Методы и средства

измерения отклонений от
прямолинейности
 Измерение специальным прибором для
измерения отклонений от прямолинейности

1 - измеряемая деталь; 2 – предметный стол; 3 - образец

прямолинейности (направляющая прямолинейного перемещения); 4 -
измерительный преобразователь; 5 – электронный блок; 6 - компьютер;
7 - самописец, графопостроитель или печатающее устройство
Прямомер БВ-6084
Контурограф Mahr XC2
Контурограф Mahr XC2
Измерение с помощью КИМ

1 - измеряемая деталь; 2 - координатная измерительная

машина; 3 - измерительная головка
Технические характеристики КИМ
DEA Global 05-05-05
 Перемещения:
X: 500 мм
Y: 500 мм
Z: 500 мм
 Точность:
1.7+L/333 мкм
 Динамика:
3D скорость: 516 мм/c
3D ускорение: 1700 мм/с2

7
Измерение с помощью поверочных линеек
Проверка с помощью поверочных линеек

Допустимые отклонения от
Длина линейки, прямолинейности, мкм
Вес, кг
мм
Класс 0 Класс 1

200 1,6 2,5 0,320

320 1,6 2,5 0,850
Компарационные методы измерения
отклонений от прямолинейности

1 - проверяемая поверхность; 2 - корпус компаратора; 3 -

измерительные головки (ИГ) с качающимися плоскими
измерительными наконечниками; 4 - неподвижные опоры
Измерение прямолинейности сличением
с натянутой струной
Измерение зрительной трубой и
целевой маркой

1 - контролируемая
поверхность; 2 - зрительная
труба, укрепленная на жесткой
регулируемой стойке; 3 -
целевая марка; 4 - специальная
стойка для целевой марки
Измерение оптической линейкой
 Измерение оптической линейкой

1- микрометр; 2 — щуп; 3 — измерительная каретка; 4 — опоры; 5 — линейка; 6—

бифиляр; 7— визирный штрих
Измерение оптической линейкой
Наименование основных параметров  ИС-36М ИС-43

Пределы измеряемых отклонений поверхности    

от прямолинейности и плоскостности, мм:     
±0,4  ±0,2 
Пределы длин измеряемых поверхностей, мм.     
200 - 1600  200 - 800 
   
Цена деления шкалы отсчетного устройства,    
мм.  0,001 0,0005

Пределы допускаемой погрешности прибора,    

мм.  ± (0,001 + 0,1/h.) ± (0,0005 + 0,1/h.)
где h — где h —
измеряемое измеряемое
отклонение в мм.  отклонение в мм. 
 Гидростатические уровни

Ориентировочная погрешность ± 0,02 мм для

длины измеряемого участка до 20 м
Измерение относительных изменений наклона
отдельных участков профиля уровнями

1 - контролируемая поверхность; 2 - двухопорный измерительный

мостик; 3 – уровень
 Ампульные уровни

Цены деления обычно бывают от 0,01 до

0,2 мм/м
 Ампульные уровни

Длина рабочей Погрешность на одном

Цена деления, мм/м
поверхности, мм делении, мм/м
0,02 ±0,006
0,05 ±0,015
150, 200, 250
0,10 ±0,030
0,15 ±0,040
 Микрометрические уровни

Общий диапазон измерений составляет

±10 мм/м (±34'). Погрешность
измерения на небольших интервалах
находится в пределах цены деления
(±0,01 мм/м или ~±2"), на всем
диапазоне измерения — в пределах
±0,02 мм/м, т, е, ~±4"
 Индуктивные уровни

1 – корпус, 2, 4, 6 – пружины, 3 - опорная пластина, 5 – регулировочные винты,

7 – нити, 8 – маятник, 9 – якорь, 10 - катушка
 Индуктивные уровни
Электронный уровень
Tesa Microbevel 1 Электронный уровень Таливел 5 |
Taylor Hobson

Диапазон измерения ± 600сек (± 3мм/м)

Погрешность 0.2сек ± 3% показаний

 Емкостные уровни

Принцип действия емкостного уровня заключается в маятниковых свойствах

диска 2 весом около одного грамма, который находится на пружинных
подвесах 1 между плоскими электродами 3 и 4, с которыми образует
дифференциальный конденсатор
Автоколлимационный метод

1 - автоколлимационная труба, 2 - плоское зеркало

 Автоколлимационный метод

Предел
Предел
Прибор Цена деления допускаемой
измерения
погрешности
  
АК-0,25 6' 0,25''  0,25  ' '
 100 
  
АК-0,5 10' 0,5''  0,5  ' '
 100 
  
АК-1 12' 1'' 1  ' '
 100 
 Измерение с помощью лазерного
интерферометра

1 - измеряемая поверхность; 2 - двухопорный измерительный мостик; 3 -

отражатель с двумя угловыми оптическими призмами; 4 - отделенный
интерферометр; 5 – лазер; 6 - электронная часть с цифровой индикацией или с
регистрирующим самописцем
 Интерферометр Майкельсона

1 2
1 - источник; 2 –
полупрозрачная пластина;
3 - отражатель; 4 –
подвижный отражатель; 5
– точечная диафрагма; 6 –
фотоприемник; 7 -
электронно-
вычислительное
устройство обработки и
индикации результатов
5 измерения

7 6
 Лазерные интерферометры

1. Фирма "ZYGO" выпускает лазерную измерительную систему

ZMI-1000, с использованием акусто-оптического модулятора
для смещения спектра сигнала.

2. Фирма "Renishaw" выпускает ряд лазерных

интерферометров (ML10, CS10, PC10, EC10).

