22.11.

2015 Приборы для линейных измерений » 3.1 Индуктивные преобразователи

Приборы Статьи Книги Патенты Журналы Заводы и фирмы Об авторе

3.1 Индуктивные преобразователи
Измерительные приборы с индуктивными преобразователями (ИП)  заняли доминирующее положение  среди
электронных приборов для линейных измерений в диапазоне до 5­10 мм благодаря целому ряду несомненных 
преимуществ по сравнению с другими типами механических приборов и электрических преобразователей. ИП
оснащают многочисленные цеховые контрольные приборы и приспособления, приборы активного контроля в
автоматическом и электрических безлюдном производстве, а также лабораторные поверочные приборы, в том
числе для аттестации и  поверки индикаторов и концевых мер длины.
ИП выгодно отличают относительная простота конструкции, достаточно высокая   мощность выходного
сигнала,  малые  размеры, высокая точность и надежность, пониженная чувствительность к изменению
условий окружающей среды и помехам, сочетание хороших динамических свойств с возможностью передачи
сигнала на сравнительно большое расстояние (до 10 –15 м) с минимальными искажениями и потерями и
низкая цена.
ИП давно пытались применить для линейных измерений. У первых ИП магнитопроводы изготавливали из
шихтованного железа, а их катушки питали током промышленной частоты (50 Гц).   ИП были громоздкими по
размерам, имели большое  измерительное усилие и нелинейную характеристику.
Серьезное изменение в конструкции и характеристиках ИП произошло с применение в них мягких ферритов.
Магнитопровод и якорь начали изготавливать из ферритов с высоким  коэффициентом магнитной
проницаемости 2000­6000 гс/э. Катушки ИП начали запитывать переменным током частотой 7­15 кГц. Эти
новшества  резко изменили конструкцию и метрологические характеристики ИП. Размеры ИП существенно
уменьшились и их стало удобно встраивать в приборы и контрольные приспособления. Уменьшилось
измерительное усилие ИП. И главное  улучшились метрологические характеристики ИП,  линейность и
помехоустойчивость. В результате все фирмы, выпускающие измерительную технику для линейных
измерений, начали разрабатывать ИП. Было разработано большое количество конструкций ИП ,и в конце
концов, пришли к одной практически унифицированной конструкции, которую выпускают все фирмы в
настоящее

      Рис. 3.1.1  Принципиальные схемы и характеристики ИП с изменяющейся длиной воздушного зазора:
     а — одинарный преобразователь; в — одинарный преобразователь, включенный в дифференциальную
схему;  д ­  дифференциальный преобразователь; 1 – якорь преобразователя;  2 — обмотка;  3 —
магнитопровод; 4 — компенсационная обмотка.

http://dopusk.net/?page_id=885 1/6
22.11.2015 Приборы для линейных измерений » 3.1 Индуктивные преобразователи
время.
Долгое время широко применяли не дифференциальные, квазидифференциальные и дифференциальные  
преобразователи (рис. 3.1.1), работающие по площади, которые обеспечивали высокую чувствительность и
мощность выходного сигнала.
Однако постепенно от всех вариантов конструкций ИП отказались и остановились на одной хорошо
отработанной конструкции дифференциального ИП соленоидного типа.
В настоящее время все фирмы выпускают практически одинаковую  конструкцию ИП, описанную ниже.
Современные ИП делятся условно на две группы. Универсальные ИП, имеющие собственные направляющие
измерительного стержня, защитный корпус и соединительный кабель. Такие ИП легко встраиваются в
измерительную оснастку или применяются как измерительные приборы. Другая группа ИП состоит только из
магнитопровода с катушками и якоря, которые встраиваются в измерительную оснастку, например в скобы и
головки приборов активного контроля, индуктивные пробки и др.
Основными элементами индуктивного преобразователя являются   катушки (обмотки) и подвижный
цилиндрический  якорь.

     Рис. 3.1.2  Дифференциальный ИП
     В зависимости от схемы расположения и подключения обмоток ИП выпускаются двух основных типов –
дифференциально­трансформаторные и дифференциальные полумостовые.

