Дисциплина «Технология

электрических материалов»

Лекция на тему:
Новейшие технологии производства
современных материалов

Подготовил: к.т.н., доцент С.Р.Селиверстова

 План лекции
• Классификация технологий и методов
получения электротехнических
материалов
• Технологические особенности
нанесения покрытий
• Нанотехнологии современных
электротехнических материалов
 ЛИТЕРАТУРА
• 1. Пасынков В.В. Материалы электронной техники - М.: ВШ, 1990г.
• 2. І.Смирнов, В.М.Пащенко Обладнання та технологія вакуумно-
конденсаційного нанесення покриттів / Навч.посіб. – Х.: Мачулін.2016.
• 3. Электротехнические и конструкционные материалы. / Под ред. В.А.
Филикова - М.: Мастерство, ВШ, 2001 г.
• 4. Кликушин Ю.Н., К.Т. Кошеков, А.И. Чередов Электротехнические
материалы - Петропавловск: СКГУ, 2005 г.
• 5. Богородицкий Л.П., Пасынков В.В., Тареев Б.М.
Электротехнические материалы - Л.: Энергоатомиздат, 1985 г.
• 6. Справочник по электротехническим материалам. /Под ред. Ю.В.
Корицкого - М.: Энергия, 1987г.
• 7. Окадзаки К. Пособие по электротехническим материалам - М.:
Энергия, 1989г.
• 8. Нанотехнологии в электронике / под ред. Чаплыгина Ю.А. М.: -
Техносфера , 2005 г.
• 9. Антипов Б.Л., Сорокин В.С., Терехов В.А. Материалы электронной
техники - СПб: Лань, 2003 г.
• 10. Информационные ресурсы сети Internet.
 Технологии и
методы
получения
материалов

Порошковой Синтез и нанесение

Металлургические
металлургии покрытий

нанотехнологии
Изделия цветной металлургии
Прокат черной металлургии
 Порошковая металлургия
• Суть порошковой металлургии заключается в производстве
порошков и изготовлении из них изделий, покрытий или
материалов многофункционального назначения по безотходной
технологии.
• Порошки получают из металлического и неметаллического
сырья, а также вторичного сырья машиностроительного и
металлургического производства.
Сверхпроводящие материалы
ПРИМЕНЕНИЕ
Применение сверхпроводниковых кабелей в
генераторах больших мощностей
Области применения нанокомпозиционных проводов
Наноструктурные
электротехнические
провода
Нанотехнологическая составляющая
Схема получения наноструктуры Cu-Nb по технологии «плавка +
деформация» в высокоэлектропроводной матрице из меди
Свойства длинномерных Cu-Nb проводов крупного
сечения (от 6 мм2 до 112 мм2)
Магнитно-импульсная штамповка
Оборудование для получения наноструктурных
электротехнических проводов
Оборудование для изучения свойств образцов
 Технология нанесения покрытий различного
функционального назначения

Область применения:
1) Получение износостойких, защитных и декоративных покрытий
2) Получение композиционного порошкового материала для:

- создания новых катализаторов;

- композиционных материалов путем прессования и спекания
композиционных порошков, например, для изготовления режущего
инструмента;
- псевдосплавов с повышенными прочностными свойствами,
например, сплавов на основе алюминия с дисперсным упрочнением
плакированными частицами;
- композиционных пластмасс;
- нанесения газотермических и гальванических покрытий со
специальными свойствами.

ПОВЫШЕНИЕ ИЗНОСОСТОЙКОСТИ В 3—10 РАЗ

CVD-процесс (англ. Chemical vapour deposition) РVD-процесс (англ. physical vapour deposition )

