Вы находитесь на странице: 1из 5

Математика и механика.

Физика

УДК 621.785

ЛЕГИРОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТИ УГЛЕРОДИСТОЙ СТАЛИ МЕДЬЮ ПУТЕМ ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО


ВЗРЫВА ПРОВОДНИКА И ПОСЛЕДУЮЩЕЙ ЭЛЕКТРОННО*ПУЧКОВОЙ ОБРАБОТКИ
Ю.Ф. Иванов, С.Ю. Филимонов*, A.Д. Тересов, Ю.A. Колубаева, E.A. Будовских**, В.E. Громов**
Институт сильноточной электроники, г. Томск
*Томский политехнический университет
**Сибирский государственный индустриальный университет, г. Новокузнецк
E)mail: yufi@mail2000.ru
Представлены результаты анализа элементного и фазового состава, дефектной структуры и профиля микротвердости углероди)
стой стали, подвергнутой комплексной обработке, состоящей в ее электровзрывном легировании медью и последующем элек)
тронно)пучковом облучении. Выявлено кардинальное изменение структуры и кратное (в 5…6 раз по отношению к сердцевине
образца) увеличение микротвердости поверхности.

Ключевые слова:
Электровзрывное легирование, электронно)пучковая обработка, меднение, элементный и фазовый состав, дефектная суб)
структура, профиль микротвердости.
Key words:
Electroexplosive doping, electron beam treatment, copper plating, elemental and phase composition, defect substructure, microhar)
dness profile.

Введение жащим большое количество капельной фракции,


В последние десятилетия широкое распростра микрократеров и микротрещин, что существенно
нение получили методы обработки металлов снижает служебные характеристики обработанной
и сплавов, основанные на использовании концен детали. Одним из способов устранения данного не
трированных потоков энергии (потоки плазмы, достатка электровзрывного метода легирования ма
мощные ионные пучки и пучки электронов, лучи териала является дополнительная обработка по
лазера) [1, 2]. Перспективным считается комплекс верхности концентрированными потоками энер
ная обработка материала, сочетающая несколько гии. В настоящей работе для этой цели были ис
методов воздействия. Такой подход позволяет ми пользованы низкоэнергетические сильноточные
нимизировать недостатки отдельно взятых методов электронные пучки субмиллисекундной длитель
и усилить их достоинства [3–5]. Одним из методов ности воздействия. Применение таких пучков для
модифицирования поверхности материалов, осно обработки поверхности материалов позволяет
ванным на использовании концентрированных сконцентрировать за короткий промежуток време
потоков энергии, является электровзрывное леги ни (10–5...10–4 с) высокую плотность энергии
рование [6, 7]. (10…100 Дж/см2) в тонком (0,1…10 мкм) припо
Электровзрывное легирование металлов и спла верхностном слое [8. P. 205–240]. Сверхвысокие
вов осуществляется при импульсном воздействии скорости разогрева до температур плавления и по
на поверхность многофазных плазменных струй, следующее высокоскоростное охлаждение тонкого
сформированных при электрическом взрыве про приповерхностного слоя образца формируют нано
водников. Установки электровзрывного легирова и субмикрокристаллические многофазные состоя
ния, как правило, включают в себя емкостный на ния, недостижимые для традиционных методов
копитель энергии и плазменный ускоритель, со термической и термомеханической обработки [9].
стоящий из электродов с размещенным на них Материалы на основе сочетания элементов же
взрываемым проводником, разрядной камеры, ло лезомедь (стальмедь) к настоящему времени на
кализующей продукты взрыва, и формирующего шли широкое применение в различных отраслях
сопла, по которому они истекают в вакуумирован промышленности, несмотря на сложности форми
ную технологическую камеру с некоторым остаточ рования, обусловленные ограниченной взаимной
ным давлением. растворимостью данных элементов в равновесных
Продукты электрического взрыва представляют условиях [10–14].
собой многофазную систему, включающую как Целью работы являлось насыщение поверх
плазменный компонент, так и конденсированные ностного слоя стали 45 медью методом, сочетаю
частицы различной дисперсности [6, 7]. При фор щим электровзрывное легирование и последую
мировании струи ее фронт образует плазменный щую электроннопучковую обработку, анализ
компонент, конденсированные же частицы, обла ее структуры и свойств.
дая большей инертностью, располагаются в тылу
Материал и методика исследования
струи. Это приводит не только к поверхностному
легированию, но и формированию покрытия, яв В качестве материала подложки использовали
ляющегося, как правило, высокопористым, содер образцы углеродистой стали 45 в отожженном со

