Министерство образования и науки РФ

Алтайский государственный университет

Факультет физико-технический

В.Н. Седалищев

ФИЗИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ
ИСПОЛЬЗОВАНИЯ КОЛЕБАТЕЛЬНЫХ
И ВОЛНОВЫХ ПРОЦЕССОВ В
ИЗМЕРИТЕЛЬНЫХ УСТРОЙСТВАХ
УЧЕБНОЕ ПОСОБИЕ

Барнаул 2015

© В.Н. Седалищев, 2015

© ФГБОУ ВПО «Алтайский государственный университет», 2015
Об издании – 1, 2
 сведения об издании
УДК 681.5.08
ББК 32.965
С 284

Автор: Виктор Николаевич Седалищев

Рецензенты: доктор педагогических наук, профессор А. А. Веряев,

доктор технических наук, профессор Б. С. Первухин.

С 284 Седалищев В.Н. Физические основы использования колебательных и

волновых процессов в измерительных устройствах: учебное
пособие [Электронный ресурс] / В.Н. Седалищев. – Электрон. текст.
дан. (4,4 Мб). – Барнаул: ФГБОУ ВПО «Алтайский
государственный университет», 2015. – 1 эл. оп. диск (CD-R). –
Систем. требования: PCI, Intel Pentium, 1 ГГц; 256 Мб опер. памяти;
30 Мб свобод. диск. пространства; CD-ROM; ОС Windows XP и
выше; Adobe Reader. – Загл. с экрана.

Учебное электронное издание

Учебное пособие предназначено для студентов, изучающих

дисциплины «Измерительные информационные системы»,
«Микропроцессорные измерительные устройства», а также, может служить
справочным пособием для специалистов, разрабатывающих измерительные
информационные системы.

© В.Н. Седалищев, 2015

© ФГБОУ ВПО «Алтайский государственный университет», 2015
 производственно-технические сведения

Редактор: В. В. Поляков
Верстка: Я. С. Сергеева

Дата подписания к использованию: 01.12.2015

Объем издания: 4,4 Мб

Комплектация издания: 1 эл. оп. диск (CD-R).

Тираж 15 дисков

ФГБОУ ВПО «Алтайский государственный университет»

656049, Барнаул, ул. Ленина, 61
 Оглавление

Введение
Глава 1. Физическая природа и основные закономерности генерации
колебательных и волновых процессов в системах различной природы
1.1 Колебания и особенности их использования для целей измерения
1.1.1 Разновидности колебательных систем
1.1.2 Виды колебаний
1.1.3 Способы представления колебаний
1.1.4 Основные математические соотношения, описывающие
колебательные процессы
1.2 Генерации и распространения волновых процессов в различных средах
1.2.1 Переход от систем с конечным числом степеней свободы к
системам с распределенными параметрами
1.2.2 Общие закономерности генерации и распространения волновых
процессов в различных средах
Контрольные вопросы к главе 1
Глава 2. Принципы построения измерительных устройств, основанных,
на генерации и распространении упругих колебаний и волн в различных
средах
2.1 Особенности генерации и распространения упругих колебаний и волн в
различных средах
2.2 Устройство и принцип работы электромеханических датчиков
2.2.1 Струнные измерительные преобразователи
2.2.2 Пьезорезонансные датчики на объемных волнах
2.2.3 Датчики на поверхностных акустических волнах (ПАВ-датчики)
2.2.4 Примеры практического применения электромеханических
первичных измерительных преобразователей
2.3 Физические основы ультразвуковой измерительной техники
2.3.1 Свойства ультразвука
2.3.2 Излучатели и приемники ультразвука
2.3.3 Методы ультразвуковой дефектоскопии
2.3.4 Способы согласования излучателей и приемников ультразвука со
средой
 2.3.5 Классификация ультразвуковых пьезоэлектрических
преобразователей
2.3.6 Конструктивные особенности пьезоэлектрических
преобразователей
2.3.7 Электромагнитные ультразвуковые преобразователи
2.4 Применение ультразвуковых колебаний и волн для измерения
неэлектрических величин
2.5 Эффекты взаимодействия звуковых волн со средой
2.5.1 Акустокапиллярный эффект
2.5.2 Акустоэммисионный эффект
2.6 Применение упругих колебаний и волн для исследования живых
объектов
2.7 Особенности генерации и распространения гиперзвуковых волн
Контрольные вопросы к главе 2
Глава 3. Физические основы свч и тепловых измерительных устройств
3.1 Общая характеристика видов электромагнитного излучения
3.2 Примеры использования электрических колебательных контуров и
волноводов для целей измерения
3.3 Устройство и принцип работы беспроводных измерительных устройств
СВЧ диапазона
3.4 Исследования и разработка детекторов терагерцевого диапазона
3.5 Принципы построения и особенности функционирования тепловых
измерительных устройств
3.5.1 Общие понятия теории тепловых явлений
3.5.2 Основы теории тепловых измерительных устройств и примеры их
практического использования
Контрольные вопросы к главе 3
Глава 4. Физические основы измерительных преобразователей ик
диапазона
4.1 Общая характеристика излучения ИК диапазона
4.2 Устройство и принцип работы оптических преобразователей
температуры
4.3 Особенности измерения излучения ИК диапазона
4.4 Общая характеристика измерительных устройств ИК диапазона
Контрольные вопросы к главе 4
Глава 5. Физические основы оптоэлектроники
5.1 Элементная база оптоэлектронных приборов и устройств
5.2 Источники электромагнитного излучения оптического диапазона
5.2.1 Источники света общего применения
5.2.2 Квантовые генераторы и усилители
5.2.3 Устройство и принцип работы лазеров
5.3 Фотоприемники оптического диапазона излучения
5.3.1 Фоторезисторы
5.3.2 Фотодиоды
5.3.3 Фотоэлементы
5.3.4 Фототранзисторы
5.3.5 Фототиристоры
5.3.6 Фотоэлектронные умножители
5.3.7 Видиконы
5.3.8 Оптопары, фотодиодные линейки и матрицы
5.3.9 Фоточувствительный прибор с зарядовой связью
Контрольные вопросы к главе 5
Глава 6. Физические основы оптоволоконных измерительных устройств
6.1 Особенности распространения электромагнитных волн в полых
волноводах
6.2 Особенности распространения световых волн в диэлектрическом
волноводе
6.3 Причины ухудшения пропускающей способности оптических волокон
6.4 Волоконно-оптические световоды, кабели, линии связи
6.4.1 Разновидности волоконно-оптических датчиков и области их
применения
6.4.2 Протяженные волоконно-оптические датчики (ВОД)
6.5 Принципы управления оптическими устройствами
6.5.1 Поляризаторы и оптические затворы
6.5.2 Электрооптические кристаллы
6.5.3 Акустооптические кристаллы
6.5.4 Жидкие кристаллы
6.6 Устройства отображения информации
6.6.1 Жидкокристаллические мониторы (LCD)
6.6.2 Плазменные телевизионные панели (PDP)
 6.6.3 Плазменные модули
6.6.4 Светодиодные экраны
6.6.5 Оптоэлектронные индикаторы
Контрольные вопросы к главе 6
Глава 7. Применение в измерительной технике явлений дисперсии,
дифракции и интерференции
7.1 Среды, различающие цвет
7.2 Физические основы интерферометрии
7.2.1 Интерферометр Майкельсона
7.2.2 Интерферометр Рэлея и его модификации
7.2.3 Интерферометр Фабри-Перро
Контрольные вопросы к главе 7
Литература
 Введение

Колебания и волны являются фундаментальными явлениями,

присущими любым реальным физическим, химическим, биологическим и
другим системам. Для получения первичной информации о состоянии
различных объектов с помощью измерительных устройств, основанных на
реализации колебательных и волновых процессов в системах различной
природы, используется большое разнообразие принципов построение
первичных измерительных преобразователей. Для повышения
информативности таких устройств широко используют
высокочувствительные резонансные методы измерения, автоколебательные и
автоволновые процессы в системах с конечным числом степеней свободы и в
системах с распределенными параметрами. При этом в большинстве случаев
реализуются колебательные процессы с малой амплитудой, для которых
выполняется принцип суперпозиции – для аддитивных воздействий
получается аддитивный отклик. Что позволяет для описания физических
процессов в таких устройствах применять упрощенные линейные
математические модели.
Как известно, большинство научных дисциплин выделяют свой
предмет, отправляясь от физической природы исследуемого объекта
(механика, электродинамика, оптика, физика твердого тела и др.).
Принципиальное отличие изложения материала в данном учебном пособии
состоит в том, что изучаемые физические процессы характеризуются
колебательной или волновой динамикой безотносительно к физической
сущности рассматриваемых явлений. В связи с этим в данном учебном
пособии рассматриваются вопросы классификации колебательных и
волновых процессов в различных средах, построения математических
моделей для их описания и выявления закономерностей.
 Глава 1. Физическая природа и основные закономерности генерации
колебательных и волновых процессов в системах различной природы

Одними из самых распространенных типов движения в при роде

являются колебания и волны. Существует единство колебательных и
волновых процессов самой различной природы. Общие свойства реальных
систем устанавливаются на основе анализа их моделей, основной из которых
является осциллятор.

1.1 Колебания и особенности их использования для целей измерения

Говоря о колебаниях, мы имеют в виду движения, явления, процессы,

обладающие свойством хотя бы приблизительной повторяемости во времени.
Объект той или иной физической природы, в котором реализуется
колебательный процесс, называется колебательной системой. О величинах,
изменение которых во времени составляет содержание колебательного
процесса, говорят как о динамических переменных.
Например, в механических системах динамические переменные – это,
чаще всего, координаты и скорости частиц, в электрических – напряжение на
определенных элементах схемы и протекающие через элементы токи, в
химических – концентрации реагирующих компонентов и т.п.

1.1.1 Разновидности колебательных систем

На рисунках 1.1, 1.2, 1.3 приведены примеры различных типов

колебательных систем.

Рисунок 1.1 - Примеры механических и акустических колебательных систем:

маятник (а); пружинный маятник (б); шарик в лунке (в); двойной маятник (г);
камертон (д); резонатор Гельмгольца (е)
 Рисунок 1.2 - Примеры электромагнитных колебательных систем:
колебательный контур (а); тороидальный резонатор (б); отрезок длинной
линии(в)

Рисунок 1.3 - Примеры оптических колебательных систем: открытый

резонатор (а); кольцевой резонатор (б)

1.1.2 Виды колебаний

Колебательные процессы имеют свою специфику. Например, выделяют

следующие виды колебаний (рис. 1.4):

Рисунок 1.4 - Виды колебаний

В самом простом случае, когда зависимость динамической переменной

от времени задается функцией синуса (косинуса), говорят о гармонических
колебаниях:
x  Asin(t   ) . (1.1)
Здесь х – динамическая переменная, постоянная А характеризует
интенсивность, «размах» колебаний и называется амплитудой, величина ω
называется частотой, она связана с периодом колебаний Т соотношением
  2 Т . Величина φ является начальной фазой колебательного процесса.
Приведенное в начале «определение» колебаний очень широкое и
подразумевает дальнейшую конкретизацию и детализацию. Колебания
подразделяются, например, на затухающие, гармонические и
негармонические (ангармонические), релаксационные, квазипериодические,
хаотические и т.п.
Периодические, детерминированные колебания, в свою очередь, также
имеют определенные разновидности.
Свободные (затухающие) колебания и автоколебания (не затухающие)
происходят с максимальной амплитудой на одной из собственных частот
системы:
0 
1 - для электрических,
LC

0 
k - для механических колебательных систем.
m

Вынужденные колебания происходят с частотой, отличающейся от

собственной частоты системы (   0 ). При этом амплитуда колебаний
зависит от добротности системы и относительной расстройки частот.
Например, для электрического контура можно записать:
I 1 (1.2)

I0 1  (2Q ) 2

Частота нелинейных колебаний зависит от амплитуды (х):

k ( x) . (1.3)

m( x )

Параметрические колебания могут возбуждаться в колебательной

системе при периодическом изменении одного из ее параметров. Причем
явление параметрического резонанса устанавливается при совпадении
частоты накачки равной удвоенной собственной частоте контура. Примером
такой системы может служить маятник с периодически изменяемой длиной
нити. В электрическом колебательном контуре для обеспечения
параметрического резонанса можно модулировать, например, емкость:
C  C0  C cos 2 0 t . (1.4)
Релаксационные колебания устанавливаются в системах с низкой
добротностью.
Связанные колебания возбуждаются в системах со многими степенями
свободы. Энергия между взаимодействующими осцилляторами может
передаваться через массу (индуктивность), жесткость (емкость),
сопротивление (резистор). В реальных системах связь в общем случае имеет
инерционно-упруго-диссипативной (индуктивно-емкостно-резистивной)
характер. При этом она может быть внешней, внутренней или смешанной.
Недетерминированные, стохастические колебания в диссипативных
нелинейных системах также могут синхронизироваться. Связанные
колебания в нелинейных системах могут привести к появлению достаточно
сложных нелинейных режимов и являются физической основой всего
многообразия процессов, протекающих в живой и неживой природе
(биологии, технике).

1.1.3 Способы представления колебаний

Используют несколько основных способов представления

колебательных процессов.
Аналитический метод (с помощью дифференциальных уравнений).
Для характеристики амплитуды, скорости и ускорения изменения
соответствующих параметров колебательной системы можно использовать
простые математические соотношения:
x  2x  0 x  0
x  x0 cos(t  0 )
dx (1.5)
v  x   x0 sin(t   0 )
dt
a  x   2 x0 cos(t   0 )
Метод векторных диаграмм отражает пространственное расположение
векторов амплитуды, скорости и ускорения гармонического колебания.
Например, если частоты колебаний двух систем совпадают, а
амплитуды и фазы колебаний различаются, то результирующее колебание с
использованием рассмотренных методов может быть представлено
следующим образом:

x1  x01 cos(t  1 )
x2  x02 cos(t   2 )
x1  x2  x  cos(t   ) (1.6)
õ  x12  x22  2 x1  x2  cos(  t   )
x2 sin  2
tg 
x1  x2 cos 2
 В инженерной практике и научно-исследовательской работе для
представления колебаний широкое применение нашел метод плоских
диаграмм.

В измерительной технике для определения частоты, разности частот,

сдвига фаз, а также для получения низкочастотных колебаний широко
применяют принцип суперпозиции колебаний. При сложении колебаний с
отличающимися частотами возникают биения колебаний:
x1  x0 cos(1t )
x2  x0 cos( 2 t ) (1.7)
1     2
x1  x2  2 x0 cos t cos 1
2 2

Колебания на основной частоте происходят с частотой 1   =  , а

0
2

биения – с частотой 1  2 .
2

Суперпозиция колебаний, отличающихся по частоте, приводит к

появлению биения колебаний с амплитудной модуляцией, зависящей от
соотношения амплитуд. Частота биения колебаний равна разности частот
суммируемых колебаний.
Спектральный метод используют для разложения колебаний на
отдельные составляющие.

Метод фазовых диаграмм (фазовый портрет).

Фазовые траектории позволяют наглядно представить колебания на так
называемой фазовой плоскости в системе координат ( х, х) . Уравнением
фазовой траектории является зависимость:
 х    f (х) , (1.8)
где:  - скорость изменения параметра (х).
Рассмотрим в качестве примера фазовую траекторию гармонического
колебания:
õ  À sin( t   ),
(1.9)
  õ  A cos( t   ).
Параметрическое уравнение фазовой траектории гармонического
колебания имеет вид эллипса с полуосями À и À :
õ2 2 (1.10)
  1.
À 2 ( À ) 2

Направление движения изображающей точки по фазовой траектории в

верхней полуплоскости всегда слева направо (  >0), а в нижней – справа
налево (  <0). Точки пересечения фазовой траектории с осью абсцисс
определяют амплитуду колебаний.

а) б)

в) г)
Рисунок 1.5 - Разновидности фазовых диаграмм, отражающие основные
режимы колебаний: центр (а); фокус (б); узел (в); седло (г)

Семейство фазовых траекторий (рис. 1.5), отражающих всевозможные

движения колебательной системы, называется фазовым портретом
осциллятора. В зависимости от структуры фазовых траекторий различают
следующие основные типы особых точек на фазовой плоскости: центр;
фокус; узел; седло. Особая точка – центр (рис. 1.5а) характерна для фазовых
портретов, отражающих незатухающие колебания. В случае затухающих
колебаний эллипсоидальная фазовая траектория трансформируется в
спираль, тогда особая точка в центре координат называется фокусом (рис.
1.5б). При сильном демпфировании фазовые траектории на плоскости
расходятся, фазовый портрет качественно меняется и принимает вид,
показанный на рисунке. Такая особая точка получила название – узел (рис.
1.5в). Фазовый портрет с особой точкой – седлом показан на следующем
рисунке. Отличительная особенность седла в том, что через особую точку
проходят две вырожденные фазовые траектории, называемые
сепаратрисами. Эта точка отображает неустойчивое равновесие
осциллятора.
В зависимости от соотношения параметров колебательной системы
решение дифференциального уравнения осциллятора может дать различные
семейства кривых на фазовой плоскости в виде эллипса, параболы,
гиперболы (рис. 1.6).

Рисунок 1.6 - Фазовый портрет нелинейной колебательной системы. Фазовые

траектории и портреты применяются для анализа поведения сложных
динамических систем

1.1.4 Основные математические соотношения, описывающие

колебательные процессы

Информативность измерительных устройств зависит не только от

физических свойств материалов, используемых в первичных и вторичных
преобразователях сигналов, принципов формирования и обработки полезного
выходного сигнала, вариантов построения измерительных схем, но также и
от режима работы всех элементов измерительной цепи. Например, можно
обеспечить существенное усиление измерительного сигнала за счет
реализации резонансного режима работы измерительного преобразователя.
Особенностью современного этапа развития технических наук является
исследование и поиск не только новых схемных решений, конструктивных
исполнений технических устройств, но и исследование особенностей
динамики систем различной сложности, оптимизация режимов работы
технических устройств и т.п.
Изучение данного курса основано на последовательном усложнении
структуры и режимов работы средств получения измерительной
информации. Увеличение частоты колебаний в системе сопровождается
усложнением схемы замещения измерительного устройства (его структуры)
и наоборот, усложнение структуры системы приводит к расширению ее
частотного спектра.
Как известно, движения в простейшей колебательной системе
описываются дифференциальным уравнением вида:
x  02 x  0 . (1.11)
Здесь параметр  0 соответствует частоте свободных колебаний в
системе. При анализе динамических процессов в системах различной
сложности их подразделяют на системы с конечным числом степеней
свободы и сплошные среды (системы с сосредоточенными и
распределенными параметрами). В основу построения таких моделей
объектов измерения или измерительных преобразователей положена
структура, состоящая из цепочек взаимодействующих частиц (осцилляторов).
Поэтому электрическим эквивалентом таких систем будут являться системы
взаимосвязанных электрических колебательных контуров. Математическая
модель таких систем представляет собой систему нелинейных
дифференциальных уравнений, описывающих динамику процессов,
устанавливающихся в них в результате внешних воздействий.
Из общей теории колебаний и волн известно, что наибольшая частота
колебаний ( i ), возбуждаемых в такой цепочке, не превышает удвоенную
собственную частоту колебаний отдельного осциллятора i  20 . При
переходе от дискретной модели системы к сплошной среде для описания
динамических процессов используют волновое уравнение:
d2y 2
2 d y dx  2
  ,   , k ,
dt 2 dx 2 dt k 
2
 ,  t  k x  const . (1.12)
T
где c – фазовая скорость распространения возмущения в среде;
k – волновое число (пространственная круговая частота колебаний);
  - длина волны (пространственный период колебаний);
 - круговая частота колебаний во времени;
Т – период колебаний во времени.
Принцип модуляции измеряемой физической величиной параметров
первичных преобразователей, реализующих колебательные или волновые
процессы в системах различной сложности, лежит в основе работы
осцилляторных и волновых измерительных устройств. К их числу относятся
пьезоэлектрические и электромеханические резонаторные преобразователи,
преобразователи с использованием электромагнитных колебательных
контуров, волноводов радиоволнового и СВЧ диапазонов, измерительные
устройства с использованием оптического и ИК диапазонов излучения и др.
В зависимости от режима возбуждения колебаний в таких системах
возможны различные режимы работы.
Например, на рис. 1.7 представлены два варианта воздействия внешней
силы (F) на механическую колебательную систему, состоящую из упруго
подвешенной массы.
Для удобства анализа динамических процессов в таких системах
используют метод электромеханических аналогий, позволяющий
представлять системы любой сложности в виде их эквивалентных
электрических схем замещения (ЭЭСЗ). Резонансу напряжений (резонансу
сил) в таких ЭЭСЗ соответствует встречное направление векторов
напряжений на элементах схем. Режиму резонанса токов в контурах
(резонанс скоростей) соответствует встречное направление токов.

Рисунок 1.7 - Два варианта возбуждения колебаний в механической системе

и соответствующие им ЭЭСЗ
 Первый вариант колебательной системы преобразователя,
представленный на рис. 1.7 обеспечивает возможность реализации в
электромеханической системе режима резонанса сил (напряжений), так как
его ЭЭСЗ представлена в виде последовательного колебательного контура.
Режиму антирезонанса в системе соответствует ЭЭСЗ в виде параллельного
контура, обеспечивающего установление режима резонанса токов в контуре,
что соответствует установлению режим резонанса скоростей в механической
системе.
Таким образом, колебательная система любого первичного
измерительного преобразователя может быть представлена в виде
параллельного или последовательного колебательного контура, содержащего
источник ЭДС, индуктивность, емкость, активное сопротивление.
Дифференциальное уравнение, описывающее динамический процесс в
такой колебательной системе в общем случае, имеет вид:

. (1.13)
При свободном движении или в режиме автоколебаний:

. (1.14)
Стандартная запись уравнения в динамике имеет вид:

(1.15)
В свою очередь, импульсная характеристика такого колебательного
контура может быть описана с помощью следующих выражений:

, , . (1.16)
График изменения амплитуды колебаний во времени, например, при
затухании колебаний будет иметь вид, представленный на рис. 1.8.

Рисунок 1.8 - График изменения амплитуды затухающих колебаний в

системе (t1 - время максимального отклонения)
 Существует много методов для определения параметров
динамического звена. Например, подавая стандартный сигнал (возмущение),
будем наблюдать отклик системы, и сопоставлять его с аналитическими
выражениями, описывающими этот отклик. При этом логарифмический
декремент затухания колебательной системы () можно определить,
используя соотношение:

. (1.17)
Для создания высокочувствительных измерительных устройств
реализуют режим возбуждения колебаний в высокодобротных контурах. При
этом в качестве выходного параметра датчика используют число колебаний,
совершенных в контуре до момента, пока амплитуда колебаний не
уменьшится до 5 % от их начального значения. Как следует из свойств
экспоненциально убывающей функции, которая определяет закон изменения
колебаний при реализации такого режима колебаний в системе, последние
практически затухают через время, равное 3, где  - постоянная времени
колебательного контура. При этом коэффициент относительной
чувствительности датчика численно соответствует добротности контура, то
есть определяется числом совершаемых системой затухающих колебаний
(N):
3 Q
N  3tf 0  3 f Q. (1.18)
T f 0 0
Важно отметить, что в первоначальный момент включения в цепь RLC
- контура гармонической ЭДС, имеющей частоту  (    0 ), амплитудное
значение тока может существенно превышать амплитуду тока в
установившемся режиме. Продолжительность установления колебаний
определяется постоянной времени контура:
Q
 . (1.19)
 f0
Для описания динамических процессов в колебательных контурах
используют безразмерный параметр (  ), характеризующий степень
успокоения системы, и коэффициент передачи звена (К):

, . (1.20)
 При этом переходные процессы в колебательном контуре
характеризуются следующими соотношениями:
а) колебательный процесс (   1 )

; (1.21)
б) критический режим колебаний (   1 )
; (1.22)
в) апериодический процесс (   1 )

. (1.23)
На рис. 1.9 представлены соответствующие графические зависимости.

Рисунок 1.9 - Разновидности динамических характеристик преобразователя:

1- колебательный процесс (β >1); 2 – критический режим (β ≈ 1); 3 –
апериодический процесс (β <1)

Рассматривая зависимость времени затухания переходных процессов в

колебательной системе от значения коэффициента успокоения tуст(), можно
видеть (рис. 1.10), что при  = 0,82 выполняется условие: tуст = tmin.

Рисунок 1.10 - Зависимость времени затухания переходных процессов в

колебательной системе от значения коэффициента успокоения
 Поэтому для обеспечения максимального быстродействия
измерительного устройства стремятся соблюдать выполнение условия 0,6 ≤ 
≤ 1,0.
Для описания колебательные процессы в системе можно получить
следующие аналитические зависимости:
  1 dy
 ,  = , Ê  dx  h , (1.24)
0 0 2Q y h0
x

; ; (1.25)

(1.26)

; ; (1.27)

; ; (1.28)

(1.29)

Рисунок 1.11 - Графики зависимости амплитуды, скорости и ускорения от

частоты колебаний

Как следует из графиков, приведенных на рис. 1.11, напряжение на

индуктивности, емкости и резисторе в электрическом колебательном контуре
достигают своих максимальных значений на разных частотах.

1.2 Генерации и распространения волновых процессов в различных

средах

Как было показано, любые объекты, в том числе, объекты измерения,

измерительные устройства могут быть представлены в самом упрощённом
виде в виде колебательных контуров, содержащих пассивные и активные
элементы. Более точный анализ режимов работы таких устройств связан с
необходимостью усложнения их схем замещения. Например, при увеличении
частоты колебаний в системе приходится производить переход от ЭЭСЗ
преобразователя в виде колебательного контура к системам с конечным
числом степеней свободы, к системам с распределёнными параметрами,
рассматривать при этом не только колебательные, но и волновые процессы. В
связи с этим целесообразно построить изучение динамических процессов,
протекающих в реальных измерительных преобразователях, по мере
усложнения их ЭЭСЗ, производя переход от системы с одной степенью
свободы к системам с конечным числом степеней свободы, а затем к
системам с распределенными параметрами.

1.2.1 Переход от систем с конечным числом степеней свободы к системам

с распределенными параметрами

В соответствии с данным подходом, следующим этапом в изучении

принципов построения и функционирования измерительных устройств
является анализ колебательных систем, состоящих из двух и более
взаимосвязанных осцилляторов. В дальнейшем будет показано, что любая
сложная система путем достаточно простого преобразования координат
может быть сведена к двум не связанным между собой условным
осцилляторам. Такое преобразование позволяет существенно упростить
анализ режимов работы даже сильно нелинейных динамических систем.

Рисунок 1.12 - Колебательные системы взаимосвязанных осцилляторов:

маятников (а) и электрических колебательных контуров (б) с,
соответственно, упругой и емкостной типами связи

Таким образом, любую упорядоченную структуру можно представить в

виде цепочки связанных осцилляторов. Простыми примерами таких структур
могут служить:
  одномерные решетки из одинаковых частиц, расположенных вдоль
прямой на равных расстояниях друг от друга и представляющих собой
грубую модель твердого тела;
 система из акустически связанных механических резонаторов;
 цепочка из электрических колебательных контуров и т.п.

Рисунок 1.13 - Цепочка связанных идентичных маятников

Если в таких одномерных системах воздействовать на один из

элементов, то в таких упорядоченных структурах возникнут волновые
процессы, отражающие перемещение возмущения в пространстве. При этом
волны будут характеризоваться пространственной и временной
периодичностью, длиной волны и частотой, скоростью распространения,
амплитудой и энергией колебания.

Рисунок 1.14 - Распределение амплитуд колебаний осцилляторов вдоль

цепочки для первых трех собственных мод

1.2.2 Общие закономерности генерации и распространения волновых

процессов в различных средах

При синтезе и анализе измерительных устройств, реализующих

волновые процессы необходимо учитывать особенности распространения
волн в различных средах. Например, из общей теории колебаний и волн
известно, что для любой волны с амплитудой А1 , на границе раздела сред с
отличающимися импедансами z1 и z2 происходит разделение на проходящую
волну с амплитудой À2 и отраженную составляющую с амплитудой B1 . При
этом справедливы следующие соотношения:
B1 z1  z 2 , A2 2 z1 . (1.30)
 
A1 z1  z 2 A1 z1  z 2

Из данных формул следует, смещения в падающей и отраженной

волнах при z2  z1 находятся в фазе, а при z2  z1 - в противофазе.
Если z2  z1 , то падающая волна полностью отражается с обращением
фазы, а прошедшая волна отсутствует:
B1 A2
 1 , 0. (1.31)
A1 A1

Если z2  0 , то коэффициенты отражения и прохождения принимают

значения
B1 A2
 1, 2. (1.32)
A1 A1

При этом отраженная волна оказывается в фазе с падающей и имеет

одинаковую с ней амплитуду, а амплитуда прошедшей волны равна
удвоенной амплитуде падающей. Поток энергии падающей волны ( Pi ) равен
сумме потоков энергии отраженной ( Pr ) и прошедшей ( Pt ) волн:
Pi  Pr  Pt . (1.33)
Для энергетических коэффициентов отражения и пропускания
справедливы следующие соотношения:

, . (1.34)
При согласовании импедансов ( z1  z2 ) энергия от границы раздела сред
не отражается.
В случае распространения волны через промежуточный слой среды
чтобы исключить отраженную волну и обеспечить прохождение всей
энергии через две границы раздела сред с импедансами z1 и z3 необходимо
ввести слой согласующей среды толщиной, равной четверти длины волны, и
импедансом z2 , равным среднему геометрическому импедансов согласуемых
сред:
z 2  z1 z3 . (1.35)
Для волн, также свойственны эффекты дисперсии, интерференции,
дифракции. При распространении волн в среде происходит их поглощение и
рассеяние. Степень затухания амплитуд колебаний для разных частот
различна, что обусловливает искажение формы сигнала. Скорость
распространения волны зависит от параметров среды. В общем случае, когда
существование дисперсии зависит от присутствия не зависящих от
параметров волны временных (частотных) и пространственных масштабов,
можно говорить о пространственно-временной дисперсии. При
распространении низкочастотной волн в кристалле, длина которых много
больше постоянной решетки, сигналы распространяются без искажений. Для
высокочастотных волн, длина которых сравнима с постоянной решетки,
имеет место пространственная дисперсия, а постоянная решетки проявляет
себя как пространственный масштаб среды. При интерференции волн в среде
их полная энергия сохраняется, происходит лишь перераспределение энергии
из областей с минимальной интенсивностью в пространственные интервалы,
где локализуются максимумы интерференционной картины.
Как известно уравнение плоской одномерной синусоидальной волны
имеет вид:
x
S  A sin[ (t  )   0 ]
v
Это уравнение отличается от уравнения синусоидальных колебаний
тем, что колеблющая величина S зависит не только от времени, но и от
координаты.
При распространении волны в пространстве от какого-либо источника
происходит распространение энергии; частицы среды, вовлекаемые в
колебательное движение, получают энергию от волны. Скорость переноса
энергии волной есть скорость перемещения в пространстве фиксированной
амплитуды волны. Для простой синусоидальной волны эта скорость
совпадает с фазовой скоростью.
При сложении двух или более синусоидальных волн результирующая
волна в общем случае уже не будет синусоидальной. Рассмотрим, для
примера, процесс сложения двух плоских однонаправленных волн с
одинаковыми амплитудами и разными, но близкими частотами и волновыми
числами:

(1.36)
 Полученная волна не является синусоидальной, так как величина перед
синусом (амплитуда волны) меняется со временем и координатой. Однако,
если на длине волны (и в течение периода) её изменения малы (что имеет
место при малых dk и dω), волна ещё похожа на синусоиду; её иногда
называют квазисинусоидальной. График этой волны представляет собой то,
что в теории колебаний называют биениями; но при этом биения происходят
не только во времени, но и в пространстве. Таким образом, в результате
суперпозиции нескольких синусоидальных волн образуется
несинусоидальная волна с определенным набором частот и волновых чисел.
За скорость распространения такой волны в пространстве берётся скорость
распространения фиксированной амплитуды. Но если в случае простой
синусоидальной волны эта скорость совпадает со скоростью
распространения фиксированной фазы (фазовая скорость), то в случае
сложной несинусоидальной волны сама амплитуда зависит от времени и
координаты.
Амплитуда сложной волны определяется выражением:
td  xdk
A  2 A0 cos( )
2 (1.37)
Фиксированная амплитуда А будет удовлетворять условию:
td  xdk  const (1.38)
Взяв полный дифференциал от этого выражения, получим:
dtd  dxdk  0 (1.39)
Скорость распространения фиксированной амплитуды в
несинусоидальной волне:
dx d
 ãð   (1.40)
dt dk
является групповой скоростью волны и в общем случае отличается от
фазовой скорости:

ô  (1.41)
k
Связь между этими скоростями можно легко получить, учтя
зависимость частоты и волнового числа от длины волны:
dô
 ãð  ô   . (1.42)
d
 Таким образом, среда называется диспергирующей, если в ней волны
разной длины распространяются с разной скоростью. Зависимость скорости
волны (фазовой) от длины волны (частоты) называется дисперсией.
Групповая скорость совпадает с фазовой только в недиспергирующих
средах, где все составляющие сложной волны перемещаются с одинаковой
скоростью, при этом результирующая волна не меняет своей формы. Для
монохроматической волны фазовая и групповая скорости всегда совпадают,
даже в диспергирующих средах.
Фазовая скорость есть чисто абстрактное математическое понятие, так
как не связана с перемещением в пространстве чего-либо материального.
Групповая скорость связана с перемещением в пространстве возмущения
фиксированной амплитуды; поскольку энергия волны связана с её
амплитудой, групповая скорость есть скорость распространения энергии в
пространстве. В общем случае фазовая скорость, например,
электромагнитной волны, может превышать скорость света в среде,
групповая же скорость всегда меньше либо равна скорости света.
Волны бывают бегущие и стоячие. Бегущими называются волны,
переносящие энергию в пространстве. Стоячие волны образуются в
результате суперпозиции двух одинаковых бегущих (друг другу навстречу)
волн.
В измерительной технике широко применяют эффект Доплера. Суть
его заключается в том, что вследствие перемещения источника и приемника
волн относительно друг друга происходит изменение частоты (длины) волны,
регистрируемой приемником. Если приёмник неподвижен, он регистрирует
ту же частоту волны, которую генерирует источник. Если, например,
приёмник движется с постоянной скоростью, то расстояние, пройденное
волной, изменится, при этом соответственно изменится и частота
принимаемых сигналов. Поскольку длина волны, регистрируемая
приемником:
  0  u прT0
, (1.43)
её легко пересчитать в частоту f:
v f0
f  
 u пр
1
v (1.44)
 В случае реальной среды наблюдается поглощение волн (так называется
затухание волны в пространстве); механическая энергия колеблющихся
частиц переходит во внутреннюю, тепловую энергию среды. При
распространении гармонической (синусоидальной) волны частицы среды
совершают гармонические (синусоидальные) колебания.
Интерференция волн – это такое наложение волн, при котором
происходит устойчивое во времени и в зависимости от соотношения между
фазами этих волн усиление амплитуды колебаний в одних точках
пространства и ослабление в других.
Необходимые условия для наблюдения интерференции:
 волны должны иметь одинаковые (или близкие) частоты, чтобы
картина, получающаяся в результате наложения волн, не менялась во
времени (или менялась не очень быстро, что бы её можно было успеть
зарегистрировать);
 волны должны быть однонаправленными (или иметь близкое
направление), так как, например, две перпендикулярные волны никогда не
дадут интерференции.
Иными словами, складываемые волны должны иметь одинаковые
волновые векторы (или близконаправленные). Волны, для которых
выполняются эти два условия, являются когерентными. Первое условие
иногда называют временной когерентностью, второе - пространственной
когерентностью.
Частным случаем интерференции является суперпозиция двух
одинаковые волн, распространяющихся навстречу друг другу. При этом
результирующая волна имеет следующие особенности:
 отсутствует поток энергии в результирующей волне (суммарный
поток равен нулю);
 точки волны с фиксированной амплитудой не перемещаются в
пространстве, а пульсируют в пределах половины длины волны.
В пространстве, занятом стоячей волной, образуются так называемые
узлы и пучности. Узлы - это области невозмущенного пространства,
расстояние между узлами равно половине длины простой волны (это
расстояние принимается за длину стоячей волны). Пучности стоячей волны -
это точки пространства, в которых колебания происходят с максимальной
амплитудой.
Стоячие волны можно наблюдать, например, на стержне, один или оба
конца которого закреплены. Представление о стоячей волне на стержне с
закреплёнными концами даёт следующий рисунок.

Рисунок 1.15 - Образование стоячей волны в стержне с закрепленными

концами

Рассмотрим стоячие волны в самом общем случае. Сложим две

одинаковые волны, распространяющиеся навстречу друг другу:
s1  A sin(t  kx) , (1.45)
s 2  A sin(t  kx   ) , (1.45)
 
s  s1  s 2  2 A cos(kx  ) sin(t  )
2 (1.47) 2 ,
где α - разность фаз двух волн (в каждой точке пространства она
одинакова).
Видно, что в результате сложения зависимости от координаты и
времени разделились. Амплитуда стоячей волны стала, в отличие от
амплитуды бегущей волны, периодической функцией только координаты

Aст  2 A cos(kx  )
2 . (1.48)
Выражения, соответственно, для узлов и пучностей стоячей волны
принимают следующий вид:
 
kx   (2m  1)
2 2 , (1.49)

kx   m
2
. (1.50)
Если один или оба конца тела, в котором возбуждаются стоячие волны,
закреплены, то α = π.
Если оба конца струны закреплены, то на концах стержня, естественно,
располагаются узлы стоячей волны. В режиме автоколебаний стержня по его
длине укладывается целое число длин стоячих волн:
 L
ст _ n 
n (1.51)
Таким образом, каждый объект характеризуется своим дискретным
набором (спектром) длин стоячих волн (частот). Частоты, возбуждаемые в
таких объектах, называются его собственными частотами. При изменении
параметров объекта изменяется и его набор собственных частот.
Ограниченную среду или тела, в которых возбуждаются стоячие волны
(стержень, струна и т.п.) называют колебательной системой, так при этом
больше физического сходства с колебаниями вибраторов, чем с волнами в
открытом пространстве. В частности, существует понятие резонанса для
таких систем - эффективно возбуждаются только те волны, которые
удовлетворяют описанному условию.

Контрольные вопросы к главе 1

1. Какие особые точки фазового портрета относятся к состояниям
устойчивого и неустойчивого равновесия?
2. Как зависит амплитуда и фаза скорости (тока) осциллятора от частоты
внешнего воздействия?
3. Поясните зависимость амплитуды и фазы смещения (заряда) от
частоты.
4. Почему скорость, ускорение и амплитуда колебаний достигают
максимальных значений на разных частотах?
5. В чем суть перехода колебаний в системах с конечным числом
степеней свободы к волновым процессам в системах с
распределенными параметрами?
6. Что такое акустический импеданс среды?
7. Проведите аналогию между согласованием импедансов двух сред с
согласованием импедансов нагрузки и линии передачи.
8. Поясните физическую природу дисперсионных явлений при
распространении волн в дискретных и сплошных средах.
9. Может ли групповая скорость быть больше фазовой?
10. Что такое пространственная и временная когерентность волн?
Глава 2. Принципы построения измерительных устройств, основанных,
на генерации и распространении упругих колебаний и волн в различных
средах

При воздействии на любую физическую систему в ней возбуждаются

динамические переходные процессы. В зависимости от соотношения частоты
возмущения с собственной частотой системы могут устанавливаться
свободные или вынужденные колебания, а в зависимости от соотношения
размеров элементов системы с длиной волны возмущения могут принимать
вид бегущей или стоячей волны. Использование резонансных колебательных
или волновых процессов в измерительных устройствах с согласованными
размерами обеспечивает их высокую чувствительность. Первичными
измерительными преобразователями при этом могут служить электрические
контуры, механические, электромеханические или оптические резонаторы,
протяженные линии и т.п. Модулируемыми характеристиками таких
устройств могут являться параметры элементов колебательных систем
первичных преобразователей, параметры канала передачи измерительного
сигнала. Соответственно, колебания и волны при этом будут называться
электромагнитными, акустическими, механическими, химическими,
гравитационными и т.п. Измерительные устройства, реализующие
колебательные и волновые процессы различной природы могут иметь
амплитудный, частотный и фазовый выход.
Колебательные и волновые процессы могут происходить в структурах
различной сложности: в атомах, молекулах, макромолекулах, доменах,
кластерах и т.п. Чем выше частота колебаний в системе, тем выше
добротность колебательного контура, тем выше может быть достигнута
разрешающая способность измерительного устройства. Поэтому наиболее
чувствительными и точными являются высокочастотные преобразователи,
например, ультразвуковые преобразователи, СВЧ и оптического диапазона.
С появлением современных материалов, новых технологий и
возможностей совершенствования устройств, за счет широкого
использования микропроцессорной техники, были разработаны новые типы
измерительных преобразователей, как миниатюрных, элегантных моделей,
так и датчиков, способные надежно работать в жестких условиях. С их
помощью можно производить измерения массы, потоков жидких и
газообразных сред, вязкости, уровня, давления, усилий, ускорений и т.п.
В связи с развитием полупроводниковых технологий, используемых
для создания измерительных преобразователей, появился повышенный
интерес к микросенсорам, использующим резонансные режимы работы.
Такие устройства характеризуются не только высокой чувствительностью, но
и дешевизной при серийном их производстве.
Как правило, чувствительными элементами электромеханических
датчиков являются провода, стержни, цилиндры и т.п. Поскольку выходным
сигналом таких устройств, чаще всего, является частота колебаний, то
проблемы с шумами, помехами значительно уменьшаются при прямой
обработке сигнала. Такие устройства чаще всего работают в резонансном
режиме, поэтому потребляемая мощность не велика. Основным их
недостатком является температурный дрейф резонансной частоты вибратора,
что приводит к нелинейной зависимости выходного сигнала от измеряемой
величины.
Колебательный процесс в таких устройствах может быть реализован
двумя способами:
 гармонический (энергия переносится от одного накопителя к
другому в течение цикла, потери компенсируются источником питания);
 релаксационный (используется только один накопитель энергии,
энергия запасается во время импульса и выделяется в виде колебаний).
Чувствительная часть колебательной структуры может находиться в
одной точке или малой области (сосредоточенная), как в случае пружины,
груза и демпфера, или распределяться по всей структуре (распределенная),
как в продольно вибрирующей пластине.
В настоящее время используют электромеханические резонаторы с
электрическим (пьезоэлектрические, электрострикционные), магнитным
(магнитострикционные) и тепловым возбуждением колебаний. Наибольшее
распространение получили пьезорезонансные датчики. Модулируемыми
величинами таких устройств являются не только параметры ЭЭСЗ
пьезорезонатора, но и параметры окружающей его среды, что существенно
расширяет область применения измерительных устройств на их основе.
2.1 Особенности генерации и распространения упругих колебаний и
волн в различных средах

Механические колебания частиц упругой среды, распространяющиеся

в виде волн в газообразной, жидкой или твердой средах, подразделяются на:
 инфразвук c частотой колебаний до 16 Гц;
 слышимый звук c частотой колебаний от 16 Гц до 20 кГц;
 ультразвук c частотой колебаний от 20 кГц до 1 ГГц;
 гиперзвук c частотой колебаний более 1 ГГц.
Исследования особенностей генерации и распространения упругих
колебаний и волн в частотном диапазоне 0  1013 Гц, их взаимодействия с
различными средами, относящимися к объектам как живой, так и неживой
природы проводятся в различных областях науки и техники.
Среда называется упругой или линейной, если её деформация
пропорциональна приложенной силе (аналогично закону Гука). Упругими,
или механическими волнами называются механические возмущения
(деформации), распространяющиеся в упругих средах. Упругие волны часто
называют звуковыми волнами. Волна называется продольной, если частицы
среды колеблются в направлении распространения волны, или поперечной,
если частицы среды колеблются перпендикулярно распространению волны.
Поверхностные волны наблюдаются на свободной поверхности жидкостей,
твердых тел. При распространении такой волны частицы среды колеблются
как вдоль, так и поперёк направлению распространения волны.
Существует достаточно большое разнообразие различных по своей
физической природе способов генерации механических колебаний (волн).
Наибольшее практическое применение получили следующие способы
генерации инфра- и низкочастотных, а также звуковых, ультразвуковых и
гиперзвуковых колебаний:
 механические;
 электромагнитные;
 магнитострикционные;
 пьезоэлектрические;
 электрострикционные;
 тепловые.
 Первые в основном применяются для возбуждения звуковых колебаний
в газообразных средах (частота колебаний находится в диапазоне от единиц
герц до нескольких кГц).
К механическим методам получения ультразвуковых колебаний
относятся сирены, газоструйные генераторы, электромеханические
устройства. При воздействии большой мощности ультразвука на различные
среды проявляются различные эффекты, например: клочок ваты,
подвергаемый воздействию ультразвука, сгорает в течение нескольких
секунд; стальные стружки нагреваются докрасна; в жидкости возникает
кавитация и пр.
Для возбуждения ультразвуковых колебаний в жидких и твердых
средах в качестве электромеханических преобразователей энергии
применяют излучатели, основанные на магнитострикционном или
пьезоэлектрическом эффекте (частота колебаний может достигать
нескольких МГц).
В общем случае физическая природа генерации механических
колебаний в различных средах может быть самой разнообразной. Например,
при внезапном нагреве (тепловом ударе) поверхности тела возникают
механические напряжения в материале. При этом излучаются звуковые
волны, а также ударные волны с длительностью до наносекунд. Например,
для получения ультразвука и гиперзвука используют лазер. С его помощью
можно получать волны определенных типов с большого расстояния под
разными углами. Регулируя диаметр луча лазера можно получить
сферические и плоские волны. При этом температура тела не оказывает
заметного влияния на процесс возбуждения звуковых волн.
В зависимости от структуры среды и способа генерации возмущения
могут генерироваться различные типы акустических волн. При
распространении волны энергия периодически преобразуется из
потенциальной в кинетическую. Если колебания частиц среды происходят
около точки их равновесия, то переноса вещества в пространстве нет.
В газах и жидкостях могут распространяться в основном только
продольные волны, а в твердых телах могут генерироваться и возникать
комбинации различных типов волн: продольных, поперечных, сдвиговых,
изгибных, крутильных, поверхностных, объемных и др. По форме волны
могут быть плоскими, сферическими, цилиндрическими.
 Для определения скорости распространения акустических волн в
различных средах используют следующие соотношения:
г 
 Р - в газе ( Р - давление в среде,  - плотность среды,  - отношение


удельных теплоемкостей при постоянном давлении и объеме);

 - в твердом теле (  - модуль Юнга материала);
ò 


 - в жидкости (  - адиабатическая сжимаемость среды).

æ 
 

Как следует из приведенных формул, скорость распространения

акустических волн в различных средах зависит от многих факторов.
Например, скорость распространения волн в газах будет пропорциональна
давлению, температуре и обратно пропорциональна плотности, молярной
массе вещества:
P  ср  k T k T
г   ; P
 ; г  . (2.1)
  сv   M M

С увеличением частоты колебаний скорость распространения

акустических волн возрастает. Скорость распространения упругих
деформаций в твердых телах зависит от типа волны:
 прод. > поперечн >  поверхн >  изгибн . (2.2)

2.2 Устройство и принцип работы электромеханических датчиков

Электромеханические датчики широко распространены,

характеризуются высокой точностью измерений, надежны в работе, имеют не
высокую стоимость, просты в изготовлении. К датчикам, реализующим
резонансный режим работы относятся струнные датчики, пьезорезонансные
датчики, пьезоэлектрические ПАВ-датчики, магнитострикционные и т.п.

2.2.1 Струнные измерительные преобразователи

Для преобразования неэлектрических величин в частоту получили

струнные датчики. Принцип действия струнного датчика основан на
реализации функциональной зависимости собственной частоты колебаний
натянутой струны и массой от силы натяжения F:
 (2.3)
где ρ и E — соответственно плотность и модуль упругости материала
струны.
Струнные датчики используются в приборах для измерения силы,
давления, расхода, температуры и др. При воздействии на струну измеряемой
силы струна практически не растягивается, поэтому первичный
преобразователь (например, мембрана в датчик давления) работает, почти не
деформируясь. Это обстоятельства существенно снижает погрешность
измерения из-за механического гистерезиса и упругого последействия
материала первичного преобразователя.
Основные элементы струнного датчика: механическая система со
струной (струнами) и вторичный преобразователь (обычно
электромагнитного или магнитоэлектрического типа), преобразующий
изменение частоты колебаний механической системы в изменение параметра
электрической цепи.

