СОДЕРЖАНИЕ

От переводчика « , . , , 5
Предисловие . . . . . $
Глава 1. Основные сведения . „ 9
Ы.Датчик... Что это такое? . . . 9
1.2. Микро-ЭВМ и сенсорика И
1.3. Технология изготовления датчиков , . . . . И

Глава 2, Датчики температуры . . , , . . 14

2.1. Датчики Т£щер§,туры из ллати.11 и никеля , . . 15
2.2. Термопары , . . , . , , . 23
2.3. Кремниевые датчики температуры . . . . . . 26
24. Терморезисторы с отрицательным ТКС 37
2.5. Термореаисторы с положительным ТКС 46
2.6. Намерение разности температур 58
2.7. Калибровка . , , , ">9

Глава 3. Датчики давления 62

3.1. Кремниевые датчики , , 62
3.2. Электронный барометр '. . 71
3.3. Высотомер ,75

Глака 4, Датчики расхода и скорости 77

4.1. Терморезисторный анемометр 79
4.2. Датчик расхода 82
4.3. Датчик направления 83

Глава 5. Газовые датчики 91

5.1. Термокондуктометрнческие ячейки . , 91
5.2. Топливная ячейка 94
5.3. Термохимическая (каталитическая) ячейка . . . . 95
5.4. Полупроводниковые датчики 99
Fi'anzis Elektronik Fachbuch

Gerhard Wiegleb

Eensortechnik
Obersicht, Apphkation, Anwcndungen

Mil 153 Abblldungen und 21 Tabellcn

Franzis'
Г. Виглеб

Устройство и применение
Перевод с немецкого
канд физ мат наук
М. А Хацериова

Москва «Мир» 1989

ББК 32 QG5 39
В41
УДК 621.0842

Виглеб Г.
В41 Д а т ч и к и : Пер. с н е м . —М,: Мир, 1989.—
196 с , ил
I S B N 5-03-000634-6
Книга автора из ФРГ представляет собой популяр-
ный обзор устройства и применения современных дат ш-
ков в том числе датчиков температуры да в тения п а р а -
метров светопого излучения, х а р а к т е р и с т и к газов и ж и д
костей Приведены многочисленные примеры конструкций
выпускаемых промыт ченностыо даишкои, а также схем-
ных решений как основы а в т о м а т и з а ц и и и компьютеры
аации различных процессов. Продемонстрированы возмож-
ности использования датчиков в промышленности и быго
вой технике
Для широкого круга читателей конструкторов-любите-
лей, студентов вузов и техникумов, а, также специалистов
смежных областей.

«0000^,37 М ББК 32.9*5.30

041(01)-89

Редакция литературы по электронике

ISBN 5-03 000634-6 (русск.) © 1986 F r a n z i s - V c r l a g GmbH,

Muncheti
ISBN 3-7723-8ПЫ (нем.) © перевод на русский язык, «Мир*,
1989
ОТ ПЕРЕВОДЧИКА

Стремительное развитие электроники и вычииштел.^

пой техники оказалось предпосылкой для широкой
автоматизации с а м п ч разнообразных процессов в
промышленности п т у ч н ы х и с с л е д о в а н и я х в быту
Однако реализация эгои прс (.посылки в зпачитель
ной мере опреде шется возможностями устройств для
получения и н ф о р м а ц и и о pei ушрушом параметре
или процессе Опис'шию таких устро ICTB — датчи-
ков— и посвящена даппа i книга Разумеется, прим<.,-<
пение датчиков пг с м р а п п ч п в а е т с я только автомати-
зированными с и с т е м а м и поскольку они M O I V T выпол-
нять также функции элементов просто измерительны*
систем
По определению одною из основоположников со-
временной отечественной техники измерения физиче-
ских величин А М Туртшна (1966 г ) к датчикам
относятся все основные узлы электронной схемы дли
измерения пеэлектрнчсскпх величии, расположег ныг
непосредственно у объекта Необходимость преобра
зоваиия измеряемой пеэлектрическои в е л и ч и н ы г
адекватный ей электрический сигнал послужила позд
нее основанием для введения термина «измеритель
ный преобразователь», рекомендованного государ
ствеш-шй системой обеспечения е д и н с т в а измерений
вместо термина «дашпк» Имея в виду это обстоя
тсльство, мы все же сохранили в переводе книги тер
мин «датчик», па наш взгляд, точнее соответствую
щии оригиналу
В русле обшего направления технического про-
гресса существенные изменения претерпели т а к ж е и
датчики На смену электромеханическим и электро-
6 От переводчика

вакуумным устройствам пришли твердотельные (пси

лупроводниковые, сегнетоэлектрические и т п ) эле-
менты и приборы, которые затем все больше и боль*
ше стали вытесняться интегральными схемами. Раз-
витие техники детектирования магнитных и электри-
ческих полей, электромагнитных волн (от ИК- до
УФ-дмапазопа), малых количеств примеси в жидких
и газообразных средах существенно расширили воз-
можности измерений па удаленных, труднодоступ-
ных, движущихся и т п. объектах. Это сделало не
обязательным расположение датчиков непосредствен-
но у объекта.
Общие тенденции к миниатюризации и компьюте-
ризации коснулись, безусловно, и рассматриваемой
области техники. При этом сигнал датчика, в боль-
шинстве случаев аналоговый, для обработки в мик-
ропроцессоре или микро-ЭВМ должен быть представ-
лен в цифровом виде Это осуществляется обычно ин-
терфейсным устройством, включающим в себя АЦП,
В последнее время наряду с созданием датчиков,
имеющих цифровой выходной сигнал, наблюдается
тенденция к конструктивному объединению датчиков
с микропроцессорными устройствами
Совершенствование полупроводниковой техноло-
гии позволило также расширить сферы применения
датчиков и к тому же повысить их точность, быстро-
действие, надежность, долговечность, удобство сопря*
жеиия с электронными измерительными схемами Мас-
совый х а р а к т е р производства датчиков способствует
снижению их цены, что также является немаловаж-
ным фактором, определяющим их внедрение в прак-
тику.
В свете наложенного предлагаемая читателю кнгь
га Г. Виглеба служит хорошим пособием для ввод-
ного ознакомления с проблемой, в обобщенном виде
называемой «сенсорикой» (от англ, sence — ощущать,
воспринимать). Сенсорика рассматривает технику
конструирования, изготовления и применения датчи-*
ков. В доступной и наглядной форме здесь изложены
физические принципы н практическое устройство ши-
рокого спектра датчиков различного назначения. Ос-
 Or переводчика 7

новное внимание при этом уделено их современным

разновидностям па основе полупроводниковых м а т е
риалов и приборов Хорошо иллюстрированная, с
большим количеством [чоикретных д а н н ы х эта книга
дает ясное представление о конструктивных парамет-
рах датчиков, их характеристиках, возможных сфе*
pax п р и м е н е н и я
Она удачно восполняет существующий пробел в
отечественной популярной технической литературе ю
рассматриваемому вопросу Наиболее близкая к пей
тематически книга Л Л Осиповича (Датчики фнзи*
ческих в е л и ч и н —М Машиностроение, 1979 г ) рас-
считана па специалистов и к тому же не содержит
сведений о некоторых гшдах датчиков, описанных в
книге Г Виглеба Можно отметить т а к ж е близкую он
по х а р а к т е р у изложения п подходу книгу Н Како и
Я Яманэ (Датчики и шгкро ЭВМ Пер с япои — Л '
Энергоатомиздат Л с п н ш р отд пне, 1986), однако в
ней основное внимание уделено т е х н и к е микро-ЭВМ
и сопряжению их с датчиками и исполнительными ме-
х а н и з м а м и (технике интерфейса) Поэтому по
треской н а п р а в л е н н о с т и , объему и уровню
пня книга Г Виглеба отличается несомненной индн-
пидуальпостыо Конечно, она не носит справочною
характера и ни в коей мере не может претендовать
ira полноту отражения имеющихся д а н н ы х по рас-
сматриваемому вопросу Тем не менее содержащиеся
в пей сведения представлены достаточно систематич
но и наглядно
Книга представляется полезной для учащихся
техникумов и студентов вузов, специалистов смежных
областей, а также для широкого круга радиолюбитс
лей и лиц, интересующихся современным состоямиен
техники Как справедливо отмечает автор, чтение
книги должно побуждать читателя к самостоятел!--
ному творчеству, будь то индивидуальное радиолюби-
тельство или решение производственных задач

М Хсщерноз
ПРЕДИСЛОВИЕ

За последние годы в технике измерения п регулиро-

вания параметров различных процессов в самостоя-
тельную отрасль выделилось изготовление п приме-
нение датчиков. Эта отрасль, постоянно развиваясь,
служит основой создания разнообразных вариантов
систем автоматического регулирования
Такое развитие обусловчено прежде всего гигант-
ским прогрессом микроэлектроники Широкий спектр
применений мшфо ЭВМ в бытовой технике, автомо-
билестроении и других отраслях промышленности в с е
в большей мере требует недорогих датчиков, выпу-
скаемых к р у п н ы м и сериями Как следствие этого по-
явились и н т е р е с н ы е м в то же время недорогие устрой-
ства на датчиках, ряд которых представлен в дан-
ной книге
Предлагаемая к н и г а имеет целью не только по-
мочь читателю в обращении с д а т ч и к а м и , по и про-
будить у нею желание самому создавать схемы с ис-
польчованием серийно выпускаемых датчиков
При описании некоторых датчиков (датчиков тем-
п е р а т у р ы , давления, оптических д а т ч и к о в ) на перед-
ний план в ы д в и н у т ы некоторые специфические во-
просы ( м и н и а т ю р и з а ц и я , новые тсхнолоп-ш). Кратко
описаны также общие п р и н ц и п ы электрических чув-
ствительных элементов, насколько это было необхо-
димо д н я п о н и м а н и я работы датчиков.

Г. Биглеб
ГЛАВА

ОСНОВНЫЕ СВЕДЕНШЗ

Т е х н и к а конструирования н применения датчиков,

или, как ее можно к р а п ш назвать, сенсорика, за по-
следние тды р а з в и л а с ь в самостоятельную ветвь из-
мерительной т е х н и к и С ростом автоматизации к дат-
ч и к а м физических параметров стали предъявляться
все более высокие т р е б о в а н и я При этом особое зп i-
чеппе п р и д а е т с я е л ту юш и м п о к а ^ л е ш м
О м и н и а т ю р н о с т ь (во ш о ж н о и ь в к р а и в а н и я ) ,
в дешевизна (серийное производство) и
О м е х а н и ч е с к а я прочность
По с т р у к т у р н о м у построению а в т о м а т и з и р о в а н н ы е
устройства н а п о м и н а ю т т а к и е б и о л о г и ч е с к и е системы,
как, например, человек На рис 1 1 проведена ана-
логия между человеком и автоматом по способам по-
л у ч е н и я сигналов, их обработки и накопления, а т а к -
же по п р е о б р а з о в а н и ю с и г н а л о в О р г а н а м чувств че-
ловека соответствую г в автоматах ( и л и роботах, см.
разд 9 2 ) д а т ч и к и , а функции а к т и в н ы х органов вы-
полняются исполнительными устройствами. Анало-
гом мозга как ц е н т р а л ь н о г о устройства для обра-
ботки сигналов служит ЭВМ с ее системой п а м я т и *
1.1. Датчик,.. Что это такое?
Понятием « д а т ч и к » в общем с л у ч а е обозначают
дешевый, но п а д е ж н ы й п р и е м н и к и преобразовател!
измеряемой величины, обладающий умеренной точ
гюстыо и пригодный для серийного изготовления Об
шеупотребителыгые т е р м и н ы и определения для рач
л и ч н ы х д а т ч и к о в ч е г к о с ф о р м у л и р о в а н ы в Инструк-
ции 2600 Общества немецких инженеров и Общества
немецких электриков ФРГ (VDt/VDE R i c h t l m i e 2600),
Т и п и ч н о е устройство д а т ч и к а п о к а з а н о па рис. 1 1 1.
 Биологическая Технический
система (человек) система (автомат)
Получение сигналаа Чувства Датчики
^Газоанализатор
Ек' 'С ^*-рН-метр
Осязание ^—-Температура ^**
^ Перемещение
- Потоп
^Sk.ь Усилие и т Л
^^^г' ДЭТЧИК ИЗЛУЧЕНИЯ
Зрение *=чг-^__ ~'"-*
^^- Датчик положения
- Телекамер? (распоз-
^^^ навание оорааа)
\ 1
Обработка сигналаа Мозг ' 1 звм —1
Память Запоминающее
уст роист во
1 тt
Преобразование
сигн.ада Органы Исполнительное
устройство
Г^ЕХЭиина
Йоги —-""*""*"""
дкнэмик
И Н ДИКЭЦИЯ
Печать/ графопостроитель
Рис. 1 1. Аналогия между процессами получения, обраоотки н
преобразования сигналов в биологических (человек) и техниче-
ских (автомат) системах.

Приемник изме (Предварительная

° 1t Возможное место
РЯ ИЧИ РЭйОТКа СНЛШ В
ЛДТЦ7«" "Т
„ДА1ЧНК, i разъема
Рис. 1.1.1, Устройство воспринимающей системы с получением, об*
работкой и преобразованием сигнала: Ф-J- Т — первичный про-
цесс, Т -+R — вторичный процесс; J?-»-U —измерительный мост,
согласование сигналов; Amp — усилитель.
 Основные сведения П

J.2 Микро-ЭВМ и сенсорика

Сочетание датчик — ЭВМ — исполнительное уст*
ройство представляет собой и н ф о р м а ц и о н н у ю систе-
му. Для упрощения сопряжения датчика с микро-ЭВМ
была бы предпочтительна выдача датчиком цифро-
вой информации По, к сожалению, в природе и тех-
нике информация существует в основном в виде ami*
логовых величин, которые для обработки сигнала в
Центральный
процессор

Управление Испол ни-

Датчики периф ериеи ные
устро йства
ii

Гистема питания

Рис 1 2 1 . Информационная система, включающая в себя датчик

в качестве пассипного чуистпителытго элемента (получение сиг-
пала) и исполнительные устройства в качестве активных прео<>«
разователей сигнала

ЭВМ должны быть трансформированы в цифровые

с помощью аналого-цифрового преобразователя
(АЦП)
Полная и н ф о р м а ц и о н н а я система представлена на
рис. 1 2 1. Здесь п о к а з а н о прохождение сигнала or
его возникновения в д а т ч и к е с последующей обработ-
кой в ЭВМ и до выхода к исполнительным устрой--
ствам.

1 3 Технология изготовления датчиков

Технология изготовления датчиков чаще всего оп«
ределяется известными способами изготовления полу-
проводниковых интегральных схем Общее представ
ление об этих способах изготовления с их достоин
стнами и недостатками дает табл. 1 3.1,
 Т а б л и ц а 1.3 I.
Основные виды технологии изготовления объемных и пленочных датчиков совместимых с микроэлектроникой
Топколленочная То тстолленочная
Кремниевая технология технология технология

Входные величины Удлинение (тензодатчи- Удлинение (тензодатчньи) (Удлинение (тензодатчи-

ки) ки))
Температура Температура Температура
Магнитное поле Магнитное поле (Магнитное поле)
Свет, ЯК-излучение Свет, ИК-излученге Емкость
(Состав и концентрация (Емкость)
газа) (Состав и концентрация га-
за)

Воспроизводимость (одно Низкая — средняя Высокая (при испотьзова Средняя — низкая (при
родность продукции) нни лазерной "ОБОДКИ — использовании лазерной
очень высокая) доводки — высокая)

Стабильность Высокая Очень высокая Высокая

Температурный диапазон До 150 "С (ограгычен Может быть оче ш ботьи ш Примерно до 400 °С
кремнием) (например у датчиков тем-
пературы- от — 50 ° С
до +600 °С)

Возможность миниатюри- Очень хорошая Хорошая Средьгя

зации

Возможность встраивания На одном крнстал-ie (мо На одной под-южке (гиб- На~^ой со-ложке
нолитно) в виде ИС ридная технология) (гибридная технология)

Рентабельный объем произ Выше I0 5 Юа \№ vП(№

; ш\га шд
водства (шт/год) ' - • W

Капитальные затраты на Более 1 млн. Более 500 тыс QKOTO 10(1 т,,-
разработку и производство ^коло 1УО тыс
(в марках ФРГ)

Затраты на один датчик Очень низкие Низкие

при массовом производстве

То же при мелкосерийном Очень высокие Высокие Т4«,

производстве п из кие

Затраты на исследования и Высокие, требуются Очень высокие требуются

разработку НИОКР (научный пер- НИОКР (научный персо слу-
COHSt^TJ
1
fig
нал)тг\ \ ^ —г ~~ <-чт,т.
'"^ лч_\уи vjAJiiviiji ТОЛЬКО

Возможность вариаций в хо- Низкая Высокая R,

де разработки (гибкость) оысокая Низкая
ГЛАВА 2
ДАТЧИКИ Т Е М П Е Р А Т У Р Ы

Важнейшей разновидностью датчиков являются дат-

чики температуры, поскольку многие процессы, в том
числе и в повседневной жизни, ^регулируются темпе-
ратурой, например.
9 регулирование отопления на основании измере-
ния температуры теплоносителя на входе и выходе,
а т а к ж е температуры в помещении и наружной тем-
пературы,
Ф регулирование температуры воды в стиральной
машине,
9 регулирование температуры электроутюга,элек-
троплитки, духовки и т. п.
Кроме того, путем измерения температуры м о ж н о
косвенно определять и другие параметры, например
поток, уровень и т. п.
При использовании такого рода д а т ч и к о в темпе-
ратура измеряется, как п р а в и л о , на основании зави-
симости электрическою сопротивления от темпера-
туры. В зависимости от того, возрастает или пони-
жается электросопротивление датчика при повышении
температуры, различают полупроводниковые датчики
соответственно с положительным или отрица-
тельным т е м п е р а т у р н ы м коэффициентом сопротивле-
ния (ТКС)*, Металлические д а т ч и к и температуры из
никеля или платины всегда обладают положитель-
ным ТКС В случае датчиков на основе термопар воз*
пикает ЭДС, пропорциональная температуре.

* Терморезисторы с положительным или отрицательным ТКС

в схемах данной книги обозначаются как РТС или NTC, а. так-
же ф+- и Ь~ соответственно. — Прим. перед.
 Датчики температуру U

2.1. Датчики температуры из платины и никеля

Для точного измерения температуры в диапазоне

от — 200 до +850 °С чаще всего применяются дат-
чики температуры пч никеля или платины. Электрн
ческое сопротивление м е т а л л и ч е с к и х проводников из-
меняется согласно у р а в н е н и ю

где /?о — сопротивление при 0°С (т. е при 273 Ь ) ,

Rt — сопротивление при температуре Ть а — темпе--

-юо 100 200 300 400 ЬОО ВСЮ 700 800

Температура, °С
Рис 2 1 1 Допустимые отклонения з н а ч е н и й сопротивления и
температуры для ишерителшых резисторов согласно требова-
ниям стандарта ФРГ D1N 43760

ратургшй коэффициент, равный для платины 3,9X

3 3 1
X Ю- К-' и для никеля 5,39- Ю- Кг
Сопротивление при 0 С С в большинстве случаев
выбирается равным 100 Ом Такие измерительные ре-
зисторы обозначают Pt 100 или Ni 100 Употреби-
тельны также с т а н д а р т н о изготовляемые сопротивле*
пия в 500 Ом и I кОм Допустимые отклонения
от этих значений в пересчете на градусы по шкале
16 Глава 2

Цельсия, установленные стандартом ФРГ DIN 437GO,

составляют
в для класса А: ±(0,15 + 0,002 Т)°С,
в для класса В: ±(0,3 + 0,005 Т)°С,
где температура Т выражена в градусах Цельсия.
Эта зависимость графически представлена на
рис. 2.1.1.
Т а б л и ц а 2 1 1,

Допустимые отклонения
Измеряемая
температура Класс А Класс L)
С
Ом °С Ом °С

— 200 ±-0,24 ±0,55 4-056 ±13

-100 ±0,14 ±0,35 ±0,32 -н08
0 ±006 ±0 1э + 0,12 ±0 >,
100 -1-0 13 ±035 ±0,30 ±0,8
200 ±0,20 ±0,55 ±048 ±13
300 ±027 ±0,75 ±0,54 ±18
400 ±0,83 ±0,95 ±0,79 ±2,3
SOU ±0,38 ±1,15 ±0,93 4-2,8
600 ±0,43 ±1,35 ±1,ОЬ -ьЗ,3
650 ±0,46 ±1,45 ±1,13 ±3,6
700 — — ±1,17 ±3,8
800 — _ ±!,28 4-43
850 —• — ±1,34- ±455

В табл. 2.1.1 приведены допустимые отклонения

'для р а з л и ч н ы х температур. Отклонения в градусах
Цельсия справедливы для всех номиналов сопротив*
лепий, а отклонения в омах — только для сопротив-<
лений типа Pt 100. Для других номиналов сопротив-<
лений значения отклонении в омах следует умножать
на коэффициент Ra-\Q~2.

Измертельные схемы
Для измерения температуры д а т ч и к н у ж н о под-
ключить к измерительной схеме, на выходе которой
формируется напряжение, пропорциональное темпе"
рат;,ре Простейшей разновидностью такой схемы ян*
 Датчики температуру 17

ляется измерительный мост (или MOLT Уитстопа)

(рис. 2 1 2 ) .
Если сопротивление с р а в н е н и я Rv установить та-
ким образом, что и з м е р ш е л ь п ы й прибор G будет по-
к а т ы в а т ь отсутствие юка, то оказывается справедли-
вым равенство Rv — Rni, поскольку в е р х н и е парал-
лельные с о п р о т и в л е н и я р а в н ы между собой. Преиму-
щество т а к о ю способа нзмере
UB
ния з а к л ю ч а е т с я в н е я в н е й - f ,__
мости результатов от н а п р я -
жения питания Для техниче-
ских измерений, когда нужно
иметь непосредственные пока-
з а н и я температуры, сопротив-
ление А»,,' можно п р и н я т ь по-
стоянным, а п о к а з а н и я пзме- R,
рительного прибора прокалиб-
ровать
В случае измерения н а п р я -
жения оно получается р а в н ы м
Рис 2 1 2 Простая изме
рмтельпая схема (мост
« Уиплона) для терморе
••VB зпсторов (например,
R 100)
При этом нужно использовать
высокоомпый вольтметр, т а к как между т о ч к а м и 1 и
2 ие должен протекать ток
Если же п р и м е н я е т с я низкоомпый амперметр, то
между т о ч к а м и I и 2 волшкает ток короткого замы-
кания, определяемый выражением
R,
~ ls I

где is •— тон п и т а н и я
Практически п р и м е н и м а я схема п о к а з а н а на
рис. 2 1 3. Измерительны» юк / 5 должен быть очень
мал, чтобы не вызывать н а г р е в а н и е резистора RTk,
которое может привести к ошибкам измерения Эта
так н а з ы в а е м а я погрешность самопагрева зависит от
подводимой электрической мощности (Р —
18 Глава 2

величины отводимого тепла и приборной постоянной

ЕК., называемой коэффициентом самоиагрева. Обу-
словленное самонагревом повышение температуры ДГ
можно рассчитать по формуле

ДУ — Т2 =

где TI и Т2 — значение температуры при наличии к

отсутствии измерительного тока /$ соответственно.
Р — подводимая к измерительному сопротивлению
мощность {в м и л л и в а т т а х ) , ЕК — коэффициент само-*
нагрева (мВт/°С).
Обычно величину ЕК как характеристику датчика
указывают для измерений в воде и воздухе^

Пример
При измерении температуры воздуха датчиком
типа W60/24 (фирма Degussa-Hanau) применена
схема, п о к а з а н н а я па рис. 2.1.3.

Рис. 2 1 3. Принципиальная схема прибора для измерения темпе»

ратуры.

При 0°С имеем /?, =/?2 = Rv = Rn = 100 Ом.

Коэффициент Г/( для Pt 100 (W60/24) равен
'4 мВт/°С.
При необходимости измерения с погрешностью пе
более 0,25°С через д а т ч и к должен протекать изме*
рительиый ток, р а в н ы й лишь
/ = V l мВт/100 Ом « 3 мА,
 Датчики температуры 19

Следовательно, ток Is должен быть равен 6 мА, а

соответствующее ему добавочное сопротивление

м=2 р 4 ком.
о мА
Сигналы измерительного мое, га с помощью мости-
нового усилителя тока преобразуются в напряжение.
При этом сопротивления R3 и Rt должны быть вьн
полиены в виде 0,1 % них металлоплепочных рези-
сторов В зависимости от типа датчика ^3 и R$ п > -
ходятся в диапазоне от I до 50 кОм Калибровка из-
мерительной схемы осуществляется с помощью
потенциометра R7 во втором, нсипиертирующем к i-
скаде усилителя. Коэффициент у с и л е н и я этого к а с к а д а
определяется с о п р о т и в л е н и я м и R$, Rn и /?? При
R5 = RT = I МОм и Re = 100 кОм измерительный
CHI нал можно усилить еще п р и м е р н о в 10 раз Рези-
стор RB н конденсатор С\ формируют /?С-цеиочку для
фильтрации и демпфирования сигнала Типичными
параметрами являются /?8 я» Ю кОм и С\ & 4,7 мкФ.
Настройка схемы осуществляется следующим оО-
разом
1 Определить R* по заданному Е/С
2 В п а я т ь R* и проверить /s путем измерения па-
депня н а п р я ж е н и я па R*
3 Погрузить д а ] ч и к температуры RTh в ванну с
тающим льдом
4 Регулировочным потенциометром Rv установить
н а п р я ж е н и е UA иа пуль
5 Датчик температуры RTH погрузить в ваину с
кипящей водой (Г-> 100 °С).
6 Регулировочным потенциометром R^ установить
выходное напряжение 1>А па I В
Если чувствительность недостаточна, то сопротпв
леиия R$ и Ri следует увеличить При слишком вы
сокой чувствительности эти сопротивления следует
уменьшить.
В качестве RTH можно применять любые выпу
скаемые промышленностью и з м е р и т е л ь н ы е резисторы
типа Pt-JOO Наиболее дешеаые д а т ч и к и типа Pt-tOO
выпускаются в топкоплеиочиом исполнении. Они
 W9fZ $L'9K 00 У^ даьк U4K ш
тк O6efz ss'zfrz огггс 9»'m ose
8i6EZ EK6EZ 60'bEC H'8£C fit'SlZ Ot£
K9CZ 96SEZ T 9S« Ус'Ж T&te 09£
гзггс LVUZ zi'ziz LL'KZ zt'tiz OSE
Zt'aZ L6'KZ Z9'8ZZ LZ'SZZ Ze'LZZ ОГС
\x?zz wsz u'szz vL'nz it-'иг otD
г.гггг tfi'trs бе'тгг n'nz 8«'огг оге
9i»I2 If 812 ы)'81г Oi'ilS «'ilZ OIE
к иг ss иг ь'иг st'fiz OS'EIZ; one
99'пг it'Tiz гб'о^г бе'отг п'ш об2
01802 H'iOZ SE'iOS ZO'iOZ i9'90E Й
tit-OS 9f'WZ 08'tOZ W4(K 8040Z oS
t6ooz /нюг н'оог гк'ббс 6f66i 092
ai6i 9696C ОЭ'УЫ: fc'96i: т'ш osc
U;t6I st'Efit бб'гб! €9'сб1 9z'Z6I ОИ
ftOOfil Zi'fi»! 9L'68t 00-68 С C9'88I OK
^981 60-981 tt>81 9E's,8I 66'^Ht (EZ
08£8t nm io'esi U ' I8[ w . I8t ^
H6U 8i'8il 1КШ fO'Wl 89'iii OOS
if'eii: oi'sir t-rui iE't/a О0 'ш обе
г eo lil ш и ш ш
&яогГ
60Ш Г'!а
Zii9f '
SEi9I ™'
86'99I '
19'99i; Oit
6tWI ZOm 59'Ш LZ'm 06791 ()9C
i909t OL'o9t te'fisi se'6e[ 8 t'«r. Й
pease iS9ti бГуес zs'sei: sf'fsr oct
OEESI £8'^I j^'ZSI 80'Ш Bi'lSt OEE
sj6frt /о;бн огни ге^г W 'in огс
89 И KiH E61-K ss'H[ ii' W щ£
16 IH esm st'IK ii'on 6£'OK 001
9£ 86 9£I
tc'lll tL''Lil '<L£l ' OS'S" «6
кш wen 9S£ £ i gfcn оя'гег os
iE'ea gfi'aez oi
Wee: yr'sez 09
«etc. i. iFta 607j[ oi'izi: ге'тгт: о?
Ttfdit гэ-вп wen fg £ in лпц of
SUIT iifU SE'HE 66'ЕЦ 19'Ш OE
«г ш об'он is-oir zi'oi: £i'60l (K
№/ОГ ZOiOI £9'90I n'90I SS'SOI oi
fSEot ZI'EOI ci-zot w'eot £6'ror о
8
 Д а т ч и к и температуры 23

состоят из тонкой (0,6 мм) керамической подложки,

на которую методом катодною ВЧ распыления напы-
ляется слой платины толщиной около 2 мкм. В на-
пыленном слое л а з е р о м н ы ж и г а ю г орнамент в форме
меандра и проводя! топкую доводку. Затем методом
термокомпрессноппон с в а р к и изготовляют контакт-
ные выводы
После этого для з п н ш ы актппиого пчатиповою
слоя от повреждении ею еще рач покрывают керами-
ческим изолирующим слоем толщиной 10 мкм. На
рис 2 1 4 показаны три датчика, изготовляемые та-
ким способом фирмой Degussa-Hanau Номинальные
значения сопротивления измерительных резисторов
т и п а Pt-100 при р а з н ы х температурах приведены а
табл. 2 1 2.
2.2. Термопары
Термопары представляют собой чувствительные
элементы д а т ч и к о в , пригодные для и з м е р е н и я в д и а -
пазоне температур от 0 до 2300°С, причем, несмотря
на высокую разрешающую способность н точность,
цена их невысока Термопары изготовляют путем со-
единения двух разнородных металлических проводов,
например, меди н медно никелевого сплава, железа ц
медно-пикелевою сплава пли платины и платиноро"
дпевого сплава. Две такие термопары образуют пол
иый датчик. Если один спай погрузить, например, и
тающий лед (0°С), а в юрой ввести в контакт с объ
ектом измерения, то между спаями возникает под
дающаяся измерению термо-ЭДС, составляющая в
зависимости от вида термопары 7. 75 мкВ/°С
(рис. 2.2.1).
В случае термопары из меди и медно никелевого
сплава термо-ЭДС в диапазоне температур О...ЮО°С
составляет примерно 40 мкВ/°С. При разности теми
ператур спаев в 100°С получается примерно 4,3 мВ.
Для достаточно точного и з м е р е н и я такого незначи-
тельного напряжения необходимы дорогие и слож-
ные измерительные усилители. Кроме того, опорная
температура всегда должна поддерживаться постоян-
ной или тоже измеряться.
Й4 Главя 2

Компенсатор точки таяния льда для термопар

В последнее в р е м я п о л у ч и л и р а с п р о с т р а н е н и е
т а к ж е и н т е г р а л ь н ы е схемы для и з м е р е н и я с помощью
термопар без о п о р н о й точки при 0°С. Они содержат
в н у т р е н н и й к о м п е н с а т о р т о ч к и т а я н и я льда, поэтому
достаточно одной термопары. На рис. 22.2 п о к а з а н
такой 1ИПОВОЙ блок (AD594, фирма A n a l o g Devices)

Милливольтметр

Медь

за м ь р а

IJHL 2 2 1 Измерение температуры термопарой с использованием

в качестве опорной точки температуры таяпин jiwja (0Г'С)

для т е р м о п а р ы к о н с т а н т а п — железо. Преобразова-

тель с и г н а л а т е р м о п а р ы AD594 линеаризует термо-
ЭДС д а т ч и к а с коэффициентом It) мВ/°С в и н т е р -
вале и з м е р е н и й 0...300°С, Если собственная т е м п е р а -
тура блока AD594 и з м е н и т с я , то в л и я н и е этого
и з м е н е н и я можно компенсировать только с помощью
соответствующего поправочного коэффициента. Воз^
ножные ошибки, обусловленные и з м е н е н и е м собствен-
ной температуры блока AD594 (дрейфовой погреш-
ностью), показаны на рис. 2.23. Они м о г у г дости131Ь
0,6°С. Однако с у м м а р н а я погрешность схемы может
вызывать отклонение измеренной в е л и ч и н ы от н о м и -
н а л ь н о г о з н а ч е н и и в несколько процентов Т а к и м об-
разом, этот способ измерения т е м п е р а т у р ы применим
 I Датчики температуры 25

Константин

КПМПРН
-Г^"Ч- еагор
П1ЧЮ1
-\ 1- танния
льда

I ' 3 1 5 Ь 1
за
Железа
Масса

Рис 222 Измерение температурь; термопарой с использованием

слемы с внутренним комт исатором точки таяния льда.