101
Известия Томского политехнического университета. 2011. Т. 318. № 2

стоянии (т. е. обладающей ферритоперлитной Виккерса при нагрузке 0,98 Н по 80…100 отпечат
структурой). Образцы имели форму цилиндров кам на микротвердомере ПМТ3. Погрешность из
толщиной 10 мм и диаметром 25 мм. Электров мерения составила ~7 %.
зрывное легирование (СибГИУ, г. Новокузнецк)
осуществляли на установке, использующей коак Результаты исследований и их обсуждение
сиальноторцевые электроды, путем электрическо Исследования, выполненные методами свето
го взрыва медных фольг толщиной 20 мкм. Натека вой микроскопии поперечного шлифа, позволили
ние струи на облучаемую поверхность при данном показать, что в результате электровзрывного мед
способе обработки сопровождается образованием нения в приповерхностном объеме образца фор
вблизи нее ударносжатого слоя с высокими значе мируется многослойная структура: слой жидкофаз
ниями температуры (~104 К) и давления ного легирования толщиной 11 мкм, следующий
(~13 МПа). Это обеспечивало поглощаемую плот за ним слой термического влияния толщиной
ность мощности 5,5 ГВт/м2 и делало возможным ~12,5 мкм, плавно переходящий в основной объем
оплавление и легирование поверхностных слоев [16]. Слой жидкофазного легирования и слой тер
за малое время воздействия (100 мкс) без выплеска мического влияния разделены зубчатой границей,
расплава; остаточное давление в технологической формирование которой обусловлено течением рас
камере ~100 Па [6]. Электроннопучковую обра плава вдоль поверхности обработки [6, 7].
ботку поверхности проводили в ИСЭ СО РАН В связи с тем, что продукты электрического
на установке «СОЛО» [15]. Плотность энергии пуч взрыва представляют собой многофазную систему,
ка электронов изменяли с шагом в 5 Дж/см2 от15 до наряду с легированием электровзрывная обработка
30 Дж/см2, число импульсов воздействия 10 при приводит к формированию на обрабатываемой по
длительности импульса 50 мкс и частоте следова верхности высокодефектного покрытия (рис. 1, а).
ния импульсов 0,3 Гц; обработку проводили в среде Последующая электроннопучковая обработка об
аргона при давлении 10–2 Па. Исследования струк разца в указанном выше режиме работы электрон
туры и элементного состава стали осуществляли ного источника приводит к плавлению и выглажи
методами световой (на микроскопе OLYMPUS ванию поверхностного слоя. При плотности энер
GX71) и сканирующей электронной микроскопии гии пучка электронов ~15 Дж/см2 реализуется ре
на микроскопе Philips SEM 515. Изменение меха жим начального плавления. Поверхность легиро
нических характеристик материала характеризова вания выглаживается, однако остаются островки
ли микротвердостью, определяемой по методу исходного покрытия (рис. 1, б). Плавление покры

ɚ ɛ

10 ɦɤɦ 200 ɦɤɦ

ɜ ɝ 1

10 ɦɤɦ 5 ɦɤɦ
Рис. 1. Структура поверхности (а)в) и поперечного сечения (г) образца стали 45 после электровзрывного меднения (а) и по)
следующей электронно)пучковой обработки (б)г) по режиму 15 Дж/см2; 10 имп.; 50 мкс. На (г): 1) слой жидкофазного
легирования; 2) слой термического влияния; 3) основной объем стали

102
Математика и механика. Физика

тия сопровождается формированием многочислен Размеры таких областей изменяются в пределах от