Рисунок 2.1 - Схемы устройства струнных датчиков:

а — однострунного;
б — дифференциального (1 — струна; 2 — корпус; 3 — выходной
преобразователь, е — ЭДС на выходе преобразователя; 4 — мембрана; 5 —
пружина; 6 — выходной сигнал; р и F — измеряемые параметры)

Струнные датчики подразделяются на однострунные и

дифференциальные, имеющие две идентичные струны. Дифференциальное
включение струн позволяет значительно уменьшить влияние окружающей
среды на результаты преобразования входного параметра. Основным
недостатком однострунных датчиков является сильная нелинейность
статической характеристики. У дифференциальных струнных датчиков
нелинейность статической характеристики значительно меньше. Точность
преобразования таких датчиков увеличивается, если основной составляющей
жёсткости механической системы является жёсткость струны.
Для преобразования механических колебаний струны в выходной
электрический сигнал датчика применяют электромагнитный
преобразователь. Такой преобразователь может попеременно выполнять
функции то возбудителя и приемника колебаний струны. При подаче на
обмотку датчика электрического сигнала электромагнитная сила притяжения
струны возбуждает ее колебания. А когда струна уже колеблется, то с этой
же обмотки снимается переменное напряжение, частота которого равна
частоте колебаний струны.
Струнные датчики используются в автогенераторном режиме и в
режиме работы по запросу. В первом случае струна постоянно колеблется, а
во втором — работает в более легких условиях, срок службы ее
увеличивается и датчик получается несколько проще.
Для обеспечения требуемой точности, чувствительности и надежности
струнных датчиков необходимо выбрать соответствующий материал струны.
Этот выбор определяется как условиям применения датчика, так и способом
возбуждения колебаний струны. К материалу струны предъявляются
следующие требования: высокая прочность при вибрационных нагрузках,
определенное значение температурного коэффициента линейного
расширения (либо малое, либо равное коэффициенту конструкционного
материала датчика), независимость упругих свойств от времени и
температуры.
Для изготовления струны применяют как ферромагнитные, так и
неферромагнитные материалы. При использовании ферромагнитной струны
используют электромагнитное возбуждение колебаний. Под действием тока,
протекающего по обмотке неподвижного электромагнита, к струне
прикладывается сила притяжения, выводящая ее из состояния покоя. При
использовании неферромагнитной струны применяются
магнитоэлектрические возбудители колебаний. При пропускании через
струну тока она испытывает силу притяжении или отталкивания к полюсам
постоянного магнита.
Наибольшее распространение в струнных датчиках с
электромагнитным возбуждением получили стальные струны из круглой
рояльной проволоки диаметром 0,1 — 0,3 мм. При длине в 40 — 60 мм в
таких струнах возбуждаются колебания с частотой 700—2000 Гц. В
последнее время используются более гибкие и поддающиеся более
надежному креплению стальные ленты толщиной 0,08 — 0,1 мм и шириной 1
— 2 мм. Частота колебаний стальной ленты достигает 3 кГц и выше.
Стальные струны и ленты работают в режиме заданной длины. В этом
режиме струна крепится к относительно пассивному упругому первичному
преобразователю, изготовленному также из стали. Одинаковый
температурный коэффициент линейного расширения материала струны и
материала конструкции датчика позволяет уменьшить температурную
погрешность. В этом режиме струна очень чувствительна к нестабильности
крепления, а при использовании неферромагнитных струн обычно требуется
изолировать хотя бы один из концов струны, что ухудшает механическую
стабильность крепления. Поэтому неферромагнитные струны обычно
используют в режиме заданной силы. В качестве материала применяют
бериллиевую бронзу, вольфрамовые сплавы, а также специальный
железокобальтовый сплав. Струны из вольфрамовых сплавов бывают как
круглыми, так и ленточными.
При выборе размеров струны исходят из следующих противоречивых
требований. При малой длине уменьшаются габариты датчиков, повышаются
чувствительность и виброустойчивость. Однако при этом увеличивается
погрешность из-за несовершенства крепления и влияния собственной
жесткости струны. Для обеспечения малой погрешности от собственной
жесткости следует стремиться к выполнению условия:
L/d ≥ 300÷500,
где L — длина струны, d — диаметр круглой или толщина ленточной
струны.
Обычно не рекомендуется выбирать длину струны менее 20 мм.
Сечение струны выбирается по требуемому пределу изменения натяжения и
целесообразному механическому напряжению в струне. Например, для
бронзы рекомендуется выбирать напряжение не более 0,5% от модуля
упругости.
Конструкция и материал крепления струны играют первостепенную
роль для обеспечения стабильности работы струнного датчика. При малых
механических напряжениях используют способы крепления с помощью
винта. Ленточные струны закрепляют между двумя хорошо обработанными и
подогнанными параллельными плоскостями. Для высокоточных датчиков
применяют более сложные конструкции крепления струны. Для снятия
механических напряжений при установке крепления используют
температурное старение в виде нескольких циклов нагрева до 80 — 1000° С
(по 4 — 8 ч каждый).
С помощью струнных датчиков измеряют силу, давление,
перемещение, ускорение, температуру и другие неэлектрические величины.
Диапазон изменения выходного сигнала (частоты) таких датчиков составляет
300—500 Гц. Для исключения помех промышленной частоты стремятся
увеличить минимальное значение частоты. Высокая частота облегчает
преобразование ее в цифровой код. Например, для получения погрешности
дискретности счета, не превышающей 0,1%, при частоте в 1000 Гц
достаточно производить счет импульсов выходного сигнала датчика в
течение 1 с.

2.2.2 Пьезорезонансные датчики на объемных волнах

Принцип работы пьезорезонансных датчиков (ПРД) основан на

реализации функциональной зависимости параметров колебательной
системы пьезоэлемента, возбуждаемого на частоте в окрестностях его
механического резонанса. Эквивалентная электрическая схема замещения
(ЭЭЗС) такого преобразователя содержит дополнительные элементы,
характеризующие параметры его механической колебательной системы:

Рисунок 2.2 - Эквивалентная электрическая схема замещения

пьезорезонатора и его амплитудно-частотная характеристика

1 L мех
L мех ~ mэ , С мех ~ 1 K жёст , 0  , Q , (2.4)
L0  C0 R мех

где Q – добротность пьезорезонатора.

 Аномалии АЧХ пьезорезонатора обусловлены наличием резонансной
частоты колебаний (резонанс скоростей):
1 , (2.5)
 мех 
Lm  C m

а также антирезонансной частоты (резонанс механических напряжений

в теле пьезоэлемента):
1 С . (2.6)
 мех  1 m
Lm  Cm C0

Управляя эквивалентной ёмкостью пьезорезонансного преобразователя

( C экв ) можно обеспечить его термо – или тензочувствительность. Можно
также управлять акусто- или массчувствительностью такого преобразователя.
Использование дополнительных обкладок на поверхности
пьезоэлемента значительно расширяет их функциональные и
эксплуатационные возможности. Например, на основе пьезорезонаторов с
системами дополнительных обкладок на их поверхности создают
пьезоэлектрические трансформаторы тока и напряжения, позволяющих
производить усиление сигнала по напряжению и току в тысячи раз, создавать
высокочувствительные измерительные преобразователи на их основе.
Выходное напряжение такого преобразователя зависит от величины
добротности его колебательной системы:
U вых кТР  Uвх  а  Q  U вх (2.7)
Путем демпфирования резонанса электрическим способом, например,
за счет использования дополнительных отрицательных обратных связей
удается существенно расширить частотный диапазон датчиков генераторного
типа, линеаризовать их рабочие характеристики.
В настоящее время пьезотехника продолжает достаточно интенсивно
развиваться, расширяются возможности контрольно-измерительных и
технологических устройств на их основе, область их практического
применения. При этом приходится решать ряд достаточно трудных задач.
Например, при создании пьезорезонансных измерительных устройств
существует проблема акустической развязки колебательной системы
преобразователя с элементами конструкции датчика. Для ее решения
разрабатывают специальные конструкции первичных измерительных
преобразователей, используют принцип локализации колебательной энергии
резонатора в его подэлектродной области и т.п.
 К достоинствам пьезорезонансных датчиков можно отнести высокую
чувствительность, быстродействие, широкий набор модулируемых
параметров.
Первые попытки создания ПРД предпринимались еще в 40-х годах, но
широкое применение в технике нашли только в 60-х годах. Техника ПРД
постоянно совершенствуется. В последние годы были разработаны новые
типы пьезоэлектрических датчиков, например, на поверхностных
акустических волнах (ПАВ-датчики), с использованием связанных колебаний
в системах с конечным числом степеней свободы (МСК - датчики). На основе
реализации связанных колебаний в сложных пьезорезонансных структурах
разрабатывают высокочувствительные устройства, применимые для тяжелых
условий эксплуатации.
С начала 70-х годов стали применять пьезорезонансные
преобразователи на объемных волнах в кварце (рис. 2.5), а затем и в
пьезокерамике.

Рисунок 2.3 - Основные типы колебаний резонаторов:

а – продольные колебания (по длине),
б – радиальные колебания дисков,
в – колебания сдвига по толщине,
г – колебания сдвига по контуру, д – колебания изгиба

Основным достоинством таких датчиков является высокая

чувствительность. Например, с помощью пьезокварцевых микровесов
обеспечивают измерения на уровне нанограмм. Для создания биосенсоров,
предназначенные для работы в газах, в растворах разрабатывают
биологически активные покрытия пьезорезонаторов.
В последние годы появились новые типы пьезоэлектрических
первичных преобразователей, основанные на возбуждении и взаимодействии
различных мод колебаний в сложных конструкциях пьезорезонаторов.
Возбуждение многомодовых колебаний производится от двух и более
генераторов, работающих одновременно. Анизотропия свойств различных
мод и типов колебаний внутри монолоитных пьезорезонаторов позволяет
создавать на их основе дифференциальные типы датчиков различных
физических величин.
Перспективным является использование режимов взаимодействия
объемных и поверхностных волн в пьезоэлементах и составных
пьезорезонаторах. В устройствах данного типа нашло применение явление
образования вращающихся акустических зон на поверхностях твердых тел в
результате взаимодействия объемных и поверхностных волн. Для этой цели
используют вибраторы специальной конструкции с определенными
соотношениями геометрических размеров. В настоящее время физика
образования вращающихся акустических зон еще недостаточно изучена.
Теоретическое объяснение этого явления, очевидно, потребует достаточно
сложного математического описания с помощью трехмерных волновых
уравнений.
Для улучшения метрологических характеристик пьезоэлектрических
преобразователей используют определенные схемные решения,
позволяющие улучшить технические характеристики таких устройств,
расширить их возможности. Например, за счет реализации связей между
дополнительными обкладками и электрической схемой возбуждения
колебаний пьезоэлемента удалось получить практическую плоскую АЧХ
пьезопреобразователя. Устройства такого типа используют в качестве
пьезоприемников акустических сигналов с широким диапазоном частот.
В настоящее время в качестве управляющего и чувствительного
элементов датчиков используют пьезоэлектрические преобразователи на
основе толстых пьезоэлектрических пленок, наносимых на
полупроводниковые пластины. Для производства таких пленок используют
технологии интегральных схем. Это позволяет объединить на одном чипе
чувствительный элемент и микропроцессорный блок обработки первичной
измерительной информации.
Преобразователи, использующие прямой пьезоэффект, применяются в
приборах для измерения силы, давления, ускорения. Преобразователи,
выполненные из материалов, обладающих пироэффектом, могут быть
использованы для измерений тепловой радиации. Преобразователи,
использующие обратный пьезоэффект, применяются в качестве излучателей
ультразвуковых колебаний, в качестве преобразователей напряжения в
деформацию, например, в пьезоэлектрических реле, пьезовибраторах
осциллографов, в качестве обратных преобразователей приборов урав-
новешивания и т. д. Преобразователи, использующие одновременно прямой
и обратный пьезоэффекты, — пьезорезонаторы, имеющие максимальный
коэффициент преобразования одного вида энергии в другой на резонансной
частоте и резко уменьшающийся коэффициент преобразования при
отступлении от резонансной частоты (т. е. высокую добротность), —
используются в качестве фильтров, пропускающих очень узкую полосу
частот.
Пьезорезонаторы, включенные в цепь положительной обратной связи
усилителя, работают в режиме автоколебаний и используются в генераторах.
В зависимости от типа кристалла, среза и типа возбуждаемых колебаний
пьезорезонаторы могут выполняться с высокостабильной, не зависящей от
внешних факторов собственной частотой и с управляемой собственной
частотой. Управляемые резонаторы используются в частотно-цифровых
приборах как преобразователи различных, преимущественно неэлектричес-
ких величин (температура, давление, ускорение и т. д.) в частоту.
Пьезоэлектрические генераторы могут применяться и как амплитудные
преобразователи, работая в режиме изменения добротности, например, для
фиксации соприкосновения колеблющегося кристалла с каким-либо телом.
Пьезоэлементы, кроме того, используются в твердых схемах, заменяющих
собой целый ряд электронных устройств.
В настоящее время наиболее широкое распространение получили
преобразователи температуры, усилий, давлений, ускорений и обратные
преобразователи электрического напряжения в перемещение.
Погрешности пьезоэлектрических преобразователей складываются
прежде всего из погрешности от изменения параметров измерительной цепи,
температурной погрешности, вызываемой изменением пьезоэлектрической
постоянной, погрешности вследствие неправильной установки пластин,
погрешности из-за чувствительности к силам, действующим перпендику-
лярно измерительной оси преобразователя, и частотной погрешности.
Верхняя граница допустимого частотного диапазона определяется в
основном механическими параметрами преобразователя.
2.2.3 Датчики на поверхностных акустических волнах (ПАВ-датчики)

В настоящее время все более широкое распространение получают

первичные измерительные преобразователи, основанные на использовании
поверхностных акустических волн (ПАВ-датчики).
Поверхностные акустические волны (волны Рэлея) – это механические
волны, распространяющиеся вблизи поверхности твердого тела. Они
возбуждаются на поверхности и затухают при распространении вглубь
кристалла, эффективно проникая лишь на глубину длины волны. Хотя
скорость распространения волны примерно такая же, как у объемной моды и
лежит в пределах (3,8 - 4,2)·10³ м/с, частота колебаний значительно выше (так
как колебательный размер мал). Устройства на ПАВ могут работать до
частот в несколько гигагерц. Так как чувствительность зависит от
относительного изменения частоты, то работа на высоких частотах
обеспечивает высокую чувствительность измерительных устройств с
частотным выходом, реализующим дифференциальный принцип выделения
выходного сигнала.
Достоинством работы в СВЧ диапазоне является также возможность
создания беспроводных датчиков для дистанционных измерений. Мощность
к такому датчику, снабженному антенной, может подаваться с приходящим
электромагнитным излучением, а обратный сигнал несет информацию об
измеряемой физической величине.
Принцип работы датчиков на основе ПАВ заключается в том, что
измеряемый параметр влияет на скорость распространения волны, что в свою
очередь вызывает изменение временного интервала между входным и
выходным сигналами.
Размеры прибора обычно составляют несколько квадратных
миллиметров. Явление пьезоэффекта используется для активации устройства
и получения отклика от воздействия измеряемой величины. Вся конструкция
может быть выполнена в едином кристалле (сенсорная пыль). Активные
чувствительные компоненты и подложка могут быть изготовлены из одного
пьезоэлектрического материала.
В других вариантах исполнения используются полупроводниковые
подложки из кремния, арсенида галлия на поверхность которых наносится
тонкий слой ( 5 107 м  0,5   ) пьезоэлектрического материала. Достоинством
устройств такого типа заключается в возможности применения интегральных
микротехнологий. Электроды на поверхности таких преобразователей
образуют встречно-штыревую структуру с количеством электродов до 20
штук. Рисунок электродов создается методом фотолитографии. Расстояние
между электродами одной полярности задается равным длине акустической
волны (10 мкм). Устройство конструируется в виде линии задержки, либо в
виде резонатора с образованием режима стоячей волны в образце.

Рисунок 2.4 - Устройство и принцип работы датчика на ПАВ

В конструкциях таких датчиков на конце активной поверхности с

каждой стороны формируется эшель (отражательная дифракционная
решетка, концентрирующая излучение в спектрах высокого порядка). От нее
происходит отражение волны по направлению к центру преобразователя, в
результате чего формируется стоячая волна. Чувствительный и активный
электроды вместе с усилителем, имеющим автоматический контроль
коэффициента усиления, образуют цепь положительной обратной связи,
которая позволяет сохранять условие резонанса.
Изменение времени распространения сигнала, распространяющегося
между излучающим и принимающим электродами, приводит к изменению
резонансной частоты следования импульсов. Эта частота быть вычислена по
формуле:
2  n  
 , (2.8)

где  - сдвиг фаз в усилителе, n – номер возбуждаемой моды,  - время
задержки, которое зависит от измеряемого воздействия.
В датчики на основе линии задержки на ПАВ частота возбуждаемых
колебаний фиксирована, а измеряется сдвиг фаз, возникающий в результате
задержки. Конструкция линии задержки включает в себя два одинаковых
элемента, что делает возможным добавлять в конструкцию эталонную
структуру, расположенную вблизи от чувствительной структуры на той же
подложке.

Рисунок. 2.5 - Резонаторные датчики на ПАВ

Из двух представленных вариантов устройств линия задержки

используется чаще в случаях, когда необходимо наличие эталонного
устройства. Фазовый сдвиг между излучаемым и принимаемым сигналами
определяется выражением:
  2  f 0  t , (2.9)
где t – время распространения волны в подложке между электродами.
Данное выражение можно преобразовать к виду:
l
  2  f 0  , (2.10)

где l - длина пути, а  - скорость распространения волны.
Для устройств с двойной линией задержки величина f 0 фиксирована.
Разность фаз для двух путей описывается выражением:
 lx l0 
 x   0  2  f 0       . (2.11)
 x 0 
Для сложения выходных сигналов преобразователей используют
аналоговый умножитель. Используя известное тригонометрическое
тождество можно получить следующие математические соотношения:
 , (2.12)

. (2.13)
Фильтр низких частот на выходе выделяет только слагаемое:
1
cos( ) . (2.14)
2
В некоторых случаях используются линии задержки без эталонного
устройства. В этом случае производится умножение сигнала излучателя и
сигнала, полученного на выходе линии задержки.
На основе ПАВ-преобразователей создают датчики усилий, массы
(микровесы), анализаторы состава и концентрации газов в смеси, датчики
влажности и др. Изменение массы, вызванное, например, процессом
испарения, влияют на скорость распространения волны, что в свою очередь
приводит к изменению частоты следования ПАВ.
Концепция конструирования газовых датчиков заключается в
нанесении покрытия, селективно абсорбирующего молекулы того газа,
который нужно обнаружить. Это поглощение изменяет свойства канала
распространения сигнала между подложкой и покрытием, что приводит к
изменению резонансной частоты преобразователя. Преимущества таких
преобразователей по сравнению с датчиками на объемных волнах
заключаются в следующем: повышенная рабочая частота; жесткое крепление
подложки; малые размеры. В настоящее время основные усилия
сконцентрированы на поиске химических составов покрытий, позволяющих
детектировать определенные вещества.
Работа датчиков влажности основывается на тех же принципах, что и
работа газовых сенсоров, но чаще механизм чувствительности таких
датчиков основан на контроле массы колебательной системы
преобразователя.
Разработаны устройства, позволяющие определять наличие
взрывоопасных газов, лекарственных препаратов и ряда других газов.
На основе ПАВ разработаны датчики температуры резонансного
типа. В таких датчиках в результате теплового расширения подложки
происходит увеличение времени распространения ПАВ, Зависимость
практически линейная. Разрешение датчика составляет 0,001°С,
воспроизводимость ±2°С.
 Линии задержки на ПАВ могут использоваться для измерения
деформации. Если напряжения в материале практически не влияют на
скорость распространения ПАВ, то сдвиг фазы волны может быть
обусловлен изменением длины пути распространения сигнала. При этом
зависимость также практически линейная. На основе таких преобразователей
создают датчики ускорений, давления, усилий и др.

Рисунок 2.6 - Примеры конструктивного исполнения ПАВ-датчиков усилий

дифференциального

Для измерения параметров магнитного поля используют ПАВ-датчики

с магнитоупругими элементами. Устройства данного типа характеризуются
высокой чувствительностью.
Достоинства датчиков на ПАВ:
 высокое разрешение;
 возможность объединения чувствительной структуры и электроники
на одном кристалле;
 возможность дистанционного измерения;
 пригодны для массового производства.
Недостатки:
 низкая стабильность во времени;
 высокая чувствительность к изменению температуры.

2.2.4 Примеры практического применения электромеханических

первичных измерительных преобразователей

На основе электромеханических резонаторов создают различные типы

измерительных преобразователей, реализуя при этом механизмы
чувствительности:
 тензочувствительность (измерение усилий, деформаций);
  массчувствительность (измерение влажности, состава газа);
 термочувствительность (измерение температуры, тепла);
 акусточувствительность (давление, состав сред).
Одними из первых, нашедших широкое практическое применение, и
наиболее конструктивно простыми являются резонансные преобразователи
на основе вибрирующих струн. При высокой жесткости струны частота ее
поперечных колебаний определяется как:
 T , (2.15)

l 

где Т – усилие натяжения; μ – погонная масса струны;

l – длина струны.
Для струн используют провода, сделанные из вольфрама, индия или
упругой стали, а также из сплавов, например, «Элинвар». При прохождении
переменного тока через провод, установленный в постоянном магнитном
поле, возникают механические колебания проводника с током.
Область применения таких устройств – измерение усилий, массы, силы
натяжения, давления. На рис. 2.7 показана конструкция датчика давления на
основе двойной мембраны.

Рисунок 2.7 - Варианты конструктивного исполнения датчиков

вибрационного типа

Для измерения плотности жидкости используют крутильно-

вибрационные колебания стержней, для измерения вязкости – резонаторы в
виде прямоугольных пластин.
Также на рисунке 2.7 приведена конструкция датчика плотности
раствора. В верхней части устройства расположен пьезоэлектрический
генератор крутильных колебаний стержня, частота которых
пропорциональна корню квадратному от плотности раствора.
Для непосредственного измерения вязкости жидких сред используют
затухание электромеханических вибраторов, возбуждаемых и
контролируемых с помощью магнитострикционных преобразователей (рис
2.7). При частоте продольных колебаний резонатора в пределах нескольких
десятков килогерц проникновение волнового движения в жидкость
составляет несколько микрометров. Используются также резонаторы на
основе возбуждения изгибных колебаний в пластинах из металла или
керамики, например, при измерении скорости потока.
Для измерения плотности потока применяют устройства с
использованием колеблющихся труб, цилиндров (рис 2.8).

Рисунок 2.8 - Конструкции плотномеров вибрационного типа

В последнее время все большее распространение приобретают

устройства на основе эффекта Кориолиса, возникающего в колеблющихся
трубах U – образной формы (рис. 2.9).

Рисунок 2.9 - Конструкции первичных преобразователей, основанных на

эффекте Кориолиса

2.3 Физические основы ультразвуковой измерительной техники

Упругие механические колебания, распространяющиеся в воздухе,

воспринимают как звук. Если их частота более 20 000 Гц (20 кГц), т. е. выше
порога слышимости для человеческого уха, то такие колебания называют
ультразвуковыми (УЗК). В дефектоскопии наиболее часто используют
диапазон частот 0,5—10 МГц (1 МГц=106 Гц).
Упругие колебания могут быть возбуждены в твердых, жидких и
газообразных средах. При этом колебательное движение возбужденных
частиц благодаря наличию упругих сил между ними вызывает
распространение упругой УЗ-волны, сопровождаемое переносом энергии.
Для получения УЗ-колебаний применяют пьезоэлектрические,
магнитострикционные, электромагнитно-акустические (ЭМА) и другие
преобразователи.
Наибольшее распространение получили пьезоэлектрические преобра-
зователи, изготовленные из пьезокерамических материалов или из
монокристалла кварца. На поверхности пьезопластины наносят тонкие слои
серебра, служащие электродами. При подаче на пьезопластину
электрического напряжения она изменяет свою толщину вследствие
обратного пьезоэлектрического эффекта. Если напряжение знакопеременно,
то пластина колеблется в такт этим изменениям, создавая в окружающей
среде упругие колебания. При этом пластина работает как излучатель. И
наоборот, если пьезоэлектрическая пластина воспринимает импульс
давления (отраженная УЗ-волна), то на ее поверхности вследствие прямого
пьезоэлектрического эффекта появляются электрические заряды, величина
которых может быть измерена. В этом случае пьезопластина работает как
приемник.
Процесс распространения ультразвука в пространстве является
волновым. Граница, отделяющая колеблющиеся частицы среды от частиц,
еще не начавших колебаться, называется фронтом волны. Упругие волны
характеризуются скоростью распространения С, длиной волны λ, и частотой
колебаний f. При этом под длиной волны понимается расстояние между
ближайшими частицами, колеблющимися одинаковым образом (в
одинаковой фазе). Число волн, проходящих через данную точку пространства
в каждую секунду, определяет частоту УЗ-колебаний. Длина волны связана
со скоростью ее распространения соотношением:
 C/ f.
Cледует отличать скорость волны С от скорости колебания частиц v.
Скорость С — физическая константа среды и зависит от ее свойств. Длину
волны в любой среде можно изменить путем изменения частоты f
возбуждаемых колебаний.
В зависимости от направления колебания частиц различают несколько
типов волн. Если частицы среды колеблются вдоль распространения волны,
то такие волны называются продольными (волнами растяжения-сжатия). В
случае, если частицы среды колеблются перпендикулярно к направлению
распространения волны, то это волны – поперечные (волны сдвига).
Поперечные волны могут возникать лишь в среде, обладающей
сопротивлением сдвига. Поэтому в жидкой и газообразной средах
образуются только продольные волны. В твердой среде могут возникать как
продольные, так и поперечные волны.
Скорость Ci продольных волн в среде плотностью  определяется
модулем нормальной упругости Е и коэффициентом Пуассона  :
E  E (2.16)
Cl    .
 (1   )(1  2 ) 

Скорость Ct поперечных волн в среде плотностью р определяется

модулем сдвига G:
G (2.17)
Ct  .


Учитывая, что G  E / 2(1   ), из уравнений (2.16) и (2.17) можно

определить отношение скоростей поперечных и продольных волн:
Ct 1  2
 .
Cl 2(1   ) (2.18)
Поскольку для металлов   0.3, то Ct / Cl  0.55 .

Пространство, в котором распространяются УЗ-волны, называют

ультразвуковым полем. УЗ-волна в направлении своего движения несет
определенную энергию. Количество энергии, переносимое УЗ-волной за 1 с
через 1 см2 площади, перпендикулярной к направлению распространения,
называется интенсивностью ультразвука I. Для плоской волны при
амплитуде смещения А
I  2 2 f 2 A 2 C. (2.19)
Произведение скорости С ультразвука на плотность  среды
называется удельным акустическим сопротивлением.

2.3.1 Свойства ультразвука

Рассмотрим наиболее важные свойства УЗК: направленность УЗК,

ближняя и дальняя зоны преобразователей, отражение УЗК от
несплошностей, затухание, трансформация УЗК.
 Рисунок 2.10 - Структура ультразвукового поля излучателя:
а — акустическое поле;
б — изменение интенсивности вдоль луча;
в — диаграмма направленности

Направленность УЗК. При излучении пьезоэлементом импульса УЗК в

среде возникает УЗ-поле, которое имеет вполне определенные
пространственные границы. Угол расхождения зависит от соотношения
длины волны и диаметра излучателя 2а:
 p  arcsin 0.61 / a  0.61C /(af )  1.22 /(2a). (2.20)
Для малых углов направленность УЗ-поля тем выше, чем больше
произведение af.
Направленность УЗ-поля удобно представлять в виде графика в
полярных координатах, называемого диаграммой направленности.
Диаграмма характеризует угловую зависимость амплитуды поля в дальней
зоне. Полярный угол отсчитывают от полярной оси, совпадающей с
направлением излучения максимальной амплитуды.
Диаграмму направленности прямого преобразователя выражают через
цилиндрическую функцию Бесселя (первого рода и первого порядка):
1   2a  (2.21)
( )   2I1  sin  .
sin  2a   

Анализ этого выражения показывает, что с увеличением a /  или af

направленность поля возрастает. При a /  >0,6 в диаграмме, кроме основного,
возникают боковые лепестки. Однако в них обычно сосредоточена малая
часть (до 20 %) излучаемой энергии.
Ближняя и дальняя зоны. Приведенная выше формула показывает
направленность УЗ-пучка в так называемой дальней зоне или зоне
Фраунгофера. В ближней зоне, называемой зоной Френеля, амплитуда поля
осциллирует (изменяется) как вдоль оси, так и по сечению пучка, а УЗ-волна
при этом распространяется почти без расхождения.
Протяженность ближней зоны r0 для цилиндрического излучателя:
a2 a2 f
r0  
 C
Из формулы видно, что увеличение диаметра излучателя, сужая
направленность пучка, увеличивает ближнюю зону преобразователя.
Отражение от границы раздела сред, несплошностей. Это свойство УЗ-
волн служит основой для их использования, например, в эхо-импульсном
методе дефектоскопии материалов. При падении волны на поверхность
раздела двух сред в общем случае часть энергии проходит во вторую среду, а
часть отражается в первую. Если УЗ-волна перпендикулярна к границе двух
сред, то проходящая и отраженная волны будут такого же типа, что и
падающая.
Коэффициент отражения R как отношение интенсивностей отраженной
и падающей волн зависит от соотношения удельных акустических
сопротивлений первой и второй сред:
2
 C  C  Z Z 
R   1 1 2 2    1 2 . (2.22)
 1C1   2 C 2   Z1  Z 2 
Из формулы следует, что R не зависит от направления УЗК через
границу раздела сред. Коэффициент прохождения волны D=1-R. Чем больше
разница в акустических сопротивлениях, тем больше интенсивность
отраженной волны.
Наличие несплошности также влияет на отражение УЗ-волн. Однако
заполненные воздухом трещины раскрытием r  104  105 мм отражают около
90% падающей энергии УЗК. Можно считать, что пределом выявляемости
трещин служат несплошности раскрытием r  10  . Если размеры дефектов
5

малы, то УЗ-волны огибают небольшую несплошность без существенных

отражений.
Свойство отражения УЗ-волн служит основой для выявления
несплошностей в металлах, поскольку акустические свойства таких
дефектов, как поры, шлаки, непровары, существенно отличаются от свойств
основного металла. Коэффициент отражения от трещин, несплавлений и пор
близок к единице, если величина их раскрытия более 10-4 мм, а поперечный
размер соизмерим с длиной волны. Для шлаков R= 0,35 — 0,65 в зависимости
от марки флюса.
Оксидные плены, особенно в сварных швах алюминиевых сплавов или
при контактной сварке, выявляются плохо, несмотря на их достаточно
большое раскрытие и протяженность. Причиной этого является близость
акустических свойств дефекта и металла. Стандартная УЗ-аппаратура
позволяет уверенно выявлять несплошности площадью S>1мм2. При
увеличении частоты УЗК можно выявлять несплошности и с меньшей
площадью, но при этом значительно повышается затухание УЗК.
Затухание. Коэффициент затухания  возрастает с увеличением
частоты не линейно, а в повышенной степени. Причем коэффициент
затухания различен для различных материалов и складывается из
коэффициентов поглощения и рассеяния    п   р . Поглощенная звуковая
энергия переходит в теплоту. Рассеянная энергия остается по форме
звуковой, но уходит из направленного пучка, отражаясь от неоднородной
среды. В однородных средах (пластмасса, стекло) затухание определяется
главным образом поглощением ультразвука: п   р. Причем п
пропорционально f . В металлах рассеяние преобладает над поглощением:
бр>бп. Коэффициент рассеяния в металлах зависит от соотношения средней
величины зерен D и длины  УЗ-волны. Увеличение размера зерен приводит
к росту затухания УЗК, при этом  p  D3 f 4 . Для того чтобы рассеяние УЗК на
зернах не искажало результаты дефектоскопии, практически необходимо
иметь >(10...100)D. Если это условие выполняется по верхнему пределу
(>100D), то можно обычно контролировать металл на глубину вплоть до 8
— 10 м и даже более.
При распространении УЗ-волн в металлах возможна реверберация —
постепенное затухание колебаний, обусловленное повторными отражениями.
Реверберация может быть объемной (из-за многократного отражения
колебаний от поверхностей, ограничивающих контролируемое изделие) и
структурной (из-за многократного отражения и рассеяния колебаний
границами зерен металла).
Рассеяние УЗК значительно зависит от анизотропии кристаллов. При
этом скорость по одной из осей кристалла или зерна существенно отличается
от скорости вдоль его другой оси. У алюминиевых сплавов и у сталей
упругая межзеренная анизотропия кристаллов обычно мала. У нержавеющих
(аустенитных) сталей и чугуна явления межзеренной анизотропии резко
выражены, что приводит к рассеянию УЗК и плохой прозвучиваемости этих
материалов.
Зависимость коэффициента затухания от величины зерна используют
для измерения размеров зерна. При этом принимают диапазон волн примерно
в области =(4-10)D. Коэффициент затухания выражают либо в децибелах на
метр (дБ/м), либо в неперах на метр (Нп/м). Затухание 1 Нп/м означает, что
на расстоянии 1 м амплитуда волны уменьшается в е раз (е=2,718 —
основание натуральных логарифмов, или число Непера). Эти единицы
связаны соотношением 1 Нп/м = 8, 68 дБ/м.
В практике УЗ-дефектоскопии коэффициент затухания часто измеряют
в Нп/см или, что то же самое, в см-1. Вследствие значительной зависимости
коэффициента затухания ультразвука от величины зерна металла этот
коэффициент имеет весьма большие колебания в тех изделиях, которые
склонны к образованию разнозернистой структуры, например в
крупногабаритных поковках из аустенитной стали.
С ростом частоты коэффициент затухания увеличивается, поэтому
крупнозернистые металлы прозвучивают обычно на более низких частотах
0,5—1,8 МГц.
Трансформация УЗК. Рассмотренные выше процессы отражения УЗ-
волн относились к нормальному их падению на границу раздела сред. При
контроле сварных швов применяют, как правило, наклонные преобразова-
тели с вводом УЗК под некоторым углом к вертикали.

Рисунок 2.11 - Отражение и преломление продольной волны на границе

раздела двух твердых сред
 В общем случае при падении продольной волны наклонно под углом к
границе двух твердых сред происходит трансформация (расщепление) этой
волны (рис. 2.6, а). Возникают две преломленные волны (продольная Cl' и
поперечная Ct' ) и две отраженные Cl и Ct . Углы преломления и отражения
зависят от скоростей соответствующих волн в данных средах (закон
Снеллиуса). Записанный только для преломления волн этот закон имеет вид
sin  sin  l sin  t (2.23)
 
Cl Cl' Ct'

При увеличении угла падения  , который соответствует углу

плексигласовой призмы в наклонных преобразователях, углы ввода УЗК в
металл  l и  t также меняются и вся диаграмма как бы поворачивается
против часовой стрелки вокруг точки 0. При этом сначала возможно
исчезновение в прозвучиваемом металле луча Cl' , а потом — луча Ct' . Углы 
, соответствующие исчезновению продольной, а затем поперечной волн в
металле, называют соответственно первым и вторым критическими углами.
Значению  кр1 отвечает угол l  90 , а значению  кр2 угол t  90.
При УЗ-дефектоскопии сварных швов во многих случаях
целесообразно вводить в металл только поперечную волну. Поэтому угол
призмы наклонных преобразователей выбирают обычно в интервале между
двумя найденными выше критическими значениями:
(  кр1  3 )    (  кр 2  3 )

Поправку на 2—5° вводят для большей помехозащищенности

контроля: в первом случае от продольной, а во втором — от поверхностной
волны.
Акустический тракт. Процессы преобразования энергии УЗ-колебаний
происходят в трех так называемых трактах УЗ-дефектоскопа:
электроакустическом, электрическом и акустическом.
Электроакустический тракт — это участок схемы дефектоскопа,
который состоит из пьезопреобразователей, демпферов, переходных и
контактных слоев, электрических колебательных контуров генератора на
входе приемника.
В электроакустическом тракте электрические колебания преобразуются
в ультразвуковые и обратно, поэтому он определяет резонансную частоту
УЗК, длительность зондирующего импульса и коэффициенты
преобразования электрической энергии в акустическую.
Электрический тракт, определяющий амплитуду зондирующего
импульса и коэффициент усиления, состоит из генератора и усилителя.
Акустическим трактом называют путь ультразвука от излучателя до
отражателя в материале и от этого отражателя до приемника. Важная задача
методики УЗ-контроля — расчет акустического тракта, т. е. оценка
ослабления амплитуды эхо-сигнала в зависимости от акустических и
геометрических параметров тракта.

2.3.2 Излучатели и приемники ультразвука

Акустический излучатель (АИ) - устройство, предназначенное для

преобразования энергии того или иного вида в звук, энергию и излучения ее
в упругую среду. По виду преобразования АИ делят на: электроакустические,
гидромеханические, пневмоакуcтические, парогазоакустические, взрывные,
ударные.
В электрокустических излучателях в звуковую энергию преобразуется
электрическая энергия, гидромеханических - энергия движущейся жидкости,
в пневматических - энергия движущегося сжатого воздуха, в
парогазоакустических - энергия захлопывания разогретого парогазового
пузыря.
Наибольшее применение в современной науке и технике (в частности,
электроакустике, гидроакустике, ультразвуковой технологии, дефектоскопии,
медицине) получили электроакустические излучатели. При исследованиях
законов распространения звука в водной среде широко применяют взрывные
АИ. Гидромеханические АИ используют в основном в ультразвуковой
технологии, а пневмоакустические и парогазоакустические — для
обеспечения низкочастотного излучения в жидкую среду. Основные
характеристики АИ: резонансная частота, излучаемая мощность,
электроакустический КПД и полоса пропускания частот.
Акустический приемник (АП) - устройство, обеспечивающее прием
акустических колебаний и измерение их параметров путем преобразования
акустической энергии в какую-либо другую (электрическую, механическую,
тепловую). Наибольшее распространение получили электроакустические
приемники различных типов. В зависимости от принципа действия и
конструктивных особенностей АП могут быть приемниками звукового
давления, колебательной скорости, ускорения, смещения, интенсивности
звука и радиального давления.
Для измерения звукового давления, колебательной скорости, ускорения
и смещения используют те или иные разновидности электроакустических
приемников; для измерения интенсивности звука — термические приемники,
радиационного давления — радиометры.
Основные характеристики АП: чувствительность к измеряемому
параметру и пороговый, т. е. минимальный различаемый, сигнал.
Электроакустические приемники различных типов находят применение
в электроакустике, гидроакустике, ультразвуковой технологии,
дефектоскопии, медицине и при проведении научных исследований
акустическими методами. Термические приемники и радиометры применяют
в ультразвуковой технике.
Наряду со специально создаваемыми приемниками существуют
естественные АП - органы слуха человека и животных. Для усиления
деятельности органов слуха человека используют специальные акустические
резонансные устройства (слуховые трубки, стетоскопы и др.).
В 1826 г. в Женевском озере Колладоне и Штурмом впервые была
измерена скорость распространения звука в воде с помощью церковного
колокола. Еще до этого эксперимента Леонардо да Винчи отметил, что вода
хорошо проводит звук. Однако можно вполне определенно считать, что
эксперимент 1826 г. является первым случаем применения для излучения
звука в воду резонансного устройства. В дальнейшем подводные колокола,
возбуждаемые электромагнитными или пневматическими молоточками,
использовались для измерения глубин акустическим методом и для других
навигационных целей. По своей форме подводный сигнальный колокол
(Рис.2.12) отличался от церковного. Край его был сделан очень толстым,
чтобы улучшить резонансные свойства колокола при работе в воде,
акустический импеданс которой более чем в 3000 раз превышает
акустический импеданс воздуха.
 Рисунок 2.12 - Подводный колокол, генератор Фессендена и
пьезоэлектрический преобразователь Ланжевена

В качестве гидрофонов в то время использовались угольные микро-

фонные капсулы, заключенные в металлический корпус. Для получения
повышенной акустической мощности в течение некоторого времени
использовались водяные сирены, подвижная часть которых вращалась в
водяном баке, прикрепленном к внутренней поверхности корпуса корабля.
Но в 1907 г. Появился генератор Фессендена, который и был применен для
подводной сигнализации. Генератор был создан на основе индукционного
(асинхронного) двигателя с использованием электродинамического эффекта.
Колебания толстой металлической диафрагмы возбуждались толстой медной
трубкой определенной длины, которая могла свободно перемещаться в
осевом направлении в сильном постоянном радиальном магнитном поле.
Первичная обмотка, по которой протекал переменный ток, была намотана на
расположенный внутри сердечник таким образом, что медная трубка
представляла собой единственный короткозамкнутый виток вторичной
обмотки. Индуцированный в медной трубке вторичный ток, взаимодействуя
с постоянным полем, создавал переменную механическую силу.
Механическая система генератора была очень массивной, чтобы
преодолевать большой акустический импеданс среды. Переменный ток
подводился от высокочастотного генератора, и частота выбиралась равной
резонансной частоте диафрагмы, соприкасающейся с водой, так как
эффективность электроакустического преобразования при возбуждении вне
механического резонанса заметно падает. Генераторы Фессендена с резо-
нансными частотами 540, 1050 и 3000 Гц выпускались промышленностью и в
течение довольно длительного времени использовались на практике для
подводной сигнализации и измерения глубин акустическим методом. При
разумных габаритах излучателя звук слышимых частот распространяется в
воде ненаправленно. Кроме того, слышимый звук может очень раздражать
пассажиров и команду корабля. С этих точек зрения, а также с учетом опре-
деленных военных применений стала ясна необходимость использования
ультразвуковых волн. В 1920 г. появился подходящий ультразвуковой
излучатель, предназначенный для сигнализации с подводных лодок и
названный излучателем Ланжевена. Этот излучатель представляет собой
мозаику, набранную из кусков кварца Х-среза и заключенную между двумя
толстыми металлическими пластинами. Если к пластинам приложено
переменное электрическое напряжение, то в кристаллах кварца возникает
пьезоэлектрическая вынуждающая сила, и они вместе с жестко связанными с
ними пластинами начинают колебаться как единая механическая система.
Частота возбуждающего электрического напряжения выбирается равной
частоте основной продольной моды колебаний этой трехслойной структуры.
(В первое время на практике, по-видимому, использовались частоты 17, 45
кГц и т. д.) Поверхность металлической пластины, обращенная к воде,
совершает поршневые колебания, и направленность излучателя оказывается
достаточной при диаметре пластины порядка 30—40 см. Противоположная
поверхность другой пластины соприкасается обычно с воздухом, так что она
не дает акустического излучения. В 1933 г. были изобретены
магнитострикционные вибраторы из тонких листов металла. Колеблющийся
сердечник такого вибратора изготавливается в виде набора сотен склеенных
между собой тонких пластин, отштампованных из листового никеля.

Рисунок 2.13 - Магнитострикционные вибраторы (преобразователи),

набираемые из пластин

Электрические обмотки размещаются в предусмотренных при

штамповке окнах. Магнитострикционная вынуждающая сила создается
переменным током, частота которого выбирается обычно равной частоте
механического резонанса сердечника. Толщина отдельной пластины
выбирается в соответствии с рабочей частотой с учетом магнитной
проницаемости и электрического сопротивления материала так, чтобы
потери на вихревые токи не превышали некоторого значения, поскольку они
являются главным фактором, определяющим электроакустический
коэффициент полезного действия преобразователя.
Магнитострикционные преобразователи такого типа могли
совершенствоваться за счет разработки новых сплавов, обладающих все
большим и большим магнитострикционным эффектом и, следовательно,
возможностью преобразования большей мощности. В отличие от этого
излучатели Ланжевена, источник возбуждающей силы которых зависит от
природы кристаллов кварца, обладали меньшими возможностями
совершенствования. Их акустическая мощность ограничивалась
напряжением пробоя кристалла. Кроме того, прочная и равномерная
приклейка мозаики из кристаллов к большой поверхности металлической
пластины, подверженной сильным переменным напряжениям, связана с
техническими трудностями. Напротив, в магнитострикционных вибраторах
склеиваемые поверхности в точности параллельны направлению колебаний,
и поскольку речь идет о переменных механических напряжениях, нет
необходимости принимать меры предосторожности для обеспечения
прочности склейки. Эти преимущества магнитострикционных вибраторов
способствовали быстрому вытеснению ими преобразователей Ланжевена.
Далее проводились исследования различных сплавов, и в 1942 г. был получен
сплав алюминия с железом, названный альфером, применение которого
снизило стоимость магнитострикционных преобразователей. Вибраторы из
этого сплава быстро нашли широкое применение не только в ультразвуковых
эхолотах, но и в рыболокаторах различных типов.
Вскоре, однако, был обнаружен большой пьезоэлектрический эффект в
искусственном сегнетоэлектрике, названном керамикой титаната бария, а
развитие технологических методов сделало изделия из керамики достаточно
механически прочными для использования их в режиме ультразвуковых
колебаний. Это произошло за промежуток времени с 1947 по 1950 г.
Вынуждающая сила возникает в таком материале при воздействии на него
переменного электрического поля, как и в кристалле кварца, но в данном
случае нужна еще постоянная электрическая поляризация — электрическое
смещение. Коэффициент электромеханической связ и для керамики титаната
бария значительно выше, чем для кварца, и благодаря этому снова вспомнили
об излучателе Ланжевена. В связи с разработкой прочных искусственных
смол, таких, как аралдит, ультразвуковые преобразователи типа Ланжевена с
керамическими пластинками из титаната бария вместо кварцевой мозаики
вновь вошли в практику. Высокий коэффициент электромеханической связи
материала и малые диэлектрические потери в нем позволили надеяться на то,
что применение таких преобразователей будет способствовать повышению
общей эффективности различных ультразвуковых установок. Несмотря на то,
что упомянутые выше трудности, присущие технике сборки, не были
преодолены и для преобразователя Ланжевена из титаната бария, он нашел
достаточно широкое практическое применение в различной маломощной
ультразвуковой аппаратуре, в частности в компактных рыболокаторах, где
выступил серьезным конкурентом магнитострикционных преобразователей
из альфера или никеля.
За время с 1954 по 1957 г. были получены новые полезные
магнитострикционные материалы — ферриты; в результате промышленной
разработки их технологии была достигнута механическая прочность
ферритов, достаточная для излучения ультразвука большой мощности. Ввиду
того что ферриты имеют очень высокое электрическое сопротивление,
потери на вихревые токи не ощущаются для них в любом монолитном
объеме материала, и вибратор может быть изготовлен сразу в окончательной
форме из ферритового порошка путем прессования и последующего обжига.
Электроакустический коэффициент полезного действия ферритов выше, чем
к. п. д. металлических магнитострикционных вибраторов, набранных из
тонких пластин, и обычно превышает последний примерно в 3 раза, достигая
80—90%. Характерные преимущества магнитострикционного пре-
образователя по сравнению с пьезоэлектрическим присущи любому
преобразователю из ферритов. Поэтому во многих областях промышленного
применения ультразвука в настоящее время используются преимущественно
ферритовые преобразователи.

