Академический Документы
Профессиональный Документы
Культура Документы
Янчич В.В.
И УДАРНОГО УСКОРЕНИЯ
Учебное пособие
Ростов-на-Дону
2008
Рецензенты:
2
Содержание
Стр.
Введение 5
Модуль №1 Принцип работы пьезоэлектрического
акселерометра 7
1.1 Основные измеряемые параметры виброколебаний 7
1.2 Краткие сведения о пьезокерамических материалах 9
1.3 Физические основы работы пьезоэлектрического
акселерометра 13
Модуль №2 Основные параметры пьезоэлектрических
акселерометров 23
2.1 Технические характеристики акселерометров 23
2.2 Коэффициент преобразования 24
2.3 Коэффициенты влияния 25
2.4 Рабочий диапазон ускорений 26
2.5 Рабочий диапазон частот 28
Модуль №3 Конструктивные типы и особенности выполнения
пьезоэлектрических акселерометров 37
3.1 Классификация пьезоэлектрических акселерометров 37
3.2 Базовые схемы пьезоэлектрических электромеханических
преобразователей акселерометров 42
3.3 Способы крепления акселерометров 53
Модуль №4 Примеры практического выполнения
пьезоэлектрических акселерометров 65
4.1 Акселерометры общего применения 65
4.2 Пьезоэлектрические сейсмоприемники
3
Общие положения
4
Введение
5
генераторного типа и непосредственно преобразуют вибрационное или
ударное ускорение в пропорциональный электрический сигнал.
Пьезоэлектрические акселерометры обладают следующими
преимуществами:
- широким рабочим диапазоном частот;
- линейностью амплитудной характеристики (АХ) в широком
динамическом диапазоне;
- высокой стойкостью к внешним воздействиям;
- активным характером преобразования, не требующим применения
источника питания;
- отсутствием движущихся частей, гарантирующим высокую
надежность и долговечность;
- возможностью реализации малогабаритного исполнения;
- технологичностью в производстве.
Выходной сигнал акселерометра, пропорциональный значению
ускорения механических колебаний, легко может быть преобразован
электрическим образом в сигнал, пропорциональный виброскорости или
виброперемещению.
Метрологические и эксплуатационные характеристики акселерометров
прежде всего зависят от свойств используемого пьезоматериала (ПМ) и
конструктивных особенностей электромеханического преобразователя, а
также датчика в целом.
Пьезоэлектрические акселерометры, кроме электромеханического
преобразователя, могут содержать встроенные электронные устройства,
например, согласующий усилитель (СУ), схему первичной обработки сигнала
и др. В настоящем учебно-методическом пособии такие датчики практически
не рассматриваются, так как это вполне может представлять
самостоятельную тематику.
6
Модуль №1
Принцип работы пьезоэлектрического акселерометра
ds(t)
v= = ωs a cos(ωt + ϕ) = v a sin(ωt + ϕ + π ) , (1.3)
dt 2
d 2s(t)
a= = −ω 2s a sin(ωt + ϕ ) = −aa sin(ωt + ϕ ) = −ω 2 s , (1.4)
2
dt
d 3s(t)
u= = −ω3s a cos(ωt + ϕ) = −u a sin(ωt + ϕ − π ) , (1.5)
dt 3 2
1 u = a = ωv = ω 2s . (1.6)
ω a a a a
8
π π π
u 2ω 2ω 2ω
a
v
uа s ω
aa π va
aа 2
vа
sа
π π
2 2
t
sa
π
2
ua
10
Таблица 1.1. Параметры пьезокерамических материалов
Температура точки
Пьезомодуль,
добротность, Qм
диэлектрическая
проницаемость,
Производитель
Относительная
10–12, Кл/Н
Механическая
ε33 = εт33/ε0
Материал
Кюри,
Тк , оС
d31 d33
ЦТС-19 –160 330 1750 300 70
ЦТС-21 –40 100 500 400 150
Россия
ЦТС-26 –160 320 1650 350 80
ЦТБС-3 –135 290 2150 180 200
ПКЛ-1 –210 450 2000 315 70
ПКЛ-3 –190 380 2000 308 280
ЦТС-83Г –140 270 1350 360 – Россия
ТВ-3 – 14 170 650 – (НКТБ ПП)
НТВ –3 24 130 640 –
ТНВ-1 – 8 170 930 –
PZT-4 –125 290 1350 325 500
PZT-5A –170 370 1750 325 75 США
PZT-5H –270 590 3400 193 65
Р14 – 15 175 650 – США
Р15 – 10 – 950 – (Эндевко)
Примечание – НКТБ ПП – научное конструкторское бюро «ПЬЕЗОПРИБОР»
Южного федерального университета
11
и, естественно, не может превышать предельно-допустимую температуру
ПКМ.
При работе с пьезоэлементами из ПКМ следует принимать во
внимание, что их электрофизические характеристики могут заметно
изменяться со временем или под влиянием таких внешних воздействий, как
температура, механические нагрузки, электрические поля и ионизирующие
излучения. При этом наблюдаются как обратимые, так и необратимые
изменения.
Естественное старение ПКМ характеризуется снижением значений
пьезомодулей и диэлектрической проницаемости от времени приблизительно
по экспоненциальному закону и приводит к повышению стабильности
характеристик к воздействующим факторам. Выдержка пьезоэлементов при
воздействии повышенной температуры позволяет ускорить этот процесс.
Статическое давление также приводит к снижению пьезомодуля. При
превышении критического значения давления, определенного для каждого
состава ПКМ, наблюдается необратимое изменение пьезомодуля. В случаях
комплексного воздействия давления и температуры эффект влияния каждого
из названных факторов усиливается, что может использоваться для
искусственной стабилизации свойств пьезоэлементов путем
термобаротренеровки [4].
На работу пьезоэлектрического датчика, при некоторых условиях
эксплуатации, может повлиять явление пироэффекта, присущее ПМ.
Пироэффект проявляется при изменении температуры пьезоэлемента и
вызван изменением спонтанной поляризации в результате тепловой
деформации кристаллических ячеек. Это приводит к появлению разности
потенциалов на электродах. Если изменение температуры происходит за
время, меньшее чем время, необходимое для стекания возникшего заряда, то
могут быть искажены результаты измерений или нарушена работа
первичного электронного устройства.
