СЕКРЕТЫ ПРОИЗВОДИТЕЛЕЙ: РАЗНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ И ОДИНАКОВАЯ СТОИМОСТЬ ПРОИЗВОДСТВА 9-

ОСЕВЫХ IMU

23-05-2014

Проведенное «вскрытие» трех новейших 9-осевых инерциальных измерительных устройств (IMU, Inertial
measurement unit), впервые выпущенных в 2013 году, – BMX055 Bosch Sensortec, MPU-9250 InvenSense,
и LSM9DS0 STMicroelectronics – показывает, что при схожей стоимости и затратах, производители применяют весьма
различные подходы при создании своей продукции.

Согласно докладу аналитиков компании Yole Development, в погоне за преимуществами интегрированных устройств и
снижением цен, рынок микросхем датчиков вырастет с $446 млн. в 2013 году до $1970 млн. в 2018 году. При таких
темпах роста, мировой потребительский рынок инерциальных устройств может вырасти с 21% в 2013 году до 66% к
2018 году.

Рынок микросхем датчиков чрезвычайно быстро принял 6-осевые IMU и электронные компасы. Относительно новые 9-
осевые решения сейчас проходят проверку. Несомненно, последуют и другие инновационные решения. Микросхемы
датчиков становятся ведущим направлением в бытовой электронике, находят свое применения в автомобильной
промышленности, но все же, смартфоны, остаются главной движущей силой, которая будет стимулировать рынок еще
в течение нескольких лет.

Цены на IMU быстро снижаются. Некоторые из них уже продавались в 2013 году крупным заказчикам менее чем за
один доллар за штуку. Цены на 9-осевые устройства, рассматриваемые в обзоре, все еще относительно высоки, но
давление на них высокой стоимости будет расти, когда они выйдут в массовое производство.
Три рассматриваемых микросхемы имеют различные корпуса и посадочные площадки – от 4x4 мм (16 мм 2) для датчика
от STMicroelectronics до 3x3 мм (9 мм2) для датчика InvenSense. При этом стоит отметить, что STMicroelectronics и Bosch
Sensortec применяют корпус LGA, в то время как InvenSense использует QFN-корпус.

Три корпуса отличаются друг от друга по размеру (вверху). После удаления эпоксидной смолы различий еще больше
(внизу).

Сильные различия во внутренней структуре становятся заметны после удаления эпоксидной смолы. Например,
STMicroelectronics и Bosch используют пять отдельных кристаллов, а InvenSense два кристалла: один для 6-осевого
акселерометра/гироскопа, другой – для 3-осевого магнитометра.
Таким образом, каждый производитель широко варьирует общую площадь кристаллов, которые они используют – 19
мм2 для STMicroelectronics, 14 мм2 Bosch и всего лишь 8 мм2 InvenSense. Большее количество кремниевых кристаллов
требует большего числа проводных соединений для их подключения. STMicroelectronics в своем IMU использует 76
проводных соединений по сравнению с InvenSense, использующих 25.

STMicroelectronics сокращает размеры

STMicroelectronics использует один MEMS-кристалл для 6-осевого акселерометра/гироскопа, тем самым сокращая
размер функциональной части более чем на 30%, по сравнению с их предыдущим комбинированным решение,
использующим два кристалла.

В микросхеме применяются стеклокерамические и термокомпрессионные gold-gold связки для фиксации MEMS-

кристалла, позволяя уменьшить уплотняющий каркас и таким образом сократить размер кристалла.
 Акселерометр / гироскоп LSM9DS0 внутри. Источник: System Plus Consulting.

Bosch всё делает самостоятельно

Микросхемы Bosch представляют собой 9-осевой MEMS IMU с функцией акселерометра, гироскопа и магнитометра.
BMX055 включает в себя второе поколение геомагнитных датчиков Bosch c 3-осевой поддержкой на одном кристалле,
в отличие от трех независимых кристаллов в предыдущем поколении.

Кроме того Bosch использует эвтектическую Al-Ge сварку для корпусирования MEMS-гироскопа вместо классической
стеклокерамической пленочной сварки.
 Трехосевой магнитометр в датчике BMX055.  Источник:  System  Plus  Consulting.

