МОСКОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

имени М.В.ЛОМОНОСОВА

ФИЗИЧЕСКИЙ ФАКУЛЬТЕТ
Центр квантовых технологий

Лабораторный практикум

Мусорин А. И.

Моделирование оптического отклика резонансных

наноструктур с использованием программных пакетов
Lumerical и COMSOL Multiphysics

Москва — 2019
Моделирование оптического отклика резонансных . . .
Цель работы

Приобретение навыков численного моделирования, получение спектрального откли-

ка резонансных наносистем.

Модель и теория

Рассматривается рассеяние плоской волны на наносферах различных диаметров из

кремния. Наличие собственных резонансов в объекте приводит к усилению рассея-
ния для определенных частот оптического спектра.

Глава I. Теория

1. Теория Ми

Исследуем свойства света, рассеянного наночастицами, на примере сферической ча-

стицы, освещаемой плоской электромагнитной волной [1]. Впервые такая задача бы-
ла рассмотрена Густавом Ми. Поля E и H в приближении линейной, изотропной и
однородной среды должны удовлетворять волновым уравнениям, которые можно
получить из уравнений Максвелла. Дивергенции отмеченных полей должны рав-
няться нулю. Такие поля не являются независимыми и могут быть выражены друг
через друга:

∆E~ + k2E~ = 0, ∆H~ + k2H

~ = 0; (1.1)
divE~ = 0, ~ = 0;
divH (1.2)
~ = iωµH,
rotE ~ ~ = −iωεE.
rotH ~ (1.3)

Можно показать, что векторные волновые уравнения (1.1) могут быть сведены к
скалярному волновому уравнению ∆ψ + k 2 ψ = 0 для функции ψ, позволяющей
~ иN
построить векторные функции M ~ , такие, что:

~
~ = rot(~rψ),
M ~ = rotM .
N (2)
k
В сферических координатах скалярное уравнение будет иметь вид:
! !
1 ∂ 2
∂ψ 1 ∂ ∂ψ 1 ∂ 2ψ
2
r + 2 sin θ + 2 2
+ k 2 ψ = 0.
r ∂r ∂r r sin θ ∂θ ∂θ r sin θ ∂φ

Если разделить переменные, то искать решение этого уравнения можно в виде

ψ(r, θ, φ) = R(r)Θ(θ)Φ(φ). Тогда для каждой из функций можно записать свое урав-

2
Моделирование оптического отклика резонансных . . .

нение:

d2 Φ
+ m2 Φ = 0, (3.1)
dφ2
 " 2
#
1 d m

dΘ
sin θ + n(n + 1) − Θ = 0, (3.2)
sin θ dθ dθ sin2 θ
!
d dR
r2 + k 2 r2 − n(n + 1) R = 0.
 
(3.3)
dr dr

Линейно независимыми решениями для Φ являются четные Φe = cos mφ и нечетные

функции Φo = sin mφ. Решением второго уравнения являются функции Лагранжа
Pnm (cos θ), которые при m = 0 являются полиномами Лагранжа Pn . Если ввести
√
безразмерную переменную ρ = kr и определить функцию Z = R ρ, то третье урав-
нение сведется к виду:
!
d dZ
+ ρ2 − (n + 1/2)2 Z = 0,
 
ρ ρ
dρ dρ

решением которого являются функции Бесселя первого и второго рода. Следова-

тельно, линейно независимыми решениями третьего уравнения станут сферические
функции Бесселя:
s s
π π
jn (ρ) = Jn+1/2 (ρ), yn (ρ) = Yn+1/2 (ρ).
2ρ 2ρ

Таким образом, выражения для функции ψ примут вид:

ψemn = cos(mφ)Pnm (cos θ)zn (kr); ψomn = sin(mφ)Pnm (cos θ)zn (kr),
(1) (2)
где zn может быть любой из четырех функций Бесселя: jn , yn , hn , hn . Зная ψ, можно
найти M ~ иN~.
Теперь необходимо записать падающую плоскую волну в виде разложения по
этим функциям. Кроме того, в данном базисе необходимо также записать поля рас-
сеянных волн и волн внутри сферы. Проводя громоздкие математические выкладки,
можно получить выражения для разложения электромагнитного поля рассеянных
волн:
∞
X  
~s =
E ~ e1n − bn M
En ian N ~ o1n , (4.1)
n=1
~k X
∞  
~s =
H En ~ ~
ibn No1n + an Me1n , (4.2)
ωµ n=1

3
Моделирование оптического отклика резонансных . . .