Рис. 3.1.3  Дифференциальный ИП с  трансформаторной  схемой включения обмоток
Дифференциально­трансформаторные преобразователи (рис. 3.1.2 и 3.1.3) имеют первичную обмотку и две
включенные навстречу друг другу вторичные обмотки. Переменное питающее напряжение  Ve с частотой 7­12
кГц подается на первичную обмотку. На вторичных обмотках наводится напряжения Va и Vb. При
расположении якоря симметрично вторичным обмоткам, Va =Vb и суммарное напряжение на выводах
вторичных обмоток равно нулю.
При подаче на первичную обмотку переменного напряжения Ve во вторичных обмотках наводятся
напряжения той же частоты Va и Vb, направленные в каждый момент времени навстречу друг другу.      При
смещении якоря в каком­либо направлении напряжение на одной из вторичных обмоток возрастает, а на
другой – уменьшается. Это приводит к возникновению на выводах вторичных обмоток напряжения (сигнала),
равного Va – Vb  пропорционального смещению якоря от положения симметрии.  Данный сигнал
воспринимается вторичным прибором и преобразуется в форму, наиболее удобную для восприятия
человеком, схемой металлорежущего станка   или средствами вычислительной техники.
Полумостовые преобразователи (рис. 3.1.4) имеют две включенные навстречу друг другу обмотки,
образующие половину индуктивного моста. Вторая его по­

Рис. 3.1.4  Полумостовой индуктивный преобразователь
 ловина образуется входным делителем вторичного прибора. При расположении якоря симметрично обмоткам
мост сбалансирован и напряжение в его диагонали равно нулю. Смещение якоря вызывает пропорциональную
разбалансировку моста. Сигнал дисбаланса преобразуется так же, как в предыдущем случае.
Достоинством дифференциальных индуктивных преобразователей является возможность получения линейной
характеристики в сравнительно большом диапазоне перемещений якоря, поскольку нелинейности
характеристик двух симметричных половин  компенсируются. Эти преобразователи обладают примерно в 2
раза большей чувствительностью по сравнению с одинарными, они менее чувствительны к изменению
температуры окружающей среды, вызывающей одинаковые изменения активных сопротивлений парных
обмоток.
Подавляющее большинство выпускаемых  универсальных ИП имеют наружный посадочный  диаметр 8 мм  и
примерно одинаковую конструкцию.
ИП выпускают  ведущие зарубежные фирмы США,  Европы и Японии ­  Tesa  (Швейцария), Mahr (Германия),
MITUTOYO (Япония), Marposs (Италия) и др. В России ИП выпускает завод  «Измерон» (г.Санкт­Петербург) и
ООО «Микромех» (г.Санкт­Петербург), ОАО «РОБОКОН» (Москва). Каждая фирма предлагает большую гамму
ИП для решения различных измерительных задач.
ИП выпускают согласно  международному стандарту DIN 32876 часть  1.

http://dopusk.net/?page_id=885 2/6
22.11.2015 Приборы для линейных измерений » 3.1 Индуктивные преобразователи
В     дифференциальных соленойдных ИП используется зависимость индуктивного сопротивления обмоток от
изменения длины  воздушного зазора между ферромагнитным якорем (сердечником) и магнитопроводом.
Таким образом, параметры электрического выходного сигнала  преобразователя  зависят от линейного
перемещения якоря, связанного с отклонением размера объекта контроля.
Достоинство дифференциальных ИП – линейная характеристика (рис. 3.5) в сравнительно большом диапазоне
(до 10 мм) перемещений якоря.

 
 
Рис. 3.1.5   Выходная характеристика U=f(S) индуктивного преобразователя.
    U – выходное напряжение,   S – перемещение (ход) якоря,    L – линейный диапазон характеристики,    Lf  ­ 
нелинейность
Конструкция большинства выпускаемых  универсальных   ИП примерно одинакова (рис. 3.1.6).

