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2017
1
INTRODUÇÃO
Princípio de funcionamento
7
MATERIAIS
Máscaras Layout
Como os dispositivos
seriam fabricados em
lâminas de 3 polegadas,
foram feitos layouts
distribuindo as imagens
individuais de cada
máscara.
Foram feitas marcas de
alinhamento.
16
PROCESSOS DE FABRICAÇÃO
Sequências para fabricação Sensores
28
RESULTADOS
mV
Tensão
Microssensor
de pressão g
Massa
33
RESULTADOS
Gráfico da tensão em função da pressão
Para fazer analogia com mV
a pressão fizemos as
seguintes considerações:
- Área: 2,5.10-5 m²
Tensão
- Aceleração: 9,81 m/s²
- Massa: 0,05 kg
Pressão:
𝑭
𝑷= Pa
𝑨 Pressão
34
MEMS Examples
Micromotors
Source: Berkeley
MEMS Examples
Micro-Tweezers
DESENVOLVIMENTO DE MICROATUADORES
ELETROTERMOMECÂNICOS METÁLICOS
POR MEIO DE CORTE A LASER PARA
APLICAÇÃO EM MICROMANIPULAÇÃO
Figura 14 - Complete FE simulation of the ETM microgripper: (a) mesh of the topology optimized design; (b) voltage distribution;
(c) temperature distribution; (d) von Mises stress distribution of the deformed topology. (Wilfredo M. Rubio, Emilio C.N. Silva et al., 2009)
y = 17.413x + 0.2817
R² = 0.9814
20.00
15.00
DESLOCAMENTO (μm)
10.00
5.00
0.00
0.000 0.200 0.400 0.600 0.800 1.000 1.200 1.400
-5.00
POTÊNCIA (W)
MEMS Examples
Neural Probes
USP
Ibersensors 2008 32
MEMS technology for neural microelectrodes
Ibersensors 2008 33
INTEGRATED MICROSYSTEMS GROUP - DMI - LSI - USP
MICROMACHINING TECHNIQUES
• Deep boron diffusion
• Boron etch stop – high temperature and time
• Lateral diffusion
– “large”dimensions
• Strong crystal orientation
dependence
PROBE DESIGN
• Needle shape general
purpose electrochemical
system
• Multipoint and
multispecies detection
FABRICATION STEPS
INTEGRATED MICROSYSTEMS GROUP - DMI - LSI - USP
FABRICATION STEPS
INTEGRATED MICROSYSTEMS GROUP - DMI - LSI - USP
imec 2006 39
Simulated x experimental data 1
Pt electrode =20µm
Ibersensors 2008 40
Departamento de Sistemas Eletrônicos
Curso Superior de Microeletrônica
OBRIGADO !!!!