Оптико-электронные

приборы и системы

«Обзор позиционно-чувствительных
фотодетекторов»
студент Иванов И.Ф,
гр. A1914
Введение 1

Многоэлементные
• ПЗС (Приборы с зарядовой связью)
• КМОП-матрицы
Обнаружение и
регистрация
падающего
Одноэлементные на прибор
• Позиционно-чувствительные оптического
излучения
детекторы
(англ. “position-sensitive detectors”)
Назначение PSD-приемников 2

Высокоточное и быстрое измерение

пространственного положения и
интенсивности излучения, падающего на
поверхность прибора в одной или двух
плоскостях.
Не предназначены для получения
изображений, как CCD- и CMOS-матрицы
Применение PSD-приемников 3

Широкий спектр применений, в том числе:

для триангуляции при геолокации,
при измерении смещений, вибраций
в датчиках вибраций при
строительстве мостов и
железнодорожных путей
измерение положения кантеливеров
атомно-силовых микроскопов
фотоэлектрические преобра-
зователи линейных перемещений
считыватели штрих-кодов
Используемые материалы
Si (кремний) – хорошо
развитая технология, низкие
издержки, возможность
встроить электронные
устройства обработки и
преобразования сигнала
прямо на плату
• плох для ИК-спектра
4
Al (алюминий) – часто
применяется для контактов
Материалы 3-й группы (p-), 5-й
(n-) , etc.– в качестве примесей
(обычно не раскрываются
производителями)
Линейчатые (одномерные) PSD 5

Основаны на измерении
результирующего
напряжения, зависящего от
расстояния от точки
падения света до контактов.
«продольный 1-2 – аноды
фотогальванический эффект 3 – общий катод Эквивалентная схема:
(lateral photoeffect)» P – источник тока
Rsh – шунтирующее D – диод
(Уолмарк, Луковский) сопротивление Cj – емкость p-n-перехода
Rp – сопротивление, по
которому определяется
положение засветки
Линейчатые (одномерные) PSD 6

 
– выходные контакты
– токи на выходе
– сумм. фототок

 При отсчете от центра PSD:

 При отсчете от края PSD:
    ;;

Находится
Находится ,, однозначно
однозначно задающая
задающая
центр
центр пучка
пучка света
света
Двумерные PSD 7

Эквивалентная схема:
1-4 – аноды
P – источник тока
5 – общий катод
D – диод
Cj – емкость p-n-перехода
Двумерные PSD 8

;  
;
Сегментные PSD 9

• дискретный сигнал
• матрица 2+ ФЧ-элементов
Основные параметры и характеристики 10

•  диапазон спектральной чувствительности

• пиковая чувствительность
• ошибка определения положения

• время отклика
• диапазон размеров от
Спасибо за внимание!