Типо диплом PDF

Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет
«ЛЭТИ» им. В.И.Ульянова (Ленина)

(СПбГЭТУ «ЛЭТИ»)
Направление 12.04.01 - Приборостроение

Профиль Лазерные измерительные технологии
Факультет ФИБС
Кафедра ЛИНС
К защите допустить
Зав. кафедрой Филатов Ю.В.
ВЫПУСКНАЯ КВАЛИФИКАЦИОННАЯ РАБОТА

МАГИСТРА
Тема: ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ПАРАМЕТРОВ БИМОРФНОГО
ЗЕРКАЛА НА ТОЧНОСТЬ ЗАПИСИ ГОЛОГРАФИЧЕСКОГО
ЭЛЕМЕНТА ДАТЧИКА ВОЛНОВОГО ФРОНТА
Студент Жамалатдинов Д.
подпись
Руководитель к.т.н., доцент Горелая А.В.

(Уч. степень, уч. звание)
подпись
Консультанты доцент Трусов А.О.

подпись
Санкт-Петербург
2019
ЗАДАНИЕ
НА ВЫПУСКНУЮ КВАЛИФИКАЦИОННУЮ РАБОТУ
Утверждаю
Зав. кафедрой ЛИНС
Филатов Ю.В.
« » 2019 г.
Студент Жамалатдинов Д. Группа 3585

Тема работы: Исследование влияния параметров биморфного зеркала на
точность записи голографического элемента датчика волнового фронта
Место выполнения ВКР: СПбГЭТУ «ЛЭТИ»
Исходные данные (технические требования): исследовать точность

воспроизведения задаваемых аббераций волновых фронтов в составе схемы-
прототипе голографического датчика волнового фронта.
Содержание ВКР: обзор литературы по тематикам управления и измерения

форм волнового фронта и датчикам волнового фронта; описание элементной
базы и программного обеспечения эксперимента; результаты моделирования
заданных волновых фронтов и расчет погрешностей полиномов.
Перечень отчетных материалов: пояснительная записка, иллюстративный
материал, результаты проведения эксперимента.
Дополнительные разделы: безопасность жизнедеятельности
Дата выдачи задания Дата представления ВКР к защите
«2» марта 2019 г. «4» июня 2019 г.
подпись

(Уч. степень, уч. звание) подпись
Консультант доцент Трусов А.О.

подпись
2
КАЛЕНДАРНЫЙ ПЛАН ВЫПОЛНЕНИЯ
ВЫПУСКНОЙ КВАЛИФИКАЦИОННОЙ РАБОТЫ
Утверждаю
Зав. кафедрой ЛИНС
Филатов Ю.В.
« » 2019 г.
Студент Жамалатдинов Д.З. Группа 3585

Тема работы: Исследование влияния параметров биморфного зеркала на
точность записи голографического элемента датчика волнового фронта
№ Срок вы-
Наименование работ
п/п полнения
2.03 –
1 Обзор литературы по теме работы
15.03
Проведение экспериментов по моделированию заданных 18.03 –
2
волновых фронтов 15.04
Работа с данными по экспериментам, расчет абсолютной
и относительной погрешностей результатов измерений 16.04 –
3 22.04
полиномов Цернике
23.04 –
4 Оформление пояснительной записки
15.05
23.04 –
5 Оформление иллюстративного материала
15.05
подпись

(Уч. степень, уч. звание) подпись
Консультант доцент Трусов А.О.

подпись
3
РЕФЕРАТ
Пояснительная записка на 67 стр., 4 ч., 24 рис., 20 таб., 21 ист.

КЛЮЧЕВЫЕ СЛОВА: АБЕРРАЦИИ, ГОЛОГРАММА,
ГОЛОГРАФИЧЕСКИЙ ДАТЧИК, ВОЛНОВОЙ ФРОНТ, ПОЛИНОМЫ
ЦЕРНИКЕ, ДАТЧИК ШАКА-ГАРТМАНА, БИМОРФНОЕ ЗЕРКАЛО,
МЕМБРАННОЕ ЗЕРКАЛО, ГОЛОГРАФИЧЕСКИЙ ОПТИЧЕСКИЙ
ЭЛЕМЕНТ, АДАПТИВНАЯ ОПТИКА
Тема данной выпускной квалификационной работы: «Исследование

влияния параметров биморфного зеркала на точность записи
голографического элемента датчика волнового фронта».
Работа велась с целью исследования влияния параметров зеркала в

составе установки-прототипе голографического датчика волнового фронта на
точность записи необходимых аббераций, а также исследования достижимых
пределов зеркала в составе установки. Данные полученные в эксперименте
необходимы для разрешения большого спектра задач, в числе задач генерация
масок для голографического датчика волнового фронта.
В результате работы был собран и протестирован прототип

голографического датчика волнового фронта, с использованием биморфного
зеркала; собрана схема для формирования волновых фронтов, с
использованием мембранного зеркала.
Собранный прототип будет использован в схеме для записи ГОЭ для

голографического датчика волнового фронта. Помимо этого схема может
использоваться как в оптике для тестирования голографических датчиков вол-
нового фронта, так и для коррекции аберраций при передаче сигнала на рас-
стояния, так и в офтальмологии для диагностики аберраций глаза.
4
ANNOTATION
Theme of my graduate work: «Research on the effect of the parameters of a

bimorph mirror on the accuracy of recording a holographic element of a wavefront
sensor».
Work was done on creating a prototype wavefront sensor using a bimorph
mirror. The article deals with issues related to wavefront sensors, as well as flexible
mirrors, which, in turn, is necessary for solving a wide range of tasks, including the
creation of masks for a holographic wavefront sensor.
As a result of the work, a prototype of a holographic wave-front sensor was
assembled and tested using a bimorph mirror; a scheme was assembled to study the
parameters of the membrane mirror.
The membrane mirror used in the assembled circuit will be used in the GOE
recording circuit for a holographic wavefront sensor. In addition, the prototype of a
holographic wavefront sensor can be used both in optics for testing other sensors,
and for correcting aberrations when transmitting signals over distances, as well as in
ophthalmology for diagnosing eye aberrations.
5
СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ ................................................................................................................ 8
1 ТЕОРЕТИЧЕСКИЕ СВЕДЕНИЯ О ДАТЧИКАХ ВОЛНОВОГО ФРОНТА 9
1.1 Зональные датчики Шака-Гартмана.................................................................. 9
1.2 Голографические модальные датчики волнового фронта ............................ 11
2 УСТАНОВКА ДЛЯ ЗАПИСИ ГОЛОГРАФИЧЕСКОЙ МАСКИ ................ 16
2.1 Описание установки.......................................................................................... 16
2.2 Запись и химическая обработка голограмм ................................................... 18
2.3 Измерение интенсивностей сигналов с голограмм ....................................... 22
2.4 Проверка пригодности оптических элементов для дальнейшей записи
голографического мультиплекса ........................................................................... 27
3 ИССЛЕДОВАНИЕ МЕМБРАННОГО ЗЕРКАЛА OKODM37 ........................ 32
3.1 Описание используемого оборудования......................................................... 32
3.2 Описание схемы для оценки пригодности мембранного зеркала ................ 37
3.3 Результаты эксперимента ................................................................................. 38
3.4 Выводы ............................................................................................................... 54
4 ОБЕСПЕЧЕНИЕ БЕЗОПАСНОСТИ ПРОЦЕССА ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ
ИССЛЕДОВАНИЙ .................................................................................................. 56
4.1 Оценка существующих (потенциальных) опасностей для нормального и
аварийного режимов работы оборудования ......................................................... 56
4.2 Технические решения, минимизирующие риск проявления опасностей ... 61
4.3 Организационные мероприятия, направленные на предотвращение
опасных ситуаций.................................................................................................... 62
ЗАКЛЮЧЕНИЕ ....................................................................................................... 64
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ ............................................. 65
6
ОПРЕДЕЛЕНИЯ, ОБОЗНАЧЕНИЯ И СОКРАЩЕНИЯ
В настоящей пояснительной записке применяют следующие термины с

соответствующими определениями:
ВФ – волновой фронт
ДВФ – Датчик волнового фронта
ГОЭ – голографический оптический элемент
ГДВФ – голографический датчик волнового фронта
ПЗС – прибор с зарядовой связью
КМОП – комплементарная структура металл-оксид-проводник
ФП – фотопластинка
ФД - фотодиод
АО – адаптивная оптика
АОС – адаптивная оптическая система
7
ВВЕДЕНИЕ
Адаптивные оптические системы работая в режиме реального времени

корректируют искажаемый атмосферой волновой фронт. Адаптивная система
повышает эффективность линий связи на открытых атмосферных трассах,
астрономических, офтальмологических, военных и др. систем.
Ключевой элемент таких систем – датчик волнового фронта. Долгое

время наилучшим решением являлся датчик Шака-Гартмана, однако требуемые
вычислительные мощности не позволяют использовать его в задачах, в которых
необходимо измерение волнового фронта в режиме реального времени.
Помимо этого, большие искажения волнового фронта и сильные наклоны
падающей волны приводят к ошибкам в измерениях ввиду высокой
чувствительности. Наиболее перспективным вариантом является
голографический датчик волнового фронта, который позволяет измерять
десятки мод и не требователен к вычислительным мощностям.
Основной и неотъемлемой частью голографического датчика является

ГОЭ, который в большинстве случаев представляет из себя матрицу
голографических элементов, записанных на фотопластинке. При попадании
излучения с определенной абберацией голографический элемент
восстанавливает сходящийся объектный пучок. Каждая голографический
элемент есть не что иное как две наложенные голограммы полиномов Цернике.
Установка, которой посвящена данная выпускная работа, в дальнейшем

будет использоваться в схеме записи голограмм, для генерации масок для
голографического датчика волнового фронта.
8
1 ТЕОРЕТИЧЕСКИЕ СВЕДЕНИЯ О ДАТЧИКАХ ВОЛНОВОГО
ФРОНТА
1.1 Зональные датчики Шака-Гартмана
Наибольшее распространение среди существующих ДВФ получили

датчики Шака-Гартмана. Эти датчики компактны, не требовательны к
параметрам измеряемого пучка, таким как ширина спектрального диапазона и
когерентность. Также они довольно компактны. Датчики Шака-Гартмана
применяются в подавляющем большинстве задач, связанных с измерением
или заданием оптических аббераций. Датчики нашли широкое применение в
таких областях как офтальмология, астрономия, оптометрия и т.д.
Первоначальная конструкция датчика, сконструированного Гартманом,
имела непрозрачный экран с отверстиями. Свет, падающий на экран, дробился
на составляющие и падал на фотопластинку, находящуюся за экраном.
Направления распространения пучков определялось локальными наклонами в
каждой точке или, точнее, формой волнового фронта. Дифракционное
рассеяние на краях отверстий вносило паразитную засветку и датчик был не
удобен в использовании. Позднее датчик модифицировал Роландо Шак:
заменил экран с отверстиями на массив микролинз.
Датчик Шака-Гартмана измеряет форму волнового фронта пучка света,
исходящего из оптической системы. В идеальных условиях волновой фронт,
исходящий из оптической схемы, должен иметь плоский волновой фронт (в
подавляющем большинстве задач), но в действительности волновой фронт,
как правило, имеет неправильно изогнутые формы.
9
Датчик Шака-Гартмана имеет довольно простое строение. Основные
компоненты датчика: массив микролинз, для фокусировки излучения на
матрице; фотоприемник (матрица) для записи полученных изображений,
образованных линзами. На рисунке 1 представлена принципиальная схема
датчика Шака-Гартмана
Рисунок 1 – Схема ДВФ Шака-Гартмана
(1 – входящий волновой фронт, 2 – массив микролинз, 3 – фотодетектор

(матрица), 4 – гартманограмма)
Принцип работы ДВФ Шака-Гартмана состоит в том, что излучение

проходит через линзовый растр (матрицу микролинз) и падает на
фотоприемник. Линзовый растр состоит из идентичных линз, называемых
субапертурой. Они разбивают падающий фронт на малые потоки и
фокусируют их на приемнике, обычно ПЗС-матрице. Когда волновой фронт
плоский, то каждый линза из массива фокусирует свет в центре. Если ж
падающая волна имеет какие-либо искажения, то точки смещаются (рис.1).
Полученные изображения фокальных пятен называются гартманограммой.
При анализе расположения каждого отдельного пятна можно
полностью охарактеризовать форму волнового фронта падающего
излучения.
В дальнейшем, опираясь на информацию о волновом фронте, можно
восстановить плоскую форму волнового фронта при помощи гибкого зеркала.
10
Но у данного вида датчиков существует недостаток. Чтобы
обрабатывать данные ему требуются хорошие вычислительные мощности. В
случаях, когда необходимо получать информацию об изменяющемся
волновой фронте в режиме реального времени следует использовать другие
датчики т.к. датчики Шака-Гартмана имеют значительную временную
задержку, необходимую для обработки данных.
1.2 Голографические модальные датчики волнового фронта
В задачах, требующих быстрого получения информации о волновом

фронте, датчики Шака-Гартмана не могут быть применены т.к. время,
требующееся для математических расчетов, неприемлемо большое.
Для определения аббераций с высоким временым расширением
подходят голографические датчики волнового фронта. Наиболее подходящим
вариантом является разложение светового пучка при помощи
голографической пластинки с записанными на ней полиномами Цернике. Если
осветить записанный полином, то пучок света начнет фокусироваться в ряд
точек, положения которых соответствуют дифракционным порядкам.
Расстояния между порядками пропорциональны силе абберации для
полинома.
Следовательно, разместив ряд фотоприемников в определенные
положения, можно получать информацию о волновом фронте зная какие
фотоприемники сработали в определенный момент времени. Нет
необходимости в сложной математической обработке - необходимо только
декодировать комбинацию ответов с ряда фотоприемников [1].
11
Рисунок 2 – Восстановление
(входной луч с абберацией волнового фронта Zi и амплитудой Ai
восстановит два луча, которые попадут в точки A и B на приемнике)
На рисунке 2 представлен простой случай – обнаружение амплитуды

одного полинома Цернике. Для создания устройства, способного обнаружить
много полиномов, необходима мультиплексированная голограмма. Для
каждого полинома необходима новая пара голограмм с максимумом и
минимумом.
В случае с мультиплексированной голограммой, при появлении каждой
новой абберации в исследуемом пучке, будут восстанавливаться все новые
пучки света на оси между максимумом и минимумом для данного вида
абберации (рисунок 3) [2].
Рисунок 3 – Входной волновой фронт реконструирует несколько пар

сфокусированных лучей
12
Эффективность использования голографических модальных датчиков
волнового фронта кажется очевидной, что и было представлено в ряде
экспериментов [3-7].
В этих же экспериментах были обнаружены проблемы данного метода
измерения. При необходимости одновременного измерения большого
количества полиномов Цернике возникают технические сложности при
выделении отдельных каналов под каждый полином. На рисунке 4 показан
процесс восстановления восьми голограмм для измерения значений четырех
полиномов Цернике. В высокоточных задачах измерение пары десятков
полиномов вряд ли технически возможно.
Рисунок 4 – Восстановление нескольких полиномов Цернике
Существует и еще одна более важная проблема, вносящая ограничения.

