Е.А.Шахно
АНАЛИТИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ
РАСЧЕТА ЛАЗЕРНЫХ
МИКРО– И НАНОТЕХНОЛОГИЙ
Учебное пособие
Санкт–Петербург
2009
Шахно Е.А. Аналитические методы расчета лазерных микро– и нанотехноло-
гий. Учебное пособие – СПб: СПбГУ ИТМО, 2009. – 77 с.
©Е.А.Шахно, 2009
–3–
ОГЛАВЛЕНИЕ
ВВЕДЕНИЕ 4
ЛИТЕРАТУРА 68
ИНТЕГРИРОВАНИЕ ФУНКЦИЙ
Теоретические сведения
1. Неопределенный интеграл
∫ f ( x ) dx = F ( x ) + C . (1.2)
Для нахождения неопределенного интеграла функции пользуются табли-
цей интегралов.
2. Определенный интеграл
∫ f ( x ) dx = lim ∑ f ( x ) Δx ,
a
Δx →0
i =1
i i (1.3)
∫ f ( x ) dx = 0 ,
a
(1.4)
a b
∫ f ( x ) dx = − ∫ f ( x ) dx .
b a
(1.5)
∫ kf ( x ) dx = k ∫ f ( x ) dx ,
a a
(1.7)
b b b
∫ ⎡⎣ f ( x ) + ϕ ( x )⎤⎦ dx = ∫ f ( x ) dx + ∫ ϕ ( x ) dx ,
a a a
(1.8)
b c c
∫ f ( x ) dx + ∫ f ( x ) dx = ∫ f ( x ) dx ,
a b a
(1.9)
b β
∫ f ( x ) dx = α∫ f ( x ( t ) ) x′dt , где x (α ) = a, x ( β ) = b ,
a
t (1.10)
b b
∫ f ( x )ϕ ′ ( x ) dx = f ( x )ϕ ( x ) − ∫ f ′ ( x )ϕ ( x ) dx .
b
a
(1.11)
a a
3. Несобственные интегралы
∫ f ( x, y )dS = lim ∑ f ( x , y ) ΔS
G
ΔSi →0
i =1
i i i . (1.12)
а б
Рис. 1.4. Декартовая (а) и полярная (б) системы координат.
Задача 1
Определить энергию импульса лазерного излучения, если мощность его
зависит от времени следующим образом: P ( t ) = P0 ln ( kt + 1) , P0 = 108 Вт,
k = 108 1/с, длительность импульса τ = 10−8 с.
Задача 2
Определить зависимость от времени температуры тонкой пластины, нагре-
ваемой излучением равномерно по объему, если мощность излучения зависит от
времени P = P ( t ) , коэффициент отражения пластины R, а начальная температура
пластины Tн .
Решение
Известно, что увеличение температуры тела на величину ΔT требует за-
траты энергии ΔEпогл = cmΔT , где m – масса тела, с – его теплоемкость.
Перейдем к бесконечно малым приращениям: dEпогл = cmdT . Отсюда
dT = dE / cm . Энергия и мощность связаны между собой соотношением:
dE = Pпогл dt , где Pпогл = P (1 − R ) – поглощенная мощность. Таким образом:
dT = Pпогл dt / cm = = ( (1 − R ) P / cm ) dt .
Температуру пленки находим, интегрируя последнее выражение:
T t
(1− R) P t
(1 − R ) P dt + T . Если P = const , то
∫ dT = ∫0 cm dt . Отсюда T ( t ) = ∫0 cm н
Tн
1− R
T= Pt + Tн .
cm
– 10 –
Задача 3
Определить мощность излучения, падающего на поверхность, если облучен-
ная область имеет вид круга радиуса r0 и плотность мощности излучения в ней
распределена по закону q = q ( ρ ,ϕ ) , где ρ , ϕ – полярные координаты в плоско-
сти поверхности.
Решение
Мощность излучения, падающего на поверхность, есть интеграл плотности
мощности излучения по данной поверхности (в данном случае – по кругу), т.е.
r0 2π
P = ∫ qdS = ∫ ∫ q ( ρ ,ϕ ) ρ d ρ dϕ .
S0 0 0
⎛π t ⎞
1.3. P = P0 cos ⎜ ⎟.
⎝ 2τ ⎠
Определить зависимость от времени средней температуры пластины, нагре-
ваемой импульсом лазерного излучения, если коэффициент отражения поверх-
ности R , а мощность излучения, падающего на пластину, изменяется во време-
ни по закону ( k , P0 ,τ ,α , B = const ) (1.6 -1.10):
1.6. P = k (τ − t ) . 1.9. P = P0e −α t .
1.7. P = kt 2 . 1.10. P = Bt 2 (τ − t ) .
⎛π t ⎞
1.8. P = P0 sin ⎜ ⎟.
⎝2τ ⎠
– 11 –
Определить, используя полярную систему координат, мощность излучения,
падающего на поверхность, если облученная область имеет вид круга радиуса r0 и
плотность мощности в ней распределена по закону (1.11-1.15):
⎧q ⇐ 0 ≤ ϕ ≤ π
1.11. q = q0 . 1.14. q = ⎨ 0
⎩0 ⇐ π ≤ ϕ ≤ π .
⎧ q0 ⇐ 0 ≤ ϕ ≤ π
⎛ ρ2 ⎞ ⎪
1.12. q = q0 ⎜1 − 2 ⎟ . 1.15. q = ⎨ q0
⎝ r0 ⎠ ⎪⎩ 2 ⇐ π ≤ ϕ ≤ π .
⎛π ρ ⎞
1.13. q = q0 cos ⎜ ⎟.
2
⎝ 0⎠ r
– 12 –
РАЗДЕЛ 2
Теоретические сведения
а б
Рис.2.1. Возрастающая (а) и убывающая (б) функции.
Рис.2.2. Функция y = x3 .