12
1.3 Физические основы работы пьезоэлектрического
акселерометра
13
воздействием возмущающей гармонической силы со стороны объекта. Из
теории колебаний известно [6], что такая система будут иметь резонансную
частоту
ω р = ω02 − 2 β 2 , (1.8)
s ϕ
β 1= 0 ω0
0 ω
0<β2<β3<β4
−π β4>β3>β2>β1= 0
2
π
0 ω0 ω
а) б)
а – АЧХ; б – ФЧХ
D kп
а)
F kпо
F
mэфф mо
mи
kоо
D kп D kп а
а а
M0 Fо
б) в) г)
17
sпE п
ωр ≈ ω 0 = k п /m и = , (1.12)
h пmи
18
аналогом (рис. 1.3, г). Здесь дополнительно введены контактные жесткости
соединений между инерционным элементом и пьезоэлементом – kип ,
пьезоэлементом и основанием – kпо , основанием и объектом – kоо , М – масса
объекта и сила F0 , действующая на основание акселерометра при
ускоренном движении объекта. Кроме того, коэффициенты упругости
инерционного элемента, основания и пьезоэлемента могут быть соизмеримы.
В данных случаях, при анализе работы акселерометра следует перейти к
введению эквивалентных значений массы и коэффициента упругости, либо к
анализу системы со многими степенями свободы. Последний может дать
более точные результаты, однако очень сложен и трудоемок и далеко не
всегда целесообразен.
Резонансная частота пьезоэлектрического акселерометра в закрепленном
состоянии определяется не только его конструктивными особенностями,
механическими свойствами материалов и межэлементных контактных
соединений, но и зависит от условий закрепления на объекте.
Эквивалентные электрические схемы акселерометра с источником
заряда или напряжения, включая элементы входной цепи электронного
измерительного устройства [1, 5], приведены на рис. 1.4.
Сп
Сп Rп С к Свх Rн Rп Ск Свх Rн
Q ∼
U = Qп/Сп
а) б)
19
Элементы схем имеют следующие обозначения: Cп – электрическая
емкость пьезоэлемента; Rп – активное сопротивление пьезоэлемента , Ск –
электрическая емкость соединительного кабеля; Свх и Rн – входные емкость и
сопротивление измерительного устройства; Q, U – источники заряда и
напряжения
В приведенных схемах не рассматриваются индуктивность и активное
сопротивление кабеля, так как при реальных длинах последнего, их влияние
пренебрежимо мало. В большинстве случаев также можно пренебречь
влиянием активного сопротивления пьезоэлемента, если оно на нижней
частоте ωн рабочего диапазона значительно больше его емкостного
сопротивления, то есть Rп >> 1/ωнCп . При достаточно больших значениях Rн
можно считать, что пьезоэлемент нагружен емкостью Cн = Cк + Cвх .
В эквивалентной схеме с источником заряда емкости Cп и Cн
подключены параллельно источнику заряда. Так, как параллельное
подключение емкости не изменяет общего заряда системы, заряд на нагрузке
не зависит от значений Cк и Cвх . Иными словами, изменение длины
соединительного кабеля не должно отражаться на значении коэффициента
преобразования акселерометра по заряду.
Из рассмотрения эквивалентной схемы с источником напряжения
следует, что напряжение при емкостной нагрузке Cн
Uн = Qп /(Cп + Cн) = UпCп /(Cп + Cн) (1.18)
зависит от емкости соединительного кабеля, а также от входной емкости
измерительного устройства.
20
ТЕСТ РУБЕЖНОГО КОНТРОЛЯ №1
21
Бланк ответов
№ 1 2 3 4 5 6
1
2
3
4
Критерии оценки
Проектное задание
22
Модуль №2
Основные параметры пьезоэлектрических акселерометров
23
- масса и габаритные размеры;
- способ крепления на контролируемом объекте;
- защищенность от воздействия окружающей среды и источников
помех.
Иногда могут оказаться необходимыми сведения об электрической
емкости акселерометра, резонансных частотах свободного (не
закрепленного) акселерометра в продольном и закрепленного в поперечном
направлениях и некоторых других параметрах.
Наиболее важным показателем работы акселерометра является
стабильность его метрологических характеристик во времени и к
воздействию внешних влияющих факторов. В экстремальных условиях
эксплуатации акселерометров возможны как обратимые, так и необратимые
изменения их коэффициентов преобразования и других характеристик. Это,
естественно, ограничивает условия применения и является одним из самых
серьезных недостатков пьезоэлектрических акселерометров.
24
преобразования по напряжению при емкостной нагрузке Cн зависит от
емкости соединительного кабеля, а также от входной емкости
измерительного устройства и может быть найден из формулы
Кн = Кз /(Cп + Cн) = Кн,ххCп /(Cп + Cн) (2.3)
В общем случае, коэффициент преобразования включает в себя
информацию как об амплитуде ускорения, так и о частоте и, следовательно,
является комплексной величиной, зависящей от частоты.
25
напряженности переменного магнитного поля и других) при отсутствии иных
воздействий. В некоторых случаях значения этих коэффициентов могут быть
отнесены к максимальному измеряемому акселерометром виброускорению и
выражены в процентах.
(Umax)
Qmin
(Umin) Ускорение
аmin аmax апр а, м⋅с–2
Рабочий диапазон
26
параметров, включая собственные шумы используемых в каждом
конкретном случае регистрирующих устройств, но и от уровня помех
различного происхождения, неизбежно проявляющихся при измерении
предельно малых сигналов.
Верхняя граница amax рабочего диапазона акселерометра определяется
ускорением, выше которого заметно нарушается линейная зависимость
выходного сигнала от ускорения. Это вызывается такими причинами, как
обратимые изменения механических связей между отдельными элементами
электромеханического преобразователя или нелинейные зависимости их
механических или электрофизических параметров, приводящими к
заметному искажению сигнала.
Диапазон ускорений между amin и amax считается диапазоном
измеряемых ускорений. Динамический диапазон акселерометра определяется
как отношение значений верхней границы диапазона измеряемых ускоренней
к нижней и выражается в децибелах.
Нелинейность АХ определяется как максимальное отклонение
выходного сигнала акселерометра от среднего значения во всем
динамическом диапазоне измерения и выражается в процентах. На
нелинейность существенно влияют свойства ПКМ, качество обработки
сопрягаемых поверхностей элементов конструкции и усилие их поджатия.