Q,G°c
1
Температура
Л05Э4

-0,6 "С

Рис, 2 2 3 Дрейфовая погрешность блока AD 594 в интервале

температур от О ДО 50 °С.
'S Глава 2

лишь для простых схем регулирования. В случае вы-

сокоточных измерений потребуются, разумеется, зна-
чительно более высокие затраты.

2,3. Кремниевые датчики температуры

Измерение температуры с помощью кремниевых
датчиков представляет особый интерес в случае мас-
сового применения, так как они значительно дешевле
других датчиков н имеют большой температурный
3000 [—

2500

,5000

1500

шоо

100

-4G 0 40 £0 120 IGQ 200 240 280

Т,°С
Рис. 23.1, Характеристика кремниевого датчика температуры,

коэффициент. Недостатками кремниевых датчиков

являются меньший диапазон измеряемых температур
я большая нелинейность. Однако для определенных
применений эти недостатки имеют второстепенное
значение.
На рис, 2.3.1 приведена характеристика кремпне*
вого датчика температуры, Она довольно точно сосп-
 Датчики температура 27

ветствует следующему квадратичному уравнению:

где RT — сопротивление п р и температуре 7*(°G),J?25 -"

сопротивление при эталонной температуре 71ь=25°0,

U-const

Линеаризованная
характеристика

Рабочий диапазон
измерение
Рис. 2 3.2. Схема, линеаризующая характеристику кремниевого
датчика температуры а диапазоне измерении (Гтщ < Т < Tmaf)^

AT—разность температур (&Т — Т— Ть), а. и р —'

температурные коэффициенты с типичными значе<
ииями 0,78-10'2"С-1 и 1,84.1(Н°С-2 соответственно.
Для более точных н а м е р е н и и с помощью кремние-
вого датчика температуры его квадратичная характе-
ристика должна б ы т ь л и н е а р и з о в а н а . Проще все!и
это достигается включением не зависящего от темпе-
ратуры сопротивления RL параллельно кремниевому
датчику, если схема питается постоянным током. При
питании постоянным н а п р я ж е н и е м RL включается по
следовательно с датчиком RTH (рис, 2.3 2), Измеряемое
23 Глапа 2

напряжение VM рассчитывается следующим о

разом:
п
UM = I-Rb- -р—
J<
~р- ^1 • RL-mT для / = coiibt,
rfe T" J<L
о
UM = U • -^——-к- = С/ • тг для U ~ const.

В результате преобразования уравнений получает

ся выражение для линеаризирующего сопроншле-
иия RL:
RL = J?2s[(-j- - 1 ) + 3 ДГМ (а + Р АГ
где
&ТМ = ТМ-Т3 и Г 5 -25°С.

Сопротивление /?t зависит, т а к и м образом, от вы-

бора средней т е м п е р а т у р ы Тм. Величина сопротивле^
ния RL одинакова как при постоянном токе, так и
лри постоянном н а п р я ж е н и и .

Пример
Д а т ч и к температурь; типа КТУ 81 должен быть
линеаризован для средней -температуры 25 °С.
При / ? 2 3 = t кОм, а = 0,78-10-2°С-', р = 1,84Х
X Ю-5°О2, ДГд! = 2а°С — 25 °С = 0 получаем
2 1 2
г, 1 ^ Г (0,73. Ю" "С" ) Л ,. „ „
^,L = 1 кОм I —•-—=,- -, -- 1 = 2,3 кОм.
I 1,84-10 °°С 2 ]

На рис. 2 3 3 изображена полная схема формиро-

вания измерите чышго сигнала для кремниевого дат-
чика KTY 81. Д а т ч и к размещен в плече измеритель-
ного моста, состоящего из резисторов Rs—R^
Резистор /?5 служит для л и н е а р и з а ц и и д а т ч и к а RQ. Из-
мерительный мост питается н а п р я ж е н и е м 2,7 В, ста-
б и л и з и р о в а н н ы м с подошью диода Зенера Это на-
пряжение в ы б р а н о т а к и м м а л ы м , что измерительный
ток не превышает 1 м А во избежание возникновения
заметных погрешностей из-за самонагрева. Чувстви-
тельность измерительного моста составляет 4 мВ/°С
 Г
Д а т ч и к и температуры 'Э

и повышается у с и л и т е л е м до 50 мВ/°С на выходе.

В д и а п а з о н е измерений О 100°С в этом с л у ч а е полу-
чается аналоговый сш пал от 0 до 5 В
Приведенная на рис 234 схема ф о р м и р о в а ш п
сигнала дает на выходе импульс напряжения, дли-
тельность которою з а в и с и т от темпера 1уры, Диапа-
зон измерений, от —28 до -|-99°С л и н е а р и з и р у е т с я

Рис. 2 3 3 Измерител! пая схема для кремниевого датчика темпе

)мтури K l Y 81 (Л?«).

с помощью двух резисторов /?] и У?2, включенных по-<

следовательно с кремниевым датчиком,

Интегральные датчики температуры

Представителем предварительно калиброванных
и н т е г р а л ь н ы х д а т ч и к е ) » т е м п е р а т у р ы я в л я е т с я крем-
ниевый д а 1 ч и к т н п а STPJ5 фирмы l e x a s Instruments.
Н а р и с 2 3 5 п о к а з а н а схема в н у т р е н н и х соединений
д а т ч и к а , изготовленного на основе б и п о л я р н о й тех-
ники. Вся схема этого монолитною интегрального
д а т ч и к а помещена в к о р п у с ТО-92 В д а н н о м случае в
качестве измеряемой величины используется папряже-
лпс t/де между базой и э м и т т е р о м кремниевого тран-
з и с т о р а , которое п р и известной ш и р и н е з а п р е щ е н н о й
30 Глава 2

Up 5,5 В

Выход

I 1 J.
Диоды 1N4143
Рис 2 3 4 Измерительная схема с импульсным выходным сипп-
лом (цифровым), длительность которого зависит от аемпературы.

"ее
UJ о
LJ

_,——h Бамаисяровка
4
— "^ нуля

-о Масса

Рис, 235 Схема внутренних соединений кремниевого

температуры STP 35 фирмы Texas Instruments,
 Дттики температуры 3f

зоны описывается у р а в н е н и е м

где Е — ш и р и н а з а п р е щ е н н о й тонн, 1С — плотность

тока, k — постоянная Б о л ь ц м а п я , е — элементарный
з а р я д (1,602- 1(HD Кл), п — ксхлрфнциснг, х а р а к т е р а
зующий температурную зависимость диффузии носи-
телей заряда.

ПСОмкЛ [j^jiiiA

П 25 5С 7 100 125
Г "С
Рис 236 Схема включения и х а р а к т е р н а т ш п интегрального
датчика температуры STP 35 Um,t — пнхо'шое [пприжепие.

Измерительные схемы с д а т ч и к а м и этого типа вы-

полняются ч р е з в ы ч а й н о просто (рпс 2 3 6 ) . С по-
мошыо добавочного сопротивления R\ устанавливает-
ся максимальный ток, меньший 5 мЛ, чтобы ограни-
чить с а м о п а г р с в д а т ч и к а Рабочее н а п р я ж е н и е не
нуждается в с т а б и л и з а ц и и п может находиться в диа-
пазоне от 6 до 24 В IS этом с л у ч а е чувствительность
измеряемого на выходе н а п р я ж е н и я составляет
10 мВ/°С. Усиленное в 100 раз выходное напряжение
показывает абсолютную температ;ру по шкале Кель-
вина (0°С^273 К п 20°С = 293 К) Д а т ч и к и могут
быть изготовлены р а з н ы х классов точности в зависи*
мости от некомпенсированной по]реп.шостп в измере-
нии температуры.
Оптимальный выбор (рис 2 3 7 ) добавочного со-*
противления RA зависит от д и а п а з о н а измерения тем-
пературы ДТ— Гта)! — Тт\пи СОПрОТЩЗЛСНШ! ПЗГруЗКН
32 Глава 2

(например, внутреннего сопротивления измеритель-

ного прибора). Сопротивление нагрузки может б ы т ь
U
CG

Рис. 237. Схемы согласования датчика температуры STP 35 о

нагрузочным сопротивлением RL : Rcai — калибровочное сопротив-i
ление, Uoat — выходное напряжение,

рассчитано следующим образом:

о _ ^"min "~ ^011 W

где Ucem[n'— минимальное напряжение питания,

U0utmz — м а к с и м а л ь н о е напряжение на выходе (рав-
ное Ттъх(К.): 100), / S m i n — м и н и м а л ь н ы й ток датчика
(0,4 мЛ) и 1L — м а к с и м а л ь н ы й ток нагрузки, рав-
ный uoutmaii: RL.

Пример
Для диапазона измерения температуры ДГ = 0..,
...100°С, н а п р я ж е н и я п и т а н и я 8...14 В и внутреннего
сопротивления используемого измерительного прибора
/Ji = iO кОм получаются следующие значения;
2.73 В „ „„ ,
*Lmln " —к-кОм = 0,273' мА,'
3,73 В А
ri — rt л
^а^ттаг^0'373 МЛ-
Uсо - =8 В,
"•mm
f;oi,t
'max =3,73 ' В.
 Датчики температуры

На основании этого добавочное сопротивление

составит
кОм

(серия Е-12).
Максимальный гок д а т ч и к а /s max р а в е н тогда
, 14 В —2,73 В ,
/о•этах = гя—к
5,6 кОм = 2,01 мА.

Максимально возможное изменение тока датчика

от 0,4 мА до 2,01 мЛ иьиывает пш решпость, равную
лишь 0,15 °С Для более точных измерений потре-
буется стабилизация напряжения п к г а п н я В табл 2 3 1
Таблица 231
Параметры датчиков т ты STP J5 различных к л ICCOB точности

Время
Погрет*
1 „[емпературниЯИ Чулсгшг срабаты
||0 СТЬ Ток, тели НШШЬЕ
при 25 °С, Диалазои.
L
мА JIOLII . па DOJ.
ДГ, °С ° in И/К духе.
1 сек

STP 35А ±3 -40 ... | 125 0,4 ... 5 10 13

STP 35В ±2 —40 ... | 125 0.4 ... 5 10 13
STP ЗбС rt! —40 ... +125 0.4 ... 5 10 13

приведены параметры интегральных д а т ч и к о в тина

STP.

Температурный контроллер
Другим интересным примером является датчщ
температуры (табл, 232) LM3911 (темиературпьп
контроллер), выпускаемый фирмой N a t i o n a l Semicon-
ductor Его способ дейс'шия аиалопмеи дейсизшо дат
члка STP 35 с н а п р я ж е н и е м на выходе, пепосред
ственно указывающим абсолютную температуру пс
шкале Кельвина, деленную па 100 (т. е на шкале
прибора 3,93 В соочвсгивуют 393 К) Датчик обла
дает чувствптельносн.ю 10 мВ/К Схема внутренних
соединений и расположение выводов на корпусе с
2 i, Виглеб
24 Глава 2

Т а б л и ц а 232,
Типичные параметра датчика LM3911

Ток питания (максимальный) 10 ыА

Напряжение обратной связи на входе 0 ... 7 В
Напряжение на выходе коллектора (макс) 36 В
Рабочая температура —25 ,., +85 °G
Максимальная внешняя температура (при дей-
ствии в течение 10 с) 300 °С
Выходное напряжение при — 25 °С 2,36 ... 2,6 В
Выходное напряжение при +25 °С 2,88 ... 3,08 В
Выходное напряжение при +85 °С 3,46 ... 3,7 В
Линейность (Т = 100 °С) I %
Длительная стабильность 0,3 %
Воспроизводимость 0,3 %

двухрядным размещением контактов показаны на

рис. 2.3.8. Такой датчик можно применять в р а з л и ч -
ных вариантах, два из которых описаны ниже.
LM3911
LM3911N
Вход , -V — I—NC
обратной
связи — NO
Вх.- — NC
Выход V
V*- — NC

Рис. 238. Внутренние соединения температурного контроллера

на основе интегральной схемы LM 3911 фирмы National Semi-
conductor- а — структурная схема; Ь — корпус датчика (вид
сверху). JVC—свободные выводы, ОР — операционный усилитель,

При подключении по в а р и а н т у , показанному иа

рис. 2.3.9, можно, н а п р и м е р , довольно просто исполь-.
зовать его как термометр с градуировкой по шкале
Цельсия. Настроечным потенциометром сопротивле-
нием 5 кОм выходное н а п р я ж е н и е калибруется в гра-
дусах Цельсия. Чувствительность па выходе состав-
ляет также 10 мВ/°С.
 Датчики температуры 13

12k

27 3k
ЕМХСД
WMF/"в

55k

•IS К
Рис. 23.9. Схема включения температурного контроллер)»'
LM 3911 с градуированным выходом Ю мВ/°С,

«ой , ^—ч . _ ..*1Я

\
04К

Ди
и V* К Усиленна ш тг v*
RI ^ _
LM3911 —4 и . LM3911
ВЫХ Jf ' " """ Вых.
V С,001мкЧ> 1 1^"
J
1 - .... , , _, Т ,„, ,,..,,„-«8
^Д
11.3В
look Установка нуля
кп
Рис, 23.10, Измерение разцоотя температур двумя датчиками
LM 3911,

2*
36 Глава 2

Простой д и ф ф е р е н ц и а л ь н ы й термометр на основе

двух датчиков показан в качестве второю п р и м е р а
па рис. 23.10. С помощью этой с х е м ы можно опреде-
лять рачпость температур между т о ч к а м и Т: и Т2,
При равенстве т е м п е р а т у р , т.е. при Г, = 72 настроеч-
ным п о т е н ц и о м е т р о м (100 кОм) выходное н а п р я ж е н
пне i/i у с т а н а в л и в а е т с я р а в н ы м нулю Калибровка
чувствительности осуществляется путем и з м е н е н и я
отношения (/?i + R z ) / R \ с помощью настроечною по-
тенциометра V?2-

Температурно-частотный преобразователь
Прямое преобразование аналоговой измеренной
х а р а к т е р и с т и к и ( т е м п е р а т у р ы ) в цифровой выходной
о -И5 В

R(T) CD4D47AJ
KTY10 1 ]1
С1 ^|-{П>
Q чаете
Г
t
7 8
с

Г
Рис 2311, Темпсратурпо-частотмый преобразователь, состоящий
ит тсрмореаистора (например, KTY 10) и КМОП-мультивибра-
тора (CD 4047A).

сигнал представляет особый интерес в связи с приме'

пением ЭВМ, поскольку отпадает, н а п р и м е р , необхо-
димость в дорогостоящих аналого-цифровых преобра-
зователях. Кроне того, передача с и г н а л а в цифровой
форме надежнее, чем в а н а л о г о в о й На рнс. 2 3 1 1
представлена простая схема температурпо-частотного
преобразователя. Д а т ч и к температуры R ( T ) в соче-
тании с конденсатором С} образует /?С-цепочку с за-
висящей от температуры постоянной в р е м е н и для
КМОП-мультивибратора CD4047A, Переменная ры-
 Да т и к и температуры Л

хо1ная частота f па выводе 13 в ы ч и с л я е т с я IP® фор-

муле

Зависимость в ы х о д н о й частоты f от [ с м п е р а т у р ы
для р а з л и ч н ы х датчиком иллюстрируется рис 2311'.

-eg -за -40 -зо -20 -ш +о ю 20 30 10 50 so 70

Темпзоатура °С
Рис. 2 3 1 2 Зависимость п п х о л н о й частот / от т е м п е р а т у р ы для
р а э л и ч н и х датчиков JV/"6' — тсрморезжтсф с отрицател! чан
ТКС, M.FW—металлопленочпмй резистор, BRD — диод с вну-
тренним униполярным барьером

К р е м н и е в ы й датчик т е м п е р а т у р ы K.7Y 10 ( ф и р м а
Siemens) имеет почт л и н е й н у ю характеристику в or
л и ч п е от терморезистор он с отрицательным ТКС и
диодов с в н у т р е н н и м у н и п о л я р н ы м б а р ь е р о м (BBD),
включаемых встречно для компенсации температур-
ной зависимости сопротивления

2,4. Терморезисторы с отрицательным ТКС

Согласно с т а н д а р т у ФРГ D1N 44070 и стандарту
Международной электротехнической комиссии (1LC
Pub! 539), терморезмсторами с отрнцаюльным ТКС
н а к у п а ю т с я п о л у п р о в о д н и к о в ы е резисторы, сопротпи-
38 Глава 2

ление которых падает при повышении температуры,

У т а к и х терморезисторов ТКС составляет около
3..6 %/К, что п р и м е р н о в 10 раз больше, чем у пла-
тиновых или никелевых датчиков Терморезисторы
состоят из поликристаллпческой смеси различных
спеченных оксидов, н а п р и м е р Fe2O3 (шпинель),
Zn 2 TiO 4 , MgCr 2 O 4 , ТЮ2 или NiO и СоО с Li 2 O Про-
цесс спекания осуществляется при Ш00...1405°С. За-
тем изютовляют к о н т а к ш путем вжигания серебря»
ной пасты. Для обеспечения высокой стабильности
сопротивления, прежде всего при длительных измере*
ниях, терморезисюры после спекания подвергают еще
искусственному старению. С помощью специальных
режимов обработки достигается высокая стабильность
сопротивления.
Температурная характеристика терморезистора
описывается следующим уравнением:

= J?* ыср [В (-f -—-)],

где Кт и 7?лг — соответственно сопротивление при тем-

п е р а т у р а х Т и TN (в градусах Кельвина), В — кон-
с т а н т а материала терморезистора, имеющая размер-
ность К.
Тогда ТК.С терморезистора оказывается равным
в

Температурная характеристика терморезистора

при различных значениях В показана па рис. 2.4.1.
В продаже имеются терморезисторы в различных
конструктивных исполнениях, в том числе и м и н и а -
тюрные для обеспечения быстрого реагирования па
изменение температуры. На рис. 2 4 2 показаны паи-
более распространенные конструкции терморезисто-
ров дискообразные, стержневидпые и м и н и а т ю р н ы е .
Для применения в области автомобильной и бы*
ТОБОЙ электроники фирмой Siemens предлагается ши-
рокий набор специальных, не слишком дорогих тер*
морезисторов,
 Датчики температуры 39

Важным параметром терморезнсторов является

вольт амперная х а р а к т е р и с т и к а (рис 2 4 3 ) , Она ош-и
сывает связь между током через датчик и падением
напряжения па нем При токе около t мА вольт-ам-
перная х а р а к т е р и с т и к а эшх д а т ч и к о в прямолинейна,

200 "С 240

Рис 2 4 1 Рабочие характеристики терморезнстпроп с отрица

Тельным ТКС, отличающихся эп пением В

так как еще пе происходит изменения сопротивления

из-за самонагрева. Если же ток через датчик увели*
чить, то его сопротивление изменится (станет мень-
ше) и падение н а п р я ж е н и я на нем уменьшится В ре-
зультате при определенном значении тока / характе^
ристика имеет максимум, а при дальнейшем возрас*
танин тока отклоняется вниз
Отмеченные на характеристике точки отражают
изменение температуры датчика из-за самонагрева*
40 Глапа 2

Нагрев д а т ч и к а , а вместе с тем и ход х а р а к т е р и с т и к и

сильно зависят от р а б о ч е й среды. На рис 2 4 4 пока-
Цветной кед
] II га
Стекло ,о,2±10%(иниспь)

3013

s.aii± ид

Рис. 2 4 2 Различные конструкции терморезисторов с отрица-

тельным ТКС, используемых в качестве датчиков температуры-
а, б, д — остеклованные, в — миниатюрные, г — дискообразные,
е, ж — капсулированные.

запа в о л ь т - л м п с р н а я характеристика т и п и ч н о г о тер-

морезнстора на воздухе и в воде. Поскольку в воде
теплоотвод лучше, чем на воздухе, при р а з м е щ е н и и
д а т ч и к а в воде ею х а р а к т е р и с т и к а проходит
 Датчики температуры

100 1, мА 1000
Рис 243. Вольт амперная характеристика терморезнстора с от-
рицательным ТКС.

Рис 2 4 4 Изображение в линейных координатах вольт-амперной

характеристики датчика я различных средах.
42 Глава 2

чем па воздухе. Этот эффект можно использовать, на-

пример, для простого измерения уровня жидкости,
Если датчик работает па постоянном токе (около
10 м А ) , то падение напряжения на нем составляет
около 6,8 В. Но в воде из-за более высокого сопро-
тивления оно уже оказывается равным примерно

с зо 2W 1, С 300

Рис. 2 4,5. Временная характеристика срабатывания миниатюр-

ного (а) и дискообразного (б) терморезисторов с отрицательным
ТКС. ' '

!3 В. Следовательно, как только датчик вступает в

контакт с наполняющей средой (водой), напряжение
скачком возрастает с 6,8 до 13 В. Этот скачок напря-
жения можно использовать для регулирования. Та-
ким образом, на основе измерения температуры полу-
чается датчик уровня.
Быстрота электронной индикации этого скачка тем-
пературы (постоянная времени) зависит от геомет-
рии датчика. На рис. 2.4.5 показана реакция на рез-
кое изменение температуры миниатюрного датчика с
малой массой и дискообразного терморезистора с от-
рицательным ткс.
Если к терморезистору подключить еще резистор
с не зависящим от температуры сопротивлением, то
температурную характеристику терморезистора мож-
 Датчики температуру <

по изменить, как п о к а з а н о на рис 2 4 6, и для после

дователыюго (Rs) и параллельного (Rp) добавочны
сопротивлений Сочетание /?р п %s дает возможпост
изменять ход характеристики температура — сопро
тивлсние, как показано на рис. 246,6
Путем удачного подбора сопротивления /?„ (ла

Рис. 246 Линеаризация характеристики тсрморсзистора с отри-

цательпым 1КС посредстпом ипраллелпюго н последовательного
йкл)очеиин дополнительного термопезависнмого сопротивления.

раллелы-юе сопротивление) х а р а к т е р и с т и к у можно до

некоторой степени линеаризировать (рис 2.4.7), так
как S-образпая характеристика имеет некоторую точ-
ку перегиба (1 w). Н а и л у ч ш а я линеаризация дости-
гается, когда эта точка перегиба находится в серс^
дине требуемого диапазона измерения температур.
Сопротивление Rp линеаризирующего резистора опре-
деляется по формуле

В + 2Г!Л
44 Глава 2

где RTM — сопротивление терморезистора при темпе-

ратуре Тм (Тм ~ Tw), В — константа материала термо-
резистора.
Интересное применение такого линеаризованного
терморезистора с отрицательным ТКС иллюстри^
руется рис. 2.48. Здесь %т, R\ и R2 образуют термо-

Рис. 2 4 7 . Рабочие характеристики терморезистора с ui]>nua<

*ельным ТКС и резистора с постоянным сопротиилением (R?),
а также характеристика их параллельного соединения.

Зависимый делитель напряжения. Эта схема может

0ыть использована, например, для температурной
Компенсации других выходных сигналов датчиков,
подверженных сильному искажающему в л и я н и ю тем-
пературы. В точке перегиба S-образиой кривой снова
справедливо в ы р а ж е н и е

-D
i<T -
~ M B + 2T
 Датчики температуры

Отсюда можно получить зависящее от темпер

туры изменение н а п р я ж е н и я
В\ R ТН
'Д7 R, 'и°( г*)' R

Соотношением плен делителя напряжения R2l(ft\

/?2) м о ж н о ycjdiioBiiTb, следовательно, любую кр
R1
R2 U (Т)

-20

Рис 248 Схема лпмеаршлнии, использующая термозависины

делитель напряжения для компенсации температурных погрешнс
СТРЙ пьгходпого cm пала датчика на герморезнсторе с отрицай ль
ныы ТКС.

тпзпу х а р а к т е р и с т и к и U(T)/Un, т е. зависимости из

мепенпя н а п р я ж е н и я о г изменения температуры
Терморсзисторы можно использовать также дл;
з а д е р ж к и времени с р а б а т ы в а н и я реле (рн 2 4 9 ) При
подаче н а п р я ж е н и я п е р е к л ю ч е н и я Цв ток / протекает
через реле н резистор /?г Из-за высокого сопротнв
лепня терморезпстора ток / метане тока переключе
пня /s. В результаю с а м о н а г р е в а терморезнстора его
46 Глава 2

сопротивление снижается, ток возрастает до велгн

чипы тока переключения Is и контакт 52 замыкается.

U)
и

Время

Рис. 2 4 9 Задержка включения реле (/?R) с помощью терморе^

вистора с отрицательным ТКС (/?r). Riast — нагрузочное сопро
тивление

При этом время задержки т определяется по фор-

муле

где п принимает значения от 2 до 3,

2.5. Терморезисторы с положительным ТКС

Терморезисторами с положительным ТКС назы-
вают, согласно стандарту ФРГ DIN 44080, зависящие
от температуры резисторы из легированной титанат-
пой керамики. Эти резисторы во вполне определен-
ных областях температур имеют очень высокий по-
ложительный ТКС («д), обусловленный взаимодей-
 Датчики температуры 4

ствием полупроводниковых и сегпетоэлектрически

свойств титанатной керамики. При изготовлени
датчиков этого ища из смеси карбоната бария
оксидами стронция и титана путем прессования полу
чают диски или стержни Изменяя состав смеси, мож
Но варьировать электрические свойства резистора

4100 +150
Т, °С
Рис 2 5 1 Рабочая характеристика терморезистора с положн-
тельньщ ТКС.

Материал спекают путем отжига заготовки при тени

пературах в д и а п а з о н е 1000 ..1400°С. Затем изготсин
ляют контакты
На характеристике сопротивление — температура
(рис. 2.5.1) ясно видно резкое возрастание сопротнв*
ления при температурах выше 110°С При этом кри*
вуго можно разделить на отдельные участки в разные
температурных диапазонах (рис. 252), Температура,
при которой характеристика сопрошвленне — темпе-
ратура обладает явно иыражениым положительным
4В Глапа 2

называется температурой реагирования Тщ

Обычно за Тн принимают температуру, при которой
сопротивление терморезистора в два раза превышает
минимальное значение /?тт, т. е RN — 2Rm\n. При

igRy

lgR2
IgRi
Tl T2

IgR J

T1 T2
Рис 2 5 2 Определение параметров датчика: а — темпераiypa
реагирования Тя', 6 — ТКС (а;;) при температуре Тм\ в — каса-i
телымя в точке nepei«6a Ту.

некой температуре Тм температурный коэффициент

такого терморезистора («R) описывается касательной
к характеристике сопротивление — температура в точ-
ке, соответствующей этой температуре. При логариф-
мическом масштабе и /?г= 10/?[ получаем
100
0,4343 И/К.
 Да г тки температуры 49

Максимальный ТКС, чаще всею приводимый в

технических паспортах i ерморезисторов, соответствует
наклону касательной в точке перегиба (рис 2 5 2 , 0 )
150

60 и,в

100

OJ
1'пс 2 5 3 Полы амперплч х<ф пперисшка К-рморезистора С по-
ложительным ТКС в линейном (а) и лснарнфмичсскоы (б) мас-
штабах
I
Из статической и о л ы - а м п е р н о й х а р а к т с р и с т и к и т и ?
ничпого lepMope-innopa г положительным TKG
(рис 25.3) отчетливо в и д н о его о г р а н и ч и в а ю щ е е ток
действие П р и м а л ы х н а п р я ж е н и я х , и н л а и ю закону
Ома, п о л у ч а е т с я л и н е й н а я з а в и с и м о с т ь между U и [,
50 Глава 2

Однако, как только из-за большой потери мощности

возникает самоиагрев терморезистора, ток начинает
быстро спадать и в итоге стабилизируется. Этот прсь
цесс зависит, естественно, от окружающей темпера*
туры и теплоотвода от терморезистора в рабочую
среду.

