Содержание

1 Введение........................................................................................................................4

2 Электрические параметры устройств СВЧ................................................................5

2.1 S параметры и матрица рассевания.........................................................................5

2.2 Коэффициент стоячих волн......................................................................................7

3 Управляющие устройства СВЧ.................................................................................11

3.1 Переключательные диоды СВЧ.............................................................................11

3.2 СВЧ выключатели...................................................................................................15

3.3 СВЧ переключатели................................................................................................16

4 Векторный анализ цепей............................................................................................19

4.1 Векторный анализатор цепей ZVB20....................................................................19

4.2 Особенности измерения..........................................................................................22

4.3 Цепочка обработки данных измерений.................................................................26

4.4 Точность измерений................................................................................................28

4.5 Снижение случайных ошибок измерений.............................................................29

4.5 Калибровка...............................................................................................................31

5 Измерение параметров управляющих устройств на pin-диодах............................43

5.1 Измерение параметров переключателя в основании...........................................43

4.2 Измерение параметров модулятора в основании переключателя......................45

4.3 Измерение параметров модулятора на подложке................................................47

ВКР-НГТУ-11.03.01-17-Р-
07-21-ПЗ
Литера Лист
Пояснительная записка
Листов
236
Кафедра ИРС
 1 Введение

Актуальность этой работы связана с перспективным направлением развития СВЧ-

устройств, которым является создание СВЧ-интегральных схем, позволяющих существенно
улучшить массогабаритные параметры и уменьшить стоимость этих устройств. Для их
описания очень удобно применять матрицу рассеивания, и поэтому она широко используется.
Во многих случаях матрица рассеяния позволяет полностью описать СВЧ устройства
без строгой формулировки электромагнитной задачи определения граничных условий.
Элементы матрица рассеяния многополюсника представляет собой набор величин,
связывающих между собой падающие и отраженные волны у полюсов многополюсника. Такая
матрица описывает поведение СВЧ устройств при любых заданных значениях нагрузки.
В данное работе производиться измените таких СВЧ-устройств

Изм. Лист № документа Подпись Дата Лист

ВКР-НГТУ-11.03.01-17-Р-07- 45
21-ПЗ
 2 Электрические параметры устройств СВЧ

Влияние неоднородностей, а в общем случае любых устройств СВЧ, включенных в

волноводный тракт, на распространение электромагнитных волн в нем может быть
охарактеризовано различными способами.
В технике СВЧ, как правило, непосредственными объектами измерения являются
коэффициенты отражения и передачи» Поэтому при разработке и проектировании устройств
СВЧ диапазона в основном используются волновые матрицы: матрицы рассеяния и матрицы
передачи, которые устанавливают связи между, падающими и отраженными волнами.
S-параметры являются элементами матрицы рассеяния многополюсника,
описывающего обычно радиотехническое устройство.

2.1 S параметры и матрица рассевания

Наиболее часто, для характеристики четырехполюсников на сверхвысоких частотах,

рисунок 2.1.1, используют волновую матрицу рассеяния [S], которая включает в себя
коэффициент передачи сигнала через неоднородность и коэффициент отражения от нее.
Определение такой матрицы позволяет полностью охарактеризовать влияние неоднородности
на распространение электромагнитных волн в волноводном тракте.

Рисунок 2.1.1– Схема четырехполюсника.

Матрица [S] связывает амплитуды входящих (U n1 , U 02 ) и выходящих (U 01 , U n2 ) волн. В силу линейности

уравнений Максвелла и граничных условий к ним, имеют место линейные соотношения для амплитуд
n 0 n 0
U 1, U 1, U 2, U 2.

0 n 0
U 1 =S11U 1 +¿ S12U 2 , (2.1.1)

Изм. Лист № документа Подпись Дата Лист

ВКР-НГТУ-11.03.01-17-Р-07- 45
21-ПЗ
 n n 0
U 2 =S21U 1 +¿ S22U 2 . (2.1.2)
Где S11 – коэффициент отражения на входе (плечо 1) при согласованном выходе (плечо
2), то есть:

0
U1 0
S11= n при U 2 =0 ; (2.1.3)
U 1

S22 – коэффициент отражения на выходе (плечо 2) при согласованном входе (плечо 1),
то есть:

n
U2
S22= 0 при U n1 =0 ; (2.1.4)
U2
S21 – коэффициент передачи от плеча 1 к плечу 2 при согласованной нагрузке в плече 2, то есть:

n
U2
S21= n при U 02 =0 ; (2.1.4)
U4
S21 – коэффициент передачи от плеча 2 к плечу 1 при согласованной нагрузке в плече 1, то есть:

0
U1
S12= 0 при U n1 =0 . (2.1.5)
U 2

В матричной форме уравнения (2.1.1) записывается в виде:

[ ] [ ]
0 n
U1 U
n =
[ S ] 10 (2.1.6)
U2 U2

где [S ]= [ S 11 S 12
S 21 S 22 ] -матрица рассеяния.

Коэффициент передач часто выражают в децибелах (дБ, dB), в основе которых лежит
десятичный логарифм отношения величин:

U n2
S21=20log 10 , (2.1.7)
U n4

0
U1
S12=20 log 10 0
. (2.1.8)
U2

Изм. Лист № документа Подпись Дата Лист

ВКР-НГТУ-11.03.01-17-Р-07- 45
21-ПЗ
 Коэффициент передач имеет амплитудно-частотную зависимость проводника,
расположенного на печатной плате, значения коэффициента передач зависит от множества
особенностей и вот некоторые из них:
 тип линии связи, микрополосковая линия связи обладает наибольшими потерями, так
как этот проводник распространяет в окружающее пространство силовые линии электрического
поля;
 конструкция линии, маленькое поперечное сечение проводника может служить
причиной затухания сигнала т.к. при уменьшении площади сечения увеличивается
сопротивление по переменному току;
 Диэлектрические потери, при распространении сигнала по проводнику часть энергии
уходит на поляризацию окружающего проводник диэлектрика, дипольные молекулы в
диэлектрике, у которых заряд распределен несимметрично могут поворачиваться во внешнем
электрическом поле, ориентируясь по его силовым линиям.

При чисто реактивном характере четырёхполюсника, т.е. при отсутствии в нём

диссипативных потерь, закон сохранения энергии даёт следующую связь между модулями
коэффициентов матрицы рассеяния:

2 2
S11 +S 21=1 , (2.1.9)

2 2
S12 +S 22=1. (2.1.10)

При каскадном соединении четырехполюсников матрица передачи равно произведению матриц

передачи составляющих элементов.

2.2 Коэффициент стоячих волн

Если просуммировать падающую и отраженную волну, то мы получаем сигнал

синусоиду с переменной амплитудой, которая стоит на месте. Она называется - стоячая волна.
Коэффициент стоячей волны (КСВ) — отношение наибольшего значения амплитуды
напряженности электрического или магнитного поля стоячей волны в линии передачи к
наименьшему.
Характеризует степень согласования и является частотно-зависимой величиной.
Обратная величина КСВ называется коэффициент бегущей волны (КБВ). Следует различать
величины КСВ и коэффициент стоячей волны по напряжению (КСВН): первая высчитывается
по мощности, вторая — по амплитуде напряжения и на практике используется чаще.
Изм. Лист № документа Подпись Дата Лист
ВКР-НГТУ-11.03.01-17-Р-07- 45
21-ПЗ
 Коэффициент стоячей волны по напряжению вычисляется по формуле: 

U 1+U 2
КСВН = , (2.2.1)
U 1 −U 2
где U1 и U2 — амплитуды падающей и отражённой волн соответственно.
Можно установить связь между KCBH и коэффициентом отражения Г:

КСВН −1
Г=  . (2.2.2)
КСВН +1
В идеальном случае КСВН = 1, это означает, что отраженная волна отсутствует. При
появлении отраженной волны КСВ возрастает в прямой зависимости от степени
рассогласования тракта и нагрузки. Допустимые значения КСВН на рабочей частоте или в
полосе частот для различных устройств регламентируются в технических условиях и ГОСТах.
Обычно приемлемые значения коэффициента лежат в пределах от 1,1 до 2,0.
Значение КСВ зависит от многих факторов, например, такие как:
 волновое сопротивление СВЧ кабеля и источника СВЧ сигнала;
 неоднородности, спайки в кабелях или волноводах;
 качество разделки кабеля в СВЧ-соединителях (разъёмах);
 наличие переходных соединителей;
 качество изготовления и настройки источника сигнала и потребителя.
В общем случае, когда сопротивление нагрузки не равно волновому, не является
реактивным, и отлично от нуля и бесконечности, в линии устанавливается режим смешанных
волн. График распределения амплитуд колебаний напряжения U и тока I смешанных волн
вдоль линии l изображен на рисунке 2.2.1.

Изм. Лист № документа Подпись Дата Лист

ВКР-НГТУ-11.03.01-17-Р-07- 45
21-ПЗ
 Рисунок 2.2.1- График распределения амплитуд.