Рассеянное электромагнитное поле записано в виде бесконечного набора векторных

гармоник M ~n и N
~ n — электромагнитных нормальных мод сферической частицы. В
общем случае рассеянное поле — это суперпозиция нормальных мод, вклад каждой
из которых определяется коэффициентами an и bn . Для каждого n существует два
отличительных типа моды: для одной отсутствует радиальная компонента магнит-
ного поля, поперечная магнитная мода (или мода электрического типа по другой
терминологии); для другой отсутствует радиальная компонента электрического по-
ля, поперечная электрическая мода (или мода магнитного типа по другой термино-
логии).
Получим выражения для коэффициентов рассеяния an и bn . Для фиксированного
n существуют четыре неизвестных: an , bn , cn и dn . Следовательно, нужны четыре
уравнения, чтоб их определить. Они могут быть получены из граничных условий
при r = a:
Eiθ + Esθ = E1θ , Eiφ + Esφ = E1φ ,
Hiθ + Hsθ = H1θ , Hiφ + Hsφ = H1φ .
Учитывая ортогональность тригонометрических функций, а также выражения для
электрического и магнитного полей падающей волны, рассеянной волны и волны
внутри сферы, получаем систему четырех однородных линейный уравнений:
(1)
jn (ηq)cn + hn (q)bn = jn (q),
h i0
µ [ηqjn (ηq)] cn + µ1 qhn (q) bn = µ1 [qjn (q)]0 ,
0 (1)

(1) (5)
µηjn (ηq)dn + µ1 hn (q)an = µ1 jn (q),
h i0
[ηqjn (ηq)] dn + η qhn (q) an = η [qjn (q)]0 ,
0 (1)

где штрих означает производную по аргументу, указанному в скобках, q = ka =

2πN a/λ — характерный параметр, η = N1 /N = k1 /k, а N1 и N — показатели прелом-
ления частицы и среды соответственно, a — радиус сферы. Четыре уравнения лег-
ко решаются относительно неизвестных коэффициентов, описывающих поле внутри
сферы cn и dn :
h i0
µ1 jn (q) qhn (q) − µ1 hn (q) [qjn (q)]0
(1) (1)

cn = h i0 ,
(1) (1) 0
µ1 jn (ηq) qhn (q) − µhn (q) [ηqjn (ηq)]
h i0 (6)
(1) (1) 0
µ1 ηjn (q) qhn (q) − µ1 ηhn (q) [qjn (q)]
dn = h i0 ,
2 (1) (1) 0
µη jn (ηq) qhn (q) − µ1 hn (q) [ηqjn (ηq)]

4
Моделирование оптического отклика резонансных . . .

и коэффициентов рассеяния an и bn :
µη 2 jn (ηq) [qjn (q)]0 − µ1 jn (q) [ηqjn (ηq)]0
an = h i0 ,
2 (1) (1) 0
µη jn (ηq) qhn (q) − µ1 hn (q) [ηqjn (ηq)]
(7)
µ1 jn (ηq) [qjn (q)]0 − µjn (q) [ηqjn (ηq)]0
bn = h i0 .
(1) (1) 0
µ1 jn (ηq) qhn (q) − µhn (q) [ηqjn (ηq)]

