Академический Документы
Профессиональный Документы
Культура Документы
2023, 17:51 Форсированные режимы камерной откачки электровакуумных приборов диссертация по электронике, скачайте беспл…
Поиск
Доставка диссертаций
Купить диссертацию
Читать диссертацию
Читать автореферат
Автореферат диссертации
по теме "Форсированные режимы камерной откачки электровакуумных приборов"
https://tekhnosfera.com/forsirovannye-rezhimy-kamernoy-otkachki-elektrovakuumnyh-priborov 1/28
30.11.2023, 17:51 Форсированные режимы камерной откачки электровакуумных приборов диссертация по электронике, скачайте беспл…
ФОРСИРОВАННЫЕ РЕЖИМЫ КАМЕРНОЙ ОТКАЧКИ ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫХ
ПРИБОРОВ
1 о ЛЕН 2009
Саратов 2009
003487301
Димитрюк А. А
https://tekhnosfera.com/forsirovannye-rezhimy-kamernoy-otkachki-elektrovakuumnyh-priborov 2/28
30.11.2023, 17:51 Форсированные режимы камерной откачки электровакуумных приборов диссертация по электронике, скачайте беспл…
B.C. Прилуцкого, В.Б. Байбурина, Г.А. Тягунова и других).
https://tekhnosfera.com/forsirovannye-rezhimy-kamernoy-otkachki-elektrovakuumnyh-priborov 3/28
30.11.2023, 17:51 Форсированные режимы камерной откачки электровакуумных приборов диссертация по электронике, скачайте беспл…
бегущей волны (ЛБВ), вакуумных дугогасительных камер (ВДК), вакуумных
конденсаторов, вакуумных реле).
https://tekhnosfera.com/forsirovannye-rezhimy-kamernoy-otkachki-elektrovakuumnyh-priborov 4/28
30.11.2023, 17:51 Форсированные режимы камерной откачки электровакуумных приборов диссертация по электронике, скачайте беспл…
увеличение долговечности катода.
Практическая значимость.
https://tekhnosfera.com/forsirovannye-rezhimy-kamernoy-otkachki-elektrovakuumnyh-priborov 5/28
30.11.2023, 17:51 Форсированные режимы камерной откачки электровакуумных приборов диссертация по электронике, скачайте беспл…
Материалы исследований внедрены в учебный процесс на кафедре «Электронное
машиностроение и сварка» Саратовского государственного технического
университета в виде лекций и лабораторных работ по дисциплинам «Технология
материалов и изделий электронной техники» и «Оборудование производств изделий
электронной техники».
Личный вклад автора. Личный вклад автора заключается в постановке целей, задач
исследований, обработке и обобщении результатов и основных выводов
диссертации, разработке методик и моделей камерной откачки, оптимизации
условий удаления газов из приборов различных типов, разработке оборудования,
режимов откачки и герметизации приборов.
https://tekhnosfera.com/forsirovannye-rezhimy-kamernoy-otkachki-elektrovakuumnyh-priborov 6/28
30.11.2023, 17:51 Форсированные режимы камерной откачки электровакуумных приборов диссертация по электронике, скачайте беспл…
Применение той или иной технологии обусловливается процессами, происходящими
в приборе при его обезгаживании: выделением содержащихся газов и их
перераспределением, влиянием парциального состава газовой среды и т.н.
1 Г1
№ЧШ « б)
и .12
АС
И;
х4
ЛЬ
»чка
г) Д)
Рис. 1. Схемы камерной откачки ЭВП: а - откачка через щелевой зазор; б - откачка с
применением гофрированного припоя; в - откачка через отверстие в корпусе; г -
откачка через короткий штенгель; д - откачка через все сечение в корпусе; е -
групповая откачка; 1- прибор; 2- нагреватель; 3- штенгель; 4- камера; 5-заглушка; б-
https://tekhnosfera.com/forsirovannye-rezhimy-kamernoy-otkachki-elektrovakuumnyh-priborov 7/28
30.11.2023, 17:51 Форсированные режимы камерной откачки электровакуумных приборов диссертация по электронике, скачайте беспл…
механизм давления; 7- подставка; 8- анодный блок прибора; 9- катодный блок
прибора; 10- припой; 11- груз; 12- гофрированный припой
dt v0
1 dG, 0
V К dt
F} + U s„
U + SH _ 1
dt F, 0 F, ' V, dt
О)
где Pi - давление газов в камере, IIa; Po - давление газов в приборе, Па; >. / dG,
(3)
https://tekhnosfera.com/forsirovannye-rezhimy-kamernoy-otkachki-elektrovakuumnyh-priborov 8/28
30.11.2023, 17:51 Форсированные режимы камерной откачки электровакуумных приборов диссертация по электронике, скачайте беспл…
Основой унификации технологий откачки является типовой технологический
процесс. При разработке типового технологического процесса откачки ЭВП отдается
предпочтение процессам с совмещенными и форсированными режимами. Камерная
откачка наиболее полно позволяет реализовать эту принципиальную схему (рис. 2).