Расстояние между узлов и пучностью равное λ/4. Между узлами λ/2, аналогично у мест
пучности. При этом длина волны сигнала, распространяющегося в проводнике, расположенном
в диэлектрике определяется:

c
λ= , (2.2.3)
f ∙ √ D kEff

где c - скорость света в вакууме, м/c;

f – частота волны, Гц;
DkEff – относительная диэлектрическая проницаемость среды.
У стоячей волны можно выделить несколько интересных точек: в каком-то месте
амплитуда всегда равна нулю. Эти точки называются узлами. А в каких-то местах, напротив,
напряжение будет максимально. Такие точки называются пучностями.
Если рассмотреть распределение электромагнитных полей на проводнике в аксонометрии, то
можно увидеть места пучностей и узлов. На рисунке 2.2.2 изображено распределение
электромагнитных полей в проводнике.

Изм. Лист № документа Подпись Дата Лист

ВКР-НГТУ-11.03.01-17-Р-07- 45
21-ПЗ
 Рисунок 2.2.2- Распределение электромагнитных полей в проводнике.

Измеряют КСВН, с помощью включённых в тракт в противоположном направлении

двух направленных ответвителей. Современные анализаторы цепей также имеют встроенные
датчики КСВН. При проведении измерений КСВН необходимо учитывать, что затухание
сигнала в кабеле приводит к погрешности измерений. Это объясняется тем, что как падающая,
так и отраженная волны испытывают затухание. В таких случаях КСВН рассчитывается
следующим образом:

U1+ K U2
КСВН = , (2.2.4)
U 1−KU 2
где U1 и U2 — амплитуды падающей и отражённой волн соответственно;
 К — коэффициент ослабления отраженной волны, который вычисляется следующим
образом: 

K=2 BL, (2.2.5)

где B – удельное затухание, дБ/м;
L – длинна волны кабеля, м.
Множитель 2 учитывает тот факт, что сигнал испытывает ослабление при передаче от
источника СВЧ сигнала к устройству и на обратном пути.
Взаимосвязь S-параметров и КСВ можно выразить через формулы:

Г р =S mm , (2.2.6)

КСВ=1+¿ Г р ∨ ¿ ¿
¿ 1−Г р∨¿ ¿ (2.2.7)

где Гр - это коэффициент отражения;

Smm - это параметр S11 или S22;

Изм. Лист № документа Подпись Дата Лист

ВКР-НГТУ-11.03.01-17-Р-07- 45
21-ПЗ
 КСВ - это коэффициент стоячих волн.

Изм. Лист № документа Подпись Дата Лист

ВКР-НГТУ-11.03.01-17-Р-07- 45
21-ПЗ
 3 Управляющие устройства СВЧ

3.1 Переключательные диоды СВЧ

Переключательные диоды предназначены для применения в устройствах управления

уровнем СВЧ-мощности. Их принцип работы основан на зависимости сопротивления диода от
напряжения смещения. В настоящее время наиболее широкое применение находят pin-диоды.
Основой любого рin-диода является трехслойная полупроводниковая кремниевая
структура, наиболее простой вид которой показан на рис. 3.1.1.

Рисунок 3.1.1- Устройство pin-диода.

При подаче на диод прямого тока р- и n-области инжектируют дырки и электроны в

промежуточную i-область, образуя хорошо проводящую плазму. Такая инжекция приводит к
уменьшению сопротивления i-области до единиц и долей Ом (диод открыт). Неосновные
носители в i-области обусловливают накопление заряда при протекании прямого тока и
создают диффузионную емкость (емкость накопления), которая уменьшает быстродействие
диода. С помощью pin-диодов возможно управлять большими мощностями СВЧ при
относительно маломощной схеме управления. Это объясняется тем, что открытый pin-диод
может выдерживать ток больше тока диода с р-n-переходом, а закрытый pin-диод имеет
высокое постоянное сопротивление, поскольку емкость и объемная проводимость i-слоя малы и
не зависят от уровня мощности. В силу этого, устройства на pin-диодах устойчивы в работе.
Вольт-амперная характеристика рin-диода, снятая на постоянном токе, качественно не
отличается от вольт-амперной характеристики pn-диода.
Главной отличительной особенностью pin-диода является то, что он представляет
собой инерционную нелинейность. Механизм воздействия на диод напряжения СВЧ
радикально отличается от воздействия постоянного напряжения или напряжения сравнительно

Изм. Лист № документа Подпись Дата Лист

ВКР-НГТУ-11.03.01-17-Р-07- 45
21-ПЗ
 низких частот. При воздействии на диод прямого постоянного тока в i-слое появляется
накопленный заряд
Qнак =I 0 τ (3.1.1)
где τ - время жизни носителей заряда.
I 0- постоянный прямой ток.
При параллельном включении диода в передающую линию в нем протекает ток СВЧ,
эффективное значение которого равно:

I 0=√ P z 0 , (3.1.2)
где Р- мощность генератора,
z 0-волновое сопротивление линии.
Влияние этого тока на накопленный заряд, т. е. на проводимость диода, много слабее,
чем постоянного тока. Это объясняется тем, что изменение заряда, происходящее в
положительный полупериод тока СВЧ, много меньше накопленного заряда, определяемого по
(3.1.1). При отрицательных полупериодах СВЧ колебаний, когда ток через диод должен был бы
отсутствовать, показано на рисунке 3.1.2, изменение накопленного заряда и соответственно
проводимости диода также оказывается незначительным.

Рисунок 3.1.2- Вольт-амперная характеристика pin-диода.

Разница в воздействии на проводимость диода постоянного и СВЧ токов возрастает с

увеличением времени жизни носителей заряда и повышением частоты колебаний СВЧ.
Изменение накопленного заряда во времени t при одновременном воздействии на диод

Изм. Лист № документа Подпись Дата Лист

ВКР-НГТУ-11.03.01-17-Р-07- 45
21-ПЗ
 постоянного прямого тока и тока СВЧ с амплитудным значением Im и круговой частотой ω о
может быть выражено как:

Qнак =I 0 τ− ( Iω ) cos ( ω t )
m
(3.1.3)

При нулевом или отрицательном смещении низкая проводимость диода, ввиду его
инерционности, сохраняется при сравнительно больших напряжениях СВЧ. Короткие
положительные импульсы напряжения продолжительностью менее половины периода СВЧ
колебаний недостаточны для изменения проводимости диода. Таким образом, для СВЧ
колебаний как в режиме прямого тока, так и в режиме обратного смещения pin-диод может в
первом приближении рассматриваться как стационарный линейный двухполюсник.
Для того чтобы pin-диод был переключательным, необходимо обеспечить постоянство
накопления заряда за период СВЧ-колебания, превратив его в активное сопротивление. С этой
целью i-область должна быть толще (до 50...100 мкм), а размеры диода больше, но это
уменьшает его быстродействие. Pin-диоды изготавливаются преимущественно методами
диффузии и эпитаксиального наращивания. Диффузионные диоды за счет высокого удельного
сопротивления имеют более высокие рабочие напряжения, но их быстродействие
ограничивается большой величиной накопленного заряда. Для увеличения быстродействия
производится выращивание эпитаксиальных слоев.
При низких частотах pin-диод обнаруживает выпрямительные свойства, аналогичные
обычному р-n-переходу.
С увеличением частоты накопление зарядов в i-области препятствует выпрямлению
тока.
Существует два типа конструкций диодов: корпусные и бескорпусные, эквивалентные
схемы которых показаны на рисунке 3.1.3, а и б соответственно. Емкость С и сопротивления R,
r3 характеризуют pin-структуру. Величины Lк и Ск определяются конструкцией диода.

Изм. Лист № документа Подпись Дата Лист

ВКР-НГТУ-11.03.01-17-Р-07- 45
21-ПЗ
 Рисунок 3.1.3- Эквивалентные схемы диодов
Эти реактивности увеличивают частотную зависимость сопротивления диода. Диоды,
выполненные в миниатюрных корпусах, имеют Lк = 0,2...2 нГн; Ск = 0,2...0,4 пФ. В
бескорпусных диодах эти реактивности отсутствуют.
Под действием внешнего управляющего тока сопротивление изменяется в широких
пределах (от долей 0м до единиц кОм). Причём полное активное сопротивление pin-диода на
СВЧ приблизительно равно (несколько меньше) сопротивлению по постоянному току. При
максимально допустимом прямом токе через диод сопротивление R становится настолько
малым, что R ≤ 1 / ωC и активное сопротивление диода в основном определяется rs.
Основные параметры переключательных диодов:
 критическая частота fкр;
 время переключения τ;
 коэффициент качества К;
 емкость С;
 прямое и обратное сопротивление Rпр и Rобр;
 пробивное напряжение Uпр ;
 максимально допустимый ток Jпр. макс;
 обратный ток Jобр;
 максимально допустимый уровень импульсной мощности Римакс;
 максимально допустимая мощность рассеяния Рмакс;
 максимальное обратное напряжение Uобр. макс.
Критическая частота fкр является обобщенным параметром диода. Она равна рабочей
частоте, на которой коэффициент качества диода равен единице:

Изм. Лист № документа Подпись Дата Лист

ВКР-НГТУ-11.03.01-17-Р-07- 45
21-ПЗ
 1
f кр = =f √ K . (3.1.4)
2 πС √ Rпр R об

Коэффициент качества, или качество диода К характеризует

эффективность переключающих свойств диода:

1
K= 2 2
. (3.1.5)
ω C R пр Rобр
Максимальная допустимая мощность Рмакс определяется электрическим пробоем
перехода кристалла полупроводника, его нагреванием, выделяющейся в нем СВЧ-мощностью.
Время переключения τ в основном обусловливается длительностью процессов
накопления и рассеивания подвижных носителей в полупроводнике, современных pin-диодах
достигает 0,5 мкс.

