Mecanismos de fortalecimiento en multicapas de acero inoxidable 304/cobre nanoestructurados X. Zhang, A. Misra, H. Wang, T.D. Shen, J.G. Swadener, J.D.

Embury, H. Kung,a) R.G. Hoagland, and M. Nastasi Materials Science and Technology Division, Los Alamos National Laboratory, Los Alamos, New Mexico 87545 (Received 28 January 2003; accepted 9 April 2003) Multicapas nanoestructurados Cu/304 de acero inoxidable (SS) se prepararon por pulverizacin magnetrn. Acero inoxidable 304 tiene una estructura de (fcc) de-cbico centrada cara a granel. Sin embargo, en las multicapas de Cu/acero inoxidable 304, las capas de acero inoxidable 304 muestran la estructura de la fcc para el espesor de la capa de _5 nm en epitaxia con la fcc vecinos Cu. De acero inoxidable 304 capa de espesor mayor de 5 nm, cuerpo-centrado-cubic (bcc) acero inoxidable 304 granos crecen encima de la inicial 5 nm fcc SS con la relacin de orientacin KurdjumovSachs entre granos de SS de bcc y fcc. La mxima dureza de multicapas de Cu/acero inoxidable 304 es aproximadamente 5.5 GPa (factor de mejora de dos frente a la dureza de la regla de mezclas) en un espesor de capa de 5 nm. Por debajo de 5 nm, dureza disminuye con la disminucin de espesor de la capa. La dureza de pico de multicapa de la fcc/Cu/acero inoxidable 304 es mayor que la de Cu/Ni, a pesar de que el desajuste de celosaparmetro entre Cu y Ni es cinco veces mayor que entre Cu y acero inoxidable 304. Este resultado puede atribuirse principalmente al mayor estrs barrera interfaz para la transmisin de single-dislocacin a travs de las {111} hermanada interfaces en Cu/acero inoxidable 304 en comparacin con las interfaces {100} en Cu/Ni. INTRODUCCION. Nanoestructurados multicapas se componen de alternando capas de escala nanomtrica de dos materiales diferentes. El espesor de la capa puede ser bien controlado en la escala de 1 nm o menos por deposicin fsica de vapor. Estas multicapas nanoestructurados tienen nuevas propiedades mecnicas, elctricas, magnticas y pticas. Las propiedades mecnicas de estos compuestos de varias capas son de particular inters porque la fuerza de estos compuestos multicapas puede incrementarse significativamente sobre una mitad a un tercio de una estimacin del lmite inferior del lmite terico de fuerza de aproximadamente / 30, donde es el mdulo de cizallamiento. En el micrmetro para el rgimen de escala de longitud de submicrometro, el fortalecimiento de estas multicapas puede explicarse por el modelo de HallPetch de la dislocacin de apilamientos en las interfaces o lmites de grano. El lmite elstico, y, es proporcional a h, donde h es el espesor de la capa. HallPetch pendiente es una medida de la fuerza de la barrera de la interfaz para la transmisin de deslizamiento y determina la tasa de aumento de fuerza con disminucin de h. Sin embargo, en las decenas de nanmetros de rgimen, el modelo de HallPetch se descompone o rompe.

El mecanismo de deformacin puede implicar deslizamiento de dislocaciones individuales, en forma de bucles de Orowan, conducen a una relacin y ln(h)/h. En el lmite de unos pocos nanmetros, la fuerza de la multicapa puede determinarse mediante la tensin para transmitir una dislocacin sola a travs de las interfaces. Factores como diferencias en el mdulo de cizalla y desajuste de celosa-parmetro pueden determinar la tensin de transmisin para dislocaciones sola. Para multicapas con un desajuste de mdulo de cizalla grande, dislocaciones en la fase baja cizalla mdulo necesitan superar una fuerza repulsiva imagen (Koehler estrs) para entrar en la fase de alto mdulo. Para multicapas con un desajuste de pequea celosa, la coherencia puede existir hasta un cierto espesor de la capa. Coherencia tensiones alternan de resistencia a compresin dentro de capas adyacentes y producir un obstculo adicional para la transmisin de single-dislocacin a travs de interfaces. La magnitud del estrs de coherencia aumenta con creciente desajuste de parmetro de celosa. En algunos sistemas, una cada de resistencia, o ablandamiento, se observa cuando el espesor de la capa est por debajo de unos pocos nanmetros. Los mecanismos para este ablandamiento, sin embargo, no son bien entendidos.

En este trabajo, nos informan los estudios de microestructuras y propiedades mecnicas de multicapas de Cu/304 acero inoxidable (Cu304SS). Es conocido que las multicapas de Cu/acero inoxidable 304 tienen estructura de cara-centrado-cubic/cuerpo centrado-cubic (fcc/CCO) para un espesor de la capa superior de 5 nm mientras que tienen estructura fcc/fcc para un espesor de capa inferior a 5 nm.