2. Экстремумы функции
а б в
Задача 1
На стеклянной подложке нанесена тонкая металлическая пленка. Пучок ла-
зерного излучения фокусируется на поверхности пленки, нагревая и расплавляя
ее в очень маленькой (микронной) области. Под действием лазерного излучения в
расплавленной области пленки образуется микроскопическое отверстие (см. рис.
2.4.). На поверхности действуют силы поверхностного натяжения. Свободная
энергия поверхностей раздела сред 0, 1, 2 (воздух, пленка, подложка) на единицу
площади поверхности: δ12 , δ10 , δ 20 . Определить, что произойдет с этим отверсти-
ем после его возникновения.
Решение
Для того чтобы определить, будет отверстие увеличиваться или уменьшаться,
необходимо определить изменение энергии системы в зависимости от радиуса от-
верстия. Любая система будет стремиться к такому состоянию, при котором ее
энергия наименьшая. Определим величину ΔE , на которую изменилась поверх-
ностная энергия системы пленка - подложка после образования в ней отверстия
радиуса r. Суммируя свободную энергию по образовавшимся (или ликвидиро-
вавшимся) при получении отверстия поверхностям, получим:
ΔE = S Бδ10 + S H δ 20 − S Bδ10 − S Н δ12 .
Здесь S Б = 2π rh, S H = S B = π r 2 . Подставив значения S Б , S H , S B в выраже-
ние для ΔE , получим:
ΔE = 2π rhδ10 − π r 2 (δ10 + δ12 − δ 20 ) .
Для исследования функции ΔE ( r ) найдем ее производную:
dE / dr = 2π hδ10 − 2π r (δ10 + δ12 − δ 20 ) .
Определим критические точки:
dE / dr = 0 при r = rкр = hδ10 / (δ10 + δ12 − δ 20 ) .
– 16 –
Определим знак второй производной функции ΔE ( r ) в точке rкр :
d 2 E / dr 2 = −2π (δ10 + δ12 − δ 20 ) < 0 , т.к. величина δ10 + δ12 − δ 20 > 0 представляет
собой поверхностное натяжение пленки на подложке. Таким образом, rкр – точка
максимума. График функции ΔE ( r ) приведен на рис. 2.5.
Задача 2
На поверхности пластины происходит осаждение вещества из пара (напри-
мер, при лазерном осаждении пленки). Молекулы (атомы) пара соединяются друг
с другом, образуя зародыши будущей пленки, так называемые кластеры. В зави-
симости от энергии кластера, он стремится распасться или расти, образуя пленку.
Размер кластера определяет зернистость будущей пленки. Определить наимень-
ший размер образующихся кластеров.
Решение
При образовании кластера из частиц пара происходит изменение энергии
системы кластер - подложка на величину (см. рис. 2.6)
ΔE = S10δ10 + S12δ12 − S12δ 20 − VG,
где V – объем кластера, G – удельная энергия объемообразования (определяет
связь частиц в кластере). Остальные обозначения как в предыдущей задаче.
Значения S10 , S12 и V зависят от геометрической формы и размеров кластера.
Форма кластера определяется физическими свойствами материалов подложки и
наносимой пленки. В общем случае (для произвольной формы кластера)
S10 = a1r 2 , S 20 = a2 r 2 , V = a3r 3 , где a1 , a2 , a3 — коэффициенты, зависящие от фор-
мы кластера, Таким образом:
ΔE = a1r 2δ10 + a2 r 2 (δ12 − δ 20 ) − a3r 3G .
– 17 –
Задача 3
Температура нагретого тела после его облучения лазерным импульсом, в ре-
зультате остывания при теплоотводе, падает как T1 = T01 (1 − t t0 ) , где t = 0 – мо-
мент окончания импульса, нагревающего тело. В момент t = tи включается новый
импульс, который дает дополнительное изменение температуры тела
T2 = T02 ⎡⎣exp (α ( t − tи ) ) − 1⎤⎦ . Определить, как будет изменяться температура во
время действия второго импульса.
– 18 –
Решение
После начала действия второго импульса температура тела Т равна (см. рис.
2.7): T = T1 + T2 = T01 (1 − t t0 ) + T02 ⎡⎣exp (α ( t − tи ) ) − 1⎤⎦ . Для исследования функции
T ( t ) определим ее производную по времени:
Tt′ = − T01 t0 + T02α exp (α ( t − tи ) ) .
Найдем критические точки. Tt′ = 0 при T01 t0 = T02α exp (α ( t − tи ) ) . Отсюда:
1 T01
tкр = tи + ln .
α T02α t0
( )
2.11. T1 = A 1 − t , T2 = B ( t − tи ) .
2.12. T = A (1 − t ) , T
1 2 = B ( t 2 − tи 2 ) .
– 20 –
РАЗДЕЛ 3
Теоретические сведения
erfc z = 1 − ∑
π n=0 n!( 2n + 1)
. (3.7)
∞
ierfc z = ∫ erfc tdt ,
z
∞
i 2erfc z = ∫ ierfc tdt , (3.10)
z
………………………………………
– 22 –
∞
i erfc z = ∫ i n-1erfc tdt .
n
z
2 2
По определению принимается: i 0erfc z = erfc z , i -1erfcz = e− z .
π
Графики кратных интегралов вероятностей выглядят следующим обра-
зом:
Значения в нуле:
1
i n erfc0 = , (3.11)
Γ ( ( n 2 ) + 1)
где Γ ( ( n 2 ) + 1) – гамма-функция. В частности, i erfc0 = 1 π ,
i 2 erfc0 = 1 4 .
Значения на бесконечности: i n erfc z → 0 .
Рекуррентные соотношения позволяют выразить кратные интегралы
n
i erfc z друг через друга, понижая значение п. Для п =1 и п=2:
1 − z2
i erfc z = e − z erfc z , (3.12)
π
– 23 –
1 1⎡ 2 2 ⎤
i 2 erfc z = ( erfc z − 2 z i erfc z ) = ⎢(1 + 2 z 2 ) erfc z − ze− z ⎥ .