Из теории известно, что наложенные голограммы не коим образом не влияют
друг на друга, но в экспериментах, при достижении 4-6 дуплексов появляется
значительных кросс-модуляционный шум. И шум этот нарастает с
увеличением количества наложенных голограмм.
Существует решение вышеуказанных проблем, которое было
продемонстрировано Джеффом Андерсеном из США [8]. Подобное решение
является симбиозом классического метода, воплощенного в датчиках Шака-
13
Гартмана, и модального метода голографического датчика волнового фронта.
Суть этого решения заключается в том, что пучок исследуемого сигнала
разбивается на субапертуры, как в классических датчиках Шака-Гартмана, а
затем в каждой из этих субапертур производится модальное измерение какого-
то определенного полинома Цернике. ГОЭ представляет из себя одну
подложку поделенную на квадратные сектора. В каждом таком секторе
записаны только две наложенные голограммы. Записываются голограммы
плоской волной (без аббераций волнового фронта) и волнами,
соответствующими максимальному и минимальному фазовому набегу для
выбранного полинома. Сигнал считывается фотодиодной матрицей. В таком
исполнении устройство способно с высоким быстродействием отслеживать не
только первые пару десятков интересующих полиномов, но и гораздо большее
их количество. Данное решение представлено на рисунке 5.
Рисунок 5 – Адаптивная система без использования вычислений
(СК – светоделительный куб, ДЗ – деформируемое зеркало)
Для данной системы необходимо правильно согласовать размеры зон

зеркала и мозаичных элементов голограммы.
Используемые в таких схемах сегментированные (с независимым
управлением в разных «зонах») гибкие зеркала значительно дороже гибких
14
зеркал с «модальным управлением». Поэтому решение задачи с
использованием гибкого зеркала со сплошным покрытием, а именно, создание
голографического модального датчика волнового фронта с приемлемым
уровнем кросс-модуляционных шумов и продуманной архитектурой является
актуальной в настоящее время задачей [9].
Перспективным подходом является использование так называемой
фурье-голографии (голографии сфокусированного пучка). Ключевая
особенность фурье-голограмм заключается в следующем. Пусть голограмма
записана сфокусированным излучением, и один из пучков, луч А, несущий
некоторую информацию о фазе, рассеивается перед записью некоторой
поверхностью рассеяния с определенными параметрами (глубина и
поперечный размер шероховатости), а второй пучок Б не имеет диффузной
составляющей. Это может быть, например, плоская волна,
распространяющаяся в каком-то определенном направлении. Затем давайте
восстановим записанную голограмму А’ с тем же фазовым распределением,
рассеянным на той же поверхности. В этом случае дифракция пучка А’ на
голограмме восстановит пучок Б с некоторым диффузным шумом (гало). Этот
шум можно удалить пространственной фильтрацией или просто пренебречь.
Вышеописанный метод является наиболее подходящим для построения
прототипа голографического датчика волнового фронта [10-11].
15
2 УСТАНОВКА ДЛЯ ЗАПИСИ ГОЛОГРАФИЧЕСКОЙ МАСКИ
2.1 Описание установки
Принципиальная схема установки представлена на рисунке 6. В

представленной схеме излучение идет от гелий-неонового лазера 1, после чего
на коллиматоре луч расширяется до необходимой апертуры (коллиматором
служит объектив 2, зеркала 3,4), после чего падает на светоделитель 6, где луч
делится на опорную (зеленую) и предметные плоские (фиолетовая и синяя)
волны. Зеркало 5 необходимо, чтобы сделать схему компактной.
Волна с плоским волновым фронтом, после светоделительного зеркала
6, падает на гибкое зеркало 7, которое меняет форму, по закону,
описывающему один из полиномов Цернике. Волна, волновой фронт которой
соответствует фазовому распределению одного из полиномов Цернике,
попадает на светоделительное зеркало 8, половина излучения поступает через
зеркало 21 на датчик Шака-Гартмана 22 для осуществления контроля формы
волнового фронта, а вторая часть излучения проходит через зеркало 9 на
диафрагму 10, где мы настраиваем апертуру d = 10мм, до входной апертуры
диффузора 11, (d= 10-15 мм.), который установлен в передней фокальной
плоскости фотообъектива 12, в результате чего в задней фокальной плоскости
объектива возникает Фурье-образ. В задней фокальной плоскости объектива
установлена диафрагма 13.
Также, излучение после светоделителя 6 падает на другой светоделитель
16, где излучение делится на два боковых пучка (синий и фиолетовый на
схеме), с плоским волновым фронтом. Зеркала 17,18,19,20 служат для
настройки разности хода между опорным и боковыми лучами.
Диафрагма 13 находится в передней фокальной плоскости
фотообъектива 14, который производит второе Фурье преобразование и
излучение падает на камеру 15, при помощи которой мы можем наглядно
видеть интерференционную картинку излучения. Используемые нами
16
объективы 12 и 14 имеют фокусные расстояния 120 мм и 58 мм
соответственно, следовательно, изображение уменьшается больше чем в 2
раза. Можно записывать голограммы на площади 20-22 мм.
Рисунок 6 – Принципиальная схема установки для записи голограмм
(1 – гелий-неоновый лазер, 6,16 – светоделители, 7 – гибкое зеркало, 8 –

светоделительное зеркало, 10,13 – диафрагмы, 11 – диффузор, 12 –
фотообъектив, 3,4,5,6,9,12,17,18,19,20,21 – зеркала, 15 – камера, 22 – датчик
волнового фронта Шака-Гартмана)
На рисунке 7 представлена фотография установки.
17
Рисунок 7 – Лабораторная установка
2.2 Запись и химическая обработка голограмм
Запись голограммы проводилась в темноте с использованием

фотоаппарата «Зенит» в качестве устройства для выставления выдержки и
затвора, после чего закрепили диафрагму. Запись проводилась с определенной
выдержкой. Каждый раз после освещения голограммы при определенной
выдержке кассета с фотопластинкой смещалась, то есть каждая запись
проводилась с новой экспозицией.
Непосредственно перед записью голограмм были внесены следующие
изменения в конструкцию оптической установки:
18
1) добавлен поляризатор, т.к. диффузор добавляет горизонтальную
составляющую, которая является бесполезной, кроме того, дополнительная
горизонтальная составляющая увеличивает засветку, а боковые пучки
являются вертикально поляризованными;
2) к основному фильтру 1HC-8 (пропускание 0.25) добавлен
дополнительный фильтр HC-1 (пропускание 0.63), для увеличения времени
выдержки при записи голограмм, т.к. время выдержки менее 1 секунды
является неосуществимым в условиях используемой оптической установки.
Качества пуска после применения фильтра сохраняется.
Перед записью голограмм были измерены интенсивности пучков 𝐼1
(опорный), 𝐼2 (опорный), 𝐼3 (диффузный).
Результаты представлены в таблице номер 1 ниже.
Таблица 1 – Интенсивности опорных и диффузного пучков

Пучок Интенсивность без Интенсивность с
фильтров фильтрами HC-
1(0.63), 1HC-8 (0.25)
𝐼1 37 мА 0.22 мкА
𝐼2 44 мА 0.26 мкА
𝐼3 0.5 мкА 0.06 мкА
Благодаря применению фильтров оптимальное время выдержки для

записи голограмм существенно увеличивается с десятых долей секунды до
целых секунд, что делает возможным произвести запись вручную, используя
секундомер.
Далее была произведена запись девяти голограмм в условиях,
описанных выше (за лазером установлены светофильтры с пропусканием 0.25
и 0.63).
Позиции каждой из голограмм и их выдержки представлены в таблице 2
ниже.
19
Таблица 2 – Позиции каждой из голограмм и их выдержки
Позиции по горизонтали
3.0 мм 7.5 мм 12.0 мм

Вертикаль
3.0 мм 12 с 12 с 2+2 с
7.5 мм 3+3 с 4+4 с 5+5 с
12.0 мм 6+6 с 8+8 с 8+8 с
Первая голограмма – одиночная, напряжения на гибком зеркале нет.

Вторая голограмма – одиночная, напряжение на зеркале подано,
аберрация не задана.
Голограммы №3-9 – наложенные голограммы, пучок
𝐼1 с абберацией А+, пучок 𝐼2 с абберацией А- (отличаются только временем
выдержки). Голограммы №8 и №9 одинаковые, т.к. возможно при записи
голограммы №8 произошла ошибка.
Проявление голограмм на фотопластинках ПФГ-03М производится в
проявителе ГП-3, хотя неплохих результатов можно добиться и с проявителем
ГП-2. Подготовка подготовка раствора по рецепту, прописанному
производителем фотопроявителя ГП-2. Рецепт проявителя ГП-2:
1) метилфенидон 0.2 г;
2) гидрохинон 5 г;
3) сульфит натрия, б/в (Na2SO3) 100 г;
4) едкий натр (NaOH) 5 г;
5) тиоцианат аммония (NH4CNS) 5 г;
6) вода до 1 л.
Желательно выдержать рабочий раствор 10-15 минут перед
проявлением, тщательно размешав его палочкой из инертного к раствору
материала.
Полученные голограммы представлены на рисунке 8.
20
Рисунок 8 – Проявленные голограммы
Из-за ошибки при выставлении диафрагмы при записи произошло

смещение вертикали на 0.5 мм. На качество голограмм это никак не повлияло.
При освещении голограмм №3-№9 диффузным пучком без напряжения
на биморфном зеркале восстанавливается сигнал 𝐼2 . Сигнал 𝐼1 не
восстанавливается. Отсюда можно сделать вывод, что биморфное зеркало без
поданного напряжения близко к состоянию A-.
При освещении голограмм №1-№2 (одиночные голограммы)
диффузным пучком сигнал 𝐼1 восстанавливается.
Стоит отметить, что схема очень чувствительна к помехам, то есть при
легком прикосновении к подвижкам четкость сигнала резко меняется.
В результате измерений было выявлено что сигналы с малым временем
экспозицией практически не восстанавливаются и имеют малую
дифракционную эффективность. Вновь производилась запись голограмм 9
голограмм. Голограммы с первой по четвертую с полиномом Цернике равным
0 (без аберраций), голограммы с пятой по девятую с полиномом равным
0.4 мкм . Голограммы записывались с использованием фильтров 1HC-1
(пропускание 0.63) и 2HC-8 (пропускание 0.25). Значения интенсивностей
пучков перед записью составили: 𝐼1 = 210 нА и 𝐼3 = 210 нА. Все голограммы
одиночные с участием пучка 𝐼1 . Время записи голограмм и их позиции
приведены в таблице 3.
21
Таблица 3 – Время записи повторно записанных голограмм
Позиции по горизонтали
3.0 мм 7.5 мм 12.0 мм
Вертикаль
3.0 мм 6с 10 с 15 с
7.5 мм 20 с 4с 6с
12.0 мм 10 с 15 с 20 с
При измерении было обнаружено что голограммы с маленькой

экспозицией восстанавливают очень слабый сигнал и нет смысла в измерении
этих сигналов.
2.3 Измерение интенсивностей сигналов с голограмм
Для проверки стабильности зеркала на нем было задано значение 0.3

мкм для третьего полинома Цернике и в течении трех минут регистрировались
реальные значение полинома. За время наблюдения изменения
действительного значения полинома Цернике было в диапазоне 0.303-0.309
мкм, что является очень хорошим показателем и говорит о стабильности
зеркала. Действительные значения полиномов считывались датчиком Шака-
Гартмана.
Измерения сигналов, восстановленных с голограммы №4 приведены в
таблице 4. После первых измерений произвелась более качественная
устировка установки, после чего замеры были повторены. Показания
повторных измерений приводятся в скобочках.
22
Таблица 4 – Значения сигналов, восстановленных с голограммы №4
Интенсивность I1, нА Z3заданное, мкм Z3действительное, мкм
2.8 (4.6) -0.7 -0.59 (-0.6)
5.1 (6.75) -0.6 -0.52 (-0.525)
4.1 (7.3) -0.5 -0.465 (-0.461)
5.5 (10.3) -0.4 -0.39 (-0.4)
12.6 (10) -0.3 -0.315 (-0.327)
24 (24) -0.2 -0.202 (-0.217)
24.2 (28) -0.1 -0.11 (-0.127)
24.9 (35.5) 0 -0.012 (-0.023)
16.5 (24.5) 0.1 0.09 (0.08)
5.6 (7.8) 0.2 0.185 (0.187)
2.1 (2.57) 0.3 0.268 (0.275)
2.05 (2.76) 0.4 0.373 (0.39)
1.74 (2.1) 0.5 0.48 (0.486)
0.95 (1.37) 0.6 0.58 (0.59)
0.65 (1.1) 0.7 0.67 (0.682)
Фон при измерениях составил 0.04 (0,06) нА. График зависимости

интенсивности при заданных значениях полинома Цернике голограммы №4
представлен на рисунке 9.
23
Первое измерение Второе измерение
40
35,44
35
30
27,94
Интенсивность, нА
23,96 24,86 24,44

24,16
25
23,94
20
16,46
15 12,56
10,24 9,94 7,74
10
6,69 7,24
5,46
4,54 4,06
5 2,51 2,7 2,04
2,76 5,06 5,56 1,31 1,04 0,82
0,91 0,65 0,54
2,06 2,01
0 1,7
-0,7 -0,6 -0,5 -0,4 -0,3 -0,2 -0,1 0 0,1 0,2 0,3 0,4 0,5 0,6 0,7 0,8
Z3, мкм
Рисунок 9 – Зависимость интенсивности при заданных значениях полинома Цернике
24
Также произвелись измерения для определения соотношения
сигнал/шум. Для этого было проведено три измерения: чистый сигнал (за
диафрагмой); сигнал плюс шум (перед диафрагмой); первичный
восстановленный сигнал (сразу после фотопластинки – перед объективом).
Чистый сигнал был равен 19 нА, сигнал плюс шум 38 нА, а сигнал перед
объективом 51 нА. Довольно большая часть интенсивности «съедается»
объективом.
Далее проводились измерения изменения сигнала при перемещении
фотодиода по горизонтали. Зависимости измерений от положений фотодиода
приведены в таблице 5.
Таблица 5 – Зависимость интенсивности от положений фотодиода

Позиция фотоприемника, мм Показания, нА
77 0.02
78 0.03
79 0.03
80 (центральное положение) 26
81 22.2
82 0.03
83 0.02
Фон при измерениях составил 0.01 нА.