Датчик уровня
Па основании этого эффекта при использовании
терморезистора с положительным ТКС (тип

10^.
\.
\
£ \
f
Чч
""«* "-••в. т*^^J

10
*5 0 0 iO 100 150 200 25

Рис, 2 5 4 . Типичная рабочая характеристика терморезнстора О

положительным ТКС.

232267090023, фирма V a l v o , табл. 2.5.1) можно изго-

товить датчик уровня жидкости (например, котель-
ного топлива), более подробно описанный ниже,
Большой ТКС терморезистора в некотором узком
температурном интервале (рис. 2.5.4) и отличие теп-
лоотвода на воздухе и в т о п л и в е дает возможность
изготовить датчик уровня. Па рис. 2.5.5 проиллюстри*
рован наиболее неблагоприятный случай (теплое топ-
 Т а б л и ц а 2 5Г
Технические характеристики терморезнстора с положительным
ТКС типа 23226709002.3 фирмы V a l v o

Сопротивление при температуре окружаю- 70 . 250 Ом

щей среды i)n = +25 "С *
Сопротивление при температуре окружаю ^ 1,8 кОм
щей среды ib = +200 °С и (7„знер =
= 18 В (пульсирующее)
Рабочий ток / (мА) при постоянном ш«
пряжении
12 В (-2%) 10 В (-2%) 18 В (-2°/!)
Спокойный воз- <39 <30 <27
дух —25 °С
<-ГС)
Топливо** ^=45 2^36 >33
+50 °С (+1 °С)
Вольт амперная характеристика
Максима чьпып тсж / п аня статнче- 80 мЛ
(.кон характ< ристикп * "
Рабочее напряжение при <Ь = 1'J В (постоянное)
= 75°С с последовательно
включенным coupon пилением
100 Ом
Температура реагирования Ол> «160 "С
Температурный коэффициент aR »35%/K
Коэффициент теплопроводности Cik
мВт/К
В спокойном воздухе при —25 °С ~2
(-1 "С)
В топливе при +50°С (+ГС) 625
Рабочий диапазон температур Ои, °С
При пулевой на1рузке —55 ... +125
При ит,х в спокойном воздухе —25 ... +75
При (Угаал в спокойном топливе —25 ... +SO
Максимальная температура itpMO]ie-
зистора с положительным ТКС, +200 °С
получающаяся в результате са-
монагрева ®рта
Масса 02 г

* Ко избежание самоплгрсва измерительное напряжение не более 1,5 3

(постоянное)
** Топливо марки SUhLL S 5ВВо
*** Потерн пющиости не препышают 480 мВт также и прн ыапряжащш
в В, соотиетствующем / я]ах
 Глава 2

г, -.25°С
мА

"ч:

U, В

'* и к I'j lb " U Q

Рис. 2.55, Вольт-амперная характеристика терморезисторй с по-
ложительным ТКС в различных средах (воздух—топливо).
Вверху, в среде спокойного воздуха, Ои = 250°С. Внизу 1 —
нижняя граница, спокойное топливо, Й'и = 50 С; 2 — верхняя
граница, спокойный воздух, ftu = — 25 °С,
 Летчики температуры 53

ливо и холодный воздух) При этом рашость токов

минимальна, но все же достаточна, чтобы на нее реа-
гировало соответствующее переключающее устрой-
ство. Если датчик п и т а е т с я , например, постоянным
напряжением 15 В, то п ш с п е п н е тока оказывается не
менее б мА. Для п с п о л м о п а ш ш эют эффекта воз-
можно следующее схемное решение (рис. 2.56),
*15V

-153
Измерительный мост усилитель Сигнализатор предельного значения
Рис 25 fi Принципиальная схема измерения уронпя датчиком
температуры па основе тсрморезигтора с положительным 'IKG

Терморезистор (/??•) с положительным ГК.С

чается в качестве активного элемента в измерит ель*
ный мост, питающийся от источника постоянного тока
(LM317), С помощью комбинации резисторов (/?i 4:
+/?а) можно изменять ток / й в и н т е р в а л е 20 .,80 мА,
Резистором /?| ток 13 устанавливается около 40 мА
(на воздухе). Уравновешивание отпоен 1слыю нуля,
когда Uв = О Б, осуществляем настроечным потен«
циомстром Rp = 2 кОм.
Если датчик погружается и контролируемую жид-
кость (например, в топливо), то н а п р я ж е н и е LJB из-
меняется. С помо!ныо регулируемого резистором /?о
сигнализатора предельною л е ч е н и я э т о цзме1гение
54 Глава 2

напряжения визуализируется светоднодом LED. Ре-

зистор Rx, сопротивление которого рассчитывается,
ограничивает ток светодиода / L C D некоторым макси-
мально допустимым значением (в общем случае
Цветная мвткэ, 10 мА). Вместо свето-
красная диода можно пот,клю-
. Ega i ir^—т=^ чить реле,
С р f
_ тп—*U-7.Sma«-*U-20min-J
* При встраивании
ТбрНОрСЗИСТОра С ПО
ложителышм ТКС в
головку д а т ч и к а (рис.
2.5.7) важно соблю-
дать следующие меры:
1. Внутренний дна*
меф должен быть не
меньше 15 мм,
2. Длина «холодпо-
го» вывода должна
быть не меньше 14 мм
(из них м а к с и м у м З м м
можег быть использо-
вано для спая с соеди-
нительным кабелем,
так что должно оста-
Рис. 2.5.7. Конструкция и размеры ваться по меньшей ме-
датчика уровня. ре 11 мм свободной
д л и н ы вывода).
3. Диаметр отверстии для впуска воздуха п топ-
лива должен быть не меньше 5 мм; расстояние между
отверстиями около 60 мм.
Поскольку теплопроводность в значительной мере
о г р а н и ч и в а е т с я длиной вывода, изогнутый «горячий»
вывод ие должен быть слишком коротким. При мон-
таже терморезистора этот вывод должен быть на-
правлен вниз (красная метка внизу).

Применение
На рис. 2.5.8 показаны некоторые распространен-
иыс виды датчиков па основе терморезисторов с по-
ложительным ТКС, пригодные для различных приме-
нений.
 Датчики температуры

Ге} оболочки с оболочной

Рнс. 258. Различные конструктивные формы датчиков темпера-^

туры па основе терморезисторов с положительным ТКС (фирмы
Siemens AG) Имеющиеся на датчиках маркировочные индексы
соответствуют: Л — д л я пайки, 5— для клеммных контактов.
Датчик в корпусе с резьбой электрически изолирован (испыта-
тельное напряжение иеремеиние, U/, = 220 В и 3 кБ],
J56 Глава 2

Лучше всего такие д а т ч и к и з а р е к о м е н д о в а л и себя

в качестве защиты электродвигателей от п е р е г р у з к и
или как з а щ и т н ы е датчики м е х а н и з м о в Если, н а п р и -
мер, терморезистор с п о л о ж и т е л ь н ы м ТКС в к л ю ч е н
последовательно с п о т р е б и т е л е м тока ( н а п р и м е р , с
электродвигателем), как п о к а з а н о на рис. 25,9, то

12В о

Рис, 2.59 Применение терморелистора с положительным ТКС в

качестве зашиты электродвигателя (М) от перегрузок.

п р и н о р м а л ь н о м режиме работы через электродши а-

1ель проходит оптимальный ток и сопротивление тер-
морезисгора в этом р е ж и м е н е з н а ч и т е л ь н о . При воз-
р а с т а н и и тока в случае в о з н и к н о в е н и я н е и с п р а в н о с т и
терморезистор быстро д о с т и г а е т своей р а с ч е т н о й тем-
п е р а т у р ы , 1. с?, с т а н о в и т с я в ы с о к о о м н ы м а снижает
ток ( о г р а н и ч е н и е тока)
П о л у п р о в о д н и к и можно п р и м е н я т ь т а к ж е в каче-
стве с а м о р е г у л и р у е м ы х н а г р е в а т е л ь н ы х элементов и
термостатов, так как они не требуют н и к а к и х допол-
нительных э л е м е н т о в . Если, н а п р и м е р , к термореэн-
стору с положительным ТКС п р и л о ж и т ь н а п р я ж е н и е ,
вызывающее его нагрев до температуры выше расчет-
ной, то происходит с к а ч к о о б р а з н о е изменение темпе-
ратуры. В равновесном состоянии, т. с, когда подво-.
д н м а ч э л е к т р и ч е с к а я энергия равна отводимой тепло-
вой энергии, у с т а н а в л и в а е т с я п о с т о я н н а я темпера-
тура, не зависящая от температуры о к р у ж а ю щ е й
среды.
 Датчики температуры

Этот эффект может найти разнообразные прнм<

нения, н а п р и м е р .
® в технике связи (термостатнрование кварцевы
кристаллов, диодов и т д),
® в электронике (подогрев ж и д к о к р и с т а л л и ч е с к и
индикаторов и приборов, ]ермостатпрование лебсл1

РТС
Зеркало

Ппток воаиука

РТС
Рис 2 5 1 0 Примеры применения cauopei у .тируемых термореш-
сюров (РТС) для тррмистгпировапия в автомобиле. Стрелками
показан поток воздуха к голтже цилиндров.

ших участков, н а п р и м е р и ш е г р а л ь и ы х схем, жидких

кристаллов, фильтров па волоконных световодах
и т д );
* н м е д и ц и н е ( и с п а р и т е л и , ипыляторы, кпстр/-
п е н т а л ь п ы е ш к а ф ы , ф у т л я р ы п л и ш т а т и в ы для на*
бора инструментов),
® в автомобильной технике (предварительный
подогрев карбгораюра, обогрев наружного зеркала,
58 Глава 2

нагрев жиклера, предварительный подогрев воздуха

и т д.);
® в бытовой технике (кефирницы, испарители, тер-
мостатированные подставки, подогреватели воды, раз-
мораживатели продуктов, подогреватели детского пи->
тания, нагреватели биметаллических выключателей,
резаки для пористых пластиков типа «Стиропор», пи-
столет для горячей склейки, бигуди и т. д.).
На рис. 2.5.10 показаны два конкретных примера
из автомобильной техники: обогрев наружного зер-
кала и предварительный подогрев воздуха
При предварительном подогреве воздуха снижает-
ся расход топлива иа прогрев двигателя и одновре-*
мепно уменьшается выброс вредных веществ,

2.6. Измерение разности температур '

Для определенных целей регулирования, напри-
мер для р е г у л и р о в а н и я нагревательной установки,бьн
вает важно измерять разность температур. Это изме-
рение может быть осуществлено, в частности, по раз-
ности между наружной и внутренней темпер ату рой
или температурой на входе и выходе.

Принцип измерения
Принципиальное устройство измерительной схемы
показано па рис. 2.6.1. Схема состоит из двух мостов
Уи!стона, причем используется средняя ветвь (2)
обоих мостов. Напряжение между точками / и 2 ука-
зывает разность температур между датчиками F\ и
FI, тогда как н а п р я ж е н и е между точками 2 и 3 соот-
ветствует температуре д а т ч и к а F2, а между точками
3 и 1 — температуре датчика FI.
Одновременное измерение температуры Т\ или Та
и разности температур Т\ — Т2 важно при определе-
нии термического КПД тепловой м а ш и н ы (процесс
Карно). Как известно, коэффициент полезного дей*
ствия W получается из уравнения
лг
IF/
w
— т> ~ т* —
~ -— -
 Датчики температуры

Таким образом, для определения КПД машин

нужно только найти отношение двух напряжены
2
Й1 з *

Рис, 2.G.I. Измерите л! п и н мост для определения абсолютна

значении температуры и раапости температур в двух точка)
£/дл — напряжение моста.
AUD2 ч A£/DI (рис. 2.6.1) между точками 1 и 2 и точ
ками 2 и 5,

2.7. Калибровка
Для точной настройки описанных приборов, пред-
назначенных для и з м е р е н и я температуры, нужны до-
вольно дорогие калибровочные устройства. Для об^
ласти температур О..ЮО°С в распоряжении пользо-
вателя имеются вполне доступные опорные темпера-
туры, так как 0°С и л и 100°С по определению яв-
ляются соответственно тиками кристаллизации или
кипения чистой воды
Калибровка по 0°С (273,15 К) осуществляется в
воде с чающим льдом. Для этого изолированный со-
суд (например, термос.) ыполняют сильно измельчен-
ными кусками льда п заливают водой. Через несколь-
ко минут в этой ванне устанавливается температуру
точно р а в н а я 0°С. Hoipyauu датчик температуры в
эгу ванну (Внимание! Убедитесь в исправности изо-
ляции соединительных проводов!), получают показа-
ния датчика, соотвегслзугощие 0°С.
Аналогично действуют н при калибровое по 100"(J
(373,15 К), Металлический сосуд (например, ка»
60 Пава 2

стрюлю) наполовину заполняют подои. Сосуд, разу*

меется, не должен иметь никаких отложений (на-
кипи) иа внутренних стенках Нагревая сосуд па
плитке, доводят воду до кипения и тем с а м ы м дости-
гают 100-градусной отметки, которая служит второй
калибровочной точкой для электронного термометра.'

Линейность
Для проверки линейности калиброванного таким
образом датчика необходима по меньшей мере еще

Температура
Рис. 27.1. Определение линейности характеристики датчика а
диапазоне 0 .100"С Линейная (А) и нелинейная (В) характери-
стики датчиков сониадлгот в опорных точках 0 н 100 "С.

одна контрольная точка, которая должна быть рас-

положена как можно ближе к середине измеряемою
диапазона (около 50°С).
Для этого пафетую воду снова о х л а ж д а ю т до ука-
занной области и ее т е м п е р а т у р у т о ч н о определяют с
помощью калиброванного ртутного термометра, имею-
щего точность отсчета 0,1°С. В области температур
около 40°С для этой пели удобно п р и м е н я т ь меди-
ц и н с к и й г р а ч у с п и к . Путем т о ч н о г о измерения темпе-
ратуры воды и в ы х о д н о г о н а п р я ж е н и я получают
 Да i'шки температуры 61

третью опорную топку, которая может рассматрц*

ваться как мерз линейности датчика
Два различных д а т ч и к а , откалнброванпые выше-
описанным метолом, д а ю т совпадающие показания в
точках Р\ и J°2, несмотря па их различные характе-
ристики (рис, 2 7 1 ) По дополнительное измерение,
например температуры гола, выявляет нелинейность
характеристики В д а т ч и к а 2 в точке Р.] Лннейнат
характеристика /1 дат'шм I в точке Р3 соотпетствуег
точно 36,5% полною плфни^енин в нзмеряел-юм лпа-"
nJJoiie, тогда как нелинейная характеристика В со-,
ответствует явно меньшему напряжению.
ГЛАВА 3
ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ

Как п датчики т е м н е р а | у р ы , л<нчики д а в л е н и я отно-

сятся к наиболее широко употребительным в технике.
Однако для непрофессионалов измерений д а в л е н и я
представляет меньший интерес, так как существую-
щие датчики давления относительно дороги и и м е ю т
лишь о г р а н и ч е н н о е применение. Несмотря на это, рас-
смотрим некоторые в а р и а н т ы их использования,

3.1. Кремниевые датчики

Для любительской практики представляют инте»

рее лишь относительно недорогие кремниевые дат-
ч и к и давления, имеющие выходной сигнал чаще всего
порядка нескольких вольт. Обычно такой датчик из-
готовляют из кремниевой пластины, часть которой
в ы т р а в л и в а ю т до образования тонкой мембраны. Ме-
тодом ионной и м п л а н т а ц и и на мембране выполняют
резистивпые элементы с межсоединениями. При из-
менении давления мембрана прогибается, и под дей-
ствием пьезоэлектрического эффекта происходит из-
менение сопротивления резистивных элементов. Тол-
шипа мембраны, как и геометрическая форма рези-
сторов, определяется областью допустимых давлений.
Преимуществами широко распространенных датчиков
этою типа являются:
* высокая чувствительность,
© хорошая линейность,
9 незначительные гистсрезисные явления,
® малое время срабатывания,
© к о м п а к т н а я конструкция,
 Датчики давления 63

® экономичная планарная техполопш изготов*

ления.
Недостаток, з а к л ю ч а ю щ и й с я в повышенной тем-»
пературной чувствительности, можно в большинстве
случаев с к о м п е н с и р о в а т ь .
Область п р и м е н е н и я д а т ч и к о в д а в л е н и я опреде-
ляется возможным диапазоном измеряемых давлений
(см, табл, 3 1 1 ) .
Т а б л и ц а 3 t.I
Области применения датчиков давления

Упоить .-,
давления Применение

40 мбар Измерение уровня жидкости и стиральных и посудо-

моечных машинах
100 мбар Пылесосы, контроль фтьтров, измерение расхода
200 мбар Измерение кровяною давления
1 бар Барометр, регулировка з т ж и г а н и я и ппрысиа в ав-
томобильных двигателях
2 бар Измерение разрежении па такте всасывания в авто-
мобильных двигателях
10 бар Измерение давление магл j ц сжаюю воздуха в тор-
мозной системе автомобиля, холодильники
50 бар Пневматические системы промышленные роботы
500 бар Гидравлические системы, строительные машины

Четыре однотипных пьезорезистора образуют мост,

как показано па рис. 3 1 I При этом отдельные ре-
зисторы (Ri ... Rt) соединены т т к , что при прогибе
мембраны сопротивление р е т и н о р о в R\ и /?3 возрао
тает, а у У?2 и /?<— умснынаеп,н В результате дости-
гается высокая ч у в с т в и т е л ь н о с т ь измерительного мо-
с т а . Выходное н а п р я ж е н н о U\ соответствует тогда
уравнению
t] Т] .—: *—2—,—.
л ±==
с л 11? 4 /Л \ (А* ^4- I"1 \

На рис. 3.1.2 г р а ф и ч е с к и представлена зависи-

мость и/\(р) для т и п и ч н о ! о кремниевого датчика дав-
ления. Здесь же продемонстрировано и влияние тем-
пературы па чувствительность,
64 Глава 3

Поскольку в этом с л у ч а е максимальное выход^

пое н а п р я ж е н и е составляет лишь 0,1 В, для дальней*,
шей обработки сигнала его нужно усилить еще при*
мерно до 1 В. Такое 10-кратное усиление по напряже-i
iiiuo с помощью с т а н д а р т н ы х операционных усилите*
лей (741, LM358 и т, п.) не составляет проблемы, а
150

100

0 1 2 3
Давление Р, бзр— "-
Рис, 3.1.1, Измеритель- Рис. 3.1.2. Характеристика кремние-
ный мост из четырех вого датчика давления при различных
идентичных пьезорези- температурах (25 и 125°С)
Сторов, составляющих в
совокупности датчик
давления.

поэтому согласование сигнала с измерительным при*

бором осуществляется легко. Для измерений с повы-
шенной точностью следует дополнительно компспси-"
решать температурную погрешность датчиков.

Компенсация температурной погрешности

В п р и н ц и п е следует р а з л и ч а т ь т е м п е р а т у р н ы й
коэффициент смещения нуля и т е м п е р а т у р н ы й коэф-
фициент чувствительности и каждую отдельную по-
грешность компенсировать индивидуально.
Температурный коэффициент смещения н у л я (при-
мерно —2-1Q-4 К~') представляет собой 1емператур-
 Датчики давления 05

ную погрешность сигнала » пулевой точке шкалы. Он

примерно в 10 раз меньше температурного коэффи-
3
циента чувствительности (около —2-IO™ Кг'). Про-
стейший способ температурной компенсации состоит

IR L
КОР4
Р4 А
S-
ь
Р" -^

г .. п
Рис. 3 1.3. Схемы компенсации для кремниевой) датчика давле-
ния: а — пассивная компенсация чувствительности моста; б —
установка нуля шкалы и пачишган компенсация температурного
смещения пуля с помощью дополнительного резистора /?0; в —
активная компенсация чувствительности моста к смещения пуля
шкалы; г — дополнительная пошнишость аитннпой компенсации
температурного смещения нуля шкалы (к схеме я), ОРг—опера-
ционный усилитель.

в так называемой пассивной компенсации с помощью

резисторов и датчиков температуры, как показано па
рис. 31.3, а и б. Правильным подбором шунтирую-
щих резисторов (/?//?о), а также датчика темпера-
туры (например, типа K.TY 10) можно оказывать
влияние как на смещение пуля, так и на изменение
3 Г, Виглеб
G0 Глава 3

чувствительности. Однако лучше осуществлять актив-!

иую компенсацию с помощью операционных усилите-
лей (см. рис. 3.1.3,s и г), которая почти полностью
устраняет температурную погрешность. На рис. 3.1,3, в
показана п о л н а я схема кремниевого д а т ч и к а давле-
ния с активной компенсацией изменения чувствитель-*

800 Ф 8,5! 0,5

Ф015
700 '1 25°С
cons!
600

500

400
1
300

200
ч:

100

О
p
abs>6aP

Рис. 3.1.4. Датчик даиления типа KPY (фирмы Siemens АО);

о —типичная зависимость выходного напряжения UP от абсо-
лютного давления Раьз при рабочей температуре Гл^=25°С,
рабочем напряжении UB = const и напряжении в нулевой точке
Уо = 0; б — механическое устройство; в — электронная схема.

ности и смещения нуля. Два операционных усилителя

ОР1 и ОР2 включены как неинвертирующие усили-t
тели, причем коэффициент усиления ОР[ у п р а в л я е т с я
датчиком температуры KTY 10. Поскольку с повыше-
нием температуры чувствительность датчика давле--
ния падает, при соответствующем подборе парамет-
ров KTY Ю н / ? коэффициент усиления ОР1 может;
быть увеличен настолько, что потеря чувствительно-
сти окажется скомпенсированной. С помощью
 Датчики давления 67

теля ОР4 нулевую точку можно установить произ-

вольно. Если схема в точке А заменена схемой по
рис. 3.1.3,г, то смещение пуля регулируется незави-
симо от компенсации чувствительности. При этом ре-
зистор R(f}) включен как а к н т п ы й элемент в изме-
рительном мосте, выходное напряжение которого со-
гласовывается с усилителем ОЯ4.

Некоторые конструкции дапжков давления

Па рис. 3.1.4 показан д а т ч и к давления из серии
КРУ (фирмы Siemens) для недорогих устройств. Тех-
нические характеристики датчиков этой серии приве-
дены в табл. 3.1.2.

Т а б л и ц а 3 1.2.
Некоторые характеристики датчиков давления типа КРУ

Максим,• Рабочий t-оиро- Максим,

входное Температурный
1 III! давлепшъ диапазон тип такие напряже- диапазон
ДШЧПКЗ p iriax' Д]нлелп1& моста применения,
бар P 6jj: ^B -
Kl )M ние

KPY 10* 4 0 ... 2 7 16 —40 ... +125

KPY 14 * 20 0 ... 10 7 16 —40 ... +125
KPY 12** 4 0 ... 2 7 16 -40 ... +125
KPY 16*» 20 0 ... 10 7 16 — 40 ... +125

* Абсолютные измерена i
** Относиг(.лы!ые измерения.

Датчик давления КР 100А (фирмы Valvo) имеет

уже внутреннюю температурную компенсацию (актив-
ную), которая уменьшает т е м п е р а т у р н у ю погреш-
ность чувствительности в 10 раз. Малые габариты
(рис. 3,1.5) п о л в о л я ю т в с т р а и в а т ь датчик в приборы
и аппараты, где другие датчики давления не уме-
щаются. Параметры датчиков этого типа частично
представлены в табл. 3.1,3 и [ р а ф п ч е с к п на рис,3.1.6,

3*
68 Глава 3

Температурная
компенсация
3 6

Рис. 3.1.5. Механическое устройство (а) и электронная схема (б)

датчика давления К.Р !ООА (фирмы Valvo) с внутренней компен-
сацией температуры. Цоколевка выводов: / — входное напряже-
ние моста, +Ув, 2 — выходное напряжение моста, +(/р; 3 — вы-
ходное напряжение моста, —UP; 4—температурная компенса-
ция, -\-UBK\ 5 — внутреннее соединение; б — входное напряжение
моста, —U в.
 ~П 15"

loo
7

so рам,% юа

•iOO
ц>.
MB
400

300
ювх
:oo
ISE
/ 58
100

pGD>,fi8p з
раь,,%
J
Рис. 3 1 6 Характеристики датчика давления K1 !OOA при раз-
ных условиях эксплуатация, я — область допустимых значений
смещения пулевой точки (±(7 n ff), Ua = const, <l w = const; 6 —
зависимость выходного н а п р я ж е н и я UP от рабочего напряжения
£/в (измерено без температурной компенсации), Uon — 0. tl'u =
= 25°С; в — область допустимых з н а ч е н и й чувствительности,
UB = const, [/off = 0, Oyi^ const, сплошная л и н и я — средние
значения, п у н к т и р н а я линия — границы поля разброса, г — зави-
симость выходного н а п р я ж е н и я (// от рабочей температуры &и
(измерено без температурной компенсации), Uu = const, У 0 /; = 0.
 Т а б л и ц а 3 1 3,
Характеристики датчика КР 100 А фирмы V a l v o

Рабочие характеристики

Рабочее напряжение ^яп/о)' ^ ^,5

Рабочий диапазон даиле- Р, бар 0 ... 2
НИИ
Чувствительность при s, мВ/(В • бар) 13
температуре 25 "С
Температурный коэффи- а , %/К s^±0,02
циент чувствительности с '«этр
температурной компенса-
цией в диапазоне темпе-
ратур —40 ... +85 °С
Температурный коэффи- а^, %/К <!—0,22
циент чувствительности в
диапазоне температур
-40 ... +85 °С
Сопротивление моста при Лп г , Ом 1800 (±15%)
.25 °С
Смещение напряжения t/ 0 ff, мВ/В ±5
нулевой точки при тем-
пературе 25 °С
[Температурный коэффи- o.0;f ^±0,04
^иент смещения напря-
жения нулевой точки в
диапазоне температур
—40 ... +85 °С в про-
центах от полной шкалы
на 1 К
Нелинейностт, в диапазо- % ^0,7
не давлений 0 ... 2 бар

I Предельные характеристики

Рабочее напряжение ^в (i/о)' ^ ^ 1й

(кратковременно)
Допустимое давление Р, бар "С 4
Продавливающее давле- Р, бар >7
ние
Рабочая температура 'fry, °C — 40 f ^ f t y ^ +105

Внимание]

Температура припоя не должна превышать 260°С в течение Юс,

 Датчики давления 71

На рис, 3.1.7 показана мембрана датчика давле-

ния, на верхней стороне которой отчетливо видны ак-
тивные резистивные элементы.

Рис. 3.1 7. Мембрана датчика давления с тсшкопленочными ре-

висюрами.

3.2. Электронный барометр

Существуют н е к о т о р ы е п ш е р е с и ы е в а р и а н т ы при-
менения датчиков д а в л е н и я , уже у п о м я н у т ы е в
табл. 3.1.1 К их числу о! носится и з м е р е н и е атмосфер"
пого д а в л е н и я или высош
О п и с а н н ы й ниже б а р о м е т р и ч е с к и й прибор приго-
деи для точного и з м е р е н и я д а в л е н и я атмосферного
воздуха, которое на у р о в н е м о р я рашю 1013 мбар.
С у в е л и ч е н и е м высоты ( н а п р и м е р , в г о р а х ) и л и при
переменном состоянии ноюлы д а в л е н и е воздуха силь-
но изменяется. Па высоте К) км, н а п р и м е р , оно па-
дает до 264 мбар, а па 20 км —до 55 м б а р Измене-
иие д а в л е н и я воздуха в зависимости от высоты (от-
носнтельно у р о в н я моря) о п и с ы в а е т с я так н а з ы в а е -
мым барометрическим у р а в н е н и е м высонл.

PL = P 0 exp(-A//7) пли А = 7/1 и Г-^У

где Рс. — давление воздуха на высоте Н, Ра — давле-

ние воздуха на уровне моря ( 1 0 1 3 мбар), И — кои-»
72 Глава 3

станта. Зависимость д а в л е н и я воздухд от высоты ил-

л ю с т р и р у е т с я д а н н ы м и табл. 3.2.1.
Т а б л и ц а 32.1,
Зависимость д а в л е н и я воздуха от высоты
Давление, Р ^ Давление, /^
Высота, Высота,
ft, м Л, м :1
мм рт. ст. мбар мм рт. ст. мбар

0 760 1 013 800 691 921

100 751 1 001 900 633 910
200 742 989 1000 675 399
300 733 977 2000 596 795
400 724 96G 3000 526 701
500 716 955 5000 405 540
600 707 943 10000 198 264
700 699 932 20000 41 55

При подъеме от 0 до 500 м давление воздуха сни-i

жается п р и м е р н о па 58 м б а р . 13 среднем получается
0,12 м б а р / м . В з а в и с и м о с т и от погодных условн-й
давление воздуха колеблется в д и а п а з о н е от
«080 мбар (низкое) до «1025 мбар (высокое), т.е.
по перепаду д а в л е н и я это соответствует перепаду вы-
соты около 500 м.

