Открыть Электронные книги
Категории
Открыть Аудиокниги
Категории
Открыть Журналы
Категории
Открыть Документы
Категории
Физика
УДК 621.785
Ключевые слова:
Электровзрывное легирование, электронно)пучковая обработка, меднение, элементный и фазовый состав, дефектная суб)
структура, профиль микротвердости.
Key words:
Electroexplosive doping, electron beam treatment, copper plating, elemental and phase composition, defect substructure, microhar)
dness profile.
101
Известия Томского политехнического университета. 2011. Т. 318. № 2
стоянии (т. е. обладающей ферритоперлитной Виккерса при нагрузке 0,98 Н по 80…100 отпечат
структурой). Образцы имели форму цилиндров кам на микротвердомере ПМТ3. Погрешность из
толщиной 10 мм и диаметром 25 мм. Электров мерения составила ~7 %.
зрывное легирование (СибГИУ, г. Новокузнецк)
осуществляли на установке, использующей коак Результаты исследований и их обсуждение
сиальноторцевые электроды, путем электрическо Исследования, выполненные методами свето
го взрыва медных фольг толщиной 20 мкм. Натека вой микроскопии поперечного шлифа, позволили
ние струи на облучаемую поверхность при данном показать, что в результате электровзрывного мед
способе обработки сопровождается образованием нения в приповерхностном объеме образца фор
вблизи нее ударносжатого слоя с высокими значе мируется многослойная структура: слой жидкофаз
ниями температуры (~104 К) и давления ного легирования толщиной 11 мкм, следующий
(~13 МПа). Это обеспечивало поглощаемую плот за ним слой термического влияния толщиной
ность мощности 5,5 ГВт/м2 и делало возможным ~12,5 мкм, плавно переходящий в основной объем
оплавление и легирование поверхностных слоев [16]. Слой жидкофазного легирования и слой тер
за малое время воздействия (100 мкс) без выплеска мического влияния разделены зубчатой границей,
расплава; остаточное давление в технологической формирование которой обусловлено течением рас
камере ~100 Па [6]. Электроннопучковую обра плава вдоль поверхности обработки [6, 7].
ботку поверхности проводили в ИСЭ СО РАН В связи с тем, что продукты электрического
на установке «СОЛО» [15]. Плотность энергии пуч взрыва представляют собой многофазную систему,
ка электронов изменяли с шагом в 5 Дж/см2 от15 до наряду с легированием электровзрывная обработка
30 Дж/см2, число импульсов воздействия 10 при приводит к формированию на обрабатываемой по
длительности импульса 50 мкс и частоте следова верхности высокодефектного покрытия (рис. 1, а).
ния импульсов 0,3 Гц; обработку проводили в среде Последующая электроннопучковая обработка об
аргона при давлении 10–2 Па. Исследования струк разца в указанном выше режиме работы электрон
туры и элементного состава стали осуществляли ного источника приводит к плавлению и выглажи
методами световой (на микроскопе OLYMPUS ванию поверхностного слоя. При плотности энер
GX71) и сканирующей электронной микроскопии гии пучка электронов ~15 Дж/см2 реализуется ре
на микроскопе Philips SEM 515. Изменение меха жим начального плавления. Поверхность легиро
нических характеристик материала характеризова вания выглаживается, однако остаются островки
ли микротвердостью, определяемой по методу исходного покрытия (рис. 1, б). Плавление покры
ɚ ɛ
ɜ ɝ 1
10 ɦɤɦ 5 ɦɤɦ
Рис. 1. Структура поверхности (а)в) и поперечного сечения (г) образца стали 45 после электровзрывного меднения (а) и по)
следующей электронно)пучковой обработки (б)г) по режиму 15 Дж/см2; 10 имп.; 50 мкс. На (г): 1) слой жидкофазного
легирования; 2) слой термического влияния; 3) основной объем стали
102
Математика и механика. Физика
ɚ ɛ
ɜ ɝ
2 ɦɤɦ 5 ɦɤɦ
Рис. 2. Структура поверхности (а)в) и поперечного сечения (г) образца стали после электровзрывного легирования и элек)
