Отчёт об испытаниях ионного источника ассистирования на постоянных магнитах

“Стрелок-2” модификации август 2011.

В ходе последнего этапа на основании накопленного при испытаниях опыта и

пожеланий заказчиков внесены изменения в конструкцию источника. Проведены
испытания модернизированного источника, как на экспериментальной установке
«Бочонок», так и краткие на промышленной установке «Ортус».

Изменения коснулись следующих узлов и деталей:

 Магнитная система
 Ввод газа
 Токовводы термокатода
 Шины подключения термокатода
 Узел ввода воды в анодную сборку
 Каналы водяного охлаждения анодной сборки
 Стяжные шпильки анодной сборки

Разработана технологическая оснастка для намотки термокатода.

Проведены эксперименты с модернизированной конструкцией, результаты

экспериментов представлены ниже (Обнаружена неисправность высоковакуумного
датчика установленного на экспериментальной установке, отображаемые
значения давления не корректны, необходимо ориентироваться на расход).
Эксперименты проводились с помощью стенда собранного в соответствии с проектом
10NIOKR14.
 1. Проведено измерение по программе паспортизации источника:

Измерялся полный ионный ток при помощи коллектора и плотность ионного тока, с
помощью зонда типа «экранированный цилиндр Фарадея» с площадью окна 0,5 см2.

1) Измерение полного ионного тока, коллектор располагается на расстоянии

160мм, площадь собирающей поверхности 1225 см 2:

Q,
№ P, Па Зонд, A Uа, В Iа, А Iн, А Iэ, А
SCCM

1 4,4 2,0E-2 0,156 60 0,98 14,68 2,04

2 16,6 5,2E-2 0,348 60 1,86 14,68 2,44

3 22,2 1,1E-1 0,551 60 3,14 15,56 3,24

4 25,3 9,5E-2 0,650 60 3,94 17,08 4,80

5 30,0 2,2E-1 0,766 60 5,08 18,08 5,64

6 1,2 1,4E-2 0,128 100 1,02 14,72 1,80

7 8,0 2,7E-2 0,411 101 1,96 14,68 2,64

8 10,8 3,5E-2 0,645 100 3,00 15,40 3,44

9 14,5 5,1E-2 0,754 100 3,98 16,76 4,76

10 25,9 6,5E-2 0,879 101 4,98 17,88 6,00

11 1,0 1,3E-2 0,077 171 1,04 14,76 1,76

12 5,1 2,2E-2 0,368 171 1,96 14,68 2,84

13 6,9 2,7E-2 0,722 171 2,96 14,92 3,24

14 6,1 2,7E-2 0,779 171 4,10 16,28 4,76

15 5,6 2,9E-2 0,796 171 5,12 17,36 6,00

2) Измерение плотности ионного тока, цилиндр Фарадея располагается на

расстоянии 200 мм от центра источника, площадь собирающей поверхности
зонда 0,5 см2:
 Q, Зондовый j,
№ SCCM P, Па ток, mkA Uа, В Iа, А Iн, А Iэ, А мА/см2
0,05
1 16,4 4,10E-02 25,93 60 0,78 14,68 3
0,06
2 24,9 1,10E-01 29,72 60 1,26 14,68 3,4
0,28
3 29,7 3,40E-01 139,65 60 2,92 14,68 4,12
0,41
4 31,9 5,00E-01 204,53 60 3,88 14,68 4,28
0,55
5 32,2 2,10E+00 277,3 60 5,3 15,4 4,68
0,34
6 4,3 1,50E-02 168,5 100 0,68 14,6 2
0,49
7 3,3 2,10E-02 242,5 100 2 14,68 4,2
0,52
8 8,2 2,80E-02 260 100 2,96 14,68 4,92
0,69
9 14,5 4,80E-02 346,1 100 3,98 14,72 5,12
0,87
10 23,2 7,10E-02 434,6 100 4,9 14,68 5,2
0,19
11 1 1,30E-02 94,09 171 1,24 14,68 2,96
0,25
12 2,3 1,50E-02 125,92 171 1,94 14,68 4,08
0,35
13 3,8 2,20E-02 175,97 171 3,06 14,68 5,28
14 4,5 2,30E-02 207,6 171 3,94 14,68 5,52 0,42
0,59
15 5,7 2,60E-02 294,8 171 5 14,68 5,68
0,08
16 13,6 3,40E-02 41,88 60 0,64 13,04 2,2
0,33
17 13,7 4,50E-02 166,01 60 1,98 13,04 3,2
0,44
18 21,7 1,20E-01 219,6 60 2,84 13,04 3,24
0,63
19 30 2,90E-01 316,7 60 4,1 13,04 3,44
0,69
20 34,7 1,70E+00 342,9 60 5,32 15,96 5,24
0,00
21 1,1 2,80E-02 0 100 0,5 13,04 0,92
0,36
22 6,8 2,70E-02 180,25 100 1,96 13,04 3,32
0,58
23 11,6 3,60E-02 288,8 100 2,98 13,04 3,52
0,79
24 15,9 6,00E-02 393 100 3,96 13,04 3,64
0,87
25 22,8 1,50E-01 432,5 100 5,2 14,88 5,4
0,19
26 1,3 1,30E-02 95,39 171 1,02 13,04 2,24
0,30
27 4,5 2,00E-02 150,49 171 1,98 13,04 3,48
0,59
28 6,6 2,60E-02 292,7 171 3,04 13,04 3,8
 0,59
29 6,7 2,80E-02 294,7 171 4,04 13,04 3,96
0,66
30 6,4 2,90E-02 332 171 5,06 14,24 5,2