Debido al espesor de la capa de menos de 5 nm Cu/acero inoxidable 304 y Cu/Ni tienen estructuras cristalinas similares, algunas comparaciones pueden hacerse comprender los efectos de desajuste de celosa-parmetro sobre la dureza de pico. Una comparacin de solubilidad mutua, desajuste de celosa-parmetro 15 y desajuste de mdulo de Young entre Cu/acero inoxidable 304 y Cu/Ni (solo cristal con orientacin de cubo en cubo) aparece en la tabla I. La principal diferencia entre los dos sistemas es que Cu/Ni tiene un desajuste de celosaparmetro mucho ms grande que el Cu/acero inoxidable 304.

EXPERIMENTAL Cu/acero inoxidable 304 multicapas fueron catdica de corriente continua (CC) depositado a temperatura ambiente sobre sustratos de Si(100) que tienen una capa de SiO2 nativa. La cmara fue evacuada a base de presin 5 108 torr antes de la deposicin. A presiones de 5 y 4 mtorr 5 y potencia de pulverizacin de 200 W y 100 W para objetivos de 3.95 en dimetro se utilizaron para la deposicin de acero inoxidable 304 y Cu, respectivamente. En todos los compuestos de varias capas, acero inoxidable 304 deposit siempre como la primera capa de sustrato de Si. El espesor de las capas constituyentes dentro de las multicapas se vari de 1 a 500 nm y el nmero total de bicapas depositado era tal que el espesor de la pelcula multicapa total fue aproximadamente 2 _m. Microscopa electrnica de transmisin (TEM) y alta resolucin TEM (HRTEM) se realizaron en microscopios CM30 Philips y JEOL 3000F, respectivamente, a 300 kV. Experimento de difraccin de rayos x (DRX) se realiz en un difractmetro de rayos x de polvo de cobre-nodo SCINTAG con un detector de estado slido refrigerado Peltier. El mdulo de dureza y de sangra (hendidura o penetracin) de las multicapas y 2 m capas simple de pelculas de Cu y acero inoxidable 304 se midieron con una carga de sangra y un aparato sensor o detector de profundidad; un Nano Indentor II comercial. La tecnica16 de rigidez continua fue usada para la nanoindentacin con una velocidad de desplazamiento de 2 nm/s. La profundidad de penetracion nominal era de 250 nm para la mayora de las muestras.

RESULTADO Microestructuras de multicapas de Cu/acero inoxidable 304 son estudiados sistemticamente para todos los espesores de capa con TEM. Se dan ejemplos seleccionados en la secuencia de inicio creciente de espesor de capa con el menor espesor de la capa de 1 nm. Multicapas de Cu/acero inoxidable 304 con espesor de capa de

1 nm mantienen una interfaz cortantes y ntida entre cada capa, como se muestra en la figura 1. El tamao de grano columnar promedio es de alrededor de 33 nm, mucho mayor que el espesor de capa de 1 nm.

FIGURA 1. Micrografa TEM de seccin transversal de multicapas de Cu/acero inoxidable 304 con un espesor de capa igual de 1 nm y el patrn de difraccin del rea seleccionada.

Se observan gemelos creciendo a travs de interfaces. El patrn de difraccin de rea seleccionada (recuadro en Fig. 1) muestra una dbil {111} textura de fibra a lo largo de la direccin de crecimiento para el acero inoxidable 304 y capas de Cu. El desajuste de parmetro de celosa de fcc Cu y fcc acero inoxidable 304 es 0,48%; por lo tanto, es difcil separar los anillos de difraccin de estas dos capas. La Imagen del TEM en campo-claro de multicapas de Cu/acero inoxidable 304 con espesor de capa de 2,4 nm se muestra en Figura 2(a). Una imagen del HRTEM [fig. 2 (b)] confirma que las capas de Cu y acero inoxidable 304 epitaxialmente crecen dentro de granos columnares. {111} los gemelos del crecimiento, paralelas a la interfaz, se observaron dentro de capas de Cu y acero inoxidable 304 y a lo largo de la interfaz [Fig. 2]. Tambin se revel la presencia de {111} de gemelos en el patrn de difraccin y el correspondiente anlisis esquemtico [las figuras 2.c y 2.d], obtenido por rpida de Fourier (FFT) de la imagen de reas que se muestra en la figura 2.(b). Este patrn de difraccin muestra dos patrones de eje de zona de 110fcc girados respecto a la otra sobre el plano {111} twin comn. Adems de 2.4 caso de espesor de capa nm que se muestra en la figura 2, los gemelos {111} interfaz tambin observaron multicapas con espesor de capa de 5 nm. A estas escalas de longitud de 5 nm, multicapas presentan estructuras de fcc en ambas capas.