2.3.3 Методы ультразвуковой дефектоскопии

Для контроля материалов и сварных соединений применяют

следующие основные методы УЗ-дефектоскопии.
 Рисунок 2.14 - Схемы использования основных методов УЗ-контроля:
а — эхо-метод;
б — теневой;
в — зеркально-теневой;
г — эхо-зеркальный;
д — эхо-теневой

Импульсный эхо-метод, основанный на отражении УЗ-колебаний от

несплошности (отражателя), причем амплитуда эхо-сигнала
пропорциональна площади этого отражателя. Этим методом контролируют
поковки, штамповки, прокат, термообработанное литье, пластмассы,
измеряют толщину металлов и оценивают структуру материалов. Эхо-метод
широко используют для контроля сварных соединений. Чувствительность
эхо-метода высокая: она достигает 0,5 мм2 на глубине 100 мм. К
преимуществам данного метода следует также отнести возможность одно-
стороннего доступа к зоне шва, поскольку достаточно только одного
преобразователя и для излучения и для приема УЗ-сигналов. Недостатки эхо-
метода — это сравнительно низкая помехоустойчивость и резкое изменение
амплитуды отраженного сигнала от ориентации дефекта (угла в между УЗ-
лучом и плоскостью отражателя).
Теневой и зеркально-теневой методы, также широко
распространенные, основаны на уменьшении амплитуды УЗ-колебаний
вследствие наличия несплошности на их пути. Чем крупнее дефект, тем
слабее прошедший к приемнику сигнал. В теневом методе УЗ-луч идет прямо
от генератора к приемнику через контролируемый металл. Теневой метод
применяют в основном для контроля проката малой и средней толщины,
некоторых резиновых изделий (покрышек колес), для исследования упругих
свойств стеклопластиков, бетона, графита и т. д. В отличие от эхо-метода
теневой метод имеет высокую помехоустойчивость и слабую зависимость
амплитуды от угла  ориентации дефекта. Однако имеются серьезные
недостатки: необходимость двустороннего доступа и малая точность оценки
координат дефектов. Зеркально-теневой метод отличается от теневого тем,
что регистрирует уменьшение УЗК, отраженных от нижней поверхности
листа. Зеркально-теневой метод, как видно из схемы, не требует
двустороннего доступа к соединению. Этот метод широко используют для
контроля железнодорожных рельсов. Он позволяет также более достоверно
определять наличие корневых дефектов в стыковых швах. Оба теневых
метода используют обычно для соединений с грубообработанной
поверхностью. Например, их успешно применяют для контроля стыков
арматуры периодического профиля.
Эхо-зеркальный метод основан на сравнении амплитуд обратно-
отраженного и зеркально-отраженного сигналов от дефекта. Основное
преимущество эхо-зеркального метода — высокая выявляемость
плоскостных дефектов и возможность оценки их формы по специальному
коэффициенту. Ограничения данного метода: применение только для
металла больших толщин (более 40 мм); сравнительно большой пороговый
размер выявляемоcти дефектов округлой формы (диаметр не менее 3 мм).
Иногда используется эхо-теневой метод. В этом случае о наличии
дефекта судят одновременно по эхо-импульсу от несплошности и по
ослаблению однажды отраженного донного сигнала. Эхо-теневой метод
применяют при механизированном контроле сварных стыков труб. Он дает
большую вероятность обнаружения дефектов и возможность оценки их
характера, а также позволяет вести контроль за качеством акустического
контакта при наличии сложной многоканальной аппаратуры. В зависимости
от метода УЗ-дефектоскопии и вида объекта контроля используют разные
схемы соединения преобразователей. При эхо-методе широко применяют
совмещенную схему ИП, когда один пьезоэлемент служит сначала
излучателем зондирующего импульса, а потом приемником отраженного от
дефекта сигнала.
В теневом и зеркальном методах применяется раздельная схема
соединения преобразователей: один из них служит излучателем энергии (от
генератора), а другой принимает прошедший через контролируемое
соединение импульс. Для эхо-зеркального и эхо-теневого методов
используют раздельно-совмещенную (PC) схему соединения двух
преобразователей, когда каждый из них может поочередно быть либо
излучателем, либо приемником.
Метод акустической эмиссии. Это метод технической диагностики, а
не дефектоскопии. Он основан на регистрации акустических волн,
излучаемых дефектом при нагружении материала или конструкции.
Причиной образования упругих волн являются пластическая деформация,
процессы движения дислокации кристаллов, возникновение и развитие
трещин. Метод применим для ответственных высоконагруженных сварных
соединений: сосудов высокого давления, трубопроводов, летательных
аппаратов и других конструкций. Для регистрации акустической эмиссии
требуется высокочувствительная аппаратура, работающая в широком
диапазоне частот от килогерц до мегагерц.
Резонансный метод основан на определении резонансных частот, при
которых в исследуемом участке изделия (по толщине листа или трубы)
укладывается целое число полуволн УЗК. Исчезновение резонансов — это
сигнал о наличии дефекта или изменении толщины.
Метод акустического импеданса заключается в регистрации УЗ-
колебаний стержня, опирающегося на поверхность изделия.
Подповерхностные дефекты изменяют акустический импеданс данного
участка изделия, что отражается на амплитуде и частоте собственных
колебаний стержня.
Велосиметрический метод связан с регистрацией изменения скорости
УЗ-колебаний. Такое изменение имеет место в слоистых конструкциях при
изменении толщины слоя или наличии расслоений.
Метод собственных колебаний основан на анализе частот или
прослушивании тона акустических колебаний изделий, вибрирующих на
собственной частоте. Этот метод очень прост: дефекты выявляют, например,
простукивая молотком бандажи колес на железнодорожных вагонах или
оценивая по звону посуды наличие в ней трещин. В данных примерах
анализируют на слух звук в слышимом диапазоне, и поэтому метод пра-
вильнее назвать акустическим, а не УЗ-методом.
2.3.4 Способы согласования излучателей и приемников ультразвука со
средой

УЗ-волны хорошо отражаются от тончайших воздушных зазоров,

поэтому для передачи УЗ-колебаний от преобразователя к изделию
промежуток между ними заполняют слоем жидкости. Существует несколько
способов передачи ультразвука.
Контактный способ. Преобразователь прижимают к поверхности
изделия, предварительно смазанной жидкостью (например, маслом). В
некоторых случаях слой жидкости заменяют или дополняют эластичным
материалом. Контактный смазочный материал должен хорошо смачивать
контролируемый материал и поверхность преобразователя, создавать тонкий
равномерный слой и не стекать слишком быстро с поверхности. Выбирая
контактный смазочный материал, следует помнить, что вода обладает
недостаточной вязкостью и смачиваемостыо и может вызвать коррозию
изделия. Поэтому в воду надо добавлять поверхностно-активные вещества,
улучшающие ее смачивающую способность, и вещества, уменьшающие ее
способность вызывать коррозию.
Щелевой (или менисковый) способ. Между преобразователем и
изделием специальным ограничителем создается зазор (его толщина
примерно равна длине волны ультразвука), в который непрерывно подают
контактную жидкость. Этот способ может быть использован, если
поверхность контролируемого изделия расположена вертикально или имеет
переменную кривизну.
Иммерсионный способ. Между преобразователем и изделием создается
толстый слой жидкости путем помещения изделия в ванну с водой или
образования локальной жидкостной ванны. Этот способ имеет ряд
преимуществ по сравнению с контактным: высокую стабильность излучения
и приема УЗК за счет постоянства акустической связи между
преобразователем и изделием; отсутствие изнашивания преобразователей,
так как при контроле между преобразователем и изделием нет трения;
возможность контроля изделий с грубообработанной или защищенной
покрытием поверхностью без предварительной подготовки.
Бесконтактные способы. Кроме указанных, существуют способы
возбуждения и приема упругих колебаний через слой воздуха или с помощью
электромагнитного поля, возбуждаемого датчиком,— бесконтактные. В этом
случае специальная контактная среда не требуется.

2.3.5 Классификация ультразвуковых пьезоэлектрических

преобразователей

Ультразвуковой пьезоэлектрический преобразователь (ПЭП) является

важнейшим элементом, определяющим достоверность УЗ-контроля. Этот
сложный электроакустический прибор должен обеспечивать формирование
УЗ-пучка в самых разных по конфигурации контролируемых элементах. По
способам ввода УЗ-колебаний ПЭП подразделяют на контактные, щелевые,
иммерсионные и бесконтактные. В контактных ПЭП толщина контактного
слоя   C 3 / 2 , в щелевых   C 3 / 2 , а в иммерсионных   C 3 / 2 , где С —
скорость распространения УЗ-колебаний в контактной жидкости;  3 —
длительность зондирующего импульса.
Контактные преобразователи нашли наибольшее применение в
промышленности. Их основным недостатком является нестабильность
акустического контакта в процессе сканирования преобразователя. При
контроле некоторых деталей и конструкций, когда не допускается нанесение
контактной жидкости перед ПЭП (например, при обнаружении
поверхностных трещин), используют щелевые (менисковые)
преобразователи.
Иммерсионный ввод УЗ-колебаний чаще всего используют при
автоматизированном контроле изделий небольшого размера или изделий
простой геометрической формы, например труб небольшого диаметра.
Иногда преобразователи с иммерсионной локальной ванной применяют при
контроле по грубообработанным поверхностям.
Особую группу составляют бесконтактные ПЭП, которые возбуждают
упругие колебания в металле за счет взаимодействия переменного
электрического и магнитного полей. По направлению ввода упругих
колебаний в исследуемый объект ПЭП бывают прямые, наклонные, комбини-
рованные.
По конструктивному исполнению и способу подключения к
электронной части дефектоскопа пьезоэлектрические преобразователи
подразделяют на совмещенные, раздельно-совмещенные (PC), раздельные. В
совмещенных ПЭП пьезоэлемент выполняет роль излучателя и приемника
УЗ-колебаний. В PC-преобразователях функции излучателя и приемника
разделены, а конструктивно они выполнены в одном корпусе. В зависимости
от формы рабочей поверхности или пьезоэлемента ПЭП могут быть
плоскими или неплоскими. Среди неплоских широкое распространение
получили фокусирующие ПЭП.
Тип ПЭП определяют сочетанием перечисленных выше признаков:
 контактные прямые совмещенные;
 иммерсионные прямые совмещенные;
 контактно-иммерсионные прямые;
 контактные прямые PC с акустической задержкой;
 контактные наклонные совмещенные с акустической задержкой;
 контактные наклонные PC с акустической задержкой.
На рисунке 2.15 показаны конструкции основных типов
преобразователей.

Рисунок 2.15 - Преобразователи:

а — прямой совмещенный контактный (1 — протектор; 2 — пьезопластина; 3
— демпфер; 4 — заливочная масса; 5 — корпус);
б — прямой совмещенный с акустической задержкой (1 — твердая задержка;
2 — пьезопластина; 3 — демпфер);
в — наклонный совмещенный с акустической задержкой (1 —призма; 2 —
пьезопластина; 3 — демпфер);
г — наклонный раздельно-совмещенный с акустической задержкой (1 —
призма; 2 — пьезопластина; 3 — демпфер)

2.3.6 Конструктивные особенности пьезоэлектрических

преобразователей

Основные акустические параметры наклонных преобразователей:

 ширина диаграммы направленности,
  разрешающая способность (по оси пучка),
 чувствительность— определяются их конструкцией, а именно: раз-
мерами и конфигурацией, углом ввода, акустическими константами призмы
и степенью демпфирования.
Чувствительность преобразователей определяются их конструкцией, а
именно: размерами и конфигурацией, углом ввода, акустическими
константами призмы и степенью демпфирования.
Преобразователь состоит из следующих основных элементов:
пьезопластины, демпфера, призмы, протектора и корпуса.
Пьезопластина — является основным элементом ПЭП. Ее
изготавливают из пьезоэлектрических материалов: кварца, цирконата-
титаната свинца (ЦТС), титаната бария и др. Пьезопластина обычно имеет
толщину, равную половине длины волны УЗК в пьезоматериале на рабочей
частоте. На противоположных поверхностях пластины располагаются
металлические (обычно серебряные) электроды для приложения
электрического поля. От формы электродов зависят работающие участки
пьезопластин. Во избежание пробоя по краям пластины часто оставляют
неметаллизированную полоску. Оптимальным размером пьезопластины
считается такой, при котором обеспечивается максимум амплитуды
отраженного сигнала при минимальном уровне ложных сигналов и
акустических шумов в преобразователе.
При выборе диаметра пьезоэлемента необходимо учитывать
следующее. Увеличение диаметра пьезоэлемента приводит к повышению
абсолютной чувствительности преобразователя и сужению его диаграммы
направленности. Более высокая направленность ПЭП повышает точность
оценки координат дефектов и их условных размеров, улучшает фронтальную
разрешающую способность и снижает уровень помех от различных
структурных неоднородностей. Однако с увеличением размеров
пьезоэлемента возрастает протяженность ближней зоны, которая
характеризуется неравномерной чувствительностью по глубине и сечению
УЗ-пучка, а, следовательно, пониженной вероятностью обнаружения
дефектов и неоднозначностью оценки их величины. Кроме того, чем больше
диаметр пьезоэлемента, тем больше стрела преобразователя и площадь его
контактной поверхности, что снижает достоверность и воспроизводимость
результатов контроля. Излучатель, имеющий небольшие размеры, не
обеспечивает достаточной мощности генерируемых колебаний и не дает
нужной точности при определении координат дефектов из-за широкой
диаграммы направленности.
Для каждой частоты УЗК имеется оптимальный размер излучателя.
Размеры пьезопластины рекомендуется выбирать в области аf=12—15
мм*МГц, где а — радиус пьезопластины. При этом пьезопластина обычно
имеет толщину, равную половине длины волны УЗК в пьезоматериале на
рабочей частоте. При выборе диаметра пьезоэлемента необходимо
стремиться к тому, чтобы пьезопластина и дефект находились в дальней зоне
относительно друг друга. Это особо следует учитывать при контроле
сварных соединений малых толщин.
Демпфер служит для гашения свободных колебаний пьезопластины,
т.е. для получения коротких УЗ-импульсов, а также для предупреждения
механических повреждений пьезопластин, особенно тонких. Материал
демпфера и его форма должны обеспечивать достаточно сильное затухание
УЗК без многократных отражений. В некоторых ПЭП (например, наклонных)
демпфер часто отсутствует. Степень демпфирования пьезоэлемента
существенно влияет на форму и длительность зондирующего импульса и,
следовательно, разрешающую способность преобразователя.
Преобразователи со слабым демпфированием имеют невысокую
разрешающую способность, но зато применяются в тех случаях, когда нужна
высокая чувствительность. Сильно демпфированные преобразователи
применяют там, где основную роль играет высокая разрешающая
способность, например при обнаружении подповерхностных дефектов или
при толщинометрии. Но чувствительность у них значительно ниже, чем у
слабо демпфированных. Эти преобразователи можно рекомендовать для
контроля сварных швов малых толщин.
В зависимости от требуемого демпфирования, рабочей частоты и
других конкретных условий демпфер обычно изготавливают из
искусственных смол (чаще всего эпоксидных и акрильных) или компаундов с
добавками порошка (наполнителя) с высокой плотностью (карбиды титана,
вольфрама и свинца). Свойства демпфера, особенно его затухание, сильно
зависят от связующего компонента. При изготовлении демпферов широко
применяются силикон, полиуретан, каучук, сырая резина. Для уменьшения
многократных отражений на демпфере со стороны, противоположной
пластине, делают скосы, наносят канавки, добавляют пузырьки воздуха. С
увеличением акустического сопротивления демпфера уменьшается
чувствительность ПЭП, но повышается разрешающая способность и
сокращается мертвая зона.
Призма изготовляется обычно из износостойкого материала с
небольшой скоростью ультразвука (оргстекло, полистирол, поликарбонат,
деклон, капролон и др.), что позволяет при относительно небольших углах
падения  получать углы преломления  до 90°. Размер призмы зависит
главным образом от размера и формы пьезопластины. При разработке и
изготовлении преобразователей размеры, форму и материал призмы
выбирают таким образом, чтобы они по возможности удовлетворяли сле-
дующим основным требованиям: обеспечивали достаточное гашение УЗК,
возникающих при отражении волн на границе раздела призма — изделие,
при этом незначительно ослабляли УЗК в самой призме. Кроме того, ма-
териал призмы должен обладать износостойкостью и смачиваемостью, а в
ряде случаев и термостабильностью.
Для устранения шумов в наклонном преобразователе нужно выбирать
стрелу преобразователя (расстояние от точки выхода УЗК до передней грани
призмы) такой, чтобы крайний луч от верхней части пьезопластины не падал
на переднюю грань призмы или на двугранный угол. Если это условие не
соблюдается, то луч значительной интенсивности отражается назад к
пьезопластине, создавая при этом шумы в преобразователе. Максимальная
стрела преобразователя, при которой шумы будут незначительными, должна
быть n0  a / cos  .
В призме должны гаситься также и поперечные волны, которые
возникают при отражении продольной волны от границы раздела призма —
изделие. Это условие выполняется, если нижний луч поперечной волны не
попадает на верхнюю часть пьезопластины. Высокое затухание ультразвука в
призме обеспечивает быстрое гашение многократных отражений. Для улуч-
шения гашения УЗК призму делают ребристой или придают ей сложную
форму. В некоторых преобразователях для гашения УЗК ставят специальные
ловушки, которые изготавливают из материала, сильно поглощающего УЗ-
колебания.
 Преобразователи на частоту 5 МГц и выше благодаря большему
затуханию УЗК в призме обладают значительно меньшим уровнем
собственных шумов, чем преобразователи на частоту 1,8 и 2,5 МГц.
Вследствие этого преобразователи на 5 МГц получаются малогабаритными.
Важное значение для постоянства параметров преобразователя имеет выбор
материала призмы. Длительное воздействие воды и других жидкостей может
изменить акустические характеристики призмы. Это может быть вызвано как
изменением акустических свойств материала призмы, так и ее разбуханием
или короблением.
В PC-преобразователях конструкция призмы должна удовлетворять
дополнительным требованиям. Например, в PC-преобразователях
толщиномеров важно, чтобы время прохождения УЗК сквозь призму не
зависело от температуры, поэтому се изготавливают иногда из плавленного
кварца, имеющего малый коэффициент линейного расширения.
Протектор защищает пьезоэлемент от изнашивания и воздействия
контактной жидкости, улучшает акустический контакт при контроле
контактным способом. Для повышения износостойкости преобразователя к
пьезопластине приклеивают протекторы толщиной 0,1 — 0,5 мм из кварца,
бериллия, стали, смол с порошковым наполнителем (например, порошком из
компаунда или бериллия) и т.п. Протекторы также изготавливают в виде
сменных пленок из эластичных пластмасс, например из полиуретана. В этом
случае между пьезопластиной и протектором вводят контактную жидкость
(масло).
Корпус преобразователя обеспечивает прочность конструкции, а также
экранирование пьезоэлемента и выводов от электронных помех (для этого
корпус из пластмассы металлизируют).
Электрические контакты паяют легкоплавкими припоями, особенно
на пьезокерамических пластинах, во избежание потери поляризации.
Преобразователь с дефектоскопом соединяют максимально гибким кабелем.
Применяют микрофонный или коаксиальный кабель с волновым
сопротивлением 75 Ом.
2.3.7 Электромагнитные ультразвуковые преобразователи

Создание контактной связи ультразвуковых колебаний с объектом

контроля через жидкую среду является одним из главных факторов,
сдерживающих широкое применение УЗ-контроля в производстве. Поэтому в
настоящее время ведутся исследования по разработке бесконтактных
способов возбуждения и приема ультразвуковых колебаний. Наибольшие
успехи достигнуты при возбуждении и приеме ультразвуковых колебаний в
металлах с помощью электромагнитного поля. Разработаны специальные
электромагнитно-акустические преобразователи (ЭМА), принцип действия
которых основан на превращении электромагнитных колебаний в
акустические непосредственно поверхностью металла, находящегося в зоне
преобразователя.
ЭМА-преобразователь работает следующим образом. При пропускании
через обмотку 1 импульса тока ультразвуковой частоты на поверхности
металла 2 возникает вихревой ток 3. Взаимодействуя с магнитным полем
постоянного магнита 5, вихревой ток создает силу (силу Лоренца), которая
заставляет колебаться с ультразвуковой частотой поверхность металла 2,
последняя тем самым превращается в излучатель ультразвука. Отразившиеся
от противоположной поверхности металла 4 ультразвуковые колебания через
небольшой промежуток времени возвращаются к поверхности металла 2 и
заставляют ее колебаться. Поскольку поверхность 2 находится в постоянном
магнитном поле, ее колебания приводят к возникновению переменного тока,
который трансформируется в высокочастотную обмотку.

Рисунок 2.16 - Схема ЭМА-преобразователя

Кроме силы Лоренца, на основе взаимодействия статического маг-

нитного поля с динамическим магнитным полем, созданным импульсом
возбуждения, возникают ультразвуковые колебания, связанные с
магнитострикцией. Происходит наложение обоих процессов. При контроле
ферромагнитных сталей в зависимости от способа возбуждения и
конструкции датчика процесс преобразования ультразвуковых колебаний
определяется либо силами Лоренца, либо магнитострикцией.
Как следует из рассмотренного выше, в ЭМА-преобразователях
излучателем и приемником ультразвуковых колебаний становится сама
поверхность металла, расположенная в зоне действия обмотки
преобразователя. Поэтому в зазоре между ЭМА-преобразователем и
поверхностью металла существует только электромагнитное поле,
следовательно, жидкость для акустического контакта не нужна. ЭМА-
преобразователи могут возбуждать ультразвуковые колебания как
перпендикулярно к поверхности изделия, так и под заданным углом, что
позволяет реализовать методики контроля, разработанные ранее для
пьезопреобразователей.
В зависимости от конструкции ЭМА-преобразователей возбуждаются
либо продольные, либо поперечные волны с заданным направлением
плоскости поляризации. Это открывает новые возможности в практике
неразрушающего контроля, так как использование линейно-поляризованных
поперечных ультразвуковых волн позволяет получить дополнительную
информацию о структуре, остаточных напряжениях и некоторых других
характеристиках материала.
С помощью ЭМА-преобразователей возможно также бесконтактное
возбуждение рассмотренных выше волн Лэмба, Рэлея и горизонтально
поляризованных поперечных (SH) волн, применение которых перспективно
при контроле тонких листов и тонкостенных конструкций.
ЭМА-преобразователи позволяют достаточно просто осуществить
фокусировку ультразвуковых колебаний. В ряде случаев такая фокусировка
получается естественным путем за счет кривизны поверхности изделия, в
котором возбуждаются ультразвуковые колебания. Фокусировку можно
осуществить также путем смещенного по фазе управления сегментными
приемно-излучающими преобразователями.
К недостаткам ЭМА-преобразователей относятся их более низкий (на
два-три порядка) коэффициент механической связи по сравнению с
пьезопреобразователями и небольшие (1—5 мм) рабочие зазоры между
ЭМА-преобразователем и поверхностью контролируемого изделия. Поэтому
для получения необходимой чувствительности аппаратуры ультразвукового
контроля с ЭМА-преобразователями мощность зондирующих импульсов,
поступающих на ЭМА-преобразователь, должна быть существенно больше,
чем при использовании пьезопреобразователей. Как показали исследования,
удовлетворительная чувствительность аппаратуры с ЭМА-
преобразователями при рабочих зазорах до 5 мм получается при индукции
постоянного магнитного поля в зазоре 0,7—1,0 Тл.
ЭМА-преобразователи перспективны для автоматизированного
ультразвукового контроля качества металлопродукции в технологическом
потоке производства, в том числе и при высокой температуре.

2.4 Применение ультразвуковых колебаний и волн для измерения

неэлектрических величин

Данный методо основан на изменении скорости ультразвуковых

колебаний в подвижной среде, которая равна геометрической сумме скорости
среды и скорости звука в данной неподвижной среде, которая известна. Если
ультразвуковые колебания распространяются в неподвижной среде со
скоростью с, то в той же среде, движущейся со скоростью , они будут
распространяться в направлении движения потока со скоростью с +  cos(),
а против потока — со скоростью с —  cos(), где  — угол между
направлениями потока и ультразвукового излучения. Время прохождения
ультразвукового импульса от излучателя до приемника, расположенных друг
от друга на расстоянии L, называемом базой, в направлении потока равно
L L 
t1   (1  cos( )), (2.24)
c    cos( ) c c
а против потока
L L 
t2   (1  cos( )), (2.25)
c    cos( ) c c
Существует несколько разновидностей ультразвукового метода
измерения расхода:
 времяимпульсный,
 частотно-импульсный,
 доплеровский,
 фазовый
  на основе сноса ультразвуковых колебаний движущимся
потоком.
Ультразвуковые методы в основном применяются для измерений
расходов жидких сред. Для уменьшения нестабильности скорости звука от
изменения температуры, плотности, давления и других факторов
используются двухканальные расходомеры, включенные по
дифференциальной схеме.
Времяимпульсный метод основан на измерении разности времени
прохождения ультразвуковых импульсов по движению потока и против него
t  t1  t2  2 – ð cos / c 2  8mQctg /(Dc 2 ) (2.26)
где m — коэффициент, учитывающий отличие средней скорости
потока ср от осредненной по длине луча скорости потока ; D — диаметр
трубопровода.
Работа ультразвукового расходомера, основанного на частотно-
импульсном методе, аналогична работе частотного расходомера действие,
которого основано на методе ядерного магнитного резонанса. Каждый
излучатель посылает импульс ультразвуковых колебаний в момент прихода
предыдущего импульса на соответствующий приемник. Разность частот двух
работающих таким образом автогенераторов пропорциональна измеряемому
расходу:
f  f1  f 2  2 – ð cos / L  8mQctg /(D 2 ) (2.27)
Преимуществом частотно-импульсных расходомеров является
независимость результатов измерений от скорости распространения
ультразвука, если оба канала имеют одинаковые базы: L1=L2=L.
В фазовых расходомерах используется непрерывное излучение
модулированных ультразвуковых колебаний, направленных по движению
потока и против него, и измеряется разность фаз принятых приемником
колебаний. Статическая характеристика таких расходомеров имеет вид
   M t 2   M t 3  16  m  f M  Q  ctg / ( Dc2 ), (2.28)
где fм — частота модуляции ультразвуковых колебаний.
 Рисунок 2.17 - Структурная схема фазового ультразвукового расходомера

На рисунке 2.17 показана структурная схема фазового ультразвукового

расходомера. Ультразвуковые колебания, создаваемые генератором 1,
модулируются с помощью модулятора 2 и генератора модуляции 11.
Модулированные колебания поступают на возбудители 3 двухканального
датчика, установленного на трубопроводе 4. Сигналы с приемников
ультразвуковых колебаний 10 через усилители 5 и 9, демодуляторы 6 и 8
подаются на фазометр 7, показания которого пропорциональны расходу.
На основе фазового метода созданы приборы для измерения скорости
морских течений, а также расходомеры для измерения расхода природного
газа в широком диапазоне (Qmax/Qmin=4) с погрешностью 0,4%.
Источники погрешностей измерения. Всем ультразвуковым методам
измерений расхода присуща методическая погрешность, обусловленная
отличием измеряемой этими методами скорости движения среды,
осредненной по пути от излучателя до приемника ультразвуковых колебаний,
от скорости движения среды, осредненной по площади сечения
трубопровода. Эта погрешность зависит от структуры потока, которая
определяется рядом факторов, например шероховатостью трубопровода,
физико-химическими свойствами перемещающейся среды и др.
Рассматриваемая погрешность может быть уменьшена соответствующим
выбором соотношения размеров ультразвукового канала и трубопровода с
учетом его шероховатости.
Принцип работы акустических и ультразвуковых уровнемеров основан
на использовании отражения волн от границы раздела сред. В акустических
уровнемерах используется метод локации уровня через газовую среду,
поэтому не зависит от характера контролируемой среды, но зависит от
давления газа, запыленности. Ультразвуковые уровнемеры используют для
однородных жидкостей, для сыпучих материалов не пригоден. Выходным
сигналом такого датчика может быть амплитуда, фаза или частота
следования сигналов. Время распространения акустического сигнала в среде
зависит от измеряемого уровня:
2( H  h)
t . (2.29)

Ультразвуковые уровнемеры используют для измерения уровня
жидкостей. Эти приборы отличаются по диапазонам измерения, версиями
датчика и имеют разные технологические присоединения.
При работе в экстремальных условиях (в диапазоне криогенных
температур, при высоких уровнях радиации и т.п.), а также при проведении
измерений в замкнутом герметичном объеме, где невозможно разместить
контактные датчики или использовать ИК преобразователи, бывает очень
сложно измерить температуру объекта или среды. В таких случаях
применяют акустические датчики температуры, принцип действия которых
основан на реализации функциональной зависимости скорости звука от
температуры среды, через которую он распространяется. Например, для
сухого воздуха при нормальных условиях эта зависимость имеет вид:
Ò
  331,5 (м/с), (2.30)
273,15

где Т – абсолютная температура.

Акустический датчик температуры состоит из трех компонентов:
ультразвукового излучателя и приемника, а также герметичной полости,
например, трубки, заполненной газом. Излучатель и приемник представляют
собой керамические пьезоэлектрические пластины, акустически не связанные
с трубкой, что обеспечивает распространение звука преимущественно через
газ внутри трубки. В качестве газа чаще всего используют воздух.
Используют также конструкции преобразователей, в которых звук
распространяется непосредственно в исследуемой среде. Но при этом
необходимо соблюдать условие постоянства массы в измеряемом объеме
газа. Для изготовления трубки часто используют инвар.
Рисунок 2.18 - Акустический термометр с ультразвуковым преобразователем

Тактовое устройство данного прибора работает на низкой частоте

(порядка 100 Гц). Его импульсы запускают передатчик и блокируют
приемник. Приемник принимает сигнал только тогда, когда на него приходит
разрешающий сигнал. Блок управления по времени распространения
звуковой волны в среде определяет скорость звука, по которой вычисляется
температура среды. При использовании отраженного сигнала применяют
схему с одним пьезоэлементом, работающим на излучение и прием
акустического сигнала.
Миниатюрные датчики температуры создают на основе ПАВ-датчиков.
Их принцип действия основан на использовании температурной зависимости
условий распространения поверхностных волн в чувствительном элементе
измерительного преобразователя. Такие датчики являются
преобразователями температуры в частоту, их чувствительность может
достигать десятков кГц на один градус.

2.5 Эффекты взаимодействия звуковых волн со средой

Степень взаимодействия упругих колебаний со средой определяется

уровнем соответствия параметров внешнего воздействия с
соответствующими характеристиками среды. Например, если
геометрические размеры элементов среды будут сравнимы с длиной волны
внешнего воздействия или частота колебаний частиц среды будет
соответствовать частоте внешнего воздействия, то могут возникнуть
различные эффекты взаимодействия звука со средой. При этом среда будет
влиять не только на условия распространения упругих колебаний, но и
определять параметры этих колебаний. Такое резонансное взаимодействие
внешнего воздействия со средой широко используется в измерительной
технике, а также при исследовании свойств веществ, находящихся в
газообразном, жидком и твердом состоянии. Набор резонансных методов
постоянно пополняется благодаря открытию новых эффектов
взаимодействия звуковых колебаний с различными средами. Природа таких
взаимодействий в каждом конкретном случае имеет свои особенности.
Однако во всех случаях общая картина резонанса сохраняется: вблизи
резонанса возрастают амплитуда колебаний и энергия, передаваемая
колебательной системе извне. Это возрастание прекращается, когда потери
энергии компенсируют ее прирост. Собственные частоты объектов могут
иметь широкий диапазон, причем каждый объект имеет свой характерный
только для него набор частот собственных колебаний (частотный или
энергетический спектр). Этот набор частот является своебразной визитной
карточкой вещества, изучая которую можно распознать химический состав,
структуру, симметрию и другие характеристики вещества.
Резонансные методы измерения, основанные на взаимодействии
звуковых колебаний различных частот со средой, относятся к наиболее
чувствительным методам. С их помощью был получен большой объем
информации о химическом составе, структуре, симметрии и внутренних
взаимодействиях между структурными единицами вещества. Спектр упругих
воздействий в общем случае может охватывать диапазон от инфразвуковых
частот до гиперзвуковых.
Для согласования импедансов излучателей и приемников звуковых
волн с измеряемой средой используют специальные волноводы различной
формы (цилиндрической, экспоненциальной, конической), а также
иммерсионные жидкости. Среда, в которой распространяется волна,
характеризуется волновым сопротивлением (импедансом), в отсутствие
потерь зависящим от параметров, которые описывают накопление энергии в
среде. Акустический импеданс среды равен произведению плотности среды
на фазовую скорость распространения волны в среде:
za   
. (2.31)
При наличии потерь в среде в данной формуле появятся мнимые
члены.
 На границе раздела сред происходит отражение волн. Для улучшения
условий прохождения волн из одной среды в другую необходимо обеспечить
согласование их импедансов, например, за счет использования
дополнительного слоя согласующей среды толщиной, равной четверти
длины волны, и импедансом ( zсс ), равным среднему геометрическому
импедансов согласуемых сред:
z ññ  z1  z 2
. (2.32)
Скорость распространения волн в среде зависит от степени
соответствия временных и пространственных параметров волны
пространственным и временным масштабам среды. Поэтому выделяют
пространственную и временную дисперсию среды или объекта. Например,
при совпадении размеров газовых пузырьков в жидкости с длиной волны,
геометрических размеров объекта с длиной волны и т.п. происходит
искажение скорости распространения колебаний в среде, резонансное
поглощение энергии волны и другие явления.
Если среда содержит частицы не одинаковые по массе или
отличающиеся величиной упругих связей с другими частицами, то есть
существуют примеси в веществе или дислокации в структуре, то это
обусловит появление аномалий в спектре поглощения акустических
колебаний веществом.
Низкочастотная волна, длина которой много больше постоянной
решетки кристалла, распространяется без искажения, а для высокочастотных
волн имеет место пространственная дисперсия. Спектр частот дискретной
кристаллической решетки с примесью из более массивных частиц, чем
частицы среды будет состоять, как минимум, из двух ветвей: акустической и
оптической. При этом низкие частоты колебаний образуют дебаевский
спектр частот, а высокие частоты колебаний – борновский спектр.
Если некоторая область сплошной среды ограничена в одном или двух
направлениях, в ней могут распространяться упругие волны как в виде
плоской волны (такой же, как в неограниченных средах), так и в виде
нормальных волн, образующихся в результате последовательных отражений
от стенок. При этом реализуются условия волновода или волноводного
распространения звука. Примерами волноводов служат слой или труба,
заполненные жидкостью или газом, стержни или пластины; в последнем
случае происходит совместное распространение продольных и поперечных
(сдвиговых) волн.
Гармонические волны, распространяющиеся в волноводе без
изменения формы, называются нормальными волнами. Любое звуковое поле
внутри волновода в области, где источники звука отсутствуют, может быть
представлено в виде суперпозиции нормальных волн. По структуре
звукового поля каждая нормальная волна представляет собой волну,
бегущую вдоль волновода, и стоячую волну в поперечном направлении.
Разные нормальные волны различаются числом и расположением узловых
поверхностей давления в поперечном сечении волновода. В простейшем
случае двумерного движения в волноводе, образованном плоским слоем
жидкости или газа, который заключен между двумя звуконепроницаемыми
стенками, узловые поверхности представляют собой плоскости,
параллельные стенкам. Каждой нормальной волне приписывается номер
(порядок), равный числу имеющихся у ней узловых плоскостей. Во всех
волноводах для каждой нормальной волны (кроме волны нулевого порядка)
существует критическая частота, ниже которой волна не распространяется, а
превращается в колебание с амплитудой, меняющейся вдоль волновода по
экспоненциальному закону. Все нормальные волны (также кроме волны
нулевого порядка) имеют большую дисперсию скорости.
В отличие от упругих волн в неограниченных твердых средах,
нормальные волны в пластинах и стержнях удовлетворяют не только
уравнениям теории упругости, но граничным условиям на поверхности
пластины или стержня. Поэтому характеристики нормальных волн, в
частности их упругое поле - распределение напряжений и смещений по
поперечному сечению пластины или стержня - существенно сложнее, чем у
волн в неограниченных твердых средах. Вместе с тем, нормальные волны
представляют собой такие же элементарные волны, как продольные и
поперечные в неограниченной среде, в том смысле, что любое сложное
волновое движение в пластинах и стержнях распадается на сумму
нормальных волн, а поток упругой энергии равен сумме потоков всех
нормальных волн.
Акустические волноводы широко применяются в акустоэлектронике. В
них используются как объемные, так и поверхностные волны. Волноводы на
объемных волнах представляют собой полоски, ленты или проволоку, в
которых возбуждаются определенные нормальные волны. Такие волноводы
могут служить в качестве линий задержки на большие времена или в
качестве дисперсионных линий задержки. В случае поверхностных волн
волноводы выполнены в виде металлических или диэлектрических полосок
определенных размеров и сечения.
Для приема ультразвука также используют различные типы устройств.
Например, при реализации оптических методов исследования
ультразвуковых колебаний применяют отклоняющиеся звуковые линзы
(отклонение луча света происходит в результате изменения под действием
механических напряжений коэффициента преломления материала).
Используют также дифракцию света на звуковой волне, эффект
фотоупругости, в основе которого лежит воздействие на условия двойного
лучепреломления в кристаллах.
Жидкие кристаллы также чувствительны к ультразвуку и пригодны для
визуализации звуковых полей, так как их оптическая активность (вращение
плоскости поляризации) чувствительна к звуковому давлению.
В измерительной технике достаточно широкое применении находят
акустоэлектрический эффект, акустооптический эффект, оптико-
акустический эффект и др.
Акустоэлектрический эффект – ультразвуковая волна генерирует и
перемещает электроны в проводниках и полупроводниках, в результате чего
в цепи возникает электрический ток.
Акустооптический эффект возникает в результате взаимодействия
электромагнитной волны с акустическими волнами. При этом изменяется
частота, фаза, спектр, амплитуда колебаний, возможно усиление слабых
ультразвуковых волн.
Оптико-акустический эффект. При облучении газа, находящегося в
замкнутом объеме, модулированным потоком инфракрасной радиации в газе
возникают пульсации давления. Механизм данного явления довольно прост:
при поглощении инфракрасного излучения происходит возбуждение молекул
газа, а обратный их переход в нормальное состояние происходит
безизлучательнным образом, т.е. энергия возбуждения молекул переходит в
их кинетическую энергию, что и обуславливает изменение давления. Оптико-
акустический эффект используется для определения влажности сред, для
измерения потоков радиации.
2.5.1 Акустокапиллярный эффект

При распространении акустических волн высокой частоты (ультразвук,

гиперзвук) в средах проявляются разнообразные дополнительные эффекты.
Акустокапиллярный (звукокаиллярный) эффект – это явление аномально
глубокого проникновения жидкостей в капилляры, поры и узкие щели под
действием ультразвука. Если в наполненную жидкостью ультразвуковую
ванну погрузить капилляр, то при определенной интенсивности ультразвука,
подъем жидкости существенно (иногда в несколько раз) возрастает.
Установлено, что жидкость поднимается по капилляру под действием
ультразвука только при условии, что кавитационная область, состоящая из
пульсирующих и захлопывающихся кавитационных газовых пузырьков
(каверн), находится непосредственно под капилляром. Эффект
обуславливается суммарным воздействием единичных импульсов давления,
которые возникают при захлопывании кавитационных пузырьков. Скорость и
высота подъема жидкости в капилляре зависят от числа захлопывающихся
пузырьков в единицу времени, величины возникающих при этом сил, от
трения жидкости о стенки капилляра, от вязкости жидкости. Поэтому
звукокапиллярный эффект оказывается различным для разных жидкостей и
разных по размеру и форме капилляров; его проявление меняется с
изменением интенсивности ультразвука и с течением времени усиливается с
приложением статического давления или содержанием избыточного
давления в жидкости с градиентом в сторону капилляров. Положение
захлопывающихся пузырьков в основании капилляров неустойчиво из-за
интенсивности акустических течений, т.е. вихревых течений жидкости,
возникающих в ультразвуковом поле. Например, уровень воды в стеклянном
капилляре сечением 0,35·0,35 мм² при звуковом давлении 2·105 Па (около 2
атм) на частоте 18 кГц в результате звукокапиллярного эффекта превышает
уровень, обусловленный силами поверхностного натяжения (т.е. в
отсутствии ультразвука), более, чем в 10 раз.
Увеличение интенсивности ультразвука и развитие акустических
течений снижают эффект, и при звуковом давлении в пределах 15·105 Па
подъем воды в стеклянном капилляре указанных размеров под воздействием
ультразвука не происходит. Нарушение локализации в окрестностях
основания капилляра кавитационных пузырьков и уход их из сечения
капилляра приводит к мгновенному опусканию жидкости до уровня,
определяемого действием сил поверхностного натяжения. Поддержание
уровня жидкости в капилляре требует меньших (в 5 - 10 раз) затрат энергии
ультразвуковых колебаний, т.к. при этом нет необходимости преодолевать
силы вязкого трения жидкости о стенки капилляра.
Звукокапиллярный эффект получил широкое применение для
осуществления и интенсификации самых различных технологических
процессов. В частности, позволяет ускорить в десятки и сотни раз пропитку
пористо-капиллярных тел, увеличить скорость и глубину заполнения щелей
при производстве различных конструкций. Например, при пайке сложных
изделий, благодаря способности обеспечить проникновение горячего припоя
одновременно во все зазоры, резко повышается качество соединений; имеет
место, в частности, при бесфлюсовой пайке трубчатых теплообменников.
Большинство процессов ультразвуковой обработки твердых тел в
жидкости с использованием кавитационных явлений сопровождается
усиленным проникновением жидкости в капиллярные щели твердых тел и
расклиниванием их. Это относится к процессам ультразвуковых очисток,
травлений, сверлений, к процессам кристаллизации и рафинирования в
металлургии.
Звукокапиллярный эффект позволяет значительно ускорять процессы
диспергирования и гидроабразивного разрушения порошкообразных
материалов, проводимый на ультразвуковых установках, работающих под
статическим давлением.

2.5.2 Акустоэммисионный эффект

Акустоэммисионный эффект – излучение упругих волн, возникающее в

процессе перестройки внутренней структуры твердых тел. Акустическая
эмиссия проявляется при пластической деформации твердых материалов, при
возникновении и развитии в них дефектов, например при образовании
трещин, при фазовых превращениях связанных с изменением
кристаллической решетки, а так же при резании твердых материалов.
Физическим механизмом, объясняющим ряд особенностей акустической
эмиссии, является движение в веществе дислокаций и их скоплений.
Дислокационные процессы, связанные с отрывом дислокаций от точек
закрепления, торможением их у препятствий, возникновением и
уничтожением отдельных дислокаций имеют существенно неравномерный, и
даже прерывистый, характер. Это является причиной, обуславливающей
излучение волн напряжения, т.е. акустической эмиссии. Соответственно
акустическая эмиссия имеет «взрывной», импульсный характер;
длительность импульса может составлять 108 … 104 с, энергия отдельного
импульса - от 109 до 105 Дж.
В качестве источника акустической эмиссии можно рассматривать
расположенный в глубине образца твердого тела элемент объема,
испытывающий изменение напряженного состояния. Сигналы акустической
эмиссии проявляются в виде колебаний поверхности образца, смещение при
которых составляет 1014 … 1017 м; иногда эти сигналы достаточно сильны и
могут восприниматься на слух (например, «крик олова» при пластическом
деформировании этого материала).
Сигнал эмиссии, распространяясь от источника к поверхности образца,
претерпевает существенное искажение вследствие дисперсии скорости звука,
трансформации типа и формы волны при отражении, затухании звука. Если
время затухания сигнала и время переходных процессов в образце меньше
промежутка времени между излучаемыми импульсами, то эмиссия
воспринимается в виде последовательности импульсов и называется
дискретной или импульсной. Если же интервал между отдельными актами
излучения меньше времени затухания, эмиссия имеет характер непрерывного
излучения, в подавляющем большинстве случаев нестационарного, и
называется непрерывной или сплошной. Дискретная эмиссия имеет место,
например, при образовании трещин, непрерывная - в процессе резания.
Частотный спектр акустических эмиссий весьма широк - он простирается от
области слышимых частот до десятков и сотен МГц.
К основным параметрам, характеризующим акустическую эмиссию,
относятся:
 общее число импульсов дискретной эмиссии за исследуемый
промежуток времени;
 так называемая суммарная (или интегральная) эмиссия - число
превышений сигналом эмиссии установленного уровня за исследуемый
промежуток времени;
  интенсивность эмиссии - число превышений сигналом эмиссии
установленного уровня в единицу времени;
 амплитуда эмиссии - максимальное значение сигнала эмиссии в
течение заданного промежутка времени;
 уровень сигналов эмиссии - среднее квадратичное сигнала за
рассматриваемый промежуток времени.
Корреляцию этих параметров с развитием дефектов устанавливают при
лабораторных испытаниях образцов, в процессе которых регистрируют в
функции времени параметры акустической эмиссии и действующую
внешнюю силу или деформацию образца.

Рисунок. 2.19 - Зависимость интенсивности акустической эмиссии (N) и ее

амплитуды (A) на выходе преобразователя от времени при возрастании
приложенной к образцу растягивающей силы (P)

Если акустическая эмиссия имеет квазистационарный характер,

параметром эмиссии, дающим информацию о состоянии материала и о
происходящих в нем процессах, может служить ее частотный спектр.
Для регистрации параметров акустической эмиссии, а также для записи
формы сигналов и их длительности применяют специальную аппаратуру,
которая обеспечивает прием слабых сигналов эмиссии на фоне шумов,
обладает необходимым быстродействием (интенсивность эмиссии меняется в
пределах от 0 до 105 импульсов в секунду) и малыми собственными шумами.
В качестве приемников колебаний в большинстве случаев используются
пьезокерамические преобразователи; оптические интерференционные
методы измерения колебаний с применением лазерного излучения. Сигналы
с датчиков колебаний усиливают и подвергают дальнейшей обработке с
помощью электронной аппаратуры.
Эффект акустической эмиссии широко используется:
 в информационно-измерительных системах раннего распознавания
трещин,
 при испытаниях материалов на ползучесть,
 для выявления скрытых дефектов на стадии их зарождения,
 для исследования коррозии металлов под напряжением,
 для определения дефектов в металлических и неметаллических
композиционных материалах,
 для локации дефектов и изучения кинетики развития трещин в
сварных швах и др.
По параметрам эмиссии судят о процессах в кристаллических телах,
происходящих при их нагревании и охлаждении. Например, регистрируют в
металлических материалах фазовые превращения мартенситного типа.
Акустическая эмиссия используется также при выборе режимов резания
металлов. В производственных условиях методы акустической эмиссии
применяются для локализации и определения параметров дефектов и
наблюдения за их развитием при испытаниях сосудов высокого давления,
элементов конструкции различного типа.

2.6 Применение упругих колебаний и волн для исследования живых

объектов

В биологии и медицине наиболее широко применяется ультразвук

различных диапазонов. В частности, при действии ультразвука на
биологические объекты происходит его поглощение и преобразование
акустической энергии в тепловую. Локальный нагрев тканей на десятые доли
градуса способствует активизации жизнедеятельности объектов, повышая
интенсивность процессов обмена веществ. Однако более интенсивные и
длительные воздействия могут привести к перегреву биологических структур
и их разрушению.
Ввиду малой длины волны характер распространения ультразвука в
первую очередь определяется молекулярной структурой среды; поэтому,
оценивая скорость ультразвука и коэффициент затухания, можно судить о
молекулярных свойствах вещества.
Способность ультразвука без существенного поглощения проникать в
мягкие ткани организма и отражаться от акустических неоднородностей
используется для диагностики внутренних органов. Микромассаж тканей,
активизация процессов обмена и локальное нагревание тканей под действием
ультразвука используются для неразрушающих терапевтических целей. С
другой стороны, ультразвуковая хирургия предусматривает разрушение
тканей собственно звуковыми колебаниями.
Большое значение имеет биологический эффект, производимый
инфразвуком. Поскольку длина инфразвуковой волны весьма велика (на
частоте 3,5 Гц она равна 100м), проникновение ее в ткани тела также велико.
Фигурально говоря, человек слышит инфразвук всем телом. Довольно
эффективно, в смысле влияния на человека, воздействие механического
резонанса упругих колебаний. Самым опасным здесь считается промежуток
от 6 до 9 Гц. Значительные психотропные эффекты сильнее всего
выказываются на частоте 7 Гц, созвучной альфаритму природных колебаний
мозга, причем любая умственная работа в этом случае делается невозможной.
Звук малой интенсивности вызывает звон в ушах, ухудшение зрения и
безотчетный страх. Звук средней интенсивности расстраивает органы
пищеварения и мозг, порождая паралич, общую слабость, а иногда и слепоту.
Мощный инфразвук способен повредить и даже полностью остановить
сердце. Неприятные ощущения начинаются с уровня звукового давления 120
дБ, травмирующие — со 130 дБ. Инфрачастоты около 12 Гц в 85—110 дБ
наводят приступы морской болезни и головокружение, а колебания частотой
15—18 Гц при той же интенсивности внушают чувства беспокойства,
неуверенности, панического страха.
Эти явления объясняются тем, что ритмы, характерные для
большинства систем организма человека, лежат в инфразвуковом диапазоне:
 сокращение сердца 1—2 Гц;
 дельтаритм мозга (состояние сна) 0,5—3,5 Гц;
 альфаритм мозга (состояние покоя) 8—13 Гц;
 бетаритм мозга (умственная работа) 14—35 Гц.
 Изменяя интенсивность инфразвука от внешних источников на этих
частотах, можно существенно изменить условия функционирования
соответствующих органов, вызывая в них как лечебный эффект, так и эффект
заболевания в зависимости от режима облучения.

