Оборудование для получения поверхностей

ДЗ 50 баллов
РК 50 баллов

ДЗ должно содержать тематику лекции. Можно выбрать тему самому, желательно чтобы
созвучно с темой диплома и была в рпз. Скинет список тем на почту.

Литература:
1. Лахтин, Арзамасов «Химико-термическая обработка металлов» 1985г
2. Худинов, Бобров «Нанесение покрытий напылением. Теория, технология,
оборудование» 1992г

- Получение покрытий термическим испарением вакуума

- катодным распылением
- дуговым распылением
- ионно-вакуумной хто

Схема оборудования процесса хтермического испарения вакуума.

1- Вакуумная камера
2- Патрубок вакуумной системы
3- Тигель
4- Нагреватель
5- Испаряемое вещество
6- Обрабатываемое изделие

Испаряющиеся атомы летят и осаждаются на изделии. Нагревается вещ-во до

температуры испарения
Недостаток: сложно получить покрытие на деталях сложной формы

Нагрев либо традиционным способом, либо индукционным, либо электронным лучом.

Могут быть Ме или неМе. Могут быть соединения
Метод получения покрытий катодным распылением
Диодная схема

1- Вакуумная камера
2- Патрубок вакуумной системы
3- Газовая система
4- Катод – испаряемый материал
5- Высоковольтный изолятор
6- Анод – обрабатываемое изделие
7- Высоковольтный источник питания

Из катода по направлению к аноды вылетают электроны, сталкиваются с атомами аргона

и ионизирует его. Атомы анода потом выбивают атомы металла.

Преимущества по сравнению с предыдущим:

Более высокая адгезия покрытия с основой

Недостатки:
- покрытие более грязное из-за примесей в аргоне
- меньше скорость нанесения покрытий
- сложность получения деталей сложной формы
Метод нанесения покрытий дуговым распылением

1- Вакуумная камера
2- Патрубок вакуумной системы
3- Катод - испаряемый материал
4- Изолятор
5- Анод обрабатываемого изделия
6- Источник питания дугового разряда
7- Электромагнитная катушка

В газовом промежутке м/у катодом и анодом течет ток за счет материала катода.
Необходимо чтобы распыление происходило с торца анода.

Преимущество:
- высокая скорость нанесения
- чистота покрытия

Недостатки:
- сложность получения деталей сложной формы
Метод нанесения покрытий ионно-плазменным способом

1- Вакуумная камера
2- Патрубок вакуумной системы
3- Вакуумная система
4- Катод
5- Электрический изолятор
6- Обрабатываемое изделие (находится на катоде)
7- Источник питания тлеющего разряда
8- Газовая система
9- Блок управления процессом

Из 1 удаляется воздух с помощью 3. Затем в вакуумную камеру подается рабочая

атмосфера. С поверхности ….. атомы азота бомбардирую поверхность изделия и
нагревают до температуры азотирования (500-550 градусов). После диффундируют в
глубь.
Преимущества:
- получается диффузионное покрытие, а не адгезионное
- получают покрытия для деталей сложной формы

Вакуумная система современного оборудования для получения покрытий

Предназначена для удаления воздуха из вакуумной камеры, что обеспечивает

необходимую чистоту. Обеспечение необходимого уровня вакуума.

Всё, что ниже атмосферного давления – вакуум.

По уровню давления вакуум:
- низкий 10^5-10 Па, 760 мм.рт.ст – 7*10^(-2) мм.рт.ст
- средний 10-10^(-2) Па, 7*10^(-2) - 7*10^(-5) мм.рт.ст
- высокий 10 (-2)-10^(-5) Па, 7*10^(-5) - 7*10^(-8) мм.рт.ст
- сверхвысокий <10^(-5) Па, 7*10^(-8) - …

Схема вакуумной системы для получения среднего вакуума.