3.2 СВЧ выключатели

Диодные выключатели применяются в антенных переключателях, в устройствах

защиты приемника и т. п. Они представляют собой четырехполюсники, которые могут работать
или в режиме пропускания, когда СВЧ-сигнал почти беспрепятственно поступает через
выключатель в нагрузку, или в режиме запирания, когда сигнал значительно ослабляется. В
качестве управляющего элемента (ключа) используется переключательный диод в двух крайних
состояниях (открытом и закрытом), управляемый внешним источником.
Основными параметрами выключателей являются:
 ослабление в режиме пропускания Lп, дБ;
 ослабление в режиме запирания Lз, дБ;
 рабочая полоса частот 2Δf /f0, в пределах которой Lп не более, а Lз не менее заданного
значения;
 время переключения τ, мкс, определяемое в основном временем перехода диода из
открытого в закрытое состояние;
 максимальная рассеиваемая импульсная СВЧ-мощность Ри, Вт;
 максимальная рассеиваемая непрерывная СВЧ-мощность Р, Вт;
 допустимый коэффициент стоячей волны (КСВ) в режиме пропускания Ксп и
запирания Ксз.
Простейшие выключатели содержат один диод, включенный в линию последовательно
или параллельно, так на на рисунке 2.2.1 показаны примеры электрических схем

Изм. Лист № документа Подпись Дата Лист

ВКР-НГТУ-11.03.01-17-Р-07- 45
21-ПЗ
 последовательного (а) и параллельного (б, в) включений диодов в тракт СВЧ и элементы цепи
управления – Lб, Сб, Ср.

Рисунок 3.2.1 –Схемы включений диодов.

Блокировочные индуктивности Lб предназначаются для замыкания цепи управления
диода по постоянному току. Чтобы Lб не шунтировала линию СВЧ, ее сопротивление должно
быть существенно больше волнового сопротивления линии Zв:

2 π f min Lб ≥ Z в , (3.2.1)
где fмин – наименьшая частота рабочей полосы устройства.
С одной стороны, конденсаторы Cб должны иметь малое сопротивление для СВЧ
сигналов:
1
≤ Zв ; (3.2.2)
( 2 π f мин Cб )
А с другой стороны Сб не должна быть слишком большой, чтобы постоянная времени
Lб Cб - цепи (τв = Lб Cб) оставалась достаточно малой:

τв ≤ T, (3.2.3)
где T – период управления.
В этом случае цепь управления не будет влиять на быстродействие устройства.
Разделительные емкости Ср, осуществляющие развязку соседних каскадов по току управления,
должны иметь малое сопротивление в заданном СВЧ-диапазоне, чтобы не препятствовать
распространению СВЧ-колебаний.
При подаче прямого смещения на диод его сопротивление становится малым (диод
открыт). Если при этом диод включен параллельно, линия им будет закорачиваться на землю,
произойдет отражение мощности от диода. Только незначительная ее часть попадет на выход.
Выключатель будет находиться в режиме запирания. Последовательно включенный диод в

Изм. Лист № документа Подпись Дата Лист

ВКР-НГТУ-11.03.01-17-Р-07- 45
21-ПЗ
 открытом состоянии является небольшим препятствием для распространяющейся волны, и
выключатель находится в режиме пропускания.
При подаче на диод обратного напряжения смещения диод закрыт, его сопротивление
велико. В случае параллельного включения он оказывает незначительное влияние на
распространявшиеся волны (режим пропускания), а при последовательном включении он
размыкает линию, и большая часть мощности отражается (режим запирания).
КСВ этих и подобных им многодиодных выключателей при согласованной нагрузке в
режиме пропускания близок к 1, а в режиме запирания к бесконечности.

3.3 СВЧ переключатели

Переключатели представляют собой совокупность выключателей и характеризуются

теми же параметрами. В зависимости от требований, предъявляемых к переключателю, и
диапазона частот применяются схемы с последовательным, параллельным и последовательно-
параллельным включением диодов.
Простейшим переключателем является двухканальный. На рисунке 3.3.1 а показана
схема такого переключателя с параллельным включением диодов. Он состоит из двух
выключателей, каждый из которых содержит по два диода, расположенных на оптимальном
расстоянии l. Если диоды VD3 и VD4 закрыты, а диоды VD1 и VD2 открыты, то работает канал
1-2, а канал 1-3 отключен. Длины линий от точки разветвления каналов до первого диода в
каждом канале должны быть равны λво / 4. В этом случае открытый диод канала 1-3, напр., VD2,
не будет шунтировать канал 1-2, поскольку входное сопротивление четвертьволнового отрезка
линии, нагруженного на малое сопротивление открытого диода, велико. Закрытый канал 1-3
условно можно представить короткозамкнутым четвертьволновым шлейфом.
На рисунке 3.3.1 б показана эквивалентная схема открытого канала. В случае
необходимости производится компенсация емкости диода, например, путем включения
отрезков линий с повышенным, волновым сопротивлением Zк. Для расширения рабочей полосы
частот переключателя в точках разветвлений помещаются отрезки линий длиной λво / 4 с
пониженным волновым сопротивлением Zr. На центральной частоте диапазона
короткозамкнутый шлейф закрытого канала имеет большое входное сопротивление,
практически не шунтирующее линию. Включенные по обе стороны от него отрезки линий с
таким же волновым сопротивлением ZТ имеют на центральной частоте суммарную длину λво / 2
и следовательно, тоже не вносят рассогласования в канал 1-2 на этой часто- те (Кс = 1).

Изм. Лист № документа Подпись Дата Лист

ВКР-НГТУ-11.03.01-17-Р-07- 45
21-ПЗ
 Рисунок 3.3.1 - Двухканальный переключатель с параллельным включением.
Если диоды считать идеальными ключами,то зависимость Кс от частоты при
различных ZТ = ZТ / Zв (Zв – волновое сопротивление основной линии) будет иметь вид,
показанный на рисунке 2.3.2.

Рисунок 2.3.2 - Зависимость Кс от частоты при различных ZТ.

Изм. Лист № документа Подпись Дата Лист

ВКР-НГТУ-11.03.01-17-Р-07- 45
21-ПЗ
 4 Векторный анализ цепей

4.1 Векторный анализатор цепей ZVB20

Всё измерения проводилось с помощью векторного анализатора цепей ZVB20, его

технические характеристики представлены характеристики в таблице 4.1.1, а структурная схема
на рисунке 4.1.1.
Таблица 4.1.1- Технические характеристики.
Диапазон измерений от 10 МГц до 20 ГГц
Количество измерительных портов Два прота
Время измерения одной точки при полосе ПЧ <4,5 мкс
500 кГц, режим CW
Время измерения (201 точка) <4,5 мс
Время переключения
Между каналами <1 мс
Между наборами настроек <10 мс

Выходная мощность измерительного порта >10 дБмВт

Полоса ПЧ от 1 Гц до 500 кГц
Количество точек на кривую от 1 до 60001
Время передачи данных (201 точка)
По шине IEC/IEEE <2,9 мс
По локальной сети 100 Мбит/с по протоколу
VX11 <1,3 мс
По локальной сети 100 Мбит/с по протоколу
RSIB <0,7 мс

Операционная система Windows XP Embedded

Изм. Лист № документа Подпись Дата Лист

ВКР-НГТУ-11.03.01-17-Р-07- 45
21-ПЗ
 Рисунок 4.1.1 – Структурная схема векторного анализатора цепей

Структурная схема имеет четыре главных компонента:

 тестовая установка;
 генератор;
 приёмники;
 компьютер.
Тестовая установка разделяет падающие и отраженные волны на тестовом порту.
Выделяемые им волны поступают на измерительный канал и на опорный канал. Для изменения
уровня мощности на тестовом порту используются электронные аттенюаторы. Для уменьшения
уровня мощности, подаваемой на тестовый порт, могут применяться также любые ступенчатые
аттенюаторы, имеющиеся в генераторах.
Надлежащее инжектирование активных компонентов исследуемых устройств требует
подачи напряжения постоянного тока, накладываемого на ВЧ сигнал. Постоянный ток обычно
вводится дополнительной цепью инжектора постоянного тока. Эта цепь имеет две основных
компоненты для минимизации вредного влияния на ВЧ сигнал.

