Слайд 1 – Титульный лист

Здравствуйте, меня зовут Роман Мамедов.

Тема моего выпускного исследования – ЭНЕРГОДИСПЕРСИОННЫЙ ЭЛЕКТРОННО-
ЗОНДОВЫЙ ЭЛЕМЕНТНЫЙ АНАЛИЗ МАТЕРИАЛОВ С НЕОДНОРОДНЫМ РАСПРЕДЕЛЕНИЕМ
ЭЛЕМЕНТОВ.
Слайд 2 – Энергодисперсионный электронно-зондовый анализ
Метод электронно-зондового энергодисперсионного анализа является достаточно
распространённым методом определения состава образцов.
К его преимуществам относятся:
 достаточно высокая чувствительность (способность к детектированию примесей
количеством порядка 0.05 – 0.1 массовых процента)
 относительно высокая точность метода (погрешности измерений для элементов с
концентрациями от 1 до 10 массовых % составляют около 10%, при чём с ростом концентрации
данная погрешность уменьшается)
 малое время, затрачиваемое на анализ
 простота подготовительных процедур (пробоподготовка, откачка вакуума и прочая)
Одним из недостатков является требование к однородности элементного состава исследуемого
образца. Примером подобных материалов являются широко используемые в электронике паяльные
сплавы. Часто для подобных материалов возникает необходимость контроля состава (радиозавод
обращался 3 раза). В связи с этим интерес представляет проверка применимости метода и возможность
корректировки его результатов при исследовании подобных материалов.
Слайд 3 – Цели и задачи
Целью исследования из всего вышесказанного стала выработка подхода для корректного
выполнения анализа элементного состава свинцово-оловянных припоев энергодисперсионным
электронно-зондовым методом
В ходе исследования были поставлены следующие задачи:
• знакомство с основными принципами работы сканирующего электронного микроскопа и
освоение интерфейса управления;
• проверка корректности элементного анализа образцов с негомогенным составом на примере
свинцово-оловянных сплавов;
• установление основных причин погрешностей при анализе неоднородных образцов;
• экспериментальная корректировка результатов элементного анализа свинцово-оловянных
припоев
Слайд 4 – Анализируемые образцы
В ходе исследования анализировались припои с различным содержанием элементов в составе.
Пробоподготовку с целью выравнивания поверхности делали двумя способами: лужением медной
пластины и расплющиванием между полированными поверхностями. Пример изображения одного и
того же образца, обработанного обоими методами, представлен на рисунке 1. В таблице 1 же
представлены все исследованные образцы.
(Образцы маркировались тремя, реже четырьмя, буквами: П – припой, О – олово, С –
свинец, К – кадмий; а также цифрой, которая обозначает массовую долю олова, и, при наличии,
цифрой, обозначающей массовую долю стоящего в названии последним элемента, как в ПОСК50-
18, где 18% - массовая доля кадмия в припое.)
Слайд 5 – Предварительный анализ по изображениям
После процедуры пробоподготовки при помощи растрового микроскопа были получены
изображения исследуемых образцов. Данные изображения подвергались качественному анализу при
помощи ПО ImageJ путем измерения площадей областей различных контрастов. В ряде случаев при
помощи данного анализа обнаруживались несоответствующие маркировкам образцы. Таким способом
из исследований были исключены припои ПОС90, представленный на рисунке 2, и ПОС10.
Слайд 6 – Получение энергодисперсионных спектров
После анализа по изображениям для прошедших первый этап отбора образцов набирались
энергодисперсионные спектры, которые затем подвергались процедуре количественного
энергодисперсионного анализа силами программного обеспечения микроскопа EDAX Genesis.
Результаты данного анализа для одного образца вне зависимости от способа пробоподготовки
совпадали в пределах точности метода.
(анализировались L линии свинца и олова, так как для M линий теоретический аппарат
расчёта разработан хуже)
Слайд 7– Исключенные образцы
Стоит отметить, что 3 образца были исключены из исследования в процессе
энергодисперсионного анализа. Данные образцы представлены на рисунке 4. К ним рекомендуется
относится с осторожностью.
Слайд 8 – Результаты количественного анализа
Результаты анализа для каждого допущенного образца представлены в таблице 2. В итоге к
исследованию были допущены 12 образцов. Для них наблюдалась тенденция к некоторому занижению
тяжелого элемента и завышению легкого.
Слайд 9 – Объяснение эффекта завышения массовой доли олова (Метод трех поправок)
Для обоснования неверности расчётов массовых долей элементов в исследуемых образцах
необходимо рассмотреть теоретическую составляющую метода.
Расчёт массовых долей элементов проводился по методу трех поправок. Формула один
показывает, что весовая доля элемента в материале в первом приближении пропорциональна
отношению интенсивностей излучения от элемента в исследуемом образце и эталоне.
Второе приближение данного метода учитывает влияние на определение весовой доли
матричных эффектов посредством ввода коэффициента ZAF, состоящего из трёх поправок.
Слайд 10 – Объяснение эффекта завышения массовой доли олова (Интенсивность генерации)
На рисунке 5 представлен процесс детектирования характеристического излучения.
Интенсивность характеристического излучения рассчитывается программным обеспечением
микроскопа по формуле три. Множитель φ (h) принято называть плотностью генерации
характеристического излучения, экспоненциальный множитель же отвечает за поглощение
характеристического излучения по закону Бугера-Ламберта-Бера или же за поправку A. (Закон Бугера-
Ламберта-Бера)

Слайд 11 – Объяснение эффекта завышения массовой доли олова (Функция плотности генерации)
Функция плотности генерации, представленная на рисунке шесть, рассчитывается по методу
Монте-Карло в симуляторе CASINO при использовании представленных на слайде физических
моделей. Именно она в формуле три представляет собой множитель φ (h).
(φ (h) – количество фотонов, сгенерированных одним электроном в слое единичной
толщины на определенной глубине.)