Рис.  3.1.6   Индуктивный преобразователь завода “ИЗМЕРОН”
(г.Санкт­Петербург
Конструкция большинства выпускаемых  универсальных   ИП примерно одинакова (рис. 10.6).
В цилиндрическом  корпусе   6   расположен неподвижный магнитопровод  с двумя или тремя катушками 8 и
подвижный шток 3 с якорем 7.  Корпус изготовлен из нержавеющей стали с наружным диаметром 8h6 или 8h7
и  имеет   твердое никелевое  или  хромовое  покрытие,  хорошо защищающее его от коррозии в цеховых
условиях. Корпус служит одновременно посадочным диаметром для установки ИП в измерительную стойку
или измерительную оснастку. Шток 3 перемещается в шариковой направляющей  на насыпных шарах 9
диаметром 0,68­0,8 мм,  собранных с небольшим натягом 1­2 мкм. Такая конструкция обеспечивает легкость и
точность перемещения штока, устойчивость к боковым усилиям на измерительный наконечник.
В некоторых случаях, особенно в ИП малого размера, применяют направляющие скольжения.
На внутреннем конце штока  установлен ферритовый стерженек 7, который перемещается внутри катушек  и
служит якорем ИП. На наружном  конце штока  расположен измерительный наконечник 1,  оснащенный
твердосплавным шариком диаметром  3 мм.   Измерительное усилие создается регулируемой  пружиной 5,
http://dopusk.net/?page_id=885 3/6
22.11.2015 Приборы для линейных измерений » 3.1 Индуктивные преобразователи
отцентрированной так, что исключается ее трение о корпус при движении шпинделя. Катушки  расположены в
ферритовом магнитопроводе.  Якорь установлен в немагнитной втулке  с коэффициентом линейного
расширения, близким к коэффициенту линейного расширения магнитопровода. От поворота шток 
удерживается роликом (шпонкой). Ход штока ограничен упорами .
Обмотки  преобразователя намотаны аккуратно уложенным виток  к  витку тонким проводом диаметром 0,04­
0,08 мм с числом витков 600­800. Число витков симметричных обмоток и их  сопротивление строго одинаковы.
Для якоря и магнитопровода используют мягкие ферриты с коэффициентом магнитной проницаемости 2000­
6000 Гн/м.
Якорь преобразователя закреплен на конце тонкого относительно  длинного цилиндрического штока.     
Масса подвижного штока составляет от 2 до 10 г. Это позволяет использовать преобразователи в
динамическом режиме при изменении  размеров  с частотой до 60 Гц. Причем рабочее положение
преобразователя может быть – вертикальным вниз или вверх наконечником  или горизонтальным.
Обмотки  преобразователя  питают переменным  синусоидальным или импульсным (например, в форме
меандра) напряжением от 3 до 6 В частотой 5–13 кГц.    Чувствительность преобразователей составляет от 50
до 73 мВ/В/мм при нагрузке от 2 до 10 кОм.
Большинство преобразователей  имеют  длину  около 100 мм с аксиальным или радиальным выводом кабеля. 
Вывод кабеля надежно защищен резиновым уплотнением. Длина кабеля  2 м. Увеличение длины кабеля
может привести к ухудшению метрологических характеристик преобразователя.
Корпус и направляющие преобразователя надежно герметизированы резиновыми уплотнениями.  Подвижный
шток  защищен эластичным уплотнением («гармошкой») 2 из маслобензостойкой резины. Степень защиты
преобразователя IP 65 по стандарту DIN EN  60529 и ГОСТ 14254­96.
Выпускаются преобразователи с диапазоном измерения  ±0,2;  ±1,0;   ±2,0 и ±5,0 мм.  Имеются модели с
диапазоном измерения  ±10 мм.
Преобразователи выпускают в нескольких исполнениях с разным  измерительным  усилием.  Наименьшее
измерительное усилие составляет 0,16 Н, наибольшее  – 1,0 Н.
Нелинейность характеристики собственно  преобразователей Lf   с аналоговым выходом составляет от  (0,07 +
0,4L) до (0,2 + 3L3) мкм у разных моделей ИП, где L диапазон измерения в мм (рис. 10.5). При использовании
преобразователя с микропроцессорным блоком, имеющим программу линеаризации, можно «выпрямить»
характеристику и повысить ее линейность. Следует, однако, иметь в виду, что линеаризацию проводят по
нескольким точкам, например 9. Нелинейность, присущая характеристике ИП, между точками сохраняется,
хотя она значительно меньше, чем на всем диапазоне измерения.
В комплекте с аналоговыми или микропрцессорными электронными блоками ИП устойчиво работают при цене
деления шкалы или дискретности цифрового отсчета 0,01; 0,05;  0,1 и 1,0 мкм.
Воспроизводимость (повторяемость) показаний  преобразователей  составляет  от  0,01  до 0,2 мкм у разных
моделей ИП.
Погрешность прямого и обратного хода составляет от 0,01 до 0,25 мкм.
Смещение нуля при изменении окружающей температуры составляет  0,25 мкм/ 0С.
Преобразователи могут  применяться  при  температуре от ­10 до 65 0С. Однако метрологические
характеристики  гарантируются при  нормальной  температуре 20 0C.
Для подъема (арретирования) штока в процессе измерения преобразователи могут быть  снабжены
механическим или пневматическим арретиром,  использующим давление или разрежение воздуха.
С помощью индуктивных приборов  производят, главным образом, относительные измерения, настраивая ноль
прибора по плоскопараллельным  концевым мерам длины или образцовой детали, например, по
установочному кольцу. Это существенно уменьшает систематические и случайные погрешности измерения,
так как настройку и измерение производят в одинаковых условиях, а диапазон измерения не велик. Однако в
погрешность измерения, кроме указанных выше составляющих погрешностей ИП,  входит погрешность
аттестации образцовой детали (меры) и погрешность настройки.
Выходные сигналы ИП обрабатывают в зависимости от решаемой задачи. Высокая линейность выходной
характеристики ИП и возможность обеспечить одинаковую чувствительность позволяет производить сложении
или вычитание выходных  сигналов двух или нескольких ИП по схеме ±А±В. Это существенно расширяет
возможности их применения для решения различных измерительных задач особенно при автоматическом
контроле размеров деталей.
ИП применяют в нутромерах, приборах активного контроля, контрольных приспособлениях, контрольно­
сортировочных автоматах, многомерных устройствах   для  ручного   и  автоматического послеоперационного
контроля, а также для контроля размеров деталей на стойке. На базе  ИП выпускают многочисленные
индуктивные приборы с аналоговым и цифровым отсчетом.
 Универсальный ИП с беспроводной связью.
Фирма TESA (Швейцария) разработала и выпустила  индуктивный преобразователь без кабеля.
Преобразователь (рис. 3.1.7) представляет собой