Изм. Лист № документа Подпись Дата Лист

ВКР-НГТУ-11.03.01-17-Р-07- 45
21-ПЗ
 Первая компонента представляет собой катушку индуктивности, включаемую между
линией прохождения ВЧ сигнала и источником постоянного тока.
Вторая компонента – это изолирующий блок постоянного тока. Он необходим, потому
что примыкающие соседние ВЧ компоненты обычно не рассчитаны на воздействие
постоянного напряжения. В качестве изолирующего блока может использоваться простой, или
широкополосный, конденсатор.
Каждая тестовая установка использует два отдельных приемника:
 приемник для измерительного канала;
 приемник для опорного канала.
Они называются измерительным приемником и опорным приемником. Приемники
содержат узлы преобразования ВЧ сигнала в промежуточную частоту (реализация
гетеродинного принципа). Информация о модуле и фазе измеряемого сигнала полностью
сохраняется в процессе преобразования. Предварительная фильтрация в усилителе
промежуточной частоты позволяет отфильтровать значительную часть принимаемого
широкополосного шума, и предотвратить его прохождение в последующую цепочку обработки
сигнала.
На вход цепочки обработки данных поступают исходные численные измеренные
значения из опорного и измерительного приемников. На выходах обрабатывающих цепочек
образуются исходные измерительные данные в форме комплексных численных значений.
Генератор вырабатывает синусоидальный сигнал возбуждения, и является электронно-
управляемым устройством с относительно широким диапазоном перестройки. Чтобы
обеспечить требуемую стабильность частоты и спектральную чистоту сигнала, генератор
дополняется петлёй фазовой автоподстройки частоты (ФАПЧ). Опорные генераторы на
фиксированные частоты обеспечивают хорошую спектральную чистоту, и имеют очень
высокую долговременную стабильность. Система ФАПЧ связывает частоту и фазу колебаний
подстраиваемого генератора с колебаниями опорного генератора. Это позволяет улучшить
спектральную чистоту подстраиваемого генератора в окрестности рабочей частоты. Используя
дополнительные устройства в системе ФАПЧ, можно изменять соотношение частот опорного
генератора и подстраиваемого генератора, что позволяет вырабатывать частоты, необходимые в
качестве сигналов возбуждения. Реализация полного частотного диапазона, подстраиваемого
генератора требует наличия нескольких переключаемых генераторов управляемых
напряжением (ГУН)
Компьютер используется для выполнения коррекции систематических ошибок, и для
визуализации измерительных данных. Он также обеспечивает интерфейс пользователя, и

Изм. Лист № документа Подпись Дата Лист

ВКР-НГТУ-11.03.01-17-Р-07- 45
21-ПЗ
 интерфейсы дистанционного управления. В компьютере имеется предварительно
установленное программное обеспечение, которое называют также встроенными программами.

4.2 Особенности измерения

Для измерения коэффициента отражения выделять падающие и отраженные волны,

распространяющиеся к и от измеряемого устройства (ИУ). Для достижения этой цели требуется
применить направляющий элемент (обычно построенный на основе направленного ответвителя,
или моста). В последующем изложении выделяющий элемент будет трактоваться как трех-
портовое устройство
На рисунке 4.2.1 показаны два основных сигнальных направления выделяющего
элемента.

Рисунок 4.2.1 - Измерительная цепь с выделяющим элементом.

Волна a1, создаваемая генератором, направляется на порт 2 с коэффициентом передачи

S21, и после отражения от этого порта возвращается как волна b2. В случае одно-портового ИУ
волна bИУ возникает из-за отражения падающей волны aИУ с коэффициентом отражения ГИУ, то
есть:

b иу=Г иу aиу . (4.2.1)

С точки зрения ИУ, волна b2 соответствует падающей волне aиу, а волна a2
соответствует отраженной волне bИУ. Поэтому формула (4.2.1) может быть переписана через
величины a2 и b2 в виде:

a 2=Г иу b 2 . (4.2.2)

Изм. Лист № документа Подпись Дата Лист

ВКР-НГТУ-11.03.01-17-Р-07- 45
21-ПЗ
 Волна a2 ответвляется на порт 3, к этому порту подключен измерительный приемник. В
идеале хотелось бы, чтобы S-параметр S21 имел значение 1, что, однако, не выполнимо на
практике. Отметим также, что существует альтернативный путь сигнала напрямую из порта 1 в
порт 3. Просачивание сигнала по этому пути создает помеху измерениям, и является
нежелательным. Поэтому на практике в выделяющем элементе необходимо обеспечить как
можно более высокую изоляцию портов 1 и 3 (развязку).
Еще необходимо не забывать о нежелательном обратном отражении от порта 2 в
направлении к ИУ. В идеале хотелось бы, чтобы это отражение отсутствовало. Если, при
справедливости перечисленных выше предположений об идеальности выделяющего элемента,
еще обеспечить постоянство волны генератора a1, то волновая величина b3 будет прямо
пропорциональной коэффициенту отражения ГИУ от ИУ. Разумеется, в реальности
предположения об идеальности выделяющего элемента не справедливы.
На практике можно обеспечить только примерно постоянный уровень волны a1
генератора, например, в пределах 0 дБм ± 0,3 дБ. Естественно, подобная неопределенность
интенсивности волны a1 ведет напрямую к потере точности в результатах измерений. Для
предотвращения этого следует определить (т.е. измерить) значение волны a1 с помощью
дополнительного приемника, который будем называть опорным приемником. В качестве
источника сигнала для опорного канала следует использовать так называемый расщепитель
мощности, он показан на рисунке 4.2.2. Выходные плечи расщепителя мощности являются
симметричными, и непосредственно связанными между собой. Создаваемые расщепителем
волны a1 и a'1 всегда одинаковы, независимо от возможного рассогласования выходных портов
расщепителя. И если испытуемое устройство присоединено к одному плечу через выделяющий
элемент, то волновая величина a'1 может использоваться вместо величины a1.

Рисунок 4.2.2 -
Выделяющий
элемент с опорным
каналом.

Изм. Лист № документа Подпись Дата Лист

ВКР-НГТУ-11.03.01-17-Р-07- 45
21-ПЗ
 Поэтому коэффициент отражения ΓИУ может быть найден исходя из следующей
промежуточной величины, которую будем называть измеренным отношением М:

b3
М= . (4.2.3)
a'1
В реальности коэффициент передачи S21 и коэффициент ответвления S32 имеют значения,
меньшие единицы. При перемножении этих параметров возникает коэффициент, который может быть
назван поправкой на отражение:

R=S 32 S 21. (4.2.4)

Взаимосвязь измеренного отношения M и поправки на отражение R с измеряемым
коэффициентом отражения ΓИУ выражается следующим соотношением:

М =R Г иу . (4.2.5)
Переходное прохождение от порта 1 до порта 3 создает дополнительный обходной путь
сигнала, искажающий измерения. Эти искажения численно характеризуются S-параметром S31.
В качестве меры отличия между реальным и идеальным поведением выделяющего элемента,
удобно использовать специальное отношение, известное как поправка на направленность:

S31
D= . (4.2.6)
R
Поправка на направленность векторно добавляется к величине ΓИУ. Соответственно, следует
модифицировать формулу (4.2.3) для измеренного отношения М следующим образом:

М =R ( Г иу + D ) . (4.2.7)
Для оценки ошибки измерений, следует вынести за скобки величину ГИУ в формуле (4.2.7), и
сформировать комплексное отношение x = D/ΓИУ. Произведение R ∙ ΓИУ обозначим как вспомогательную
величину W:

М =R Г иу (1+ x )=W ( 1+ x ) . (4.2.7)

Выражение (1 + x) характеризует относительное отклонение измеренной величины М от ее
«правильного» значения W. Относительное отклонение (1 + x) показано на рисунке 4.2.3 как суперпозиция
векторов 1 и x. Надлежащая оценка реальной фазы комплексной величины x требует наличия
векторной системы коррекции ошибок. При отсутствии такой системы точные вычисления (1 + x)
невозможны, и следует предположить произвольное значение для фазы x. Это приводит к образованию

Изм. Лист № документа Подпись Дата Лист

ВКР-НГТУ-11.03.01-17-Р-07- 45
21-ПЗ
 области неопределенности измерений, ограниченной пунктирной окружностью, показанной на рисунке
4.2.3.

Рисунок 4.2.3- Векторная суперпозиция составляющих 1 и |x|.