Большинство пьезоэлектрических акселерометров, по сравнению с другими
типами, характеризуются высокой линейностью АХ.
Воздействие больших механических нагрузок на пьезоэлемент может
привести как к нелинейной зависимости генерируемого сигнала от
нагружения, так и к появлению необратимых изменений, вызываемых
гистерезисом или частичной деполяризацией [4]. Характерно, что эти
изменения заметно возрастают вследствие микронеровностей
контактирующих поверхностей, создающих на пьезоэлементе участки
повышенной концентрации механических напряжений, сильно
отличающихся от среднего значения. Некоторые производители
27
дополнительно указывают предельно допустимые значения ускорений апр ,
превышение которых связано необратимыми изменениями характеристик
акселерометра вплоть до его разрушения.
Следует отметить, что для большинства типов акселерометров,
значение предельно допустимого ударного ускорения, как правило, в
полтора-три раза превышает значение предельно допустимого
вибрационного ускорения [5]. Этот факт может быть объяснен значительно
меньшим количеством циклов нагружения при ударных испытаниях, по
сравнению с вибрационными, вызывающими усталостные явления в
конструкционных и пьезоэлектрических материалах.
Обычно, если это не оговорено специальными требованиями, значения
предельно допустимых ускорений определяются в направлении рабочей оси
акселерометра (в продольном направлении) и могут существенно отличаться
от значений для поперечного направления.
28
выходной сигнал монотонно возрастает.
На рис. 2.2 показана характерная АЧХ пьезоэлектрического
акселерометра.
дБ
Выходной сигнал
γн γв
К (0)
н
Частота
fн f0 fв fр Гц
Рабочий диапазон
где К (0)
н – значение коэффициента преобразования по напряжению на
γв ≈ 1 . (2.6)
1 − (f в /f р ) 2
30
а для обеспечения погрешности на верхней частоте менее 5 – 10 %
ограничиваются, соответственно,
fв ≤ (0,2 – 0,3)fр . (2.8)
На частотах ниже частоты установочного резонанса , коэффициент
преобразования Кн может быть представлен в виде произведения двух
функций от частоты, одна из которых (Кн,1) отражает свойства акселерометра
в режиме холостого хода, а другая (Кн,2) – свойства внешней цепи [8]:
1
К н,1 = К (0)
н,1 , (2.10)
1 πω 2
1− ( )
2 2ω р
функция
ωR нC0
К н,2 = (2.12)
1 + ω 2 R 2н (С 0 + С д ) 2
31
полученное подстановкой в (1.32) вместо ω значения ω/3, то функция Кн(ω)
имеет участок, близкий к горизонтальному, с наименьшим наклоном в
окрестности точки, названной точкой перегиба.
Кн,1
К (0)
н,1
0 f
0 F 0 fн fпер fв f
32
относительное изменение коэффициента преобразования не превышает
заданного значения γ, то есть
К н (ω) − К н (ω1 )
≤γ. (2.14)
К н (ω1 )
fр
Rн
Rн, МОм
С0+Сд fпер
33
fр
Rн
С0+Сд fн fв
fн
fр, кГц 0,5 3 10 30 60
Rн, МОм
100
40
20
10
4
2 3
1 6
0,5 10 30
0,2 40 60
0,1 5 4 3 2
10 2⋅10 5⋅10 103 2⋅10 0,02 0,05 0,1 0,2 0,5 1 2 5 10 20 30
4 3 2
5⋅10 104 2⋅10 5⋅10 f, кГц
С0+Сд, пФ
34
ТЕСТ РУБЕЖНОГО КОНТРОЛЯ №2
35
Бланк ответов
№ 1 2 3 4 5
1
2
3
4
Критерии оценки
Проектное задание
36
Модуль №3
Конструктивные типы и особенности выполнения
пьезоэлектрических акселерометров
37
КОНСТРУКТИВНЫЕ ПРИЗНАКИ АКСЕЛЕРОМЕТРОВ
Однокомпонентные Монокристаллический
Многокомпонентные Керамический
Однослойный
Выполнение вывода
Многослойный
Электрическое Секционированный
Неизолированный
Выполнение инерционного
Изолированный элемента
Конструктивное Сосредоточенный
С разъем на корпусе Центрированный
С интегрированным Нецентрированный
кабелем
Распределенный
Крепление на объекте
Клеевое
Резьбовое
Специальное Особые конструктивные признаки
38
По числу измеряемых компонентов ускорения существуют
однокомпонентные и многокомпонентные (двух- и трехкомпонентные)
акселерометры, одновременно измеряющие ускорение в ортогональных
направлениях. Последние могут состоять из:
- независимых отдельных электромеханических преобразователей,
размещенных в общем корпусе и ориентированных по каждому из
измеряемых направлений ускорения;
- одного общего инерционного элемента, механически связанного с
отдельными пьезоэлементами, ориентированными соответственно
направлениям возникающих сил;
- одного общего электромеханического преобразователя, одновременно
воспринимающего ускорения в заданных направлениях и генерирующего
соответствующие им электрические сигналы.
Акселерометры помимо измерительного электромеханического
преобразователя могут содержать также встроенные механические,
электрические или электронные и электромеханические дополнительные
устройства.
Способы механических соединений основных узлов и элементов
пьезоэлектрического акселерометра имеют важное технологическое значение
и, в свою очередь, во многом определяют эксплуатационные свойства
датчика. Наиболее часто имеют место клееные и упругоподжатые
соединения элементов преобразователя. Иногда встречаются склеенные с
предварительным упругим поджатием, а также соединенные посредством
пайки или сварки. При соединении элементов корпуса используется сварка
или резьбовое соединение на клею.
Выполнение вывода акселерометра электрически может быть
выполнено двумя способами, при которых один из электродов пьезоэлемента
соединен с корпусом (неизолированный вывод) с использованием
коаксиального кабеля, или оба электрода изолированы от корпуса, для чего
используется двухжильный экранированный кабель.
39
Конструктивно вывод выполняется посредством разъема,
установленного на основании или крышки корпуса, либо кабелем,
неразъемно вмонтированном в корпус.
По способу крепления на контролируемом объекте большинство
конструкций акселерометров разделяется на две основные группы:
резьбового и клеевого крепления. Некоторые варианты исполнения
предназначены для иных способов крепления, например, через специальный
переходной элемент с пазами или имеют постоянный магнит,
вмонтированный в основание корпуса. Известны также акселерометры с
пояском на корпусе, служащим для защемления между деталями
контролируемого объекта. Эти и иные не типичные способы крепления для
упрощения классификации отнесены к специальным.
