2.1 Мэйнфрейм. Вся обработка пластин происходит в мэйнфрейме.См.

Рисунок 2-3,, Вариант мэйнфрейма - Производитель Producer S.

ГЛАВНАЯ ГАЗОВАЯ ПАНЕЛЬ

ПАНЕЛЬ
1 переменного тока 2 ГАЗОВАЯ ПАНЕЛЬ ОДНОЛИНЕЙНЫЙ БЛОК
ВЫПУСК ПОДАЧИ ГАЗА

ЗАДНИЙ
КАМЕРА C
ПАНЕЛЬ ПЕРЕМЕННОГО ТОКА
(3-КАМЕРНЫЙ
ТОЛЬКО СИСТЕМА)

ДВОЙНЫЕ КАМЕРЫ
A 4 A, B и C

5 УДАЛЕННАЯ ЧИСТКА
МОДУЛИ
(ASTEX AX7650)

B C

Передаточная камера
6

7 КРЫШКА КАМЕРЫ

8 РАСПОЛОЖЕНИЕ
НАСОСА НА
ГЛАВНОМ РАМЕ

ТРАНСФЕРНАЯ КАМЕРА
9

ФРОНТАЛЬНЫЙ
10 ЗАВОДСКИЙ
ИНТЕРФЕЙС
(ПОКАЗАН
ПЕРЕДНИЙ КОНЕЦ
РУЧНОГО
РАБОЧЕЕ МЕСТО ОПЕРАТОРА (ПЕРЕДНЯЯ ЧАСТЬ) УПРАВЛЕНИЯ)

11 ФРОНТАЛЬНЫЙ РОБОТ

Figure 2-3. Основная рама производителя (стандарт 200 мм)