ВЧ мультиапертурный ионно-лучевой

источник для формирования

оптических покрытий с повышенной
лучевой стойкостью

Подготовил ст. группы 440301

Дуцник А.И.
Оптические покрытия – это тончайшие пленки или
несколько слоев пленок одной поверх других
нанесенные на материал, с целью изменения его
оптических свойств
Классификация оптических покрытий

• Просветляющие покрытия
• Свето- и спектроделительные покрытия
• Зеркальные покрытия
• Поляризующие покрытия
Лучевая стойкость – это способность среды или
элемента силовой оптики сопротивляться
необратимому изменению оптических
параметров и сохранять свою целостность при
многократном воздействии мощного оптического
излучения.
Способы получения оптических покрытий

• Испарение
o Термическое вакуумное напыление
o Электронно-лучевое испарение
• Ионное распыление
o Катодное распыление
o Ионно-лучевое распыление
o Магнетронное распыление
o Ионно-лучевой синтез
Ионно-лучевое распыление

Схема ионно-лучевого распыления

Трехсеточный ионный источник
Многоапертурная ионно-оптическая система
Ионные траектории в трехсеточной ионно-оптической системе
1 – зона экстракции (экранирующий электрод)
2 – ускоряющий электрод
3 – замедляющий электрод
Механизм экстракции и
фокусировки ионного пучка в
двухсеточной ИОС
Спасибо за внимание