Т. "С
где Fa — проводимость участка «А», л/с; 1;ц - проводимость участка «В», л/с.
1 + 1,17----———2....... К }
!/s'ma(d¡ + d3)
11риП<а
1< 1,14 л
¡¡■а'та{(11 Н-а'тасоъа)^-—-)2
11 2,35-
,л/с; (6)
(7)
(8)
а)
https://tekhnosfera.com/forsirovannye-rezhimy-kamernoy-otkachki-elektrovakuumnyh-priborov 9/28
30.11.2023, 17:51 Форсированные режимы камерной откачки электровакуумных приборов диссертация по электронике, скачайте беспл…
В третьей главе для решения задачи разработки технологических процессов
камерной откачки ЭВП использованы типовой процесс откачки, технологические
приемы (предварительное обезгаживание катодов и очистка внутриламповых
деталей) и приводятся результаты экспериментальных исследований.
(9)
Л ост «о
Тогда:
Р,Па;С1,.*'Па/с
https://tekhnosfera.com/forsirovannye-rezhimy-kamernoy-otkachki-elektrovakuumnyh-priborov 10/28
30.11.2023, 17:51 Форсированные режимы камерной откачки электровакуумных приборов диссертация по электронике, скачайте беспл…
Масс-спектрометрический анализ технологического процесса показал (рис. 7), что
на протяжении всей откачки значения соотношений Рн2/Рн2о и Рсо/Рсо2 больше
единицы. Особенно благоприятная восстановительная атмосфера в приборе во
время обезгаживания оболочки (Рн2/Рн2о =15-50, Рсо/Рсо2=5-15) и во время
обезгаживания управляющего электрода и анода (Рн2/Рн2о=30-40, Рсо/Рсо2=2-10).
Объясняется это тем, что меньшее насыщение газами внутренней арматуры на
предыдущих этапах способствует меньшему газовыделению при разложении
оксидных пленок, в основном газовыделение происходит за счет выделения газов из
объема материалов.
640
12 14
Цн.В/Тк)
При откачке ЛБВ по базовой технологии большая часть приборов (свыше 70%)
имеет остаточное давление выше 2-10'5Па. Имеет место наличие давления в
приборах на уровне 10"3...10"2Па (до 25%)- Имеет место (до 8%) наличие токов
утечек по керамическим изоляторам. Значительная часть приборов (20%) имеет
газовыделение из арматуры, окружающей катод, приборы требуют дополнительной
вакуумной тренировки. После откачки ЛБВ по усовершенствованной технологии
распределение их по остаточному давлению улучшается (рис. 9). Полностью
исключаются приборы с утечками, снижается количество приборов с внутренним
газовыделением, повышается до 70% доля приборов с остаточным давлением ниже
2- 10'5Па.
ю-
«Г
юо*-юшт.
К <й
§ 20 2
кп
аа
https://tekhnosfera.com/forsirovannye-rezhimy-kamernoy-otkachki-elektrovakuumnyh-priborov 11/28
30.11.2023, 17:51 Форсированные режимы камерной откачки электровакуумных приборов диссертация по электронике, скачайте беспл…
ГазоотЭЕЛишЕ №
Р, На т .с
1-Ю3
аоо
1-Ю
1-Ю'
1-1
5В7
Время ,ч
2- заглушка
Рис. 13. Схема места герметизации в конструкции ВДК при камерной откачке: 1 -
заглушка; 2 - кольцо ' гофрированного припоя; 3 ■• груз,
https://tekhnosfera.com/forsirovannye-rezhimy-kamernoy-otkachki-elektrovakuumnyh-priborov 12/28
30.11.2023, 17:51 Форсированные режимы камерной откачки электровакуумных приборов диссертация по электронике, скачайте беспл…
откачки в 4...5 раз и снизить энергозатраты на 33,7 кВт-ч па один прибор;
камерной откачки;
https://tekhnosfera.com/forsirovannye-rezhimy-kamernoy-otkachki-elektrovakuumnyh-priborov 13/28
30.11.2023, 17:51 Форсированные режимы камерной откачки электровакуумных приборов диссертация по электронике, скачайте беспл…
плотность тока катода на 10%, увеличилось время 20%-го спада катодного тока и
понизилась характеристическая температура катода, что свидетельствует о
повышении долговечности катода и прибора в целом.