2.7 Особенности генерации и распространения гиперзвуковых волн

Гиперзвук соответствует высокочастотной части спектра упругих волн

и по физической природе не отличается от ультразвука. Однако благодаря
более высоким частотам по сравнению с ультразвуком значительно более
существенными становятся взаимодействия гиперзвука с электронами
проводимости, тепловыми фононами и другими квазичастицами в среде.
Более того, сам гиперзвук часто представляют как поток квазичастиц
фононов.
По спектральному диапазону акустические колебания гиперзвуковой
частоты соответствуют частотам электромагнитных колебаний СВЧ-
диапазона, то есть длины волны гиперзвука одного порядка с длиной
свободного пробега молекул в воздухе. Однако упругие волны могут
распространяться в среде до тех пор, пока их длины заметно больше длины
свободного пробега частиц в газах или больше межатомных расстояний в
жидкостях и твердых телах. Поэтому в газах (в частности, в воздухе) при
нормальном атмосферном давлении гиперзвук распространяться не может. В
жидких средах затухание гиперзвука очень велико. Сравнительно хорошо
гиперзвук распространяется в кристаллических объектах, причем при низких
температурах. Это связано с тем, что гиперзвук сам может быть теплового
происхождения, поэтому тепловые колебания атомов и ионов, составляющих
кристаллическую решетку, можно рассматривать как тепловой шум
совокупность продольных и поперечных волн, распространяющихся по всем
направлениям. Эти волны при частотах 109 1013 Гц, называемых гиперзвуком
теплового происхождения, или тепловыми фонами.
Кроме естественной природы гиперзвука (кристаллические фононы)
существуют и технические методы генерации гиперзвука, основанные, как и
в случае ультразвука, на использовании явлений магнитострикции и
пьезоэлектричества.
 Близость частот гиперзвука к световому излучению приводит к
изменению показателя преломления электромагнитной волны под действием
упругой волны, а также к возникновению упругой волны под действием
электромагнитной волны в твердом теле, которое можно представить как
фотонное взаимодействие. Примером такого взаимодействия является
дифракция света на гиперзвуке в кристаллах.
Свойства гиперзвука позволяют использовать его для исследования
структурных изменений в различных кристаллах, а также для создания
устройств акустоэлектроники и акустооптики.
Долгое время гиперзвуковые волны не удавалось получать
искусственным путём (в этом одна из причин выделения этой области
спектра упругих волн, названной «гиперзвуком»), поэтому изучали гиперзвук
в основном теплового происхождения. Твёрдое кристаллическое тело можно
представить как некоторую объёмную пространственную решётку, в узлах
которой расположены атомы или ионы. Тепловое движение представляет
собой непрерывные и беспорядочные колебания этих атомов около
положения равновесия. Такие колебания можно рассматривать как
совокупность продольных и поперечных плоских упругих волн самых
различных частот — от самых низких собственных частот упругих
колебаний данного тела до частот 10 10 Гц (далее спектр упругих волн
12 13

обрывается), распространяющихся по всевозможным направлениям. Эти

волны называют также дебаевскими волнами, или тепловыми фононами.
Фонон представляет собой элементарное возбуждение решётки
кристалла или квазичастицу с энергией ћω и импульсом ћω/c, где ω —
частота, с — скорость звука в кристалле и ћ. — постоянная Планка. Фонону
соответствует плоская упругая волна подобно тому, как фотону
соответствует плоская электромагнитная волна определённой частоты.
Тепловые фононы имеют широкий спектр частот, тогда как искусственно
получаемый гиперзвук может иметь только какую-нибудь одну
определенную частоту. Поэтому искусственно генерируемый гиперзвук
можно представлять как поток когерентных фононов. В жидкостях тепловое
движение имеет характер, близкий к характеру теплового движения в
твёрдых телах, поэтому в жидкостях, как и в твёрдых телах, тепловое
движение непрерывно генерирует некогерентные гиперзвуковые волны.
 До того как стало возможным получать гиперзвук искусственным
путём, изучение гиперзвуковых волн и их распространения в жидкостях и
твёрдых телах проводилось главным образом оптическим методом. Наличие
гиперзвука теплового происхождения в оптически прозрачной среде
приводит к рассеянию света с образованием нескольких спектральных линий,
смещенных на частоту гиперзвука (рассеяние Мандельштама — Бриллюэна).
Исследования гиперзвука в ряде жидкостей привели к открытию в них
зависимости скорости распространения волны и аномального поглощения от
частоты гиперзвука.
Изучение затухания гиперзвука в металлах на электронах
проводимости позволяет исследовать важные характеристики металлов
(времена релаксации, поверхность Ферми, энергетическую щель в
сверхпроводниках и др.).
Взаимодействие между искусственными, или когерентными, фононами
и электронами становится существенным в области ультразвуковых и,
особенно, в области гиперзвуковых частот в полупроводниках, обладающих
пьезоэлектрическими свойствами (например, кристалл сернистого кадмия, в
котором взаимодействие между фононами и электронами проводимости
очень сильно). Если к кристаллу приложить постоянное электрическое поле,
величина которого такова, что скорость электронов будет несколько больше
скорости упругой волны, то электроны будут обгонять упругую волну,
отдавая ей энергию и усиливая её, т. е. будет происходить усиление упругих
волн. Взаимодействие между когерентными фононами и электронами
приводит также к акустоэлектрическому эффекту — явлению, которое
состоит в том, что фононы, отдавая свой импульс электронам, создают в
кристалле постоянную ЭДС и постоянный электрический ток. В случае,
когда электроны отдают энергию упругой волне, ЭДС также возникает, но
имеет противоположный знак.
Рассматривая взаимодействие гиперзвука с электронами, следует
принимать во внимание тот факт, что электрон, кроме массы и заряда,
обладает ещё собственным механическим моментом (спином) и связанным с
ним магнитным моментом, а также орбитальным магнитным моментом.
Между орбитальным магнитным моментом и спином имеет место спин-
орбитальное взаимодействие: если меняется наклон орбиты, несколько
меняется и направление спина. Прохождение гиперзвука соответствующей
частоты и поляризации может вызвать изменение магнитного состояния
атомов. Так, при частотах гиперзвука порядка 1010 Гц в кристаллах
парамагнетиков взаимодействие гиперзвука со спин-орбитальной системой
выражается, например, в явлении акустического парамагнитного резонанса
(АПР), аналогичного электронному парамагнитному резонансу (ЭПР) и
состоящего в избирательного поглощении гиперзвука, обусловленном
переходом атомов с одного магнитного уровня на другой. При помощи АПР
оказывается возможным изучать переходы между такими уровнями атомов в
парамагнетиках, которые являются запрещенными для ЭПР.
Используя взаимодействие когерентных фононов со спин-орбитальной
системой, можно в парамагнитных кристаллах при низких температурах
усиливать и генерировать гиперзвуковые волны на принципе, сходном с тем,
на котором работают квантовые генераторы.
В магнитоупорядоченных кристаллах (ферромагнетики, ферриты,
антиферромагнетики) распространение гиперзвуковой волны вызывает
появление спиновой волны (изменения магнитного момента, передающиеся в
виде волны) и, наоборот, спиновая волна вызывает появление гиперзвуковой
волны. Таким образом, один тип волн порождает другой, поэтому в общем
случае в таких кристаллах распространяются не чисто спиновые и упругие
волны, а связанные магнитно-упругие волны.
Взаимодействие гиперзвука со светом проявляется, как упоминалось
выше, в рассеянии света на гиперзвуке теплового происхождения,
эффективность этого взаимодействия очень мала. Но при использовании
мощного источника света (например, мощного рубинового лазера), можно
получить заметное усиление падающим светом упругой волны. В результате
можно генерировать интенсивную гиперзвуковую волну в кристалле
мощностью несколько десятков кВт. В свою очередь, усиленная упругая
волна будет в большей степени рассеивать падающий свет. Так что при
определенных условиях интенсивность рассеянного света может быть одного
порядка с падающим; это явление называется вынужденным рассеянием
Мандельштама — Бриллюэна.
Таким образом, свойства гиперзвука позволяют использовать его как
инструмент исследования состояния вещества. Особенно велико его значение
для изучения физики твёрдого тела. В области технических применений,
развитие которых только начинается, уже сейчас существенно его
использование для так называемых акустических линий задержки в области
СВЧ колебаний (ультразвуковые линии задержки).

Контрольные вопросы к главе 2

1. Перечислите способы генерации механических колебаний.
2. Объясните физическую природу тензо-, масс- и термочувствительности
электромеханических измерительных преобразователей.
3. Объясните принцип работы вибрационного плотномера.
4. Объясните принцип работы плотномера, основанного на
использовании эффекта Кориолиса.
5. Объясните механизм чувствительности пьезорезонансных датчиков
влажности.
6. Объясните природу акустоэлектрического эффекта.
7. Какие существуют особенности генерации и распространения упругих
колебаний гиперзвуковой частоты?

Глава 3. Физические основы СВЧ и тепловых измерительных устройств

В данной главе будут рассмотрены физические основы построения

измерительных устройств, основанных на возбуждении электромагнитных
колебаний и волн в электрических цепях с сосредоточенными и
распределенными параметрами, а также на взаимодействии
электромагнитных полей с веществом.

3.1 Общая характеристика видов электромагнитного излучения

Распространение электромагнитных колебательных процессов A(t, x) в

сплошной среде описывается волновым уравнением:
d2A 1 d2A 1
 ,  , (3.1)
dx 2  2 dt 2 
где  - фазовая скорость.
Среда, в которой распространяются волны, характеризуется
импедансом (волновым сопротивлением) в отсутствие потерь зависящем от
параметров, которые описывают накопление энергии в среде. Для
электромагнитных волн импеданс среды без потерь определяется как
произведение магнитной проницаемости на фазовую скорость или корень
квадратный из отношения магнитной и электрической проницаемостей:

z    . (3.2)

При наличии потерь выражение для импеданса среды является
комплексной величиной.
Длина электромагнитной волны теоретически может, с одной стороны,
быть сколь угодно малой (но конечной), с другой - сколь угодно большой (но
тоже конечной). Электромагнитное излучение при сверхмалой длине волны
всё более похоже на поток частиц. Предельным случаем бесконечно большой
длины волны может служить электростатическое поле. Реально работают с
электромагнитным излучением с длиной волны не более тысячи километров.
Условно диапазоны длин волн, используемые в технических устройствах,
получили соответствующие наименования. На рисунке 3.1 представлена
шкала частот электромагнитных волн, используемых в технике.

Рисунок. 3.1 - Шкала частот электромагнитных волн

В вакууме электромагнитные волны всех частот распространяются

одинаково — со скоростью света. В реальных средах в результате
взаимодействия излучения с веществом скорость света зависит от частоты,
соответственно, от длины волны и энергии кванта. По характеру
взаимодействия с веществом излучение делят на диапазоны: гамма-
излучение, рентген, ультрафиолет, видимый свет, инфракрасное излучение и
радиоволны, которые вместе образуют электромагнитный спектр. Сами эти
диапазоны в свою очередь разделяют на поддиапазоны, причем в науке нет
единой устоявшейся традиции такого деления. Тут многое зависит от
применяемых технических средств для генерации и регистрации излучения.
Поэтому в каждой сфере науки и техники поддиапазоны определяют по-
своему, а нередко даже сдвигают границы основных диапазонов.
 Видимое излучение. Из всего спектра человеческий глаз способен
улавливать излучение только в очень узком диапазоне видимого света. От
одного его края до другого частота излучения (а равно длина волны и
энергия квантов) меняется менее чем в два раза. Для сравнения самые
длинные радиоволны в 1014 раз длиннее видимого излучения, а гамма-кванты
— в 1020 энергичнее. Тем не менее, на протяжении многих тысяч лет большую
часть информации об окружающем мире люди черпали из диапазона
видимого излучения, границы которого определяются свойствами
светочувствительных клеток человеческой сетчатки.
Разные длины волн видимого света воспринимаются человеком как
разные цвета — от красного до фиолетового. Традиционное деление
видимого диапазона спектра на семь цветов радуги является культурной
условностью. Никаких четких физических границ между цветами нет.
Англичане, например, обычно делят радугу на шесть цветов. Известны и
другие варианты. За восприятие всего разнообразия цветов и оттенков
видимого света отвечают всего три различных типа рецепторов, которые
чувствительны к красному, зеленому и синему цвету. Это позволяет
воспроизводить практически любой цвет, смешивая на экране эти три
основных цвета.
Ультрафиолетовое излучение. С коротковолновой стороны от
видимого света располагается ультрафиолетовый диапазон, который делят на
ближний и дальний (вакуумный). Как и видимый свет, ближний
ультрафиолет проходит через атмосферу. Органами чувств человек его не
воспринимает, но на коже ближний ультрафиолет вызывает появление
загара. Это защитная реакция кожи на определенные химические нарушения
под действием ультрафиолета. Чем короче длина волны, тем большие
нарушения может вызывать ультрафиолетовое излучение в биологических
молекулах. Если бы весь ультрафиолет проходил через атмосферу, жизнь на
поверхности Земли была бы невозможна. Однако выше некоторой частоты
атмосфера перестает пропускать ультрафиолетовое излучение, поскольку
энергии его квантов становится достаточно для разрушения (диссоциации)
молекул воздуха. Одним из первых ультрафиолетовый удар принимает на
себя озон, за ним следует кислород. Вместе атмосферные газы предохраняют
поверхность Земли от жесткого ультрафиолетового излучения Солнца,
которое называют вакуумным, поскольку оно может распространяться
только в пустоте (вакууме).Верхний предел вакуумного ультрафиолета —
200 нм. С этой длины волны начинает поглощать ультрафиолет
молекулярный кислород. Ближний ультрафиолет можно наблюдать с Земли,
вакуумный — только из космоса.
Рентгеновское излучение. Формальной границы между жестким
ультрафиолетовым и рентгеновским излучением нет. К ее определению есть
два основных подхода: с одной стороны, к рентгену принято относить
излучение, способное вызывать возбуждение атомных ядер — подобно тому,
как видимое и инфракрасное излучение возбуждает электронные оболочки
атомов и молекул. В этом случае даже жесткий вакуумный ультрафиолет в
некоторых случаях может быть отнесен к рентгену. В другом подходе
рентгеном считают излучение с длиной волны меньше характерного размера
атомов (0,1 нм). Тогда получается, что большую часть мягкого
рентгеновского диапазона следует считать сверхжестким ультрафиолетом.
Мягкое рентгеновское излучение еще может отражаться от
полированного металла, но только при скользящем падении — под углом
менее 1 градуса. Более жесткое излучение приходится концентрировать
иными способами. Для задания направления используют узкие трубки,
отсекающие кванты, приходящие сбоку, а приемником служит сцинтиллятор,
в котором рентгеновские кванты ионизируют атомы, а те, вновь объединяясь
с электронами, испускают видимое или ультрафиолетовое излучение,
которое регистрируют при помощи фотоэлектронных умножителей.
Гамма-излучение. Граница, на которой рентгеновский диапазон
сменяется гамма-излучением, также условна. Обычно ее связывают с
энергией квантов, которые испускаются при ядерных реакциях (или
наоборот, могут их вызывать). Другой подход связан с тем, что тепловое
излучение не принято относить к гамма-диапазону, как бы ни была высока
его энергия. Устойчивых образований с температурой выше десятков
миллиардов градусов в современной Вселенной неизвестно. Это дает
основание считать, что гамма-излучение всегда генерируется нетепловым
путем. Основным механизмом является излучение при столкновении
заряженных частиц, разогнанных до околосветовых скоростей мощными
электромагнитными полями, например, у нейтронных звезд.
Деление гамма-излучения на поддиапазоны носит еще более условный
характер. К сверхвысоким энергиям относят гамма-кванты, генерация
которых выходит за пределы возможностей современных технологий. Все
источники такого излучения связаны исключительно с космосом. Но
поскольку технологиям свойственно развиваться, это определение нельзя
назвать четким.
Атмосфера защищает нас и от гамма-излучения. В мягком и жестком
поддиапазонах она полностью его поглощает. Кванты диапазона
сверхвысоких энергий, сталкиваясь с ядрами атомов в атмосфере, порождают
каскады частиц, энергия которых постепенно снижается и рассеивается.
Однако первые эшелоны частиц в них движутся быстрее скорости света в
воздухе. В таких условиях заряженные частицы порождают так называемое
тормозное (черенковское) излучение, в чем-то подобное звуковой ударной
волне от сверхзвукового самолета. Ультрафиолетовые и видимые кванты
тормозного излучения достигают поверхности Земли, где улавливаются
специальными телескопами. Можно сказать, что сама атмосфера становится
частью телескопа, и это позволяет наблюдать с Земли гамма-излучение
сверхвысоких энергий.
Еще более энергичные кванты — ультравысоких энергий —
порождают настолько мощные каскады частиц, что они пробивают
атмосферу насквозь и достигают поверхности Земли. Их называют широкими
атмосферными ливнями (ШАЛ) и регистрируют сцинтилляционными
датчиками. Частицы ШАЛ наряду с естественной радиоактивностью земных
пород могут повреждать биологические молекулы, в частности ДНК, и
вызывать мутации в живых организмах. Тем самым они вносят свой вклад в
эволюцию жизни на Земле. Но если бы их интенсивность была заметно
выше, это могло бы стать серьезным препятствием для жизни. Но, чем выше
энергия гамма-квантов, тем реже они встречаются. Самые энергичные
кванты с энергией около 1020 эВ приходят примерно один раз в сто лет на
квадратный километр земной поверхности. Происхождение столь
энергичных гамма-квантов пока не вполне ясно. Значительно большей
энергией кванты обладать не могут, так как выше некоторого порога они
начинают взаимодействовать с реликтовым микроволновым излучением,
приводя к рождению заряженных частиц. Иначе говоря, Вселенная
непрозрачна для излучения заметно более энергичного, чем 1021 –1024 эВ.
Инфракрасное излучение. Спектральный диапазон ИК-излучения лежит
между красным краем спектра (0.65 – 0.7 мкм) и началом радиодиапазона
(около 1 мм). Весь диапазон инфракрасного излучения принято разделять на
ближний, средний и дальний (длинноволновый).
К первому относятся волны длиной 0.7 – 5 мкм. Этот диапазон
используется, например, для передачи информации по стекловолоконным
кабелям, на него приходится максимальная энергия излучения сильно
нагретых тел.
Средний диапазон соответствует 5 – 30 мкм, на него приходится
максимум излучения тел, нагретых до нескольких сотен кельвинов. В
ближнем и средневолновом диапазоне располагаются спектральные линии
различных молекул, несущие важную информацию о составе разреженной
среды.
Более длинные волны относятся к дальнему ИК-диапазону, самому
трудному для регистрации и исследований. Диапазон в сотни микрометров
называют также субмиллиметровым. Это область излучения самых холодных
тел и сред, температура которых может быть всего лишь на несколько
градусов выше абсолютного нуля.
Ближнее ИК-излучение физически ничем не отличается от видимого
света, за исключением того, что не воспринимается сетчаткой глаза. Человек
ощущает инфракрасное излучение кожей — как тепло.
С ростом длины волны атмосфера теряет прозрачность для
инфракрасного излучения. Это связано с так называемыми колебательно-
вращательными полосами поглощения молекул атмосферных газов. Будучи
квантовыми объектами, молекулы не могут вращаться или колебаться
произвольным образом, как грузы на пружинке. У каждой молекулы есть
свой набор энергий (и, соответственно, частот излучения), которые они могут
запасать в форме колебательных и вращательных движений. Однако даже у
не самых сложных молекул воздуха набор этих частот столь обширен, что
фактически атмосфера поглощает всё излучение в некоторых участках
инфракрасного спектра — это так называемые инфракрасные полосы
поглощения. Они перемежаются небольшими участками, в которых
космическое ИК-излучение достигает поверхности Земли — это так
называемые окна прозрачности, которых насчитывается около десятка.
Поглощение ИК-излучения почти полностью происходит в нижних слоях
атмосферы из-за повышения плотности воздуха у поверхности Земли.
 Деление инфракрасного излучения на поддиапазоны также весьма
условно. Граница между ближним и средним инфракрасным излучением
проводится примерно в районе абсолютной температуры 300 К, которая
характерна для предметов на земной поверхности. Поэтому все они, включая
приборы, являются мощными источниками инфракрасного излучения. Чтобы
в таких условиях выделить излучение от слабого источника, аппаратуру
приходится охлаждать до температур, близких к абсолютному нулю, и
выносить за пределы атмосферы, которая сама интенсивно светит в среднем
ИК-диапазоне (за счет этого излучения Земля рассеивает в космос энергию).
Основной тип приемника излучения в этом диапазоне — болометр, то есть,
черное тело, поглощающее излучение, соединенное со сверхточным
термометром.
Дальний инфракрасный диапазон — один из наиболее сложных, как
для генерации, так и для регистрации излучения. В последнее время
благодаря разработке особых материалов и сверхбыстродействующей
электроники с ним научились достаточно эффективнч работать. В технике
его часто называют терагерцевым излучением. Сейчас активно идет
разработка бесконтактных сканеров для определения химического состава
объектов на основе генераторов терагерцевого излучения. Они смогут
выявлять пластиковую взрывчатку и наркотики на контрольных пунктах в
аэропортах.
В астрономии этот диапазон чаще называют субмиллиметровым
излучением. Он интересен тем, что в нем (а также в соседнем с ним
микроволновом диапазоне) наблюдается реликтовое излучение Вселенной.
До уровня моря субмиллиметровое излучение не доходит, но поглощается
оно в основном в самых нижних слоях атмосферы.
Микроволны и радиоволны. К инфракрасному диапазону примыкает
радиоизлучение, которое охватывает весь длинноволновый край
электромагнитного спектра. Энергия квантов в радиодиапазоне очень мала.
Ее обычно не хватает для существенных изменений в структуре атомов и
молекул, но хватает, чтобы взаимодействовать с вращательными уровнями
молекул, например, воды. Энергии радиоволн также достаточно для того,
чтобы воздействовать на свободные электроны, например, в проводниках.
Колебания электромагнитного поля радиоволны вызывают синхронные
колебания электронов в антенне, в результате чего происходит генерация
переменного электрического тока в цепи.
При высокой интенсивности микроволнового излучения этот ток
может вызывать значительный нагрев вещества. Это свойство используется
для разогрева продуктов, содержащих воду, в микроволновых печах.
Микроволновое излучение также называют сверхвысокочастотным (СВЧ)
излучением. Оно является самым коротковолновым поддиапазоном
радиоизлучения с длиной волны от 1 мм до 30 см. СВЧ-излучение проникает
в толщу продуктов на глубину до нескольких сантиметров, что обеспечивает
прогрев по всему объему, а не только с поверхности, как в случае обработки
инфракрасным излучением на гриле.
В микроволновом диапазоне также работают все системы сотовых
телефонов и локальной радиосвязи, например, протоколы Bluetooth и WiFi,
используемые беспроводными электронными устройствами.
Чем больше длина радиоволны, тем меньшую энергию она несет и тем
труднее ее зарегистрировать. Для приема антенну, в которой под действием
радиоволны возникают электрические колебания, подключают к
электрическому контуру. При попадании в резонанс с его собственной
частотой колебания усиливаются и их можно зарегистрировать.
Большая часть микроволнового излучения (начиная с длины волны 3–5
мм) проходит через атмосферу. То же можно сказать про ультракороткие
волны (УКВ), на которых вещают местные телевизионные и радиостанции (в
т. ч. FM-станции) и ведется космическая радиосвязь. Излучение их
передатчиков регистрируется только в пределах прямой видимости антенн.
Окно прозрачности атмосферы в радиодиапазоне заканчивается примерно на
длине волны 10–30 метров.
Более длинные радиоволны отражаются от ионосферы Земли. Это не
позволяет наблюдать космические радиоисточники на более длинных волнах,
но зато обеспечивает возможность глобальной коротковолновой радиосвязи.
Радиоволны в диапазоне от 10 до 100 метров могут огибать всю Землю,
многократно отражаясь от ионосферы и поверхности Земли. Правда, их
распространение зависит от состояния ионосферы, на которую сильно влияет
солнечная активность. Поэтому коротковолновая связь не отличается
высоким качеством и надежностью.
 Средние и длинные волны также отражаются от ионосферы, но сильнее
затухают с расстоянием. Для того чтобы сигнал можно было поймать на
расстоянии более тысячи километров, требуются очень мощные передатчики.
Сверхдлинные радиоволны, с длиной в сотни и тысячи километров, огибают
Землю уже не благодаря ионосфере, а за счет волновых эффектов, которые
также позволяют им проникать на некоторую глубину под поверхность
океана. Это свойство используется для экстренной связи с боевыми
подводными лодками в погруженном состоянии. Другие радиоволны не
проходят через морскую воду, которая из-за растворенных в ней солей
представляет собой хороший проводник и поглощает или отражает
радиоизлучение.

3.2 Примеры использования электрических колебательных контуров и

волноводов для целей измерения

Электрические колебательные контуры и волноводы широко

применяются в качестве первичных преобразователей при измерении
различных физических величин. Высокая чувствительность измерительных
устройств данного типа достигается за счет реализации резонансных
режимов работы.
Для описания принципа их работы могут быть использованы
достаточно простые соотношения:
1 L 1 tg 
rc r
 c
 , Q  , (3.3)
LC r  Cr xc  C
Эти зависимости определяют основные параметры колебательной
системы преобразователей, которые функционально связаны с измеряемыми
физическими величинами.
Например, измеряя резонансную частоту электрического
колебательного контура можно с высокой точностью определять значения
емкостей или индуктивностей, включенных в измерительную цепь:
L0 1
Ñ õ  (Ñ  Ñ0 ) , Ñ õ  (Ñ  Ñ0 ) , Lõ  . (3.4)
L1  2C
Эталонный конденсатор ( С0 ) градуируют в значениях измеряемого
параметра. Основными источниками погрешности таких измерений являются
неточность настройки резонансной частоты колебательного контура,
нестабильность частоты генератора колебаний, погрешность эталонного
конденсатора.
Данный метод применяется для измерения относительно малых
значений емкости (до 1 nF). Измерение по индуктивности принципиально
возможно, но на практике не используется из-за трудности изготовления
эталонных переменных катушек индуктивности.
Можно выделить два основных класса таких приборов. Это приборы,
принцип работы которых основан на модуляции параметров электрических
колебательных контуров и радиоволновые измерительные устройства.
Очевидно, что преобразователи, реализующие режимы стоячих волн по
длине волновода, могут быть отнесены как к колебательным, так и к
волновым устройствам.
Принцип работы радиоволновых устройств основан на управлении
параметрами электрической измерительной цепи, условиями взаимодействия
электромагнитной энергии с исследуемым веществом. При создании
радиоволновых измерительных преобразователей чаще всего используют
высокочастотный диапазон электромагнитных колебаний (СВЧ - диапазон),
так как с повышением частоты уменьшается длина волны, что определяет
высокую разрешающую способность устройства, уменьшаются габаритные
размеры преобразователей.
Первичные преобразователи такого типа отличаются большим
разнообразием конструктивных исполнений. Например, это могут быть:
полый объемный резонатор, система излучающих или принимающих антенн,
электродов, а также специальные конструкции волноводов, используемых в
качестве чувствительных и передающих элементов.
Например, на основе протяженного волновода можно создать
устройство для измерения уровня жидких и сыпучих сред.

Рисунок 3.2 - Устройство и рабочая характеристика принцип работы

радиоволнового датчика уровня
 Принцип работы такого устройства основан на влиянии магнитных,
диэлектрических и диссипативных свойств окружающей среды на
характеристики волновода. В результате изменения измеряемого уровня
изменяются затухание волновода, резонансная частота контура, его входное
сопротивление и т.д. Первичный преобразователь такого устройства
представляет собой зашунтированный конденсатором в начале и
закороченного в конце линии участок волновода. Такие участки и кратные
им линии подобны колебательным контурам (резонансные линии).
Реактивное сопротивление линии при изменении ее длины периодически
изменяется от нуля до бесконечности.
В качестве выходных параметров преобразователя используют:
изменение сопротивления контура при неизменной частоте колебаний;
изменение резонансной частоты или положение узлов и пучностей по длине
линии.
Математическая модель данного измерительного устройства может
быть представлена в виде упрощенной функциональной зависимости:
1

  õ 1 x  2 1
 1  (  1)(  sin )  . (3.5)
0  l  l  x
1  (  1)
l
В непроводящих жидкостях по мере погружения волновода в среду
частота автоколебаний убывает, а в электропроводящих жидкостях,
наоборот, растет. При измерениях необходимо учитывать изменение
электропроводности среды.
Необходимо учитывать, что на высоких частотах проявляет себя скин-
эффект, т.е. происходит вытеснение электромагнитной энергии к
поверхности проводника, поэтому волноводы часто выполняют полыми. При
согласовании геометрических размеров волновода с рабочей частотой
измерительного преобразователя по его длине устанавливается режим
стоячих волн, в результате чего в объеме резонатора происходит
взаимодействие электрического и магнитного полей. С учетом того, что
энергия волновода может сильно излучаться в окружающую среду, для
подключения таких устройств применяют коаксиальный кабель с наружным
экраном.
В качестве первичного измерительного преобразователя используют
диэлектрические волноводы (задают только направление распространения
волн), гребенчатые и другие конструкции замедляющих волноводов
(например, жилы внутри преобразователя имеют спиралеобразную форму).
Радиоволновые измерительные устройства характеризуются
следующими особенностями:
 сильное излучение в окружающую среду;
 наличие паразитных связей;
 нужно учитывать скин-эффект;
 электромагнитная энергия распространяется вне провода;
 применимы законы геометрической оптики;
 используют для исследования характеристик материалов, сред
изделий, расстояний, уровней и т.п.;
 исследуемая среда может находиться внутри и снаружи волновода;
 для повышения чувствительности реализует режимы стоячих
(резонансные линии) и бегущих волн;
 используют явления отражения и преломления волн.
Например, в устройстве для измерения уровня используется
радиоволновый преобразователь, реализующий режим стоячей волны по
длине волновода.
Принцип действия датчиков уровня радарного типа иллюстрируется
рисунком 3.3 Электромагнитный импульс распространяется по волноводу и
отражается от поверхности жидкости, обладающей более высокими
диэлектрическими свойствами, чем воздух или пар. Быстродействующая
схема синхронизации обеспечивает измерение времени распространения
сигнала и вычисляет точный уровень жидкости.

Рисунок 3.3 - Внешний вид и основные типы датчиков уровня радарного типа
3.3 Устройство и принцип работы беспроводных измерительных
устройств СВЧ диапазона

Системы из беспроводных СВЧ – излучателей и приемников широко

используют для измерения расстояния до удаленных объектов, для
измерения уровня среды и т.п. При этом информативным параметром
устройств является время распространения сигнала между излучателем и
приемником.
Наиболее широкое применение для целей обнаружения присутствия и
перемещения объектов нашли микроволновые датчики. Принцип работы
устройств данного типа основан на излучении электромагнитных волн (СВЧ
- диапазона) в направлении объекта и регистрации отраженных от него волн.
СВЧ датчики являются альтернативой другим датчикам, когда
требуется контролировать большие площади и работать в широком
температурном диапазоне в сильно зашумленных условиях: при ветре,
акустических помехах, в тумане, в пыли, влажности и т.д.
Принцип действия СВЧ датчиков основан на излучении
электромагнитных радиочастотных волн в сторону объекта. Самыми
распространенными являются частоты 10, 525 ГГц (Х - диапазон) и 24, 125
ГГц (К - диапазон). При этом мощность излучения достаточно низкая, чтобы
не причинять вред здоровью людей, а длина волны должна быть достаточно
большой, чтобы свободно проходить сквозь большинство частиц,
загрязняющих воздух, и достаточно короткой, чтобы отражаться от больших
объектов.
Для определения направления движения объекта (навстречу датчику
или от него) датчик должен быть оснащен еще одним смесительным диодом.
Второй диод располагается в волноводе таким образом, что доплеровские
сигналы от двух диодов отличаются по фазе на четверть длины волны или на
90°. Выходные сигналы обоих диодов усиливаются отдельно друг от друга и
преобразуются в прямоугольные импульсы, которые далее анализируются в
логическом устройстве, представляющем собой цифровой дискриминатор
фаз, определяющий направление движения объекта. Такие детекторы
применяются, например, в устройствах автоматического открывания дверей,
управления транспортными потоками и т.п.
 , (3.6)

(3.7)
(3.8)

(3.9)

Рисунок 3.4 - Блок – схема (А) и временные диаграммы (Б) микроволнового

допплеровского датчика движения с функцией определения направления
перемещения

С помощью микромощных импульсных радаров реализуют достаточно

эффективные детекторы движения. Достоинством таких датчиков являются
низкое потребление мощности. Такой радар может быть спрятан, например,
внутри строительных конструкций и, благодаря своей низкой излучающей
мощности, не превышающей мощность естественного теплового шума, его
трудно обнаружить при помощи электронных устройств.

3.4 Исследования и разработка детекторов терагерцевого диапазона

Терагерцевый диапазон частот электромагнитного излучение лежит в

промежутке между радиоволнами и инфракрасным излучением. Они легко
проходят сквозь многие вещества, а поскольку их длина волны измеряется
сотнями микрон, с помощью таких волн можно разглядеть весьма мелкие
детали строения веществ, а так же вариации химического состава на
миллиметровых масштабах.
Несмотря на очевидные достоинства, до недавнего времени этот
диапазон волн не был освоен электронной промышленностью. Трудности
возникали с изготовлением и достаточно мощных источников такого рода
излучений, и чувствительных детекторов. Сейчас эти трудности решаются, и
в мире наблюдается повышенный интерес к созданию терагерцевых
устройств.
Специалисты Физического института им. П. Н. Лебедева РАН
разработали и излучатели, и приемники терагерцевого диапазона. В первом
случае они теоретически рассчитали строение полупроводникового
устройств, способного перейти в так называемый режим квантового
усиления и создали эффективный излучатель с многослойной структурой на
основе соединения GaAs/AlAs с квантовыми ямами. Во втором — получили
высокочувствительные детекторы из ультратонкой пленки сверхпроводника
NbN, способные работать в диапазоне 0,3-3 ТГц с наносекундным
быстродействием. В результате работы выработаны требования к технологии
изготовления излучателей и приемников терагерцевого диапазона.
Созданные системы могут применяться как в устройствах пассивного
тепловидения, так и с использованием излучателем и найдут применение в
медицине, всепогодной навигации, детекторах-интроскопах в аэропортах и
на таможне, экологическом мониторинге атмосферы, радиофизике и
радиоастрономии.
Например, ученые из университета Райс (США) разработали прототип
фотокамеры для съемки людей и предметов в терагерцевом диапазоне.
Ожидается, что изобретение найдет применение в системах обеспечения
безопасности, а также в медицине.
Терагерцевые камеры уже производятся серийно, но у существующих
моделей есть ряд недостатков. Прежде всего, терагерцевое излучение
соседствует с тепловым, и потому приемник неизбежно регистрирует и
тепловой шум (с аналогичной проблемой сталкиваются и обычные
фотокамеры). Увеличение размеров матрицы и их охлаждение отчасти
снимают проблему, но при этом существенно растет стоимость камеры,
первые детекторы приходилось вымораживать до температуры жидкого
азота и ниже.
В камере из университета Райс эти недостатки удалось отчасти
преодолеть путем замены матрицы на единственный фотоэлемент.
Сканирование объекта производится поточечно, а специально разработанный
математический алгоритм позволяет по случайно выбранному набору точек
восстановить картинку целиком без существенных потерь в качестве.
Пока новая камера все равно занимает часть лаборатории, но ученые
уже разработали способ ее радикального уменьшения.

Рисунок 3.5 - Изображение, полученной с помощью приемника

терагерцевого излучения

Для регистрации тепловых полей терагерцевого диапазона используют

так называемые ячейки Голея, являющиеся широкополосными датчиками ИК
– излучения. Они характеризуются высокой чувствительностью, но имеют
низкую механическую надежность. Принцип работы таких устройств
основан на регистрации теплового расширения газа, заключенного в
замкнутый объем (термопневматический датчик).

Рисунок 3.6 - Устройство ячейки Голея и внешний вид оптоакустического

детектора

Ячейка Голея является одним из наиболее эффективных детекторов

терагерцового излучения. Она имеет высокую чувствительность при
комнатной температуре и неселективный фотоотклик в широком диапазоне
длин волн. Применяются для мониторинга и контроля среднего ИК и ТГц
излучений.

3.5 Принципы построения и особенности функционирования тепловых

измерительных устройств

Общая теория теплоты является аксиоматической наукой, она не

вводит специальных гипотез и конкретных представлений о строении
вещества и физической природы теплоты. Ее выводы основаны на общих
принципах или началах, являющихся обобщением опытных фактов. Она
рассматривает теплоту как род какого-то внутреннего движения, но не
пытается конкретизировать, что это за движение.
Значимость процесса теплообмена как в природе, так и в технике
определяется тем, что свойства тел самым существенным образом зависят от
температуры, т.е. от их теплового состояния. Последнее же, в свою очередь,
определяется условиями теплообмена, которые поэтому оказывают
решающее влияние на процессы изменения агрегатного состояния вещества,
на течение химических реакций, механические, элетроизоляционные,
магнитные и другие свойства тел.
Именно этими обстоятельствами и объясняются бурное развитие
теории теплообмена в ХХ веке и то исключительное внимание, которое ей
уделяется в физике планетарных процессов, энергетике, химической
технологии и в ряде других отраслей науки и техники.

3.5.1 Общие понятия теории тепловых явлений

В отличие от механической энергии, которая может изменяться только

за счет работы, внутренняя энергия может изменяться как за счет работы, так
и при контакте с телами, имеющими другую температуру, т.е. в процессе
теплообмена. Энергия, переданная при теплообмене (подведении тепла),
называется количеством теплоты или теплотой. Теплота считается
положительной, если система получает энергию, и отрицательной, если
отдает. При соприкосновении двух тел, имеющих различную температуру,
происходит обмен энергией движения структурных частиц (молекул, атомов,
свободных электронов), вследствие чего интенсивность движения частиц
тела, имеющего меньшую температуру, увеличивается, а интенсивность
движения частиц тела с более высокой температурой уменьшается. В
результате одно из соприкасающихся тел нагревается, а другое остывает.
Поток энергии, передаваемой частицами более горячего тела частицам тела
более холодного, называется тепловым потоком.
Таким образом, для возникновения теплового потока, т.е. процесса
теплообмена между различными областями пространства, заполненного
вещественной средой, необходимо и достаточно, чтобы в этих областях
имели место неодинаковые температуры. Иначе говоря, единственным
условием возникновения теплообмена является наличие разности температур
между рассматриваемыми телами. При этом тепловой поток направлен в
сторону меньших температур.
Предметом теории теплообмена являются процессы переноса тепла из
одной части пространства и другую. Наряду с рассмотренным случаем
теплообмена непосредственно в вещественной среде, являющегося
следствием движения структурных частиц, имеет место также перенос
теплоты посредством лучеиспускания (например, в космических процессах).
Поэтому следует различать теплообмен путем непосредственного
соприкосновения тел и лучистый теплообмен, когда энергия передается от
одного тела к другому посредством электромагнитного поля.
В вещественной среде распространение тепла, в конечном счете, всегда
связано с тепловым движением структурных частиц. Однако
непосредственный перенос определенных порций теплоты из одной области
в другую может происходить не только в результате последовательного
обмена энергией частиц, заполняющих пространство между
рассматриваемыми областями, но и в результате перемещения состоящих из
большого количества молекул объемов среды.
Процесс распространения тепла только вследствие движения
структурных частиц называется теплопроводностью, а процесс
теплопередачи, обусловленный перемещениями молярных объемов среды, -
конвекцией.
Таким образом, существует три способа переноса тепла:
теплопроводность (кондукция), перемешивание (конвекция) и излучение
(радиация). В действительных процессах все эти три способа теплообмена
обычно сопутствуют друг другу и частично связаны с переносом массы
(диффузией), т.е. имеет место сложный тепло- и массобмен.
В теории теплопередачи расчет сложного теплообмена осуществляется
с помощью методов, обобщающих результаты раздельного излучения
каждого из трех первичных способов переноса тепла. Следовательно,
основным методом теории теплопередачи является расчленение сложного
теплообмена на его составляющие по способу (механизму) переноса тепла и
излучение этих составляющих методами математической физики и научного
опыта.
При рассмотрении сложного теплообмена с сильно меняющимися в
пространстве и времени температурными полями могут возникать задачи,
которые не сводятся к моделям с квазиавтономными частными процессами
теплообмена. В этих случаях понятия коэффициентов теплопередачи и
теплоотдачи вообще лишены отчетливого смысла. Необходима постановка
задачи, в достаточно общей форме описывающей как механизмы
теплопереноса в отдельных элементах системы. Так и их взаимодействия на
границах раздела тел и фаз. Такие задачи называются сопряженными, и их
конкретное рассмотрение, как правило, весьма индивидуализировано
конкретными краевыми условиями. Общая же их постановка всегда
опирается на основные уравнения.
Практически большинство процессов, рассматриваемых теорией
теплообмена, протекает при взаимодействии твердых тел и жидких сред в
областях, размеры которых чрезвычайно велики по сравнению с длиной
свободного пробега структурных частиц (атомов, молекул). Так, в объеме
газа, равном 1035
ìì 3 , при давлении 9,8* 104 Па и температуре 273 К
содержится примерно 1016 молекул. Поэтому такие статистические понятия,
как температура, давление, теплоемкость, вязкость и т.п., могут быть
приписаны даже таким малым элементам системы, которые с физико-
математической точки зрения могут рассматриваться в данном случае как
дифференциалы ее объема.
Это означает, что в большинстве проблем теплообмена твердые и
жидкие среды, составляющие систему, рассматриваются как непрерывные.
Исключение приходится делать только для взаимодействия тел с весьма
разряженным газом, когда размеры тела становятся соизмеримыми с длиной
пути свободного пробега молекул.
 Измерения показывают, что одного и тоже тело расширяется при
различных температурах по разному: при высоких температурах тепловое
расширение обычно сильнее, чем при низких. Однако разница в расширении
невелика, и при относительно небольших изменениях температуры можно ею
пренебречь и считать, что изменение размеров тела пропорционально
изменению температуры.
Величина, характеризующая тепловое расширение материала, есть
l1  l2

t1  t 2 (3.10)
где l1 - длина тела при начальной температуре t1 , l 2 - длина тела при
температуре t 2 ,  - коэффициентом линейного расширения.
Зная коэффициент линейного расширения, можно рассчитать длину
тела при любой температуре в пределах не очень большого температурного
интервала. Преобразуем выше приведенную формулу, где  - приращение
температуры:
. (3.11)
Выражение, стоящее в скобках носит название бинома расширения.
Бином расширения показывает, во сколько раз увеличилась длина тела при
нагревании его на  градусов.
Аналогично коэффициенту линейного расширения можно ввести
коэффициент объемного расширения материала, характеризующий
изменение объема при изменении температуры. Эмпирическим путем было
показано, что как и в случае линейного расширения, можно без заметной
ошибки принять, что приращение объема тела пропорционально
приращению температуры, в пределах не слишком большого температурного
интервала.
Обозначим объем тела через V, и коэффициент объемного расширения
через , найдем:

. (3.12)
Так как для твердых и жидких тел тепловое расширение незначительно,
то объем Vо при 0°С очень мало отличается от объема при другой
температуре, например комнатной. Поэтому в выражении коэффициента
объемного расширения можно заменить Vо через V, что практически
удобнее. Уместно отметить, что тепловое расширение газов настолько
значительно, что такая замена такое упрощение можно делать только для
малых интервалов температур. Преобразую формулу (3.12) к виду:
. (3.13)
Данная формула позволяет рассчитать объем тела, если известны
начальный объем и приращение температуры. Выражение (1+) – принято
называть биномом объемного расширения.
Между коэффициентами линейного и объемного расширений
существует определенная связь:
  3 (3.14)

3.5.2 Основы теории тепловых измерительных устройств и примеры их

практического использования

При теплообмене энергия переходит от тела с большой температурой к

телу с меньшей температурой. Любая температурная шкала должна
удовлетворять этому свойству. Эмпирические температурные шкалы
основаны на косвенных измерениях, т.е. на измерениях параметров,
монотонно зависящих от температуры. Газовая шкала температур опирается
на уравнение состояния идеального газа

Термодинамическая, или абсолютная шкала температур определяется

на основе второго начала термодинамики.
Теплообмен осуществляется тремя различными способами. При
теплообмене посредством теплопроводности перенос тепловой энергии
происходит только путем взаимодействия частиц, находящихся в
непосредственном соприкосновении друг с другом и имеющих различную
температуру. Теплообмен путем теплопроводности в чистом виде имеет
место только в твердых телах.
Теплообмен посредством конвекции совершается путем перемещения
материальных частиц и может иметь место только в жидкостях или газах.
Если причиной движения потоков жидкости или газа является неодинаковая
плотность среды, вызванная разностью температур, то говорят о
естественной конвекции. Движение потоков под действием внешних причин
вызывает вынужденную конвекцию.
Третьим способом теплообмена является теплообмен посредством
излучения. Тепловое излучение представляет собой поток электромагнитных
волн, излучаемых телом за счет его тепловой энергии и полностью или
частично поглощаемых другими телами.
Распространение теплоты путем теплопроводности определяется
законом Фурье:

где q- тепловой поток, представляющий собой количество теплоты,

переданной в единицу времени через единицу поверхности, grad  - градиент
температуры;  - теплопроводность.
Теплопроводность зависит от природы и физического состояния
вещества. В анизотропных телах она зависит, кроме того, от направления
распространения теплоты. Лучшими проводниками теплоты являются
металлы. Наименьшей теплопроводностью обладают газы. Для газов
теплопроводность зависит не только от состава газа, но и от температуры и
при большом разрежении – от давления.
Тепловая проводимость среды зависит от теплопроводности,
определяемой по справочным данным из геометрических соотношений, и для
расчета можно использовать аналогичные формулы электрической
проводимости, заменив удельную проводимость теплопроводностью.
Полный тепловой поток в результате теплоотдачи определяется
формулой Ньютона
q= SΔ, (3.15)
где  - коэффициент теплоотдачи, S - поверхность тела; Δ - разность
температур окружающей среды и тела. Коэффициент теплоотдачи при
естественной и вынужденной конвекции рассчитывается на основании
теорий теплового и геометрического подобий.
При искусственной конвекции при поперечном омывании цилиндра
коэффициент теплоотдачи для газов выражается формулой:
 газ = c/d *(vd/)n = c/d * Ren (3.16)
где d - диаметр цилиндра; v - скорость движения газа;  -
кинематическая вязкость, равная абсолютной вязкости, отнесенной к
плотности вещества;  - теплопроводность газа; c и n являются функциями
скорости газа и размеров цилиндра и определяются по предварительно
рассчитанной величине, назывемой критерием Рейнольдса: Re = vd/.
При расчете коэффициента теплоотдачи для жидкости в формулу (3.16)
входит критерий Прандтля Pr:
жидк = с/d RenPr 0,4 (3.17)
Критерий Прандтля Pr = / зависит от кинематической вязкости  и
температуропроводности , физический смысл которой состоит в том, что
она является мерой скорости выравнивания температур различных точек
жидкости. Температуропроводность зависит от теплопроводности ,
плотности  и удельной теплоемкости вещества с и определяется формулой
 = / (с ) (3.18)
Приведенные формулы для теплоотдачи цилиндра в поперечном
потоке справедливы для случая, когда угол , составленный осью цилиндра и
направления потока и называемый углом атаки, равен 90°.

Рисунок 3.7 - Зависимость коэффициента теплоотдачи цилиндра от угла

между осью цилиндра и направлением потока

Тепловое излучение свойственно всем телам, и каждое из них

непрерывно излучает и поглощает энергию. Разность между излучаемой и
поглощаемой телом лучистой энергией отлична от нуля, если температура
тел, участвующих во взаимном обмене лучистой энергией, различна.
При выводе формул лучистого теплообмена между телами необходимо
учитывать, кроме лучеиспускательной, поглощательной и отражательной
способности тел, их размеры и направление излучений. На практике обычно
имеет место комбинация различных способов теплообмена, которые могут
быть учтены приводимыми ниже формулами.
Теплоемкость тела пропорциональна массе тела и зависит от вещества,
из которого оно состоит. Нагревая тело путем теплопередачи, мы
увеличиваем его внутреннюю энергию. Кроме того, вследствие расширения
при нагревании совершается работа против сил, препятствующих
расширению. Силы эти – силы внешнего давления и силы молекулярного
притяжения, весьма значительные для твердых тел и жидкостей и ничтожные
для газов. На совершение работы при расширении требуется дополнительная
энергия, т.е. необходима дополнительная передача теплоты. В случае
твердых тел расширение всегда ничтожно мало, следовательно, очень мала и
эта дополнительная энергия и ею можно пренебречь. Для газов, заключенных
в твердую оболочку, расширение отсутствует и дополнительная энергия
равна нулю. В этих случаях можно сказать, что теплоемкость тела равна
увеличению его внутренней энергии при повышении температуры на 1°. В
случае жидкостей или газов, нагреваемых в таких условиях, то они могут
свободно расширяться, работой, совершаемой при расширении, пренебречь
нельзя.
Явление теплообмена и теплового расширения широко применяются в
технике. На этих двух явлениях основаны приборы, предназначенные для
измерения температуры – термометры. Приборы, основанные на измерении
электромагнитного излучения нагретых тел, называются пирометрами.
Следовательно, пирометры – термометры излучения.
Классифицируя термометры по принципу действия их чувствительных
элементов, можно отметить следующие типы, получившие наибольшее
распространение:
 термометры, основанные на тепловом расширении жидкостей, газов
и твердых тел;
 электрические терморезистивные термометры;
 термоэлектрические термометры;
 пирометры и др.
На явлении теплообмена основано действие тепловых
преобразователей. Источником тепловой энергии чаще всего является
электрический ток. При этом должно выполняться условие теплового
баланса системы:
Q i 0
dT S
i 2 R  cm  T  cS (T 4 / T0 )  S  T
4

dt h (3.19)
 где cmT - количество тепла, израсходованное на нагрев всех
элементов цепи;
S
T - значение теплового потока посредством теплопроводности;
h
 - коэффициент теплопроводности;
S – площадь контакта преобразователя со средой;
h - толщина теплоизолирующего слоя;
C – постоянная теплоизлучения;
 - коэффициент конвективной теплопередачи.
Объект измерения и тепловой преобразователь представляют собой
многослойную структуру, где каждый слой выполнен из разного материала.
При прохождении тепла через слои температурный профиль структуры будет
определяться толщиной каждого слоя и его теплопроводностью. Скорость
падения температуры внутри каждого слоя определяется тепловыми
свойствами материала. Последний слой отдает тепло в воздух через
механизм конвекции окружающим объектам посредством ИК излучения.