Если для какого-либо n частота света (или радиус частицы) зануляет знаменатель,
то соответствующая нормальная мода будет доминировать в рассеянном поле.
Построим воображаемую сферу вокруг частицы и оценим скорость, с которой
~ ~er )dA, S
~ —
R
электромагнитная энергия пересекает ее поверхность A: Wa = − A (S,
вектор Умова-Пойтинга. Величины Wa и Ws описывают скорость поглощения и рас-
сеяния энергии соответственно, тогда для скорости экстинкции можно записать:
Wext = Ws + Wa . Раскрывая интеграл для скорости рассеяния Ws через поля E и H,
получаем выражение:
∞
π|E0 |2 X
Ws = (2n + 1)Re(gn )(|an |2 + |bn |2 ),
kωµ n=1
h i0
(1) (1)
где gn = −iρhn (ρ) ρhn (ρ) . Тогда сечение рассеяния определяется выражением:
∞
Ws 2π X
Csca = = (2n + 1)(|an |2 + |bn |2 ), (8)
Ii k2 n=1
а сечение экстинкции:
∞
Wext 2π X
Cext = = (2n + 1)Re(an + bn ). (9)
Ii k2 n=1

2. Численные методы

При исследовании каких-либо физических явлений не всегда возможно записать

точное — аналитическое — решение задачи. Тогда прибегают к приближенным ме-
тодам, например численным [2]. Ставится задача о переходе математической мо-
дели, то есть от интегральных и дифференциальных уравнений, к дискретной мо-
дели, в которой непрерывный аргумент заменяется дискретным. Тогда уравнения
представляют собой конечно-разностные схемы, операция интегрирования замеща-
ется конечной суммой, а производная — разностным отношением. Получившаяся
модель — система алгебраических уравнений, для решения которой составляется
вычислительный алгоритм, обладающий определенной точностью. В данном прак-
тикуме будут рассмотрены метод конечных разностей во временном пространстве и
метод конечных элементов.

5
Моделирование оптического отклика резонансных . . .

2.1. Метод конечных разностей во временном пространстве

Данный подход основан на дискретизации дифференциальных уравнений Максвел-

ла [3]. Базовым алгоритмом для решения конечно-разностных уравнений является
алгоритм Йи [4]. В декартовых координатах в системе СИ пара уравнений Максвел-
ла и (1.3) в скалярной форме примет вид:

∂Hz ∂Hy ∂Dx ∂Ez ∂Ey ∂Bx

− = jx + , − =− , (10.1)
∂y ∂z ∂t ∂y ∂z ∂t
∂Hx ∂Hz ∂Dy ∂Ex ∂Ez ∂By
− = jy + , − =− , (10.2)
∂z ∂x ∂t ∂z ∂x ∂t
∂Hy ∂Hx ∂Dz ∂Ey ∂Ex ∂Bz
− = jz + , − =− . (10.3)
∂x ∂y ∂t ∂x ∂y ∂t
Введем разностную сетку для точки в пространстве таким образом, что

(i, j, k) = (i∆x, j∆y, k∆z),

и для любой функции координат и времени положим

f (i∆x, j∆y, k∆z, n∆t) = f n (i, j, k).

При идеально проводящих граничных условиях пара уравнений (10.1) сводится к

разностным схемам:

n−1/2 n−1/2
Hz (i + 1/2, j + 1/2, k) − Hz (i + 1/2, j − 1/2, k)
−
∆y
n−1/2 n−1/2
Hy (i + 1/2, j, k + 1/2) − Hy (i + 1/2, j, k − 1/2)
− =
∆z
n−1/2 Dxn (i + 1/2, j, k) − Dxn−1 (i + 1/2, j, k)
jx (i + 1/2, j, k) + .
∆t

Ezn (i, j + 1, k + 1/2) − Ezn (i, j, k + 1/2)

−
∆y
Eyn (i, j + 1/2, k + 1) − Eyn (i, j + 1/2, k)
− =
∆z
n+1/2 n−1/2
Bx (i, j + 1/2, k + 1/2) − Bx (i, j + 1/2, k + 1/2)
− .
∆t
Для остальных четырех уравнений схемы записываются аналогично. Сетки для по-
лей E и H смещены на половину шага дискретизации относительно друг друга как
по времени, так и по пространству. Конечно-разностные уравнения позволяют опре-
делить поля на данном временном шаге на основании значений с предыдущего, как
показано на рисунке 1. При заданных начальных условиях алгоритм Йи дает эво-

6
Моделирование оптического отклика резонансных . . .

Рис. 1: Положение компонент электрического и магнитного поля в единичной ячейке

Йи [3].

