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INSTITUTO TECNOLGICO DE

HERMOSILLO
MATERIA:
MATERIALES AVANZADOS

TEMA:
MEMS

EQUIPO:
N 2

NOMBRE DE LOS INTEGRANTES:
ABARCA GMEZ JESS ANTONIO
BACA LPEZ DAVID MOISS
BALDENEGRO AYALA MARTN EFRAN
MORENO VAZQUEZ JESS ALFONSO
SLISTAN LPEZ NGEL ALBERTO

PROFESOR:
FRANCISCO MARTN NAJERA MORUA

Hermosillo, Son. a lunes 14 de Abril del 2014.
CONTENIDO
2. Aplicaciones, mercados, industrializacin
2.1. Aplicaciones aprobadas MEMS
2.2. Nuevas aplicaciones de MEMS
2.3. Mercados MEMS
2.4. Comercializacin e industrializacin
2.4.1 Hibrido o integracin
2.4.2 Calidad y normas
2.4.3 Tecnologa y comercializacin vallas
2.4.4 Cuestiones miniaturizacin
2.4.5 Fundiciones
2.4.6 Casas de diseo
OBJETIVO
El alumno conocer en definicin el tema de los MEMS y sus
aplicaciones bsicas en el mercado actual, as mismo
identificar los mtodos de fabricacin.

INTRODUCCIN
Los avances en el campo de los semiconductores estn dando lugar
a circuitos integrados con caractersticas tridimensionales e incluso
con piezas mviles. Estos dispositivos son llamados Sistemas Micro
electromecnicos (MEMS).

Micro mquinas en Japn
Tecnologa de Micro Sistemas MST en Europa

MEMS en general varan en tamao desde un micrmetro a un
milmetro.

.

QU ES UN MEMS?
Se trata de sistemas embebidos y especializados
en miniatura que involucran uno o ms
componentes o estructuras micro maquinadas que
actan como sensores o actuadores para habilitar
funciones en un nivel superior dentro de la
estructura de un sistema ms complejo.


CONSUMIDOR
ELECTRNICA
MDICO COMUNICACIONES
AEROESPACIAL,
DEFENSA
AUTOMOTOR OTRO
Inercial
Sensores
Podmetro, juego
control, la imagen
estabilizacin en de la
cmara de vdeo, disco
duro proteccin
Movimiento
seguimiento,
marcapasos

Misil
orientacin,
navegacin, lser
telmetro
Las bolsas de
aire, vehculos
Control
dinmico,
navegacin
sistemas, activo
suspensin,
rollo deteccin
Ssmico
exploracin,
robtica,
mquina
vibracin
ptico
Dispositivos
Microdisplays,
lentes de enfoque
automtico
Micro
espectrmetros
para uno mismo
paciente
prueba /
monitoreo
Variable ptica
atenuadores,
conmutacin ptica,
filtros sintonizables

Microespejos en
cdigo de barras
y lectores
proyectores
RF MEMS
Tuneable
y condensadores
resonadores para
los telfonos mviles,
interruptores en la
base
estaciones
Interruptores y
sintonizable
condensadores
para
radar y
comunicaciones

Interruptores,
rels,
resonadores, e-
fusibles
Micrfonos
Los telfonos mviles,
libretas,
videocmara
Audfonos
Manos libres
Llamadas


CONSUMIDOR
ELECTRNICA
MDICO
COMUNICACIO
NES
AEROESPACIAL,
DEFENSA
AUTOMOTOR OTRO
Microfluidic
dispositivos
Cabezales de inyeccin de
tinta
Lab on Chip para
diagnsticos
(Point of Care)
y anlisis,
respiradores,
bomba de
insulina,
micro agujas

Micro
de dispensacin,
el gas
y el lquido
cromatografa,
masa
espectrmetro,
micro
refrigeracin,
micro reactores
Presin
sensores
Senderismo altmetros,
equipo de buceo
Sangre
presin,
dilisis renal,
respiracin

El control de vuelo
sistemas, cabina
presin,
hidrulico
sistemas
Colector de
aire
Presin de
Neumticos,
Presin
Administracin
Sistemas

Presin
sensores

Prueba a largo
funcin

Entrada de aire
de
motor, el aire
la calidad en la
cabina

Sensores de
infrarrojos
Temperatura de la cabina
control, accidente
prevencin, anti niebla
sistemas, el asiento
ocupacin, los neumticos
y descanso monitoreo

Termmetro,
diagnsticos
Seguridad
monitoreo

Inicio climtico,
microonda
de control, blanco
bienes, industrial
HVAC (Humedad,
Ventilacin, Aire
Acondicionado)
Otros
Sensores de huellas
dactilares
Para la autenticacin

