ются для решения проблем электромагнитной Г.Николайчук, В.Иванов, С.Яковлев совместимости радиоэлектронных устройств, за- niko@domen.ru щиты компьютерных систем обработки инфор- Эффективный способ, который позволяет обеспечить мации от несанкционированного доступа, защи- требования электромагнитной экологии, снизить до при- ты биологических объектов от электромагнитно- емлемого уровня естественные и искусственные поме- го излучения, а также для снижения радиолокаци- хи при работе радиоэлектронных систем, основан на при- онной заметности объектов военного и граждан- менении экранирующих и радиопоглощающих материалов ского назначения. Специалисты ОАО "НИИ "Фер- (РПМ) и покрытий (РПП). Последние являются также перс- рит-Домен" разработали технологию получения пективным средством снижения радиолокационной замет- радиопоглощающих материалов на основе тонких ности (РЛЗ) объектов военной техники (самолетов, кораб- пленок аморфного гидрогенизированного углеро- лей, ракет, наземного стационарного и мобильного обо- да с наночастицами 3d металлов (Ni, Co, Fe и др.), рудования и. т.д.). Использование РПМ и РПП существен- нанесенных методом ионно-плазменного магнет- но расширяет возможности технологий Stealth, с помощью ронного напыления на гибкие подложки из ара- которых создаются объекты с низким уровнем РЛЗ. РПП могут быть использованы и для защиты компьютерных мидной ткани (кевлар). Новые материалы позво- систем обработки информации от несанкционированного ляют создавать легкие сверхширокополосные ра- доступа, в космической техники, для поглощения электро- диопоглощающие покрытия с высоким уровнем магнитного излучения в экранирующих устройствах, в пог- поглощения электромагнитного излучения (мо- лощающих облицовках и корпусах, а также в безэховых из- дуль коэффициента отражения электромагнитной мерительных камерах. волны не хуже -10 дБ) в сверхвысокочастотном, Радиопоглощающие покрытия, которые применяются се- инфракрасном и оптическом диапазонах частот. годня, представляют собой композиты на основе феррито- вых материалов, имеют значительную массу (8–15 кг/м2), При современном развитии и эксплуатации радиотехни- низкие механическую прочность и термостойкость, их не- ческих СВЧ-систем возникают проблемы электромагнит- льзя задействовать в миниатюрных радиоэлектронных ус- ной безопасности. Длительное и регулярное воздействие тройствах, для защиты биологических объектов, радиомас- СВЧ-излучения на организм человека отрицательно влия- кировки летательных аппаратов и кораблей легких классов. ет на мозг, сосуды, кровь, зрение, провоцирует образова- ОАО "НИИ "Феррит-Домен" в течение ряда лет про- ние опухолей. Вот почему так важно обеспечить генетичес- водит исследовательские работы по созданию тонкопле- ки безопасный уровень излучения и соблюдать требования ночных наноструктурированных радиопоглощающих мате- санитарно-гигиенических норм безопасности, чтобы такая риалов нового поколения для СВЧ-диапазона от 1 ГГц до техника не вредила здоровью людей. 300 ГГц [1–5]. В предлагаемой технологии применяется Не менее важной для эффективного функционирования принципиально новый материал на основе тонких пленок технических устройств СВЧ является проблема устранения аморфного гидрогенизированного углерода с ферромаг- помех. Во многих случаях поля, создаваемые излучателями нитными наночастицами, нанесенными на гибкую подлож- СВЧ-энергии, необходимо локализовать в некотором объеме, ку из арамидной ткани методом ионно-плазменного маг- чтобы исключить или ослабить их воздействие на соседние нетронного напыления (рис.1). чувствительные элементы радиоаппаратуры. Паразитные пе- Пленки аморфного гидрогенизированного углерода с реотражения и интерференция электромагнитных волн (ЭМВ) магнитными наночастицами составов α-CH:(Ni), α-CH:(Cо) также могут быть серьезными источниками помех. и α-CH:(Fe) на подложках из арамидной ткани размерами
ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес 1/2010 92