ПО признакам группы 2 акселерометры разделяются следующим
образом:
- по классу ПМ, из которого выполнен пьезоэлемент;
- по типу и особенностям электромеханического преобразователя;
- по виду рабочей деформации пьезоэлемента;
- по конструктивным особенностям выполнения пьезоэлемента;
- по конструктивным особенностям выполнения инерционного
элемента.
ПМ, по классам, разделяются на монокристаллические и
поликристаллические (керамические) материалы.
Под термином «электромеханический преобразователь»
подразумевается узел датчика, состоящий из одного или нескольких
пьезоэлементов, инерционного элемента, вспомогательных деталей
(токосъемников, изоляторов и др.), осуществляющий преобразование
воздействующего ускорения в электрический сигнал. Разделение типов
электромеханических преобразователей проводится по особенностям их
конструкции и электрической схемы.
Конструктивно преобразователи разделяться на:
40
- композиционные, отдельные элементы которых выполнены из
разнородных материалов, например, ПМ, электроизоляционной керамики и
металлов;
- монокерамические, все элементы которых выполнены из ПКМ и
соединены посредством сварки;
- монолитные – выполненные в виде единого блока из ПКМ [2].
Преобразователи акселерометров могут иметь симметричные или
несимметричные электрические выводы относительно корпуса датчика, а
также дифференциальную схему, пьезоэлемент которой состоит из двух
электрически последовательно включенных секций со средним выводом.
По виду рабочей деформации пьезоэлемента различаются конструкции
с деформациями сжатия-растяжения (компрессионной), изгиба или сдвига. В
некоторых акселерометрах может быть реализована смешанная деформация,
например, сжатия-растяжения и сдвига, одновременно.
По конструктивным особенностям выполнения пьезоэлементы
разделяются на однослойные и многослойные. Многослойные конструкции,
как правило, имеют параллельное электрическое включение слоев.
Независимо от количества слоев, пьезоэлемент может быть разделен на
секции, имеющие параллельное, последовательное или смешанное
электрическое включение. При этом секционирование пьезоэлемента может
осуществляться путем разделения на отдельные секции только его
электродов или выполнением пьезоэлемента в виде совокупности отдельно
расположенных частей.
По конструктивным особенностям выполнения инерционные элементы
разделяются на сосредоточенные и распределенные. Сосредоточенный
инерционный элемент выполняется в виде отдельного элемента конструкции
электромеханического преобразователя. У центрированного инерционного
элемента, в отличие от нецентрированного, центр массы совпадает с центром
массы пьезоэлемента. Роль распределенного инерционного элемента играет
собственная масса пьезоэлемента.
41
Акселерометры, создаваемые для специальных условий применения,
могут иметь особые конструктивные признаки, учет которых в общей
классификации сделал бы ее неоправданно громоздкой.
При конструировании акселерометров всегда уделяется внимание
снижению влияния на выходной сигнал помех различного характера,
способных существенно повлиять на точность и достоверность результатов
измерений. Наиболее часто источниками помех могут быть переменные
электрические и магнитные поля, токи в контурах заземления, деформации
контролируемого объекта в месте крепления акселерометра и акустические
поля. Повышенная помехозащищенность датчика обеспечивается
особенностями его конструктивной и электрической схемой, в частности,
выполнением симметричного вывода и дифференциальной схемой
пьезоэлемента.
42
способствует возникновению чувствительности к поперечным и
ротационным колебаниям [1].
3 3
1 1
2 1
а) б)
3 3
1 1
2 2
в) г)
43
Расположение электродов на образующих поверхностях пьезоэлемента
дает возможность без использования дополнительных изоляторов, как
показано на рисунке, выполнить симметричный вывод, что благоприятно
сказывается на помехозащищенности датчика [5]. Выбор высоты, внешнего и
внутреннего диаметров пьезоэлемента позволяет оптимизировать значения
коэффициента преобразования по заряду и резонансной частоты. Данная
конструкция также является нецентрированной.
В центрированных преобразователях с внешним (рис. 3.2, в) и
внутренним (рис. 3.2, г) расположением инерционного элемента
приведенные центры масс пьезоэлемента 1 и инерционного элемента 3
совмещены с центром инерции преобразователя, что способствует снижению
чувствительности к поперечным и ротационным колебаниям. Обе
изображенные конструкции имеют неизолированный от корпуса вывод.
К общим недостаткам всех клееных преобразователей следует отнести
их невысокую прочность и надежность. Кроме того, клеевые соединения
отрицательно влияют на временную и температурную стабильность
метрологических характеристик. В качестве достоинств следует отметить
простоту их конструкции и возможность выполнения акселерометров с
минимальными габаритными размерами, благодаря чему они используются в
лабораторной практике.
Преобразователи с соединением элементов пайкой или сваркой по
конструкции аналогичны клееным.
На рис. 3.3 показаны наиболее характерные компрессионные
преобразователи с упругим поджатием элементов.
Преобразователь с центральным поджатием (рис. 3.3, а) содержит два
дисковых пьезоэлемента 1 с осевым отверстием, расположенные между
основанием 2 и инерционным элементом 3, стянутые резьбовой шпилькой 4
через пружину 5. Наличие пружины стабилизирует усилие поджатия за счет
компенсации теплового расширения элементов конструкции и необратимых
деформаций резьбовых соединений.
44
5 3
7
4 8
3 6
6 1
1
8
2 2
а) б)
4
3 8
1 3 1
8
9 9
в) г)
45
В преобразователе, изображенном на рис. 3.3, б, центральное поджатие
осуществляется винтом 7 без использования отдельного упруго элемента.
Конструкция дополнительно содержит два изолятора 8, обеспечивающих
выполнение изолированного от корпуса выхода сигнала. Если суммарная
емкость изоляторов пренебрежимо мала по сравнению с суммарной
емкостью пьезоэлементов, то выход можно считать симметричным. Данная
конструкция, как и предыдущая, является нецентрированной.
Отсутствие пружины позволяет увеличить усилие поджатия элементов
преобразователя, что способствует повышению предельного уровня
измеряемого ускорения. Однако возрастание жесткости стяжки, механически
шунтирующей пьезоэлементы, может привести к снижению коэффициента
преобразования до 20 – 30 %.