Huella dactilar
sensores para
autenticacin

Probecards para
pruebas elctricas
FORMAS DE PRODUCCIN
Los MEMS se convirtieron en prcticos una
vez que pudieran ser fabricados utilizando
modificacin de tecnologas de fabricacin
de semiconductores, normalmente
utilizadas en electrnica. Estos incluyen
moldeo y galvanoplastia, grabado hmedo
(KOH, TMAH) y grabado en seco (RIE y
DRIE), el mecanizado por electro descarga
(EDM), y otras tecnologas capaces de
fabricar dispositivos muy pequeos.

Aplicaciones Aprobadas de MEMS
Sensor Bolsa de Aire del Automvil
Sensor Bolsa de Aire del
Automvil
Funcionamiento:

Dispositivo de uso generalizado representado en forma de un
solo chip que contiene un sensor inteligente, o acelermetro,
que mide la rapidez de deceleracin de un vehculo al golpe de
un objeto.
La deceleracin es transmitida y convertida en un cambio de
voltaje.
Una unidad de control inmediatamente enva un seal para
activar y llenar de forma explosiva la bolsa de aire.
Caractersticas

Es efectivo en colisiones frontales.
Se activa a partir de 30 Km/hr.
El tiempo de inflado es de slo 0,03 seg.
Se desinfla en forma instantnea.
Otorga suficiente rea de contacto, pero sin obstaculizar
completamente la visual del conductor.
El mecanismo es operado por fuerza de inercia, evitando
cualquier mal funcin elctrica.
Slo puede ser instalado por el fabricante.
Al proteger el cuerpo del golpe contra el tablero o la columna de
direccin, el air bag evita las lesiones a: cara, cuello, cerebro,
hgado, riones, bazo.

UBICACIONES

Sensor de Presin Mdico
Sensor de Presin Mdico
Funcionamiento:

El sensor consta de un sustrato de silicio que est
grabado para producir una membrana y est unido a un
sustrato.
La capa piezoresistiva se aplica sobre la superficie de la
membrana cerca de los bordes para convertir la tensin
mecnica en una seal elctrica tensin.


Sensor de Presin Mdico
Funcionamiento:

La presin corresponde a la deflexin de la
membrana. El elemento sensor est montado en
un plstico o una base de cermica con una
tapa de plstico colocada sobre la misma,
diseado para encajar en la vivienda de un
fabricante. Un gel se utiliza para separar la
solucin salina desde el elemento de deteccin.

Cabezal de Impresin de
inyeccin de tinta

Cabezal de Impresin de
inyeccin de tinta
Funcionamiento:

Inventado en 1979 por Hewlett-Packard,

Los cartuchos utilizan una serie de boquillas para
pulverizar gotas de tinta directamente sobre un medio
de impresin.

Se basa en la expansin trmica de tinta de vapor.

Consta de arreglos de resistencias que son
calentadas por pulsos del microprocesador (3us)
donde la tinta fluye y esta es calentada y vaporizada
en forma de burbuja
Funcionamiento:

Cabezal de Impresin de
inyeccin de tinta
Pantalla de Proyeccin

Texas Instruments (TI) comenz a desarrollar DLP (Digital
Light Processor) productos MEMS en 1987 y los lanz en
1994.

Microespejos del DLP (proceso de luz digital) estn
montados sobre pequeas bisagras que puedan inclinarse
ya sea hacia la fuente de luz o lejos de l creando un pxel
claro u oscuro en la superficie de proyeccin.

Pantalla de Proyeccin
Pantalla de Proyeccin
Los espejos individuales son 12,7 m de anchura en un
campo de 13,7 micras.

El dispositivo est encapsulado en un ensamble solido de
vidrio/metal/ cermico en un disco caliente y en tiras
receptoras internas.

Los dispositivos MEMS se construyen a partir de cinco
capas de metal, tres para la circuitera de CMOS, y dos
para los MEMS estructura

2.2 NUEVAS APLICACIONES
DE MEMS
LAB ON CHIP
Los biochips son microchips biolgicos, sede de las
reacciones entre el ADN, protenas, reactivos qumicos y
biolgicos sobre placas de vidrio, silicio o plstico con el fin
de extraer informacin.