3. Фирма "Hewlett-Packard" выпускает лазерный

интерферометр HP 5528A, с использованием
двухчастотного лазера.
Метрологические характеристики:
при измерении участков большой протяженности цена деления – 0.1 мкм,
погрешность измерения составляет порядка 0.2 мкм
 Базы для отсчета отклонений от
прямолинейности

1. Прилегающая прямая

2. Средняя прямая по МНК

3. Прямая соединяющая первую и последние

точки
 Построение прилегающей прямой

Прилегающая прямая - прямая,

соприкасающаяся с реальным профилем и
расположенная вне материала детали так,
чтобы отклонение от нее наиболее
удаленной точки реального профиля в
пределах нормируемого участка имело
минимальное значение.
 Построение профиля поверхности

x y
14

0 0
12 100 3
200 7
10 300 8
400 6
8
500 5
600 4
6
700 9
800 11
4

900 12

2 1000 12
1100 10
0 1200 10
0 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1000 1100 1200 1300
1300 13
 Построение касательной прямой

16

14

12

10

0
0 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1000 1100 1200 1300
Определение наиболее удаленной точки
16

14

12

10

0
0 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1000 1100 1200 1300

Если наиболее удаленная точка по оси Х лежит между двумя точками

касания, то касательная прямая является прилегающей.
Расстояние до наиболее удаленной точки определяется в
направлении параллельном оси Y.
 Поворот прямой
16

14

12

10

0
0 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1000 1100 1200 1300
Если наиболее удаленная точка по оси Х не лежит между двумя
точками касания, то касательная прямая не является прилегающей.
Необходим поворот прямой вокруг точки касания в направлении
наиболее удаленной точки.
 Поворот прямой
Поворот осуществляется до касания прямой профиля или до появления второй
наиболее удаленной точки.
18

16

14

12

10

0
0 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1000 1100 1200 1300
Расчетный метод определения
прилегающей прямой
Строится таблица.
X,Y – координаты точек профиля
Yпр – координаты точек
прилегающей прямой
Определяется по формуле:
=$G$1*A4+$G$2
Откл – расстояние от прилегающей
прямой до точек профиля
Определяется по формуле:
=F4-C4
a, b – коэффициенты,
определяющие положение
прилегающей прямой (начальные
значения можно задавать равные 0)
Отклонение от прямолинейности
определяется, как наибольшее из
отклонений
=МАКС(G4:G17)
 Расчетный метод определения
прилегающей прямой

Определяются коэффициенты a и b прилегающей прямой, такие что наибольшее

расстояние до точек профиля должно быть наименьшим.
При этом прямая является касательной, поэтому все расстояния должны быть
положительными.
 Построение средней прямой

Средняя прямая – прямая, пересекающая

профиль, и расположенная таким образом,
что сумма квадратов расстояний от этой
прямой до точек профиля является
наименьшей.
Расчетный метод определения
средней прямой
Строится таблица.
X,Y – координаты точек профиля
Yср – координаты точек средней
прямой
Определяется по формуле:
=$K$1*A4+$K$2
Откл – расстояние от средней
прямой до точек профиля
Определяется по формуле:
=J4-C4
Откл2 – квадрат расстояния от
средней прямой до точек профиля
Определяется по формуле:

=K4^2
a, b – коэффициенты,
определяющие положение средней
прямой (начальные значения можно
задавать равные 0)
Расчетный метод определения
средней прямой
Сумма квадратов отклонений
определяется по формуле:
=СУММ(L4:L17)
Наибольшее отклонение
определяется по формуле:
=МАКС(K4:K17)
Наименьшее отклонение
определяется по формуле:
=МИН(K4:K17)
Отклонение от прямолинейности
определяется по формуле:

=K18-K19
 Расчетный метод определения
средней прямой

Определяются коэффициенты a и b средней прямой, такие что сумма квадратов

расстояний до точек профиля должно быть наименьшим.
 Расчетный метод определения
средней прямой
14

12

10

0
0 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1000 1100 1200 1300

Отклонение от прямолинейности определяется как сумма наибольших

расстояний от точек расположенных выше и ниже до средней прямой
 Построение прямой, соединяющей
первую и последнюю точки

(Xп, Yп)
(X1, Y1)

X  X 1 Y  Y1

X  X п Y  Yп
Yп  Y1 Yп  Y1
Y  X  Y1  X 1 
X п  X1 X п  X1
 Расчетный метод определения прямой,
соединяющей первую и последнюю точки
Строится таблица.
X,Y – координаты точек профиля
Y1п – координаты точек прямой,
соединяющей первую и последнюю точку
Определяется по формуле:
=$P$1*A4+$P$2
Откл – расстояние от прямой,
соединяющей первую и последнюю
точку, до точек профиля
Определяется по формуле:
=O4-C4
a, b – коэффициенты, определяющие
положение прямой, соединяющей первую
и последнюю точку
Определяются по формулам:
=(C17-C4)/(A17-A4)

=C4-A4*(C17-C4)/(A17-A4)
 Расчетный метод определения прямой,
соединяющей первую и последнюю точки

Наибольшее отклонение
определяется по формуле:
=МАКС(P4:P17)
Наименьшее отклонение
определяется по формуле:
=МИН(P4:P17)
Отклонение от прямолинейности
определяется по формуле:
=P18-P19
 Расчетный метод определения прямой,
соединяющей первую и последнюю точки
14

12

10

0
0 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1000 1100 1200 1300

Отклонение от прямолинейности определяется как сумма наибольших

расстояний от точек расположенных выше и ниже прямой, соединяющей
первую и последнюю точки
 Сравнение результатов

Отклонение от
База для отсчета
прямолинейности, мкм

Прилегающая прямая 5,5

Средняя прямая 5,7

Прямая, соединяющая
первую и последнюю 7,0
точки