Рассмотренные преобразователи с центральным упругим поджатием
характеризуются достаточно высокой стабильностью метрологических
характеристик, прочностью, надежностью и технологичностью, что
обеспечивает их широкое распространение.
К другой разновидности преобразователей с упругим поджатием
относятся конструкции, выполненные по схеме тендем-датчика (от англ.
tandem). Особенность работы данной схемы заключается в одновременной,
но противоположной по знаку деформации пьезоэлементов. При этом
нелинейности генерируемых сигналов, возникающие при сжатии и
растяжении пьезоэлементов, взаимно компенсируются. Расположение
элементов и осевая симметрия конструкции также способствуют взаимному
уничтожению зарядов, возникающих в пьезоэлементах при воздействии двух
поперечных и трех угловых компонентов вибрации.
Вариант такого преобразователя с периферийным поджатием (рис. 3.3,
в) содержит два пьезоэлемента 1 и размещенный между ними инерционный
элемент 3, сжатые через изоляторы 8 торцевыми частями корпуса 9.
Изображенный преобразователь имеет центрированную конструкцию и
изолированный от корпуса дифференциальный выход сигнала,
46
обеспечивающий эффективную защиту от синфазных электромагнитных
помех при использовании соответствующего дифференциального
согласующего усилителя [1]. Возможно также выполнение двухпроводного
симметричного выхода при последовательном электрическом соединении
пьезоэлементов или неизолированного от корпуса выхода при их
параллельном соединении. В последнем случае не требуется применение
изоляторов, а направление вектора поляризованности одного из
пьезоэлементов должно быть изменено на противоположное.
Следует заметить, что в реальных условиях, особенно при серийном
производстве, не всегда возможно подобрать пары пьезоэлементов с
абсолютно одинаковыми характеристиками. Кроме того, механические
напряжения в пьезоэлементах несколько отличаются, так как последние
опираются на разные участки корпуса, имеющие не равные жесткости
механических цепей относительно установочной поверхности датчика и
асимметрию по отношению к внешним воздействиям [2]. Отмеченные
обстоятельства не позволяют в полной мере осуществить компенсацию
зарядов, вызванных неизмеряемыми воздействиями, что, наряду со
сложностью конструкции, ограничило широкое применение рассмотренной
схемы.
Центрированный тендем-преобразователь (рисунок 3.3, г) имеет одну
общую опору для пары пьезоэлементов 1, расположенных между
инерционными элементами 3, стянутыми шпилькой 4. В данном случае
идентичность опорных жесткостей пьезоэлементов и их центральное
поджатие благоприятно сказываются на взаимной компенсации зарядов от
неизмеряемых воздействий, в том числе и деформаций объекта. Шпилька не
оказывает механического шунтирующего воздействия на пьезоэлементы, так
как при их рабочей деформации отсутствует перемещение инерционных
элементов относительно друг друга. Как и в предыдущей конструкции,
возможно применение дополнительных изоляторов, реализация всех
вариантов вывода сигнала и коммутации пьезоэлементов.
47
Использование пьезоэлектрических преобразователей с деформацией
изгиба (рис. 3.4) позволяет значительно повысить коэффициент
преобразования, преимущественно по заряду, при малых массах и
габаритных размерах акселерометров в диапазонах низких и средних частот.
Для этой цели применяются биморфные или униморфные элементы с
консольным, периферийным и центральным закреплением.
1 1 4
3 3
2 2
а) б)
3 1 1 6
5
2 2
в) г)
7 8
1 1
9 10
2 2
д) е)
48
Простейший преобразователь с нецентрированной конструкцией (рис.
3.4, а) состоит из балочного биморфного или униморфного пьезоэлемента 1,
консольно закрепленного на основании 2. С целью повышения коэффициента
преобразования за счет снижения резонансной частоты и прочности, на
свободном конце пьезоэлемента может быть дополнительно размещен
инерционный элемент 3. Выбором соотношения длины и толщины изгибного
элемента и массы инерционного можно в широких пределах регулировать
эти характеристики [2].
В близком по устройству и принципу работы преобразователе (рис. 3.4,
б) для повышения прочности к воздействию перегрузок используется
металлическая балка 4 с приклеенным пьезоэлементом 1 в зоне ее
максимальных механических напряжений, возникающих при изгибе.
Преобразователи с балочными консольно закрепленными изгибными
элементами находят применение преимущественно в акселерометрах,
предназначенных для измерения виброускорений малого уровня в
низкочастотном диапазоне. Их характерным недостатком является высокая
чувствительность к ротационным колебаниям, возникающая из-за
нескомпенсированности вызванных ими сигналов.
В центрированной конструкции преобразователя (рис. 3.4, в)
периферийное закрепление балочного или дискового изгибного элемента 1
осуществляется посредством упругих стоек 5, обеспечивающих возможность
свободного изгиба пьезоэлемента в осевом направлении. В последнем случае
стойки равномерно распределены по контуру элемента.
С точки зрения реализации пьезоэффекта, применение дискового
изгибного элемента более рационально по сравнению с балочным, так как
позволяет получить двухосное напряженное состояние в пьезоэлементе. При
этом, суммарный заряд создается за счет механических напряжений,
действующих как в радиальных, так и в кольцевых сечениях.
Иной вид периферийного закрепления изгибного элемента (рис. 3.4, г)
реализован в преобразователе с тонкой армирующей металлической
49
пластиной 6, вклеенной между двумя дисковыми пьезокерамическими
пластинами 1. Выступающая за их предел металлическая пластина
защемлена по контуру в основании 2 корпуса акселерометра. Наличие
армирующей пластины повышает вибропрочность пьезоэлемента.
В рассматриваемом примере преобразователя, имеющего
центрированную конструкцию и неизолированный от корпуса выход,
отсутствует отдельный (сосредоточенный) инерционный элемент. Как и в
других подобных случаях, его функцию выполняет распределенная масса
изгибного элемента.
Система периферийного закрепления изгибного элемента оказывает
определенное влияние на характер его деформации, в той или иной степени
препятствуя свободному изгибу под воздействием ускорения. С одной
стороны это отрицательно сказывается на эффективности работы
преобразователя, а с другой – на стабильности его метрологических
характеристик. Практическая реализация качественного периферийного
закрепления также сопряжена с рядом сложностей технологического
характера. В этой связи наиболее широкое распространение, среди
преобразователей с деформацией изгиба, получили конструкции с
центральным закреплением.