П р и н ц и п и а л ь н а я схема барометра
П р и н ц и п и а л ь н а я схема электронного барометра
изображена на рис. 3.2.1. Датчик д а в л е н и я ( н а п р и -
мер, K P Y 10 ф и р м ы Siemens) питается с т а б и л и з и р о -
в а н н ы м н а п р я ж е н и е м 15 В. Выходное н а п р я ж е н и е
составляет при этом 0...300 мВ для диапазона дав-
лений 0,..2 бар. Д и а п а з о н и з м е р е н и я д а в л е н и я атмо-
сферного воздуха составляет 50 мбар (±25 м б а р ) ,
следовательно, выходное н а п р я ж е н и е должно быть
усилено в 50 раз. Для этого можно п р и м е н и т ь диффе-
р е н ц и а л ь н ы й усилитель ( н а п р и м е р , LM363), При
нормальном атмосферном д а в л е н и и иа вход у с и л и -
теля подается н а п р я ж е н и е ДСУ = 150 мВ, которое по-
вышается о п е р а ц и о н н ы м усилителем ОР\ до яа7,5 В,
Вторым о п е р а ц и о н н ы м у с и л и т е л е м ( н а п р и м е р , LM358)
 Датчики давления 73

с помощью настроечного потенциометра P t напряже-

ние с и г н а л а доводится до 10 В, Сопротивления R2 и
Р] равны 1 МОм, а сопротивление /?j р а в н о 100 кОм.
Датчик давления
KPY10 +15 В

-15В
R5-H6-R7-10KQM

Рис. 3 2 1 . Электронная схема барометра с датчиком давления

КРУ 10. Напряжение тштспшя 15 В, стабштчироввшюе. ОР —
операционный усилитель.

Установка пуля осуществляется делителем напряже*

п н я /?з = /?4 = 20 кОм и Р а = 1 0 кОм.

Калибровка
Т о ч н а я установка ( к а л и б р о в к а ) выходною сиг-
нала UA осуществляется па испытательном стенде,
п о к а з а н н о м на рис. 3.2.2,
С помощью U-ofipa-шой м а н о м е т р и ч е с к о й трубки,
заполненной водой, можно создать колебания давле-
н и я ±25 м б а р , н е о б х о д и м ы е для р е г у л и р о в к и чув-
ствительности д а т ч и к а д а в л е н и я . Поскольку н о р м а л ь -
ное д а в л е н и е 1013 м б л р соответствует водяному стол-
бу 10,34 м, колебание д а в л е н и я ±25 м б а р соответ-
ствует и з м е н е н и ю водяного столба ±25,5 см. U-образ-
пый м а н о м е т р состоит из двух с т е к л я н н ы е трубок
д л и н о й около 1 м, с о е д и н е н н ы х между собой резино
вым ш л а н г о м и н а п о л о в и н у з а п о л н е н н ы х водой ( п р и
возможности — д и с т и л л и р о в а н н о й ) . Ьсли давление
74 Глава 3

на входе и выходе одинаково, то и уровень воды в

обеих трубках будет иа одинаковой высоте. В этом
состоянии выход манометра соединяют с датчиком
давления другим резиновым шлангом и отмечают вы-
ходное н а п р я ж е н и е Ц Л ] . Нагнетая воздух во вход ма-
нометра, смещают уровень воды па 25,5 см. Это вто-
рое выходное н а п р я ж е н и е £Л\2 т а к ж е отмечают. Раз-

Шланг

Стеклянная
трубка (1м)

^ Шланг
7 \ U-образныи
манометр
Рис. 3 2.2. Устройство для калибровки датчиков давления.

пость Д£Уд = UAZ— UA\ после калибровки должна со-

ставлять 250 мВ. Если в е л и ч и н а &UA слишком м а л а ,
то нужно у в е л и ч и т ь усиление с помощью настроеч-
ного потенциометра Р\. У к а з а н н а я процедура повто-
ряется до тех пор, пока не получится Д1/л =250 мВ.
Затем устанавливают нулевую точку. Для этого
у местной метеорологической с л у ж б ы з а п р а ш и в а ю т
давление воздуха в д а н н ы й момент. С помощью на-
строечного потенциометра Р 2 у с т а н а в л и в а е т с я , иа-
пример, выходной сигнал UA = 10,05 В, соотвстст^
вующий измеренному в данный момент д а в л е н и ю
1005 мбар.
 Датчики давления 75

После такой процедуры калибровки па выходе,

схемы получается з н а ч е н и е д а в л е н и я воздуха в дан
ный момент. В этом случае изменению выходного на
иряжения па 10 мВ соответствует изменение давле-
ния воздуха на 1 мбар.
Если ожидаются довольно большие изменения
т е м п е р а т у р ы ( н а п р и м е р , Д7 1 ^20°С), то с помощью
соответствующей схемы следует еще дополнительно
к о м п е н с и р о в а т ь смещение пуля и изменение чувстви-
тельности.

3.3. Высотомер
Электронный высотомер действует аналогично ба-
рометру (разд. 3.2). Схема (рис. 3.3.1) выполнена та-
ким образом, что усиленная примерно до 1,5 В раз-
Датчик давления
«ТУЮ 0+158

о -15 В
ОР2 LM358
Рис. 33.1. Электронная схема высотомера с датчиком давления
КРУ 10. Напряжение питания 15 В, стабилизированное; ОР —
операционный усилитель.

пость напряжений после ОР] может быть устарюв*

леиа па пуль с помощью суммирующей схемы ОР2 а
делителя н а п р я ж е н и я R\/l\. \\a втором каскаде уси-
лителя ОР2 н а п р я ж е н и е с и г н а л а можно повысить
примерно в 10 раз. Поскольку чувствительность моста
76 Гласа 3

датчика давления (KTY 10) составляет 150 мВ/бар,

м а к с и м а л ь н а я выходная чувствительность п о л у ч а е т с я
равной 15 В/бар. Если это выходное н а п р я ж е н и е по-
дать на цифровой вольтметр ( т р е х з н а ч н ы й , 199 м В ) ,
то теоретическая р а з р е ш а ю щ а я способность получит-
ся равной 0,07 мбар/мВ. Здесь установка нуля осу-
ществляется потенциометром Р], а регулировка чув-
ствительности — потенциометром Р2,

Калибровка
К а л и б р о в к а электронного высотомера т а к ж е осу-
ществляется с помощью а п п а р а т у р ы , п о к а з а н н о й на
рис. 3.2.2.
С н а ч а л а с помощью настроечного потенциометра
PI выходное н а п р я ж е н и е UA устанавливается иа пуль.
Затем путем о т к а ч и в а н и я воздуха через выход £/-об-
разной т р у б к и в датчике давления создается разре-
жение 25 мбар. Это показание прибора соответствует
р а з н о с т и высот около 200 м. С помощью потенцио-
метра Р% выходное напряжение устанавливают при-
мерно па 200 мВ (цифровой вольтметр 199). Выход-
нос напряжение UA цифрового прибора откалибро-
вано теперь в метрах относительно нулевой высоты.
Для практической проверки можно определить из-
менение п о к а з а н и й при подъеме на заранее известную
высоту (например, на высотное здание или на радио-
башню) ,
ГЛАВА

[ДАТЧИКИ РАСХОДА И СКОРОСТИ

Б п р о м ы ш л е н н о й измерительной т е х н и к е требуютс
очень точные методы определения расхода п скор<
сти потока. При этом допустимые ' погрешности н
д о л ж н ы превышать одного процента, а иногда и oj
ной десятой процента Довольно точные измерител
расхода требуются иногда и в биту ( н а п р и м е р , газ(
Поток жидкости ч

Линза (фокусировка)
пластинка

! Направление
I потока *•--)
с
Допплеровсний
сигнал
Рис. 4.1. Устройство лазерного допплсровскию анемометра дл
измерения скоростей потокои в трубопроводе.

вый с ч е т ч и к ) . При т а к и х т р е б о в а н и я х к точности п р и

меняют чаще всего м е х а н и ч е с к и е измерительные при
б о р ы . Л и ш ь в самое последнее в р е м я п о я в и л и с ь он
тоэлектроппые и з м е р и т е л и расхода п скорости, рабо
тающие на оптическом эффекте Допплера. Эти лазер
п ы е д о п п л е р о в с к п с а н е м о м е т р ы ( р и с . 4.1) п с п о л ь
зуют особый вид рассеяния света (эффект Допппе
р а ) , рассмотреть к о т о р ы й более подробно здесь ш
представляется возможным. В данном с л у ч а е лу
73 Глава 4

лазера разделяется светоделнтелыюй пластинкой па

два отдельных световых пучка, которые фокусируются
затем с помощью линзы в протекающей среде. Рассе-
янный потоком свет попадает далее на фотодетектор
(фотоумножитель), где он преобразуется в электри-
ческий ток. Усиленный допплеровскпй сигнал элек-
тронным путем преобразуется затем в пропорцио-
нальное расходу измерительное напряжение.

Рис. 4.2. Схематическое изображение процессов теплопередачи

от самонагревающегося резистора в канале потока.

Такой способ измерения расхода довольно дорог,

по его достоинство состоит в том, что поток не иска-
жается процедурой измерения и профиль потока мо-
жет быть измерен с очень х о р о ш и м р а з р е ш е н и е м , так
как регистрируется т о л ь к о скорость в т о ч к е фокуса.
Однако для любительской практики этот метод не-
пригоден.
Измерения р а с х о д а м о ж н о осуществить чисто элек-
тронным путем, п р и м е н я я в качестве д а т ч и к а самона-
гревающийся резистор. Сопротивление такого рези-*
стора изменяется вследствие охлаждения потоком, в
результате чего резистор действует как датчик рас-
хода. На рис. 4.2 п о к а з а н о омическое сопротивление
(элемент д а т ч и к а ) в канале потока. Ток / нагревает
этот элемент до температуры Т\ ~> Т?. В этих усло-
виях теплоотвод осуществляется несколькими путями:,
PLI — теплопроводность через среду потока к стен-
кам трубы; РЫ ~ TI;
 Датчики расхода и скорости 79

PLS-— теплопроводность через механический дер"

житель и электропровода; PL2 ~ Т\\
Pstr — теплопередача путем и з л у ч е н и я (по закону
Стефана — Больцмаиа РМГ ~ ?Y);
PKI — теплопередаче) путем свободной конвекции;
PKI - Т{;
PKZ — теплопередача путем вынужденной конвек-
ции (поток):

где Q — объемный расход

В итоге омический элемент датчика оказывается
в состоянии теплового равновесия, т. е количество
подводимой энергии равно количеству отводимой.
Поскольку подводимая э л е к т р и ч е с к а я энергия рав-
на / 2 K ( T i ) t равновесие определяется н ы р а ж е п п с м
I-R (Т,) = Ри + PU | Pstf + Рк , + РК2,
где РКз представляет собой собственно измеряемую
величину, так как она определяется потоком в ка^
нале. Поэтому все остальные ф о р м ы теплопередачи
могут быть в ы р а ж е ш л к о н с т а н т о й В этом случае по-
лучается так называемое у р а в н е н и е Кинга
/2/? (Г, ) = («,-! ( l2 Q rt )(r,-r 2 ),
где п = 0,5. В этом у р а в н е н и и а, и «г можно считать
а п п а р а т у р н ы м и п а р а м е т р а м и , остающимися постояи-*
н и м и в известных пределах.

4.1. Терморезисториый анемометр

Анемометром называют прибор для измерения по-
тока, основанный как на электрическом (тсрморези-
сторпый анемометр или анемометр с нагреваемой
нитью), так п па механическом (анемометр с крыль-
чаткой) принципе дейсизня Описанный ниже анемо-
метр с терморсзистором и качестве чувствительного
элемента п р е д н а з н а ч е н для и з м е р е н и я слабых пото-
ков воздуха.
Свойства терморезнсторон уже описаны подробно
в разд. 2.4. Для изготовления анемомефов наиболее
80 Глава 4

пригодны терморезисторы в исполнении, п о к а з а н н о м

па рис. 2.4.2, а. Хотя тины терморезисторов, п о к а з а н -
ных па рис. 2.4.2, в, к а ж у т с я более п о д х о д я щ и м и из-
за их налой массы, все же обращение с н и м и весьма
затруднительно. Сопротивление терморезистора с от-
рицательным ТКС типа М85 ( ф и р м а Siemens) изме-
няется от 10 кОм п р и 20°С до «1 кОм при 100°С.

MSB И"
Мгь »П
Jl
y ^<
Ц Т 1/2 LM 358

Рис. 4 1 . 1 , Измерительная схема терморезнсторного анемометра

для измерения скорости водуха: М85 — терморезисторный дат-
чик.

Если рабочую температуру датчика принять равной

100°С, то по в о л ь т - а м п е р н о й х а р а к т е р и с т и к е М85длп
с о п р о т и в л е н и я 1 кОм измерительный ток получается
р а в н ы м f y \ мА. На основании этого можно скон-
струировать схему типа показанной па рис. 4.1.1, Со-
противление моста составляет примерно 1 кОм. При
постоянном (регулируемом) н а п р я ж е н и и п и т а н и я мо-
ста 5 В для 1М = 2 мА добавочное сопротивление Ry
получается р а в н ы м
5 В
2 мА — 1 кОм =! 1,5 кОм,
Механическое устройство датчика такого анемо
метра п о к а з а н о па рис, 4.1,2, Чувствительный к ни-
 Датчики расхода и скорости 81

Пластиковая -Эси-
трубка 020

Теркюрёэистор .1

трувна(810
' „
Рукоятка _ijI
длиной 20см

и [ К прибору
fl
* СИЛИКОН,

Рис, 4,1.2, Механическое устройство терморезисторкого

Скорость потока
Линайи[,;м
диапазон

Рис. 4.1.3. Характеристика терморезисторпого анемометра дл!С

прямоточных условий.
Й2 Глава 4

"току терморезистор М85 находится в канале длиной

около 3 см и внутренним диаметром около 2 см. Бла-
годаря такой конструкции можно исключить возник-
новение налагающихся побочных потоков, способных
исказить результаты измерении. Терыорезнстор с по*
мощью клея (двухкомпопеитпый клей, н а п р и м е р
UHLJ-Plus) крепится на подставке в измерительной
Трубке, которая в свою очередь приклеивается ко вто-
рой трубке, используемой одновременно как рукоятка
и как к а н а л для электропроводов. Выходящий из ру-
коятки кабель фиксируется силиконовым клеем, что-
бы исключить действие растягивающих нагрузок.
Х а р а к т е р и с т и к а изготовленного таким образом
терморезисторпого а н е м о м е т р а п о к а з а н а иа рис. 4.1.3,
Она получается на основании зависимости, опреде-
ляемой уравнением Кинга и нелинейной характери-
стикой терморезистора.

4.2. Датчик расхода

Измерение расхода жидкостей или газов чрезвы-
чайно важно во многих областях техники, так как
оно позволяет судить об эффективности процессов по
расходу м а т е р и а л о в . На рис. 4.2.1 показана измери-
тельная установка на основе автомобильного двига-
теля внутреннего сгорания. Здесь в к а р б ю р а т о р н ы й
двигатель непрерывно подаются кислород воздуха и
топливо (бензин). Для достижения оптимального—•
прежде всего по количеству в ы х л о п н ы х газов — ре-
жима работы необходимо определенное соотношение
подаваемых количеств воздуха и т о п л и в а . Это соот-
ношение можно определить, н а п р и м е р , путем измере-
ния содержания СО датчиком 3 (см. разд. 5.3) при
одновременном р е г у л и р о в а н и и к а р б ю р а т о р а . При раз-
личных режимах движения (езда по городу или по
шоссе) это соотношение, разумеется, изменится, по-
этому желателен т а к о й контроль с помощью датчи-
ков / и 2 в процессе движения. Датчиком 2 можно
измерять также расход бензина (в л и т р а х па 100 км
пути) в д а н н ы й момент и обеспечивать таким обра-
зом наиболее экономичный режим движения.
 Датчики расхода и скорости

П р и н ц и п и а л ь н о способ действия этих датчиков

(/ и 2) совпадает с описанным в разд. 4.1. Для изме-
рения расхода по э л е к т р о т е р м и ч е с к о м у принципу осо
беш-ю подходят самонагревающиеся терморезистор-
иые д а т ч и к и с п о л о ж и т е л ь н ы м ТК.С на основе тита-
пата бария,

Подача воздуха

Датчик 1 s,
L Выхлопная труба ' —f^
Двигатель
1
Датчик 2 E 2 s, Датчик 3
Бензин

Рис, 4.2 1. Подача воздуха (датчик 1) и бензина (датчик 2) к

автомобильному двигателю внутреннего сгорания

Как уже было п о к а з а н о в разд. 2.5, п случае са-

м о н а г р е в а ю щ и х с я тгрморезисторов с п о л о ж и т е л ь н ы м
'I КС устанавливается постоянная температура, зави-
с я щ а я от м а т е р и а л а и с п о л ь з у е м о г о терморезистора.
При использовании двух терморезнсторов с положи-
т е л ь н ы м ТКС, из которых только одни подвергается
действию потока, как п о к а з а н о на рис, 4 2 2 , можно
осуществить измерение, в з н а ч и т е л ь н о й мере не за-
висящее от т е м п е р а т у р ы о к р у ж а ю щ е й (реды. При
этом поток Q можно о т ч и с л и т ь по ф о р м у л е

«•)]*•
i
где /<] и KZ — приборные константы, U — напряжение,
/ — ток, TN — т е м п е р а т у р а ч у в с т в и т е л ь н о г о элемента,
Т и — температура о к р у ж а ю щ е й среды, п г» 0,5.
Электрическая схема приведена па рис. 4 2 3 . Она
состоит из измерительною моста, в к л ю ч а ю щ е г о в
себя оба терморезпстора 1 к 2, а также добавочные
84 Глава 4

Измеритель-
ная камера

_Сравнительная
камера

Рис. 4.2.2. Устройство для измерения расхода газа с помощью

самонагревающегося терморезистора с положительным ТКС,

Рис. 4,2 3. Измерительная схема датчика расхода с блоком фор-ч

мирования отношення Ujt/Un, и блоком линеаризации.
 Датчшш расллда а скорости

-80-
Рис, 4.2.4. Практическое устройстпо датчика расхода.

Рис, 4.25. Промышленный дат nut расхода тина DFA (фирма

Leybold-Heraeus),
88 Глава 4

сопротивления RQ и RQ. Путем д е л е н и я н а п р я ж е н и й

Uit и L/23 получают з н а ч е н и е Q". В следующем линеа-
ризующем к а с к а д е эта в е л и ч и н а преобразуется в фак-
тический поток Q.
На рис. 4.2.4 изображено р е а л ь н о е устройство та-
кого д а т ч и к а р а с х о д а . Он действует по э л е к т р о т е р м п -

Обработка сигнала
Датчик

Выход по
напряжению

L.

Рис. 4.2.6. Обработка сигнала датчика расхода.

ческому п р и н ц и п у и в к л ю ч а е т в себя два терморези-

стора с п о л о ж и т е л ь н ы м ТКС т и п а P 3 1 0 - A 1 I (Sie-
mens). Терморезнсторы р а з м е щ е н ы к а ж д ы й в отдель-
ной трубе диаметром 6 мм. О п о р н а я ветвь з а м к н у т а
с обеих сторон и п р о п у с к а е т л и ш ь слабый обводной
поток, тогда как в и з м е р и т е л ь н о й ветви поток прохо-
дит беспрепятственно. Общая д л и н а д а т ч и к а состав"
ляет примерно 12 см.
При н а п р я ж е н и и питания [ / = 1 2 В и темпера*
туре среды 20°С для такой конструкции в случае про-»
 Дямшки раскола и скорости 87

пускания бензина получаются следующие константы:

#, = 13,2 мВгД, Я8 = 4,5 мВг/[К(л/'1)"], п ==0,48.

Для вычислительной э л е к т р о н и к и пригодны обще"

употребительные аналоговые компонент. Например,
для получения ч а с т н о ю может б ы т ь использована
и н т е г р а л ь н а я схема ICI 8013 ( ф и р м а I n t e r s i l ) , а для
линеаризации — 4302
(фирма Burr-Brown).
Па рис. 4.2.5 п о к а з а н
более с л о ж н ы й д а т ч и к ,
действующий по а п а л п
гичному принципу. I I 1
двух чувствительных эле-
ментов (резисторы Pt-
100) также лишь один
омывается потоком ( / ) ,
тогда как опорный эле-
мент (2) находится в глу-
хом отверстии и не по i-
в ер жен действию поток J.
Вся головка д а т ч и к а по-
мешена в массивный ме-
таллический блок (8). V, л/мин *—
Схема обработки с и г н а л а Рис 427 Характерш/гики дат
этого п р и б о р а (рис. 42.6) чика расхода при различных
температурах окружающей сре-
состоит из измерительно- ды
го моста с резисторами
Pt-100 и усилителя, повышающего выходное н а п р я -
жение до 0...10 В.
Измерительный мост питается постоянным то-
ком л? 100 мА. Х а р а к т е р и с т и к а этою датчика
(рис, 4.2.7) к р и в о л и н е й н а п при р а з л и ч н ы х темпера-
турах соо!ветствует р а з л и ч н о й чувствительности. Бла<
годаря п р я м о м у воздействию питока па чувствитель-
ный элемент датчик имеет очень малое время сраба<
т ы в а н и я , что видно на рис. 4.28. При резком изменен
нии скорости потока воздуха от 0 до 1 л/мин, н а п р и -
мер, проходит всего около 3 с до достижения 90 %
окончательного п о к а з а н и я . Такого рода датчики
 эо%-ное Значение

нулевое значение

-е Время
Рис. 4.2.8. Характеристики срабатывания датчика расхода.

применяются в р а з л и ч н ы х технологических устрой-

ствах для измерения или контроля расхода газа.

4.3. Датчик направления

Вышеописанные д а т ч и к и расхода и скорости не-
зависимо от н а п р а в л е н и я потока всегда п о к а з ы в а л и
одинаково положительное н а п р я ж е н и е . Используя
два в з а и м о с в я з а н н ы х д а т ч и к а , можно сконструиро-
вать датчик расхода, который будет формировать
либо положительное, либо отрицательное выходное
напряжение в зависимости от направления потока.
Конструкция такого д а т ч и к а н а п р а в л е н и я изобра-
жена на рис. 4.3.1. Ои состоит из двух терморезистор-
ных бусинок / и 2, н а п а я н н ы х па двустороннюю пе-
чатную плату. В месте р а з м е щ е н и я т е р м о р е з и с т о р о в
о плате выполнено отверстие, через коюрое может
проходить ноток. На каждой стороне платы находит-
ся еще по специальной насадке, служащей для меха-
нической защиты терморезистора и для п р и д а н и я оп-
ределенной формы потоку. Все устройство соединяется
па клею. Выводы терморезистора выводятся через
места с к л е и в а н и я . Оба '1ерморезистора находятся в
 Датчики рпсхода и скорости 89

одном плече и з м е р и т е л ь н о г о моста (рис. 4 3 . 2 ) , пи-

таемого постоянным н а п р я ж е н и е м . С помощью доба«
Соединительные
провода

корпус

Терморезистор I
Направление
потока ТерморезисторZ
Канал потока

'Рис 4 3 1 , Механическое устройство датчика [управления на тер-

морсзнсторах.

1 1 'OUJ т +6. ,".12 В

ТерМО- 3*
резиртор 1 -CZD-

-OU,
Термо-
резистор 1

Рис. 43.2. Обработка сигнала д а т ч и к а направления.

вочпого с о п р о т и в л е н и я /?|/ можно установить избы-

точную температуру терморел1сторов. Пели теперь по-
ток проходит через д а т ч и к в положительном п а п р а в -
СО Глава 4

лении (на рис. 4.3.1 слева направо), то терморезн-

стор 1 будет охлаждаться н одновременно вследствие
их термической связи терморезистор 2 будет нагре-
ваться по сравнению с терморезистором /.
В результате возникает положительное выходное
напряжение. В противном случае, когда поток прохо-
дит в отрицательном направлении, температура

- Цкрит
Направление потока

Рис. 43.3, Характеристика датчика направления с отрицательным

выходным напряжением для потоков в отрицательном направ-
лении.

морезистора / выше, чем терморезистора 2, так что

в результате возникает отрицательное выходное на-
пряжение. На х а р а к т е р и с т и к е датчика (рис. 4.3.3)
еще раз проиллюстрировано это зависящее от на-
правления действие датчика. При потоках выше оп-
ределенного критического значения (Q K P n T ) вслед-
ствие ч р е з м е р н о г о охлаждения выходное н а п р я ж е н и е
начинает медленно падать, правда, без изменения
знака.
ГЛАВА'

ГАЗОВЫЕ Д А Т Ч И К И

О б н а р у ж е н и е р а з л и ч н ы х газов в п о м е щ е н и я х или в
составе в ы х л о п н ы х газов осуществляется с помощью
1азовых д а т ч и к о в . В п р и с у т с т в и и определенных газов
( н а п р и м е р , СС>2, СО, О 2 млн П 2 ) они в ы р а б а т ы в а ю т
электрические с и г н а л ы , к о ю р ы е более или менее спе-
ц и ф и ч н ы для р а з л и ч н ы х веществ При этом нсполы
зуются р а з л и ч н ы е физические п х и м и ч е с к и е эффекты,
которые более или менее подробно будут о п и с а н ы
ниже. Кроме этих простых н н а д е ж н ы х газовых де-
текторов для более ответственных п р и м е н е н и и суще-
ствуют еще оптические фотометры, превосходящие га-
зовые детекторы по селективности и томности. Прав*
да, они гораздо дороже п сложнее по устройству.
Для простых п р и м е ш ч ш п , когда можно обойтись
умеренной точностью и селективностью, применяют
следующие устройства:
в термокондуктометрическне ячейки (С02, S02,
SF 6 );
© т е р м о х и м и ч е с к и е (каталитические) ячейки (СО,
Взрывоопасные и горючие г а - ш ) ,
© полупроводниковые д а т ч и к и (спирты, 11 2 5,угле-1
водороды, токсичные газы);
® топливные я ч е й к и (кислород),

5.1. Термокоидуктометрические ячейки

Эти датчики пригодны, для о б н а р у ж е н и я П2, СО2,
S02, а т а к ж е горючих п в т р ы в о о п а с н ы х газов Прин-
цип действия (рис. 5 1 . 1 ) с о с ю и т в следующем.
Исследуемая проба т а т а д и ф ф у н д и р у е т в измери-
тельную камеру, в которой имеется п л а т и н о в а я или
92 Глава 5

никелевая проволочная спираль, нагретая до темпе--

ратуры примерно на 40 °С выше окружающей. Если
состав газовой пробы изменится, то изменится также
теплоотвод от нагретой спирали к с т е н к а м ячейки.
В случае диоксида углерода (СО 2 ) при этом проис-
ходит повышение температуры спирали, так как теп-
лопроводность СО2 незначительна. В случае натека-"
ния в ячейку водорода (П 2 ) спираль охладится вслед-
ствие его высокой теплопроводности, Охлаждение.
Измерительная Сравнительная
камера камера
\

со Платиновая
'спираль

Корпус

А R
l
Рис. 51.]. Термокондуктометрическая
измерительная ячейка.
или нагрев спирали ведет к изменению ее сопротив->
ления, которое сопоставляется в измерительном мои
сте со вторым — эталонным — сопротивлением, рас*,
положенным в сравнительной камере,
Сигнал д а т ч и к а определяется изменением тепло-
проводности газовой смеси, а поскольку одинаковый
тепловой эффект может быть обусловлен смешением
разных газов, но в соответственно разных колнче<
ствах, п р и м е н е н и е датчика ограничено только знали*,
зом б и н а р н ы х смесей з а р а н е е известных газов. Для
анализа смесей из трех и более газов данный способ
непригоден.
Т и п и ч н ы е д и а п а з о н ы измерения концентрации для
некоторых газов приведены в табл. 5.1.1. Теплопрон
водность р а з л и ч н ы х газов при р а з н ы х температурах
указана в табл. 5.1.2. Чем больше р а з л и ч и е в тепло-
проводности двух газов, тем точнее их можно проана*
лизнровать, В табл. 5,1.2 в процентах у к а з а н а также
 Т а б л и ц а 511.
Диапазоны измерения концентрации некоторых газов
Пши.цшли Минимальный
диапазон, % диапазон %

Диоксид углерода, СОз 0 ... 100 (} ... Б

Диоксид серы, 5О2 0 ... 10(1 0 ... Ь
Водород, П-г 0 ... 100 0 ... 1

Т а б л и ц а 5.1.2.
Теплопроводность некоторых гаэоп при О "С и 100"С
Теплопроводность, Относительная
— 1 ., — Г теплопроволмость (%)
А,, мнит см К „Q сравнению с поздухом
ч °С ID» °С «°С шп°с
Воздух /и ,Н4 1 1)00 1,000

Ацетон 97,8 0,406

Ацетилен 18Ь 303 0,772 0,965
Этап 18,1 31() 0,759 1,006
Этилен 175 310 0,726 0,987
Окись этилена (D3) 193 (0,390) 0,615
Аммиак 21() 332 0,896 1,057
Аргон КИ.8 30 i, 4 0,684 0960
Бензол <Н<)) 165 (0,370) 0,525
Бутадиен- (1,3) (122) — (0,510) —
Бутан 135 245 (0,560) 0,780
Хлор 77,8 — 0,323 —
Диоксид азота 153 236 0,635 0,752
Фреон ]2 Н2,0 — 0,344 —
Гели ц 1 '130 1740 5,934 6,540
Гептан 176 — 0,561
Гсксан —
(\2П) 202 (0 500) 0,643
Диоксид углерода М5 223 0,602 0,710
Оксид углерода 2Л 304 0,959 0,968
Криптон 87,8 116 0,36-1 0,369
Метан 303 442 1 257 1,408
Бромистый метил (.1,9 — 0257 —
Неон 4Ы 571 1,913 1,818
Пснтан (НО) 228 (0,540) 0,726
Пропан Ifil 272 0,627 0,866
Пропилен ]40 — 0,581 —
Кислород 245 31Й 1,017 1,013
Диоксид серы 8(12 138 0,358 0,439
Азот 240 308 0,996 0,981
Водяной пар 246 — 0,783
1710— 2110 7,100 6,720
Водород
94 Глава 5

относительная теплопроводность по сравнению с воз-

духом (смесь азота с кислородом). Максимальная
разницу по сравнению с воздухом получается у гелия
и водорода, с о д е р ж а н и е которых может быть очень
хорошо проанализировано термокондуктометриче-
ским методом.

5.2Л Топливная ячейка

Для оценки натекания воздуха по содержащемуся
в нем кислороду (^20 об. %) применяют датчики
с топливной (электрохимической) ячейкой. В такой
Полимерная Температурная
мембрана компенсация
Пласт- .
^массовый
корпус
Основной
электролит

Катод Анод

Рис, 52.1. Топливная (электрохимическая) измерительная ячей

ка для обнаружения кислорода.

