Открыть Электронные книги
Категории
Открыть Аудиокниги
Категории
Открыть Журналы
Категории
Открыть Документы
Категории
В.А.Галочкин
Введение
в нанотехнологии и наноэлектронику
Конспект лекций
для студентов телекоммуникационных специальностей
Самара
2013
УДК 621.38
Галочкин В.А. Введение в нанотехнологии и наноэлектронику.
Конспект лекций. - Самара: ГОБУВПО ПГУТИ, 2013г - 367 с
3
3.12. Опасности, которыми не следует
пренебрегать ............................................................................. 88
3.13. Нано на стыке наук.......................................................... 91
3.14. Наноиндустрия в России и за рубежом ......................... 96
Выводы по теме ......................................................................... 99
Контрольные вопросы по теме...............................................110
Тема 2:законы квантового мира .....................................103
Лекция 4 ..............................................................................103
4.1. Как возникла квантовая физика ..................................... 103
4.2. Основные понятия и законы квантовой
механики.................................................................................. 110
4.3. Структура атома .............................................................. 111
4.4. Постулаты Бора и квантование орбит ........................... 113
4.5. Принципы работы лазера ................................................ 118
Лекция 5 ..............................................................................124
5.1. Свойства лазерного излучения ....................................... 124
5.2. Корпускулярно-волновой дуализм
нанообъектов........................................................................... 125
5.3. Квантовые пределы точности измерений...................... 129
5.4. Волновая функция и вероятностный характер
поведения квантовых объектов..............................................133
5.5. Уравнение Шредингера и
периодическая система элементов Менделеева .................. 137
Лекция 6........................................................................................145
6.1. Квантовые размерные эффекты .................................... 145
6.2. Почему нельзя смешивать законы классическои
и квантовой физики.................................................................147
6.3. Эффекты квантовой физики, обеспечивающие
реализацию эталонов основных единиц измерения
физических величин системы СИ ......................................... 150
6.4. Квантовые точки, проволоки и плоскости .................... 151
6.5. Квантовая механика и компьютер ................................. 154
6.6. Сверхпроводимость и сверхтекучесть........................... 156
6.7. Квантовая телепортация ................................................. 159
6.8. Вероятностная интерпретация квантовых
явлений .................................................................................... 161
Выводы по теме ....................................................................... 161
4
Контрольные вопросы по теме....................................165
Тема 3: наноматериалы.................................................167
Лекция 7 ................................................................167
7.1. Химическая связь .................................................. 167
7.2. Ионная связь .......................................................... 168
7.3. Ковалентная связь ................................................. 172
7.4. Металлическая связь ............................................. 174
7.5. Ван-дер-ваальсовы силы ....................................... 176
7.6. Водородная связь ................................................... 177
7.7. Что такое нанохимия? ........................................... 178
7.8. Объекты нанохимии. Классификации
наночастиц .................................................................... 182
7.9. Частицы из атомов инертных газов ..................... 184
7.10. Частицы металлов................................................ 185
7.11. Фуллерены............................................................ 186
7.12. Нанотрубки .......................................................... 186
Лекция 8 ................................................................191
8.1. Ионные кластеры ................................................... 191
8.2. Фрактальные кластеры.......................................... 191
8.3. Молекулярные кластеры ....................................... 192
8.4. Способы получения наночастиц .......................... 193
8.5. Получение углеродных наночастиц -
фуллеренов и нанотрубок ............................................ 197
8.5.1. Электродуговое распыление графита ............... 198
8.5. 2. Лазерное испарение графита ............................ 199
8.5.3. Метод химического осаждения из пара............ 200
8.6. Примеры уникальных свойств некоторых
наночастиц .................................................................... 203
8.6.1. Серебро ................................................................ 203
8.6.2. Оксид цинка ........................................................ 207
8.6.3. Серпентин............................................................ 207
Лекция 9 .................................................................210
9.1. Диоксид кремния ................................................... 210
9.2. "Умные" материалы ............................................. 211
9.3. Алмазоид - наноматериал будущего.................... 224
5
9.3.1. Перспективы применения алмазоида .......................... 226
9.3.2. Получение наноалмазов ................................................ 228
Выводы по теме ....................................................................... 230
Контрольные вопросы по теме ............................................... 231
Тема 4: инструменты нанотехнологии..................................233
Лекция 10 ..............................................................................233
10.1. Оптический микроскоп ................................................. 234
