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Atualmente, as fbricas de Circuitos Integrados no sul da China utilizam uma carga total de refrigerao de aproximadamente 25.000 30.000 kW (em volume normal de produo), enquanto a sala limpa (zona de produo) corresponde a 2/3 deste valor. O consumo de energia nas instalaes para a produo de monitores de tela plana de LCD tambm significativo. Por exemplo, nestas fbricas a rea destinada para sala limpa na faixa de 40.000 m2 a 50.000 m2. A carga de resfriamento, nestes casos, pode atingir 35.000 40.000 kW. medida que aumenta o volume de produo, a rea de sala limpa e a carga de refrigerao podem ficar duplicadas.
2.1 Determinao dos requisitos apropriados relativos ao processo, visando a otimizao da produo e economia de energia
A seguir esto listadas as principais consideraes relacionadas ao processo . (1) Minimizao da rea destinada sala limpa. (2) Definio da classe de limpeza apropriada para a sala limpa, obedecendo aos requisitos da produo. (3) Adoo das protees apropriadas, nos pontos localizados, com fluxo de ar unidirecional nas reas crticas de manufaturas. Usualmente o fluxo de ar misto (isoladores, ambientes segregados de acesso restrito e outros) so usados de acordo com os requisitos do processo, com o intuito de minimizar a rea limpa com maior classe de limpeza e destinando uma rea maior para uma classe de limpeza menor. (4) Ajuste apropriado da velocidade do ar e o nmero de trocas de ar. (5) Ajuste apropriado do nvel de temperatura/umidade e a sua tolerncia nas diferentes reas de operao. Os usurios de salas limpas devem examinar cuidadosamente onde o equipamento de processo deve ser instalado, com
* Instituto de Projetos de Engenharia Eletrnica da China Reproduo permitida pela ICCCS para a Revista da SBCC
o intuito de evitar a gerao de grandes quantidades de calor em reas de temperatura controlada, e a presena de equipamentos que aumentem o nvel de umidade. (6) Minimizar a exausto de ar, devido ao custo energtico de sua reposio para substitu-lo. As exaustes devem ser analisadas pela reviso cuidadosa do processo, juntamente com o deslocamentos dos pontos de descarga no essenciais para reas fora da sala limpa. (7) Baseado na distribuio do equipamento de processo, otimizar o arranjo do sistema de HVAC e reduzir as perdas de carga do conjunto.
sio um fator importante. Para salas limpas, o volume do ar requerido para uma dada classe de limpeza geralmente maior ou muito maior do que o requerido pela carga trmica. Desta forma, o volume mnimo de ar de reposio relativamente grande, e o custo do ar de reposio torna-se alto. necessrio priorizar o volume mnimo de ar de reposio. No se deve aumentar o volume de ar externo aleatoriamente, pois para atender aos requisitos de temperatura e umidade, o ar deve ser resfriado e depois aquecido, ao longo de uma extenso razovel no processo de tratamento. A configurao do sistema de ar condicionado da sala limpa pode ser resumida de vrias formas e so discutidas abaixo. Para determinao da configurao apropriada do sistema de ar condicionado, os requisitos principais so: (1) AHU, tanto com ar externo e ar de retorno condicionados juntos. A condio para a aplicao apropriada deve ser: vazo volumtrica requerida para uma classe de limpeza, menor ou igual ao requerido pela carga tmica, podendo ser ligeiramente maior. Esta configurao permite que frio e calor sejam neutralizados um pelo outro no processo de tratamento do ar. Entretanto, onde o volume de ar requerido para a classe de limpeza for maior do que o requerido pela carga trmica, no possvel que frio e calor sejam neutralizados um pelo outro. Se esta configurao for utilizada, acarretar um maior gasto de energia quando comparada com a configurao mencionada acima. Quanto maior for a diferena no volume de ar entre os dois, maior ser o gasto de energia. Por conseguinte, em situaes onde o volume de ar para a classe de limpeza for maior do que a carga trmica, a configurao mencionada a seguir deve ser selecionada. (2) AHU + RF (ventilador de recirculao). Nestes sistemas apenas uma parte do ar de recirculao captado do mesmo e encaminhado AHU. Um grande volume de ar recirculado somente atravs da sala limpa afim de manter um adequado nmero de trocas de ar. A condio para sua aplicao apropriada deve ser: Vazo volumtrica requerida pela classe de limpeza muito maior do que a requerida para combater a carga trmica. (3) MAU (central de tratamento de ar externo) + RF Utilizado quando a vazo de ar externo para pressurizao e reposio de exaustes suficiente para combater a carga trmica sensvel e latente interna,
artigo tcnico
bem como a carga imposta pelos moto-ventiladores de reconciliao que garantem a classe de limpeza. usualmente utilizado onde o calor sensvel da sala muito baixo. (4) MAU + AHU Utilizado quando o volume de ar para limpeza muito maior do que para a carga trmica. Toda a retirada do calor latente e alguma remoo do calor sensvel e obtida pelo MAU, e o AHU capaz de fornecer a remoo do calor sensvel da corrente de ar que recirculado.