Выделяя первые две характерные точки этой окружности, можно получить два
экстремальных значения, соответственно 1 – |x| и 1 + |x|. Эти значения показаны на рисунке
4.2.3, голубым и красным цветом. Они обозначают самую короткую и самую длинную сумму
векторов, соответственно. В измерительной практике при оценке модулей величин обычно
используют децибельную (дБ) шкалу.
Третья характерная точка на рисунке 4.2.3. относится к месту, где отклонение фазы x, достигает
максимального значения:

∆ φmax =arcsin ( x ) . (4.2.8)

Помимо коэффициента отражения от ИУ, возможно существование ненулевого
коэффициента отражения от измерительного порта выделяющего элемента в сторону к испытуемому
устройству. Будем называть это отражение рассогласованием измерительного порта S. На практике
рассогласование измерительного порта S не равно нулю. Для упрощения анализа сначала предположим,
что прочие компоненты анализатора цепей идеальны. Тогда рассогласование измерительного порта
определяется исключительно выделяющим элементом, а именно, его параметром рассеяния S22.
Волна bИУ, которая отражается ИУ, не полностью поглощается измерительным портом
(порт 2). Часть этой волны отражается обратно к ИУ. Между измерительным портом и ИУ
возникают многократные отражения. Они показаны на рисунке 4.2.4 змеевидной стрелкой.

Изм. Лист № документа Подпись Дата Лист

ВКР-НГТУ-11.03.01-17-Р-07- 45
21-ПЗ
 Рисунок 4.2.4- Многократные отражения от измерительногом порта.

Первичное отражение от ИУ порождает вклад b2.ΓИУ в a2. Часть этой волны вновь отражается от
измерительного порта с коэффициентом отражения S. Эта волна вновь устремляется к испытуемому
устройству, и создает дополнительный вклад b2 ΓИУSΓИУ в волну a2. После учета двукратного отражения, как
правило, можно не добавлять отражения более высоких порядков. Суммарный вклад выглядит
следующим образом:

a 2=b2 Г иу + b2 Г иу S Г иу . (4.2.9)
После вынесения за скобки величины b2 ΓИУ, получаем формулу со структурой, которая
подобна формуле (4.2.9):
a 2=b2 Г иу ( 1+ S Г иу ) . (4.2.10)
Таким образом, удается оценить ошибку измерений, вносимую рассогласованием
измерительного порта.

4.3 Цепочка обработки данных измерений

На вход цепочки обработки данных поступают исходные численные измеренные

значения из опорного и измерительного приемников. На рис. 4.3.1 шаги обработки
представлены символами, похожими на стрелки, а объекты данных представлены символами,
похожими на бочонки. Шаги обработки, показанные серым цветом, являются обязательными, и
не могут быть пропущены.

Изм. Лист № документа Подпись Дата Лист

ВКР-НГТУ-11.03.01-17-Р-07- 45
21-ПЗ
 Рисунок 4.3.1- Цепочка измерений данных часть 1.

Цепочка обработки данных оказывается завершенной только после определения

требуемых измеренных значений. Соответствующие конечные точки в цепочке обработки
данных показаны на рис. 4.3.1 номерами от 1 до 3. Процедуры, отмеченные зеленым цветом,
требуются только для калибровки пользователя, и завершаются определением данных
коррекции. Если калибровка пользователя не задействована, то фабричная коррекция
системной ошибки осуществляется с использованием предустановок по умолчанию на основе
фабричных поправок.
Вторая часть цепочки обработки данных (генерация кривой отклика) показана на
рисунке 4.3.2.

Изм. Лист № документа Подпись Дата Лист

ВКР-НГТУ-11.03.01-17-Р-07- 45
21-ПЗ
 Рисунок 4.3.1- Цепочка измерений данных часть 2.

Она объединяет все вычисления, необходимые для индикации результатов измерений.

Комплексные входные величины поступают либо из первой части цепочки обработки данных,
либо берутся из основной памяти, или из файла данных. В шагах обработки с легкой голубой
окраской задействованы комплексные величины.

4.4 Точность измерений

Результат любого измерения подвержен неопределенности измерения,

характеризуемой ожидаемым статистическим отклонением измеренных значений от их
истинного значения. Принято различать два типа измерительных неопределенностей:
 случайные ошибки измерений;
 систематические ошибки измерений.
Случайные ошибки измерений - для них возможно только статистическое описание, и
они не поддаются систематической коррекции.
Систематические ошибки измерений- такие ошибки возникают воспроизводимым
образом, и могут быть скорректированы с помощью надлежащих вычислительных процедур.

Изм. Лист № документа Подпись Дата Лист

ВКР-НГТУ-11.03.01-17-Р-07- 45
21-ПЗ
 Однако, полная коррекция невозможна из-за случайных флуктуаций, накладывающихся на
результаты измерений.
Для наиболее полной коррекции систематических ошибок необходимы исходные
данные в векторной форме, как по измеряемой величине, так и по и учитываемым ошибкам.
Поскольку скалярные анализаторы цепей фиксируют только модули измеряемых величин,
систематические ошибки измерений не могут быть скорректированы этим типом анализаторов.
Как следствие, систематические ошибки привносят заметный вклад в общую неопределенность
измерений. Для скалярного анализатора цепей возможна только приближенная оценка этот
вклада, используя максимальное и минимальное значения 1 + |x| и 1 – |x|, как было показано на
рисунке. 4.2.3.

4.5 Снижение случайных ошибок измерений

Чтобы гарантировать работу оборудования в тепловом равновесии, совершенно

необходим предварительный прогрев. При хорошо прогретом векторном анализаторе цепей
окружающая среда со стабильной температурой позволяет поддерживать минимальный
температурный дрейф.
Тепловой шум, накладываясь на измеряемые значения, приводит к возникновению
случайной неопределенности измерения. На рисунке 4.5.1, показывается соотношение между
полосой пропускания по ПЧ и уровнем шума

Рисунок 4.5.1- Изменения отношения сигнал/шум при использовании различных

значений полосы пропускания по ПЧ.

Изм. Лист № документа Подпись Дата Лист

ВКР-НГТУ-11.03.01-17-Р-07- 45
21-ПЗ
 При комнатной температуре (290 K), плотность шумовой мощности теплового шума
равна 4∙10–21 Вт/Гц, что соответствует уровню плотности шума –174 дБм (Гц). Если
использовать в качестве ПЧ фильтра идеальный прямоугольный фильтр с полосой пропускания
1 Гц, и предположить, что анализатор цепей не добавляет внутренний шум, то на измеряемый
сигнал накладывается только шум с уровнем –174 дБм. На практике следует также принять во
внимание внутренний шум измерительного прибора. Индицируемый уровень шума
увеличивается на коэффициент шума прибора, который указывается в дБ. Обеспечивая
установку ступенчатого аттенюатора на минимально возможное ослабление, можно
минимизировать коэффициент шума. В специальных применениях дальнейшее улучшение
отношения сигнал/шум может быть достигнуто пропусканием измерительных сигналов через
прямые входы приемников, или использованием высококачественного предварительного
усилителя.
Если измерительный или опорный приемник функционируют в окрестности верхнего
допустимого предела по мощности, то могут возникнуть эффекты компрессии. Эффекты
компрессии вызываются свойствами смесителей, используемых при обработке ВЧ сигналов.
Если бы эффекты компрессии возникали одинаковым образом в измерительном и опорном
каналах, то эти эффекты могли бы взаимно компенсировать один другого при расчете S-
параметров. На практике, однако, амплитуды сигналов в измерительном и опорном каналах
обычно резко отличны между собой. Необходимый диапазон уровней опорного канала априори
известен. Он обусловлен диапазоном регулировки выходной мощности измерительного порта.
При проектировании анализатора цепей диапазон линейной работы опорного
приемника оптимизирован для типовых ИУ. Однако, в случае активных ИУ с высоким
значением выходной мощности, приемник может быть «перевозбужден» до режима
компрессии. Типовые неопределенности измерений, которые возникают как результат этой
компрессии, можно увидеть в левой части рисунка. 4.5.2.

Рисунок 4.4.2- U-образная кривая.

Изм. Лист № документа Подпись Дата Лист

ВКР-НГТУ-11.03.01-17-Р-07- 45
21-ПЗ
 Поскольку отношение сигнал/шум уменьшается при низких уровнях сигнала, диапазон
линейности не может быть использован для произвольных сигналов низкой амплитуды,
показано на рисунке 4.5.2 справа, для прецизионных измерений необходимо выбирать уровень,
который исключает эффекты компрессии, описанные выше, в то время как все еще
обеспечивается хорошее отношение сигнал/ шум. Для отражательных измерений, и измерений
прохождения через пассивные устройства, уровень выходного сигнала измерительного порта
порядка –10 дБм, как правило, представляет собой хороший компромисс. При измерениях
устройств с высоким усилением, может оказаться необходимым еще сильнее уменьшить
мощность источника.