4 4⎣ π ⎦
(3.13)
Для произвольных значений п рекуррентные соотношения можно
найти в справочнике [8].
Производные:
d n
i erfc z = − i n −1 erfc z , n = 0, 1, 2,... (3.14)
dz
Интегралы вероятностей присутствуют во многих выражениях, являю-
щихся решениями теплофизических задач нагревания вещества лазерным из-
лучением, например в следующих.
1. На поверхность металла или другого сильно поглощающего материа-
ла падает пучок лазерного излучения. Радиус облученной области достаточно
велик: r0 aτ (где а – температуропроводность материала, τ – время воз-
действия излучения). Плотность мощности падающего излучения q0 постоян-
на во времени и по сечению пучка. При этом распределение температуры по
глубине материала имеет вид:
2q A at y
T= 0 ierfc , (3.15)
k 2 at
где А – поглощательная способность материала, k – его теплопроводность,
t – время от начала воздействия, ось у направлена от поверхности вглубь мате-
риала. Здесь и везде дальше температуру отсчитываем от начального значе-
ния. Заметим, что представление о достаточно большом размере облученной
области ( r0 aτ ) имеет относительный характер, в частности, для импуль-
сов наносекундной длительности размер облученной области r0 > 1 мкм явля-
ется достаточно большим.
2. Та же ситуация, что и в примере 1, но радиус облученной области r0
может быть любой, в том числе достаточно малый. Температура на поверх-
ности в центре облученной области:
2q0 A at ⎛ 1 r0 ⎞
T= ⎜ − ierfc ⎟. (3.16)
k ⎝ π 2 at ⎠
3. Пучок лазерного излучения падает на поверхность тонкой металличе-
ской пленки, находящейся на прозрачной диэлектрической подложке. Плот-
ность мощности излучения постоянна во времени и по сечению пучка. Облу-
ченная область имеет форму круга, причем его радиус r0 aτ . Время воз-
действия излучения τ < 10−7 с. Распределение температуры в пленке имеет
вид:
– 24 –
⎧2 r − r0
i erfc при r ≥ r0
2q0 At ⎪⎪ 2 at
T= ⎨
ρ ch ⎪ 1 2 r −r . (3.17)
− i erfc 0 при r ≤ r0
⎪⎩ 2 2 at
Задача 1
На поверхности обрабатываемого материала с помощью цилиндриче-
ской линзы освещена полоса. Распределение плотности мощности в на-
правлении поперек полосы гауссово – определяется зависимостью
q = q0 exp ( − ax 2 ) . Определить, какая часть всей мощности заключена в области
⎡− 1 ≤ x ≤ 1 ⎤⎥ .
⎢⎣ a a⎦
Решение
Найдем полную мощность излучения:
∞ ∞
PΣ = ∫ qldx = q l ∫ exp ( −ax ) dx ,
2
0
−∞ −∞
где l — длина полосы. Подынтегральная функция четная, поэтому:
∞
PΣ = 2q0l ∫ exp ( − ax 2 ) dx .
0
q0l π ql π
Делая замену переменной z = x a , получим: PΣ = erfc0 = 0 .
a a
– 25 –
Найдем мощность излучения, заключенную в области
⎡− 1 ≤ x ≤ 1 ⎤⎥ :
⎢⎣ a a⎦
1 1
a a
P1 = ∫ qldx = 2q0l ∫ exp ( −ax 2 ) dx .
a
−1 0
a
ql π 2 q0l π
1 1
2q l
P1 = 0 ∫ e − z dz = 0 erf (1) .
π ∫0
2
− z2
e dz =
a a 0 a a
Определим, какая часть всей мощности заключена в области
⎡− 1 ≤ x ≤ 1 ⎤⎥ :
⎢⎣ a a⎦
P1
a
= erf (1) ≈ 0,84.
PΣ
Задача 2
Пучок лазерного излучения падает на поверхность твердого тела. Плот-
ность мощности излучения постоянна во времени и по облучаемой поверхно-
сти. Размер облученной области r0 aτ . Длительность импульса излучения
τ = 10−4 с, температуропроводность материала a = 10−4 м 2 с . Определить глу-
бину, на которой температура тела составляет 0,9 от значения температуры
на его поверхности в момент окончания импульса.
Решение
Температуру на поверхности и внутри тела определим из выраже-
ния (3.15). Температура на поверхности:
2q A aτ 1
Tпов = 0 .
k π
Температура на глубине у:
2q A aτ y
T ( y) = 0 ierfc .
k 2 at
Отношение температуры на глубине у к температуре на поверхности
материала:
2q0 A aτ y
ierfc
T ( y) k 2 at = π ierfc y .
=
Tпов 2q0 A aτ 1 2 at
k π
T ( y) y 0,9
По условию = 0,9 , т.е. ierfc = ≈ 0,508 .
Tпов 2 at π
– 26 –
По таблице функции ierfc z (например [8]) определяем значение аргумента
z, для которого ierfc z = 0,508: z ≈ 0,1 . Подставляя выражение для аргумента, в
нашем случае z = y 2 aτ , находим:
y ≈ 0,1 ⋅ 2 aτ = 0,2 ⋅ 10−4 м = 20мкм .
– 27 –
Задача 3
Те же условия, что и в задаче 2. Выразить через элементарные функции
зависимость температуры от координаты у для малых значений у (вблизи по-
верхности) y aτ .
Решение
Воспользуемся рекуррентной формулой (3.12) и разложением функции
erfc z в ряд для малых значений аргумента:
2
erfc z ≈ 1 − z.
π
1 2 1 2 2
Отсюда: i erfc z = e − z − z erfc z ≈ e− z − z + z2 .
