Академический Документы
Профессиональный Документы
Культура Документы
2015 Приборы для линейных измерений » 3.1 Индуктивные преобразователи
3.1 Индуктивные преобразователи
Измерительные приборы с индуктивными преобразователями (ИП) заняли доминирующее положение среди
электронных приборов для линейных измерений в диапазоне до 510 мм благодаря целому ряду несомненных
преимуществ по сравнению с другими типами механических приборов и электрических преобразователей. ИП
оснащают многочисленные цеховые контрольные приборы и приспособления, приборы активного контроля в
автоматическом и электрических безлюдном производстве, а также лабораторные поверочные приборы, в том
числе для аттестации и поверки индикаторов и концевых мер длины.
ИП выгодно отличают относительная простота конструкции, достаточно высокая мощность выходного
сигнала, малые размеры, высокая точность и надежность, пониженная чувствительность к изменению
условий окружающей среды и помехам, сочетание хороших динамических свойств с возможностью передачи
сигнала на сравнительно большое расстояние (до 10 –15 м) с минимальными искажениями и потерями и
низкая цена.
ИП давно пытались применить для линейных измерений. У первых ИП магнитопроводы изготавливали из
шихтованного железа, а их катушки питали током промышленной частоты (50 Гц). ИП были громоздкими по
размерам, имели большое измерительное усилие и нелинейную характеристику.
Серьезное изменение в конструкции и характеристиках ИП произошло с применение в них мягких ферритов.
Магнитопровод и якорь начали изготавливать из ферритов с высоким коэффициентом магнитной
проницаемости 20006000 гс/э. Катушки ИП начали запитывать переменным током частотой 715 кГц. Эти
новшества резко изменили конструкцию и метрологические характеристики ИП. Размеры ИП существенно
уменьшились и их стало удобно встраивать в приборы и контрольные приспособления. Уменьшилось
измерительное усилие ИП. И главное улучшились метрологические характеристики ИП, линейность и
помехоустойчивость. В результате все фирмы, выпускающие измерительную технику для линейных
измерений, начали разрабатывать ИП. Было разработано большое количество конструкций ИП ,и в конце
концов, пришли к одной практически унифицированной конструкции, которую выпускают все фирмы в
настоящее
Рис. 3.1.1 Принципиальные схемы и характеристики ИП с изменяющейся длиной воздушного зазора:
а — одинарный преобразователь; в — одинарный преобразователь, включенный в дифференциальную
схему; д дифференциальный преобразователь; 1 – якорь преобразователя; 2 — обмотка; 3 —
магнитопровод; 4 — компенсационная обмотка.
http://dopusk.net/?page_id=885 1/6
22.11.2015 Приборы для линейных измерений » 3.1 Индуктивные преобразователи
время.
Долгое время широко применяли не дифференциальные, квазидифференциальные и дифференциальные
преобразователи (рис. 3.1.1), работающие по площади, которые обеспечивали высокую чувствительность и
мощность выходного сигнала.
Однако постепенно от всех вариантов конструкций ИП отказались и остановились на одной хорошо
отработанной конструкции дифференциального ИП соленоидного типа.
В настоящее время все фирмы выпускают практически одинаковую конструкцию ИП, описанную ниже.
Современные ИП делятся условно на две группы. Универсальные ИП, имеющие собственные направляющие
измерительного стержня, защитный корпус и соединительный кабель. Такие ИП легко встраиваются в
измерительную оснастку или применяются как измерительные приборы. Другая группа ИП состоит только из
магнитопровода с катушками и якоря, которые встраиваются в измерительную оснастку, например в скобы и
головки приборов активного контроля, индуктивные пробки и др.
Основными элементами индуктивного преобразователя являются катушки (обмотки) и подвижный
цилиндрический якорь.
Рис. 3.1.2 Дифференциальный ИП
В зависимости от схемы расположения и подключения обмоток ИП выпускаются двух основных типов –
дифференциальнотрансформаторные и дифференциальные полумостовые.