ячейке обладающий большой поверхностью электро-

проводящий м а т е р и а л р а с п о л о ж е н между электролин
том и атмосферным воздухом. В присутствии кисло-
рода происходит окисление активной поверхности
этого м а т е р и а л а с в ы д е л е н и е м т е п л а , в результате
чего возникает о щ у т и м ы й э л е к т р и ч е с к и й сигнал, ко-
торый может бьпь измерен. Устройство такой ячейки
схематически показано па рис. 5.2.1. В результате
химической реакции с кислородом в измерительной
ячейке между катодом и анодом возникает измери-
тельное н а п р я ж е н и е , возрастающее пропорционально
 Газовые датчики 95

содержанию кислорода в окружающей атмосфере.

Реакция протекает очень быстро, поэтому сразу же
определяется содержание кислорода в д а н н ы й теку-
щий момент. Т е м п е р а т у р н а я компенсация, осуществ-
л я е м а я внутри измерительной ячейки, смабнлизирует
выходной сигнал по отношению к температуре. При
определении с о д е р ж а н и я кислорода в помещении ти-
п и ч н ы й диапазон измерений соответствует 0...2I %.

5.3. Термохимическая (каталитическая) ячейка

Термохимическая ячейка обеспечивает часто необ-
х о д и м у ю потребность в измерении содержания горки
чнх газоо — особенно моноокспда углерода (СО) —
в окружающем воздухе пли » автомобильных выхлоп-,
пых газах.
Пассивный
керамика-^ - \ , 'камера

Выхлоп- ! I}
ные *•
газы

Активный Г it . 1
нэтзлиэатор ° \\0 ру* '
Vi-i_J
Рис. 5.3 1. Каталитическая ячейка для обнаружения горючи»
газов.

Термохимическая ячейка (рис. 5.3.1) имеет две

измерительные п л а т и н о в ы е спирали, включенные в
измерительный мост, содержащий еще два постоян-i
ных сопротивления. Если одну из спиралей покрыть
слоем активного катализатора,а вторую — слоем пас-
сивного катализатора, то находящийся в атмосфере
моноокснд углерода (СО) будет реагировать с кис-
лородом воздуха па активном катализаторе, образуя
диоксид углерода (С0 2 ). Выделяющаяся в резуль-
тате этой реакции тепловая энергия вызывает повьн
шение сопротивления а к т и в н о й с п и р а л и , а в итоге —
66 Глава б

заметный разбаланс моста, С помощью такою дат-"

чика можно о б н а р у ж и в а т ь весьма н е з н а ч и т е л ь н ы е
концентрации СО порядка 10-"%. В атмосфере поме-
щения минимальный возможный уровень измерения
2
составляет 2-10~ % СО. В принципе, кроме СО, с по-
мощью этой ячейки могут быть о б н а р у ж е н ы все го-
рючие газы. Соответствующим подбором к а т а л и з а -
тора и температуры проволоки можно достигнуть оп-
ределенной избирательности.
Область п р и м е н е н и я датчиков этого типа вклю-
чает в себя контроль т а к и х объектов, как г а р а ж и ,
уличные т у н н е л и , стенды для испытания автомобилей
и двигателей, убежища, склады, рабочие п о м е щ е н и я ,
бомбоубежища г р а ж д а н с к о й обороны, коксовые уста-
новки.

А н а л и з а т о р выхлопных газов
Контроль выхлопных газов па содержание СО ре-
гулярно проводится в ФРГ службой технического
надзора с целью з а щ и т ы окружающей среды. Для
автомобильных в ы х л о п н ы х газов м а к с и м а л ь н о допу-
стимое содержание СО составляет около 4 % , Обыч-
но монооксид углерода образуется при сгорании бен-
зина в двигателе при недостаточной подаче кисло-
рода. При избытке кислорода образуется почти иск-
лючительно диоксид углерода (СО 2 ), который в про-.
тивоположнос!Ь мопоокснду не является вредным i ан
зом. Если при сгорании т о п л и в а в двигателе ощун
щается недостаток кислорода, то специалисты гово-
рят об обогащении рабочей смеси. При избытке кис-
лорода получается соответственно обедненная смесь.
Для обеспечения хорошего КПД содержание СО сле-
дует поддерживать по возможности н и з к и м , что мо-<
жет быть достигнуто работой на обедненной смеси.
Разумеется, при этих условиях образуются и не-
сгоревшие углеводороды, которые также вредны для
здоровья. Оптимальный режим работы карбюратора
соответствует с о д е р ж а н и ю СО около 1 % (рис. 5.3.2),
Для измерения этого показателя особенно подходит
термохимический метод, о т л и ч а ю щ и й с я дешевизной и
надежностью.
 Газовые датчики 97

Схема т а к о ю а н а л и з а т о р а в ы х л о п н ы х газов очень

проста (рис. 5.3.3). И з м е р и т е л ь н ы е с п и р а л и / (актив-
ный к а т а л и з а т о р ) и 2 ( п а с с и в н ы й к а т а л и з а т о р ) рас-
положены в и з м е р и т е л ь н о м мосте, который через ре-
гулятор н а п р я ж е н и я ( н а п р и м е р , J..M317) питаете-» от

Излишнее обеднении Излишнее обогащение

Оптимальная регулировка
Рис. 5.3.2. Зависимость концентрации
СО от регулпрогшп карбюратора"
прерывистая л и н и я — с о д е р ж а н и е уг-
леводородов (бе? масштаба).

аккумулятора а в т о м о б и л я Н а п р я ж е н и е ш п л ш н мо-
ста у с т а н а в л и в а е т с я р а н н ы м п р и м е р н о Л Б У р а в н о -
в е ш и в а н и е п у л е в о й т м и м осуществляется настроеч-
ным потенциометром ( 1 к О м ) , в к л ю ч е н н ы м п а р а л -
лельно и з м е р и т е л ь н о м у моему Разность н а п р я ж е н и и
Д(7о и з м е р я е т с я непосредственно а п а л о ю в ы м инди-
катором. П е р е к л ю ч а т е л ь 5, с л у ж и т для переключе-
ния предела измерения с 5 % па 10 %. П о к а з а н и я
прибора на к а ж д о й с т у п е н и к о р р е к т и р у ю т с я с по-
мощью н а с т р о е ч н ы х потенциометров /"', п Р2 Про-
цед)ра и з м е р е н и я (рис. 5.34) в к л ю ч а в ! в себя сле-
дующие этапы:
4 Г. Внглеб
S8 Глава 5

• взятие пробы измерительным зондом,

® отделение конденсата в осушителе,
© транспортировка газа,
в фильтрация газа,
© а н а л и з газа,-

\ Измерительная
I спираль 1

\ Измерительная1
,' спираль z

Рис. 5.3.3. Принципиальная схема анализатора выхлопных газов.

Измерительный
зонд

Газовый Воздушный*
насос фильтр
осушитель

Рис. 5.3.4. Блок-схема установки для определения содержания

СО в автомобильных выхлопных газах.

При взятии пробы металлическую трубку длиной

около 30 см вводят в выхлопную трубу во избежание
подсоса постороннего воздуха. А н а л и з и р у е м ы й газ
направляется затем по ш л а н г у в отделитель копдсын
 Газоиме датчики ЭЭ

сата, чтобы в д а т ч и к не попадала сконденсировав-

шаяся влага. Т р а н с п о р т и р о в к а газа осуществляется
с помощью мембранною насоса типа п р и м е н я е м ы х ,
н а п р и м е р , для подачи воздуха в а к в а р и у м . Затем
а н а л и з и р у е м ы й газ должен б ы т ь очищен от случай*
ных частиц пыли. В качестве фильтрующего элемента
можно п р и м е н я т ь , н а п р и м е р , т о п л и в н ы й фильтр. Толь*
ко после этою а н а л и з и р у е м ы й газ н а п р а в л я е т с я в
ячейку д а т ч и к а , где собственно и происходи! анализ.
Из-за большой длины ш л а н г а п р е д в а р и т е л ь н а я обра*
ботка газа длится около 0,5 мин, после чет можно
с н и м а т ь показания п р и б о р а ,
В описанном виде комплектная установка может
быть приобретена как едппыи блок. В частности, она
поставляется фирмой Brautigani MefitcclmiU, г. Гольд-
бах, ФРГ.
Перед н а ч а л о м использования прибора его сле-
дует испытать на эталонном газе, чтобы осуществить
необходимые регулировки с помощью подстроечпыч
потенциометров Р] и Р2. К о н т р о л ь н а я проба газа
т а к ж е в х о д и т в комплект поставки п р и б о р а .

5.4. Полупроводниковые д а т ч и к и
В самых, простых и дешевых газовых д а т ч и к а х ис-
пользуется изменение электрического сопрошвления
некоторых полупроводниковых материалов, возни-
кающее вследствие адсорбции [ а з а Па рис, 5 4 . 1 по*
к а з а н о п р и н ц и п и а л ь н о е устройство ыкого полупро-
водникового д а т ч и к а . Оп состоит из к е р а м и ч е с к о й
основы, способной в ы д е р ж и в а т ы г а ! р е п до 100 ,500°С,
На этой керамической основе находятся два элек-
трода, между которыми наносится полупроводящпй
оксид металла. Если газ проходит над этим активи-
р о в а н н ы м слоем оксида металла, то проводимость
последнего изменяется. С помощью мостовой схемы
это изменение проводимости преобразуется в изме-
нение н а п р я ж е н и я . В табл. 5 4 1 приведены сведения
о м а т е р и а л а х чувствительных элементов некоторых
д а т ч и к о в для о б н а р у ж е н и я р а з л и ч н ы х газов Важ-
н е й ш и м среди них является диоксид олова SnO^ с
4*
(00 Глава 5

различными легирующими д о б а в к а м и . Подбором ле-«

гирующей добавки и рабочей температуры можно до-
стигнуть определенного повышения избирательности.
На рис. 5.4 2 показана зависимость чувствительности

Металло- Оксид металла Электроды

(«грзмика
/

Газ

Рис. 54 L Измерительная ячейка полупроводникового датчика

для обнаружения вредных (токсичных) газов.

(А///) для концентраций 1Q-2 % СО и 1 % СН4 от

вида легирующей добавки и рабочей температуры.

Т а б л и ц а 54.1

Анализируемое Чувствительный элемент датчика

вещество

Оксид углерода, СО Напыленные в кислороде слои Sn0 2 ; рабо-

чая температура 250...500 °С
Этанол, СгН5ОН Нанесенные пиролитически слои SnOa на
кварцевых подложках; спеченная деталь из
ZnO с добавкой серебра
Сероводород, Нг J Слой SnO2 с добавкой алюминия
Изобутан, C t Hio Слой легированного ZnO на подложке из
А12Оз н слой катализатора из соединения
платины
Пропан, СзНа S n O 3 - r t % PdCl 2 +Mg(N0 3 ) 2 с добазка-
ни Nb (V Ti Mo)
Водород Н3 Напыленный слой Sn02 с добавкой 1 %
 Газовые датчики 101

100 200 300 400 500 100 200 300 -400 500 О
Температура,°С
Рис. 5 4 2 , Оптимизация характеристик газового датчика на ос-
нове диоксида олова с помощью различных легирующих добавок
(медь и платина).

-4
г*~~ . •
Б

5 /^
f
4
\ X>
з > г£
fO
саа
2
V t?
uifa о— I елCJ о
1 з; ю X Lfl
V, V,
С
С} 20 40 60 80 100 0 10 20
Концентрация H2s Бремя мин
в воздухе 10"*%
Рис. 5 4 3 Характеристика срабатывания газового датчика на ос-
нове диоксида олова Sn0 2 при 200 °С а —влияние концентрации
luS, б — время срабатывания датчика.
 102 Глава 5

При л е г и р о в а н и и медью о п т и м а л ь н а я чувствитель-

ность, например, для СО получается при 370 °С,
В случае метана о п т и м а л ь н а я чувствительность до-

Сетка

Датчик
Спираль
нагревателя
Керамичес-
кий цоколь

Выводы
(коэзр)

Рис 54.4 Конструкция промышленного газового датчика типа

1 VJ J

стирается при легировании платиной и работе при

температуре 500°С. На основании этого получаются
два датчика, которые в определенных случаях при-
менения обеспечивают селективную индикацию.
 Газовые датчики 103

Газовый датчик с высокой селективностью полу-',

чается для сероводорода (H2S). Характеристика дат-
чика на основе нелегироваиного SnOs приведена на
4
рис. 5.4.3,а. При концентрации (0...20)-Ю- % H 2 S в
воздухе она имеет круто нарастающий ход, который
затем замедляется. Рабочая температура датчика
этого типа равна 200 °С, поскольку ШЗ легко разла-
гается на поверхности диоксида олова ИСПОЛЬЗУЯ
очень тонкие активные слои SnOa толщиной около
150 нм, получают малые длительности срабатывания,
находящиеся в секундном диапазоне (рис, 5.4.3,6),

Датчики типа TGS

Наиболее значительным производителем полупро-
водниковых газовых датчиков является японская фирч,
ма Figaro Inc. Она имеет обширный ассортимент га*
—о—, TGS
Нагревательный
элемент

Рис. 545. Расположение контактов (а) и схема включения (6J

газового датчика типа TQS.

зовых датчиков для различных применений, в том

числе и довольно недорогих, представляющих инте-
рес также и для любительских схем. На рис. 5.44
показан такой датчик типа TGS фирмы Figaro. Он
состоит из керамической трубочки, нагреваемой из-
нутри тонкой проволокой. Снаружи на трубочку на-
несен активный слой с электродами. Весь датчик за>
щищен проволочной сеткой из нержавеющей стали
от механических ловреждений. Обозначение такого
датчика на схемах и способ его подключения пока*
заны на рис, 5.4.5.
104 Глава 5

Датчик нагревается напряжением VH до темпе-

ратуры выше 200 °С. Н а п р я ж е н и е п и т а н и я Vc об-
условливает падение напряжения VRL на нагрузочном
резисторе RL, причем величина VKL зависит от изме-
няющегося тока датчика /s Чувствительность дат-
чика TGS 815D для различных газов показана на
рис. 5.4.6. Здесь /? с — со-
противление датчика в
смеси воздух + 0,1 % ме-
тана, a R — сопротивле-
ние датчика при различ-
ных концентрациях газов.
Изменение чувствитель-
ности R/RQ в зависимости
от температуры и относи-
тельной влажности пока-
зано на рис. 5 4 7 для
датчиков одного типа.
Здесь /?0 — сопротивле-
ние датчика в стандарт-
ной смеси воздуха сО,1 %
0,4 метана при относитель-
ной влажности 65 % и
5оо IDOO 20DO 5ооо температуре 20 °С, a R
концентрация, tr4/; ?— относится к переменный
Рис 546 Чувствительность условиям по температу-
датчика TGS к различным га- ре и влажности. По чув-
аам. ствительности к влиянию
температуры и влажно-
сти датчик TGS 815D является оптимальным вари-
антом среди детекторов ф и р м ы Figaro
Долговременная стабильность этих датчиков, при
эксплуатации сохраняется почти постоянной в тече-
ние нескольких лет ( р и с 5.4.8), так что дополни-
тельная калибровка оказывается не обязательной.

Датчик природного газа

В домах, где приготовтение пищи и отопление
осуществляются с использованием природного газа,
существует опасность взрыва из-за неконтролируемой
утечки газа. Непрерывно работающий датчик при-
 Газовые датчики 105

родного газа эту опасность может существенно огра-

ничить. Р е ш а ю щ и м для взрыва газа является ниж-
ний предел взрываемости, который для природного
20

"'" -10 0 10 20 30 40 50
Температура окружающей среды,СС—*-
Рис. 5 4 7 . Зависимость отношения R/Ro от температуры и отно-
сительной влажности (RH) окружающей среды

газа или для смеси пропана с бутаном равен 2 % в

смеси с воздухом. В табл. 5.4.2 приведены пределы

В
/Л &&^ W"kv К J/kyH Р=8
*чг •^v
4\р^
^^

£) 1 2 - 5 6 г
Годь ^
Рис. 548. Долговременная стабильность газовых датчиков типа
TGS

взрываемости некоторых практически важных газов.

Поскольку чувствительность срабатывания датчиков
типа TGS не превышает 0,1 %, обеспечивается на-
дежное обнаружение утечки. Принципиальное устрой-
106 Глава 5

Т а б л и ц а 54.2

Химическая Относитель- Пределы

Вещество пая взрываемости,
формула плотность * %

Метан СН4 0,6 5 15

Этан С2Н6 1,0 3 12,4
Пропан С3Н8 1,6 2,1 9,5
Бутан СШю 2,0 1,8 8,4
Пентац CsHig 2,5 1,4 7,8
Гексан С 6 Нн 3,0 1,2 7,4
Гептан CyHis 3,5 1,0 6,7
Октан CgHlg 3,9 0,9 6,5
Декан С| 0 Н 32 4,9 0,7 5,6
Бензол C6HS 2,8 1,2 8,0
Толуол C 7 Hs 3,1 1,2 7,1
Ксилол СдНю 3,7 1,0 7,2
Метиленхлорпд СН2С12 2,9 13 22
Метанол СН4О 1,1 5,5 37
Этанол C2HeO 1,6 3,3 19
Пропанол С3НВ0 2,1 2 14
Бутанол С4Н,00 2,6 1,4 12
Метиловый эфир С2Н60 !6 3,4 18
Ацетон С3Н60 2,0 2,1 13
Этилацетат С 4 Н 8 Оа 3,0 2,1 11,5
Оксид углерода со 10 12,5 74
Водород Н2 0,07 4 75
' По сравнению с воздухом.—Прим. пер,

ство подобной схемы показано на рис. 5-49. Она со-

стоит в основном из моста Уитстона, питаемого ис-
точником постоянного напряжения (7805). В качестве
активного элемента в мосте используется датчик
TGS 813C, предназначенный для обнаружения взры-
воопасных газов. Выходной сигнал моста поступает
затем на компаратор (например, ИС M51204L), ко-
торый при превышении некоторого определенного вы-
ходного напряжения, устанавливаемого с помощью
потенциометра Rs, отпирает транзистор (2SD471).
Этот сигнал включения можно использовать затем
для управления аварийной сиреной или вентилятором
подачи воздуха в загазованное помещение.
Б табл. 5,4 3 представлены области применения нексн
 Газовые датчики 107

торых датчиков типа TGS. В принципе все эти дат-

чики можно использовать для решения различных
задач с использованием схемы, приведенной на
рис. 5.4.9.

Анализатор следов алкоголя

Полупроводниковые газовые датчики серии TGS
можно применять также для анализа на содержание

•
0,01мхф: :0
05 1f-
78Ш {Азарииюй
т
^ сирена
О5." Мм вг

; 0,01 миф Fs
J В (пост.) 1 Ik
як >Ч=Н )ZSD471
5!0k п
тА 001мкФ
rW 0-
а ' и I
TGS 813 С
Рис. 5.4.9. Измерительная схема детектора природного газа
(взрьтвозащита). 1C — компаратор на^интегральной схеме (на-
пример, M51204L).

паров алкоголя, так как в принципе эти датчики pea*

гируют на все горючие (окисляющиеся) газы. С по-
мощью соответствующей схемы такого рода датчик
можно использовать, например, для обнаружения со-
держания алкоголя в крови. Его принцип работы до-
вольно лрост. После употребления алкоголя опреде-
ленная часть его, содержащаяся в крови, обнаружи-
вается также и в выдыхаемом воздухе. Чем выше со-
держание алкоголя в крови, тем ботьше доля его па-
ров в выдыхаемом воздухе. Если датчик TGS обду-
вается воздухом с некоторый содержанием алкоголя,
то в соответствии с концентрацией последнего в воз-
духе изменится сопротивление датчика,
 Тип Технические Материал
датчика характеристики корпуса

TGS 813 УС = 24 В Найлон 66,

(макс.) максим.
температура
RL = 4 кОм 240 °С

TGS 812 УС = 2 4 В То же
(макс.)
У я = 5,0 В
HL = 4 1{0м

TGS !ОЭ vc= too в Поли^тилен-

Vн= 1,0 В терефталат,
Rr =4 кОм максим,
температура
240 "С

TGS 711 У с = 24 В
(макс )

/?, => 1 кОм

TGS 8И Ус==24 В
(макс.)

Кг =4 кОм

TGS 011 У с = 24 В
(макс.)

R, = 4 кОм
 Чувствительность к химическим
соединениям Применение
Высокая Низкая

Пропан, бутан, метан Спирт, Детекторы газа

оксид
углерода

Ядовитые Газы "(оксид Метан Сигнализаторы дыма и

углерода, аммиак, диок- текторы алкоголя
сид серы и др.) и орга-
нические пары (спирты,
бензин и т. д.)

Пропан, бутан, метап Спирт Детекторы газа. Выходной

сигнал позволяет изготов-
лять высококачественные и
дешевые детекторы, по-
скольку отпадает необходи-
мость

Незначительные концен- Возможный д и а п а з о н

трации оксида углерода рений от 5-10 % до
5- !СГ 2 % СО

Незначительные концеп- Водород Возможный диапазон изме-

трации аммиака pemift от 3 • [0 % ДО
1-кгЧ

Метап, пропан, бутан Низкое напряжение накала

и т. д. от батареи. Хорошая вос-
производимость для точных
измерений. Применяется в
измерительных приборах, в
том числе и в коррозионной
атмосфере. Возможен ана-
лиз выхлопных газов
ПО Глава 5
46
Л" 12В *оВ Датчик TGS812
е.

120
LEO 3 Красный
J3*.

IED4 Красный JL

S.EDS Красный
v

1.ED7

Of" -,г
LED 9 Зеленый
1»
+5 В
Рис, 5410, Измерительная схема детектора следов алкоголя:
МР — точка подключения измерительного прибора; ZPD — диод
Зенера; LED — светоизлучающий диод.

Это изменение сопротивления можно определить

затем с помощью измерительной схемы. Посредством
 Газовые датчики 311

соответствующей калибровки можно измерить также

содержание алкоголя в крови и тем самым оценить
возможность допуска к управлению автомобилем. Та-
кая измерительная схема показана на рис. 5.4.10. Она
состоит из питаемого постоянным напряжением
(LM7805) измерительного моста. В качестве актив-
ного элемента установлен газовый датчик TGS 812.
Собственно измерительное напряжение подается к
указанной на рис. 5.4.10 точке МР, В зависимости от
концентрации алкоголя оно изменяется в диапазоне
0,4...5 В. Выходное напряжение подается на инверти-
рующие входы шести операционных усилителей,
включенных как компараторы.
Резисторы R&...R\z составляют делитель опорных
напряжений. Верхнее значение этих напряжений уста-
навливается потенциометром PI, а нижнее — потен-
циометром Р2. При включении питания светоизлу-
чающего диода LED 1 («Готов») и нажатии клавиши
«Иск. пол.» («Исходное положение») запоминающие
триггеры устанавливаются на 1. В этом случае све-
тится LED 2 (0% 0 ). Если же на датчик попадают
пары алкоголя, то измерительное напряжение (в точ-
ке МР рис. 5.4.10) постепенно возрастает. Вслед-
ствие зтого последовательно срабатывают отдельные
компараторы, переключаются соответствующие триг-
геры и начинают светиться подключенные к ним све-
тодиоды. Если пары алкоголя перестают воздейство-
вать на датчик, то измерительное напряжение снова
медленно спадает. Однако с а м ы й верхний СИД (со-
ответствующий наивысшей концентрации алкоголя)
продолжает светиться, так как все переключившиеся
триггеры сохраняют свое состояние. Лишь после на-
жатия клавиши «Исх. пол » снова устанавливается
первоначальное состояние. Перед повторным замером
следует выждать несколько минут, чтобы датчик мог
немного «отдохнуть».

Калибровка
Перед калибровкой газовый датчик в течение не-
скольких дней следует подвергнуть старению для по-
лучения надежных результатов измерений.
112 Глава 5

Лучше всего проводить калибровку с использова-

нием водки крепостью 4 0 % . Для этого в восемь рю-
мок н а л и в а ю т точно по 20 мл. Затем одну из этих
рюмок выпивают и выжидают примерно 1/4 ч, чтобы
алкоголь мог перейти в кровь и в полости рта не
оставалос бы следов алкоголя. После этого нужно
подуть на датчик и убедиться, что показания все еще
составляют 0 %о, как и должно быть. В противном
случае следует осуществить регулировку настроеч-
ным потенциометром Р%. После второй рюмки также
следует сделать паузу 1/4 ч. Показания должны со-
ставлять 0,2 %0. Эта процедура продолжается далее,
пока после восьмой дозы показания не достигнут
1,0 %о. Конечное значение можно установить потен-
циометром PJ. Калибровка рассчитана на вес тела
75 кг и иа проведение процедуры натощак. Жирная
пища и больший вес соответственно снижают пока-
зания.
Разумеется, не следует садиться за руль после
выполнения описанной процедуры и ее иужио прер-
вать, если вы не выносите алкоголя,
ГЛАВА 6
ДАТЧИКИ ВЛАЖНОСТИ

Измерение содержания влаги в окружающем воз-»

духе представляет интерес во многих областях, так
как влажность воздуха оказывает влияние на само-
чувствие людей. Слишком сухой воздух вызывает,
например, увеличение числа простудных заболева-
ний, прежде всего органов дыхания, в то время как
при повышенной влажности из-за усиленного потоот-
деления возникает чувство дискомфорта. Б связи с
этим в кондиционируемых помещениях важно под-
держивать оптимальную влажность воздуха. При
этом ее з н а ч е н и я в каждый текущий момент опреде-<
ляются датчиками влажности (гигрометрами), по-
дробно описанными в данной главе.

6.1. Основные определения

При описании влажности воздуха, как известно,
следует различать следующие понятия.
Абсолютная влажность Раь$ показывает, какое ко
личество воды содержится в 1 м 3 воздуха:
Fabs = масса воды/объем воздуха [г/м 3 ],
Влажность насыщения Fsat характеризует макси-
мальное количество воды, которое может содержать-
3
ся в 1 м воздуха при определенной температуре и
ашосферном давлении без образования конденсата;
Fsat(T} = максимальное количество воды/объем
3
воздуха [г/м ].
Зависимость влажности насыщения от темпера-
туры (Т) представлена на рис. 6.1.1.
114 Глава б

Относительная влажность Frsi представляет собой

выраженное в процентах отношение абсолютной
влажности к влажности насыщения. По этой причине
относительная влажность также зависит от темпера-
туры, как это видно иа
-ч/и
рис. 6.1.2:
Fabs =-f(t> 1
380
1
340 r
i sat \ l )
!* 300
L_
6.2. Конденсационный
гигрометр иа основе
хлорида лития
J 220
j Как видно из
рис. 6.2.1, принцип из-
/ мерения конденсаци-
140 онного гигрометра иа
у основе хлорида лития
100 ' (LiQ) довольно прост,
/ В данном случае ис-
60
пользуются два свой-
//
20 ства гидрата хлорида
лития. Во-первых, он
t—^ 20 40 60 80 юо является гигроскопич-
т, "с ным веществом, а по-
Рис 6 1 1 . Зависимость влажности тому поглощает моле-
насыщения Fsa< от температуры. кулы воды и, во-вто-
рых, возникающий при
этом водный раствор LiCl представляет собой
электролит, способный проводить электрический ток.
Когда LiQ, помещенный в датчике (рис. 6.2.1) в кап-
сулу из стеклоткани (2), поглощает содержащиеся
в атмосфере водяные пары, проводимость между вит-
ками спирали (3) увеличивается. В результате этого
между ними возникает ток, ведущий к нагреву всего
датчика, и в итоге устанавливается равновесное со-
стояние между фазой водяного пара и жидкой фазой
Температура, устанавливающаяся автоматически в
этом равновесном состоянии, становится мерой
 Датчики влажности 115

2 4 6 8 10 20 30 50 SO 100 15Q 2Щ 300 -430 597

Абсолютная влажность F abs ,r/M 3 "•-
Рис. 6 3 2 Семейство характеристик абсолютной и относительной
влажности воздуха при различных температурах.

о « о -• о » о • о • о о о.«-о•*

• JO-»IQ с о • о в о • о * О ф О

1 2 3

Рис. 621. Конструкция датчика влажности на основе LICIj

1 — платиновый измерительный резистор (например, типа Pt-lOO)l
2 ~ стеклоткань с LiCl; 3 — электродная спираль.
Пб Глава 6

концентрации водяных паров в окружающем воздухе,

В свою очередь температура измеряется датчиком
типа Pt-100, являющимся конструктивным элементом
датчика влажности. Поскольку эта температура пере-

И
1 1 1 1 1
70 80 90 НЮ
Температура перехода t u ,"С

Рис. 6.22. Зависимость температуры переходного состояния ta or

точки росы т для датчика влажности на основе LrCl.

водного состояния (температура перехода) почти ли-

нейно связана с температурой точки росы (рис. 6.2.2),
она служит прямой мерой содержания влаги в воз-
духе.

б.З. Емкостные датчики влажности

Недорогими и прежде всего простыми в обраще-

нии являются д а т ч и к и влажности емкостного типа.
Они состоят из специальной пленки с н а п ы л е н н ы м с
двух сторон слоем золота (рис. 6.3.1). Таким обра-
зом, пленка служит диэлектриком плоского конден-
сатора. С помощью соответствующей измерительно!!
схемы, более подробно на которой остановимся ниже,
это изменение емкости можно преобразовать в по-
стоянное напряжение Общее устройство такого дат-
чика (фирма Valvo) показано на рис 6 3 2 , а в
табл, 6.3Л приведены его характеристики.
 Датчики влажности 117

Зависимость емкости датчика от влажности воз-«

(Fret) приведена на рис. 6.3.3. Поскольку эта
Соединительные прозода

Контакт

Напыленная
золотая пленка

Диэлектрическая пленка
Рис. 6 3 1 . Принципиальное устройство диэлектрического датчика
влажности.

