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Figura 1. MEV da
interface filme/substrato
Medições de Propriedades Mecânicas
Métodos:
Indentação;
Ensaio de Tração;
DRX.
σ res = σ i + σ e
Ensaio de Difração de Raios-X
Lei de Bragg
2.d .sen(θ ) = m.λ
d: distância interplanar;
θ: ângulo de incidência ou ângulo de difração;
λ: comprimento de onda
m: ordem de difração
Difração de Raios-X com Ângulo de
Incidência Rasante
A incidência com ângulo rasante (α fixo) tem como
intuito uma menor interferência do substrato;
a
d=
h2 + k 2 + l 2
a = a 0 + a 0 .σ . f (ψ )
1 hkl
f (ψ ) = .S 2 .sen 2 (ψ ) + 2 .S1hkl
2
Figura 6. Gráfico de a em função de f(ψ)
a: parâmetro de rede;
(hkl): índices de Miller;
S1 e S2 constantes elástica dependentes de E e υ;
σ tensão residual;
Resultados
Figura 10.
Gráfico
encontrado na
literatura
(Chou, 2000)