Вы находитесь на странице: 1из 1

Ким П. П.

Оптимизация конструкции торсионного микрозеркала на


основе тонкопленочной диэлектрической мембраны со
встроенным электрическим зарядом

Матрицы микрозеркал используются в микроприборах, предназначенных для управления широкими


световыми пучками различных спектральных диапазонов. Главным образом, это обусловлено высокой
частотой (в диапазоне десятков кГц) переключения устойчивых положений их наклона [1]. Наиболее
распространенным видом микрозеркал являются деформируемые микрозеркала на базе металлических
мембран, однако степень их деформации достаточно сложно точно контролировать. Из явных минусов
деформируемых микрозеркал можно выделить высокую вероятность их «залипания», возникающего при
соприкосновении подвижной части мембраны с поверхностью управляющих электродов, а также высокие
управляющие напряжения [2]. По этим причинам конструкция торсионного микрозеркала представляется
более привлекательной для использования в устройствах, требующих повышенной стабильности и высоких
скоростей переключения, т.к. имеет малую вероятность электростатического контакта мембраны с
электродами и управляется более низкими напряжениями [3]. Однако, при повороте торсионного
микрозеркала, центральная часть упругой консоли может прогнуться под действием электростатических
сил. Данный эффект негативно влияет на стабильность управления углом поворота мембраны и нарушает
плоскостность формы ее отражающей поверхности.

В данной работе проведено численное моделирование динамических характеристик переключения


оригинальной конструкции торсионного микрозеркала, состоящей из прямоугольной диэлектрической
мембраны SiO2/Si3N4/SiO2 со встроенным диэлектрическим зарядом и тонкого металлического покрытия,
предназначенного для отражения падающего на микрозеркало светового пучка. Показано, что присутствие в
диэлектрике встроенного заряда позволяет в несколько раз снизить управляющие напряжения с
сохранением более высокой плоскостности поверхности микрозеркала по сравнению с выбором чисто
металлической конструкции. Рассчитана временная зависимость углового положения мембраны при
заданной величине заряда и частоте напряжения, подаваемого на управляющие электроды. Из данной
зависимости проведена оценка собственной частоты колебаний микрозеркала. Показана эффективность
применения опоры в конструкции микрозеркала для устранения электростатического провисания
торсионного подвеса. Полученные результаты могут быть применимы для разработки высокоэффективных
оптических переключателей на базе МЭМС-матриц микрозеркал со встроенным электрическим зарядом.

Работа выполнена при поддержке Фонда содействия инноваций (Грант №424ГР/57265 от 20.02.2020) с
использованием оборудования Центра коллективного пользования «Микросистемная техника и
электронная компонентная база» МИЭТ.

1. S. Scholes, R. Kara, J. Pinnell, V. Rodríguez-Fajardo, and A. Forbes, Opt. Eng. 59, 1 (2019).
2. H. Xie, Micromachines 9, 99 (2018).
Powered by TCPDF (www.tcpdf.org)
3. S. Malihi, Y.T. Beni, and H. Golestanian, Optik 128, 156 (2017).

Вам также может понравиться