Рис 6 3 2 Конструкция промышленного датчика влажности фирч

мы Valvo

характеристика изогнута (нелинейна),непосредствен*

ную индикацию можно осуществить только при COOT*
ветствующим образом откалиброванной шкале или
118 Глава 6

Т а б л и ц а 6.3.1
Технические характеристики датчика влажности фирмы Valvo

Емкость (в- = 25 "С, F,s, = 43 / = 100 кГц), 122 (±15%)

пф
Чувствительность (/v e j = 4 3 % ) , пФ/% 0,4 ±0,05
Температурная зависимость (f = [ кГц.. I МГц), 0,1
%-к- 1
Диапазон измерительной частоты, кГц 1 [000
Диапазон измеряемой влажности, % 10 90
Диапазон температуры хранения, "С -25 +80
Диапазон влажности при хранении, % О 100
Диапазон рабочих температур, °С О , . 60
Максимальное рабочее напряжение (постоянное и [5
переменное), В
Тангенс угла потерь при $и = 25°С и f= 100 кГц < 35-10"
Время срабатывания (90 %-ное значение) при
О о = 25 °С в потоке воздуха, мин-
а) в диапазоне Frei = 10 ... 43% <3
б) в диапазоне Frs, = 43 ... 90% <5
Гистерезис при цикле *
Fr,,= [Q% (67) 90% (67) 10% я;3%
Режим пайки: максим, температура 240 °С, максим, длительность
? с
* При обозначении длительности выдержки на каждой ступени цикла
(67) автором не указана размерность. — Прим.. перев.

)50 1
f =100кГч
140

120

НО
гО 4G 60 ВО. ЮН

Рис. 6 3 3 Зависимость емкости датчика Cs от относительной

влажности FT,i.
 Датчики влажности

с помощью дополнительно включенной схемы линеа-

ризации.
в
N
. 6 ч
1,3 - Экст рнмент &«
!Т \
—- Рэсче
4
f
S- О \
SИ 2
/
1,1 X ^
^ 1
|< ч^ 0 \
^ -2
У \
I

^ _с
с ЛО 40 60 ВО JO юо юоа
Fret • % f, кГц
Рис. 6.34. Зависимость между отно- Рис. 6 3 5 Частотная ха-
сительной влажностью воздуха к ем- рактеристика датчика
костью датчика, нормированной при влажности.
РГе, = 12 '"

JDO 200 зоо та

время,о
Рис 6 3 6 . Время срабатывания датчика влажности при резке
изменяющемся содержании влаги в воздухе

На рис. 6.3 4 показана зависимость между относи*

тельной влажностью Frsi и емкостью датчика 4 норми-
рованной при Frei= 12 %,
120 Глава 6

Общая емкость датчика р а в н а

Cs = С0 + ЛС,

где С0 — емкость при нулевой влажности, ДС — нз\те->

иение емкости из-за н а л и ч и я влаги. Емкость дат^
чика Cs слабо зависит от и з м е р и т е л ь н о й ч а с т о т ы , к а к
видно из рис 6.3.5. Поэтому незначительное измене*
ние измерительной частоты не оказывает в л и я н и я на
показания датчика.
Важной х а р а к т е р и с т и к о й , определяющей приме-
нимость д а т ч и к а , яв-ляется его время с р а б а т ы в а н и я
или постоянная времени При резком изменении влаж-
ности датчику требуется около 2 мин для достижения
9 0 % окончательного показания (рис 63.6), соответ-
ствующего вновь установившейся влажности,

6.4. Измерительные схемы

Изменения емкости можно, естественно, как и из-
менения сопротивления, измерять с помощью измери-
тельного моста. Соответствующая схема п о к а з а н а на
рис. 6.4.1, Она состоит из моста для измерения ем-

Рис 64.1 Измерительная схема датчика влажности с емкостным

мостом.

кости с датчиком влажности в качестве активного

элемента. Мост питается переменным напряжением с
частотой около 100 кГц. С помощью подстроенного
конденсатора СА выходное напряжение С/о устанав-
ливается на нуль г.ри ДС = 0 / П р и изменении ем-
кости ДС выходное напряжение С/о С1ужит мерой
этого изменения и соответственно изменения в л а ж -
ности.
 Датчики влажности 121

Для простых конструкций датчиков получили рас-

пространение также счечы, работающие по разности
импульсов. П р и н ц и п и а л ь н о е построение такой схемы

Рис. 6 4 2 . Принципиальное устройство схемы с двумя иульти*

вибраторами, работающей по разности импульсов.

показано иа рис, 6.4.2. Она состоит из двух мультиви*

браторов (Mi и М2), причем Mt синхронизирует Mz,

4. t
I I

Рис 6 4 3 . Формирование разностного импульса схемой, показан-

ной на рис. 6 4 2 .

При ДС = 0 длительность импульсов обоих мульти*

вибраторов одинакова ( t i = tz). Если же емкость
д а т ч и к а изменится ( Д С ^ О ) , то между двумя выхоч
дами / и 2 возникнет «разностный» импульс длитель-.
 122 Глава 6

ностью t3 — t2 — /i ~ ЛС. Если период прямоуголь-

ного импульса напряжения равен Г = 2^, а ампли-
туда импульсов равна UB, то для среднего арифмети-
ческого значения выходного напряжения С/о полу-*
чается уравнение

При условии, что мультивибраторы MI и Л42 в

сущности одинаковы (например, мультивибраторы
:
4001 В
г; "~iw u
-^ , » TV- U B -4,5B
u
1
1
'у А- HEF и
rrtV-H r%. Л
_ig , J, з[^Н
г^TOt и.
LJZ*
4 4ц,
пара;
1_1H(
и"
II тТ
1
ll"
.. С6
1 ^ J С6 • Р 100
г
Рис. 6 4.4. Полная измерительная схема, работающая по разнсь
сти импульсов Я — датчик влажности.

типа HEF 4001B, выполненные на одном кристалле

по технологии LOCMOS), а емкость датчика имеет
такой же температурный коэффициент, как и под-*
строечный конденсатор СА, отношение t3/T не зави^
сит от изменений температуры.
Разумеется, напряжение питания должно быть
стабилизировано, так как оно непосредственно вхо-
дит в результат измерений (Uo).
На рис. 6 4.4 изображена простая измерительная
схема без стабилизации напряжения и без линеари-
зации. Поскольку ток этой схемы чрезвычайно мал
 Датчики влажности 123

(около 100 мкА), три элемента типа «миньон» могут

обеспечить питание примерно в течение года.
HEF4001_B ^ 150 Д2В ВС 558 В

СД-З. ..40п<Р
«•2ZniP PICO
Рис. 6.4.5. Улучшенная схема со стабилизированным питанием а
линеаризацией: Я — датчик влажности; NTC— терморезистор с
отрицательным ТКС, На измерительном приборе М при токе
45 мкА имеется метка, соответствующая нижнему пределу на-
пряжения «4,1 В,

Улучшенная схема приведена на рис. 6.4.5. Напря-

жение питания стабилизируется транзисторами
,{ВС 558В, 2 Х В С 548В),
4,2В
а выходное напряжение JLJU
линеаризовано. Линеари-
зация (рис. 6.4.6) осу-
ществляется следующим R3
образом. Выходные им- JRI
пульсы заряжают конден- и, AV
сатор С через D и Ri и од-
новременно ток разряда,
пропорциональный напря-
жению на конденсаторе,
протекает через %2> В ре-
зультате этого
г -с Г R2

1
больше Рис. 646. Схема линеаризации
J
не соблюдается про- выходного сигнала датчика.
порциональность между
выходным напряжением С/о и средним значением на-
пряжения выходного импульса UO(AV)- Соответствую*
124 Глава 6

щим подбором С, Ri и ^2 можно достигнуть линеари-'

зации выходного напряжения.

6.5. Калибровка
Для однозначного отождествления измеренного
н а п р я ж е н и я с определенной влажностью необходимо
создание в воздухе заранее известной влажности
(табл. 6.5.1).
Т а б л и ц а 6,5,1
Относительная влажность (%) воздуха над насыщенными
растворами некоторых солей при различных температурах

Температура, °С
Соль
5 10 IS 20 25 30 35 40 45 5Э

Сульфат калия K2SO4 98 98 97 97 97 96 96 96 96 96

Нитрат калия KNO3 96 95 94 93 92 91 89 88 85 82
Хлорид калия КС! 88 88 87 86 85 85 84 82 81 80
Сульфат аммония 82 82 81 81 80 80 80 79 79 78
Хлорид натрия NaCl 76 76 76 76 75 75 75 75 75 75
Нитрит натрия ISaMCb — — — 65 65 63 62 62 59 59
Нитрат аммония NfH t ^O 3 — 73 59 65 62 59 So 53 47 42
Бмромат натрия Na,Cr2O7 59 58 56 55 54 52 5] 50 47 —
Нитрат магния MgfNCbb 58 57 56 55 53 52 50 49 46 —
Карбонат калия КгСО3 — 47 44 44 43 43 43 42 — —
Хлорид магния MgCI 2 34 34 34 33 33 33 32 32 31 30
Ацетат калия СН3СООК — 21 21 22 22 22 21 20 — —
Хлорид лития LiCI 14 14 13 12 12 ]2 12 II 11 11

Насыщенные растворы отдельных солей вызы-

вают уменьшение влажности в з а м к н у т о м воздушном
пространстве над ними. Этот эффект можно исполь-
зовать для калибровки датчиков влажности. Для
этого калибруемый датчик монтируют в герметичном
сосуде (например, в стеклянной банке для консерви-
рования), как показано на рис. 6 5 1 , и соединяют с
электронной схемой Затем в сосуд помещают пропи-
танный насыщенным раствором ватный тампон и
сразу же закрывают крышкой. Спустя примерно
 Датчики влажности 125

30 мин в резервуаре у с т а н а в л и в а е т с я соответствую*

шая относительная влажность, у к а з а н н а я в табл. 6.5.1.
Н а п р и м е р , в случае применения LiCl при комнатной
температуре (20°С) получается относительная влаж-

Подложка из cTviponopa
Рис. 651, Устройство для калибровки датчиков влажности.

ность 12%. Используя р а з л и ч н ы е солевые растворы

(при ях смене сосуд обязательно о ч и щ а ю т ) , можно
промерить всю характеристику датчика для относи-
тельной влажности от 12 до 98 %, а в случае необ--
ходимости также и линеаризировать ее.
ГЛАВА

Д А Т Ч И К И M A J K H T H O r o ПОЛЯ

Среди датчиков магнитного поля р а з л и ч а ю т д а т ч и к и

трех типов, использующие различные физические эф*
фекты, а именно.
магниторезистивиые датчики.
датчики Холла и
датчики Виганда.
В общем случае датчики магнитного поля отли-
чаются простотой устройства и связанной с этим на-
дежностью. Благодаря таким свойствам они особенно
пригодны для применения в автомобилях и в бытовой
технике. Важными и интересными п р и м е н е н и я м и маг-
нитных датчиков являются, например, измерения по-
ложения, скорости вращения, давления и линейной
скорости.
s

7.1. Магниторезистивные датчики

Некоторые ферромагнитные материалы, например

п е р м а л л о й (80% Ni и 20 % Fe), изменяют свое элек-
трическое сопротивление при воздействии магнитного
поля Степень этого изменения зависит от величины
напряженности магнитного поля и угла между век^
тором напряженности и направлением тока. С по-
мощью современной тонкопленочной технологии мож-
но изготовить небольшие и очень дешевые магнито-"
резистивные датчики
Они состоят из резистивного элемента в форме
меандра (рис 7 1 1) сопротивпением от 30 Ом до
1 кОм. Поскольку получать сигнал с помощью таких
датчиков наиболее целесообразно в мостовой схеме,
 Датчики магнитного поля 127

в датчике располагают две меандровые структуры

(А/В) различной ориентации.
На рис, 7.1.1,6 продемонстрирована возможность
Применения такого датчика для измерения скорости

Ось

-П 1

Рис. 7 1 1 . Чувствительный элемент магниторезистивного датчика

(а); устройство для измерения скорости вращения или числа
оборотов датчиком с магниторезистивным элементом (б)1 измери*
тельная схема (в) и форма сигнала на выходе (г).

вращения. Магнит, установленный на оси вращения,

при каждом обороте проходит один раз мимо магни-
торезистивного датчика, вызывая изменение его со-
противления Это изменение сопротивления с помощью
схемы, показанной на рис. 7.1.1, в, преобразуется в
изменение напряжения UA (см. рис. 7.1.1,г)< ..,
128 Глава 7

150

s too

50

too 200 зоо 400

Напряженность пояя,Э

2.55

90° 180° 270° 360°

Угол поворота,град
Рис 7 1 2. Зависимость выходного напряжения сигнала от напря-
женности магнитного поля (о) и от угла поворота (б).

Зависимость выходного н а п р я ж е н и я сигнала от

напряженности поля или угла поворота показана на
рис. 7.1.2.

7.2. Датчики Холла

Датчики магнитного поля, использующие эффект
Холла, относятся к активным датчикам, так как они
сами вырабатывают измерительное напряжение, свя-
занное с магнитным полем. На рис. 7 2 1 схемати-
чески показаны устройство н принцип действия дат-
чика Х о т л а .
Под действием тока / и магнитной индукции В,
векторо! которых взаимно перпендикулярны, на об-
 Датчики магнитного поля 129

кладках датчика возникает измерительное напряже-

ние UH. Величина этого н а п р я ж е н и я зависит от гео<
метрии (длины / и толщины d) датчика, тока /, коэф*

"к
а б е
Рис. 7.2 1, Принцип действия холловского чувствительного эле-
мента (а), устройство датчика перемещения с холловским чув»
ствйтелышм элементом (б) и изменение сигнала в зависимости
от перемещения (а).
i
фициента Холла RH и магнитной индукции £>:

Материалом для изготовления датчика Холла

.чаще всего служат кремний, арсенид индия (InAs) и

Мембоана

KSY1Q
Рис. 7.2 2. Датчик давления, действие которого основано на
щении постоянного магнита относительно холловского датчика,

антимонид индия (InSb). Датчик Холла нз арсенида

индия, например, при магнитной индукции В = 1 Т и
токе 0,1 А имеет выходное напряжение около 0,5 В.

5 Г. Виглеб
'30 Глава 7 А

При смещении постоянного магнита по отноше-

нию к датчику Холла (рис, 7.2.1,6) напряжение дат*
чика изменится пропорционально перемещению X,
Следовательно, датчики Холла можно также исполь-
зовать как датчики перемещения или положения.
Такой датчик перемещения в соответствующем
устройстве (рис, 7.2.2) можно использовать также
для измерения давления. В этом устройстве постоян-
ный магнит расположен иа мембране, прогибающей-
ся под действием изменяющегося давления, В резуль-
тате магнит смещается относительно датчика, что
ведет к изменению напряжения.

7.3. Датчики Виганда

Новейшей разработкой в области датчиков маг*

иитиого поля является датчик Виганда. Он состоит
из предварительно обработанной механически прово-
локи из сплава «Викалой» (10% V, 52% Со, 38%'
Fe) диаметром «0,3 мм, намотанной в виде катушки
длиной 15 мм, имеющей около 1300 витков. Если эту
катушку поместить в магнитное поле, то при превьь
шенни определенной величины напряженности поля
направление намагничивания спонтанно изменится.
В результате этого изменения возникает импульс на-
пряжения длительностью «20 мкс и амплитудой
«2,5 В.
Достоинствами датчика Вигаида являются:
отсутствие необходимости в источнике питания,
большая величина сигнала (несколько вольт),
широкий температурный диапазон применения
(—196.,.+175DC),
конструктивная защищенность от коротких замы-
каний,
искробезопасность.
На рис. 7.31, а показано изменение во времени
импульса, возникшего в магнитно-бистабильиой про-
волоке. Амплитуда и длительность импульсов не за-
висит от скорости изменения магнитного поля, так
что датчики указанного типа могут применяться при
 Датчики магнитгтого поля 131

скоростях, даже близких к нулю. Поэтому индуктив-

ные методы уступают в таких случаях данному спо-

ртрицательнии
импульс

Магнитно-бистабильная
проволока

Рас. 7.3.1. Сигнал датчика положения на основе магнитно-бнста-

Сильной проволоки (а) и устройство датчика (б).

собу измерения. На рис. 7.3.1,6 проиллюстрировано

применение такого датчика для измерения скорости
вращения.

I
'ГЛАВА 8
ОПТИЧЕСКИЕ ДАТЧИКИ

Бесконтактное измерение ряда физических величин,

как, например, перемещений, вибраций, температуры
и т. д., оказывается возможным лишь с помощью
оптических датчиков. При этом информация пере-
дается не по кабелю, а световыми волнами, которые
могут изменяться по интенсивности, фазе, цвету или
геометрическому распределению в пространстве и
благодаря этому оказываются пригодными для полу-
чения и передачи информации. Чрезвычайно простым
оптическим датчиком является, например, известная
фотоячейка.
Фотоячейка состоит из источника света (лампы
накаливания или светодиода) и приемника (фото-
диода или фоторезистора). Нарушение передачи све-
та от источника к приемнику служит информацией
о нахождении объекта в фотоячейке. Если число им-
пульсов отнести к единице времени, то, например,
при конвейерном производстве можно получить ин-
формацию о количестве деталей, изготовленных за
.1 час или за день.
Основные принципы
Преобразование оптического с и г н а л а в электриче-
ский осуществляется детекторами излучения, исполь-
зующими различные физические эффекты. Мы опи-
шем три типа детекторов излучения, наиболее часто
применяемых в оптических датчиках, а именно фо-
тодиоды, фоторезисторы и приемники теплового излу-
чения (ИК-датчики).

Фотодиоды
При облучении кремниевых фотодиодов светом в
них возникает н а п р я ж е н и е , определенным образом
 Т
Оптические датчики 133

зависящее от силы света. Эффект, вызывающий воз-

никновение этого напряжения, называется внутрен-i
ним фотоэффектом.
На практике чаще всего применяют /н'п-диоды.
Эти диоды имеют слоистую структуру (рис. 8.0.1), в
которой тонкие проводящие слои р- и n-типа разде-
лены областью нелегированного высокоомного кремч
ния (/). При попадании на /n-переход световых л у».

Свег
Контакт
р-слой
Противоотражатель-
ный слой (SiOa)
i-слой

Рис. 8.0.1, Структура pin- диода.

чей достаточно высокой энергии (Е = hv) возникает

фототек ISH (ток короткого з а м ы к а н и я ) порядка
0,1... 1 А/Вт. Чувствительность такого фотодиода
очень сильно зависит от длины волны (цвета) ис-
пользуемого излучения. На рис. 8.0.2, а представлена
спектральная чувствительность типичной кремниевой
фотоячейки в диапазоне длин волн от 200 нм до
'Д,2 мкм (1200 нм).
Обозначенная здесь через Q. Е. квантовая эффек-<
тивность характеризует отношение числа фотонов,
попавших на диод, к числу электронов, возникших в
виде фототока Ish.
Фототек Isn изменяется линейно в зависимости от
интенсивности падающего света при ее изменении в
пределах более б порядков, так что возможна пря-
мая индикация интенсивности света.
 5? темйввои TOW , Д. таяния, с
р 3 3 в СЭ
CD 3 S о1 о1 о1 с

о
о И = 5 » —

о1
to m
а N »<
X \\ 0 аы

ю1
- О) со

Сопротие/
•о&ip
01
(Л

|0о
кн ст*i
!* .
OJm (Л (Д !П 0 \1
•аШк ы
п
нц
IEXT-
р « UJй ^ *'^v
a CDСП g Л

2оо
яв У] 3 s
1Ч>V У I^ ,
о UМ Щ '?С'

Обратное напряжение, мВ
км да
1 п ti*
3=1 £
03 L \
к 1 ЕВ Ъj Sv
Сопротивление, Ом Температурный моэф(риц иен т, %/"[
I I I I •*- ч
в 5b 3m mЗ о - J оM о^ о 5 = оi с LW KJ'гоа „•«^/< _—о „аел о \лО с tэ Vii Ло
/ ^ ' // а
0
01
/ / -Ь
о Ь§ ^ _-j
£
Ш £ш
i
^ (fe/4^ ыа
§

зоо -2Q а *га «4

Температура окру>
u й => *
s г^ a-" QOQ
i«u fи z: °
S, £_
/ . ' / '«*• аffl
/ / s/ о ч.\^
s» f
о' ^
^ ^
 Оптические датчики 135
J^
Нижняя область этой характеристики ограничена
шумами (шумы Джонсона, шумы темнового тока
и шумы дробного эффекта).
Для определения разрешающей способности дат-
чика основное значение имеет эквивалентная мощ-
ность шума (ЭМШ), Этот параметр определяется

II
I

'tvv^~-*- 3it. 1
г
l)A Ieh F
a r
jl ^
Г ° '

Рис. 8.0.3, Линейное (а) и логарифмическое (б) усиление па

•току.

как отношение шумового тока (в А/Гц 1/2 ) к чувстви-

тельности к световому потоку (в А/Вт) при отноше-
нии сигнал/шум, равном 1. Поскольку чувствитель-
ность к лучевому потоку зависит от длины волны, то
это же справедливо и для параметра ЭМШ. Изгото-
вители детекторов излучения чаще всего указывают
значение ЭМШ в м а к с и м у м е кривой чувствительно-
сти, причем почти всегда у обычных детекторов излу-
чения оно составляет примерно Ю^15 Вт/Гц 1 / 2 .
8
Преобразование слабых фототоков порядка 10" ...
2
10~ А требует тщательного выбора схек усилителей.
Типичные схемы для преобразования ток — напряже-
ние показаны на рис. 8 0.3, а и б.
Преобразование ток — напряжение с обеспечением
линейности выходного напряжения осуществляется с
 136 Глава 8

помощью резистора Rf в цепи обратной, связи опера-

ционного усилителя. Для больших усилений слабых
фототоков применяют операционные усилители на по-
левых транзисторах с высоким входным сопротивле-
й
нием (10 Ом) и высокоомиые резисторы Rf.
При обработке сигналов переменного н а п р я ж е н и я
амплитудно-частотная характеристика (АЧХ) схемы
определяется емкостью фотоячейки и сопротивления

1 k
{ID L, '
V
=)ц •н 7 :_Cj
-с- Г1 К и |Нагрузка
°
1
1

Рис. 8.О.4. Эквивалентная схема рш-диода,

Если в цепь обратной связи операционного усили-

теля включить диод, то получится логарифмически
возрастающая характеристика, наиболее подходящая
!для больших диапазонов измерений (рис. 8.0.3,6).
Эквивалентная схема фотодиода может быть пред-
ставлена в виде цепи из источника тока (/i), диода
(1о), емкости ( С ; ) , резистора (шунтирующего сопро-
тивления Rsh с током /') и последовательно вклю-
ченного резистора (Rs) (рис. 8.0.4). Отсюда выход-
ной ток получается р а в н ы м

Где Is — ток насыщения (фотоячейки), е — заряд

электрона, k — постоянная Больцмана, Т — абсолют-
ная температура.
Тогда выходное напряжение И0 (при /0 = 0) по-
лучается равным
 Оптические датчики 18^

выходной ток короткого замыкания (при RL = 0 и

Для случая, когда сопротивление Rs очень мало

(менее 10 Ом), а сопротивление Rsti очень велико
(более 107 Ом), обоими последними членами выраже*
ния можно пренебречь, так что получается

'sh 1т

На рис. 8,0.5 показаны некоторые выпускаемые

промышленностью кремниевые рш-диоды.
В основном они отличаются геометрическими фор-
мами. При выборе подходящего конструктивного ис-
полнения следует учитывать, что емкость р«-перехода
Cf возрастает при увеличении его площади и тем са-
мым оказывает решающее влияние на АЧХ всей схе-
мы. Однако, поскольку облученность относится ко
всей поверхности (Вт/см 2 ), с помощью детекторов
большей площади можно достигнуть увеличения вы-
ходного тока. Поэтому в каждом отдельном случае
нужно оптимальное согласование.
При монтаже фотоячеек (особенно для УФ-диапа-
зона) следует обращать внимание иа то, чтобы окош-
ки детекторов перед монтажом были очищены этило-
вым спиртом (рис, 8.0.6),
При пайке необходимо исключать возможность
перегрева фотоячейки, причем нагрев каждого спая
допускается максимум до 260°С в течение 5..,10 с.

Фоторезисторы
У некоторых материалов (например, CdS, CdSe,
PbS, PbSe) электрическое сопротивление изменяется
под действием света из-за образования электронно-
дырочных пар. Возникающие при этом свободные но-
сители заряда вызывают резкое снижение сопротив-
ления. На рис. 8 0 7 показана зависимость сопротив-
ления такого датчика при различной освещенности
(измеренной в люксах). В зависимости от силы света
 58,5*0,3

Чувствительная
ЛОЭерхность'

ад 0 0,5
"*"' 5,4 ±0,2

Метка (Ц \

Корпус
?-) Вывод на корпус
Чувствительная
поверхность

'ВЫВОД 00.3S Чувствительная

ловерлность
(*) Красная метка
|М> *Ц

Корпус
(-) вывод на корпус
Рис 8 0 5 Разновидности конструктивных исполнений рш-дио'*'
лов (слева) и их внешний вид (справа),
140 Глаза 8

оно изменяется от 100 до 1 кОм. Спектральная чув-

ствительность (рис. 8.0.8) определяется выбором ма-

Рис 8.0.6. Правила обращения с рш-днодами

. 100

о
10 S
СП
4L

01
10 100
Освещенность, лк
Рис. 8.0 7. Чувствительность фоторезист^ра,

териала. Так, CdS обладает максимальной чувстви»"

тельностью в зеленой области спектра и поэтому осо*
бенно пригоден для применения в измерителях осве«
тенности. В противоположность этому максимум
 Оптические датчики

аде 500 600 700

длина волны, нм
Рис. 8.0.8. Распределение спектральной чувствительности различ-
ных фоторезисторов.
Полимерный слой _
Электроды j ~- hj-VlV
-,——Электрод
у~~—- Кв рамическай
основа
~ вывод
Чувствительная
поверхность D О
Вид сверху Вид сбоку

Стеклянный корпус

Металлический корпус

Пластмассовый корпус

Планариое исполнение
Вид сбоку
Рис. 8 Q.9, Конструктивные исполнения фоторезисторов.
142 Глава 8

спектральной чувствительности CdSe находится в

красной области, а у фоторезисторов из PbS/PbSe —
даже в ИК-области.
Конструкция промышленного фоторезистора по-
казана на рис. 8.0.9, Он состоит из тонкой пленки

Электронный затвор Датчик пламени

Энслонометр Датчик дыма
.Автоматика Контроль горекня

Автоматический регулятор
яркости цифровых часов
и индикаторов
Технологический контроль
Счетчики

Функции упвэвления
в музыкальных автоматах контроль освещения
Рис. 8.0 10. Примеры применения фоторезистороз.

светочувствительного материала (CdSe/CdS) в фор-

ме меандра. Этот фотопроводящии слой, расположен-
ный на керамической основе с соединительными про-
водами, для защиты от влаги и грязи покрыт слоем
прозрачного полимера. На рис. 8.0.9 показаны также
наиболее распространенные конструктивные формы,
обеспечивающие разнообразие возможностей приме-
нения фоторезисторов. Некоторые области приме.не-
 Оптические датчики ',143
, . --- -
ния датчиков на основе фоторезнсторов проиллюстри*
рованы на рис, 8.0,10<

Тепловые приемники излучения

Тепловыми п р и е м н и к а м и излучения называют деч
текторы, в которых под действием облучения светом
происходит нагрев, вызывающий возникновение в них
вторичных процессов (изменение сопротивления, воз-
никновение термических напряжений). Тепловые при-
емники излучения применяются чаще всего для ИК.*
области, так как для видимого и УФ-диапазонов
спектра имеются более чувствительные датчики. Су-
щественным достоинством тепловых приемников из-
лучения является независимость нх чувствительности
от спектрального состава излучения, т. е. нх чувстви-
тельность остается почти постоянной от УФ- до ИК*
диапазона. В табл. 80.1 приведены некоторые типы
таких детекторов.
Т а б л и ц а 8.0.1

Тип датчика Физический эффект Выходной

параметр

Болометр Изменение сопротивления ме- Сопротив-

талла или полупроводника ление
Термобатарея Миниатюризованное исполни Напряженно
ние термопары. Рабочий спай
подвергается действию излуче-
ния, в то время как опорный
спай экранирован
Пироэлектри- Изменение поляризации неко- Переменное
ческий детек< торых материалов Реагирует напряжение
тор только на изменение излучения

8.1. Датчики положения

-ч
С помощью датчиков положения можно бескон*
тактным способом дистанционно регистрировать про-
цессы перемещения и управлять ими Пример при-
менения такого датчика показан на рис> 8.1.1.
144 Глава 8

Например, нужно зарегистрировать в и б р а ц и ю ка-

кого-либо механизма в процессе работы при р а з л и ч -
ных нагрузках. Для этого на нем в характерном ме-
сте устанавливают светодиод (излучатель). Излуче-

—— it -/ Выход
J "--
1/— ._-
•в /
Механизм Датчик Электронн Ь!Й
положения блок
Рис. 8.1.1, Схема устройства для регистрации вибрации меха-
низма

ние этого светодиода с помощью отображающей оп-

тики (например, линзы) фокусируется на датчике по-
ложения.

$**\\
Л Падающий
Электрод А тН свет Электрод В

Подложка
™ ,™™™™ „
\ п +- слои

ПрОТИВОПОЛОЖНЬ1Й
электрод
Рнс 8 I 2. Структура датчика положения' подложка из высоко-
чистого кремния является (-областью с собственной проводи-
мостью.

В принципе такой датчик состоит из удлиненного

рш-диода с двумя выходными электродами с одной
стороны и одним электродом с противоположной сто-
роны (рис 8.1.2).
При неработающем механизме отображающая оп-
тика юстируется таким образом, чтобы на обе части
р n-диода попадало излучение одинаковой интенсив-
вости, т е. /л = 1В. Как только светодиод начинает
 Оптические датчики US

перемешаться из-за вибраций механизма, интенсив*

ность перераспределяется и нарушается равенство то-
ков 1А и IB- В итоге разность Л / = | / , 4 — /э| оказы-.
вается мерой уровня в и б р а ц и и механизма, которую
можно оценивать при разных режимах работы. Ха*
рактеристики промышленного д а т ч и к а положения
измерительная
02.0 поверхность

Измерительная
Стекло (75% площади) поверхность
ч
95 \ 19.0±0.4
"Ч -;,
/
— . — •—- — - 1
! 11
1 1 11 1 i
1
J
1 Вывод -н
00,75 о
© <Э
Г ®
Рис. 8 1.3. Конструктивное исполнение датчика положения.