InvenSense уменьшает размер и стоимость

9-осевой IMU включает в себя 3-осевой гироскоп, использующий новую одновибраторную структуру, в отличие от трех
различных структур в предыдущем поколении. Это приводит к сокращению площади, занимаемой 3-осевым
гироскопом на 40%.

Вторым преимуществом одновибраторной структуры является то, что процесс Nasiri, по которому изготавливается
датчик, был изменен. Полости, которые традиционно вытравливались в ASIC для того, что бы позволить MEMS-
структуре двигаться, больше не используются, что в свою очередь приводит к снижению стоимости производства.

Так же в состав нового IMU входит 3-осевой магнитометр, размер которого также на 40% меньше, чем размеры
магнитометра в предыдущем поколении датчиков.

MEMS акселерометр/гироскоп в MPU-9250 от  InvenSense.  Источник: System Plus Consulting.

Одинаковая стоимость, разные цепочки поставок

Все три производителя микросхем используют различные цепочки поставок своей продукции. Bosch и
STMicroelectronics в основном полагаются на себя при производстве компонентов. Причем, Bosch опирается только на
собственное производство ASIC, а STMicroelectronics покупает кристаллы магнитометров у Honeywell.

В противоположность этому, компания InvenSense не обладает своими производственными мощностями и зависит от

нескольких поставщиков и сборщиков ее датчиков. Кристаллы магнитометров для них поставляет AKM, которая делает
6-осевые акселерометры/гироскопы MEMS и ASIC, а упаковывает OSAT. Сама же InvenSense непосредственно
разрабатывает датчики и производит их окончательную проверку.
 Структура цен трех 9-осевых датчиков.

Даже при использовании различных подходов к производству современных 9-осевых IMU, окончательные затраты на
производство у этих производителей практически одинаковые. Несмотря на умный подход InvenSense к интеграции и
использование меньшего количества кремния, компания опирается на многих третьих лиц, которые добавляют
значительные расходы.

Производитель: InvenSense Inc.
MPU-6000
Срок
Цена, руб.
поставки
ИНФО PDF
Укажите
MPU-6000 объединяет 3-х осевой гироскоп и 3-х кол-во:
осевой акселерометр. Кроме того, на этом же 1
кристалле установлен Digital Motion Processor™ 544,00 r ▲
(DMP™) работающий по 9-ти осевому алгоритму На складе: ▼ 
от 7 шт. 466,00 q
MotionFusion (Данные трех недостающих осей 340 шт.
можно получить с помощью внешнего магнитного от 14 шт. 428,00 q
компаса). 
Размеры: 4x4x0.9мм QFN

MPU-6050 Цена, руб.

Срок
Укажите
ИНФО PDF AN поставки
кол-во:
Шестиосевой сенсор движения, сочетающий в 486,00 r 1
▲
миниатюрном корпусе трёхосевой гироскоп, На складе: 3
от 8 шт. 417,00 q ▼ 
трехосевой акселерометр и сигнальный процессор шт.
DMP от 16 шт. 383,00 q

ITG-3200 Цена, руб.

Срок
ИНФО PDF поставки

Запросить
432,00 r условия
Миниатюрный 3-х осевой гироскоп ITG-3200 с I2C поставки
от 9 шт. 370,00 q
400 кГц интерфейсом QFN 4x4x0.9 мм.
от 18 шт. 340,00 q
MPU-9150 Цена, руб.
Срок
ИНФО PDF OBS поставки
Запросить
Девятиосевой сенсор движения, объединивший в 1020,00 r условия
одном корпусе два кристалла: на одном - поставки
от 4 шт. 867,00 q
трёхосевой гироскоп и трёхосевой сенсор, а на
втором – трёхосевой магнитометр от 8 шт. 796,00 q

MPU-3050 Цена, руб.

Срок
ИНФО PDF AN поставки

Миниатюрный 3-х осевой гироскоп MPU-3050 с 6- Запросить

ти осевым контроллером в корпусе QFN 4x4x0.9мм. 741,00 r условия
6-ти осевой MotionProcessing™ контроллер поставки
от 5 шт. 635,00 q
позволяет подключить по I²C интерфейсу внешний
акселлерометр.  от 11 шт. 583,00 q
Чувствительность гироскопа ±250... ±2000°/sec.

MPU-6500 Цена, руб.