π π π
Подставим полученное выражение в формулу для определения
температуры (3.15), считая z = y 2 aτ :
2q0 A aτ ⎡ 1 ⎛ y2 ⎞ y y2 ⎤
Tпов = ⎢ exp ⎜ − ⎟− + ⎥. (3.19)
k ⎣ π ⎝ 4 a τ ⎠ 2 aτ 2 π aτ ⎦
Если требуется выразить температуру в виде степенного ряда, нужно раз-
ложить экспоненту в ряд и ограничиться членом той же степени, что и в раз-
ложении интеграла вероятности.
Разложение функции в ряд Маклорена:
x 2 f ′′ ( 0 ) xn f ( ) ( 0)
n
f ( x ) = f ( 0 ) + xf ′ ( 0 ) + + ... + + ... .
2! n!
y2
В нашем случае f ( x ) = e , x = . −x
4aτ
⎛ y2 ⎞ y2
Следовательно, exp ⎜ − ⎟ = 1 − x + ... ≈ 1 − .
⎝ 4aτ ⎠ 4aτ
Полученное выражение подставляем в (3.19).
Теоретические сведения
Задача 1
Найти общее решение линейного дифференциального уравнения
y′′ + 8 y′ − 9 y = 0.
Решение
Характеристическое уравнение: λ 2 + 8λ − 9 = 0.
Корни характеристического уравнения: λ1 = 1 , λ2 = −9 .
Корни различные вещественные, поэтому общее решение однородно-
го уравнения имеет вид (а): y0 = C1e x + C2e −9 x .
– 33 –
Задача 2
Найти общее решение линейного дифференциального уравнения
y′′ + 2 y′ + 10 y = 0.
Решение
Характеристическое уравнение: λ 2 + 2λ + 10 = 0.
Корни характеристического уравнения: λ1,2 = −1 ± 1 − 10 = −1 ± 3i .
Корни комплексно-сопряженные, поэтому общее решение однородного
уравнения имеет вид (б): y0 = e− x ( C1 cos3x + C2 sin 3x ) .
Задача 3
Найти общее решение линейного дифференциального уравнения
y + 2 y′ + y = 0.
′′
Решение
Характеристическое уравнение: λ 2 + 2λ + 1 = 0.
Корни характеристического уравнения: λ1,2 = −1 .
Корень один, вещественный двукратный, поэтому общее решение одно-
родного уравнения имеет вид (в): y0 = C1e − x + C2 xe − x .
Задача 4
Найти общее решение линейного дифференциального уравнения
y′′ − y = x 2 + x.
Решение
Однородное уравнение, соответствующее данному неоднородному:
y′′ − y = 0. Характеристическое уравнение: λ 2 − 1 = 0.
Корни характеристического уравнения: λ1,2 = ±1 .
Корни различные вещественные, поэтому общее решение однородного
уравнения имеет вид: y0 = C1e x + C2e − x .
Ищем частное решение неоднородного уравнения. Его правая часть име-
ет специальный вид (а), поэтому частное решение ищем в виде: yч = Qn ( x ) x k .
Многочлен в правой части неоднородного уравнения второй степени,
поэтому n = 2. Корни характеристического уравнения ненулевые, поэтому
k = 0 . Получаем yч = b2 x 2 + b1 x + b0 . Постоянные b0 , b1 , b2 находим, подставляя
в неоднородное дифференциальное уравнение функцию yч и ее вторую произ-
водную yч = 2b2 : 2b2 − b2 x 2 − b1 x − b0 = x 2 + x .
Приравнивая коэффициенты при равных степенях x, находим: b2 = −1 ,
b1 = −1 , 2b2 − b0 = 0 , откуда b0 = 2b2 = −2 .
Таким образом, частное решение неоднородного уравнения:
yч = − x − x − 2 .
2
Задача 5
Найти общее решение линейного дифференциального уравнения
y′′ + y = e x .
Решение
Однородное уравнение, соответствующее данному неоднородному:
y′′ + y = 0. Характеристическое уравнение: λ 2 + 1 = 0.
Корни характеристического уравнения: λ1,2 = ±i .
Корни комплексно-сопряженные, поэтому общее решение однородного
уравнения имеет вид: y0 = C1 cos x + C2 sin x .
Ищем частное решение неоднородного уравнения. Его правая часть име-
ет специальный вид (б), поэтому частное решение ищем в виде:
yч = Qn ( x ) e x x k .
Многочлен в правой части неоднородного уравнения нулевой степени,
поэтому n =0. Среди корней характеристического уравнения нет равного 1,
поэтому k = 0. Получаем yч = be x . Постоянную b находим, подставляя в неод-
нородное дифференциальное уравнение функцию yч и ее вторую производ-
ную yч = be x : be x + be x = e x .
Отсюда находим: b = 1 2 . Таким образом, частное решение неоднород-
1
ного уравнения: yч = e x .
2
1
Общее решение: y = C1 cos x + C2 sin x + e x .
2
Задача 6
Найти общее решение линейного дифференциального уравнения
y + y′ + y = −13sin 2 x.
′′
Решение
Однородное уравнение, соответствующее данному неоднородному:
y′′ + y′ + y = 0 .
Характеристическое уравнение: λ 2 + λ + 1 = 0.
1 3
Корни характеристического уравнения: λ1,2 = − ± i .
2 2
Корни комплексно - сопряженные, поэтому общее решение однородного
⎛ 3 3 ⎞
уравнения имеет вид (б): y0 = e − x 2 ⎜ C1 cos x + C2 sin x⎟.
⎝ 2 2 ⎠
Ищем частное решение неоднородного уравнения. Его правая часть име-
ет специальный вид (в), поэтому частное решение ищем в виде:
yч = [Qn cos 2 x + Rn sin 2 x ] e gx x k .