Проведена проверка, как наклон зеркала влияет на исчезновение
сигнала. В теории при изменении угла падения, вся картина спектров должна
смещаться и сигнал превратится в кляксу а затем полностью пропадет. Но
также есть и второй фактор. В результате смещения пучка света с места записи
голограммы интенсивность восстановленного сигнала резко падает.
Было выявлено, что в случае испытуемой оптической установки более
важным фактором является падение интенсивности сигнала. При настройке
микроскопа на сигнал было отчетливо видно, что при наклонах зеркала сигнал
не успевает исказиться – его интенсивность падает и он меркнет.
25
Голограммы №1 и №7 обладают очень маленькой дифракционной
эффективностью и поэтому исследовать их бессмысленно.
Измерения сигналов, восстановленных с голограммы №9 приведены в
таблице 6. Показания повторных измерений приводятся в скобочках.
Таблица 6 – Измерение сигналов, восстановленных с голограммы №9

Интенсивность I1, нА Z3заданное, мкм Z3действительное, мкм
0.38 (0.37) -0.8 -0.718 (-0.719)
0.38 (0.37) -0.7 -0.672 (-0.672)
0.42 (0.42) -0.6 -0.601 (-0.602)
0.58 (0.54) -0.5 -0.504 (-0.505)
0.7 (0.7) -0.4 -0.412 (-0.412)
0.9 (0.83) -0.3 -0.297 (-0.295)
1.0 (0.93) -0.2 -0.206 (-0.207)
1.2 (1.17) -0.1 -0.115 (-0.116)
1.7 (1.52) 0 -0.017 (-0.015)
2.2 (2.0) 0.1 0.085 (0.085)
3.1 (2.85) 0.2 0.199 (0.199)
5.2 (4.84) 0.3 0.285 (0.283)
9.3 (8.55) 0.4 0.375 (0.372)
11.8 (12.2) 0.5 0.488 (0.485)
6.2 (7.4) 0.6 0.589 (0.587)
0.9 (1.8) 0.7 0.688 (0.688)
1.9 (2.0) 0.8 0.767 (0.749)
Фон при измерениях составил 0.04 нА. График зависимости

интенсивности при заданных значениях полинома Цернике для голограммы
№9 представлен на рисунке 10.
26
Рисунок 10 – Зависимость интенсивности
Голограмма №9 была записана при значении полинома 0.4 мкм. Из-за

неточного воспроизведения полиномов зеркало значение могло немножко
отличаться. Судя по максимальному сигналу в области 0.5 мкм, значение было
смещено в сторону 0.5.
2.4 Проверка пригодности оптических элементов для дальнейшей

записи голографического мультиплекса
Объектом исследования являлся диапазон волновых фронтов,

формируемых системой. Программное обеспечение «CLoop» позволяет
формировать фиксированный диапазон аберраций, которые задаются
коэффициентом при соответствующих полиномах. Интервал возможных
значений составляет от минус 2.5 до плюс 2.5. Первые практические
результаты формирования ВФ в предельном диапазоне отображены в таблице
7.
Для наглядного отображения на рисунке 11 представлены некоторые
полученные значения коэффициентов полиномов. Заданные аберрации
отличаются от практических значений коэффициентов, происходит снижение
27
предельных значений более чем в 2 раза. Отличие возникает по причине
гистерезиса зеркала, неточности работы системы, достижения предела
управляющими напряжениями, возможностями изгиба поверхности зеркала,
определяемой конфигурацией электродов зеркала и т.д.
Таблица 7 – Значения полиномов низших порядков

Задаваемые Значения полиномов низших порядков
значения Z3 Z4 Z5 Z6 Z7 Z8
- 2.5 -2.06 -1.5 -1.5 -2.33 -2.21 -1.56
-2 -1.85 -1.2 -1.19 -1.94 -1.82 -1.43
-1.5 -1.43 -0.89 -0.88 -1.49 -1.44 -1.16
-1 -0.98 -0.59 -0.57 -0.99 -0.96 -0.84
-0.5 -0.49 -0.28 -0.28 -0.49 -0.47 -0.44
0 0 0 0 0 0 0
0.5 0.48 0.33 0.32 0.48 0.51 0.46
1 0.97 0.64 0.63 0.97 0.99 0.96
1.5 1.49 0.83 0.91 1.37 1.49 1.34
2 1.99 1.11 1.21 1.78 1.98 1.46
28
Рисунок 11 – Воспроизводимость полиномов Цернике
Основным ограничением диапазона значений полученных

коэффициентов является предел напряжений биморфного зеркала. В
положительную сторону максимальное значение определяется напряжением,
вырабатываемым блоком управления. В отрицательную сторону значения
ограничиваются типом зеркала (в нашем случае –300 В). Ограничение в
отрицательную сторону связано с эффектом деполяризации керамики, в
результате которой электроды перестают работать. Деполяризация наступает
при подаче больших отрицательных напряжений.
Основная причина ограничения диапазона значений – физические
характеристики биморфного зеркала: предел напряжений, который
определяется характеристиками самого зеркала и характеристиками
электронного блока управления. В нашем случае блок питания может
выдавать максимальное значение 300 В, а само зеркало может
деформироваться в пределах напряжений 0-300 В. Поэтому, если для
формирования полинома необходимы напряжения свыше тех, что могут
выдавать зеркало и блок питания, то система не может этого обеспечить и
возникает расхождение в заданных и сформированных полиномах.
29
Для биморфного зеркала КВФ-50-32 был подобран практически
диапазон значений, в котором полученные значения коэффициентов носят
характер близкий к линейному – от -0.8 до 0.8. Внутри этого диапазона
заданные и сформированные зеркалом аберрации имеют сравнительно
небольшую погрешность. Была проведена серия экспериментов в различные
дни и при схожих условиях, использовались коэффициенты Цернике,
измеренные с шагом 0.1. Информация о среднеквадратическом значении
полученных коэффициентов представлена в таблице 8.
Таблица 8 – Среднеквадратичные значения полиномов низших порядков

Задаваемые Значения полиномов низших порядков
значения Z3 Z4 Z5 Z6 Z7 Z8
-0.8 -0.82 -0.82 -0.8 -0.74 -0.74 -0.71
-0.7 -0.72 -0.71 -0.69 -0.65 -0.65 -0.61
-0.6 -0.61 -0.61 -0.6 -0.56 -0.55 -0.51
-0.5 -0.51 -0.51 -0.5 -0.47 -0.46 -0.42
-0.4 -0.41 -0.42 -0.41 -0.37 -0.36 -0.32
-0.3 -0.3 -0.32 -0.3 -0.27 -0.26 -0.22
-0.2 -0.2 -0.22 -0.2 -0.17 -0.17 -0.13
-0.1 -0.1 -0.12 -0.11 -0.08 -0.08 -0.05
0 0 0.01 0 0.02 0.02 0.01
0.1 0.1 0.08 0.09 0.1 0.08 0.06
0.2 0.19 0.18 0.18 0.2 0.18 0.14
0.3 0.29 0.28 0.29 0.3 0.28 0.23
0.4 0.39 0.37 0.38 0.39 0.37 0.33
0.5 0.48 0.47 0.48 0.49 0.47 0.43
0.6 0.58 0.57 0.58 0.58 0.57 0.52
0.7 0.68 0.66 0.67 0.68 0.66 0.61
0.8 0.77 0.76 0.76 0.77 0.76 0.71
30
Оценка погрешности формирования различных типов аберраций
показала, что в интервале от -0.8 до 0.8 мкм величина относительной
погрешности находится на уровне – 2% [12].
31
3 ИССЛЕДОВАНИЕ МЕМБРАННОГО ЗЕРКАЛА OKODM37
3.1 Описание используемого оборудования
Гелий-неоновый лазер ГН-15-1
Лазер, использованный в ходе исследования - лазер, изготовленный

компанией «Плазма», серии ГН-15-1 (рисунок 12), обладающий большой
мощностью излучения.
Рисунок 12 – Гелий-неоновый лазер ГН-15-1
Технические характеристики лазера:
 рабочая длина волны: 630 нм;

 мощность излучения, не менее: 15 мВт;
 спектральный состав: TEM00;
 поляризация, не менее: 100:1;
 диаметр пучка, не более: 1.5 мм;
 расходимость излучения: не более: 1.2 мрад;
 потребляемая мощность, не более: 65 Вт;
 габариты излучателя, не более: Ø56x685;
 габариты источника питания, не более: 100х65х330 мм;
 масса, не более (излучатель/источник питания): 1.5/2.5 кг.
32
Мембранное зеркало OKODM37
Мембранное зеркало, показанное на рисунке 13, состоит из кремниевой
микросхемы, установленной на держателе печатной платы. Чип содержит
нитридную (композитную) мембрану из кремния, которая покрывается и
образует зеркало.
Форма отражающей мембраны контролируется напряжениями,
приложенными к управляющим электродам с заземленной мембраной.
Устройство может быть использовано для быстрой динамической
коррекции оптических аберраций низкого порядка, таких как расфокусировка,
астигматизм, кома и т. д.
Рисунок 13 – Внешний вид 37 канального микромашинного деформируемого

зеркала в корпусе и без
33
Рисунок 14 – Блок-схема микромашинного адаптивного зеркала
В таблице 9 представлены технические характеристики мембранного

зеркала.
Таблица 9 – Технические характеристики мембранного зеркала

Параметр Значение
Форма апертуры Приблизительно круглая
Зеркальное покрытие Al
Размер апертуры Ø15 мм
Количество электродов 37
Управляющее напряжение 0…330 В
Исходное СКО от плоскости <12 мкм
Максимальное отклонение центра зеркала 9.4 мкм
34
Управляющий и усилительный блоки DAC-40-USB
Блок управления «DAC-40-USB» может одновременно производить
управление над 40 каналами.
Рисунок 15 – Передняя и задняя панели 40-канального высоковольтного

усилителя
Датчик Шака-Гартмана
Датчик волнового фронта ДВФ-70-530 основан на КМОП видео камере
basler a601f.
Данная камера имеет следующие основные характеристики: размер
кристалла 1/2 дюйма, разрешение 656 х 491 пикселей, размер пикселя 9.9 мкм,
область длин волн 400-1000 нм.
Схема датчика ДВФ-70-530 в двух проекциях представлена на рисунках
16 и 17 (вид сбоку и вид спереди).
Рисунок 16 – Схема ДВФ-70-350
35
Рисунок 17 – Крышка, вид спереди
(1 – основание прибора, 2 – корпус, 3 – горизонтальный котировочный винт
4 – вертикальный котировочный винт, 5 – выдвижная котировочная труба,
6 – фиксирующий винт, 7 – крышка, 8 – видеокамера, 9 – Центральное
котировочное отверстие, 10 – юстировочные кольца)
Обработка результатов измерений осуществлялась на ПК с

использованием программного комплекса для автоматической коррекции
волнового фронта светового излучения «CLoop», свидетельство о
государственной регистрации программы для ЭВМ No2010615191 от 12
августа 2010 в Федеральной службе по интеллектуальной собственности,
патентам и товарным знакам.
Помимо коррекции волнового фронта программа позволяет:
1) рассчитывать амплитуду аберраций (P-V);
2) рассчитывать среднеквадратичную ошибку (RMS);

3) выводить на экран текущее состояние волнового фронта в
коэффициентах Цернике и в виде интерферограммы, смоделированной
по результатам измерений фазы;
4) создавать заданную форму волнового фронта, посредством полиномов
Цернике;
36
5) выводить на экран текущие значения напряжений на электродах
корректора; Управлять вручную напряжениями на электродах
корректора.
Внешний вид датчика Шака-Гартмана представлен на рисунке 18.
Рисунок 18 – Внешний вид датчика волнового фронта Шака-Гартмана
Необходимо отметить, что опорный волновой фронт и функции отклика

зеркала должны быть измерены заранее. Как правило, опорный волновой
фронт, к которому стремиться приблизить текущий волновой фронт
адаптивная система в процессе коррекции, является плоским.
3.2 Описание схемы для оценки пригодности мембранного зеркала
Принципиальная схема, собранная для проверки работоспособности

мембранного зеркала, представлена на рисунке 19.
37
Рисунок 19 – Принципиальная схема установки для проверки мембранного
зеркала
В представленной схеме излучение идет от гелий-неонового лазера,

после чего на коллиматоре луч расширяется до необходимой апертуры. Волна
с плоским волновым фронтом падает на мембранное зеркало, которое меняет
форму, по закону, описывающему один из полиномов Цернике. Волна,
волновой фронт которой соответствует фазовому распределению одного из
полиномов Цернике, попадает на датчик Шака-Гартмана для осуществления
контроля формы волнового фронта.
На данном этапе эксперимента необходимо правильно съюстировать
оптические оси светового пучка с осью коллиматора и обеспечить четкое
попадание пучка света на всю апертуру мембранного зеркала [13].
3.3 Результаты эксперимента
Ключевым объектом исследования является диапазон полиномов,

которые способно воспроизвести мембранное зеркало. Для задания волновых
фронтов использовалось специальное программное обеспечение «MiZer», в
котором можно управлять зеркалом в двух режимах. В первом режиме есть
возможность подачи управляющих напряжений на любые из 37 электродов.
Структура управляющих приводов зеркала изображена на рисунке 20.
38
Рисунок 20 – Структура управляющих приводов (слева) и разъемы для
подключения управляющих кабелей (справа)
Действительные значения, воспроизводимые мембранным зеркалом, и