Рис. 3.1.3 Дифференциальный ИП с трансформаторной схемой включения обмоток
Дифференциальнотрансформаторные преобразователи (рис. 3.1.2 и 3.1.3) имеют первичную обмотку и две
включенные навстречу друг другу вторичные обмотки. Переменное питающее напряжение Ve с частотой 712
кГц подается на первичную обмотку. На вторичных обмотках наводится напряжения Va и Vb. При
расположении якоря симметрично вторичным обмоткам, Va =Vb и суммарное напряжение на выводах
вторичных обмоток равно нулю.
При подаче на первичную обмотку переменного напряжения Ve во вторичных обмотках наводятся
напряжения той же частоты Va и Vb, направленные в каждый момент времени навстречу друг другу. При
смещении якоря в какомлибо направлении напряжение на одной из вторичных обмоток возрастает, а на
другой – уменьшается. Это приводит к возникновению на выводах вторичных обмоток напряжения (сигнала),
равного Va – Vb пропорционального смещению якоря от положения симметрии. Данный сигнал
воспринимается вторичным прибором и преобразуется в форму, наиболее удобную для восприятия
человеком, схемой металлорежущего станка или средствами вычислительной техники.
Полумостовые преобразователи (рис. 3.1.4) имеют две включенные навстречу друг другу обмотки,
образующие половину индуктивного моста. Вторая его по
Рис. 3.1.4 Полумостовой индуктивный преобразователь
ловина образуется входным делителем вторичного прибора. При расположении якоря симметрично обмоткам
мост сбалансирован и напряжение в его диагонали равно нулю. Смещение якоря вызывает пропорциональную
разбалансировку моста. Сигнал дисбаланса преобразуется так же, как в предыдущем случае.
Достоинством дифференциальных индуктивных преобразователей является возможность получения линейной
характеристики в сравнительно большом диапазоне перемещений якоря, поскольку нелинейности
характеристик двух симметричных половин компенсируются. Эти преобразователи обладают примерно в 2
раза большей чувствительностью по сравнению с одинарными, они менее чувствительны к изменению
температуры окружающей среды, вызывающей одинаковые изменения активных сопротивлений парных
обмоток.
Подавляющее большинство выпускаемых универсальных ИП имеют наружный посадочный диаметр 8 мм и
примерно одинаковую конструкцию.
ИП выпускают ведущие зарубежные фирмы США, Европы и Японии Tesa (Швейцария), Mahr (Германия),
MITUTOYO (Япония), Marposs (Италия) и др. В России ИП выпускает завод «Измерон» (г.СанктПетербург) и
ООО «Микромех» (г.СанктПетербург), ОАО «РОБОКОН» (Москва). Каждая фирма предлагает большую гамму
ИП для решения различных измерительных задач.
ИП выпускают согласно международному стандарту DIN 32876 часть 1.
http://dopusk.net/?page_id=885 2/6
22.11.2015 Приборы для линейных измерений » 3.1 Индуктивные преобразователи
В дифференциальных соленойдных ИП используется зависимость индуктивного сопротивления обмоток от
изменения длины воздушного зазора между ферромагнитным якорем (сердечником) и магнитопроводом.
Таким образом, параметры электрического выходного сигнала преобразователя зависят от линейного
перемещения якоря, связанного с отклонением размера объекта контроля.
Достоинство дифференциальных ИП – линейная характеристика (рис. 3.5) в сравнительно большом диапазоне
(до 10 мм) перемещений якоря.
Рис. 3.1.5 Выходная характеристика U=f(S) индуктивного преобразователя.
U – выходное напряжение, S – перемещение (ход) якоря, L – линейный диапазон характеристики, Lf
нелинейность
Конструкция большинства выпускаемых универсальных ИП примерно одинакова (рис. 3.1.6).
Рис. 3.1.6 Индуктивный преобразователь завода “ИЗМЕРОН”
(г.СанктПетербург
Конструкция большинства выпускаемых универсальных ИП примерно одинакова (рис. 10.6).