– 35 –
Многочлен в правой части неоднородного уравнения нулевой степени,
поэтому n =0. Коэффициент при показателе экспоненты g=0. Среди корней
характеристического уравнения нет равного g + iγ = 2i , поэтому k=0. Получа-
ем yч = b1 cos 2 x + b2 sin 2 x .
Постоянные b1 и b2 находим, подставляя в неоднородное дифференци-
альное уравнение yч и его производные yч′ = −2b1 sin 2 x + 2b2 cos 2 x и
yч′′ = −4b1 cos 2 x − 4b2 sin 2 x .
Приравнивая коэффициенты членов, содержащих sin 2x и cos 2x , нахо-
дим:
⎧−4b1 + 2b2 + b1 = 0
⎨
⎩−4b2 − 2b1 + b2 = −13.
Откуда b1 = 2 , b2 = 3 . Таким образом, частное решение неоднородного
уравнения: yч = 2cos 2 x + 3sin 2 x .
⎛ 3 3 ⎞
Общее решение: y = e − x 2 ⎜ C1 cos x + C2 sin x ⎟ + 2cos 2 x + 3sin 2 x .
⎝ 2 2 ⎠
УРАВНЕНИЕ ТЕПЛОПРОВОДНОСТИ.
ПОСТАНОВКА КРАЕВОЙ ЗАДАЧИ
Теоретические сведения
2. Длина теплопроводности
Примеры:
а) нагревание фольги источником в виде длинной полосы;
б) нагревание детали больших размеров по всей ее плоской поверхности
(тепловой поток идет по нормали к поверхности). Такой режим теплопроводно-
сти реализуется также в области, находящейся вблизи центра облученной облас-
ти и поверхности облучаемого тела, если размер облученной области r0 aτ .
В центральной области тепловые потоки направлены от поверхности и задача
теплопроводности может быть поставлена как плоская, в одномерном виде. За-
метим, что радиус r0 при этом велик лишь относительно – он составляет не-
сколько микрометров или миллиметров, в зависимости от длительности воздейст-
вия.
4) Равномерное нагревание тела, тепловые потоки отсутствуют. Уравнение
теплопроводности при этом переходит в обыкновенное дифференциальное уравне-
ние:
dT Q ( t )
= . (5.8)
dt ρc
5. Источник
Задача 1
Облученная область на поверхности тела представляет собой круг радиуса
r0 . Написать упрощенное дифференциальное уравнение, граничные и началь-
ные условия для вычисления температуры в центре круга. Размеры тела:
lx , l y aτ , толщина тела h aτ , r0 aτ , δ aτ .
Решение
Проанализируем условия задачи:
1) δ aτ – источник поверхностный;
2) lx , l y aτ – можно считать, что размеры тела бесконечны;
3) h aτ – можно считать, что толщина тела h бесконечна;
4) r0 aτ – тепловые потоки вблизи центра облученной области направ-
лены перпендикулярно поверхности. Следовательно, уравнение теплопроводно-
сти одномерное. Таким образом
∂T ∂ 2T
− a 2 = 0,
∂t ∂z
⎛ ∂T ⎞ ∂T
T t =0 = 0 , −k ⎜ ⎟ = q0 (1 − R ) , = 0.
⎝ ∂z ⎠ z =0 ∂z z =∞
Задача 2
Облученная область на поверхности тела представляет собой круг радиуса
r0 . Написать упрощенное дифференциальное уравнение, граничные и началь-
ные условия для вычисления температуры в центре круга. Размеры тела:
lx , l y aτ , толщина тела h aτ , r0 aτ , δ aτ .
Решение
Проанализируем условия задачи:
1) δ aτ – источник объемный;
2) lx , l y aτ – можно считать, что размеры тела lx , l y бесконечны;
3) h aτ – толщину тела нужно считать конечной;
– 45 –
4) r0 aτ – тепловые потоки вблизи центра облученной области направ-
лены перпендикулярно поверхности. Следовательно, уравнение теплопроводно-
сти одномерное. Таким образом
∂ 2T q0 (1 − R )α e
−α z
∂T
−a 2 = ,
∂t ∂z ρc
∂T ∂T
T t =0 = 0 , = 0, = 0.
∂z z =0 ∂z z =h
Задача 3
Производится облучение тела в форме прямоугольного параллелепипеда с
размерами lx , l y , h . Облученная область расположена посредине его верхней
грани и имеет вид прямоугольника со сторонами 2b1 и 2b2 , lx , l y aτ , h aτ ,
δ aτ . Написать уравнение теплопроводности, начальное и граничные усло-
вия.
Решение
Проанализируем условия задачи:
1) δ aτ – источник поверхностный;
2) lx , l y , h aτ – конечность размеров тела необходимо учитывать;
3) относительно размеров облученной области информации нет, следователь-
но, задача трехмерная. Таким образом
∂T ⎛ ∂ 2T ∂ 2T ∂ 2T ⎞
− a⎜ 2 + 2 + 2 ⎟ = 0 ,
∂t ⎝ ∂x ∂y ∂z ⎠
∂T ∂T ∂T ∂T
T t =0 = 0 , = 0, = 0, = 0, = 0,
∂x x=
lx ∂x x =−
lx ∂y y=
ly ∂y y =−
ly
2 2 2 2
∂T
= 0,
∂z z =h
⎛ ∂T ⎞ ⎧q0 (1 − R ) при x ≤ b1 и y ≤ b2 ,
−k ⎜ ⎟ =⎨
⎝ ∂z ⎠ z =0 ⎩0 во всех остальных случаях.
Задача 4
Облученная область на поверхности тела имеет вид круга радиуса r0 . У
поверхности облученной области происходит фазовый переход (плавление) с
удельной энергией L и скоростью V. Предполагается, что перемещение границы
фазового перехода незначительно и его можно не учитывать, а параметры мате-
риала неизменны. lx , l y aτ , h aτ , δ aτ . Написать уравнение тепло-
проводности.
