Вы находитесь на странице: 1из 14

x, А n(atoms/cm^3/atoms/cm^2), 1/cm n, 1/cm^3 Dose

1.87 11121 1.39013E+19 200 мкКл/см^2


111.416 31810.3 3.97629E+19
181.992 46034.5 5.75431E+19 Dose
259.796 58189.7 7.27371E+19 1.25E+15 atom/cm^2
359.195 63620.7 7.95259E+19
383.359 72155.2 9.0194E+019
507.14 87413.8 1.09267E+20
543.191 76651.7 9.58146E+19
580.068 70603.4 8.82543E+19
619.34 78879.3 9.85991E+19 1.20E+20
696.142 85086.2 1.06358E+20
704.11 87413.8 1.09267E+20
876.959 79137.9 9.89224E+19
1064.87 70344.8 8.7931E+019
1227.66 47327.6 5.91595E+19 1.00E+20
1412.97 23017.2 2.87715E+19
1645.55 9568.97 1.19612E+19
2000.26 1551.72 1.93965E+18
2334.6 775.862 9.69828E+17
8.00E+19

n, 1/cm3
6.00E+19

4.00E+19

2.00E+19

АОП
0.00E+00
0
Профиль распределения N+ в АОП/InSb

1.20E+20

1.00E+20

8.00E+19

6.00E+19

4.00E+19

2.00E+19

АОП InSb
0.00E+00
0 500 1000 1500 2000 2500

Ангстрем
2500 3000
M Z Dose
N+ 14 7 200 мкКл/см^2
In 114.8 49
Sb 121.7 51 Dose
O 15.996 8 1.25E+15 atom/cm^2

E0 30 kEv

Se в кристаллах преобладает
Sn преобладает в аморфных телах

<R> 3.46E-05 cm

<Rp> 9.079081E-06 cm InSb - мише


(delRp^2) 5.32391E-12 cm^2
2.5E+020
x, cm N(x) x, A
0 9.38923E+16 0
1E-06 4.70395E+17 100
2E-06 1.95309E+18 200
3E-06 6.72056E+18 300
4E-06 1.91653E+19 400 2E+020
5E-06 4.52951E+19 500
6E-06 8.87181E+19 600
7E-06 1.44012E+20 700
8E-06 1.93737E+20 800
9E-06 2.15998E+20 900 1.5E+020
1E-05 1.99578E+20 1000
n, cm^-3

1.1E-05 1.52828E+20 1100


1.2E-05 9.6988E+19 1200
1.3E-05 5.10104E+19 1300
1.4E-05 2.22344E+19 1400
1.5E-05 8.03188E+18 1500 1E+020
1.6E-05 2.40456E+18 1600
1.7E-05 5.96593E+17 1700
1.8E-05 1.22672E+17 1800

5E+019

0
0 500 1000
InSb - мишень, N - ион (30 кэВ)

500 1000 1500 2000 2500 3000


x, ангстрем
GaAs-мишень, O-ион (E=30
1.6E+18

1.4E+18

1.2E+18

1.0E+18
n, cm^-3

8.0E+17

6.0E+17

4.0E+17

2.0E+17

0.0E+00
0 10000 20000 30000 40000 50

x, A

Al2O3 - мишень, B - ион (E=30


2.5E+18

2.0E+18

1.5E+18
3
2.0E+18

1.5E+18

n, cm^-3
1.0E+18

5.0E+17

0.0E+00
0 10000 20000 30000 40000 50

x, A

Si3N4 - мишень, B - ион (E=30 кэ


2.0E+18

1.8E+18

1.6E+18

1.4E+18

1.2E+18
n, cm^-3

1.0E+18

8.0E+17

6.0E+17

4.0E+17

2.0E+17

0.0E+00
8.0E+17

6.0E+17

4.0E+17

2.0E+17

0.0E+00
0 10000 20000 30000 40000 50

x, A
M Z
GaAs
O 15.996 8 Rp
Rp delRp (delRp^2) 0.0638
0.0407 0.0338 0.001142 [mkm] 6.38E-06
4.07E-06 3.38E-06 1.14E-07 [cm]