В других изданиях:
https://tekhnosfera.com/forsirovannye-rezhimy-kamernoy-otkachki-elektrovakuumnyh-priborov 14/28
30.11.2023, 17:51 Форсированные режимы камерной откачки электровакуумных приборов диссертация по электронике, скачайте беспл…
9. Перевозникова, Я.В. Высоковакуумная установка с инфракрасным нагревом /В.И.
Воронин, Г.В. Конюшков, Я.В. Перевозникова //Современные проблемы
машиностроения: сб. трудов IV Междунар. науч. конф. - Томск: ТГУ, 2008 - С. 355-
358.
Оглавление
автор диссертации — кандидата технических наук Перевозникова, Яна Валерьевна
Введение
Выводы
https://tekhnosfera.com/forsirovannye-rezhimy-kamernoy-otkachki-elektrovakuumnyh-priborov 15/28
30.11.2023, 17:51 Форсированные режимы камерной откачки электровакуумных приборов диссертация по электронике, скачайте беспл…
2.4 Обоснование структурной схемы технологического процесса откачки
электровакуумных приборов
Выводы
3.4.2 Анализ технологии откачки приборов типа МЛН через щелевой зазор
Выводы
https://tekhnosfera.com/forsirovannye-rezhimy-kamernoy-otkachki-elektrovakuumnyh-priborov 16/28
30.11.2023, 17:51 Форсированные режимы камерной откачки электровакуумных приборов диссертация по электронике, скачайте беспл…
4.4 Высоковакуумная установка с инфракрасным нагревателем для камерной
откачки электровакуумных приборов
Выводы
Введение
2009 год, диссертация по электронике, Перевозникова, Яна Валерьевна
https://tekhnosfera.com/forsirovannye-rezhimy-kamernoy-otkachki-elektrovakuumnyh-priborov 17/28
30.11.2023, 17:51 Форсированные режимы камерной откачки электровакуумных приборов диссертация по электронике, скачайте беспл…
совмещенных режимов термовакуумной обработки приборов при индивидуальном и
групповом методах откачки.
https://tekhnosfera.com/forsirovannye-rezhimy-kamernoy-otkachki-elektrovakuumnyh-priborov 18/28
30.11.2023, 17:51 Форсированные режимы камерной откачки электровакуумных приборов диссертация по электронике, скачайте беспл…
частей прибора (H=0,3d.0,5d) и время обезгаживания ЭВП.
Практическая значимость.
https://tekhnosfera.com/forsirovannye-rezhimy-kamernoy-otkachki-elektrovakuumnyh-priborov 19/28
30.11.2023, 17:51 Форсированные режимы камерной откачки электровакуумных приборов диссертация по электронике, скачайте беспл…
Материалы исследований внедрены в учебный процесс на кафедре «Электронное
машиностроение и сварка» Саратовского государственного технического
университета в виде лекций и лабораторных работ по дисциплинам «Технология
материалов и изделий электронной техники» и «Оборудование производств изделий
электронной техники».
Личный вклад автора. Личный вклад автора заключается в постановке целей, задач
исследований, обработке и обобщении результатов и основных выводов
диссертации, разработке методик камерной откачки, оптимизации условий удаления
газов из приборов различных типов, разработке оборудования, режимов откачки и
герметизации приборов.
Заключение
диссертация на тему "Форсированные режимы камерной откачки электровакуумных
приборов"
Выводы
Заключение
https://tekhnosfera.com/forsirovannye-rezhimy-kamernoy-otkachki-elektrovakuumnyh-priborov 20/28
30.11.2023, 17:51 Форсированные режимы камерной откачки электровакуумных приборов диссертация по электронике, скачайте беспл…
совмещенными режимами и герметизацией корпусов диффузионной сваркой с
помощью заглушки, приводящего к сокращению длительности откачки, повышению
эмиссионной активности катодов, повышению долговечности приборов, снижению
энергозатрат и обеспечению высокого процента выхода годных изделий.