Изображение среза нити (рис.2) во вторичных электро- нах (арамидная нить – темный фон, напыленная пленка со- става α-CH:(Ni) – светлый фон) получено с помощью ион- ного пучка в PECS Slope cutting tool при 3 кВ и увеличении в 10000 раз. По оценочным данным толщина напыляемой пленки составляет 0,17–1,25 мкм в зависимости от располо- жения поверхности нити к направлению напыления. Для определения микроволновых свойств пленок амор- фного гидрогенизированного углерода с магнитными нано- частицами разработана методика измерения комплексных диэлектрической ε* = ε′ - iε′′ и магнитной μ* = μ′ - iμ′′ прони- цаемостей. Это резонаторный метод, который позволил ре- Рис.1. Вид пленки аморфного гидрогенизированного углерода шить проблему измерения μ* и ε* тонких пленок в диапазо- с ферромагнитными наночастицами на гибкой подложке из арамидной ткани (кевлар) не частот от 300 МГц до 40 ГГц [6]. Значения величин комп- лексных магнитной μ* и диэлектрической ε* проницаемос- 620×750 мм были получены реактивным ионно-плазменным тей тонких пленок составляют единицы и несколько тысяч методом при одновременном распылении мишеней из гра- соответственно. фита и соответствующего металла в аргон-водородной сре- С целью расширения границ частотного диапазона и де на вакуумной установке магнетронного напыления кон- повышения уровня поглощающих свойств разработаны вейерного типа фирмы Leybold Heraus (Германия). многослойные радиопоглощающие покрытия (РПП) с гео- Уровень микроволнового поглощения зависит от тощи- метрическими размерами 600×600 мм, толщиной 1–3 мм ны, химического состава, микроструктуры, концентрации и и приведенной удельной массой от 1,0 до 1,5 кг/м2 . РПП размера магнитных частиц в пленке. представляют собой набор слоев пленок аморфного гид- Микроструктура и химический состав пленок исследова- рогенизированного углерода с магнитными наночастица- лись на электронном микроскопе VEGA//LMU с энергодис- персионным микроанализатором JNCA Enorgy 350DC и по- левом микроскопе MIRA/TESCAN. Толщина пленок определялась как непосредственно на рабочих образцах на срезе арамидной нити, так и на образ- цах-свидетелях, полученных в тех же условиях на подлож- ках из ситалла и кремния.
Рис.2. SE-изображение среза арамидной нити с напыленной
пленкой состава: α-CH:(Ni) во вторичных электронах (ионный пучок PECS Slope cutting tool при 10 кВ)
93 ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес 1/2010
Новые технологии
ны в оптическом и ИК-диапазонах. Результаты измерений
МКО не хуже –20 дБ. РПП на основе наноструктурированных пленок с вы- соким равномерным уровнем поглощения (МКО от -10 до -30 дБ) не имеют мировых аналогов по сверхширокополос- ности и позволяют с помощью одного вида покрытия ре- шить задачи радиолокационной заметности в диапазонах от СВЧ до оптического. Разработанные покрытия легко совместимы со слож- ными формами защищаемых объектов, а также могут быть Рис.3. Вид многослойного радиопоглощающего покрытия с геометри- использованы в качестве конструкционного материала для ческими размерами (600×600×3) мм, вес 1 м2 составляет 1,4 кг изготовления корпусов летательных аппаратов, в том числе ми на подложке из арамидной ткани, количество которых беспилотных, легких морских катеров и других изделий во- рассчитывается по известным алгоритмам с использовани- енной техники. ем значений комплексных магнитных μ* и диэлектрических На разработанные материалы получены патенты: ε*проницаемостей каждого слоя (рис.3). • патент на изобретение RU 222 8565 C1 "Радиопоглоща- В настоящее время в НИИ "Феррит-Домен" изготавлива- ющие покрытия и способ его получения" (2004 г.); ются экспериментальные образцы радиопоглощающих пок- • патент на полезную модель "Радиопоглощающее покры- рытий, модуль коэффициента отражения (МКО) которых не тие" №84161 от 24.12.2008; хуже –10 дБ в частотном диапазоне от 7 до 300 ГГц. На рис.4, 5 приведены частотные зависимости моду- ля коэффициента отражения РПП в СВЧ-диапазоне от 1 до 78 ГГц, измеренные с помощью рупорных антенн при двух