Срок
ИНФО PDF поставки

MPU-6500 - 6-и осевой датчик ориентации в

миниатюрном корпусе QFN 3х3х0.9 мм. Обработка
данных осуществляется Digital Motion Processor™ Укажите
(DMP). кол-во:
Гироскоп: 1
414,00 r
- Разрешение 16 бит ▲
На складе: 87
- Диапазон измерений ±250°/S до ±2000°/S от 9 шт. 355,00 q ▼ 
шт.
Акселерометр: от 19 шт. 326,00 q
- Разрешение 16 бит
- Диапазон измерений ±2g/±4g/±8g/±16g
Ток потребления до 3,4 мА (6мкА в режиме сна) 
Напряжение питания VDD: 1.71V–3.6V
Корпус QFN (3x3x0.9мм)

MPU-9250 Цена, руб.

Срок
Укажите
ИНФО PDF AN поставки
кол-во:
626,00 r 1
Cамый миниатюрный в мире (корпус QFN 3x3x1 ▲
На складе:
мм) 9-осевой сенсор движения второго поколения от 6 шт. 537,00 q ▼ 
869 шт.
компании InvenSense от 13 шт. 493,00 q
 MPU-9250EVB Цена, руб.
Срок
ИНФО PDF AN поставки
Укажите
MPU-9250EVB - макетная плата 9-nb осевого кол-во:
датчика положения MPU-9250. Данные с сенсоров 1
оцифровываются 16-битными АЦП, ▲
На складе: 3
обрабатываются с применением алгоритмов Motion 5940,00 r ▼ 
шт.
Fusion сигнальным процессором DMP (Digital Motion
Processor) и передаются внешнему
микроконтроллеру по шине I2C/SPI.

MPU-6000 EVB Цена, руб.

Срок Укажите
ИНФО PDF поставки кол-во:
1
▲
Макетная плата на безе 6-осевого MEMS датчика На складе: 3
5170,00 r ▼ 
MPU-6000 и 3-осевого компаса AK8975 шт.

EVB-MPU-9250 Цена, руб.

Срок Укажите
ИНФО PDF OBS поставки кол-во:
1
Макетная плата на базе MEMS датчика MPU-9250, ▲
На складе: 2
датчик света, УФ датчика и датчика давления с 3950,00 r ▼ 
шт.
установленным микроконтроллером MSP430F5528.

ICM-20608 Цена, руб.

Срок
ИНФО PDF поставки Укажите
кол-во:
Шестиосевой датчик движения нового поколения 1
434,00 r
компании InvenSense. В 16-выводном корпусе LGA ▲
На складе: 44
размером 3x3x0,75 мм объединены трехосевой от 8 шт. 372,00 q ▼ 
шт.
гироскоп и трехосевой акселерометр с от 18 шт. 342,00 q
минимальной кросс-чувствительностью.

Производитель: Sensonor AS
83203
Цена, руб. Срок поставки
ИНФО PDF Запросить
условия
поставки
IC, SENSOR, GYRO, SAR10, 16SOIC

83508 Цена, руб. Срок поставки

ИНФО PDF
Запросить
условия
IC, SENSOR, GYRO, SAR10, 16SOIC поставки

83886 Цена, руб. Срок поставки

ИНФО PDF
Запросить
условия
IC, SENSOR, GYRO, SAR100, 28LCC поставки

83885 Цена, руб. Срок поставки

ИНФО PDF
Запросить
условия
IC, SENSOR, GYRO, SAR100, 28LCC поставки

84010 Цена, руб. Срок поставки

Запросить
ИНФО PDF условия
 IC, SENSOR, GYRO, SAR100, 28LCC поставки

Производитель: Bosch Gpoup

BMG160
Цена, руб. Срок поставки Укажите
ИНФО PDF кол-во:
1
BMG160 - 3-х осевой гироскоп в миниатюрном ▲▼ 
294,00 r
корпусе LGA 3х3х0.95 мм. 
На складе: 25
Разрешение 16 бит от 12 шт. 252,00 q
шт.
Диапазон измерений ±125°/S до ±2000°/S от 26 шт. 232,00 q
Ток потребления до 5 мА

BMX055 Цена, руб. Срок поставки

ИНФО PDF

BMX055 - 9-и осевой датчик ориентации в

миниатюрном корпусе LGA 3х4.5х0.95 мм. 
Гироскоп: Укажите
- Разрешение 16 бит кол-во:
- Диапазон измерений ±125°/S до ±2000°/S 1
434,00 r
Акселерометр: ▲▼ 
На складе: 47
- Разрешение 12 бит от 8 шт. 372,00 q
шт.
- Диапазон измерений ±2g/±4g/±8g/±16g от 18 шт. 342,00 q
Магнитометр:
- Диапазон измерений 1300μT (x-, y-оси);±2500μT
(z-ось)
Ток потребления до 5 мА
Каждый из датчиков может работать независимо.