4.5 Калибровка

Параметры искажающих цепей могут быть обозначены как компоненты ошибки eik.
Большинство компонентов ошибки могут быть интерпретированы как исходные системные
данные. Математическая компенсация влияния искажающей цепи на результат измерений
представляет собой коррекцию системной ошибки. Систематические ошибки измерений,
которые останутся не скомпенсированными после коррекции ошибки системы, могут быть
интерпретированы как эффективные системные данные. Они зависят от точности определения
компонентов ошибки eik. Стабильность коррекции ошибки системы ограничивается
случайными ошибками измерений, вызванными температурным дрейфом, шумом и т.д.. Для
определения компонентов ошибки eik применяется процедура, известная как калибровка.
Калибровка (коррекция системных погрешностей) представляет собой процесс
устранения из результатов измерений систематических, воспроизводимых погрешностей.
Например, соединительные кабели между портами анализатора и ИУ вносят ослабление волн
на их пути от порта 1 анализатора на вход ИУ и от выхода ИУ к порту 2 анализатора. Отличная
от нулевой длина этих кабелей приводит также и к фазовому сдвигу этих волн. Оба эффекта
снижают точность измерения S-параметров.
На измерительной установке (анализатор цепей с кабелями измерительного порта),
последовательно выполняется несколько предварительных измерений устройств, входящих в
набор калибровочных стандартов. Стандарты представляют собой одно и двух-портовые
устройства с известными параметрами.
Поскольку невозможно изготовить идеальные калибрационные стандарты (например,
идеальное короткое замыкание, где Г=-1), конкретные значения внутренних отклонений

Изм. Лист № документа Подпись Дата Лист

ВКР-НГТУ-11.03.01-17-Р-07- 45
21-ПЗ
 стандартов сообщаются анализатору цепей (то есть, вводятся в него) в форме
характеристических
данных. Как только процедура калибровки выполнена, анализатор цепей вычисляет
компоненты ошибки eik. В процессе вычислений анализатор цепей использует значения,
которые он измеряет в процессе калибровки, и характеристические данные, принадлежащие
стандартам. В цепочке обработки информации на рисунке 4.3.1, показаны в зеленом цвете.
Используя найденные компоненты ошибки eik, можно впоследствии корректировать исходные
измеренные значения и рассчитывать скорректированные значения S-параметров устройства.
Однако, выдать на дисплей скорректированную информацию о самих по себе волновых
величинах с помощью данной техники невозможно, поскольку абсолютный модуль и
абсолютная фаза сигналов этой техникой не корректируются. При индикации измеренных
значений как отношений волновых величин, например, b2/a1, b2/b1 и т.д., измерительные
приборы какую-либо коррекцию ошибки системы также не выполняют.
Физический интерфейс между виртуальным 2N-полюсником ошибки и ИУ
представляет собой так называемую опорную плоскость. Измеренные и скорректированные S-
параметры относятся именно этой плоскости. Когда используются коаксиальные
калибровочные стандарты, опорная плоскость задается как плоскость сопряжения внешнего
проводника, показано на рисунке 4.5.1.

Рисунок 4.5.1-Расположение опорной плоскости в разъеме N-типа.

Процесс калибровки требует применения специальных одно- и двух-портовых

стандартизованных устройств. Из-за производственных ограничений их свойства будут
обязательно отклоняться от идеальных стандартов (идеальный холостой ход при Г = 1,
идеальное короткое замыкание при Г = –1 и т.д.). По этой причине реальные свойства
собираются в наборы в форме характеристических данных. Процесс измерения
соответствующих значений известен как характеризация. Такие измерения должны
выполняться в соответствии с общепринятыми принципами, чтобы характеристические данные
соответствовали задаваемым параметрам первичных стандартов Национальных
Изм. Лист № документа Подпись Дата Лист
ВКР-НГТУ-11.03.01-17-Р-07- 45
21-ПЗ
 Метрологических Институтов. Крайне важно располагать характеристическими данными,
получаемыми в результате поверок, проводимых в регулярные интервалы времени
аккредитованными измерительными лабораториями. Характеристические данные обычно
включаются в калибрационные наборы.
Стандарты могут быть описаны с помощью специальных коэффициентов.
Справедливость такого подхода строго доказана, и этот подход будет рассматриваться детально
в следующих разделах. Основной выигрыш от такого описания заключается в том, что оно
очень компактно. Даже в широком частотном диапазоне от, скажем, постоянного тока до 40
ГГц, нужны только максимум семь коэффициентов на каждый стандарт.
Помимо этого, принято также описывать стандарты при помощи комплексных S-
параметров. Это исключает необходимость выделения коэффициентов, и предотвращает потери
точности, которые могут возникать в процессе выделения. Описание в форме S-параметров
требует увеличения объема данных, которые должны быть надежно сохранены в какой-либо
цифровой среде.
Обычно калибрационные наборы включают в себя:
 коаксиальную нагрузку короткого замыкания (КЗ);
 коаксиальную нагрузку холостого хода (ХХ);
 согласованную нагрузку;
 cкользящую нагрузку,
 проходной переход.
Коаксиальная нагрузка короткого замыкания (КЗ) (кратко S, от англ. short – короткое
замыкание), используя коаксиальную конструкцию, можно сконструировать нагрузка КЗ с
почти идеальной характеристикой (то есть, с полным отражением |Γ| = 1), она изображена на
рисунке 4.5.2.

Изм. Лист № документа Подпись Дата Лист

ВКР-НГТУ-11.03.01-17-Р-07- 45
21-ПЗ
 Рисунок 4.5.2-Нагрузка КЗ.

Комплексный коэффициент отражения стандарта зависит только от смещения l.

Смещение возникает, поскольку по механическим причинам существует длина l между
опорной плоскостью и собственно КЗ. Потерями на длине смещения в большинстве случаев
можно пренебречь. Тогда комплексный коэффициент отражения от опорной плоскости можно
найти по следующей простейшей формуле:

S11=−e− jπl/ λ . (4.5.1)

Моделирование поведения короткозамыкателя в анализатор ецепей обычно требует
ввода только его электрической1 длины l. В исключительных случаях модель может быть
расширена, используя полиномиальные коэффициенты от L0 до L3 для паразитной
индуктивности. Полиномиальные коэффициенты от L0 до L3 определяются в предположении,
что на частотах, в несколько раз превышающих частоту 10 ГГц, в короткозамыкателе
доминирует индуктивное поведение с частотно-зависимой индуктивностью Le(f). Частотная
зависимость индуктивности аппроксимируется степенным рядом с сохранением членов вплоть
до третьего порядка (L3f3):

2 3
Le ( f )=L0 + L1 f + L2 f + L3 f . (4.5.2)
Формулу (4.5.1) следует заменить следующим более сложным соотношением:

j 2 π Le ( f )−Z 0 − jπl / λ
S11= e . (4.5.3)
j 2 π Le ( f ) +Z 0
Коаксиальная нагрузка холостого хода (ХХ) (кратко O, от англ. open – холостой ход)
При реализации стандарта коаксиального размыкателя, имитирующего режим холостого хода
(ХХ), следует использовать замкнутую конструкцию, поскольку в противном случае могут
возникать эффекты излучения. На разомкнутом конце внутреннего проводника коаксиала
формируется краевая емкость, зависящая от частоты, показана на рисунке 4.5.2.

Изм. Лист № документа Подпись Дата Лист

ВКР-НГТУ-11.03.01-17-Р-07- 45
21-ПЗ
 Рисунок 4.5.2 - Типовой размыкатель (стандарт холостого хода).
Ее частотная зависимость может быть аппроксимирована отрезком степенного ряда
следующим образом:

C e ( f )=C 0+C 1 f +C 2 f 2 +C3 f 3 . (4.5.4)

Коэффициент отражения от XX в опорной плоскости тогда рассчитывается следующим

образом:

1− j2 π C e ( f ) − jπl / λ
S11 = e . (4.5.5)
1+ j 2 π C e ( f )
Даже если бы имелась возможность изготовить размыкающий стандарт с длиной l = 0,
краевые емкости привели бы к отрицательной мнимой части для комплексного коэффициента
отражения S11 на высоких частотах.
Согласованная нагрузка (кратко M – нагрузка, от англ. match) Нагрузка должна
представлять собой прецизионный широкополосный импеданс со значением, которое
соответствует опорному импедансу измерительной системы. Рисунок 4.5.3 показывает
реализацию, в которой к внутреннему проводнику коаксиальной линии подключается подложка
с резистивным покрытием.

Рисунок 4.5.3 - Согласованная нагрузка.

Подбором расположения и диаметров подстроечных отверстий, выполняемых,

например, с помощью лазера, можно оптимизировать значение нагрузочного импеданса для
получения предельно малых обратных потерь на отражение (до ~ 45 дБ) на частотах до 4 ГГц
В прошлые годы было принято предполагать наличие идеального согласования (Г = 0)
в калибрационном процессе, то есть этот процесс моделировался не точно. Не так давно
Изм. Лист № документа Подпись Дата Лист
ВКР-НГТУ-11.03.01-17-Р-07- 45
21-ПЗ
 анализаторы цепей стали позволять учитывать при калибровке неидеальные свойства
согласующего элемента.
Скользящая нагрузка по сравнению с нагрузкой, показанной на рисунке 3.5.3,
воздушная коаксиальная линия передачи с конкретным характеристическим импедансом может
быть изготовлена значительно точнее, на рисунке 4.5.4 показана реализация скользящей
нагрузки.

Рисунок 4.5.4 - Схема конструкции скользящей нагрузки.