взаимоперпендикулярных поляризациях (плоскостях) пада- ющей электромагнитной волны. В диапазоне 1,0–37,5 ГГц измерения проводились с по- мощью анализатора цепей ZVA-40 фирмы Rohde&Schwarz (Германия) при расположении образца в дальней зоне по схеме построения измерительной установки с разнесенны- ми излучающим и приемным каналами. В диапазоне частот 37,5–78 ГГц измерения величины МКО проводились в ближ- Рис.5. График частотной зависимости модуля коэффициента ней зоне с помощью автоматических панорамных измери- отражения образца РПП (толщина 3 мм) при двух взаимоперпенди- телей КСВН Р2-68 и Р2-69. кулярных поляризациях падающей электромагнитной волны В диапазоне частот 7–37,5 ГГц значение МКО образ- в диапазоне частот 37,5 ГГц – 78 ГГц ца радиопоглощающего покрытия составляет от -10 дБ до • патент на изобретение "Электромагнитное поглощаю- -30 дБ. Экспериментальные образцы РПП были исследова- щее покрытие" МПК HOIQ от 11.01.2009. • положительное решение о выдаче патента на полезную модель, заявка № 2009129433 от 30.07.2009 г. "Устройс- тво для измерения комплексной диэлектрической про- ницаемости тонкопленочных материалов на сверхвысо- ких частотах". Основные преимущества тонкопленочных радиопогло- щающих покрытий на основе наноструктурированных пле- нок перед традиционными материалами: • использование одного вида покрытий с высоким погло- щением в сверхшироком диапазоне частот 7–300 ГГц; • малая приведенная удельная масса (на единицу площа- ди) 1–1,5 кГ/м2; Рис.4. Графики частотной зависимости модуля коэффициента отражения образца РПП (толщина 3 мм) при двух взаимно перпен- • высокие механическая прочность и термостойкость; дикулярных поляризациях падающей электромагнитной волны в • устойчивость к климатическим воздействиям и агрес- диапазоне частот 1,0–37,5 ГГц сивным средам;
ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес 1/2010 94
• экологически чистая и безотходная технология полу- цев Л.В. Радиопоглощающие материалы на осно- чения. ве наноструктур. – Нанотехника, 2009, № 1(17), Созданные радиопоглощающие покрытия прошли ис- с. 41–44. пытания в научно-техническом центре кораблестроения 4. Лебедев В.М., Звонарева Т.К., Луцев Л.В. Ис- и морской техники ФГУП ЦНИИ им. акад А.Н.Крылова и следование состава и структуры модифициро- в крупнейшем российском авиационном холдинге ОАО ванных кобальтом и медью пленок аморфного "ОКБ Сухого", получены заключения о перспективности и гидрогенизированного углерода a-C:H<Co+Cu> актуальности разрабатываемых материалов для военного ядерно-физическими методами. – Тезисы докла- и гражданского применения. дов XIV Международной конференции по элект- В настоящее время проводятся работы по расширению ростатическим ускорителям и пучковым техноло- нижней границы частотного диапазона до 1 ГГц и сниже- гиям, Обнинск, 5–8 июня, 2001 г. нию себестоимости. 3. Nikolaychuk G.A., Lutsev L.V., Yakovlev S.V., Petrov V.V. Properties and technology of broadband Литература microwave absorbing covers of the base of 1. Lutsev L.V., Yakovlev S.V., Zvonareva T.K., Alexeyev hydrogenated carbon with 3d-metal nanoparticles. – A.G., Starostin A.P., Kozyrev S.V. Microwave Proccedings of the International Conftrence Properties of Granular Amorphous Carbon Films "Functional Materials" (ICFM-2007), Ukraina, Crime, with Cobalt Nanoparticles. – Journal of Applied Partenit, 2007, p. 344. Physics, 2005, vol. 97, №. 10, 104327. 6. Яковлев С.В., Иванов В.П., Николайчук Г.А. Из- 2. Луцев Л.В., Николайчук Г.А., Петров В.В., Яков- мерение комплексной диэлектрической проница- лев С.В. Многоцелевые радиопоглощающие ма- емости тонкопленочных радиопоглощающих ма- териалы на основе магнитных наноструктур: по- териалов в диапазоне частот от 300 МГц до 40 ГГц лучение, свойства и применение. – Нанотехника, резонансным методом. – Труды ХVII Международ- 2008, № 2(14), с. 37–42. ной конференции "Магнетизм, дальнее и ближнее 3. Николайчук Г.А., Петров В.В., Яковлев С.В., Лу- спин-спиновое взаимодействие", с. 57–58.