Преобразователь (рис. 3.4, д) состоит из биморфного пьезоэлемента 1,
закрепленного в центральной части винтом 7 между опорами 8 и 9.
Изменением диаметра опор можно, в определенных пределах, регулировать
его коэффициент преобразования. Конструкция центрирована, обладает
малой чувствительностью к неизмеряемым воздействиям, проста и
технологична. Использование дополнительных изоляторов между
пьезоэлементом и опорами позволяет выполнить изолированный от корпуса
симметричный вывод. В данном случае, для нормирования коэффициента
преобразования следует осуществлять подбор диаметра изоляторов.
У варианта, так называемой, грибообразной схемы преобразователя с
униморфным элементом (рис. 3.4, е) дисковый пьезоэлемент 1 приклеен к
50
металлической пластине 10 с расположенными по периферии инерционными
элементами. Пластина жестко связана с основанием 2 посредством
выполненного в ее центре цилиндрического выступа, препятствующего
распространению деформаций со стороны основания. Существенный
недостаток данной конструкции, характерный для всех преобразователей с
униморфными элементами, связан с различными коэффициентами
температурного расширения используемых в них разнородных материалов,
что вызывает дополнительные механические напряжения и отрицательно
сказывается на стабильности метрологических характеристик.
Вследствие асимметрии изгибного и инерционного элементов,
рассмотренная конструкция является нецентрированной. Однако
центрирование может быть получено при использовании биморфного
элемента с армирующей пластиной и симметричного инерционного
элемента.
Преобразователи с деформацией изгиба характеризуются невысокими
значениями резонансной частоты и прочностью к воздействию ускорения,
что ограничивает области их применения. К положительным качествам ряда
конструкций, кроме уже упомянутой возможности получения высокого
коэффициента преобразования, можно отнести их простоту,
технологичность, малую чувствительность к неизмеряемым воздействиям, а
также возможность регулирования основных характеристик.
Преобразователи с деформацией сдвига, использующие пьезомодуль
d15, являются наиболее совершенными и имеют ряд преимуществ по
сравнению с наиболее распространенными компрессионными
конструкциями [7]:
- высокое отношение коэффициента преобразования к собственной
массе преобразователя за счет большего (в 1,3 – 1,6 раза) значения
пьезомодуля d15 по сравнению d33 с для ПКМ системы ЦТС;
- малая чувствительность к неизмеряемым воздействиям, включая
поперечные колебания, деформации объекта, акустические поля, резкие
51
перепады температуры и др.;
- ниже эффект нелинейности при высоких уровнях ускорения;
- более высокая временнáя стабильность метрологических
характеристик.
Основные схемы сдвиговых преобразователей показаны на рис. 3.5.
Все изображенные конструкции центрированные и имеют
неизолированный от корпуса выход, хотя принципиально возможно
выполнение изолированного симметричного выхода при использовании
изоляторов.
1 1 3
3 3 1 1
4
2
2
а) б)
1
– направление рабочей оси
3 преобразователя;
– центры масс пьезоэлектрического
и инерционного элементов;
2 – центр инерции преобразователя;
– направление поляризованности
в) пьезоэлемента;
52
направлением поляризованности, расположенные с противоположных сторон
основания 2, и внешние инерционные элементы 3, стянутые шпилькой 4. По
такой схеме выполнены акселерометры типа «Isoshear» фирмы «Эндевко»
(США) и «Planar Shear» фирмы «Брюль и Къер» (Дания).
Примером преобразователя с внутренним расположением
инерционного элемента (рис. 3.5, б) может служить преобразователь с двумя
прямоугольными пьезоэлементами 1, жестко связанными с основанием
корпуса 2, между которыми размещен инерционный элемент 3. Подобная
схема лежит в основе акселерометров конструкции «ThetaShear» фирмы
«Брюль и Къер». Известны аналогичные конструкции преобразователей с
цилиндрическими пьезоэлектрическим и инерционным элементами.
Элементы преобразователя с внешним инерционным элементом,
изображенного на рис. 3.5, в, имеют цилиндрические или конические
сопрягаемые поверхности. Небольшая конусность за счет финишной
притирки элементов позволяет обеспечить их более плотное прилегание при
менее жестких допусках к посадочным размерам. Данная схема
используется, например, в конструкциях акселерометров «Annular- Shear»
фирмы «Брюль и Къер».
Для реализации основных преимуществ преобразователей с
деформацией сдвига требуется предельно точная обработка элементов и
применение высококачественных по механическим и электрофизическим
параметрам ПКМ и пьезоэлементов.
53
Заметные изменения механических параметров колеблющегося тела
(общей массы и локальной жесткости) наблюдаются в случаях, когда
механический импеданс акселерометра соизмерим с собственным
импедансом этого тела.
Частота резонанса элемента конструкции объекта fm , на котором
установлен акселерометр массой ma может быть оценена по формуле
mэ
fm = fэ , (3.1)
m э + ma
где fэ – частота резонанса элемента конструкции без ВИП;
mэ – масса элемента конструкции.
На практике влияние акселерометра может не учитываться, если его
масса вместе с крепежным приспособлением в 10-20 раз меньше массы
детали, на которую он установлен.
При установке датчика на оболочечные конструкции, согласно
расчетным данным, при измерении вибрации металлического листа
толщиной 1 мм, допустимая масса акселерометра не должна превышать 1,3-
1,5 г.
Динамический диапазон, в основном, ограничивается пределом
прочности соединения акселерометра с объектом и стабильностью
механических свойств этого соединения под воздействием динамических
нагрузок. Ограничение частотного диапазона проявляется в тех случаях,
когда частота установленного акселерометра в продольном или поперечном
направлениях снижается по сравнением с паспортным значением, что
вызывается недостаточной жесткостью соединения.
Расположение мест крепления акселерометра определяется исходя из
целей и задач измерения и конструктивных особенностей контролируемого
объекта, влияющих на характер распространения механических колебаний.
Следует избегать размещения датчиков в местах, совпадающих с узловыми
точками колебаний и характеризующимися максимальными механическими
напряжениями, способными вследствие чувствительности акселерометра к
54
деформации, вызвать искажения выходного сигнала. Кроме того,
промежуточные элементы, расположенные между объектом и датчиком,
приводят к снижению частоты его установочного резонанса или могут иметь
свой собственный резонанс, лежащий в диапазоне частот измеряемых
колебаний.