10.2. Разрешающая способность
микроскопов ............................................................................ 237
10.3. Электронный микроскоп............................................... 238
10.4. Сканирующая зондовая микроскопия ......................... 243
10.5. Типы кантилеверов ........................................................ 244
10.6. Сканирующий оптический микроскоп
ближнего поля......................................................................... 245
10.7. Наноиндентор ............................................................... 247
10.8. Сканирующие зондовые лаборатории ......................... 249
10.9. Нановесы ........................................................................ 251
10.10. Спектроскопия ............................................................. 253
Лекция 11 .......................................................................... 256
11.1. Моделирование наноструктур ...................................... 256
11.1. 1. Визуализационное моделирование ........................... 257
11.1.2. Вычислительное моделирование ............................... 258
11.1.3. Инженерное моделирование....................................... 261
11.2. Механические наноманипуляторы .............................. 263
11.2.1. Сканирующий зондовый микроскоп* ....................... 263
11.3. Оптические манипуляторы ........................................... 269
11.3.1. Оптический пинцет* ................................................... 270
11.3.2. Исключения из правил ................................................ 276
Выводыпо теме ........................................................................ 279
Контрольные вопросы по теме ............................................... 280
Тема 5: наноэлектроника и микроэлектро-
механические системы..............................................................282
Лекция 12 ..............................................................................282
12.1. Появление и развитие полупроводниковой
электроники..............................................................................282
12.2. Диод ................................................................................ 290
12.3. Транзистор ..................................................................... 291
12.4. Интегральная микросхема ............................................ 295
6
12.5. Проводящие полимеры ................................................. 295
12.6. Появление и развитие MЕMS и NEMS-
технологии................................................................................300
12.7. Сенсоры .......................................................................... 310
Лекция 13......................................................................................315
13.1. Проекты наномоторов ................................................... 315
13.1.1. Вращательный наноактюатор на основе ....... 315
АТФазы.................................................................................... 315
13.1.2. Электростатические наноактюаторы ............. 316
13.1.3. Наноактюатор на основе молекулы ДНК ....... 316
13.1.4. Проект диэлектрофорезного наномотора ....... 317
13.1.5. Наномотор на эффекте поверхностного
натяжения ................................................................................. 318
13.1.6. Наномотор на основе нанотрубок и
золотых электродов ................................................................. 319
13.1.7. Ротор на основе нанотрубки ............................ 320
13.1.8. Туннельный электростатический
наномотор Дрекслера .............................................................. 321
Выводы по теме ....................................................................... 322
Контрольные вопросы............................................................ 325
Тема* 6: основы одноэлектроники.
Наносхемотехника .................................................................327
Лекция 14 ..............................................................................327
14.2. Приборные структуры одноэлектроники .................... 334
14.2.1. Классификационный анализ ............................. 334
14.2.2. Одноэлектронные транзисторные
структуры ................................................................................. 334
Лекция 15 ...............................................................................339
15.1 .Одноэлектронные транзисторы на основе
гетероструктур ......................................................................... 339
15.2. Одноэлектронные металлические
структуры ................................................................................. 340
15.3. Молекулярный одноэлектронный
транзистор ............................................................................... 343
15.4. Устройства на одноэлектронных
транзисторах ........................................................................... 346
15.4.1.Аналоговыеустройства ...................................... 346
7
15.4.2. Цифровые устройства ...................................... 347
Лекция 16 ...............................................................................356
16.1.Одноэлектронный механический
транзистор................................................................................ 356
16.2. Заключение.................................................................... 358
Выводы по теме ....................................................................... 359
Контрольные вопросы по теме ................................................ 361
Литература....................................................................................363
8
Глоссарий
Лекция 1
1.1. Предисловие
Вы не знаете, что такое нанотехнологии? На что похож фул-
лерен и чем уникальна нанотрубка? Никогда не слышали про
Космический лифт, который НАСА планирует построить к 2018
году? А про японские автомобили на экологически чистых топ-
ливных ячейках? Не знаете из чего можно сделать наноробота и
как работают самоочищающиеся покрытия? Так вот знайте, что
в США и Японии об этом уже знает каждая домохозяйка...