velocidade varivel. A regra geral para o sistema primrio, utilizado na distribuio de gua gelada, consiste na bomba primria ter uma velocidade constante e a bomba secundria ter uma velocidade varivel, que usada para a distribuio da gua gelada. A bomba secundria, com velocidade varivel, opera para distribuir gua resfriada em resposta variao de carga trmica. Recentemente, a tecnologia de vazo varivel se tornou bem desenvolvida e se transformou em tecnologia de ponta. Alguns tipos de resfriadores tm sido capazes de permitir taxas de vazes variveis na faixa de 50%, com flutuaes muito estreitas na temperatura de gua gelada na sada do resfriador, operando com rotao varivel. Neste sistema, vantagens significativas de economia de energia podem ocorrer.
Cuidados ao se selecionar um sistema de recuperao de calor: a) A contaminao cruzada deve estar dentro da faixa aceitvel. (NT: em determinadas aplicaes no aceitvel nenhum tipo de contaminao cruzada). b) Selecionar o recuperador de calor/frio sensvel ou dispositivos de recuperao de calor total, de acordo com a umidade na vazo de descarga. c) O sistema mostrado na Figura 1 adequado para a condio em que o sistema de exausto e o sistema de ar de reposio no estejam prximos um do outro. (2) Recuperao de calor do condensador do resfriador. A quantidade de calor rejeitada no condensador estimado como 120% da carga de resfriamento. Ela pode ser recuperada se o resfriador possuir uma grande capacidade. Todavia, os seguintes aspectos devem ser observados: A temperatura da gua na sada do condensador inferior a 50 C e o resfriador deve possuir uma carga de resfriamento estvel ( 70% da carga total). (3) Utilizao de co-gerao. Algumas fbricas de Circuitos Impressos em Taiwan, China, utilizam a cogerao. Onde o consumo total de energia na produo for grande, como nas fbricas de Circuitos Impressos e produo de telas planas de LCD, existem condies favorveis para a gerao de energia eltrica a partir da utilizao do sistema de cogerao onde aquecimento e resfriamento podem ser obtidos resultando em economia de energia a custo compensador. Tambm devem ser consideradas as situaes de fornecimento de energia a partir das concessionrias, fornecimento de combustvel, etc, sendo necessrio fazer um estudo de viabilidade para cada um dos sistemas. u
Referncias:
1. John Iloysted. Energy efficient HVAC design cana dd up to millions in savings. Cleanroom. May, 2000 2. Dan Hall. Exhaust control at point of use, Clean Room, Jan , 2000 3. Shih-C:hcng Hu. Ph. D. A preliminary study of energy consumption for semiconductor fabs in Taiwan, Cleanrooms Asian 2000 4. 2000 ASHRAE. System and Equipment Handbook (SI) 5. Yan De-I.ong.The energy saving and its progress of HVAC system for cleanrooms, CC&AC 2004-4 Traduzido e adaptado por Martin Lazar Gerente de Engenharia de Sistemas Prediais da SPL Engenharia Contato: martin@spl.com.br