FIGURA 2. (a) micrografa de campo de Bright TEM de multicapas de Cu/acero inoxidable 304 con un espesor de capa de 2.4 nm. (b) micrografa reas de dos bicapas. Cu y acero inoxidable 304 epitaxialmente crecen dentro de cada bicapa. Gemelos estn marcadas en la imagen. (c) patrn de difraccin de FFT para imagen de reas. (d) esquema anlisis de FFT, indicando la estructura de doble en esta regin. En capa de espesor 10 Nm [Fig. 3a], sin embargo, los anillos de difraccin adicional correspondiente a bcc acero inoxidable 304 (celosa parmetro _ 0.2866 nm) se observaron, como se muestra en la figura 3b. Una vista ampliada del patrn de difraccin [Fig. 3c] muestra claramente la separacin entre anillos fcc (111) y CCO (110).

FIGURA 3. (a) micrografa de campo claro TEM de multicapas de Cu/acero inoxidable 304 con un espesor de capa de 10 nm. (b) patrn de difraccin muestra anillos adicionales desde CCO acero inoxidable 304. (c) Vista ampliada del patron de difraccin muestra clara separacin de anillos entre fcc (111) y bcc (110). Debe sealarse que los anillos de difraccin de bcc se originan en la formacin de la fase de acero inoxidable 304 de bcc mientras que los anillos de difraccin de la fcc estn an compuestos de Cu y acero inoxidable 304. Esta afirmacin se deriva de estudios de microscopa detallada, algunos de los cuales se muestran en la figura 4. Para acero inoxidable 304 (75 nm cada capa) adyacente a la interfaz, FFT revela el crecimiento de acero inoxidable 304 de fcc encima de Cu [Figura 4b] mientras que para el acero inoxidable 304 lejos de la interfaz, FFT muestra fase bcc SS [Figura 4c]. Para estudiar a la relacin de orientacin entre fcc SS y bcc SS, la FFT de una capa entera de SS en Fig. 4a es analizada y se muestra en la Fig. 4 (d). La relacin de Kurdjumov Sachs (KS) se identifica entre fcc y bcc acero inoxidable 304; es decir, bcc (110) / / (111) fcc, bcc [111] / / [011] fcc. Para Cu creciendo encima de bcc acero inoxidable 304, tambin se observa la relacin KS. Estos anlisis describen un panorama claro de las caractersticas de la interfaz en multicapas (capa 10 nm de espesor), como se muestra en la ilustracin Fig.4.e. Ntese que la fcc SS se forma slo cuando SS crece encima del cobre El acero inoxidable 304 permanece en fase bcc cuando fcc Cu crece encima de l.

FIGURA 4. (a) micrografa del HRTEM muestra la interfaz entre Cu y acero inoxidable 304 con un espesor de capa de 75 nm, interfaz entre fcc y bcc SS y lmite de grano de la columna. Dos pequeos cuadrados 1 y 2 se dibujan dentro de bcc y fcc SS por separado. Gran cuadrado 3 se dibuja a travs de la fcc y bcc SS. (b) agrandamiento vista del cuadrado 1 (bcc SS) con FFT correspondiente. (c) Vista ampliada del cuadrado 2 (fcc SS) con FFT. (d) esquema del anlisis de FFT desde cuadrado 3, indicando la relacin de Kurdjumov Sachs entre fcc SS (marcado con cuadrados) y bcc SS (marcados con crculos). (e) ilustracin de las caractersticas de la interfaz en multicapas de Cu/acero inoxidable 304.

Difractogramas de multicapas de Cu/acero inoxidable 304, con espesores de capa diferentes, se comparan en la figura 5. El Acero inoxidable 304 con una mezcla de fases bcc y fcc se observa multicapas con una capa de espesor _1 nm. Monofsico de fcc con {111} textura se observa multicapas con una capa de espesor 5 nm. Estas observaciones son consistentes con estudios de microscopa.