Нанотехнологии - это "самые высокие" технологии, на разви-
тие которых ведущие экономические державы тратят сегодня
миллиарды долларов. По прогнозам ученых нанотехнологии в
XXI веке произведут такую же революцию в манипулировании
материей, какую в ХХ произвели компьютеры в манипулирова-
нии информацией", а их развитие изменит жизнь человечества
больше, чем освоение письменности, паровой машины или элек-
тричества.
Нанотехнология - высокотехнологичная отрасль, направ-
ленная на изучение и работу с атомами и молекулами. Разра-
ботки в этой области ведут к революционным успехам в меди-
цине, электронике, машиностроении и создании искусственного
интеллекта. Если 10 лет назад единицы людей представляли се-
бе, что такое нанотехнологии, то, через5 лет, по оценкам экспер-
тов, вся промышленность будет развиваться, используя техноло-
гии работы с атомами и молекулами. С помощью нанотехноло-
_______________________________________________
Тексты по темам 1- 5 взяты из /20/
1.4.1. Нанотехнология
В начале главы мы уже упоминали о том, что приставка
нано (от греч. "nannos" — "карлик") означает одну миллиардную
(10-9) долю какой-либо единицы (в нашем случае - метра). Ато-
мы и мельчайшие молекулы имеют размер порядка 1 нанометра.
Современные микросхемы с размерами компонентов в одну де-
сятую толщины тончайшего волоса могут считаться маленькими
в стандартах тесальщиков кремня, но каждый транзистор все
еще содержит триллионы атомов, и микрочипы все еще видимы
невооружённым глазом.
Технологии, которые можно проследить от ручной обра-
ботки камня до кремниевых чипов, оперируют сырьем, пред-
ставляющим собой большие совокупности атомов и молекул.
Этот стиль можно назвать балк-технологией (англ. "bulk" —
"груда", "кипа").
3
. Подробнее о принципах работы различных микроскопов рассказывается
в главе "Инструменты нанотехнологий"
В.А.Галочкин Введение в нанотехнологии 39
и наноэлектронику
2..2. Туннельный эффект и сканирующий
туннельный микроскоп (СТМ)
Туннельный эффект является принципиально квантовомехани-
ческим эффектом, не имеющим аналога в классической физике,
и потому представляет огромный интерес для исследователей.
Он основан на корпускулярно-волновом дуализме — двой-
ственной природе элементарных частиц. С точки зрения класси-
ческой механики очевидно, что никакое материальное тело,
имеющее энергию E, не может преодолеть потенциальный барь-
ер высотой V0 , если V0 > E.
Однако если в качестве материального тела рассмотреть элек-
трон, то оказывается, что даже если высота потенциального ба-
рьера выше, чем собственная энергия электрона, то он с опреде-
ленной вероятностью может оказаться с другой стороны барье-
ра, лишь незначительно изменив свою энергию, как если бы в
"заборе" оказалась некая "дырка" или туннель 4. Это необъясни-
мое, на первый взгляд, туннелирование является следствием то-
го, что электрону присущи как корпускулярные, так и волновые
свойства. Будь электрон классической частицей, обладающей
энергией E, он, встретив на своем пути преграду, требующую
для преодоления большей энергии, должен был бы отразиться от
этой преграды. Однако, будучи одновременно и волной, он про-
ходит сквозь эту преграду, подобно тому, как рентгеновские
волны свободно проходят сквозь материальные объекты. Таким
образом, над поверхностью любого проводника или полупро-
водника всегда наблюдается некоторое количество свободных
электронов, "вышедших" за его пределы не в результате термо-
электронной эмиссии, а благодаря туннельному эффекту. Если
взять два проводящих вещества, расположить их на расстоянии
4
. Причины столь "парадоксального" поведения подробно анализиру-
ются в главе "Законы квантового мира".
пьезосканерXYZ
а) б)
Рис.16. Геккон
3.2. Медицина
Медицина изменится неузнаваемо. Во-первых, наночасти-
цы могут использоваться в медицине для точной доставки ле-
карств и управления скоростью химических реакций. Нанокап-
сулы с метками-идентификаторами смогут доставлять лекарства
непосредственно к указанным клеткам и микроорганизмам, смо-
гут контролировать и отображать состояние пациента, следить
за обменом веществ и многое другое. Это позволит эффективнее
бороться с онкологическими, вирусными и генетическими забо-
леваниями.