– 46 –
Решение
Проанализируем условия задачи:
1) δ aτ – поглощение поверхностное;
2) lx , l y aτ – можно считать, что размеры тела lx , l y бесконечны;
3) h aτ – толщину тела необходимо учитывать;
4) относительно r0 информации нет, следовательно, задача трехмерная;
5) сток энергии на поверхности z = 0 в облученной области. Таким образом
∂T ⎡ 1 ∂ ⎛ ∂T ⎞ ∂ 2T ⎤
−a⎢ ⎜r ⎟+ 2 ⎥ = 0,
∂t ⎣ r ∂r ⎝ ∂r ⎠ ∂z ⎦
∂T ∂T ∂T
T t =0 = 0 , = 0, = 0, = 0,
∂r r =0 ∂r r =∞ ∂z z =h
⎛ ∂T ⎞ ⎧⎪q0 (1 − R ) -ρ VL при r ≤ r0 ,
−k ⎜ ⎟ = ⎨
⎝ ∂z ⎠ z =0 ⎪⎩0 при r > r0 .
Задача 5
Производится сканирование поверхности тонкой стеклокерамической пла-
стины достаточно больших размеров пучком лазерного излучения. Облученная
область имеет вид узкой длинной полосы длиной L, направление сканирования
– перпендикулярно длинной стороне. Определить распределение температуры в
квазистационарном режиме нагревания при наличии теплоотвода в окружаю-
щую среду с обеих сторон пластины (см. рис.5.2).
Решение
Проанализируем условия задачи:
1) пластина тонкая, следовательно распределение температуры по толщине
пластины можно считать равномерным;
2) размеры пластины будем считать бесконечными;
3) источник движущийся, следовательно целесообразно использовать
подвижную систему координат;
4) облученная область имеет вид узкой длинной полосы, поэтому будем
считать источник линейным;
5) задача одномерная;
6) сток энергии происходит вследствие теплоотвода в окружающую среду.
Уравнение теплопроводности в подвижной системе координат (5.13) для од-
номерного случая имеет вид:
– 47 –
∂ 2T V ∂T Q ( χ )
+ + =0,
∂χ 2 a ∂χ k
2γ T
где χ = x − Vt , а сток тепла определяется выражением (5.10) Q = − .
h
Значение температуры Т отсчитываем от начальной температуры, равной тем-
пературе среды Tc . Таким образом, уравнение теплопроводности имеет вид:
∂ 2T V ∂T 2γ
+ − T = 0.
∂χ 2 a ∂χ kh
(5.15)
Это обыкновенное линейное однородное уравнение 2-го порядка. Решение
Vχ
−
его ищем в виде: T = e 2a
f ( χ ) . Продифференцируем это выражение:
Vχ
dT − ⎛ ′ V ⎞ dT V −V2 χa ⎛
2
V ⎞ −V2 χa ⎛ V ⎞
=e ⎜ f −
2a
f ⎟, 2 = − e ⎜ f ′− f ⎟ + e ⎜ f ′′ − f ′⎟ .
dχ ⎝ 2a ⎠ d χ 2a ⎝ 2a ⎠ ⎝ 2a ⎠
Подставив полученные выражение в дифференциальное уравнение (5.15)
получим дифференциальное уравнение с постоянными коэффициентами для
функции f ( χ ) :
f ′′ − n 2 f = 0 ,
2
⎛ V ⎞ 2γ
где n = ⎜ ⎟ + . Решение этого уравнения (см. раздел 4):
⎝ 2a ⎠ kh
f = Be nχ + De − nχ , где B и D – постоянные. Таким образом, температура пластины:
⎛ V ⎞ ⎛ V ⎞
⎜ n− ⎟ χ −⎜ n + ⎟ χ
T = Be⎝ 2a ⎠
+ De ⎝ 2a ⎠
. Для того, чтобы определить постоянные B и D рассмот-
рим температуру Т отдельно в областях перед движущимся источником (об-
ласть 1, T = T1 ) и за ним (область 2, T = T2 ):
⎛ V ⎞ ⎛ V ⎞
⎜ n− ⎟ χ −⎜ n + ⎟ χ
T1 = B1e ⎝ 2a ⎠
+ D1e ⎝ 2a ⎠
для χ > 0
⎛ V ⎞ ⎛ V ⎞
⎜ n− ⎟ χ −⎜ n + ⎟ χ
T2 = B2e + D2e
⎝ 2a ⎠
для χ < 0 .
⎝ 2a ⎠
dT2
ником): P2 = −k ⋅ S , где S = Lh - площадь сечения пластины в области
d ( − χ ) χ =0
действия источника. При этом P1 + P2 = P = P0 A . Подставив значения производных
⎛ V ⎞ ⎛ V ⎞
от температур T1 и T2 (5.16), получим: P1 = kS ⎜ n + ⎟ C , P2 = kS ⎜ n − ⎟ C ,
⎝ 2a ⎠ ⎝ 2a ⎠
P
P = 2nkSC . Отсюда C = и решение задачи имеет вид:
2nkS
⎛ V ⎞ ⎛ V ⎞
P0 A −⎜⎝ n+ 2 a ⎟⎠ χ P0 A ⎜⎝ n− 2 a ⎟⎠ χ
T1 = e , T1 = e ,
2nkLh 2nkLh
2
⎛ V ⎞ 2γ
где χ = x − Vt , n = ⎜ ⎟ + .