люцию решения во времени.

Как и в любом разностном методе, в методе конечных разностей во временном
пространстве существует проблема неточного отображения границы тела на вычис-
лительную сетку. Скругленная форма будет искажаться эффектом «лестичного»
приближения. Для улучшения ситуации можно использовать дополнительную сет-
ку с большим разрешением в той области расчета, где будут соприкасаться среды
со сложной формой поверхности. Для того чтобы ограничить объем сетки, нужны
особые граничные условия — полностью поглощающие слои (англ. perfectly matched
layers, PML). Они моделируют уход электромагнитной волны на бесконечность. В
рамках данного практикума метод конечных разностей во временном пространстве
будет изучен на примере программного обеспечения FDTD Solutions, Lumerical Inc.

2.2. Метод конечных элементов

Как было отмечено выше, при численном моделировании ищется решение системы
алгебраических уравнений. Данный метод аппроксимирует неизвестную функцию в
определенной области расчета. Для решения глобальной проблемы метод разбивает
большую систему на более мелкие, которые называются конечными элементами (см.
рис. 2). Простые уравнения, моделирующие конечные элементы, затем объединяют-
ся в большую систему уравнений, которая моделирует всю задачу. Для каждого
конечного элемента произвольно выбирается вид аппроксимирующей функции, на-
пример, полином первой степени в простейшем случае, а вне элемента аппроксими-
рующая функция принимается равной нулю. На границах элементов, в узлах, зна-
чения функций являются решением задачи и заранее неизвестны. Коэффициенты
аппроксимирующих функций обычно ищутся из условия равенства значения сосед-

7
Моделирование оптического отклика резонансных . . .

них функций в узлах. Затем эти коэффициенты выражаются через значения функ-
ций в узлах элементов. Составляется система линейных алгебраических уравнений.
Количество уравнений равно количеству неизвестных значений в узлах, на которых
ищется решение исходной системы, прямо пропорционально количеству элементов.
Так как каждый из элементов связан с ограниченным количеством соседних, систе-
ма линейных алгебраических уравнений имеет разрежённый вид, что существенно
упрощает её решение. Поиск решения ведется при помощи вариационного исчисле-
ния, минимизируя функцию ошибок. Метод конечных элементов имеет ряд преиму-
ществ в сравнении с методом конечных разностей во временной области. К таковым
относятся: произвольная форма обрабатываемой области, возможность прорежения
сетки, где не нужна особая точность и можно сэкономить ресурс компьютера для
других, более мелких элементов, и др. [5]

Рис. 2: Пример разбиения четверти диска конечными элементами [5].

Глава II. Численное моделирование

3. Моделирование спектров рассеяния наносфер в пакете Lumerical

Для получения спектров рассеяния необходимо выполнить следующие действия:

1. Открыть программу FDTD Solutions.

2. Создать область расчета, кликнув "Simulation -> region". Кликнув правой кла-
вишей мыши по появившемуся объекту, выбрать "Edit object". Во вкладке
"Geometry"установить "x span "y span"и "z span"равными 3 мкм. Во вкладке
"Mesh settings"подвинуть слайдер "mesh accuracy"до цифры 4.

8
Моделирование оптического отклика резонансных . . .

3. Добавить сферу, кликнув "Structures-> sphere". Кликнув правой клавишей мы-

ши по появившемуся объекту, выбрать "Edit object". Во вкладке "Geometry"установи
"radius"равным 0.23 мкм. Во вкладке "Material"в поле "index"ввести 3.5.

4. Добавить источник излучения, кликнув по "Source -> Total-field scattered-

field". Кликнув правой клавишей мыши по появившемуся объекту, выбрать
"Edit object". Во вкладке "Geometry"установить "x span "y span"и "z span"равными
1 мкм. Во вкладке "Frequency/Wavelength"установить начальную и конечную
длины волн 1 и 2 мкм соответственно.