Представьте себе, что вы подхватили грипп (при этом вы даже
еще не знаете, что его подхватили). Тут же среагирует система
искусственно усиленного иммунитета - десятки тысяч наноро-
ботов начнут распознавать (в соответствии со своей внутренней
базой данных) вирус гриппа и за считанные минуты ни одного
вируса у Вас в крови не будет! Или у вас начался ранний атеро-
склероз - искусственные клетки начинают чистить меха-
ническим и химическими путями Ваши сосуды .
Во-вторых, возможно создание нанороботов-врачей, спо-
собных "жить" внутри человеческого организма, устраняя все
возникающие повреждения или предотвращая их возникнове-
ние. Последовательно проверяя и, если надо, "исправляя" моле-
кулы, клетку за клеткой, орган за органом, наномашины вернут
здоровье любому больному, а затем просто не допустят никаких
заболеваний и патологий, в том числе генетических. Теоретичес-
ки это позволит человеку жить сотни, а может быть, тысячи лет.
3.3. Материаловедение
Качество многих привычных материалов может быть по-
вышено за счет использования наночастиц и атомарной обработ-
ки. Нанотехнологии позволят создавать более легкие, тонкие и
прочные композитные (смешанные, сложносоставные) мате-
риалы. Появятся так называемые "умные" материалы, способ-
ные изменять свою структуру в зависимости от окружающей
среды. Также появятся материалы сверхпрочные, сверхлегкие и
негорючие (на основе алмазоида), которые могут использовать-
ся в аэрокосмической и автомобильной промышленности.
Современная наука знает примеры того, как совмещение
вполне заурядных материалов позволяет создавать объекты,
свойства которых не только не присущи используемым компо-
нентам, но и в принципе не могут быть найдены в природе и,
как может показаться на первый взгляд, запрещены законами
физики. «Это чудо!» — скажет первоклассник. «Нет, это мета-
материалы!» — возразит современный ученый. И оба будут по-
своему правы, потому что с точки зрения классической науки
мета- материалы способны творить самые настоящие чудеса.
Впрочем, сам процесс создания метаматериала тоже подобен
волшебству, так как компоненты метаматериала недостаточно
просго смешать, как это делали сказочные волшебники — их
необходимо правильно структурировать. Метаматериалы — это
композитные материалы свойства которых обусловлены не
столько индивидуальными физическими свойствами их компо-
нентов, сколько микроструктурой. Термин «метаматериалы
особенно часто применяют поотношению к тем композитам, ко-
3.10. Политика
Нанотехнологии имеют большое военное будущее. На во-
енные наноисследования в одном только 2003 году США пот-
ратили $201 млн. В военной сфере также активны Великобри-
тания и Швеция. Как предполагается, в 2008 году будут предс-
тавлены первые боевые наномеханизмы. Военные исследования
в мире ведутся в шести основных сферах: технологии создания и
противодействия "невидимости", энергетические ресурсы, само-
восстанавливающиеся системы (например, позволяющие авто-
матически чинитьповрежденную поверхность танка или самоле-
та), связь, а также устройства обнаружения химических и биоло-
гических загрязнений.
3.11. Экология
Нанотехнологии способны также стабилизировать эколо-
гическую обстановку. Новые виды промышленности не будут
производить отходов, отравляющих планету, а нанороботы смо-
гут уничтожить последствия старых загрязнений — нанотехника
восстановит озоновый слой, очистит от загрязнений почву, реки,
атмосферу, океаны, демонтирует заводы, плотины, рудники, за-
печатает радиоактивные отходы в вечные самовосстанавливаю-
щиеся контейнеры. Более того, эксперименты с образцами почв,
пораженных радиационно и химически (в том числе и черно-
быльских), показали возможность восстановления их с помо-
щью нанопрепаратов на основе бактериородопсина до есте-
ственного состояния микрофлоры и плодоносности за несколько
месяцев!
Следы промышленной деятельности почти исчезнут с лица
Земли, сократятся сельскохозяйственные угодья, большую часть
планеты покроют сады и естественные экосистемы...
С помощью механоэлектрических нанопреобразователей
можно будет преобразовывать любые виды энергии с большим
КПД и создавать эффективные устройства для получения элект-
роэнергии из солнечного излучения с КПД около 90%. Утилиза-
ция отходов и глобальный контроль за энергосистемами позво-
лит существенно увеличить сырьевые запасы человечества.