ных капель меди, размеры которых изменяются 1,5 до 5,5 мкм. Очевидно, что данные разориенти
в пределах от 2 до 10 мкм (рис. 1, в). Термоупругие рованные области являются зернами подповерх
напряжения, формирующиеся в поверхностном ностного слоя стали, ориентация которых относи
слое стали в результате высоких скоростей охлаж тельно поверхности обработки задает морфологию
дения, инициируют процесс трещинообразования и направление роста дендритов. Анализ структуры
(рис. 1, в). Микротрещины в большинстве случаев поперечного сечения данного образца показал, что
расположены хаотически на поверхности обработ увеличение плотности энергии пучка электронов
ки. Толщина слоя жидкофазного легирования с 15 до 20 Дж/см2 (10 имп.; 50 мкс) сопровождается
и слоя термического влияния, созданные при элек ростом толщины слоя жидкофазного легирования
тровзрывном меднении стали, при данном режиме в ~1,4 раза (рис. 2, г).
электроннопучковой обработки практически Увеличение плотности энергии пучка электро
не изменяются (рис. 1, г). нов до 30 Дж/см2 (10 имп.; 50 мкс.), качественно не
Увеличение плотности энергии пучка электро меняя структуры поверхности облучения (относи
нов до 20 Дж/см2 (10 имп.; 50 мкс) приводит к су тельно структуры поверхности образца, обработан
щественному изменению структуры поверхности ного электронным пучком с плотностью энергии
электровзрывного легирования. Вопервых, форми 20 Дж/см2), приводит к некоторым количествен
руется регулярная сетка микротрещин (рис. 2, а). ным изменениям. А именно: увеличиваются рас
Расстояние между микротрещинами изменяется стояние между микротрещинами (изменяется
в пределах от 20 до 65 мкм. Вовторых, обнаружи в пределах от 30 до 85 мкм), размеры зерен подпо
ваются микрократеры (рис. 2, а). Втретьих, выяв верхностного слоя (изменяются в пределах от 5 до
ляется структура дендритной кристаллизации 11 мкм), толщина слоя термического влияния в
(рис. 2, б, в). Размеры дендритов изменяются ~1,7 раза и слоя жидкофазного легирования в
в пределах от 0,2 до 0,5 мкм. Анализируя структуру ~1,5 раза (по отношению к данным параметрам об
дендритной кристаллизации, можно выделить об разца, подвергнутого только лишь электровзрыв
разования равноосной формы, эллипсоидальной ному легированию); размеры дендритов практиче
формы и образования эллипсоидальной формы ски не изменяются.
с боковыми отростками (рис. 2, б, в). Каждый Параллельно с исследованием структуры по
из выделенных типов дендритов формирует зам верхности меднения методами сканирующей элек
кнутые, разориентированные друг относительно тронной микроскопии был осуществлен элемент
друга, области на поверхности кристаллизации. ный анализ поверхностного слоя с целью опреде

ɚ ɛ

200 ɦɤɦ 1 ɦɤɦ

ɜ ɝ

2 ɦɤɦ 5 ɦɤɦ
Рис. 2. Структура поверхности (а)в) и поперечного сечения (г) образца стали после электровзрывного легирования и элек)
тронно)пучковой обработки по режиму 20 Дж/см2; 10 имп.; 50 мкс

103
Известия Томского политехнического университета. 2011. Т. 318. № 2

ления концентрации в нем меди (исследования два максимума (один – на поверхности, второй
осуществлялись на растровом электронном микро в подповерхностном слое). Профили первой груп
скопе Philips SEM 515, оснащенном микроанализа пы выявлены на образце, подвергнутом электров
тором EDAX ECON IV). Профили концентрации зрывному меднению (на рис. 4 – исходный) и об
меди строили, используя методику косого шлифа разце после дополнительной обработки при плот
(угол наклона плоскости шлифа к поверхности об ности энергии пучка электронов ES=15 Дж/см2,
работки ~7°). Результаты исследования представле при которой реализуется, как было установлено
ны на рис. 3. Из представленных на рис. 3 резуль при исследовании структуры поверхности обработ
татов следует, что атомы меди обнаруживаются ки, режим начального плавления поверхности
в слое толщиной 13…14 мкм, т. е. в слое, который (рис. 1). Профили второй группы выявлены на об
плавится при электровзрывном легировании разцах, обработка поверхности меднения элек
и электроннопучковой обработке. Концентрация тронным пучком которых осуществлялась в режи
меди максимальна у поверхности обработки и бы ме активного плавления (Est20 Дж/см2). Отчетливо
стро спадает по мере удаления вглубь образца. видно, что активное плавление поверхности элек
Электроннопучковая обработка стали в режиме тровзрывного меднения сопровождается суще
активного плавления приводит к многократному ственным увеличением микротвердости поверх
снижению концентрации меди в поверхностном ностного слоя (рис. 4, кривые 2–4). Максимальные
слое как в результате диффузии меди в объем мате значения микротвердости поверхностного слоя
риала (при плотности энергии пучка электронов стали выявлены в образце, обработанном элек
ES=20 и 25 Дж/см2), так и в результате испарения тронным пучком при ES=30 Дж/см2, минималь
(ES=30 Дж/см2). ные – после облучения электронным пучком при
ES=15 Дж/см2.
1
20