Характеристический импеданс ZC воздушной линии рассчитывается исходя из

диаметра, а внутреннего проводника и внутреннего диаметра b внешнего проводника
следующим образом:

Z c=
60 Ω
()
ln
√ εr a
b
()
≈ 60 Ω ln
b
a
, (4.5.6)

где ε r- относительная электропроницаемость воздуха;

Ω - круговая частота рад/c;
Поскольку формула (4.5.6) содержит отношение величин a и b, а не их абсолютные
значения, в нашем распоряжении оказывается степень свободы, дающая возможность
подобрать размеры воздушной линии в соответствии с размерами и типом используемого
разъема. Таким образом, удается создать хороший переход от разъема к воздушной линии,
максимально свободный от сосредоточенных нерегулярностей. Цилиндрический ферритовый
стержень, перемещаемый внутри воздушной линии, может поглощать большую часть
электромагнитной мощности, начиная от минимальной частоты примерно 2 ГГц. Устройство,
показанное на рисунке 4.5.4, называется скользящим согласователем. Обратные потери на
отражение на его входе могут составлять примерно 20 дБ. При перемещении ферритового

Изм. Лист № документа Подпись Дата Лист

ВКР-НГТУ-11.03.01-17-Р-07- 45
21-ПЗ
 стержня по линии, происходит изменение длины и соответственно изменение фазы
коэффициента отражения на входе линии.
Коэффициент отражения скользящего согласователя при постоянной частоте
представляется точкой зеленой окружности на рисунке 4.5.4, изменяющей свое положение при
смещении ферритового стержня. Три выбранные точки на зеленой окружности являются
достаточными для построения точки центра Г C. Центр соответствует истинному
характеристическому импедансу воздушной линии, измеренному анализатором цепей.
Значение этого импеданса может использоваться для целей калибровки, вместо импеданса
устройства, показанного на рисунке 4.5.3. Для наглядности, радиус зеленой окружности Г r на
рисунке 4.5.5 выбран более высоким, по сравнению с реальным значением при измерениях.

Рисунок 4.5.5- Увеличенная часть диаграммы Смита с построениями, необходимыми

для определения характеристического импеданса.

На практике вместо измерений на фиксированной частоте обычно применяется

частотное свипирование, то есть, качание частоты. В этом случае нет больше оснований для
измерения только трех позиций ферритового стержня. Если мы увеличиваем частоту, три точки
на рис. 4.5.5 перемещаются по периметру зеленой окружности. Частотные зависимости
положений трех точек не идентичны, и при свипировании точки перемещаются с разными
скоростями. На некоторых частотах две или три точки, догоняя одна другую, могут соединяться
в одну точку. Для построения центра, однако, необходимы, по крайней мере, три раздельные
точки, распределенные по окружности. Чтобы гарантировать требуемое раздельное положение
точек в частотном диапазоне, указанном для скользящего согласователя, при работе
используются шесть позиций скользящего согласователя. Аккуратно приближаться к каким-
либо конкретным позициям на диаграмме Смита нет необходимости. Вместо этого, в процессе

Изм. Лист № документа Подпись Дата Лист

ВКР-НГТУ-11.03.01-17-Р-07- 45
21-ПЗ
 калибровки рекомендуется ориентироваться на метки, нанесенные на скользящий
согласователь, он изброжен на рисунке 4.5.6.

Рисунок 4.5.6- Скользящая нагрузка и глубиномер для коаксиальных соединителей.

Скользящий согласователь не может быть использован на частотах ниже 2 ГГц. Однако

почти все известные техники калибровки могут быть выполнены, если использовать
комбинацию скользящего согласователя и фиксированного согласователя. С помощью такого
сочетания удается обойти ограничения частотного диапазона на низких частотах. На частотах
выше 8 ГГц скользящий согласователь является существенно болееточным, по сравнению с
обычным согласователем.
Проходной переход (кратко T, от англ. through) - это двух-портовое стандартизованное
устройство, которое позволяет осуществить прямое соединение двух измерительных портов с
низкими вносимыми потерями. Если использовать разъемы одного типа, но различного пола (то
есть, вилка и розетка), или же так называемые «бесполые» разъемы, можно напрямую
стыковать два измерительных порта, и реализовать проходное соединение. По определению, в
этом специальном случае должна быть обеспечена дополнительно вносимая длина линии 0 мм.
Если же используются разъемы одного типа и одинакового пола, то проходной переход будет
представлять собой маленький отрезок линии передачи, обеспечивающей удобное соединение
двух измерительных портов. В идеале это должен быть предельно короткий отрезок воздушной
линии без поддержки внутреннего проводника. На практике удобнее использовать отрезки
линий с зафиксированным внутренним проводником, который изображен на рисунке 4.5.6.

Изм. Лист № документа Подпись Дата Лист

ВКР-НГТУ-11.03.01-17-Р-07- 45
21-ПЗ
 Рисунок 4.5.6 - Схема проходного перехода.

Характеристический импеданс для этого соединения должен быть как можно лучше
согласованным с опорным импедансом измерительной системы. Главные характеристики
проходного перехода – это потери передачи и вносимая электрическая длина. В большинстве
принятых техник калибровки проходной переход предполагается идеально согласованным.
По внутреннему устройству, векторный анализатор цепей ZVB20 соответствует
принципу выполнения, проиллюстрированному на рисунке 4.1.1. Возбуждающая волна
измеряется до переключателя источника, независимо от направления измерения. Это означает,
что переключатель является частью измерительной установки, и, следовательно, модель
ошибки должна принимать во внимание переключатель. Для прямого и обратного направлений
передачи сигнала теперь необходимы две раздельных подмодели. На рисунке 5.5.7 и на рисунке
5.5.8, показаны подмодели для прямых и обратных измерений соответственно.

Рисунок 4.5.7 - Подмодель для прямых измерений.

Изм. Лист № документа Подпись Дата Лист

ВКР-НГТУ-11.03.01-17-Р-07- 45
21-ПЗ
 Рисунок 4.5.8 - Подмодель для обратных измерений.

В этой усложненной модели ошибок следует предположить, что воспроизводимость

характеристик переключателя источника является идеальной. Каждая подмодель имеет семь
параметров, они включает в себя два четырехполюсника ошибки, известных как G и H.. В
каждой подмодели следует предположить, что одна из величин e10, e01, e23, e32 или e'01, e'23, e'32,
e'10 равна 1. В последующем изложении, это будут величины e10 и e'23, что приводит к значениям
e10 или e'23 равным 1. Следовательно, обе подмодели вместе имеют 12 независимых параметров.
Опуская компоненты перекрестных помех eX, мы получаем 10-компонентную модель ошибки.
Соответствующие соотношения для прямой подмодели могут быть получены,
используя

матрицу SG и два дополнительных уравнения:

[ ] [ ]
bG 1
bG 2
a
=S G G 1 ,
aG2
(4.5.7)

b H 2=e 32 a H 1 , (4.5.8)

b H 1=e 22 , (4.5.9)

где SG =[ e 11 e 10
e 01 e 00].

Обратная подмодель описывается аналогично:

'
b G 2=e 01 a G 1 , (4.5.10)

Изм. Лист № документа Подпись Дата Лист

ВКР-НГТУ-11.03.01-17-Р-07- 45
21-ПЗ
 b G 1=e '11 aG 1 , (4.5.11)

[ ] [ ]
bH 1
bH 2
a
=S H H 1 ,
aH 2
(4.5.12)

[ ]
' '
e e 23
где S H = 22 .
e32 e '33
'

Можно предложить общую интерпретацию величин модели, согласно таблице 4.5.1.

Таблица 4.5.1-Интерпретация параметров 12-компонентной модели ошибки.
исходные системные данные прямое измерение обратное измерение
поправка на направленность e00 e'33
поправка на отражение e10e01 e'32e'23
согласование источника e11 e'22
поправка на прохождение e32e10 e'01e'23
согласование нагрузки e22 e'11

Для каждого измерительного порта используются раздельные параметры отражения e11,

e'11 или e22, e'22 для прямого и обратного измерений, а также для активного и пассивного
состояния.
Процесс калибровки, использующий одно-портовые стандарты в измерительном порту
1, или в измерительном порту 2, может быть описан в терминах эквивалентной нагрузки:

bG 2 e01 e10 Г ст
=e 00 + , (4.5.13)
aG 2 1−e 11 Г ст

' '
b H 2 ' e23 e 32 Г ст
=e + . (4.5.14)
a H 2 33 1−e '22 Г ст

Использование одно-портовых стандартов в измерительных портах ведет, таким

образом, к двум уравнениям, содержащим e или e' компоненты как неизвестные. Получение
поправок на прохождение (e32e10, e'01e'23) и оценка рассогласований (e22, e'11), возможны только
единственным способом, а именно – через измерения передачи сигнала. При прямой передаче
сигнала определяются измеренные величины bH2∕aG2 и bG2∕aG2. При обратной передаче сигнала
определяются измеренные величины bG2∕aH2 и bH2∕aH2. Соответствующие уравнения будут
содержать как e и e' компоненты ошибок, так и S-параметры проходного переходника из

Изм. Лист № документа Подпись Дата Лист

ВКР-НГТУ-11.03.01-17-Р-07- 45
21-ПЗ
 известных характеристических данных. Таким образом, измерения проходного переходника
приводят к четырем уравнениям, которые содержат e и e' компоненты ошибок в качестве
неизвестных величин.
Для определения десяти неизвестных компонентов ошибок (e00,e01… e'33) может быть
применена TOSM техника. Эта техника включает измерение одно-портовых стандартов
нагрузки ХХ (O), КЗ (S), и согласованной нагрузки (M) в обоих портах анализатора цепей.
Калибровка проводилась следующим образом: на векторном анализаторе цепей
выбирался режим калибровки, к каждому из выходов коаксиальных кабелей, которые
подключены к портам анализатора, по очереди подключались нагрузки эквивалентные
бесконечному сопротивлению и режиму короткого замыкания, согласованная нагрузка
подключалась одновременно к двум выходам, затем данные сохранялись, и калибровка
считалась выполненной.

