Министерство образования и науки Российской Федерации

Федеральное государственное автономное образовательное учреждение

высшего профессионального образования «Уральский федеральный
университет имени первого Президента России Б.Н. Ельцина»
Физико-технологический институт
Кафедра «Физических методов и приборов контроля качества»

Отчет по лабораторной работе № 5

«Моделирование ионной имплантации»

Студенты Молина Б.Д.

Пашаева В.В
Группа Фт-300009
Преподаватель Бунтов Е.А.

Екатеринбург, 2023
Цель работы:
Ознакомление с возможностями программы SRIM и определения
соответствия экспериментальных данных теоретическим. Вторая часть
работы состоит в выборе энергии ионов, оптимальной для получения
распределения ионов в центре подложки. В третьей части необходимо
построить постоянный профиль распределения внедренной примеси по
глубине.
Практическая работа:
1) Смоделировать профиль с заданными параметрами:

Таблица 1
Допант Мишень Энергия иона, кВ
В Si 50

Рисунок 1 – Выходные параметры имплантации бора в кремний при 50кВ

2) Определили энергию, при которой распределение ионов будет в центре
мишени
Таблица 2
Ион Мишень Толщина Энергия
мишени ионов, кВ
B Si 300 400
500 600
700 800

Рисунок 2 – Распределение ионов с толщиной 500 при 600кВ

Рисунок 3 – Распределение ионов с толщиной 300 при 400кВ
 Рисунок 4 - Распределение ионов толщиной 700 при 800кВ

3) Создать постоянный профиль

При нажатии кнопки Change TRIM можно изменить параметры ионов
(количество, энергию, тип, угол наклона) и мишени (толщину, плотность и
т.д.) (см. таблицу ниже). После нажатия кнопки End Edit, программа
предложит начать заново имплантацию (No) или продолжить с начатым
профилем (Yes). Примерный вид профиля представлен на рисунке 6.
Таблица 4
Ион Мишень Толщина слоя
Te GaAs 1-700 keV
2-350 keV
 Рисунок 6 – Примерный вид профиля

Рисунок 7 - – Распределение ионов при разной энергии

4) Изучение функционала и возможных графиков в ПО SRIM

На графике показано окончательное распределение ионов и отдачи
в мишени. Этот график обновляется после каждого иона.

Рисунок 8 – Атомное распределение

На этом графике приведены потери энергии в целевых вакансиях.

Каждый элемент целевого атома показан отдельно. Количество вакансий
зависит от энергии смещения, присвоенной каждому атому-мишени.
 Рисунок 9 – Отдача энергии по отдельности

На этом графике и в файле представлены прямые потери энергии

ионом на различных атомах-мишенях. Эта потеря энергии плюс прямая
потеря энергии иона электронами мишени в сумме составляют потерю
энергии ионом в мишени.

Рисунок 10 –Потери энергии на поглощение атомов

Потери энергии фононам мишени состоят из прямого создания

фононов ионом и дополнительных потерь энергии атомами отдачи мишени
на фононы.
 Рисунок 11 – Потери энергии на фононах

Этот график и файл содержат энергию, переданную электронам-

мишеням. Данные, относящиеся к «Ионам», представляют собой прямую
передачу энергии от иона к электронам-мишеням. Данные, относящиеся к
«отдаче», представляют собой энергию, передаваемую от отталкивающихся
атомов мишени электронам мишени. Потери энергии фононам мишени
состоят из прямого создания фононов ионом и дополнительных потерь
энергии атомами отдачи мишени на фононы.
 Рисунок 12 – Потери энергии на ионизацию

Спроецированный БОКОВОЙ разворот основан на проекции на

плоскость — точно так же, как XY или XZ отображаются на экране. Диапазон
латеральных проекций определяется как среднее абсолютных значений
проекций латеральных смещений от оси X. Одно из применений этого
диапазона: если маска покрывает половину цели, поперечный диапазон —
это расстояние под маской, на котором концентрация падает до 25% (на
краю маски концентрация составляет 50% от равномерного значения).
Радиальный диапазон — это средний радиальный диапазон смещения от
оси X в предположении цилиндрической симметрии.

Рисунок 13 – Распределение ионов

Вывод:
В процессе выполнения данной лабораторной работы мы ознакомились с
программным обеспечением SRIM и его основными возможностями. Мы
провели моделирование профиля с заданными параметрами, исходя из
условий, определили энергию, при которой распределение ионов будет
сфокусировано в центре мишени. Результаты исследования приведены в
таблице 2. Кроме того, мы создали постоянный профиль, внося изменения в
некоторые характеристики, и изучили большую часть двухмерных графиков
на примере силиката натрия.