x, cm
x, cm N(x) x, A 0
0 1.47527E+18 0 2E-05
2E-05 1.47374E+18 2000 4E-05
4E-05 1.46707E+18 4000 6E-05
6E-05 1.45532E+18 6000 8E-05
8E-05 1.43862E+18 8000 0.0001
0.0001 1.41714E+18 10000 0.00015
0.00015 1.34408E+18 15000 0.0002
0.0002 1.2472E+18 20000 0.00025
0.00025 1.13225E+18 25000 0.0003
0.0003 1.00565E+18 30000 0.00035
0.00035 8.73871E+17 35000 0.0004
0.0004 7.42923E+17 40000 0.00045
0.00045 6.17925E+17 45000 0.0005
0.0005 5.02834E+17 50000 0.00055
0.00055 4.00323E+17 55000 0.0006
0.0006 3.11811E+17 60000 0.00065
0.00065 2.37613E+17 65000 0.0007
0.0007 1.77151E+17 70000 0.00075
0.00075 1.29215E+17 75000 2.5 E+01 8

1.6E+018

1.4E+018
2 E+01 8

1.2E+018

1.5 E+01 8
1E+018

8E+017
Column V

1 E+01 8

6E+017

3000 4E+017
5 E+01 7

2E+017

0
0
0 1 00 00 20 00 0 30 00 0 40 00 0 50 00 0 60 00
0 10000 20000 30000 40000 50000 60000 70000 80000
O-ион (E=30 кэВ)

40000 50000 60000 70000 80000

x, A

B - ион (E=30 кэВ)


40000 50000 60000 70000 80000

x, A

B - ион (E=30 кэВ)


40000 50000 60000 70000 80000

x, A
Al2O3 (B) Si3N4
delRp (delRp^2) Rp delRp
0.025 0.000625 [mkm] 0.0723 0.0284
2.5E-06 6.25E-08 [cm] 7.23E-06 2.84E-06

N(x) x, A x, cm N(x)
1.99E+18 0 0 1.76E+18
1.99E+18 2000 2E-05 1.75E+18
1.98E+18 4000 4E-05 1.74E+18
1.95E+18 6000 6E-05 1.73E+18
1.91E+18 8000 8E-05 1.7E+18
1.86E+18 10000 0.0001 1.66E+18
1.69E+18 15000 0.00015 1.55E+18
1.48E+18 20000 0.0002 1.39E+18
1.24E+18 25000 0.00025 1.22E+18
1E+18 30000 0.0003 1.03E+18
7.76E+17 35000 0.00035 8.48E+17
5.78E+17 40000 0.0004 6.75E+17
4.13E+17 45000 0.00045 5.21E+17
2.84E+17 50000 0.0005 3.9E+17
1.88E+17 55000 0.00055 2.83E+17
1.19E+17 60000 0.0006 1.99E+17
7.26E+16 65000 0.00065 1.36E+17
4.25E+16 70000 0.0007 8.96E+16
2.39E+16 75000 0.00075 5.74E+16
E+018 2E+018

1.8E+018

1.6E+018
E+018

1.4E+018

1.2E+018
E+018

1E+018
Column AL
C olumn AC

8E+017
E+018

6E+017

4E+017
E+017

2E+017

0
0
0 10000 20000 30000 40000 50000 60000 70000 80000
0 1 00 00 20 00 0 30000 40000 50000 60 00 0 70 00 0 80 00 0
(B)
(delRp^2)
0.000807 [mkm]
8.07E-08 [cm]

x, A
0
2000
4000
6000
8000
10000
15000
20000
25000
30000
35000
40000
45000
50000
55000
60000
65000
70000
75000

Column AL

0 80000