3
Cu, ɦɚɫ. %

16

12 2

8
4
4

0
0 4 8 12 16 20
x, ɦɤɦ
Рис. 3. Профиль концентрации меди в поверхностном слое
стали, подвергнутой электровзрывному меднению
и последующей электронно)пучковой обработке при
плотности энергии пучка электронов (Дж/см2): 1) 15;
2) 20; 3) 25; 4) 30 (10 имп.; 50 мкс; 0,3 Гц)
Очевидно, что столь существенное изменение
структуры и элементного состава поверхностного
слоя стали должно способствовать изменению ме
ханических свойств материала, которые характери
зовали путем определения микротвердости. Про
фили микротвердости образцов стали после элек
тровзрывного легирования и дополнительной
электроннопучковой обработки строили, исполь Рис. 4. Профиль микротвердости стали, подвергнутой элек)
зуя методику косого шлифа (угол наклона плоско тровзрывному легированию медью (исходный) и по)
сти шлифа к поверхности обработки ~7°). Анализи следующей электронно)пучковой обработке при
руя результаты, представленные на рис. 4, можно плотности энергии пучка электронов (Дж/см2): 1) 15;
отметить, что по характеру изменения микротвер 2) 20; 3) 25; 4) 30 (10 имп.; 50 мкс; 0,3 Гц). ЗЛ – зона
дости от расстояния до поверхности обработки жидкофазного легирования; ЗТВ – зона термическо)
го влияния
представленные на рис. 4 зависимости разделяют
ся на две группы. Очевидно, что кратное увеличение микротвер
К первой отнесем профили микротвердости, дости поверхностного слоя стали, подвергнутой
имеющие один максимум, располагающийся электровзрывному легированию медью и после
в подповерхностном слое на глубине ~7 мкм; дующей электроннопучковой обработке, обусло
ко второй – профили микротвердости, имеющие влено модификацией элементного и фазового со

104
Математика и механика. Физика

микротвердость поверхностного слоя увеличивает


1400 ся, демонстрируя тенденцию к насыщению.
HV
Заключение
1200
Выполнено легирование стали 45 медью по
средством электрического взрыва проводника
1000
и последующей электроннопучковой обработки.
Выполнены исследования структуры и элементно
800 го состава приповерхностного слоя. Установлено,
что электровзрывное легирование стали медью со
600 провождается формированием многослойной
структуры, состоящей из высокодефектного по
400
крытия, слоя плавления и слоя термического влия
4 8 12 16 20 24 ния, плавно переходящего в основной объём стали.
Cu, ɦɚɫ.% В результате электровзрывного легирования ми
кротвердость поверхностного слоя стали увеличи
Рис. 5. Зависимость твердости поверхностного слоя ста)
ли 45, подвергнутой электровзрывному меднению
вается в ~3,5 раза по отношению к микротвердо
и последующей электронно)пучковой обработке, сти сердцевины образца. Последующее электрон
от концентрации меди в стали нопучковое облучение сопровождается выглажи
ванием поверхности образца в результате плавле
ния поверхностного слоя, снижением концентра
става, а также дефектной структуры материала. ции меди на поверхности обработки за счет диф
Представленные в настоящей работе результаты фузии в объем материала и частичного испарения,
позволяют осветить роль меди в увеличении ми кратным (в ~6 раз по отношению к микротвердо
кротвердости стали. На рис. 5 приведена зависи сти сердцевины образца) увеличением микротвер
мость микротвердости поверхности легирования дости. Показано, что избыточная концентрация
стали от концентрации в ней меди. Анализируя меди приводит к снижению микротвердости стали.
представленную зависимость, можно отметить, что Работа выполнена при частичной финансовой поддержке
с увеличением концентрации атомов меди в по грантов РФФИ (проекты № 08–02–00024, 08–08–92207,
верхностном слое стали ее микротвердость умень 09–02–90456), а также совместного проекта фундамен
шается. По мере уменьшения концентрации меди тальных исследований НАН Беларуси и СО РАН № 7.