принимаемые датчиком волнового фронта отличаются от управляющих
сигналов, поданных в программе. Это обусловлено тем, что для любого
гибкого зеркала существуют свои пределы воспроизводимых значений. Для
мембранного зеркала ОКОDM37 производитель указывает, что
воспроизводимых диапазон от 0 до 1-2 мкм, в зависимости от полиномов. Для
полиномов Цернике высших порядков диапазон в пределах до 1 микрометра.
Для такого полинома как дефокус диапазон воспроизводимых значений почти
достигает отметки 2 микрометра. При достижении предела в программе
появляется предупреждение «mirror out of range», однако на практике было
замечено что зеркало способно при данном предупреждении отрабатывать
еще некоторое увеличение задаваемого полинома.
Для исследования был выбран диапазон от -1.5 до 1.5 с шагом 0.1 мкм
т.к. значение 1.5 является средним числом от диапазона, заявленного
производителем.
В настоящем эксперименте проводились исследования трех полиномов
низших порядков: дефокус, астигматизм 0 и астигматизм 45.
39
Значения экспериментальных значений полиномов Цернике приведены
в таблицах 10-12. Измерения проводились в разные дни и разное время при
прочих схожих условиях.
40
Таблица 10 – Экспериментальные значения полинома Цернике
Значение Полином Цернике[2.0] (дефокус)
(мкм)/№ 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15
измерения
-1.5 -0.549 -0.525 -0.549 -0.539 -0.581 -1.141 -1.195 -1.166 -1.206 -1.109 -1.195 -1.128 -1.202 -1.208 -1.159
-1.4 -0.513 -0.521 -0.505 -0.515 -0.539 -1.083 -1.103 -1.086 -1.12 -1.037 -1.112 -1.057 -1.09 -1.123 -1.063
-1.3 -0.469 -0.495 -0.49 -0.492 -0.49 -0.962 -0.967 -1.006 -0.103 -0.942 -1.01 -0.973 -0.981 -1.028 -0.958
-1.2 -0.428 -0.448 -0.461 -0.481 -0.471 -0.868 -0.892 -0.893 -0.916 -0.847 -0.888 -0.849 -0.896 -0.909 -0.874
-1.1 -0.397 -0.445 -0.465 -0.459 -0.463 -0.757 -0.81 -0.817 -0.838 -0.775 -0.788 -0.778 -0.801 -0.794 -0.789
-1.0 -0.396 -0.424 -0.449 -0.453 -0.459 -0.673 -0.734 -0.753 -0.752 -0.701 -0.741 -0.705 -0.745 -0.732 -0.728
-0.9 -0.341 -0.41 -0.429 -0.402 -0.419 -0.575 -0.629 -0.658 -0.658 -0.611 -0.642 -0.599 -0.64 -0.606 -0.609
-0.8 -0.288 -0.305 -0.378 -0.353 -0.37 -0.397 -0.527 -0.55 -0.555 -0.53 -0.542 -0.511 -0.538 -0.51 -0.498
-0.7 -0.241 -0.283 -0.347 -0.334 -0.345 -0.396 -0.451 -0.475 -0.45 -0.46 -0.469 -0.427 -0.472 -0.452 -0.431
-0.6 -0.242 -0.247 -0.318 -0.305 -0.297 -0.308 -0.374 -0.416 -0.398 -0.407 -0.409 -0.375 -0.396 -0.385 -0.379
-0.5 -0.222 -0.226 -0.279 -0.259 -0.245 -0.223 -0.286 -0.36 -0.31 -0.332 -0.336 -0.297 -0.324 -0.296 -0.305
-0.4 -0.175 -0.18 -0.238 -0.255 -0.194 -0.13 -0.194 -0.261 -0.199 -0.235 -0.234 -0.211 -0.228 -0.198 -0.204
-0.3 -0.159 -0.135 -0.138 -0.166 -0.177 -0.13 -0.167 -0.202 -0.159 -0.193 -0.177 -0.159 -0.166 -0.171 -0.144
-0.2 -0.102 -0.088 -0.106 -0.133 -0.133 -0.115 -0.136 -0.149 -0.142 -0.136 -0.135 -0.105 -0.14 -0.133 -0.1
-0.1 -0.067 -0.05 -0.066 -0.071 -0.08 -0.09 -0.067 -0.085 -0.069 -0.065 -0.066 -0.062 -0.07 -0.066 -0.056
0 -0.018 0.04 -0.025 0.022 0.024 0.018 0.009 -0.004 -0.011 -0.002 -0.005 -0.006 -0.004 0.004 -0.037
0.1 0.06 0.072 0.028 0.063 0.046 0.098 0.075 0.059 0.047 0.045 0.047 0.065 0.044 0.067 0.051
0.2 0.86 0.093 0.066 0.11 0.104 0.114 0.093 0.081 0.073 0.105 0.087 0.106 0.085 0.109 0.075
0.3 0.126 0.167 0.14 0.132 0.145 0.124 0.124 0.111 0.097 0.136 0.12 0.148 0.13 0.152 0.109
0.4 0.17 0.166 0.241 0.181 0.201 0.175 0.15 0.164 0.139 0.216 0.169 0.209 0.173 0.215 0.163
0.5 0.264 0.226 0.258 0.216 0.242 0.196 0.197 0.208 0.173 0.26 0.23 0.261 0.213 0.259 0.196
0.6 0.268 0.259 0.296 0.24 0.276 0.244 0.222 0.243 0.21 0.312 0.267 0.313 0.265 0.307 0.241
0.7 0.33 0.269 0.346 0.306 0.319 0.341 0.24 0.294 0.243 0.363 0.314 0.366 0.306 0.351 0.29
0.8 0.317 0.292 0.397 0.368 0.373 0.361 0.274 0.326 0.259 0.408 0.346 0.385 0.33 0.395 0.322
0.9 0.354 0.363 0.438 0.442 0.426 0.316 0.317 0.371 0.284 0.456 0.363 0.437 0.371 0.417 0.343
1.0 0.449 0.397 0.479 0.486 0.476 0.398 0.364 0.425 0.329 0.515 0.423 0.496 0.42 0.467 0.4
1.1 0.489 0.487 0.554 0.514 0.504 0.532 0.417 0.472 0.38 0.567 0.487 0.548 0.477 0.526 0.439
1.2 0.519 0.512 0.583 0.558 0.569 0.597 0.45 0.519 0.426 0.626 0.51 0.587 0.499 0.557 0.478
1.3 0.534 0.558 0.622 0.621 0.631 0.542 0.513 0.548 0.494 0.651 0.532 0.623 0.531 0.593 0.5
1.4 0.637 0.634 0.644 0.678 0.677 0.639 0.581 0.612 0.548 0.7 0.583 0.686 0.585 0.636 0.578
1.5 0.718 0.657 0.699 0.71 0.697 0.749 0.844 0.673 0.588 0.763 0.644 0.74 0.656 0.643 0.629
41
Значение Полином Цернике[2.2] (астигматизм 45)
(мкм)/№ 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15
измерения
-1.5 -1.501 -1.406 -1.671 -1.705 -1.638 -1.665 -1.707 -1.661 -1.658 -1.696 -1.656 -1.678 -1.7 -1.69 -1.528
-1.4 -1.398 -1.347 -1.547 -1.628 -1.555 -1.634 -1.61 -1.565 -1.549 -1.515 -1.559 -1.578 -1.585 -1.589 -1.449
-1.3 -1.204 -1.003 -1.415 -1.468 -1.402 -1.484 -1.472 -1.422 -1.421 -1.448 -1.403 -1.427 -1.441 -1.43 -1.288
-1.2 -0.998 -0.997 -1.284 -1.322 -1.249 -1.324 -1.348 -1.271 -1.255 -1.302 -1.262 -1.271 -1.291 -1.294 -1.149
-1.1 -0.912 -0.96 -1.142 -1.19 -1.133 -1.189 -1.209 -1.135 -1.156 -1.175 -1.116 -1.133 -1.153 -1.155 -1
-1.0 -0.605 -0.64 -1.057 -1.076 -1.031 -1.009 -1.077 -1.059 -1.057 -1.076 -1.007 -1.02 -1.036 -1.043 -0.896
-0.9 -0.594 -0.616 -0.964 -0.948 -0.946 -0.873 -0.979 -0.945 -0.95 -0.949 -0.907 -0.943 -0.928 -0.951 -0.787
-0.8 -0.537 -0.552 -0.825 -0.828 -0.828 -0.775 -0.883 -0.842 -0.829 -0.866 -0.8 -0.83 -0.79 -0.846 -0.681
-0.7 -0.471 -0.459 -0.755 -0.723 -0.739 -0.67 -0.767 -0.738 -0.733 -0.763 -0.692 -0.729 -0.717 -0.759 -0.602
-0.6 -0.396 -0.392 -0.626 -0.629 -0.652 -0.571 -0.653 -0.641 -0.655 -0.645 -0.602 -0.624 -0.627 -0.653 -0.51
-0.5 -0.325 -0.327 -0.528 -0.527 -0.519 -0.468 -0.536 -0.531 -0.543 -0.562 -0.516 -0.532 -0.53 -0.519 -0.423
-0.4 -0.266 -0.267 -0.411 -0.412 -0.426 -0.37 -0.432 -0.423 -0.434 -0.448 -0.415 -0.424 -0.426 -0.4 -0.318
-0.3 -0.203 -0.216 -0.301 -0.303 -0.307 -0.282 -0.322 -0.32 -0.311 -0.338 -0.301 -0.333 -0.309 -0.326 -0.187
-0.2 -0.142 -0.154 -0.198 -0.204 -0.228 -0.175 -0.204 -0.219 -0.215 -0.227 -0.2 -0.226 -0.214 -0.241 -0.252
-0.1 -0.066 -0.068 -0.123 -0.104 -0.103 -0.09 -0.1 -0.119 -0.099 -0.106 -0.096 -0.117 -0.107 -0.135 -0.139
0 -0.006 -0.012 -0.012 0 -0.003 -0.005 -0.003 0.001 -0.002 0.004 -0.02 0 0.003 -0.016 -0.001
0.1 0.071 0.083 0.136 0.116 0.107 0.098 0.113 0.12 0.13 0.121 0.075 0.11 0.109 0.084 0.118
0.2 0.16 0.191 0.241 0.246 0.215 0.224 0.225 0.244 0.242 0.227 0.186 0.217 0.217 0.211 0.239
0.3 0.266 0.283 0.332 0.361 0.305 0.34 0.344 0.343 0.349 0.326 0.306 0.329 0.343 0.324 0.35
0.4 0.36 0.341 0.46 0.44 0.405 0.429 0.452 0.423 0.44 0.443 0.425 0.425 0.448 0.422 0.433
0.5 0.445 0.434 0.494 0.565 0.466 0.434 0.543 0.519 0.529 0.535 0.508 0.538 0.552 0.526 0.534
0.6 0.568 0.499 0.194 0.64 0.551 0.628 0.635 0.609 0.622 0.623 0.602 0.609 0.66 0.639 0.625
0.7 0.644 0.616 0.671 0.749 0.63 0.724 0.735 0.713 0.729 0.726 0.708 0.715 0.756 0.749 0.722
0.8 0.749 0.757 0.776 0.888 0.751 0.842 0.849 0.812 0.855 0.842 0.806 0.82 0.885 0.832 0.856
0.9 0.841 0.858 0.997 1.017 0.883 0.973 0.975 0.941 0.999 0.965 0.93 0.919 1.015 0.962 0.952
1.0 0.873 0.935 1.11 1.149 1.04 1.116 1.106 1.11 1.125 1.111 1.053 1.095 1.138 1.089 1.124
1.1 0.99 1.035 1.239 1.29 1.196 1.254 1.261 1.288 1.28 1.243 1.182 1.229 1.264 1.206 1.306
1.2 1.074 1.14 1.409 1.435 1.314 1.375 1.382 1.431 1.426 1.362 1.3 1.348 1.382 1.313 1.453
1.3 1.216 1.293 1.505 1.501 1.423 1.494 1.5 1.561 1.55 1.457 1.411 1.463 1.491 1.422 1.543
1.4 1.337 1.431 1.607 1.616 1.504 1.603 1.513 1.622 1.642 1.568 1.52 1.562 1.596 1.515 1.636
1.5 1.498 1.603 1.701 1.705 1.61 1.699 1.717 1.699 1.728 1.679 1.647 1.675 1.707 1.594 1.709
42
Значение Полином Цернике [2.-2] (астигматизм 0)
(мкм)/№
измерения 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15
-1.5 -1.71 -1.374 -0.948 -1.015 -0.95 -0.933 -0.994 -0.965 -0.936 -0.949 -0.973 -0.917 -0.964 -0.901 -0.974
-1.4 -1.639 -1.27 -0.868 -0.904 -0.881 -0.836 -0.814 -0.88 -0.863 -0.878 -0.883 -0.872 -0.874 -0.824 -0.885
-1.3 -1.588 -1.186 -0.793 -0.821 -0.829 -0.76 -0.751 -0.816 -0.783 -0.777 -0.812 -0.784 -0.804 -0.767 -0.806
-1.2 -1.451 -1.102 -0.701 -0.753 -0.742 -0.69 -0.713 -0.739 -0.708 -0.728 -0.735 -0.736 -0.728 -0.71 -0.729
-1.1 -1.295 -1.014 -0.673 -0.683 -0.693 -0.65 -0.65 -0.675 -0.639 -0.563 -0.675 -0.682 -0.665 -0.66 -0.651
-1.0 -1.227 -1.078 -0.598 -0.611 -0.632 -0.575 -0.578 -0.623 -0.588 -0.586 -0.61 -0.639 -0.598 -0.598 -0.579
-0.9 -1.098 -1.002 -0.541 -0.564 -0.567 -0.522 -0.516 -0.549 -0.512 -0.534 -0.535 -0.556 -0.524 -0.434 -0.499
-0.8 -1.023 -0.872 -0.468 -0.494 -0.483 -0.459 -0.438 -0.458 -0.432 -0.457 -0.464 -0.466 -0.452 -0.411 -0.422
-0.7 -0.882 -0.825 -0.389 -0.413 -0.417 -0.39 -0.348 -0.395 -0.371 -0.393 -0.395 -0.386 -0.386 -0.328 -0.362
-0.6 -0.77 -0.661 -0.32 -0.35 -0.351 -0.32 -0.29 -0.34 -0.298 -0.329 -0.337 -0.307 -0.33 -0.281 -0.303
-0.5 -0.685 -0.581 -0.255 -0.297 -0.281 -0.275 -0.245 -0.293 -0.259 -0.268 -0.267 -0.269 -0.279 -0.255 -0.248
-0.4 -0.621 -0.48 -0.208 -0.233 -0.225 -0.209 -0.184 -0.216 -0.197 -0.216 -0.22 -0.194 -0.216 -0.199 -0.212
-0.3 -0.375 -0.296 -0.152 -0.174 -0.133 -0.13 -0.132 -0.154 -0.119 -0.16 -0.177 -0.136 -0.171 -0.142 -0.162
-0.2 -0.187 -0.22 -0.1 -0.124 -0.076 -0.077 -0.072 -0.114 -0.072 -0.092 -0.093 -0.09 -0.101 -0.074 -0.098
-0.1 -0.086 -0.073 -0.054 -0.056 -0.034 -0.024 -0.03 -0.059 -0.016 -0.04 -0.043 -0.041 -0.037 -0.041 -0.046
0 0.015 -0.035 -0.034 0.009 -0.028 -0.042 -0.004 -0.005 -0.004 0.017 0.019 0.012 0.001 0.021 0.001
0.1 0.069 0.14 0.02 0.061 0.019 -0.014 0.042 0.027 0.036 0.051 0.028 0.017 0.05 0.04 0.052
0.2 0.245 0.251 0.042 0.113 0.053 -0.02 0.085 0.051 0.062 0.072 0.062 0.06 0.088 0.085 0.099
0.3 0.348 0.359 0.082 0.149 0.102 -0.055 0.129 0.082 0.083 0.101 0.11 0.096 0.129 0.102 0.137
0.4 0.355 0.372 0.126 0.188 0.136 -0.057 0.166 0.117 0.101 0.142 0.142 0.112 0.162 0.128 0.169
0.5 0.414 0.394 0.163 0.218 0.173 0.074 0.19 0.151 0.145 0.188 0.166 0.134 0.174 0.144 0.212
0.6 0.523 0.494 0.205 0.234 0.181 0.205 0.223 0.192 0.168 0.221 0.201 0.165 0.221 0.194 0.246
0.7 0.651 0.707 0.191 0.251 0.209 0.263 0.25 0.225 0.179 0.255 0.216 0.185 0.24 0.193 0.284
0.8 0.76 0.832 0.058 0.256 0.227 0.306 0.273 0.312 0.186 0.276 0.222 0.191 0.278 0.206 0.312
0.9 0.915 1.048 0.09 0.291 0.257 0.305 0.3 0.35 0.253 0.31 0.265 0.213 0.322 0.251 0.346
1.0 1.003 1.055 0.144 0.336 0.35 0.346 0.342 0.41 0.307 0.354 0.352 0.272 0.356 0.305 0.386
1.1 1.097 1.09 0.19 0.372 0.34 0.368 0.375 0.43 0.331 0.382 0.384 0.312 0.396 0.333 0.422
1.2 1.101 1.099 0.217 0.393 0.376 0.363 0.407 0.395 0.335 0.411 0.39 0.349 0.397 0.391 0.446
1.3 1.156 1.105 0.22 0.388 0.361 0.354 0.395 0.413 0.356 0.415 0.384 0.355 0.415 0.393 0.454
1.4 1.2 1.204 0.248 0.379 0.371 0.35 0.39 0.383 0.347 0.435 0.395 0.371 0.418 0.411 0.45
1.5 1.321 1.295 0.337 0.388 0.388 0.364 0.407 0.406 0.358 0.437 0.392 0.369 0.445 0.442 0.463
43
Средние арифметические значения всех значений интервала для
полиномов находятся по формуле (1), полученные результаты приведены в
таблице 13:
∑𝑥𝑧𝑖
𝑥̅𝑧𝑖 = , (1)
𝑛
где n – число измерений.
Таблица 13 – Средние арифметические значения полиномов Цернике