Рисунок 3.8 - Температурный профиль многослойной структуры

Необходимо учитывать то, что в реальных условиях теплопередача

через соединение двух материалов зависит от качества их контакта. На
рисунке 3.9 показан температурный профиль в зоне контакта объектов.

Рисунок 3.9 - Температурный профиль в зоне контакта двух объектов (А),

вид поверхности контакта под микроскопом (Б)
 Резкое падение температуры в зоне контакта объясняется наличием
теплового переходного сопротивления. Переходное сопротивление
уменьшается при повышении сжимающего усилия и давления окружающего
газа.
Тепловые преобразователи широко используются для измерения
различных электрических и неэлектрических величин: температуры,
скорости движения среды, концентрации и состава веществ и др.
По реализуемым физическим принципам измерения тепловые
преобразователи подразделяются на:
 термоанемометрические;
 термоэлектрические;
 термоупругие;
 термоманометрические;
 терморадиационные (инфракрасного излучения).
При расчете и эксплуатации таких преобразователей необходимо
учитывать наличие тепловой инерционности элементов измерительной цепи.

Контрольные вопросы к главе 3

1. Какая связь между коэффициентами линейного и объемного
расширения?
2. Какие бывают виды теплообмена?
3. Что называется энтропией?
4. Что такое теплоемкость?
5. Где применяется явление теплообмена?

Глава 4. Физические основы измерительных преобразователей ИК

диапазона

Спектральная интенсивность излучения в соответствии с законом

Планка является функцией температуры и длины волны. С повышением
температуры интенсивность излучения возрастает. При низкой температуре
излучение в основном сосредоточено в ИК области, а при повышении
температуры, согласно закону Вина, максимум интенсивности излучении
смещается в область видимого света. При ядерных взрывах, например,
спектр смещается в область УФ и рентгеновского излучения.
Для построения математической модели нагретого источника
используют следующие соотношения. Зависимость между длиной волны и
температурой подчиняется закону Планка:

, (4.1)
где - излучающая способность объекта, C1 ; C 2 - константы.
Интегрирование мощности излучения по всем длинам волн
пропорционально температуре в четвертой степени (закон Стефана –
Больцмана для абсолютно черного тела):
Р   Т 4 . (4.2)
Полная излучающая способность с учетом того, что приемник имеет
температуру, отличную от нуля, имеет вид:
Р      (Т 4  Т о4 ). (4.3)
Закон смещения Вина описывает сдвиг спектрального максимума в
зависимости от абсолютной температуры тела Т:
а
 , (4.4)
Т
где а – константа.
В то время как длина волны излучаемого света зависит от температуры,
амплитуда излучения является функцией от излучающей способности
поверхности, часто называемой коэффициентом излучения (ε), которая
изменяется в диапазоне 0…1. этот коэффициент является отношением потока
излучений, исходящего от поверхности, к потоку излучений от идеального
излучателя при той же самой температуре.
Существует фундаментальное соотношение, связывающее
коэффициент излучения (ε), коэффициент отражения (ρ) и коэффициент
пропускания (γ):
     1 . (4.5)
Излучающая и поглощающая способности являются одной и той же
физической величиной. Поэтому для не пропускающего излучение тела (γ =
0) справедливо следующее соотношение:
 1   . (4.6)
 Закон Стефана-Больцмана определяет мощность излучения,
испускаемого поверхностью с температурой (Т) в пространство с Т = 0. При
измерении тепловых излучений необходимо также учитывать излучение от
датчика к объекту, так как датчик способен определять только полезную
мощность теплового излучения (разность между мощностью излучения
объекта и мощностью излучения самого датчика).

Рисунок 4.1 - Принцип работы теплового преобразователя

Излучающая способность среды является функцией ее

диэлектрической проницаемости и, следовательно, коэффициента
преломления ( n  c0 c ). Максимальная излучающая способность для
абсолютно черного тела равна единице (ε = 1). Причиной такого названия
является внешний вид объекта при нормальной комнатной температуре. Если
тело является непрозрачным (γ = 0) и ничего не отражает (ρ = 0), то оно
представляет собой идеальный источник и поглотитель электромагнитных
излучений.

4.1 Общая характеристика излучения ИК диапазона

Излучающая способность реальных объектов зависит от длины волны

излучения. Например, белый лист бумаги в видимом диапазоне спектра
обладает очень хорошей отражающей способностью и почти не излучает
видимого света. Но в дальнем спектре ИК диапазона его отражающая
способность значительно снижается, а излучающая способность резко
возрастает, что делает бумагу хорошим источником ИК излучений.
 Рисунок 4.2 - Зависимость от длины волны излучающей способности
различных материалов

Полиэтилен сильно поглощает и излучает волны очень узкого

диапазона, а в других областях спектра является прозрачным
(неизлучающим) материалом. Поэтому широко используется для
изготовления линз дальнего ИК диапазона.
Часто излучающую способность в сравнительно узком спектральном
диапазоне тепловых излучений считают постоянной величиной. Но для
различных материалов излучающая способность зависит от длины волны
излучения и поэтому при необходимости осуществления прецизионных
измерений должна быть заранее известной.
Все неметаллические материалы являются хорошими источниками
диффузионного теплового излучения (и поглощения) в пределах телесного
угла (  700 ). За границами этого угла коэффициент излучения резко
снижается. Это правило справедливо только для длин волн дальнего спектра
ИК диапазона и не применимо для видимого света. Диаграмма излучения
металла в сильной степени зависит от качества поверхности.

Рисунок 4.3 - Диаграмма направленности излучений для неметалла (А) и

полированного металла (Б)

В отличие от большинства твердых тел газы, чаще всего, являются

прозрачными для теплового излучения. Кислород и азот состоят из
симметричных неполярных молекулярных структур, поэтому пропускают
электромагнитные волны только при низких температурах, в то время как
углекислый газ, пары воды, углеводородные газы излучают и поглощают
волны в более широком диапазоне. При попадании ИК излучения в слой газа
происходит поглощение светового потока по экспоненциальному закону.
Следует отметить, что газы поглощают излучение только в узких
диапазонах спектра. Например, водяной пар имеет высокий коэффициент
поглощения на длинах волн 1,4; 1,8; и 2,7мкм и является практически
прозрачным на других длинах волн.
При использовании ИК-датчиков для бесконтактного измерения
температуры необходимо знать излучающую способность объекта. Поэтому
для калибровки термометров данного типа необходимо использовать
эталонные источники теплового излучения, у которых коэффициент
излучения близок к единице. Несоблюдение этого условия приведет к
большим отражениям сигнала, что обусловит появление дополнительной
составляющей погрешности измерений.
Тепловые самосветящиеся объекты, такие как солнце, лампы
накаливания и расплавленные металлы, дают излучение непрерывного
спектра подобно излучению абсолютно черного тела. Однако, особенно при
низких температурах, степень подобия их эмиссии к излучению абсолютно
черного тела может быть невелика.
Излучательная способность (ε) зависит от температуры тела и от
длины волны света:
Действительное излучение
 .
Излучение абсолютно черного тела

Рисунок 4.4 - Характеристики излучающей способности объектов измерения

4.2 Устройство и принцип работы оптических преобразователей
температуры

Пирометрические методы измерений температуры охватывают

широкий диапазон температур — от 173 до 6000К, включающий в себя
низкие, средние и высокие температуры. Эти методы основаны на
определении параметров теплового излучения объекта без нарушения его
температурного поля. Тепловое излучение представляет собой
электромагнитное излучение, возбуждаемое тепловым движением атомов и
молекул в твердых, жидких и газообразных веществах. При температурах
выше 4000К излучение вызывается процессами диссоциации и ионизации.
Теория пирометрических методов измерений температуры основана на
законах, устанавливающих связь между излучением абсолютно черного тела
(АЧТ) и его температурой. Абсолютно черным телом называется тело,
поглощающее все падающее на него излучение и соответственно способное
при данной температуре излучать максимальную энергию. Хорошим
приближением к АЧТ является закрытая со всех сторон полость с малым
отверстием, площадь которого пренебрежимо мала по сравнению с общей
поверхностью полости.
Разработка чувствительных приемников инфракрасного (ИК)
излучения позволяет применять, пирометрические методы для измерения не
только высоких, но и низких температур. Приборы для измерения
температур объектов по их тепловому электромагнитному излучению
называются пирометрами.
В зависимости от естественной входной величины пирометры
разделяются на:
 пирометры полного излучения (радиационные пирометры),
воспринимающие полную (интегральную) энергию излучения,
 пирометры частичного излучения (яркостные пирометры),
основанные на зависимости от температуры энергетической яркости
излучения в ограниченном диапазоне длин волн,
 пирометры спектрального отношения (цветовые пирометры), в
которых используется зависимость от температуры отношения спектральных
плотностей энергетических яркостей на двух или нескольких длинах волн.
 Пирометры прямого преобразования обычно состоят из оптической
системы, приемника излучения, измерительной цепи с вторичным прибором,
а в ряде случаев с микропроцессорным вычислительным устройством. В
пирометрах уравновешивающего преобразования, кроме того, имеется
образцовый источник излучения.
В зависимости от вида оптической системы, с помощью которой
излучение передается на приемник излучения, пирометры разделяются на:
 рефракторные с собирающей линзой,
 рефлекторные с собирающим зеркалом,
 световодные,
 комбинированные.
Пирометры полного излучения, или радиационные пирометры. Эти
пирометры основаны на зависимости от температуры интегральной
мощности излучения АЧТ во всем диапазоне длин волн, определяемой
законом Стефана - Больцмана. Для реального тела эта зависимость
определяется выражением Ð     Ò4 , где 0,04    1 — коэффициент
теплового излучения (коэффициент излучательной способности), зависящий
от материала излучателя и от состояния и температуры его поверхности.
Например, для стальных изделий в зависимости от появления на них ока-
лины значение  может изменяться от 0,1 до 0,9. Пирометр, градуированный
но излучению АЧТ, при измерении на реальном объекте покажет так
называемую радиационную температуру (Тp), значение которой всегда
меньше действительной температуры объекта (Т).
Радиационной температурой объекта называется такая температура
АЧТ, при которой его полная мощность излучения (плотность излучения во
всем диапазоне длин волн) равна полной мощности излучения рассматривае-
мого объекта при температуре Т. Связь между Тр и Т определяется из
Tр 4  Т 4 ,
откуда Т  Т р 1 /  .
4
равенства
Пирометры полного излучения применяются для измерения в
диапазоне температур от -50 до +3500°С. Наиболее целесообразно
использовать такие пирометры для измерения температуры объектов,
излучающие свойства которых мало отличаются от свойств АЧТ. Этому
условию удовлетворяют большинство закрытых печей и топок с малым
отверстием, кожа человека, стекло, резина и т.д.
 Приемники излучения в пирометрах полного излучения должны иметь
спектральную характеристику, близкую к характеристике АЧТ.
Для повышения точности пирометров полного излучения в корпусе
телескопа устанавливается образцовый источник излучения в виде АЧТ,
температура которого поддерживается постоянной. При помощи
дифференциальной измерительной цепи сравниваются мощности излучения
измеряемого объекта и АЧТ, потоки излучения которых, с помощью
вращающегося или колеблющегося зеркала попеременно подаются на
приемник.
Разработаны различные оптические устройства, расширяющие области
применения пирометров. Например, изготавливаются пирометры с
волоконной оптикой для измерения температуры в диапазоне 400-3000°С.
Используются световоды длиной до 10 м. Такие пирометры обеспечивают
измерение температур объектов диаметром от 1 мм, а также температур в
герметичных объемах. Такой канал передачи не чувствителен к помехам и
изменениям параметров промежуточной среды.
Пирометры частичного излучения основаны на использовании
зависимости от температуры мощности излучения в ограниченном диапазоне
длин ноли. Рабочий диапазон измерений таких пирометров от –100 до
+6000°С. Основная погрешность измерения для различных типов пирометров
лежит в пределах 0,25— 2,5%, быстродействие 0,001 - 2,5с.
Разновидностью пирометра частичного излучения является
монохроматический яркостный пирометр, основанный на сравнении
энергетической яркости объекта исследования с энергетической яркостью
образцового излучателя в узком участке спектра излучения. В качестве
образцовых излучателей обычно используются лампы накаливания с плоской
вольфрамовой нитью, которые при температуре нити ниже 1500°С имеют
стабильную зависимость яркости от тока накала нити.
Вследствие неполноты излучения реальных тел яркостные пирометры
измеряют не действительную температуру тела Т, а так называемую
яркостную температуру Тя. Соотношение между действительной и
яркостной температурами, как следует из законов излучения, определяется
выражением
1 1 
  ln   ,
Т Т я С2 (4.7)
 где   — коэффициент теплового излучения для длины волны  .
Большинство яркостных пирометров, работающих в видимой области
спектра, снабжаются красным светофильтром, обеспечивающим
эффективную длину волны, равную (0,656±0,008) мкм.
В зависимости от материала излучателя и состояния его поверхности
значения коэффициента теплового излучения   колеблются в широких
пределах: 0<   ≤1. Так, при  = 0,65 мкм для полированной меди он равен
0,03, для серебра 0,04 — О.07, для вольфрама 0,6, для окисленного железа 0,6
— 0,9, для силикатных огнеупоров 0,9 и т. д.
Сравнение энергетических яркостей объекта исследования и
образцового излучателя может осуществляться автоматически или визуально
человеком, глаза которого очень чувствительны к слабым интенсивностям
света. Широкое применение для измерения температур в диапазоне 300—
6000°С получили визуальные пирометры с исчезающей нитью.
В таком пирометре изображение объекта путем перемещения
объектива совмещается с плоскостью нити лампы накаливания. Наблюдая
изображения объекта и нити через светофильтр и окуляр, наблюдатель
меняет ток накала нити лампы до тех пор, пока середина накаленной нити не
исчезнет на фоне изображения объекта. Это свидетельствует о равенстве
энергетических яркостей излучающего объекта и нити в области спектра,
определяемого характеристикой пропускания красного фильтра  ( ) и
спектральной характеристикой чувствительности глаза наблюдателя   ,
максимум которой для нормальных глаз соответствует длине волны   0,555
мкм.
Зависимость между током лампы и яркостной температурой
определяется путем градуировки термометра по температуре АЧТ. Шкала
такого пирометра имеет резко нелинейную характеристику, поскольку
яркость нити примерно пропорциональна пятой степени тока накала нити.
Равномерную шкалу можно получить, если ток накала нити и, следовательно,
ее температуру поддерживать постоянными, а выравнивание яркости нити и
объекта осуществлять перемещением нейтрального поглотителя с
переменной плотностью, устанавливаемого между объективом и
температурной лампой. Яркостная температура в этом случае определяется
по шкале отсчетного устройства, регистрирующего положение клина.
 Для увеличения верхнего предела измерения пирометров применяются
нейтральные поглотители с известным коэффициентом пропускания  ( ) ,
который определяется из выражения
(4.8)
где  — длина волны; Ñ2 — вторая постоянная излучения; Ò1 -

температура АЧТ, измеренная пирометром без поглотителя; Ò2 - температура

АЧТ, измеренная при наличии поглотителя.
Сравнение яркостей производится с погрешностью примерно 1%, но
обусловленная этим погрешность измерения температуры не превышает
0,1% вследствие того, что яркость тела увеличивается значительно быстрее,
чем его температура.
Пирометры спектрального отношения, или цветовые пирометры. Они
показывают так называемую цветовую температуру тела Тц - условную
температуру, при которой АЧТ имеет такое же относительное спектральное
распределение энергетической яркости, что и исследуемое реальное тело с
действительной температурой Т.
Показания пирометра спектрального отношения соответствуют
действительной температуре, если объект является абсолютно черным или
серым телом, т. е. таким телом, у которого излучающая способность для всех
длин волн одинакова.
Если  зависит от длины волны, то связь между действительной и
цветовой температурой определяется выражением:

(4.9)
где   и   — коэффициенты излучающей способности тела со-
1 2

ответственно на длинах волн 1 и 2 .

Из выражения (12-3) следует, что пирометры спектрального
отношения, в отличие от пирометров полного или частичного излучения,
показывают действительную температуру серых тел и их показания не
зависят от излучательной способности тела до тех пор, пока   =   .
1 2

Для многих тел   не остается постоянным с изменением длины волны.

У металлов   уменьшается с ростом длины волны, у неметаллических тел в
ряде случаев   , наоборот, увеличивается. Поскольку при 1 > 2 величина   1

…   , то измеренная цветовая температура, как следует из выражения (4.9),

2
может быть больше, меньше действительной температуры или равна ей. Из
этого же выражения следует, что цветовая температура Òö тела тем ближе к
действительной температуре, чем больше разность 2 - 1 .
В целом погрешности пирометров спектрального отношения меньше,
чем у пирометров полного или частичного излучения. Их показания
принципиально не зависят от расстояния до объекта исследования, а также от
поглощения излучения в промежуточной среде между объектом и
пирометром, если   =   .
1 2

В большинстве серийно выпускаемых пирометров модуляция

излучения осуществляется при помощи механических модуляторов,
приводимых в движение синхронными микродвигателями. В качестве
приемников излучения применяются термобатареи (в пирометрах полного
излучения), фотодиоды, фоторезисторы или пироэлектрические приемники.
В некоторых приборах приемники излучения термостатированы.
Большинство пирометров имеют стандартный выходной сигнал постоянного
тока 0—5 мА или 4—20 мА и постоянного напряжения 0—100 мВ или 0—10
В.
Высокотемпературные пирометры частичного излучения для контроля
температуры. Пирометры (инфракрасные термометры) серии “Кварц”,
изготавливаются как в переносном, так и в стационарном исполнении.
В основе работы пирометра лежит принцип преобразования
инфракрасного излучения, принимаемого чувствительным элементом в
электрический сигнал, пропорциональный спектральной мощности потока
излучения. Первичный пирометрический преобразователь состоит из
объектива, аппертурной диафрагмы, полевой диафрагмы, конденсора,
модулятора излучения, фотоприёмного устройства, устройств
термокомпенсации приёмника излучения, блоков предварительного усиления
сигналов фотоприёмника.
Высокая точность результатов достигается:
 подбором индивидуальных светофильтров в зависимости от
физических свойств измеряемой среды;
 узким спектральным диапазоном, в котором производятся измерения
и усреднение нескольких мгновенных значений температуры.
 Приборы отличаются точностью, просты и удобны в работе. Для
определения температуры достаточно навести прибор на измеряемую точку,
и получить измеренную температуру. Нет необходимости в их фокусировке,
калибровке.

4.3 Особенности измерения излучения ИК диапазона

Измерительные преобразователи ИК диапазона - это преобразователи,

в которых термодинамические параметры среды или измерительного
устройства (температура, тепловой поток, теплоемкость) преобразуются в
величины иной физической природы. Принцип работы таких устройств
основан на эффекте разогрева от падающего излучения. Термодатчики ИК
диапазона излучения используются как в термометрии так и в фотометрии.
Они имеют очень широкий диапазон рабочих длин волн, низкое
быстродействие и малую чувствительность.
Использование тепловых преобразователей лежит в основе создания
радиационной пирометрии. Принцип работы таких устройств основан на
преобразовании ИК-излучения в тепло и его дальнейшее измерение. Для этой
цели используют термоэлементы, болометры, пироэлектрики, ячейки Голея
и другие устройства.
Термоэлементы образуют с помощью последовательно соединенных
термопар. «Горячие переходы» термопар контактируют с так называемым
«черным слоем», являющимся преобразователем ИК излучения в тепло.
«Холодные переходы» термопар располагают на тыльной стороне приемника
или по его периметру. В настоящее время разработаны миниатюрные версии
таких устройств на основе полупроводниковых преобразователей с
использованием интегральной технологии.
Болометры содержат термочувствительное сопротивление. В них
«черный слой» также является чувствительным элементом датчика.
Конструктивно сопротивление может быть выполнено в виде тонкой пленки
или слоя металла, размещенного на непроводящей подложке, например,
керамике.
Термисторы редко используют для прецизионного измерения
температуры из-за большого разброса параметров и высокой нелинейности.
При их применении необходимо учитывать влияние саморазогрева.
 Широкое применение находят также датчики температуры в виде
специальных интегральных микросхем. Известно, что вольтамперная
характеристика p-n-перехода является чувствительной к изменению
температуры. Выражение для тока через идеальный диод имеет вид:
  eU  
id  is exp d   1 . (4.10)
  kT  
После преобразований получим:
kT  id 
Ud  ln  1 . (4.11)
e  is 
Таким образом, если использовать стабилизированный источник тока,
то напряжение на переходе будет пропорционально его температуре. В
качестве первичного теплового преобразователя можно использовать и
биполярные транзисторы.
В настоящее время изготавливаются датчики в интегральном
исполнении для применения в электрических схемах для температурной
компенсации и сигнализации, а также для целей измерения различных
физических величин (скорости потоков, уровня жидкости и т.п.).
Для регистрации тепловых полей широко применяют
пироэлектрические преобразователи.

Рисунок 4.5 - Симметричный пироэлектрический датчик положения объекта

4.4 Общая характеристика измерительных устройств ИК диапазона

Пирометрические методы находят все более широкое применение для

получения видимого изображения и регистрации температурного поля
поверхности различных объектов. Приборы для наблюдения и исследования
объектов по их тепловому излучению называются тепловизорами,
термографами или тепловизорными микроскопами.
Первые приборы, разработанные для ночного видения, основанные на
применении электронно-оптических методов усиления и визуализации
фотоэлектронов, имели спектральный диапазон чувствительности до 1,3 мкм
и позволяли наблюдать распределение температур только выше 400°С.
Телевизионные приемные трубки-видиконы с фоторезистивным слоем
из пленки оксида свинца или сульфида оксида свинца чувствительны к
излучению до 2 мкм. Чувствительные телекамеры, снабженные такими
видиконами, дают возможность определить температурное поле при
температурах выше 250°С.
Создание чувствительных приемников инфракрасного излучения,
спектральная чувствительность которых простирается далеко в
инфракрасную область спектра, открыло широкие возможности для развития
термографии и тепловидения объектов с более низкими температурами.
Применение в качестве приемников излучении пироэлектрических элементов
дает возможность получать видимое изображение температурного поля
объектов с температурой от —20 до +2000 °С.
Телевизионные приемники инфракрасного излучения, в которых
видикон выполнен со сканируемой поверхностью из пироэлектрического
кристалла триглицилсульфата, позволяют создавать чувствительные
пироэлектрические тепловизоры, известные под названием пиротронов,
пироконов или видиконов пироэлектрических, которые обеспечивают прием
инфракрасного излучения вплоть до 40 мкм.
В серийно выпускаемых тепловизорах и термографах пока в основном
применяются дискретные приемники инфракрасного излучения и оптико-
механические, системы развертки изображения при помощи вращающихся
или колеблющихся зеркал или призм.
Важной характеристикой тепловизоров является их порог
чувствительности - минимально определяемая разность температур Т min на
поверхности АЧТ с температурой 25°С, при которой отношение
сигнала к собственным шумам тепловизора должно быть равно 1. У серийно
выпускаемых тепловизоров Т min =0,1…0,3 °С.
 Для исследования температурных полей малых объектов разработаны
тепловизорные микроскопы и микрорадиометры, применяемые, например,
для исследования температурного поля микросхем с целью обнаружения
скрытых дефектов. В таких приборах используется микроскопная оптика с
увеличением от 3 до 125. Известны микрорадиометры, имеющие
пространственное разрешение 10 мкм и температурное разрешение Т  0,06
°С в диапазоне температур от —30 до +850°С.
Как показывает практика пирометрические преобразователи
температуры, основанные на бесконтактном методе измерения температуры,
находят всё более широкое применение. Пирометры охватывают широкий
диапазон температур - от 173 до 6000К.
Пирометры и приборы, основанные на пирометрических методах
измерения температуры, позволяют решать разнообразные задачи, такие как
исследование температурного поля микросхем с целью обнаружения
скрытых дефектов, при геологических и климатологических исследованиях
земной поверхности, в медицинской практике для диагностики, в
строительстве для проверки теплоизоляции в здании, для обнаружения мест
перегрева в электрических цепях и у различного рода энергетического
оборудования, для измерения механических напряжений и т.д.

Контрольные вопросы к главе 4

1. Что лежит в основе теории, бесконтактного метода измерения
температуры?
2. На какие виды, в зависимости от естественной входной величины
разделяются пирометры?
3. Назовите основные блоки телескопа радиационного пирометра
4. Для чего нужно звездообразное расположение термопар?
5. Что применяется для увеличения пределов измерения пирометров?
6. Почему погрешности пирометров спектрального отношения меньше,
чем у пирометров полного или частичного измерения?
 Глава 5. Физические основы оптоэлектроники

Световое излучение – эффективная форма энергии, по изменению

которой можно судить о многих физических параметрах объектов:
температуре, составе, скорости перемещения и т. д. Свет имеет
электромагнитную волновую природу, но при выполнении условия, когда
энергия фотона будет превышать уровень теплового шума ( h  kT ), удобнее
в инженерной практике рассматривать световое излучение как процесс
распространения квантов электромагнитной энергии.
Разным зонам спектра светового излучения (0,1-100мкм) даны
определенные названия: УФ, видимый свет, дальний (4-100мкм), средний
(1,5-4мкм) и ближний (0,9-1,5 мкм) ИК диапазон излучений, микроволны и
радиоволны и т.д. Фотоны УФ и видимого спектра излучений обладают
высокими энергиями, поэтому их достаточно несложно измерять. При
переходе к ИК диапазону энергия фотонов уменьшается, что существенно
усложняет задачу создания первичных приемников излучения ИК диапазона.
Например, тело человека является источником ИК излучения ближнего и
дальнего диапазонов, что создает определенные трудности для его
обнаружения. По этой причине датчики ИК диапазона являются чаще всего
тепловыми, а не квантовыми.
Световые датчики чаще всего чувствительны к изменениям
электрических, а не магнитных полей.
Электромагнитные волны обладают свойством поляризации. Это
означает, что вектора электрической напряженности поля в любой точке
волны параллельны друг другу. Поляризационные фильтры пропускают
только те компоненты волн, векторы электрических полей которых
колеблются параллельно направлению ориентации фильтра, и поглощают те,
плоскость колебаний которых ориентирована под углом к этому
направлению.
Направление поляризации фильтра задается в процессе изготовления.
Для этого в пластмассу встраивают определенные длинноцепочные молекулы
и подвергают их растяжению, в результате чего молекулы выстраиваются
параллельно друг другу. Такие поляризационные фильтры широко
применяются в жидкокристаллических матрицах, в оптических датчиках.
 При использовании светочувствительных приборов необходимо
учитывать ряд фотометрических характеристик (спектральный диапазон
излучений, излучающую способность, яркость и освещенность и др.). В
некоторых случаях источник света является независимым устройством, в
других – составной частью измерительной системы.
Для сравнения яркости разных цветов используется физическая
величина - световой поток (лм). Человеческий глаз неспособен различать
уровни мощности излучений разных длин волн видимой области спектра
(например, синий и красный цвета одинаковой интенсивности
воспринимаются по-разному, красный цвет кажется намного ярче).
При выборе фотоэлектрических датчиков необходимо учитывать
конструктивные особенности источников света. В зависимости от
соотношения между размерами источника света и расстоянием до объекта
источники света подразделяют на пространственные и точечные.
Оптические преобразователи могут работать с использованием прямого
или отраженного света. Генератором лучистого потока как носителя
информации может служить сам объект измерения или специальные
устройства, в качестве которых используют лампы накаливания,
газоразрядные лампы, лазеры и др. Тип используемого источника излучения
в большой степени определяет технические и эксплуатационные
характеристики измерительных устройств в целом.
Существует большое количество оптических датчиков, имеющих свои
особенности:
 спектральную чувствительность,
 быстродействие,
 геометрические размеры,
 стоимость.
Для того чтобы сделать правильный выбор типа измерительного
преобразователя необходимо учитывать физическую природу источника
света.
Оптоэлектроника представляет собой раздел науки и техники,
занимающийся вопросами генерации, переноса (передачи и приёма),
переработки (преобразования), запоминания и хранения информации на
основе использования двойных (электрических и оптических) методов и
средств.
Оптоэлектронный прибор - это прибор, чувствительный к
электромагнитному излучению в видимой, инфракрасной или
ультрафиолетовой областях.
Обычно подразумевается также "твердотельность" оптоэлектронных
приборов и устройств или такая их структура (в случае использования газов
и жидкостей), которая допускала бы реализацию с применением методов
современной интегральной техники в микроминиатюрном исполнении.
Таким образом, оптоэлектроника базируется на достижениях целого ряда
достижений науки и техники, среди которых должны быть выделены, прежде
всего, квантовая электроника, фотоэлектроника, полупроводниковая
электроника и технология, а также нелинейная оптика, электрооптика,
голография, волоконная оптика.
Принципиальные особенности оптоэлектронных устройств связаны с
тем, что в качестве носителя информации в них наряду с электронами
выступают электрически нейтральные фотоны. Этим обуславливаются их
основные достоинства:
 высокая информационная ёмкость оптического канала;
 острая направленность излучения;
 возможность двойной модуляции светового луча - не только
временной, но и пространственной;
 бесконтактность, "элетропассивность" фотонных связей;
 возможность простого оперирования со зрительно
воспринимаемыми образами.
Эти уникальные особенности открывают перед оптоэлектронными
приборами очень широкие возможности применения в качестве элементов
связи, индикаторных приборов, различных датчиков. Дальнейшее развитие и
совершенствование средств оптоэлектроники служит техническим
фундаментом разработки сверхвыскопроизводительных вычислительных
комплексов, запоминающих устройств гигантской ёмкости,
высокоскоростной связи, твердотельного телевидения.
Основу практически любой оптоэлектронной системы составляет
источник излучения: именно его свойства и определяют, в первую очередь,
лицо этой системы. А все источники можно подразделить на две большие
группы: с когерентным (лазеры) и с некогерентным (светоизлучающие диоды
и др.) излучением. Устройства с использованием когерентного или
некогерентного света обычно резко отличаются друг от друга по важнейшим
характеристикам.
Всё это оправдывает использование таких терминов как "когерентная
оптоэлектроника" и "некогерентная оптоэлектроника". Естественно, что
чёткую грань провести невозможно, но различия между ними очень
существенны.

5.1 Элементная база оптоэлектронных приборов и устройств

Оптоэлектроника – это направление науки и техники, соединившее в

себе возможности оптики и электроники. Оптоэлектронный прибор – это
элемент или узел, применяемый в оптоэлектронной аппаратуре.
Следует упомянуть о трех отличительных чертах оптоэлектроники,
которые характеризуют ее как научно-техническое направление.
1. Физическую основу оптоэлектроники составляют явления, методы,
средства, для которых принципиальны сочетание и неразрывность
оптических и электронных процессов. В широком смысле оптоэлектронное
устройство определяется как прибор, чувствительный к электромагнитному
излучению в видимой, инфракрасной (ИК) или ультрафиолетовой (УФ)
областях, или прибор, излучающий и преобразующий некогерентное или
когерентное излучение в этих же спектральных областях.
2. Техническую основу оптоэлектроники определяют конструктивно-
технологические концепции современной микроэлектроники:
миниатюризация элементов; предпочтительное развитие твердотельных
плоскостных конструкций; интеграция элементов и функций.
3. Функциональное назначение оптоэлектроники состоит в решении
задач информатики: генерации (формировании) информации путем
преобразования различных внешних воздействий в соответствующие
электрические и оптические сигналы; переносе информации; переработке
(преобразовании) информации по заданному алгоритму; хранении
информации, включающем такие процессы, как запись, собственно хранение,
неразрушающее считывание, стирание; отображение информации, т.е.
преобразование выходных сигналов информационной системы к
воспринимаемому человеком виду.
Все многообразие оптоэлектронных элементов подразделяют на
следующие группы изделий: источники и приемники излучения, индикаторы,
элементы оптики и световоды, а также оптические среды, позволяющие
создавать элементы управления, отображения и запоминания информации.

Таблица 5.1 - Разновидности оптоэлектронных приборов.

Излучатели света:
 Светодиод
 Полупроводниковый лазер
 Газовый лазер
 Твердотельный лазер
 Лазер на красителе
Оптические волноводы:
 Волоконно-оптический
 Пленочный
 Волноводная линза
Функциональные приборы:
 Преобразователь излучения
в когерентное
 Оптический бистабильный
элемент
 Оптический вентиль
 Оптрон
Модуляторы света и
отклоняющие системы:
 Система зеркал
 Электрооптические
модуляторы
 Магнитооптические
модуляторы
 Акустооптические
модуляторы
 Волоконно-оптические
разветвители и фильтры
Фотоприемники:
 Фоторезистор
 Фотодиод (солнечная батарея)
 Фототранзистор
 Лавинный фотодиод
 Фотоэлемент
 Фотоумножитель
Интегральные схемы:
 Оптические ИС
 Оптоэлектронные ИС
Оптическая память:
Устройства на основе:
 фотопленки
 Фотохромных материалов
 Термопластиков
 Аморфных полупроводников
Устройства отображения
информации:
 Светодиодный
 Электролюминесцентный
 Фосфорисцентный
 Жидкокристалический
 Плазменный

Основные достоинства оптоэлектронных приборов (ОЭП)

обусловлены особенностями электромагнитных волн оптического диапазона,
а так же свойствами фотона, как носителя информации. Они проявляются в
следующем:
 Высокая частота оптических колебаний ( в 103  105 раз больше чем в
радиодиапазоне, что позволяет значительно увеличить пропускную
способность систем связи).
 Тонкая фокусировка. Теоретически допускается возможность
фокусировки в точку с размерами . Эта величина определяет плотность
записи оптической информации 109  1010 бит/ см 2 .
 Направленность. Угловая расходимость оптического пучка
составляет величину    / A , где А- поперечный размер излучателя.
 Отсутствие электрической связи между отдельными узлами и
блоками устройства, благодаря электрической нейтральности фотонов, как
носителей оптической информации.
 Однонаправленность потока информации и отсутствие обратной
связи между передатчиком и приемником.
 Визуализация. Преобразование электрических сигналов в
визуальную форму, удобную для восприятия.
 Фоточувствительность. Это свойство ОЭП дает возможность
преобразовывать оптические сигналы в электрические, а также оптические
сигналы различных областей спектра в видимый диапазон (ультрафиолетовое
и инфракрасное излучения).
 Пространственная модуляция. Возможность модулировать поток
фотона не только во времени, но и в пространстве, что позволяет
производить параллельную обработку информации.
Наряду с рассмотренными достоинствами оптоэлектронные приборы
имеют и недостатки:
 Низкий кпд. На сегодняшний день КПД ЭОП не превышает 10 – 20%
(за исключением лазеров, их КПД составляет 70%), а в сложных ОЭ
системах, где происходит многократное преобразование оптического и
электрического сигналов, кпд падает до 1%.
 Гибридность. В сложных ОЭ системах, где приборы изготовлены из
большого числа разнородных материалов, присутствуют потери из-за
поглощения и рассеивания на границах раздела оптических сред, это
приводит к дополнительному снижению КПД.
  Необходимость точной настройки оптических элементов, их
подверженность механическим и тепловым воздействиям обуславливают
сложность производства и большую стоимость изделий.
 Деградация ОЭП. При воздействии внешних факторов и при
длительной эксплуатации происходит ухудшение параметров и
эффективности прибора, что ведет к необратимому нарушению оптических
свойств.

5.2 Источники электромагнитного излучения оптического диапазона

5.2.1 Источники света общего применения

Нить в лампах накаливания обычно изготавливается из вольфрама.

Следует учитывать, что спектр излучения раскаленного вольфрама после
прохождения стеклянной или кварцевой оболочки лампы изменяется. Кроме
того, в процессе работы вольфрам испаряется, осаждаясь на стенках колбы.
Поэтому стеклянные колбы ламп накаливания заполняют галогеном (парами
йода, соединениями брома), обеспечивают повышенное давление в колбе,
что уменьшает испарение вольфрама и потемнение колбы.
Лампы накаливания характеризуются малым сроком эксплуатации,
большой инерционностью и сравнительно малой светоотдачей.
Газоразрядные лампы. При излучении света отдельными атомами,
ионами или молекулами спектр излучения состоит из отдельных линий или
полос. Они имеют точные характеристические частоты, мало зависящие от
температуры. Примерами таких излучателей являются неоновые и натриевые
лампы.
В газоразрядной лампе возбуждение газа происходит за счет
столкновений со свободными электронами. При возбуждении ионов и атомов
их внешние электроны переходят на более высокие орбиты. Молекулы,
кроме того, могут получать вращательную и колебательную энергии. Когда
ионы, атомы или молекулы возвращаются в свое основное состояние,
излучаются кванты света с определенной длиной волны.
В дуговых лампах высокого давления возможно весьма большое число
возбужденных состояний, что приводит к возникновению широких
спектральных полос излучения в отличие от узких спектральных линий.
Спектральное распределение света таких ламп в большей или меньшей
степени приближается к спектру абсолютно черного тела. Конкретный вид
спектрального распределения света таких ламп зависит от состава газовой
смеси, ее давления, типа газового разряда и геометрии лампы. Выбором
металла подбирают спектр излучения, который состоит из отдельных линий
и полос.
Спектральное распределение света таких ламп в большей степени
приближается к спектру абсолютно черного тела, устройства имеют
большую светоотдачу, возможность выбора металла (спектра), малую
инерционность (можно модулировать измеряемым параметром
интенсивность света). Недостаток: малый срок службы, большие размеры,
экологически вредны.
Излучатели на основе люминофоров представляют собой порошковые
или тонкоплёночные конденсаторы, выполненные на стеклянной прозрачной
подложке. Роль диэлектрика выполняет электролюминофор на основе
соединения цинка с серой, который излучает свет под действием сильного
знакопеременного электрического поля. Такие светящиеся конденсаторы
могут изготовляться различных размеров (от долей сантиметра квадратного
до десяти и более квадратных метров), различной конфигурации, что
позволяет изготавливать из них знако-буквенные индикаторы, отображать
различные схемы, карты, ситуации.
В последнее время для малогабаритных устройств индикации широко
стала использоваться низковольтная катодолюминесценция - свечение
люминофора под действием электронного луча. Такие источники излучения
представляют собой электровакуумную лампу, анод которой покрыт
люминофором, излучающим красный, жёлтый, зелёный, синий свет при
попадании на него ускоренных электрическим полем электронов. Простота
конструкции, низкая стоимость, большие яркости и большой срок службы
сделали катодолюминесценцию удобной для различных применен
В настоящее время в качестве источников электромагнитного
излучении широко применяют полупроводниковые светодиоды. Это диоды с
электронно-дырочным переходом, которые при приложении напряжения
испускают оптическое излучение. Дырки и электроны в зоне перехода
рекомбинируют, переходя из зоны проводимости в валентную зону.
Испускаемый квант энергии соответствует этому уменьшению энергии. Этот
процесс называется инжекционной люминесценцией. Ток идеального диода
зависит от приложенного напряжения и температуры:
  eU     eU 
id  is exp d   1  id  is exp d  . (5.1)
  kT     kT 
Сила света, излучаемая светодиодом, может регулироваться, так как
пропорциональна величине протекающего через него тока.
Каждый тип светодиода имеет собственное спектральное
распределение, зависящее от типа используемого соединения. На рисунке 5.1
приведен характерный вид спектра излучения светодиода.

Рисунок 5.1 - Спектр излучения светодиода

КПД таких устройств достигает 50%. Светодиоды дают

монохроматическое излучение, мощность излучения составляет от десятков
милливатт до микроватт, длительность импульса может составлять 108 с, что
обеспечивает полосу модуляции до 100 МГц. Прямое падение напряжение на
светодиоде составляет 1-2 В, модулируя напряжение питания, можно
изменять их светоотдачу.
Измерительные устройства с использованием светодиодов
характеризуются малыми размерами, низкой стоимостью, надежны в работе,
но имеют низкую стабильность параметров.
Светодиоды изготавливают двух типов конструктивного исполнения,
отличающихся тем, что излучение осуществляется с поверхности или с торца
кристалла. Торцевые излучатели дают более узкий пучок излучения.
Инфракрасные диоды предпочтительней для применения в волоконно-
оптических устройствах, так как обеспечивают лучшее, по сравнению с
видимым светом, распространение излучения в кварце.
 В зависимости от материала диода и примесей в нём меняется цвет
генерируемого излучения: красный, жёлтый, зелёный, синий (соединения
галия с фосфором и азотом, кремния с углеродом и пр.
История создания излучающих диодов ведется от открытия так
называемого «свечения Лосева». В 1923 г. О.В. Лосев, исследуя точечно-
контактные карбидокремниевые детекторы, обнаружил, что при пропускании
через них электрического тока может возникнуть зеленовато-голубое
свечение. Практического применения тогда этот эффект не получил, но в
1955 г. ученые обнаружили инфракрасное излучение при пропускании тока
через диод на кристалле арсенида галлия (GaAs). В 1962 г. другой
полупроводник (на основе фосфида галлия) засветился красным светом. Эти
две даты и определяют время рождения светодиодов.
Возбужденные электроны (а возбуждаются они электрическим полем),
переходя из зоны проводимости в валентную зону, испускают кванты
энергии. Согласно зависимости, связывающей энергию и частоту излучаемых
колебаний (произведение энергии [эВ] на длину волны [мкм] равно числу
1,23), для излучения в видимом и ближнем инфракрасном диапазонах
спектра требуется энергия 1-3 эВ [1,23: 1,1 = 1,1...1,23 : 0,4 = 3,1]. Именно в
этих пределах находится энергия, необходимая для преодоления
запрещенной зоны у кремния (Si), арсенида галлия (GaAs) и фосфида галлия
(GaP): 1,12; 1,4; 2,27 эВ.
Создавая полупроводниковые материалы, с помощью тех или иных
примесей (в строго определенных пропорциях) научились получать
полупроводниковые источники, излучающие в диапазоне от инфракрасного
до голубого (наиболее сложно реализуемого, особенно по мощности,
излучения).

Таблица 5.2 - Параметры излучающих диодов

Мощность
Напряжение
Длина волны, Материал излучения,
Цвет свечения питания, В
мкм полупроводника мкВт (при
(при 10 мА)
токе 10 мА)
Зеленый 0,565 Ga–P 2.2–2,4 1,5–8,0
Желтый 0,583 Ga–P–As 2,0–2.2 3,0–8,0
Оранжвый 0,635 Ga–P–As 2,0–2.2 5,0–10,0
Kрасный 0,655 Ga–As–P 1,6–1,8 1,0–2,0
ИK 0,900 Ga–As 1,3–1,5 100,0–500,0

Рисунок 5.2 - Обозначение, конструкции и характеристики излучающих

диодов

На графике вольт-амперных характеристик выделена область,

определяемая напряжениями питания в достаточно узком диапазоне 1,2-2,5
В, и следует заметить, что у большинства светодиодов уровни предельных
обратных напряжений также невелики - в пределах 2,5-5 В, поэтому в цепь
питания светодиода необходимо, как правило, включать ограничительное
сопротивление). Графики спектральных характеристик свидетельствуют о
достаточно узких полосах излучения светодиодов (во второй графе таблицы
указаны значения длин волн максимумов излучения), имеющих ширину (на
уровне 0,5 от максимального излучения) в несколько десятков нанометров.
Важной характеристикой любого излучателя является направленность
излучения. Пространственное распределение излучения характеризуется
фотометрическим телом излучателя, а в случае его симметрии - диаграммой
направленности. На рисунке приведено несколько типовых диаграмм,
характерных для излучателей разных видов (ненаправленные характерны для
ламп накаливания, луч - для лазеров). Диаграммы со слабовыраженной
направленностью характерны для индикаторных светодиодов в
пластмассовых корпусах (для них важен сам факт свечения или тушения), а
для излучающих диодов, используемых в датчиках или записывающих
устройствах, характерны направленные и остронаправленные диаграммы
излучения.
Поскольку рабочее питание на излучающие диоды подается в прямом
направлении (свечение возникает при положительном потенциале на
анодном выводе диода), для работы на переменном токе выпускаются
диодные сборки, в которых два диода включены встречно-параллельно. В
этом варианте каждый диод работает только полпериода синусоидального
цикла. При этом важно не забыть, что ограничительное сопротивление в цепи
питания диода не должно допустить повышенных обратных напряжений на
запертом диоде.
Выпускаются также диодные сборки, дающие световой поток с
изменяемым цветом свечения. В таких сборках объединяются два диода с
разным цветом свечения (как правило, зеленый и красный), что позволяет
излучать не только тот или иной основной цвет, но и промежуточные
(например, желто-зеленый, желтый, оранжевый). Пока не созданы диоды с
интенсивным свечением синего цвета, равным по яркости зеленому и
красному, иначе на таких диодных сборках можно было бы создавать
полноцветные светодиодные табло и экраны
Строго говоря, под светом подразумевается видимое человеческим
глазом излучение, поэтому и светодиодами следует называть диоды,
излучающие в видимом диапазоне спектра. Однако физические параметры
излучения прилегающей к видимой зоне инфракрасной области спектра мало
чем (кроме частоты колебаний) отличаются от световых волн, поэтому
термин «светодиод» часто применяют и к ИК-диодам, хотя термин
«излучающий диод» в этом случае более точен.
Естественным развитием элементной базы класса излучающих диодов
можно считать появление светодиодных сборок в виде цифровых, буквенно-
цифровых и графических индикаторов, широко используемых в
индикаторных панелях и табло.
Для того чтобы высветить тот или иной символ, необходимо управлять
свечением (или гашением) каждого элемента. С этой целью, как и в
фотодиодных линейках и матрицах, питание на отдельные элементы
светодиодных линеек и матриц подается в мультиплексном режиме. При
этом если в сборке общее число элементов равно m, то каждый из элементов
работает как бы в мигающем режиме, зажигаясь на 1/m времени цикла
обегания всех элементов. Если частота циклов мультиплексирования выше
10-15 Гц, то по закону Тальбота мигающие элементы кажутся светящимися
постоянно, но с меньшей яркостью (яркость может быть повышена путем
пропускания через светодиод большего тока).
Выпускаемые в различных исполнениях светодиодные линейки и
матрицы нашли применение в сканирующих и записывающих устройствах. В
сканерах они используются в качестве линейных осветителей. В
записывающих головках рекордеров, имиджсеттеров, цифровых печатных
машин светодиодные линейки и матрицы осуществляют запись информации
на светочувствительный материал - фотопленку, фоторезисторную пленку,
электрографический цилиндр и т.п.

Рисунок 5.3 - Схемы многоэлементных светодиодных излучателей

Особенностью этих элементов является необходимость синхронизации

их работы с высокочастотным информационным сигналом (каждый импульс
сигнала предназначается определенному светодиоду в линейке или матрице).
Задача подключения в требуемый момент того или иного светодиода к
источнику сигнала выполняется электронными коммутаторами,
управляемыми по циклическим программам. Особый класс излучающих
диодов составляют лазерные диоды.