При установке следует ориентировать корпус акселерометра так, чтобы
его ось максимальной чувствительности (рабочая ось) совпадала с
направлением измеряемого виброускорения, а направление минимальной
чувствительности к колебаниям в поперечном направлении совпадало с
направлением последних.
При выборе способа крепления необходимо предварительное
сопоставление требуемых метрологических характеристик акселерометра с
достижимыми для каждого конкретного случая применения, принимая во
внимание рекомендации изготовителя. Подробные исследования различных
способов крепления акселерометров проведены фирмой Брюль и Къер [7], а
полученные выводы и рекомендации широко используются на практике.
Наиболее распространены способы крепления акселерометров с
использованием резьбового соединения, приклеивания и магнита. Иногда
используется механическое поджатие и редко вакуумное крепление.
При использовании любого из названных способов, кроме
приклеивания, для повышения контактной жесткости, рекомендуется
покрывать все сопрягаемые поверхности консистентной смазкой.
Основные варианты резьбового крепления акселерометров показаны на
рис. 3.6.
Участок поверхности объекта в месте установки акселерометра должна
быть тщательно подготовлена и иметь размер в полтора-два раза больше его
основания.
Для достижения качественных результатов измерения необходимо
соблюдать следующие требования:
- среднее арифметическое отклонение профиля от 0,16 до 1,6 мкм;
55
- допуск к плоскостности 0,01 мм;
- допуск к перпендикулярности оси крепежного отверстия 0,02 мм.
1 1 1
2 2 2 5
3
4
а) б) в)
1 4 7
1 1
6
2 2
2
г) д) е)
56
При монтаже важно соблюдать момент затяжки резьбового
соединения, обеспечивая достаточное усилие поджатия в пределах упругой
деформации крепежного элемента. В общем случае, при испытаниях
акселерометров может быть рекомендован момент затяжки для резьбы: М3 –
0,6 Н⋅м; М5, 10-32 UNF – 1,8 Н⋅м; М6, 1/4-24 – 3,6 Н⋅м; М8 – 7 - 9 Н⋅м.
Чрезмерная затяжка может создать в основании акселерометра механические
напряжения, отрицательно влияющие на его работу, а также вывести из
строя резьбовое соединение.
Крепежные шпильки и винты обычно выполняются из стали, однако
при работе в сильных переменных магнитных полях могут использоваться
немагнитные материалы.
Наиболее предпочтительно крепление акселерометра резьбовой
шпилькой (рис. 3.6, а), которое позволяет при качественно обработанной
установочной поверхности объекта получить максимальное значение
частоты установочного резонанса. Глубина резьбового отверстия объекта
должна быть такой, чтобы шпилька не упиралась в дно резьбового отверстия
основания акселерометра и при этом не образовывался зазор между
прилегающими поверхностями.
Двойной резьбовой люфт и возможность изгиба шпильки позволяют, в
определенных пределах, скомпенсировать неперпендикулярность к
установочной плоскости резьбового отверстия объекта. Акселерометры,
имеющие резьбовое отверстие, благодаря плоской поверхности основания,
наиболее универсальны в креплении и, при необходимости, могут
устанавливаться посредством сквозного винта (рис. 3.6, б) или
приклеивания.
Широко распространены акселерометры с цилиндрическим резьбовым
крепежным выступом (рис. 3.6, в). Как и при креплении шпилькой, связь
акселерометра с объектом осуществляется, главным образом, за счет
поджатия плоской части основания.
По качеству, крепление резьбовым выступом основания акселерометра,
57
максимально приближается к креплению резьбовой шпилькой.
Общие недостатки названных способов крепления – это сложность
ориентирования акселерометра на установочной плоскости в случае
необходимости и вероятность самоотвинчивания без дополнительной
фиксации при длительной эксплуатации.
Широкое распространение получили акселерометры с фланцевым
креплением (рис. 3.6, г), обладающим высокой надежностью и допускающим
их установку в фиксированном положении. Следует принимать во внимание,
что увеличение массы и габаритов таких акселерометров за счет фланца, а
также неравномерное усилие поджатия по контактной поверхности
способствует снижению частоты установочного резонанса.
Некоторые акселерометры могут крепиться одним или несколькими
винтами через осевое или периферийные отверстия в корпусе (рис. 3.6, д, е),
что иногда удобно при монтаже. Такое крепление приводит к статической
деформации всего корпуса и может отрицательно повлиять на работу
пьезоэлемента, если конструкция акселерометра выполнена без учета этого
фактора.
В случаях постоянного резьбового крепления акселерометров, вместо
консистентной смазки могут использоваться соответствующие условиям
эксплуатации клеи или компаунды, повышающие надежность соединения.
Клеевой способ крепления (рис. 3.7) используется при невозможности
выполнения в месте установки акселерометров крепежных отверстий.
Необходимо применять твердые клеи с анаэробной полимеризацией,
например цианакриловые и эпоксидные. Для повышения рабочей частоты
акселерометра следует стремиться к максимальной жесткости клеевого
контакта, что достигается только при тонком слое клея и его высокой
твердости. Цианакриловые клеи можно использовать только при плоских и
гладких склеиваемых поверхностях, так как он не заполняют углубления и
зазоры Клеи, содержащие растворитель, не обеспечивают высокую
жесткость соединения по всей установочной поверхности.
58
1 1 1
5
3 4
3
2 2
2
а) б) в)
1
6
5
4
3
2 2
а) б)
60
резонанса в процессе вибрации минимальная сила сцепления магнитного
держателя с объектом должна составлять хотя бы половину его статической
силы сцепления Fст, то верхний предел рабочего динамического диапазона
акселерометра amax при рассматриваемом способе крепления можно оценить
из выражения
Fст
а max = , (3.2)
2(m a + m д )
где mд – масса магнитного держателя.
При использовании магнитного крепления следует иметь ввиду, что
держатель своей массой дополнительно нагружает контролируемый объект,
а максимальная рабочая температура ограничена предельной рабочей
температурой магнита.
Применение ручного щупа (рис. 3.8, б) обеспечивает самое быстрое
крепление акселерометра, но, при этом, имеет место значительная
погрешность и низкая воспроизводимость результатов измерения. Это
связано с низкой частотой установочного резонанса (1 – 2 кГц), отклонением
оси датчика от нормали и непостоянным усилием поджатия.