Рис. 3.1.7   Индуктивный преобразователь с бескабельной связью
обычную и давно выпускаемую конструкцию диаметром 8 мм, к верхнему концу которой приделан
«набалдашнк» (головка). В головке расположены микросхемы или микропроцессор, генератор, питающий
катушки преобразователя, радиопередатчик, антенна и  элементы питания. В комплект входит небольшой
приемо­передающий блок, установленный отдельно. Связь между ИП и приемо­передающим блоком (аналог
Wi­Fi) осуществляется на частоте 2,4 ГГц.
Диапазон измерения преобразователей,  мм                              ±1,5,  ±2,0,  ±5,0

http://dopusk.net/?page_id=885 4/6
22.11.2015 Приборы для линейных измерений » 3.1 Индуктивные преобразователи
Предел допускаемой погрешности, мкм                                     0,4 + 0,6L (L в мм)
Повторяемость, мкм                                                                             0,1 – 0,2
Дискретность цифровой индикации, мкм                                               0,1
Расстояние между преобразователями и приемо­передающим блоком не более 20 м. Элементов питания
хватает только на один месяц, что, конечно, мало.
ИП без кабеля это очень удобно, особенно в контрольных приспособлениях, многомерных устройствах с
несколькими ИП и приборах активного контроля. Однако выпускаемый преобразователь получился , на наш
взгляд, не очень удачным. Увеличились его габаритные размеры и питающих баттареек хватает на небольшое
время (один месяц)  Э ти недостатки будут ограничивать его применение.
Универсальный ИП с USB интерфейсом (рис. 3.1.8).  Такой ИП  удобен для соединения в компьютерами
или микропроцессорными электронными блоками.
ИП имеет кабель, на котором установлена небольшая коробочка и USB разъем. В коробочке расположена
микропроцессорная схема, которая обеспечивает питание обмоток ИП переменным синосоидальным или
импульсным током,  усиливает выходной сигнал и преобразует его в протокол RS232. Таким образом, через
два контакта USB разъема подается питание на ИП, а через два других­ выходной сигнал в протоколе RS232.