5.2.2 Квантовые генераторы и усилители

Под термином квантовая электроника понимают совокупность

радиотехнических и оптических устройств – генераторы, усилители,
преобразователи частоты электромагнитных волн, действие которых
основано на явлении вынужденного (индуцированного) излучения.
Вынужденное излучение вещества возникает в результате
согласованного по частоте и направлению почти одновременного испускания
электромагнитных волн огромным количеством атомов или молекул под
действием внешнего электромагнитного поля. Такое излучение может
происходить в диапазонах радиоволн, инфракрасного излучения, видимого
света и ультрафиолетового излучения. Перечисленные устройства называют
квантовыми (квантовый усилитель, квантовый генератор и т. п.) потому, что
в них используются электроны, входящие в состав атомов и молекул
кристаллов (связанные электроны); движение таких электронов (как и
атомов) подчиняется законам квантовой механики.
Квантовые устройства обладают рядом важных особенностей, Для
оценки их особенностей рассмотрим отдельно приборы, работающие в
радиодиапазоне (длина волны 1 мм) и оптические устройства (<1 мм).
В радиодиапазоне наибольший практический и научный интерес
представляют квантовые устройства:
 атомные и молекулярные генераторы;
 квантовые парамагнитные усилители (мазеры).
Основное достоинство атомных и молекулярных генераторов —
высокая стабильность частоты (периода) излучаемых электромагнитных
волн. Это свойство используется для точного измерения частоты и времени.
Квантовые парамагнитные усилители - «мазеры» (Microwave
amplification by stimulated emission of radiation - усиление микроволн с
помощью вынужденного излучения) могут усиливать радиоволны с длиной
волны в диапазоне от 0,01м до 0,50 м (СВЧ) и отличаются от обычных
усилителей (ламповых, полупроводниковых) чрезвычайно высокой
чувствительностью. Это позволяет использовать их в радиоастрономии для
приема очень слабых сигналов, а также при радиолокации планет.
Излучение оптических квантовых генераторов — лазеров (от первых
букв английской фразы: Light amplification by stimulated emission of radiation,
что означает: усиление света с помощью вынужденного излучения)
отличается высокой монохроматичностью (т. е. стабильностью частоты),
направленностью и мощностью излучения. Решающую роль в работе лазеров
и мазеров играет обратная связь.
Появление квантовых генераторов и усилителей радиоволн привело к
проникновению квантовых представлений и законов в радиофизику.
Одновременно на вооружение оптиков были приняты важные понятия
радиофизики, например понятие обратной связи, когерентности, модуляции и
др.
Появление мощных лазеров привело к рождению новой области
физики — нелинейной оптики. Нелинейная оптика изучает оптические
эффекты, возникающие при взаимодействии вещества с интенсивным
светом, создаваемым лазерами. В обычных условиях при переходе светового
луча из одной среды в другую изменяется длина световой волны   VT (Т —
период колебаний световой волны, v — скорость ее распространения в среде,
т. н. фазовая скорость), частота же (   1/ T ) остается неизменной.
Неизменность частоты света — один из основных принципов обычной
линейной оптики (в которой распространение световой волны описывается
линейными уравнениями). При облучении же вещества светом лазера
напряженность электрического поля световой волны Е может превышать
миллионы В/см. При этом постоянство частоты исчезает, и законы,
описывающие распространение волны, становятся нелинейными. В
результате этого привычные оптические законы существенно изменяются.
Например, известно, что монохроматический луч, проходя через прозрачную
среду, сохраняет свой цвет. Однако красный луч рубинового лазера с длиной
волны 0,7 мкм, проходя через некоторые прозрачные кристаллы, частично
превращается в ультрафиолетовый ( = 0,35 мкм), т. е. происходит удвоение
частоты света. Нелинейные оптические свойства некоторых кристаллов,
помимо удвоения частоты, позволяют при определенных условиях плавно
изменять частоту света.
Создание лазеров, являющихся источниками согласованного, или
когерентного, света дало толчок развитию голографии – метода,
позволяющего получить объемное цветное изображение предметов (их
оптические копии).
Таким образом, квантовая электроника – это область физики,
исследующая взаимодействие электромагнитного излучения с электронами,
входящими в состав атомов, молекул, твердых тел и создающая на основе
этих исследований квантовые устройства различных диапазонов длин волн и
разных назначений.
Особый интерес представляет применение в качестве источников
излучения лазеров. Принцип их работы заключается в вынужденном
испускании когерентного светового излучения активной средой,
переведенной за счет внешнего источника энергии в инвертированное
состояние и обладающей положительной обратной связью на резонансной
частоте. Это означает, что ионы, атомы или молекулы переведены в
нестабильное высокоэнергетическое состояние. Они могут спонтанно
вернуться в основное состояние, испустив фотон, но для этого они должны
быть стимулированы таким же фотоном. В результате возникает лавинный
эффект. Для обеспечения требуемой продолжительности этого процесса на
концах оптического резонатора устанавливаются зеркала. Фотоны в
результате этого генерируются монохроматическими и когерентными.
Лазеры бывают полупроводниковыми, твердотельными,
жидкостными, газовыми. Накачка оптического квантового резонатора
производится путем облучения активного вещества лампами вспышками,
лазером, в результате химических и ядерных реакций и т.п.
Особенностью газовых лазеров является монохроматичность, высокая
направленность, большая спектральная плотность излучения.
В твердотельных лазерах в качестве активного вещества используют
кристаллические и аморфные диэлектрики (синтетический рубин) в виде
цилиндрических стержней, на отполированных торцах которых наносятся
зеркальные покрытия. Длина стержня резонатора может составлять,
например, 15 см, а КПД = 1%. К недостаткам можно отнести то, что
устройства имеют большие размеры.
В первом твердотельном лазере средой, используемой для генерации
оптического излучения, был кристалл рубина в форме стержня. Импульсная
накачка производилась лампой – вспышкой.
Современные лазеры основаны на использовании в качестве рабочего
вещества таких сред, как газ, раствор красителя или полупроводник.
В настоящее время разработано большое число квантовых генераторов
различного конструктивного исполнения, мощности, спектра, характера
излучения (импульсные, непрерывные), метода получения инверсной
заселенности. Есть лазеры – усилители, используемые в космической связи, в
астрофизике для усиления слабых сигналов.
Так как КПД у мощных резонаторов невысок при высокой их рабочей
мощности (от 10 квт до 1014 вт), то для того, чтобы резонаторы не
перегревались, используют импульсный режим работы, синхронизацию
нескольких резонаторов. В жидкостных лазерах активное вещество
прокачивают через резонатор для его охлаждения.
Для непрерывного излучения используют четырехуровневую систему
накачки энергии в резонаторе.
В полупроводниковых лазерах возбуждение достигается путем
инжекции p-n-перехода или гетеро - перехода. Роль оптического резонатора
при этом играют зеркальные сколы граней кристалла, перпендикулярных p-n
переходу. Такие излучатели отличаются малыми габаритами (размер
резонатора в пределах 10 микрометров), компактностью, большим значением
КПД (до 100%), токи и напряжения совместимы с интегральными
микросхемами, возможна электрическая модуляция интенсивности
излучения с частотой до 1011 Гц. Создают лазеры с длиной волны от 0,2 до 20
микрометров.
К их недостаткам можно отнести низкую когерентность и
направленность излучения, недолговечность, зависимость параметров
излучения от температуры, давления, напряженности магнитного поля и
других воздействий.
Лазерные светодиоды подвержены неблагоприятному воздействию
температуры. Это может привести к изменению длины волны, перескоку
моды, изменению состояния стоячей волны внутри объемного резонатора.
Линии генерации полупроводниковых лазеров не столь узки. Вид кривой
спектра излучения инжекционного лазерного диода аналогичен спектру
обычного светодиода, но диапазон неопределенности длин излучаемых волн
у них на порядок меньше. При практически одинаковых генерируемых
световых потоках яркость лазерного светодиода на несколько порядков
выше, чем у обычного светодиода вследствие того, что лазерный светодиод
имеет меньшую излучающую область.
Высокий КПД, низковольтное питание, высокое быстродействие,
простота конструкции, низкая стоимость определяют широкую область
практического использования лазеров для:
  волоконно-оптической связи,
 спектрального анализа состава материалов,
 спектроскопии высокого разрешения,
 оптической системы памяти,
 создания лазерных гироскопов
 создания стандартов частоты и т.п.
Сочетание в измерительных устройствах лазеров с волоконной оптикой
обеспечивает передачу сигналов без потерь. При этом световолокна также
могут непосредственно использоваться в качестве чувствительных элементов
первичных преобразователей измерительной информации.
Существуют и другие типы квантовых генераторов (КГ): например,
разер, в настоящее время разрабатывают газер. В лазерах на свободных
электронах реализуется эффект Вавилова – Черенкова (разгон частиц в поле
с замедлением при переходе на границе раздела сред), с использованием
спонтанного эффекта Комптона (рассеяние излучения на движущихся
навстречу электронах).

5.2.3 Устройство и принцип работы лазеров

Основными отличительными чертами лазерного излучения являются

монохроматичность, когерентность и лучевая направленность. Чтобы
представить, насколько лазерное излучение «монохроматичнее»
светодиодного (которое представляется тоже одноцветным), можно
сопоставить степень монохроматичности того и другого вида источников,
которая оценивается отношением ширины полосы спектра излучения к длине
волны максимума спектральной характеристики. Для светодиодов степень
монохроматичности оценивается величинами порядка 0,05 - 0,1, а для
лазеров - менее 0,000001 . То есть длину волны лазерного излучения
определяют с точностью до третьего-четвертого знака после запятой, иначе
говоря, лазер излучает практически строго на одной длине волны.
Лазер является источником излучения, у которого принцип действия и
параметры излучаемого потока коренным образом отличаются от
характеристик всех предшествующих источников, так что иногда их в
оптоэлектронике называют «долазерными излучателями» . Лазерное
излучение относится к виду индуцированного излучения, предсказанного А.
Эйнштейном в 1917 г. и реализованного в первых лазерах (1954 г.). В
настоящее время основными видами лазеров являются газовые (на
углекислом газе, гелий-неоновые, аргоновые), жидкостные (к жидкостным
относятся и лазеры на стекле, которое аморфно, как и жидкости, поэтому
считается переохлажденной жидкостью), твердотельные (на рубине, гранате,
неодиме) и полупроводниковые (на кристаллах полупроводниковых
материалов, например GaAs).

Рисунок 5.4 - Виды лазеров

Схемы устройства твердотельных, газовых и полупроводниковых

лазеров приведены на рис. 5.4, а технические характеристики некоторых из
них - в таблице 5.3 .

Таблица 5.3 - Параметры некоторых отечественных лазеров

Длина Мощност
Марка Расходи- Потребляема
Активное волны ь Режим
лазера и мость я мощность,
вещество излучения (энергия) работы
его вид луча Вт
, мкм излучения
ЛГН-222 He–Ne 0,6328 55,0 мВт Непрер 1,7 мин 200 В
(газ.) .
Сигнал Сведени
Ar 0,3371 1000 Вт Импул. 500 В
(газ.) й нет
Промете Непрер Сведени
CO–N–He 10,6 50 Вт 2000 В
й (газ.) . й нет
ГОР-0,2
Рубин 0,6943 0,2 Дж Импул. 20 мин 60 В
(тверд.)
ГОС-
Стекло+N Непрер
30М 1,0600 30 Дж 10 мин 1200 В
d .
(т/ж)
Н2А2 Импул.
Ga–As 0,85 3,0/0,1 Вт 15ґ20° Сведений нет
(полупр.) непрер.
ПKГ
Ga–As 0,85 4,0 Вт Импул. 20ґ20° Сведений нет
(полупр.)

Лазерное излучение физически зарождается там, где в атомах или

молекулах активного вещества под действием внешних сил (света,
электрического поля и т.п.) образуется «перенаселенность» верхних
энергетических слоев внешних электронных оболочек (зоны проводимости)
возбужденными электронами, что приводит к активному образованию
фотонов при естественном стремлении электронов перейти в нормальное,
невозбужденное состояние (т.е. при переходе в валентную зону). Таким
образом, в активном веществе (газовой среде, кристалле, полупроводнике)
возникает постоянно пополняющееся множество квантов света - фотонов,
колеблющихся, что важно отметить, с одной частотой, поскольку в
однородном веществе при преодолении электроном запрещенной зоны
выделяется одинаковое количество энергии.
Наличие колебаний одной и той же частоты является условием (не
единственным) получения когерентного излучения. Следующая задача -
добиться однонаправленного распространения этих колебаний. Это
достигается с помощью использования резонаторов (как правило,
резонаторов Фабри - Перо).
Резонатор Фабри - Перо представляет собой два соосных, параллельно
расположенных и обращенных друг к другу зеркала, между которыми,
отражаясь от этих зеркал, перемещаются в активной среде фотоны,
генерируемые внешним возбуждением. Направление движения каждого из
фотонов, при их появлении, определяется случайным образом и
непредсказуемо. Вследствие этого многие фотоны бесполезно покидают
активную среду, образуя вокруг нее свечение (в лучшем случае, какой-либо
электрон, «захватив» энергию такого фотона, переходит в зону
проводимости). Лишь те из фотонов, направление движения которых
оказалось параллельным оси резонатора, остаются в активной среде и
участвуют в образовании лазерного излучения. Эти фотоны, отражаясь
десятки и сотни раз от зеркал резонатора, пробегают вдоль активной среды,
способствуя генерации новых фотонов.
Суть теоретически открытого Альбертом Эйнштейном
индуцированного (вынужденного) излучения заключается в том, что в
условиях «перенаселенности» верхних энергетических уровней пролетающие
мимо фотоны могут «сбивать» возбужденные электроны с этих уровней на
нижние, сохраняясь при этом сами. «Сбитый» электрон порождает новый
фотон; таким образом, вместо одного фотона появляется два, что и
способствует нарастанию светового потока. Это нарастание числа фотонов -
важное обстоятельство в зарождении лазерного излучения.
Чем больше зарождается фотонов, тем большее их количество остается
в пространстве резонатора, участвуя в накоплении световой энергии.
Расстояние между зеркалами подбирается таким образом, чтобы длина волны
испускаемого лазером излучения укладывалась в нем целое число раз. Таким
образом, резонатор решает две важные задачи: организует однонаправленное
движение фотонов вдоль оси лазера и селектирует совпадающие по длине
волны и фазе колебания (остальные затухают в процессе постоянного
наложения волн друг на друга). Так возникает когерентное излучение. Схемы
сложения когерентных колебаний приведены на рисунке 5.5.
 Рисунок 5.5 - Схемы сложения когерентных колебаний

Одно из зеркал резонатора делается полупрозрачным (в случае

непрерывного излучения), либо (и) у выходного окна лазера устанавливается
оптический затвор. При наличии затвора лазер может накапливать световую
энергию, чтобы затем выпустить ее одномоментно в виде мощного импульса
света - импульсные лазеры дают лазерный луч, намного превышающий по
мощности непрерывное излучение. В противном случае после накопления
световой энергии, достаточной для преодоления непрозрачности зеркала,
лазер начинает излучать свет, набирая мощность в луче до уровня насыщения
в установившемся процессе работы.
Таким образом, лазерное устройство должно содержать активное
вещество (в котором зарождается излучение), резонатор и источник
возбуждения активного вещества. Для газовых лазеров таким источником
возбуждения служит газоразрядная трубка, для твердотельных - мощный
источник света (импульсная лампа, освещающая стержень кристалла), для
полупроводниковых - прямой электрический ток через р-n-переход
полупроводника. Каждый из этих источников приводит электроны атомов и
молекул активного вещества в возбужденное состояние (на языке
лазерщиков это называется «накачкой»).
Направленность излучения (расходимость луча) напрямую зависит от
протяженности тела активного вещества (расстояния между зеркалами
резонатора). Чем больше это расстояние, тем меньше угол расходимости и,
следовательно, тем более узконаправленным является лазерный луч. Длина
газоразрядной трубки газового лазера составляет, как правило, десятки
сантиметров (нередко и более метра), что позволяет получить луч с
расходимостью в несколько угловых минут. Современные технологии
выращивания кристаллов позволяют получать стержни диной 250-400 мм,
что дает возможность достигать в твердотельных лазерах расходимости луча
в десятки угловых минут. В полупроводниковых же лазерах используются
кристаллы размером 0,5*0,5 мм (и менее), поэтому расходимость луча, а
точнее полоски излучения, намного больше - 20-30 угловых градусов.
Полупроводниковый лазер в чем-то похож на излучающий диод (часто
его и называют лазерным диодом). Обладая привычной диодной структурой,
при небольших прямых токах он и работает как обычный излучающий диод.
Но две противоположные грани кристалла делаются зеркально
отражающими (резонатор Фабри - Перо), и при увеличении прямого тока до
определенного порогового значения (ранее для этого требовались десятки
ампер и, как следствие, серьезные меры по охлаждению), когда создается
«инверсия населенностей» (превышение числа возбужденных электронов над
невозбужденными на внешних электронных оболочках атомов и молекул),
появляется настоящее когерентное лазерное излучение.
Каждый вид лазера имеет свои достоинства и соответственно сферу
применения. Газовые лазеры, обладая наибольшей мощностью излучения,
применяются из-за больших размеров в стационарном крупногабаритном
оборудовании. Твердотельные лазеры довольно компактны и применяются в
устройствах среднего размера. Лазерные диоды используются в
записывающих головках лазерных принтеров, цифровых печатных машин, а
также в оптических линиях связи.

5.3 Фотоприемники оптического диапазона излучения

В настоящее время промышленностью выпускаются разнообразные

типы датчиков для широкого спектра электромагнитных излучений.
Например, датчики для рентгеновского, ультрафиолетового, видимого и
инфракрасного диапазонов излучений.
Наиболее широко фотоприемники могут быть разделены на две
группы: термодетекторы и квантовые детекторы. В термодетекторах
поглощение фотонов приводит к нагреванию объема приемника. В основе
работы квантовых оптических приемников лежит реализация внутреннего и
внешнего фотоэффекта. Ширина запрещенной зоны в полупроводниковых
приемниках служит тем порогом, ниже которого материал является уже не
фоточувствительным. Но не следует представлять этот порог в виде резкой
границы, так как энергия связи электронов с атомом подчиняется
распределению случайных величин. Поэтому вероятность перехода для
каждого электрона в зону проводимости не одинакова. Это обусловливает
вид спектральной характеристики интенсивности фотоэффекта от длины
волны в виде АЧХ.
При выборе типа фотоприемника необходимо принимать во внимание
следующие критерии:
 чувствительность на соответствующей длине волны;
 собственные шумы преобразователя;
 линейность характеристики;
 скорость отклика;
 стабильность;
 совместимость с измерительной системой в целом.
В качестве квантовых приемников оптического излучения используют:
фоторезисторы, фотодиоды (гальванический и резистивный режимы),
фототранзисторы (с возможностью дополнительного усиления фототока),
фототиристоры и т.п.
Приборы с внешним, или поверхностным фотоэффектом, основным
примером которых является фотоумножитель. Приборы с внутренним
фотоэффектом: полупроводниковые фотодектекторы (фоторезисторы,
фотодиоды и т.п.). Фоторезисторы менее точны, стабильны, используются в
системах оптического переключения, световой охранной сигнализации,
фотографических экспонометрах и т.п.
Наиболее широко распространены фотодиоды. При взаимодействии
фотона, обладающего достаточной энергией, с веществом детектора
образуется электронно-дырочная пара. Поле перехода разделяет эти носители
заряда в направлении соответствующих электродов. Величина фототока
зависит от числа фотонов и эффективности их преобразования в
электрические заряды. Реализуют режимы фотопроводимости и
фотогальванический.
 Для повышения чувствительности фотоприемники охлаждают
(используют эффект Пельтье), при этом частотная характеристика смещается
в сторону больших длин волн, но при этом снижается и быстродействие
устройств. Преимуществом фотодиодов и фототранзисторов по сравнению с
фотосопротивлениями являются более высокая чувствительность, быстрое
время отклика, меньшие размеры, лучшая стабильность, высокая линейность.
Фотоприемник предназначен для преобразования светового излучения в
электрические сигналы. В качестве фотоприемников могут быть
использованы фоторезисторы, фотодиоды, фототранзисторы,
фототиристоры, фотоумножители и другие элементы.

Рисунок 5.6 - Обозначения, конструкции и характеристики

полупроводниковых фотоприемников

5.3.1 Фоторезисторы

Фоторезистор - полупроводниковый элемент, изменяющий свое

электрическое сопротивление под действием внешнего излучения. Его
принцип действия основан на внутреннем фотоэффекте в полупроводниках.
Фоторезистор представляет собой слой (или пленку) полупроводникового
материала на подложке (или без нее) с нанесенными на него электродами,
посредством которых прибор подключается к электрической цепи. Под
действием потока излучения, падающего на рабочую поверхность
фоторезистора, его внутреннее сопротивление уменьшается вследствие
генерации пар свободных носителей заряда (электронов и дырок), за счет
чего увеличивается электропроводность полупроводника.
В качестве фоточувствительного материала в отечественных
фоторезисторах широкого применения используются сульфиды и селениды
кадмия и свинца (CdS, PbS, CdSe, PbSe). Материалы на основе кадмия
чувствительны к излучениям в видимой и ближней инфракрасной областях, а
на основе свинца - на длинах волн 1-5 мкм. Представление о параметрах и
характеристиках фоторезисторов, выпускаемых отечественной
промышленностью, можно получить, ознакомившись с данными таблице 5.4.

Таблица 5.4 - Параметры некоторых отечественных фоторезисторов

Размеры Темновое Rт Rт/Rсв Ток (при E
Фоторези Темновой
Материал элемента, сопротивлен не = 200 лк),
стор ток, мкА
мм ие, МОм менее мА
ФСK-0 CdS 4ґ7,2 1 140 15 15
СФ2-1 CdS 0,5ґ1,5 15 1000 1 1
ФПФ7-1 CdS 3,7ґ2 6 50 6 0,3
ФСД-1 CdSe 4ґ7,2 2 150 10 1,5
СФ3-2 CdSe 6ґ12 5 500 1 0,5
Сведений Сведений
ФСА-4 PbS 4ґ6 0,04 1,2
нет нет
Сведен Сведений Сведений
СФ4-3Д PbSe 3ґ3 0,2
ий нет нет нет

Световая характеристика фоторезистора I(Ф) линейна при небольших

световых потоках, что соответствует закону Столетова, установившего, что
число электронов, освобожденных светом за 1 с (т.е. ток), прямо
пропорционально световому потоку при неизменном его спектральном
составе: I = SФ, где I - фототок, Ф - световой поток, S - коэффициент
пропорциональности, называемый чувствительностью фотоприемника.
Фоторезистор ведет себя как омическое сопротивление, т.е. его
сопротивление не зависит ни от приложенного напряжения, ни от его знака.
 При малых значениях освещенности сопротивление фоторезистора
существенно зависит от температуры. Столь же заметным недостатком
фоторезисторов при малых освещенностях является инерционность - при
освещенности менее 1 лк время установления нового значения может
составлять несколько секунд.
Достоинством фоторезисторов является высокая чувствительность,
сравнимая с чувствительностью фотоумножителей. К положительным
характеристикам фоторезистора следует отнести возможность создания
рабочих поверхностей приемника различной площади и протяженности, что
позволяет использовать их в качестве элемента управления довольно
значительными токами и в качестве датчиков перемещений объектов
контроля в диапазоне нескольких миллиметров.

5.3.2 Фотодиоды

Фотодиод - фоточувствительный полупроводниковый диод с р-n-

переходом (между двумя типами полупроводника или между
полупроводником и металлом). При освещении р-n-перехода в нем
возникают электронно-дырочные пары. Направление тока носителей
совпадает с направлением обратного тока перехода, т.е. с ростом
освещенности возрастает обратный ток фотодиода.
Фотодиод может работать в двух режимах - фотодиодном и
фотогенераторном. В фотодиодном режиме прибор подключается к
источнику питания, при этом на анод должен подаваться «-», а на катод «+».
Этому режиму соответствуют зависимости в III квадранте вольт-амперной
характеристики. Зависимости, приведенные в IV квадранте, отражают
фотогенераторный режим работы, когда фотодиод может использоваться без
источника питания, так как сам становится источником фотоэдс, генерируя
(под действием света) носители зарядов - свободные электроны. Благодаря
этому фотодиод пригоден для получения электроэнергии (один фотодиод
способен генерировать напряжение в диапазоне 0 - 0,4 В в зависимости от
тока нагрузки, как правило, микроамперного). Материалом для изготовления
фотодиодов часто служат германий и кремний. Спектральная
чувствительность германиевых фотодиодов находится в диапазоне 0,5-1,7
мкм (с максимумом на длине волны 1,2 - 1,65 мкм), а кремниевых - между 0,6
- 1 мкм (максимум на длине волны 0,8-0,95 мкм). Фотодиоды обладают
большим быстродействием (особенно в фотодиодном режиме), чем
фотосопротивления - они обычно способны реагировать на сигналы частотой
до 10 МГц. Фотодиоды с p-i-n-переходом (введение области i повышает
быстродействие) способны работать с высокочастотными сигналами порядка
1 ГГц . Характеристики некоторых отечественных фотодиодов приведены в
таблице 5.5.

Таблица 5.5 - Параметры некоторых отечественных фотодиодов

Размер Максимальная
Темнов Рабочее Интегральная
Фотоди Матери ы спектральная
ой ток, напряжен чувствительно
од ал элемент чувствительно
мкА ие, В сть, мА/лм
а, мм сть, мкм
ФД-8K Si 2ґ2 1,0 20 0,85–0,92 0,000006
ФД-27K Si 1,9ґ1,9 1,0 20 0,80–0,95 0,0000075
ФД-256 Si 1,4ґ1,4 0,005 10 0,75–0,90 6,0
ФД-1 Ge Ж5 30,0 20 1,50–1,60 30,0
ФД-7Г Ge Ж 2,5 8,0 10 1,50–1,55 10,0

Благодаря простоте и миниатюрности конструкции, широкому спектру

чувствительности, высокому быстродействию, возможности автономного
(собственного) питания и вариантности схем включения фотодиоды нашли
широкое промышленное применение в качестве датчиков положения, счета
продукции, световых барьеров, высокочастотных преобразователей световых
сигналов в электрические (в оптических линиях связи) и т.п.

5.3.3 Фотоэлементы

Фотоэлемент - полупроводниковый фотодиод, оптимизированный для

прямого преобразования излучения в электрическую энергию. Для их
обозначения часто используются также термины «солнечные элементы»,
«солнечные батареи». Солнечные элементы работают только в
фотогенераторном режиме, функционально выступая в качестве
электрических источников питания.
Рабочая площадка отдельного фотоэлемента может достигать площади
в несколько квадратных сантиметров, а множество фотоэлементов,
объединенных в батареи или панели, могут иметь (как, например, на
космических станциях) площадь, измеряемую в квадратных метрах,
вырабатывать напряжение в десятки вольт и давать ток в сотни ампер.
Общеизвестно применение фотоэлементов в качестве датчиков
освещенности в люксметрах и экспонометрах. Часто в качестве базового
фоточувствительного материала в фотоэлементах используется селен или
кремний. Параметры некоторых отечественных селеновых фотоэлементов
представлены в таблице 5.6.

Таблица 5.6 - Параметры некоторых отечественных селеновых

фотоэлементов
Площадь Освещенность
Фотоэлемент фоточувствительной Фототок, мкА при измерении
площадки, см² фототока, лк
Ф-32С 4,6 6 105
Ф-36С 2,85 40 250
Ф-42С 6,4 6 22
Ф-54С 27,0 110 100
Ф-54С 27,0 550 500

Вследствие больших площадей фоточувствительных поверхностей

фотоэлементы обладают существенной инерционностью и поэтому
применяются как фотоприемники лишь для контроля сравнительно медленно
меняющихся световых потоков (или освещенности).

5.3.4 Фототранзисторы

Фототранзисторы представляют собой тип дискретных опто-

электронных фотоприемников, наиболее характерными чертами которого
являются наличие механизма встроенного усиления (отсюда высокая
фоточувствительность) и схемотехническая гибкость, обусловленная
наличием третьего (правда, не всегда выводимого), управляющего электрода.
В схемах замещения фототранзистор рассматривается как транзистор с
фотодиодом, включенным между базовой (анодом к базе) и коллектором
этого транзистора (как правило, типа n-р-n). Ток фотодиода является базовым
током транзистора и управляет током его коллектора.
 Решение о том, нужно ли подключать к схеме (в которой используется
фототранзистор) базовый электрод или оставить его неподключенным,
зависит от выбранной схемы. Фототранзисторы, у которых базовый электрод
вообще не выведен, иногда называют двойным фотодиодом.
Чувствительность фототранзистора значительно выше, чем у
фотодиода, за счет внутреннего усиления (коэффициент усиления Kу обычно
равен 50-200). Еще большее усиление может быть получено в составном
фототранзисторе (Kу = 1000 - 10000). В то же время фототранзисторам
присуща заметная инерционность (таблица 5.7), что ограничивает область их
применения в основном устройствами автоматики и управления силовыми
цепями.

Таблица 5.7 - Сравнение параметров фотоприемников различных типов

Kоэффициент передачи,
Фотоприемник Полоса частот, МГц
%
Фотодиод 0,1 0–10
Фототранзистор 30 0–0,3
Составной
300 0–0,03
фототранзистор

Спектральная чувствительность у фототранзисторов такая же, как у

соответствующих фотодиодов. Область применения фототранзисторов схожа
с областью применения фотодиодов, с учетом их меньшего быстродействия и
большего коэффициента передачи, например, при слабых световых сигналах,
при больших (в сравнении с фотодиодом) расстояниях между источником
света и фотоприемником. Параметры некоторых отечественных
фототранзисторов приведены в таблице 5.8.

Таблица 5.8 - Параметры отечественных фототранзисторов

Импульс
Темнов Максимальна
Размер ная
ой ток, Рабочее я Интегральная
Фототранзи ы постоянн
мкА, напряже спектральная чувствительн
стор элемен ая
не ние, В чувствительн ость, мкА/лк
та, мм2 времени,
более ость, мкм
с
ФТ-1K 2,8 3 5 0,8–0,9 0,4 0,00008
ФТ-2Г 1,0 500 12–24 1,5–1,6 2,0 0,00001
ФТ-3 3,0 60 5–10 1,5–1,55 1,0 0,0001
ФТГ-5 3,0 50 5–10 1,5–1,55 1,0 0,00002
Сведен Сведени
KТФ109А 2,0 5 0,83 0,25 А/Вт
ий нет й нет

Фототранзисторы применяют в качестве аналоговых и ключевых

приемников излучения, а также в оптопарах.

5.3.5 Фототиристоры

Фототиристор - это тиристор, который включается воздействием

светового потока. При освещении фототиристора в полупроводнике
генерируются носители заряда обоих знаков (электроны и дырки), что
приводит к увеличению тока через тиристор на величину фототока.
Фототиристор имеет четырехслойную р-n-р-n-структуру, которую, как
и в обычном тиристоре, можно представить в виде комбинации двух
транзисторов, имеющих положительную обратную связь по току. Переход
фототиристора под действием светового управляющего сигнала из закрытого
состояния в открытое осуществляется при достижении уровня тока
срабатывания Iср скачком после преодоления определенного потенциального
барьера.
Основное достоинство фототиристоров - способность переключать
значительные токи и напряжения слабыми световыми сигналами -
используется в устройствах «силовой» оптоэлектроники, таких, как системы
управления исполнительными механизмами, выпрямителями и
преобразователями. Как и фототранзисторы, фототиристоры часто
применяются совместно с подобранными по характеристикам излучателями,
в виде оптопар.

5.3.6 Фотоэлектронные умножители

Фотоэлектронный умножитель (ФЭУ) - это усилитель слабых

фототоков, действие которого основано на вторичной электронной эмиссии.
Честь создания ФЭУ принадлежит нашему соотечественнику, физику
Леониду Александровичу Кубецкому (1906-1959), который в 1930-1934 гг.
разработал фотоумножитель для регистрации слабых электромагнитных
излучений оптического диапазона. Конструктивно ФЭУ представляет собой
стеклянный баллон с торцевым или боковым рабочим окном и
расположенными внутри баллона электродами: катодом, чередой динодов и
анодом. За катодом, как правило, располагается фокусирующий электрод.

Рисунок 5.7 - Схема фотоэлектронного умножителя

Измеряемый поток света через рабочее окно попадает на катод,

выбивая из него электроны (внешний фотоэффект). Согласно основному
закону фотоэффекта фототок, возникающий в фотоэлементе под действием
света, прямо пропорционален падающему на него световому потоку.
Особенность ФЭУ как фотоприемника заключается в том, что благодаря
системе динодов коэффициент пропорциональности удается поднять в
миллионы раз (до восьми порядков). Для этого на ФЭУ подается напряжение
от высоковольтного источника (в зависимости от количества динодов - от
500 до 1500 В), причем делитель напряжения распределяет потенциалы
между электродами равномерно, ориентировочно по 100 В на каскад.
Вылетающие из катода электроны под действием разности потенциалов
между катодом и ближайшим к нему динодом притягиваются к последнему.
Этому процессу способствует и фокусирующий электрод, концентрирующий
поток электронов именно в этом направлении.
Диноды изготовлены из материалов, обладающих высоким
коэффициентом вторичной эмиссии, так что поток электронов от динода к
диноду возрастает многократно и по сопротивлению нагрузки в анодной
цепи ФЭУ протекает усиленный ток, значение которого пропорционально
потоку света, упавшему на катод.
 Особенности конструкции (большие расстояния между электродами)
предопределяют чрезвычайно высокое внутреннее сопротивление ФЭУ в
темновом режиме и, следовательно, исчезающе малые темновые токи (шумы)
- на уровне наноампер. Поэтому ФЭУ способен реагировать на самые слабые
световые сигналы, вплоть до единичных фотонов. Это обстоятельство и дает
при высокой интегральной анодной чувствительности (1 А/лм и выше)
широкий динамический диапазон (определяемый отношением
максимального и минимального сигналов) - более 10000.
Как известно, недостатки являются продолжением достоинств. ФЭУ не
является исключением из этого правила. Высокая чувствительность
предъявляет очень жесткие требования к стабильности условий измерения, в
том числе и к стабильности питающего напряжения. Выполнить эти
требования сложно, учитывая, что питание ФЭУ высоковольтное. К тому же
высоковольтность фотоприемника требует дополнительных мер по
согласованию сигнала ФЭУ с низковольтными полупроводниковыми
элементами последующих преобразователей.

Таблица 5.9 - Параметры отечественных фотоумножителей

Область
Темнов
спектраль Тип
Размеры ой ток, Рабочее Интегральная
Фотоумножи ной оптическ
фотокат мкА, напряже чувствительн
тель чувст- ого
ода, мм не ние, В ость, А/лм
вительнос входа
более
ти, мкм
ФЭУ-22 16ґ5 0,02 1400 0,40–1,10 4,5 Боковой
ФЭУ-26 5ґ2 0,05 850 0,32–0,60 1,0 Боковой
Торцево
ФЭУ-27 Ж 25 0,005 1100 0,32–0,75 1,0
й
Торцево
ФЭУ-68 Ж 12 0,01 1300 0,30–0,82 1,0
й

5.3.7 Видиконы

В отличие от рассмотренных выше фотоприемников, как бы точечного

типа (или дискретных, от discrete - рассматривать отдельно, расчлененно),
существуют фотоприемники, которые способны воспринимать все
изображение целиком, со всеми его перепадами яркостей, цветов, полутонов.
К таким приемникам относится большой класс приборов, разработанных для
телевидения, но представляющих интерес в данном случае как естественный
(и исторический) мостик между вакуумными приборами (типа ФЭУ) и
твердотельными матричными приемниками (типа приборов с зарядовой
связью). В телевидении эти приборы называют передающими трубками.
Идея создания передающей трубки с фотопроводящей мишенью
принадлежит нашему соотечественнику, электротехнику Александру
Алексеевичу Чернышеву (1882-1940), который высказал ее в 1925 г. Однако
первые эксплуатационные образцы таких трубок появились лишь в 1950 г.,
после того как были разработаны полупроводниковые слои, меняющие свою
электропроводность под действием света. Примером такой передающей
трубки является видикон.
Видикон - электронно-лучевой прибор с фотопроводящей мишенью,
преобразующий оптическое изображение в электрический сигнал. В качестве
фотопроводящего слоя, обладающего внутренним фотоэффектом,
используются кремний, окись свинца, селенид кадмия и др. Часто
наименование прибора связано с химическим составом фотопроводящего
слоя; например, видикон с фотопроводящим слоем на основе кремния (Si)
назван кремниконом, на основе свинца (Pb) - плюмбиконом, на основе
кадмия (Cd) - кадмиконом.

Рисунок 5.8 - Схема видикона

 Основными элементами видикона являются фотомишень и
электронный прожектор. Фотомишень представляет собой стеклянную
пластину, закрепленную в торце передающей трубки, на которую нанесен
тонкий прозрачный для света (прозрачность более 90%) проводящий слой
золота, платины или другого проводника, поверх которого испарением в
вакууме напылен фотослой толщиной 1-3 мкм из упомянутых выше
материалов на основании Si (в случае кремникона) или иного
полупроводника.
Выводом сигнальной пластины служит металлическое кольцо,
электрически контактирующее с проводящим слоем пластины. В
неосвещенном состоянии фотослой обладает очень высоким сопротивлением
(около 1000 ГОм/см), так что две его стороны (одна из которых контактирует
с проводящим прозрачным слоем и обращена к объекту съемки, а вторая
«прощупывается» электронным лучом прожектора и обращена внутрь
трубки) образуют как бы панель (матрицу) миниатюрных конденсаторов,
площадь обкладки каждого из которых определяется диаметром
электронного луча, пробегающего за цикл опроса (кадр) построчно все
элементы (конденсаторы) фотомишени. Если элемент фотомишени освещен,
то его сопротивление падает примерно в 100 раз, и элементарный
конденсатор, будучи ранее заряженным, за время между опросами может
разряжаться до уровня напряжения, зависящего от степени освещенности.
Электронный луч в видиконе одновременно выполняет роль
развертывающего элемента и коммутатора цепи заряда каждого элемента
мишени. Диаметр луча определяет разрешающую способность мишени. При
размере мишени 9,5×12,5 мм и диаметре луча около 15 мкм площадь мишени
как бы разлагается на 527300 (633×833) элементарных фотоприемников, что
вполне достаточно для передачи высококачественного телевизионного
изображения. Пучок электронов, испускаемый подогретым катодом и
направляемый к мишени системой электродов (управляющих, первого и
второго анодов, выравнивающей сетки) и электромагнитных сил
корректирующих и фокусирующих катушек, замыкает цепь между катодом и
«обкладкой» элементарного конденсатора, дозаряжая последний до
потенциала катода. Ток заряда, пропорциональный разнице потенциалов
катода и «обкладки» (которая, в свою очередь, пропорциональна падающему
на элемент световому потоку), протекает по сопротивлению нагрузки Rн ,
создает выходной сигнал Uc .
Мишени видиконов отличаются большим разнообразием, но могут
быть поделены на фоторезистивные и фотодиодные. В фоторезистивных
мишенях процесс разряда определяется сопротивлением фотопроводящего
слоя. В фотодиодных мишенях разряд определяется еще и свойствами р-n-
перехода полупроводникового материала, что обеспечивает лучшее
разделение световых носителей, большую линейность световой
характеристики, безынерционность и высокую чувствительность. В
частности, мишень кремникона представляет собой фотодиодную матрицу с
мозаикой р-n-переходов (более 1000000 переходов).
Обладая несомненными достоинствами (многоэлементность
восприятия изображения, быстродействие), видиконы сохраняют недостатки,
присущие вакуумным электронно-лучевым приборам: объемность, а
следовательно и нетехнологичность изготовления (по сравнению с
плоскостными), высоковольтное питание со всеми последствиями.

5.3.8 Оптопары, фотодиодные линейки и матрицы

Желание освободиться от этих недостатков, сохранив достоинства,

привело разработчиков, конструкторов и технологов производства
электронно-оптических приборов к созданию матричных фотоприемников, к
которым относятся сканисторы, фотодиодные матрицы, фоточувствительные
приборы с зарядовой связью.

Рисунок 5.9 - Резисторные оптопары и их передаточные характеристики

Многоэлементные фотодиодные приемники предназначены для

преобразования двухмерной (распределенной по площади) оптической
информации от изображения в одномерную временную последовательность
электрических сигналов. Они выпускаются в виде линеек и матриц. В
линейках фотодиоды расположены в ряд (строку, линию) с равномерным
небольшим шагом, а матричные представляют собой набор таких линеек.

Рисунок 5.10 - Схемы многоэлементных диодных приемников

Параметры некоторых многоэлементных твердотельных фотодиодов

(Multi-Element Monolithic Type Photodiodes), выпускаемых японской фирмой
Hamamatsu Photonics K.K. (Solid State Division), приведены а табл. 5.10.

Таблица 5.10 - Параметры многоэлементных фотодиодов

Область
Размеры
Шифр Число спектральной Основная область
элемента,
прибора элементов чувствительности, применения
мм
мкм
Дисководы
S1651 2ґ2 0,30ґ0,60 0,40–1,06
оптических дисков
Датчики
S1671 2ґ2 1,70ґ2,80 0,40–1,06
позиционирования
S2311 35...46 4,40ґ0,94 0,19–1,10 Многоканальные
S2312 35...46 4,40ґ0,94 0,19–1,00 спектрофотометры,
анализаторы цвета,
S2313 35...46 4,40ґ0,94 0,19–1,05 оптического
спектра

Развертка изображения осуществляется последовательным

считыванием сигналов каждого из фотодиодов линейки, а в матричном
варианте - путем поочередного опроса каждой линейки (и каждого
фотодиода в линейке). В линейке одни электроды, например аноды
фотодиодов, объединены в одну шину, а другие, в данном случае - катоды,
выведены на коммутатор (например, на транзисторных ключах). Коммутатор
подключает каждый фотодиод к измерительной цепи, которая в простейшем
случае может включать в себя источник питания и сопротивление нагрузки.
В электронике режим последовательного опроса состояний большого числа
элементов и передачи их на один вход называется мультиплексным (а
устройство, организующее такой опрос, - мультиплексором) .
В матричном варианте фотодиоды подключаются одним электродом к
горизонтальной шине (те же аноды), а другим - к вертикальной (катоды).
Шины, в свою очередь, также подключены к коммутаторам
(мультиплексорам), которые, как и в случае с линейкой, включают
последовательно каждый из фотодиодов в измерительную цепь. В результате
организованного мультиплексирования последовательное подключение
вертикальных шин образует развертку по строке (линии, ряду), а переход с
одного горизонтального ряда на следующий - развертку по кадру. Так, на
выходе схемы образуется последовательность импульсов (видеосигнал),
амплитуда которых соответствует освещенности того или иного элемента
матрицы.
Фотодиодные линейки и матрицы используются в современных
спектрофотометрах, сканерах и других устройствах ввода оптической
информации.

5.3.9 Фоточувствительный прибор с зарядовой связью

Фоточувствительный прибор с зарядовой связью (ФПЗС) - это

фотоприемник, воспринимающий изображение, осуществляющий его
разложение на элементарные фрагменты, поэлементное электронное
считывание (сканирование) и формирование на выходе видеосигнала,
адекватного изображению. ФПЗС, являющийся многоэлементным
фотоприемником, выпускается в матричном или линейном виде, достигая в
наиболее современных образцах нескольких тысяч элементов для линеек и
нескольких миллионов - для матриц. Характеристики некоторых
отечественных ФПЗС приведены в таблице 5.11.
 Таблица 5.11 - Параметры отечественных ФПЗС
Диапазон
Вольтовая Частота Габаритны
Тип Число спектральной
чувствительност опроса, е размеры,
прибора элементов чувствительност
ь, мВ/лк МГц мм
и, мкм
Сведени 29,5ґ14, 7ґ3,
ФПЗС1Л 500 0,5–0,1 3,0
й нет 3
Сведени 19,5ґ15,
ФПЗС3М 256ґ288 0,4–1,0 30,0
й нет 75ґ2, 98
29,1ґ14, 7ґ3,
1200ЦЛ1 1024 0,5–1,0 2,4 0,05–3
95
29,1ґ14, 7ґ3,
1200ЦЛ2 2048 0,36–1,0 8,0 0,1–3
95
1200ЦМ2 Сведени 42,5ґ24, 7ґ5,
576ґ360 0,5–1,0 10,0
А й нет 5

Для ФПЗС существенна близость расположения элементов друг к другу

- расстояния между ними измеряются единицами микрометров, что приводит
к частичному перекрытию электрических полей соседних элементов и к
возникновению собственно явления переноса заряда из одного элемента в
другой (явление зарядовой связи).
Принцип зарядовой связи иллюстрируется на рисунке 5.11.

Рисунок 5.11 - Схема действия ФПЗС

ФПЗС представляет собой микросхему на полупроводниковом

кристалле (кремний), поверхность которого покрыта слоем (0,1 мкм)
диэлектрика (окись кремния), а на этот слой нанесены прозрачные электроды
(алюминий или поликремний). Размеры электродов измеряются единицами
микрометров, а расстояния между ними составляют менее 1-2 мкм. Строка от
строки отделяются узкими областями так называемой стоп-канальной
диффузии.
Если на электрод подать напряжение 5-10 В, то под ним, за тонким
слоем диэлектрика образуется так называемая потенциальная яма, так как
носители зарядов одноименного (+) с потенциалом электрода знака будут
оттеснены в глубину кристалла под действием сил, отталкивающих (по
закону Кулона) одноименные заряды. При освещении этого участка
появившиеся в результате поглощения фотонов свободные электроны будут
скапливаться (благодаря силам притяжения того же кулоновского закона)
под притягивающим их электродом в так называемый зарядовый пакет. Чем
больше световой поток на данном участке, тем больше будет зарядовый
пакет. Таким образом, элементарная ячейка ФПЗС представляет собой
миниатюрный МОП-конденсатор (аббревиатурой МОП принято обозначать
микросхемы, изготовленные по технологии металл-окисел-полупроводник),
способный удерживать заряд, пропорциональный падающему на элемент
световому потоку.
Время хранения заряда невелико - 1-100 мс (может измениться
освещенность участка, электроны могут рекомбинировать с дырками или
притянуться другим электрическим полем - «рассосаться» и т.п., но при
высоких частотах опроса эти процессы не успевают реализоваться).
Вследствие близости электродов зарядовый пакет может быть
передвинут под соседний электрод, если потенциал там окажется выше и,
следовательно, потенциальная яма глубже. Чередуя разность потенциалов на
соседних электродах определенным образом, можно передвинуть
сформированный под действием света зарядовый пакет вдоль линейки или
вдоль строки в матрице и «снять» его с последнего элемента ряда. Временная
последовательность зарядовых пакетов, переданная по элементам строки на
ее выход, образует видеосигнал. В случае матричного ФПЗС видеосигналы
отдельных рядов, передаваясь последовательно один за другим, образуют
видеосигнал кадра изображения.
Собственно ПЗС может быть использован и по другому назначению -
как элемент памяти, хранения информации или как линия задержки
электрического сигнала. Для отличия от этих применений и используется
аббревиатура ФПЗС. Однако на практике литеру «Ф» часто опускают, если в
какой-то отрасли (как, например, полиграфии) эти приборы используются по
одному назначению - в качестве фотоприемников. Поэтому в литературе
распространено употребление терминов «ПЗС-линейка», «ПЗС-матрица».
Наиболее широкое применение ПЗС-фотоприемники нашли в
разнообразных сканерах (ручных, листовых, планшетных), цифровых
фотоаппаратах и других устройствах оцифровки изображений (слайд-
сканерах и т.п.).

Контрольные вопросы к главе 5

1. Перечислите основные типы тепловых измерительных
преобразователей.
2. Почему газы пропускают тепловое излучение?
3. Объясните, почему для калибровки пирометров необходимо
использовать эталонные источники излучения?
4. Почему для измерений в ИК–диапазоне не рекомендуется использовать
квантовые измерительные преобразователи?
5. Почему пироэлектрические измерительные преобразователи
используют в дифференциальном исполнении?
6. Почему коэффициенты излучения для различных материалов
отличаются?
7. Дайте сравнительную характеристику для различных источников
светового излучения.
8. Какие существуют типы лазеров?
9. По каким причинам лазеры находят столь широкое применение в
измерительной технике?
10.Укажите основные критерии выбора квантовых фотоприемников.
11.Перечислите основные параметры фотоприемников излучения. Дайте
определение каждого из них.