VENTAJAS
Facilidad de uso
Velocidad de anlisis
Alta reproducibilidad debido a la estandarizacin y la
automatizacin.
Capacidad de recibir los resultados de pruebas en unas pocas
horas o incluso minutos.
Bienestar en el paciente
Comodidad
ESTRUCTURA
Como se desprende del trmino Lab on Chip, el objetivo es colocar
todo el proceso de un laboratorio en un solo chip. Sistemas de
microfluidos, por tanto, normalmente contienen bombas de silicio
micromecanizadas, sensores de flujo, micro-canales,
microreactores y sensores qumicos
REAS Y APLICACIONES
reas:
El diagnstico mdico
El diagnstico clnico
La investigacin biolgica.

Aplicaciones:
SRAS
La leucemia
Cncer de mama
Trastorno bipolar
Enfermedades infecciosas

MOEMS
Se trata de MEMS, se fusion con Micro-ptica que consiste
en seales pticas de deteccin o la manipulacin en una
escala de tamao muy pequeo el uso de sistemas
mecnicos, pticos, elctricos y integrados.
Los productos MOEMS ms significativos basados incluyen,
atenuadores pticos variables, unidades de conmutacin
ptica y filtros sintonizables.

VENTAJAS
Tamao pequeo
Bajo costo
Bajo consumo de energa
Durabilidad mecnica
Alta precisin
Alta densidad de conmutacin
Procesamiento por lotes de bajo coste
RF MEMS
La radiofrecuencia de sistemas micro electromecnicos se
refiere a los componentes electrnicos de los cuales se
mueven las partes sub-milimtricas que proporcionan
funcionalidad de RF
APLICACIONES
RF MEMS estn diseados especficamente para su uso
dentro de la electrnica:
En los telfonos mviles
El radar.
Sistemas de satlites de posicionamiento global (GPS)
Antenas orientables.
Otras aplicaciones de comunicacin inalmbrica
VENTAJAS
Las principales ventajas que se obtienen a partir de tales
dispositivos incluyen:
Mayor aislamiento
Menos prdida de potencia
Capacidad de ser integrado con otros aparatos
electrnicos.
MEMS ha permitido al rendimiento, la fiabilidad y la
funcin de estos dispositivos a ser mejorada mientras se
conduce por su tamao y el coste al mismo tiempo.

TECNOLOGA
La tecnologa incluye dispositivos pasivos tales como
condensadores / inductores, filtros y resonadores.
Pero tambin es activo dispositivos tales como interruptores.
Estas funciones ultra-miniatura y RF altamente integrado de
bajas prdidas pueden reemplazar elementos de FR clsicos y
permitir una nueva generacin de dispositivos y sistemas de RF.





MICRFONOS MEMS
Los micrfonos MEMS son transductores de audio
fabricados utilizando una tecnologa llamada MEMS, Micro
Electrical-Mechanical System. Esta tecnologa permite la
construccin de artefactos mecnicos y elctricos.
APLICACIONES
Las principales reas de aplicacin de tales dispositivos incluyen:

Cmaras digitales
Telfonos mviles
Notas de libro / pads electrnicos
Juegos de manos libres de los telfonos mviles en los coches
Claramente ayuda de audicin es tambin un rea de aplicacin
importante


AUTOMOTRIZ
Ha sido el primer mercado de masas para los
productos de MEMS y fue durante mucho tiempo
la principal fuerza impulsora para la industria de
MEMS.
En la actualidad hay ms de 100 sensores en
cada coche moderno o de gama alta, de los
cuales alrededor del 30% de los productos son
de MEMS.