(тип S1352, фирма Hamamatsu), показанного на

рис. 8.1.3, а также его способ действия более под-
робно описаны ниже.
Важнейшие характеристики датчиков положения
графически представлены на рис. 8.1.4. Линейность
измерения положения (рис. 8.1.4,6) означает откло-<
нение выходного сигнала от номинального значения
(в процентах) при линейном смешении по всей длине
датчика (в данном случае 30 мм). Это важнейшая
Характеристика, и для датчика типа S1352 она со-
блюдается в пределах погрешности —1 %.
 Глава 8

— ••
J
и,' I
0,6 .
\
0,5 //
с," / ,
/
0,3
/
0,2
/ \
о,' X
с J1. _ . 4J
300 4QD $00 БОО 7DO BOO 900 1000 1100 1200
Длина волны, им

1-15UM

»J
чуктвительнош , %
i

,
Изменение

о St

*:
/\
Aа о о ft

•^С п
м-
0*

400, £00 6DO 700 tOO BCD 100Q 1100

Длина волны, им ,

Рис. 8 1 4 Спектральная чувствительность (а)', линейность изме-"

рения положения (6), температурная зависимость спектральной
чувствительности (в) и эквивалентная схема (г) датчика поло*
зкения. Р— генератор фототока D — идеальный днод; С/ т~ ем»
кость pn-перехода; R,n =• сопротивление шунта; Ris — поверх*
постное сопротивление, ;
Рис. 8 1 5. Схема измерительного блока (вычислительная схема) к датчику положения, Rs зависит от
входного сигнала, 1/5 — аналоговый делитель AD533,
!48 Глава 8

При обработке сигналов датчика ( I i / h ) , как по-

казано на рис. 8.1.5, формируется отношение раз-
ности отдельных сигналов 1\ и /2 к их сумме. До-
стоинство этого метода заключается в том, что при
этом исключается влия-
ние на точность измере-
Активная ния таких факторов, как
поверхность изменение мощности из-
лучения светодиода или
изменение чувствитель-
ности детектора. Во из-
Стеклянное бежание искажения ре-
покрытие зультатов измерений из-
за дрейфа нуля или дру-
гих подобных причин в
качестве операционных
выводы усилителей 1 ... 4 необхо-
димо использовать ин-
тегральные схемы, отве-
чающие высоким требо-
ваниям к качеству обра-
ботки сигнала.
Типичными примера-
ми применения оптиче-
ских датчиков положе-
ния являются измерения
протяженных объектов
(например, туннелей,
зданий, конструкций) с
Рис. 8 1 6. Конструктивное ис- помощью луча лазера, на-
полнение двухкоординатного правляемого на датчик.
датчика положения. Отклонение луча от цен-
тра датчика вследствие
перемещений или вибраций может быть измерено с
большой точностью.

Двухкоординатное измерение
Двухкоордннатное измерение положения добав-
ляет еще одну степень свободы при определении по-
ложения или размещении (позиционировании)
объекта.
 Оптические датчики 149

Датчик этого типа состоит из активной поверх"

ности в форме квадрата, на каждой стороне которого

Предусили.- Сложение Вычитание Деление

тели
1
х,*х г
*
х,-х г (X^Xjt Выход X
I __} (Xj+jy
Г
Рис. 8.1.7. Схема измерительного блока (вычислительная схема]
двухкоординатного датчика положения.
^
имеется по электроду (рис. 8.1.6). Противоположные
электроды предназначены соответственно для опреде-

•м-

Рис 8 1 8 Типичная линейность измерения положения,

ления смещений по осям X и У, как показано на

рис. 8.1.7. Сигналы У: и YZ с помощью иредусилите-«
лей согласуются с вычислительной схемой, формн^
ISO Глава S

рующей отношение разности сигналов к их сумме.

Процесс вычисления аналогичен осуществляемому в
линейных датчиках положения. Благодаря дополни-
тельной степени свободы (по оси X) осуществляется
двухкоординатное измерение положения.
Линейность .АТ-позиционирования показана на'
рис. 8.1.8. Она представляет собой меру точности

Рис. 8.1.9. Конструктивное исполнение различных датчиков поло-

жения.

определения положения. Область применения датчи-

ков этого типа в принципе та же, что и у линейных.
Ассортимент конструктивных форм датчиков положе-
ния иллюстрируется на рис. 8.1.9.

8.2. Датчики изображения на основе приборов

с зарядовой связью (ПЗС)
Для осуществления межоперационного контроля
технологического процесса необходимо постоянное на-
блюдение за качеством продукции (геометрические
допуски, однородность, качество поверхности и т. п.).
До недавнего времени эти характеристики качества
оценивались исключительно визуально, т. е. путем
 Оптические датчики tSl

осмотра контролером. Однако благодаря внедрению

датчиков изображения удалось полиостью автомати-
зировать такого рода контрольные операции и
встроить их в непрерывный производственный про-
цесс. Преимуществами автоматизированного коит-*
роля являются прежде всего более высокие надеж-
ность и производительность. На рис. 8.2.1 показана
работа установки автоматического контроля бутылок
с помощью датчиков изображения. При производстве
напитков предусматривается многократное использо-
вание бутылок с мойкой их перед каждым использо-
ванием. В связи с этим на моечных установках необ-
ходим контроль бутылок на чистоту, наличие повреж-
дений, посторонних тел и остатков моющих средств.
Такой контроль осуществляется специальным спосо-
бом. Находящаяся на транспортере бутылка осве-
щается с одной стороны щелевым источником света
и отображается с помощью оптики на датчике изо"
бражения. В качестве последнего в данном случае
применяется одномерный (щелевой) датчик с 256 эле-
ментами изображения.
При последовательном просмотре отдельных уча-
стков бутылки (т. е. при ее сканировании) сканирую-
щий луч проходит с первого элемента до 256-го, так
что вся бутылка просматривается сверху донизу. Ре-
гистрация на каждой ячейке датчика длится около
1,5 мс. Поскольку бутылка продвигается мимо дат-
чика с постоянной скоростью, все «слои» можно по-
следовательно просматривать один за другим. В итоге
после просмотра всех слоев с первого до п-го полу-
чают полное изображение бутылки.
Получающееся в результате изображение с раз-
л и ч н ы м и переходами яркости (уровнями серого) поз-'
воляет судить о качестве отмывки и наличии дефек-
тов. Поскольку одна камера регистрирует участок
составляющий около 60 % периметра бутылки, необ-
ходима вторая камера, оптическая ось которой пер-
пендикулярна оптической оси первой камеры.
Задачи управления, например сканирование ячеек
датчика, накопление в памяти, принятие решения
и т. д., полностью выполняются микро-ЭВМ.
Рис. 8.2,1 Применение датчика изображения на основе ПЗС в
процессе технологического контроля бутылок после мойки.
 Оптические,_датчики 1 S3

Принцип действия датчиков изображения на ПЗС

Датчики изображения на ПЗС состоят из крем-
ниевых МОП-конденсаторов или М-ОП-фотодиодов,
соединенных в виде последовательного ряда или мат-
рицы. На рис. 8.2.2 схематически показано устрой-
ство такого датчика.

PT, PI2 PTj Фт UT U

о (;D 99 '•
?5' ?
L r
I Уп рзэляю-
t f1 щая
j Регистр избыточны* зарядов 1югикэ
i i 4 ech
Ф*
i Диалоговый сдвиговый регистр(нечетиыи)
ri
к Усилитель
Н || || [|| || Фотоэлементы |!| *' :=) СЧИты- |
JjL ._ t пср^"-"'"." t ti у вания
Г
h Аналоговый сдвиговый регистр (четный)
cf 1
" Регистр избыточных зарядов
!_
1
i> 1 ( '
иет ч-р UED us

Рис. 8.2.2. Блок-схема датчика изображения на основе ПЗС.

В случае линейного (однокоординатного) датчика

изображения несколько сотен фотоэлементов распо-
лагаются последовательно. Так, датчик изображения
на ПЗС типа ТН7803 (фирма Thomson CSF) состоит
из 1728 элементов, расположенных в один ряд. Сред-
нее расстояние между этими фотоэлементами разме-
ром 1 0 X 1 3 мкм составляет 10 мкм, в результате
чего на строке ПЗС длиной 17,28 мм достигается оп-
тическое разрешение 50 линий на 1 мм.
В качестве фотоэлементов применяются пассиви-
рованные фотодиоды пр-ттпа. Каждому фотодиоду
соответствует отдельный МОП-конденсатор как эле-
мент памяти, ,
"Ш Глава 8

Такая структура обеспечивает высокую чувстви-

тельность датчика, поскольку падающий свет не по-
глощается частично электродами, как это имеет ме-
сто в случае структур из МОП-фотоконденсато,-
ров.
На обоих концах строки датчика экранировано по
4 фотоэлемента, которые постоянно выдают эталон-
ный сигнал, соответствующий темновому напряже-
нию.
Строка датчика отделена от обоих сдвиговых ре-
гистров соответствующими затворами, при открытии
которых накопленный заряд в параллельном режиме
может быть перенесен в сдвиговый регистр,
На каждой стороне строки датчика расположен
сдвиговый регистр, который принимает заряды из
четных или нечетных фотоэлементов и сдвигает их к
выходу. Для изоляции этих двух регистров относи-
тельно внешнего поля н для подавления возникаю-
щих из-за него помех — темнового тока и шумов —
параллельно к ним подключено еще по одному ре-
гистру. —
Выходы обоих сдвиговых регистров подключены
к диоду, который в мультиплексном режиме воспри-
нимает заряды из обоих регистров и преобразует их
в соответствующее напряжение. Перед подачей каж-
дого нового пакета зарядов на диод с МОП-транзи-
стора подается соответствующее опорное напряже-
ние, предотвращающее наложение различных паке-
тов зарядов.
Получающиеся на диоде импульсы напряжения
подаются на усилитель со схемой дискретизации и
запоминания отсчетов. С выхода усилителя может
быть снят видеосигнал с низким импедансом, отра-
жающий распределение силы света по анализируе-
мой строке.
Внутренние логические схемы управления генери-
руют тактовые импульсы Фк сброса на нуль и им-
пульсы сканирования Фесь. Благодаря этому можно
управлять датчиком изображения только двумя внеш-
ними тактовыми импульсами, а именно импульсами
передачи ФР н Фт. На рис. 8.2,3 представлены важ-
 Оптические датчики 155

нейшие характеристики типичного датчика нзобра*

жения на ПЗС.
Спектральная чувствительность (рис, 8.2.3, а) рас<
пространяется на диапазон длин волн от 400 нм до

n^t-
^'•4 = 0,6
л- 2 ^N
ija i
c^Q3
£ 0,4
N
0,1
400 500 EQG 700 800 900 1000 1100 4 Б В 10
длина волны, нм Время интегрирования
и 6
С фильтрами
0,8
0.6

0,4
0,2

I 3 5 10 3D 50100 ЗООЫНПООО О 10 20 30 40 50
Время интегрирования t 1 ; MC Плотность точек изображения,

Рис. 8.2 3. Характеристики датчика изображения на основе ПЗС,

«1000 нм, так что может быть зарегистрирован весь

диапазон видимого света.
Выходной видеосигнал зависит как от времени ин-
тегрирования ((,), так и от энергии падающего излу-
чения ( Е ) . Оба параметра непосредственно связаны
(линейно) с выходным напряжением (рис. 8.2.3,6)*
158 Глава 8 1
сеченмз А-А

51 i ? ^-a-

Деталь X Фоточувстви-
тельный слои .
i ХГТ
- max

Л I яичейкэ f Деталь X
I 1 f Фотоэлементов !
!
i
^ ~ ,1
^.... . 31 --•
0,51
<ш
Рис. 8.2.4. Конструктивное исполнение однокоординаткого датчик
ка изображения на основе ПЗС,
Зб,г
" 35,4
19.8
443 0,0 194 16,8
Itr ык а 28 h 16.4 "" 15
— rwl
Черная
керамика
Оптический .L
лk центр ^ да
f
кк &
= ri Kf
«2

2,29 Вывод 1 14
1,79

i 0,40
Ряс. 825. Конструктивное исполнение двухкоординатного датч
вика изображения на основе ПЗС, _,
 Оптические датчики

Модуляционная характеристика (FTM) опреде*

ляется выражением
FTM = -

где Uso — темновое напряжение. Эта характеристика

справедлива для определенной спектральной области

„5S «a ~е Тактовые импульсы

и напряжения
Г -Ь—Н— Ф
1Р, Ф2р. Тактовые им
фdP,
v ,п Ф<!Р пульсы зоны
изображения
Ф
1 Vf, *2М- Тактовые им-
nv.ibCbi зоны па-
Ф-Ju J•«J , Ф^Д-J
мяти
*1Z., Тактовые
*2L. нм-
фJг}L,
^ , ф./ пульсы регистра
4L
выборки
Импульс сброса
ФК
VНапряжение
DD
стока выходного
каскада
UDR Напряжение
стока транзи-
стора сброса
Напряжение
"ss ложки под-
и.£• Напряжение ре-
гулировки изоб-
ражения
Напряжение сме-
fas щения выходного
вентиля регистра
выборки
5 Выход видеосиг-
нала
Г Точка подключе-
ния измеритель-
ного прибора
Рнс.8.26 Устройство ПЗС-матрицы.

и определенной фотограммы. Она включает в себя,

кроме того, FTM принимаемого объекта,
Темновое напряжение Uso ограничивает разре-
шающую способность датчика изображения иа ПЗС,
Охлаждением датчика до »10°С предельное разре-
шение для некоторых применений можно значительно
улучшить (рис. 8.2.3,в).
На рис. 8.2 4 показан однокоординатный датчик
изображения на ПЗС. Аналогичный датчик на
рис. 8.2.5 предназначен для двухкоординатиых изме*
15S Глава 8

рений и имеет плоскость изображения матричного

типа. Конструкция ПЗС-матрицы (датчик изображе-
ния типа ТНХ 31133, фирна Thomson-CSF) из
2 5 мкм

Решетка из поликремния Изоляция {р+-эона)

.Один элемент изображе-

Попикремний

Подложка

-Пакет

Направление сдаига
Рис. В.2.7. Устройство элемента изображения.

576X384 точек изображения, как показано на

рис. 8.2.6, разработана для производства по телеви-
зионному стандарту МККР (625 строк, 50 Гц). При
помощи синхронизирующего сигнала полный телеви-
зионный сигнал можно наблюдать иа телемониторе,
 Оптические датчики '59

Тем самым создается возможность выполнения задач

по автоматизации, как, например, распознавание кон-
тура, процессы сортировки, обнаружение примесей в
твердых и жидких материалах, а также определение
геометрических размеров. |
Устройство отдельного элемента изображения по*
казаыо на рис. 8.2.7. Размеры одной точки изображе-
ния составляют 2 3 X 2 3 мкм, тогда как весь размер
изображения равен 6623X8832 мкм.
При формировании выходного видеосигнала сиг*
нал изображения переносится построчно из зоны изо^
бражения в зону памяти. После этого зона изобра-
жения готова для принятия следующего изображе-*
ния. За это время сигнал из зоны памяти построчно
переносится в регистр считывания и передается в вы-
ходной каскад для формирования видеосигнала с низ-*
ким импедансом.
Датчики изображения на ПЗС находят множество
применений в области оптических измерений, типич^
ным примером которых является описанная ниже из^
•мерительная задача.

8.3. Датчик шероховатости

f
~~ Контроль качества поверхности деталей при авто-
1матизированном производстве оказывается возмож-
ным благодаря применению линейных датчиков изоб-
ражения (или последовательного ряда фотодиодов).
•На рис. 8.3.1 иллюстрируется принципиальное устрой-*
ство датчика шероховатости (тип RM400S, фирма
jRodenstock). Действие этого датчика основано на нз-«
мерении светорассеяния.
Пучок света, испускаемый ИК-светодиодом (X,0 =
= 810 нм), фокусируется объективом на детали. Све-
товое пятно на поверхности детали обычно имеет
размер около 1,8 мм, а в специальных случаях—!
0,2...4 мм. Б зависимости от качества поверхности об*
следуемого объекта в зоне светового пятна происхо-
дит рассеяние света, который с помощью светодели-
.тельной пластинки направляется на датчик изобрач
жения. Дисперсия распределения рассеянного света
160 Глава 8

дает характеристику оптической шероховатости по-

верхности SN'.

f —номер фотодиода, р,- — интенсивность, реги->

Шгрируемая i-м фотодиодом, i — номер фотодиода,
Распределение I
интенсивности'
/
/

жения ша. j

0Объект
Объектив\ j
СНД 1 ЛЛинза \
;. _ X
УЬ-^РQ
ХЩG/ -V
л-ИОнмМ Т~ J " х •/>
иэя пластинка Рассеянный
свет
^

Ряс. 83.1. Принцип действия датчика шероховатости.

усредненного по интенсивности, g — нормирующий

множитель. *
Расчет выполняется, естественно, микропроцессо*
ром, позволяющим обрабатывать около 20 измерений
за 1 с.
На рис. 83.2 изображены поверхности различного
качества, характерные для деталей, изготовленных
точением, шлифованием и прокаткой. При точении и
шлифовании получается равномерный бороздчатый
профиль, тогда как прокатанная поверхность имеет
нерегулярный рельеф. Это различие отчетливо прояв=
 Оптические датчики 161

ляется в характере светорассеяния, так как в проти-

воположность точеной и шлифованной поверхности
прокатанная поверхность имеет центросимметрнчное
распределеЕше интенсивности рассеянного света.

е
20° 0" 20

Рис. 8.3.2. Внешний вид поверхности деталей, обработанных раз-

личным образом (а), соответствующие картины рассеяния света
на датчике изображения (б) и кривые распределения рассеян-
ного света (е)

Оптические характеристики шероховатости SN то-

ченой и штифованной поверхностей, определенные по
кривым распределения светорассеяния (рис. 8 3 2 )
отличаются незначительно (72 и 78 соответственно),
тогда как для прокатанной поверхности 5#—48
'/ 2 б Г. Виглеб
162 Глава 8

Целиком измерительная установка с датчиком

шероховатости RM400S п о к а з а н а на рис. 8.3.3. На пе-
реднем плане видны обследуемые детали, анализи-

Рис. 8.3.3. Применение датчика шероховатости при контроле то-

ченых деталей.

р у е м ы е датчиком. На заднем плане расположен блок

управления с микропроцессором,

8.4. Датчики ИК-излучения

Д т я ИК-диапазона от 0,8 до 12 мкм существует
множество датчиков излучения (рис. 8.4 1) на основе
селенида свинца (PbSe), сульфида свинца (PbS),
 Оптические датчики 163

арсенида индия (InAs), антимонида индия (InSb) и

германия, а т а к ж е пироэлектрические детекторы.
Важной областью применения таких детекторов
является обнаружение людей (например, при защите

3 1 5
Длина волны, мкм
Ркс.8.4.1. Характеристики спектральной чувствительности различ-
ных датчиков ИК-нзлучения.

от взлома помещений и зданий). При рассмотрении

спектрального состава ИК-нзлучения, испускаемого
человеком при температуре тела около 36,4 °С
(рис. 84.2), можно отметить отчетливый максимум в
области длин волн около 10 мкм Для этого спек-
трального диапазона могут быть приняты во внимание
164 Глава 8

только широкополосные ИК-датчики типа пироэлек-

трических детекторов.
Пироэлектрический эффект возникает в резуль-
тате смещения зарядов в некоторых кристаллах при
их нагреве (рис. 8,4.3).
Этот эффект не аналогичен описанному в разд. 2.2
термоэлектрическому эффекту, так как в данном слу-
чае не возникает постоянного напряжения.
jBuflH-
^^мыи ди-11 \
'
!зпазон Ц-**"
"^^
^
ST V* ^V^ч.300QK
Ч-J, \
vk. Nl
'/ '

-4
-5
-6
0,1 10 100
Длина полны,мкм
Тис. 8.4.2. Распределение интенсивности (/) ЯЯ-излучения, испу-
скаемого лампой накаливания и человеческим телом.

При резком воздействии ИК-излучения на пиро-

электрический детектор, вызывающем его нагрев, на-
пряжение или ток (в зависимости от вида схемы) из-
меняются лишь кратковременно, а затем спадают до
нуля даже и при сохраняющемся действии облучения
(см. рис. 8.4.4).
Эквивалентную схему пироэлектрического детек-
тора можно представить в виде параллельного (при
измерении тока) или последовательного (при изме-
рении напряжения) соединения конденсатора и гене-
ратора (источника тока или напряжения), как пока-
зано на рис. 8.4.5.
Чувствительность как по току, так и по напря-
жению зависит от частоты падающего излучения
(рис. 8.4.6). Ниже 10 Гц предпочтительно усиление
 Оптические датчики 165

Рис. 8.4.3. Пироэлектрический эффект (перераспределение заря-

дов в нагретом кристалле).

Время э
Напряжение /ток X Пироэлектрический эффект

Рис. 8 4 4 Возбуждение и ответный сигнал пироэлектрического

детектора
166 Глава 8

ик-излучевие

Электроды
Сигнал

Пироэлектри-
ческий Емкость генератор
детектор
_ J_ -I-
0
Т

Ток Напряжение
Рис 8 4.5. Эквивалентная схема пироэлектрического детектора.

Гг"
Детектор

U-i R,

Усиление по так\
Детектор
FET

1 10 100 1000 10000

частота модуляции f, Гц усиление по
напряжению
Рис 8 4 6 Частотная характеристика пироэлектрического детек-
тора с различными схемами усиления FET — усилитель на по-
левом транзисторе
 Оптические датчика 167

по напряжению, тогда как в случае высокочастотных

широкополосных сигналов более целесообразно уси-
ление по току.
При обнаружении людей (при их передвижении)
сигнал находится в области нескольких герц, так что
в этом случае применимо усиление по напряжению.

Ч> 8.13 мм

Толстопленоч
ный нагру-
зочный
резистор
Электроды

-Вывод

Рис 8 4 7 . Устройство пироэлектрического датчика в металличе-

ском корпусе со встроенным предусилителем сигнала. Справа в
кружке дано увеличенное изображение подключения электродов.

На рис. 8.4.7 полностью п о к а з а н о устройство д а т ч и к а

с и н т е г р а л ь н ы м предусилителем на основе полевого
транзистора и с нагрузочным сопротивлением в ми-
ниатюрном исполнении.
Кроме использования в пассивных оградительных
системах, такого рода датчики находят применение
в схемах контроля за работой горелок, в пожарных
168 Глава В

извещателях, системах контроля окружающей среды,

газоанализаторах, установках для измерения излуче-
ния и в реле близости.

8.5. Волоконно-оптические датчики

Разработке волоконно-оптических датчиков спо-
собствовали и способствуют прежде всего достиже-
ния в изготовлении стеклянных волокон и их систем-
ных компонентов (разъемов, источников света, детек-
торов и т. п.). Попадающий в волоконно-оптический
детектор световой пучок от источника света
(рис. 8.5.1) под действием измеряемого параметра

LОПТИЧЕСКИЙ
дат ч к Детектор •—^- Электронный
блок
\ Световоды
ЛСтсчкяк
света
Рис. 8.5.1. Схема волоконно-оптического датчика для измерения
различных параметров (температуры, уровня, давления и др.).

(например, давления, температуры, уровня и т. п.)

претерпевает в детекторе изменение по интенсивно-
сти, поляризации, фазе или цвету и тем самым обес-
печивает получение информации. Распространение
световых волн внутри датчика осуществляется по
стеклянным волокнам, применяемым, например а
технике связи Эти датчики новых типов находят при-
менение прежде всего в условиях, х а р а к т е р и з у е м ы х
наличием агрессивных паров или взрывоопасных га-
зовых смесей, в зонах повышенной радиоактивности
и сильных электромагнитных полей. Из множества
используемых в настоящее время волоконно-оптиче
ских датчиков ниже описаны три характерных типа,

Датчик уровня
На рис 8 5 2, а показан волоконно-оптический дат-
чик, обеспечивающий точное измерение уровня, т. е
 Оптические датчики 1S9

его превышение или занижение относительно задан--

ного значения. Свет от светодиода по световоду на-
правляется к коническому окончанию датчика и, отра-
зившись от него, попадает на детектор. При погруже-
Детактор

•_-__>t!HJlKOCTt-I-j
S

II ill
•Уровень наполнения
Рис. 8.5 2 Конструктивные исполнения волоконно-оптических дат-
чиков уровня LWL — световод; / — оба датчика сухие; II — по-
гружен датчик 2, HI — погружены оба датчика.

иии конического конца датчика в жидкость разность

показателей преломления изменяется, и отклоняв-
шийся ранее из-за полного отражения свет выходит
из конического конца датчика и уже не попадает иа
детектор. Получающееся в результате изменение ин-
тенсивности света служит сигналом о достижении за«
данного уровня Принцип действия (У-образиого дат-
чика уровня аналогичен {рис. 8.5.2,6): как только
7 Г, Виглеб
170 Глава 8

освобожденная от оболочки изогнутая часть волокна

световода окажется погруженной в жидкость, детек-
тор регистрирует изменение интенсивности света. За*
метим, что подвод и отвод излучения можно осуще<
ствлять по двум р а з л и ч н ы м световодам, как пока-
зано на рис. 8.5.2,6. В этом случае свет отклоняется
призмой.
Для двухпозиционного измерения уровня пригод-
но устройство, изображенное иа рис. 8.5.2, г. Здесь
интенсивность на детекторе претерпевает два с к а ч к а ,
а именно при погружении датчиков / и 2 соответ-
ственно (см. рис. 8.5.2, д).
| Эту схему можно расширить, соединяя несколько
таких концевых датчиков (с двумя точками замера
каждый) в единую систему, В результате с помощью
5 концевых датчиков можно контролировать 10 то-
чек, что обеспечивает почти непрерывный контроль
уровня.

Волоконно-оптический датчик температуры

По сравнению с обычными способами (гл. 2) из-*
мерение температуры с помощью волоконно-оптиче-
ских датчиков значительно более трудоемко. Однако
для определенных случаев применения эти затраты
оправданны, так как известные способы оказываются
подверженными действию помех. Сюда прежде всего
относятся следующие области применения:
® При промышленном использовании ВЧ- и мик-
роволновой техники (пищевая промышленность, вул-
канизация, прогрев клеев, нанесение пластиковых по-
крытий, индукционный нагрев и т. д.).
® В химической технологии (измерение темпера-
туры в сильнокоррозионных средах, в электрохими-
ческих процессах, в случае взрывоопасных и легко
воспламеняющихся материалов).
• В электротехнической и электронной промыш-
ленности (компоненты схем высокого напряжения,
тепловые характеристики управляющих цепей и этек-
троииых компонентов, измерения при изготовлении
полупроводников, горячие зоны в трансформаторах
высокой мощности и т. д.), >-
 Оптические датчики

Выход
ЦИФРОВОЙ аналоговый

Люминофор Сердцевина
10,!3му) (0,4 мм)

О 100 203 300 300 4DO 500 600 ' 700

Температура °с Возбуждэюшез излучение Флуооесцентное излучение
волны, ни

Рнс. 8.5.3 Устройство волоконно-оптического датчика температу-

ры (а), зависимость интенсивности спектральных линий У и Я
от температуры (б) и распределение интенсивности возбуждаю-
щего и флуоресцентного излучения (в).
172 Глава 8

* В биологии и медицине (биологические эффек->

ты при воздействии электромагнитного излучения, пе-
регревы из-за воздействия микроволнового излучения
и т. д.),
* В исследовательской п р а к т и к е (измерение мель*
чайших образцов, измерения при наличии электриче-
ских полей, ВЧ-плазмы или электронных пучков, точ-
ное измерение поверхностей материалов с плохой
электропроводностью).
Принцип действия волоконно-оптического дат-
чика температуры основан на температурной зависи-
мости интенсивности р а з л и ч н ы х флуоресцентных ли-
ний некоторых люминофоров. Устройство такого дат-
чика показано на рис. 8.5.3. Через систему отображе-
ния (/,[, f, DI ... Dz, LS) испускаемое источником
( S i ) УФ-излучение фокусируется в кварцевом свето-
воде, конец которого покрыт слоем тефлона PFA (на-
ружный диаметр 0,7 м м ) . На конце световода нахо-
дится слой люминофора (LaaOjS : Ей) толщиной
0,13 мм, который под действием УФ-нзлучения испу-
скеет флуоресцентное излучение в спектральном диа-
пазоне 500...600 нм. Это излучение в свою очередь
снова направляется по световоду в оптическую си-
стему, где из него фильтрами IF\ и IFZ выделяются
две специфические линии У и R. Отношение интен-
снввостей Y/R, определяемое электронным способом
является моиотоииой функцией температуры в обла-
сти от —50 до +250°С. Разрешение равно 0,1 °С при
погрешности ±2°С.

Измерение тока
На рис. 8.5.4 изображен датчик для бесконтакт-
ного измерения тока в диапазоне 0,2,..6000 А. Исполь-
зуемый здесь принцип измерения основан на эффекте
Фарадея.
Линейно-поляризованный луч лазера вводится в
катушку из световода, по оси которой проходит токо-
несущий кабель. Под действием тока / плоскость по-
ляризации света поворачивается (эффект Фарадея)
на угол a ( I ) = 2NV{t где N — число витков световода
 Оптические датчики 173

вокруг кабеля, V—постоянная Верде м а т е р и а л а све-

товода.
Затем с помощью призмы Волластона (WP) вза^
имно п е р п е н д и к у л я р н ы е компоненты поляризации на- ,

ЗлектронныйГ/Тч
блик | \CJ

Рис. 8.5.4. Волоконно-оптический датчик для измерения перемен-»

ного тока на основе эффекта Фарадея.