Библиография
Перевозникова, Яна Валерьевна, диссертация по теме Вакуумная и плазменная
электроника
3. Тягунов, Г.А. Основы расчета вакуумных систем /Г.А. Тягунов. М., JI.:
Государственное энергетическое издательство, 1948. - 148 с.
5. Дэшман, С. Научные основы вакуумной техники /С. Дэшман М.: Мир, 1964.-716 с.
https://tekhnosfera.com/forsirovannye-rezhimy-kamernoy-otkachki-elektrovakuumnyh-priborov 21/28
30.11.2023, 17:51 Форсированные режимы камерной откачки электровакуумных приборов диссертация по электронике, скачайте беспл…
6. А.С. № 234527 СССР Способ обезгаживания электродов и арматуры электронных
и ионных приборов /А. Г. Денисов, В. И. Перфилов, Ю. С. Спиридонов. — опубл. в
Б.И. 1969, Бюл. № 4.
11. А.С. №855784 СССР Способ очистки электродов электровакуумных приборов /А.
Я. Фиксис, опубл. в Б. И. 1981, Бюл.№ 30.
15. Волчкевич, А.И. Анализ режимов и методов технологии откачки ЭВП с целью их
регламентации /А.И. Волчкевич -М: Проспект, 1978. Вып. 3. 81с.
18. Герасимов, А.Н. Плазменная технология / А.Н. Герасимов- JI: Лениздат, 1980.
152с.
24. Сорбционные процессы в вакууме /под ред. К.Н. Мызникова 2 изд. -М: Атомиздат,
1986. - 316 с.
https://tekhnosfera.com/forsirovannye-rezhimy-kamernoy-otkachki-elektrovakuumnyh-priborov 22/28
30.11.2023, 17:51 Форсированные режимы камерной откачки электровакуумных приборов диссертация по электронике, скачайте беспл…
26. Преображенский, О.В. Масс-спектрометрическое исследование технологического
процесса откачки и тренировки МГЛ /О.В. Преображенский,
27. B.Г. Петарский, С.В. Брук //Электронная техника. 1973. - Сер. 4, № 5. - С. 111
-116.
30. Batey Н. Carbon contamination of glassware used for vacuum purposes / vacuum,
1960, 10.-P.263-267.
31. Haas G.A., Jensen J.T. Preconversion of oxide cathodes / Rev. Sci.Jnstr., 1959, 30,
№7. — P.562-565.
33. Риттнер, Э.С. Теоретическое изучение химии оксидного катода /Риттнер, Э.С. //VI
межвузовской науч.-техн. конференции: сб. науч. тр. — М.: МГТУ, 1970.-С. 75-79.
35. Шофман, Г.С., Гущин, JI.H. Пути устранения брака подогревателей ППУЛ,
вызванного высокочастотным пробоем //Обмен опытом в радиоэлектронной
промышленности, 1962, №8. — С. 44-48.
36. Dluhy F., Schutze H.J. Emission von oxydkathoden wahrend der aktivierung und
brenndauer in electronenrohren / telefimken — Rohre, 1961, H.39. — S.121-124.
37. Stoll S J. Origin and analisis of gas in electron tubes / Brit. J. Appl. Phys., 1956, vol.7.
-P.94-98.
40. Воронин, В.И., Кошошков, Г.В., Федоров, М.И. Влияние экранирования катода на
запыление электродов и электрические параметры ЭВП при откачке /В.И. Воронин,
Г.В. Конюппсов, М.И. Федоров //Электронная техника, сер.Ю, вып.4(95), 1978. С.23-
28.
https://tekhnosfera.com/forsirovannye-rezhimy-kamernoy-otkachki-elektrovakuumnyh-priborov 23/28
30.11.2023, 17:51 Форсированные режимы камерной откачки электровакуумных приборов диссертация по электронике, скачайте беспл…
45. Электроника. 1958. - Сер.4 №11 - С.28-29.
48. Никонов, Б.П. Откачка и тренировка ламп с оксидным катодом /Б.П. Никонов,
Б.М. Царев //НИИ, MPTTI, Вып.З(б), 1961.
52. Пауэр Б.Д. Высоковакуумные откачные устройства /Б.Д. Пауэр М: Энергия, 1980.
- 324 с.
53. Розанов, JI.H. Вакуумная техника /JI.H. Розанов. М: Высшая школа, 2007.-391 с.
59. Иориш, А.Е., Кацман, Я.А., Птицын, С.В., Иориш, А.Е. Основы технологии
производства электровакуумных приборов /А.Е. Иориш и др. М: Энергия, 1971. -312
с.
