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MEMS

ACELERÓMETROS

JOSÉ ÁNGEL PÉREZ MAGNI

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MEMS
Los Sistemas
microelectromecánicos
(SMEM), mejor conocidos
como
Microelectromechanical
Systems o MEMS
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MEMS
 Por lo general, los MEMS tienen
comúnmente dimensiones que van desde
el micrómetro hasta el milímetro .

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Algunas de las aplicaciones más
comunes son:
 Automoción: utilizados en automóviles modernos para
activación de la airbag al sufrir una colisión, presión de
neumáticos, ABS….
 Electrónica de consumo, tales como controladores de
juegos, reproductores multimedia personales, teléfonos
móviles, Cámaras Digitales….
 También se usa en ordenadores para estacionar el
cabezal del disco duro en caso de caída libre, para evitar
daños y pérdida de datos.
 Impresoras de inyección de tinta, las cuales usan un
piezoeléctrico para depositar la tinta en el papel.
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TIPOS DE ACELEROMETROS

 Mecánicos
 Capacitivos
 Piezoeléctricos
 Piezoresistivos
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Mecánicos
 Emplean una masa inerte y resortes elásticos.
Los cambios se miden con galgas
extensiométricos, incluyendo sistemas de
amortiguación que evitan la propia oscilación.

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Capacitivos
 Modifican la posición relativa de las placas de
un microcondensador cuando está sometido a
aceleración.

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Piezoeléctricos
 Su funcionamiento se basa en el efecto
piezoeléctrico. Una deformación física del
material causa un cambio en la estructura
cristalina y así cambian las características
eléctricas.

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Piezoresistivos
 Una deformación física del material
cambia el valor de las resistencias del
puente.

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 WIIMOTE

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 El chip MEMS de Analog
Devices para el Wiimote
es exactamente el
modelo ADXL330, su
tamaño es (4x4x1,45
mm) y bajo consumo. Su
rango de detección es de
±3,6 G y tiene una
sensibilidad de 300 mV/g.

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WII NUNCHUK (Tipo nunchaku)

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(NUNCHAKU)

 LIS3L06AL tiene un
tamaño de (5x5x1.5mm)
y un consumo
extremadamente bajo.
Este sensor presenta un
rango de detección de
±2G/±6G. Además,
proporciona gran
inmunidad ante
vibraciones, golpes y
temperaturas.

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ADXL330
 El sensor es una superficie de polisilicio construida en la
cima de una oblea de silicio (litografía).

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ENCAPSULADO

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ACELERÓMETRO
 Se denomina acelerómetro a un instrumento
destinado a medir aceleraciones. Se
construye uniendo una Masa m a un
dinamómetro cuyo eje está en la misma
dirección que la aceleración. Por la Ley
Fundamental de la Dinámica o Segunda ley
de Newton, se sabe que

donde ‘F’ representa las fuerzas que actúan


sobre la masa m y ‘a’ es la aceleración.

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 2ª Ley de Newton

 Modelo Matemático

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 Función de
transferencia
 Donde m es dato y
 Para s=0 k viene dada por
la deformación de
una viga.
 Frecuencia
natural

 Despejando
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ADXL330
 La deformación de la estructura es medida utilizando un
condensador diferencial que consiste en placas fijas
independientes y placas adjuntas a la masa sísmica en
movimiento. La aceleración desvía el movimiento de las
masas y los desequilibrios modifican el condensador
diferencial resultante, cuya amplitud es proporcional a la
aceleración.

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ADXL330

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ADXL330

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FIN
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