Значение Средние арифметические значения полиномов, 𝑥̅
(мкм)/ Полином Полином Полином
№ измерения Цернике[2.0] Цернике[2.2] Цернике [2.-2]
(дефокус) (астигматизм 45) (астигматизм 0)
-1.5 -0.96 -1.63 -1.03
-1.4 -0.89 -1.54 -0.94
-1.3 -0.75 -1.38 -0.87
-1.2 -0.74 -1.24 -0.79
-1.1 -0.67 -1.11 -0.72
-1 -0.62 -0.97 -0.67
-0.9 -0.54 -0.88 -0.59
-0.8 -0.45 -0.78 -0.51
-0.7 -0.40 -0.68 -0.44
-0.6 -0.35 -0.59 -0.37
-0.5 -0.28 -0.49 -0.31
-0.4 -0.20 -0.39 -0.25
-0.3 -0.16 -0.29 -0.17
-0.2 -0.12 -0.20 -0.10
-0.1 -0.06 -0.10 -0.04
0 0.00 0.00 0.00
0.1 0.05 0.10 0.04
0.2 0.14 0.21 0.08
0.3 0.13 0.32 0.13
0.4 0.18 0.42 0.15
0.5 0.22 0.50 0.19
0.6 0.26 0.58 0.24
0.7 0.31 0.70 0.28
0.8 0.34 0.82 0.31
0.9 0.37 0.94 0.36
1 0.43 1.07 0.42
1.1 0.49 1.21 0.45
1.2 0.53 1.34 0.47
1.3 0.56 1.45 0.47
1.4 0.62 1.55 0.49
1.5 0.69 1.66 0.52
44
Среднеквадратичные погрешности результатов, рассчитанные по
формуле (2), приведены в таблицах 14-16:
∑𝑛
1 (𝑥−𝑥̅ )
2
𝑆𝑛 = √ . (2)
𝑛−1
Таблица 14 – Среднеквадратичные погрешности значения полинома Цернике

[2.0] (дефокус)
𝑆𝑛 для полинома Цернике [2.2] (астигматизм 45)
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15
0.030 0.031 0.030 0.030 0.027 0.013 0.017 0.014 0.017 0.010 0.017 0.012 0.017 0.017 0.014
0.027 0.027 0.028 0.027 0.026 0.013 0.015 0.013 0.016 0.010 0.015 0.011 0.014 0.016 0.012
0.021 0.019 0.019 0.019 0.019 0.015 0.015 0.018 0.047 0.013 0.018 0.015 0.016 0.019 0.014
0.022 0.021 0.020 0.019 0.019 0.009 0.011 0.011 0.012 0.008 0.010 0.008 0.011 0.012 0.009
0.020 0.017 0.015 0.016 0.015 0.006 0.009 0.010 0.011 0.007 0.008 0.007 0.009 0.008 0.008
0.017 0.015 0.013 0.013 0.012 0.003 0.007 0.009 0.009 0.005 0.008 0.005 0.008 0.007 0.007
0.015 0.010 0.009 0.010 0.009 0.002 0.006 0.008 0.008 0.004 0.007 0.004 0.007 0.004 0.004
0.012 0.011 0.006 0.007 0.006 0.004 0.005 0.007 0.007 0.005 0.006 0.004 0.006 0.004 0.003
0.012 0.009 0.004 0.005 0.004 0.000 0.003 0.005 0.003 0.004 0.005 0.002 0.005 0.004 0.002
0.008 0.007 0.002 0.003 0.004 0.003 0.002 0.005 0.003 0.004 0.004 0.002 0.003 0.002 0.002
0.005 0.004 0.001 0.002 0.003 0.005 0.000 0.005 0.002 0.003 0.004 0.001 0.003 0.001 0.001
0.002 0.002 0.002 0.003 0.001 0.006 0.001 0.004 0.001 0.002 0.002 0.000 0.001 0.001 0.000
0.000 0.002 0.002 0.000 0.001 0.002 0.000 0.003 0.000 0.002 0.001 0.000 0.000 0.001 0.001
0.002 0.003 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.002 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.002
0.000 0.001 0.000 0.000 0.001 0.002 0.000 0.001 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.001
0.001 0.003 0.002 0.002 0.002 0.001 0.001 0.000 0.001 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.003
0.000 0.001 0.002 0.000 0.001 0.003 0.001 0.000 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.000
0.051 0.004 0.006 0.002 0.003 0.002 0.004 0.005 0.005 0.003 0.004 0.003 0.004 0.003 0.005
0.000 0.003 0.001 0.000 0.001 0.000 0.000 0.001 0.002 0.000 0.001 0.001 0.000 0.002 0.002
0.001 0.001 0.004 0.000 0.001 0.001 0.002 0.001 0.003 0.002 0.001 0.002 0.001 0.002 0.001
0.003 0.000 0.002 0.001 0.001 0.002 0.002 0.001 0.004 0.002 0.000 0.002 0.001 0.002 0.002
0.000 0.000 0.002 0.002 0.001 0.001 0.003 0.002 0.004 0.003 0.000 0.003 0.000 0.003 0.002
0.001 0.003 0.002 0.000 0.001 0.002 0.005 0.001 0.005 0.004 0.000 0.004 0.000 0.003 0.002
0.002 0.004 0.004 0.002 0.002 0.001 0.005 0.001 0.006 0.005 0.000 0.003 0.001 0.004 0.002
0.002 0.001 0.004 0.004 0.003 0.005 0.004 0.001 0.007 0.005 0.001 0.004 0.001 0.003 0.003
0.001 0.003 0.003 0.004 0.003 0.003 0.005 0.001 0.008 0.006 0.001 0.004 0.001 0.002 0.002
0.000 0.000 0.004 0.002 0.001 0.003 0.005 0.001 0.008 0.005 0.000 0.004 0.001 0.002 0.004
0.001 0.001 0.004 0.002 0.003 0.005 0.006 0.001 0.008 0.007 0.002 0.004 0.002 0.002 0.004
0.002 0.001 0.004 0.004 0.005 0.002 0.004 0.001 0.005 0.006 0.002 0.004 0.003 0.002 0.005
0.001 0.000 0.001 0.004 0.004 0.001 0.003 0.001 0.006 0.005 0.003 0.004 0.003 0.001 0.004
0.002 0.003 0.000 0.001 0.000 0.004 0.011 0.002 0.008 0.005 0.004 0.003 0.003 0.004 0.005
45
[2.2] (астигматизм 45)
𝑆𝑛 для полинома Цернике [2.2] (астигматизм 45)
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15
0.010 0.017 0.002 0.005 0.000 0.002 0.005 0.002 0.001 0.004 0.001 0.003 0.004 0.004 0.008
0.010 0.014 0.000 0.006 0.001 0.007 0.005 0.002 0.001 0.002 0.001 0.003 0.003 0.003 0.007
0.013 0.027 0.002 0.006 0.001 0.007 0.006 0.003 0.003 0.005 0.002 0.003 0.004 0.003 0.007
0.017 0.017 0.003 0.006 0.001 0.006 0.008 0.002 0.001 0.004 0.001 0.002 0.004 0.004 0.007
0.015 0.011 0.002 0.005 0.001 0.005 0.007 0.001 0.003 0.004 0.000 0.001 0.003 0.003 0.008
0.027 0.024 0.006 0.007 0.004 0.002 0.007 0.006 0.006 0.007 0.002 0.003 0.004 0.005 0.006
0.021 0.019 0.006 0.004 0.004 0.001 0.007 0.004 0.005 0.005 0.002 0.004 0.003 0.005 0.007
0.017 0.016 0.003 0.003 0.003 0.000 0.007 0.004 0.003 0.006 0.001 0.004 0.001 0.005 0.007
0.015 0.016 0.005 0.003 0.004 0.001 0.006 0.004 0.003 0.005 0.000 0.003 0.002 0.005 0.006
0.014 0.014 0.002 0.003 0.004 0.001 0.004 0.004 0.005 0.004 0.001 0.002 0.003 0.004 0.006
0.012 0.012 0.003 0.002 0.002 0.002 0.003 0.003 0.004 0.005 0.002 0.003 0.003 0.002 0.005
0.009 0.009 0.001 0.001 0.002 0.002 0.003 0.002 0.003 0.004 0.002 0.002 0.002 0.001 0.005
0.006 0.005 0.001 0.001 0.001 0.001 0.002 0.002 0.001 0.003 0.001 0.003 0.001 0.003 0.007
0.005 0.004 0.001 0.000 0.002 0.002 0.000 0.001 0.001 0.001 0.000 0.001 0.001 0.002 0.003
0.003 0.003 0.001 0.000 0.000 0.001 0.000 0.001 0.000 0.000 0.001 0.001 0.000 0.002 0.002
0.000 0.001 0.001 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.001 0.001 0.000 0.001 0.001 0.000
0.003 0.002 0.002 0.001 0.000 0.001 0.000 0.001 0.002 0.001 0.002 0.000 0.000 0.002 0.001
0.004 0.002 0.002 0.002 0.000 0.000 0.000 0.002 0.002 0.001 0.002 0.000 0.000 0.001 0.001
0.004 0.003 0.000 0.002 0.002 0.001 0.001 0.001 0.002 0.000 0.001 0.000 0.001 0.000 0.002
0.005 0.006 0.003 0.001 0.001 0.000 0.002 0.000 0.001 0.001 0.000 0.000 0.002 0.000 0.001
0.005 0.005 0.001 0.004 0.003 0.005 0.002 0.001 0.001 0.002 0.000 0.002 0.003 0.001 0.002
0.001 0.006 0.028 0.004 0.002 0.003 0.004 0.002 0.003 0.003 0.002 0.002 0.006 0.004 0.003
0.004 0.006 0.002 0.003 0.005 0.001 0.002 0.001 0.002 0.001 0.000 0.001 0.004 0.003 0.001
0.005 0.005 0.003 0.005 0.005 0.001 0.002 0.001 0.002 0.001 0.001 0.000 0.005 0.001 0.002
0.008 0.006 0.003 0.005 0.005 0.002 0.002 0.001 0.004 0.001 0.001 0.002 0.005 0.001 0.000
0.015 0.010 0.002 0.005 0.003 0.003 0.002 0.002 0.003 0.002 0.002 0.001 0.004 0.001 0.003
0.016 0.013 0.002 0.005 0.002 0.003 0.003 0.005 0.004 0.002 0.003 0.001 0.003 0.001 0.006
0.019 0.014 0.005 0.007 0.002 0.002 0.003 0.006 0.006 0.001 0.003 0.000 0.003 0.002 0.008
0.017 0.012 0.004 0.003 0.002 0.003 0.003 0.008 0.007 0.000 0.003 0.001 0.003 0.002 0.006
0.015 0.009 0.004 0.005 0.003 0.004 0.003 0.005 0.006 0.001 0.002 0.001 0.003 0.003 0.006
0.012 0.004 0.003 0.003 0.004 0.002 0.004 0.002 0.005 0.001 0.001 0.001 0.003 0.005 0.003
46
[2.-2] (астигматизм 0)
𝑆𝑛 для полинома Цернике [2.-2] (астигматизм 0)
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15
0.048 0.024 0.006 0.001 0.006 0.007 0.003 0.005 0.007 0.006 0.004 0.008 0.005 0.009 0.004
0.050 0.023 0.005 0.003 0.005 0.008 0.009 0.005 0.006 0.005 0.004 0.005 0.005 0.009 0.004
0.051 0.022 0.006 0.004 0.003 0.008 0.009 0.004 0.006 0.007 0.004 0.006 0.005 0.007 0.005
0.047 0.022 0.007 0.003 0.004 0.008 0.006 0.004 0.006 0.005 0.004 0.004 0.005 0.006 0.005
0.041 0.021 0.004 0.003 0.002 0.005 0.005 0.004 0.006 0.012 0.004 0.003 0.004 0.005 0.005
0.039 0.029 0.005 0.005 0.003 0.007 0.007 0.004 0.006 0.006 0.005 0.003 0.005 0.005 0.007
0.036 0.029 0.004 0.002 0.002 0.005 0.006 0.003 0.006 0.004 0.004 0.003 0.005 0.012 0.007
0.036 0.025 0.004 0.002 0.003 0.004 0.006 0.004 0.006 0.004 0.004 0.004 0.005 0.008 0.007
0.031 0.027 0.004 0.002 0.002 0.004 0.007 0.004 0.005 0.004 0.004 0.004 0.004 0.008 0.006
0.028 0.021 0.004 0.002 0.002 0.004 0.006 0.002 0.005 0.003 0.003 0.005 0.003 0.007 0.005
0.026 0.019 0.004 0.001 0.003 0.003 0.005 0.002 0.004 0.004 0.004 0.003 0.003 0.004 0.005
0.026 0.016 0.003 0.002 0.002 0.003 0.005 0.003 0.004 0.003 0.003 0.004 0.003 0.004 0.003
0.014 0.009 0.002 0.000 0.003 0.003 0.003 0.001 0.004 0.001 0.000 0.003 0.000 0.002 0.001
0.006 0.008 0.000 0.001 0.002 0.002 0.002 0.001 0.002 0.001 0.001 0.001 0.000 0.002 0.001
0.003 0.002 0.001 0.001 0.001 0.002 0.001 0.001 0.002 0.000 0.000 0.000 0.001 0.000 0.000
0.001 0.002 0.002 0.001 0.002 0.003 0.000 0.000 0.000 0.001 0.002 0.001 0.000 0.002 0.000
0.002 0.007 0.002 0.001 0.002 0.004 0.000 0.001 0.000 0.001 0.001 0.002 0.001 0.000 0.001
0.011 0.012 0.003 0.002 0.003 0.008 0.000 0.003 0.002 0.001 0.002 0.002 0.000 0.000 0.001
0.016 0.016 0.003 0.001 0.002 0.013 0.000 0.003 0.003 0.002 0.001 0.002 0.000 0.002 0.000
0.014 0.015 0.002 0.002 0.002 0.015 0.001 0.003 0.004 0.001 0.001 0.003 0.000 0.002 0.001
0.016 0.014 0.002 0.002 0.002 0.009 0.000 0.003 0.004 0.001 0.002 0.004 0.002 0.004 0.001
0.020 0.018 0.003 0.001 0.005 0.003 0.002 0.004 0.005 0.002 0.003 0.006 0.002 0.004 0.000
0.026 0.030 0.007 0.003 0.006 0.002 0.003 0.004 0.008 0.002 0.005 0.007 0.003 0.007 0.000
0.032 0.037 0.018 0.004 0.006 0.001 0.003 0.000 0.009 0.003 0.007 0.009 0.003 0.008 0.000
0.039 0.049 0.020 0.005 0.008 0.004 0.005 0.001 0.008 0.004 0.007 0.011 0.003 0.008 0.002
0.042 0.045 0.020 0.006 0.005 0.005 0.006 0.001 0.008 0.005 0.005 0.011 0.005 0.008 0.003
0.046 0.045 0.019 0.006 0.008 0.006 0.006 0.002 0.009 0.005 0.005 0.010 0.004 0.009 0.002
0.045 0.045 0.018 0.006 0.007 0.008 0.005 0.005 0.010 0.004 0.006 0.009 0.005 0.006 0.002
0.048 0.045 0.018 0.006 0.008 0.009 0.006 0.005 0.009 0.004 0.007 0.009 0.004 0.006 0.002
0.051 0.051 0.017 0.008 0.009 0.010 0.007 0.008 0.010 0.004 0.007 0.009 0.005 0.006 0.003
0.057 0.055 0.013 0.009 0.009 0.011 0.008 0.008 0.012 0.006 0.009 0.011 0.005 0.006 0.004
Среднеквадратичные погрешности средних арифметических

