Конспект лекций по дисциплине

Основы технологии электронной компонентной базы

Модуль 9
Лекция 15. Интегрированные кластерные технологические комплексы
План
1. Чистые помещения. Классификация.
2. Кластеры.
3. Кластерные технологические модули.

В настоящее время технология микроэлектроники уже прошла основные стадии

своего развития и становления.
Одной из основных тенденций развития современной микроэлектроники - это
формирование наноразмерных аналогов. Этому в значительной степени
способствует создание интегрированные кластерных технологических комплексов,
которые существенно снижают себестоимость изделий электроники, повышают
коэффициент выхода годных.
Идея создания кластерных систем, а в дальнейшем замкнутых поточных линий
в России относится к 70 годам прошлого столетия. Одним из авторов является
Лабунов В.А., который называл эти кластеры «бочками Лабунова». Однако только
в последнее время кластерные системы стали эффективно применяться как за
рубежом, так и у нас в стране. Кластерные технологические комплексы включают в
настоящее время от 2 до десятков позиций технологического оборудования.
Например это нанофабы, включающие несколько технологических и
измерительных операций. Основная трудность, с которой столкнулись
разработчики кластерных технологических модулей является сложносмть с
интеграций технологических операций, связанных с жидкостными отмывками.

Литература к лекции 15.

М.А. Королев, Т.Ю. Крупкина, М.А. Ревелева. Технология, конструкции и

методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 1. М.:
БИНОМ. Лаборатория знаний. 2007. 397с.
Дополнительная литература
Черняев В.Н. Технология производства интегральных микросхем и
микропроцессоров.М.: Радио и связь, 1987.