61. Амакасу, К., Имаи, Т. Падение эмиссии, обусловленное разряженным катодом /К.
Амакасу, Т. Имаи; пер с англ., под ред. Р.А. Шульмана //Сб. тр. Эффективные
термокатоды. 1969. — Вып. 1 С.43.
https://tekhnosfera.com/forsirovannye-rezhimy-kamernoy-otkachki-elektrovakuumnyh-priborov 24/28
30.11.2023, 17:51 Форсированные режимы камерной откачки электровакуумных приборов диссертация по электронике, скачайте беспл…
62. Амакасу К. Падение эмиссии оксидных катодов/К. Амакасу; пер с англ., под ред.
Царева Б.М. //Сб. тр. Оксидный катод. 1957. Вып. 1 - С.23.
64. Анякин В.А. Изменение свойств оксидного катода при отборе тока в
непрерывном режиме /В.А. Анякин //Электронная техника.- 1967.- Сер. 5, вып. 1.-
С.38.
70. Мойжес Б .Я. Физические процессы в оксидном катоде /Б.Я. Мойжес — М: Наука,
1968. 125с.
77. ЭВП с оболочкой из титана и керамики /А.П. Краснов, Г.Я. Антипов //Тезисы 1П
Всесоюз. конф. — Л.: 1971. — С. 13.
78. Joshiniro Tachihara, Tokaya Yata and Masagasi Koitabashi. Influence of Exhaustions
Process on Oxide Cathode. I. Appl. Plys, Japan, 1961, v. 30, №5, p. 366.
https://tekhnosfera.com/forsirovannye-rezhimy-kamernoy-otkachki-elektrovakuumnyh-priborov 25/28
30.11.2023, 17:51 Форсированные режимы камерной откачки электровакуумных приборов диссертация по электронике, скачайте беспл…
81. Будников С.Ф. К вопросу об откачке электровакуумного прибора из разнесенных
частей /С.Ф. Будников, В.А. Антонов, Б.П. Чесноков, А.Н. Любименко //Электронная
техника. 1971. - Сер. 10, вып. 3 (43). — С. 18-22.
82. Конюшков, Г.В. Специальные методы сварки давлением. Учебное пособие /Г.В.
Конюшков, Р.А. Мусин Саратов: Ай Пи Эр Медиа, 2009. - 632 с.
87. Baty Н. Carbon contamination of glassware used for vacuum purposes/Vacuum, I960.
Vol. 10. № 1/2. P. 263.
88. Черепнин H.B. Сорбционные явления в вакуумной технике /Н.В. Черепнин. М.:
Сов. Радио, 1973. - 384с.
91. Цехонский, АЛ. Оценка качества оксидного катода по спаду тока в течение
длительности импульса /АЛ. Цехонский //Электронная техника. — 1978. Сер. 1, вып.
1. - С. 46-49.
97. Сливков, И.Н., Михайлов В.М., Сидоров Н.И. Электрический пробой и разряд в
вакууме /И.Н. Сливков, В.М. Михайлов, Н.И. Сидоров М.: Высшая школа, 1966. —
С.109-111.
https://tekhnosfera.com/forsirovannye-rezhimy-kamernoy-otkachki-elektrovakuumnyh-priborov 26/28
30.11.2023, 17:51 Форсированные режимы камерной откачки электровакуумных приборов диссертация по электронике, скачайте беспл…
98. Печатников, М.Н. Бесштенгельная откачка генераторных и модуляторных
приборов средней мощности /М.Н. Печатников, Г.А.Востров //Электронная техника.
1970. - Сер. 16. №1. -45с.
Похожие работы
Электроника
05.27.00
Твердотельная электроника,
радиоэлектронные компоненты,
микро- и нано- электроника на
квантовых эффектах
Вакуумная и плазменная
электроника
Квантовая электроника
Пассивные радиоэлектронные
компоненты
Интегральные радиоэлектронные
устройства
Технология и оборудование для
производства полупроводников,
https://tekhnosfera.com/forsirovannye-rezhimy-kamernoy-otkachki-elektrovakuumnyh-priborov 27/28
30.11.2023, 17:51 Форсированные режимы камерной откачки электровакуумных приборов диссертация по электронике, скачайте беспл…
материалов и приборов электронной
техники
Оборудование производства
электронной техники
https://tekhnosfera.com/forsirovannye-rezhimy-kamernoy-otkachki-elektrovakuumnyh-priborov 28/28