Слайд 12 – Объяснение эффекта завышения массовой доли олова (Коэффициенты поглощения)

В таблице три представлены данные по массовым коэффициентам поглощения. Данные
коэффициенты используются в экспоненциальном множителе формулы 3 при расчёте интенсивности
характеристического рентгеновского излучения.
Для данных коэффициентов заметна следующая закономерность: рост доли свинца в образцах
влияет на поглощение характеристических фотонов L-линий олова и свинца, вследствие чего растут
массовые коэффициенты поглощения данных линий в исследуемом материале.
(Данный факт является следствием того, что свинец является активным поглотителем.)
(K – первая внутренняя оболочка, самая близкая к ядру, включает в себя 1 s подоболочку;
L – вторая внутренняя оболочка, включает 2s и 2p подоболочки)
Слайд 13 – Объяснение эффекта завышения массовой доли олова. (Интенсивности)
Все предыдущие теоретические выкладки являются подводкой к моделированию интенсивностей
характеристического рентгеновского излучения L-линий олова в образцах, представленному на
рисунке 7.
По данному рисунку можно заметить, что интенсивность зарегистрированного
характеристического излучения олова в образцах уменьшается с ростом количества в этих образцах
свинца. Причинами уменьшения интенсивностей служат факторы генерации характеристического
излучения олова и поглощения.
В результате действия фактора генерации (за который в методе трех поправок отвечает
поправка Z) с ростом в образцах количества свинца увеличивается поглощаемое исследуемым
материалом количество электронов зонда, что в свою очередь уменьшает количество сгенерированного
элементами образца характеристического рентгеновского излучения.
В результате действия фактора поглощения (за который в методе трех поправок отвечает
поправка А) с ростом в образцах количества свинца уменьшается количество вылетающих из образца
характеристических фотонов олова.
При этом программное обеспечение EDAX Genesis в процессе анализа определяет коэффициенты
поглощения анализируемого образца, считая этот образец гомогенным, что по факту не так. Получив
неверный коэффициент поглощения, программа анализирует полученную в результате анализа
интенсивность характеристической линии олова. Вследствие того, что полученный коэффициент
поглощения олова завышен, программа считает, что получить рассчитанную интенсивность возможно
лишь при большем, чем есть на самом деле количестве олова в образце. Таким образом программа
завышает массовую долю олова в образцах.
Слайд 14 – Корректировка результатов
Исходя из всего вышесказанного, было принято решение о корректировке получаемых
программным обеспечением значений массовых долей элементов. Для этого был построен график,
изображенный на рисунке 8.
По оси абсцисс откладывались массовые доли свинца в припоях, указанные на маркировках, по
оси ординат, полученные при помощи энергодисперсионного анализа. Красными линиями отмечались
границы допуска в содержании элементов в припоях по ГОСТ 21930-76.
Полученные ранее данные о количестве свинца в образцах аппроксимировались, что позволило
определить разницу в реальном составе образцов от рассчитанного ПО. Данная разница составила 4.5
массовых %. (+ 4.5 % для свинца, - 4.5 % для олова)
Слайд 15 – Заключение
Итак, подведем итоги:
 Количественный энергодисперсионный элементный анализ образцов с неоднородным
распределением элементов, проведенный программным обеспечением микроскопа EDAX Genesis,
является некорректным.
 Неточности расчета состава образцов объясняются факторами поглощения и генерации
характеристических фотонов.
 Экспериментально установлена поправка к результатам количественного элементного
анализа свинцово-оловянных припоев.
Вопросы:
1) Маркировка припоев
(Образцы маркировались тремя, реже четырьмя, буквами: П – припой, О – олово, С – свинец, К –
кадмий; а также цифрой, которая обозначает массовую долю олова, и, при наличии, цифрой,
обозначающей массовую долю стоящего в названии последним элемента, как в ПОСК50-18, где 18%
- массовая доля кадмия в припое.)
2) Почему анализировались L линии свинца и олова?
(анализ проводился по L линиям свинца и олова, так как для M линий теоретический аппарат расчёта
разработан хуже)
3) Не думаею, что такой вопрос появится. Почему не исполльзовали поправку F?
(Поправка F в нашем случае не является влияющей на итоговые вычисления, так как анализируемые
характеристические линии сильно отличаются по энергиям.)
4) Закон Бугера-Ламберта-Бера
Данный закон характеризует ослабление излучения, в нашем случае характеристического
рентгеновского, при распространении данного излучения в поглощающей среде. Представлен в
формуле расчета интенсивности характеристического излучения в виде экспоненциального
множителя.
5) Почему в экспоненциальном множителе есть синус?

6) Физический смыслφ (h)

(φ (h) – количество фотонов, сгенерированных одним электроном в слое единичной толщины на

определенной глубине.)
7) Оболочки в атоме?
(K – первая внутренняя оболочка, самая близкая к ядру, включает в себя 1s подоболочку;
L – вторая внутренняя оболочка, включает 2s и 2p подоболочки. Подоболочки зависят от
орбитального квантового числа l (от 0 до n-1), которое для s подоболочки равно 0, оболочки зависят
от главного квантового числа n (от 1 до бесконечности), которое для L оболочки равно 2. n также
задает количество подоболочек в оболочке. Магнитное квантовое число m (от –l до l через 0) задает
число орбиталей в подоболочке. Спиновое квантовое число s (-1/2 и +1/2 постоянных дирака для
электронов, для фермионов других может быть другим, для бозонов, н-р фотонов, целое) задает
количество электронов, способных находится на одной орбитали)
8) Доп. вопросы на слайдах