⎝ 2a ⎠ kh
Теоретические сведения
∫ exp ( − x t ) f ( t ) dt
0
0 (6.2)
Оригинал Изображение
1. Свойство линейности
af1 ( t ) + bf 2 ( t ) ………………………………………………… aF1 ( s ) + bF2 ( s )
2. Теорема подобия
1 ⎛s⎞
f ( ct ) , ( c>0 ) …………………………………………….….. F ⎜ ⎟
c ⎝c⎠
3. Теорема запаздывания
f ( t − c ) , ( c>0 ) ……………………………………………… exp ( −cs ) F ( s )
4. Теорема смещения
exp ( at ) f ( t ) ………………………………………..…………. F ( s − a )
5. Дифференцирование оригинала
f ′ ( t ) …………………………………………………...……… sF ( s ) − f ( +0 )
6. Интегрирование оригинала
t
1
∫0 f (θ ) dθ ……………………..……………………………….. F (s)
s
7. Теорема о свертке
t
f1 ∗ f 2 = ∫ f1 ( t − θ ) f 2 (θ ) dθ ………………………..…………. F1 ( s ) F2 ( s )
0
8. Дифференцирование изображения
−tf ( t ) …………………………………..……………….…….. F ′ ( s )
9. Интегрирование изображения
∞
1
f ( t ) …………………………………………………….……. ∫ F ( y ) dy
t s
Задача 1
Определить зависимость температуры полубесконечного сильно погло-
щающего тела от времени и координаты при его лазерном нагреве, если плот-
ность мощности излучения постоянна во времени и постоянна по поверхности
тела.
Решение
Уравнение теплопроводности для этого случая (см. раздел 5):
∂T ∂ 2T
− a 2 = 0. (6.4)
∂t ∂x
⎛ ∂T ⎞ ∂T
Граничные условия: − k ⎜ ⎟ = q0 (1 − R ) , = 0.
⎝ ∂x ⎠ x =0 ∂ x x =∞
L ⎜ ⎟ = sT , L ⎜ ⎟ = , L ⎜ 2 ⎟ = 2 , L ( q0 (1 − R ) ) = 0 (
⎛ ∂T ⎞ ⎛ ∂T ⎞ ∂T ⎛ ∂ 2T ⎞ ∂ 2T q 1− R)
(т.к. еди-
⎝ ∂t ⎠ ⎝ ∂x ⎠ ∂x ⎝ ∂ x ⎠ ∂ x s
ничной функции в пространстве изображений Лапласа соответствует функция
1 s ). Таким образом, изображение уравнения (6.4) по Лапласу имеет вид:
∂ 2T
sT − a =0. (6.5)
∂x 2
⎛ ∂T ⎞ q (1 − R ) ∂T
Граничные условия: − k ⎜ ⎟ = 0 , = 0.
⎝ ∂x ⎠ x =0 s ∂xx =∞
Дополнение
Теоретические сведения
Примеры:
а) Источник представляет собой область на поверхности полубесконеч-
ного тела: n = 3 .
б) Источник представляет собой полосу на поверхности полубесконечного
тела: n = 2 .
в) Источник представляет собой плоскость – границу полубесконечного
тела: п = 1.
а б в
Задача 1
Производится облучение полубесконечного сильно поглощающего тела.
Плотность мощности излучения q постоянна на поверхности тела и во времени.
Определить распределение температуры по толщине тела в момент окончания
импульса излучения.
Решение
Проанализируем условие задачи:
1) n = 1 ;
2) источник продолжительного действия;
3) распределение источников по поверхности x = 0 равномерное;
4) Δr = x ;
5) так как тело занимает полупространство, будем рассматривать задачу нагрева-
ния всего пространства источником плотности мощности 2q0 (1 − R ) ( q0 -
плотность мощности излучения, R – коэффициент отражения).
Итак, температура при действии точечного мгновенного единичного ис-
точника:
1 ⎡ x2 ⎤
TTM 1 = exp ⎢ − ⎥.
ρ c ⎡⎣ 4π a ( t − t ) ⎤⎦
′
1
2
⎣ 4 a ( t − t ′ ) ⎦
2
Размерность числителя: [Дж/м ].
При действии источника с плотностью энергии 2q0 (1 − R ) dt ′ :
2q0 (1 − R ) dt ′ ⎡ x2 ⎤
TTM = exp ⎢ − ⎥.
ρ c ⎡⎣ 4π a ( t − t ′ ) ⎤⎦
1
2
⎣ 4 a ( t − t ′ ) ⎦
Интегрируя по времени, определяем температуру при действии то-
чечного продолжительного источника с плотностью мощности 2q0 (1 − R ) :
t
2q0 (1 − R ) ⎡ x2 ⎤
T = TT = ∫ exp ⎢ − ⎥dt ′ .
0 ρ c ⎡ 4π a ( t − t ′ ) ⎤
⎣ ⎦
1
2
⎣ 4 a ( t − t ′ ) ⎦
x
Вычисляем интеграл, делая замену переменной: z = .
2 a ( t − t′)
Находим дифференциал новой переменной dz :
x 1
dz = dt ′.
2 a 2 ( t − t′)
32
dt ′ 4 a ( t − t′) 4a ( t − t ′ ) x x
Отсюда: = dz = dz = dz.
( t − t′)
12
x x2 a z2 a
– 62 –
∞
2q0 (1 − R ) q0 (1 − R ) x ∞ 2
x e− z
∫ ∫
− z2
Таким образом, T = e dz = dz.
1 ρc2 π a z 2 a ρ ca π 1 z2
2 at 2 at
Вычислим последний интеграл. Берем интеграл по частям, обозначив
2 1
e− z =u, − = v.
z
Получим:
∞
∞ − z2 − z2 ∞ 2 ∞
e e e−b
I = ∫ 2 dz = − − 2 ∫ e dz =
− z2
− 2∫ e − z dz =
2
b
z z b b
b b
π ⎡ e−b ⎤
2 2
e−b π
= − π erfc b = ⎢ − b erfc b ⎥ = i erfc b.
b b ⎣⎢ π ⎦⎥ b
Задача 2
Производится облучение тонкой поглощающей пленки. Облученная область
представляет собой половину ее поверхности ( x ≤ 0 ). Плотность мощности из-
лучения распределена равномерно по облученной области и во времени. Опре-
делить распределение температуры по поверхности пленки во время действия
импульса излучения.