2. Сняты профили ионного пучка при различных режимах:

Профили пучка снимались с помощью цилиндрического зонда, размещённого на

подвижной каретке на расстоянии 170 мм от апертуры источника. Диаметр пучка
измерялся на уровне 0,7 от максимума, т.к. плотность тока в пределах такого диаметра
достаточна для практических применений.
а) Первая серия экспериментов. Напряжение смещения на зонде U =14 В.
Основные технологические параметры:

Диаметр
пучка на
№ Q, SCCM P, Па Uа, В Iа, А Iн, А Iэ, А
уровне 0,7,
мм

1 6,0 2,1E-2 171 2,98 14,16 3,20 240

2 9,1 2,5E-2 100 1,96 12,84 2,12 180

700

600
Ток зонда (относительные еденицы)

500

400

300 1
2

200

100

0
0 2000 4000 6000 8000 10000 12000 14000 16000 18000
Координата, мм

Профиль пучка ИА.

 б) Вторая серия экспериментов.
Напряжение смещения U=14 В.

Основные технологические параметры:

Диаметр пучка на
№ Q, SCCM P, Па Uа, В Iа, А Iн, А Iэ, А
уровне 0,7, мм

1 6,2 2,1E-2 80 0,96 13,04 1,04 180

2 7,1 2,2E-2 80 0,96 12,92 1,08 180

3 8,4 2,5E-2 100 1,96 14,04 2,12 180

600
Ток зонда (относительные еденицы)

500

400

300
1
2
3
200

100

0
0 2000 4000 6000 8000 10000 12000 14000 16000 18000
Координата, мм

Профиль пучка ИА.

 в) Третья серия экспериментов.
Напряжение смещения U=14 В.

1- Нормальная компенсация
2 - Перекомпенсация
3 – Недокомпенсация

Основные технологические параметры:

Диаметр пучка
№ Q, SCCM P, Па Uа, В Iа, А Iн, А Iэ, А на уровне 0,7,
мм

1 8,7 2,5E-2 100 1,98 13,76 2,12 170

2 8,6 2,6E-2 100 1,98 13,92 2,40 190

3 9,6 2,8E-2 100 1,96 12,64 1,60 180

700

600
Ток зонда (относительные еденицы)

500

400

1
300 2
3
200

100

0
0 2000 4000 6000 8000 10000 12000 14000 16000 18000
Расстояние от оси пучка , мм

Профиль пучка ИА.

Таким образом, профили пучка имеют косинусоидальную форму. Диаметр пучка во всех
режимах примерно одинаков за исключением №1 и составляет 170 -190 мм.

3. Сняты вольт-амперные характеристики источника:

Измерения проводились при стабилизации расхода рабочего газа, таблица
результатов и график представлены ниже:

Напр Ток анода (А) при расходе (SCCM)

2,1 5 8
60 0,52 0,42 0,58
70 0,7 0,82 0,78
80 0,96 0,9 1,04
90 1 1 1,62
100 1,08 1,08 1,9
110 1,1 1,16 2,14
120 1,14 1,32 2,36
130 1,16 1,42 2,62
140 1,18 1,54 2,9
150 1,19 1,64 3,64
161 1,2 1,8 5,06
171 1,2 1,98  
181 1,2 2,16  
191 1,21 2,68  
201 1,22 2,92  
 6

4
Ток разряда А

3
2,1 SCCM
5 SCCM
2 8 SCCM

0
40 60 80 100 120 140 160 180 200 220
Напряжение на аноде, В

ВАХ ИА

Анализ семейства вольт - амперных характеристик показывает, что при малых

расходах газа ток разряда мало зависит от напряжения на аноде и при увеличении
напряжения растёт слабо, при средних, приблизительно пропорционален
напряжению и при больших расходах газа резко растёт с увеличением
напряжения на аноде.

4. Изучены тепловые режимы корпуса источника: температура была измерена с

помощью термостикеров

Зона корпуса Температура, C0

Плита охлаждения 54°
Бок днища ИА 74°
Середина боковой поверхности корпуса 95°
Середина боковой поверхности корпуса,
Более 104°
при работе более 6 часов.

Замечено, при работе источника в камере установки “Ортус”, без нагрева, за 4 часа
-источник нагревал ионным пучком штатную термопару, установленную под куполом
до 180 С°!

Выводы:
1. Последний вариант конструкции годится для использования в составе установок
«Ортус» и для поставок в качестве отдельного продукта.
2. Рекомендуется продолжить работы по усовершенствованию конструкции ионного
источника ассистирования и его технологических и электрических характеристик, а
именно:
1) Разработать технологическую оснастку для сборки (центрирования) источника.
2) Разработать технологическую оснастку для настройки магнитной системы.
3) Доработка конструкции ИИА для обеспечения его надежной работы в условиях
повышенной термической нагрузки в рабочей камере 300-3500С.
4) Снижение рабочей температуры элементов источника, повышение
эффективности системы охлаждения.
5) Снижение себестоимости изготовления источника с сохранением параметров.
6) Снижение расхода газа;
7) Снижение средней энергии ионов в пучке;
8) Повысить ресурс непрерывной работы (срока службы вольфрамовой спирали).
9) Необходимо исследовать влияние флюктуаций анодного тока на газонапуск и
ионный ток.
10) Исследование загрязнения ионного пучка продуктами распыления
конструктивных элементов источника.
11) Доработка и оптимизация алгоритмов работы Блока питания