАТЛИТ,
2006. – 576 с.
4. Райзер Ю. П. Физика газового разряда [Текст]: учеб. руководство:
для вузов / Ю. П. Райзер. – 2-е изд., перераб. и доп. – М. : Наука, 1992. – с. 536.
5. Кудрявцев А.А., Смирнов А.С., Цендин Л.Д. Физика тлеющего
разряда [Текст]: учебное пособие / А.А. Кудрявцев. – СПб. : Издательство
«Лань», 2010. – 512 с.

20