Решение
Проанализируем условия задачи:
1) п= 1;
2) источник продолжительного действия;
3) распределение источников – равномерное, x ≤ 0 ;
4) Δr = x − x′ .
0 t
q0 (1 − R ) ⎡ ( x − x′ )2 ⎤
TTM 1 = ∫ ∫ exp ⎢ − ⎥dx′dt ′ .
−∞ 0 ρ ch ⎡ 4π a ( t − t ′ ) ⎤
⎣ ⎦
1
2
⎣⎢ 4 a ( t − t ′ ) ⎦⎥
x − x′
Интегрирование по t ′ с заменой переменной y = дает (см. пре-
2 a (t − t ) ′
дыдущую задачу):
q0 (1 − R ) at
0
( x − x′)dx′ ,
−∞
T= ∫ kh
ierfc
2 at
где k = ρ ca – теплопроводность пленки.
x − x′
Интегрирование по x′ с заменой переменной y = дает:
2 at
2q (1 − R ) t 2 x
T= 0 i erfc .
ρ ch 2 at
Задача 3
Производится облучение тонкой поглощающей пленки толщиной h. Облу-
ченная область – квадрант ( x ≥ 0 , y ≥ 0 ). Плотность мощности излучения рас-
пределена равномерно по облученной области и во времени. Определить тем-
пературу в точке ( x = 0 , y = 0 ) в момент времени t ≤ τ .
– 64 –
Решение
Проанализируем условия задачи:
1) n = 2 ;
2) источник продолжительного действия;
3) распределение источника – равномерное в облученной области ( x ≥ 0 ,
y ≥ 0 );
4) Δr 2 = ( x′ ) + ( y′ ) .
2 2
Задача 4
Производится облучение поверхности полубесконечного сильно погло-
щающего тела сканирующим сфокусированным пучком, движущимся прямоли-
нейно с постоянной скоростью. Определить распределение температуры по ли-
нии сканирования в квазистационарном режиме.
– 65 –
Решение
Проанализируем условие задачи:
1) n = 3 ;
2) источник продолжительного действия;
3) источник точечный;
4) Δr = Vt ′ − x ;
5) так как тело занимает полупространство, будем рассматривать задачу нагрева-
ния всего пространства источником мощностью 2P0 A . ( P0 –мощность излуче-
ния, А – поглощательная способность).
Итак, температура при действии точечного мгновенного единичного ис-
точника:
1 ⎡ Δr 2 ⎤
TTM 1 = exp ⎢ − ⎥.
ρ c ⎡⎣ 4π a ( t − t ′ ) ⎤⎦
n
2
⎣ 4 a ( t − t ′ ) ⎦
Размерность числителя: [Дж/м2]. Здесь Δr = Vt ′ − x .
При действии источника с энергией 2 P0 Adt ′ :
2 P0 Adt ′ ⎡ (Vt ′ − x )2 ⎤
TTM = exp ⎢ − ⎥.
ρ c ⎣⎡ 4π a ( t − t ) ⎦⎤
′
3
2 ⎢
⎣ 4 a ( t − t ′ ) ⎥⎦
Интегрируя по t', определим T ( x, t ) :
t
2 P0 Adt ′ ⎡ (Vt ′ − x )2 ⎤
T =∫ exp ⎢ − ⎥.
0 ρ c ⎡ 4π a ( t − t ′ ) ⎤
⎣ ⎦
3
2
⎣⎢ 4 a ( t − t ′ ) ⎦⎥
Сделаем замену переменной: θ = t − t ′ :
0
2 P0 Adθ ⎡ (Vt − V θ − x )2 ⎤ t 2 P Adθ ⎡ (V θ + d )2 ⎤
T = −∫ exp ⎢ − ⎥=∫ 0
exp ⎢ − ⎥,
t ρ c ( 4π aθ )
3
2
⎣⎢ 4 aθ ⎦⎥ 0 ρ c ( 4π aθ )
3
2
⎣⎢ 4 aθ ⎦⎥
где d = x − Vt – расстояние от точки, в которой определяется температура,
до источника, d > 0 , если точка находится перед источником, d < 0 , если за
ним.
Квазистационарный режим нагревания соответствует условию достаточно
больших значений времени, поэтому решение задачи получим из выражения
∞
2 P0 Adθ ⎡ (V θ + d )2 ⎤
Tкс = ∫ exp ⎢ − ⎥.
0 ρ c ( 4π aθ )
3
2 ⎢⎣ 4aθ ⎥⎦
Вычислим интеграл.
d dθ
2 2
V 2θ d2
2 P0 A −V4 aθ − 4daθ −Vd
∞ Vd ∞
dθ P0 A − − −
ρ c ∫0 ∫0
Tкс = e e e 2a
= e 2a
e 4a
e 4 aθ
=
( 4π a θ )
3
2 2 πρ ca d 2 π aθ 3
Vd
P0 A −Vd −
= e 2a e 2a ,
2π k d
где k = ρ ca – теплопроводность.
– 66 –
Таким образом, распределение температуры по линии сканирования в ква-
зистационарном режиме
⎧ P0 A −Vda
⎪ e , если d>0,
⎪ 2π k d
Tкс = ⎨
⎪ P0 A , если d < 0.
⎪ 2π k d
⎩
Задачи для самостоятельного решения
Учебное пособие
В авторской редакции
Дизайн С.М.Сарнаков
Верстка С.М.Сарнаков
Редакционно-издательский отдел Санкт-Петербургского государственного уни-
верситета информационных технологий, механики и оптики
Зав. РИО Н.Ф. Гусарова
Лицензия ИД № 00408 от 05.11.09
Подписано к печати 14.04.09
Заказ № 2104
Тираж 200 экз.
Отпечатано на ризографе