5. В верхней строке программы отметить галкой "Object Library"в поле "View-

>Windows->". В поле "Type"выбрать "Analysis в поле объектов найти рас-
крыть дерево "Optical power"и добавить "Cross section дважды кликнув по
нему. Кликнув правой клавишей мыши по появившемуся объекту, выбрать
"Edit object". Установить "x span "y span"и "z span"равными 1.2 мкм, а "x "y"и
"z"равными 0.

6. Из выпадающего списка вблизи клавиши "Monitors"кликнуть на "Global

properties". В появившемся окне установить число частотных точек 1000.

7. Запустить расчет кнопкой "Run".

8. По завершении расчета кликнуть правой клавишей мыши по "cross_section на-

жать "run analysis"и потом "visualize". Таким образом, будет построена зави-
симость сечения рассеяния от длины волны.

9. Получите результат для частицы с радиусами 210 и 250 нм.

4. Моделирование спектров рассеяния наносфер в пакете Comsol

Для получения спектров рассеяния необходимо выполнить следующие действия:

1. Запустить программу Comsol multiphysics.

2. Выбрать модель 3D.

3. Выбрать физику: "Оптика -> Электромагнитные волны, частотное простран-

ство (Electromagnetic waves, frequency domain)".

4. Выбрать "Исследование: Частотное пространство (frequency domain)".

5. Во вкладке "Определения: Параметры"ввести переменную R, которая будет

определять радиус наносферы. Присвоить значение по умолчанию 230 нм. Вве-
сти переменную "lambda которая будет определять длину волны, присвоить
значение 400[nm].

9
Моделирование оптического отклика резонансных . . .

6. Во вкладке геометрия выбрать единицы измерения "нм".

7. Нарисовать сферу радиуса R.

8. Нарисовать сферу радиуса 10R. Эта сфера будет определять полностью погло-
щающие слои (PML). Указать толщину этой сферы 3R.

9. Во вкладке "Компонент 1: Определения"добавить правой клавишей мыши

"полностью поглощающие слои (perfectly matched layers)".

10. В настройках добавленного объекта в качестве "областей (domains)"справа вы-

брать внешние оболочки сферы радиуса 10R. В пункте "геометрия"выбрать
тип "сферическая"из выпадающего списка.

11. Добавить материал "воздух".

12. Добавить пустой материал (blank material). В настройках добавленного объек-

та в качестве "областей (domains)"справа выбрать сферу радиуса R. В пунк-
те "материальные константы (material constants)"указать epsilon 12.25, mur 1,
sigma 0.

13. В настройках вкладки "Электромагнитные волны, частотное пространство

(Electromagnetic waves, frequency domain)"из выпадающего списка "Решать
для (Solve for)"выбрать "Рассеянное поле (Scattered field)". Предположим, что
электрическое поле направлено по оси x, распространяется по оси z и имеет
единичную амплитуду, тогда в поле компоненты x следует вписать "exp(-
j*2*pi/lambda[nm]*z)"

14. Добавить "Рассеивающее граничное условие (Scattering Boundary Condition) клик-

нув правой клавишей мыши по "Электромагнитные волны, частотное про-
странство (Electromagnetic waves, frequency domain)". В настройках добав-
ленного объекта в качестве областей указать внутренние поверхности сферы
PML.

15. Добавить "Свободную треугольную (free triangular)"сетку, кликнув правой

клавишей мыши по "Сетка 1 (Mesh 1)". В качестве областей выбрать внеш-
нюю поверхность PML сферы.

16. Добавить "Прорежение сетки (Swept)"сетку, кликнув правой клавишей мыши

по "Сетка 1 (Mesh 1)". В качестве геометрического уровня выбрать "область
(domain)". В качестве областей выбрать PML сферу. Кликнув правой клавишей
мыши по "Swept добавить "распределение (distribution)"

10
Моделирование оптического отклика резонансных . . .

17. Добавить "Свободную тетраэдральную (free tetrahedral)"сетку, кликнув пра-

вой клавишей мыши по "Сетка 1 (Mesh 1)". В качестве областей выбрать остав-
шиеся (remaining). Добавить "Размер (Size) кликнув правой кнопкой мыши по
"Свободная тетраэдральная 1 (free tetrahedral 1)". В настройках выбрать "Раз-
мер элемента (Element Size) -> Точная (Fine)".