В цилиндрическом корпусе 6 расположен неподвижный магнитопровод с двумя или тремя катушками 8 и
подвижный шток 3 с якорем 7. Корпус изготовлен из нержавеющей стали с наружным диаметром 8h6 или 8h7
и имеет твердое никелевое или хромовое покрытие, хорошо защищающее его от коррозии в цеховых
условиях. Корпус служит одновременно посадочным диаметром для установки ИП в измерительную стойку
или измерительную оснастку. Шток 3 перемещается в шариковой направляющей на насыпных шарах 9
диаметром 0,680,8 мм, собранных с небольшим натягом 12 мкм. Такая конструкция обеспечивает легкость и
точность перемещения штока, устойчивость к боковым усилиям на измерительный наконечник.
В некоторых случаях, особенно в ИП малого размера, применяют направляющие скольжения.
На внутреннем конце штока установлен ферритовый стерженек 7, который перемещается внутри катушек и
служит якорем ИП. На наружном конце штока расположен измерительный наконечник 1, оснащенный
твердосплавным шариком диаметром 3 мм. Измерительное усилие создается регулируемой пружиной 5,
http://dopusk.net/?page_id=885 3/6
22.11.2015 Приборы для линейных измерений » 3.1 Индуктивные преобразователи
отцентрированной так, что исключается ее трение о корпус при движении шпинделя. Катушки расположены в
ферритовом магнитопроводе. Якорь установлен в немагнитной втулке с коэффициентом линейного
расширения, близким к коэффициенту линейного расширения магнитопровода. От поворота шток
удерживается роликом (шпонкой). Ход штока ограничен упорами .
Обмотки преобразователя намотаны аккуратно уложенным виток к витку тонким проводом диаметром 0,04
0,08 мм с числом витков 600800. Число витков симметричных обмоток и их сопротивление строго одинаковы.
Для якоря и магнитопровода используют мягкие ферриты с коэффициентом магнитной проницаемости 2000
6000 Гн/м.
Якорь преобразователя закреплен на конце тонкого относительно длинного цилиндрического штока.
Масса подвижного штока составляет от 2 до 10 г. Это позволяет использовать преобразователи в
динамическом режиме при изменении размеров с частотой до 60 Гц. Причем рабочее положение
преобразователя может быть – вертикальным вниз или вверх наконечником или горизонтальным.
Обмотки преобразователя питают переменным синусоидальным или импульсным (например, в форме
меандра) напряжением от 3 до 6 В частотой 5–13 кГц. Чувствительность преобразователей составляет от 50
до 73 мВ/В/мм при нагрузке от 2 до 10 кОм.
Большинство преобразователей имеют длину около 100 мм с аксиальным или радиальным выводом кабеля.
Вывод кабеля надежно защищен резиновым уплотнением. Длина кабеля 2 м. Увеличение длины кабеля
может привести к ухудшению метрологических характеристик преобразователя.
Корпус и направляющие преобразователя надежно герметизированы резиновыми уплотнениями. Подвижный
шток защищен эластичным уплотнением («гармошкой») 2 из маслобензостойкой резины. Степень защиты
преобразователя IP 65 по стандарту DIN EN 60529 и ГОСТ 1425496.
Выпускаются преобразователи с диапазоном измерения ±0,2; ±1,0; ±2,0 и ±5,0 мм. Имеются модели с
диапазоном измерения ±10 мм.
Преобразователи выпускают в нескольких исполнениях с разным измерительным усилием. Наименьшее
измерительное усилие составляет 0,16 Н, наибольшее – 1,0 Н.
Нелинейность характеристики собственно преобразователей Lf с аналоговым выходом составляет от (0,07 +
0,4L) до (0,2 + 3L3) мкм у разных моделей ИП, где L диапазон измерения в мм (рис. 10.5). При использовании
преобразователя с микропроцессорным блоком, имеющим программу линеаризации, можно «выпрямить»
характеристику и повысить ее линейность. Следует, однако, иметь в виду, что линеаризацию проводят по
нескольким точкам, например 9. Нелинейность, присущая характеристике ИП, между точками сохраняется,
хотя она значительно меньше, чем на всем диапазоне измерения.