правляются на детекторы DI и D 2 . Сигналы детекто-

ров подаются далее на вычислительный прибор.
В итоге результаты измерений имеют отклонение о*
линейности менее 1 %.
ГЛАВА
ОБЛАСТИ П Р И М Е Н Е Н И Я Д А Т Ч И К О В

Возможные области применения датчиков чрезвы*

чайно разнообразны, можно выделить лишь отдела
ные сферы:
• промышленная техника измерения и регулиро-
вания,
• робототехника,
• автомобилестроение,
• бытовая техника,
® медицинская техника.
Применимость того или иного датчика в этих сфе*
pax определяется прежде всего отношением цена/эф-
фективность. При промышленном применении опре-
деляющим фактором является погрешность, которая
при регулировании процессов должна составлять
1...2%, а для задач контроля — 2...3%. В этих слу-
чаях цены датчиков превышают 100 немецких марок
ФРГ. Для специальных применений в области робо-
тотехники и медицинской техники цены датчиков мо-
гут достигать даже уровня 10. .100 тыс. немецких ма-
рок ФРГ. Благодаря внедрению новых технологий
изготовления (высоковакуумное напыление, распыле-
ние, химическое осаждение из газовой фазы, фотоли-
тография и т. д.) и новых материалов непрерывно
расширяются сферы применения датчиков, недоступ-
ные ранее из-за их высокой цены.

9.1. Датчики в промышленной технике измерений

Высокий спрос на промышленные датчики об-
условлен прежде всего тем, что автоматизация при-
обретает все больший масштаб в производственных
 Области применения датчиков 175

процессах. Контроль и управление технологическим

процессом с помощью вычислительной сети связи тре-
буют множества детекторов, совместимых с микро-
процессорами (рис. 9.1.1).

ссыт
f ll
Рис. 9.1.1. Производственные этапы и схема автоматизации про-
изводства.

К стандартным применениям в области промыкь

леиной техники измерений относятся:
С1 расход, количество,
Ф давление, разность давлений,
© температура,
• уровень,
© химический состав.
Кроме этих стандартных датчиков все возрастаю-
щим спросом пользуются датчики новых типов, к ко-
торым относятся, например:
• датчики положения и перемещения,
• датчики изображения на ПЗС, обработка изо-
бражения,
• оптические датчики, волоконно-оптические дат-»
чики,
9 биодатчики (биотехнология),
• миогокоординатные датчики (анализ шумов,
распознавание образов),
176 Глава 9

Для современных производств характерна тенден-

ция применения датчиков в интерактивном режиме,
т. е. когда результаты измерений сразу же исполь-
зуются для регулирования процесса. Благодаря этому

Рис. 9 1 2 Оптический датчик для управления процессом сварки

В среде защитного газа.

в любой момент обеспечивается корректировка техно-

логического процесса, что ведет к увеличению выхода
продукции, а потому и к более рациональному про-
изводству. Естественно, такие датчики должны обла-
дать исключительной надежностью, чтобы обеспечить
непрерывный и бесперебойный режим работы
Примером прямого управления технологическим
процессом является показанный на рис. 9,1.2 датчик
 Области применения датчиков 177

для полностью автоматизированной или механизиро-

ванной электродуговой сварки. Датчик работает по
методу отражения падающего света. Отраженный
свет создает па диодных цепочках (см. разд. 8.2 и
8.3) х а р а к т е р н ы е для геометрии шва сигналы, кото-
рые обрабатываются с помощью микро-ЭВМ.

9.2. Датчики в робототехнике

Применение роботов непосредственно вытекает из
показанных в разд. 9.1 задач по оптимизации техно-
логии в промышленных производствах. В принципе

Рис. 9.21. Датчик манипулятора робота {на принципе £>-поля):

1 — поддон, 2 — стопка шестерен; 3 — электроды; 4 — керамика
(«Рубалит 710»), 5 — стальная трубка с облицовкой из «Термак-
са», 6 — экран («Термакс»); 7 — захват,

робот представляет собой ие что иное, как сложную

информационную систему (рис. 1 2.1), которая объ-
единяет в себе получение, обработку и преобразова-
ние информации При получении информации через
датчики роботу требуется прежде всего способность
«видеть» и «ощупывать».
178 Глава 9

Первое оказывается возможным благодаря оптн*

ческим д а т ч и к а м (гл. 8), которые должны быть при*
способлены к соответствующим задачам робота.
На рис, 9.2.1 показан датчик для распознавания
контуров объекта (ощупывания) роботом в сложных
условиях окружающей среды, как, например, в отжи-
гательной печи при температуре около 1000°С датчик
работает по методу измерения D-поля, Он состоит из

Ш Объект

Электроды Прохождение сигнала t

Рис. 9 2 2 . Принцип действия датчика на основе измерения Л-по-

ля- выходной сигнал ±10 В; опорный уровень регулируемый.

трех электродов («Термакс», 010, /=120 мм), из ко-

торых два крайних формируют поле. На них подает-
ся в противофазе переменное напряжение (30 кГц,
iVss = 25 В) (рис. 92.2). Средний электрод служит
измерительным электродом и при отсутствии механи-
ческих помех не воспринимает никакого сигнального
напряжения.
Если между электродами 1 и III или 111 и II на-
ходится объект, то происходит изменение диэлектри-
ческой постоянной, которое сопровождается появле-
нием переменного тока на измерительном электроде.
Подключенный выпрямитель преобразует измеряе-
мую величину в постоянное напряжение, знак кото-
рого зависит от положения объекта (между электро-
дамн I и III илн III н II).
 Области применения датчиков 179

9.3. Датчики в автомобиле

Согласно проведенному анализу, западно-европей-

ский рынок датчиков в 1985 г оценивался суммой
около 1 млрд. немецких марок ФРГ, причем около
40 % этой суммы приходилось на автомобильные дат-
чики. Такая аномально большая доля в общем рынке
свидетельствует о з н а ч е н и и , которое придается этому
виду датчиков. Предельные цены, которые ие долж-
ны превышаться для такого рода датчиков при по-
грешности измерений 1...3 % составляют примерно
10,..15 немецких марок ФРГ.
К областям применения таких детекторов отно-
сятся:
• Датчики систем управления и регулирования
привода, а также таких отдельных систем автомо-
биля, как рулевое управление, тормоза, электроника
кузова.
© Датчики для обеспечения безопасности и на-
дежности, например в системе защиты пассажиров,
в системе блокировки и в противоугонной системе.
© Датчики диагностики и контроля расходных
материалов, освещения, тормозов и системы охлаж-
дения.
® Датчики для получения информации о расходе
топлива, о наружной температуре и маршруте.
Физическими параметрами, измеряемыми с по-
мощью этих датчиков, являются: температура, давле-
ние, скорость вращения, перемещение или угол, рас-
ход, усилие или момент, ускорение, влажность, пар"
циальное давление (концентрация).
Требования, предъявляемые к указанным датчи-
кам в отношении воздействия окружающей среды,
чрезвычайно высоки, так как иа чувствительные эле-
менты могут влиять толчки, вибрации, нагрев, охлаж-
дение, погодные условия, грязь, солевой туман и элек-
трические помехи. Виды воздействий и возникающие
в результате эффекты представлены в табл, 9.3.1 и
932.
При изготовлении датчиков для автомобильной
электроники все в большей мере применяют совре-
ISO Глава 9
Воздействие окружающей среды
Температура (жара, холод)
Колебания температуры
Влажность воздуха (с образо-
ванием росы и тумана)
Осадки (дождь, снег, гололед,
иней)
Давление (воздух, вода)
Песок, пыль
Солнечное излучение
Агрессивные вещества (NaCl,
S02, H,S)
Плесень
Вещество
Солевой раствор, солевой ту-
ман (дорожная соль, морское
побережье)
Диоксид серы '(индустриаль-
ный климат)
Аммиак
Влажность, конденсат
Топливные пары, топлиио
Тормозная жидкость
Аккумуляторная кислота
Двигательное масло
менные технологии, обеспечивающие экономичное из-
готовление датчиков минимальных
[табл 9.3.3)-
Т а б л и ц а 9.3.1
Типичное проявление
Старение, оярупчивание
Усталость, образование трещин
Короткие замыкания, поверх-
ностная и контактная коррозия
Электролиз, разбухание
Функционирование
Короткие замыкания
Старение, образование трещин
Поверхностная и контактная
коррозия
Короткие замыкания
Таблица 9.3.2
Воздействие
Электролиз, контактная и по-
верхностная коррозия
Поверхностная коррозия
Межкристаллитная коррозия
(латунь)
Утечки тока через короткие
замыкания, уменьшение сопро-
тивления изоляции
Поверхностная коррозия, раз-
бухание
Поверхностная коррозия, рас'
бухание
Поверхностная и контактная
коррозия
Разбухание
размеров
 Области применения датчикоп 181

Т а б л и ц а 9.3.3

Измеряемый параметр Принцип действия датчика

Скорость вращения (чис- Гальваномагнитные эффекты (эффект

ло оборотов) Холла, магниторезистивный эффект),
эффект Виганда, электромагнитная
индукция
Перемещение, угол Короткозамкнутое кольцо, короткоза-
ыкнутый дисковый датчик, потенцио-
метр
Температура Тонкослойные металлические датчи-
ки, полупроводниковый (кремние-
вый) датчик
Расход Нагреваемая спираль или фольга,
турбинное колесо (топливо), шарико-
вый циркуляционный датчик
Давление Пьезорезистивные полупроводниковые
датчики давления, мембранные ячей-
ки (с холловским сигналом, тонко-
слойные тензодатчики, емкостные
датчики), толстослойные датчики
давления
Момент Магнитоупругнй датчик (тордуктор),
датчик, основанный на принципе вих-
ревых токов, оптический датчик
Ускорение Пружинно-инерционная система с
тензодатчиками (фольга, тонкие
слон), пьезоэлектрический датчик,
пьезорезистивный полупроводниковый
датчик (монолитный)
Кшшентрация кислорода Диффузионный зонд из диоксида цир-
кония

На рис. 9.3 1 показано принципиальное устройство

чувствительного элемента д а т ч и к а количества воз-
духа, предназначенного для применения в автомо-
биле. В данном случае речь идет о резистивном из-
мерителе расхода (см. гл. 4), изготовленном методом
пленочной технологии Характеристика датчика при
расходе воздуха от 0 до 100 л/с приведена на
рис 9 3 2 .
Для уменьшения содержания в выхлопных газах
оксидов азота и углерода все шире применяются
182 Глава 9

Рис. 9.3.1. Конструкция резистивного массового расходомера в

тонкопленочном исполнении для измерения подачи воздуха в ав-
томобиль (а) и пленочная структура измерительного и сравни-
тельного (температурная компенсация) резисторов (б)- / — на-
греваемый резистор; 2—ненагреваемый резистор сравнения; 3 —
цепи проводников и контактов; 4 — каркас с выемками (5);
б — трубопровод. Элементы позиций /—3 на полиимидной пленке.

I 1,0

0,5

20
г t т
О 10 20 30 40 50 GO 7Q 80 90 100
ХЛ/Q *-
Рис. G.3.2, Характеристика чувствительности датчика расхода.
 Области применения датчиков 183

катализаторы в сочетании с регулировкой воздушного

числа А. Это число определяет оптимальное соотно-
шение топлива и воздуха в рабочей смеси, при ко-<
тором происходит наиболее полное сгорание топлива
и повышается эффективность действия катализатора.
а
Платиновэе покрытие
внутреннее наружное

L»

0,8
<а_
С?
д. 0,6
«•»о
| 0.4
Ъг.х
g^- 0,2

0,8 вд 1,0
Воздушное число
Рис. 9 3 3 Конструкция (вверху) и характеристика (внизу)
Я зонда фирмы Bosch - Р о а П ) — парциальное давление кислоро-
да а окружающем воздухе; РО2 (а) — парциальное давление кисло-
рода в выхлопных газах.

Для определения Л применяется диффузионный зо~нд

на основе диоксида циркония, напряжение снгнала
которого резко изменяется при Л = 1 (рис. 9.3.3).
Такой Л-датчик состоит из твердого электролита
(ZrO 2 ), имеющего снаружи и изнутри платиновое
покрытие, выполняющее роль электродов. Измеряемое
184 Гдав.а 9

между этими электродами напряжение зонда за-

висит от разности парциальных давлений кислорода
в окружающем воздухе (внутри зонда) и в выхлоп-
ных газах.

9.4, Датчики в бытовых приборах

В бытовой технике количество датчиков близко к
числу применяемых в автомобильной электронике,
Только в ФРГ в 1980 г. в выпущенных бытовых при-
,_борах было использовано около 18 млн. датчиков.

Ли
Рис. 9 4 1 . Распределение датчиков по частоте применения в бы-
товых приборах- / — жидкостные регуляторы теплового расшире-
ния; 2 — биметаллические выключатели, 3 — датчики давления;
4 — терморезисторы с отрицательным ТКС, 5t—стержневые ди-
латометрические регуляторы, 6 — регуляторы потока; 7 — элек-
тромеханические датчики импульсов. 8 — датчика стиральных
машин; 9 — резнстивные датчики; 10 — датчики концентрации
солевого раствора

Раслределение датчиков по частоте применения

иллюстрируется гистограммой иа рис. 9 4 1 . Наиболь-
шая доля в указанном ассортименте приходится на
жидкостные регуляторы теплового расширения (тем-
пература), биметаллические переключатели (темпе~
ратура) н датчики давления.
 Области применения датчикоа 185

В табл. 9.4,1—9.46 представлены некоторые изме*

ряемые параметры и типы датчиков для р а з л и ч н ы х
бытовых приборов.
Кроме этих обычных чувствительных элементов и
датчиков, в бытовых прр:борах все более широко при-
меняются самые современные датчики, позволяющие,
например, оценивать степень готовности или уровень
обжаривания жаркого.
Источник
Приемник света
Узел крепления
датчика

Оптическая
ось
Соль

Рис. 9.4 2. Оптический датчик для определения концентрации со-

лей в растворе (посудомоечная машина).

На рис. 9.4.2 изображен современный датчик кои<

центрации солей (моющих средств) в установках
для мытья посуды Ои состоит из источника света
(Ко = 950 нм) и детектора ( п р и е м н и к а ) , расположен-
ного под углом около 90° к оптической оси источника.
При достаточном уровне содержания моющих средств
испускаемое источником ИК-излучение рассеивается
на кристаллах соли и частично отражается в сторону
детектора. Если же содержание этих солей мало, то
сигнал исчезает, так как солевой раствор поглощает
излучение.
 Т а б л и ц а 9.4.1
Электропечь

Назначение
параметр

Темпе- Расширение жидко- Регулирование температуры дут

ратура сти ховкн, регулирование темпера-
туры дна кастрюли при но
- пользовании электроплитки
То же Удлинение стержня | Регулирование температуры
при опаливании
» Биметалл Включение вентилятора при
слишком высокой температуре
в помещении
» Платиновый тонко- Регулирование температуры в
> слойный плоский из- духовке
мерительный резистор

Т а б л и ц а 9.4.2
Посудомоечная машина

^еГу1^я Принцип действия ,,

Биметалл Регулирование температуры

воды
Темпе- -
ратура Терморезистор с от- Регулирование температуры во-
рицателъным ТКС ды

Уровень Реле давления Ограничение количества воды

Т а б л и ц а 9.4 3
Стиральный автомат
Регул и- Принцип
F действия
руемый датч„ка
д Назначение
параметр

Темпе- Расширение жидкости, Регулирование температуры

ратура биметалл, терморезистор щелочного раствора
с отрицательным ТКС
Уровень Реле давления, электрон- Регулирование уровня ще-
ный датчик давления лочного раствора
Скорость Тахогенератор, электро- Регулирование числа оборо
враще- механический датчик им- тов. электродвигателя
ни я пульсов
 Т а б л и ц а 9.4.4
Электропечь

параметр Измеряемые параметры Принцип действия датчика

Изменение окраска Детектор излучения для

индикаторов распознавания цвета
тепень Диэлектрическая про- Расположение приготовляв-
ГОТОВНОСТИ
,- л да ницаемость мого ^блюда между обклад-
^
ками конденсатора

Окисляемые газы Датчик на основе Sn02

Уровень Излучение поверхно- Детектор излучения для

обжарен- сти распознавания цвета
кости

Емкость Полимерная пленка с зо-

лотым слоем
В 1ажность •
Электрическое сопро- Пористые оксиды металлов
тивление
Темпера- Излучение поверхно- Детектор ИК-излучения
тура сти

Т а б л и ц а 94.5,
Стиральный автомат

Входной
параметр ,,
Измеряемые параметры __
Принцип действия датчика

Электропроводность Электроды в потоке

Жесткость во-
ды Отношение концен- Ионно-селективный по-
трации ионов Ca/Mg левой транзистор (Са2+)

Уровень воды Эквипотенциальное Постоянный ток через

поле низкоомный проводник

Масса воды Импульс Оптоэлектронная реги-

страция времени работы
крыльчатки
 Продолжение табл. 94.5

Входной „ ,,
параметр Измеряемые параметры
гт
Пряишш действия датчика

Масса белья Пусковой ток элек- Амперметр с реле вре-

тродвигателя мени

Разница в электро- Измерение электропро-

проводности по сраа- водности в потоке
нению с водопровод-
ной водой
Остаточная ще-
лочность Измерение рН Иошю-селективный поле-
вой транзистор (Н+)

Измерение концентра- Ионно-селективиый поле-

ции ионов Na+ вой транзистор (Na+)

Остаточное со- Прозрачность Оптоэлектронное измере-

держание по- ние интенсивности про-
верхностно-ак- ходящего света
тивиых веществ

Т а б л и ц а 94.S
Холодильные и морозильные камеры

пгпншетр Измеряемые параметры Принцип действия датчика

Нарост Рассеянный инеем Светоизлучающий диол/фо-

инея свет тотранзистор

Емкость Полимерная пленка с золо-

тым слоем

Влажность Электрическое сопро- Пористые оксиды металлов

тивление

Частота Керамический вибратор

Давление Электрическое сопро- Пьезорезистивный датчик

хладоагента тивтение давления на основе крем-
ниевого кристалта
ЛИТЕРАТУРА

К главе 1
II. Mikrocomputer-Peripherik, Siemens DrackschriEt Nr. В/2316.
2, Wiegleb G. Sensoren und ihre A n w e n d u n g — Auf dem Weg zuin
Vollautomaten, Funkschau (1984), Heft 8, Seite 37.
К главе 2
1. Thermistor-Application Notes AN-iA, Feiraal-Electro. Limited.
2. НеШ- und Kaltleiter fur die KraEtfahrzeugelektronik, Siemens
Druckschrift Nr. В/2823 (1Э84).
3. Practical Temperature Measurements, Hewlett-Packard Applica-
tion Note 290, August !980.
4. Diehl W Platin-Diinnschict-Widerstande als genaue und stabile
Temperatur-Sensoren. Degussa Druckschrift Nr. 8202 (1982).
5. Wiegleb G. Hochgenaue Temperatur- und Temperaturdifferenz-
messrjngen mit einlachen Mitteln. PdN-Physik, 198!, Heft 9,
Seite 281—284.
6. Temperaturmessungen mit Widerstandsthermometern. Heraeus
Druckschrift Nr TM-Wl.
.7. Thermoelements-Internationale Grundwertreihen nach IEG 584-1,
Degussa Prosp. Nr. 8006.

К главе З
1 Pressure Transdiiser Handbook 1983, SENSORTEG GmbH
2 Hemcke H. Piezoresistive Drucksensoren, «und-oder-nor+steu--
erungstechnik» П, 1983, Seite 27—28.
3 Ehrier G. Nagy G. Silizium-Drucksensoren. Elektronikpraxis 18,
J983, Seite 30—33.
К главе 4
1 Hogrefe W Auswahlkriterien fur DurchfluBmeflgerate. Regel-
technische Praxis, Heft 9/11/12 (1982)
2 Baier W Anwendung selbstgeheizter Kaltleiter zur DurchfMl-
messtmg NTC-Fachbenchte, Band 79 '(!982).
3 Wiegleb G Mittel und Methoden fur das Messen des Gas-
durchflusses, Maschinenmarkt 90 (1984), 7,
190 ..Литература

К главе 5
1. Wiegleb G. Gasanalyse nach dem Warmeleilverfahren. PdN-Che^
mie 9/1980.
2 Scholz E. Abgas-Schniiffler, ELO 2/1983.
3. Knobloch W. Der Anti-FIensburg, ELO 9/1981.
4 Karthaus H. Physikalische Gasanalyse. Druckschrift L3410, Hart"
mann -j- Braun AG, Frankfurt.
К главе 6
1. Sensor zur Messung der relativen Luftfeuchte, VALVO-Technf-
sche Information Nr. 790423.
2. Walz G. Feuchtemeflschaltungr, Elektronik Journal 7/1984.
К главе 7
1 Boll R. und Borek L. Magnetic bensors, Siemens borsch.- und
Entwicklungs-Ber., Bd. !0 (1981), Nr. 2.
2. Dibbern U Magnetoresistive Sensoren und ihre Anwendung,
Industrie-elektrik LI. eleklronik, 28 Jg. (1983), Nr 6.
3. Kuers G Theone und Praxis der Wiegand-Sensoren. Der Konst-
rukteur, Marz 1983.
К главе 8
1 Detektor aus SHizium. Industrie elektrik u. elektronik. 28, Jg
(1983), Nr. 8.
2 Raab H Optische Sensoren in der chemiseben BetriebsmeStech-
nik. Technisches Messen 50 (1983), Heft !2.
3 Margiierre H. Messen und prufen mit ootischen Sensoren. Rege-
lungstechnische Praxis 26 (1984), Heft 2.
4. Dumlein A. Optische Datenerfassung mit CCD-Kameras. ELEK-
TRONIK 25/17.12 1982, S. 89.
5. Bergemann H. CCD-Bildsensoren, die neuen Augen der Roboter.
ELEKTRONIK 12/1661983, Seite 74
К паве 9
1. Bethc К Zur Situation auf dem Sensor Markt Regelungstechni-
sche Praxis 26 (1984), Heft 2, Seite 51
2 Peinke W Betrachtungen zur Genauigkeit von Betriebsmeflge-
raten Regelungstechnische Praxis 24 (1982), Heft 5, Seite 175.
3. Nentwig K- Sensoren liir die chemische Industrie CAV 1984,
April, Seite 35
4 Fischer P H. K. Sensoren in Hausgeraten. NETG-Fachberichte,
Bd 79 (1982), Seite 17
5 Heintz F. Sensoren in Kraftlahrzeugen
6 Zabler E. NTG-Fachbenchte, Bd. 79 (1982), Seite 25.
Журналы регулярно публикующие материалы по современно'
му состоянию техники датчиков
rTechnisches Messeri, Oldenbourg-Verlag in Munchen
 'Литература 191

Elektronik, Franzis-Verlag in Munchen

Funkschau, Franzis-Verlag in Munchen
Ttegelungstechnische Praxis, Oldenbourg-Verlag in Munchen
5ndustne-elektrik+elektronik, Huihig Verlag in Heidelberg
Sensor Review, IFS-Publications in Bedford (England)
VDI-Nachrichten, VDl-Verlag in Dusseldorf
VDI-Berichte, VDI-Verlag in Dusseldorf
Sensors and Actuators, Elsevfers Sequoia in Lausanne '(SchweizJ
Messen Prufen Automatisieren, Holzmann-Verlag in Bad Worb
shofen
СПИСОК Ф И Р М - И З Г О Т О В И Т Е Л Е Й ДАТЧИКОВ

Данный перечень не претендует на полноту н отражает

состояние на 1984—1985 гг.
Фирма-изготовитель Производимая продукция

Endrich Gmbtf, Обширный ассортимент датчи-

г. Нагольд ков всех видов (датчики звуко-
вые, влажности, магнитного поля,
газовые, дыма, температуры и т. д.)
TAD-Sensorik, Электронные датчики, извеща-
I. Штутгарт тели повышенной температуры,
сигнализаторы уровня
Hottinger+ Baldwin, Тензодатчики, электронные бло-
г. Дармштадт ки к датчикам, датчики переме-
щения, давления, усилия
Siemens AG Микро-ЭВМ, периферийные уст-
ройства, комплексные системы
датчик — ЭВМ — исполнительнее
устройство
Panametrics, Датчики влажности, толщино-
г. Висбаден меры, газовые датчики
iumo GmbH, Распространенные чувствитель-
г Фульда ные элементы, приборы измерения
давления, датчики температуры
Delta GmbH, Датчики давления
г. Мюнхен
Telefunken Датчики давления
Zeybold-Heraeus, Оборудование и технология из-
г. Хан а у готовления датчиков датчики рас-
хода, газовые датчики вакууммет-
ры
 Продолжение
Фирма изготовитель Производимая продукция

Doduco GmbH, Датчики магнитного поля, дат->

г. Пфорцхайм чики Виганда, технология изготов-
ления датчиков
Dr. R. Seitner GmbH, Датчики усилия, оптические
т. Геншинг датчики, дозаторы сока
Hohner KG Датчики приращения, датчики
т. Тутлинген угла поворота
Hontsch GmbH Датчики расхода, температуры,
г. Вайблинген давления
Testoterm GmbH Датчики расхода, температуры ]
г Ленцкврх
Honsberg КО, Датчики расхода, температуры,
г. Ремшайд уровня, давления
Endres -j- Hauser, Датчики расхода, влажности
г. Маульбург
Volvo GmbH, Датчики изображения, оптиче-
г. Гамбург ские датчики, датчики температу-
ры
Techmark GmbH, Датчики теплового потока, тем-
г. Мюнхен пературы, давления, расхода
Degussa AG, Датчики температуры, расхода,
г. Ханау термопары
Geratebau GmbH, Газовые датчики, датчики рае-*
г. Дортмунд хода
Figaro Inc., Газовые датчики
г. Осака, Япония
ВВС—АО, А-эонды, газовые датчики
г. Франкенталь
Heraeus GmbH, Датчики температуры, термопа-
г, Ханау ры
Fenwal, Inc. Терморезисторы (комплексная
г. Фреймннгем, США программа)
Hamamatsu, Оптические датчики (комплекс-
г Инчино, Япония ная программа)
Infrared-Industries, Датчики ИК-излучения, моно-
г Уолтем, США кристаллические датчики
Texas-Instrutn, Датчики температуры, давле-
г Фрайзинг ния, ускорения, холловские датчи-
ки
 Продолжение
Фирма-изготовитель Производимая продукция

Ziegler GmbH, Датчики давления, вычислитель-

г. Мёнхенгладбах ная техника
Nafec GmbH, Приборы измерения давления,
г, Гархинг расходомеры, приборы для изме-
рения и калибровки
Airflow Lufttechnik, Датчики давления, микромано-
г. Райнбах: метры, датчики потока
Honeywell GmbH, Пьезорезистивные датчики дав-
Г. Оффенбах ления с интегральными электрон-
ными схемами, реле близости, фо-
тоячейки, холловские датчики
Е, Halstrup GmbH, Датчики давления, индуктивные
г. Кирхцартен датчики перемещения, измеритель-
ные электронные приборы, испол-
нительные механизмы
Keller АО, Датчики давления, электронные
г. Винтертур блоки к датчикам
Althen GmbH, Обширный ассортимент датчи-
г. Кельхайм ков всех видов, измерительные
электронные приборы
Kulite GmbH, Тензодатчики, датчики усилия,
г. Гофхайм давления
Medas GmbH, Датчики давления, измеритель-
г. Лайхлинген ные усичители, измерители уровня
Е-Т-А GmbH, Датчики давления, регуляторы
г Альтдорф потока
Philips GmbH, Датчики давления, температуры,
г. Кассель термопары
Thomson-CSF, Датчики изображения (ком-
г. Булонь, Франция плексная программа)
Sensoric GmbH, Датчики близости, волоконно-
г. Эссен оптические датчики
Oriel GmbH, Волоконно-оптические датчики
г. Дармштадт
Polytec GmbH, Волоконно-оптические датчики
Г. Вальдброн температуры
ASEA, Волоконно-оптические датчики
г. Фридберг температуры
Ktstter AG, Пьезоэлектрические датчики, из-
г. Винтертур мерительные электронные прибо-
СОДЕРЖАНИЕ

О т переводчика > . . , . . . , . 5
Предисловие . . . . . . 8
Глава 1 . Основные сведения . . . . . . . . . . . 9
1
1.1.Датчик... Что это такое- 9
1.2. Микро-ЭВМ и сенсорика И
1.3. Технология изготовления датчиков II

Глава 2. Датчики температуры . . . . . . . . . . . 14

2.1 Датчики температуры из платины и никеля , , . !5
2 2. Термопары 23
2 3. Кремниевые датчики температуры 26
2 4. Терморезисторы с отрицательным ТКС 37
2 5. Терморезисторы с положительным ТКС 46
2 б. Измерение разности температур .58
2.7. Калибровка 59

Глава 3. Датчики давления 62

3.1. Кремниевые датчики . . . 62
32. Электронный барометр 71
3.3 Высотомер 75

Глава 4. Датчики расхода и скорости , 77

4.1. Терморезисторный анемометр 79
4 2. Датчик расхода 82
4.3. Датчик направления , 88

Глава 5. Газовые датчики . . . 9 1

5.1 Термокопдуктометрические ячейки 91
5.2. Топливная ячейка 94
5.3. Термохимическая (каталитическая) ячейка . . . . 95
5.4. Полупроводниковые датчики .99
 1
196 Содержание

Глава 6 . Датчики влажности . . . . . . . . . . . JJ3

6.1. Основные определения ИЗ
6.2. Конденсационный гигрометр на основе хлорида ли-
тия 114
6.3. Емкостные датчики влажности . . . . . . . . Ив
6.4. Измерительные схемы , , , , . , , 120
6.5. Калибровка , 124
Глава 7. Датчики магнитного поля . , . . . . . . , , 126
7.1. Магниторезистивные датчики 126
7.2. Датчики Холла 123
7.3. Датчики Виганда 130
Глава 8. Оптические датчики 132
8.1. Датчики положения 143
8.2. Датчики изображения на основе приборов с заря-
довой связью (ПЗС) 150
8.3. Датчик шероховатости , 159
8.4. Датчики ИК-иэлучения 162
8.5. Волоконно-оптические датчики 168
Глава 9. Области применения датчиков 174
8.1-. Датчики в промышленной технике измерений . , , 174
9.2. Датчики в робототехнике . 177
9.3- Датчики в автомобиле 179
9А Датчики в бытовых приборах 184
Литература . 189
Список фирм — изготовителей датчиков i92