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ 9. Коваль Н.Н., Иванов Ю.Ф. Наноструктурирование поверхно


1. Крапошин В.С. Термическая обработка стали и сплавов с при сти металлокерамических и керамических материалов при им
менением лазерного луча и прочих прогрессивных видов на пульсной электроннопучковой обработке // Известия вузов.
грева // Итоги науки и техники. Металловедение и термиче Физика. – 2008. – Т. 51. – № 5. – С. 60–70.
ская обработка. – М.: ВИНИТИ, 1987. – Т. 21. – С. 144–206. 10. Вол А.Е. Строение и свойства двойных металлических систем.
2. Грибков В.А., Григорьев Ф.И., Калин Б.А., Якушин В.Л. Перс – М.: Гос. издво физ.мат. литры, 1962. – Т. 2. – 984 с.
пективные радиационнопучковые технологии обработки ме 11. Двойные и многокомпонентные системы на основе меди /
таллов. – М.: Круглый год, 2001. – 528 с. Отв. ред. Н.Х. Абрикосов. – М.: Наука, 1979 г. – 248 с.
3. Чудина О.В. Комбинированные методы поверхностного 12. Кубашевски О. Диаграммы состояния двойных систем на ос
упрочнения сталей с применением лазерного нагрева: теория нове железа. Справочное издание. – М.: Металлургия, 1985. –
и технология. – М.: МАДИ (ГТУ), 2003. – 248 с. 184 с.
4. Приходько В.М., Петрова Л.Г., Чудина О.В. Металлофизиче 13. Банных О. А., Будберг П.Б., Алисова С. П. и др. Диаграммы со
ские основы разработки упрочняющих технологий. – М.: Ма стояния двойных и многокомпонентных систем на основе же
шиностроение, 2003. – 384 с. леза. – М.: Металлургия, 1986. – 440 с.
5. Чудина О.В., Александров В.А., Уханов Н.В., Самойлов В.И. 14. Диаграммы состояния двойных металлических систем / под
Повышение износостойкости конструкционных сталей ком ред. Н.П. Лякишева. – М.: Машиностроение, 1996. – Т. 1. –
бинированным методом термодиффузионного упрочнения // 992 c.
Упрочняющие технологии и покрытия. – 2007. – № 4. – 15. Devyatkov V.N., Koval N.N., Schanin P.M., Grigoryev V.P., Ko
С. 29–33. val T.V. Generation and propagation of highcurrent lowenergy
6. Будовских Е.А., Сарычев В.Д., Громов В.Е., Носарев П.С., electron beams // Laser and Particle Beams. – 2003. – V. 21. –
Мартусевич Е.В. Основы технологии обработки поверхности № 2. – P. 243–248.
материалов импульсной гетерогенной плазмой. – Новокуз 16. Вострецова А.В., Ващук Е.С., Будовских Е.А., Иванов Ю.Ф.,
нецк: Издво СибГИУ, 2002. – 170 с. Громов В.Е. Влияние параметров электроннопучковой обра
7. Багаутдинов А.Я., Будовских Е.А., Иванов Ю.Ф., Громов В.Е. ботки на микротвердость поверхности стали 45 после элек
Физические основы электровзрывного легирования металлов тровзрывного меднения // Материаловедение и термическая
и сплавов. – Новокузнецк: Издво СибГИУ, 2007. – 301 с. обработка металлов: Междунар. сб. науч. тр. / под ред.
8. Rotshtein V., Ivanov Yu., Markov A. Materials surface processing by А.Н. Емелюшина и Е.В. Петроченко. – Магнитогорск: ГОУ
directed energy techniques. Surface treatment of materials with low ВПО «МГТУ», 2009. – С. 209–212.
energy, highcurrent electron beams. Charter 6 in Book / Ed. by
Y. Pauleau. – Grenoble: Elsevier, 2006. – 763 р. Поступила 09.06.2010 г.

105

Вам также может понравиться