результатов 𝑆𝑥 , рассчитанные по формуле (3), приведены в таблицах 17-19:
∑𝑛
1 (𝑥−𝑥̅ )
2 𝑆𝑛
𝑆𝑥 = √ = . (3)
𝑛(𝑛−1) √𝑛
47
Таблица 17 – Среднеквадратичные погрешности средних арифметических
значений полинома Цернике [2.0] (дефокус)
𝑆𝑥 для полинома Цернике [2.0] (дефокус)
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15
0.008 0.008 0.008 0.008 0.007 0.003 0.004 0.004 0.004 0.003 0.004 0.003 0.004 0.005 0.004
0.007 0.007 0.007 0.007 0.007 0.003 0.004 0.003 0.004 0.003 0.004 0.003 0.004 0.004 0.003
0.005 0.005 0.005 0.005 0.005 0.004 0.004 0.005 0.012 0.003 0.005 0.004 0.004 0.005 0.004
0.006 0.005 0.005 0.005 0.005 0.002 0.003 0.003 0.003 0.002 0.003 0.002 0.003 0.003 0.002
0.005 0.004 0.004 0.004 0.004 0.001 0.002 0.003 0.003 0.002 0.002 0.002 0.002 0.002 0.002
0.004 0.004 0.003 0.003 0.003 0.001 0.002 0.002 0.002 0.001 0.002 0.001 0.002 0.002 0.002
0.004 0.003 0.002 0.003 0.002 0.000 0.001 0.002 0.002 0.001 0.002 0.001 0.002 0.001 0.001
0.003 0.003 0.001 0.002 0.002 0.001 0.001 0.002 0.002 0.001 0.002 0.001 0.001 0.001 0.001
0.003 0.002 0.001 0.001 0.001 0.000 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.000 0.001 0.001 0.001
0.002 0.002 0.001 0.001 0.001 0.001 0.000 0.001 0.001 0.001 0.001 0.000 0.001 0.001 0.001
0.001 0.001 0.000 0.001 0.001 0.001 0.000 0.001 0.000 0.001 0.001 0.000 0.001 0.000 0.000
0.001 0.001 0.001 0.001 0.000 0.001 0.000 0.001 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000
0.000 0.001 0.000 0.000 0.000 0.001 0.000 0.001 0.000 0.001 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000
0.000 0.001 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000
0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000
0.000 0.001 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.001
0.000 0.000 0.001 0.000 0.000 0.001 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000
0.013 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001
0.000 0.001 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.001 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000
0.000 0.000 0.001 0.000 0.000 0.000 0.001 0.000 0.001 0.001 0.000 0.000 0.000 0.001 0.000
0.001 0.000 0.001 0.000 0.000 0.001 0.001 0.000 0.001 0.001 0.000 0.001 0.000 0.001 0.001
0.000 0.000 0.001 0.000 0.000 0.000 0.001 0.000 0.001 0.001 0.000 0.001 0.000 0.001 0.000
0.000 0.001 0.001 0.000 0.000 0.001 0.001 0.000 0.001 0.001 0.000 0.001 0.000 0.001 0.000
0.000 0.001 0.001 0.000 0.001 0.000 0.001 0.000 0.002 0.001 0.000 0.001 0.000 0.001 0.000
0.000 0.000 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.000 0.002 0.001 0.000 0.001 0.000 0.001 0.001
0.000 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.000 0.002 0.001 0.000 0.001 0.000 0.001 0.001
0.000 0.000 0.001 0.000 0.000 0.001 0.001 0.000 0.002 0.001 0.000 0.001 0.000 0.001 0.001
0.000 0.000 0.001 0.000 0.001 0.001 0.002 0.000 0.002 0.002 0.000 0.001 0.001 0.000 0.001
0.001 0.000 0.001 0.001 0.001 0.000 0.001 0.000 0.001 0.002 0.001 0.001 0.001 0.000 0.001
0.000 0.000 0.000 0.001 0.001 0.000 0.001 0.000 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.000 0.001
0.000 0.001 0.000 0.000 0.000 0.001 0.003 0.000 0.002 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001
48
значений полинома Цернике [2.2] (астигматизм 45)
𝑆𝑥 для полинома Цернике [2.2] (астигматизм 45)
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15
0.003 0.004 0.001 0.001 0.000 0.001 0.001 0.000 0.000 0.001 0.000 0.001 0.001 0.001 0.002
0.003 0.004 0.000 0.002 0.000 0.002 0.001 0.000 0.000 0.000 0.000 0.001 0.001 0.001 0.002
0.003 0.007 0.001 0.002 0.000 0.002 0.002 0.001 0.001 0.001 0.000 0.001 0.001 0.001 0.002
0.004 0.005 0.001 0.001 0.000 0.002 0.002 0.001 0.000 0.001 0.000 0.001 0.001 0.001 0.002
0.004 0.003 0.000 0.001 0.000 0.001 0.002 0.000 0.001 0.001 0.000 0.000 0.001 0.001 0.002
0.007 0.006 0.001 0.002 0.001 0.001 0.002 0.001 0.001 0.002 0.001 0.001 0.001 0.001 0.002
0.005 0.005 0.001 0.001 0.001 0.000 0.002 0.001 0.001 0.001 0.000 0.001 0.001 0.001 0.002
0.004 0.004 0.001 0.001 0.001 0.000 0.002 0.001 0.001 0.002 0.000 0.001 0.000 0.001 0.002
0.004 0.004 0.001 0.001 0.001 0.000 0.001 0.001 0.001 0.001 0.000 0.001 0.001 0.001 0.002
0.004 0.004 0.001 0.001 0.001 0.000 0.001 0.001 0.001 0.001 0.000 0.001 0.001 0.001 0.002
0.003 0.003 0.001 0.001 0.000 0.000 0.001 0.001 0.001 0.001 0.000 0.001 0.001 0.000 0.001
0.002 0.002 0.000 0.000 0.001 0.000 0.001 0.001 0.001 0.001 0.000 0.001 0.001 0.000 0.001
0.002 0.001 0.000 0.000 0.000 0.000 0.001 0.001 0.000 0.001 0.000 0.001 0.000 0.001 0.002
0.001 0.001 0.000 0.000 0.000 0.001 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.001 0.001
0.001 0.001 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.001 0.001
0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000
0.001 0.000 0.001 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.001 0.000 0.000 0.000 0.000
0.001 0.001 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.001 0.000 0.000 0.000 0.000
0.001 0.001 0.000 0.001 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000
0.001 0.002 0.001 0.000 0.000 0.000 0.001 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000
0.001 0.001 0.000 0.001 0.001 0.001 0.001 0.000 0.000 0.000 0.000 0.001 0.001 0.000 0.000
0.000 0.001 0.007 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.000 0.001 0.001 0.001 0.001
0.001 0.002 0.001 0.001 0.001 0.000 0.001 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.001 0.001 0.000
0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.000 0.001 0.000 0.001 0.000 0.000 0.000 0.001 0.000 0.001
0.002 0.002 0.001 0.001 0.001 0.000 0.000 0.000 0.001 0.000 0.000 0.001 0.001 0.000 0.000
0.004 0.003 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.000 0.000 0.001 0.000 0.001
0.004 0.003 0.000 0.001 0.000 0.001 0.001 0.001 0.001 0.000 0.001 0.000 0.001 0.000 0.002
0.005 0.004 0.001 0.002 0.001 0.001 0.001 0.002 0.002 0.000 0.001 0.000 0.001 0.001 0.002
0.004 0.003 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.002 0.002 0.000 0.001 0.000 0.001 0.001 0.002
0.004 0.002 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.002 0.000 0.001 0.000 0.001 0.001 0.002
0.003 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.000 0.000 0.000 0.001 0.001 0.001
49
значений полинома Цернике [2.-2] (астигматизм 0)
𝑆𝑥 для полинома Цернике [2.-2] (астигматизм 0)
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15
0.012 0.006 0.002 0.000 0.002 0.002 0.001 0.001 0.002 0.002 0.001 0.002 0.001 0.002 0.001
0.013 0.006 0.001 0.001 0.001 0.002 0.002 0.001 0.002 0.001 0.001 0.001 0.001 0.002 0.001
0.013 0.006 0.001 0.001 0.001 0.002 0.002 0.001 0.002 0.002 0.001 0.002 0.001 0.002 0.001
0.012 0.006 0.002 0.001 0.001 0.002 0.002 0.001 0.002 0.001 0.001 0.001 0.001 0.002 0.001
0.011 0.005 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.002 0.003 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001
0.010 0.007 0.001 0.001 0.001 0.002 0.002 0.001 0.002 0.002 0.001 0.001 0.001 0.001 0.002
0.009 0.007 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.002 0.001 0.001 0.001 0.001 0.003 0.002
0.009 0.006 0.001 0.000 0.001 0.001 0.002 0.001 0.002 0.001 0.001 0.001 0.001 0.002 0.002
0.008 0.007 0.001 0.001 0.001 0.001 0.002 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.002 0.002
0.007 0.005 0.001 0.000 0.000 0.001 0.002 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.002 0.001
0.007 0.005 0.001 0.000 0.001 0.001 0.001 0.000 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001
0.007 0.004 0.001 0.000 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001
0.004 0.002 0.000 0.000 0.001 0.001 0.001 0.000 0.001 0.000 0.000 0.001 0.000 0.001 0.000
0.001 0.002 0.000 0.000 0.001 0.001 0.001 0.000 0.001 0.000 0.000 0.000 0.000 0.001 0.000
0.001 0.001 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.001 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000
0.000 0.001 0.001 0.000 0.000 0.001 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000
0.000 0.002 0.000 0.000 0.000 0.001 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000
0.003 0.003 0.001 0.000 0.001 0.002 0.000 0.001 0.001 0.000 0.001 0.001 0.000 0.000 0.000
0.004 0.004 0.001 0.000 0.001 0.003 0.000 0.001 0.001 0.001 0.000 0.001 0.000 0.001 0.000
0.004 0.004 0.001 0.001 0.000 0.004 0.000 0.001 0.001 0.000 0.000 0.001 0.000 0.001 0.000
0.004 0.004 0.001 0.000 0.000 0.002 0.000 0.001 0.001 0.000 0.001 0.001 0.000 0.001 0.000
0.005 0.005 0.001 0.000 0.001 0.001 0.000 0.001 0.001 0.000 0.001 0.001 0.000 0.001 0.000
0.007 0.008 0.002 0.001 0.001 0.000 0.001 0.001 0.002 0.001 0.001 0.002 0.001 0.002 0.000
0.008 0.010 0.005 0.001 0.002 0.000 0.001 0.000 0.002 0.001 0.002 0.002 0.001 0.002 0.000
0.010 0.013 0.005 0.001 0.002 0.001 0.001 0.000 0.002 0.001 0.002 0.003 0.001 0.002 0.000
0.011 0.012 0.005 0.002 0.001 0.001 0.001 0.000 0.002 0.001 0.001 0.003 0.001 0.002 0.001
0.012 0.012 0.005 0.002 0.002 0.002 0.001 0.000 0.002 0.001 0.001 0.003 0.001 0.002 0.001
0.012 0.012 0.005 0.001 0.002 0.002 0.001 0.001 0.003 0.001 0.002 0.002 0.001 0.001 0.000
0.013 0.012 0.005 0.002 0.002 0.002 0.002 0.001 0.002 0.001 0.002 0.002 0.001 0.002 0.000
0.013 0.013 0.004 0.002 0.002 0.003 0.002 0.002 0.003 0.001 0.002 0.002 0.001 0.001 0.001
0.015 0.014 0.003 0.002 0.002 0.003 0.002 0.002 0.003 0.002 0.002 0.003 0.001 0.001 0.001
Для расчета абсолютной погрешности ∆x результатов 𝑆𝑥 используется