Газотермические
методы нанесения

15 16 17 18

Газопламенное напыление и высокоскоростное

15

газопламенное напыление HVOF

Электродуговая металлизация

Детонационное напыление
Плазменное напыление
Наносятся в реактивных средах Наносятся в вакууме
Возможность нанесения различных покрытий
рассматриваемыми методами
ЭИЛ - электроискровое легирование
ИА - ионное азотирование в плазме тлеющего разряда
ИЦ - ионная цементация в плазме тлеющего разряда
ИИ - ионная имплантация
ДН - диффузионное насыщение из твердой, жидкой или газовой фазы
ТДН - термодиффузионное насыщение поверхности твердого сплава из
твердой фазы
ГТ - нанесение карбидотитановых покрытий на неперетачиваемые
твердосплавные пластинки
GC - метод GC, разработанный фирмой SANDVIC COROMANT (Швеция)
GM - метод GM, разработанный фирмой PLANSEE (Австрия) КВТК -метод
вакуумного титанирования
КИБ - конденсация покрытия из пароплазменной фазы с ионной
бомбардировкой в вакууме
РЭП - реактивное электронно-плазменное осаждение покрытия из
пароплазменной фазы в вакууме
ИП - ионное плакирование и его разновидность: активированное
реактивное напыление (метод ARE)
МИР - магнетронно-ионное распыление и его разновидность:
магнетронно-ионное реактивное распыление (МИР)
ГМН – газотермические методы нанесения
ДН - детонационное напыление
Возможность нанесения различных покрытий рассматриваемыми
методами

ГМН

* *

+
+
+
+

+
+

+
+
Возможность нанесения различных покрытий рассматриваемыми
методами
СРАВНИТЕЛЬНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ МЕТОДОВ НАНЕСЕНИЯ
ТОНКИХ ПОКРЫТИЙ

Методов CVD и PVD

Вакуумных методов
нанесения
покрытий
 Метод КИБ — катодно-ионной бомбардировки или метод конденсация
вещества из плазменной фазы в вакууме с ионной бомбардировкой
поверхности (англ. Arc-PVD)

Впервые систематические исследования и разработки вакуумно-дугового метода и

оборудования с целью их адаптации к условиям индустриального производства были
начаты одним из научных коллективов Харьковского физико-технического института
(ХФТИ) еще в конце 60-х годов XX века и продолжаются по настоящее время.
В 1976—1980 годы началась разработка техники и технологии нанесения различных
упрочняющих и защитных покрытий вакуумно-дуговым методом. Разработанные в ХФТИ
установки для нанесения таких покрытий, и давшие начало широкому промышленному
применению метода, получили название «Булат».
Установка была защищена пятью зарубежными патентами в США, Великобритании,
Франции, ФРГ, Японии, Италии.
В 1979 г. Джозеф Фильнер (H. Joseph Filner), глава американской фирмы «Noblemet
International», совместно с правительством СССР было подписано лицензионное соглашение
на применение упрочнения металлорежущего инструмента.
В результате чего, была специально создана фирма «Multi-Arc Vacuum Systems» (или
«MAVS»), годовой доход которой за два года вырос с нуля до 5 млн. долларов США. Фирме
«Multi-Arc» была продана исключительная лицензия на оборудование и технологию
осаждения покрытий TiN на режущий инструмент из быстрорежущих сталей. Территория
действия соглашения составила более 40 стран Северной Америки, Европы и Азии.
В 1981 году было подписано лицензионное соглашение с ВТП «Политехна» (ЧССР) на продажу
технологии упрочнения режущего инструмента методом КИБ.
В 1980—1985 годы осуществлялось патентование усовершенствований установки «Булат»,
переданной по лицензии. Были получены охранные грамоты на 36 патентов в 15 странах
мира.
Штампы с покрытием из нитрида титана
(TiN), полученным вакуумно-дуговым
осаждением Червячная фреза с
покрытием из
нитрида алюминия
хрома титана
(AlCrTiN),
полученным
вакуумно-дуговым
осаждением

Фрезы с покрытием из нитрида алюминия

титана (AlTiN), полученным вакуумно-
дуговым осаждением
 Технологическая схема метода КИБ
ВДУЧ-315 ВДУЧ-315
5 5
1 1

2
2 U=50 – 80 B
U=50 – 80 B 3
3 I=60 – 150 A
6

6
4

8 U=50 – 250 B 7
7
U=50 – 250 B

Поверхность изделия поверхность изделия

1) катод. 2) катодное пятно дуги. 3) фокусирующая катушка.

4) магнитная линза. 5) источник низковольтного напряжения.
6) анод. 7) поверхность изделия. 8) вакуумная камера
Физические основы метода КИБ
(ионно-плазменный метод)
Анод

Катод А Микрокапли

Нейтральные атомы
Ионы металла
Ионы реакционного газа

Электроны

Ионизация атомов катодного

материала

Ti ; Al ; Cu
+6 +4 +5

Скорость распространения
ионов – 1 – 10 км/с
Поверхность изделия
 Промышленное оборудование метода КИБ