Изм. Лист № документа Подпись Дата Лист

ВКР-НГТУ-11.03.01-17-Р-07- 45
21-ПЗ
 5 Измерение параметров управляющих устройств на pin-диодах

5.1 Измерение параметров переключателя в основании

Переключатель имеет три входа сигнала управления, одного выходное плечо и три
входных плеча. Выходное плечо состоит из микрополосковой линии, входные плечи стоят из
связанных микрополосковых линий, четырёх последовательно подключенных
микрополосковых линий, на входе которых, параллельно между собой подключены pin-диоды,
такое подключение диодов позводяет использовать данные переключатель на большой уровень
мощности, и конденсаторы. На входах сигнала управления подключена индуктивность и
шунтирующая емкость. Электрическая схема переключателя приведена на рисунке 5.1.1.

Рисунок 5.1.1 –Электрическая схема переключателя в основании

Благодаря последовательному подключению pin-диодов, данный переключатель можно

использовать при больших мощностях, индуктивности L2, L3, L4 предназначаются для
замыкания цепи управления диода по постоянному току. Блокировочные емкости Сб не должны
быть слишком большими, чтобы постоянная времени цепи оставалась достаточно малой.
Конденсаторы C2, C3, C4 осуществляют развязку соседних каскадов по току управления, должны
иметь малое сопротивление в заданном СВЧ-диапазоне, чтобы не препятствовать
распространению СВЧ-колебаний.

Изм. Лист № документа Подпись Дата Лист

ВКР-НГТУ-11.03.01-17-Р-07- 45
21-ПЗ
 Так как переключатель имеет несколько выходов, то иметься несколько вариантов
прохождения через него сигнала, открыт переход или закрыт зависит от тока, подаваемого на
входы сигнала управления, эти данные занесены в таблицу 5.1.1.
Таблица 5.1.1 – Состояние переходов.
Ток на Ток на Ток Состояние Состояние Состояние
УПРп1 УПРп2 УПРп3 перехода перехода перехода
Вх1-Вых Вх2-Вых Вх3-Вых
0 10 мА 10 мА открыт Закрыт закрыт
10 мА 0 10 мА закрыт Открыт закрыт
10 мА 10 мА 0 закрыт Закрыт открыт
10 мА 10 мА 10 мА закрыт Закрыт закрыт

Как видно на из таблицы если на каждый из выходов управляющего сигнала подать

ток, то все три перехода будут закрыты.
S параметры переключателя измерялись по методике описанной разделе 4. Ниже
приведены графики получившихся измерений.
На рисунке 5.1.2 приведены графики S-параметров при закрытом переходе Вх1-Вых.

Рисунок 5.1.2- Графики S-параметров при закрытом переходе.

Изм. Лист № документа Подпись Дата Лист
ВКР-НГТУ-11.03.01-17-Р-07- 45
21-ПЗ
 Из данных графиков, видно, что параметры S21 (коэффициент передачи падающий волны
от входа к выходу) и S12 (коэффициент передачи падающий волны от выхода к входу)
совпадают, из чего следует, что нагрузка на входе и выходе устройства имеет одинокое
сопротивление.
Параметр S11 при закрытом переходе примерно равен 0, на всём диапазоне измерений,
что говорит о то подаваемый сигнал полностью отразился от входа переключателя, и сигнал не
проходил во второй порт векторного анализатора цепей.
На рисунке 5.1.3 приведены графики S-параметров при открытом переходе Вх1-Вых.

Рисунок 5.1.3 - графики S-параметров при открытом переходе Вх1-Вых.

На данных графиках видно, что при открытом переходе, на частоте 10300 МГц
параметр S11 достигает своего максимального значения и равен минус 30 дБм, то есть, сигал почти
не отрежется на входе, на частое 10300 МГц параметр S22 так же имеет почти нулевое значение
— это значит, что сигнал не отрежется от выхода. Переведём параметр S11 из дБм а разы и
найдем значения КСВ на на данной частоте используя формулы (2.2.6) и (2.2.7):

−6
Г р =S 11 ,=10 ,
Изм. Лист № документа Подпись Дата Лист
ВКР-НГТУ-11.03.01-17-Р-07- 45
21-ПЗ
 КСВ=1+¿ Г р ∨ ¿ ¿
−6
¿ 1−Г р∨¿=1+¿ 10 ∨ ¿ ¿¿
−6
¿ 1−10 ∨¿=1 .¿
Согласно пункту 2.2 получившийся КСВ считается допустимым.

Изм. Лист № документа Подпись Дата Лист

ВКР-НГТУ-11.03.01-17-Р-07- 45
21-ПЗ
 4.2 Измерение параметров модулятора в основании переключателя

Модулятор имеет один вход сигнала управления, один вход и один выход. На
входе и выходе модулятора находиться связанные микрополосковые линий,
между которым располагаются три последовательно подключенных
микрополосковых линий, на входе которых, параллельно между собой
подключены pin-диоды. На входе сигнала управления подключена индуктивность
и параллельно ей микрополосковая линий. Электрическая схема переключателя
приведена в приложении 1.
S параметры модулятора измерялись по методике описанной в пункте 3.
Ниже приведены графики получившихся измерений. На рисунке 5.2.2 и
рисунке 5.2.3 приведены графики при закрытом и открытом переходе.

Рисунок 5.2.2- Графики S-параметров при закрытом переходе.

Из данных графиков можно сделать следующие вводы параметры S21
(коэффициент передачи падающий волны от входа к выходу) и S12 (коэффициент

Изм. Лист № документа Подпись Дата Лист

ВКР-НГТУ-11.03.01-17-Р-07- 45
21-ПЗ
 передачи падающий волны от выхода к входу) совпадают, значит нагрузка на
входе и выходе устройства имеет одинокое сопротивление. Параметр S11 при
закрытом переходе примерно равен 0, что говорит о то подаваемый сигнал
полностью отразился от входа модулятора, при открытом переходе вы видим, что
на частоте 4600 МГц параметр S11 начинается становиться меньше нуля, то есть
подаваемый сигнал перестаёт отражаться от входа модулятора, своё
максимальное значение параметр S11 приобретает при частоте 10300 МГц и
равен -37, что говорит о том, что сигал почти не отрежется на входе, на частое
10300 МГц параметр S22 равен -12,5 и это значит что примерно 23% сигнала
отрежется от выхода устройства.

Изм. Лист № документа Подпись Дата Лист

ВКР-НГТУ-11.03.01-17-Р-07- 45
21-ПЗ
 4.3 Измерение параметров модулятора на подложке

Модулятор имеет один вход сигнала управления, один вход и один выход. На
входе и выходе модулятора находиться конденсаторы, между которым
располагаются пять последовательно подключенных микрополосковых линий, на
выходе которых, параллельно между собой подключены pin-диоды. На входе
сигнала управления подключена шунтирующая емкость. Электрическая схема
переключателя приведена в приложении 1.
S параметры модулятора измерялись по методике описанной в пункте 3.
Ниже приведены графики получившихся измерений. На рисунке 4.3.2
приведены графики: а) при открытом переходе, в) при закрытом.

Рисунок 4.3.2- Графики S-параметров.

Из данных графиков можно сделать следующие вводы параметры S21 и S12
совпадают, то есть нагрузка на входе и выходе устройства имеет одинокое
сопротивление. Параметр S11 при закрытом переходе примерно равен 0, что
говорит о то подаваемый сигнал полностью отразился от входа модулятора, при
открытом переходе вы видим, что на частоте 6000 МГц параметр S11 начинается
становиться меньше нуля, то есть подаваемый сигнал перестаёт отражаться от
входа модулятора, своё максимальное значение параметр S11 приобретает при
частоте 12000 МГц и равен -37, что говорит о том, что сигал почти не отрежется

Изм. Лист № документа Подпись Дата Лист

ВКР-НГТУ-11.03.01-17-Р-07- 45
21-ПЗ
 на входе, на частое 10300 МГц параметр S22 равен -12 и это значит что примерно
25% сигнала отрежется от выхода устройства.

Изм. Лист № документа Подпись Дата Лист

ВКР-НГТУ-11.03.01-17-Р-07- 45
21-ПЗ