La dureza del Cu/(acero inoxidable 304 y de Cu/Ni) multicapas se trazan como una funcin de h1/2 (plot de HallPetch) en la figura 6, donde h es el espesor de la capa. La Dureza de Cu/acero inoxidable 304 multicapas aumenta casi linealmente con h1/2 para h 100 nm, coherente con el modelo de HallPetch. Los resultados se desvan de esta relacin de menor espesor de la capa. Una dureza mxima de alrededor de 5.5 GPa se alcanza a h = 5 nm. Par h menores, la dureza disminuye gradualmente con disminuyendo el espesor de la capa, reduciendo a alrededor de 4.7 GPa en h = 1 nm. La lnea discontinua horizontal correspondiente a un valor de dureza de 2,95 GPa representa la regla de los valores de la mezcla (ROM); es decir, un promedio de la dureza de capas simple de Cu y pelculas de acero inoxidable 304. Por lo tanto, la mxima dureza de multicapas es alrededor de un factor de dos superiores a la dureza del ROM. Porque acero inoxidable 304 tiene una mezcla de fases bcc y fcc h > 5 Nm, se dibuja una lnea de demarcacin en la figura 6 para separar la trama de la dureza de Cu/acero inoxidable 304 en dos regmenes. El primer rgimen, h > 5 nm, consiste en una mezcla de acero inoxidable 304 de fcc y bcc fases, mientras que en el segundo rgimen, h _ 5 nm, acero inoxidable 304 tiene fase de fcc.

FIGURA 6. Dureza de multicapas de Cu/acero inoxidable 304 y Cu/Ni como una funcin de h1/2 (h significa espesor de capa). La lnea discontinua horizontal indica la dureza del Cu/acero inoxidable 304 segn la regla de las mezclas.

DISCUSION
Para h _ 5 nm, acero inoxidable 304 fcc puede crecer epitaxially con Cu debido a la falta de coincidencia de pequea celosa-parmetro (0,48%). H _ 10 nm, capas de SS tienen una mezcla de fases de fcc y bcc, como se ilustra esquemticamente en la Fig. 4 (d). La formacin de acero inoxidable 304 bcc es sin embargo un resultado sorprendente porque SS austentico 304 tiene alrededor de 8% Ni para estabilizar la fase de austenita fcc. Se propone la formacin de pelcula delgada de acero inoxidable 304 de bcc metaestables debido a la rpida vapor Temple logrados en el proceso de pulverizacin. Se especula que slo se puede estabilizar la estructura fcc en pelculas delgadas de acero inoxidable 304 evaporados por crecimiento epitaxial en fcc Cu bajo la capa. Sin embargo, hemos observado la estructura fcc en los primeras anometers pocos del acero inoxidable 304 delgada chisporrotear pelcula depositado en otros sustratos no fcc as (por ejemplo, Si con xido de nativo). Es posible que la dc magnetrn pulverizacin de un destino de aleacin que contiene principalmente Fe, Ni y Cr no puede resultar en una pelcula con una composicin idntica al destino. De acero inoxidable 304, incluso una pequea gota en la proporcin de Ni-al-Fe con mayor espesor puede conducir a la estabilizacin de la estructura bcc. Tambin se ha reportado la formacin de la fase de bcc en acero inoxidable 304 a granel despus de intenso fro trabajando a temperaturas por debajo de la radiacin ambiente o iones a travs de una transformacin martenstica inducida por estrs. Por lo tanto, tensiones residuales intrnsecas en pelculas evaporados tambin pueden promover la formacin de fase bcc en 304S pelculas. Estamos investigando la formacin de estructuras de bcc en temperatura ambiente, pelculas delgadas de acero inoxidable 304 contraelectrodo de magnetrn dc ms detalladamente en los siguientes experimentos: (i) la medicin de tensiones de crecimiento, (ii) barrena perfiles de profundidad de la composicin de la pelcula, y (iii) sputtering otros aceros inoxidables austenticos que tienen la mayor concentracin de Ni para ver qu estructuras se obtienen en las pelculas delgadas. Ms adelante informaremos los hallazgos en un artculo separado.

Una comparacin de las propiedades mecnicas de Cu/acero inoxidable 304 con previamente estudiado Cu/Ni se muestra en la tabla II para h _ 5 nm. Es ms grande que el de Cu/Ni la dureza mxima (min) de Cu/acero inoxidable 304. Debido a la dureza del ROM para Cu/Ni es menor que la de Cu/acero inoxidable 304, la comparacin de min s no prueba que el Cu/acero inoxidable 304 es ms fuerte que el Cu/Ni h _ 5 Nm. Es necesario comparar la relacin de la min a ROM dureza (Hrom), o min/Hrom. Min/Hrom es mayor para Cu/acero inoxidable 304, en comparacin con Cu/Ni. Por lo tanto Cu/acero inoxidable 304 tiene mayor potencia que la de Cu/Ni. Sin embargo, esto es contrario a nuestra expectativa porque multicapa de Cu/Ni tiene un factor de aproximadamente cinco mayor desajuste de celosa-parmetro entre dos componentes. El pico de fuerza se observ en el espesor de la capa de aproximadamente 5 nm refleja la tensin de barrera de interfaz (_*) para la transmisin de single-luxacin. El mayor _ * para Cu/acero inoxidable 304 en comparacin con Cu/Ni puede entenderse cualitativamente basado en las observaciones siguientes.