Acelermetros.
Giroscopios
Inclinmetros.
Presin.
Sensores de flujo.
Las reas de crecimiento esperados son:
sensores de infrarrojos para la calidad del aire,
acelermetros para el mantenimiento del
motor, microscanners para pantallas,
captadores de energa para la gestin de la
presin de los neumticos, etc.
PERIFRICOS TI
Dentro del mercado de los perifricos
informticos, los principales microsistemas son
las cabezas de lectura/escritura y los cabezales
de impresin de inyeccin de tinta.
Ambas categoras de productos estn bajo
presin debido a las tecnologas alternativas
que se ofrecen:
Las nuevas aplicaciones de MEMS en este
campo incluyen micrfonos, acelermetros y
productos de RF MEMS.
TELECOMUNICACIN
Se espera que el mercado de las
telecomunicaciones pticas este creciendo de
forma constante durante los prximos aos
Hay muchos MOEMS basados en conceptos y
tecnologas en la que se proponen y prueban,
pero su adopcin por la industria es lenta
debido a su renuencia a introducir la tecnologa
no probada.
En la actualidad, este mercado tambin est
creciendo poco a poco.
ELECTRNICA DE CONSUMO Y ESTILO DE VIDA
La electrnica de consumo es actualmente el rea
ms interesante para los proveedores de
acelermetros, micrfonos y otros productos
MEMS.
El iPhone de Apple y la consola Wii de Nintendo
son ejemplos interesantes.
Otros ejemplos son:
Micrfonos
Lentes de zoom en los telfonos mviles
Los telfonos mviles de gama alta emplean
sensores inerciales como acelermetros y
giroscopios para aplicaciones como el
desplazamiento, el reconocimiento de
caracteres, juegos y estabilizacin de
imagen.
APLICACIONES CIENTFCAS MDICAS Y DE SALUD
Hay un cambio de paradigma en el modelo actual
de atencin mdica a nivel mundial.
Uno de los facilitadores detrs de esto sern los
microfluidos basados en Point of Care (PoC) y
otros instrumentos de laboratorio en un chip (Lab
on Chip - LoC).
Ofrecen ventajas como el aumento de la
sensibilidad, la movilidad y la eficiencia en los
ensayos, as como ayudando a multiplicar el
nmero de pruebas realizadas al da en los
laboratorios. La llegada de la microfludica
fomentar el ahorro de tiempo y costes.
Reducir significativamente el tiempo y costo
de produccin de grandes cantidades de
material biolgico.
Otras aplicaciones de MEMS en los campos de
la medicina incluyen: acelermetros en los
marcapasos, los micrfonos en prtesis
auditivas.
APLICACIONES PARA EL HOGAR
Inicialmente los dispositivos MEMS se
consideraron demasiado caros para este
mercado.
Los sensores de presin y de temperatura son
los dispositivos MEMS ms abundantemente
encontradas para aplicaciones domsticas y los
acelermetros para lavadoras son considerados
como un rea de crecimiento.

CONTROL DE PROCESOS INDUSTRIALES
La fiabilidad, la escalabilidad, sensibilidad y
soluciones rentables que ofrecen los MEMS hace
que tengan el potencial de proporcionar
soluciones de sensores viables para la
automatizacin industrial.
Caracteristicas:
El pequeo tamao de los dispositivos
MEMS.
El bajo consumo de energa de estos
dispositivos.

Aplicaciones:
Control de la corrosin, presin y deteccin de
flujo, sensores de gas, acelermetros para el
control de la vibracin y el aprovechamiento de
la energa.


AEROESPACIAL
Este Mercado se caracteriza por los bajos
volumenes a diferencia de los mercados
anteriores.

Los sensores, en general, se utilizan para:
La medicin de altitud, direccin de la navegacin,
la velocidad, presin de la cabina y de la
temperatura, la cantidad de combustible, as como
para el motor y la gestin y el control hidrulico.
Figura 15 MST mercado por segmento de acuerdo con el Anlisis de
Mercado NEXUS para MEMS y microsistemas III 2005-2009.
2.4.1 Hbrido o Integracin

Para muchos productos MEMS, la capacidad de
integrarse con otros componentes electrnicos es una
gran ventaja. Tal capacidad se dar lugar a un mayor
rendimiento debido al ahorro en el consumo de
energa y mayor rendimiento, ambas asociadas con
una menor longitudes de interconexiones. Esto
tambin conducir a una disminucin en el costo de
montaje.
A travs de los aos, los productos de MEMS se han
transformado a partir de componentes relativamente
simples para aplicaciones especiales al complejo
CMOS integrados para dispositivos exigentes, de alto
volumen, aplicaciones.
2.4.2 Calidad o Normas
La industria de MEMS es, en algunos aspectos, en
lugar embrionaria si se compara con las industrias ms
establecidas de microelectrnica, semiconductores,
entre otros. Por otra parte, las tecnologas y los
productos son desarrollados para hacer frente a un
escenario de mltiples mercados. Estas
caractersticas, hacen que sea muy difcil para
estndares de programacin y seguido dentro de esta
industria
La falta de normas de fabricacin es tambin un
problema importante digno de mencin. Los procesos
utilizados para la MNT(Micro Nano Tecnologas) no
pueden entrar en el mbito de la los bien establecidos
queridos (especialmente en el caso de procesamiento
de silicio
2.4.3 Tecnologa y
Comercializacin vallas
Aunque tecnolgicamente prometedor, MEMS era
difcil de vender: la tecnologa no fue probada, no
haba infraestructura confiable detrs de l y slo unas
pocas personas entendieron el potencial y fueron
capaces de vincular la tecnologa con un aplicacin
especfica.
Despus de haber pasado mucho tiempo para llevar la
idea al mercado, el desarrollo del ncleo (viruta
tecnologa y aplicaciones de forma simultnea con
base), el paquete se descuida a menudo. Prototipos de
laboratorio eran difciles de traducir en alto volumen y
conceptos de produccin de bajo costo.
Ambos temas se han mejorado considerablemente en
los ltimos aos: muchos dispositivos MEMS estn en
el mercado ahora y paquetes MEMS especficas y
genricas son cada vez ms disponible, especialmente
para los sensores de alto volumen para la automocin
y electrnica de consumo
No todos los problemas han desaparecido sin embargo,
como parte de la atencin se ha desplazado a las
siguientes preguntas:
Es la segunda compra de componentes para la
produccin de MEMS factible?
Es hora de hojas de ruta tecnolgicas MEMS
(genricos)?
Tiene sentido para crear estndares de MEMS?
Podemos definir problemas de fiabilidad del ncleo
y acordar una metodologa de diseo comunes?