тронно)пучковой обработки по режиму 20 Дж/см2; 10 имп.; 50 мкс
103
Известия Томского политехнического университета. 2011. Т. 318. № 2
ления концентрации в нем меди (исследования два максимума (один – на поверхности, второй
осуществлялись на растровом электронном микро в подповерхностном слое). Профили первой груп
скопе Philips SEM 515, оснащенном микроанализа пы выявлены на образце, подвергнутом электров
тором EDAX ECON IV). Профили концентрации зрывному меднению (на рис. 4 – исходный) и об
меди строили, используя методику косого шлифа разце после дополнительной обработки при плот
(угол наклона плоскости шлифа к поверхности об ности энергии пучка электронов ES=15 Дж/см2,
работки ~7°). Результаты исследования представле при которой реализуется, как было установлено
ны на рис. 3. Из представленных на рис. 3 резуль при исследовании структуры поверхности обработ
татов следует, что атомы меди обнаруживаются ки, режим начального плавления поверхности
в слое толщиной 13…14 мкм, т. е. в слое, который (рис. 1). Профили второй группы выявлены на об
плавится при электровзрывном легировании разцах, обработка поверхности меднения элек
и электроннопучковой обработке. Концентрация тронным пучком которых осуществлялась в режи
меди максимальна у поверхности обработки и бы ме активного плавления (Est20 Дж/см2). Отчетливо
стро спадает по мере удаления вглубь образца. видно, что активное плавление поверхности элек
Электроннопучковая обработка стали в режиме тровзрывного меднения сопровождается суще
активного плавления приводит к многократному ственным увеличением микротвердости поверх
снижению концентрации меди в поверхностном ностного слоя (рис. 4, кривые 2–4). Максимальные
слое как в результате диффузии меди в объем мате значения микротвердости поверхностного слоя
риала (при плотности энергии пучка электронов стали выявлены в образце, обработанном элек
ES=20 и 25 Дж/см2), так и в результате испарения тронным пучком при ES=30 Дж/см2, минималь
(ES=30 Дж/см2). ные – после облучения электронным пучком при
ES=15 Дж/см2.
1
20
3
Cu, ɦɚɫ. %
16
12 2
8
4
4
0
0 4 8 12 16 20
x, ɦɤɦ
Рис. 3. Профиль концентрации меди в поверхностном слое
стали, подвергнутой электровзрывному меднению
и последующей электронно)пучковой обработке при
плотности энергии пучка электронов (Дж/см2): 1) 15;
2) 20; 3) 25; 4) 30 (10 имп.; 50 мкс; 0,3 Гц)
Очевидно, что столь существенное изменение
структуры и элементного состава поверхностного
слоя стали должно способствовать изменению ме
ханических свойств материала, которые характери
зовали путем определения микротвердости. Про
фили микротвердости образцов стали после элек
тровзрывного легирования и дополнительной
электроннопучковой обработки строили, исполь Рис. 4. Профиль микротвердости стали, подвергнутой элек)
зуя методику косого шлифа (угол наклона плоско тровзрывному легированию медью (исходный) и по)
сти шлифа к поверхности обработки ~7°). Анализи следующей электронно)пучковой обработке при
руя результаты, представленные на рис. 4, можно плотности энергии пучка электронов (Дж/см2): 1) 15;
отметить, что по характеру изменения микротвер 2) 20; 3) 25; 4) 30 (10 имп.; 50 мкс; 0,3 Гц). ЗЛ – зона
дости от расстояния до поверхности обработки жидкофазного легирования; ЗТВ – зона термическо)
го влияния
представленные на рис. 4 зависимости разделяют
ся на две группы. Очевидно, что кратное увеличение микротвер
К первой отнесем профили микротвердости, дости поверхностного слоя стали, подвергнутой
имеющие один максимум, располагающийся электровзрывному легированию медью и после
в подповерхностном слое на глубине ~7 мкм; дующей электроннопучковой обработке, обусло
ко второй – профили микротвердости, имеющие влено модификацией элементного и фазового со
104
Математика и механика. Физика
105