формула (4):
∆𝑥 = 𝑆𝑥 ∗ 𝑡 , (4)
где t = 2.145 – коэффициент Стьюдента, который взят из таблицы 2 источника
[14] при числе измерений, равном 15 и доверительной вероятности 0.95.
̅̅̅̅ для полиномов Цернике,
Средние значения абсолютных погрешностей ∆𝑥
взятые построчно, сведены в таблицу 20.
50
Таблица 20 – Средние значения абсолютных погрешностей полиномов
Цернике
Теоретические Средние значения абсолютной погрешности, ̅∆𝑥
̅̅̅
значения Полином Полином Полином
Цернике[2.0] Цернике[2.2] Цернике [2.-2]
(дефокус) (астигматизм 45) (астигматизм 0)
-1.5 0.011 0.003 0.005
-1.4 0.010 0.002 0.005
-1.3 0.011 0.003 0.005
-1.2 0.007 0.003 0.005
-1.1 0.006 0.003 0.005
-1 0.005 0.004 0.005
-0.9 0.004 0.004 0.005
-0.8 0.003 0.003 0.005
-0.7 0.002 0.003 0.004
-0.6 0.002 0.003 0.004
-0.5 0.001 0.002 0.003
-0.4 0.001 0.002 0.003
-0.3 0.001 0.001 0.002
-0.2 0.001 0.001 0.001
-0.1 0.000 0.001 0.001
0 0.001 0.000 0.001
0.1 0.001 0.001 0.001
0.2 0.004 0.001 0.002
0.3 0.001 0.001 0.002
0.4 0.001 0.001 0.002
0.5 0.001 0.001 0.002
0.6 0.001 0.003 0.003
0.7 0.001 0.001 0.004
0.8 0.002 0.001 0.005
0.9 0.002 0.002 0.006
1 0.002 0.002 0.006
1.1 0.002 0.003 0.007
1.2 0.002 0.003 0.007
1.3 0.002 0.003 0.007
1.4 0.001 0.003 0.008
1.5 0.002 0.002 0.008
Из 31 полученного значения погрешностей выбираются максимальные

отклонения для каждого полинома:
̅̅̅̅ = ±0.011
Для полинома Цернике [2.0] максимальное значение ∆𝑥
̅̅̅̅ = ±0.004
Для полинома Цернике [2.2] максимальное значение ∆𝑥
̅̅̅̅ = ±0.008
Для полинома Цернике [2.-2] максимальное значение ∆𝑥
51
Относительная погрешность рассчитывается по формуле (5):
∆𝑥
ɛ= ∗ 100%. (5)
𝑥
0.011
Для полинома Цернике [2.0]: ɛ = ∗ 100 = 0.84%
1.3
0.004
Для полинома Цернике [2.2]: ɛ = ∗ 100 = 0.44%
0.9
0.008
Для полинома Цернике [2.-2]: ɛ = ∗ 100 = 0.57%
1.4
По результатам видно, что в диапазоне значений от -1.5 мкм до 1.5 мкм

для полиномов Цернике низших порядков относительная погрешность не
превышает 1%, что в сравнении с биморфным зеркалом, где величина
составляла 2% значительно лучше. Однако, в отличии от биморфного зеркала,
у мембранного есть существенное отклонение заданного значения в
управляющей программе, от реально воспроизводимого значения. Наиболее
явно это выражено для дефокуса и астигматизма 0.
Биморфное зеркало работало в системе с автоматической подстройкой
волнового фронта, а мембранное без подстройки. Именно в этом заключается
причина таких отклонений. Наглядно заданные и воспроизводимые значения
представлены на рис. 21.
52
Дефокус Астигматизм 45 Астигматизм 0
1,5
1,4
1,3
1,2
Практические значения полиномов, мкм
1,1
1
0,9
0,8
0,7
0,6
0,5
0,4
0,3
0,2
0,1
0
-0,1
-0,2
-0,3
-0,4
-0,5
-0,6
-0,7
-0,8
-0,9
-1
-1,1
-1,2
-1,3
-1,4
-1,5
-1,5 -1,4 -1,3 -1,2 -1,1 -1 -0,9 -0,8 -0,7 -0,6 -0,5 -0,4 -0,3 -0,2 -0,1 0 0,1 0,2 0,3 0,4 0,5 0,6 0,7 0,8 0,9 1 1,1 1,2 1,3 1,4 1,5
Теоретические значения полиномов, мкм
Рисунок 21 – Теоретические и практические значения полиномов Цернике

53
3.4 Выводы
В результате исследования параметров мембранного зеркала было

выявлено что относительная погрешность в диапазоне значений от -1.5 мкм до
1.5 мкм не превышает 1%. Диаметр пучка, при котором отрабатывало зеркало,
равен 8 мм, что соответствует диаметру пучков в собранной ранее установке с
использованием биморфного зеркала.
Если сравнить параметры двух зеркал, чтобы выявить более подходящее
для использования в установке для записи голографических оптических
элементов, то выбор падает на мембранное зеркало. В рамках установки, с
объектным пучком диаметром 8 мм, мембранное зеркало имеет 37 электродов
на рабочей поверхности диаметром 15 мм. Форма расположения электродов
на плате гексагональная (см.рис.20). При пучке 8 мм из 37 электродов
отрабатывают 26-27 электродов, что дает возможность задавать сложные
абберации.
Биморфное имеет 32 электрода на рабочей поверхности диаметром 50
мм. Расположены электроды кольцами (см.рис.22).
Рисунок 22 – Схема расположения электродов на пьезоэлектрической

пластине биморфного зеркала КВФ-50-32
54
Пучок диаметром 8 мм попадет в центральное кольцо электродов, и,
следовательно, активными являются только 7 электродов из 32. Биморфное
зеркало отличается более высокой стабильностью, по сравнению с
мембранным зеркалом, но ввиду технологических сложностей биморфные
зеркала маленького диаметра не выпускаются.
На основе этих данных, следующим шагом в работе является замена в
существующей установке биморфного зеркала на мембранное, и последующая
запись голографических оптических элементов. После чего необходимо
оценить изменения дифракционной эффективности полученных голограмм с
использованием мембранного зеркала.
55
4 ОБЕСПЕЧЕНИЕ БЕЗОПАСНОСТИ ПРОЦЕССА
ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ
Во время написания выпускной квалификационной работы магистра

проводился эксперимент по записи голограмм, проводились многократные
измерения различных параметров. Также была собрана дополнительная
оптическая схема для проверки точности воспроизведения заданного
волнового фронта при помощи гибкого зеркала. Все проводимые действия
неотъемлемо связаны с использованием различного электрического и
оптического оборудования (в том числе с лазерным оборудованием). Для
сохранности жизни и здоровья, при проведении исследований необходимо
обеспечить безопасность проводимых мероприятий и принять технические
меры по снижению рисков во время работы с оборудованием. Все правила
проведения мероприятий по соблюдению техники безопасности и снижению
существующих рисков прописаны в нормативных документах.
4.1 Оценка существующих (потенциальных) опасностей для

нормального и аварийного режимов работы оборудования
При проведении эксперимента, включающим в себя множество

электроприборов существует опасность получения удара током. Удар током
происходит, когда человек непроизвольно становится частью электрической
цепи, и электрических ток, проходя через человеческие ткани, протекает по
замкнутому контуру. При ударе током последствия могут быть различной
степени тяжести, иногда последствия приводят к летальным исходам.
Выделяется четыре вида негативного воздействия на организм человека, при
протекании тока через человеческий организм: биологическое, термическое,
электролитическое и механическое.
При биологическом воздействии тока нарушается правильное
функционирование нервной системы и происходят неправильные
56
(судорожные) сокращения мышечной ткани, а также сердца, как органа
входящего в их число.
Термическое воздействие тока приводит к повышенному нагреву
биологической ткани человека, что в свою очередь приводит к ожогам
различной степени тяжести.
При механическом воздействии тока в организме человека из-за
электродинамических сил повышается давление, при испарении крови и
других жидкостей, что зачастую приводит к разрыву и растяжению тканей.
Помимо этого, следствиями механического воздействия являются вывихи
суставов, переломы костей, металлизация кожи.
Электролитическое воздействие проявляется в электролизе крови,
лимфатических жидкостей и других жидкостей в организме. При
электролитическом воздействии выделяются такие частицы как анионы и
катионы, в результате чего происходит изменение химического состава
организма и жизненно важные биологические системы начинают неправильно
функционировать.
При соприкосновении человека с проводниками, находящимися под
напряжением, происходит удар током. Последствия такого удара зависят от
множества факторов, например:
1) Время, в течении которого человек находится под напряжением.
Чем дольше нахождения под воздействием тока, тем серьезнее могут быть
последствия. Существуют нормированные допустимые величины тока и
напряжения. Они различаются при разных рабочих режимах оборудования:
нормальном и аварийном. Также эти значения отличаются, если установки
разного типа: производственные или бытовые [15].
Существует особо «уязвимая фаза» цикла в сердце человека. При
совпадении проходящего тока с этой фазой возникает фибрилляция сердца.
Длительность такой фазы 0.2 секунды. При прохождении тока в другие
моменты времени риск фибрилляции сердца снижается на порядки.
57
2) Величина, род и частота электрического тока. До величины
примерно 500В постоянный электрический ток считается в 3-5 раза менее
опасным, чем переменный. При больших значениях он становится более
опасным. Известным фактом является наличие у человека емкостного
сопротивления. Величина емкостного сопротивления уменьшается при
увеличении частоты тока, однако только в маленьком диапазоне. Диапазон
примерно от 0 до 50 Гц. С дальнейшим повышением частоты величина
емкостного сопротивления изменяется в маленьких пределах, но остается
опасность поражения высокочастотным током, получение ожогов от
прохождения тока через тело человека при соприкосновении или посредством
электрической дуги.
При прохождении тока одной величины, но разного рода более
болезненные ощущения от удара переменным током. При постоянном токе
болезненное ощущение удара возникает только в моменты прикосновения
(замыкания) и размыкания цепи телом человека. Если величина тока большая,
то ощущается внутренний нагрев тканей [16].
3) Путь прохождения тока. При прохождении на пути тока чаще
всего присутствуют различные органы. Самыми уязвимыми органами
являются мозг, легкие и сердце. При прохождении через другие участки тела
и органы опасность остается, но снижается в разы. Всевозможных путей, по
которым может пройти ток через тело человека огромное количество. Из них
выделяют 15 основных «маршрутов» тока, которые приведены на рисунке 23.
58
Рисунок 23 – Основные траектории прохождения тока через тело
человека
Если классифицировать по степени опасности изображенные на рисунке
траектории, то наименее опасный случай №9. Затем идут случаи с №1 по №8.
Также эти случаи являются наиболее частыми. Траектории с вариантов №10-
№15 являются наиболее опасными. При прохождении тока по таким
траекториям, он проходит через спинной и головной мозг. Такие случаи
являются наиболее редкими на практике [17].
4) Состояние окружающей среды. При повреждении током вещества
и токсичные газы, которые содержатся вокруг могут снизить суммарное
сопротивление человека, что может повлечь за собой более тяжедые
последствия. Сопротивление уменьшается если повышается влажность или
повышается температура.
5) Состояние человека. Доказано что физическое и психологическое
состояния человека влияют на внутреннее суммарное сопротивление. Люди с
более сильными волевыми и моральными качествами намного легче переносят
удары током. Также физически больные люди страдают сильнее чем здоровые.
59
Особенно сильно усугубляют последствия заболевания, связанные с легкими,
нервной системой и заболевания кожного покрова [18].
В рамках проводимого эксперимента все единицы электрооборудования
питаются от сети 220В переменным током. Для подачи управляющих сигналов
на биморфное и мембранное зеркала используются высоковольтные
усилительные блоки. Сорокаканальный усилитель для мембранного зеркала
на выходе имеет напряжения в диапазоне от 0 до 330В постоянного тока. Для
подачи управляющих сигналов на биморфное зеркало усилительный блок
генерирует сигналы в диапазоне от -330В до 330В постоянного тока.
Все токоведущие части установки имеют исправную изоляцию, что
исключает возможность поражения током при соприкосновении. Оптический
стол с установкой имеет металлическое покрытие, что в случае нарушения
целостности изоляции, может привести к удару током. Во избежание
несчастных случаев оптический стол имеет защитное заземление.
Наибольшую опасность представляют этапы юстировки или доработки
оптической схем, а также этап смены голографической пластинки для записи
голограмм. Именно на данных этапах работы существует риск прикосновения
к частям, находящимся под напряжениями, в случае неисправной изоляции.
Перед заменой голографической пластинки напряжение с управляющих
каналов высоковольтного усилителя снимается в обязательном порядке.
На этапе измерений человек находится в непосредственной близости с
установкой, но не соприкасается с ее компонентами. Производит мониторинг
и управление при помощи специального программного обеспечения на
персональном компьютере.
Так как в работа напрямую связана с лазером и лазерным излучением, то
необходимо также упомянуть о возможных последствиях действия такого
излучения. Степень воздействия и род поражения лазером зависят от таких
параметров как, длина волны излучения, направленность излучения, режим
работы лазера (импульсная или непрерывная генерация импульсов), частоты
генерации импульсов, мощности лазерного излучения, продолжительности
60
воздействия. При поглощении лазерного излучения тканями происходит их
нагрев. Самыми уязвимыми при излучении лазера органами являются глаза.
Действие лазерного излучения может привести к нарушению работы
нервной системы, повредить органы зрения, кожи, нарушить работу сердечно-
сосудистой системы, может привести к распаду или свертыванию крови. При
долговременной или неправильной работе с лазерном изучением, может
повыситься утомляемость, могут появиться головные боли, а также
расстройство сна.
Используемый в эксперименте лазер ГН-15-1 по классификации
находится во втором классе и поэтому не опасен для глаз. Но при намеренном
продолжительном попадании излучения в глаз, лазер может нанести вред
органу зрения.
4.2 Технические решения, минимизирующие риск проявления