2.4.4 Cuestiones miniaturizacin
Con el fin de fabricar con xito dispositivos MEMS, la
fsica bsica y principios de funcionamiento deben ser
plenamente comprendidos y apreciados tanto en una
macro y el nivel micro. En esencia, el escalado a
menudo no es sencillo. A veces las pequeas ventajas
en trminos de rendimiento, el tamao / peso, la
confiabilidad y el costo puede ser adquirida con un
dispositivo MEMS
La miniaturizacin y el costo estn estrechamente
relacionados, sobre todo para los productos
elaborados con tecnologas Waferscale; Bsicamente,
la ms pequea el dispositivo rea de bienes races,
las ms dispositivos se pueden colocar en una oblea,
menor ser el costo de procesamiento por dado
(suponiendo que el costo de procesamiento por oblea
sigue siendo el mismo).
El rendimiento de estos dispositivos ha mejorado. Esto
ha sido acompaado por una reduccin de tamao
anual de aproximadamente 40% para el sensor de
empaquetado
2.4.5 Fundiciones
Productos destinados a grandes segmentos de
mercado pueden alcanzar altos niveles suficientes de
los volmenes de produccin para poder mantener
fbricas dedicadas. En tales casos, el suministro
cautivo es posible, aunque la externalizacin es
todava una opcin como se puede ver para los
mercados cabeza magntica, donde los proveedores
no cautivos operan
Un nmero de organizaciones van, en los ltimos
aos, en formas que pueden ser considerados como
alternativas viables para fundiciones, especialmente
para la fase de desarrollo de un producto y cuando
slo se necesitan pequeas cantidades. La siguiente
proporciona una breve descripcin de algunos de
ellos:
MEMS Exchange
MOSIS
Europractice Microsystems Service
Trabajando en conjunto con los desarrolladores
especializados, tales Diseo e Ingeniera empresas (D
& E) contribuir a una buena estrategia para cumplir con
la tecnologa y las hojas de ruta de productos.
2.4.6 Casas de diseo
Muchas de las empresas D & E puede hacer uso de
las instalaciones existentes (sobre todo en las
universidades) o participar en proyectos de
desarrollo, dirigido y / o iniciados por las
universidades, proporcionndoles la oportunidad de
operar de una manera muy rentable
El negocio principal de las empresas D & E se
encuentra en los segmentos de mercado donde se
puede identificar un nicho en base a un especialista
tecnologa. Los segmentos asociados con tecnologas
estndar y los volmenes altos son de menor
importancia para ellos.
BIBLIOGRAFA
1 Nexus Market Analysis for MEMS and Microsystems III, 2005 - 2009
2 Think Small!, issue 2, volume 2, July 2007, Wicht Technologie Consulting
3 Lab-on-Chip and Microfluidics Technologies' Capability to Reduce Costs and Time-to-Market
Drive Uptake in Drug Development and Clinical Diagnostics, Frost & Sullivan, July 2007
4 Foundries for MST/MEMS Worldwide-, November 2006 enablingMNT,
www.enablingMNT.com
5 Smith, J.H. et. al., Embedded Micromechanical Devices for the Monolithic Integration of
MEMS with CMOS, Proc. 1995 IEDM, pp. 609-612
6 Rewards and Risks of Moving into New Applications: Case Study Accelerometers, Henne
van Heeren, Jeremie Bouchaud, Richard Dixon and Patric Salomon, MSTnews, February
2007
7 2005 Electromechanical Switches Global Market Demand Analysis. www.vdc-corp.com
8 Emerging Markets for Microfluidic Applications, Yole Developpement, June 2007
9 MEMS in Medicine, Ken Gilleo, www.et-trends.com
10 Diagnostic Report 2007, Cambridge Consultants, www.cambridgeconsultants.com

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