В комплекте с аналоговыми или микропрцессорными электронными блоками ИП устойчиво работают при цене
деления шкалы или дискретности цифрового отсчета 0,01; 0,05; 0,1 и 1,0 мкм.
Воспроизводимость (повторяемость) показаний преобразователей составляет от 0,01 до 0,2 мкм у разных
моделей ИП.
Погрешность прямого и обратного хода составляет от 0,01 до 0,25 мкм.
Смещение нуля при изменении окружающей температуры составляет 0,25 мкм/ 0С.
Преобразователи могут применяться при температуре от 10 до 65 0С. Однако метрологические
характеристики гарантируются при нормальной температуре 20 0C.
Для подъема (арретирования) штока в процессе измерения преобразователи могут быть снабжены
механическим или пневматическим арретиром, использующим давление или разрежение воздуха.
С помощью индуктивных приборов производят, главным образом, относительные измерения, настраивая ноль
прибора по плоскопараллельным концевым мерам длины или образцовой детали, например, по
установочному кольцу. Это существенно уменьшает систематические и случайные погрешности измерения,
так как настройку и измерение производят в одинаковых условиях, а диапазон измерения не велик. Однако в
погрешность измерения, кроме указанных выше составляющих погрешностей ИП, входит погрешность
аттестации образцовой детали (меры) и погрешность настройки.
Выходные сигналы ИП обрабатывают в зависимости от решаемой задачи. Высокая линейность выходной
характеристики ИП и возможность обеспечить одинаковую чувствительность позволяет производить сложении
или вычитание выходных сигналов двух или нескольких ИП по схеме ±А±В. Это существенно расширяет
возможности их применения для решения различных измерительных задач особенно при автоматическом
контроле размеров деталей.
ИП применяют в нутромерах, приборах активного контроля, контрольных приспособлениях, контрольно
сортировочных автоматах, многомерных устройствах для ручного и автоматического послеоперационного
контроля, а также для контроля размеров деталей на стойке. На базе ИП выпускают многочисленные
индуктивные приборы с аналоговым и цифровым отсчетом.
Универсальный ИП с беспроводной связью.
Фирма TESA (Швейцария) разработала и выпустила индуктивный преобразователь без кабеля.
Преобразователь (рис. 3.1.7) представляет собой
Рис. 3.1.7 Индуктивный преобразователь с бескабельной связью
обычную и давно выпускаемую конструкцию диаметром 8 мм, к верхнему концу которой приделан
«набалдашнк» (головка). В головке расположены микросхемы или микропроцессор, генератор, питающий
катушки преобразователя, радиопередатчик, антенна и элементы питания. В комплект входит небольшой
приемопередающий блок, установленный отдельно. Связь между ИП и приемопередающим блоком (аналог
WiFi) осуществляется на частоте 2,4 ГГц.
Диапазон измерения преобразователей, мм ±1,5, ±2,0, ±5,0
http://dopusk.net/?page_id=885 4/6
22.11.2015 Приборы для линейных измерений » 3.1 Индуктивные преобразователи
Предел допускаемой погрешности, мкм 0,4 + 0,6L (L в мм)
Повторяемость, мкм 0,1 – 0,2
Дискретность цифровой индикации, мкм 0,1
Расстояние между преобразователями и приемопередающим блоком не более 20 м. Элементов питания
хватает только на один месяц, что, конечно, мало.
ИП без кабеля это очень удобно, особенно в контрольных приспособлениях, многомерных устройствах с
несколькими ИП и приборах активного контроля. Однако выпускаемый преобразователь получился , на наш
взгляд, не очень удачным. Увеличились его габаритные размеры и питающих баттареек хватает на небольшое
время (один месяц) Э ти недостатки будут ограничивать его применение.
Универсальный ИП с USB интерфейсом (рис. 3.1.8). Такой ИП удобен для соединения в компьютерами
или микропроцессорными электронными блоками.
ИП имеет кабель, на котором установлена небольшая коробочка и USB разъем. В коробочке расположена
микропроцессорная схема, которая обеспечивает питание обмоток ИП переменным синосоидальным или
импульсным током, усиливает выходной сигнал и преобразует его в протокол RS232. Таким образом, через
два контакта USB разъема подается питание на ИП, а через два других выходной сигнал в протоколе RS232.