Установка Булат - 4

Установка Булат - 9

Установка Булат – 9М
ОБЩИЙ ВИД УСТАНОВКИ ИОННО-ПЛАЗМЕННОГО НАПЫЛЕНИЯАНГА-1

Основные технические характеристики

Масса установки, кг: 2500;
Максимальная мощность, кВт: 90;
Предельное разряжение в камере напыления, Па 2,6610-3;
Разряжение при роботе с реакционным газом, Па 2,6610-1;
Время достижения предельного разряжения, мин не больше 45;
 ОПРЕДЕЛЕНИЕ ИЗНОСОСТОЙКОСТИ ПОКРЫТИЙ
Микротвердость поверхностного слоя. Нμ

Pömax
HGVt  0, 076
t2
Значение твердости HGV
1.8544 PВ
H 
Рв b2 / 2
b
D
G D’
С Е Рц
К
К’(Е’)
Н
В В’
α

Fбок
t

А А’

Прибор АИ2.280.005ПС Рв

Индентор - пирамида Виккерса;

N1

Нагрузка на индентор - 0,01-2,0Н; h α/2

Рц
р Рц

Скорость склерометрии - 8 ·10-5 м/мин;

N2
Рв N

Схемы пирамиды Виккерса:

параметры и зоны;
разложение сил, действующих на поверхность
при испытании методом склерометрии;
 Физико –механические свойства покрытий TiN
НАНЕСЕНИЕ ИЗНОСОСТОЙКОГО
ПОКРЫТИЯ TiN НА РЕЖУЩИЙ ОБЩИЙ ВИД СКЛЕРОМЕТРИЧЕКИХ
ІНСТРУМЕНТ ЦАРАПИН
(ЛЕЗВИЯ, СКАЛЬПЕЛИ, ИГОЛКИ И Т.П.)

Свойства покрытий полученных методом КИБ

Относительная
Нагрузка на величина
Микротвердость, Микротвердость, Интенсивность
индентор, пластического
Материал изнашивания, г/км
Нμ, ГПа HGV, МПа объема,
РВ, Н (±3%)
относительных
единицах (±3%)
Без покрытия 1,0 5,77 13520 2,88 0,92
1,5 6,18 15305 2,22 0,85
С покрытием
1,0 7,01 18946 1,65 0,85
ТіN
0,5 16,20 61654 0,40 0,83
Покрытие ТіN 0,25 37,10 93124 0,25 -
 Перспективы развития метода КИБ
1. Получение композиционного порошкового материала для
газотермических покрытий и производства деталей методом
порошковой металлургии.
2. Разработка технологии получения сложных карбонитридов и оксидов
металла, например TiCN или получение интерметаллидов, например TiAl3
3. Совмещение традиционного метода КИБ с методом ионной имплантации
PBIID

общий вид плакированных частиц релита ×

100; б) поперечный шлиф плакированной Металлизированный титаном и
частицы порошка× 630. алюминием: а) порошок Al2O3 , б) порошок
ZrО2— электронная микроскопия, Х2500
 2. Совмещение традиционного метода КИБ с методом ионной
имплантации PBIID

ВДУЧ-315
5
1

2
3

U=50 – 80 B
6 I=60 – 150 A

8 Атом или молекула

7 материала покрытия

Атом основного материала

U=50 – 150 B + U=500 – 8000 B
Поверхность изделия
при f=7кГц
 ГАЗОТЕРМИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ НАНЕСЕНИЯ
Технология газотермического нанесения покрытий экономически эффективна, т.к. не требует
дорогостоящего вакуума, обеспечивает высокую производительность,
характеризуется небольшой трудоемкостью и позволяет наносить покрытия на
крупногабаритные изделия.
• .
ГАЗОТЕРМИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ НАНЕСЕНИЯ

Газопламенный
метод
ГАЗОТЕРМИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ НАНЕСЕНИЯ
Детонационный метод
Возможности применения газового напыления для создания
наноструктурированных покрытий
Анодная защита винто-рулевой группы и корпуса судна
Для борьбы с коррозией используют также методы
газотермического напыления
 ПРИМЕНЕНИЕ ГАЗОТЕРМИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ
Вид установки для дозирования стекломассы
Лезвие для отрезки стекломассы,
материал – сталь Р18

Δm/S·10-3, г/мм2 Кинетика износа

0,2

0,3
С покрытием
0,4

0,5
без покрытия
0,6

0,7
1 2 3 4 5 6 7
Классификация наноматериалов
Музей нанотехнологий
Основные причины спецификации наноматериалов
.
.
Квантовые точки, нанопроволоки и нановолокна