Рис. 3.1.8  ИП с USB интерфейсом
Из специальных ИП следует отметить  модель   БВ­6067 и БВ­6240, применяемую только в приборах активного
контроля.
В преобразователях мод. БВ­6067 и БВ­6240 (рис. 3.1.9) применена дифференциальная система
чувствительных элементов, образованная двумя обмотками переменной индуктивности 4 и 5 и подвижным
якорем 6. В качестве упругих направляющих для осевого перемещения якоря служат дисковые пружины 2 и
3, снабженные концентрическими дуговыми прорезями. Измерительное усилие на контактном наконечнике 1
создается пружиной 9. Для якоря 6 и магнитопровода 7 и 8 используют мягкие ферриты с коэффициентом
магнитной проницаемости 1500—2000 гс/э. Измерительные обмотки образуют смежные плечи измерительного
моста переменного тока. При работе с аналоговыми блоками питание обмоток осуществляется
стабилизированным по амплитуде и частоте переменным напряжением 1,5 В, 10 кГц.
При симметричном расположении якоря 6 по отношению к элементам магнитопровода 7, 8 и обмоточным
секциям катушек геометрическая середина якоря совпадает с электромагнитной нейтралью. Устанавливается
балансное состояние системы, характеризуемое минимальным значением выходного сигнала
преобразователя, принимаемое за нуль.
Связанное с отклонением контролируемого размера смещение якоря от нейтрали перераспределяет активные
площади магнитной системы, что приводит к изменению величины магнитного сопротивления магнитной цепи
преобразователя, к увеличению индуктивности одной обмотки, уменьшению индуктивности другой и, как
следствие, к изменению их индуктивного сопротивления.

    Рис. 3.1.9  Индуктивный преобразователь БВ­6067 и БВ­6240
  Благодаря этому возникает дисбаланс моста, два плеча которою составляют обмотки преобразователя, и на
выходе появляется переменное напряжение, амплитуда которого пропорциональна отклонению
контролируемого размера, а фаза соответствует направлению смещения якоря. При переходе якоря через
нейтральное положение (ноль) фаза  выходного напряжения меняется на 180о.
Элементы конструкции преобразователя заключены в цилиндрический корпус с присоединительным
диаметром 16h7, внутренняя полость которого герметизирована уплотнениями из маслобензостойкой мягкой
резины. Благодаря этому преобразователь применяется для установки в негерметичную измерительную
оснастку и пригоден для эксплуатации в условиях повышенной влажности, непосредственно в рабочей зоне
металлорежущего станка.
Эксплуатационные и точностные параметры преобразователей сохраняются при их установке в любое
рабочее положение — вертикальное, горизонтальное или наклонное. Во избежание преждевременного
выхода преобразователя из строя контролируемый объект не рекомендуется вводить в непосредственное
соприкосновение с контактным наконечником 1. Перемещения должны передаваться через промежуточное

http://dopusk.net/?page_id=885 5/6
22.11.2015 Приборы для линейных измерений » 3.1 Индуктивные преобразователи
кинематическое звено измерительной оснастки, снабженное ограничителями хода. Степень защиты
преобразователя IP68.
 
1. Щепетов А.Г. Теория, расчет и проектирование измерительных устройств. Часть 2,  ФГУП
 «СТАНДАРТИНФОРМ»,  2008, 344 с.
2. Сорочкин Б.М. Автоматизация измерений и контроля размеров деталей, Л. Машиностроение, 1990, 365 с.,
3. Федотов А.В. Расчет и проектирование индуктивных измерительных устройств, М,
Машиностроение, 1979, 176 с.
4. Соболев М.П. и Этингоф М.И. Автоматический размерный контроль на металлорежущих станках,
Смоленск, «Ойкумена», 2005, 300 с.
5.  Федотов А.В.  Теория и расчет  индуктивных датчиков  перемещений для систем автоматического
контроля, Издательство ОмГТУ,  2011, 185 с.
 
 
 
 

© Михаил Этингоф, 2012 ­ 2015

http://dopusk.net/?page_id=885 6/6