BNO055 Цена, руб. Срок поставки

Запросить
ИНФО PDF условия
9-ти осевой датчик положения со встроенным
контроллером для обработки сырых данных
гироскопов, акселерометров и магнитометров.
Рабочие диапазоны акселерометра: ±2, ±4, ±8,
±16g;
настраиваемая полоса ФНЧ акселерометра: 1 кГц –
менее 8 Гц;
722,00 r
рабочие диапазоны гироскопа: от ±125 до ±2000
°/с; от 5 шт. 619,00 q поставки
настраиваемая полоса ФНЧ гироскопа: 523-12 Гц; от 11 шт. 568,00 q
рабочий диапазон магнетометра: ±1300 мкТл по
осям х, у, ±2500 мкТл по оси z;
разрешение магнетометра: ~0,3 мкТл;
напряжение питания микросхемы: 2,4–3,6 В;
корпус: 28-выводный LGA размером 3,8х5,2х1,13
мм;
диапазон рабочих температур: от –40 до 85 °C.

BMF055 Цена, руб. Срок поставки

ИНФО PDF

Характеристики BMF055: 
• микроконтроллер: Atmel SAMD20 48 МГц Cortex-
M0+, 256 кБайт FLASH, 32 кБайт ОЗУ;
• гироскоп BMG160: диапазоны измерения ±125 /
±250 / ±500 / ±1000/ ±2000 °/с, диапазон частот Укажите
12…523 Гц, чувствительность 16 LSB/(°/с) или 900 кол-во:
рад/с; 1
1270,00 r
• акселерометр BMA280: диапазоны измерения ▲▼ 
На складе: 21
±2 / ±4 / ±8 / ±16g, диапазон частот 8…1000 Гц, от 3 шт. 1090,00 q
шт.
чувствительность 1LSB/mg; от 6 шт. 997,00 q
• магнитометр BMM150: диапазоны измерения
±1300 мкТл по осям х, у, ±2500 мкТл по оси z,
чувствительность 0,3 мкТл;
• напряжение питания микросхемы: 2,4–3,6 В;
• корпус: 28-выводный LGA размером 5,2 x 3,8 x
1,13 мм;
• диапазон рабочих температур: от –40 до 85 °C.

BMX160 Цена, руб. Срок поставки

Запросить
ИНФО PDF условия
 Абсолютный инерционный модуль BMX160 в 14-
выводном корпусе 2,5 x 3,0 x 0,95 мм.

BMX160 отличается от BMX055:

- расширенным диапазоном напряжений питания. У
BMX160 диапазон питания цифровой части
расширен до 1,71 – 3,6 В. Это значит, что для всей
микросхемы возможно использовать единый поставки
источник 1,8 В!
- увеличенным объемом встроенного буфера FIFO.
Рост объема буфера позволяет уменьшить время
нахождения управляющего контроллера в
активном состоянии. 
- позволяет настраивать работу каждого из
датчиков индивидуально, а также работать по
прерыванию.

BMX160 Цена, руб. Срок поставки

ИНФО
Запросить
условия
Абсолютный инерционный модуль BMX160 в 14- поставки
выводном корпусе 2,5 x 3,0 x 0,95 мм.

Производитель: Bosch Sensortec

BMI055 Запросить
Цена, руб. Срок поставки условия
ИНФО PDF поставки
BMI055 - 6-и осевой датчик ориентации в
миниатюрном корпусе LGA 3х4.5х0.95 мм. 
Гироскоп:
346,00 r
- Разрешение 16 бит
- Диапазон измерений ±125°/S до ±2000°/S от 10 шт. 297,00 q
Акселерометр: от 22 шт. 273,00 q
- Разрешение 12 бит
- Диапазон измерений ±2g/±4g/±8g/±16g
Ток потребления до 5 мА