Глава 6. Физические основы оптоволоконных измерительных устройств

Свет исторически изначально был одним из основных методов

передачи информации и мог осуществляться различными способами
(отраженным солнечным светом, факелами, кострами, лампами и т.п.). В
конце 6 века до н. э. Ахилл записал, что новости о падении Трои были
переданы из Малой Азии в Аргос чередой огненных сигналов. Во 2 веке до
н.э. Полибий описал метод, которым буквы греческого алфавита могли
передаваться огненными сигналами посредством двузначного пятиуровнего
кода. В 1870 году Джон Тиндаль продемонстрировал, что свет может
распространяться вдоль изогнутой струи воды, а позже Бэрд получил патент
на распространение света в стеклянных стержнях. В 1950 году были
разработаны волоконно–оптические устройства для контролирующих
устройств. В 1966 году Чарльз Као и Джордж Хокман предложили принцип
передачи информации через прозрачный диэлектрик. Последовавшее за этим
развитие технологии высококачественных оптических волокон привело к их
теперешнему широчайшему применению в телекоммуникационных сетях.
Недавним достижением по увеличению информационной емкости без
прокладки дополнительных кабелей является использование света различных
длин волн (до 100) в одном волокне (плотное мультиплексирование по
длинам волн) при скорости передачи 10 Гбит в секунду на дальность до 100
км. Например, в сотовой связи оптические волокна используются для
межузловых соединений. Использование мобильных телефонов для передачи
видеоизображений увеличивает спрос на повышение передающей
способности каналов связи.
Работа волноводов основана на принципе внутренних отражений (свет
распространяется по волокну за счет полного внутреннего отражения). В
результате чего свет с помощью световодов может распространяться по
сложной траектории, что позволяет использовать оптические волокна для
переноса световой энергии в недоступные зоны.
Для работы в видимом и ближнем ИК-диапазонах спектра волноводы,
как правило, изготавливают из стекла. Для средних и дальних ИК-областей
применяются волноводы в виде полых трубок с сильно отражающими
внутренними поверхностями. Пластиковые волокна изготавливаются из
полиметилметакрилата, и их можно изгибать по гораздо меньшему радиусу,
чем стеклянные волокна.
Первые патенты на оптические волоконные сенсоры появились в
середине 60-х годов. С тех пор наблюдается их значительное развитие от
простых устройств до современных сложных и высокотехнологичных
систем. Применение оптических волокон в телекоммуникационных линиях
стимулировало их использование для телеметрии в некоторых отраслях
промышленности. В химических, ядерных, нефтехимических и других
производственных процессах их начали использовать для управления,
контроля и сбора данных в основном благодаря таким преимуществам, как:
 относительно низкая стоимость:
 безопасность, устойчивость и надежность;
 малые эксплуатационные расходы;
 нечувствительность к электромагнитным помехам и возмущениям;
 химическая инертность;
 отсутствие электромагнитной передачи;
 термостойкость;
 широкая полоса рабочих частот.
Такие отрасли, как робототехника, электроэнергетика,
автомобилестроение, авиация, медицина заинтересованы в оптоволоконных
сенсорах.
Область применения оптических волокон в измерительных системах
можно разбить на три группы:
 световоды для освещения при дистанционном наблюдении и в
труднодоступных местах;
 системы обзора, экраны, увеличители;
 датчики, использующие оптическое волокно и дополнительные
компоненты в качестве чувствительного элемента первичного
преобразователя.
Наибольшее внимание для использования в промышленных
измерениях (температура, скорость потока, давление, смещение и т.п.) в
настоящее время привлекает идея включения в единую систему оптического
волоконного сенсора и линии передачи информации. Так как
промышленность весьма консервативна и поэтому маловероятно быстрое
внедрение сложных и дорогих измерительных устройств. Суровые условия
производственных процессов могут сделать чувствительные к внешним
воздействиям высокочувствительные измерительные устройства
непрактичными. Скорее всего, эта технология будет развиваться путем
внедрения простых сенсорных систем, которые относительно дешевы и
надежны. Для многосенсорных систем будет использоваться, например,
радиальная сеть.
 Телеметрия, основанная на металлических проволочных парах, хотя и
является сегодня гораздо более распространенной технологией, но
сталкивается с растущим вызовом со стороны оптических систем.
Распространение оптических волн в световодах можно рассматривать,
исходя из общих принципов создания направленного потока
электромагнитной энергии. В отличие от волн оптического диапазона
распространение по линиям передачи электромагнитных волн
радиочастотного диапазона характеризуется следующими особенностями:
 геометрические размеры линий передачи в направлении
распространения электромагнитной энергии соизмеримы с длиной волны,
тогда как поперечные размеры (размеры проводников и расстояния между
проводами) были существенно меньше длины волны;
 распространение электромагнитной энергии в режиме бегущей
волны в идеальной линии передач (без потерь) было таким же, как и
распространение в свободном пространстве с сохранением поперечной
структуры колебаний электрических (ТЕ структуры) и магнитных полей (ТМ
структуры).

6.1 Особенности распространения электромагнитных волн в полых

волноводах

Качественная модель перехода двухпроводной линии к

прямоугольному волноводу показана на рис. 6.1 Сечение двухпроводной
линии изображено на рис. 6.1а. Электрические (сплошные) и магнитные
(штриховые) силовые линии расположены в плоскости чертежа. Будем
увеличивать размеры проводников и считать, что оба провода
трансформируются в широкие ленты (рис. 6.1б). Когда ширина линий
становится соизмеримой с длиной волны, возникает неравномерность
распределения электрического поля между лентами с максимумом
посредине, хотя общий характер распространения полей остается прежним.
На распределение поля влияют не только размеры линии, но и граничные
условия, согласно которым вектор электрического поля (Е) нормален к
проводящей поверхности.
 Рисунок 6.1 - Форма распределения электрического поля между
протяженными лентами

Рисунок 6.1 в соответствует случаю, когда ширина линий оказывается

равной половине длины волны. Электрическое поле в поперечном сечении
распределяется так, что разность потенциалов на краях линии становится
равной нулю. Следовательно, не нарушая структуры поля, эти края можно
соединить проводящими поверхностями, переходя, таким образом, к
волноводу прямоугольного сечения, внутри которого распространяется
волна. Распределение магнитного поля в пространстве претерпевает при этом
качественный скачок к структуре замкнутых магнитных силовых линий,
расположенных внутри волновода в плоскостях, ортогональных силовым
линиям электрического поля. Это означает, что наряду с поперечной
составляющей в волноводе возникает продольная компонента магнитного
поля. Появление продольных компонент магнитного или электрического
полей определяется геометрией волновода и способом его возбуждения.
Отличие структуры поля в волноводе от обычной ТЕМ - волны в свободном
пространстве ведет к тому, что скорости распространения, а, следовательно,
и длины волн в волноводе и в свободном пространстве отличаются при
заданной частоте колебаний.
Рассмотрим качественную картину распространения электромагнитной
энергии в волноводе.

Рисунок 6.2 - Картина распространения электромагнитной энергии в

волноводе
 На рисунке 6.2 показана ситуация, когда ширина сечения волновода
больше половины длины волны. В этом случае волна распространяется вдоль
волновода и может быть представлена как суперпозиция двух плоских
парциальных волн, которые распространяются под углом к стенкам и
последовательно отражаются от них. Пусть φ – угол, образованный
волновым фронтом и стенкой. На внутренних стенках металлического
волновода должны выполняться граничные условия: равенство нулю
тангенциальной составляющей электрического поля.
Как видно из данного рисунка, для боковых частот это условие
выполняется. Для верхней и нижней стенки граничные условия
удовлетворяются, если на стенке гребень одной парциальной волны
совпадает с впадиной другой (гребни на рисунке показаны сплошной линией,
впадины - штриховой). Длина каждой парциальной волны соответствует
расстоянию между гребнями. Как следует из рисунка, ширина волновода (b)
и длина волны (λ) связаны соотношениями:
 2b 
sin  ; tg  ; cos  . (6.1)
  2b
Интерференция когерентных парциальных волн образует
результирующую волну, длина (Λ) которой определяется как расстояние
(ОО`) между ближайшими по фазе точками пересечения гребней:

, (6.2)
где 0  2b - критическая длина волны.
В предельном случае, когда   0 , волновые фронты парциальных волн
параллельны стенкам (   0 ) и энергия вдоль волновода не переносится. В
другом предельном случае, когда   900 , волновые векторы парциальных
волн параллельны оси волновода (волновые фронты ортогональны) и
парциальные волны вырождаются в одну плоскую, распространяющуюся
вдоль волновода.
Длина (Λ) результирующей волны, как видно из формулы, превышает
длину волны ( ) в свободном пространстве. Выражение для фазовой
скорости результирующей волны следует из условия:
 с 
  , (6 .3)
2  
  с
откуда:  с . (6.4)
 sin 
Для групповой скорости получим:
c2
гр.  . (6.5)

Произведение групповой скорости на фазовую равно квадрату
скорости света в свободном пространстве.
Перенос электромагнитной энергии без затухания осуществляется в
волноводе с идеально проводящими стенками при действительных значениях
постоянной распространения, соответствующей значению меньшему
критического.

Рисунок 6.3 - Структуры продольных волн в волноводах

На рисунках 6.3 показаны различные комбинации структуры

продольных волн в волноводе. Силовые линии электрического поля –
сплошные, линии магнитного поля – штриховые.
Критическое значение для длины волны определяется выражением:

. (6.6)
Целые числа m и n характеризуют периодичность распределения поля в
волноводе. Например, на втором рисунке вдоль стороны волновода
укладывается две пучности волны.
 Физически вдоль осей волновода устанавливается режим стоячих волн
(выполняется условие фазовой синхронизации за счет наложения
распространяющихся и отраженных от стенок волн). Критической длине
волны ( 0  2b ) соответствует критическая частота колебаний:
2с c 0,15
0  , f   ( ГГц) . (6.7)
2b 2b b

Рисунок 6.4 - Условия выполнения режима стоячих волн в волноводе

n c
С учетом того, что sin  n  cos n  n следует, что условием
0 
c
распространения волн является: n  1 , и волны в таком волноводе могут

 c 
распространяться только под углом:  n  arcsin n .
 
Эти волны и являются колебательными модами. Формулы для фазовой
и групповой скорости принимают вид:
  
2
с ,  гр  с 1   n c  .

 
  
2

1  n c 
 
Графические зависимости для этих скоростей от частоты показаны на
рис. 6.5.

Рисунок 6.5 - Частотные зависимости для фазовых и групповых скоростей

6.2 Особенности распространения световых волн в диэлектрическом
волноводе

Пусть волновод представляет собой диэлектрический слой толщиной

2b с диэлектрической проницаемостью  1 и показателем преломления n1
(рисунок 6.6). Этот слой расположен между двумя полупространствами с
диэлектрической проницаемостью  2 и показателем преломления n2 .

Рисунок 6.6 - Прохождение светового луча через границу раздела сред

Условия  2  1 , n2 n1 являются необходимыми для распространения

световых волн в волноводе, так как световой луч отклоняется в среде в
сторону большего показателя преломления.
В общем виде, при прохождении света через границу раздела двух сред
с коэффициентами преломления n2 и n1 значение критического угла падения
луча на поверхность (α) можно определить с помощью известного
соотношения:
n2
  arcsin . (6.8)
n1
Требование, чтобы световые волны отражались внутри сердцевины
волокна под углом, большим критического, накладывает свои условия на
входящий и исходящий свет на концах волокна, что отражено на
приведенном рисунке 6.7.

Рисунок 6.7 - Траектория прохождения луча по световоду

На входе в волокно закон Снеллиуса (Снелла) принимает вид:

 sin  n1
 , (6.9)
sin  n3
где n3 - показатель преломления среды, смежной с концом волокна.
С учетом того, что в данном случае sin  cos можно получить
следующие соотношения:
n1
sin  sin  (6.10)
n3

n3  sin  n12  n22  NA . (6.11)

Параметр (NA) называется числовой апертурой волокна (это
максимальный угол, под которым световая волна может входить в
оптические волокна.), которая уменьшается по мере того, как значение n 2
приближается к значению n1 . В промышленных волокнах разность между
ними не превышает одного процента, что определяет значение числовой
апертуры в пределах: NA = 0,2 .
Увеличение разбаланса показателей преломления граничащих сред
невыгодно из-за возрастания межмодовой дисперсии (расширение спектра
импульса за счет взаимодействия мод колебаний луча между собой).
Чтобы свет распространялся вдоль оптического волокна, он должен
входить в пределах конуса с половинным углом Θ при вершине (рис. 6.8).

Рисунок 6.8 - Схема оптимального соединения световода с излучателем и

приемником

Этот угол определяет оптимальный конус приема сигнала. На выходе

волокна должен существовать аналогичный конус, внутри которого будет
сосредоточен выходящий свет. Эти два конуса определяют оптимальные
положения относительно концов волокна, которые должен занимать
источник и приемник света. Излучающая площадка источника света при этом
должна быть меньше чем площадь поперечного сечения волокна и быть
расположена вплотную к его концу. Чувствительная площадка приемника
должна быть наоборот достаточно большой и располагаться так, чтобы
принять весь свет, выходящий из волокна.
Данные рассуждения справедливы для волокон с диаметром более 10
мкм. Свет проходит через такие волокна различными путями, испытывая
разное число отражений. Такие волокна относятся к многомодовым (диаметр
волокна больше длины волны). Для волокон меньшего размера, чьи
диаметры приближаются к длине волны передаваемого света, существенную
роль начинают играть эффекты интерференции. Это приводит к
уменьшению числа передаваемых мод. В наименьших по диаметру волокнах
можно передавать только одну моду. При этом волна распространяется вдоль
центральной оси волокна и называется меридиональным лучом. Такие
одномодовые волокна предпочтительны для телеметрии на больших
расстояниях, поскольку импульс света будет расширяться во времени при
распространении света по множеству путей различной длины (суммарный
ход отдельных лучей неодинаков, что приводит к ухудшению когерентности
света). Расширение импульса (дисперсия) определяет верхний предел
скорости передачи данных. Существуют и другие причины межмодовой
дисперсии.
Альтернативой одномодовому волокну является волокно с градиентом
показателя преломления. Оно имеет тот же диаметр, что и многомодовое, но
свет, идущий по краям сердцевины, распространяется с большей скоростью,
чем осевые лучи, за счет чего достигается компенсация дисперсии.
Для оптоволоконных систем были разработаны линзы с градиентом
показателя преломления. Их используют при создании оптоволоконных
датчиков. Линзы имеют форму стержней с диаметром от 1 до 5 мм, в то
время как многомодовые и градиентные волокна могут быть диаметром до
100 мкм.

6.3 Причины ухудшения пропускающей способности оптических

волокон

В настоящее время расстояние между регенерационными станциями в

оптоволоконных телекоммуникационных линиях, определяемое
пропусканием волокна, превышает 100 км. Это оказалось возможным
благодаря двум факторам: высокому качеству методов и технологий
производства волокна; материалам, из которых изготовлены сердцевина и
оболочка волокна.
Потери в волокне происходят по причине наличия дисперсии и
ослабления сигнала. Существует три механизма, из-за которых может
произойти ослабление сигнала, то есть уменьшиться интенсивность
распространяющегося света.
Ослабление в оптоволокне светового сигнала может происходить из-за
поглощения фотонов материалом оптического волокна. Если фотон, имеет
нужную для перехода энергию, то он может быть поглощен материалом
световолокна. Эта энергия переводит молекулу вещества в возбужденное
состояние и высвобождается некоторое время спустя, когда молекула
возвращается в свое новое состояние. Общий эффект состоит в увеличении
тепловой энергии вещества. Электронные энергетические уровни в
кварцевых волокнах соответствуют энергиям фотонов в ультрафиолетовой
области.
Кроме того, молекулы вещества могут колебаться относительно своих
положений равновесия. Кинетическая энергия колебаний имеет дискретные
значения, для возбуждения которых может быть израсходована энергия
фотона. Этот диапазон поглощения соответствует инфракрасной области
спектра излучения. В связи с этим существует минимум поглощения в
области 1,55 мкм, образуя окно прозрачности.
Гораздо более высокие потери из-за поглощения могут возникнуть
ввиду малых следов примеси металлов в стекле, таких как медь и железо.
Они могут содержаться в исходном материале или быть внесены в процессе
производства волокна. Современные технологии позволяют решить эту
задачу. Однако, оказалось очень трудно избавиться от радикала ОН.
Максимум этого поглощения присутствует на различных длинах волн.
Воздействие на волокно ионизирующей радиации или ультрафиолета
приводит к увеличению поглощения. При этом ионы образуются в стекле и
становятся центрами поглощения. Но это явление можно использовать и для
регистрации определенного типа излучения.
Ослабление сигнала может возникнуть и вследствие утечки света из
сердцевины в оболочку волокна. Вне его осевые лучи, называемые косыми
лучами, могут войти в волокно и распространиться за счет отражений под
углом, меньшим критического. Они могут пройти по спирали сотни метров,
но, в конце концов, будут потеряны.
Если волокно изогнуто, то лучи будут падать на внутреннюю
поверхность под углом меньшим критического и частично выходить в
оболочку. Поэтому производители волокна указывают минимально
допустимый радиус изгиба волокна.
В процессе производства, по мере затвердевания волокна, возникают
небольшие неравномерности в показателе преломления. Они вызваны
флуктуациями плотности и концентрации примесей. Неравномерности
имеют размер в пределах десятых долей длины волны света в материале.
Этот фактор является причиной рассеяния излучения за пределы волокна. Так
как излучение обратно пропорционально длине волны в четвертой степени,
то короткие длины волн испытывают при этом наиболее сильное рассеяние.
Для современных волокон эта причина потерь является одной из основных.
Оконцовки и соединения оптического волокна также вызывают
поглощение и рассеяние света, в том числе и за счет отражения. Для
согласования показателей преломления материалов в месте их соединения
используют жидкость или клей. Однако наилучшим способом соединения
волокон является их юстировка и спаивание. Существуют и разъемные
соединители (коннекторы).
Известно, что свет может разлагаться с помощью призмы на отдельные
составляющие. Это свидетельствует о наличии явления дисперсии света в
веществе. Показатель преломления материала оптоволокна зависит от длины
волны, а скорость распространения волны зависит от ее длины. В связи с
этим, так как ни один источник света не является монохроматическим,
длительность импульса света, введенного в оптическое волокно,
увеличивается по мере распространения. Это явление называется
хроматической (цветовой) дисперсией, является внутримодовой дисперсией.
В результате этого групповая скорость распространения импульса зависит от
второй производной показателя преломления по длине волны.
 Таблица 6.1
Сравнительная характеристика видов телеметрических линий
Характеристика Витая пара Коаксиальный Оптическое
кабель волокно
Ослабление (дБ/км) 3 2 1 (кварц)
«Расстояние×ширина 1 10 2
105
полосы» (МГц×км)
Дистанция регенерации (км) 1 5 100
Стоимость Низкая Средняя Средняя
Срок службы (лет) 25…40
Перекрестные помехи Высокие Малые Нет
Помехозащищенность Малая Средняя Высокая
Электрическая изоляция Нет Нет Полная
Вес, размер Большие Большие Малые
Технология соединений Пайка Пайка Сварка
Контроль производства Слабый Умеренный Точный

Для достижения полного внутреннего отражения слой плакировки

волокна должен иметь более низкий коэффициент преломления. Для защиты
от внешних воздействий на волокно обычно наносится пластиковое или
резиновое покрытие.

Рисунок 6.9 - Оптические волокна. А – многослойное волокно со

ступенчатым профилем коэффициента преломления, Б – определение
максимального угла входа луча света

Таким образом получают многослойные оптоволоконные кабели со

ступенчатым профилем коэффициента преломления (рисунке 6.9). Свет
различных мод распространяется под разными углами к оси волокна,
различна скорость их распространения (дисперсия мод). Поэтому проще
использовать одномодовые волокна.
6.4 Волоконно-оптические световоды, кабели, линии связи

В реальных условиях довольно часто встречаются ситуации, когда для

подачи или съема оптического сигнала требуется применение световодов.
Это может определяться компактностью конструкции оборудования либо
невозможностью размещения приемника, традиционной оптики или
источника (осветителя) в требуемом месте из-за их размеров,
необходимостью разветвления или сбора светового потока по нескольким
каналам, потребностью в четком представлении на плоскости (торце
световода), увеличении или уменьшении площади анализируемого участка и
т.п.

Рисунок 6.10 - Примеры световодов различных типов

Для этих целей используются типовые решения в виде ординарных

светопроводов в стандартном обрамлении, жгуты разветвленных световодов
(ответвителей и коллекторов), фоконы, световоды с упорядоченной
(регулярной) укладкой волокон и др. Примеры перечисленных типов
световодов приведены на рисунке 6.10.
Ординарный световод представляет собой гибкий жгутик из
оптических волокон, склеенный или спеченный у концов, диаметром в доли
миллиметра (может быть и больше и меньше), заключенный в резиновую
(или пластмассовую) трубочку с металлическими наконечниками,
отшлифованными по торцу заподлицо со светопроводом. Наконечники могут
иметь резьбу для соединения с другими деталями оптической системы.
Световод может изгибаться по любому естественному радиусу, не
выводящему луч за границу предельного угла полного внутреннего
отражения (разумеется, не следует перегибать световод до залома волокон).
Разветвленные световоды предназначены либо для разделения
(ответвитель) входного светового потока на несколько выходных, либо для
сведения (коллектор) нескольких автономных оптических потоков, как
правило, информационных, к одному пучку. Волоконно-оптический
ответвитель часто применяются для разведения света от мощного источника
по нескольким каналам, когда требуется обеспечить в множестве точек
идентичное локальное освещение (например, при одномоментных
измерениях оптической плотности в динамике процесса печати на машине по
полосе контрольных меток). Если в ответвителе укладка волокон общего
жгута может быть достаточно произвольной, то световод-коллектор
отличается упорядоченностью расположения жгутиков ветвей в торце
общего пучка. Они могут располагаться, например, в линию, в сотовом либо
каком-то ином порядке. Это дает возможность создать на выходе коллектора
из оптических сигналов отдельных ветвей фрагмент изображения.
Световоды с полностью упорядоченной укладкой используются в
случае необходимости передачи изображения или его фрагмента без
искажений из одной точки пространства в другую (не находящиеся, как
правило, на одной оптической оси). Если входное и выходное изображение
соосны, то могут применяться не гибкие, а жесткие волоконно-оптические
световоды, отдельные волокна у которых скреплены (склеены) друг с другом.
К этому типу световодов относятся и фоконы (фокон - фокусирующий
конус), волокна которых имеют переменную площадь сечения по длине.
Диаметры отдельных волокон могут быть в пределах 5-75 мкм. Это
позволяет не только передавать, но и масштабировать изображение -
уменьшать или увеличивать в зависимости от того, каким концом
(расширенным или суженным) фокон обращен к источнику изображения.
Отдельные волоконно-оптические элементы эффективны при передаче
оптической информации на небольшие расстояния, как правило, внутри
корпуса или блока одного аппарата, машины. Для связи объектов,
обменивающихся оптическими сигналами внутри одного помещения, здания
или находящихся на больших расстояниях, требуются оптоэлектронные
компоненты другого уровня - волоконно-оптические кабели, элементы
интегральной оптики и другие специфические устройства связи, из которых
образуются системы оптической связи. По оптическим кабелям без
регенерации (промежуточного усиления, компенсирующего затухание
сигнала на большом расстоянии) можно передавать информацию (в том
числе видеосигналы) на сотни километров. Учитывая, что частота
оптических колебаний на много порядков выше частот радиодиапазона,
информация по таким линиям связи передается более эффективно - быстрее и
с меньшими потерями, что существенно при работе с оцифрованными
изображениями.
В таблице 6.2 приведены сведения о ширине полосы пропускания,
частоте и скорости передачи данных для различных видов сигналов.

Таблица 6.2
Скорость
Вид информации Полоса Основная частота
передачи
Телефон 4 кГц 8 кГц 64 Кбит/с
Телевизионное
4 МГц 8 МГц 32 Мбит/с
изображение
Высококачественное
телевизионное 30 МГц 60 МГц 504,3 Мбит/с
изображение

Использование сверхбыстродействующих лазеров и фотодиодов

позволило довести скорость передачи информации по волоконно-оптическим
линиям связи до 1 Гбит/с. Такая скорость кажется запредельной при
сравнении со скоростью передачи, например, факсимильной информации по
обычным телефонным линиям связи, составляющей несколько десятков
килогерц.
Переходя от вопросов получения информации к проблемам ее
рационального хранения и использования, необходимо отметить, что
хранение информации в удобной для пользователя форме осуществляется
зачастую также с применением типовых оптоэлектронных средств.
6.4.1 Разновидности волоконно-оптических датчиков и области их
применения

Волоконно-оптические датчики могут быть основаны на реализации

внешних и внутренних эффектов. Датчики внешнего типа имеют внешнюю
насадку, присоединенную к волокну, которая изменяет свои свойства в
процессе измерений. Волокно при этом служит лишь линией передачи
измерительной информации. Это, например, датчики перемещения,
давления, усилий, температуры и т. п. Для прерывания светового луча
используют оптические затворы, решетки Муара, перемещающихся
сферических линз, изменение расстояния между волокнами. Датчики
отражательного типа создают с использованием трехволоконной
конфигурации для реализации дифференциального принципа измерения, с
использованием позиционно – кодирующих устройств, на основе реализации
эффекта поглощения света контролируемой средой и др.
Оптоволоконные датчики с использованием внутренних эффектов
обладают рядом преимуществ: имеют большее разнообразие конструктивных
исполнений, более широкий динамический диапазон, более высокую
чувствительность низкую инерционность. К их недостаткам можно отнести:
сложность процесса измерительного и функционального преобразования;
повышенные требования к точности и стабильности параметров и
характеристик; повышенную чувствительность к влиянию
дестабилизирующих факторов.
В датчиках такого типа реализуют различные явления и эффекты:
 ослабление;
 фазовый сдвиг;
 вращение плоскости поляризации;
 рассеяние оптического луча и др.
В датчиках, предназначенных для измерения механических, магнитных
и электрических величин используют:
 микродеформации волокна в функции измеряемого усилия;
 изменение оптической длины пути луча для создания
интерферометров;
 эффект Саньяка – для создания гироскопов;
  поляризацию света и поглощение одной из компонент
поляризованного света;
 магнитооптический эффект Фарадея;
 эффект Керра (взаимодействие оптического излучения с
электрическим полем);
 фотоупругий эффект и др.
Одним из главных достоинств оптоволоконных датчиков является то,
что им можно придать практически любую геометрическую форму,
диктуемую условиями применения. Их широко применяют в миниатюрных
оптических датчиках, измеряющих давление, температуру, концентрацию
растворов и т.д. Почти все датчики данного типа построены на модуляции
одной или нескольких характеристик света в оптоволокне при изменении
внешних воздействий с последующей оптической демодуляцией сигнала
обычными методами. Внешние сигналы могут либо непосредственно влиять
на волокно, либо воздействовать на компоненты, соединенные с его
наружной поверхностью или его отполированными концами. Цель таких
воздействий – получение оптически детектируемых сигналов.
Для получения химического датчика к оптическому волокну может
присоединяться специальная ячейка с реагентом, вступающим в реакцию с
исследуемым веществом. В результате этого изменяются оптические
свойства волокна, например, происходит модуляция коэффициента
преломления или коэффициента поглощения. Плакировка оптоволокна
может быть изготовлена из химических веществ, коэффициент преломления
которых меняется в присутствии некоторых жидкостей. При изменении
полного внутреннего отражения оптоволокна интенсивность света
снижается.
Оптоволокна могут использоваться двумя способами. В первом случае
для передачи сигнала возбуждения и для приема ответного оптического
сигнала используется один и тот же световой канал. Во втором – функции
возбуждения (освещения) и сбора информации разделены, для чего
применяются два и более независимых канала.
В большинстве оптоволоконных датчиков определяется интенсивность
света, модулированная внешними сигналами. Например, в датчике
перемещений (рисунок 6.11) оптоволоконный волновод передает свет в
сторону отражающей поверхности. Свет выходит из волокна в форме конуса,
направленного к отражателю. Чем ближе отражающая поверхность
расположена к концу волокна, тем больше фотонов света возвращается назад
в детектор. По величине интенсивности отраженного света можно судить о
перемещении объекта.

Рисунок 6.11 - Одноволоконный (А) и двухволоконный (Б) оптические

датчики

В датчике изгибных деформаций (рисунок 6.12), состоящего из

оптоволокна, зажатого между двумя деформирующими устройствами
внешняя сила изменяет положение внутренней отражающей поверхности
волокна. Поэтому в нагруженном состоянии луч света меняет свое
направление и выходит через стенку волокна. Таким образом, по степени
снижения уровня интенсивности выходящего из волокна излучения можно
судить об измеряемом усилии.

Рисунок 6.12 - Оптоволоконный датчик перемещений и усилий,

использующий модуляцию интенсивности проходящего света

В тепловом спектральном диапазоне, характеризующемся

значительными потерями в оптоволокнах, в качестве световодов используют
полые трубки (рисунок 6.13 ). Внутренняя поверхность таких световодов
тщательно полируется и покрывается отражающим слоем металла.

Рисунок 6.13 Полая трубка, с отражающим внутренним покрытием

Потери в полых волноводах зависят от количества отражений: чем

меньше диаметр и длиннее трубка, тем больше в ней потери. Полый
волновод становится неэффективным при отношении его длины к диаметру,
превышающему значение 20.
Оптоволоконные датчики внешнего типа имеют какую-либо внешнюю
насадку, присоединенную к волокну, которая изменяет свои свойства в
процессе измерений. При этом волокно само по себе не участвует в процессе
измерения, а служит лишь линией передачи измерительного сигнала.
Простой оптический переключатель можно сделать с помощью затвора
для прерывания светового луча (рисунок 6.14). Для точного
позиционирования используют решетку муаровых полос. Решетка Муара
перемещается поперек зазора между торцами волокон и подсчитывается
число полос решетки.

Рисунок 6.14 - Оптоволоконный датчик перемещения с использованием

решетки Муара

Для перемещения светового пучка поперек сечения волокна может

быть использована сферическая линза (рисунок 6.15). Принятая волокном
интенсивность меняется в зависимости от перемещения линзы. Используя
два приемных волокна, получают дифференциальный тип датчика
перемещений.
 Рисунок 6.15 - Оптоволоконный дифференциальный датчик перемещения

Принцип работы датчика микроперемещений, представленного на

рисунке 6.16 основан на зависимости интенсивности проходящего светового
сигнала от расстояния между волокнами.

Рисунок 6.16 - Оптоволоконный датчик микроперемещений

Используя данный принцип формирования выходного сигнала

преобразователя, создают более сложные конструкции датчиков, в которых
интенсивность проходящего света линейно зависит от измеряемого
перемещения. Разработана модификация датчика давления с использованием
нескольких волокон. На их основе с использованием кодирующего
устройства создают высокоточные датчики линейного и углового
перемещения. Разработаны и мультиплексные системы, имеющие только
одну приемо-передающую пару волокон. Мультиплицирование реализуется
путем применения источника белого света, дифракционных решеток и призм.
Альтернативой частотному является временное мультиплицирование. В
этом случае в системе распространяются короткие импульсы
монохроматического света. Все приемные волокна отличаются друг от друга
по длине, и, таким образом, создается временная задержка между принятыми
информационными импульсами. Длине оптического волокна 0,2м
соответствует временная задержка около 1 нс. Каждое волокно должно быть
по крайней настолько длиннее соседнего, чтобы обеспечить уверенное
разделение импульсов в тракте передачи данных. Недостатки таких методов
измерения заключаются в том, что технология мультиплицирования по
длинам волн требует высокоточного технического исполнения, в то время
как временное мультиплицирование нуждается в сложной
быстродействующей электронной схемотехнике.
Изготавливают датчики на основе использования процессов
поглощения света. На рисунке 6.17 приведена конструкция преобразователя
поглощения с диффузным отражателем. Принцип работы устройства основан
на изменении цвета мембраны, абсорбирующей определенный тип реагента.

Рисунок 6.17 - Конструкция оптоволоконного преобразователя поглощения с

диффузным отражателем

Были разработаны разнообразные типы датчиков, содержащие

несколько реагентов, для выявления специфических веществ в ходе двух и
более химических реакций.
Принцип действия обобщенного волоконно-оптического датчика
состоит в следующем.
1. Оптическое излучение от источника проходит через передающий
оптический канал на чувствительный элемент (ЧЭ), находящийся под
воздействием измеряемой величины.
2. В результате физического воздействия оптические свойства ЧЭ
изменяются, что в свою очередь приводит к изменению параметров
оптического излучения.
3. Преобразованное оптическое излучение через приемный оптический
канал поступает на регистрирующее устройство.
По принципу действия все волоконно-оптические датчики физических
величин делятся на четыре класса в соответствии с тем, какой из параметров
оптической волны распространяющейся по волокну, используется для
получения информации об измеряемом физическом воздействии:
 амплитуда электрического поля;
 фаза электромагнитной волны;
 состояние или направление поляризации электрического вектора р;
  частота излучения.
ВОП широко используются в производстве, в частности при различных
контролях. Особенностью технологического контроля в автоматизированных
производствах является то, что методы статистического контроля,
используемого в крупносерийном производстве, становятся
малопригодными. Хотя с точки зрения качества производимая в
автоматизированных ячейках продукция отличается постоянством
характеристик, в условиях безлюдной технологии требуется непрерывный
контроль состояния оборудования, технологической оснастки и инструмента.
При мелкосерийном производстве контроль качества изделий должен
осуществляться оперативно в процессе изготовления, т.е. требуется активный
контроль качества.
Другой особенностью контроля в производстве можно считать
повышенные требования к информационной надежности средств контроля,
которые должны сохранять метрологические характеристики в течение всего
периода между профилактическими остановками оборудования.
И, наконец, немаловажным фактором является стоимость контрольно-
измерительных систем. При большом числе первичных преобразователей
различных физических величин с сопутствующими средствами первичной
обработки информации, аппаратным и программным обеспечением
стоимость контроля может оказывать существенное влияние на общую
стоимость изделий, что снижает экономическую эффективность
производства.
Волоконно-оптические преобразователи, имеющие простую
конструкцию и низкую стоимость, а в сочетании с высокой
помехозащищенностью и надежностью, возможностью
многофункционального применения в значительной степени удовлетворяют
требованиям, предъявляемым к устройствам контроля.
Хотя большинство практических решений, связанных с
использованием ВОП, находится на стадии исследований, ряд приводимых
ниже примеров реализации устройств контроля показывает перспективность
их широкого внедрения в производства. Наибольший объем исследований,
связанных с применением ВОП в автоматизированных системах, направлен
на создание устройств размерного контроля при механообработке,
определения степени износа инструмента, а также сенсорных устройств,
промышленных роботов.
Контроль состояния обрабатывающего инструмента. Одной из причин
возникновения брака при механообработке является размерный износ,
разрушение или биение обрабатывающего инструмента. При появлении
размерного износа системы контроля должны давать либо информацию об
адаптации по степени износа, либо команду о замене инструмента.

Рисунок 6.18 - Устройство контроля облома сверла и устройство для

определения проскальзывания в схвате робота

Аналогичное устройство с каналами на единичных волокнах было

использовано для регистрации момента облома сверла 2. В момент облома
поток излучения начинает проходить к фотоприемнику 3, вызывая
скачкообразное изменение тока.
Контроль положения и усилий захвата в схвате робота необходим для
определения наличия контакта между "рукой" робота и манипулируемым
предметом или силы, с которой пальцы робота удерживают предмет. При
установлении контакта схвата с деталью и манипулировании последней
требуется регулировка усилия захвата для того, чтобы избежать
выскальзывания объекта манипулирования и не допускать его деформации и
разрушения.
Контроль чистоты обработки поверхности. Исследование возможности
применения ВОП для автоматизированного контроля качества обработки
поверхности обусловлено необходимостью обеспечения бесконтактных
измерений. Для большинства видов обработки выходной сигнал ВОП и
средняя высота микронеровностей Ra связаны близкой к экспоненциальной
зависимостью. Наибольшая чувствительность к изменению высоты
микронеровностей наблюдается при расстоянии между общим торцом
световода и отражающей поверхностью, соответствующей максимуму
функции преобразования ВОП аксиальных перемещений, причем
экспоненциальный вид зависимости тока фотоприемника от Ra сохраняется
для различных обрабатываемых металлов.
При производстве изделий микроэлектроники наряду с бесконтактным
измерением параметров вибрации и удара ВОП применяют в операциях
сборки и контроля геометрических параметров, в извлечении заготовок,
определении положения носителей и керамических оснований для сборки
микросхем.
Весьма характерен пример использования волоконно-оптического
зонда при определении внутренних напряжений в кремниевой подложке,
являющейся основой для производства интегральных схем. Так как
внутренние напряжения приводят к максимальному изменению толщины
кремниевой пластины, то определение участков с увеличенными
внутренними напряжениями может привести к нарушению внутренних
связей в топологии микросхемы. Для контроля внутренних напряжений
предложено использовать рефлектометрический ВОП, установленный в
точке перегиба функции преобразования аксиальных перемещений.
Кремниевая полированная пластина прижимается к плоскости предметного
стола избыточным атмосферным давлением. Горизонтальное перемещение
поверхности пластины под неподвижным торцом ВОП дает распределение
толщины с точностью 1 мкм, что позволяет выявить участки с увеличенным
внутренним напряжением. Ортогональное перемещение стола
осуществляется с помощью электродвигателей.
Одним из наиболее полезных измеряемых параметров является
перемещение, которое относительно просто вызывается различными
физическими эффектами.
ВОП с управляемыми световодами с переменной площадью
оптического контакта позволяют обеспечить измерение уровня жидких сред
как в аналоговом, так и в дискретном режимах. Кроме того, такая схема
позволяет создавать на ее основе не только уровнемеры, но и измерители
объема жидкости с линейным выходом для емкостей с переменным сечением
по вертикали.
Также ВОП могут использоваться для управления функционированием
ряда систем управления и контроля при помощи магнитного поля, в качестве
датчиков температуры, давления, угловых и линейных перемещений и т. д.
 Использование традиционных электрических датчиков в составе ИИС с
волоконно-оптическими каналами требует подвода к ним энергии питания по
дополнительной электрической проводной линии. А также наличия
преобразователя неоптического информационного сигнала такого датчика в
оптический и устройств согласования с волоконно-оптическим каналом.
Все это с учетом погрешностей самих электрических датчиков снижает
уровень помехозащищенности и точность ИИС, повышает их размеры и
массу. Кроме того, в очень многих промышленных применениях
использование электрических датчиков ограничено допустимыми условиями
эксплуатации. Поэтому для ИИС во многих случаях предпочтительно
использовать пассивные датчики, использующие в своей работе сигналы той
же природы, что и волоконные световоды.
Так, имеется большая потребность в пассивных датчиках давления,
уровня жидкости, перемещения, температуры и т. д., пригодных для работы в
условиях взрывоопасности, высокой радиации, высоких и низких
температур, агрессивных сред и т. п. (таблица 6.3).

Таблица 6.3
Условия Области использования Регистрируемый
эксплуатации параметр
Взрывоопасность Газовая, нефтяная, Давление, уровень
химическаяпромышленность, жидкости, поток,
заправочные баки температура
Высокая радиация Атомная энергетика, Давление,
медицина температура
Сильные Электростанции, Напряжение, ток,
электромагнитные энергоустановки вибрация, вращение
помехи
Высокие температуры Энергоустановки, двигатели, Перемещение,
турбины давление, вибрация,
вращение
Необнаружимость Специальная техника Перемещение,
давление,
температура,
вибрация

Решение проблемы датчиков для таких условий эксплуатации и

применений может быть достигнуто на основе использования оптических и
волоконно-оптических элементов, являющихся также составными
элементами фотоприемных устройств. Без их использования было бы
немыслимо создание важнейших систем и устройств как гражданской, так и
оборонной техники. Кино- и фототехника, волоконно-оптические линии
связи и дальнометрия, лазерная локация и лазерная передача информации,
системы тепловидения и прицеливания, разведка природных ресурсов и
астрофизические исследования, диагностика плазмы и ранних этапов
заболеваний человека, анализ загрязнений окружающей среды и многие
другие области техники не могут успешно развиваться без применения
различных типов современных фоточувствительных устройств.

6.4.2 Протяженные волоконно-оптические датчики (ВОД)

Любой ВОД – это устройство, содержащее оптическое волокно и

преобразующее изменение внешнего физического поля в изменение
параметров оптического излучения (амплитуды, фазы, частоты,
поляризации), распространяющегося по этому оптическому волокну.
Конструкция оптического волокна представлена на рисунке 6.19.

Рисунок 6.19 - Устройство ВОД

Оптическое волокно содержит: кварцевую оболочку, покрытую

специальным лаком, и световедущую сердцевину. Основной физический
принцип волоконной оптики – полное внутреннее отражение света при
падении из оптически более плотной среды (световедущей сердцевины) в
оптически менее плотную. Оптическую плотность характеризует показатель
преломления n, который показывает отношение скорости света в вакууме к
скорости света в среде с показателем n.
Если диаметр световедущей сердцевины в десятки раз превышает
длину волны света в вакууме, то такое волокно называется многомодовым. В
приближении геометрической оптики возможны различные пути
распространения света в многомодовом волокне. Каждый реализованный
вариант распространения называется модой. В зависимости от частоты
световой волны и диаметра световедущей сердцевины возможное количество
мод в оптическом волокне может меняться от одной до нескольких
тысяч.Диаметр световедущей сердцевины одномодового волокна допускает
распространение только одной моды.
Одна из основных характеристик света – когерентность, с которой
связано понятие интерференции. Излучение когерентно (от лат. cohaerens –
находящийся в связи), когда отдельные части световой волны "помнят", что
они рождены в одной системе атомов. "Память" – это зафиксированный
набор фаз отдельных атомных излучателей, который можно назвать фазовым
портретом системы атомов. В зависимости от того, как быстро происходит
сбой фазы атомного излучателя, определяется время этой "памяти", или
время когерентности. При сложении когерентных волн в пространстве
происходит перераспределение энергии, или интенсивности, – это называется
интерференцией.
Конструкции этого типа могут содержать специальный
преобразователь, который находится или на торце оптического волокна, или
в разрыве двух оптических волокон, или в специально подготовленном
определенном месте оптического волокна. Преобразователями внешних
воздействий могут быть устройства различных конструкций и принципов
действия, которые меняют параметры световой волны.

Рисунок 6.20 - ВОД давления, вибраций

ВОД точечного типа называются, как правило, по типу измеряемого

внешнего воздействия:
 волоконно-оптические акселерометры,
  датчики перемещений,
 датчики давления,
 вибрационные датчики,
 температурные датчики,
 ВОД электрического тока и напряжения,
 датчики газов и химических веществ,
 волоконно-оптические гироскопы и т.д.

Рисунок 6.21 - ВОД на основе затухания волны и ВОД с использованием

брэгговских решеток

Одним из новых и наиболее перспективных вариантов ВОД

температуры, давления, вибрации и механических деформаций являются
волоконные брэгговские решетки (ВБР). Волоконная решетка представляет
собой отрезок волокна, в структуре которого сформирована решетка с
измененным показателем преломления. ВБР обеспечивает узкополосное
отражение, спектральное положение которого зависит от внешних
воздействий.
В распределенных ВОД оптическое волокно на всем своем протяжении
само является преобразователем внешних воздействий в изменение
параметров распространяющегося излучения. Это означает, что могут быть
созданы оптические сенсорные линии протяженностью в десятки и сотни
километров. На сегодняшний день большинство волоконно-оптических
распределенных датчиков основаны на явлении интерференции.
Распределенный ВОД на основе интерференции мод. Если
распространяющиеся в многомодовом оптическом волокне моды лазера,
работающего в режиме непрерывного излучения, являются когерентными, то
на выходе света из такого волокна будет наблюдаться интерференционная
картина. Даже небольшой изгиб оптического волокна, обусловленный
внешним механическим воздействием, изменяет фазы распространяющихся
мод – меняется интерференционная картина – происходит модуляция
интенсивности света (рисунке 6.22).

Рисунок 6.22 - Распределенные ВОД с межмодовой и двухлучевой

интерферометрией

Распределенный ВОД на основе двухлучевой интерферометрии. В

отличие от межмодовой интерферометрии, где происходит интерференция
между многими модами, эти типы ВОД используют два одномодовых
волокна. Режим излучения также непрерывный. Внешнее механическое
воздействие по-разному изменяет фазы световых волн в этих волокнах, в
результате регистрируется изменение интерференционной картины на торце
волокна.
Периметровые системы обнаружения на основе этих типов ВОД имеют
протяженные (до 60 км) линейные части, содержащие только пассивные
волоконно-оптические кабели и элементы. Эти мониторинговые системы
названы распределенными оптическими сенсорными системами
многокабельными, или РОССМ. Подобные системы производятся серийно в
США, России и ряде других стран.
Распределенный ВОД на основе импульсной рефлектометрии. В этом
типе датчиков, в отличие от вышеописанных, используется импульсный
режим излучения лазера. Световой импульс достаточно высокой мощности
распространяется по волокну, излучая в результате рамановского рассеяния
свет в обратном направлении. Анализ интенсивности спектральных
компонентов рассеянного назад света позволяет осуществить измерения
температуры с координатной привязкой к оптической кабельной линии
(рисунок 6.23).

Рисунок 6.23 - Принцип измерения пространственного распределения

температуры с использованием ВОД

Распределенный ВОД на основе когерентной рефлектометрии. В этом

типе датчиков также используется импульсный режим излучения лазера.
Световой импульс достаточно высокой мощности и высокой степени
когерентности распространяется по волокну, излучая в результате
релеевского рассеяния свет в обратном направлении. Интерференция
рассеянного назад света позволяет не только обнаруживать факт внешнего
воздействия на оптический сенсор, но и определять координату этого
воздействия с точностью до нескольких метров. Распределенные волоконно-
оптические системы на основе таких сенсоров могут иметь протяженные (до
50–70 км) линейные части, содержащие только один оптический кабель,
являющийся сенсором воздействий и одновременно линией связи.

6.5 Принципы управления оптическими устройствами

К оптически активным относятся вещества, способные воздействовать

на поляризованный свет. Оптическая активность бывает естественной
(присущей самому веществу без посторонних воздействий) и искусственной
(приобретаемой при воздействии извне). Суть этого явления заключается в
упорядоченности ориентации векторов напряженностей электрического (Е) и
магнитного (Н) полей световой волны в плоскости, перпендикулярной
световому лучу (рисунок 6.24).
 Рисунок 6.24 - Поляризация света

Электромагнитная природа света отражается в колебаниях двух

векторов (Е и Н) во взаимно перпендикулярных плоскостях, в направлении
распространения светового луча (поскольку направление векторов Е и Н
взаимно перпендикулярны, далее будет рассматриваться ориентация только
вектора Е).
Если в излучении присутствуют колебания широкого оптического
диапазона (например, в дневном свете), то такой свет не поляризован, так как
ориентация вектора Е не упорядочена. При сложении гармонических
колебаний результирующий вектор для любого момента времени равен
сумме всех векторов, учитывающей их величины и направления в данный
момент. Поэтому сложение направленных в разные стороны векторов,
меняющих к тому же свою величину с различными частотами, дает
хаотическую ориентацию результирующего вектора Е.
Даже если взять колебания одной частоты, но с непостоянными
соотношениями по фазе, то и в этом случае свет не будет поляризован, так
как меняющееся расхождение фаз даст неупорядоченную ориентацию
результирующего вектора Е. Только колебания постоянной частоты с
неизменным фазовым сдвигом (а именно такие колебания называют
когерентными) дают упорядоченность ориентации результирующего вектора
Е.
Результирующий вектор любого направления можно разложить в
прямоугольной системе координат на две составляющие - х и у. В общем
случае синусоидальные колебания этих составляющих могут иметь
фиксированное расхождение по фазе. При этом траектория движения конца
результирующего вектора будет описываться (в плоскости,
перпендикулярной направлению светового луча) уравнением эллипса. В
случае расхождения фаз на 90° эллипс будет превращаться в круг, а при
разности фаз 0 или 180° - вырождаться в прямую. Любой из этих (а также
промежуточных) случаев свидетельствует об упорядоченной ориентации
вектора Е и, следовательно, о том, что свет поляризован (т.е. направлен, от
греч. polos - полюс, ось, направление).
С учетом изложенного выше различают линейную поляризацию света,
когда Е сохраняет постоянную ориентацию плоскости поляризации
(плоскостью поляризации называется плоскость, в которой лежат Е и
световой луч), эллиптическую поляризацию света, при которой конец
вектора Е описывает эллипс в плоскости, перпендикулярной лучу, и
круговую поляризацию света, когда конец вектора Е описывает окружность.
Особенности взаимодействия поляризованного света с веществами и
оптическими средами лежат в основе работы поляризационных
светофильтров, модуляторов света, оптических затворов, устройств
считывания информации с магнитооптических дисков и др.
Это естественное свойство некоторых веществ вызывать вращение
плоскости поляризации проходящего через них линейно поляризованного
света. Оптически активные вещества бывают двух типов. У веществ первого
типа (к которым относят камфору, винную кислоту и др.) оптическая
активность обусловлена несимметричным строением молекул. Вещества
второго типа (кварц, киноварь) оптически активны только в кристаллическом
состоянии, что связано с асимметрией сил, связывающих молекулы и ионы в
кристаллическую решетку. Искусственная (наведенная) оптическая
активность возникает в магнитном поле.
Майкл Фарадей открыл (в 1845 г.) эффект вращения плоскости
поляризации света при его распространении в намагниченном веществе.
Эффект Фарадея максимален, если свет распространяется параллельно
намагниченности среды. Ферромагнитные вещества, используемые в
магнитооптике для записи информации, при отражении считывающего
лазерного луча поворачивают плоскость его поляризации в ту или иную
сторону на небольшой угол, в зависимости от направления намагниченности
опрашиваемого участка.