Образование контуров заземления в цепях датчиков при измерениях на
крупном промышленном оборудовании может привести к наведению в
измерительных цепях паразитных зарядов и вызвать существенные ошибки.
Для устранения этого негативного фактора необходимо корпус
акселерометра электроизолировать от контролируемого объекта.
При измерении в диапазоне низких частот акселерометр может быть
установлен на переходном элементе, выполненном из диэлектрического
материала. Для достижения высоких значений частоты установочного
резонанса используется тонкая слюдяная прокладка (0,05 – 0,1 мм) и
изолированная резьбовая шпилька, выполненная из диэлектрика и для
прочности армированная металлическим сердечником. Изолирующая
прокладка может быть установлена также между магнитным держателем и
объектом.
61
Для оценки возможностей применения разных способов крепления в
таблице 3.1 приведены экспериментальные значения частот установочного
резонанса, полученные для одного и того же акселерометра [56].
62
ТЕСТ РУБЕЖНОГО КОНТРОЛЯ №3
63
Бланк ответов
№ 1 2 3 4 5
1
2
3
4
Критерии оценки.
Каждый правильный ответ оценивается 10 баллами. Знание студента
оценивается на: - «отлично», если итоговая сумма равна 50 баллам; -
«хорошо», если итоговая сумма равна 30 баллов; - «удовлетворительно»,
если итоговая сумма равна 30 баллов, - «неудовлетворительно», если
итоговая сумма равна 20 баллов.
Проектное задание
64
Модуль №4
Примеры практического выполнения пьезоэлектрических
акселерометров
65
крепления с помощью шпильки или винта, основание акселерометров
снабжено резьбовым гнездом М5.
∅14
6
7 8
5
3
4 2
20,8
11
9 10
М5
а) б)
в) г)
66
Акселерометр типа АК317-25 (рис. 4.2) широко используется в
системах виброконтроля, мониторинга и диагностики
энерговырабатывающего и нефтеперерабатывающего оборудования [9].
1
3
33
2 5 4
∅30,6
∅4,5
∅40
1 3 1
Z
z
37
4 X Y
41×41
б)
1
2 5
X
Y
54
а) в)
68
Примером акселерометра с деформацией сдвига может служить
акселерометр типа 4381 фирмы «Брюль и Къер», конструкция которого
показана на рис. 4.4.
Акселерометр содержит три пьезоэлемента с направлением
поляризованности вдоль рабочей оси, поджатые к треугольной призме
основания через инерционные элементы стяжным кольцом. Несимметричный
выход осуществляется через коаксиальный разъем, установленный на
основании.
1
2 2
3
5
23,6
21
69
Таблица 4.1 Характеристики пьезоэлектрических акселерометров
Тип акселерометра
Характеристика
ДВ-01 АК317-25 АПЭ-3 4381
Коэффициент преобразования:
- по заряду, пКл⋅м–1⋅с2 10,0 25,0 25,0 10,0
- по напряжению, мВ⋅м–1⋅с2 1,1 1,1 1,9 8,0
Частота установочного
резонанса, кГц, не менее 35,0 13,0 7,5 16,0
Рабочий диапазон частот, Гц 2 - 10500 1 - 4000 1 - 2200 1 - 4800
ОКПП, %, не более 5,0 2,5 2,5 4,0
Электрическая емкость, нФ 9,0 18,0 13,0 1,2
Верхний предел измеряемого
вибрационного ускорения, м⋅с–2 6000 5000 3000 20000
Верхний предел измеряемого
ударного ускорения, м⋅с–2 12000 5000 3000 20000
0
Рабочий диапазон температур, С – 80, 200 – 60, 160 – 40, 140 – 74, 250
Материал корпуса Титан Нерж. ст. Дюралюмин. Нерж. ст.
Масса без кабеля, г 17,5 100,0 200,0 43,0
70
переменного напряжения, создает механические напряжения в рабочем
пьезоэлементе и позволяет контролировать значения частоты установочного
резонанса и коэффициента преобразования без демонтажа с контролируемого
объекта. Крепление к объекту может осуществляться приклеиванием,
винтами через отверстия в корпусе или с помощью отъемного блока
постоянных магнитов.
2 4 3
7
1
23
28
9
40
6 8
32
∅34
∅37
5 3
3 1
2
3
74
55
5
4
6
М8 4 40×40 6
а) б)
72
Таблица 4.2. Характеристики пьезоэлектрических сейсмоприемников
Тип акселерометра
Характеристика
АК402 СПП-15 АК5000
Коэффициент преобразования:
- по заряду, пКл⋅м–1⋅с2 – 700 5000
- по напряжению, мВ⋅м–1⋅с2 300 17 200
Частота установочного
резонанса, кГц, не менее 20,0 8,0 500
Рабочий диапазон частот, Гц 100* - 6000 0,5 - 2400 0,5 - 150
ОКПП, %, не более 7,0 7,0 4,0
Электрическая емкость, нФ – 40 20
Верхний предел измеряемого
вибрационного ускорения, м⋅с–2 4,5 500 20
0
Рабочий диапазон температур, С – 40, 85 – 40, 100 – 40, 100
Материал корпуса Нерж. сталь Дюралюминий Дюралюминий
Масса без кабеля, г 220 350 250
*Примечание – нижняя частота специально ограничена фильтром усилителя
73
ТЕСТ РУБЕЖНОГО КОНТРОЛЯ №4
74
Бланк ответов
№ 1 2 3 4 5
1
2
3
4
Критерии оценки.
Каждый правильный ответ оценивается 10 баллами. Знание студента
оценивается на: - «отлично», если итоговая сумма равна 50 баллам; -
«хорошо», если итоговая сумма равна 30 баллов; - «удовлетворительно»,
если итоговая сумма равна 30 баллов, - «неудовлетворительно», если
итоговая сумма равна 20 баллов.
Проектное задание
75
Литература
76
Изд-во ростовского государственного педагогического института, 2005. С.
20-26.
10. В.В. Янчич, В.Н.Кустов. Пьезоэлектрические виброизмерительные
преобразователи для контрольно-диагностических систем энергетического
оборудования // Труды международной научно-практической конференции
«Фундаментальные проблемы пьезоэлектрического приборостроения», Т.2.
– Ростов-на-Дону, 1999. С. 221-226.
77