Создание геометрии закончено. Теперь перейдем к исследованию. Для этого необ-

ходимо задать диапазон изменения длин волн и шаг по спектру.

18. Добавить "Параметрическую перестройку (sweep) кликнув правой клавишей

мыши по "Исследование 1 (Study 1)".

19. В настройках в качестве параметра изменения выбрать "Длину волны". В каче-

стве значений вписать фразу "range(XXX, d, YYY) где ХХХ и YYY — первая и
последняя длины волны интересующего диапазона, а d — шаг по длине волны.

20. В окне настроек вкладки "Шаг 1: частотное пространство (Step 1: frequency

domain)"в пункте "Частоты (frequencies)"написать "c_const/lambda[nm]".

21. Добавить "Интегрирование (integration) кликнув правой клавишей мыши по

вкладке "Определения (Definitions)"внутри "Компонент 1 (Component 1)". В
качестве области "(domain)"выбрать наносферу. Добавить еще одно "Интегри-
рование". В качестве "Геометрического уровня (Geometric entity level)"выбрать
"Граница (Boundary) а в качестве области выбрать поверхность наносферы.

22. Добавить "Переменные (variables) кликнув правой клавишей мыши по вклад-

ке "Определения (Definitions)"внутри "Компонент 1 (Component 1)". Доба-
вить переменную nrelPoav, записать для нее выражение "nx*emw.relPoavx +
ny*emw.relPoavy + nz*emw.relPoavz". Добавить переменную sigma_sc, запи-
сать для нее выражение "intop_surf(nrelPoav)/(2*Z0_const)".

23. Нажать кнопку "Расчет (Compute)".

24. По окончании расчета добавить "Глобальная оценка (Global Evaluation) нажав

правую клавишу мыши по вкладке "Результаты (Results)". В настройках в ка-
честве "набора данных (Data set)"выбрать "исследование 1/параметрическое
решение 1 (study 1/parametric solutions 1) в поле выражение вписать sigma_sc.
Нажать кнопку "Оценка (Evaluate)". Таким образом, будет построена зависи-
мость сечения рассеяния от длины волны.

25. Получите результат для частицы с радиусами 210 и 250 нм.

11
Моделирование оптического отклика резонансных . . .

5. Ожидаемые результаты

Для кремниевой частитцы радиуса 230 нм должна получиться зависимость, пред-

ставленная черной линией в работе [6] на рисунке 3.

Рис. 3: Спектр рассеяния кремниевой частицей (черная линия) [6].

Основные итоги работы

Должны быть получены спектры рассеяния кремниевых наносфер для нескольких

диаметров, установлен тип выявленных резонансных особенностей.

Контрольные вопросы

1. Что такое теория Ми?

2. Дайте определение поглощению, рассеянию и экстинкции.

3. Когда необходимо прибегать к численным методам?

4. Недостатки метода конечных разностей во временном пространстве.

5. Отличие метода конечных разностей во временном пространстве от метода

конечных элементов.

12
Моделирование оптического отклика резонансных . . .

Список литературы

[1] Bohren C.F., Huffman D.R. Absorption and scattering of light by small particles. —
A Wiley-Interscience Publication, 1998.

[2] Тихонов Н.A., Токмачев М.Г. Курс лекций. Основы математического

моделирования. Часть 2. — 2012. http://math.phys.msu.ru/data/27/OMM_
Part_2.pdf.

[3] Taflove A., Hagness S.C. Computational electrodynamics: the finite-difference time-
domain method. — Artech house, 2005.

[4] Yee K. Numerical solution of initial boundary value problems involving Maxwell’s
equations in isotropic media // IEEE Trans. Antennas Propag. — 1966. — Vol. 14,
no. 3. — Pp. 302–307.

[5] Галлагер Р. Метод конечных элементов. Основы. — 1984.

[6] Garcia-Etxarri Aitzol, Gómez-Medina R, Froufe-Perez Luis S et al. Strong magnetic

response of submicron silicon particles in the infrared // Opt. Express. — 2011. —
Vol. 19, no. 6. — Pp. 4815–4826.

13