Diseo y construccin de un

elipsmetro para la
caracterizacin de pelculas
delgadas
(Pelculas delgadas, Celdas solares)
Ronald M. Pastor Rodrguez(1), Hilda M. Quispe Abarca(2),
Luis Alberto Montoya Portugal(3), Juan Ernesto Palo Tejada(4)
Departamento Acadmico de Fsica, Universidad Nacional de
San Agustn
Av. Independencia s/n, Arequipa

(1) rpastorr@unsa.edu.pe, (2) hquispe4@unsa.edu.pe, (3)
almontoyap@hotmail.com, (4) debianaqp@terra.com
Contenido
Introduccin
Elipsometra
Mtodo
Resultados
Conclusiones


Introduccin

Antecedentes
Celdas solares experimentales con tcnicas de
evaporacin para celdas solares
experimentales. Actualmente en reparacin.
Estudios Actuales
Catalizadores con uso de radiacin UV y
sensores pticos UV e IR. Se estn explorando
otras tcnicas de deposicin de pelculas
delgadas (Dip-coating)

Introduccin
Tcnicas de caracterizacin de superficies y pelculas delgadas

Forma: Microscopia ptica, Microscopio de efecto tnel (STM) integrado en un
microscopio electrnico de barrido (SEM), Microscopio de Fuerzas Atmicas (AFM), etc.

Estructura: X-ray diffraction (XRD), Elipsometra, Perfilometra, Estudios en UHV de
crecimiento de sistemas bidimensionales por STM y LEED I-V, etc

Composicin elemental: Espectroscopia de electrones Auger (AES), Analisis de rayos X
por energa dispersiva (EDAX), etc.

Propiedades pticas: Elipsometra, espectrofotometra, etc.

Propiedades elctricas: resistencia - prueba de cuatro puntos, capacitancia, curva I-V,
etc

Propiedades magnticas: efecto Kerr magneto-ptico (MOKE), resonancia
ferromagntica (FMR)

Propiedades mecnicas: Nanoindentacin, Tcnicas electroqumicas (corrosin)
Elipsometra de reflexin
Se utiliza para determinar las constantes pticas
(ndice de refraccin, constantes dielctricas), el
espesor y la naturaleza de la superficie o
pelcula delgada. Es un mtodo relativamente
simple.
Esta tcnica consiste en analizar el estado de
polarizacin de la luz reflejada en una muestra.
Es necesario que la luz incidente tenga un
estado de polarizacin conocido.

Tipos de elipsmetros
De nulo o extincin
Fotomtricos:
De una sola longitud de onda
Espectroscpica


Mtodo
Elipsmetro de nulo: La seal en el detector es anulada
mediante la manipulacin del polarizador y analizador

El anlisis elipsomtrico se basa en la
determinacin de los ngulos
elipsomtricos y relacionados con el
cociente de los coeficientes de reflexin
complejos de Fresnel por:

i
s
p
e
r
r
tan
Resultados
Elipsmetro de reflexin de tipo nulo

Resultados
Conformacin del haz polarizador
circularmente: Max. variacin 7,3 %

0 20 40 60 80 100
0.6
0.8
1.0


I
n
t
e
n
s
i
d
a
d

r
e
l
a
t
i
v
a
ngulo()
Resultados
Reflexin sobre una placa de vidrio:
ngulo de incidencia 79,15
ngulos en el analizador con presencia de
nulos: 88 y -91.
Conclusiones
Fue posible obtener un elipsmetro de reflexin de tipo
nulo con elementos pticos que comnmente cuenta un
laboratorio de enseanza de ptica.
La estabilidad de la luz lser y de la respuesta del
detector, baja razn ruido seal, proporciona una mayor
fiabilidad en los resultados.
Aun no se ha establecido la influencia del grado de la no
polarizacin circular en la obtencin de nulos.
Debido a la reflexin en las diferentes superficies de la
muestra y la divergencia natural del haz se hace
necesario controlar el ensanchamiento del haz para
limitar lecturas de intensidad de luz reflejada
provenientes de un solo punto sobre las pelculas en
estudio.


GRACIAS