6.5.1 Поляризаторы и оптические затворы

Эффект вращения плоскости поляризации используется также в

оптических затворах. Существуют кристаллы, которые поворачивают
плоскость поляризации проходящего через них света под действием
приложенного к ним электрического напряжения. Другие кристаллы
(например, турмалин) способны преобразовывать неполяризованный свет в
поляризованный. Если взять пластинку турмалина с плоскостями,
параллельными оси кристаллической решетки, то такая пластинка пропустит
лишь те составляющие световых колебаний, у которых электрический вектор
направлен параллельно оси кристалла. Колебания с векторами Е,
перпендикулярными оси, не пройдут через кристалл. Такие устройства
называют поляризаторами.
Если разместить параллельно на одной оптической оси друг за другом
два поляризатора, развернув их кристаллические оси под прямым углом
(второй кристалл в этом случае называется анализатором), то через такую
сборку свет не пройдет: анализатор не пропустит световой поток,
прошедший через поляризатор, в силу перпендикулярности его
кристаллической структуры плоскости поляризации света. Но если
разместить между этими пластинками электрооптический кристалл
(например, кристалл ниобата лития), то получится управляемый оптический
затвор: при подаче на кристалл напряжения он будет поворачивать плоскость
поляризации света и тот пройдет через анализатор, в противном же случае
затвор не пропустит свет.

Рисунок 6.25 - Схема оптического затвора

 Поскольку такие затворы в отличие от механических не имеют
движущихся частей, они практически безынерционны и используются в
быстродействующих оптоэлектронных устройствах - лазерных рекордерах,
цифровых фотоаппаратах, модуляторах светового потока.

6.5.2 Электрооптические кристаллы

Наряду с эффектом поворота плоскости поляризации существует так

называемый линейный электрооптический эффект отклонения светового
луча в кристалле под действием электрического поля - эффект Поккельса.
Суть его заключается в изменении показателя преломления среды
пропорционально приложенному напряжению. Эффект Поккельса
наблюдается только в пьезокристаллах. Схема, поясняющая принцип
действия электрооптического модулятора, и его модуляционная
характеристика представлены на рисунке 6.26.

Рисунок 6.26 - Схема и модуляционная характеристика электрооптического

модулятора

Пройдя через электрооптический кристалл, лазерный луч попадает на

пластину анализатора, расположенную под таким углом к лучу, что он
беспрепятственно проходит через пластину. При подаче же высокого
напряжения на обкладки электрооптического кристалла луч отклоняется под
действием изменившегося показателя преломления на больший угол и уже не
проходит через пластину анализатора, а отражается от нее. Отклонение луча
тем больше, чем выше напряжение на обкладках и чем длиннее путь луча (b)
через кристалл. Достоинством такого модулятора является его высокое
быстродействие (в принципе, частота модуляции может достигать десятков
гигагерц). Однако в реальности полоса пропускания ограничивается
трудностями модуляции высокого напряжения и емкостью конденсатора,
создаваемого обкладками кристалла. К тому же при малых расстояниях (d)
между обкладками существует опасность пробоя этого промежутка высоким
напряжением, прикладываемым к модулятору.

6.5.3 Акустооптические кристаллы

Наряду с электрооптическими модуляторами в полиграфических

оптоэлектронных устройствах применяются также акустооптические
модуляторы, в основу действия которых положен акустооптический эффект,
возникающий в некоторых средах. Под действием акустической волны в
такой оптической среде, например, кристалле, происходят изменения
показателя преломления, причем эти изменения распространяются в среде по
мере прохождения в нем акустических волн, так, что внутри кристалла
образуется как бы дифракционная решетка, отклоняющая направление
прохождения светового потока от нормального, когда акустическая волна
отсутствует. Принцип действия акустооптического модулятора
иллюстрируется на рисунке 6.27. В этом устройстве применено два элемента,
используемых в оптоэлектронике, - акустооптический кристалл и
пьезокристалл. Переменное напряжение ультразвуковой частоты подается на
пьезокристалл, механически соединенный с акустооптическим кристаллом.
Согласно уравнению обратного пьезоэффекта электрические колебания
вызывают в пьезокристалле механические вибрации с ультразвуковой
частотой, которые физически передаются акустооптическому кристаллу.
Волны ультразвуковых вибраций вызывают в акустооптическом кристалле
неоднородности показателя преломления, попадая на которые луч
дифрагирует (отражается) под углом Брэгга и не проходит по прямому
направлению.
Низкие уровни напряжений и малая мощность, требуемая для
управления акустооптическими модуляторами, делают их наиболее
привлекательными для практики. Однако они уступают электрооптическим
по полосе частот, которая ограничивается величиной порядка 20 МГц.
 Еще менее энергозатратными средами, с помощью которых можно
пропускать или запрещать прохождение светового потока, являются жидкие
кристаллы.

Рисунок 6.27 - Принцип действия акустооптического дефлектора

(модулятора)

6.5.4 Жидкие кристаллы

В жидкокристаллическом состоянии могут находиться многие

природные вещества, превращаясь из жидкости в твердое тело при
понижении температуры. Однако для большинства жидкостей это
происходит в очень узком диапазоне температур (десятые доли градуса),
поэтому свойства жидких кристаллов (ЖК) долгое время после их открытия
не находили практического применения. Жидким кристаллам, молекулы
которых имеют продолговатую нитевидную форму, за что они получили
название нематических (от греч. nema - нить), свойственна упорядоченность
в расположении (укладке) молекул. Нитевидность (несколько нанометров в
длину и несколько ангстрем в ширину) обусловлена цепочечной структурой
молекул. Например, на рисунке 6.28 приведена формула молекулы жидкого
кристалла МВВА (метилоксибензилиден-бутиланилин) и некоторые виды
укладки подобных молекул в жидком и жидкокристаллическом состояниях.
 Рисунок 6.28 - Ориентация молекул в жидкостях и жидких кристаллах

Со временем были получены жидкие кристаллы, сохраняющие свои

свойства в достаточном для практического использования диапазоне
температур. А свойства ЖК таковы, что под действием даже слабого
электрического поля в тонком (несколько микрометров) слое укладка и
движение молекул изменяются, что сопровождается изменением его
оптических параметров и проявлением некоторых токовых или полевых
эффектов (не раскрывая сущности каждого, можно для сведения просто
перечислить некоторые из используемых на практике эффектов: эффект
динамического рассеяния, «твист»-эффект, эффект «гость-хозяин»).
В оптоэлектронике используется свойство жидких кристаллов изменять
свою оптическую плотность под действием приложенной к электродам
(между которыми находится слой ЖК) разницы потенциалов. Эта
особенность ЖК нашла применение в широком спектре индикаторных
приборов и экранов.
Сами по себе жидкие кристаллы не светятся, но если положить ЖК на
светоотражающую подложку (или осветить на просвет), то контраст
оптических плотностей двух состояний ЖК (под напряжением и без него)
вполне достаточен для визуального различения. Главным недостатком ЖК в
этом смысле является сравнительно (например, с кинескопами или
плазменными панелями) небольшой угол наблюдения - лучше всего смотреть
на ЖК-изображение по нормали, а при больших углах отклонения от нее
изображение исчезает.
 Рисунок 6.29 - Принцип действия «твист»-эффекта в жидких кристаллах

Этот недостаток становится менее ощутим при использовании свойства

ЖК (например, с «твист»-эффектом) влиять на линейно поляризованный
свет. Принцип действия «твист»-эффекта иллюстрируется на рисунке 6.29.
На поверхности стеклянных обкладок, обращенных к ЖК, наносится
ориентант (в виде прозрачной пленки), который укладывает прилегающие к
нему молекулы в заданном направлении. Если ориентация молекул ЖК у
противоположных обкладок будет взаимно перпендикулярной благодаря
соответствующим направлениям ориентирующих пленок, то укладка
жидкого кристалл окажется «закрученной» (слово «твист» - англ. [twist] -
означает поворот, скручивание) на 90°. Это происходит в силу способности
молекул поддаваться даже слабым направляющим воздействиям - каждая
молекула старается принять такое же направление, как и соседние.
При освещении жидкого кристалла линейно поляризованным светом,
совпадающим по направлению поляризации с входным ориентантом, такая
«закрутка» в укладке молекул приводит к повороту направления линейной
поляризации светового потока, прошедшего через ЖК, на те же 90°. Если же
приложить к электродам небольшое напряжение, то под действием
электрического поля (более сильного, чем действие ориентанта) укладка
молекул теряет скрученность и они выстраиваются по нормали к
поверхности электродов. Новая укладка контрастно изменяет оптическую
плотность электризованных участков и одновременно устраняет эффект
поворота направления поляризации пропускаемого через ЖК линейно
поляризованного света.
 Установив перед источником света поляризатор, а после ЖК -
анализатор, можно получить новый оптический затвор, только более
универсальный. На поверхности ЖК можно разместить матрицу электродов
и запирать или пропускать свет на требуемых участках, многократно
увеличив информационные потоки через такой «затвор», или использовать
его как экран дисплея (по-английски [display] - выставление напоказ,
отображение).

6.6 Устройства отображения информации

Дисплей - устройство визуализации (отображения) текстовой и

графической информации без ее долговременной фиксации. Отсутствие
долговременной фиксации информации означает ее исчезновение при
выключении питания или при выводе новой информации. Дисплей является
основным ПУ ПЭВМ и служит как для отображения информации, вводимой
посредством клавиатуры или других устройств ввода, так и для выдачи
пользователю сообщений, а также для вывода полученных в ходе
выполнения программ результатов. В ПЭВМ же применяются специальные
устройства. Независимо от физических принципов формирования
изображения дисплей состоит из двух основных частей - экрана и
электронного блока, размещенных в одном корпусе. Подключается дисплей к
ПЭВМ через дисплейный адаптер (видеоадаптер, или видеоконтроллер).
Часто вместо термина "дисплей" употребляют термины "монитор"
("видеомонитор"). Монитором называют устройство, применяемое для
контроля какого-либо процесса и управления системой. Конструктивно - это
либо совокупность дисплея и клавиатуры, либо просто дисплей. Так как в
ПЭВМ функции управления и контроля, а также ввода-вывода данных
совмещены в одних и тех же устройствах, то монитор и дисплей можно
считать синонимами, хотя в общем случае эти термины не эквивалентны.
По функциональному назначению (функциональным возможностям)
дисплеи подразделяются на алфавитно-цифровые и графические. Первые
способны воспроизводить только ограниченный набор символов. Вторые же
являются гораздо более гибкими. Они в состоянии отображать как
графическую, так и, что вполне естественно, текстовую информацию. В
настоящее время графические дисплеи в ПЭВМ практически вытеснили
алфавитно-цифровые.
По количеству воспроизводимых цветов различают монохромные
(одноцветные) и цветные дисплеи. Монохромные устройства способны
воспроизводить информацию только в каком-либо одном цвете, возможно, с
различными градациями яркости. Широко распространены черно-белые
экраны, а также зеленые и желтые. Цветные дисплеи обеспечивают выдачу
на экран информации одновременно в нескольких цветах.
По физическим принципам формирования изображения существуют:
 дисплеи на базе электронно-лучевой трубки;
 жидкокристаллические дисплеи;
 плазменные (газоразрядные) дисплеи;
 электролюминесцентные дисплеи.
Дисплеи на базе электронно-лучевой трубки традиционны, а принцип
их работы аналогичен бытовому телевизору. В электронно-лучевой трубке
формируется луч (или три луча для цветных трубок), управляя
перемещением и интенсивностью которого можно получить изображение на
люминофором экране. Для дисплеев данного типа графические изображения
могут формироваться двумя способами. В векторном дисплее электронный
луч непрерывно "вырисовывает" контур изображения. Само изображение
формируется из отдельных элементарных отрезков (векторов). В растровых
же дисплеях изображение получается с помощью матрицы точек, которые
могут "светиться", а могут быть невидимыми: электронный луч пробегает по
строкам экрана, подсвечивая требуемые зерна (точки) люминофора. В этом
случае и небольшом разрешении при воспроизведении ряда фигур хорошо
заметен эффект "мозаичности". Цветные экраны имеют зерна трех цветов:
красного, зеленого и желтого, собранные в триады. Каждый из трех
электронных лучей отвечает за свой цвет, подсвечивая при необходимости
"свои" зерна. Манипулируя яркостью зерен, можно сформировать точку
любого цвета. Первоначально дисплеи на базе электроннолучевой трубки в
отличие от бытовых телевизоров имели цифровой видеовход.
Сейчас же в наиболее совершенных моделях дисплеев осуществлен
возврат к аналоговым видеовходам (имеется в виду стандарт VGA). Дисплеи
на базе электронно-лучевой трубки громоздки, потребляют много энергии,
но имеют хорошие технические характеристики.
Жидкокристаллический экран (индикатор) представляет собой
совокупность сегментов для воспроизведения элементарных частей
изображения (в частности, точек). Каждый сегмент состоит из нормально
прозрачной анизотропной жидкости, заключенной между двумя
прозрачными электродами. При подаче на электроды напряжения
коэффициент отражения жидкости меняется, и сегмент при освещении его
внешним источником света темнеет. Индикаторы данного типа в отличие от
других являются не активными, а пассивными (изображение "проявляется"
только при внешнем освещении). По сравнению с другими
жидкокристаллические индикаторы характеризуются малыми потребляемой
мощностью и массой. Основная проблема для них - невысокая контрастность
изображения. К настоящему времени предложены не только монохромные,
но и цветные жидкокристаллические дисплеи. Индикаторы данного типа
часто применяют в электронных часах и калькуляторах.
В ПЭВМ в последнее время широкое распространение получили
жидкокристаллические индикаторы с обратной (задней) подсветкой
(backlit). Их конструктивная особенность заключается в том, что за экраном
размещается источник света, а сам экран состоит из жидкокристаллических
ячеек, которые в нормальном состоянии являются непрозрачными. При
приложении к, такой ячейке напряжения она начинает пропускать свет, что и
приводит к получению изображения на экране. Такой принцип
формирования изображения облегчает создание цветных дисплеев.
Действительно, достаточно на экране иметь тройки жидкокристаллических
ячеек, обеспечивающие на просвет воспроизведение основных цветов
(красного, зеленого и синего).
В 1990 г. японская фирма Dainippon inc. & Chemicals завершила
разработку полимерной сети, которой можно обвить жидкий кристалл как
паутиной. Такой экран не требует поляризаторов и подсветки, а также
потребляет меньше энергии.
Экран плазменного дисплея представляет собой матрицу газоразрядных
элементов. При приложении к электродам газоразрядного элемента
напряжения возникает электрический разряд красного или оранжевого
свечения в газе, которым этот элемент заполнен. По сравнению с
жидкокристаллическими плазменные индикаторы имеют более высокую
контрастность, однако обладают и повышенным энергопотреблением.
Экран люминесцентного дисплея состоит из матрицы активных
индикаторов, дающих яркие изображения с высокой разрешающей
способностью. Они имеют высокую механическую прочность и надежность,
однако отличаются большим энергопотреблением и высокой стоимостью.
Наряду с монохромными имеются и цветные люминесцентные дисплеи.
В стационарных ПЭВМ в настоящее время применяются дисплеи на
базе электронно-лучевой трубки. Переносные ПЭВМ снабжаются такими же
устройствами или плазменными дисплеями. В наколенных и более
компактных ПЭВМ используются главным образом жидкокристаллические и
изредка плазменные индикаторы. Электролюминесцентные дисплеи
перспективны для использования в различных классах малогабаритных
ПЭВМ.

6.6.1 Жидкокристаллические мониторы (LCD)

Первый рабочий жидкокристаллический дисплей был создан

Фергесоном (Fergason) в 1970 году. До этого жидкокристаллические
устройства потребляли слишком много энергии, срок их службы был
ограничен, а контраст изображения был удручающим. На суд
общественности новый ЖК-дисплей был представлен в 1971 году и тогда он
получил горячее одобрение.
В настоящее время в жидкокристаллических мониторах используется
три различные технологии: TN+Film, IPS и MVA. Но независимо от
используемой технологии, все ЖК мониторы опираются на одинаковые
принципы работы.
Одна или более неоновых ламп создают подсветку для освещения
дисплея. Число ламп невелико в дешевых моделях мониторов, в дорогих же
используется до четырех. На самом деле использование двух и более
неоновых ламп не улучшает качество изображения. Просто вторая лампа
служит для обеспечения отказоустойчивости монитора при поломке первой.
Таким образом, продляется жизнь монитора, поскольку неоновая лампа
может работать только 50000 часов, в то время как электроника способна
выдержать от 100000 до 150000 часов. Для обеспечения однообразности
свечения монитора, свет проходит через систему отражателей перед
попаданием на панель.
Жидкокристаллическая панель - сложное устройство, состоящее из
нескольких слоев: два слоя поляризаторов, электроды, кристаллы, цветовые
фильтры, пленочные транзисторы.

Рисунок 6.30 - Устройство ЖК панели

Так же, как и в традиционных электроннолучевых трубках, пиксель

формируется из трех участков (субпикселей) - красного, зеленого и синего.
Каждый субпиксель управляется транзистором, выдающим свое собственное
напряжение. Это напряжение может сильно варьироваться, оно заставляет
жидкие кристаллы в каждом субпикселе поворачиваться на определенный
угол.
Угол поворота определяет количества света, которое проходит через
субпиксель. В свою очередь, прошедший свет формирует изображение на
панели. Кристалл фактически поворачивает ось поляризации световой волны,
поскольку перед попаданием на дисплей волна проходит через поляризатор.
Если ось поляризации волны и ось поляризатора совпадают, свет проходит
через поляризатор. Если они перпендикулярны, свет не проходит.

6.6.2 Плазменные телевизионные панели (PDP)

PDP - это две параллельных стеклянных пластины. На переднюю

пластину нанесены прозрачные электроды и точки люминофора. А на задней
панели размещены такие же электроды, и управляющая электроника.
Пространство между стеклянными пластинами заполнено инертными газами
(Xe, Ne).
 Рисунок 6.31 - Принцип работы плазменной панели

Рисунок 6.32 - Устройство плазменной панели

Когда прикладывается электрическое напряжение, газ между

передними и задними электродами ионизуется и переходит в состояние
плазмы. Происходит разряд, вызывающий поток ультрафиолетового
излучения. Из-за этого излучения начинают светиться точки люминофора.
Поскольку нет никакого электронного луча, который необходимо
точно направлять на точки люминофора - нет характерных для ЭЛТ
искажений (несведения лучей и замагниченности). Электронное устройство
PDP одновременно контролирует каждый элемент панели, поэтому стало
возможным полностью избавиться от мерцания.
От жидкокристаллических дисплеев PDP отличается большой
яркостью и насыщенностью изображения, не требует дополнительной
подсветки, обладает большим углом обзора (до 160 градусов).
 Вес плазменной панели составляет всего одну шестую веса обычной
ЭЛТ (например, 42-дюймовая панель весит всего 18 кг, а ЭЛТ такого же
размера более 100 кг).
Толщина плазменной панели около 65 мм, а размер диагонали может
быть до 100 дюймов. Срок службы плазменных панелей свыше 30000 часов
(как и обычных ЭЛТ).
Плазменные панели очень удобны в использовании. С их помощью
можно просматривать телевизионные передачи, смотреть видео записанное в
любых форматах, в т.ч. и DVD, они устанавливаются в любом положении,
легко вешаются на стену. Плазменную панель можно использовать в
качестве монитора компьютера и для просмотра передач телевидения
высокой четкости. PDP-панели рекомендуются для систем "домашнего
театра" самого высокого класса.

6.6.3 Плазменные модули

Большие экраны строятся из отдельных функционально-законченных

единиц - модулей. В состав модуля входит 6 панелей, модульно-панельный
контроллер, источник питания и конструктив. На рисунке 6.33 показаны
функциональная схема модуля.

Рисунок 6.33 - Модуль плазменных панелей

На базе 7 типов панелей разработаны 7 типов модулей. Все модули

имеют одни и те же габаритные размеры, углы наблюдения, вес, срок службы
и примерно одинаковую потребляемую мощность. Общие параметры
сведены в таблицу:
Модули на базе разных панелей отличаются друг от друга размером
пикселя, информационной емкостью, яркостью, числом цветовых оттенков.
Модульный принцип построения экранов позволяет практически
неограниченно наращивать их размеры и информационную емкость по
горизонтали и вертикали. В пределах области существования возможно
создание экранов с любой конфигурацией, например, длиной 57,6 метров и
высотой 0,38 метра (бегущая строка).
Управление экраном производится от компьютера. Для связи
компьютера с экраном используется высокоскоростной цифровой интерфейс
DVI. Расстояние от компьютера до экрана может составлять от 5 до 10
метров с использованием видеокабеля или до 500 метров с использованием
оптического кабеля.
В зависимости от размеров экрана и характеристик помещения,
большие экраны могут устанавливаться на пол, крепиться к стене,
подвешиваться к потолку или встраиваться в стену. Для специальных
применений экраны можно монтировать горизонтально, используя их в
качестве стола, пола или потолка. Конструктивные особенности модульных
экранов позволяют делать их вогнутыми, т.е. возможно создание круговых
экранов, например, для спортивных арен. Экран является универсальным
средством отображения и может отображать текстовую, графическую и
телевизионную информацию.
Информационную емкость экранов можно практически неограниченно
наращивать по горизонтали и вертикали. Шаг наращивания зависит от типа
модуля и типа используемых в нем панелей. Этот шаг составляет от 192
пикселей (3-мм пиксель) до 24 пикселей (24-мм пиксель) по горизонтали и от
128 (3-мм пиксель) до 16 пикселей (24-мм пиксель) по вертикали.
Информационная емкость экрана должна быть выбрана исходя из задач,
которые должен решать экран. Размер экрана по вертикали ограничен,
естественно, высотой потолка. Рекомендуемая высота нижнего края экрана
от пола - 1 - 1,5 метра. Горизонтальный размер экрана определяется шириной
помещения. Для показа ТВ-изображения формат экрана должен быть близок
4:3. Для остальных применений формат может быть практически любым.
Дистанция наблюдения экрана определяется глубиной помещения. Для
каждого размера пикселя существует минимальное расстояние, при котором
изображение смотрится слитно. Это расстояние лежит в пределах от 1,5 (3-
мм пиксель) до 12 (24-мм пиксель) метров. Но в ряде случаев, например, для
текстовой информации слитное наблюдение не обязательно и минимальная
дистанция может быть существенно меньше.
Исходя из желательной информационной емкости и допустимого
размера экрана, можно определить шаг пикселей. Например, если
необходимо показывать ТВ-изображение в помещении площадью 12х6 кв.
метров и высотой 4 метра, то можно использовать экран 768х576 6-мм
пикселей. Экран будет иметь размер 4,6х3,5 метра. При этом комфортная
зона наблюдения составит 8х6 кв. метров. Если размер помещения не
ограничивает размеры экрана, тогда размер можно определить исходя из
диапазона дистанций наблюдения и назначения экрана. Например, если экран
устанавливается в большом помещении и предназначен для показа времени и
даты, то, для наблюдения с дистанции до 100 метров, целесообразно
использовать экран 96х32 24-мм пикселей, отображающий 12 знаков
размером 38х38 см каждый. Размер такого экрана - 2,3х0,8 метра.
При установке экранов в помещении необходимо учитывать уровень
внешней освещенности. Нежелательно устанавливать экран напротив окон.
Чем больше внешняя освещенность, тем больший шаг пикселя желательно
применять. С увеличением шага пикселя в два раза яркость возрастает в 2 - 3
раза. Для повышения контраста можно использовать капроновый фильтр.
Наиболее простой вариант установки экрана - напольный вариант, на
расстоянии около 0,5 метра от стены. Наиболее экономичный вариант -
экран, встроенный в стену. Экраны небольшой площади можно вешать на
стену или подвешивать к потолку. В общем случае выбор того или иного
варианта конструкции согласуется с заказчиком и определяется
особенностями конкретного применения и условиями эксплуатации.
В первом приближении стоимость экранов пропорциональна их
площади, но стоимость одного кв. метра снижается с увеличением площади
экрана. Так, стоимость одного квадратного метра экрана с 24-мм пикселем
лежит в пределах от 8 (1 кв. м) до 5 тысяч долларов (50 кв. м). Стоимость
одного квадратного метра экрана с 3-мм пикселем лежит в пределах от 12 (1
кв. м) до 8 тысяч долларов (50 кв. м). В минимальный комплект поставки
экрана входит заданное количество модулей, соответствующее
конфигурации экрана число секционных контроллеров, металлоконструкция
экрана выбранного типа, а также комплект силовых и информационных
кабелей. Дополнительно могут быть поставлены: компьютер с цифровой
видеокартой, мультимедийный контроллер, оптическая линия связи,
видеомагнитофоны и видеокамеры и т.д.
Большие цветные плазменные модульные экраны (далее экраны) на
сегодня представляются весьма привлекательными для целей коллективного
наблюдения в помещениях. Проводя сравнение плазменных экранов с
конкурентами в данной нише - светодиодными экранами и видеостенами на
базе проекционных видеокубов нужно отметить следующее. Плазменные
экраны имеют существенно (в 4 - 8 раз) более низкую цену и более высокое
качество изображения (в частности, более высокая равномерность и
отсутствие зернистости изображения) по сравнению со светодиодными
экранами, уступая им в яркости.
Плазменные экраны имеют существенно (в 10 - 15 раз) меньшую
толщину, меньшие эксплуатационные расходы и более высокое качество
изображения (существенно меньший разброс яркости и цветности по полю
экрана) по сравнению с видеостенами, но уступают им в разрешающей
способности.

6.6.4 Светодиодные экраны

Современные светодиодные технологии позволяют использовать

светодиодные экраны как на улице в качестве рекламных носителей, так и в
помещении, как высококлассный источник изображения, который по своим
техническим параметрам превосходят плазму, LCD (ЖК) панели и
видеопроекционное оборудование, по контрастности и по яркости и углу
обзора. А самым уникальным свойством светодиодных экранов является
возможность создания сплошных больших видеоэкранов, без стыков и
“швов”.
Наиболее заметное распространение получили гигантские
светодиодные видео экраны для улиц, которые используются для трансляции
рекламы, концертных площадках, стадионах. Причина их широкого
применения - в яркости светодиодных экранов, технологичности,
многофункциональности, простоте и длительном сроке эксплуатации.
Помимо динамической рекламы и отображения знакографической
информации светодиодные экраны с успехом применяются для показа
видеоизображения. Это позволяет активно использовать их для прямой
видеотрансляции во время проведения больших праздничных мероприятиях,
а также во время шоу, концертов с большим количеством зрителей.
Светодиодный экран состоит из отдельных светодиодных панелей.
Светодиодные панели имеют небольшой размер, что позволяет собирать из
них светодиодные дисплеи любых форм и размеров. Передача информации и
управление светодиодными панелями осуществляется при помощи
контроллеров, которые подсоединены к компьютеру управления. В
компьютере установлена плата видеопроцессора, на вход которой могут
подаваться видеосигналы от различных источников – телевизионный сигнал,
сигнал от видеомагнитофона, DVD-плеера, видеокамеры, другого
компьютера и т.д. Заранее подготовленные сюжеты могут быть записаны на
диск компьютера управления, вывод сюжетов на видеоэкран осуществляется
по составленному расписанию.

6.6.5 Оптоэлектронные индикаторы

Оптоэлектронные индикаторы нашли самое широкое применение уже с

начала 70-х годов практически во всех областях человеческой деятельности,
включая быт (часы, калькуляторы и т.п.). С внедрением в практику цифровых
устройств стрелочные приборы и газоразрядные лампы были оттеснены на
периферию индикаторной техники, где не исчезли, а заняли свои ниши
благодаря простоте и неприхотливости. Их место (и не только их, а свое
собственное, в качестве цифровых и графических) заняли светодиодные, а
затем и жидкокристаллические индикаторы. Нашли свое место в этой
области также плазменные и люминесцентные индикаторные панели и
дисплеи.
По виду отображаемой информации индикаторы подразделяют на:
единичные, цифровые, буквенно-цифровые, шкальные, мнемонические и
графические. В качестве единичных сегодня, как правило, используются
светодиоды зеленого, красного или желтого цвета свечения, поскольку они
экономичны, долговечны и не требуют особой конструктивной привязки -
припаянные к любой электронной плате двумя ножками, они уже готовы к
работе. Ни один электронный прибор практически не обходится без таких
индикаторов.
 Большим разнообразием отличаются цифровые, буквенно-цифровые и
шкальные индикаторы. Назначение их ясно выражено в названиях.
Различаются они конструктивным исполнением, размерами, принципом
действия (газоразрядные, люминесцентные, светодиодные,
жидкокристаллические). Наиболее распространены в настоящее время
светодиодные и жидкокристаллические как самые экономичные.
Люминесцентные обладают более ярким свечением и применяются,
например, в цеховых условиях, где наблюдение за панелью управления
может вестись со значительного расстояния (в несколько метров), если
оператор отходит от пульта к какой-либо зоне обслуживания машины.
Самыми типичными в этом классе являются одноразрядные (при
необходимости из них набираются индикаторы любой разрядности)
семисегментные цифровые индикаторы, основанные, к примеру, на
светодиодной линейке, но с характерным расположением излучателей -
светодиоды выполнены в виде удлиненных кирпичиков, располагаемых в
прямоугольном окошке в форме восьмерки - по два вертикально слева и
справа, а горизонтально - в середине, сверху и снизу фигуры, что позволяет
синтезировать любую цифру от 0 до 9. Примерно также выполняются
шкальные индикаторы, только элементы размещаются бок о бок в линию,
которую, как метрическую линейку, можно располагать по необходимости
горизонтально или вертикально. Из таких шкал удобно собирать
индикационную панель для наблюдения за значениями множества
однотипных параметров. Буквенно-цифровые индикаторы чаще строятся на
основе матриц (например, светодиодных), а не сегментных линеек, так как
начертание у букв более разнообразно, чем у цифр. Отдельные индикаторы
(как правило, 5×7 элементов), собранные в линию или табло, позволяют
создавать уже строки или странички текстов таблиц.
Мнемонические индикаторы выполняются как в форме отдельных
символов (треугольник, квадрат, круг, прямоугольник), так и в виде табло с
набором символов, знаков и схем, отображающих в условной и понятной для
оператора форме отдельные технические узлы или состав машины в целом.
Единичные индикаторы выполняются чаще на светодиодной основе, а табло
- на люминесцентной или плазменной. В таких индикаторах один из двух
электродов выполняется в форме изображаемого символа, а второй,
прозрачный, перекрывает габаритную площадь фигуры или всего табло.
 Графические индикаторы, как правило, используются в составных
средствах отображения информации, представляя буквы, цифры, символы,
графики и другие изображения без потери информации в местах стыковки.
Предназначенные для работы в составе цифровых систем, они имеют обычно
число элементов, согласованное с бинарной системой счисления (8×8, 16×16
и др.) и создаются на базе светодиодных, жидкокристаллических или
газоразрядных матриц.
При необходимости отображения больших массивов информации в
качестве индикаторов применяются экраны и дисплеи различных
конструкций и принципов действия.

Контрольные вопросы к главе 6

1. Перечислите основные достоинства оптоволоконных измерительных
преобразователей.
2. Что называется числовой апертурой оптоволокна?
3. В чем заключается отличие многомодовых световодов от
одномодовых?
4. Перечислите основные причины ослабления передаваемого сигнала по
оптоволокну.
5. Опишите основные принципы построения оптоволоконных
измерительных преобразователей.
6. Объясните принцип работы оптоволоконных датчиков усилий,
микроперемещений.

Глава 7. Применение в измерительной технике явлений дисперсии,

дифракции и интерференции
7.1 Среды, различающие цвет

Оптоэлектронные устройства часто работают с цветом (сканеры,

денситометры, спектрофотометры и др.), и на них, как правило, возлагаются
функции цветоразличения (разложения на спектральные цвета). Еще до
появления оптоэлектроники для этих целей использовались (и сейчас с
успехом применяются) самые разнообразные элементы традиционной
оптики. Призмы и дифракционные решетки используются для разложения
светового потока на составляющие цвета; зональные светофильтры и
дихроичные зеркала - для цветоделения светового потока на три
составляющие (красную, зеленую, синюю).

Рисунок 7.1 - Принцип действия призмы и дифракционной решетки

Принцип действия призмы основан на зависимости показателя

преломления среды, через которую пропускается свет, от длины волны
электромагнитных колебаний, проще говоря, цвета. Эта зависимость в
первом приближении описывается формулой Коши. Зависимость эта
нелинейная. Показатель преломления увеличивается с уменьшением длины
волны. Это приводит к эффекту разложения белого цвета, пропускаемого
через призму. Призма усиливает различимость эффекта, так как лучи разных
цветов, отклоняясь под разными углами, проходят к тому же разные
расстояния, и на выходе из нее спектр оказывается более растянутым. Если за
призмой установлена линейка фотоприемников (или белый экран), то это
позволяет определять спектральный состав излучения. Примерные
зависимости изменения показателя преломления от длины волны можно
оценить по данным, приведенным в таблице 7.1.

Таблице 7.1
Длина волны [нм], (цвет) Стекло (кварц) Исландский шпат
687 (красный) 1,541 1,653
656 (оранжевый) 1,542 1,655
589 (желтый) 1,544 1,658
527 (зеленый) 1,547 1,664
486 (голубой) 1,550 1,668
431 (сине-фиолетовый) 1,554 1,676
400 (фиолетовый) 1,558 1,683

Другой принцип заложен в явлении спектрального разложения света на

дифракционной решетке. Эффект дифракции света сказывается у краев
экранов, малых отверстий, узких щелей, когда расстояния светлых
промежутков становятся соизмеримы с длиной световой волны. В таких
условиях лучи, касающиеся края препятствия, отклоняются от
прямолинейной траектории падающего света, при этом синус угла
отклонения прямо пропорционален и кратен длине волны (т.е. угол
отклонения тем больше, чем больше длина волны). Вокруг малого
единичного отверстия в результате дифракции наблюдаются дифракционные
кольца чередующихся светлых и темных участков (в формулу входит
показатель кратности или порядка явления k. Вокруг одиночной щели кольца
преобразуются в полосы, затухающие по мере удаления от просвета (в обе
стороны). Если такие щели расположены в ряд и близко друг к другу
(размеры щелей и перегородок одного порядка малости), то образуется
дифракционная решетка, за которой, при размещении там белого экрана,
можно увидеть спектр падающего на решетку светового луча.
Дифракционные решетки делают и на отражение - тогда на зеркальную
поверхность наносят тонкие риски (до нескольких тысяч рисок на
миллиметр). Такие элементы разложения сложного света на составляющие
цвета используются в современных спектрофотометрах, приборах
калибровки мониторов, компьютерных системах управления цветом (color
management systems - CMS). Другая задача различения сложной окраски -
разделение на зональные составляющие для последующего синтеза цвета (на
базе триады голубой, пурпурной и желтой красок + черная) - цветоделение.
Светофильтры пропускают свет только своей зоны спектра, задерживая
световые потоки остальных цветовых оттенков, поэтому если взять,
например, синий фильтр и посмотреть через него на отпечаток, сделанный
желтой краской на белой бумаге (кстати, без фильтра желтое на белом
различается с трудом), то глаз увидит черный отпечаток на фоне синего -
лучи желтого цвета через синий фильтр не пройдут. Чем меньше будет
желтого на отпечатке, тем менее черным покажется этот участок за синим
фильтром. Этот эффект позволяет измерять оптические плотности основных
красок полиграфической триады (голубой, пурпурной, желтой) на оттисках с
помощью денситометров, в которых устанавливаются зональные фильтры:
синий - для желтой краски, зеленый - для пурпурной, красный - для голубой
(черная измеряется за визуальным фильтром, имеющим спектральную
характеристику, близкую к характеристике человеческого зрения).
Дихроичные зеркала тоже не пропускают излучение одной из зон
видимого спектра (поэтому их также называют дихроичными фильтрами),
отражая эти лучи, как зеркало, - это придает им новое свойство в отличие от
светофильтров, так как не прошедшие через зеркало лучи могут
использоваться в другом измерительном канале, если они будут туда
направлены. Поставив друг за другом два разных по характеристикам
зеркала, можно произвести деление светового потока на лучи красной,
зеленой и синей зоны: первое зеркало отразит волны красной зоны и
пропустит зеленые и синие, которые разделятся на втором зеркале - синие
отразятся, а зеленые будут пропущены через него.
Как уже было сказано, отличительной чертой оптоэлектроники
является миниатюризация элементов, их интеграция с целью переработки
больших объемов информации. Поэтому и те элементы традиционной
оптики, которые были описаны выше, в приложении к оптоэлектронным
приборам изготавливаются зачастую в совершенно специфическом виде, по
технологиям, применяемым в производстве оптоэлектронных элементов.
Например, зональные фильтры для матричного ПЗС могут представлять
собой тонкую пленку, размещенную на поверхности матрицы, с
нанесенными микроскопическими триадами цветов, в виде синих, зеленых и
красных штришков или точек, каждая из которых предназначается для своей
элементарной ПЗС-ячейки размером 5×5 мкм.
Следует упомянуть также о многослойных диэлектрических
структурах, применяемых в системах оптической связи в случаях, когда из
смешанного света с различными длинами волн необходимо выделить свет с
одной определенной длиной волны. Такие структуры представляют собой
многослойный «бутерброд» с чередованием тонких слоев диэлектриков двух
типов с различными показателями преломления. Каждый слой имеет
толщину, равную четверти длины волны выделяемого излучения. Падающий
на структуру свет частично отражается от каждой из границ раздела двух
сред. Отраженные лучи выделенной длины волны, будучи одночастотными и
сдвинутыми на четверть волны, т.е. когерентными, интерферируют
(складываются), усиливаясь по амплитуд). Свет других длин волн такого
эффекта не имеет, так как либо проходит через структуру не отражаясь, а
если и отражается, то не синфазно, а, следовательно, и не когерентно - для
него интерференция безрезультатна.

7.2 Физические основы интерферометрии

Интерференция представляет собой общий электродинамический

принцип суперпозиции полей, примененный к волновым, в частности
оптическим, полям.

Рисунок 7.2 - Интерференционная картина при пересечении двух плоских

волн

Согласно общему электродинамическому принципу суперпозиций

электрическое поле в области пересечения волн будет представлять собой
сумму полей индивидуальных волн. В широком смысле интерференция
существует при пересечении любых волн, и для своей реализации не
нуждается в дополнительной “когерентности” этих волн. В общем случае
интерференционная картина представляет собой не стоячую, а бегущую
волну (в случае различных частот волн), или хаотически осциллирующую
картину (в случае несвязанных начальных фаз волн).
Если интерференция происходит в среде с достаточно коротким
временем отклика тех или иных свойств среды на поток энергии излучения,
то такая бегущая интерференционная картина приводит к возникновению в
среде бегущей волны соответствующего возмущения материальных
параметров. Именно на этом основаны, например, все известные виды
вынужденных рассеяний света: вынужденное комбинационное рассеяние
(волны молекулярных колебаний), вынужденное рассеяние Мандельштама-
Бриллюэна (гиперзвуковые волны, порожденные бегущей
интерференционной картиной), и т.п.
Интерференция имеет широкую область применения в технике. Она
используется для прецизионного контроля плоскостности обрабатываемых
поверхностей, прецизионного измерения линейных размеров объектов,
контроля тепловых и механических напряжений деталей, в микроскопии,
спектроскопии оптического и ИК излучения.
Интерференция волн различных частот, лежит в основе ряда наиболее
современных и точных спектроскопических методик, например, на
реализации принципа интерференции основана голография.

7.2.1 Интерферометр Майкельсона

Интерферометр Майкельсона (рисунок 7.3а) является одной из

наиболее распространенных скелетных схем интерферометра.

Рисунок 7.3 - Схематическое изображение конструкции интерферометров

Майкельсона и Кюстерса

Два отраженных пучка формируют на экране SC интерференционную

картину, характер которой определяется соотношением форм волновых
фронтов обоих пучков.
Интерферометр Майкельсона представляет собой достаточно точное
устройство для контроля позиционирования объекта в пространстве, его
угловой юстировки и плоскостности. Специальные методы точного
измерения распределения интенсивности в плоскости экрана позволяют
повысить точность позиционирования до единиц нанометров.
 Применения интерферометра Майкельсона в технике весьма
разнообразны. К примеру, он может быть использован для дистанционного
контроля малых деформаций (отклонений от плоскостности) объекта
(заменяющего собой одно из зеркал).
Такой подход весьма удобен, когда по тем или иным причинам
нежелательно близкое расположение объекта и эталонной поверхности
(второго зеркала), например, объект сильно нагрет, химически агрессивен и
тому подобное. Например, для измерения толщины тонких прозрачных
объектов или неровностей зеркал применяют интерферометр Кюстерса
(рисунок 7.3б), являющийся модификацией интерферометра Майкельсона.
Интерферометр Майкельсона находит применение в оптических
гироскопах, основанных на эффекте Саньяка, для контроля сдвига
интерференционной полосы, порожденного вращением.

Рисунок 7.4 - Иллюстрация эффекта Саньяка

Два лазерных луча света распространяются в противоположных

направлениях внутри оптического кольца, обладающего коэффициентом
преломления. Соответственно один луч перемещается по часовой стрелке, а
второй – против часовой стрелки. Разница между путями, пройденными
встречными лучами света пропорциональна скорости вращения первичного
преобразователя.

7.2.2 Интерферометр Рэлея и его модификации

Интерферометр Рэлея (рисунок 7.5а) представляет собой одно из

наиболее чувствительных к разности фазовых набегов волн
интерференционных устройств, что позволяет использовать его для точного
определения показателей преломления газов при давлении, близком к
атмосферному.

а)

б)

в)
г)
Рисунок 7.5 - Схематическое изображение конструкций интерферометров
Рэлея (а), Жамена(б), Дайсона(в), Маха-Цандера(г)

Если внести в два распространяющихся в межлинзовом пространстве

пучка (так называемые плечи интерферометра) кювету с исследуемым газом
n1 , и управляемую оптическую задержку n2 (например, такую же кювету с
газом, зависимость показателя преломления которого от давления известна),
то пучки получат дополнительную разность хода.
Одной из модификаций интерферометра Рэлея, является
интерферометр Жамена, представляющее собой одно из наиболее
чувствительных к разности фазовых набегов волн интерференционных
устройств, применяемых при исследовании показателя преломления газов.
Специальными модификациями интерферометра Жамена являются
интерферометры Дайсона и Маха-Цандера. Интерферометр Дайсона
предназначен для исследования показателя преломления микроскопических
прозрачных объектов, используется как основа интерференционных
микроскопов - приборов для исследования формы и показателя преломления
мезоскопических объектов (мелких кристаллов и т.п.).
Интерферометр Маха-Цандера используется для интерференционных
измерений модуляции плотности в газовых потоках (в аэродинамических
трубах и т.п.). Кроме того, он применяется и в оптических схемах для
статической или динамической голографии в тех случаях, когда нужно
обеспечить малый угол сведения предметного и опорного пучков и/или их
малую оптическую разность хода.

7.2.3 Интерферометр Фабри-Перро

Интерферометр Фабри-Перро является одним из важнейших приборов

класса многолучевых интерферометров. Он широко используется как в
спектроскопии для разрешения тонкой структуры спектральных линий, так и
в лазерной технике - для создания лазерных резонаторов и селекции
продольных мод в них.

а)

б)
Рисунок 7.6 - Схематическое изображение интерферометров Фабри-Перро (а)
и Люммера-Герке (б)

Условия усиления излучения при однократном обходе резонатора

существенно зависят от набега фазы. Поэтому усилению в таком резонаторе
подлежат не все длины волн внутри полосы усиления среды, а только те из
них, которые удовлетворяют условию интерференционного максимума
Фабри-Перро.
Интерферометр Люммера-Герке является модификацией
интерферометра Фабри-Перро и предназначен для спектроскопии высокого
разрешения в среднем ультрафиолетовом диапазоне (длины волн 0,1-0,2
мкм).
Для прецизионных измерений малых перемещений в неблагоприятных
условиях окружающей среды применяют оптические резонаторы Фабри –
Перо, состоящие из двух полуотражающих зеркал, расположенных напротив
друг друга на расстоянии L. Свет в резонатор поступает от источника с
известными характеристиками. Например, от лазера. Фотоны, попадая в
резонатор, начинают отражаться то от одного, то от другого зеркала. В
процессе этих отражений они интерферируют друг с другом, Фактически,
резонатор играет роль светового накопителя. За пределы резонатора могут
выйти фотоны только определенных частот. Таким образом, можно считать,
что интерферометр является частотным фильтром, частота пропускания
которого определяется длиной резонатора.

Рисунок 7.7 - Принцип работы датчика микроперемещений, основанного на

использования интерферометра Фабри – Перо:
А - многократная интерференция света внутри резонатора;
Б – импульсы света на выходе резонатора

При изменении длины резонатора соответственно изменяется и частота

выходящего света. Если сделать одно из зеркал подвижным, то, измеряя
выходящую частоту импульсов света, можно определять очень малые
изменения длины резонатора. Для используемых на практике резонаторов
расстояние между зеркалами составляет порядка одного микрометра, при
частоте следования импульсов света от 500 МГц до 1 ГГц.
Таким образом, по разнице частот выходного излучения и сигнала от
эталонного источника света можно судить об изменении длины резонатора с
точностью, сравнимой с длиной волны света. При этом объектом измерения
может быть любая физическая величина, изменение которой приводит к
изменению размеров резонатора. Например: механическое напряжение, сила,
давление, температура и т.п.
Благодаря универсальности, такие датчики получили широкое
распространение. К их достоинствам можно отнести малые размеры, низкую
стоимость, высокую разрешающую способность.
 Рисунок 7.8 - Конструкция датчика давления с использованием
интерферометра Фабри – Перо

Контрольные вопросы к главе 7

1. В чем заключается суть явлений дисперсии, дифракции и
интерференции света?
2. Объясните принцип работы дифракционной решетки.
3. Опишите принцип работы интерферометра Майкельсона.
4. В чем заключается отличие интерферометров Рэлея и Фабри-Перо?
 Литература

1. Электрические измерения неэлектрических величин / Под ред. П. В.

Новицкого. – Л.: Ленинградское отд. Энергия, 1975.
2. Карлов Н. В., Кириченко Н. А. Колебания, волны, структуры. – М.:
ФИЗМАТЛИТ, 2001.
3. Дубнищев Ю. Н. Колебания и волны: Учеб. пособие – 2-е изд. испр. и
доп. – Новосибирск: Сиб. Унив. Изд-во, 2004.
4. Джексон Р. Г. Новейшие датчики. Москва: Техносфера, 2007. – 384 с.
5. Дж. Фрайден. Современные датчики. Справочник. Москва:
Техносфера, 2005. – 592 с.
6. Ч. Пул, Ф. Оуэнс. Нанотехнологии. – Москва: Техносфера, 2010. – 336
с.
7. Николаева Е. В. Физические основы получения информации.
Измерительные преобразователи. Принципы измерения физических
величин. Учебное пособие / Е. В. Николаева, В. В. Макаров. – Омск:
Изд-во ОмГТУ, 2007. – 96 с.
8. Ткалич В. А., Макеева А. В., Оборина Е. Е. «Физические основы
наноэлектроники». Учебное пособие. СПб; СПбГУ ИТМО, 2011. – 83 с.
9. Физические основы получения информации: Учебное пособие для
студентов учреждений высш. проф. Образования / В. Ю. Шишмарев.–
М.: Издательский центр «Академия», 2010.-448с.
10. Патрушев Е.М., Козлова Т.В., Седалищев В.Н. Методические указания
к лабораторным работам по курсу «ФОПИ -2». – Барнаул: Изд-во
АлтГТУ, 2010. - 35с.
11. Седалищев В. Н. Методические указания к курсовому проектированию
по дисциплине «Физические основы получения информации». –
Барнаул: Изд-во АлтГТУ, 2010. - 41с.