опасностей
В санитарных нормах и правилах по эксплуатации лазеров прописано,

что к установке с лазером допускаются только лица, прошедшие инструктаж.
Очки с защитным покрытием стекол из диоксида олова способны обеспечить
защиты от лазерного излучения.
Для защиты человека от поражения электрическим током, причиной
которого зачастую является неисправность проводки необходимо
использовать такие виды защит как, защитное отключение, заземление или
исключить работу с высокими напряжениями, если это является возможным.
Необходимо соблюсти максимальное количество мер, но обязательно не менее
одной. В рамках эксперимента для защиты использовалось защитное
заземление установки [19].
61
4.3 Организационные мероприятия, направленные на
предотвращение опасных ситуаций
Перед тем как приступить к выполнению эксперимента в обязательном

порядке необходимо пройти инструктаж по технике безопасности,
ознакомиться с процедурой оказания первой медицинской помощи. Также
обязательным является изучения паспорта или инструкции по эксплуатации
для используемых в эксперименте приборов.
В случае изменения характера работ необходимо заново проводить
вышеописанные мероприятия.
При работе с лазерным излучением нужно определить опасные зоны.
Если лазеры 3 или 4 классов, зоны опасного излучения нужно оградить
специальным образом, а доступ к установке обозначить специальными
сигнальными вывесками (рисунок 24) или лампочками.
Рисунок 24 – Сигнальная табличка «Лазерное излучение»
Категорически запрещается ставить посторонние предметы с

зеркальным покрытием в зону, где расположено оборудование для проведения
экспериментов. Для защиты органов зрения необходимо использовать
средства индивидуальной и коллективной защиты от лазерного излучения.
62
Необходимо принять меры для предотвращения появлений возгораний и
пожара в результате лазерного излучения.
Необходимо убедиться в целостности проводки используемого
оборудование. Нарушать целостность проводки оборудования категорически
запрещено.
Допускающий к эксперименту должен проверить всех студента или
бригаду студентов на знание техники безопасности и правил работы с
оборудованием или удостовериться в том, что у них есть необходимый допуск,
либо разрешение. Затем допускающий демонстрирует отсутствие напряжения
на участках схемы, где его не должно быть, демонстрирует наличие защитного
заземления или отключения установки. Запрещается оставлять студентов с
установкой без надзора. В случае необходимости уйти, наблюдающий должен
удалить бригаду с помещения, где находится установка.
В экспериментах по исследованию характеристик гибких зеркал был
использован лазер ГН-15-1. Выходная мощность его составляет 15 мВт при
пучке диаметром 1.5 мм. При намеренном облучении глаза лазер способен
нанести повреждения сетчатки, роговицы или хрусталика глаза. Запрещается
наблюдение излучения через линзы, микроскопы и прочую оптику. Излучение
с длиной волны 632.8 нм (излучение лазера ГН-15-1) отлично проникает через
роговую оболочку, хрусталик и водянистое тело лазера. В случае фокусировки
пучка опасность поражения излучением велика. Рефлекс моргания глаза
способен защитить глаз, но при продолжительном излучении высок риск
повреждения органа зрения. Для снижения уровня интенсивности лазерного
излучения необходимо использовать специальные светофильтры.
Лазер ГН-15-1 относится ко 2 классу опасности [20-21].
63
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
Основой адаптивных систем в таких отраслях как медицина, связь на

открытых атмосферных трассах, военная отрасль, системы в области науки,
являются голографические датчики волнового фронта.
Собраны и протестированы: установка для записи голографического

оптического элемента с использованием биморфного зеркала; схема для
формирования волновых фронтов, с использованием мембранного зеркала.
Установка будет использоваться для записи голографических оптических
элементов для голографического датчика волнового фронта.
Во время выполнения работы была рассчитана относительная

погрешность установки с биморфным зеркалом, а также относительная
погрешность мембранного зеркала при задании аббераций волнового фронта
при помощи полиномов Цернике.
Собранный в результате дальнейших работ прототип голографического

датчика волнового фронта позволит измерять десяти мод волнового фронта в
режиме реального времени и без привлечения больших вычислительных
мощностей.
64
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ
1. F.Ghebremichael, Geoff P. Andersen, и Kenneth S. Gurley.

Holography-based wavefront sensing [Электронный ресурс]. The optical society
of America. URL: https://www.osapublishing.org/ao/viewmedia.cfm?uri=ao-47-4-
A62&seq=0 (дата обращения: 15.03.2019).
2. Geoff Andersen, Fassil Ghebremichael and Ken Gurley. Holographic

Wavefront Sensor – Fast Sensing, No Computing [Электронный ресурс]. US Air
Force Academy. URL:
https://pdfs.semanticscholar.org/3d2d/9a147111d567a2321c7a3b5fd50a8b0997c6.
pdf (дата обращения: 15.03.2019).
3. M. A. A. Neil, M. J. Booth, and T. Wilson. New modal wave-front

sensor: a theoretical analysis [Электронный ресурс]. The optical society of
America. URL: https://www.osapublishing.org/josaa/abstract.cfm?uri=josaa-17-6-
1098 (дата обращения: 20.03.2019).
4. F. Ghebremichael, G. Andersen, K. Gurley. Holography-based

wavefront sensing analysis [Электронный ресурс]. The optical society of America.
URL: https://www.osapublishing.org/aop/abstract.cfm?URI=ao-47-4-A62 (дата
обращения: 20.03.2019).
5. Holographic wavefront sensor. G. Andersen, L. Dussan, F.

Ghebremichael, K. Chen. [Электронный ресурс]. The optical society of America.
URL: https://www.osapublishing.org/oe/fulltext.cfm?uri=oe-22-89432&id=283015
(дата обращения: 22.03.2019).
6. A. Zepp, S. Gładysz, K. Stein. Holographic wavefront sensor for fast

defocus measurement [Электронный ресурс]. Adv. Opt. Techn., 2013. URL:
http://www.auniontech.com/ueditor/file/20170921/1505976965135825.pdf (дата
обращения: 24.03.2019).
65
7. P. Marin, A. Zepp, and S. Gladysz. Digital holographic wavefront
sensor, in Imaging and Applied Optics 2015, OSA Technical Digest (online)
(Optical Society of America, 2015), paper AOT2D.1.
8. Fast Autonomous Holographic Adaptive Optics. G. Andersen,

F.Ghebremichael, P. Gelsinger-Austin, K. MacDonald, R. Gaddipati, and
P.Gaddipati – Third AO4ELT Conference, AO4ELT3.19098, 2013.
9. В.Ю. Венедиктов. Голографические датчики волнового фронта.

Изд-во Фотоника, №1/55/2016.
10. B. Kodatskiy, M. Kovalev, P. Malinina et al. Fourier holography in

holographic optical sensors . Proc. SPIE 10002, (2016).
11. Orlov V.V. Holographic mode wavefront sensor with an enlarged

number of measured modes. Quantum Electronics - 2017, Vol. 47, No. 8, pp. 773-
776.
12. Макаров В.А. Формирование заданных волновых фронтов с

помощью гибкого зеркала. Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2017.
13. 37(19) – channel micromachined deformable mirror system: technical

passport, OKO Technologies, 2018.
14. Обработка результатов измерений. [Электронный ресурс]. Физика

преподавателям и студентам. URL: http://teachmen.ru/methods/phys_prac6.php
(дата обращения: 20.04.2019).
15. Действие электрического тока на человека [Электронный ресурс].

Кафедра физики электротехнических материалов и компонентов. URL:
http://ftemk.mpei.ac.ru/bgd/_private/faktory/prodolgit.htm (дата обращения:
24.04.2019).

66
http://ftemk.mpei.ac.ru/bgd/_private/faktory/chastota_rod.htm (дата обращения:
24.04.2019).

http://ftemk.mpei.ac.ru/bgd/_private/faktory/put_toka.htm (дата обращения:
24.04.2019).

http://ftemk.mpei.ac.ru/bgd/_private/faktory/ind_svoistva.html (дата обращения:
24.04.2019).
19. Санитарные нормы и правила: СанПин 5804-91 «Санитарные

нормы и правила устройства и эксплуатации лазеров» - 1991.
20. ГОСТ 31581-2012 «Лазерная безопасность. Общие требования

безопасности при разработке и эксплуатации лазерных изделий» - Москва:
Издательство стандартов, 2015.
21. ГОСТ 12.4.115-82 «Система стандартов безопасности труда

(ССБТ). Средства индивидуальной защиты работающих. Общие требования к
маркировке (с изменениями #1,2)» - 1983.Санитарные нормы и правила:
СанПин 5804-91 «Санитарные нормы и правила устройства и эксплуатации
лазеров» - 1991.
67

Типо диплом PDF

Загружено:

Сведения о документе

Оригинальное название

Авторское право

Доступные форматы

Поделиться этим документом

Поделиться или встроить документ

Параметры публикации

Этот документ был вам полезен?

Это неприемлемый материал?

Авторское право:

Доступные форматы

Типо диплом PDF

Загружено:

Авторское право:

Доступные форматы

Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет

«ЛЭТИ» им. В.И.Ульянова (Ленина)

Направление 12.04.01 - Приборостроение

ВЫПУСКНАЯ КВАЛИФИКАЦИОННАЯ РАБОТА

Руководитель к.т.н., доцент Горелая А.В.

Консультанты доцент Трусов А.О.

Студент Жамалатдинов Д. Группа 3585

Исходные данные (технические требования): исследовать точность

Содержание ВКР: обзор литературы по тематикам управления и измерения

Руководитель к.т.н., доцент Горелая А.В.

Консультант доцент Трусов А.О.

Студент Жамалатдинов Д.З. Группа 3585

Руководитель к.т.н., доцент Горелая А.В.

Консультант доцент Трусов А.О.

Пояснительная записка на 67 стр., 4 ч., 24 рис., 20 таб., 21 ист.

Тема данной выпускной квалификационной работы: «Исследование

Работа велась с целью исследования влияния параметров зеркала в

В результате работы был собран и протестирован прототип

Собранный прототип будет использован в схеме для записи ГОЭ для

Theme of my graduate work: «Research on the effect of the parameters of a

В настоящей пояснительной записке применяют следующие термины с

ДВФ – Датчик волнового фронта

ГОЭ – голографический оптический элемент

ГДВФ – голографический датчик волнового фронта

ПЗС – прибор с зарядовой связью

КМОП – комплементарная структура металл-оксид-проводник

АОС – адаптивная оптическая система

Адаптивные оптические системы работая в режиме реального времени

Ключевой элемент таких систем – датчик волнового фронта. Долгое

Основной и неотъемлемой частью голографического датчика является

Установка, которой посвящена данная выпускная работа, в дальнейшем

1.1 Зональные датчики Шака-Гартмана

Наибольшее распространение среди существующих ДВФ получили

Рисунок 1 – Схема ДВФ Шака-Гартмана

(1 – входящий волновой фронт, 2 – массив микролинз, 3 – фотодетектор

Принцип работы ДВФ Шака-Гартмана состоит в том, что излучение

1.2 Голографические модальные датчики волнового фронта

В задачах, требующих быстрого получения информации о волновом

На рисунке 2 представлен простой случай – обнаружение амплитуды

Рисунок 3 – Входной волновой фронт реконструирует несколько пар

Рисунок 4 – Восстановление нескольких полиномов Цернике

Существует и еще одна более важная проблема, вносящая ограничения.

Рисунок 5 – Адаптивная система без использования вычислений

(СК – светоделительный куб, ДЗ – деформируемое зеркало)

Для данной системы необходимо правильно согласовать размеры зон

2.1 Описание установки

Принципиальная схема установки представлена на рисунке 6. В

Рисунок 6 – Принципиальная схема установки для записи голограмм

(1 – гелий-неоновый лазер, 6,16 – светоделители, 7 – гибкое зеркало, 8 –

На рисунке 7 представлена фотография установки.

2.2 Запись и химическая обработка голограмм

Запись голограммы проводилась в темноте с использованием

Таблица 1 – Интенсивности опорных и диффузного пучков

Благодаря применению фильтров оптимальное время выдержки для

3.0 мм 7.5 мм 12.0 мм

7.5 мм 3+3 с 4+4 с 5+5 с

12.0 мм 6+6 с 8+8 с 8+8 с

Первая голограмма – одиночная, напряжения на гибком зеркале нет.

Из-за ошибки при выставлении диафрагмы при записи произошло

При измерении было обнаружено что голограммы с маленькой

2.3 Измерение интенсивностей сигналов с голограмм

Для проверки стабильности зеркала на нем было задано значение 0.3

Фон при измерениях составил 0.04 (0,06) нА. График зависимости