Рис. 3.1.8 ИП с USB интерфейсом
Из специальных ИП следует отметить модель БВ6067 и БВ6240, применяемую только в приборах активного
контроля.
В преобразователях мод. БВ6067 и БВ6240 (рис. 3.1.9) применена дифференциальная система
чувствительных элементов, образованная двумя обмотками переменной индуктивности 4 и 5 и подвижным
якорем 6. В качестве упругих направляющих для осевого перемещения якоря служат дисковые пружины 2 и
3, снабженные концентрическими дуговыми прорезями. Измерительное усилие на контактном наконечнике 1
создается пружиной 9. Для якоря 6 и магнитопровода 7 и 8 используют мягкие ферриты с коэффициентом
магнитной проницаемости 1500—2000 гс/э. Измерительные обмотки образуют смежные плечи измерительного
моста переменного тока. При работе с аналоговыми блоками питание обмоток осуществляется
стабилизированным по амплитуде и частоте переменным напряжением 1,5 В, 10 кГц.
При симметричном расположении якоря 6 по отношению к элементам магнитопровода 7, 8 и обмоточным
секциям катушек геометрическая середина якоря совпадает с электромагнитной нейтралью. Устанавливается
балансное состояние системы, характеризуемое минимальным значением выходного сигнала
преобразователя, принимаемое за нуль.
Связанное с отклонением контролируемого размера смещение якоря от нейтрали перераспределяет активные
площади магнитной системы, что приводит к изменению величины магнитного сопротивления магнитной цепи
преобразователя, к увеличению индуктивности одной обмотки, уменьшению индуктивности другой и, как
следствие, к изменению их индуктивного сопротивления.
Рис. 3.1.9 Индуктивный преобразователь БВ6067 и БВ6240
Благодаря этому возникает дисбаланс моста, два плеча которою составляют обмотки преобразователя, и на
выходе появляется переменное напряжение, амплитуда которого пропорциональна отклонению
контролируемого размера, а фаза соответствует направлению смещения якоря. При переходе якоря через
нейтральное положение (ноль) фаза выходного напряжения меняется на 180о.
Элементы конструкции преобразователя заключены в цилиндрический корпус с присоединительным
диаметром 16h7, внутренняя полость которого герметизирована уплотнениями из маслобензостойкой мягкой
резины. Благодаря этому преобразователь применяется для установки в негерметичную измерительную
оснастку и пригоден для эксплуатации в условиях повышенной влажности, непосредственно в рабочей зоне
металлорежущего станка.
Эксплуатационные и точностные параметры преобразователей сохраняются при их установке в любое
рабочее положение — вертикальное, горизонтальное или наклонное. Во избежание преждевременного
выхода преобразователя из строя контролируемый объект не рекомендуется вводить в непосредственное
соприкосновение с контактным наконечником 1. Перемещения должны передаваться через промежуточное
http://dopusk.net/?page_id=885 5/6
22.11.2015 Приборы для линейных измерений » 3.1 Индуктивные преобразователи
кинематическое звено измерительной оснастки, снабженное ограничителями хода. Степень защиты
преобразователя IP68.
1. Щепетов А.Г. Теория, расчет и проектирование измерительных устройств. Часть 2, ФГУП
«СТАНДАРТИНФОРМ», 2008, 344 с.
2. Сорочкин Б.М. Автоматизация измерений и контроля размеров деталей, Л. Машиностроение, 1990, 365 с.,
3. Федотов А.В. Расчет и проектирование индуктивных измерительных устройств, М,
Машиностроение, 1979, 176 с.
4. Соболев М.П. и Этингоф М.И. Автоматический размерный контроль на металлорежущих станках,
Смоленск, «Ойкумена», 2005, 300 с.
5. Федотов А.В. Теория и расчет индуктивных датчиков перемещений для систем автоматического
контроля, Издательство ОмГТУ, 2011, 185 с.
© Михаил Этингоф, 2012 2015
http://dopusk.net/?page_id=885 6/6